TWM460875U - 蝕刻握持夾具 - Google Patents

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TWM460875U
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splint
holding jig
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etched
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Yu-Zheng Chen
zong-en Wu
zhi-lin Yu
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Grand Plastic Technology Corp
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Description

蝕刻握持夾具
本創作涉及一種玻璃邊緣強化濕式蝕刻製程所使用的握持夾具，但不限於此種用途。此種握持夾具可增進液體流場均勻度及效率，又不會碰觸被蝕刻物邊緣，使邊緣蝕刻均勻度及良率大大提升，而且又能減少蝕刻後浸泡清洗時間，提升清洗效益又能避免酸液殘留。
積體電路或面板製程中，以濕式蝕刻除去剩餘光阻的傳統夾具如圖1所示，玻璃片或晶圓等工件104被夾持於夾具102時，至少有四個接觸點，使蝕刻不完全，而有殘留物留在邊緣上，此缺點對面板最為不利。另外，因底部未完全開放，使蝕刻液的流場106不順暢而有回流108，致使均勻度及酸液流場效率不佳而增加蝕刻時間。
授予Kim等人的美國專利第20040065413號提出一種防止玻璃底板破裂的夾具。具有上框、下框及側框，停止器(stopper)防止玻璃底板自後部出來。固然可以防止玻璃底板破裂，但玻璃底板邊緣仍與夾具接觸，且下框使蝕刻液的流場不順暢，是其缺點。授予Cho等人的美國專利第20060226093及20060226094號提出一種裝載顯示面板玻璃底板的玻璃夾具，亦有上、下板及側板，其缺點亦同。
綜上所述，本創作人有感上述缺失可改善，乃特潛心研究並 配合學理之應用，終於提出一種設計合理且有效改善上述缺失之創作。
本創作所要解決的技術問題就是提供一種蝕刻握持夾具，以增加蝕刻液的流場順暢而增進均勻度及效率，減少蝕刻時間。
本創作另提供一種蝕刻握持夾具，使玻璃片或晶圓等工件的邊緣不與夾具接觸，以將邊緣蝕刻乾淨。
為解決上述技術問題，本創作採用如下技術方案：包括：兩個側板，所述兩個側板分置左、右兩側；至少一個支持件，所述至少一個支持件連接於所述兩側板；多個夾板，所述多個夾板設置於所述兩個側板之間，所述夾板兩側各設有接觸頭，每一接觸頭設有至少一個第一通道；至少兩個夾板滑棒，所述至少兩個夾板滑棒設置於所述兩個側板之間，且穿過所述多個夾板；以及至少一個夾板壓棒，設置於所述一個側板上。
較佳地，所述第一通道呈上下貫穿、水平貫穿或斜向貫穿。
較佳地，所述夾板壓棒的一端設有至少一個第二通道。
較佳地，所述第二通道呈上下貫穿、水平貫穿或斜向貫穿。
較佳地，遠離所述夾板壓棒的所述一個側板內側設有至少一個抵觸部，每一抵觸部設有至少一個第三通道。
較佳地，所述第三通道呈上下貫穿、水平貫穿或斜向貫穿。
本創作具有以下有益的效果： 本創作以側板、支持件、夾板、夾板滑棒及夾板壓棒組成一蝕刻握持夾具，蝕刻液的流場可自下方向上平行通過玻璃片或晶圓等工件，不受阻礙，以增加蝕刻液的流場順暢而增進均勻度及效率，減少蝕刻時間，且使玻璃片或晶圓等工件的的邊緣不與夾具接觸，以將邊緣蝕刻乾淨。
本創作夾板兩側各設有接觸頭，用以夾持玻璃片或晶圓等工 件，且每一接觸頭設有第一通道，使得夾板與工件接觸面積減少，且增加蝕刻液的流場順暢，而增進均勻度及效率。
另，本創作夾板壓棒的一端可設有第二通道，也可以增加蝕刻液的流場順暢，而增進均勻度及效率。
另，本創作側板內側可設有抵觸部，抵觸部可設有第三通道，也可以增加蝕刻液的流場順暢，而增進均勻度及效率。
為使能更進一步瞭解本創作的特徵及技術內容，請參閱以下有關本創作的詳細說明與附圖，然而所附圖式僅提供參考與說明用，並非用來對本創作加以限制者。
102‧‧‧夾具
104‧‧‧工件
106‧‧‧蝕刻液的流場
108‧‧‧回流
200‧‧‧蝕刻握持夾具
202‧‧‧側板
204‧‧‧側板
206‧‧‧支持件
208‧‧‧夾板
210‧‧‧螺帽
211‧‧‧凸部
212‧‧‧螺絲
213‧‧‧墊片
214‧‧‧夾板壓棒
215‧‧‧第二通道
216‧‧‧夾板滑棒
217‧‧‧抵觸部
218‧‧‧第三通道
302‧‧‧握持孔
304‧‧‧側孔
308‧‧‧腳架
602‧‧‧工件
604‧‧‧接觸頭
605‧‧‧第一通道
圖1為顯示以濕蝕刻除去剩餘光阻的傳統夾具的示意圖。
圖2為本創作蝕刻握持夾具的立體圖。
圖3為本創作蝕刻握持夾具的前視圖。
圖4為本創作蝕刻握持夾具的俯視圖。
圖5為本創作蝕刻握持夾具的右側視圖。
圖6為本創作蝕刻握持夾具的左側視圖。
圖7為本創作夾板的立體圖。
圖8為本創作夾板壓棒的立體圖。
圖9為本創作蝕刻握持夾具的夾板夾持工件之示意圖。
請參閱圖2至圖6，本創作提供一種用於玻璃片或晶圓的蝕刻握持夾具200，其包括有兩個側板202、204、至少一個支持件206、多個夾板208、兩個夾板滑棒216及兩個夾板壓棒214。
側板202、204較佳但不限制為方形板體，兩個側板202、204分置左、右兩側。支持件206的構造並不限制，例如可呈棒狀或板狀等，在本實施例中支持件206呈棒狀，且設有兩個支持件 206，所述兩個支持件206連接於左、右兩側板202、204。支持件206是以兩端連接於左、右兩側板202、204，使其形成蝕刻握持夾具200開放式的本體。支持件206兩端能利用焊接、螺接或嵌接等方式連接於兩側板202、204，支持件206兩端也能利用一體成型的方式連接於兩側板202、204，支持件206連接於兩側板202、204的方式並不限制。
側板202、204各具有握持孔302、側孔304及腳架308，左、右兩個握持孔302可供兩手握持夾具，以便置入蝕刻槽或自蝕刻槽取出。側孔304使蝕刻液可以流進或流出，握持孔302及側孔304設置的位置並不限制，在本實施例中側孔304設置於側板202、204的下半部，握持孔302則設置於側板202、204的上半部。 腳架308形成於側板202、204的底部兩側，腳架308可使夾具站立。惟，所述握持孔302、側孔304及腳架308的形狀、位置及結構並不限制，可因應需要適當的變化。例如所述握持孔302也可以握把等結構予以取代。所述腳架308也可予以省略，或是直接利用側板202、204的底部使夾具站立。
所述多個夾板208設置於兩個側板202、204之間，夾板208為長條薄片狀(如圖7所示)，所述多個夾板208整齊的排列成一排，所述多個夾板208間隔的設置，使工件602可夾持於該些夾板208之間(如圖9所示)，亦即每相鄰的兩夾板208之間可夾持一工件602。夾板208兩側各設有兩個接觸頭604，接觸頭604可利用組合或一體成型的方式設置於夾板208上，接觸頭604凸出於夾板208兩側，用以夾持玻璃片或晶圓等工件602，但是接觸頭604的構造及數量並不限制，夾板208兩側各設有至少兩個接觸頭604為較佳，可獲得較佳的夾持固定效果。每一接觸頭604可設有至少一個第一通道605，在本實施例中每一接觸頭604設有一第一通道605且呈上下貫穿，惟第一通道605設置的數量及角度並不設置，例如第一通道605也可設有兩個、三個或四個等，第一通 道605也可呈水平貫穿或斜向貫穿等，第一通道605的角度並不限制。
兩個夾板滑棒216設置於兩個側板202、204之間，且兩個夾板滑棒216穿過所述多個夾板208，兩個夾板滑棒216可穿過所述多個夾板208近兩端處或其他適當的位置，使夾板208能沿著夾板滑棒216左、右滑動，用以夾緊或鬆開工件602。
兩個夾板壓棒214設置於側板204上，夾板壓棒214可具有一螺帽210及一螺絲212(如圖8所示)，螺絲212可螺接於側板204，且螺帽210可螺接於螺絲212上。夾板壓棒214可借由螺紋作用推動與其相鄰的夾板208，亦即夾板壓棒214的螺絲212可借由螺紋作用推動與其相鄰的夾板208，使夾板208能沿著夾板滑棒216左、右滑動，用以夾緊或鬆開工件602，螺絲212調整完成時可利用螺帽210迫緊固定。另，螺帽210一面也可設有三個凸部211，該些凸部211頂觸於側板204外側，使螺帽210與側板204之間形成三點接觸，可用以穩定的迫緊固定。
夾板壓棒214的結構並不限制，亦可為其他形式的螺紋調整結構。在本實施例中夾板壓棒214另具有一墊片213，墊片213為一與夾板208相對應的長條板體，墊片213位於螺絲212與夾板208之間，使得兩夾板壓棒214的螺絲212可通過墊片213推動與其相鄰的夾板208，使夾板壓棒214的施力較為穩定。夾板壓棒214的一端可設有至少一個第二通道215，亦即螺絲212的一端可設有第二通道215，在本實施例中每一螺絲212設有兩第二通道215且呈上下及水平貫穿，惟第二通道215設置的數量及角度並不設置，例如第二通道215也可設有一個、三個或四個等，第二通道215也可呈斜向貫穿等，第二通道215的角度並不限制。
所述支持件206、夾板208、夾板滑棒216及夾板壓棒214的數量並不限制，可以適當的變化，例如支持件206可以設置一個、兩個、三個、四個或五個等多個，夾板滑棒216至少設置兩個， 可以設置兩個、三個或四個等，夾板壓棒214至少設置一個，可以設置一個、兩個或三個等。
另，側板202內側也可設有至少一個抵觸部217，所述抵觸部217是設於遠離夾板壓棒214的側板202上。抵觸部217設置的數量並不限制，在本實施例中設有兩個抵觸部217，該兩抵觸部217與夾板208的接觸頭604相對應，抵觸部217可搭配接觸頭604用以夾持玻璃片或晶圓等工件602。每一抵觸部217可設有至少一個第三通道218，在本實施例中每一抵觸部217設有一第三通道218且呈上下貫穿，惟第三通道218設置的數量及角度並不設置，例如第三通道218也可設有兩個、三個或四個等，第三通道218也可呈水平貫穿或斜向貫穿等。
該些工件602設置於蝕刻握持夾具200內，蝕刻液的流場可自下方向上平行通過工件602，不受阻礙，以增加蝕刻液的流場順暢而增進均勻度及效率。
本創作以側板、支持件、夾板、夾板滑棒及夾板壓棒組成蝕刻握持夾具，支持件連接於兩側板，可形成開放式的本體，蝕刻液的流場可自下方向上平行通過玻璃片或晶圓等工件，不受阻礙，以增加蝕刻液的流場順暢而增進均勻度及效率，減少蝕刻時間，且使玻璃片或晶圓等工件的的邊緣不與夾具接觸，以將邊緣蝕刻乾淨。另，本創作的蝕刻握持夾具，可以方便並容易上下玻璃片或晶圓等工件，可置放小於100μm的超薄玻璃片，利於大量生產不會造成破片。
再者，本創作夾板兩側各設有接觸頭，用以夾持玻璃片或晶圓等工件，且每一接觸頭設有第一通道，使得夾板與工件接觸面積減少，且增加蝕刻液的流場順暢，而增進均勻度及效率。
另，本創作夾板壓棒的一端可設有第二通道，也可以增加蝕刻液的流場順暢，而增進均勻度及效率。另，本創作側板內側可設有抵觸部，抵觸部可設有第三通道，也可以增加蝕刻液的流場 順暢，而增進均勻度及效率。
惟以上所述僅為本創作之較佳實施例，非意欲侷限本創作的專利保護範圍，故舉凡運用本創作說明書及圖式內容所為的等效變化，均同理皆包含於本創作的權利保護範圍內，合予陳明。
200‧‧‧蝕刻握持夾具
202‧‧‧側板
204‧‧‧側板
208‧‧‧夾板
210‧‧‧螺帽
211‧‧‧凸部
212‧‧‧螺絲
213‧‧‧墊片
214‧‧‧夾板壓棒
215‧‧‧第二通道
216‧‧‧夾板滑棒
217‧‧‧抵觸部
218‧‧‧第三通道
604‧‧‧接觸頭
605‧‧‧第一通道

Claims (12)

  1. 一種蝕刻握持夾具，包括：兩個側板，所述兩個側板分置左、右兩側；至少一個支持件，所述至少一個支持件連接於所述兩側板；多個夾板，所述多個夾板設置於所述兩個側板之間，所述夾板兩側各設有接觸頭，每一接觸頭設有至少一個第一通道；至少兩個夾板滑棒，所述至少兩個夾板滑棒設置於所述兩個側板之間，且穿過所述多個夾板；以及至少一個夾板壓棒，設置於所述一個側板上。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之蝕刻握持夾具，其中所述第一通道呈上下貫穿、水平貫穿或斜向貫穿。
  3. 如申請專利範圍第1項所述之蝕刻握持夾具，其中所述夾板壓棒的一端設有至少一個第二通道。
  4. 如申請專利範圍第3項所述之蝕刻握持夾具，其中所述第二通道呈上下貫穿、水平貫穿或斜向貫穿。
  5. 如申請專利範圍第1項所述之蝕刻握持夾具，其中遠離所述夾板壓棒的所述一個側板內側設有至少一個抵觸部，每一抵觸部設有至少一個第三通道。
  6. 如申請專利範圍第5項所述之蝕刻握持夾具，其中所述第三通道呈上下貫穿、水平貫穿或斜向貫穿。
  7. 如申請專利範圍第1項所述之蝕刻握持夾具，其中所述夾板壓棒具有螺帽及螺絲，所述螺絲螺接於所述一個側板，所述螺帽螺接於所述螺絲上，所述螺帽一面設有三個凸部，該些凸部頂觸於所述一個側板外側。
  8. 如申請專利範圍第1項所述之蝕刻握持夾具，其中所述夾板壓棒具有一墊片，所述墊片位於所述螺絲與所述多個夾板之間。
  9. 如申請專利範圍第1項所述之蝕刻握持夾具，其中所述兩個側板各具有握持孔。
  10. 如申請專利範圍第1項所述之蝕刻握持夾具，其中所述兩個側板各具有側孔。
  11. 如申請專利範圍第1項所述之蝕刻握持夾具，其中所述兩個側板各具有腳架。
  12. 如申請專利範圍第1項所述之蝕刻握持夾具，其中所述至少一個支持件呈棒狀。
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