WO1999043467A1

WO1999043467A1 - Dispositif de polissage de pourtour de piece a travailler

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Publication number: WO1999043467A1
Application number: PCT/JP1999/000793
Authority: WO
Inventors: Shunji Hakomori
Original assignee: Speedfam Co., Ltd.
Priority date: 1998-02-27
Filing date: 1999-02-23
Publication date: 1999-09-02
Also published as: EP0993907A4; US6250995B1; JPH11245151A; EP0993907A1

Description

曰月糸田 ¾ 発明の名称

ワークの外周研磨装置技術分野

本発明は、半導体ウェハや磁気ディスク基板のような実質的に円板形をしたワークの、面取り加工された外周部分を鏡面研磨（ポリツシュ）するための装置に関するものである。背景技術

例えば、シリコンウェハのような半導体ウェハは、一般に、エッジのチッビング防止ゃェピタキシャル成長時のクラウン防止等のためにその周縁部に面取り加工が施される。この面取り加工は、ダイヤモンド砥石で研削することにより行われるが、研削後に加工歪層が残り易く、このような加工歪層が残っていると、ディバイスプロセスにおいて熱処理を繰り返した時に結晶欠陥が発生することがある。

このため通常は、上記加工歪層をエッチングにより除去しているが、エツチング処理した表面は波状やうろこ状の凹凸になつて汚れが残り易く、この汚れがディバイスプロセスにおいてウェハ全体に拡散し、特性を劣化させる大きな原因となる。

そこで、近年では、ウェハの面取り加工したエッジを鏡面研磨により平滑化するための技術が、ウェハの表面の研磨とは全く別の技術として確立され、本件出願人も、例えば特開平 1 一 7 1 6 5 6号公報に開示されているように、エッジを研磨するための技術を既に提案している。この研磨技術は、面取りされたエツジを外周に有するウェハを回転させながら、その外周エツジを回転する研磨ドラムの外周の作業面に押し付けて研磨するもので、この方法によれば、ウェハのエッジを簡単且つ確実に研磨することが可能で、上述したような面取り加工に起因する問題点を全て解消することができる。ところが、この種の研磨装置は、ウェハを研磨ドラムに点接触させて研磨加工するものであるため、加工効率が必ずしも良いとは言えず、加工にかなりの時間がかかることになる。このため現在では、研磨ドラムの直径を大きくすることによってウェハとの接触長をできるだけ長くし、それによつて加工時間を短縮するなどの工夫がなされている。

しかしながら、円筒形の作業面に円形のウェハを外接させる方法では、それらの接触長を長くするにも限度があり、それほど加工時間を短縮することはできない。しかも、研磨ドラムの直径を大きくするとその分設置スペースが広くなるため、装置の大形化が避けられなくなる。特に、直径が 3 0〜4 0 c mという大形のウェハの需要が予想される今後は、ウェハによる占有スペースも一段と広くなるため、研磨装置は益々大形化してしまう。発明の開示

本発明の課題は、面取り加工されたワークの外周部分を複数の研磨ドラムに同時に且つ均等に接触させて効率良く短時間で鏡面研磨することができる、加工効率の勝れた小形の研磨手段を得ることにある。

上記課題を解決するため、本発明によれば、面取りされたエッジを外周部に有する円板状のワークを回転自在に保持するワーク保持手段；該ワーク保持手段が保持するワークの外周部を同時に研磨する 2つで 1組の回転自在の研磨ドラム；上記ワーク保持手段と 2つの研磨ドラムとを該 2つの研磨ドラムの配列方向に相対的に変移自在なるように支持する、ワークを 2つの研磨ドラムに均等に接触させるベく位置調整するための調心手段；回転するワークと研磨ドラムとの接触により上記ワーク保持手段と研磨ドラムとの間に作用する偏心方向の作用力を吸収させるための負荷手段；を有することを特徴とするワークの外周研磨装置が提供される。

このような本発明の研磨装置によれば、ワークの外周部分を複数の研磨ドラムで同時に研磨するようにしているため、研磨効率が向上して研磨時間も短縮される。しかも、従来よりも格段に小径の研磨ドラムを使 3 用することができるため、研磨装置の小形化も図られる。

また、ワーク保持手段と研磨ドラムとの間に 2つの研磨ドラムの配列方向の自由度を持たせることにより、ワークが 2つの研磨ドラムに片当り状態で接触した場合でも調心作用によって片当りが自動的に解消されるようにすると同時に、回転するワークと研磨ドラムとの接触により生ずる偏心方向の作用力を負荷手段で吸収させるようにしたので、ワークを 2つの研磨ドラムに均等な接触圧で確実に接触させることができる。本発明の具体的な構成態様によれば、上記調心手段が、ワーク保持手段を 2つの研磨ドラムの配列方向に移動自在に支持するスライド機構により構成されると共に、上記負荷手段がワーク保持手段に、該ワーク保持手段を上記作用力の方向とは逆向きに付勢するように連結されている。

上記負荷手段はゥエー卜により構成することができる。

本発明の他の具体的な構成態様によれば、上記ワーク保持手段が、スライド機構によって研磨ドラムに接近又は離間する方向に移動自在に支持されると共に、ワークを研磨ドラムに一定の接触圧で押し付けるための接触圧用負荷手段に連結されている。

本発明の 1つの具体的な構成態様によれば、上記ワーク保持手段が傾動自在となっていて、保持したワークの軸線を、 2つの研磨ドラムの軸線を含む面と直角な面内で傾斜させることにより、該ワークの面取りされたエツジを 2つの研磨ドラムに同時に接触させるように構成されている。

本発明の他の具体的な構成態様によれば、上記ワーク保持手段が傾動自在となっていて、保持したワークの軸線を、 2つの研磨ドラムの軸線を含む面に対して傾斜する面内で傾斜させることにより、該ワークの面取りされたエツジを一方の研磨ドラムに接触させると共に、面取りされていない周側面を他方の研磨ドラムに接触させるように構成されている。

本発明の更に他の具体的な構成態様によれば、研磨装置が第 1及び第 2の 2組のワーク保持手段を有していて、これらのワーク保持手段が 2 つの研磨ドラムを挟んで相対する位置に配設されると共に、第 1ワーク保持手段のワークを表裏反転させて第 2ワーク保持手段に移送するヮーク移送手段が配設されている。図面の簡単な説明

図 1は本発明に係る外周研磨装置の第 1実施例を示す平面図である。図 2は図 1の縦断正面図である。

図 3は図 1の縦断側面図である。

図 4はワークの要部側面図である。

図 5は本発明に係る外周研磨装置の第 2実施例を示す平面図である。発明を実施するための最良の形態

図 1ないし図 3は本発明に係る外周研磨装置の第 1実施例を示すもので、この研磨装置 Aは、機体 1 と、該機体 1上に並べて設けられた 2つの円筒形研磨ドラム 2， 2と、これらの研磨ドラム 2， 2を挟んで第 1 側と第 2側とに相対するように配設された第 1及び第 2の 2つのワーク保持手段 3 a， 3 bと、ワークの搬入及び搬出と表裏反転とを行うためのワーク移送手段 4とを有している。

上記研磨ドラム 2， 2は、基筒の外面に研磨パッドを貼り付けることにより、その外周面を研磨のための作業面 2 aとしたもので、同じ構成の 2つの研磨ドラム 2， 2が、相互間にワーク 5の直径より小さい間隔を保った状態で平行に配設され、それぞれが自身の軸線 L 2の回りに回転自在となっている。これらの研磨ドラム 2， 2のドラム軸 1 0は、モ一夕等の駆動源に連結され、例えば 5 0 0〜 1 0 0 0 r . p . m . 程度の速度で互いに同方向又は逆方向に等速又は異速で駆動される。

また、上記各ドラム軸 1 0は、機体 1に自身の軸線 L 2方向に往復動自在なるように支持されて、ボール螺子とそれに螺合するナツト部材などからなる図示しない揺動手段に連結されており、これによつて各研磨ドラム 2， 2が、加工中ゆっくりとした速度で軸線方向に同期的に揺動できるようになつている。このときの揺動方向は、互いに同方向であつても、あるいは、一方が前進するとき他方が後退するといつた具合に互いに逆方向であっても良い。

上記第 1及び第 2のワーク保持手段 3 a， 3 bは、角度 0に面取りされたエツジ 5 a， 5 aと面取りされていない周側面 5 bとを外周部に有する円板形ワーク 5 (図 4参照）を保持して軸線の回りに回転させると共に、該ワーク 5のエッジ 5 aを上記 2つの研磨ドラム 2， 2の作業面 2 a , 2 aに同時に接触させるためのもので、互いに同一の構成を有している。

即ち、上記ワーク保持手段 3 a， 3 bは、ワーク 5をバキュームチヤックするためのチヤックへッド 1 0と、該チヤックへッド 1 0を回転自在に支持する第 1ボディ 1 1 と、該第 1ボディ 1 1を支軸 1 3を中心に傾動自在なるように支持する第 2ボディ 1 2とを有している。

上記チヤックヘッド 1 0は、その表面に複数の吸着穴 1 0 aを有していて、これらの吸着穴 1 0 a力第 1ボディ 1 1及び第 2ボディ 1 2に設けられたポー卜や配管チューブ等を介して真空源に接続されている力それらの図示は省略されている。

上記第 1ボディ 1 1の内部には、上記チヤックヘッド 1 0を駆動するためのモータが内蔵されていて、該モ一夕によりチャックへッド 1 ◦ が、例えば 4 0〜6 0秒に 1回転程度のゆつくりした速度で駆動されるようになっている。

また、上記第 1ボディ 1 1は、上記支軸 1 3の回りを回動し、図 2にワーク保持手段 3 bによって示すように、チヤックへッド 1 0が水平を向いてワーク 5を研磨ドラム 2， 2から離間した位置に保持する非研磨位置と、同図にワーク保持手段 3 aによって示すように、チャックへッド 1 0が傾斜してワーク 5の外周部分を 2つの研磨ドラム 2 , 2に接触させる研磨位置とを占める。この場合、上記支軸 1 3力 2つの研磨ドラム 2， 2の軸線を含む面と平行で且つ水平に向けて設けられているため、この支軸 1 3を中心にして第 1ボディ 1 1が前傾すると、ワーク 5 の軸線は、 2つの研磨ドラム 2， 2の軸線を含む面と直角な面内において傾斜し、該ワーク 5の片面の面取りされたエッジ 5 aが 2つの研磨ドラム 2， 2に同時に接触することになる。

—方、上記第 2ボディ 1 2は、第 1及び第 2の 2つのスライド機構 1 5， 1 6により、互いに直交する 2方向に移動自在なるように支持されている。

第 1 スライド機構 1 5は、ワーク保持手段 3 a， 3 bをワーク 5が研磨ドラム 2， 2に接離する方向である第 1方向に移動させるためのもので、機体 1 と一体の基板 1 a上に取り付けられて上記第 1方向に延びる第 1 レール 1 8と、該第 1 レール 1 8に沿って移動自在の第 1スライド部材 1 9とを有している。

また第 2スライド機構 1 6は、ワーク 5を 2つの研磨ドラム 2 , 2に均等に接触させるベく位置調整するための調心手段を構成するもので、上記第 1スライド部材 1 9上に設けられて 2つの研磨ドラム 2， 2の配列方向である第 2方向に延びる第 2 レール 2 0と、該第 2 レール 2 0に沿って移動自在の第 2スライド部材 2 1 とを有しており、該第 2スライド部材 2 1上に上記第 2ボディ 1 2力脚 2 2により取り付けられている。

上記基板 1 aの下面にはプーリ 2 4が取り付けられ、該プーリ 2 4にワイヤ 2 5が巻き掛けられている。このワイヤ 2 5の一端は第 1スライド部材 1 9から下向きに延出するアーム 1 9 aに固定され、ワイヤ 2 5 の他端には第 1負荷手段であるウェート 2 6が吊り下げられている。そして、このウェート 2 6の重力により第 1スライド部材 1 9従ってヮーク保持手段 3 a， 3 b力第 1 レール 1 8上を常時研磨ドラム 2， 2側に向けて引っ張られている。

上記基板 1 aの下面にはまた、エアシリンダ 2 8が取り付けられていて、該エアシリンダ 2 8のロッド 2 8 aの先端が上記アーム 1 9 aに当接している。そして、該ロッド 2 8 aが伸長してアーム 1 9 aを押すことにより、第 1スライド部材 1 9従ってワーク保持手段 3 a , 3 b力第 1 レール 1 8上を研磨ドラム 2 , 2から離間する方向に後退させられるようになっている。上記口ッド 2 8 aとアーム 1 9 aとは単に当接しているだけで、相互に連結されていない。このため、該ロッド 2 8 aの短縮時にワーク保持手段 3 a , 3 bを研磨ドラム 2， 2側に向けて前進させる力は、上記ゥェ一卜 2 6により得られる。即ち、このウエート 2 6は、ワーク保持手段 3 a， 3 bを研磨ドラム 2， 2に向けて前進させるための駆動手段と、ワーク 5の外周研磨時に該ワークを研磨ドラム 2， 2に一定の接触圧で押し付けるための負荷手段とを兼ねるものである。

図中 2 9は上記アーム 1 9 aの後退位置を規定するためのス卜ツバである。

また、上記第 2スライド部材 2 1の一方の側面には、ワーク保持手段 3 a , 3 bを第 2方向の一方側に向けて付勢する第 2負荷手段 3 0が設けられている。この第 2負荷手段 3 0はウエートからなるもので、第 2 スライド部材 2 1に基端を固定されたワイヤ 3 1の先端に吊り下げられており、該ワイヤ 3 1の中間は、第 1スライド部材 1 9に取り付けたプーリ 3 2に支持されている。

上記第 2負荷手段 3 0は、図 1に示すように、回転する研磨ドラム

2 , 2にそれと逆向きに回転するワーク 5を接触させた場合に、相互間の摩擦力によってワーク 5に接線方向の力が加わり、この作用力によつてワーク保持手段 3 a , 3 bが第 2レール 2 0上を X方向に変移してヮーク 5が 2つの研磨ドラム 2， 2に片当りし易いことから、上記作用力を吸収させてワーク 5を 2つの研磨ドラム 2 , 2に均等に接触させるために設けられるものである。従って、この第 2負荷手段 3 0でワーク保持手段 3 a， 3 bに加えられる負荷の方向は、上記作用力が加わる X方向とは逆の方向である。

この第 2負荷手段 3 0で加えられる力の大きさは、ワーク 5に働く作用力の大きさによって適正値が異なるが、一般的には第 1負荷手段 2 6 により加えられる付勢力よりは小さく、数分の 1程度である。

また、上記第 2負荷手段 3 0を設ける場合、研磨ドラム 2 , 2及びヮーク 5の回転方向が常に一定である場合には上記作用力の方向も常に同じであるため、該第 2負荷手段 3 0を各ワーク保持手段 3 a , 3 bの左右何れか一方の側面だけに設ければ良い。しかし、外周の一部にオリエ W 3 7

8 ンテーシヨンフラ卜を有するワークを研磨する場合のように、研磨ドラム 2 , 2及びワーク 5の回転方向を逆転させるような場合には、該第 2負荷手段 3 0をワーク保持手段段 3 a， 3の左右両側面に設け、必要な方を選択的に使用できるように構成することが望ましい。

上記ワーク移送手段 4は、伸縮自在のチャックアーム 3 4の先端に、ワークをバキュームチャックするためのチャックヘッド 3 5を有し、このチヤックへッド 3 5によって、口一ディング部から未処理ワークを第 1 ワーク保持手段 3 aのチャックへッド 1 0に供給する動作と、該第 1 ワーク保持手段 3 aから表面側エッジ 5 aの研磨が終了したワーク 5を表裏反転させて第 2ワーク保持手段 3 bに移送する動作と、該第 2ヮーク保持手段 3 bから裏面側エツジ 5 aの研磨が終了したワークをアン口一デング部に搬出する動作とを行うものである。

図 2中の符号 3 6は、研磨部分に研磨材スラリーを供給するためのノズルである。

上記構成を有する研磨装置において、ワーク移送手段 4によって未処理ワークが、非研磨位置にある第 1ワーク保持手段 3 aのチャックへッド 1 ◦に供給されると、図 2に示すように、第 1ボディ 1 1が支軸 1 3 を中心にエツジ 5 aの面取り角 Θによって決まる角度だけ前傾する。そして、エアシリンダ 2 8のロッド 2 8 aの短縮により第 1スライド部材 1 9力第 1 レール 1 8上を研磨ドラム 2， 2の方向に前進し、チャウクヘッド 1 0に保持されて回転するワーク 5の表面側のエッジ 5 aを、回転する 2つの研磨ドラム 2， 2の第 1側において外周の作業面 2 a , 2 aに接触させ、その研磨が行われる。

上記作業面 2 aに対するワークの接触圧は、第 1負荷手段であるゥェ一卜 2 6によって得られる。即ち、上記エアシリンダ 2 8のロッド 2 8 aの短縮と共にワーク保持手段 3 aが第 1 レール 1 8上を前進し、ヮーク 5が研磨ドラム 2， 2に当接すると、ワーク保持手段 3 aはその位置に停止するが、ロッド 2 8 aはそのあとも短縮して第 1スライド部材 1 9のアーム 1 9 aから離れるため、ワーク保持手段 3 aにはウェート 2 6の全重力が作用することになり、このウェート 2 6の重力によって 2 つの研磨ドラム 2， 2に押し付けられる。

このとき、上記ワーク保持手段 3 aは、第 2スライド機構 1 6によつて 2つの研磨ドラム 2， 2の配列方向の自由度を持っているため、ヮーク 5が 2つの研磨ドラム 2， 2に片当り状態で当接しても、該ワーク保持手段 3 aが第 2方向に変移することにより自動的に調心が行われ、ヮ —ク 5は 2つの研磨ドラム 2 , 2に均等に接触することになる。

また、回転するワーク 5と研磨ドラム 2 , 2との接触により上記ヮーク保持手段 3 aに X方向に作用する力は、それとは逆向きに該ワーク保持手段 3 aを付勢する第 2負荷手段 3 0の付勢力により相殺されるため、該ワーク保持手段 3 aの変移によるワーク 5の片当りが防止され、該ワークを 2つの研磨ドラム 2， 2に常に均等な力で確実に接触させることができる。

かくしてワーク 5の表面側のエッジ 5 aは、 2つの研磨ドラム 2， 2 の作業面 2 a , 2 aに同時に接触することによって異なる 2点で鏡面研磨され、その研磨中 2つの研磨ドラム 2， 2は、自らの軸線 L 2方向にゆっくりと往復揺動してワークとの接触位置を変える。

ワークの表面側のエツジ 5 aの研磨が終了すると、上記第 1ワーク保持手段 3 aはエアシリンダ 2 8により後退し、ワーク 5が研磨ドラム 2 ， 2から離れると共に、第 1ボディ 1 1が非研磨位置に復帰して該ヮ一クを水平に向ける。

次に、ワーク移送手段 4が上記第 1 ワーク保持手段 3 aからワーク 5 を受け取り、それを表裏反転させて第 2ワーク保持手段 3 bに供給し、この第 2ワーク保持手段 3 bにより裏面側のエツジ 5 aの研磨が、 2つの研磨ドラム 2 , 2の第 2側において上記表面側のェツジを研磨する場合と同様に行われる。

上記研磨ドラム 2， 2の作業面 2 a， 2 aは、エッジ 5 aの研磨時に周側面 5 bがその幅の少なくとも半分程度内部に食い込み得るだけの柔軟性を持っていることが望ましく、これにより、表裏面のエッジ 5 a， 5 aを研磨するのと同時に外周面 5 bも研磨することができる。

裏面側エッジ 5 aの研磨が終わると、上記第 2ワーク保持手段 3 bが非研磨位置に移動し、ワーク移送手段 4がこの第 2ワーク保持手段 3 b からヮ一クを受け取ってアンローディング部に搬出する。

上記実施例では、第 1及び第 2負荷手段 2 6 , 3 0をウエートで構成しているが、このようなウエートに代えて、その一方又は両方をばねや圧力調節手段付きのエアシリンダ等により構成することもできる。

また、上記 2つの研磨ドラム 2， 2は互いに平行に設置されているが、先端側が相互に接近する方向に傾斜していても良い。

更に、図示した実施例では、 2組のワーク保持手段を設け、これらのワーク保持手段でワークの表裏両面のェッジを別々に研磨するようにしているが、各ワーク保持手段でそれぞれワークの表裏両面のエッジを順次研磨するように構成することもできる。この場合には、 1組のワーク保持手段だけを設けても良い。

図 5は本発明の外周研磨装置の第 2実施例を示すもので、この第 2実施例の研磨装置 Bが上記第 1実施例の研磨装置 Aと相違する点は、第 1 実施例の研磨装置 Aでは、ワーク 5の面取りされたエッジ 5 aと、面取りされていない周側面 5 bの約半分とを、 2つの研磨ドラム 2 , 2に同時に接触させて研磨するように構成しているのに対し、この第 2実施例の研磨装置 Bは、ワーク 5のエッジ 5 aを一方の研磨ドラム 2に接触させ、周側面 5 bを他方の研磨ドラム 2に接触させて研磨するように構成している点である。

即ち、この第 2実施例の研磨装置 Bにおいては、各ワーク保持手段 3 a , 3 bの第 1ボディ 1 1を傾動自在に支持する支軸 1 3力 2つの研磨ドラム 2， 2の軸線を含む面に対して傾斜する向きに配置されている。そして、第 1ボディ 1 1がこの支軸 1 3を中心に前傾すると、保持されたワーク 5の軸線が、 2つの研磨ドラム 2 , 2の軸線を含む面に対して傾斜する面内で傾斜して、該ワーク 5のエッジ 5 aが主として一方の研磨ドラム 2 Aに接触し、周側面 5 bが主として他方の研磨ドラム 2 Bに接触して研磨されるように構成されている。

この場合、 2つのワーク保持手段 3 a， 3 bの支軸 1 3は互いに同じ方向に傾斜しているため、これら 2つのワーク保持手段 3 a， 3 b間において、保持したワーク 5のエツジ 5 aが接触する研磨ドラム同士と、周側面 5 bが接触する研磨ドラム同士は、それぞれ互いに異なる。上記支軸 1 3の傾斜角度は、ワーク 5の大きさ等によってその適正値が異なるが、一方の研磨ドラムがワーク 5の中央部でエッジ 5 aの全幅に確実に接触できるように、傾斜したワーク 5の軸線とエッジ 5 aが当接する研磨ドラムの軸線とが同一面内にあるような角度とすることが望ましい。

なお、第 2実施例の研磨装置 Bの上記以外の構成は実質的に第 1実施例と同じであるため、主要な同一構成部分に第 1実施例と同じ符号を付してその説明は省略する。

なお上記各実施例では、調心手段をワーク保持手段 3 a， 3 b側に設け、このワーク保持手段 3 a， 3 bを負荷手段 3 0で付勢するようにしているが、研磨ドラム 2， 2側に設けることもできる。即ち、 2つの研磨ドラム 2， 2を一体として調心手段でそれらの配列方向に変移自在に支持させ、この研磨ドラム 2， 2側に負荷手段 3 0を設けるようにしても良い。

このように本発明によれば、ワークの外周部を複数の研磨ドラムに同時に接触させて複数点で同時に鏡面研磨するようにしているため、研磨効率が向上して研磨時間を著しく短縮することができ、しかも、従来よりも格段に小径の研磨ドラムを使用することができるため、これらの研磨ドラム及びワークが占めるスペースは非常に小さくて済み、装置も小形化される。

また、ワーク保持手段と研磨ドラムとの間に 2つの研磨ドラムの配列方向の自由度を持たせることにより、ワークが 2つの研磨ドラムに片当り状態で接触した場合でも調心作用によって片当りが自動的に解消されるようにすると共に、回転するワークと研磨ドラムとの接触により生ずる偏心方向の作用力を負荷手段で吸収させるようにしたので、ワークを 2つの研磨ドラムに均等な接触圧で確実に接触させることができる。

Claims

請求の範

1 . 面取りされたエツジを外周部に有する円板状のワークを回転自在に保持する少なくとも一つのワーク保持手段；

上記ワーク保持手段が保持するワークの外周部を同時に研磨する 2つで 1組の回転自在の研磨ドラム；

上記ワーク保持手段と 2つの研磨ドラムとを該 2つの研磨ドラムの配列方向に相対的に変移自在なるように支持して、ワークが 2つの研磨ドラムに均等に接触するように位置調整する調心手段；

回転するワークと回転する研磨ドラムとの接触によって上記ワーク保持手段と研磨ドラムとの間に作用する偏心方向の作用力を吸収させるための調心用負荷手段；

を有することを特徴とするワークの外周研磨装置。

2 . 請求項 1に記載の外周研磨装置において、上記調心手段が、 2 つの研磨ドラムの配列方向に伸びるレールと、該レール上を移動自在のスライド部材とを含んでいて、該スライド部材に上記ワーク保持手段が取り付けられると共に、このワーク保持手段に上記負荷手段が、上記作用力の方向とは逆向きの負荷を与えるように連結されていることを特徴とするもの。

3 . 請求項 2に記載の外周研磨装置において、上記負荷手段がゥェ一卜であることを特徴とするもの。

4 . 請求項 1から 3までの何れかに記載の外周研磨装置において、上記ワーク保持手段が、スライド機構によって研磨ドラムに接近又は離間する方向に移動自在に支持されると共に、ワークを研磨ドラムに一定の接触圧で押し付けるための接触圧用負荷手段に連結されて

いることを特徴とするもの。

5 . 請求項 4に記載の外周研磨装置において、上記スライド機構が、レールと該レール上を移動自在のスライド部材とからなり、上記接触圧用負荷手段がゥェ一卜からなることを特徴とするもの。

6 - 請求項 1 または 2に記載の外周研磨装置において、上記ワーク保持手段が傾動自在となっていて、保持したワークの軸線を 2つの研磨ドラムの軸線を含む面と直角な面内で傾斜させることにより、該ワークの面取りされたエッジを 2つの研磨ドラムに同時に接触させるように構成されていることを特徴とするもの。

7 . 請求項 4に記載の外周研磨装置において、上記ワーク保持手段が傾動自在となっていて、保持したワークの軸線を 2つの研磨ドラムの軸線を含む面と直角な面内で傾斜させることにより、該ワークの面取りされたエツジを 2つの研磨ドラムに同時に接触させるように構成されていることを特徴とするもの。

8 . 請求項 1 または 2に記載の外周研磨装置において、上記ワーク保持手段が傾動自在となっていて、保持したワークの軸線を 2つの研磨ドラムの軸線を含む面に対して傾斜する面内で傾斜させることにより、該ワークの面取りされたエツジを一方の研磨ドラムに接触させると共に、面取りされていない周側面を他方の研磨ドラムに接触させるように構成されていることを特徴とするもの。

9 . 請求項 4に記載の外周研磨装置において、上記ワーク保持手段が傾動自在となっていて、保持したワークの軸線を 2つの研磨ドラムの軸線を含む面に対して傾斜する面内で傾斜させることにより、該ワークの面取りされたエツジを一方の研磨ドラムに接触させると共に、面取りされていない周側面を他方の研磨ドラムに接触させるように構成されていることを特徴とするもの。

1 0 . 請求項 1 , 2 , 7 , 9の何れかに記載の外周研磨装置において、該研磨装置が第 1及び第 2の 2組のワーク保持手段を有していて、これらのワーク保持手段が 2つの研磨ドラムを挟んで相対する位置に配設され、更に、上記第 1 ワーク保持手段で研磨が終わったワークを表裏反転させて第 2ワーク保持手段に移送するワーク移送手段を有していることを特徴とするもの。

1 1 . 請求項 4に記載の外周研磨装置において、該研磨装置が第 1 及び第 2の 2組のワーク保持手段を有していて、これらのワーク保持手段が 2つの研磨ドラムを挟んで相対する位置に配設され、更に、上記第 1ワーク保持手段で研磨が終わったワークを表裏反転させて第 2ワーク保持手段に移送するワーク移送手段を有していることを特徴とするもの。

1 2 . 請求項 6に記載の外周研磨装置において、該研磨装置が第 1 及び第 2の 2組のワーク保持手段を有していて、これらのワーク保持手段が 2つの研磨ドラムを挟んで相対する位置に配設され、更に、上記第 1 ワーク保持手段で研磨が終わったワークを表裏反転させて第 2ワーク保持手段に移送するワーク移送手段を有していることを特徴とするもの。

1 3 . 請求項 8に記載の外周研磨装置において、該研磨装置が第 1 及び第 2の 2組のワーク保持手段を有していて、これらのワーク保持手段が 2つの研磨ドラムを挟んで相対する位置に配設され、更に、上記第 1 ワーク保持手段で研磨が終わったワークを表裏反転させて第 2ワーク保持手段に移送するワーク移送手段を有していることを特徴とするもの。