KR100817126B1

KR100817126B1 - 자성레지스트 인쇄장치 및 이를 이용한 패턴형성방법

Info

Publication number: KR100817126B1
Application number: KR1020010082819A
Authority: KR
Inventors: 최낙봉; 연덕철; 김세준
Original assignee: 엘지.필립스 엘시디 주식회사
Priority date: 2001-12-21
Filing date: 2001-12-21
Publication date: 2008-03-27
Also published as: KR20030052784A

Abstract

본 발명의 패턴형성방법은 클리체와 전사롤로 구성된 그라비아 오프셋 인쇄장치를 사용한다. 클리체에 형성된 홈 내부에 충진되는 레지스트에는 미세한 자기입자가 첨가되어 레지스트 내부에 균일하게 분포하며, 전사롤에는 코일이 장착되어 전류가 공급됨에 따라 자기장이 형성된다. 클리체에서 전사롤로 레지스트가 전사될 때에는 전사롤에 전류가 공급되어 자기장이 형성되므로 레지스트와 전사롤 사이의 자기력에 의해 레지스트가 전사롤에 용이하게 부착되며, 전사롤에서 기판의 피가공층에 레지스트가 재전사될 때에는 전류공급을 끊어 자기장을 제거함으로써 레지스트가 전사롤에서 용이하게 박리된다.

그라비아 오프셋, 표시소자, 인쇄, 클리체, 레지스트, 자성물질, 자기장

Description

자성레지스트 인쇄장치 및 이를 이용한 패턴형성방법{AN APPARATUS FOR PRINTING MAGNETIC RESIST AND A METHOD OF FORMING PATTERN USING THEREOF}

도 1은 일반적인 액정표시소자의 구조를 나타내는 평면도.

도 2는 도 1에 도시된 액정표시소자의 박막트랜지스터 구조를 나타내는 단면도.

도 3은 본 발명에 따른 그라비아 오프셋인쇄방식에 의한 패턴형성방법을 나타내는 도면.

** 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 **

100 : 클리체 102 : 홈

104 : 레지스트 108 : 닥터블레이드

110 : 전사롤 115 : 코일

120 : 기판 121 : 피가공층

122 : 레지스트패턴

본 발명은 패턴형성방법에 관한 것으로, 특히 표시소자 등의 패턴형성을 위해 사용되는 레지스트에 자성물질을 첨가하고 전사롤에 자기장을 인가함으로써 그라비아 오프셋 인쇄시 레지스트의 전사를 용이하게 할 수 있는 레지스트 인쇄장치 및 이를 이용한 패턴형성방법에 관한 것이다.

표시소자들, 특히 액정표시소자(Liquid Crystal Display Device)와 같은 평판표시장치(Flat Panel Display)에서는 각각의 화소에 박막트랜지스터와 같은 능동소자가 구비되어 표시소자를 구동하는데, 이러한 방식의 표시소자의 구동방식을 흔히 액티브 매트릭스(Active Matrix) 구동방식이라 한다. 이러한 액티브 매트릭스방식에서는 상기한 능동소자가 매트릭스형식으로 배열된 각각의 화소에 배치되어 해당 화소를 구동하게 된다.

도 1은 액티브 매트릭스방식의 액정표시소자를 나타내는 도면이다. 도면에 도시된 구조의 액정표시소자는 능동소자로서 박막트랜지스터(Thin Film Transistor)를 사용하는 TFT LCD이다. 도면에 도시된 바와 같이, 종횡으로 N×M개의 화소가 배치된 TFT LCD의 각 화소에는 외부의 구동회로로부터 주사신호가 인가되는 게이트라인(4)과 화상신호가 인가되는 데이터라인(6)의 교차영역에 형성된 TFT를 포함하고 있다. TFT는 상기 게이트라인(4)과 연결된 게이트전극(3)과, 상기 게이트전극(3) 위에 형성되어 게이트전극(3)에 주사신호가 인가됨에 따라 활성화되 는 반도체층(8)과, 상기 반도체층(8) 위에 형성된 소스/드레인전극(5)으로 구성된다. 상기 화소(1)의 표시영역에는 상기 소스/드레인전극(5)과 연결되어 반도체층(8)이 활성화됨에 따라 상기 소스/드레인전극(5)을 통해 화상신호가 인가되어 액정(도면표시하지 않음)을 동작시키는 화소전극(10)이 형성되어 있다.

도 2는 각 화소내에 배치되는 TFT의 구조를 나타내는 도면이다. 도면에 도시된 바와 같이, 상기 TFT는 유리와 같은 투명한 절연물질로 이루어진 기판(20)과, 상기 기판(20) 위에 형성된 게이트전극(3)과, 게이트전극(3)이 형성된 기판(20) 전체에 걸쳐 적층된 게이트절연층(22)과, 상기 게이트절연층(22) 위에 형성되어 게이트전극(3)에 신호가 인가됨에 따라 활성화되는 반도체층(6)과, 상기 반도체층(6) 위에 형성된 소스/드레인전극(5)과, 상기 소스/드레인전극(5) 위에 형성되어 소자를 보호하는 보호층(passivation layer;25)으로 구성된다.

상기와 같은 TFT의 소스/드레인전극(5)은 화소내에 형성된 화소전극과 전기적으로 접속되어, 상기 소스/드레인전극(5)을 통해 화소전극에 신호가 인가됨에 따라 액정을 구동하여 화상을 표시하게 된다.

상기한 바와 같은 액정표시소자 등의 액티브 매트릭스형 표시소자에서는 각 화소의 크기가 수십㎛의 크기이며, 따라서 화소내에 배치되는 TFT와 같은 능동소자는 수㎛의 미세한 크기로 형성되어야만 한다. 더욱이, 근래에 고화질TV(HDTV)와 같은 고화질 표시소자의 욕구가 커짐에 따라 동일 면적의 화면에 더 많은 화소를 배치해야만 하기 때문에, 화소내에 배치되는 능동소자 패턴(게이트라인과 데이터라인 패턴을 포함) 역시 더욱 미세하게 형성되어야만 한다.

한편, 종래에 TFT와 같은 능동소자를 제작하기 위해서는 노광장치에 의한 포토리소그래피(photolithography)방법에 의해 능동소자의 패턴이나 라인 등을 형성하였다. 그런데, 이러한 포토리소그래피방법에서는 고가의 노광장치를 사용해야만 하기 때문에 제조비용이 증가할 뿐만 아니라 제조공정도 복잡하게 되는 문제가 있었다. 더욱이, 표시소자의 포토공정시 노광장치의 노광영역이 한정되어 있기 때문에, 대면적의 표시소자를 제작하기 위해서는 화면을 분할하여 포토공정을 진행해야만 한다. 따라서, 분할된 영역의 공정시 정확한 위치의 정합이 어려울 뿐만 아니라 다수회의 포토공정을 반복해야만 하기 때문에 생산성이 저하된다는 문제도 있었다.

본 발명은 상기한 문제를 해결하기 위한 것으로, 그라비아 오프셋 인쇄장치의 전사롤에 자기장 형성수단을 장착하여 상기 전사롤에 자기장을 인가하고 제거함에 따라 자기물질이 첨가된 레지스트가 상기 전사롤에 용이하게 부착되고 박리될 수 있는 레지스트 인쇄장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 다른 목적은 전사롤로의 레지스트 부착 및 박리를 용이하게 함으로써 레지스트패턴의 불량을 방지할 수 있는 그라비아 오프셋인쇄방식을 이용한 레지스트패턴 형성방법을 제공하는 것이다.

본 발명의 또 다른 목적은 상기 레지스트패턴 형성방법에 의한 패턴형성방법을 제공하는 것이다.

상기한 목적을 달성하기 위해, 본 발명에 따른 레지스트 인쇄장치는 원하는 패턴과 대응하는 위치에 형성되어 자기물질이 첨가된 레지스트가 충진되는 홈을 포함하는 클리체; 클리체 상의 레지스트를 상기 홈내부에 충진하도록 하고 상기 클리체 표면의 레지스트를 제거하기 위한 닥터블레이드; 상기 클리체 표면에 접촉하여 회전함에 따라 상기 클리체의 홈내부에 충진된 레지스트가 전사되는 전사롤; 및 상기 전사롤의 내부에 장착되며, 자기력에 의해 상기 전사롤에 전사되는 레지스트의 부착력을 제어하는 자기장 형성수단으로 구성된다.

상기 자기물질은 약 10∼100㎛ 크기의 Fe₂O₃ 미세한 자기입자로서, 레지스트내에서 브라운운동을 하여 레지스트 내부에 균일하게 분포되어 전사롤에 자기장이 형성됨에 따라 전사롤과 레지스트 사이에 자기력이 형성된다.

또한, 본 발명에 따른 패턴형성방법은 원하는 패턴과 대응하는 위치에 홈이 형성된 클리체를 제공하는 단계; 상기 클리체 상에 자성물질이 첨가된 레지스트를 도포하는 단계; 닥터블레이드를 이용하여 상기 도포된 레지스트를 클리체의 홈 내부에 충진하고 상기 클리체 표면에 잔류된 레지스트를 제거하는 단계; 자기물질이 구비된 자기장 형성수단을 이용하여 상기 전사롤에 자기장을 인가한 상태에서, 상기 전사롤을 상기 클리체와 접촉, 회전시켜 상기 홈 내에 충진된 레지스트를 상기 전사롤의 표면으로 전사하는 단계; 상기 자기장 형성수단을 오프시켜 상기 전사롤로 부터 자기장을 제거한 상태에서 기판에 형성된 피가공층에 접촉, 회전시켜 상기 전사롤 표면의 레지스트를 상기 피가공층 상에 재전사하여 레지스트패턴을 형성하는 단계; 및 상기 레지스트패턴을 마스크로 하여 상기 피가공층을 에칭하여 패턴을 형성하는 단계로 구성된다.

본 발명에서는 액정표시소자 등과 같은 표시소자의 능동소자 패턴을 형성하 기 위해, 그라비아 오프셋(gravure offset)인쇄방법을 사용한다. 그라비아인쇄는 오목판에 잉크를 묻혀 여분의 잉크를 긁어내고 인쇄를 하는 인쇄방식으로서, 출판용, 포장용, 셀로판용, 비닐용, 폴리에틸렌용 등의 각종 분야의 인쇄방법으로서 알려져 있다. 본 발명에서는 이러한 인쇄방법에 의해 레지스트패턴 또는 잉크패턴을 형성하여 표시소자에 적용되는 능동소자나 회로패턴을 제작한다.

그라비아 오프셋인쇄는 전사롤을 이용하여 기판상에 레지스트를 전사하기 때문에, 원하는 표시소자의 면적에 대응하는 전사롤을 이용함으로써 대면적의 표시소자의 경우에도 1회의 전사에 의해 패턴을 형성할 수 있게 된다. 이러한 그라비아 오프셋인쇄는 표시소자의 각종 패턴들, 예를 들어 액정표시소자의 경우 TFT 뿐만 아니라 상기 TFT와 접속되는 게이트라인 및 데이터라인, 화소전극, 캐패시터용 금속패턴을 패터닝하는데 사용될 수 있다.

특히, 본 발명에서는 전사롤로의 전사를 용이하게 하기 위해, 자성체가 첨가된 레지스트를 사용하며, 전사롤에는 자기장을 인가한다. 레지스트에 첨가된 자성체는 매우 미세한 입자로 되어 있기 때문에, 레지스트내에서 브라운운동(brownian motion)을 하므로 레지스트내에 균일하게 분포된다. 전사롤로 레지스트를 전사할 때에는 전사롤에 자기장을 인가하여 자기력에 의해 레지스트의 전사를 용이하게 하며, 전사롤에서 기판이나 피가공층으로 레지스트를 재전사하는 경우에는 전사롤에 인가되는 자기장을 제거함으로서 레지스트가 전사롤로부터 용이하게 박리되도록 한다.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 따른 패턴형성장치 및 방법에 대해 상세히 설명한다.

도 3a 내지 도 3c는 발명에 따른 그라비아 오프셋인쇄방식을 이용하여 기판상에 레지스트패턴을 형성하는 방법을 나타내는 도면이다. 도면에 도시된 바와 같이, 그라비아 인쇄장치는 원하는 패턴과 대응하는 위치에 형성되어 자기물질이 첨가된 레지스트(104)가 충진되는 홈(102)을 포함하는 클리체(100)와, 클리체(100) 상의 레지스트(104)를 상기 홈내부에 충진하도록 하고 상기 클리체 표면의 레지스트를 제거하기 위한 닥터블레이드(108)과, 상기 클리체(100) 표면에 접촉하여 회전함에 따라 상기 클리체(100)의 홈(102) 내부에 충진된 레지스트가 전사되는 전사롤(110); 및 상기 전사롤(110)의 내부에 장착되며, 자기력에 의해 상기 전사롤(110)에 전사되는 레지스트의 부착력을 제어하는 자기장 형성수단(115)으로 구성된다. 이때, 상기 레지스트(104)에는 Fe₂O₃와 같은 자성물질이 첨가되어 있다. 또한, 상기 자성물질은 약 10∼100㎛의 미세한 자성입자로 이루어져 있다. 여기서, 상기 자기력 형성수단(115)은 전원이 공급되는 코일을 포함한다.
한편, 그라비아 오프셋인쇄방식에서는 우선 기판에 형성하고자 하는 패턴에 대응하는 오목판 또는 클리체(cliche;100)의 특정 위치에 홈(102)을 형성한 후 상기 홈(102) 내부에 레지스트 또는 잉크 등의 도포액을 충진한다. 본 발명에서는 상기 도포액으로 레지스트(104)를 예로 하여 설명하기로 한다. 상기 레지스트(104)에는 Fe₂O₃와 같은 자성물질이 첨가되어 있다. 상기 자성물질은 약 10∼100㎛의 미세한 자성입자로 이루어져 있기 때문에, 레지스트(104)내에서 브라운운동을 하게 된다. 다시 말해서, 자성입자는 레지스트(104) 내에서 불규칙한 운동을 하기 때문에, 자성입자는 상호간에 달라붙지 않고 레지스트(104)내에 균일하게 분포하게 된다.

상기 클리체(100)에 형성되는 홈(102) 내부로의 레지스트(104) 충진 공정은 홈(102)이 구비된 클리체(100)의 상부에 레지스트(104)를 도포한 후, 닥터블레이드(108)를 클리체(100)에 접촉한 상태에서 일방향으로 진행시켜 상기 홈(102) 내부에 상기 레지스트(104)를 충진하고, 이와 함께 상기 클리체(100) 상의 레지스트(104)를 제거하는 것을 포함한다. 따라서, 닥터블레이드(108)의 진행에 의해 홈(102) 내부에 레지스트(104)가 충진됨과 동시에 클리체(100) 표면에 남아 있는 레지스트(104)는 제거된다.

도 3(b)에 도시된 바와 같이, 상기 클리체(100)의 홈(102) 내부에 충진된 레지스트(104)는 상기 클리체(100)의 표면에 접촉하여 회전하는 전사롤(110)의 표면에 전사된다. 전사롤(110)은 제작하고자 하는 표시소자의 패널의 폭과 동일한 폭으로 형성되며, 패널의 길이와 동일한 길이의 원주를 갖는다. 따라서, 1회의 회전에 의해 클리체(100)의 홈(102)에 충진된 레지스트(104)가 모두 전사롤(110)의 원주 표면에 전사된다.

한편, 상기와 같이 클리체(100)로부터 전사롤(110)로 레지스트(104)가 전사될 때 레지스트(104)는 상기 클리체(100)로부터 용이하게 박리되어야 할 뿐만 아니라 전사롤(110)에 용이하게 부착되어야만 한다. 만약, 클리체(100)로부터의 레지스트(104) 박리가 용이하게 이루어지지 않는 경우에는 레지스트(104)의 일부가 클리체(100)의 홈(102) 내부에 남아 있게 되기 때문에, 전사롤(110)에 전사되는 레지스트(104)의 형상은 클리체(100)의 홈(102) 형상과는 다르게 된다. 이러한 경우 후속공정에서 상기 레지스트(104)를 이용하여 형성되는 패턴이 정확한 형상으로 형성되지 않게 되어, 패턴불량이 발생하게 된다.

본 발명에서는 이러한 문제를 방지하기 위해, 자기장을 이용하여 레지스트(104)의 부착과 박리를 용이하게 한다. 이를 위해, 본 발명에서는 상기 전사롤(110)의 내부에 코일(115)을 권선한다. 이 권선된 코일(115)에는 도면표시하지 않은 전원으로부터 전류가 인가되어, 자기장을 형성하게 된다. 이 전사롤(110) 내부에서 발생한 자기장은 레지스트(104)에 첨가된 자성입자와 반응한다. 다시 말해서, 전사롤(110)을 클리체(100) 표면에 접촉하여 진행시킬 때, 상기 코일(115)에 전류를 공급하여 자기장을 형성함으로써 자력에 의해 레지스트(104)가 전사롤(110)에 부착하게 되어 클리체(100)의 홈(102)으로부터 전사롤(110)로의 레지스트(104) 전사를 용이하게 한다.

이후, 도 3(c)에 도시된 바와 같이, 상기 전사롤(110)을 기판(120) 위에 형성된 피가공층(121)의 표면과 접촉시킨 상태에서 회전시킴에 따라 상기 전사롤(110)에 전사된 레지스트(104)가 피가공층(121)에 전사되며, 이 전사된 레지스트(104)에 열을 가하여 건조시켜 레지스트패턴(122)을 형성한다.

레지스트(104)가 전사롤(110)에서 피가공층(121)로 전사될 때, 상기 전사롤(110) 내부에 설치된 코일(115)에 공급되는 전류를 차단한다. 따라서, 상기 전사롤(110)에 형성되던 자기장이 제거되어 전사롤(110)과 레지스트(104) 사이의 자기력이 제거되므로, 전사롤(110)과 레지스트(104) 사이의 부착력이 약화되며, 결국 레지스트(104)가 전사롤(110)로부터 용이하게 박리되어 피가공층(121)으로 재전사된다.

이때에도 상기 전사롤(110)의 1회전에 의해 표시소자의 기판(120) 전체에 걸쳐 원하는 패턴(122)을 형성할 수 있게 된다.

상기한 바와 같이, 그라비아인쇄방식에서는 클리체(100)와 전사롤(110)을 원하는 표시소자의 크기에 따라 제작할 수 있으며, 1회의 전사에 의해 기판(120)에 패턴을 형성할 수 있으므로, 대면적 표시소자의 패턴도 한번의 공정에 의해 형성할 수 있게 된다.

피가공층(121)은 TFT의 게이트전극이나 소스/드레인전극, 게이트라인, 데이터라인 혹은 화소전극과 같은 전극을 금속패턴을 형성하기 위한 금속층일수도 있으며, SiOx나 SiNx와 같이 절연층일 수도 있다.

실제의 표시소자의 패턴을 형성하는 경우, 상기 레지스트패턴(122)은 종래 포토공정에서의 포토레지스트(photoresist) 역할을 한다. 따라서, 금속층이나 절연층 위에 상기와 같은 레지스트패턴(122)을 형성한 후 일반적인 에칭공정에 의해 금 속층이나 절연층을 에칭함으로써 원하는 패턴의 금속층(즉, 전극구조)이나 절연층(예를 들면, 컨택홀 등)을 형성할 수 있게 된다.

상기와 같이 그라비아인쇄방식은 많은 장점을 가진다. 특히, 공정이 간단하고 대면적인 표시소자에 1회의 공정에 의해 레지스트패턴을 생성할 수 있다는 점은 그라비아인쇄방식이 가질 수 있는 대표적인 장점이다. 더욱이, 본 발명에서는 전사롤에 자기장을 형성하고 레지스트에 자기입자를 첨가함으로써 자기력를 인가하고 제거함에 따라 전사롤에서의 레지스트 박리와 부착을 더욱 용이하게 실행할 수 있게 된다.

상기한 그라비아 오프셋인쇄방식에 의한 패턴형성방법은 액정표시소자와 같은 표시소자의 능동소자나 회로뿐만 아니라 반도체웨이퍼상에서의 소자형성에도 사용될 수 있을 것이다. 또한, 본 발명에서 레지스트에 첨가되는 자기입자는 Fe₂O₃와 같은 특정한 자기물질에 한정되는 것이 아니라 일반적으로 사용되는 모든 자기물질을 포함할 것이다. 더욱이, 패턴을 형성하기 위한 레지스트의 종류 역시 한정되는 것이 아니라 사용 가능한 모든 레지스트나 잉크들이 본 발명에 포함될 것이다. 이러한 본 발명의 다른 예나 변형예는 본 발명의 기본적인 개념을 이용하면 본 발명이 속하는 기술분야에 종사하는 사람이라면 누구나 용이하게 창안할 수 있을 것이다.

상술한 바와 같이, 본 발명에서는 그라비아 오프셋 인쇄방법을 사용하여 1회의 간단한 공정에 의해 액정표시소자와 같은 대면적의 표시소자에 패턴을 형성할 수 있게 된다. 또한, 본 발명에서는 레지스트 또는 잉크에 자성입자를 첨가하고 전사롤에 자기장을 인가하여 레지스트 또는 잉크가 전사롤에 용이하게 부착(전사)하고 박리(재전사)되게 할 수 있으므로, 패턴불량이 발생하는 것을 효과적으로 방지할 수 있게 된다.

Claims

원하는 패턴과 대응하는 위치에 형성되어 자기물질이 첨가된 레지스트가 충진되는 홈을 포함하는 클리체;

클리체 상의 레지스트를 상기 홈내부에 충진하도록 하고 상기 클리체 표면의 레지스트를 제거하기 위한 닥터블레이드;

상기 클리체 표면에 접촉하여 회전함에 따라 상기 클리체의 홈내부에 충진된 레지스트가 전사되는 전사롤; 및

상기 전사롤의 내부에 장착되며, 자기력에 의해 상기 전사롤에 전사되는 레지스트의 부착력을 제어하는 자기장 형성수단으로 구성된 그라비아인쇄장치.
제1항에 있어서, 상기 자기장 형성수단은 자기 물질을 포함하되, 상기 자기물질은 Fe₂O₃인 것을 포함하는 것을 특징으로 하는 그라비아인쇄장치.
제1항에 있어서, 상기 자기물질은 10∼100㎛크기의 자기입자인 것을 특징으로 하는 장치.
제3항에 있어서, 상기 자기입자는 레지스트 내부에 균일하게 분포되는 것을 특징으로 하는 그라비아인쇄장치.
제1항에 있어서, 상기 자기장 형성수단은 전원이 공급되는 코일을 포함하는 것을 특징으로 하는 그라비아인쇄장치.
원하는 패턴과 대응하는 위치에 홈이 형성된 클리체를 제공하는 단계;

상기 클리체 상에 자성물질이 첨가된 레지스트를 도포하는 단계;

닥터블레이드를 이용하여 상기 도포된 레지스트를 클리체의 홈 내부에 충진하고 상기 클리체 표면에 잔류된 레지스트를 제거하는 단계;

자기물질이 구비된 자기장 형성수단을 이용하여 상기 전사롤에 자기장을 인가한 상태에서, 상기 전사롤을 상기 클리체와 접촉, 회전시켜 상기 홈 내에 충진된 레지스트를 상기 전사롤의 표면으로 전사하는 단계; 및

상기 자기장 형성수단을 오프시켜 상기 전사롤로 부터 자기장을 제거한 상태에서, 상기 전사롤을 기판에 접촉, 회전시켜 상기 전사롤 표면의 레지스트를 상기 기판에 재전사하는 단계를 포함한 레지스트패턴 형성방법.
제6항에 있어서, 상기 자기장은 상기 전사롤에 장착된 코일에 전류를 공급하여 인가되는 것을 특징으로 하는 레지스트패턴 형성방법.
제6항에 있어서, 상기 자기물질은 F₂O₃를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
제6항에 있어서, 상기 자기물질은 10∼100㎛크기의 자기입자인 것을 특징으로 하는 레지스트패턴 형성방법.
제9항에 있어서, 상기 자기입자는 상기 레지스트 내부에 균일하게 분포되는 것을 특징으로 하는 레지스트패턴 형성방법.
원하는 패턴과 대응하는 위치에 홈이 형성된 클리체를 제공하는 단계;

상기 클리체 상에 자성물질이 첨가된 레지스트를 도포하는 단계;

닥터블레이드를 이용하여 상기 도포된 레지스트를 클리체의 홈 내부에 충진하고 상기 클리체 표면에 잔류된 레지스트를 제거하는 단계;

자기물질이 구비된 자기장 형성수단을 이용하여 상기 전사롤에 자기장을 인가한 상태에서, 상기 전사롤을 상기 클리체와 접촉, 회전시켜 상기 홈 내에 충진된 레지스트를 상기 전사롤의 표면으로 전사하는 단계;

상기 자기장 형성수단을 오프시켜 상기 전사롤로 부터 자기장을 제거한 상태에서 기판에 형성된 피가공층에 접촉, 회전시켜 상기 전사롤 표면의 레지스트를 상기 피가공층 상에 재전사하여 레지스트패턴을 형성하는 단계; 및

상기 레지스트패턴을 마스크로 하여 상기 피가공층을 에칭하여 패턴을 형성하는 단계로 구성된 인쇄방법을 이용한 패턴형성방법.
제11항에 있어서, 상기 자기장은 전사롤에 장착된 코일에 전류를 공급하여 인가되는 것을 특징으로 하는 패턴형성방법.
제11항에 있어서, 상기 피가공층은 금속층 또는 절연층을 포함하는 것을 특징으로 하는 패턴형성방법.