WO1999058279A1 - Procede et appareil d'usinage par etincelage - Google Patents

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WO1999058279A1
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electrode
machining
control amount
value
gap
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PCT/JP1999/002412
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English (en)
French (fr)
Inventor
Yoshihito Imai
Takayuki Nakagawa
Takashi Yuzawa
Original Assignee
Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha
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Publication date
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23H—WORKING OF METAL BY THE ACTION OF A HIGH CONCENTRATION OF ELECTRIC CURRENT ON A WORKPIECE USING AN ELECTRODE WHICH TAKES THE PLACE OF A TOOL; SUCH WORKING COMBINED WITH OTHER FORMS OF WORKING OF METAL
    • B23H1/00—Electrical discharge machining, i.e. removing metal with a series of rapidly recurring electrical discharges between an electrode and a workpiece in the presence of a fluid dielectric
    • B23H1/02—Electric circuits specially adapted therefor, e.g. power supply, control, preventing short circuits or other abnormal discharges
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23H—WORKING OF METAL BY THE ACTION OF A HIGH CONCENTRATION OF ELECTRIC CURRENT ON A WORKPIECE USING AN ELECTRODE WHICH TAKES THE PLACE OF A TOOL; SUCH WORKING COMBINED WITH OTHER FORMS OF WORKING OF METAL
    • B23H7/00—Processes or apparatus applicable to both electrical discharge machining and electrochemical machining
    • B23H7/14—Electric circuits specially adapted therefor, e.g. power supply
    • B23H7/18—Electric circuits specially adapted therefor, e.g. power supply for maintaining or controlling the desired spacing between electrode and workpiece
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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    • B23H7/16—Electric circuits specially adapted therefor, e.g. power supply for preventing short circuits or other abnormal discharges by altering machining parameters using adaptive control
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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    • B23H7/00—Processes or apparatus applicable to both electrical discharge machining and electrochemical machining
    • B23H7/14—Electric circuits specially adapted therefor, e.g. power supply
    • B23H7/20—Electric circuits specially adapted therefor, e.g. power supply for programme-control, e.g. adaptive
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23H—WORKING OF METAL BY THE ACTION OF A HIGH CONCENTRATION OF ELECTRIC CURRENT ON A WORKPIECE USING AN ELECTRODE WHICH TAKES THE PLACE OF A TOOL; SUCH WORKING COMBINED WITH OTHER FORMS OF WORKING OF METAL
    • B23H2400/00—Moving mechanisms for tool electrodes
    • B23H2400/10—Moving mechanisms for tool electrodes for rotating the electrode

Definitions

  • FIG. 16 shows the structure of the machining control system including the conventional gap control system described on pages 88 to 90, for example, in "Electrical Discharge Machining and 100% Utilization" (Technical Review).
  • 101 is an electric discharge machining process
  • 102 is a machining state discharge unit
  • 104 is a target value setting unit
  • 105 is a difference signal operation unit
  • 106 is a control amount operation unit
  • 1 Reference numeral 07 denotes a processing locus setting unit
  • reference numeral 108 denotes a rotation condition setting unit
  • reference numeral 110 denotes an electrode driving device
  • reference numeral 110 denotes a processing pulse condition setting unit
  • reference numeral 111 denotes a processing power supply.
  • y is the state quantity of the electric discharge machining process 101
  • ym is the detected value of the state quantity y detected by the machining state detection unit 102
  • r is the machining set by the target value setting unit 104.
  • the target value of the state, e is the difference signal obtained from the detected value ym and the target value r from the difference signal calculation unit 105
  • Rv is the machining trajectory command value set in the machining trajectory setting unit 107
  • Rr Is the rotation command value set in the rotation condition setting unit 108
  • Up is the control amount obtained from the difference signal e and the machining trajectory command value RV by the control amount calculation unit 106
  • M p is the electrode drive Control amount by device 1 0 9
  • Rs is the machining pulse condition command value set in the machining pulse condition setting section 110
  • Ms is based on the command value Rs by the machining power supply 111. This is the amount of machining pulse operation that is operated.
  • FIG. 17 is a diagram showing the operation of a conventional gap control system.
  • the execution of the gap control algorithm is generally performed by software processing by a microcomputer.
  • the figure shows the k-th processing.
  • S201 is processing of the machining state detection unit 102, and detects the machining state of the electric discharge machining process as, for example, an average voltage between poles ym (k).
  • S401 is processing of the difference signal calculation unit 105, and obtains a difference signal e (k) from the target value r of the average voltage and the detected value ym (k).
  • S 1701 is a process of the control amount calculation unit 106, and obtains the control amount Up (k) from the processing locus command value Rv set by the processing locus setting unit 107 and the difference signal e (k), and obtains the control amount Up (k) to the electrode driving device 110.
  • Kp is the proportional gain
  • Ki is the integral gain
  • the electrodes are operated by the well-known PI compensation (proportional + integral compensation) so that the detected value ym (k) matches the target value r. .
  • Fig. 18 is a diagram showing the power consumption of the machining state detection value in the conventional gap control system, and it can be said that the machining state detected when machining is performed by an electric discharge machine with a conventional gap control system.
  • the power spectrum P of the average voltage between poles ym (k) detected by the unit 102 is obtained.
  • the peak of the power spectrum can be confirmed on the frequency f have f 2, f 3, which is the rotational peripheral electrode It corresponds to the wave number and its harmonics.
  • the eccentricity of the electrode changes the distance between the electrodes, causing disturbance to the inter-electrode control system, causing a problem of lowering the processing speed.
  • the machining current is supplied from the machining power supply to the electrode via the power supply brush.However, the fluctuation in the electrical characteristics of the power supply brush caused by the rotation of the electrode causes disturbance to the gap control system. The problem of inviting them occurred.
  • the electrode drive device has mechanical resonance, the amount of control to the drive device and the actual movement of the electrode are different, making it impossible to control the distance between the electrodes, making machining unstable and reducing the machining speed. The problem of inviting had arisen. Disclosure of the invention
  • the notch frequency is adjusted in accordance with the rotational frequency of the electrode or the mechanical resonance frequency of a drive system for moving and rotating the electrode.
  • a fourth electric discharge machining control device includes a machining state detection unit that detects a machining state of a gap, a notch filter unit that filters a detection value of the machining state detection unit with a notch frequency, and a notch filter.
  • a difference signal calculator that calculates the difference signal between the output value of the evening part and the set value of the machining state, and a control amount calculation that calculates a control amount that controls the movement of the electrode from the difference signal and the set movement value of the electrode The electrode is moved in a predetermined direction according to the control amount output from the control amount calculation unit and the control amount is output from the control amount calculation unit.
  • a fifth electric discharge machining control device includes a notch frequency automatic adjustment unit that adjusts a notch frequency based on a rotation frequency of an electrode or a mechanical resonance frequency of a drive system that moves and rotates the electrode. is there. As a result, disturbance to the inter-electrode control system due to electrode eccentricity and fluctuations in electrical characteristics during electrode rotation can be suppressed. : The processing speed can be improved by maintaining the state.
  • a sixth electric discharge machining control device includes a machining state detection unit that detects a machining state of a gap, and a difference signal that calculates a difference signal between a detection value of the machining state detection unit and a set value of the machining state.
  • a calculation unit a control amount calculation unit that calculates a control amount for controlling the movement of the electrode based on the difference signal and the set movement value of the electrode, and a correction amount for correcting the eccentric amount during rotation of the electrode
  • a control amount correction unit that corrects the control amount from the control amount calculation unit with the correction amount from the correction amount calculation unit; and moves the electrode in a predetermined direction based on the correction control amount output from the control amount correction unit.
  • an electrode drive unit for rotating around a rotary fine perpendicular to the surface facing the workpiece.
  • FIG. 1 (A) and 1 (B) are block diagrams showing an electric discharge machining control system according to Embodiment 1 of the present invention
  • FIG. 2 (A) is a block diagram of a gap control system shown in FIG. 1 (A).
  • FIG. 2 (B) is a flow chart showing the operation
  • FIG. 2 (B) corresponds to FIG. 2 (A)
  • FIG. 3 is a discharge diagram of Embodiment 2 of the present invention.
  • FIG. 4 is a block diagram showing a processing control system.
  • FIG. 4 is a flowchart showing the operation of the gap control system shown in FIG. 3, and
  • FIGS. 5 and 6 are flowcharts showing the operation of another gap control system in the second embodiment of the present invention.
  • FIG. 7 is a block diagram showing an electric discharge machining control system which is Embodiment 3 of the present invention
  • FIG. 8 is a diagram showing an operation content of automatic adjustment of a notch frequency in Embodiment 3 of the present invention
  • FIG. 9 is a block diagram showing the operation of another gap control system according to the third embodiment of the present invention
  • FIG. 10 shows the operation of automatic adjustment of the notch frequency in the third embodiment of the present invention.
  • FIG. 11 is a block diagram showing an electric discharge machining control system which is Embodiment 4 of the present invention.
  • FIG. 12 is a diagram showing a case where an electrode center and an electrode rotation center in Embodiment 4 of the present invention are different from each other.
  • FIG. 13 is a diagram showing a different case, and FIG.
  • FIG. 13 is an eccentricity observed when the electrode is rotated in Embodiment 4 of the present invention.
  • FIG. 14 is a flowchart showing the K-th software processing of the correction calculation unit and the control amount correction unit in FIG. 11, and FIG. 15 is an embodiment of the present invention.
  • 5 is a block diagram showing an electric discharge machining control system
  • FIG. 16 is a block diagram showing a configuration of a machining control system including a conventional gap control system
  • FIG. 17 is a conventional gap control system.
  • FIG. 18 is a flow diagram showing the operation of the system
  • FIG. 18 is a diagram showing a state of a power spectrum of a processing state detection value in the conventional gap control system.
  • FIG. FIG. 5 is a diagram showing a state of a power spectrum of a detected machining state value in another electric discharge machine using a control system.
  • FIG. 1 (A) is a diagram showing an electric discharge machining control system which is Embodiment 1 of the present invention.
  • 101, 102, 104 to 111 are the same as those shown in the conventional example.
  • the meaning of the command value Rv, the rotation condition command value Rr, the control amount Up, the electrode operation amount Mp, the machining pulse condition command value Rs, and the machining pulse operation amount Ms is the same as that shown in the conventional example.
  • 103 is a notch filter section
  • yf is a notch filter section 103 for the detected value ym.
  • FIGS. 1 (A) and 1 (B) are diagram showing the operation of the gap control system shown in FIGS. 1 (A) and 1 (B). The figure shows the k-th software processing when the gap control algorithm is realized by the microphone opening combination.
  • S201 is processing of the machining state detection unit 102, and detects the machining state of the electric discharge machining process as, for example, an average voltage ym (k).
  • S 202 is the processing of the notch fill evening unit 103, the detection value ym (k) Fill evening F (z 1) Fill evening ring to obtain the signal yf (k) and.
  • the filter F ( z_1 ) is composed of one or more filters having notch-fill characteristics.
  • the notch frequency of the filter is either one corresponding to the rotation frequency of the electrode, one corresponding to the resonance frequency of the mechanical system of the XYZ axis drive, or one corresponding to the rotation frequency of the electrode and the rotation frequency of the rotation frequency.
  • Those corresponding to harmonics, those corresponding to the electrode rotation frequency and the resonance frequency of the mechanical system of the XYZ axis driving device, those corresponding to the electrode rotation frequency, harmonics of the rotation frequency and the resonance of the mechanical system of the XYZ axis driving device Two or more in any of those corresponding to two or more resonance frequencies of the mechanical system of the XYZ axis drive device, corresponding to the frequency.
  • S203 is a process of the difference signal calculation unit 105, and obtains a difference signal e (k) from the target value r of the inter-electrode average voltage and the filtered signal yf (k).
  • S204 is a process of the control amount calculation unit 106.
  • the difference multiplication e (k) is subjected to integration + proportional compensation to obtain a signal u (k), and the signal u (k) is processed by the processing locus setting unit 107.
  • the control amount Up (k) is obtained by multiplying the processing locus command value Rv set in Step 2.
  • FIG. 3 is a diagram illustrating an electric discharge machining control system according to a second embodiment.
  • 101 to 111 are the same as those shown in the first embodiment of the present invention.
  • ef is a signal obtained by filtering the difference signal e by the notch filter unit 103.
  • FIG. 4 is a diagram showing the operation of the gap control system shown in FIG.
  • the figure shows the k-th software processing when the gap control algorithm is realized by a microcomputer.
  • S201 is the processing of the processing state detection unit 102, which is the same as that described in the first embodiment.
  • S401 is processing of the difference signal calculation unit 105, and obtains a difference signal e (k) from the target value r of the average voltage between the electrodes and the detected value ym (k).
  • S402 is the processing of the notch filter evening section 103, in which the difference signal e (k) is filtered by the filter F (z 1 ) to obtain a signal ef (k).
  • the filter F (z- 1 ) is composed of one or more filters having a notch filter characteristic.
  • S 403 is processing of the control amount calculation unit 106, in which the signal ef (k) is subjected to integration + proportional compensation to obtain a signal u (k), and the signal u (k) is set in the processing locus setting unit 107.
  • the control amount Up (k) is obtained by multiplying the processed machining path command value Rv.
  • Kp is a proportional gain
  • Ki is an integral gain.
  • the difference signal e (k) is filtered by the filter F (z " 1 ).
  • the control amount Up (k) (up— x (k) as shown in Fig. 5.
  • up—y (k), up—z (k)) and then filtering may be performed for each control variable. That is, as shown in S501, fill up is performed for up-X (k), up_y (k), up- ⁇ (k), and up-X (k), up_y (k), up-z
  • (k) be the control amount for the XYZ axis drive.
  • the filter F (z _1 ) includes one or more filters having a notch fill characteristic.
  • the filter may be performed only for the control amount of the axis having resonance.
  • S601 in FIG. 6 shows a case where the X fine drive has resonance. Filtering is performed on up (k), and up—xf (k) is set as the control amount for the X-axis drive. I do.
  • the filter G (z- 1 ) is composed of one or more filters having a notch filter characteristic.
  • FIG. 7 is a diagram illustrating an electric discharge machining control system according to a third embodiment.
  • 101, 102, 104 to 111 are the same as those shown in the first embodiment of the present invention.
  • M p, machining pulse condition command value R s, and machining pulse manipulated variable M s are the same as those shown in the first embodiment of the present invention.
  • 701 is a variable notch filter unit
  • 702 is a notch frequency automatic adjustment unit.
  • the variable notch filter section 701 realizes a notch filter characteristic having a notch frequency obtained by the automatic notch frequency adjustment section 702, and obtains a signal yf by filtering the detected value ym.
  • FIG. 8 shows the k-th software processing in the variable notch filter unit 701 and the notch frequency automatic adjustment unit 702.
  • S801 the rotation condition command value Rr set in the rotation condition setting unit 108 and the resonance frequency of the driving device checked in advance are read, and in S802, a notch is performed based on the read information.
  • the frequency is obtained, and in S803, the notch frequency of the variable notch fill portion is adjusted based on the notch frequency.
  • the notch frequency can be adjusted in response to changes in the rotation conditions, etc., even when the rotation condition changes, and an appropriate filter song can always be realized.
  • the notch frequency automatic adjustment unit 702 determines the notch frequency based on the rotation condition command value Rr set by the rotation condition setting unit 108 and the resonance frequency of the driving device checked in advance. , And the notch frequency of the variable notch filter unit is adjusted.As shown in FIG. 9, the automatic notch frequency adjustment unit 901 captures the detected value ym and has the detected value ym. The power spectrum may be obtained, a frequency having a beak in the power spectrum distribution may be obtained, and the notch frequency of the variable notch filter unit may be adjusted based on the frequency. No. FIG. 10 shows the k-th software processing in the variable notch filter unit 701 and the automatic notch frequency adjusting unit 901.
  • the detected value ym is fetched.
  • the power spectrum of the detected value ym is calculated.
  • the frequency having a beak in the power spectrum is obtained.
  • the frequency of the variable notch filter portion is adjusted using the frequency as a notch frequency.
  • the processing may be performed by a dedicated hardware.
  • FIG. 11 is a view showing an electric discharge machining control system which is Embodiment 4 of the present invention.
  • 101, 102, 104 to 111 are the same as those shown in the first embodiment of the present invention.
  • state quantity y, detection value ym, target value r of machining state, difference signal e, additional trajectory command value Rv, rotation condition command value Rr, control amount Up, electrode operation amount Mp, machining pulse condition The meanings of the command value R s and the machining pulse operation amount M s are the same as those shown in the first embodiment of the present invention.
  • reference numeral 1201 denotes a cylindrical electrode having an electrode radius of r_e and an electrode center of Oe (x-Oe, y_0e), and rotates at the rotation center 0 (0, 0).
  • r—oe is the distance between the electrode center 0 e and the rotation center 0.
  • FIG. 14 is a diagram showing a k-th software process in the correction amount calculation unit 1101 and the control amount correction unit 1102 in FIG.
  • the actual eccentricity of the electrode can be measured.Based on the measured value, the eccentricity can be corrected only by changing the signal processing by using a conventional electrode drive device, and the processing during electrode rotation It is possible to stabilize the state. It should be noted that the method of obtaining r-oe and ⁇ is not limited to the above description, and the same correction of the electrode eccentricity can be performed by obtaining other methods.
  • Reference numeral 1501 denotes an eccentricity correction driving device, and an electrode operation amount M pc is obtained by adding an electrode operation amount by the electrode operation amount M p by the electrode driving device 109.
  • Embodiment 4 The same correction amount calculation unit 111 determines the correction amount Cp, and the correction amount is given as a control amount of the eccentricity correction driving device 1501. That is, apart from the electrode driving device 109, the eccentricity of the electrode is corrected by the eccentricity correction driving device 1501, which can drive the electrode in a relatively minute range in the XY directions.
  • the conventional electrode drive device high-speed response is difficult due to the large electrode drive range.
  • the eccentricity correction drive device the drive is in a delicate range, and high-speed response is easily realized. Therefore, with the above configuration, even when the electrode is rotated at a high speed, the eccentricity of the electrode can be accurately corrected.
  • the conventional gap control system This can be realized relatively easily, since signal processing only for correcting eccentricity may be performed independently of the above signal processing.
  • the eccentricity correction drive device is a device that can be driven in a relatively small range in the XY axis direction.
  • the electrode drive device and the eccentricity correction drive device have different coordinate axes, those devices can be used. If the coordinate relationship is clear, it is possible to correct the electrode eccentricity without any problem by performing coordinate conversion on the correction amount Cp.
  • the present invention is applied to an electric discharge machine and suppresses eccentricity of an electrode during electrode rotation and disturbance to a gap control system caused by mechanical resonance of an electrode drive system, and is effective in improving machining speed by stabilizing machining. is there.

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Description

明 細 放電加工制御方法および放電加工制御装置 技術分野
本発明は、 加工液中に電極と被加工物を配置し、 電極と被加工物の間に電圧 を印可して放電を発生させ加工を行う放電加工制御方法および放電加工制御装 置に関するものである。 背景技術
加工液中に電極と被加工物を配置し、 それらの間に電圧を印可し、 放電を発 生させ加工を行う放電加工機では、 安定な加工状態を維持するために電極と被 加物の距離を調整する極間制御系が構成されている。 第 1 6図は例えば「放電 加工のしくみと 1 0 0 %活用法」 （技術評論社） 、 P 8 8〜 9 0において説明 されている従来の極間制御系を含む加工制御系の構成を示す図である。 図にお いて、 1 0 1は放電加工プロセス、 1 0 2は加工状態放出部、 1 0 4は目標値 設定都、 1 0 5は差信号演算部、 1 0 6は制御量演算部、 1 0 7は加工軌跡設 定部、 1 0 8は回転条件設定部、 1 0 9は電極駆動装置、 1 1 0は加工パルス 条件設定部、 1 1 1は加工電源である。 また、 yは放電加工プロセス 1 0 1の 状態量、 ymは加工状態検出部 1 0 2により検出される状態量 yの検出値、 ： r は目標値設定部 1 0 4で設定されている加工状態の目標値、 eは差信号演算部 1 0 5より検出値 y mと目標値 rから求められる差信号、 R vは加工軌跡設定 部 1 0 7で設定されている加工軌跡指令値、 R rは回転条件設定部 1 0 8で設 定されている回転指令値、 U pは制御量演算部 1 0 6により差信号 eと加工軌 跡指令値 R Vから求められる制御量、 M pは電極駆動装置 1 0 9により制御量 Upおよび回転指令値 R rにもとづいて操作される電極操作量、 R sは加工パ ルス条件設定部 110で設定されている加工パルス条件指令値、 Msは加工電 源 111により指令値 Rsにもとづいて操作される加工パルス操作量である。 なお、 加工軌跡指令値 Rv、 制御量 Upは XYZ軸に対応するベクトル量、 回 転指令値 Rrは C軸の回転数および回転方向に対応するベクトル量、 電極駆動 装置 109は XYZ軸駆動装置および C軸回転装置であり、 電極操作量 Mpに より電極を C軸方向に回転させながら X Y Z軸方向に極間距離が制御される。 また、 加工パルス条件指令値 Rsはオープン電圧、 ピーク電流、 パルスオン夕 ィム、 パルスオフタイムなどからなる。
第 17図は従来の極間制御系の動作内容を示す図である。極間制御アルゴリ ズムの実行は一般にマイクロコンピュータによるソフトウエア処理で行われ、 図では k回目の処理を示している。 S 201は加工状態検出部 102の処理で あり、 放電加工プロセスの加工状態を、 例えば極間平均電圧 ym (k) として 検出する。 S 401は差信号演算部 105の処理であり、 極閧平均電圧の目標 値 rと該検出値 ym (k) から差信号 e (k) を求める。 S 1701は制御量 演算都 106の処理であり、 加工軌跡設定部 107で設定されている加工軌跡 指令値 Rvと該差信号 e (k)から制御量 Up (k)を求め、該制御量 Up (k) を電極駆動装置 110へ指令する。 Kpは比例ゲイン、 Kiは積分ゲインであ り、 一般によく知られている PI補償 （比例 +積分補償） により該検出値 ym (k) が該目標値 rと一致するように電極が操作される。
第 18図は従来の極間制御系における加工状態検出値のパワースベタトフム の様子を示す図であり、 いわば、 従来の極間制御系を有する放電加工機により 加工を行った際の加工状態検出部 102により検出された極間平均電圧 ym (k)のパワースペクトラム Pを求めたものである。 図において、 周波数 f い f 2、 f3にパワースペクトラムのピークが確認できるが、 これは電極の回転周 波数、 およびその高調波に対応するものである。 これらのパワースペクトラム のビークは、 電極回転による電極の偏心および給電ブラシ部分での電気的特性 変動によるものである。 第 1 9図は従来の極間制御系を用いた別の放電加工機 における加工状態検出値のパワースぺクトラムの様子を示す図であり、 いわば、 従来の極間制御系を有する別の放電加工機により加工を行った際の加工状態検 出部 1 0 2により検出された極間平均電圧 y m ( k ) のパワースペク トラム P を求めたものである。第 1 8図と比較すると周波数 f 4にパワースぺクトラムの ビークが現れる。 これは X Y Z軸駆動装置が持つ機械系の共振周波数に対応す るものである。 したがって、 機械系の共振周波数が複数ある場合には、 それに 対応して複数の周波数にパワースペクトラムのピークが現れる。 このように、 検出された極開平均電圧のパワースぺクトラムにいくつかのピークが発生する ことは、 そのビークを持つ周波数において極間制御系への外乱が存在しており、 その周波数で安定な加工状態が維持できていないことを示している。
以上のように電極を回転させながら加工を行う場合には、 電極の偏心が極間 距離の変動となり、 極間制御系への外乱となることから加工速度の低下を招く という問題を生じていた。 また、 加工電流は給電ブラシを介して加工電源より 電極へ供給するが、 電極回転に起因する給電ブラシ部分での電気的特性変動が 極間制御系への外乱となることから加工速度の低下を招くという間題を生じて いた。 さらに、 電極駆動装置に機械共振を有する場合には、 駆動装置への制御 量と実際の電極の動きが異なり、 適切な極間距離に制御できずに加工が不安定 となり、 加工速度の低下を招くという間題を生じていた。 発明の開示
本発明に係る第 1の放電加工制御方法は、 間隙の加工状態を検出し、 加工状 態の検出値をノヅチ周波数によりフィル夕リングし、 フィル夕リングによる出 力値と加工状態の設定値との差信号を演算し、 差信号と設定きれた電極の移動 値とから電極の移動を制御する制御量を演算し、 制御量により電極を所定方向 に移動させると共に被加工物との対抗面に垂直な回転軸を中心として回転させ るようにしたものである。 これにより、 極間制御系への外乱を抑えることがで き、 安定な加工状態を維持することにより加工速度を改善することができる。 本発明に係る第 2の放電加工制御方法は、 ノッチ周波数を、 電極の回転周波 数または電極の移動と回転を行わせる駆動系の機械共振周波数に応じて調整す るようにしたものである。 これにより、 電極回転時における電極の偏心や電気 的特性変動に起因する極間制御系への外乱を抑えることができ、 安定な加工状 態を維持することにより加工速度を改善することができる。
本発明に係る第 3の放電加工制御方法は、 間隙の加工状態を検出し、 加工状 態の検出値と加工状態の設定値との差信号を演算し、 差信号と設定された電極 の移動値とから電極の移動を制御する制御量を演算し、 電極の回転時における 偏心量を補正するための補正量を演算し、 上記制御量を上記補正量により補正 し、 補正きれた補正制御量により電極を所定方向に移動させると共に被加工物 との対抗面に垂直な回転軸を中心として回転させるようにしたものである。 こ れにより、 電極回転時における電極の偏心や電気的特性変動に起因する極間制 御系への外乱を抑えることができ、 安定な加工状態を維持することにより加工 速度を改善することができる。
本発明に係る第 4の放電加工制御装置は、 間隙の加工状態を検出する加工状 態検出部と、 加工状態検出部の検出値をノツチ周波数によりフィル夕リングす るノッチフィルタ部と、 ノッチフィル夕部の出力値と加工状態の設定値との差 信号を演算する差信号演算部と、 差信号と設定された電極の移動値とから電極 の移動を制御する制御量を演算する制御量演算部と、 制御量演算部から出力さ れた制御量により電極を所定方向に移動させると共に被加工物との対抗面に垂 99/58279 c
直な回転軸を中心として回転させる電極駆動部とを備えたものである。 これに より、 極間制御系への外乱を抑えることができ、 安定な加工状態を維持するこ とにより加工速度を改善することができる。
本発明に係る第 5の放電加工制御装置は、 電極の回転周波数または電極の移 動と回転を行わせる駆動系の機械共振周波数に基づきノッチ周波数を調整する ノッチ周波数自動調整部を備えたものである。 これにより、 電極回転時におけ る電極の偏心や電気的特性変動に起因する極間制御系への外乱を抑えることが でき 安定な加：！:状態を維持することにより加工速度を改善することができる。 本発明に係る第 6の放電加工制御装置は、 間隙の加工状態を検出する加工状 態検出部と、 加工状態検出部の検出値と加工状態の設定値との差信号を演算す る差信号演算部と、 差信号と設定された電極の移動値とから電極の移動を制御 する制御量を演算する制御量演算部と、 電極の回転時における偏心量を補正す るための補正量を演算する補正量演算部と、 制御量演算部からの制御量を補正 量演算部からの補正量により補正する制御量補正部と、 制御量補正部から出力 された補正制御量により電極を所定方向に移動させると共に被加工物との対抗 面に垂直な回転細を中心として回転させる電極駆動部とを備えたものである。 これにより、 電極回転時における電極の偏心や電気的特性変動に起因する極間 制御系への外乱を抑えることができ、 安定な加工状態を維持することにより加 ェ速度を改善することができる。 図面の簡単な説明
第 1図 (A)(B)は本発明の実施例 1である放電加工制御系を示すプロック図であ り、 第 2図 （A) は第 1図 (A)に示す極間制御系の動作を示すフロー図であり、 第 2図 (B)は第 2図 (A)と対応し、専用ハート、、 ウェアにより構成した図であり、 第 3図は本発明の実施例 2である放電加工制御系を示すプロック図であり 第 4図は第 3図に示す極間制御系の動作を示すフロ一図であり、 第 5図及び第 6 図は本発明の実施例 2における他の極間制御系の動作を示すフロー図であり、 第 7図は本発明の実施例 3である放電加工制御系を示すプロック図であり、 第 8図は本発明の実施例 3におけるノッチ周波数の自動調整の動作内容を示す図 であり、 第 9図は本発明の実施例 3における他の極間制御系の動作を示すプロ ック図であり、 第 1 0図は本発明の実施例 3に けるノッチ周波数の自動調整 の動作内容を示す図であり、 第 1 1図は本発明の実施例 4である放電加工制御 系を示すブロック図であり、 第 1 2図は本発明の実施例 4において電極中心と 電極の回転中心とが異なる場合を示す図であり、 第 1 3図は本発明の実施例 4 において電極を回転させた場合に観測される偏心の様子を示す図であり、 第 1 4図は第 1 1図において補正演算部、 制御量補正部の K回目のソフトウェア処 理を示すフロー図であり、 第 1 5図は本発明の実施例 5である放電加工制御系 を示すブロック図であり、 第 1 6図は従来の極間制御系を含む加工制御系の構 成を示すブロック図であり、 第 1 7図は従来の極間制御系の動作内容を示すフ ロー図であり、 第 1 8図は従来の極間制御系における加工状態検出値のパワー スぺクトラムの様子を示す図であり、 第 1 9図は従来の極間制御系を用いた他 の放電加工機における加工状態検出値のパワースぺクトラムの様子を示す図で 'ある。
発明を実施するための最良の形態
実施例 1
第 1図 . ( A ) は本発明の実施例 1である放電加工制御系を表す図である。 図 において、 1 0 1， 1 0 2， 1 0 4〜 1 1 1は従来例に示したものと同じであ る。 また、 状態量 y、 検出値 y m、 加工状態の目標値 r、 差信号 e、 加工軌跡 指令値 Rv、 回転条件指令値 Rr、 制御量 Up、 電極操作量 Mp、 加工パルス 条件指令値 R s、 加工パルス操作量 M sの意味するところは従来例に示したも のと同じである。 103はノヅチフィル夕部、 y fは検出値 ymをノヅチフィ ル夕部 103でフィル夕リング信号である。 第 2図は第 1図 （A) (B) に示 した極間制御系の動作内容を示す図である。 図では極間制御アルゴリズムをマ イク口コンビユー夕で実現した場合の k回目のソフトウエア処理を示している。 S 201は加工状態検出部 102の処理であり、 放電加工プロセスの加工状態 を例えば極閧平均電圧 ym (k) として検出する。 S 202はノッチフィル夕 部 103の処理であり、 検出値 ym (k) をフィル夕 F (z 1) によりフィル 夕リングして信号 yf (k) を求める。 フィルタ F (z_1) はノッチフィル夕 特性を有する一つあるいは二つ以上のフィル夕からなる。 フィル夕のノツチ周 波数は、 電極の回転周波数に対応するもの、 XYZ軸駆動装置の機械系の共振 周波数に対応するもののいずれか一つ、 あるいは電極の回転周波数に対応する ものと該回転周波数の高調波に対応するもの、 電極の回転周波数と X Y Z軸駆 動装置の機械系の共振周波数に対応するもの、 電極の回転周波数と該回転周波 数の高調波と X Y Z軸駆動装置の機械系の共振周波数に対応するもの、 X Y Z 軸駆動装置の機械系の二つ以上の共振周波数に対応するもののいずれかにおけ る二つ以上である。 S 203は差信号演算部 105の処理であり、 極間平均電 圧の目標値 rとフィル夕リングされた信号 yf (k) から差信号 e (k) を求 める。 S 204は制御量演算部 106の処理であり、 該差倍号 e (k) に積分 +比例補償を施して信号 u (k) を求め、 該信号 u (k) に該加工軌跡設定部 107に設定された加工軌跡指令値 Rvをかけることにより制御量 Up (k) を求める。 いま、 Up (k) = (up— x (k) , up— y (k) ， up-z (k) )、 Rv= (rv— x, r v_y3 r v_z) とすると、 制御量 Up (k) は以下のような式 （1) (2) (3) で求められる。 求められた該制御量 Up (k) は電極駆動装置 1 10に与えられる < ,で、 Kpは比例ゲイン、 Κ は積分ゲインである。
,，、 rv ...
up χ(κ ) = -；——-u{k) •(1)
\Rv
Figure imgf000010_0001
,ハ —
up z(k) =―.—— T-u{k) •(3)
以上のように、 加工状態の検出値をフィル夕リングすることにより電極回転 による電極の偏心、 給電ブラシ部の電気的特性変動、 駆動装置が持つ機域系の 共振が、 極間制御系に外乱として作用することを抑制することが可能となる。 なお、 以上はソフトウェア処置される場合について説明したが、 専用ハード ウェアにより第 1図 （B) 構成してもよい。
第 1図 （B) において、 Pi Pgはオペアンプ、 1^〜1 5は抵抗、 Ci Cg はコンデンサであり、 これらの素子により、 ノヅチフィル夕を構成している。 ノッチフィルタのノッチ周波数 fNは次式 （4) 〜 （6) により決めることが できる。
i?1 =i?22R2 •(4) し i 一し 3一 ,(5)
4π fNR2
2CX = C2 (6)
ただし
1
2JTC,R、 例えば、 1000 rpmで電極が回転している場合、
Figure imgf000011_0001
に設定すると、 上記よりノッチ周波数は f N= 16.7Hgとなる。
実施例 2
第 3図は実施例 2である放電加工制御系を表す図である。 図において 10 1 〜1 1 1は本発明の実施の形態 1に示したものと同じである。 また、 状態量 y、 検出値 ym、 加工状態の目標値 r、 差信号 e、 加工軌跡指令値 Rv、 回転条件 指令値 Rr、 制御量 Up、 電極操作量 Mp、 加工パルス条件指令値 R s、 加工 パルス操作量 Msの意味するところは実施の形態 1に示したものと同じである。 e fは差信号 eをノッチフィルタ部 103でフィルタリングした信号である。 第 4図は第 3図に示した極間制御系の動作内容を示す図である。 図では極間制 御アルゴリズムをマイクロコンピュー夕で実現した場合の k回目のソフトゥェ ァ処理を示している。 S 20 1は加工状態検出都 102の処理であり、 実施の 形態 1に示したものと同じである。 S40 1は差信号演算部 105の処理であ り、 極間平均電圧の目標値 rと検出値 ym (k) から差信号 e (k) を求める。 S 402はノツチフィル夕部 103の処理であり、 差信号 e (k) をフィル夕 F (z 1)によりフィル夕リングして信号 e f (k) を求める。 フィルタ F (z -1)はノヅチフィル夕特性を有する一つあるいは二つ以上のフィル夕からなる。 S 403は制御量演算部 106の処理であり、 信号 e f (k) に積分 +比例補 償を施して信号 u (k) を求め、 該信号 u (k) に該加工軌跡設定部 107に 設定された加工軌跡指令値 Rvをかけることにより制御量 Up (k) を求める。 ここで、 Kpは比例ゲイン、 K iは積分ゲインである。
上記実施例では、 差信号 e (k) をフィル夕 F (z"1) によりフィルタリン グして信号 ef (k) を求めたが、 差信号 e (k) をフィル夕リングするのに 替えて、 第 5図に示すように制御量 Up (k) = (up— x (k) , up— y (k) , up— z (k) ) を求めた後、 それぞれの制御量に対してフィルタリ ングを行ってもよい。 すなわち、 S 501に示すように up一 X (k) ， up _y (k) , up— ζ (k) にフィル夕リングを行い、 up— X (k) , up _y (k) , up— z (k) を XYZ軸駆動装置への制御量とする。 ここで、 フィル夕 F (z_1) はノッチフィル夕特性を有する一つあるいは二つ以上のフ ィル夕からなる。
また、 ノツチフィル夕部のノツチフィル夕の周波数が電極または被加工物の 駆動装置が有する共根周波数である場合には、 差信号 e (k) をフィル夕リン グするのに替えて、 制御量 Up (k) = (up— x (k) , up— y (k) , up— z (k) ) を求めた後、 共振を有する軸の制御量に対してのみフィル夕 ソングしてもよい。 たとえば、 第 6図の S 601に示すのは、 X細駆動装置に 共振がある場合であり、 up (k) にフィルタリングを行い、 up— xf (k) を X軸駆動装置への制御量とする。 ここで、 フィル夕 G (z— 1) はノッチフィ ル夕特性を有する一つあるいは二つ以上のフィル夕からなる。
以上のように、 差信号 e (k)、 あるいは制御量 Up (k) をフィル夕リン グすることにより、 電極回転による電極の偏心、 給電ブラシの電気的特性変動、 駆動装置が持つ機械系の共振が極間制御系に外乱として作用することを抑制ナ ることが可能となる。 また、 機械系の共振に対しては、 その共振を有する軸の 制御量にのみフィル夕リングすることにより、 極間制御での不必要な位相遅れ の發生を逃れることができ、 極間制御系の安定性において有利である。
なお、 以上はソフトウェア処置される場合について説明したが、 専用ハード ウェアにより構成してもよい。
実施例 3. 第 7図は実施例 3である放電加工制御系を表す図である。 図において、 1 0 1 , 1 0 2， 1 0 4〜1 1 1は本発明の実施の形態 1に示したものと同じであ る。 また、 状態量 y、 放出値 ym、 フィル夕リングした y f、 加工状態の目標 値 r、 差信号 e、 加工軌跡指令値 R v、 回転条件指令値 R r、 制御量 U p、 電 極操作量 M p、 加工パルス条件指令値 R s、 加工パルス操作量 M sの意味する ところは本発明の実施の形態 1に示したものと同じである。 7 0 1は可変ノッ チフィルタ部、 7 0 2はノッチ周波数自動調整部である。 可変ノッチフィル夕 部 7 0 1は、 ノッチ周波数自動調整部 7 0 2により求められるノッチ周波数を 有するノッチフィルタ特性を実現し、 検出値 y mをフィル夕リングすることに より信号 y f を求める。 第 8図には可変ノツチフィル夕部 7 0 1およぴノツチ 周波数自動調整部 7 0 2における k回目のソフトウエア処理を示す。 S 8 0 1 では回転条件設定部 1 0 8で設定される回転条件指令値 R rや予め調べておい た駆動装置が有する共振周波数を読み込み、 S 8 0 2ではその読み込んだ情報 にもとづいてノヅチ周波数を求め、 S 8 0 3では該ノヅチ周波数にもとづいて 可変ノッチフィル夕部のノッチ周波数の調整を行う。
以上のように横成することにより、 回転条件などが変化した場合にも、 それ に対応してノツチ周波数を調整することができ、 常に適切なフィルタソングを 実現できる。
以上の実施の例では、 ノツチ周波数自動調整部 7 0 2が回転条件設定部 1 0 8で設定される回転条件指令値 R rや予め調べておいた駆動装置が有する共振 周波数にもとづいてノヅチ周波数を求め、 可変ノツチフィルタ部のノツチ周波 数の調整を行うようにしたが、 図 9に示すように、 ノッチ周波数自動調整部 9 0 1においては、 検出値 ymを取り込み、 該検出値 ymが持つパワースべクト ラムを求め、 該パワースペクトラムの分布でビークを有する周波数を求め、 該 周波数にもとづいて可変ノツチフィルタ部のノツチ周波数の調整を行ってもよ い。 第 1 0図には可変ノツチフィルタ部 7 0 1およびノツチ周波数自動調整部 9 0 1における k回目のソフトウエア処理を示す。 S 1 0 0 1では検出値 ym を取り込み、 S 1 0 0 2では該検出値 ymのパワースペクトラムを計算し、 s 1 0 0 3では該パワースぺクトラムにおいてビークをもつ周波数を求め、 S 8 0 3では該周波数をノツチ周波数として可変ノツチフィル夕部の周波数の調整 を行う。
以上のように構成することにより、 予め機械系の共振周波数を調べる必要も なく、 また回転条件を調べる必要もなく、 さらにそれらが変化した場合にも、 それに対応してノツチ周波数を自動的整することができ、 常に適切なフィルタ リングを実現できる。
また、 上記説明では、 フィル夕リングを検出値 ymに行う場合について述べ たが、 フィル夕リングを差信号 eに行う場合や駆動装置の制御量に行う場合に も、 同様の構成を取ることができる。
なお、 以上はソフトウェア処置される場合について説明したが、 専用ハード ゥヱァにより構成してもよい。
実施例 4
第 1 1図は本発明の実施例 4である放電加工制御系を表す図である。 図にお いて、 1 0 1， 1 0 2， 1 0 4〜1 1 1は本発明の実施例 1に示したものと同 じである。 また、 状態量 y、 検出値 ym、 加工状態の目標値 r、 差信号 e、 加 ェ軌跡指令値 R v、 回転条件指令値 R r、 制御量 U p、 電極操作量 M p、 加工 パルス条件指令値 R s、 加工パルス操作量 M sの意味するところは本発明の実 施例 1に示したものと同じである。 1 1 0 1は補正量演昇部、 1 1 0 2は制御 量補正部であり、 は実際の電極の回転角度、 C pは該回転角 6>をもとに補正 量演算部 1 1 0 1により求められた補正量、 U p cは制御量 U pを該補正量 C pにより補正して求めた電極駆動装置 1 0 9への制御量である。 W
13
いま、 円柱電極を回転させながら行う加工において、 電極中心と電極の回転 中心とが異なり電極が偏心している場合について考える。 第 12図において、 1201は電極半径が r_e、 電極中心が Oe (x一 Oe， y_0 e ) の円柱 電極であり、 回転中心 0 (0， 0) で回転する。 電極を 2回転させ、 偏心の状 況を X軸との交点 pで観測すると、 定常成分を除いて第 13図のようになる。 図では、 r— o eは電極中心 0 eと回転中心 0との距離である。
第 14図は図 11における補正量演算部 1101、 制御量補正部 1102に おける k回目のソフトウエア処理を示す図である。 S 1401では電極の偏心 を補正するためのデ一夕をすでに持っているかどうかを判断する。 補正デ一夕 を持っていない場合には S 1402へ進み、 電極の回転角度 0と点 Pでの変位 量 Lとの関係を測定する。 S 1403では測定結果より r— o cを求める。 S 1404では電極を 0か 360° へ回転させたとき、 変位量 Lが最初に減少す るかどうかを判断する。 もし、 減少しない場合には S 1406へ進み、 変位量 Lが最大となる 0maxを求め、 ø =— 0max とする。 一方、 減少する場合 には S 1406へ進み、 変位量 Lが最小となる Smi nを求め、 0 = 0min =ー180° とする。 以上により、 r— o cおよび øが求まるが、 これらの処 理は電極を取り付けた後、 実際の加工を行う前に行うものである。 したがって、 加工中には S 1401で補正デ一夕を持っていると判断され、 S 1407へ進 み、 回転角 0を検出する。 S 1408では検出された回転角 0 (k)、 および r_o cs øより補正量 Cp= ( c p -X (k) ， c p-y (k) ) を求める。 S 1409では制御量 Upを該補正量 Cpにより補正して制御量 Up cを求め る。 制御量 Upは、 従来例と同様な方法で求められたものである。
以上のように構成することにより、 実際の電極の偏心を実測でき、 その実測 値をもとに従来の電極駆動装置を用いることにより信号処理の変更だけで偏心 を補正でき、 電極回転時の加工状態の安定化を図ることが可能となる。 なお、 r一 o eおよび øの求め方は、 上記説明に限定されるものでなく、 そ の他の方法で求めても同様の電極偏心の補正を行うことが可能である。
以上の実施の形態では、 r— 0 eと øを用いて偏心補正のデ一夕を数式によ り求めるようにしたが、 第 1 3図の測定デ一夕から偏心補正のためのデ一夕テ —ブルを構成し、 実際の電極の回転角度 0にもとづいてデータテーブルを参照 し、 制御量 U p cを求めてもよい。
実施例 5 .
第 1 5図は本発明の実施例 5である放電加工制御系を表す図である。 図にお いて、 1 0 1 , 1 0 2 , 1 0 4〜1 1 1は本発明の実施例 1に示したものと、 1 1 0 1は本発明の実施例 4に示したもと同じである。 また、 状態量 y、 検出 値 y m、 加工状態の目標値 r、 差信号 e、 加工軌跡指令値 R v、 回転条件指令 値 R r、 制御量 U p、 電極操作量 M p、 加工パルス条件指令値 R s、 加工パル ス操作量 M sの意味するところは本発明の実施例 1に示したものと、 電極の回 転角度 Θ、 補正量 C pの意味するところは本発明の実施例 4に示したものと同 じである。 1 5 0 1は偏心補正駆動装置であり、 電極操作量 M p cは電極駆動 装置 1 0 9による電極操作量 M pによる電極操作量を加えたものである。 次に、 動作について説明する。 実施例 4同じ補正量演算部 1 1 0 1は該補正 量 C pを求め、 該補正量は偏心補正駆動装置 1 5 0 1の制御量として与えられ る。 すなわち、 電極駆動装置 1 0 9とは別に、 電極を X Y軸方向に比較的微小 な範囲で駆動できる偏心補正駆動装置 1 5 0 1により、 電極の偏心量を補正す るものである。
従来の電極駆動装置では、 電極駆動範囲を大きく取るため高速応答が困難で あるが、 偏心補正駆動装置では微妙な範囲の駆動であり、 高速応答が実現し易 い。 したがって、 以上のように構成することにより、 電極を高速回転する場合 にも電極の偏心を正確に補正することが可能.となる。 また、 従来の極間制御系 の信号処理とは独立に、 偏心を補正するだけの信号処理を行えばよいことから 比較的容易に実現できる。
以上の実施例では、 偏心補正駆勒装置を X Y軸方向に比較的微小な範囲で駆 動できる装置としたが、 電極駆動装置と偏心補正駆動装置との座標軸が異なつ ていても、 それらの座標関係が明かであれば、 補正量 C pに座標変換を施すこ とにより、 問題なく電極の偏心量を補正することが可能である。 産業上の利用性
本発明は放電加工装置に適用され、 電極回転時における電極の偏心、 電極の 駆動系の機械共振に起因する極間制御系への外乱を抑え、 加工の安定化による 加工速度の改善に効果がある。

Claims

請求の範囲
1 . 加工液中に電極と被加工物を所定の間隙で対抗させて配置すると共に間隙 に電圧を印加して放電を発生させ被加工物を加工する放電加工方法において、 間隙の加工状態を検出し、 加工状態の検出値をノツチ周波数によりフィルタリ ングし、 フィルタリングによる出力値と加工状態の設定値との差信号を演算し、 差信号と設定された電極の移動値とから電極の移動を制御する制御量を演算し、 制御量により電極を所定方向に移動させると共に被加工物との対抗面に垂直な 回転軸を中心として回転させるようにした放電加工制御方法。
2 . ノッチ周波数を、 電極の回転周波数または電極の移動と回転を行わせる駆 動系の機械共振周波数に応じて調整する請求の範囲第 1項に記載の放電加工制 御方法。
3 . 加工液中に電極と被加工物を所定間隙で対抗させて配置すると共に間隙に 電圧を印加して放電を発生させ被加工物を加工する放電加工方法において、 間 隙の加工状態を検出し、 加工状態の検出値と加工状態の設定値との差信号を演 算し、 差信号と設定された電極の移動値とから電極の移動を制御する制御量を 演算し、 電極の回転時における偏心量を補正するための補正量を演算し、 上記 制御量を上記補正量により補正し、 補正された補正制御量により電極を所定方 向に移動させると共に被加工物との対抗面に垂直な回転軸を中心として回転さ せるようにした放電加工制御方法。
4 . 加工液中に電極と被加工物を所定間隙で対抗させて配置すると共に間隙に 電圧印加して放電を発生させ被加工物を加工する放電加工装置において、 間隙 の加工状態を検出する加工状態検出部と、 加工状態検出部の検出値をノツチ周 波数によりフィル夕リングするノツチフィル夕部と、 ノツチフィル夕部の出力 値と加工状態の設定値との差信号を演算する差信号演算部と、 差信号と設定さ れた電極の移動値とから電極の移動を制御する制御量を演算する制御量演算部 と、 制御量演算部から出力された制御量により電極を所定方向に移動させると 共に被加工物との対抗面に垂直な回転軸を中心として回転させる電極駆動部と を備えた放電加工制御装置。
5 . 電極の回転周波数または電極の移動と回転を行わせる駆動系の機械共振周 波数に基づきノッチ周波数を調整するノツチ周波数自動調整部を備えた請求の 範囲第 4項に記載の放電加工制御装置。
6 . 加工液中に電極と被加工物を所定間隙で対抗させて配置すると共に間隙に 電圧を印加して放電を発生させ被加工物を加工する放電加工装置において、 間 隙の加工状態を検出する加工状態検出部と、 加工状態検出部の検出値と加工状 態の設定値との差信号を演算する差信号演算部と、 差信号と設定きれた電極の 移動値とから電極の移動を制御する制御量を演算する制御量演算部と、 電極の 回転時における偏心量を補正するための補正量を演算する補正量演算部と、 制 御量演算部からの制御量を補正量演算部からの補正量により補正する制御量補 正部と、 制御量補正部から出力された補正制御量により電極を所定方向に移動 させると共に被加工物との対抗面に垂直な回転軸を中心として回転させる電極 躯動部とを備えた放電加工制御装置。
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