CN103420616B - 蚀刻握持夹具 - Google Patents
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- 238000005530 etching Methods 0.000 title claims abstract description 51
- 239000011521 glass Substances 0.000 abstract description 14
- 239000007788 liquid Substances 0.000 abstract description 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 13
- 239000005357 flat glass Substances 0.000 description 11
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 2
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000013467 fragmentation Methods 0.000 description 2
- 238000006062 fragmentation reaction Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 1
- 238000010992 reflux Methods 0.000 description 1
- 238000002791 soaking Methods 0.000 description 1
- 238000005728 strengthening Methods 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 1
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
一种蚀刻握持夹具，包括两个侧板、多个支持棒、多个夹板、至少两个夹板滑棒及至少一个夹板压棒，所述两个侧板分置左、右两侧，所述多个支持棒连接于所述两侧板，所述多个夹板设置于所述两个侧板之间，所述至少两个夹板滑棒设置于所述两个侧板之间，且穿过所述多个夹板，所述至少一个夹板压棒设置于所述一个侧板上。借此，可用于玻璃片或晶圆蚀刻等工件的握持，使蚀刻液的流场顺畅，玻璃片或晶圆等工件的边缘不与夹具接触，以将边缘蚀刻干净。
Description
技术领域
本发明涉及一种玻璃边缘强化湿式蚀刻制程所使用的握持夹具，但不限于此种用途。此种握持夹具可增进液体流场均匀度及效率，又不会碰触被蚀刻物边缘，使边缘蚀刻均匀度及良率大大提升，而且又能减少蚀刻后浸泡清洗时间，提升清洗效益又能避免酸液残留。
背景技术
集成电路或面板制程中，以湿式蚀刻除去剩余光阻的传统夹具如图1所示，玻璃片或晶圆等工件104被夹持于夹具102时，至少有四个接触点，使蚀刻不完全，而有残留物留在边缘上，此缺点对面板最为不利。另外，因底部未完全开放，使蚀刻液的流场106不顺畅而有回流108，致使均匀度及酸液流场效率不佳而增加蚀刻时间。
授予Kim等人的美国专利第20040065413号提出一种防止玻璃底板破裂的夹具。具有上框、下框及侧框，停止器(stopper)防止玻璃底板自后部出来。固然可以防止玻璃底板破裂，但玻璃底板边缘仍与夹具接触，且下框使蚀刻液的流场不顺畅，是其缺点。授予Cho等人的美国专利第20060226093及20060226094号提出一种装载显示面板玻璃底板的玻璃夹具，亦有上、下板及侧板，其缺点亦同。
发明内容
本发明所要解决的技术问题就是提供一种蚀刻握持夹具，以增加蚀刻液的流场顺畅而增进均匀度及效率，减少蚀刻时间。
本发明另提供一种蚀刻握持夹具，使玻璃片或晶圆等工件的边缘不与夹具接触，以将边缘蚀刻干净。
本发明再提供一种蚀刻握持夹具，以方便并容易上、下玻璃片或晶圆等工件。
为解决上述技术问题，本发明采用如下技术方案：包括：两个侧板，所述两个侧板分置左、右两侧；多个支持棒，所述多个支持棒连接于所述两侧板；多个夹板，所述多个夹板设置于所述两个侧板之间；至少两个夹板滑棒，所述至少两个夹板滑棒设置于所述两个侧板之间，且穿过所述多个夹板；以及至少一个夹板压棒，设置于所述一个侧板上。
作为优选，所述夹板两侧各设有接触头。
作为优选，所述夹板两侧的接触头各设有至少两个。
作为优选，所述夹板压棒具有螺帽及螺丝，所述螺帽螺接于所述螺丝上。
作为优选，所述两个侧板各具有握持孔。
作为优选，所述两个侧板各具有侧孔。
作为优选，所述两个侧板各具有脚架。
作为优选，进一步包括有一保护外壳，所述蚀刻握持夹具置于所述保护外壳内。
作为优选，所述保护外壳具有两个外壳侧板，所述两个外壳侧板上设有握持孔，所述保护外壳还具有底板，所述底板上有泄液孔。
作为优选，所述多个支持棒连接于所述两侧板的四角处。
本发明具有以下有益的效果：
本发明以侧板、支持棒、夹板、夹板滑棒及夹板压棒组成一蚀刻握持夹具，蚀刻液的流场可自下方向上平行通过玻璃片或晶圆等工件，不受阻碍，以增加蚀刻液的流场顺畅而增进均匀度及效率，减少蚀刻时间，且使玻璃片或晶圆等工件的的边缘不与夹具接触，以将边缘蚀刻干净。另可以方便并容易上下玻璃片或晶圆等工件，可置放小于100μm的超薄玻璃片，利于大量生产不会造成破片。
为使能更进一步了解本发明的特征及技术内容，请参阅以下有关本发明的详细说明与附图，然而附图仅提供参考与说明用，并非用来对本发明加以限制。
附图说明
图1为显示以湿蚀刻除去剩余光阻的传统夹具的示意图。
图2为本发明蚀刻握持夹具的立体图。
图3为本发明侧板的右侧视图。
图4为本发明蚀刻握持夹具的前视图。
图5为本发明蚀刻握持夹具的俯视图。
图6为本发明夹板松开玻璃片或晶圆的示意图。
图7为本发明夹板夹紧玻璃片或晶圆的示意图。
图8为本发明夹具浸入蚀刻液时的流场示意图。
图9为本发明夹具的保护外壳的立体图。
其中，附图标记说明如下：
102夹具104工件
106蚀刻液的流场108回流
200蚀刻握持夹具
202侧板204侧板
206支持棒208夹板
210螺帽212螺丝
214夹板压棒216夹板滑棒
302握持孔304侧孔
306侧孔308脚架
602工件604接触头
802蚀刻液的流场900保护外壳
902外壳侧板904外壳侧板
906底板908泄液孔
910握持孔
具体实施方式
请参阅图2至图7，本发明提供一种用于玻璃片或晶圆的蚀刻握持夹具200，其包括有两个侧板202、204、四个支持棒206、多个夹板208、两个夹板滑棒216及两个夹板压棒214。
侧板202、204较佳但不限制为方形板体，两个侧板202、204分置左、右两侧，四个支持棒206连接于左、右两侧板202、204，所述四个支持棒206连接于所述两侧板202、204的四角处。支持棒206是以两端连接于左、右两侧板202、204，使其形成蚀刻握持夹具200开放式的本体。支持棒206两端能利用焊接、螺接或嵌接等方式连接于两侧板202、204，支持棒206两端也能利用一体成型的方式连接于两侧板202、204，支持棒206连接于两侧板202、204的方式并不限制。
侧板202、204各具有握持孔302、侧孔304、306及脚架308，左、右两个握持孔302可供两手握持夹具，以便置入蚀刻槽或自蚀刻槽取出。侧孔304、306使蚀刻液可以流进或流出，握持孔302及侧孔304、306设置的位置并不限制，在本实施例中侧孔304、306设置于侧板202、204的下半部，握持孔302则设置于侧板202、204的上半部。脚架308形成于侧板202、204的底部两侧，脚架308可使夹具站立。惟，所述握持孔302、侧孔304、306及脚架308的形状、位置及结构并不限制，可因应需要适当的变化。例如所述握持孔302也可以握把等结构予以取代。所述脚架308也可予以省略，或是直接利用侧板202、204的底部使夹具站立。
所述多个夹板208设置于两个侧板202、204之间，夹板208为长条薄片状，所述多个夹板208整齐的排列成一排，所述多个夹板208间隔的设置，使工件602可夹持于该些夹板208之间，亦即每相邻的两夹板208之间可夹持一工件602。夹板208两侧各设有两个接触头604，接触头604可利用组合或一体成型的方式设置于夹板208上，接触头604凸出于夹板208两侧，用以夹持玻璃片或晶圆等工件602，但是接触头604的构造及数量并不限制，夹板208两侧各设有至少两个接触头604为较佳，可获得较佳的夹持固定效果。
两个夹板滑棒216设置于两个侧板202、204之间，且两个夹板滑棒216穿过所述多个夹板208，两个夹板滑棒216可穿过所述多个夹板208近两端处或其他适当的位置，使夹板208能沿着夹板滑棒216左、右滑动，用以夹紧或松开工件602。
两个夹板压棒214设置于侧板204上，夹板压棒214可具有螺帽210及螺丝212，螺帽210螺接于螺丝212上，夹板压棒214可借由螺纹作用推动与其相邻的夹板208，使夹板208能沿着夹板滑棒216左、右滑动，用以夹紧或松开工件602，但是夹板压棒214的结构并不限制，亦可为其他形式的螺纹调整结构。
所述支持棒206、夹板208、夹板滑棒216及夹板压棒214的数量并不限制，也可以适当的变化，例如支持棒206也可以设置三个或五个等多个，夹板滑棒216至少设置两个，可以设置两个或四个等，夹板压棒214至少设置一个，可以设置一个、两个或三个等。
请参考图8，该些工件602设置于蚀刻握持夹具200内，蚀刻液的流场802可自下方向上平行通过工件602，不受阻碍(接触头604部分除外)，以增加蚀刻液的流场顺畅而增进均匀度及效率。
请参考图9，本实施例进一步地包括有一保护外壳900，所述保护外壳900具有两个外壳侧板902、904，外壳侧板902、904上设有握持孔910，底板906上设有泄液孔908，保护外壳900较夹具稍宽，蚀刻握持夹具200可置于保护外壳900内，保护外壳900可用于置放、保护及搬移蚀刻握持夹具200。
本发明以侧板、支持棒、夹板、夹板滑棒及夹板压棒组成蚀刻握持夹具，多个支持棒连接于两侧板，可形成开放式的本体，蚀刻液的流场可自下方向上平行通过玻璃片或晶圆等工件，不受阻碍，以增加蚀刻液的流场顺畅而增进均匀度及效率，减少蚀刻时间，且使玻璃片或晶圆等工件的的边缘不与夹具接触，以将边缘蚀刻干净。另，本发明的蚀刻握持夹具，可以方便并容易上下玻璃片或晶圆等工件，可置放小于100μm的超薄玻璃片，利于大量生产不会造成破片。
以上所述仅为本发明的较佳实施例，非意欲局限本发明的权利要求范围，故举凡运用本发明说明书及附图内容所为的等效变化，均同理皆包含于本发明的权利要求范围内，合予陈明。
Claims (10)
1.一种蚀刻握持夹具，其特征在于，包括：
两个侧板，所述两个侧板分置左、右两侧；
多个支持棒，所述多个支持棒连接于所述两侧板；
多个夹板，所述多个夹板设置于所述两个侧板之间；
至少两个夹板滑棒，所述至少两个夹板滑棒设置于所述两个侧板之间，且穿过所述多个夹板；以及
至少一个夹板压棒，设置于所述一个侧板上。
2.如权利要求1所述的蚀刻握持夹具，其特征在于，所述夹板两侧各设有接触头。
3.如权利要求2所述的蚀刻握持夹具，其特征在于，所述夹板两侧的所述接触头各设有至少两个。
4.如权利要求1所述的蚀刻握持夹具，其特征在于，所述夹板压棒具有螺帽及螺丝，所述螺帽螺接于所述螺丝上。
5.如权利要求1所述的蚀刻握持夹具，其特征在于，所述两个侧板各具有握持孔。
6.如权利要求1所述的蚀刻握持夹具，其特征在于，所述两个侧板各具有侧孔。
7.如权利要求1所述的蚀刻握持夹具，其特征在于，所述两个侧板各具有脚架。
8.如权利要求1所述的蚀刻握持夹具，其特征在于，还包括有一保护外壳，所述蚀刻握持夹具置于所述保护外壳内。
9.如权利要求8所述的蚀刻握持夹具，其特征在于，所述保护外壳具有两个外壳侧板，所述两个外壳侧板上设有握持孔，所述保护外壳还具有底板，所述底板上设有泄液孔。
10.如权利要求1所述的蚀刻握持夹具，其特征在于，所述多个支持棒连接于所述两侧板的四角处。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| TW101117671A TWI435833B (zh) | 2012-05-18 | 2012-05-18 | 玻璃片或晶圓蝕刻握持夾具 |
| TW101117671 | 2012-05-18 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN103420616A CN103420616A (zh) | 2013-12-04 |
| CN103420616B true CN103420616B (zh) | 2016-02-10 |
Family
ID=49646054
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201210315558.XA Active CN103420616B (zh) | 2012-05-18 | 2012-08-30 | 蚀刻握持夹具 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN103420616B (zh) |
| TW (1) | TWI435833B (zh) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2016043965A1 (en) * | 2014-09-19 | 2016-03-24 | Applied Materials, Inc. | Parallel plate inline substrate processing tool |
| CN105271793A (zh) * | 2015-10-07 | 2016-01-27 | 江苏江汉电热设备科技有限公司 | 一种玻璃电阻溶液喷涂工装 |
| CN106242307A (zh) | 2016-08-11 | 2016-12-21 | 京东方科技集团股份有限公司 | 用于强化制品的边缘的方法、玻璃及显示装置 |
| TWI694872B (zh) * | 2019-01-18 | 2020-06-01 | 弘塑科技股份有限公司 | 批次基板乾燥設備及其基板乾燥風刀裝置 |
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| CN101656221A (zh) * | 2009-09-07 | 2010-02-24 | 北京中联科伟达技术股份有限公司 | 应用于半导体刻蚀清洗设备的全塑料高速机械手 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100710160B1 (ko) * | 2002-10-07 | 2007-04-20 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 유리기판 파손방지용 카세트 |
-
2012
- 2012-05-18 TW TW101117671A patent/TWI435833B/zh active
- 2012-08-30 CN CN201210315558.XA patent/CN103420616B/zh active Active
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| TWI435833B (zh) | 2014-05-01 |
| TW201348099A (zh) | 2013-12-01 |
| CN103420616A (zh) | 2013-12-04 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant |