TWM424329U - Substrate transfer device - Google Patents

Description

五、新型說明： 【新型所屬之技術領域】 [0001] [0002] [0003] [0004] 本創作有關太陽能製程設備，尤其關於置放玻璃基 板的石英架的移載設備。 【先前技術】 太陽能發電為極具發展潛力的再生能源，可有效減 少碳排放量，而逐漸受到了重視，然而受到了物理極限 的侷限，太陽能發電的效率一直無法有效的提升，造成 太陽能發電的成本一直居高不下，因此如何降低太陽能 發電的成本，為目前太陽能發電發展的重點方向。 請參閱「圖1」所示，為習知太陽能製程設備之一， 其為一基板移載裝置1，主要是用於將乘載於石英架2上 的玻璃基板（圖未示）送入一充滿高壓氟的反應爐3内，此 習知的基板移載裝置1，供於複數反應爐3内，置入或取 出一石英架2。 該基板移載裝置1，其包含一電動升降台4與疊設於 該電動升降台4上的一置放架5，其中該電動升降台4可滑 動的乘載於一軌道6上，使用者可自由推移該電動升降台 4於該轨道6上滑移，並調整升降該電動升降台4的高度， 讓該置放架5對準該反應爐3，使該置放架5可伸入該反應 爐3内，以置入或取出石英架2。 此習知基板移載裝置1，其為以手動操作推移的方式 於該軌道6上滑移，因此速度相當緩慢，且該反應爐3只 能設置於該執道6的同一側，因而單一個基板移載裝置_1 表單編號A0101 第3頁/共21頁 [0005] M424329 [0006] [0007] [0008] [0009] 可以對應的反應爐3數量受到了限制，無法充分發揮該基 板移載裝置1的利用效率，因而產能有限，無法滿足大量 生產的需求。 【新型内容】 爰是，本創作的主要目的在於揭露一種可以增加對 應的反應爐數量且走行速度較快的基板移載裝置，以充 分發揮該基板移載裝置的效能，而增加產能，滿足大量 生產的需求。 基於上述目的，本創作為一種基板移載裝置，供於 複數反應爐内，置入或取出一石英架，其包含一軌道、 一台車、一旋轉元件與一伸縮取物架，其中該複數反應 爐分設於該轨道的兩側，該台車設有四執道輪，該四執 道輪設於該轨道上，且該台車設有複數馬達，該複數馬 達同步驅動該四執道輪，而該旋轉元件設置於該台車，. 該伸縮取物架設置於該旋轉元件上。 本創作藉由該台車於該軌道上的走行與該旋轉元件 的轉動而可改變該伸縮取物架的位置，亦即可讓該伸縮 取物架依序對準該複數反應爐，因此該伸縮取物架即可 伸入該反應爐内而置入或取出該石英架。 據此，本創作的該複數反應爐可以分設於該軌道的 兩側，而增加可對應使用的反應爐數量，可充分發揮該 基板移載裝置的利用效率，且本創作讓台車於該執道上 藉由該複數馬達的同步驅動而可快速走行，故可增加產 量，滿足使用上的需求。 表單编號A0101 第4頁/共21頁 [0010] 【實施方式】 茲有關本創作的詳細内容及技術說明，現以實施例來 作進一步說明，但應瞭解的是，該等實施例僅為例示說 明之用，而不應被解釋為本創作實施之限制。 請參閱「圖2」與「圖3」所示，本創作為一種基板移 載裝置10，供於複數反應爐20内，置入或取出一石英架 30(如「圖6A」所示），其包含一轨道40、一台車50、一 旋轉元件60以及一伸縮取物架70，其中該複數反應爐20 分設於該執道40的兩側，該複數反應爐20可各自容納一 個石英架30進入。 該台車50設有四轨道輪501，該四軌道輪501設於該 執道40上，且該台車50設有複數馬達502，該複數馬達 502同步驅動該四執道輪501，且該複數馬達502可以為 四個，且分別一對一且同步驅動該四軌道輪501，因而該 台車50可藉該四轨道輪501而於該執道40上走行。 該旋轉元件60設置於該台車50，該旋轉元件60上設置 一旋轉馬達601與一旋轉齒輪箱602，該旋轉馬達601透 過該旋轉齒輪箱602的變速傳動而讓該旋轉元件60旋轉以 對應不同側的反應爐20，且該伸縮取物架70設置於該旋 轉元件60上，其中該伸縮取物架70可以具有依序疊設的 一固定座71、一滑移板72與一取物部73，該固定座71固 定於該旋轉元件60上，該滑移板72滑設於該固定座71上 ，且該固定座71設置一滑移馬達711與一滑移齒輪箱71 2 ，該滑移馬達711透過該滑移齒輪箱71 2的變速傳動而讓 該滑移板72相對該固定座71線性位移以伸出該固定座71 之外。 表單編號A0101 第5頁/共21頁 M424329 請一併參閱「圖4」與「圖5」所示’該取物部73滑設 於該滑移板72上，該取物部73設置一取物馬達731與一齒 輪箱732，並該取物馬達731傳動該齒輪箱732，該齒輪 箱732具一齒輪733，該齒輪733咬合一齒條734而讓該取 物部73相對該滑移板72線性位移而伸出該滑移板72之外 。又該取物部73可以包含一立柱74、一載板75，該立柱 74為供滑設於該滑移板72，該載板75為上下移動的滑設 於該立柱74上，並該立柱74設置一立柱馬達741、一立柱 齒輪箱742、一導螺桿743與一螺帽744，該立柱馬達741 透過該立柱齒輪箱742驅動該導螺桿743，以讓該導螺桿 743上的該螺帽744帶動該載板75上下位移。 且當該取物部73乘載石英架30時，為避免石英架30過 重，導致重心偏移過多而有翻倒的危險，該載板75沿滑 移方向可具有不同的重量配置，且該載板75的重量配置 ，隨可伸出該滑移板72之外的程度而正相關減少，亦即 越外側的部分越輕。而其重量配置的方式，可以讓該取 物部73沿滑移方向具有不同的厚度而達成。 又該台車50可以掛設一光通訊元件51，該光通訊元件 51為供與中央控制系統（圖未示）通訊，其可以無線傳送/ 接收訊號，並該台車50於該四軌道輪501的外側可各設有 一定位感應器52，用以定位該台車50的位置以對準該反 應爐20，且該台車50的前後位移側邊可以設置一安全感 應器53，該安全感應器53於察覺有障礙物（如人、物品） 位於該台車50的移動路徑時，即停止該台車50的動作。 且該台車50的可以設置一走行定位器54，該走行定位器 54可以回饋該台車50的位置而增加走行定位精度。 表單編號A0101 第6頁/共21頁 M424329

請再參閱「圖6A」~「圖6d」所示，為本創作的使用 示意圖’以取出置放有破螭基板31的石英架30為例說明 ，首先為先讓基板移載褒置10沿轨道40走行至要作業的 反應爐20前，且藉該台車50的旋轉元件60來調整角度而 處於對準該反應爐20的狀態（如「圖6Aj所示），接著該 伸縮取物架70伸長長度，亦即讓該滑移板72相對該固定 座71位移而伸出該固定座71之外，該取物部73相對該滑 移板7 2位移而伸出該滑移板7 2之外，以使該取物部7 3伸 入該反應爐20内，並進入該石英架3〇的下方（如「圖6B」 所示）。接著，該取物部73讓該載板75相對該立柱74上移 ，而讓該載板75乘載該石英架3〇 (如「圖6c」所示）》 最後，該伸縮取物架7 0縮回，而將該石英架3 〇取出該反 應爐20(如「圖6D」所示）。

如上所述’本創作讓該複數反應爐2〇分設於軌道40的 兩側，故可增加對應反應爐20的數量，其可充分發揮基 板移載裝置10的運載能力《又本創作讓台車50於該執道 4〇上藉由該複數馬達502的同步驅動而走行，故移動速度 快’可縮短製程時間而滿足提升產量的需求。 惟上述僅為本創作之較佳實施例而已，並非用來限定本 創作實施之範圍。即凡依本創作申請專利範圍所做的均 等變化與修飾’皆為本創作專利範圍所涵蓋。 【圖式簡單說明】 toon] m^ 圖1，為習知基板移載裝置結構圖。 [0012] E,0 ^ 圖2，為本創作基板移載裝置結構圖。 [0013] m 0 圖3，為本創作基板移載裝置配置位置圖 第7頁/共21頁 表單蝙鞔Α〇ι〇1 M424329 [0014] [0015] [0016] [0017] [0018] [0019] [0020] [0021] [0022] [0023] [0024] [0025] [0026] [0027] [0028] [0029] [0030] [0031] [0032] 表單編號A0101 圖4，為本創作取物部驅動結構圖。 圖5，為本創作載板驅動結構圖。 圖6A〜圖6D，為本創作使用示意圖。 【主要元件符號說明】 習知 1 :基板移載裝置 2 :石英架 3 :反應爐 4:電動升降台 5 :置放架 6 :轨道 本創作 10 :基板移載裝置 20 :反應爐 30 :石英架 31 :玻璃基板 40 :軌道 50 :台車 51 :光通訊元件 52 :定位感應器 第8頁/共21頁 M424329

[0033] 53 :安全感應器 [0034] 5 4 :走行定位器 [0035] 501 :轨道輪 [0036] 5 02 :馬達 [0037] 60 :旋轉元件 [0038] 601 :旋轉馬達 [0039] 602 :旋轉齒輪箱 [0040] 70 :伸縮取物架 [0041] 71 :固定座 [0042] 711 :滑移馬達 [0043] 712 :滑移齒輪箱 [0044] 7 2 :滑移板 [0045] 73 :取物部 [0046] 731 :取物馬達 [0047] 732 :齒輪箱 [0048] 733 :齒輪 [0049] 734 :齒條 [0050] 74 :立柱 [0051] 741 :立柱馬達 [0052] 742 :、立柱齒輪箱 表單編號A0101 第9頁/共21頁 M424329 [0053] [0054] [0055] 743 :導螺桿744 :螺帽 75 :載板 表單编號A0101 第丨0頁/共21頁

Claims (1)

1. M424329 •、申請專利範圍： 1 . 一種基板移載裝置，供於複數反應爐内，置入或取出一石 英架，其包含： 一轨道，該複數反應爐分設於該轨道的兩側； 一台車，該台車設有四轨道輪，該四軌道輪設於該執道上 ，且該台車設有複數馬達，該複數馬達同步驅動該四執道 輪； 一旋轉元件，該旋轉元件設置於該台車；以及 一伸縮取物架，該伸縮取物架設置於該旋轉元件上。 2 .如申請專利範圍第1項所述的基板移載裝置，其中該旋轉 元件上設置一旋轉馬達與一旋轉齒輪箱，該旋轉馬達透過 該旋轉齒輪箱的變速傳動而讓該旋轉元件旋轉。 3. 如申請專利範圍第1項所述的基板移載裝置，其中該伸縮 取物架具有依序疊設的一固定座、一滑移板與一取物部， 該固定座固定於該旋轉元件上，該滑移板滑設於該固定座 上，而相對線性位移而伸出該固定座之外，該取物部滑設 於該滑移板上而相對線性位移而伸出該滑移板之外。 4. 如申請專利範圍第3項所述的基板移載裝置，其中該固定 座設置一滑移馬達與一滑移齒輪箱，該滑移馬達透過該滑 移齒輪箱的變速傳動而讓該滑移板相對該固定座線性位移 5.如申請專利範圍第3項所述的基板移載裝置，其中該取物 部設置一取物馬達與一齒輪箱，並藉該取物馬達傳動該齒 輪箱，該齒輪箱具一齒輪，並該齒輪咬^ —齒條而讓該取 物部相對該滑移板線性位移。 6 .如申請專利範圍第3項所述的基板移載裝置，其中該取物 100222626 表單编號 A0101 第 11 頁/共 21 頁 1002074401-0 M424329 部包含一立柱與一載板，該載板上下移動的滑設於該立柱 上，且該立柱滑設於該滑移板，而使該載板伸出該滑移板 之外。 7. 如申請專利範圍第6項所述的基板移載裝置，其中該立柱 設置一立柱馬達、一立柱齒輪箱、一導螺桿與一螺帽，該 立柱馬達透過該立柱齒輪箱驅動該導螺桿，以讓該導螺桿 上的該螺帽帶動該載板上下位移。 8. 如申請專利範圍第6項所述的基板移載裝置，其中該載板 沿滑移方向具有不同的重量配置，且該載板的重量配置， 隨可伸出該滑移板之外的程度而正相關減少。 9. 如申請專利範圍第8項所述的基板移載裝置，其中該載板 沿滑移方向具有不同的厚度。 10 .如申請專利範圍第1項所述的基板移載裝置，其中該複數 馬達為四個，且分別一對一且同步驅動該四軌道輪。 100222626 表單编號A0101 第12頁/共21頁 1002074401-0