WO1997044191A1

WO1997044191A1 - Technique d'impression et appareil d'impression

Info

Publication number: WO1997044191A1
Application number: PCT/JP1997/001650
Authority: WO
Inventors: Osamu Yamazaki; Kimihito Kuwabara; Kazumi Ishimoto; Toshiaki Yamauchi; Toshinori Mimura
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co., Ltd.
Priority date: 1996-05-17
Filing date: 1997-05-16
Publication date: 1997-11-27
Also published as: KR100308635B1; EP0904938A1; US6230619B1; EP0904938A4; US6371017B1; KR20000010821A

Description

明細書印刷方法及び印刷装置技術分野

本発明は、版に保持した印刷ペーストを被印刷体に転移させる印刷方法及び該印刷方法を実施する印刷装. Sに関する。背長技術

従来、例えば、クリーム半田をブリント回路基板のランド上に印刷する平板孔版（スクリーン）式印刷では、図 1 8 A及び図 1 8 Bに示すように、プリン卜回路基板 4のランド 5に対応して所定パターンに配置された貫通孔 1 aを有するスクリーンマスク（メタルマスク） 1を基板 4上の所定位置に位置させて接触させる。次いで、図 1 8 C及び図 1 9 A及び図 1 9 B に示すように、スクリーンマスク 1の一端にクリーム半田 2を供給し、スキージ 3でこのクリーム半田 2をスクリーンマスク 1の一端から所定方向に移動させることによりスクリーンマスク 1の貫通孔 1 a内にクリーム半田 2を充填する。次いで、図 1 8 Dに示すように、スクリーンマスク 1を基板 4から取り外すことにより、スクリーンマスク 1の貫通孔 1 a内のクリーム半田 2を基板 4のランド 5上に移動させ、図 1 8 Eに示すようにクリーム半田層 2 aを基板 4のランド 5上に形成するようにしている。

しかしながら、上記構造のものでは、図 1 9 Cに示すように、スクリーンマスク 1を基板 4から離すとき、クリーム半田 2の一部がクリーム半田自体の粘性によりスクリーンマスク 1の貫通孔 1 aの内壁面に付着して残り、この残ったクリーム半田 2と基板 4のランド 5上に載置されたクリ一ム半田 2との間にクリーム半田がまたがる現象が生じてしまう。この結果、スクリーンマスク 1が基板 4から離れるに従い、上記またがったクリーム半田の相対変形（ずり速度勾配）が大きくなつてスクリーンマスク 1と基板 4との間の任意の部分で引きちぎられ、引きちぎられたクリーム半田の一部が図 1 に示すように基板 4上の上記ランド 5以外の部分に付着し、スクリーンマスク 1の基板側の ¾面の貫通孔 1 aの周囲に付着して次回印刷時に印刷にじみの原因となったり、基板 4上において隣接するクリーム半田層 2 aに誤って付着するプリッジが発生したり、クリーム半田がスクリーンマスク側に付着するため基板上に十分なクリー厶半田層が形成されないといつた問題があつた。

従って、本発明の目的は、上記問題を解決することにあって、印刷べ一ス卜が保持される版と基板との間で上記印刷ペーストを的確に引きちぎることができて、ブリッジを引き起こすことがなく、上記印刷ペース卜が版側に残って印刷にじみの原因となることがなく、かつ、基板への印刷ぺース卜の供給が不足することがない印刷方法及び印刷装置を提供することにある。発明の開示

上記目的を達成するために、本発明は、版の印刷ペーストを保持している部分の近傍部分の温度を上昇させて、上記印刷ペースト保持部分に付着する印刷ペース卜の粘性を低下させ、印刷ペーストが上記保持部分から分離しゃすくして被印刷体に印刷しゃすくするように構成する。

本発明の第 1態様によれば、温度上昇に伴い粘度が低下する特性を有する印刷ペーストを版に保持し、

上記版における上記印刷ペーストが保持された部分の温度を上昇させて当該部分と接触する上記印刷ペース卜の粘度を低下させて上記版と上記印刷ペーストとを分離しやすくし、

上記版に保持された印刷ペーストを上記版から分離して被印刷体に印刷するようにした印刷方法を提供する。

本発明の第 2態様によれば、第 1態様において、上記版における上記印刷ペース卜が保持された部分が ¾磁誘導加熱により加熱されてその温度が上昇する印刷方法を提供する。

本発明の第 3態様によれば、第 2態様において、上記版は、上記印刷べーストを保持するための所定パターンの開口部を有し、上記版が上記被印刷体に接触したのち上記版と上記被印刷体とを相対的に分離させて上記開口部内の上記印刷ペーストを上記被印刷体上に印刷する印刷方法を提供する。

本発明の第 4態様によれば、第 3態様において、上記電磁誘導加熱を行う電磁誘導加熱装置は上記版に対して非接触で電磁誘導加熱を行う印刷方法を提供する。

本発明の第 5態様によれば、第 4態様において、上記電磁誘導加熱装置と上記版との間隔は、上記電磁誘導加熱装置により上記版に対して所定の誘導電流が流れる寸法に構成されている印刷方法を提供する。

本発明の第 6態様によれば、第 3態様において、上記電磁誘導加熱を行う電磁誘導加熱装置は上記版に対して接触して電磁誘導加熱を行う印刷方法を提供する。

本発明の第 7態様によれば、第 3〜6態様のいずれかにおいて、上記電磁誘導加熱は、上記印刷ペーストの上記版の開口部への保持が終了したのちに行われる印刷方法を提供する。

本発明の第 8態様によれば、第 3〜 7態様のいずれかにおいて、上記開口部は貫通孔であり、上記版はスクリーンマスクであってスキージの移動により上記印刷ペーストを上記貫通孔内に充填する印刷方法を提供する。本発明の第 9態様によれば、第 3〜8態様のいずれかにおいて、上記印刷ペーストが上記被印刷体に印刷された後、印刷状態を検出して、検出結果に基づき上記版の上記電磁誘導加熱の条件又は上記版と上記被印刷体との分離条件を制御する印刷方法を提供する。

本発明の第 1 0態様によれば、第 3〜9態様のいずれかにおいて、上記電磁誘導加熱により、上記印刷材料は上記版に保持されている部分に接触している部分の温度が高く、その部分から離れるに従い徐々に温度が低下するような温度勾配を有する印刷方法を提供する。

本発明の第 1 1態様によれば、第 3〜] 0態様のいずれかにおいて、上記電磁誘導加熱を発生させるための誘導電流は、上記版の開口部の長手方向沿いに流れる印刷方法を提供する。

本発明の第 1 2態様によれば、温度上昇に伴い粘度が低下する特性を有する印刷ベース卜を保持する版における上記印刷ペーストが保持された部分の温度を上昇させて当該部分と接触する上記印刷ペーストの粘度を低下させて上記版と上記印刷ペーストとを分離しやすくする加熱装置と、上記版に保持された印刷ペーストを上記版から分離して被印刷体に印刷する印刷ペースト分雜装置と

を備えるようにした印刷装置を提供する。

本発明の第 1 3態様によれば、第 1 2態様において、温度上昇に伴い粘度が低下する特性を有する印刷ペーストを保持する版をさらに備えるようにした印刷装置を提供する。

本発明の第 1 4態様によれば、第 1 2又は 1 3態様において、上記版における上記印刷ペース卜が保持された部分を電磁誘導加熱により加熱してその温度を上昇させる電磁誘導加熱装置をさらに備える印刷装置を提供する。

本発明の第 1 5態様によれば、第 1 2又は 1 3態様において、上記版は、上記印刷ペーストを保持するための所定パターンの開口部を有する一方、上記分離装蘆は、上記版が上記被印刷体に接触したのち上記版と上記被印刷体とを相対的に分離させて上記開口部内の上記印刷ペーストを上記被印刷体上に印刷する印刷装置を提供する。

本発明の第 1 6態様によれば、第 1 5態様において、上記電磁誘導加熱を行う電磁誘導加熱装置は上記版に対して非接触で電磁誘導加熱を行う印刷装置を提供する。

本発明の第 1 7態様によれば、第 1 6態様において、上記電磁誘導加熱装置と上記版との間隔は、上記電磁誘導加熱装置により上記版に対して所定の誘導電流が流れる寸法に構成されているように稱成する印刷装置を提供する。

本発明の第 1 8態様によれば、第 1 5態様において、上記電磁誘導加熱を行う電磁誘導加熱装置は上記版に対して接触して鼋磁誘導加熱を行うように構成する印刷装 Sを提供する。

本発明の第 1 9態様によれば、第 1 5〜1 8態様のいずれかにおいて、上記電磁誘導加熱は、上記印刷ペース卜の上記版の開口部への保持が終了したのちに行われるように構成する印刷装置を提供する。

本発明の第 2 0態様によれば、第 1 5〜1 9態様のいずれかにおいて、上記開口部は貫通孔であり、上記版はスクリーンマスクであってスキージの移動により上記印刷ペース卜を上記貫通孔内に充填する印刷装置を提供する。

本発明の第 2 1態様によれば、第 1 5〜2 0態様のいずれかにおいて、上記印刷ペーストが上記被印刷体に印刷された後、印刷状態を検出して、検出結果に基づき上記版の上記電磁誘導加熱の条件又は上記版と上記被印刷体との分離条件を制御する制御部をさらに備える印刷装を提供する。本発明の第 2 2態様によれば、第 1 5〜2 1態様のいずれかにおいて、上記菴磁誘導加熱により、上記印刷材料は上記版に保持されている部分に接触している部分の温度が高く、その部分から雜れるに従い徐々に通度が低下するような温度勾配を有する印刷装置を提供する。

本発明の第 2 3態様によれば、第 1 5〜2 2態様のいずれかにおいて、上記電磁誘導加熱を発生させるための誘導電流は、上記版の開口部の長手方向沿いに流れる印刷装置を提供する。

上記本発明の上記態様の構成によれば、版自体を誘導加熱により加熱する結果、版に保持される印刷ペース卜の部分（印刷ペーストの版の貫通孔の内壁面に当接した部分及びその近傍の部分）がその内側部分に比較して温度が上昇してその粘度が低下する。この結果、版と印刷ペーストとの間での印刷ペーストの粘着力が低下し、版から印刷ペース卜が容易に分離する際の抵抗力が小さくなり、版離れ動作を良好に行うことができる。よつて、印刷ペーストが版側に残らないので、次回の印刷時の印刷にじみを引き起こすことがなく、被印刷体側へも所定童すなわち所定形状及び所定位置に印刷ペーストを供給して印刷ペースト層を印刷形成することができる。また、本発明の上記態様によれば、版の貫通孔の内壁面部分での印刷べ一ストの抵抗力が小さくなるので、従来の版離れ速度（例えば 0. I mmZ s以上 l mm/ s未満）よりも高速（例えば l mm/ s以上 S mmZ s以下）に設定しても、又は速度制御無しでも、良好な印刷結果を得ることができる。

また、上記誘導加熱によれば、版自体が発熱するため、誘導加熱動作の停止後はすぐに版の放熱が行え、版以外の他の部分が加熱されることがなく、次の印刷動作等や版の周囲の装置等に悪影響を及ぼすことがない。これに対して、熱風、輻射加熱（赤外線加熱）、又は伝導加熱のように版の外部から熱を放射して版を加熱する方法では、版の周囲の部材ゃ空気も加熱されてしまうとともに、加熱装置自体も熱くなるため該加熱装置の周囲の部材ゃ空気も加熱されてしまうため、次の印刷動作等や版の周囲の装置等に悪影響を及ぼすことがある。また、このように加熱装置から版に熱を伝える方法では、版のみならず、加熱装置や版の周囲の部材ゃ空気に熱が伝わるため、加熱効率が悪いという欠点がある。

また、誘導加熱装置を版に接触させることなく非接触で誘導加熱を行う場合、版の表面の印刷ペーストに誘導加熱装置が接触しないため、誘導加熱装置が印刷ペーストにより汚れることがない。また、非接触にすることにより、被印刷体の下面に電子部品がある場合には、当該電子部品との距離が大きくなり、誘導加熱の際に電子部品に悪影響が生じるのを防止することができる。図面の簡単な説明

本発明のこれらと他の目的と特徴は、添付された図面についての好ましい実施形態に関連した次の記述から明らかになる。この図面においては、図 1 A , 図 1 B . 図 1 C , 図 1 Dは、それぞれ、本発明の一実施形態にかかる印刷方法を説明するための説明図であり、

図 2は、本発明の一実施形態にかかる印刷装置のブロック図であり、図 3は、図 2の印刷装置の斜視図であり、

図 4は、図 2の印刷装置の印刷動作のフローチャートであり、図 5は、上記印刷装置のスクリーンマスク加熱装置によるスクリーンマスクの加熱状態の断面図であり、

図 6は、図 5の上記スクリーンマスク加熟装置の誘導コイルの斜視図であり、

図 7A. 図 7B. 図 7 Cは、それぞれ、誘導加熱によるクリーム半田の粘度分布のグラフ、温度分布のグラフ、スクリーンマスクの貫通孔内のクリーム半田の状態を示す説明図であり、

図 8は、クリーム半田の温度と粘度との関係を示すグラフであり、図 9は、スクリーンマスク加熱装置がスクリーンマスクに直接接触している本発明の一実施形態の断面図であり、

図 10A, 図 10B, 図 10 図 10Dは、それぞれ、 X方向沿いに、 Y方向沿いに、 45度に交差するようにスクリーンマスクの貫通孔が並んでいる状態の説明図、図 10 Cのような貫通孔のパターンを使用する QF Pの斜視図であり、

図 11A. 図 11Bは、それぞれ、スクリーンマスクの貫通孔の内壁面からの距離と剪断力との閱係を示すグラフ及びその説明図であり、

図 12A, 図 12Bは、それぞれ、スキージに代えて円柱状の充填ローラを使用する本発明の一実施形態における充填ローラの斜視図及び該充填ローラによる印刷状態の一部断面の説明図であり、

図 13A. 図 13Bは、それぞれ、スキージに代えて、ピストンによる押し出し機能を利用する本発明の一実施形態の説明図、圧縮エアーによる押し出し機能を利用する本発明の一実施形態の説明図であり、

図 14は、直刷り平版耘写印刷方式に本発明を適用した場合の本発明の —実施形態の説明図であり、

図 15A. 図 15Bは、それぞれ、オフセット印刷方式に本発明を適用した場合の本発明の一実施形態の説明図であり、図 16は、平版型の凹版転写印刷方式に本発明を適用した場合の本発明の一実施形態の説明図であり、

図 17は、凹版転写印刷方式（グラビア印刷方式）に本発明を適用した場合の本発明の一実施形態の説明図であり、

図 18A. 図 18B. 図 18C, 図 18D. 図 18Eは、それぞれ、從来のスクリーン印刷方式を示す説明図であり、

図 19A, 図 19B. 図 19C, 図 19Dは、それぞれ、従来のスクリ一ン印刷方式を示す説明図であり、

図 20は、本発明の上記実施形態にかかる X方向駆動装置の斜視図であ < ,

図 21は、本発明の上記実施形態にかかる版離れ装置（Z方向駆動装置）の斜視図であり、

図 22は、本発明の上記実施形態にかかる別の版離れ装置（Z方向駆動装置）の斜視図であり、

図 23は、本発明の別の実施形態にかかる長方形状の誘導コイルの斜視図であり、

図 24は、図 23の誘導コイルを 2つ用意して QFPの対角に位 Sする 2つの角上にそれぞれ配置し、各莨通孔の長手方向沿いに誘導電流が流れるようにした状態を示す斜視図であり、

図 25は、図 23の誘導コイルを 4つ用意して QF Pの 4つの角上にそれぞれ配置し、各貫通孔の長手方向沿いに誘導電流が流れるようにした状態を示す斜視図であり、

図 26は、図 23の誘導コイルを 1つ用意して QFPの上方に配置し、かつ、貫通孔のパターンに対して 45度傾斜した形で配置し、各貫通孔に同じ量の誘導電流が流れるようにした状態を示す斜視図である。発明を実施するための最良の形態

本発明の記述を続ける前に、添付図面において同じ部品については同じ参照符号を付している。

以下に、本発明にかかる実施形態を図 1 A〜図 1 7. 2 0. 2 1 . 2 2 に基づいて詳細に説明する。

本発明の一実施形態にかかる印 M方法は、図 1 A〜 1 Dに示すように、印刷ペースト、例えばクリーム半田をプリン卜回路基板のランド上に印刷する平板孔版（スクリーン）式印刷方法に関するものである。この実施形態にかかる印刷方法は以下のようなものである。まず、図 1 Aに示すように、プリント回路基板 1 4のランド 1 5に対応して所定パターンに配置された貫通孔 1 1 aを有するスクリーンマスク（メタルマスク） 1 1を基板 1 4上の所定位置に位置させて接触させる。次いで、スクリーンマスク 1 1の一端にクリーム半田 1 2を供給し、スキージ 1 3でこのクリーム半田 1 2をスクリーンマスク 1 1の一端から所定方向に移動させることによりスクリーンマスク 1 1の貫通孔 1 1 a内にクリーム半田 1 2を充填する。次いで、図 1 Bに示すように、誘導加熱によりスクリーンマスク 1 1の貫通孔 1 1 aの内壁面の温度を上昇させる。このとき、内壁面の温度が、使用するクリーム半田 1 2の粘性が低下してスクリーンマスク 1 1の貫通孔 1 1 aの内壁面に付着しにくくなる程度の温度になるまで上昇させる。次いで、図 1 Cに示すように、スクリーンマスク 1 1を基板 1 4から取り外すことにより、スクリーンマスク 1 1の貫通孔 1 1 a内のクリーム半田 1 2を基板 1 4のランド 1 5上に移動させ、図 1 Dに示すようにクリーム半田層 1 2 aを基板 1 4のランド 1 5上に形成するようにしている。このとき、誘導加熱によりクリーム半田 1 2の粘性が低下しているため、スクリ —ンマスク 1 1の貫通孔 1 1 a内のクリーム半田 1 2が: S通孔 1 1 aの内壁面にほとんど付着することがない。よって、スクリーンマスク 1 1を基板 1 4から取り除いても貫通孔 1 1 a内のクリーム半田 1 2がそのまま基板 1 4のランド 1 5上に形成されたままとなり、所定形状のクリーム半田層 1 2 aを所定位置に形成することができる。

上記実施形態にかかる印刷方法は、図 2 , 3に示す本発明の一実施形態にかかる印刷装置により実施することができる。この印刷装置により行われる印刷方法のより具体的な動作は図 4のフローチヤ一トに示されている。図 2において、上記印刷装置は、搬入装置 2 1 aと搬出装置 2 l bとを備えた基板搬入 ·搬出装置 2 1、基板サポート装置 2 2、スクリーンマスク 1 1、スキージへッド駆動装置 2 4、 Χ Υ β位置補正装置 2 5と版離れ装置 2 6とを備えたステージ部 2 0、誘導加熱部 2 8とタイマー 2 9とを備えたスクリーンマスク加熱装置 2 7が制御部 3 4の制御の元に駆動されるようにしている。また、制御部 3 4には、処理演算部 3 1と認識カメラ部 3 2とを備えた基板位置認識補正部 3 0からの基板位置認識補正情報が入力されるとともに、処理演算部 3 9と印刷状態検知手段 4 0と検査基準記憶部 4 1とを備えた印刷検査部 3 8からは印刷検査情報が入力されるようになつている。また、処理演算部 3 6と良品印刷データベース 3 7とを備えたプロセスコントロール部 3 5と上記制御部 3 4との間ではプロセス情報を入出力するとともに、上記印刷検査部 3 8から印刷状態の惰報を入力して、プロセスコントロールを行うようにしている。また、制御部 3 4 は、必要に応じて、操作及び検査の結果、印刷されたクリーム半田 1 2の状態などの情報を表示部 3 3に表示するようにしている。

上記基板 1 4は基板搬入 ·搬出装置 2 1の搬入装置 2 1 aにより上記ステージ部 2 0まで搬入され、ステージ部 2 0で位置補正されたのち印刷位置に移動され、該印刷位置で印刷された後は上記印刷位置から基板搬入 · 搬出装 S 2 1の搬出装置 2 1 bにより印刷装置外に搬出される。

上記ステージ部 2 0では、まず、ステージ部 2 0に配置された基板サボ一ト装置 2 2で基板 1 4が位置保持される。基板 1 4の位置保持の仕方は、例えば、基板サボ一卜装置 2 2の表面に開口した多数の吸引孔で基板 1 4 を真空吸引する方法や、基板 1 4の下面を多数のバックアップビンにより支持する方法などがある。この基板 1 4の位置保持状態で、基板位置認識楠正部 3 0の認識カメラ部 3 2により基板 1 4の位 S補正用マーク（図示せず）を認識する。処理演算部 3 1により、上記認識された基板 1 4の位置とスクリーンマスク 1 1の位置との間での位置ズレを演算しかっこの位置ズレを補正するための基板 1 4の位置補正蘆を演算する。この演算結果をステージ部 2 0の X Y 0位置補正装置 2 5に入力する。この入力された位置補正情報に基づき、ステージ部 2 0の X Y 0位置補正装置 2 5で基板 1 4のスクリーンマスク 1 1に対する位置補正が行われる。すなわち、 X 位置補正装置 2 5により、上記位置補正情報に基づいてスクリーンマスク 1 1に対して印刷装 Sの水平面- いの直交する X Y方向及び上下方向の Z軸回りの 0方向において基板 1 4の位置補正が行われる。上記 X Y 0 位補正装置 2 5は、 X方向（基板搬入 ·搬出方向）沿いに移動可能な X 方向テーブル 2 5 aの上に Y方向に移動可能な Y方向テーブル 2 5 bを載置し、さらにその上に 0方向に回転可能な 0方向テーブル 2 5 cを載置して構成して、それぞれの方向に位置補正置だけ各テーブルを移動させて基板 1 4の位置補正を行うようにしている。なお、 X方向の位置補正は、 Y 方向及び 0方向の位置補正が終了したのちでかつ、印刷位置まで基板 1 4 を移動させて停止させた後でスクリーンマスク 1 1に基板 1 4が接触する前に、 X方向テーブル 2 5 aにより、 ί亍うようにしている。

この X方向位置補正装置を兼ねた X方向駆動装置 2 0 Xを図 2 0に示す。図 2 0において、 X方向に延びる一対の直線ガイド 2 5 ms¾ 、に X方向テ —ブル 2 5 aが X方向に移動可能に配置されており、駆動モータ 2 5 の正逆回転駆動によりねじ軸 2 5 nを正逆回転させて、 ¾ねじ軸 2 5 nと嫘合したナット 2 5 rに固定された X方向テーブル 2 5 aを X方向沿いに配後動させるようにしている。

上記基板サポー卜装置 2 2で保持された基板 1 4はステージ部 2 0の上記 X方向駆動装置 2 0 Xにより X方向に印刷位置まで移動される。この印刷位置では基板 1 4がスクリーンマスク 1 1の下方に位置しており、版雠れ装置 2 6によりスクリーンマスク 1 1の下面に基板 1 4の上面が接触するまで上昇させられる。そして、スクリーンマスク 1 1の下面が基板 1 4 の上面に接 liした伏態で、クリーム半田 1 2がスクリーンマスク 1 1上の X方向の一端に供給され、スキージ 1 3を上記スキージへッド駆動装 g 2 4によりスクリーンマスク 1 1の X方向の上記一端から他端まで X方向沿いに移動させてスクリーンマスク 1 1の貧通孔 1 1 a内にクリーム半田 1 2を充填させる。

上記スクリーンマスク 1 1は、例えば)！:さ 1 5 0 m程度のニッケル又はステンレス製の板に上記基板 1 4の銅製の導体パターン部（ランド） 1 5に応じた貫通孔 1 1 aからなる開口部を形成して構成されている。上記スキージへッド駆動装置 2 4は、上記スクリーンマスク 1 1の貫通孔 1 1 a内にクリーム半田 1 2を充填するためのスキージ 1 3をスクリ一ンマスク 1 1上で移動させるものである。スキージ 1 3は、平板より構成するか、又は断面側面形状が剣形（大略五角形）の板より構成し、モータ 2 4 cの駆動によりボールネジ 2 4 bを正逆回転させて該ボールネジ 2 4 bに螺合したスキージへッド 2 4 aを上記ボールネジ 2 4 bの軸方向沿いに前後動してスキージ 1 3をスクリーンマスク 1 1上で移動させる。スキ —ジへッド 2 4 aはモータ 2 4 dの正逆回転により上下動することができる。また、スキージ 1 3自体のスクリーンマスク 1 1に対する傾斜角度もシリンダ 2 4 f により調整することができる。すなわち、スキージ 1 3力 < 図示しない部分で回転可能に支持され、上記シリンダ 2 4 f を駆動させてスキージ 1 3の一端を上下動させることにより上記支持点を支点としてスキージ 1 3を回転させて傾斜調整可能としている。

上記スクリーンマスク 1 1の貫通孔 1 1 aに充填されたクリーム半田 1 2はその下端面が貫通孔 1 1 aに対応する基板 1 4のランド 1 5上に接触する状態となっており、上記版離れ装置 2 6によりスクリーンマスク 1 1 を基板 1 4から分離させることにより、基板 1 4のランド 1 5上にクリ一ム半田層 1 2 aが形成されるようにしている。

上記版離れ装置 2 6の一例を図 2 1に示す。図 2 1において、 A Cサーボモータ 2 5 tの正逆回転駆動によりベルト 2 5 uを介して眍動ナツト 2 5 Vを正逆回転させ、該ナツ卜 2 5 Vと螺合したねじ軸 2 5 wを上下動させ、このねじ上下動 2 5 wの上端に固定された基板サボ一ト装置 2 2を上下動させて基板 1 4を昇降させるようにしている。よって、ステージ部 2 0の X方向駆動装置 2 0 χにより基板 1 4を基板位置補正動作位 aからスクリーンマスク 1 1下方の印刷位置まで X方向沿いに移動させられたとき、上記版離れ装置 2 6の A Cサーボモータ 2 5 tを駆動して、スクリーンマスク 1 1の下面に基板 1 4の上面が接触するまで基板 1 4を上昇させる。一方、印刷終了後は、版離れ動作を行うため、上記版離れ装置 2 6の A C サ一ボモータ 2 5 tの駆動により、スクリーンマスク 1 1に対して基板 1 4を下降させる。なお、版離れした基板 1 4は基板搬出装置 2 l bで印刷装 S外に搬出される。

また、図 2 2には、別の版離れ装置を示す。図2 2において、 4 0 2はステージ部（基板サボ一ト装置）、 417は ACサーボコントローラー、 414は ACサーボコントローラー 417で制御される ACサーボモータ、 408は ACサーボモータ 414で正逆回転させられるボールネジ、 40 9はボールネジ 408の上部軸受け、 410はボールネジ 408の下部軸受け、 411はボールネジ 408側のプーリー、 412は ACサーボモータ 414側のプーリー、 413はタイミングベルト、 415はステージ部 402の昇降をガイドしているリニアガイドである。この版離れ装匱は、ステージ部（基板サポート装置） 402が ACサ一ボコントローラー 41 7と ACサ一ボモータ 414とボールネジ 408により、任意に設定した速度及び範囲で昇降できるようになつており、基板 14とスクリーンマスク 11の版離れ速度を任意に調整することができる。

上記版離れ動作を行う直前、言い換えれば、クリーム半田 12の印刷が終了する直後に、スクリーンマスク 11をスクリーンマスク加熱装置 27 による誘導加熱により加熱する。上記スクリーンマスク加熱装置 27は、図 5， 6に示すように、スクリーンマスク 11上に所定距離だけ離した状態で誘導加熱部 28のリング状の誘導コイル 28 aを配置する。そして、クリーム半田 12がスクリーンマスク 11の貫通孔 11 a内に充填されたとき、タイマー 29で設定された時間、例えば数 m s e c〜数秒以内の時間の間だけ誘導コイル 28 aに電流を流して誘導磁界を発生させ、スクリーンマスク 11自体に誘導電流を流して誘導加熱によりスクリーンマスク 11自体を直接加熱するようにしている。この誘導コイル 28 aの一例としては、内側の線径が直径 50mm、外側直径が 170mm、厚さ 2min の円形ドーナツ形状をなし、 35本のエナメル線又は銅線等の電気抵抗の低い（ジュール熱を発生しない）導線が巻き数 h = 21で巻かれて誘導コィルを構成している。誘導加熱条件としては、 100V、 60Hzのとき電力 1 4 0 O Wを数秒間だけ供袷して誘導加熱を行う。本実施形態では、上記誘導コイル 2 8 aは図 5に示すように所定間隔だけスクリーンマスク 1 1の上面から離して非接触状態で配置されている。クリーム半田 1 2の印刷時にはスクリーンマスク 1 1の上方から退避してクリ一ム半田 1 2の印刷を阻害しないようにする一方、誘導加熱時にはスクリーンマスク 1 1 の上方に移動して誘導加熱できるようにしてもよい。この誘導コイル 2 8 aと上記スクリーンマスク 1 1との間隔は、上記誘導コイル 2 8 aにより上記スクリーンマスク 1 1に対して所定の誘導電流が流れる寸法に構成されるのが好ましい。

上記誘導加熱において、スクリーンマスク 1 1は、ステンレス等の導電性材料より構成されるため誘導電流が流れるが、ステンレス等は鋦と比較して抵抗が大きいためスクリーンマスク自体が発熱することになる一方、クリーム半田 1 2は、半田粒子径が小さく又はフラックスによりクリーム状になっており導電性もないため、誘導電流が流れず、発熱はしない。よつて、図 7に示すように、誘導加熱によりスクリーンマスク 1 1が加熱されると、スクリーンマスク 1 1の貫通孔 1 1 aの内壁面の温度が上昇するため、クリーム半田 1 2の上記 S通孔 1 1 aの内壁面に接触している部分及びその周囲の部分では温度が上昇する一方、クリーム半田 1 2の中心部分では温度が上昇せず、クリーム半田 1 2の中心部分と外周部分（貫通孔 1 1 aに接触する部分）との間で図 7 Bに示すように温度勾配が形成されることになる。すなわち、クリーム半田 1 2は、貫通孔 1 1 aの内壁面に接触する部分の温度が高く、当該部分からクリーム半田 1 2の中心部分に向かうに従い、徐々に温度が低下するような温度勾配を有するようになる。この結果、図 7 Aに示すように、クリーム半田 1 2の粘度が中心部分に比較して外周部分の粘度が低下することになる。これは、クリーム半田 1 2 が図 8に示すような特性、すなわち、温度が上昇するに伴い粘度が低下するという特性を有しているからである。この誘導加熱により、スクリーンマスク 1 1の貫通孔 1 1 aの内壁面と該内壁面に接触するクリーム半田 1 2との間でのクリーム半田 1 2の粘度が低下することになり、クリーム半田 1 2がスクリーンマスク 1 1の貫通孔 1 1 aから分雔しゃすくなり、版雜れが良好に行えることになる。

なお、上記クリーム半田 1 2の材質の 1つの例としては、金属粉末 9 0 重量％とフラックス 1 0重量％とを含むものが好ましい。上記金属粉末は、そのうちの 6 2重量％程度が錫で、残りが鉛であり、粒径は 2 0〜4 0 mである。上記フラックスは、溶剤としてアルコール等が 7 5〜4 0重量 %で、残りの固形分が 2 5 ~ 6 0重量％である。この固形分はロジン、活性剤、チクソ剤を含んでいる。具体的なクリーム半田の製品例としては、錫 6 3重量％、鉛 3 7重量％の製品番号 MR 7 1 2 5の Panasonic製のクリーム半田が挙げられる。

また、上記スクリーンマスク 1 1の材質としては、ニッケル' クロム系などのステンレス系（例えば、 S U S 3 0 4 ) や、ニッケル系などの金属が好ましい。また、ポリイミドなどの合成樹脂の表面及び貫通孔の内壁面に導電性の蒸着膜又はメツキ膜を形成したスクリーンマスクも使用できる。この場合、上記貫通孔の内壁面の導電性の蒸着膜又はメツキ膜の部分で電磁誘導を発生させることかできる。

さらに、上記被印刷体としての基板 1 4は導電性に優れた銅より構成すれば、電磁誘導により基板 1 4が発熱することがほとんどなく、基板上の電子部品等に悪影響を与えることがない。

また、印刷検査部 3 8は、基板 1 4のランド 1 5上に形成されたクリーム半田層 1 2 aの形成状態すなわちクリーム半田層 1 2 aの形状及び位置を印刷状態検知手段 4 0の一例としてのカメラ又はレーザ測長器により測定し、測定結果に基づき、処理演算部 3 9によりクリーム半田層 1 2 aの体積や位置ズレ量を演算する。レーザ測長器はレーザをクリーム半田層 1 2 に照射して反射光の位置からクリーム半田 ¾ 1 2 aの高さ等を算出するものである。上記演算結果を検査基準記憶部 4 1に記憶された検査基準と比較し、印剐が良好か否かを判定し、その判定結果を制御部 3 4に出力するとともに、印刷不良の場合にはその不良内容を数値的に表してその数値をも制御部 3 4に出力する。この判定動作は、例えば、印刷状態検知手段 4 0のカメラで取り込まれた画像又はレーザ測長器で測定された位置デ一夕からクリーム半田層 1 2 aの高さ、幅、体積などを算出し、検査基準記億部 4 1に記憶されたクリーム半田層の高さ、幅、体積などの判定データと上記算出された値とを上記処理演算部 3 9で比較し、印刷が良好か否かを判定することにより行う。

また、プロセスコントロール部 3 5は、印刷検査部 3 8により印刷後のクリーム半田層 1 2の印刷状態のデータに基づき、印刷装置のパラメータの設定変更を行うものである。ここで、上記パラメータとは、一例として、良品印刷データベース 3 7に記慷された各設備のパラメータ（例えば、印刷速度、スキージ 1 3の傾き角度、印刷時の周囲温度（例えば、重要な順に挙げれば、スキージの温度、スクリーンマスクの温度、基板の温度や、それらの周囲の空気等の温度など）、印刷圧力言い換えればスキージ 1 3 がスクリーンマスク 1 1へ押し当てられる圧力、基板 1 4の版離れ速度及び加速度のプロファイルなど）及び誘導加熱条件（例えば、加熱出力、加熱時間、加熱開始タイミングなど）を意味する。このパラメータと印刷品質との関係をデータベースとして記憶させておき、プロセスコントロール部 3 5の処理演算部 3 6により最適パラメータを計算する。次に、上記印刷装置で実施される上記印刷方法を図 4のフローチヤ一トを元に説明する。なお、この一連の動作は制御部 3 4により制御されている。

ステップ S 1では、基板搬入 ·搬出装置 2 1の搬入装置 2 1 aにより基板 1 1をステージ部 2 0に搬入する。

次に、ステップ S 2では、ステージ部 2 0に搬入された基板 1 4を基板サボ一ト装置 2 2で保持する。

次に、ステップ S 3では、基板位置認識補正部 3 0により、基板サポート装置 2 2で保持された基板 1 4の位置を認識するとともに、スクリーンマスク 1 1に対する基板 1 4の位置補正量を算出する。

次に、ステップ S 4では、上記算出された位置補正 Sに基づき、ステージ部 2 0の X Y 0位置捕正装 S 2 5によりスクリーンマスク 1 1に対する基板 1 4の方向の位置をそれぞれ補正する。

次に、ステツブ S 5では、ステージ部 2 0によりスクリーンマスク 1 1 の下方の印刷位置に基板 1 4を位置決めし、ステージ部 2 0により基板 1 4を上昇させてスクリーンマスク 1 1が基板 1 4の上面に接触するようにする。

次に、ステップ S 6では、スキージ 1 3をスクリーンマスク 1 1上で移動させてクリーム半田 1 2をスクリーンマスク 1 1の貫通孔 1 1 a内に充填させる。

次に、ステップ S 7では、スクリーンマスク 1 1を誘導加熱させるか否か判断する。貫通孔 1 1 aからクリーム半田 1 2が分離しやすい場合など誘導加熱しない場合には、ステップ S 8に進む。誘導加熱する場合にはステツプ S 9に進み、予め決められている加熱時間にタイマー 2 9をセットして、ステップ S 1 0でクリーム半田 1 2の印刷終了後直ちに誘導加熱部 2 8の誘導コイル 2 8 aによりスクリーンマスク 1 1を誘導加熱する。

そして、ステップ S 8では、誘導加熱を行った場合には、誘導加熱後、直ちに、版離れ動作を行う。すなわち、ステージ部 2 0の版雜れ装置 2 6 の駆動により、スクリーンマスク 1 1に対して基板 1 4を下降させて基板 1 4をスクリーンマスク 1 1から分離させて、クリーム半田 1 2をスクリーンマスク 1 1の貫通孔 1 1 a内から基板 1 4のランド 1 5上に転写する。また、誘導加熱を行わない場合には、クリーム半田 1 2の印刷終了後に上記版離れ動作を行い、クリーム半田 1 2をスクリーンマスク 1 1の貫通孔 1 1 a内から基板 1 4のランド 1 5上に転写する。

次に、ステップ S 1 2では、印刷検査部 3 8で基板 1 4上に形成されたクリーム半田層 1 2 aの形状や位置などを検査する。

次に、ステップ S 1 3では、上記検査の結果、印刷状態が良好か否か判定する。印刷状態が良好であると判定された場合にはステップ S 1 4に進み、ステップ S 1 4で基板 1 4を搬出装置 2 1 bにより上記印刷装置から搬出して一連の印刷動作終了する。ステップ S 1 3で印刷状態が不良であると判定された場合にはステップ S 1 5に進み、プロセスコントロール部 3 5により、プロセスパラメータの設計変更が行われて一連の印刷勅作を終了する。このステップ S 1 5で設計変更された最適な条件の惰報に基づき、次のクリーム半田 1 2の印刷が行われ、印别後のステップ S 8の版離れ工程とステップ S 1 0のスクリーンマスク 1 1の誘導加熱工程を行うようにしている。なお、場合によっては、印刷不良と判定されたクリーム半田層を取り除き、再度、ステップ S 1 5で設計変更された条件の元に、新たな印刷動作を行い、印刷後のステップ S 8の版離れ工程とステップ S 1 0のスクリーンマスク 1 1の誘導加熱工程を行うようにしてもよい。

このフローチヤ一トでは、一例として、版離れ条件を設計変更してステツプ S 8の版離れ工程を行う場合と、誘導加熱条件を設計変更してステップ S 9 , 1 0の誘導加熱工程を行う場合が図示されている。このパラメータの設計変更は、すべてのパラメータの設計変更を同時に行うのではなく、印刷状態に応じて適宜選択されたパラメータのみの設計変更を行う。

上記実施形態によれば、スクリーンマスク 1 1自体を誘導加熱により加熟する結果、スクリーンマスク 1 1の貫通孔 1 1 aの内壁面に接触するクリーム半田 1 2の外周部分がその中心部分に比铰して温度が上昇してその粘度が低下することになる。この結果、スクリーンマスク 1 1の貫通孔 1 1 aの内壁面とクリーム半田 1 2との間での粘着力が低下し、スクリーンマスク 1 1からクリーム半田 1 2が容易に分離することになり、版離れ動作を良好に行うことができる。よって、クリーム半田 1 2がスクリーンマスク 1 1側に残らないので、次回の印刷時の印刷にじみを引き起こすことがなく、基板 1 4側へも所定量すなわち所定形状及び所定位置にクリーム半田 1 2を供給してクリーム半田届 1 2 aを印剐形成することができる。また、上記誘導加熱によれば、スクリーンマスク 1 1自体が発熱するため、誘導加熱動作の停止後はすぐにスクリーンマスク 1 1の放熱が行えるとともに、スクリーンマスク 1 1以外の他の部材を加熱することがなく、次の印刷動作等ゃスクリーンマスク 1 1の周囲の装置等に悪影響を及ぼすことがない。これに対して、熱風、輻射加熱（赤外線加熱）、又は伝導加熱のようにスクリーンマスク 1 1の外部から単に熱を放射してスクリーンマスク 1 1を加熱する方法では、スクリーンマスク 1 1の周囲の部材ゃ空気も加熱されてしまうとともに、加熱装置自体も熱くなるため該加熱装の周囲の部材ゃ空気も加熱されてしまうため、次の印剐動作等ゃスクリーンマスク 1 1の周囲の装置等に悪影響を及ぼすことがある。また、このように加熱装置からスクリーンマスク 1 1に熱を £える方法では、スクリーンマスク 1 1のみならず、加熱装置ゃスクリーンマスク 1 1の周囲の部材や空気に熱が伝わるため、加熱効率が悪いという欠点がある。

また、誘導加熱部 2 8をスクリーンマスク 1 1に接触させることなく非接触で誘導加煞を行う場合、スクリーンマスク 1 1の表面に残ったクリ一ム半田 1 2に誘導加熱部 2 8の誘導コイル 2 8 aが接触しないため、誘導コイル 2 8 aがクリーム半田 1 2により汚れることがない。また、非接触にすることにより、基板 1 4の下面に電子部品がある場合には、当該電子部品との距離が大きくなり、誘導加熱の際に電子部品に悪影響が生じるのを防止することができる。

ここで、誘導加熱により、どの程度、微細なパターンのクリーム半田 1 2を貫通孔 1 1 aから良好に分離できるかを実験した。貫通孔の直径は約 0 . l mm. 貫通孔の中心間の ¾離すなわち隣接する貫通孔のピッチは 0. 2 mmであった。また、空気、クリーム半田、スクリーンマスク等の周囲温度は 2 3 ^eCであった。実験結果を図 1 1 A. 図 1 1 Bに示す。図 1 1 A. 図 1 1 Bに示すように、この実験においては、スクリーンマスク 1 1の貢通孔 1 1 aに充填されたクリーム半田 1 2の版離れ時の剪断力をみると、贯通孔のピッチが 0. 2 mm以下の部分では剪断力の低下が見られず、微細印刷の限界としてはピッチ 0. 2 mmが限界となり、貫通孔の内壁面からり距雜 dが 0 . 0 5 mm以下では大きな剪断力の低下が期待できないと思われた。

よって、本発明においては、誘導加熱を利用することにより、従来は困難であったピッチ 0. 3 mmの微細印刷が十分に行えるほか、クリーム半田等の条件によってはピッチ 0. 2 mm程度までの微細印刷も行うことができる。

また、誘導加熱条件としては、 1 4 0 0 Wの電力を 1〜2秒供給することにより、ギヤップ 1 mmでスクリーンマスク 1 1は 5 0〜 7 0 °C程度まで上昇させることができる。さらに、供給電力を 2 0 0 0 W程度にすることにより、 1秒以内で同等の温度上昇が可能となり、それにより貫通孔 1 1 a内のクリーム半田は貫通孔 1 1 aの内壁面とその中心部との間にさらに大きな温虔差を実現することができる。また、誘導コイルをスクリーンマスク 1 1に接触させることにより、より効率の良い温度上昇を図ることができる。

また、上記誘導加熱版離れ工法において、貫通孔 1 1 aの内壁面と貫通孔 1 1 aの中央部分との温度差は、その貫通孔幅に依存することになる。従って、複数種類の貫通孔幅を有するスクリーンマスクでは、誘導加熱の対象となる複数の貫通孔のなかで最小の貫通孔サイズに合わせて条件設定を行えばよい。すなわち、最小の貫通孔幅が 0. 1 5 mm程度であれば、先に述べたように、誘導コイルへの電力供給が 2 0 0 0 W、供給時間が 1 秒程度というように急激な制御が必要であるが、最小の貫通孔幅が 1 mm という比較的ラフな複数の貫通孔であれば、供給電力が 1 0 0 0 W、供耠電力が 2〜3秒でよい。従って、スクリーンマスクのパターン（言い換えれぱ、莨通孔の配置及びサイズなど）により誘導コイルの加熱条件を事前に決定することができる。また、その際の、貫通孔サイズに合った誘導コィル加熱条件は、予め測定したクリーム半田の特性値（温度に対する粘度性、ずり応力値、降伏値）から求めた、各貫通孔に対する版離れに最適な特性値に近い加熱条件を選定しても良い。

なお、上記スクリーンマスク 1 1のマスククリーニングを行う際にも、誘導加熱による温度コントロールを行うことができる。これにより、スクリーンマスク莨通孔内、及び裏面に残ったクリーム半田がより効率よく除去できる。その際の条件は、版離れ時ほど厳密に制御する必要はなく、クリーム半田の流動性が良くなる程度に加熱できればよい。例えば、 1 0 0 0 Wでクリーニング時間中、加熱させるようにしても良い。

なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その他種々の態様で実施できる。

例えば、上記実施形態では、スクリーンマスク 1 1と基板 1 4とを相対的に分離させるために、スクリーンマスク 1 1を静止させた状態で基板 1 4を下降させるようにしている。しかしながら。これに限られるものではなく、基板 1 4を静止させた状態でスクリーンマスク 1 1を移動させるようにしてもよいとともに、スクリーンマスク 1 1と基板 1 4との両方を互いに分離させる方向に移動させるようにしてもよい。

また、印刷ペーストはクリーム半田 1 2に限るものではなく、本発明が適用可能ならば任恚の材料でもよい。例えば、クリーム半田に代えて、 2 0 0 m程度以下の微小粒子径を有する金属粉末とフラックスとより構成するものでもよい。この金属粉末の例としては銀ゃ鋦などを挙げることができる。

また、スクリーン印刷の場合、スキージによる印刷ペーストの搔き取り動作終了後に誘導加熱を発生させるようにしているが、これに限らず、搔き取り動作と同時的に誘導加熱を発生させ始めて、最初は所定加熱温度より低 t、温度で加熱を行い、搔き取り動作終了後に誘導加熱により上記所定の温度まで印刷ペーストの外周部分を上昇させてその粘度を低下させるようにしてもよい。

また、上記スクリーンマスク 1 1の全体を均一に誘導加熱するものに限らず、クリーム半田 1 2の回路パターンのうちの版離れの悪い部分に対してのみ部分的に誘導コイル 2 8 aを対向させて、当該部分のみを誘導加熱するようにしてもよい。また、非接触で誘導加熱する場合に限らず、図 9に示すように、誘導加熱部 2 8をスクリーンマスク 1 1の上面に接触させて誘導加熱するようにしてもよい。この場合には、誘導加熱部 2 8の誘導コイル 2 8 aとスクリーンマスク 1 1との距離が小さくなるため、効率良く、かつ、局所的に集中して誘導加熱することができる。なお、図 9において 2 8 bは誘導磁界である。

また、誘導加熱の誘導電流の流れる方向沿いに長い貫通孔では、その内壁面が誘導加熱されやす t、一方、上記誘導電流の流れる方向とは直交する方向に長い貫通孔の内壁面が誘導加熱されにくい傾向がある。よって、図 1 O Aに示すように、 X方向沿いに長い貫通孔 1 1 aは、この貫通孔 1 1 aの長手方向沿いに誘導コイル 2 8 cを配置して、図 1 O Aにおいて 2 8 cで示す線のように誘導コィルに電流を流して誘導電流を発生させるのが、発熱効率上、好ましい。よって、図 1 0 Bに示すように Y方向に長い貫通孔 1 1 aもその長手方向沿いに誘導コイル 2 8 cを配置して、図 1 0 Bにおいて 2 8 cで示す線のように誘導コイルに電流を流して誘導電流を発生させるのが好ましい。この図 1 0 Bにおいて、仮に矢印 2 8 eの方向に誘導コィルを配して該誘導コィルに電流を流すと、 Y方向沿いの貫通孔 1 1 aの内壁面はさほど発熱しないことになる。図 1 0 Dに示すような Q F P ( Q u a d F l a t P a c k a g e ) では隣接する辺の貫通孔 1 1 aの長手方向が 4 5度に交差することになるため、図 1 0 Cに示すように V字状に誘導コイルを配置して、図 1 0 Cにおいて 2 8 cで示す線のように誘導コィルに罨流を流して誘導電流を発生させることが、発熱効率上、好ましい。

また、例えば、図 1 0 Aのように X方向に電流を流す第 1誘導コイルと図 1 0 Bのように Y方向に電流を流す第 2誘導コイルとを重ね合わせて 1 つの誘導加熱部として使用することもできる。このように 2つの誘導コィルを重ね合わせて構成された誘導加熱部において、第 1誘導コイルと第 2 誘導コイルとのいずれか一方に又は第 1誘導コイルと第 2誘導コイルとに交互に電力を供袷することにより、貫通孔のパターンが異なっても、同一の誘導加熱で、図 1 OAのような X方向沿いの貫通孔に対しては X方向のみに誘導コイルに罨流を流したり、又は図 10Bのような Y方向沿いの貫通孔に対しては Y方向のみに誘導コイルに電流を流したり、又は図 10 c, mi 0Dのような X方向と γ方向の両方向の貫通孔に対しては X方向と Y方向に交互に 2つの誘導コイルにそれぞれ電流を流すことができる。この結果、図 10 C, 図 10 Dの莨通孔に対しては、 X方向沿いの貫通孔 11 aと Y方向沿いの貫通孔 11 aの両方を大略均等に誘導加熱することができる。また、図 10 A. 図 10B, 図 10C, 図 10Dのように貫通孔のバタ一ンが異なつても、同一の誘導加熱部で X方向のみに誘導コイルに電流を流したり、又は Y方向のみに誘導コイルに電流を流したり、又は X方向と Y方向に交互に誘導コィルに電流を流すことができ、誘導加熱部の汎用性を高めることもできる。

図 12A, 図 12Bは、スクリーン印刷方式において、スキージに代えて充填ローラ 100を使用してクリーム半田 12を充填する本発明の実施形態を示している。この実施形態では、円柱状の充填ローラ 100を回転することにより、印刷材料例えばクリーム半田 12を巻き込み、強制的にスクリーンマスク 11の貫通孔 11 a内にクリーム半田 12を充填するものである。充填ローラ 100の円柱形状は、図 12 Aに示す鋸形状でかつ螺旋形状の溝 100 aのあるものでも可能である。なお、図 12Aにおいて、 101はクリーム半田接き取り用スクレーバである。

また、デイスペンス方式に本発明を適用した実施形態では、図 13 Aのようにピストン 1 1 0による押し出し機能、又は、図 1 3 Bのように圧縮エアーによる押し出し機能を持ったノズル 1 1 1により、クリーム半田等の印刷材料 1 1 2を強制的にスクリーンマスク 1 1の貫通孔 1 1 aへ充填することも可能である。図 1 3 Bにおいて、 1 1 2はノズル 1 1 1の先端のクリーム半田搔き取り用スクレーバである。

また、本発明は、スクリーン印刷に限らず、他の印刷方法にも適用することができる。

例えば、図 1 4は、本発明を直刷り平版型の平版転写印刷方式に適用した場合の実施形態を示している。ここでは、平版 1 2 0に所定パターンに供耠された印刷材料 1 2 2を被印刷体である基板 1 1 4の所定位置 1 1 5 に直接転移させるものである。この図 1 4では、印刷材料 1 2 2が平版 1 2 0に密着している面を誘導加熱することにより、平版 1 2 0と印刷材料 1 2 2との間の粘着力が低下し、被印刷体 1 1 4の所定位置 1 1 5に転写しゃすくなるという効果がある。

また、図 1 5 A, 図 1 5 Bは本発明をオフセット印刷方式に適用した場合の実施形態を示している。印刷材料 1 4 2を溜めたタンク 1 3 9から 3 個のローラ 1 4 0により版胴 1 3 6の凹部 1 3 6 aに上記印剐材料 1 4 2 を供給し、凹部 1 3 6 a内の印刷材料 1 4 2をゴム胴 1 3 7上に転移させ、ゴム胴 1 3 7と圧胴 1 3 8との間に挟み込まれる被印刷体としての紙 1 3 5に、上記ゴム胴 1 3 7上の印刷材料 1 4 2を転移させて印剐するようにしている。この実施形態において、印刷材料 1 2 2が版胴 1 3 6に密着している凹部 1 3 6 aの内壁面を誘導加熱することにより、版胴 1 3 6の凹部 1 3 6 aの内壁面と印刷材料 1 2 2との間の粘着力が低下し、紙 1 3 5 に転写しやすくなるという効果がある。

さらに、図 1 6は本発明を平版型の凹版転写印刷方式に適用した場合の実施形態を示している。この実施形態では、スクリーン印刷方式と同様に、凹版 1 5 0を誘導加熱して凹版 1 5 0自体の温度を上昇させることにより、凹部 1 5 0 aの内壁面での印刷材料例えばクリーム半田 1 5 2の剪断力が低下し、基板 1 5 4のランド等の所定位匿 1 5 5への転写性が向上するといった効果が得られる。

また、図 1 7は、本発明を凹版転写印刷方式（グラビア印刷方式）に適用した場合の実施形態を示している。タンク 1 6 5内の印刷材料例えばクリーム半田 1 6 2は供耠ローラ 1 6 6により版嗣 1 6 3の凹部 1 6 3 aに供給され、凹部 1 6 3 aの印刷材料 1 6 2は版嗣 1 6 3と圧胴 1 6 1との間に挟み込まれた基材 1 6 0に転移して印刷されるようになっている。図 1 7において、 1 6 4はドクタであり、このドクタ 1 6 4により凹部 1 6 3 aに充填された印刷材料 1 6 2の余分な量の印刷材料 1 6 2を搔き取るようにしている。この実施形態では、スクリーン印刷方式と同様に、版胴 1 6 3を誘導加熱して版胴 1 6 3自体の温度を上昇させることにより、凹部 1 6 3 aの内壁面での印刷材料 1 6 2の剪断力が低下し、基材 1 6 0への転写性が向上するといつた効果が得られる。

また、図 2 3は、本発明の別の実施形態にかかる誘コイルの斜視図であって、誘導コイルは円環状のものに限らず、正方形枠状又は長方形枠状の誘導コイル 7 2 8であってもよい。

また、図 2 4は、図 2 3の锈導コイル 7 2 8を 7 2 8 aと 7 2 8 bの 2 つ用意して、 Q F Pが位置決めされるべき基板上の対角に位置する 2つの角上にそれぞれ配置し、各貫通孔 1 1 aの長手方向沿いに誘導電流 7 2 9 が流れるようにした状態を示す斜視図である。 2つの誘導コイル 7 2 8 a と 7 2 8 bは同時に作動させるようにするのが望ましい。

また、図 2 5は、図 2 3の誘導コイル 7 2 8を 7 2 8 c . 7 2 8 d , 7 2 8 e . 7 2 8 f の 4っ用窻して、 Q F Pが位置決めされるべき基板上の 4つの角上にそれぞれ配置し、各貫通孔 1 1 aの長手方向沿いに誘導電流 7 2 9が流れるようにした状態を示す斜視図である。この場合も 4つの誘導コイル 7 2 8 c〜7 2 8 f は同時に作動させるようにする。

また、図 2 6は、図 2 3の誘導コイル 7 2 8 gを 1つ用意して、 Q F P が位置決めされるべき基板の部分の上方に配置し、かつ、貫通孔 1 1 aの配列方向に対して誘導コイル 7 2 8 gの一側緣が 4 5度傾斜した形で配置し、各貫通孔 1 1 aに同じ量の誘導電流 7 2 9が流れるようにした状態を示す斜視図である。

明細書、請求の範囲、図面、要約害を含む 1 9 9 6年 5月 1 7曰出願された日本特許出願第 8 - 1 2 3 3 9 3号に開示されたものの総ては、参考としてここに総て取り込まれるものである。

本発明は、添付図面を参照しながら好ましい実施形態に関連して充分に記載されているが、この技術の熟棟した人々にとつては種々の変形や修正は明白である。そのような変形や修正は、添付した請求の範囲による本発明の範囲から外れない限りにおいて、その中に含まれると理解されるべきである。

Claims

請求の範囲

1. 温度上昇に伴い粘度が低下する特性を有する印刷ペースト（12. 122. 142. 152, 162) を版（11, 120, 136, 150, 163) に保持し、

上記版における上記印刷ペース卜が保持された部分の温度を上昇させて当該部分と接触する上記印刷ペース卜の粘度を低下させて上記版と上記印刷ペース卜とを分雠しゃすくし、

上記版に保持された印刷ペーストを上記版から分離して被印刷体（14. 114, 135. 154. 160 ) に印刷する印刷方法。

2. 上記版における上記印刷ペース卜が保持された部分が電磁誘導加熱により加熱されてその温度が上昇するようにした請求項 1に記載の印刷方法。

3. 上記版は、上記印刷ペーストを保持するための所定パターンの開口部（1 1 a. 150 a. 163 a ) を有し、上記版が上記被印刷体に接触したのち上記版と上記被印刷体とを相対的に分離させて上記開口部内の上記印刷べ一ストを上記被印刷体上に印刷するようにした請求項 2に記載の印刷方法。

4. 上記霉磁誘導加熱を行う電磁誘導加熱装置（27) は上記版に対して接触で罨磁誘導加熱を行うようにした請求項 3に記載の印刷方法。

5. 上記電磁誘導加熱装簠と上記版との間隔は、上記電磁誘導加熱装置により上記版に対して所定の誘導電流が流れる寸法に構成されているようにした請求項 4に記載の印刷方法。

6. 上記電磁誘導加熱を行う電磁誘導加熱装置（27) は上記版に対して接触して電磁誘導加熱を行うようにした請求項 3に記載の印刷方法。

7. 上記電磁誘導加熱は、上記印刷ベース卜の上記版の開口部への保持が終了したのちに行われるようにした請求項 3〜6のいずれかに記載の印刷方法。

8. 上記開 1部は貫通孔（11 a) であり、上記版はスクリーンマスク（11)であってスキージ（13)の移動により上記印刷ペーストを上記貫通孔内に充填するようにした請求項 3 ~ 7のいずれかに記載の印刷方法

9. 上記印刷ペーストが上記被印刷体に印刷された後、印刷状態を検出して、検出結果に基づき上記版の上記電磁誘導加熱の条件又は上記版と上記被印刷体との分離条件を制御するようにした請求項 3 ~ 8のいずれかに記載の印刷方法。

10. 上記電磁誘導加熱により、上記印刷材料は上記版に保持されている部分に接 toしている部分の温度が高く、その部分から離れるに従い徐々に温度が低下するような温度勾配を有するようにした請求項 3〜 9のいずれかに記載の印刷方法。

11. 上記電磁誘導加熱を発生させるための誘導電流は、上記版の開口部の長手方向沿いに流れるようにした請求項 3 ~ 10のいずれかに記載の印刷方法。

12. 温度上昇に伴い粘度が低下する特性を有する印刷ペースト（1 2. 122, 142. 152. 162 ) を保持する版（ 11 , 120, 1 36, 150, 163) における上記印刷ペーストが保持された部分の温度を上昇させて当該部分と接触する上記印刷ペース卜の粘度を低下させて上記版と上記印刷ペーストとを分離しやすくする加熱装置（27) と、上記版に保持された印刷ペーストを上記版から分離して被印刷体（14, 114. 135. 154. 160) に印刷する印刷ペースト分離装置（ 2 6, 137, 138. 161 ) と

を備える印刷装置。

13. 温度上昇に伴い粘度が低下する特性を有する上記印刷ペースト (12. 122. 142. 152, 162 ) を保持する上記版（ 11. 1 20. 136, 150, 163) をさらに備える請求項 12に記載の印刷装 S。

14. 上記版における上記印刷ペーストが保持された部分を電磁誘導加熱により加熱してその温度を上昇させる電磁誘導加熱装置（27) をさらに備えるようにした請求項 12又は 13に記載の印刚装置。

15. 上記版は、上記印刷ペーストを保持するための所定パターンの開口部（11 a. 150 , 163 a ) を有する一方、上記分離装置は、上記版が上記被印刷体に接触したのち上記版と上記被印刷体とを相対的に分離させて上記開口部内の上記印刷ペーストを上記被印刷体上に印刷するようにした請求項 14に記載の印刷装置。

16. 上記電磁誘導加熱を行う電磁誘導加熱装置（27) は上記版に対して非接触で電磁誘導加熱を行うようにした講求項 15に記載の印刷装置。

17. 上記磁誘導加熱装置と上記版との間隔は、上記電磁誘導加熱装置により上記版に対して所定の誘導電流が流れる寸法に構成されているようにした請求項 16に記載の印刷装置。

18. 上記電磁誘導加熱を行う電磁誘導加熱装置（27) は上記版に対して接触して ¾磁诱導加熱を行うようにした講求項 15に記載の印刷装置。

19. 上記電磁诱導加熱は、上記印刷ペース卜の上記版の開口部への保持が終了したのちに行われるようにした請求項 15〜 18のいずれかに記載の印刷装置。

20. 上記開口部は貫通孔（11 a) であり、上記版はスクリーンマスク（11) であってスキージ（13) の移動により上記印刷ペーストを上記莨通孔内に充填するようにした請求項 15— 19のいずれかに記載の印刷装置。

21. 上記印刷ペース卜が上記被印刷体に印刷された後、印刷状態を検出して、検出結果に基づき上記版の上記電磁誘導加熱の条件又は上記版と上記被印刷体との分離条件を制御する制御部（34) をさらに備えるようにした請求項 15~20のいずれかに記載の印刷装置。

22. 上記電磁誘導加熱により、上記印刷材料は上記版に保持されている部分に接触している部分の温度が高く、その部分から離れるに従い徐々に温度が低下するような温度勾配を有するようにした請求項 15〜21 の、ずれかに記載の印刷装置。

23. 上記電磁誘導加熱を発生させるための誘導電流は、上記版の開口部の長手方向沿いに流れるようにした請求項 15-22のいずれかに記載の印刷装置。