CN203238173U - 蚀刻握持夹具 - Google Patents
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Abstract
一种蚀刻握持夹具，包括两个侧板、至少一个支持件、多个夹板、至少两个夹板滑棒以及至少一个夹板压棒，所述两个侧板分置左、右两侧，所述至少一个支持件连接于所述两侧板，所述多个夹板设置于所述两个侧板之间，所述夹板两侧各设有接触头，每一接触头设有至少一个第一通道，所述至少两个夹板滑棒设置于所述两个侧板之间，且穿过所述多个夹板，所述至少一个夹板压棒设置于所述两个侧板的其中一个侧板上。藉此，可用于玻璃片或晶圆蚀刻等工件的握持，使蚀刻液的流场顺畅，玻璃片或晶圆等工件的边缘不与夹具接触，以将边缘蚀刻干净。本实用新型夹板两侧各设有接触头，用以夹持玻璃片或晶圆等工件，使夹板与工件接触面积减少，增加蚀刻液的流场顺畅。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种玻璃边缘强化湿式蚀刻工艺所使用的握持夹具，但不限于此种用途。此种握持夹具可增进液体流场均匀度及效率，又不会碰触被蚀刻物边缘，使边缘蚀刻均匀度及良率大大提升，而且又能减少蚀刻后浸泡清洗时间，提升清洗效益又能避免酸液残留。
背景技术
集成电路或面板工艺中，以湿式蚀刻除去剩余光阻的传统夹具如图1所示，玻璃片或晶圆等工件104被夹持于夹具102时，至少有四个接触点，使蚀刻不完全，而有残留物留在边缘上，此缺点对面板最为不利。另外，因底部未完全开放，使蚀刻液的流场106不顺畅而有回流108，致使均匀度及酸液流场效率不佳而增加蚀刻时间。
授予Kim等人的美国专利第20040065413号提出一种防止玻璃底板破裂的夹具。具有上框、下框及侧框，停止器（stopper）防止玻璃底板自后部出来。固然可以防止玻璃底板破裂，但玻璃底板边缘仍与夹具接触，且下框使蚀刻液的流场不顺畅，是其缺点。授予Cho等人的美国专利第20060226093及20060226094号提出一种装载显示面板玻璃底板的玻璃夹具，亦有上、下板及侧板，其缺点亦同。
综上所述，本实用新型人有感上述缺失可改善，乃特潜心研究并配合学理的应用，终于提出一种设计合理且有效改善上述缺失的实用新型。
发明内容
本实用新型所要解决的技术问题就是提供一种蚀刻握持夹具，以增加蚀刻液的流场顺畅而增进均匀度及效率，减少蚀刻时间。
本实用新型另提供一种蚀刻握持夹具，使玻璃片或晶圆等工件的边缘不与夹具接触，以将边缘蚀刻干净。
为解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案：包括：两个侧板，所述两个侧板分置左、右两侧；至少一个支持件，所述至少一个支持件连接于所述两侧板；多个夹板，所述多个夹板设置于所述两个侧板之间，所述夹板两侧各设有接触头，每一接触头设有至少一个第一通道；至少两个夹板滑棒，所述至少两个夹板滑棒设置于所述两个侧板之间，且穿过所述多个夹板；以及至少一个夹板压棒，设置于所述两个侧板的其中一个侧板上。
较佳地，所述第一通道呈上下贯穿、水平贯穿或斜向贯穿。
较佳地，所述夹板压棒的一端设有至少一个第二通道。
较佳地，所述第二通道呈上下贯穿、水平贯穿或斜向贯穿。
较佳地，远离所述夹板压棒的所述两个侧板的其中另一个侧板内侧设有至少一个抵触部，每一抵触部设有至少一个第三通道。
较佳地，所述第三通道呈上下贯穿、水平贯穿或斜向贯穿。
较佳地，所述夹板压棒具有螺帽及螺丝，所述螺丝螺接于所述其中一个侧板，所述螺帽螺接于所述螺丝上，所述螺帽一面设有三个凸部，该些凸部顶触于所述其中一个侧板外侧。
较佳地，所述夹板压棒具有一垫片，所述垫片位于所述螺丝与所述多个夹板之间。
较佳地，所述两个侧板各具有握持孔。
较佳地，所述两个侧板各具有侧孔。
较佳地，所述两个侧板各具有脚架。
较佳地，所述至少一个支持件呈棒状。
本实用新型具有以下有益的效果：
本实用新型以侧板、支持件、夹板、夹板滑棒及夹板压棒组成一蚀刻握持夹具，蚀刻液的流场可自下方向上平行通过玻璃片或晶圆等工件，不受阻碍，以增加蚀刻液的流场顺畅而增进均匀度及效率，减少蚀刻时间，且使玻璃片或晶圆等工件的边缘不与夹具接触，以将边缘蚀刻干净。
本实用新型夹板两侧各设有接触头，用以夹持玻璃片或晶圆等工件，且每一接触头设有第一通道，使得夹板与工件接触面积减少，且增加蚀刻液的流场顺畅，而增进均匀度及效率。
另，本实用新型夹板压棒的一端可设有第二通道，也可以增加蚀刻液的流场顺畅，而增进均匀度及效率。
另，本实用新型侧板内侧可设有抵触部，抵触部可设有第三通道，也可以增加蚀刻液的流场顺畅，而增进均匀度及效率。
为使能更进一步了解本实用新型的特征及技术内容，请参阅以下有关本实用新型的详细说明与附图，然而所附图式仅提供参考与说明，并非用来对本实用新型加以限制。
附图说明
图1为显示以湿蚀刻除去剩余光阻的传统夹具的示意图。
图2为本实用新型蚀刻握持夹具的立体图。
图3为本实用新型蚀刻握持夹具的前视图。
图4为本实用新型蚀刻握持夹具的俯视图。
图5为本实用新型蚀刻握持夹具的右侧视图。
图6为本实用新型蚀刻握持夹具的左侧视图。
图7为本实用新型夹板的立体图。
图8为本实用新型夹板压棒的立体图。
图9为本实用新型蚀刻握持夹具的夹板夹持工件的示意图。
其中，附图标记说明如下：
102 夹具 104 工件
106 蚀刻液的流场 108 回流
200 蚀刻握持夹具
202 侧板 204 侧板
206 支持件 208 夹板
210 螺帽 211 凸部
212 螺丝 213 垫片
214 夹板压棒 215 第二通道
216 夹板滑棒 217 抵触部
218 第三通道 302 握持孔
304 侧孔 308 脚架
602 工件 604 接触头
605 第一通道
具体实施方式
请参阅图2至图6，本实用新型提供一种用于玻璃片或晶圆的蚀刻握持夹具200，其包括有两个侧板202、204、至少一个支持件206、多个夹板208、两个夹板滑棒216及两个夹板压棒214。
侧板202、204较佳但不限制为方形板体，两个侧板202、204分置左、右两侧。支持件206的构造并不限制，例如可呈棒状或板状等，在本实施例中支持件206呈棒状，且设有两个支持件206，所述两个支持件206连接于左、右两侧板202、204。支持件206是以两端连接于左、右两侧板202、204，使其形成蚀刻握持夹具200开放式的本体。支持件206两端能利用焊接、螺接或嵌接等方式连接于两侧板202、204，支持件206两端也能利用一体成型的方式连接于两侧板202、204，支持件206连接于两侧板202、204的方式并不限制。
侧板202、204各具有握持孔302、侧孔304及脚架308，左、右两个握持孔302可供两手握持夹具，以便置入蚀刻槽或自蚀刻槽取出。侧孔304使蚀刻液可以流进或流出，握持孔302及侧孔304设置的位置并不限制，在本实施例中侧孔304设置于侧板202、204的下半部，握持孔302则设置于侧板202、204的上半部。脚架308形成于侧板202、204的底部两侧，脚架308可使夹具站立。然而，所述握持孔302、侧孔304及脚架308的形状、位置及结构并不限制，可根据需要适当的变化。例如所述握持孔302也可以握把等结构予以取代。所述脚架308也可予以省略，或是直接利用侧板202、204的底部使夹具站立。
所述多个夹板208设置于两个侧板202、204之间，夹板208为长条薄片状（如图7所示），所述多个夹板208整齐的排列成一排，所述多个夹板208间隔的设置，使工件602可夹持于该些夹板208之间（如图9所示），亦即每相邻的两夹板208之间可夹持一工件602。夹板208两侧各设有两个接触头604，接触头604可利用组合或一体成型的方式设置于夹板208上，接触头604凸出于夹板208两侧，用以夹持玻璃片或晶圆等工件602，但是接触头604的构造及数量并不限制，夹板208两侧各设有至少两个接触头604为较佳，可获得较佳的夹持固定效果。每一接触头604可设有至少一个第一通道605，在本实施例中每一接触头604设有一第一通道605且呈上下贯穿，惟第一通道605设置的数量及角度并不设置，例如第一通道605也可设有两个、三个或四个等，第一通道605也可呈水平贯穿或斜向贯穿等，第一通道605的角度并不限制。
两个夹板滑棒216设置于两个侧板202、204之间，且两个夹板滑棒216穿过所述多个夹板208，两个夹板滑棒216可穿过所述多个夹板208近两端处或其它适当的位置，使夹板208能沿着夹板滑棒216左、右滑动，用以夹紧或松开工件602。
两个夹板压棒214设置于侧板204上，夹板压棒214可具有一螺帽210及一螺丝212（如图8所示），螺丝212可螺接于侧板204，且螺帽210可螺接于螺丝212上。夹板压棒214可借由螺纹作用推动与其相邻的夹板208，亦即夹板压棒214的螺丝212可借由螺纹作用推动与其相邻的夹板208，使夹板208能沿着夹板滑棒216左、右滑动，用以夹紧或松开工件602，螺丝212调整完成时可利用螺帽210迫紧固定。另，螺帽210一面也可设有三个凸部211，该些凸部211顶触于侧板204外侧，使螺帽210与侧板204之间形成三点接触，可用以稳定的迫紧固定。
夹板压棒214的结构并不限制，亦可为其它形式的螺纹调整结构。在本实施例中夹板压棒214另具有一垫片213，垫片213为一与夹板208相对应的长条板体，垫片213位于螺丝212与夹板208之间，使得两夹板压棒214的螺丝212可通过垫片213推动与其相邻的夹板208，使夹板压棒214的施力较为稳定。夹板压棒214的一端可设有至少一个第二通道215，亦即螺丝212的一端可设有第二通道215，在本实施例中每一螺丝212设有两第二通道215且呈上下及水平贯穿，惟第二通道215设置的数量及角度并不设置，例如第二通道215也可设有一个、三个或四个等，第二通道215也可呈斜向贯穿等，第二通道215的角度并不限制。
所述支持件206、夹板208、夹板滑棒216及夹板压棒214的数量并不限制，可以适当的变化，例如支持件206可以设置一个、两个、三个、四个或五个等多个，夹板滑棒216至少设置两个，可以设置两个、三个或四个等，夹板压棒214至少设置一个，可以设置一个、两个或三个等。
另，侧板202内侧也可设有至少一个抵触部217，所述抵触部217是设于远离夹板压棒214的侧板202上。抵触部217设置的数量并不限制，在本实施例中设有两个抵触部217，该两抵触部217与夹板208的接触头604相对应，抵触部217可搭配接触头604用以夹持玻璃片或晶圆等工件602。每一抵触部217可设有至少一个第三通道218，在本实施例中每一抵触部217设有一第三通道218且呈上下贯穿，惟第三通道218设置的数量及角度并不设置，例如第三通道218也可设有两个、三个或四个等，第三通道218也可呈水平贯穿或斜向贯穿等。
该些工件602设置于蚀刻握持夹具200内，蚀刻液的流场可自下方向上平行通过工件602，不受阻碍，以增加蚀刻液的流场顺畅而增进均匀度及效率。
本实用新型以侧板、支持件、夹板、夹板滑棒及夹板压棒组成蚀刻握持夹具，支持件连接于两侧板，可形成开放式的本体，蚀刻液的流场可自下方向上平行通过玻璃片或晶圆等工件，不受阻碍，以增加蚀刻液的流场顺畅而增进均匀度及效率，减少蚀刻时间，且使玻璃片或晶圆等工件的边缘不与夹具接触，以将边缘蚀刻干净。另，本实用新型的蚀刻握持夹具，可以方便并容易上下玻璃片或晶圆等工件，可置放小于100μm的超薄玻璃片，利于大量生产不会造成破片。
再者，本实用新型夹板两侧各设有接触头，用以夹持玻璃片或晶圆等工件，且每一接触头设有第一通道，使得夹板与工件接触面积减少，且增加蚀刻液的流场顺畅，而增进均匀度及效率。
另，本实用新型夹板压棒的一端可设有第二通道，也可以增加蚀刻液的流场顺畅，而增进均匀度及效率。另，本实用新型侧板内侧可设有抵触部，抵触部可设有第三通道，也可以增加蚀刻液的流场顺畅，而增进均匀度及效率。
然而以上所述仅为本实用新型的较佳实施例，非意欲局限本实用新型的专利保护范围，故举凡运用本实用新型说明书及图式内容所为的等效变化，均同理皆包含于本实用新型的权利保护范围内，合予陈明。
Claims (12)
1.一种蚀刻握持夹具，其特征在于，包括：
两个侧板，所述两个侧板分置左、右两侧；
至少一个支持件，所述至少一个支持件连接于所述两侧板；
多个夹板，所述多个夹板设置于所述两个侧板之间，所述夹板两侧各设有接触头，每一接触头设有至少一个第一通道；
至少两个夹板滑棒，所述至少两个夹板滑棒设置于所述两个侧板之间，且穿过所述多个夹板；以及
至少一个夹板压棒，设置于所述两个侧板的其中一个侧板上。
2.如权利要求1所述的蚀刻握持夹具，其特征在于，所述第一通过呈上下贯穿、水平贯穿或斜向贯穿。
3.如权利要求1所述的蚀刻握持夹具，其特征在于，所述夹板压棒的一端设有至少一个第二通道。
4.如权利要求3所述的蚀刻握持夹具，其特征在于，所述第二通过呈上下贯穿、水平贯穿或斜向贯穿。
5.如权利要求1所述的蚀刻握持夹具，其特征在于，远离所述夹板压棒的所述两个侧板的其中另一个侧板的内侧设有至少一个抵触部，每一抵触部设有至少一个第三通道。
6.如权利要求5所述的蚀刻握持夹具，其特征在于，所述第三通过呈上下贯穿、水平贯穿或斜向贯穿。
7.如权利要求1所述的蚀刻握持夹具，其特征在于，所述夹板压棒具有螺帽及螺丝，所述螺丝螺接于所述其中一个侧板，所述螺帽螺接于所述螺丝上，所述螺帽一面设有三个凸部，该些凸部顶触于所述其中一个侧板外侧。
8.如权利要求1所述的蚀刻握持夹具，其特征在于，所述夹板压棒具有一垫片，所述垫片位于所述螺丝与所述多个夹板之间。
9.如权利要求1所述的蚀刻握持夹具，其特征在于，所述两个侧板各具有握持孔。
10.如权利要求1所述的蚀刻握持夹具，其特征在于，所述两个侧板各具有侧孔。
11.如权利要求1所述的蚀刻握持夹具，其特征在于，所述两个侧板各具有脚架。
12.如权利要求1所述的蚀刻握持夹具，其特征在于，所述至少一个支持件呈棒状。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 201320145466 CN203238173U (zh) | 2013-03-27 | 2013-03-27 | 蚀刻握持夹具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN 201320145466 CN203238173U (zh) | 2013-03-27 | 2013-03-27 | 蚀刻握持夹具 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN203238173U true CN203238173U (zh) | 2013-10-16 |
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ID=49315492
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| CN 201320145466 Expired - Fee Related CN203238173U (zh) | 2013-03-27 | 2013-03-27 | 蚀刻握持夹具 |
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| CN (1) | CN203238173U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10280110B2 (en) | 2016-08-11 | 2019-05-07 | Boe Technology Group Co., Ltd. | Method for strengthening edge of article, glass, and display apparatus |
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2013
- 2013-03-27 CN CN 201320145466 patent/CN203238173U/zh not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10280110B2 (en) | 2016-08-11 | 2019-05-07 | Boe Technology Group Co., Ltd. | Method for strengthening edge of article, glass, and display apparatus |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
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| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20131016 Termination date: 20160327 |