TWI435833B - 玻璃片或晶圓蝕刻握持夾具 - Google Patents

Description

玻璃片或晶圓蝕刻握持夾具

本發明係有關於一種玻璃邊緣強化濕式蝕刻製程所主要使用之握持夾具，但不限於此種用途。此種握持夾具可增進液體流場均勻度及效率，又不會碰觸被蝕刻物邊緣，使邊緣蝕刻更均勻度及良率大大提升，而且又能減少蝕刻後浸泡清洗時間，提升清洗效益又能避免酸液殘留。

積體電路或面板製程中，以溼式蝕刻除去剩餘光阻之傳統夾具如第1圖所示，玻璃片或晶圓104被夾持於夾具102時，至少有四個接觸點，使蝕刻不完全，而有殘留物留在邊緣上，此缺點對面板最為不利。另外，因底部未完全開放，使蝕刻液之流場106不順暢而有回流108，致均勻度及酸液流場效率不佳而增加蝕刻時間。授予Kim等人之美國專利第20040065413號提出一種防止玻璃底板破裂之夾具。具有上框、下框及側框，停止器(stopper)防止玻璃底板自後部出來。固然可以防止玻璃底板破裂，但玻璃底板邊緣仍與夾具接觸，且下框使蝕刻液之流場不順暢，是其缺點，授予Cho等人之美國專利第20060226093及20060226094號提出一種裝載顯示面板玻璃底板之玻璃夾具，亦有上、下板及側板，其缺點亦同。

故有一種需求，能有一種無底板之夾具，以增加蝕刻液之流場順暢而增進均勻度及效率，減少蝕刻時間。

本發明即針對此一需求，提出一種能解決以上缺點之夾具。

本發明之目的在提供一種玻璃片或晶圓蝕刻握持夾具，以 增加蝕刻液之流場順暢而增進均勻度及效率，減少蝕刻時間。

本發明之次一目的在提供一種玻璃片或晶圓蝕刻握持夾具，使玻璃片或晶圓之邊緣不與夾具接觸，以將邊緣蝕刻乾淨。

本發明之再一目的在提供一種玻璃片或晶圓蝕刻握持夾具，以方便並容易上下玻璃片或晶圓，可置放小於100μm之超薄玻璃片，利於大量生產不會造成破片。

為達成上述目的及其他目的，本發明之第一觀點教導一種玻璃片或晶圓蝕刻握持夾具，使蝕刻液之流場順暢，玻璃片或晶圓之邊緣不與夾具接觸，以將邊緣蝕刻乾淨，包含：兩個側板，分置左右兩側，具有握持孔、側孔及腳架；四條支持棒，連接左右兩側板、以支撐夾具；一組夾板，為長條薄片狀，兩側各有兩個接觸頭，用以夾持玻璃片或晶圓；兩條夾板滑棒，穿入夾板兩端，使夾板能左右滑動以夾緊或鬆開玻璃片或晶圓；兩個夾板壓棒，具有螺帽及螺絲，用以夾緊或鬆開玻璃片或晶圓。

本發明之另一觀點教導一種夾具之保護外殼，具有兩個側板，該側板上有握持孔；一塊底板，該底板上有洩液孔，該保護外殼較該夾具稍寬，恰可容納該夾具，以置放、保護及搬移該夾具，但蝕刻時玻璃片或晶圓蝕刻握持夾具則與保護外殼分離。

本發明之以上及其他目的及優點參考以下之參照圖示及最佳實施例之說明而更易完全瞭解。

請參考第2圖，第2圖係依據本發明實施例玻璃片或晶圓蝕刻握持夾具之透視圖。玻璃片或晶圓蝕刻握持夾具200具有：兩個側板202、204，分置左右兩側，四條支持棒206，連接左右兩側板202、204，以支撐夾具200；一組夾板208，為 長條薄片狀，兩側各有兩個接觸頭604(見第6圖)，用以夾持玻璃片或晶圓；兩條夾板滑棒216，穿入夾板208兩端，使夾板能緣夾板滑棒214左右滑動以夾緊或鬆開玻璃片或晶圓602(見第6圖)；兩個夾板壓棒214，具有螺帽210及螺絲212，用以夾緊或鬆開玻璃片或晶圓602。

請參考第3圖，第3圖係依據本發明實施例側板之右側視圖。側板204有一個握持口302，左右兩個握持口302可供兩手握持夾具以置入蝕刻槽或自蝕刻槽取出；側孔304、306使蝕刻液可以流進或流出，腳架308使夾具站立。

請參考第4圖，第4圖係依據本發明實施例玻璃片或晶圓蝕刻握持夾具之正面側視圖。兩個側板202、204，分置左右兩側，支持棒206，連接左右兩側板202、204，以支撐夾具；一組夾板208，為長條薄片狀，兩側各有兩個接觸頭604(見第6圖)，用以夾持玻璃片或晶圓；夾板壓棒214，具有螺帽210及螺絲212，用以夾緊或鬆開玻璃片或晶圓。

請參考第5圖，第5圖係依據本發明實施例玻璃片或晶圓蝕刻握持夾具之俯視圖。兩個側板202、204，分置左右兩側，支持棒206，連接左右兩側板202、204，以支撐夾具；一組夾板208，為長條薄片狀，兩側各有兩個接觸頭604(見第6圖)，用以夾持玻璃片或晶圓；夾板壓棒214，具有螺帽210及螺絲212，用以夾緊或鬆開玻璃片或晶圓。

請參考第6圖，第6圖係依據本發明實施例夾板鬆開玻璃片或晶圓之示意圖。夾板208，為長條薄片狀，兩側各有兩個接觸頭604，用以夾持玻璃片或晶圓602，

請參考第7圖，第7圖係依據本發明實施例夾板夾緊玻璃片或晶圓之示意圖。夾板208，為長條薄片狀，兩側各有兩個接觸頭604，夾板208於旋緊螺絲212(見第2圖)時，受夾板壓棒214之壓力夾緊玻璃片或晶圓602。

請參考第8圖，第8圖顯示夾具浸入蝕刻液時之流場示意圖。蝕刻液之流場802可自下方向上平行通過玻璃片或晶圓602，不受阻礙(接觸頭604部分除外)。

請參考第9圖，第9圖係依據本發明實施例夾具之保護外殼透視圖。夾具之保護外套900有兩個側板902、904，側板上有握持孔910，底板906上有洩液孔908，保護外殼較夾具稍寬，恰可容納夾具，以置放、保護及搬移夾具。

藉由以上較佳之具體實施例之詳述，係希望能更加清楚描述本創作之特徵與精神，而並非以上述所揭露的較佳具體實例來對本發明之範疇加以限制。相反的，其目的是希望能涵蓋各種改變及具相等性的安排於本發明所欲申請之專利範疇內。

102‧‧‧夾具

104‧‧‧玻璃片或晶圓

106‧‧‧蝕刻液之流場

108‧‧‧回流

200‧‧‧玻璃片或晶圓蝕刻握持夾具

202‧‧‧側板

204‧‧‧側板

206‧‧‧支持棒

208‧‧‧夾板

210‧‧‧螺帽

212‧‧‧螺絲

214‧‧‧夾板壓棒

216‧‧‧夾板滑棒

302‧‧‧握持口

304‧‧‧側孔

306‧‧‧側孔

308‧‧‧腳架

602‧‧‧玻璃片或晶圓

604‧‧‧接觸頭

802‧‧‧蝕刻液之流場

900‧‧‧夾具之保護外殼

902‧‧‧側板

904‧‧‧側板

906‧‧‧底板

908‧‧‧洩液孔

910‧‧‧握持孔

第1圖顯示以溼蝕刻除去剩餘光阻之傳統夾具；第2圖係依據本發明實施例玻璃片或晶圓蝕刻握持夾具之透視圖。

第3圖係依據本發明實施例側板之右側視圖。

第4圖係依據本發明實施例玻璃片或晶圓蝕刻握持夾具之正面側視圖。

第5圖係依據本發明實施例玻璃片或晶圓蝕刻握持夾具之俯視圖。

第6圖係依據本發明實施例夾板鬆開玻璃片或晶圓之示意圖。

第7圖係依據本發明實施例夾板夾緊玻璃片或晶圓之示意圖。

第8圖顯示夾具浸入蝕刻液時之流場示意圖。

第9圖係依據本發明實施例夾具之保護外殼透視圖。

200‧‧‧玻璃片或晶圓蝕刻握持夾具

202‧‧‧側板

204‧‧‧側板

206‧‧‧支持棒

208‧‧‧夾板

210‧‧‧螺帽

212‧‧‧螺絲

214‧‧‧夾板壓棒

216‧‧‧夾板滑棒

Claims (2)

1. 一種玻璃片或晶圓蝕刻握持夾具，使蝕刻液之流場順暢，玻璃片或晶圓之邊緣不與夾具接觸，以將邊緣蝕刻乾淨，至少包含：兩個側板，分置左右兩側，具有握持孔、側孔及腳架；四條支持棒，連接該左右兩側板、以支撐該夾具；一組夾板，為長條薄片狀，兩側各有兩個接觸頭，用以夾持玻璃片或晶圓；兩條夾板滑棒，穿入該夾板兩端，使夾板能左右滑動以夾緊或鬆開玻璃片或晶圓；兩個夾板壓棒，具有螺帽及螺絲，用以夾緊或鬆開玻璃片或晶圓。
2. 如申請專利範圍第1項之夾具，進一步包含：一個夾具之保護外殼，具有兩個側板，該側板上有握持孔；一塊底板，該底板上有洩液孔，該保護外殼較該夾具稍寬，恰可容納該夾具，以置放、保護及搬移該夾具。