KR100950134B1 - 레지스트인쇄용 클리체 및 그 제조방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 패턴형성용 인쇄장치에 있어서, 미세한 패턴을 형성할 수 있는 클리체 및 그 제조방법에 관한 것으로, 기판을 준비하는 단계와, 상기 기판 상에 글라스페이스트 및 레지스트층을 도포하는 단계와, 상기 레지스트층을 현상하여 상기 기판 상에 선택적으로 잔류하는 레지스트패턴을 형성하는 단계와, 상기 레지스트패턴 사이에 노출된 글라스페이스트를 연마제를 사용하여 제거하여 홈을 형성하는 단계로 구성되며, 기판 및 글라스페이스트로 클리체를 구성함으로써 미세한 패턴을 형성할 수가 있다.

Description

레지스트인쇄용 클리체 및 그 제조방법{A CLICHE FOR PRINTING INK AND A METHOD OF FABRICATING THEREOF}

도 1은 일반적인 액정표시소자의 구조를 나타내는 평면도.

도 2는 그라비아 오프셋 인쇄방식을 이용하여 표시소자 등의 패턴을 형성하는 방법을 나타내는 도면.

도 3은 금속물질로 형성된 클리체를 이용하여 형성된 레지스트패턴을 나타낸 도면.

도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 클리체 제조방법을 나타내는 도면.

도 5는는 본 발명의 다른 실시예에 따른 클리체 제조방법을 나타내는 도면.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *

101, 201: 기판 103, 220a: 글라스페이스트

105, 205: 레지스트층 110, 202: 홈

107, 207: 레지스트패턴 120: 연마제

본 발명은 패턴형성용 인쇄장치의 제조방법에 관한 것으로, 특히 표시소자등의 패턴을 형성하기 위해 사용되는 인쇄장치의 클리체를 글라스 페이스트(glass paste)로 형성하고 이를 샌드블러스팅(sand blasting) 방법을 통해 패터닝함으로써, 미세패턴의 형성이 가능하고 공정을 단순화시킬 수 있는 패턴 인쇄용 클리체의 제조방법에 관한 것이다.

표시소자들, 특히 액정표시소자(Liquid Crystal Display Device)와 같은 평판표시장치(Flat Panel Display)에서는 각각의 화소에 박막트랜지스터와 같은 능동소자가 구비되어 표시소자를 구동하는데, 이러한 방식의 표시소자의 구동방식을 흔히 액티브 매트릭스(Active Matrix) 구동방식이라 한다. 이러한 액티브 매트릭스방식에서는 상기한 능동소자가 매트릭스형식으로 배열된 각각의 화소에 배치되어 해당 화소를 구동하게 된다.

도 1은 액티브 매트릭스방식의 액정표시소자를 나타내는 도면이다. 도면에 도시된 구조의 액정표시소자는 능동소자로서 박막트랜지스터(Thin Film Transistor)를 사용하는 TFT LCD이다. 도면에 도시된 바와 같이, TFT LCD의 각 화소에는 외부의 구동회로로부터 주사신호가 인가되는 게이트라인(4)과, 화상신호가 인가되는 데이터라인(6)과, 상기 게이트라인(4) 및 데이터라인(6)의 교차영역에 형성된 TFT를 포함하고 있다. TFT는 상기 게이트라인(4)과 연결된 게이트전극(3)과, 상기 게이트전극(3) 위에 형성되어 게이트전극(3)에 주사신호가 인가됨에 따라 활성화되는 반도체층(8)과, 상기 반도체층(8) 위에 형성된 소스/드레인전극(5)으로 구성된다. 상기 화소(1)의 표시영역에는 상기 소스/드레인전극(5)과 연결되어 반도체층(8)이 활성화됨에 따라 상기 소스/드레인전극(5)을 통해 화상신호가 인가되어 액정(도면표시하지 않음)을 동작시키는 화소전극(10)이 형성되어 있다.

상기와 같은 TFT의 소스/드레인전극(5)은 화소내에 형성된 화소전극과 전기적으로 접속되어, 상기 소스/드레인전극(5)을 통해 화소전극에 신호가 인가됨에 따라 액정을 구동하여 화상을 표시하게 된다.

상기한 바와 같은 액정표시소자 등의 액티브 매트릭스형 표시소자에서는 각 화소의 크기가 수십㎛의 크기이며, 따라서 화소내에 배치되는 TFT와 같은 능동소자는 수㎛의 미세한 크기로 형성되어야만 한다. 더욱이, 근래에 고화질TV(HDTV)와 같은 고화질 표시소자의 욕구가 커짐에 따라 동일 면적의 화면에 더 많은 화소를 배치해야만 하기 때문에, 화소내에 배치되는 능동소자 패턴(게이트라인과 데이터라인 패턴을 포함) 역시 더욱 미세하게 형성되어야만 한다.

한편, 종래에 TFT와 같은 능동소자를 제작하기 위해서는 노광장치에 의한 포토리소그래피(photolithography)방법에 의해 능동소자의 패턴이나 라인 등을 형성하였다. 그런데, 이러한 포토리소그래피방법에서는 고가의 노광장치를 사용해야만 하기 때문에 제조비용이 증가할 뿐만 아니라 제조공정도 복잡하게 되는 문제가 있었다. 더욱이, 표시소자의 포토공정시 노광장치의 노광영역이 한정되어 있기 때문에, 대면적의 표시소자를 제작하기 위해서는 화면을 분할하여 포토공정을 진행해야만 한다. 따라서, 분할된 영역의 공정시 정확한 위치의 정합이 어려울 뿐만 아니라 다수회의 포토공정을 반복해야만 하기 때문에 생산성이 저하된다는 문제도 있었다.

이러한 문제를 해결하기 위해, 근래에 제안된 방법이 그라비아 오프셋 인쇄방식에 의한 패턴형성방법이다. 그라비아인쇄는 오목판에 레지스트를 묻혀 여분의 레지스트를 긁어내고 인쇄를 하는 인쇄방식으로서, 출판용, 포장용, 셀로판용, 비닐용, 폴리에틸렌용 등의 각종 분야의 인쇄방법으로서 알려져 있다. 근래, 이러한 그라비아인쇄를 표시소자에 적용되는 능동소자나 회로패턴공정에 적용시키기 위한 노력이 활발히 이루어지고 있다.

그라비아 오프셋인쇄는 인쇄롤을 이용하여 기판상에 레지스트를 전사하기 때문에, 원하는 표시소자의 면적에 대응하는 인쇄롤을 이용함으로써 대면적의 표시소자의 경우에도 1회의 전사에 의해 패턴을 형성할 수 있게 된다. 이러한 그라비아 오프셋인쇄는 표시소자의 각종 패턴들, 예를 들어 액정표시소자의 경우 TFT 뿐만 아니라 상기 TFT와 접속되는 게이트라인 및 데이터라인, 화소전극, 캐패시터용 금속패턴을 패터닝하는데 사용될 수 있다. 이러한 그라비아 오프셋 인쇄방법에 의한 패턴형성방법이 도 2에 도시되어 있다.

도 2(a)에 도시된 바와 같이, 그라비아 오프셋인쇄방식에서는 우선 기판에 형성하고자 하는 패턴에 대응하는 오목판 또는 클리체(20)의 특정 위치에 홈(22)을 형성한 후 상기 홈(22) 내부에 레지스트(24)를 충진한다. 홈(22) 내부로의 레지스트(24) 충진은 클리체(20)의 상부에 패턴형성용 레지스트(24)를 도포한 후 닥터블레이드(28)를 클리체(20)에 접촉한 상태에서 진행시킴으로써 이루어진다. 따라서, 닥터블레이드(28)의 진행에 의해 홈(22) 내부에 레지스트(24)가 충진됨과 동시에 클리체(20) 표면에 남아 있는 레지스트(24)는 제거된다.

도 2(b)에 도시된 바와 같이, 상기 클리체(20)의 홈(22) 내부에 충진된 레지스트(24)는 상기 클리체(20)의 표면에 접촉하여 회전하는 인쇄롤(30)의 표면에 전 사된다. 인쇄롤(30)은 제작하고자 하는 표시소자의 패널의 폭과 동일한 폭으로 형성되며, 패널의 길이와 동일한 길이의 원주를 갖는다. 따라서, 1회의 회전에 의해 클리체(20)의 홈(22)에 충진된 레지스트(24)가 모두 인쇄롤(30)의 원주 표면에 전사된다. 이후, 도 2(c)에 도시된 바와 같이, 상기 인쇄롤(30)의 표면에 붙어있는 레지스트(24)를 기판(40) 위에 형성된 식각대상층(41)의 표면과 접촉시킨 상태에서 회전시킴에 따라 상기 인쇄롤(30)에 전사된 레지스트(24)가 식각대상층(41)에 재전사되며, 이 재전사된 레지스트(24)에 열을 가하여 건조시켜 레지스트패턴(42)을 형성한다. 이때에도 상기 인쇄롤(30)의 1회전에 의해 표시소자의 기판(40) 전체에 걸쳐 원하는 패턴(42)을 형성할 수 있게 된다.

상기한 바와 같이, 그라비아 오프셋인쇄방법에서는 클리체(20)와 인쇄롤(30)에 의한 기구적인 방법에 의해 레지스트패턴(42)을 형성한 후 상기 레지스트패턴(42)에 의해 식각대상층(41)을 에칭하여 원하는 패턴을 형성하기 때문에, 종래의 노광공정에 비해 패턴형성공정이 간단하게 된다.

그러나, 이러한 그라비아 오프셋방법에도 단점이 존재한다. 일반적으로 클리체(20)는 철이나 니켈과 같은 금속으로 이루어져 있기 때문에 미세한 홈을 형성하기 힘들다는 것이다. 통상적으로 클리체(20)의 홈(22)은 주로 기계적인 가공에 의해 형성되는데, 수㎛ 이하의 홈을 기계적으로 가공한다는 것은 현실적으로 불가능한 일이다. 따라서, 미세한 레지스트패턴을 형성하기 어렵게 되며, 결국 고정세의 표시소자 등에는 적용하기 힘들게 된다. 또한, 금속 클리체(20)는 닥터블레이드(28)와의 마찰에 의해 표면이 손상되고 부스러기(입자)들이 발생하게 되는데, 이러한 입자들은 레지스트패턴형성시 패턴불량의 주요 요인이 된다. 더욱이, 금속은 그레인이 크기 때문에, 홈을 가공했을 때 홈의 에지영역이 거칠게 형성되며, 그 결과 레지스트패턴을 형성했을 때 매끄러운 패턴형성이 불가능하게 된다.

도 3은 실제 금속으로 형성된 클리체를 이용하여 기판(50)에 형성된 레지스트패턴(55)을 나타낸 것이다. 도면에 도시한 바와 같이, 레지스패턴(55)의 에지영역이 매끄럽지 못하고 거칠게 형성되어 있는 것을 볼 수 있다. 이는 언급한 바와 같이, 클리체를 형성하고 있는 금속의 그레인으로부터 기인하는 것이다. 즉, 클리체의 홈이 그레인(grain) 때문에 매끄럽게 형성되지 못하기 때문에 상기 홈내부에 충진된 레지스트를 기판에 전사시키게 되면, 패턴의 에지영역에는 도면에 보여지는 바와 같이 그 표면이 울통불퉁한 패턴이 형성된다.

상기한 바와 같은 문제를 해결하기 위하여 유리 또는 플리스틱 기판 위에 폴리머 또는 폴리이미드와 같은 유기막을 증착한 후, 이를 포토마스크를 통해 레지스트 패턴을 형성한 다음, 상기 레지스트패턴을 마스크로 하여 건식식각(dry etching)을 함으로써, 클리체를 제작하였다. 그러나. 유기막을 사용함에 따라, 매끄러운 홈을 형성할 수는 있으나, 유기막을 원하는 두께로 증착하기 어렵고, 유기막을 식각하는데 시간이 많이 걸리는 문제점이 있다.

따라서, 본 발명은 상기한 바와 같은 문제점을 해결하기 위해서 이루어진 것으로, 클리체를 유리 또는 플라스틱 기판 위에 글라스 페이스트(glass paste)를 형성함으로써, 미세 레지스트패턴 및 미세패턴을 형성할 수 있는 패턴형성용 인쇄장치의 클리체 및 그 제조방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 다른 목저은 샌드블러스트 방법을 이용하여 글라스 페이스트를 식각함으로써, 공정시간을 단축시킬 수 있는 패턴형성용 인쇄장치의 클리체 및 그 제조방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명은 기판을 준비하는 단계와; 상기 기판 위에 글라스페이스트 및 레지스트층 도포하는 단계와; 상기 레지스트층을 현상하여 상기 기판 상에 선택적으로 잔류하는 레지스트패턴을 형성하는 단계와; 상기 레지스트패턴으로 기판을 블로킹한 상태에서 상기 레지스트패턴 사이에 노출된 글라스페이스트층을 제거하여 홈을 형성하는 단계로 구성된다.

상기 글라스페이스트는 연마제를 이용한 샌드블러스트 방법을 통하여 제거하하며, 상기 연마제는 Al2O3, SiC, CaCO3, 유리 미립자등을 사용한다.

상기 기판은 유리나 플라스틱 또는 웨이퍼를 형성할 수 있으며, 니켈 또는 스틸과 같은 금속물질을 사용할 수도 있다.

또한, 상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명은 기판을 준비하는 단계와; 상기 기판 상에 레지스트층을 도포한 후, 현상하여 상기 기판 상에 선택적으로 잔류하는 레지스트패턴을 형성하는 단계와; 상기 레지스트패턴 사이에 노출된 기판 상에 글라스페이스트를 충진하는 단계와; 상기 레지스트패턴을 제거함으로써 홈을 형성하는 단계로 구성된다. 이때, 상기 레지스트패턴들 사이에 글라스페이스트를 충진하는 단계는 상기 레지지스트패턴 상에 스크린판을 올려놓는 단계와, 상기 스크린판 상에 글라스페이스트를 도포하는 단계 및 스퀴즈를 사용하여 글라스페이스트가 도포된 스크린판의 표면을 밀어주는 단계로 이루어진다.

이하, 참조한 도면을 통하여 본 발명에 따른 패턴형성용 인쇄장치의 클리체 및 그 제조방법에 대하여 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 4는 본 발명의 실시예로써, 패턴형성용 인쇄장치의 클리체를 제작하는 순서도를 도시한 것이다.

먼저, 도 4a에 도시된 바와 같이, 유리나 플라스틱 또는 웨이퍼(wafer) 등과 같은 물질로 이루어진 기판(101) 상에 스크린 방법을 사용하여 글라스페이스트(glass paste)를 40∼60㎛ 두께로 적층하여 글라스페이스트층(103)을 형성한 후, 상기 글라스페이스트층(103) 위에 감광성 수지 등으로 이루어진 레지스트층(105)을 형성한다. 이후, 상기 레지스트층(105) 위에 형성하고자 하는 패턴에 대응하는 영역에 개구부가 형성된 마스크를 위치시킨 후 자외선과 같은 광을 조사하고 현상액을 작용시켜, 도 4b에 도시된 바와 같이 상기 글라스페이스트층(103) 상에 선택적으로 잔류하는 레지스트패턴(107)을 형성한다. 이어서, 도 4c에 도시한 바와 같이, 노출된 글라스페이스트층(103) 상에 연마제(120)를 분사하여 레지스트패턴(107)에 보호되지 않는 글라스페이스트층(103) 부분을 물리적으로 제거한다. 이때, 글라스페이스트층(103)을 연마하는 연마제(120)는 Al2O3, SiC, CaCO3, 유리 미립자등이 사용되고 상기 노출된 글라스페이스트층(103) 영역에 배치된 노즐(130)을 통해 압축된 공기나 질소가스와 함께 글라스페이스트층(103) 위에 분사된다. 상기와 같은 방법으로 계속하여 기판(101)이 노출될때까지 상기 글라스페이스트층(103)을 제거하여 패턴 형태의 글라스페이스트층(113)형성함으로써, 홈(110)이 형성된 클리체(150)를 완성한다.

이후에, 완성된 클리체(150)의 홈(110)에 레지스트를 충진한 후 인쇄롤을 이용하여 패턴을 형성하고자 하는 기판의 식각대상층에 상기 레지스트를 전사하고 에칭공정을 실행함으로써 원하는(클리체의 홈에 대응하는) 패턴을 얻을 수 있게 된다.

상기한 바와 같이, 본 발명의 일시예에 따른 클리체(150)는 기판(101)과 패터닝된 글라스페이스트층(113)으로 구성되어 있으며, 샌드블러스트 공정에 의해 클리체(150)에 레지스트충진용 홈(110)을 형성하였다. 통상적으로 인쇄장치를 이용하여 형성된 패턴(예를 들면, 전극과 같은 금속패턴)은 통상적인 노광공정에 의해 형성되는 패턴에 비해 미세패턴을 형성하기 어렵다고 알려져 있다. 그러나, 본 발명의 실시예와 같이, 클리체(150)를 기판(101)과 글라스페이스트층(103)으로 구성하고 샌드블러스트 공정에 의해 홈(110)을 형성하는 경우 종래의 노광공정에 의해 형성되는 해상도와 동등한 해상도를 갖는 미세패턴을 형성할 수 있게 된다.

이와 같이 제작된 클리체는 그라비아 오프셋인쇄장치에 채용되어 종래의 패턴형성방법에 비해 매우 간단한 공정에 의해 미세패턴을 형성할 수 있게 된다. 다시 말해서, 인쇄장치에 본 발명의 클리체가 채용됨으로써 미세한 패턴을 간단한 공정으로 형성할 수 있게 된다.

더욱이, 글라스페이스트층(113)은 종래 클리체로 사용하던 금속(Ni, steel)에 비해서 그레인이 작기 때문에 레지스트패턴을 형성할 경우 매끈한 패턴이 형성 되므로, 정밀한 패턴의 형성이 가능하게 되며, 이러한 클리체가 적용된 그라비아 인쇄장치를 사용하여 액정표시소자와 같은 표시소자를 제작하는 경우 고해상도의 표시소자 제작이 가능하게 된다. 또한, 종래 클리체로 사용하던 유기층(polyimide polymer)에 비하여 두께를 자유롭게 형성할 수 있으므로 공정상 잇점을 가진다.

또한, 상기 샌드블러스트 공정을 사용하게 되면, 종래 클리체로 사용하던 유기층(polyimide polymer)에 비하여 식각속도가 빠르기 때문에 공정시간을 단축시킬 수가 있다.

도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 클리체 제작방법을 나타내는 도면이다. 우선, 도 5a에 도시된 바와 같이, 기판(201) 상에 감광성 수지 등으로 이루어진 레지스트층(205) 형성한다. 이어서, 상기 레지스트층(205) 위에 마스크(미도시)를 위치시킨 후 자외선과 같은 광을 조사하고 현상액을 작용시켜, 도 5b에 도시된 바와 같이 기판(201) 상에 기판(201)의 일부를 노출시키는 레지스트패턴(207)을 형성한다. 이때, 상기 기판(201)은 유리나 플라스틱 또는 웨이퍼등을 사용할 수 있으나, 니켈(Ni) 또는 스틸(Steel)과 같은 금속판을 사용할 수도 있다.

그 다음, 도 5c에 도시한 바와 같이, 상기 레지스트패턴(207) 상에 스크린판(210)을 올려놓은 다음, 상기 스크린판(210) 위에 글라스페이스트(220)를 도포한다. 이어서, 스퀴즈(squeez;230)를 사용하여 글라스페이스트(220)가 도포된 스크린판(210)을 밀어줌으로써 레지스트패턴들(207) 사이에 노출된 기판(201) 상에 글라스페이스트(220)를 충진시킨다. 이때, 스퀴즈(230)가 스크린판(210)에 압력을 가하면서, 스크린판(210)이 레지스트패턴(207)에 손상을 입히지 않도록 스크린판(210)과 레지스트패턴(207)사이의 이격거리를 두어야한다. 상기 글라스페이스트(220a)가 레지스트패턴(207)의 높이까지 충진되면 스크린판(210)을 제거한 후, 상기 레지스트패턴(207)을 제거함으로써, 도 5d에 도시된 바와 같이, 홈(202)이 형성된 클리체(250)를 완성한다.

이후에, 상기와 같이 제작된 클리체의 홈내부에 레지스트를 충진한 후, 이를 인쇄롤에 전사시킨 다음, 이를 기판 위에 재전사시킴으로써 레지스트 패턴을 형성할 수가 있다.

도 6은 상기와 같이 제작된 클리체를 사용하여 기판(250)에 형성된 레지스트패턴(255)을 나타낸 것으로, 도 3에 도시된 종래의 레지스트패턴에 비해 깨끗한 레지스트패턴(255)을 얻을 수가 있다.

상술한 바와 같이, 본 발명에서는 기판위에 글라스페이스트층을 형성한 후, 상기 글라스페이스트층을 가공하여 레지스트 충진용 홈을 형성한다. 상기 구조의 클리체는 패턴형성용 인쇄장치(예를들면 그라비아 오프셋인쇄장치)에 채용되어 패턴을 형성하는데 사용된다. 상기 구조의 클리체에 의해 인쇄시 미세 레지스트패턴의 형성이 가능하기 때문에, 상기 클리체를 인쇄장치에 채용하는 경우, 액정표시소자와 같은 표시소자 뿐만 아니라 반도체와 같이 미세패턴을 필요로 하는 다양한 소자에 인쇄방식을 적용할 수 있게 된다.

상기한 본 발명의 상세한 설명에서는 기판이나 글라스페이스트층 등을 구성하는 물질이 예시되어 있지만, 이러한 물질들이 본 발명의 권리를 한정하는 것은 아니다. 본 발명의 기본적인 개념은 미세가공이 가능한 물질을 이용하여 클리체를 형성하는 것으로, 이러한 개념을 이용한 본 발명의 다른 예나 변형예는 비록 기판과 글라스페이스트층을 구성하는 물질이 다르거나 구조상의 미세한 차이가 있는 경우에도 본 발명의 권리범위에 포함되어야만 할 것이다. 즉, 본 발명의 권리범위는 상술한 상세한 설명에 구체적으로 예시된 내용에 의해 결정되는 것이 아니라 첨부한 특허청구범위에 의해 결정되어야만 할 것이다.

상술한 바와 같이, 본 발명에서는 패턴을 형성하기 위해 사용되는 패턴형성용 인쇄장치의 클리체를 미세가공이 용이한 글라스페이스트층으로 구성하기 때문에, 인쇄시 미세한 레지스트의 패턴형성이 가능하게 되며, 그 결과 미세패턴을 갖는 고해상도 소자의 제작이 가능하게 된다.

Claims (13)

1. 기판을 준비하는 단계;

   상기 기판 상에 레지스트층을 도포하는 단계;

   상기 레지스트층을 현상하여 상기 기판 상에 선택적으로 잔류하는 레지스트패턴을 형성하는 단계;

   상기 레지스트패턴 상에 이격거리를 두고 스크린판을 올려놓는 단계;

   상기 스크린판 상에 글라스페이스트를 도포하는 단계;

   상기 글라스페이스트가 도포된 스크린판의 표면을 스퀴즈로 압력을 가하면서 밀어줌으로써, 상기 기판 중에서 레지스트패턴 사이에 노출된 영역에 글라스페이스트를 충진하되, 상기 기판 상의 레지스트패턴과 스크린판 사이의 이격거리를 일정하게 유지하는 단계;

   상기 글라스페이스트가 레지스트 패턴의 높이까지 충진되면 스크린판을 제거하는 단계; 및

   상기 레지스트패턴을 제거함으로써 홈을 형성하는 단계;

   를 포함하여 이루어지는 패턴형성용 인쇄장치의 클리체 제조방법.
2. 삭제
3. 제 1 항에 있어서, 상기 기판은 유리나 플라스틱 또는 웨이퍼로 형성하는 것을 특징으로 하는 패턴형성용 인쇄장치의 클리체 제조방법.
4. 제 1 항에 있어서, 상기 기판은 니켈(Ni) 또는 스틸(steel)과 같은 금속물질로 형성하는 것을 특징으로 하는 패턴형성용 인쇄장치의 클리체 제조방법.
5. 기판을 준비하는 단계와, 상기 기판 상에 레지스트층을 도포하는 단계와, 상기 레지스트층을 현상하여 상기 기판 상에 선택적으로 잔류하는 제1레지스트패턴을 형성하는 단계와, 상기 제1레지스트패턴 상에 이격거리를 두고 스크린판을 올려놓는 단계와, 상기 스크린판 상에 글라스페이스트를 도포하는 단계와, 상기 글라스페이스트가 도포된 스크린판의 표면을 스퀴즈로 압력을 가하면서 밀어줌으로써 상기 기판 중에서 제1레지스트패턴 사이에 노출된 영역에 글라스페이스트를 충진하되 상기 기판 상의 레지스트패턴과 스크린판 사이의 이격거리를 일정하게 유지하는 단계와, 상기 글라스페이스트가 레지스트패턴의 높이까지 충진되면 스크린판을 제거하는 단계와, 상기 제1레지스트패턴을 제거하여 홈을 형성하는 단계를 수행함으로써, 홈이 형성된 클리체를 준비하는 단계;

   상기 클리체의 홈 내부에 레지스트를 충진하는 단계;

   상기 클리체의 홈 내부에 충진된 레지스트를 인쇄롤의 표면에 전사시키는 단계;

   상기 인쇄롤의 표면에 전사된 레지스트를 식각대상층에 재전사시켜 제2레지스트 패턴을 형성하는 단계; 및

   상기 제2레지스트를 마스크로 하여 식각대상층을 선택적으로 식각하여 원하는 패턴을 형성하는 단계;

   를 포함하여 이루어지는 액정표시소자의 패턴형성방법.
6. 삭제
7. 삭제
8. 삭제
9. 삭제
10. 삭제
11. 삭제
12. 삭제
13. 삭제

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