TW453926B - Method and device for controlling electrical discharge processing - Google Patents

Description

453 92 6 五、發明說明（1) [技術領域] 本發明為關於將電極與被加工物配置在加上液中，施 加電壓於電極與被加工物之間使其發生放電以實行加上的 放電加工控制方法及放電加工控制裝置。 [背景技術]

對於在加工液中配置電極與被加工物，於其間施加電 壓使其發生放電而實行加工的放電加工機，為維持其安定 的加工狀態構成有用以調整電極與被加工物之距離的極間 控制系。第16圖表示例如於「放電加工的構成及其1〇〇%活 用法」（技術評論社）第88至90頁所說明之習用的含有極間 控制系之加工控制系的構成圖。圖中1〇1為放電加工作 業，102加工狀態檢出部，1〇4為目標值設定部，為差 訊號演算部，106為控制量演算部，1〇7為加工執跡設定 部，108為旋轉條件設定部，1〇9為電極驅動裝置，11〇為 加工脈衝條件設定部’111為加工電源。又，y為放電加工 作業101的狀態量，ym為由加工狀態檢出部1〇2檢出的狀態 量y的檢出值，r為於目標值設定部1〇4設定之加工狀態的 目標值，e為由差訊號演算部1〇5依據檢出值ym與目標值犷 求得之差訊號，Rv為於加工軌跡設定部1〇7設定的加工執 跡指令值，Rr為於旋轉條件設定部1〇8設定的旋轉指令 值，Up為由控制量演算部1〇6依據差訊號e與加工軌跡指令 值Rv求得之控制量，Mp為由電極驅動裝置1〇9依據控制量 Up與旋轉指令值Rr所操作之電極操作量，Rs為於加工脈衝 條件設定部110設定之加工脈衝條件指令值，心為由加工

453 92 6 五、發明說明（2) — -- 電源111依據指令值Rs所操作之加工脈衝操作量。又加 工軌跡指令值Rv，控制量卟為對應於χγζ軸的向量，旋 指令值Rr為對應於C軸的旋轉數及旋轉方向的向量， 驅動裝置109為XYZ轴驅動裝置及c軸旋轉裝置，而為由 極操作量MP使電極旋轉於c軸方向以控制極間距離於χγ 方向。加工脈衝條件指令值“由開路電壓，尖峯電流， 衝導通時間，脈衝斷通時間構成。 ^第17圖表示習用的極間控制系的動作内容。極間控制 演算的實行一般為由徵電腦以其軟體處理實施，圖中表示 第k次的處理eS2〇i為加工狀態檢出部1〇2的處理，例如^ 將放電加工作業的加工狀態以極間平均電壓檢出。 S401為差訊號演算部105的處理，由極間平均電壓的目標 與上述檢出值ym(k)求得差訊號e(k) dS17〇1為控制^ 演算部106的處理，由加工軌跡設定部1〇7設定之加工軌跡 指令值Rv與上述差訊號e(k)求得控制量Up(k)，並以該控 制量Up(k)而指令於電極驅動裝置11()〇 Kp為比例增益，

Ki為積分增益，由一般熟知的Ρί補償（比例+積分 操作電極以供上述檢出值ym(k)與目標值[為一致。 第18圖表示習用之極間控制系之加工狀態檢出值的電 力譜狀態。亦即為以具有習用的極間控制系的放電加工機 實行加工時由加工狀態檢出部1〇2檢出之極間平均電藶 ym(k)求得的電力譜p »如圖所示，於頻率^、ll處確 認有電力譜的尖峯，其為對應於電極的旋轉頻率及其高諧 波。該等由力譜的尖輋係由於電極旋轉時之電極的偏心及

453926 五、發明說明（3) 供電刷部分之電氣特性的變動。第19圖表示應用習用之極 間控制系之另一放電加工機的加工狀態檢出值之電力譜狀 ，，亦即為以具有習用的極間控制系之另一放電加工機實 行力Γ工時由加工狀態檢出部檢出之極間平均電壓ym(k) 求，的電力譜P。與第18圖比較則於頻率。出現有電力譜 的尖峯。此為對應於具有χγζ軸驅動裝置的機械系之諧振 頻率。因此於具有複數的機械系之諧振頻率時，則對應該 複數的頻率將出現複數的電力譜尖峯。如上述之所檢出的 極間平均電壓之電力譜會出現多數的尖峯時，意味著於發 生尖峯的頻率時存在有對於極間控制系的外亂，表示於該 等頻率不能維持安定的加工狀態。 如上所述於旋轉著電極實施加工時，電極的偏心形成 極間距離的變動，由以構成對極間控制系的外亂而產生招 致減低加工速度的問題。又加工電流為由加工電源介經供 電刷供給於電極，因此以電極旋轉為起因之供電刷部分的 電氣特性變動亦成為對於極間控制系的外亂而招致減低加 工速度的問題。再則對於電極驅動裝置存在有機械諧振 時’對於驅動裝置的控制量不同於實際電極的異動量，盔

法控制成適切的極間距離以致產生加工不安定而招來減低 加工速度的問題。 [發明的開示] 本發明的第1之放電加工控制方法，為由檢出間隙的 加工狀態’對於加工狀態的檢出值實行依陷波頻率 (knotch frequency)的濾波，演算經濾波的輸出值與加工

C:\Program Files\P^tent\310609.ptd 第6頁 453926 五、發明說明（4) 狀態之設定值間的差訊號，由差訊號與所設定之電極的移 動值演算用以控制電極之移動的控制量，而以該控制量使 電極移動於預定方向並以對於被加工物的對抗面為垂直的 旋轉軸為中心而旋轉者。以上述方法可抑制對於極間控制 系的外亂，維持安定的加工狀態而可改善加工速度。

本發明的第2之放電加工控制方法，為將陷波頻率對 應於電極的旋轉頻率或使電極移動及旋轉之驅動系的機械 諧振頻率予以調整者。由該方法可抑制於電極旋轉時以電 極之偏心及電氣特性的變動為起因之對於極間控制系的外 亂*維持安定的加工狀態而可改善加工速度D 本發明的第3之放電加工控制方法，為由檢出間隙的 加工狀態’演算加工狀態的檢出值與加工狀態的設定值之 間的差訊號’由差訊號及所設定的電極之移動值而演算用 以控制電極之移動的控制量，演算用以修正電極旋轉時之 偏心量的修正量，將上述控制量用上述修正量予以修正， 以經修正的修正控制量使電極移動於預定方向並以對於被 加工物的對抗面為垂直的旋轉軸為中心而旋轉者。依設方 法可抑制於電極旋轉時以電極之偏心及電氣特性的變動為 起因之對於極間控制系的外亂，維持安定的加工狀態而可 改善加工速度。 本發明的第4之放電加工控制裝置，為具備檢虫間隙 的加工狀態的加工狀態檢出部，以陷波頻率對加工狀態檢 出部之檢出值實施遽波的陷波濾波器（knotch filter)_ 部’演算陷波濾波器部之輸出值與加工狀態之設定值間之

C:\Program Files\Patent\3 l〇609.ptd 第7頁 4 53 92 6 五、發明說明（5) 差訊號的差訊號演算部，由差訊號與所設定之電極的移動 值演算用以控制電極之移動的控制量之控制量演算部，以 及用控制量演算部輸出之控制量使電極移動於預定方向並 以對於被加工物的對抗面為垂直的旋轉軸為中心而旋轉的 電極驅動部者。依該裝置可抑制對於極間控制系的外亂， 維持安定的加工狀態而可改善加工速度。 本發明的第5之放電加工控制裝置，為具備依據電極 的旋轉頻率或使電極移動及旋轉之驅動系的機械諧振頻率 將陷波頻率予以調整之陷波頻率自動調整部者，β依該裝置 可抑制於電極旋轉時以電極之偏心及電氣特性的變動為起 因之對於極間控制系的外亂，維持安定的加工狀態而可改 善加工速度。 w 本發 的加工狀 出值與加 差訊號與 的控制量 心量的修 對於控制 及以桎制 向益對於 的電極驅 偏心及電 維持安定 明的第6之放電加工控制裝置，為具備檢出間隙 態的加工狀態檢出部，演算加工狀態檢出部的檢 工狀態的設定值間之差訊號的差訊號演算部，由 所設定之電極的移動值演算用以控制電極之移動 之控制量演算部，演算用以修正電極旋轉時之 正量之修正量演算部，以修正量演算部的修正 量演算部的控制量實行修正的控制量修正部， 量修正部輸出之修正控制量使電極移動於預 被加工物的對抗面為垂直的旋轉軸為中心而旋 動部者。依該裝置可抑制於電極旋轉以 氣特性的變動為起因之對於# Μ _ μ & 冤極之 <對於極間控制系的外謝 的加工狀態而可改善加工速度。

4 53 92 6

[實施發明的最佳形態] 實施例1 第1圖（A)表示本發明之實施例i的放電加工控制系。 圖中’101、102、104至111為與習用例所示相同。又、狀態 量y，檢出值yin，加工狀態的目標值r，差訊號e，加工執9 跡指令值Rv，旋轉條件指令值計，控制量“，電極操作量 Mp ’加工脈衝條件指令值rs，加工脈衝操作量Ms所意味者 、 亦為與習用例相同。103為陷波濾波器部，yf為將檢出值 : ym經陷波濾波器部103濾波的濾波訊號β第2圖表示第丨圖 (A )(Β )所示極間控制系的動作内容。該圖表示極間控制演 算為由微電腦實現之第k次的軟體處理《S201為加工狀態 檢出部1 02的處理，將放電加工作業的加工狀態例如以^ 間平均電壓ym(k)檢出。S202為陷波濾波器部103的處理， 將檢出值ym( k )由濾波器F (z1)濾波而得訊號y f (k )。遽波 器F C z_1)為由具有陷波渡波特性之一個或二個以上的渡波 器形成。滤波器的陷波頻率為對應於電極之旋轉頻率與對 應於XY Z軸驅動裝置之機械系的諧振頻率任一，或對應於 電極的旋轉頻率及對應於該旋轉頻率之高諧波，對應於電 極的旋轉頻率與XYZ軸驅動裝置之機械系的諧振頻率，對 應於電極的旋轉頻率與該旋轉頻率之高諧波及XYZ轴驅動 0 裝置之機械系的諧振頻率，以及對應於XYZ軸驅動裝置之 機械系之二個以上的諧振頻率之任一的兩個以上者。S203 為差訊號演算部105的處理，由極間平均電壓的目標值r與 經濾波之訊號yf (k)求出差訊號e(k)。S204為控制量演算

C:\Program Files\Patent\310609.ptd 第9頁 4 53 92 6

Pc^^/| B έ號 8810T

年4月/ / a 修正 部1〇β的處理，對於該差訊號e(k)實行積分+比例補憤以求 得訊號’對於訊號u(k)乘以該加工軌跡設定部107所 設定之加工執跡指令值Rv而求得控制量Up(k)。如設up(k) = Cup_x(k)，y.P„y(k) » u£_z(k) » Rv = (rv_x，rv_y， rv_z)，則松制量Up 00可由如下:Kj ) (2)(3)式求得。求 得的該控制量Up (k)為供給於電極驅動裝置n〇e於此之Kp 為比例增益’ Ki為積分增益。 rv_x up = :x ( k) — i Rv 1 u(k) …··· （ 1 ) UP = rv_v ......(2 ) v λ- ^ 1 Rv 1 u(k) up = rv^z ......(3 ) J、z y -- '1 Rv 1 u(k) 如上所述’由於對加工狀態的檢出值實行濾波可抑制 以鼇極旋轉構成之電極的偏心，供電刷部之電氣特性的變 動，驅動装置具有的機械系的諧振為尨因所形成之對於極 間.控制系的外亂。 又以上為就軟體處理的狀態做説明，然亦可如第2圖 (B)構成專用的硬體亦可。 第2圖（B)中’ PiJLPs為運算放大箭（operational ampl if ier) ’ 1至R5為電阻’ q至c3為電容器，以該等元件

453 92 6 五、發明說明（8) 構成陷波濾波器。 陷波濾波器的陷波類率fN可由次式（4)至（6)決定β

Ri = R22R2 ......(4 ) 1 C1 C3 ......(5 ) 4 π fNR2 2Ci = C2 ......(6 ) 上式中，fNS — 2 0^2 例如電極為以lOOOrpffl旋轉時，如設定： C】 = C3 = 0· 22 ，0^ = 2(^ = 0. 44 j«F ， R! = R3 ^43. 4K Ω > R2 = 1/2R, =21. 7Κ Ω 則由上述陷波頻率fN %16. 7Ηζ。 實施例2 第3圖表示實施例2的放電加工控制系。圖中1 〇 1至i j工 與本發明之實施例1所示相同。又狀態量y，檢出值ym，加 工狀態的目標值r，差訊號e，加工軌跡指令值Rv，旋轉條 件指令值Rr，控制量Up ’電極操作量Mp，加工脈衝條件指 令值Rs，加工脈衝操作量Ms所意味者亦為與實施例1所示 相同。ef為對於差訊號e經陷波濾波器部1〇3濾波的訊號。 第4圖表示第3圖之極間控制系的動作内容。該圖表示極間 控制演算為以微電腦實現之第k次的軟體處理。S201為加 工狀態檢出部102的處理，為與實施例1所示相同。S4〇1為

C:\Program Files\Patent\310609.ptd 第11頁 453 92 6

i I 發明說明（9) 差訊號演算部105的處理，由極間平均電壓的目標值r與檢 出值ym(k)求出差訊號e〇〇。S402為陷波濾波器部1〇3的處 理’將差訊號e(k)經由濾波器F(z-1)濾波而得訊號ef(k)。 濾波器F (ζ-1)為具有陷波特性之一個或二個以上的濾波器 形成。S403為控制量演算部106的處理，對訊號ef (k)實行 積分+比例補償而求得訊號u(k)，對於該訊號u(k)乘以設 定在該加工軌跡設定部107之加工軌跡指令值RV而求得控 制量up(k)。於此之Kp為比例增益，Ki為積分增益。 上述實施例中為對於差訊號e(k)用濾波器F(zi)實行 濾波以求得訊號ef(k)，然代替對差訊號e(k)實行濾波， 可如第5圖所示於求得控制量卟（1〇 =(叩—^(}〇，叩— y(k) ’up_z(k))之後’對於各個的控制量實行濾波亦 可。即如’於S501 所示對於up __X ( k) 5 up —y ( k ) 5 up z(k)實行遽波’以up —x ( k ) » up 一y(k)，up 一z(k)做為對 於XYZ軸驅動裝置的控制量。於此之濾波器p(z-i)為由具有 陷波濾波器特性之一個或二個以上的濾波器所構成。

又於陷波濾波器部之陷波濾波器的頻率為電極或被加 工物之驅動裝置所具有的諧振頻率時，代替對於差訊號 e(k)實行慮波’可於求得控制量Up(k) = (up —x(k)，up y(k) ’up—z(k))之後’只對於具有諧振之軸的控制量實 行濾波亦可。例如第6圖之S601所示為於X軸驅動裝置存在 有諧振的狀態，則對up(k)實行濾波，以up—(k)當做χ 轴驅動裝置的控制量。於此之濾波器G(ζ1)為具有陷波濾 波特性之一個或二個以上的濾波器所構成。

C:\Program Files\P^tent\310609.ptd 第12胃 五、發明說明（10) 如上所述，由對於差訊號e(k)，或控制量卟“）實行 ?’？可抑制因電極旋轉構成之電極的偏心，供電刷之電 丨’驅動裝置具有的機械系的諧振等作用為對於 極間控制系的外亂。又對於機械系的諧振可由只對於存在 諧振之軸的控制量實行濾波而可避免在極間控制上不必要 的相位延遲，因而對於極間控制系的安定性更為有利。 以上為就軟體處理的狀態做說明，然由專用的硬體 成亦可。 實施例3 第7圖表示實施例3之放電加工控制系^圖中1〇1、 102 至111與本發明之實施例1所示相同。又狀態量 y，檢出值ym，經濾波的訊號yf ’加工狀態的目標值犷，差 訊號e，加工執跡指令.Rv，旋轉條件指令值計，控制量 ϋρ，電極搡作量MP，加工脈衝條件指令值Rs，加工脈衝操 作量Ms所意味者為與本發明之實施例1相同。？〇1為可變陷 波濾波器部，702為陷波頻率自動調整部。可變陷波濾波 器部701實現對於具有陷波頻率自動調整部7〇2所求得之陷 波頻率的陷波濾波特性，對於檢出值ym實行濾波以求得訊 號yf。第8圖表示可變陷波濾波器部7〇1及陷波頻率自動調 整部702之第fc次的軟體處理qS8〇1讀入錢轉條件設定部 1 08所設定的旋轉條件指令值Rr及預先查出之驅動裝置具 有的譜振頻率’S802依所讀入的資訊求出陷波頻率，S8“ 依據該陷波頻率調整可變陷波濾波器部的陷波頻率。 由以上的構成，即使於旋轉條件等發生變化時亦可

453926 五、發明說明（11) 對應以調整陷波頻率’因此可經常實現適切的濾波。 以上的實施例’其陷波頻率自動調整部702為依據旋. 轉條件設定部1 08所設定的旋轉條件指令值Rr及預先查出 之驅動裝置具有的諧振頻率求出陷波頻率，由此對可變陷 波遽器部的陷波頻率予以實行調整，然如第9圖所示於陷 波頻率自動調整部901輸入檢出值ym，求出該檢出值^^具 有的電力譜，求出該電力譜分佈所具有的尖峯的頻率，依 據該頻率以調整可變陷波濾波器部的陷波頻率亦可。第10 圖表示可變陷波濾波器部701及陷波頻率自動調整部901之 第k次的軟體處理。於S1001輸入檢出值yin，於si〇〇2計算 該檢出值ym的電力譜，於si〇〇3求得該電力譜的尖峯之頻 率’於S1 00 4以該頻率為陷波頻率對可變陷波濾波器部的 頻率實行調整。 由以上的構成，可不必須先查出機械系的諧振頻率， 亦不必查出旋轉條件，再則於該等發生變化時亦可對應而 自動的調整陷波頻率’經常實現適切的遽波。 又於上述為就對於檢岀值ym實行濾波的狀態做說明， 然對於差訊號e實行濾波或對於驅動裝置之控制量實行濾 波的狀態亦可用同樣的構成》 又以上為就軟體處理的狀態做說明，然由專用的硬體* 構成亦可。 實施例4 第11圖表示本發明之實施例4的放電加工控制系。圖 中之101、102、104至111與本發明之實施例1所示相同。

C:\Program Files\Patent\310609.ptd 第14頁

a 453 92 6 修正 五、發明說明（12) 又狀態量y ’檢出值ym ’加工狀態的目標值^’差訊號‘， ^工軌跡指令值Rv，旋轉條件指令值Rr，控制量Up，U電極 操作量Mp，加工脈衝條件指令值Rs，加工脈衝榛作量心所 意味者為與本發明之實施例丨所示相同a丨丨〇丨為修正量演 算邻，1102為控制量修正部，（9為實際的電極之旋轉角 度’ Cp為依據該旋轉角度0由修正量演算部11〇1求得的修 正量’ Upc為以該修正量Cp對控制量up實行修正所得的對 於電極驅動裝置1 〇 9的控制量。 以下考慮使圓柱電極旋轉實行加；時，電極中心與電 極的旋轉中心相異而電極發生偏心的狀態。第12圖中， 1201表示電極半徑為r—e，.電極中心為〇e(x—〇e，y—〇e) 的圓柱電極’以旋轉中心〇(〇,〇)旋轉。將電極旋轉2回轉 以與X軸的交點0觀昶偏心的狀況，則除去定常成分為如第 13圖所示。圖中之r〇e表示電極中心@與旋轉中心0的距 離。 第14圖表示第11圖之修正量演算部π 〇1，控制量修正 部丨1 02的第k次之軟體處理〇於S1401判斷是否已有用以修 正電極之偏心的數據。如未有修正數據時進入S1 4 0 2 ’測 定電極之旋轉角度Θ與點ρ之變位量L的關係。於S1403由 測定結果求出r oe。於S1404判斷電極由0旋轉36 0 °時’ 變位量L最初是否減少。如不減少則進入S1405’求出變位 量L成為最大時的0 max，設必=-0 raax。一方面如減少時 則進入S1 4 06，求出變位量L成為最小時的Θ ，設座=θ-1AJLzlL8_0____。由以.上求得'r —oc及0 ，然該等處理為於女裝

310609.ptc 第15頁 2001.04.09. 015 453 92 6 五、發明說明（13) 電極之後，在實際加工之前應實行。因此於加工中在 S1401為判斷已具有修正數據》進入S1407两檢出旋轉角 0。於S1408由檢出的旋轉角6»(k)，及r—Oc，必求得修 正量= Cp=(cp-x(k) ’cp-y(k))。於S1409 以該修正量(^對 於控制量Up實行修正求得控制量Upc。控制量ϋρ為由同樣 於習用的方法求得。 由以上的構成’可實測實際的電極的偏心，依據該實 測值可使用習用的電極驅動裝置而只由訊號處理的變更即 可修正其偏心，可圖得電極旋轉時之加工狀態的安定化s 又r —Oe及0的求出方法並不限定於以上的說明，以 其他的方法求出亦可同樣的修正電極的偏心。 以上的實施例為用r —Oe與0由數式以求出偏心修正 的數據’然由第13圖的測定數據構成用於偏心修正的數據 表，依據實際的電極旋轉角度0，參照數據表求出控制量 Upc亦可。 實施例5 第15圖表示本發明之實施例5的放電加工控制系。圖 中之101、102、104至111為與本發明之實施例1所示相 同。1101為與本發明之實施例4所示相同β又狀態量y，檢 出偯ym，加工狀態的目標值r，差訊號e，加工軌跡指令值 Rv，旋轉條件指令值Rr，控制量Up *電極操作量Mp，加工 脈衝條件指令值Rs，加工脈衝操作量Ms所意味者為與本發 明之實施例1所示相同。又電極的旋轉角度0，修正量Cp 所意味者為與本發明之實施例4所示相同。1 5 01為偏心修

C:\Program Files\Patent\310609.ptd 第16頁 4 53 9 2 6 ,Η ' 1

五、發明說明（14) 置，電極操作量MPC為對於電極㈣裝置丨 極刼添加偏心修正驅動裝置15〇1之電極修正量者。 其次說明其動作。與實施例4相同的修正量演部 =01求得該修正量Cp，該修正量Cp做為控制量供給於σ偏心 修正驅動裝置1501。亦即在電極驅動裝置1〇 於電極在ΧΥ軸方向能以比較微小的範圍驅動的偏心修以正對驅 動裝置1501修正電極的偏心量者。 習用的電極驅動裝置由於其電極驅動範圍較大而有困 難於高速應答，然以上述偏心修正驅動裝置則為以微小的 範圍驅動，結果容易實現高速應答β因而由以上的構成， 在電極實行高速旋轉時亦可正確的修正電極的偏心。又為 於習用的極間控制系的訊號處理之外，可獨立的只實行對 於修正偏心的訊號處理而比較容易的實現。 以上的實施例中，偏心修正驅動裝置為構成對於χγ轴 方向能以比較微小的範圍驅動的裝置，然即使電極驅動裝 置與偏心修正驅動裝置的座標軸不同’只要其座標關係明 雄’則由對於修正量Cp實行座標變換即可無問題的修正電 極的偏心量。 [圖面的簡單說明] 第1圖（A)為表示本發明之實施例1的放電加工控制系 示意圖。 第1圖（B )為第1圖（a )所示實施例1之放電加工控制系 的模式圖。 第2圖（A)為實施例1之極間控制流程圖。

C:\Program Files\Patent\310609.ptd 第17頁 4 53 9 2 6

五、發明說明（15) 第2圖（B)為本發明之放電加工控制裝置的電路圖。 第3圖為表不本發明之實施例2的放電加工控制系丁意 第4圖為實施例2之極間控制流程圖。 第5圖為實施例2之極間控制的另一流程圖。 第6圖為於X軸驅動裝置存在有諧振時的控制流程圖。 第7圖為本發明之實施例3的放電加工控制系示意圖。 第8圖為表示可變陷波濾波器7〇1及陷波頻率自動調整 部702之第k次的軟體處理流程圖。 第9圖為表示本發明之實施例3的放電加工控制系方 圖。 、 第10圖為表示可變陷波濾波器7〇1及陷波頻率自動調 整部901之第k次的軟體處理流程圖。 第Π圖為表示本發明之實施例4的放電加工控制系示 意圖β 〇 第12圖為表示圓柱電極發生偏心時的解析圖。 第13圖如第12圖所示之偏心圓柱電極旋轉時，圓周上 Ρ點所作的軌跡圖。 第14圖為第11圖所示電極偏心的補償處理用流程圖。 第1 5圖為表示本發明之實施例5的放電加工控制系示 & 意圖。 第1 6圖為習用極間控制系的示意圖。 第1 7圖為表示習用極間控制系的動作流程圖D 第18圖為表示習用極間控制系加工狀態檢出值之電力

453 92 6 五、發明說明（16) 譜狀況圖。 第19圖為表示應用習用極間控制系之另一放電加工機 的加工狀態檢出值之電力譜狀況圖。 [產業上的利用性] 本發明可適用於放電加工裝置，抑制電極旋轉時之電 極的偏心，電極之驅動系的機械諧振為起因之對於極間控 制系的外亂，由加工的安定化而對於加工速度的改善有效 果。

C:\ProgmmFiles\Patent\310609.ptd 第 1Θ 頁

Claims (1)

1. 453 92 6

   一種放電加工控制方法， 加工液中以預定的間隙對 使其發生放電以對被加工 法’而為由檢出間隙的加 出值依陷波頻率實行濾波 工狀態的設定值之間的差 電極的移動值演算用以控 及依該控制量使電極移動 物之對抗面為垂直的旋轉 者。 為對於將電極與被加工物在 向配置並施加電壓於該間隙 物實行加工的放電加工方 工狀態，對於加工狀態的檢 、演算經濾波之輸出值與加 訊號，由差訊號與所設定之 制電極之移動的控制量，以 於預定方向並以對於被加工 轴為中心而旋轉為其特徵 2. 如申^專㈣圍幻項的放電加卫控制方法，其中 蔣翻為相應於電極之旋轉頻率或使電極 =及旋轉之驅動系的機械諧振頻率予以調整為其特 徵者。 3. 一種放電加工控制方法， 加工液中以預定的間隙對 使其發生放電以對被加工 法’而為由檢出間隙的加 出值與加工狀態之設定值 與所設定之電極的移動值 控制量，演算用以修正電 量，以及用上述修正量對 修正的修正控制量使電極 為對於將電極與被工加物在 向配置並施加電壓於該間隙 物實行加工的放電加工方 工狀態，演算加工狀態的檢 之間的差訊號，由該差訊號 演算用以控制電極之移動的 極旋轉時之偏心量的修正 上述控制量實行修正，而由 移動於預定的方向並以對被 加工物之對抗面為垂直的施轉軸為中心而旋轉為其特

   4 53 92 6 ' V .· » ~六、申請專利範圍 ------ 徵者。 4‘一種放電加工控制裝置，為對於將電極與加工物 工液中以預定的間隙對向配置並施加電麼於該間 其發生放電以對被加工物實行加工的放電加工控制 置，而以具備：檢出間隙之加工狀態的加工狀態檢出 部，將加工狀態檢出部的檢出值依陷波頻率予以濾波 的陷波濾波器部，演算陷波濾波器部之輸出值與加工 狀態之設定值間的差訊號的差訊號演算部，由差訊號 與所設定之電極的移動值演算用以控制電極之移動的° 控制量之控制量演算部’以及用控制量演算部輸出之 控制量使電極移動於預定的方向並使其對於被加工物 之對抗面為垂直的旋轉轴為中心而旋轉之電極驅動部 為其特徵者。 5. 如申請專利範圍第4項的放電加工控制裝置，其中更以 具備： 將前述陷波頻率為依據電極的旋轉頻率或使電極 移動及旋轉之驅動系的機械諧振頻率予以調整之陷波 頻率自動調整部為其特徵者。 6. —種放電加工控制裝置，為對於將電極與被加工物在 加工液中以預定的間隙對向配置並施加電壓於該間隙 使其發生放電以被被加工物實行加工的放電加工控制 裝置，而以具備：檢出間隙之加工狀態的加工狀態檢 出部，演算加工狀態檢出部之檢出值與加工狀態之設 定值間之差訊號的差訊號演算部’由差訊號與所設定

   C:\Program Eles\Pateirf61〇609‘ptd 第21頁 46^926 六 申睛專利範圍 一™— id?值演算用以控制電極之移動的控制量： m量2 ’演算用以修正電極之旋轉時的偏心ί 對於修正置演算部，用修正量演算部之修庄量 對於控制量演算部輪出之和舍丨番眘#Iτ #I 正部，以月田祕^1疋控制量實打修正的控制量修 薅翻 制量修正部輪出之修正控制量使雷炼 移動於預定方向並以對於被加工物之對抗 極 旋轉軸為中心而旋轉的電極驅動部為2為垂直的 ^再特徵者。 画 C:\Program Files\Patent\310609.ptd 第22頁