TWI835452B - 發光裝置及其製造方法 - Google Patents

Abstract

一種發光裝置，包括發光二極體封裝結構。發光二極體封裝結構包括電路結構、多個發光二極體以及封裝層。發光二極體設置於電路結構上，且電性連接至電路結構。封裝層包覆發光二極體的頂面與側面以及電路結構的側面。

Description

發光裝置及其製造方法

本發明是有關於一種發光裝置及其製造方法。

發光二極體是一種電致發光的半導體元件，具有效率高、壽命長、不易破損、反應速度快、可靠性高等優點。隨著大量的時間與金錢的投入，發光二極體的尺寸逐年縮小，然而，要將發光二極體使用於發光裝置的畫素結構中仍有困難，尤其是在單個畫素就具有紅色子畫素、綠色子畫素及藍色子畫素的發光裝置中，單個子畫素的尺寸很小，不論是在製造符合小尺寸子畫素的發光二極體或是在轉移所述發光二極體時都有製程良率低的問題。

本發明提供一種發光裝置及其製造方法，能改善發光二極體封裝結構中的電路結構容易在製程中受損的問題。

本發明的至少一實施例提供一種發光裝置。發光裝置包 括發光二極體封裝結構。發光二極體封裝結構包括電路結構、多個發光二極體以及封裝層。發光二極體設置於電路結構上，且電性連接至電路結構。封裝層包覆發光二極體的頂面與側面以及電路結構的側面。

本發明的至少一實施例提供一種發光裝置的製造方法，包括以下步驟。提供互相分離的多個電路結構以及位於電路結構上的多個發光二極體於載板之上。形成封裝材料於發光二極體以及電路結構上，其中封裝材料包覆發光二極體的頂面與側面以及電路結構的側面。沿著多條切割道切割封裝材料以形成互相分離的多個封裝層，並形成多個發光二極體封裝結構。各發光二極體封裝結構包括對應的電路結構、多個對應的發光二極體以及對應的封裝層。切割道位於電路結構之間。

基於上述，由於切割道位於電路結構之間，可以避免切割封裝材料時對電路結構造成損傷。

1:發光裝置

10,10A:發光二極體封裝結構

20:畫素陣列基板

100:載板

110:剝離層

210:第一絕緣層

210’:第一絕緣材料層

212:第一通孔

220:第二絕緣層

220’:第二絕緣材料層

222:第二通孔

230:遮光層

230’:遮光材料層

232:第三通孔

300,300A:電路結構

300’:電路基板

300s,400s:側面

300t,400t:頂面

310:第一導電層

320:第二導電層

330:導電連接件

400:發光二極體

500:封裝層

500’:封裝材料

600:連接端子

700:支撐膜

800:基板

910:絕緣結構

920:主動元件

930:連接電極

CL:切割道

PB:探針

PL:保護層

T1,T2,T3:厚度

W1,W2:寬度

圖1A是依照本發明的一實施例的一種發光二極體封裝結構的俯視示意圖。

圖1B是圖1A的發光二極體封裝結構的仰視示意圖。

圖1C是沿著圖1A的線I-I’的剖面示意圖。

圖2A至圖2Q是依照本發明的一實施例的一種發光裝置的製 造方法的剖面示意圖。

圖3A至圖3B是依照本發明的一實施例的一種發光裝置的製造方法的剖面示意圖。

圖4A是依照本發明的一實施例的一種發光二極體封裝結構的俯視示意圖。

圖4B是圖4A的發光二極體封裝結構的仰視示意圖。

圖4C是沿著圖4A的線I-I’的剖面示意圖。

圖1A是依照本發明的一實施例的一種發光二極體封裝結構的俯視示意圖。圖1B是圖1A的發光二極體封裝結構的仰視示意圖。圖1C是沿著圖1A的線I-I’的剖面示意圖。

請參考圖1A至圖1C，發光二極體封裝結構10包括電路結構300、多個發光二極體400以及封裝層500。為了方便說明，圖1A中的封裝層500以透視的方式繪示。

電路結構300包括第一絕緣層210、第二絕緣層220、遮光層230、第一導電層310以及第二導電層320。為了方便說明，圖1A省略繪示了遮光層230。

第一絕緣層210具有多個第一通孔212。第一通孔212的位置及數量可以依照實際需求而進行調整。

第一導電層310位於第一絕緣層210上，且填入第一絕緣層210的第一通孔212中。第一導電層310包括彼此分離的多 個部分，且前述多個部分分別填入第一絕緣層210的多個第一通孔212的。舉例來說，在本實施例中，第一絕緣層210包括四個第一通孔212，第一導電層310包括分別填入前述第一通孔212的彼此分離的四個部分。在本實施例中，填入第一通孔212的第一導電層310的最底面與第一絕緣層210的底面對齊。

第二絕緣層220位於第一絕緣層210上，且具有多個第二通孔222。第二通孔222的位置及數量可以依照實際需求而進行調整。在本實施例中，第二通孔222重疊於第一通孔212，但本發明不以此為限。在其他實施例中，第二通孔222不重疊於第一通孔212。

第二導電層320位於第二絕緣層220上，且填入第二絕緣層220的第二通孔222中。第二導電層320包括彼此分離的多個部分，且前述多個部分分別填入第二絕緣層220的多個第二通孔222的。舉例來說，在本實施例中，第二絕緣層220包括四個第二通孔222，第二導電層320包括分別填入前述第二通孔222的彼此分離的四個部分。在本實施例中，填入第二通孔222的第二導電層320電性連接至第一導電層310。

在一些實施例中，第一絕緣層210與第二絕緣層220的材料包括聚醯亞胺(polyimide，PI)、氮化矽(SiNx)、氧化矽(SiOx)或其他絕緣材料。

在一些實施例中，第一導電層310以及第二導電層320的材料包括金屬、金屬氧化物、金屬氮化物或其他合適的導電材 料。

發光二極體400設置於電路結構300上，且電性連接至電路結構300。在本實施例中，發光二極體400透過導電連接件330而電性連接至第二導電層320，並透過第二導電層320而電性連接至第一導電層310。在本實施例中，發光二極體400透過導電連接件330而以覆晶的方式接合至電路結構300，但本發明不以此為限。在其他實施例中，發光二極體為垂直式發光二極體，且在將發光元件的下電極接合至電路結構300之後，額外形成其他的導線而將發光元件的上電極電性連接電路結構300。

在一些實施例中，導電連接件330包括金屬(例如鎳、金、鉍或前述金屬的合金或前述金屬的堆疊層)、銲料、導電膠或其他合適的導電材料。

在一些實施例中，單個發光二極體封裝結構10中的多個發光二極體400可以包括不同顏色的多個發光二極體。由於單個發光二極體封裝結構10包括多個發光二極體400，轉移一個發光二極體封裝結構10即等同於同時轉移多個發光二極體400，藉此降低轉移發光二極體400的難度。

遮光層230位於第二絕緣層220上，且環繞發光二極體400與電路結構300之間的多個接點(即發光二極體400的電極及/或導電連接件330)，藉此保護發光二極體400與電路結構300之間的多個接點。此外遮光層230可以改善不同顆發光二極體400所發出的光線彼此干擾的問題。

封裝層500包覆發光二極體400的頂面400t與側面400s以及電路結構300的側面300s。在本實施例中，封裝層500包覆電路結構300的部分頂面300t。在本實施例中，封裝層500包覆第一絕緣層210、第二絕緣層220、遮光層230、第一導電層310、第二導電層320以及發光二極體400。封裝層500接觸第一絕緣層210的側面、第二絕緣層220的側面以及遮光層230的側面。

在一些實施例中，封裝層500的材料包括矽氧樹脂、環氧樹脂或其他絕緣材料。矽氧樹脂例如包括聚二甲基矽氧烷(Polydimethylsiloxane，PDMS)或其他矽氧樹脂。環氧樹脂例如包括雙酚A二縮水甘油醚(diglycidyl ether of bisphenol A，DGEBA)環氧樹脂或其他環氧樹脂。

在一些實施例中，第一絕緣層210與第二絕緣層220的材料不同於封裝層500的材料。舉例來說，第一絕緣層210與第二絕緣層220包含耐高溫且顏色偏黃的材料，而封裝層500包含穿透率高的材料，使發光二極體400發出的光線可以較輕易的穿過封裝層500。在一些實施例中，封裝層500的穿透率大於第一絕緣層210的穿透率、第二絕緣層220的穿透率以及遮光層230的穿透率。

在本實施例中，封裝層500的厚度T1大於電路結構300的厚度T2加上發光二極體400的厚度T3。封裝層500從發光二極體封裝結構10的頂面連續地延伸至發光二極體封裝結構10的底面，且封裝層500包覆電路結構300的側面300s，因此，在執 行切割製程時，可以僅切割封裝層500的位置，減少電路結構300在切割製程中受損的機率。

圖2A至圖2Q是依照本發明的一實施例的一種發光裝置的製造方法的剖面示意圖。在此必須說明的是，圖2A至圖2O的實施例沿用圖1A至圖1C的實施例的元件標號與部分內容，其中採用相同或近似的標號來表示相同或近似的元件，並且省略了相同技術內容的說明。關於省略部分的說明可參考前述實施例，在此不贅述。

請參考圖2A至圖2H，提供互相分離的多個電路結構300以及位於電路結構300上的多個發光二極體400於載板100之上。首先請參考圖2A，提供載板100，並於載板100上形成剝離層110。

請參考圖2B，形成互相分離的多個第一絕緣層210於載板100之上。每個第一絕緣層210包含多個第一通孔212(圖2B僅繪示出第一絕緣層210的其中一個第一通孔212)。在本實施例中，第一絕緣層210形成於剝離層110上。圖2B顯示了形成兩個第一絕緣層210，但本發明不以此為限。第一絕緣層210的數量可以依照實際需求而進行調整。

請參考圖2C，形成多個第一導電層310於第一絕緣層210上。每個第一導電層310形成於對應的一個第一絕緣層210上。第一導電層310填入對應的第一通孔212中。在一些實施例中，每個第一導電層310包括多個互相分離的部分，前述互相分離的部分各自填入對應的一個第一通孔212中。

請參考圖2D，形成互相分離的多個第二絕緣層220於第一絕緣層210上。每個第二絕緣層220形成於對應的一個第一絕緣層210上。每個第二絕緣層220包含多個第二通孔222(圖2D僅繪示出第二絕緣層220的其中一個第二通孔222)。

在本實施例中，第二絕緣層220的側面與第一絕緣層210的側面對齊，但本發明不以此為限。在其他實施例中，第二絕緣層220的側面內縮於第一絕緣層210的側面。在其他實施例中，第二絕緣層220外擴並包覆第一絕緣層210的側面。

請參考圖2E，形成多個第二導電層320於第二絕緣層220上。每個第二導電層320形成於對應的一個第二絕緣層220上。第二導電層320填入對應的第二通孔222中。在一些實施例中，每個第二導電層320包括多個互相分離的部分，前述互相分離的部分各自填入對應的一個第二通孔222中。

請參考圖2F，形成互相分離的多個遮光層230於第二絕緣層220上。每個遮光層230形成於對應的一個第二絕緣層220上。遮光層230具有多個第三通孔232(圖2F僅繪示出遮光層230的其中一個第三通孔232)。第三通孔232暴露出至少部分第二導電層320。在本實施例中，第三通孔232具有上窄下寬的結構，但本發明不以此為限。在其他實施例中，第三通孔232具有上寬下窄的結構，或第三通孔232具有垂直側壁。

在本實施例中，遮光層230的側面與第二絕緣層220的側面對齊，但本發明不以此為限。在其他實施例中，遮光層230 的側面內縮於第二絕緣層220的側面。在其他實施例中，遮光層230外擴並包覆第二絕緣層220的側面。

請參考圖2G，形成多個導電連接件330於遮光層230上。每個導電連接件330填入對應的第三通孔232中，並電性連接至第二導電層320。

至此，多個彼此分離的電路結構300已形成於載板100之上。

請參考圖2H，將多個發光二極體400置於電路結構300上。發光二極體400透過導電連接件330而接合至第二導電層320。

請參考圖2I，形成封裝材料500’於發光二極體400以及電路結構300上。封裝材料500’包覆發光二極體400的頂面400t與側面400s以及電路結構300的頂面300t以及側面300s。在本實施例中，封裝材料500’接觸第一絕緣層210的側面、第二絕緣層220的側面以及遮光層230的側面。

在一些實施例中，封裝材料500’還填入發光二極體400與電路結構300之間的縫隙(未繪出)，藉此進一步固定發光二極體400。

請參考圖2J，移除載板100。

請參考圖2K，移除剝離層110。在一些實施例中，移除剝離層110的方法包括乾蝕刻、濕蝕刻或其他合適的製程。

請參考圖2L，在電路結構300相反於發光二極體400的一側上形成連接端子600。在本實施例中，連接端子600形成於第 一通孔212下方，並連接第一導電層310。在一些實施例中，連接端子600包括金屬(例如鎳、金、鉍或前述金屬的合金或前述金屬的堆疊層)、銲料、導電膠或其他合適的導電材料。

請參考圖2M，將支撐膜700貼於封裝材料500’上，其中連接端子600位於電路結構300遠離支撐膜700的一側。在本實施例中，先於電路結構300上形成連接端子600，接著才將支撐膜700貼於封裝材料500’上，但本發明不以此為限。在其他實施例中，先將支撐膜700貼於封裝材料500’上，接著才於電路結構300上形成連接端子600。在一些實施例中，支撐膜700與封裝材料500’之間包括剝離層(未繪出)，但本發明不以此為限。

請參考圖2N，沿著多條切割道CL切割封裝材料500’以形成互相分離的多個封裝層500，並形成多個發光二極體封裝結構10。每個發光二極體封裝結構10包括對應的電路結構300、多個對應的發光二極體400以及對應的封裝層500。切割道CL位於電路結構300之間。切割道CL不重疊於電路結構300。切割道CL的寬度W1小於電路結構300之間的距離W2。

在本實施例中，由於切割製程只會對封裝材料500’進行切割，因此，可以避免電路結構300在切割製程中受損。

請參考圖2O，以探針PB接觸電路結構300，藉此測試電路結構300上的發光二極體400。在本實施例中，由於連接端子600位於電路結構300遠離支撐膜700的一側，因此，不需要將支撐膜700移除就可以利用探針PB接觸連接端子600。

請參考圖2P，將發光二極體封裝結構10中的至少一者自支撐膜700上取下，並置畫素陣列基板20上。在本實施例中，畫素陣列基板20包括基板800、絕緣結構910、主動元件920以及連接電極930。

基板800之材質可為玻璃、石英、有機聚合物或不透光/反射材料(例如：導電材料、金屬、晶圓、陶瓷或其他可適用的材料)或是其他可適用的材料。若使用導電材料或金屬時，則在基板800上覆蓋一層絕緣層(未繪示)，以避免短路問題。

絕緣結構910可以為單層或多層結構。主動元件920以及連接電極930設置於絕緣結構910中。主動元件920例如為任意形式的薄膜電晶體。連接電極930電性連接至主動元件920。

發光二極體封裝結構10透過連接端子600而接合至畫素陣列基板20的連接電極930。

請參考圖2Q，形成保護層PL於畫素陣列基板20上，且保護層PL包覆發光二極體封裝結構10的封裝層500。至此，發光裝置1大致完成。在本實施例中，保護層PL覆蓋發光二極體封裝結構10的頂面，並填入相鄰的發光二極體封裝結構10之間的間隙。在一些實施例中，保護層PL還填入發光二極體封裝結構10與畫素陣列基板20之間的間隙。

圖3A至圖3B是依照本發明的一實施例的一種發光裝置的製造方法的剖面示意圖。請參考圖3A，形成電路基板300’於載板100之上。在本實施例中，形成電路基板300’於剝離層110上。

電路基板300’包括第一絕緣材料層210’、第二絕緣材料層220’、遮光材料層230’、多個第一導電層310、多個第二導電層320以及多個導電連接件330。第一絕緣材料層210’整面地形成於剝離層110上，且具有多個第一通孔212。第一導電層310形成於第一絕緣材料層210’上，並填入第一通孔212。第二絕緣材料層220’整面地形成於第一絕緣材料層210’以及第一導電層310上，且具有多個第二通孔222。第二導電層320形成於第二絕緣材料層220’上，並填入第二通孔222。遮光材料層230’整面地形成於第二絕緣材料層220’以及第二導電層320上，且具有多個第三通孔232。導電連接件330形成於第三通孔232中。

將發光二極體400置於電路基板300’上。發光二極體400接合至導電連接件330。

請參考圖3B，圖案化電路基板300’以形成互相分離的電路結構300。在本實施例中，圖案化電路基板300’的方法包括乾蝕刻、濕蝕刻或其他合適的製程。在本實施例中，先將發光二極體400置於電路基板300’上，接著才圖案化電路基板300’，但本發明不以此為限。在其他實施例中，在圖案化電路基板300’之後，將發光二極體400置於電路結構300上。

在提供互相分離的電路結構300以及位於電路結構300上的多個發光二極體400於載板100之上以後，執行如圖2I至圖2Q所述的製程，以獲得發光裝置1。

圖4A是依照本發明的一實施例的一種發光二極體封裝 結構的俯視示意圖。圖4B是圖4A的發光二極體封裝結構的仰視示意圖。圖4C是沿著圖4A的線I-I’的剖面示意圖。在此必須說明的是，圖4A至圖4C的實施例沿用圖1A至圖1C的實施例的元件標號與部分內容，其中採用相同或近似的標號來表示相同或近似的元件，並且省略了相同技術內容的說明。關於省略部分的說明可參考前述實施例，在此不贅述。為了方便說明，圖4A中的封裝層500以透視的方式繪示。

圖4A至圖4C的發光二極體封裝結構10A與圖1A至圖1C的發光二極體封裝結構10的主要差異在於：發光二極體封裝結構10A的電路結構300A中不包括第二絕緣層以及第二導電層。

請參考圖4A至圖4C，電路結構300A包括第一絕緣層210、遮光層230以及第一導電層310。為了方便說明，圖4A省略繪示了遮光層230。

第一絕緣層210具有多個第一通孔212。第一通孔212的位置及數量可以依照實際需求而進行調整。

第一導電層310位於第一絕緣層210上，且填入第一絕緣層210的第一通孔212中。第一導電層310包括彼此分離的多個部分，且前述多個部分分別填入第一絕緣層210的多個第一通孔212。舉例來說，在本實施例中，第一絕緣層210包括四個第一通孔212，第一導電層310包括分別填入前述第一通孔212的彼此分離的四個部分。在本實施例中，填入第一通孔212的第一導電層310的最底面與第一絕緣層210的底面對齊。

發光二極體400設置於電路結構300A上，且電性連接至電路結構300A。在本實施例中，發光二極體400透過導電連接件330而電性連接至第一導電層310。在本實施例中，發光二極體400透過導電連接件330而以覆晶的方式接合至電路結構300A，但本發明不以此為限。在其他實施例中，發光二極體為垂直式發光二極體，且在將發光元件的下電極接合至電路結構300A之後，額外形成其他的導線而將發光元件的上電極電性連接電路結構300A。

在一些實施例中，單個發光二極體封裝結構10A中的多個發光二極體400可以包括不同顏色的發光二極體。由於單個發光二極體封裝結構10A包括多個發光二極體400，轉移一個發光二極體封裝結構10A即等同於同時轉移多個發光二極體400，藉此降低轉移發光二極體400的難度。

遮光層230位於第一絕緣層210上，且環繞發光二極體400與電路結構300A之間的多個接點(即發光二極體400的電極及/或導電連接件330)，藉此保護發光二極體400與電路結構300A之間的多個接點。

封裝層500包覆發光二極體400的頂面400t與側面400s以及電路結構300A的側面300s。在本實施例中，封裝層500包覆電路結構300A的部分頂面300t。在本實施例中，封裝層500包覆第一絕緣層210、遮光層230、第一導電層310以及發光二極體400。封裝層500接觸第一絕緣層210的側面以及遮光層230的側面。

在本實施例中，封裝層500的厚度T1大於電路結構300A的厚度T2加上發光二極體400的厚度T3。封裝層500從發光二極體封裝結構10A的頂面連續地延伸至發光二極體封裝結構10A的底面，且封裝層500包覆電路結構300A的側面300s，因此，在執行切割製程時，可以僅切割封裝層500的位置，減少電路結構300A在切割製程中受損的機率。

10:發光二極體封裝結構

210:第一絕緣層

212:第一通孔

220:第二絕緣層

222:第二通孔

230:遮光層

300:電路結構

300s,400s:側面

300t,400t:頂面

310:第一導電層

320:第二導電層

330:導電連接件

400:發光二極體

500:封裝層

T1,T2,T3:厚度

Claims (16)

1. 一種發光裝置，包括：一發光二極體封裝結構，包括：一電路結構，包括：一第一絕緣層，具有多個第一通孔；一第一導電層，填入該些第一通孔中；以及一遮光層，位於該第一絕緣層上方，且具有多個第三通孔；多個導電連接件，位於該些第三通孔中；多個發光二極體，設置於該電路結構上；以及一封裝層，包覆該些發光二極體的頂面與側面以及該電路結構的側面，其中該封裝層接觸該第一絕緣層的側面和該遮光層的側面；以及一畫素陣列基板，其中該電路結構接合至該畫素陣列基板，且其中該些發光二極體通過該些導電連接件而電性連接至該電路結構，並進一步通過該電路結構而電性連接至該畫素陣列基板。
2. 如請求項1所述的發光裝置，更包括：一保護層，位於該畫素陣列基板上，且包覆該封裝層。
3. 如請求項1所述的發光裝置，其中該電路結構更包括：一第二絕緣層，位於該第一絕緣層與該遮光層之間，且具有多個第二通孔；以及 一第二導電層，位於該第二絕緣層上，且填入該些第二通孔中，且該些發光二極體透過該些導電連接件而電性連接至該第二導電層，並進一步透過該第二導電層而電性連接至該第一導電層。
4. 如請求項3所述的發光裝置，其中該封裝層的穿透率大於該第一絕緣層的穿透率以及該第二絕緣層的穿透率。
5. 如請求項3所述的發光裝置，其中該遮光層環繞該些發光二極體與該電路結構之間的該些導電連接件。
6. 如請求項3所述的發光裝置，其中該封裝層包覆並接觸該第一絕緣層的該側面、該第二絕緣層的側面以及該遮光層的該側面。
7. 如請求項1所述的發光裝置，其中該封裝層的厚度大於該電路結構的厚度加上該些發光二極體的厚度。
8. 一種發光裝置的製造方法，包括：提供互相分離的多個電路結構以及位於該些電路結構上的多個發光二極體於一載板之上，其中各該電路結構包括：一第一絕緣層，具有多個第一通孔；一第一導電層，填入該些第一通孔中；以及一遮光層，位於該第一絕緣層上方，其中多個導電連接件位於該遮光層的多個第三通孔中；形成一封裝材料於該些發光二極體以及該些電路結構上，其中該封裝材料包覆該些發光二極體的頂面與側面以及該些電路結 構的側面，且該封裝材料接觸該些第一絕緣層的側面和該些遮光層的側面；以及沿著多條切割道切割該封裝材料以形成互相分離的多個封裝層，並形成多個發光二極體封裝結構，其中各該發光二極體封裝結構包括對應的電路結構、多個對應的發光二極體以及對應的封裝層，且其中該些切割道位於該些電路結構之間；將該些發光二極體封裝結構中的至少一者置於一畫素陣列基板上，其中該些發光二極體封裝結構中的該至少一者的該電路結構接合至該畫素陣列基板，且其中該些發光二極體封裝結構中的該至少一者的該些發光二極體通過對應的導電連接件而電性連接至該對應的電路結構，並進一步通過該對應的電路結構而電性連接至該畫素陣列基板。
9. 如請求項8所述的發光裝置的製造方法，更包括：形成一保護層於該畫素陣列基板上，且包覆該些發光二極體封裝結構中的該至少一者的該對應的封裝層。
10. 如請求項8所述的發光裝置的製造方法，更包括：將一支撐膜貼於該封裝材料上；以及以一探針電性連接該些電路結構，以測試該些發光二極體。
11. 如請求項8所述的發光裝置的製造方法，其中該些切割道的寬度小於該些電路結構之間的距離。
12. 如請求項8所述的發光裝置的製造方法，其中該些切割道不重疊於該些電路結構。
13. 如請求項8所述的發光裝置的製造方法，其中提供互相分離的該些電路結構以及位於該些電路結構上的該些發光二極體於該載板之上的方法包括：形成一電路基板於該載板之上；圖案化該電路基板以形成互相分離的該些電路結構；以及在圖案化該電路基板之前將該些發光二極體置於該電路基板上或在圖案化該電路基板之後將該些發光二極體置於該些電路結構上。
14. 如請求項8所述的發光裝置的製造方法，其中提供互相分離的該些電路結構於該載板之上的方法包括：形成互相分離的該些第一絕緣層於該載板之上，其中各該第一絕緣層具有該些第一通孔；以及形成該些第一導電層於該些第一絕緣層上，其中各該第一導電層填入多個對應的第一通孔中。
15. 如請求項14所述的發光裝置的製造方法，其中提供互相分離的該些電路結構於該載板之上的方法更包括：形成互相分離的多個第二絕緣層於該些第一絕緣層上，其中各該第二絕緣層具有多個第二通孔；以及形成多個第二導電層於該些第二絕緣層上，其中各該第二導電層填入多個對應的第二通孔中。
16. 如請求項15所述的發光裝置的製造方法，其中該封裝材料接觸該些第二絕緣層的側面。

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