WO1996006216A1

WO1996006216A1 - Produit de depot en phase vapeur et son procede de production

Info

Publication number: WO1996006216A1
Application number: PCT/JP1994/001379
Authority: WO
Inventors: Jiichiro Okumura; Takao Negishi
Original assignee: Toray Industries, Inc.
Priority date: 1993-02-23
Filing date: 1994-08-22
Publication date: 1996-02-29

Description

明細

蒸着製品およびその製造方法

技術分野

本発明は、蒸着製品およびその製造方法に関し、とくに、蒸着薄膜の接着力を強化できるようにした、蒸着薄膜形成繊維製品やシート状物に適用して最適な、蒸着製品およびその製造方法に関する。

背景技術

蒸着薄膜、例えば金属蒸着薄膜を形成した有機系基材、例えば繊維製品においては、金属蒸着薄膜と織維との接着性は、予想以上に低い。そのため、洗濯（水洗い洗濯、ドライクリーニング）を行なうと大半の金属蒸着薄膜は脱落し、そのことが、商品展開の上で、大きなネックとなっている。

これを改善するために、蒸着処理後、蛾維を保護膜でコーティングする方法が行なわれている。しかし、いくら金属の上から保護膜を形成しても、金属と繊維との接着性が低いため根本的な解決策とはならない。すなわち、洗濯時に金属蒸着膜の脱落は一時的に少なくなるが、時間が経過するにつれ、あるいは洗濯回数が増えるにつれ、広範囲にわたって保護膜を含む金属蒸着膜が剝雠してしまうのである。

—方、特定の光干渉薄膜を織維布帛に蒸着することにより、干渉発色させるようにした干渉色を有する繊維布帛が先に本出願人により提案され、既に公知になつている（特開平 3 - 8 2 8 8 1号公報）。

このような光干渉薄膜を蒸着した織維布帛においても、光干渉薄膜を布帛表面に露出した繊維の表面に直接蒸着していたため、前述と同様の問題点、すなわち、蒸着された光干渉薄膜の摩擦や屈曲に対する接着強度が不足することがあるという問題が残されていた。

発明の開示

本発明の目的は、このような問題点に着目し、繊維製品（繊維布帛）やシート状物、さらにはその製品の表面に蒸着される蒸着薄膜の接着力を向上することにあり、究極的には、該蒸着製品に優れた耐洗濯性、耐摩耗性等を付与することにめる。上記目的を達成するために、本発明の蒸着製品は、有機系基材の表面の少なくとも一部に、少なくともシリコーン系樹脂と二酸化ケイ素とを含む中間剤を介して、金属又は無機物を有する蒸着薄膜を備えているものから成る。

とくに上記中間剤に含まれる二酸化ケイ素はプラズマ処理によって生成されたものが最適である。中間剤は表面からプラズマ処理され、このようなプラズマ処理で生成された二酸化ケイ素は、中間剤表面近傍に存在できるとともに、ブラズマ処理によって生成されるので、分子オーダーに近い分散状態で均一に分布でき、したがってその上に形成される蒸着薄膜に対して高い接着力をもつ。とくに、中間剤の元素組成が、少なくとも上記蒸着薄膜近傍において、炭素原子 2に対しケィ素原子が 1以上となるまでプラズマ処理されていると、極めて高い接着力をもつことができる。

したがって本発明による蒸着製品の製造方法は、このような高い接着力をもたせるために、有機系基材の表面にシリコーン系樹脂を付与し、その上からプラズマ処理を施し、プラズマ処理面上に金属又は無機物を有する薄膜を蒸着にて形成する方法から成る。

さらに詳しくは、本発明の蒸着製品の製造方法は、有機系基材の表面にシリコーン系樹脂を付与し、該シリコーン系樹脂を熱処理してシリコーン系樹脂層を形成し、その上からプラズマ処理を施し、プラズマ処理面上に金属又は無機物を有する薄膜を蒸着にて形成する方法から成る。

すなわち、本発明の方法においては、戡維布帛ゃシート状物の表面に先ずシリコーン系樹脂の膜が塗布ゃ浸漬等により形成され、該シリコーン系樹脂が熱処理されてシリコーン系樹脂層とされ、その上からプラズマ処理、より正確には低温プラズマ処理が施されることにより、シリコーン系樹脂が活性化され（二酸化ケィ素がプラズマ処理によって分子オーダーで均一に生成され）、その樹脂層上に所定の蒸着薄膜が蒸着処理により形成される。活性化されたシリコーン系樹脂層とすることにより、該樹脂層と蒸着薄膜との接着力が大幅に向上され、摩擦や屈曲に対し剝雔しにくい蒸着薄膜が実現される。

また、シリコーン系樹脂に予め二酸化ケイ素が含まれている場合には、有機系基材の表面にシリコーン系樹脂を塗布ゃ浸漬等により付与し、乾燥した後に金属又は無機物を蒸着して蒸着薄膜を形成することでも、比較的高い接着力をもたせることができる。

図面の簡単な説明

図 1は、本発明方法により製造された干渉色を有する蒸着製品の一例を示す概略部分断面図である。

図 2は、図 1 とは別の例に係る干渉色を有する蒸着製品の概略部分断面図である。

図 3は、さらに別の例に係る干渉色を有する蒸着製品の概略部分断面図である < 図 4は、さらに別の例に係る干渉色を有する蒸着製品の概略部分断面図である c 図 5は、基材が特に織維製品である場合において、繊維製品の表面に露出した個々の織維の表面に形成された蒸着薄膜を有する蒸着製品の一例を示す概略部分斜視図である。

図 6は、透明性基材を用いた蒸着製品の一例を示す概略部分断面図である。図 7は、別の例に係る透明性基材を用いた蒸着製品の概略部分断面図である。

発明を実施するための最良の形態

本発明において用いられるシリコーン系樹脂としては、例えばメチルハイドロジエンポリシロキサンェマルジヨンが举げられ、触媒としては、例えば亜鉛系のものが使用できる。この場合、メチルハイドロジエンポリシロキサンエマルジョンにおけるシリコーンの含有量としては、 2〜 1 0重量％程度が適当であり、亜鉛系触媒は、 2〜 1 0重量％程度が適当である。また、蒸着製品の風合いを柔軟にする効果を得る観点から、触媒を用いずにメラミン系樹脂を使用する方法も好ましく採用できる。この場合には、メチルハイドロジエンポリシロキサンエマルジョンにおいて、シリコーン系樹脂の含有量としては、 2〜 1 0重量％程度が適当であり、メラミン系樹脂は、 0 . 1 ~ 2重量％程度が適当である。また同様に、触媒を用いずにポリエステル系樹脂を用いる方法も蒸着製品の風合いを柔軟にする観点から好ましく採用できる。この場合には、メチルハイドロジェンポリシ口キサンェマルジヨンにおいて、シリコーン系樹脂の含有量としては、 2〜 1 0重董％程度が適当であり、ポリエステル系樹脂は、 0 . 1〜5重量％程度が適当である。また、触媒を用いずに、メラミン系樹脂とポリエステル系樹脂との両者を用いることもできる。この場合には、メチルハイドロジェンポリシロキサンエマルジョンにおいて、シリコーン系樹脂の含有 iとしては 2〜 1 0重量％程度が適当であり、メラミン系樹脂とポリエステル系樹脂の合計含有量は 0 . ！〜 5重量 %程度が適当である。なお、メラミン系樹脂を用いる場合、メラミン系樹脂に対する触媒を用いることができる。この場合には、メチルハイドロジェンポリシ口キサンエマルジョンにおいて、その触媒の含有量としては 0 . 0 2 ~ 0 . 4重量 %程度が適当である。

シリコーン系樹脂を鏃維布帛ゃシ一ト状物の表面に付与する方法としては、例えばディップ法が挙げられ、絞り率としては 2 0〜 6 0 %程度が適当である。また、付与した後の乾燥、キュアの条件としては、 1 6 0〜1 8 0 ^eC、 2分程度の連続条件が好ましい。 1 1 0〜 1 3 0てで乾燥した後にキュアするとさらに好ましい。

低温プラズマ処理の条件としては、例えば、真空度： 2 0〜 1 0 0 P a、放電 ¾力： 2〜7 K V、処理速度： 5〜3 O m Z分程度が適当である。処理雰囲気としては、空気でもよく、酸素、アルゴン等のガス雰囲気中でもよい。また、処理面としては、両面行ってもよく、少なくとも蒸着処理する面に行えばよい。低温プラズマ処理の程度は、シリコーン系樹脂の化学組成によっても変更する必要があるが、効果面からはシリコーン系樹脂層の元素組成が、少なくとも蒸着薄膜近傍において、炭素原子 2に対してゲイ素原子 1以上にすることが、接着性の面から好ましい。

本発明において使用される基材は、有機系基材であれば特に限定されず、たとえば繊維布帛ゃシート状物である。蛾維布帛としては、ボリエステル、ポリアミド、ポリアクリル、レーヨン等からなる化学繊維、綿や絹などの天然總維からなる布帛などであって、特に限定されず、薄地から厚地のものまで適用できる。シート状物としては、プラスチックフィルムや紙などが挙げられる。

特に繊維布帛においては、ジョーゼットクレープゃデシンクレープのような強撚繳物、エンボスゃシヮ加工のような凹凸辙物、起毛や立毛布帛、モノフィラメント布帛、染色された布帛などが好適な基材として使用できる。

このような織維布帛上に本発明による蒸着薄膜を形成すると、干渉色を有する製品を得ることができる。一般に干渉色は、干渉面と視線との間の角度により変化するものである。基材が強撚織物の場合には、該基材のドレープ性が高く、布帛のしなやかな動きとその動きに従った干渉色の変化により新感覚のドレープ感を覚え、高极布帛となる。基材が凹凸維物の場合には、凹凸に従った蒸着薄膜が形成されるため、凹凸に従った干渉色の変化が現われ、新感覚の立体感を覚え高极布帛となる。基材が起毛や立毛布帛の場合には、毛の倒れ方向や動きによって干渉色が変化し、新感覚の表面質感を覚え高极布帛となる。基材がモノフィラメント布帛の場合には、一股に繊維が太く明瞭な干渉色となり、また一般に糸間に間隔が多く布帛が透けている。したがって、色が濃く布帛が透けているといった新感覚の高极布帛となる。

蒸着材料としては、特に限定されず、金属類、無機物などが挙げられる。

蒸着材料として使用される金属類としては、特に限定されず、 A l、 Au、 C r、 Cu、 Mg、 N i、 T i、 Co、 P t、 S i等が举げられ、無機物の酸化物としては、特に限定されず、 A 1₂ 0₃ 、 In ₂ 0₃ 、 C r₂ 0₃ 、 MgO、 S i O、 S i 0₂ 、 T i O、 T i 0₂ 、 I TO, Sn0₂ 等が挙げられ、窒化物としては、特に限定されず、 A 1 N、 T i N、 S i ₃ N₄ 等が举げられる。その他 gF₂ も使用できる。

また、蒸着薄膜の層構成としては、単層であっても積層構成であってもよい。このような蒸着薄膜が、前述の如く二酸化ケイ素を含むシリコ一ン系樹脂上、好ましくは低温プラズマ処理されたシリコーン系樹脂膜上に蒸着される。そして、前述の如く、活性化されたシリコーン系樹脂膜との間に、強力な接着力が発揮される。シリコーン系樹脂膜と有機系基材との間は、元々良好な接着性が確保されている。なお、蒸着方法としては、特に限定されず、例えば真空蒸着装置、スパッタ装置、イオンプレーティング装置など公知の薄膜形成装置内に基材を配置し、減圧下で蒸着薄膜の形成を行う方法が好ましい。

上記接着力の強化は、二酸化ケイ素を含むシリコーン系樹脂膜、好ましくは低温プラズマ処理されたシリコーン系樹脂膜を形成することによって達成されるものであり、他の樹脂膜では、目標とする高い接着力は得られない。シリコーン系樹脂膜表面の原子状態分析には、 X線光電子分光法を用いることができる。また、 P

- 6 - 元素組成（原子数の比率）分析には、ォージェ電子分光法を用いることができる _£ さらに、蒸着薄膜形成後の場合は、イオンエッチング法を併用して、膜を掘り下げつつ分析する方法を用いることができる。

なお、金属又は無機物を蒸着し蒸着薄膜を形成した後、好ましくは 1 3 0 ^eC以上、より好ましくは 1 7 0て以上で熱処理することが好ましい。かかる熱処理をすることで、蒸着薄膜の特に表面が酸化されて酸化薄膜となり、薄膜強度が向上するとともに、後述の繳維布帛の干渉色がさらに鲜やかになり、金属光沢とすることができるので好ましい。また、蒸着薄膜を保護するために、蒸着して熱処理した後、必要に応じて蒸着薄膜の上から保護層をコーティングしてもよい。

表 1に、各樹脂を付与した場合、およびプラズマ処理の有無の場合の耐久性を比較して示すように、シリコーン系樹脂、それも特に低温プラズマ処理した場合にのみ、目標とする高い耐洗灌性、耐摩耗性が得られる。但し、低温プラズマ処理していないシリコーン系樹脂には二酸化ケイ素は含まれていない。なお、表 1 はプラズマ処理および蒸着前に熱処理をした場合の比較である。

表 1

なお、表 1に示した試験の条件は以下の通りである。蒸着薄膜： A l /S i OZC r

薄膜の耐洗濯性： J I S— L - 1 0 9 6 L - 5法

(対応 AATC C— 1 2 4 ) による, AATCC ： Technical Manual of the American

Association of Textile Chemists and Colorists

酎摩耗性： J I S— L - 0 8 4 9 I I型

(対応 AATC C - 8 ) による。

使用布帛：ポリエステルフィラメント使用の平織物

(後述の実施例 1 と同一のもの）

本発明の蒸着製品およびその製造方法は、蒸着薄膜が電磁波干渉薄膜、たとえば光干渉薄膜の場合でも適用できる。つまり、光干渉薄膜を蒸着することにより、干渉色を有する蛾維布帛又はシート状物を得る際にも適用できる。

この干渉色を有する繊維布帛又はシート状物においては、前述のシリコーン系樹脂膜が形成され、それに低温プラズマ処理が施された後、その上に光干渉薄膜が蒸着される。

この光干渉薄膜は、以下のような各種想様を採ることができる。

まず，光干渉薄膜が透明層のみからなる場合、図 1に示すように、繊維布帛又はシート状物からなる基材 1の片面又は両面のシリコーン系樹脂膜 2上に、透明層 3、たとえば透明金属化合物薄膜からなる透明層 3カ^ 蒸着により設けられる _c 該透明金属化合物薄膜の素材としては、たとえば A 1₂ 0₃ 、 I n ₂ 0₃ 、 C r 2 0₃ 、 MgO、 S i O、 S i 0₂ 、 T i O、 T i 0₂ 、 A】 N、 T i N、 S i N₄ . Mg F₂ から選ばれた少なくとも一種を挙げることができる。

このような透明層 3が積層された基材 1においては、表面側から入射した光 R の、透明層 3の表面における反射光 R₂ と、裏面における反射光 R₃ 、すなわち, 透明層と、該透明層と隣接する基材（あるいはシリコーン系樹脂膜 2) との境界面での反射との干渉により、発色する。

この発色は、透明層 3の材質、基材 1自身の色、透明層 3の厚みによって種々変化する。とくに、輝きのある発色を得るために、透明層 3の厚みは、 4 0 O A 以上、 5 0 0 0 A以下であることが好ましい。

また、光干渉薄膜は、図 2に示すように、基材 1側から反射層 4と透明層 3を順次積層した 2層構造とすることによって形成してもよい。反射層 4は、たとえば可視光線領域における平均反射率が 6 0 %以上（好ましくは 9 0 %以上）の金属薄膜からなり、該反射金属薄膜の素材としては、たとえば、 A l、 C u、 Ag、 Mg、 T i、 N i、 C o、 P t、 Au、 C r、 P e、 R hから選ばれた少なくとも一種を举げることができる。このような反射層 4 も蒸着により設けることができ、反射層 4を構成する反射金属薄膜の厚みとしては、 5 0 O A以上あることが好ましい。この場合においても透明層 3の厚みは、 4 0 O A以上、 5 0 0 O A以下であることが好ましい。

このような反射層 4、透明層 3が順次積層された基材 1においては、表面側から入射した光 Rの、透明層 3表面における反射光 R₂ と、裏面における反射光 R 3 、すなわち、透明層 3と、反射層 4 との境界面の反射光との干渉により、発色する。

また、光干渉薄膜は、図 3に示すように、基材 1側から、上記反射層 4 と、透明層 3と、半透明層 5とをこの順に順次積層した 3層構造とすることによって形成してもよい。半透明層 5は、たとえば可視光線領域における平均反射率が 6 0 %以下の半透明金属薄膜からなり、該半透明金属薄膜の素材としては、 A l、 C u、 Ag、 Mg、 T i、 N i、 C o、 P t、 I n、 C r、 S i、 Au、 Au/P tから選ばれた少なくとも一種を挙げることができる。このような半透明層 5 も蒸着により設けることができ、半透明層 5を構成する半透明金属薄膜の厚みとしては、 2 O A以上、 5 0 0 A以下が好ましい。この場合においても透明層 3の厚みは、 4 0 0 A以上、 5 0 0 0 A以下であることが好ましい。また、反射層 4の厚みは、 5 0 0 A以上であることが好ましい。

このような反射層 4、透明層 3、半透明層 5が順次積層された基材 1においては、表面側から入射した光 Rは、半透明層 5の表面、透明層 3の表面、反射層 4 の表面（透明層 3の裏面）でそれぞれ反射光、 R₂ 、 R₃ を生成し、反射光 R , と R₂ と R₃ とが干渉して干渉色を発現する。

さらに、光干渉薄膜は、図 4に示すように、基材 1側から、上記透明層 3と半透明層 5を順次積層した 2層構造とすることによって形成してもよい。このような基材 1にあっては、主として反射光 R₂ と R₃ との干渉により、発色される。また、図示は省略するが、光干渉薄膜の表面に、必要に応じて保護膜をコ―ティング等により設けてもよい。保護膜としては、光干渉薄膜への光の入射、光干渉薄膜からの干渉色の発色を損なわないよう、実質的に略完全に透明なものが好ましい。但し、着色されていてもよい。

図 5は、たとえば図 3に示した態様の光干渉薄膜を、繊維製品の基材 1上に設けたものを示しており、その表面を拡大して示したものである。

上述のような光干渉薄膜を有する基材において、基材が透明又は半透明のものの場合には、該基材の襄面側から、基材を通して光干渉薄膜による干渉色を見ることができる。たとえば、透明又は半透明の透明性繊維布帛の片面に、前述と同様のシリコーン系樹脂層（但し、透明又は半透明のものに形成されている）を設け、その上に、該透明性繊維布帛を透過してできた光の、層表面における反射光と層裏面における反射光との干渉により発色可能な、実質的に透明な薄膜からなる透明層を設け、該透明層の上に、透明層を透過してできた光を反射させる反射餍を設けた、干渉色を有する透明性蛾維布帛である。

たとえば図 6に示すように、透明性蛾維布帛 1 1の上に、透明又は半透明の、二酸化ケイ素を含むシリコーン系樹脂層 1 5を設け、その上に透明曆 1 2、反射層 1 3を順次設けたものに棣成される。また、図 7に示すように、シリコーン系樹脂層 1 5と透明層 1 2との間に、さらに半透明層 1 4を設けた棣成としてもよい。

このような構成においては、基材 1 1 (透明性繊維布帛）を透過してできた光 Rの反射光 R Hおよび R _{1 2}、又は反射光 R u、 R _{1 2}および R _{1 3}が互いに干渉し、基材 1 1 の裏面側から干渉色を見ることができる。

実施例

以下に、本発明のより具体的な実施例について説明する。

実施例 1

ボリエステルフィラメント糸（タテ 5 0デニール X 1 8 フィラメント、略丸断面維維とョコ 7 5デニール X 3 6 フィラメント、略丸断面繊維）を平織（タテ 1 1 0本ノィンチ、ョコ 8 1本インチ）とした繳物を精鍊仕上げした後、ディップ法によりシリコーンを付与し、 1 6 0でで熱処理してシリコーン系樹脂を形成した。その後、低温プラズマ処理を施し、織物の片面に A 1を膜厚 8 0 0 Aになるように金属薄膜を誘導加熱真空蒸着法により蒸着した。

使用したシリコーン系樹脂は、メチルハイドロジエンポリシロキサンェマルジヨンであり、触媒としては亜鉛系のものを使用した。ディップ法による処理条件およびプラズマ処理の条件は以下の通りである。

デイツプ処理：

シリコーン系樹脂含有量 7 %

亜鉛系触媒含有量 7 %

デイツプ処理絞り率 4 0 %

乾燥 ·キュア 1 6 0て X 2分、連続

プラズマ処理：

真空度 4 0 P a

処理雰囲気大気中

放電電力 5. 5 K V

処理速度 2 0 mZ分

処理面 P3 '面

結果、 A 1蒸着薄膜は摩擦や屈曲に対して、織維との接着力強化が計られた。実施例 1において、シリコーン樹脂付与後プラズマ処理することによって、耐洗濯性は 2极から 5极に、耐摩耗性は 1极から 3极にそれぞれ向上した。この時の試験の条件は以下の通りである。

耐洗濯性： J I S - L一 1 0 9 6 L - 5法

(対応 A ATC C— 1 24 ) による。

耐摩耗性： J I S - L一 0 8 4 9 I I型

(対応 AATC C— 8 ) による。

また、この実施例 1において、低温プラズマ処理前後のシリコーン系樹脂層の表面を X線光電子分光法で分析し、炭素原子とゲイ素原子の原子数比およびシリコーン類中の S i と S i 0₂ 中の S iの比率を表 2に示した。その結果から、低温プラズマ処理することによって、シリコーン系樹脂中で二酸化ケイ素が大幅に増加することが判った。このプラズマ処理によって生成された二酸化ケイ素が、接着力向上に大きく寄与していると考えられる。 PC /JP94/013 一 1 2 表 2

なお、 X線光 ¾子分光法とは、試料表面に照射された X線によって励起され表面から放出される光 ¾子の強度を運動エネルギーの関数として測定し、それから光 ¾子スペクトルを得るものである。物質の元素分析に利用できるとともに、内殻光電子のピーク強度比から物質の組成分析に利用できる。また、内殻光電子の結合エネルギー値は同一の元素でも化学結合状態の違いによって変化するため、状態分析も行なえる。

本実施例における X線光電子分光法の分析条件は次の通りである。

X線源 g k

X線出力 1 0 k V 2 0 mA

アナライザー

パスエネルギー W I DE S CAN 5 0 e V

NARROW S CAN 2 0 e V

分解能 1 e V

真空度〜 1 x 1 0 -⁸m b a r

ジオメトリー Θ (脱出角） = 0°

実施例 2

高収縮ポリエステルフィラメント糸（ 5 0デニール X 2 4フィラメント、略丸断面繊維、沸水収縮率約 2 0 %) と低収縮ボリエステルフィラメント糸（ 5 0デニール X 4 8 フィラメント、略 3角断面繊維、沸水収縮率約 7 %) とを引き揃えて流体混繊処理を施した後約 2 0 0回の燃を与えて得た収縮差混繊糸を用いて織物（経糸：約 8 0本/ィンチ、縴糸：約 1 0 0本ノィンチ、組織： 2ノ 2ッィル）を作り、リラックス処理、セット、アルカリ処理、仕上げセットを施して糸長差混織糸布帛とした。その後、ディップ法によりシリコーン樹脂を付与し、乾燥 'キュアした。さらにその上からプラズマ処理した後、この糸長差混蛾糸布帛の片面に図 3に示した態様の 3層構造の光干渉薄膜を誘導加熱真空蒸着法により蒸着した。なお、シリコーン系樹脂のディップ法による処理条件およびプラズマ処理条件は実施例 1 と同じである。

反射層は A 1から構成して膜厚を 8 0 0 Aとし、透明層は S i 0から構成して膜厚をそれぞれ 8 0 0 A、 1 0 0 0 A、 1 2 0 0人、 1 5 0 0 Aとし、半透明層は C rから構成して膜厚を 3 O Aとした。これら反射層、透明層、半透明層を蒸着後、 1 7 0 °C 2分の条件で熱処理し、さらにその上から保護膜としてポリジメチルポリシロキサン系シリコーンをコ一ティングし 1 3 0。C、 2分の条件で熱処理した。

結果、下層蒸着薄膜が洗濯や摩擦、屈曲に対して、織維との接着力強化が計られた。このことによって、中間層、上層とも脱落することなく透明層の膜厚 8 0 0 Aのものは、青色を主体とした深みのある色が得られ、膜厚 1 0 0 0 Aのものは、緑色を主体とした深みのある色が得られ、膜厚 1 2 0 0 Aのものは、黄色を主体とした深みのある色が得られ、膜厚 1 5 0 0 Aのものは、赤色を主体とした深みのある色が得られた。

この実施例 2において、シリコーン樹脂付与後、プラズマ処理することによつて、耐洗濯性は 3扱から 5級に、酎摩耗性は 2級から 4极にそれぞれ向上した。この時の試験の条件は以下の通りである。

耐洗濯性： J I S— L - 1 0 9 6 L - 5法

(対応 A A T C C - 1 2 4 ) による。

耐摩耗性： J I S - L— 0 8 4 9 I I型

(対応 A A T C C - 8 ) による。

得られた糸長差混繊糸布帛は、見る角度によって複雑に色合いが変化するとともに、糸長差混鏃糸による表面凹凸が、より立体感、ふくらみ感のある、しかも各部の色が複雑に変化する、高級感のある色調が得られた。

また、低温プラズマ処理前後の表面を X線光電子分析光法で分析し、炭素原子とゲイ素原子の原子数比およびシリコーン類中の S i と S i 0 ₂ 中の S i比率を表 3に示した。その結果から低温プラズマ処理することによってシリコーン樹脂中に二酸化ゲイ素が増加することが判つた。

表 3

このように、本発明の蒸着製品およびその製造方法によるときは、中間剤中に二酸化ケイ素、とくにプラズマ処理により生成された二酸化ケイ素を存在させることにより、基材と蒸着薄膜との間に極めて高い接着力を得ることができ、蒸着薄膜が剝雠しにくく、優れた耐洗濯性、耐摩耗性を有する繊維製品やシート状物等を得ることができる。

産業上の利用可能性

本発明の蒸着製品は、蒸着薄膜が極めて高い接着力をもって接着されるので、高い耐洗濯性ゃ耐摩耗性が得られ、とくに洗濯され、くり返して使用される蒸着薄膜形成繊維製品や、シート状物に好適に適用できる。

Claims

言青求の範囲

1 . 有機系基材の表面の少なくとも一部に、少なくともシリコーン系樹脂と二酸化ゲイ素とを含む中間剤を介して、金属又は無機物を有する蒸着薄膜を備えていることを特徴とする蒸着製品。

2 . 前記二酸化ケイ素が、プラズマ処理により生成されたものである請求の範囲第 1項の蒸着製 αα ο

3 . 前記有機系基材がボリエステルからなる請求の範囲第 1項又は第 2項の蒸着製品。

4 . 前記有機系基材がシ一ト状物である請求の範囲第 1項ないし第 3項のいずれかに記載の蒸着製品。

5 . 前記有機系基材が繊維製品である請求の範囲第 1項ないし第 3項のいずれかに記載の蒸着製

6 . 前記中間剤の元素組成が、少なくとも前記蒸着薄膜の近傍において、炭素原子 2に対しゲイ素原子が 1以上である請求の範囲第 1項ないし第 5項のいずれかに記載の蒸着製品。

7 . 前記蒸着薄膜が電磁波干渉薄膜からなる請求の範囲第 1項ないし第 6項のいずれかに記載の蒸着製品。

8 . 前記電磁波干渉薄膜が、表面側から入射した光の、表面における反射光と裏面における反射光との干渉により発色可能な、実質的に透明な薄膜からなる透明層を有する光干渉薄膜からなる請求の範囲第 7項の蒸着製品。

9 . 前記光干渉薄膜が、前記透明層のみからなる請求の範囲第 8項の蒸着製品。

1 0 . 前記光干渉薄膜が、前記基材側から、可視光線領域における平均反射率が 6 0 %以上である反射層と、前記透明層を順次積層した 2層構造の薄膜からなる請求の範囲第 8項の蒸着製品。

1 1 . 前記光干渉薄膜が、前記基材側から、可視光線領域における平均反射率が 6 0 %以上である反射層と、前記透明 Sと、可視光線領域における平均反射率が 6 0 %以下である半透明層とをこの順に順次積層した 3層構造の薄膜からなる請求の範囲第 8項の蒸着製品。

1 2 . 前記光干渉薄膜が、前記基材側から、前記透明層と、可視光線領域における平均反射率が 6 0 %以下である半透明層を順次積層した 2層構造の薄膜からなる請求の範囲第 8項の蒸着製品。

1 3 . 有機系基材の表面にシリコーン系樹脂を付与し、その上からプラズマ処理を施し、プラズマ処理面上に金属又は無機物を有する薄膜を蒸着することを特徴とする蒸着製品の製造方法。

1 4 . 前記有機系基材の表面にシリコーン系樹脂を付与した後、前記プラズマ処理前に、該シリコーン系樹脂を熱処理してシリコーン系樹脂層を形成する請求の範囲第 1 3項の蒸着製品の製造方法。

1 5 . 前記蒸着処理が、前記基材の少なくとも片面に、表面側から入射した光の，表面における反射光と裏面における反射光との干渉により発色可能な、実質的に透明な薄膜からなる透明層を有する光干渉薄膜を蒸着することにより行われる請求の範囲第 1 3項又は第 1 4項の蒸着製品の製造方法。

1 6 . 前記光干渉薄膜が、前記透明層のみからなる請求の範囲第 1 5項の蒸着製品の製造方法。

1 7 . 前記光干渉薄膜が、前記基材側から、可視光線領域における平均反射率が 6 0 %以上である反射層と、前記透明層を順次積層した 2層構造の薄膜からなる請求の範囲第 1 5項の蒸着製品の製造方法。

1 8 . 前記光干渉薄膜が、前記基材側から、可視光線領域における平均反射率が 6 0 %以上である反射層と、前記透明層と、可視光線領域における平均反射率が 6 0 %以下である半透明層とをこの順に順次積層した 3層構造の薄膜からなる請求の範囲第 1 5項の蒸着製品の製造方法。

1 9 . 前記光干渉薄膜が、前記基材側から、前記透明層と、可視光線領域における平均反射率が 6 0 %以下である半透明層を順次積層した 2層構造の薄膜からなる請求の範囲第 1 5項の蒸着製品の製造方法。