TWI804625B - 轉矩感測器之支撐裝置 - Google Patents

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Abstract

可以防止在轉矩感測器上產生轉矩以外的彎曲力矩,並且可提升轉矩感測器的檢測精度的轉矩感測器之支撐裝置。第1支撐體是設置在機器人之作為第1安裝部的基台上。第2支撐體是連結於具備第1構造體、第2構造體、第3構造體與至少2個感測部之轉矩感測器的第2構造體,前述第1構造體是設置於基台,前述第2構造體是連結於作為第2安裝部的第1手臂,前述第3構造體是設置於第1構造體與第2構造體之間,前述至少2個感測部是設置於第1構造體與第2構造體之間。旋轉體是設置在第1支撐體與第2支撐體之間。

Description

轉矩感測器之支撐裝置
發明領域 本發明的實施形態是涉及例如適用於機械手臂等的轉矩感測器,而為有關於一種支撐轉矩感測器之支撐裝置。
發明背景 轉矩感測器具有:第1構造體,會被施加轉矩;第2構造體,供轉矩輸出;及複數個應變部,作為樑並連結第1構造體與第2構造體,在這些應變部配置有作為感測器元件的複數個應變計。藉由這些應變計可構成橋接電路(參照例如專利文獻1、2、3)。
已開發有下述技術:在對汽車的引擎等的輸出部所產生的轉矩進行測定的轉矩量轉換器中,減少轉矩以外的彎曲應力之影響(參照例如專利文獻4)。 先前技術文獻
專利文獻 專利文獻1:日本專利特開2013-096735號公報 專利文獻2:日本專利特開2015-049209號公報 專利文獻3:日本專利特開2017-172983號公報 專利文獻4:日本專利特開2010-169586號公報
發明概要 在將圓盤狀的轉矩感測器的第1構造體固定於機械手臂(以下,也簡稱為手臂)的例如基底部,將第2構造體固定於手臂的例如驅動部來使用的情況下,會在轉矩感測器增加彎曲力矩,前述彎曲力矩是伴隨於手臂的搬送重量以及到負荷的距離(從轉矩感測器的中心到搬送物的距離)、動作加速度(手臂或負荷的慣性矩)之力矩。
一般而言,雖然在通過配置於圓盤狀的轉矩感測器的直徑方向的例如2個應變部(以下,也稱為應變體)的第1軸線上的兩側以均等方式存在有負載的方向為互相相反的負荷的情況下,會在轉矩感測器增加彎曲力矩,但是因為在2個應變體上僅產生對稱的應變,所以對轉矩感測器之伴隨於彎曲力矩的感測器輸出,理論上是成為零。亦即,轉矩感測器不會受到轉矩以外的其他軸的干涉(以下,稱為他軸干涉)。即使在與第1軸線正交的第2軸線上有負荷的情況下、或同樣的負荷存在於從第1軸線及第2軸線傾斜的位置的情況下,理論上轉矩感測器仍然不會受到他軸干涉。
又,力點(或作用點)以轉矩感測器為中心而位在轉矩感測器的直徑方向的單側的情況中,負荷為在第1軸線上而位於0°或180°的位置的情況下、及在第2軸線上而位於90°或270°的位置的情況下,雖然會在轉矩感測器增加彎曲力矩,但可藉由2個應變體而互相抵消。因此,轉矩感測器未受到他軸干涉,感測器輸出會成為零。
在將轉矩感測器利用於機械手臂的情況下,是將手臂的一端固定在轉矩感測器側,另一端是位於遠離轉矩感測器的位置。亦即,在以轉矩感測器側為支點的情況下,作為負荷的力點(或作用點)是位於遠離支點的位置。而且,負荷的位置並不受限為存在於通過圓盤狀的轉矩感測器的中心之正交的2條軸線上。因此,轉矩感測器會受到由彎曲力矩所形成的他軸干涉。在此情況下,特別是針對從第1軸線及第2軸線上偏離了45°的位置的負荷,產生有較大的他軸干涉。具體而言,會在手臂的旋轉角度為45°、135°、225°、315°時,產生感測器輸出的峰值。在將感測器輸出假定為正弦波的情況下,因為是1個週期內產生2個峰值,所以將此稱為f2成分。
像這樣,由於在轉矩感測器產生轉矩以外的彎曲力矩,而因他軸干涉產生f2成分。因此,轉矩感測器的檢測精度已降低。
本發明的實施形態是提供一種可以防止在轉矩感測器上產生轉矩以外的彎曲力矩,而可提升轉矩感測器的檢測精度之轉矩感測器之支撐裝置。
本實施形態的轉矩感測器之支撐裝置是前述轉矩感測器具備: 第1構造體; 第2構造體; 第3構造體,設置於前述第1構造體與前述第2構造體之間;及 至少2個感測部,設置於前述第1構造體與前述第2構造體之間, 前述轉矩感測器之支撐裝置具備: 第1安裝部,設置於前述第1構造體; 第2安裝部,連結於前述第2構造體,並且會被施加轉矩; 第1支撐體,設置於前述第1安裝部; 第2支撐體,與前述第2構造體連動;及 複數個旋轉體,設置於前述第1支撐體與前述第2支撐體之間。
用以實施發明之形態 以下,針對實施形態,參照圖式來說明。在圖式中,對相同的部分是附加相同的符號。
首先,參照圖3、圖4,針對本實施形態所適用的機械手臂30及轉矩感測器40作說明。
圖3所顯示的是多關節機器人,即機械手臂30的一例。機械手臂30具備有例如基台31、第1手臂32、第2手臂33、第3手臂34、第4手臂35、作為驅動源的第1驅動部36、第2驅動部37、第3驅動部38、第4驅動部39。然而,機械手臂30的構成並非限定於此,而是可變形的。
第1手臂32是藉由設置於第1關節J1的第1驅動部36,而設為可相對於基台31旋轉。第2手臂33是藉由設置於第2關節J2的第2驅動部37,而設為可相對於第1手臂32旋轉。第3手臂34是藉由設置於第3關節J3的第3驅動部38,而設為可相對於第2手臂33旋轉。第4手臂35是藉由設置於第4關節J4的第4驅動部39,而設為可相對於第3手臂34旋轉。第4手臂35可裝設未圖示的手部或各種工具。
第1驅動部36~第4驅動部39具備有例如後述之馬達、減速機、與轉矩感測器。
圖4所顯示的是可適用於本實施形態的圓盤狀的轉矩感測器40的一例。轉矩感測器40具備有第1構造體41、第2構造體42、複數個第3構造體43、與作為感測部的第1應變感測器44及第2應變感測器45等。
第1構造體41與第2構造體42是形成為環狀,第2構造體42的直徑比第1構造體41的直徑更小。第2構造體42是與第1構造體41配置成同心狀,第1構造體41與第2構造體42是藉由配置成放射狀之複數個作為樑部的第3構造體43來連結。複數個第3構造體43是在第1構造體41與第2構造體42之間傳達轉矩。第2構造體42具有中空部42a,在中空部42a中例如有未圖示的配線通過。
第1構造體41、第2構造體42、複數個第3構造體43雖然是藉由金屬(例如不鏽鋼)所構成,但只要能夠對於所施加的轉矩具有機械上充分的強度即可,亦可使用金屬以外的材料。第1構造體41、第2構造體42、複數個第3構造體43是例如具有相同的厚度。轉矩感測器40的機械性強度是藉由第3構造體43的厚度或寬度、長度來設定。
在第1構造體41與第2構造體42之間,設置有第1應變感測器44及第2應變感測器45。具體而言,構成第1應變感測器44的應變體44a與構成第2應變感測器45的應變體45a的一端部是接合於第1構造體41,應變體44a、45a的另一端部是接合於第2構造體42。應變體44a、45a的厚度是比第1構造體41、第2構造體42、及複數個第3構造體43的厚度更薄。
在應變體44a、45a的正面上,各自設置有作為感測器元件之未圖示的複數個應變計。藉由設置於應變體44a的感測器元件可構成第1橋接電路,藉由設置於應變體45a的感測器元件可構成第2橋接電路。亦即,轉矩感測器40具備有2個橋接電路。
又,第1應變感測器44與第2應變感測器45是配置於相對於第1構造體41及第2構造體42的中心(轉矩的作用中心)呈對稱的位置。換言之,第1應變感測器44與第2應變感測器45是配置於環狀的第1構造體41及第2構造體42的直徑上。
第1應變感測器44(應變體44a)是連接於可撓性基板46,第2應變感測器45(應變體45a)是連接於可撓性基板47。可撓性基板46、47是連接於蓋件48所覆蓋之未圖示的印刷基板。在印刷基板中配置有將2個橋接電路的輸出電壓放大的運算放大器等。由於電路構成並非本實施形態的本質,因此省略說明。
在本實施形態中,轉矩感測器40是相對於轉矩(Mz)而變形,並相對於轉矩以外(Mx、My)的彎曲力矩而藉由後述之支撐裝置來抑制變形。 (第1實施形態)
圖1是顯示第1實施形態。
如圖1所示,在例如第1關節J1內設置有第1驅動部36、轉矩感測器40、與作為支撐轉矩感測器40的支撐裝置之滾動軸承,例如滾珠軸承(以下,稱為軸承)20。
轉矩感測器40是設置在作為第1安裝部的基台31的上部。具體而言,轉矩感測器40的第1構造體41是藉由未圖示的複數個螺栓而固定在基台31的上部。
第1驅動部36是在作為第2安裝部的第1手臂32的內部並設置於轉矩感測器40的第1面(正面)。第1驅動部36是藉由例如馬達36a與減速機36b所構成。減速機36b具備有例如外殼36b-1、輸出軸36b-2、軸承36b-3、與未圖示的複數個齒輪等。輸出軸36b-2是透過未圖示的複數個齒輪而連結於馬達36a的軸桿36a-1,且藉由軸承36b-3而設置成可相對於外殼36b-1旋轉。
轉矩感測器40的第2構造體42是藉由未圖示的複數個螺栓而固定在減速機36b的輸出軸36b-2。減速機36b的外殼36b-1是固定在第1手臂32。
如圖1所示,軸承20具備作為第1支撐體之外圈21、作為第2支撐體之內圈22、作為第3支撐體之複數個滾珠23。
軸承20是設置在轉矩感測器40的第1面(正面)側。軸承20的外圈21是固定在基台31,內圈22是固定在減速機36b的外殼36b-1。
圖1所顯示的是適用了所謂徑向軸承來作為軸承20之情況。然而,並非受限於此,也可適用例如止推軸承等其他的構成的軸承。
又,第3支撐體並不限定於滾珠23,亦可為例如滾子之類的旋轉體。
軸承20在受到內圈22相對於外圈21旋轉的方向的力的情況下,內圈22會相對於外圈21而旋轉。另一方面,軸承20在受到旋轉方向以外的力的情況下,可藉由外圈21、內圈22、及滾珠23所具有之剛性來抑制變形。
作為旋轉體的滾珠23或滾子的材料為包含鐵的材料,可為例如不鏽鋼等的鋼材、鑄鐵、或陶瓷。
作為旋轉體的滾珠23或滾子的數量為4個以上,且各旋轉體是等間隔地配置。這些滾珠23或滾子是各自配置於同一半徑上。
如圖6所示,在旋轉體的數量為4個的情況下,各旋轉體是以轉矩感測器40的例如第1應變感測器44為基準而配置於45°、135°、225°、315°的位置。
又,作為包含第1支撐體21、第2支撐體22及滾珠23的支撐裝置的軸承20的剛性是等於或大於轉矩感測器40的第3構造體43的剛性。
在上述構成中,藉由馬達36a驅動減速機36b時,會使軸承20的內圈22相對於外圈21旋轉,而使第1手臂32旋轉。與此同時,可藉由從減速機36b將轉矩(Mz)施加到轉矩感測器40,且轉矩感測器40的第2構造體42相對於第1構造體41朝轉矩(Mz)方向位移來檢測轉矩。
另一方面,在使第1手臂32至第4手臂35動作,而伴隨於搬送重量與到負荷的距離、以及動作加速度,來對轉矩感測器40施加轉矩以外(Mx、My)的彎曲力矩的情況下,軸承20可藉由外圈21、內圈22、及滾珠23所具有之剛性來抑制變形。因此,可抑制減速機36b的變形,並且對轉矩以外(Mx、My)的彎曲力矩,可抑制轉矩感測器40之第2構造體42相對於第1構造體41的位移。從而,轉矩感測器40可抑制對轉矩以外(Mx、My)的彎曲力矩之檢測訊號的輸出。 (第1實施形態之效果)
根據上述第1實施形態,可將作為支撐裝置的軸承20的外圈21固定於固定有轉矩感測器40的第1構造體41之機械手臂30的基台31,並且將內圈22固定於固定有轉矩感測器40的第2構造體42之減速機36b與第1手臂32。因此,可以藉由軸承20抑制由轉矩以外的彎曲力矩對轉矩感測器40所造成的轉矩感測器40的位移。從而,轉矩感測器40可以抑制他軸干涉,而可提升由轉矩感測器40所形成的轉矩的檢測精度。
圖5是顯示機械手臂30相對於基台31的旋轉角度(負荷的設置角度)與轉矩感測器40的輸出訊號的關係的圖,且所顯示的是第1實施形態的情況A、與不具有作為支撐裝置的軸承20的比較例的情況B。
如第1實施形態,在將轉矩感測器40配置於機械手臂30的例如第1關節J1內的情況下,機械手臂30是設成能以轉矩感測器40為中心進行360°旋轉。
如圖6所示,雖然在作為機械手臂30的力點(或作用點)的負荷於通過轉矩感測器40的第1應變感測器44與第2應變感測器45之第1軸線上移動的情況下、或在負荷於與第1軸線正交的第2軸線上移動的情況下,會產生彎曲力矩,但只要是在該等軸線上,他軸干涉理論上即成為零。然而,在負荷已移動至第1軸線及第2軸線以外的情況下,會在轉矩感測器40產生彎曲力矩,前述彎曲力矩是伴隨於機械手臂30的搬送重量與到負荷的距離、以及動作加速度。從而,在沒有第1實施形態之軸承20的情況下,轉矩感測器40會受到他軸干涉,而產生較大的位準的感測器輸出。
亦即,如圖5中以B所示地,在負荷已移動到從第1軸線及第2軸線上偏離的位置的情況下,會在轉矩感測器40上產生他軸干涉,且在機械手臂30的旋轉角度以第1軸線作為基準而在45°、135°、225°、315°時產生較大的峰值的感測器輸出。
相對於此,如第1實施形態,設置有軸承20的情況下,可以藉由軸承20抑制由轉矩以外的方向的力對轉矩感測器40所造成的轉矩感測器40的位移。藉此,如圖5之A所示,因為可以在轉矩感測器40中抑制他軸干涉,所以可以抑制在以第1軸線作為基準而在45°、135°、225°、315°時,從轉矩感測器40產生感測器輸出之情形。從而,可提升由轉矩感測器40所形成之轉矩的檢測精度。 (第2實施形態)
圖2是顯示第2實施形態。第2實施形態為將第1實施形態變形的實施形態。在第1實施形態中,作為支撐裝置的軸承20是在轉矩感測器40的第1面(正面)側,且設置在基台31、減速機36b及第1手臂32之間。相對與此,在第2實施形態中,軸承20是設置在轉矩感測器40的第2面(背面)側。
具體而言,在轉矩感測器40的第2面側隔著第4支撐體24而設置有軸承20。第4支撐體24是例如具有與轉矩感測器40的第2構造體42幾乎同等的直徑的圓形,且是藉由與轉矩感測器40同樣的材料所構成。第4支撐體24是藉由例如未圖示的螺栓而固定在轉矩感測器40的第2構造體42。
軸承20是設置在第4支撐體24的周圍與基台31的內表面之間。亦即,軸承20的內圈22是固定在第4支撐體24的周圍,外圈21是固定在基台31的內表面。
再者,軸承20不限定為徑向軸承,也可適用例如止推軸承等其他的構成的軸承。
又,第3支撐體不限定為滾珠23,亦可為例如滾子之類的旋轉體。
在上述構成中,藉由馬達36a驅動減速機36b時,會使第1手臂32旋轉。與此同時,可從減速機36b將轉矩(Mz)施加到轉矩感測器40,且轉矩感測器40的第2構造體42相對於第1構造體41而與第4支撐體24一起朝轉矩(Mz)方向位移。亦即,第4支撐體24會藉由軸承20而相對於基台31與第2構造體42一起旋轉。可藉由轉矩感測器40的第2構造體42相對於第1構造體41朝轉矩(Mz)方向位移而檢測轉矩。
另一方面,在使第1手臂32至第4手臂35動作,而伴隨於搬送重量與到負荷的距離、以及動作加速度,來對轉矩感測器40施加轉矩以外(Mx、My)的彎曲力矩的情況下,可藉由第4支撐體24與軸承20來抑制轉矩感測器40的第2構造體42的位移。因此,可抑制因轉矩以外(Mx、My)的彎曲力矩,而讓轉矩感測器40的第2構造體42相對於第1構造體41位移之情形。從而,轉矩感測器40可抑制對轉矩以外(Mx、My)的彎曲力矩之檢測訊號的輸出。 (第2實施形態之效果)
根據第2實施形態,在轉矩感測器40的第2面側且在第2構造體42與基台31之間設置有第4支撐體24及軸承20。因此,轉矩感測器40可以抑制他軸干涉,而可以如圖5之A所示,抑制從轉矩感測器40產生感測器輸出之情形。從而,可提升由轉矩感測器40所形成之轉矩的檢測精度。
而且,因為是將第4支撐體24設置在轉矩感測器40的第2構造體42與軸承20之間,所以可就相對於轉矩感測器40之轉矩以外(Mx、My)的彎曲力矩,來確實地防止轉矩感測器40的位移。 (第3實施形態)
上述第1、第2實施形態是將轉矩感測器40的第1構造體41連結於基台31,將第2構造體42連結於減速機36b的輸出軸36b-2。相對於此,圖7所示的第3實施形態是將轉矩感測器40的第1構造體41連結於減速機36b的輸出軸36b-2,將第2構造體42連結於基台31。
在圖7中,在轉矩感測器40的第1構造體41是藉由例如未圖示的複數個螺栓而固定例如圓筒狀的配件51a的一端。藉由例如未圖示的複數個螺栓將減速機36b的外殼36b-1固定於配件51a的另一端部。減速機36b的輸出軸36b-2是透過軸承36b-3而設置於外殼36b-1,並且將減速機36b的輸出軸36b-2固定於第1手臂32。此外,輸出軸36b-2是透過未圖示的複數個齒輪而連結於馬達36a的軸桿36a-1,且馬達36a是設置在外殼36b-1。
另一方面,轉矩感測器40的第2構造體42是藉由例如未圖示的複數個螺栓而固定在基台31。基台31是透過作為支撐體的軸承20來連結於例如圓筒狀的配件51b,配件51b的一端是藉由例如未圖示的複數個螺栓而固定於轉矩感測器40的第1構造體41。
在上述構成中,藉由馬達36a驅動減速機36b時,會使第1手臂32旋轉。與此同時,可從減速機36b對轉矩感測器40的第1構造體41施加轉矩(Mz)。第1構造體41是透過軸承20而相對於第2構造體42朝轉矩(Mz)方向位移。藉此,可檢測轉矩。
另一方面,在使第1手臂32至第4手臂35動作,而伴隨於搬送重量與到負荷的距離、以及動作加速度,來對轉矩感測器40施加轉矩以外(Mx、My)的彎曲力矩的情況下,軸承20可藉由外圈21、內圈22、及滾珠23所具有之剛性來抑制變形。因此,對轉矩以外(Mx、My)的彎曲力矩,可抑制轉矩感測器40之第1構造體41相對於第2構造體42的位移。從而,轉矩感測器40可抑制對轉矩以外(Mx、My)的彎曲力矩之檢測訊號的輸出。
第3實施形態也可以得到與第1、第2實施形態同樣的效果。 (第4實施形態)
第1至第3實施形態均設有作為支撐裝置的軸承20。相對於此,圖8所示的第4實施形態是將第1實施形態變形之實施形態,並且是使用設置於基台31的溝31a、與設置於溝31a內的複數個滾珠或滾子來作為支撐裝置。
在圖8中,轉矩感測器40與馬達36a、減速機36b、及第1手臂32的構成是與第1實施形態同樣。亦即,轉矩感測器40的第2構造體42是藉由未圖示的螺栓而固定在減速機36b的輸出軸36b-2。
另一方面,轉矩感測器40的第1構造體41是藉由未圖示的複數個螺栓而固定在基台31。在基台31的中央部是對應於轉矩感測器40的第2構造體42而設置有環狀的溝31a,在此溝31a內設置有作為旋轉體的複數個滾珠61。滾珠61可適用具有充分的剛性之例如鋼球,並且是設為接觸於轉矩感測器40的第2構造體42,且可於溝31a內旋轉。
旋轉體並不限定於滾珠61,也可適用可在溝31a內旋轉,且可接觸於轉矩感測器40的第2構造體42的滾子。
在上述構成中,藉由馬達36a驅動減速機36b時,會使第1手臂32旋轉。與此同時,可從減速機36b對轉矩感測器40的第2構造體42施加轉矩(Mz)。第2構造體42會相對於第1構造體41朝轉矩(Mz)方向位移。藉此,可檢測轉矩。
另一方面,在使第1手臂32至第4手臂35動作,而伴隨於搬送重量與到負荷的距離、以及動作加速度,來對轉矩感測器40施加轉矩以外(Mx、My)的彎曲力矩的情況下,轉矩感測器40的第2構造體42可藉由複數個滾珠61所具有之剛性來抑制變形。因此,對轉矩以外(Mx、My)的彎曲力矩,可抑制轉矩感測器40之第2構造體42相對於第1構造體41的位移。從而,轉矩感測器40可抑制對轉矩以外(Mx、My)的彎曲力矩之檢測訊號的輸出。
藉由第4實施形態也可以得到和第1至第3實施形態同樣的效果。
再者,在第1至第4實施形態中,軸承20是設置在第1關節J1的基台31。雖然藉由將軸承20設置在第1關節J1之作法所形成的他軸干涉的去除效果較大,但並非限定於第1關節J1之構成,也可將軸承20適用於第2關節J2至第4關節J4。將軸承20適用於第2關節J2至第4關節J4的情況,也可得到與設置在第1關節J1的情況同樣的效果。
又,轉矩感測器40是針對具有第1應變感測器44與第2應變感測器45之2個感測部的情況作了說明。但是,並非受限於此,只要是可以得到用來抑制他軸干涉之必要的Mx、My、Mz的3個軸資訊的構成即可。從而,可將第1實施形態至第4實施形態適用於能夠得到3軸以下的資訊之轉矩感測器。
此外,本發明並非原樣限定於上述各實施形態的發明,且在實施階段中,可以在不超出其主旨的範圍內將構成要件變形並具體化。又,藉由於上述各實施形態所揭示的複數個構成要件的適當的組合,可以形成各種發明。例如,亦可從實施形態所示的全部構成要件中刪除幾個構成要件。此外,亦可將涵蓋不同的實施形態的構成要件進行適當組合。
20:滾珠軸承(軸承) 21:外圈(第1支撐體) 22:內圈(第2支撐體) 23:滾珠 24:第4支撐體 30:機械手臂 31:基台 32:第1手臂 33:第2手臂 34:第3手臂 35:第4手臂 36:第1驅動部 36a:馬達 36a-1:軸桿 36b:減速機 36b-1:外殼 36b-2:輸出軸 36b-3:軸承 37:第2驅動部 38:第3驅動部 39:第4驅動部 40:轉矩感測器 41:第1構造體 42:第2構造體 42a:中空部 43:第3構造體 44:第1應變感測器 44a、45a:應變體 45:第2應變感測器 46、47:可撓性基板 48:蓋件 51a、51b:配件 J1:第1關節 J2:第2關節 J3:第3關節 J4:第4關節 Mx、My:轉矩以外的彎曲力矩 Mz:轉矩
圖1是顯示第1實施形態的轉矩感測器之支撐裝置之一例的截面圖。
圖2是顯示第2實施形態的轉矩感測器之支撐裝置之一例的截面圖。
圖3是顯示可適用本實施形態的機械手臂之一例的立體圖。
圖4是顯示可適用本實施形態的轉矩感測器之一例的平面圖。
圖5是顯示機械手臂的旋轉角度與感測器輸出的關係的圖,並且是比較本實施形態與比較例而顯示的圖。
圖6是為了說明在轉矩感測器所產生的彎曲力矩而顯示的圖。
圖7是顯示第3實施形態的轉矩感測器之支撐裝置之一例的截面圖。
圖8是顯示第4實施形態的轉矩感測器之支撐裝置之一例的截面圖。
20:滾珠軸承(軸承)
21:外圈(第1支撐體)
22:內圈(第2支撐體)
23:滾珠
31:基台
32:第1手臂
36:第1驅動部
36a:馬達
36a-1:軸桿
36b:減速機
36b-1:外殼
36b-2:輸出軸
36b-3:軸承
40:轉矩感測器
41:第1構造體
42:第2構造體
43:第3構造體
J1:第1關節

Claims (14)

  1. 一種轉矩感測器之支撐裝置,具備: 第1構造體; 第2構造體; 第3構造體,設置於前述第1構造體與前述第2構造體之間;及 至少2個感測部,設置於前述第1構造體與前述第2構造體之間, 前述轉矩感測器之支撐裝置具備: 第1安裝部,設置於前述第1構造體; 第2安裝部,連結於前述第2構造體,並且會被施加轉矩; 第1支撐體,設置於前述第1安裝部; 第2支撐體,與前述第2構造體連動;及 複數個旋轉體,設置於前述第1支撐體與前述第2支撐體之間。
  2. 一種轉矩感測器之支撐裝置,具備: 第1構造體; 第2構造體; 第3構造體,設置於前述第1構造體與前述第2構造體之間;及 至少2個感測部,設置於前述第1構造體與前述第2構造體之間, 前述轉矩感測器之支撐裝置具備: 第1安裝部,設置於前述第2構造體; 第2安裝部,設置於前述第1構造體,並且會被施加轉矩; 第1支撐體,設置於前述第1安裝部; 第2支撐體,連結於前述第2安裝部;及 複數個旋轉體,設置於前述第1支撐體與前述第2支撐體之間。
  3. 一種轉矩感測器之支撐裝置,具備: 第1構造體; 第2構造體; 第3構造體,設置於前述第1構造體與前述第2構造體之間;及 至少2個感測部,設置於前述第1構造體與前述第2構造體之間, 前述轉矩感測器之支撐裝置具備: 第1安裝部,設置於前述第1構造體; 第2安裝部,連結於前述第2構造體; 溝,設置於與前述第1安裝部之對應於前述第2構造體的位置;及 複數個旋轉體,設置於前述溝內,並且接觸於前述第2構造體。
  4. 如請求項1至3中任一項之轉矩感測器之支撐裝置,其中前述第2安裝部包含驅動部。
  5. 如請求項1之轉矩感測器之支撐裝置,其中前述第2安裝部、前述第1支撐體、前述第2支撐體及前述旋轉體是設置在前述轉矩感測器的第1面側,前述第2支撐體是設置在前述第2安裝部。
  6. 如請求項1之轉矩感測器之支撐裝置,其中前述第2安裝部是設置在前述轉矩感測器的第1面側,前述第1支撐體、前述第2支撐體及前述旋轉體是設置在前述轉矩感測器之與前述第1面為相反的第2面側,前述轉矩感測器之支撐裝置更具備設置在前述第2支撐體與前述第2構造體之間的第4支撐體。
  7. 如請求項1至3中任一項之轉矩感測器之支撐裝置,其中前述旋轉體為滾珠與滾子的其中一種。
  8. 如請求項1或2之轉矩感測器之支撐裝置,其中包含前述第1支撐體、前述第2支撐體、及複數個前述旋轉體的前述轉矩感測器之支撐裝置為滾動軸承。
  9. 如請求項7之轉矩感測器之支撐裝置,其中前述旋轉體的材料為包含鐵的材料。
  10. 如請求項7之轉矩感測器之支撐裝置,其中前述旋轉體的材料為陶瓷。
  11. 如請求項7之轉矩感測器之支撐裝置,其中前述旋轉體的數量為4個以上,且各旋轉體是等間隔地配置。
  12. 如請求項7之轉矩感測器之支撐裝置,其中前述各旋轉體是配置在同一半徑上。
  13. 如請求項7之轉矩感測器之支撐裝置,其中前述旋轉體的數量為4個的情況下,各旋轉體是以1個前述感測部為基準而配置在45°、135°、225°、315°的位置上。
  14. 如請求項1或2之轉矩感測器之支撐裝置,其中包含前述第1支撐體、前述第2支撐體、及前述旋轉體的支撐裝置的剛性是等於或大於前述第3構造體。
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Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6910990B2 (ja) * 2018-07-02 2021-07-28 日本電産コパル電子株式会社 トルクセンサの支持装置

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05223665A (ja) * 1992-02-18 1993-08-31 Fujitsu Ltd モータのトルク検出部
CN102235926A (zh) * 2010-03-30 2011-11-09 索尼公司 扭矩传感器和机器人装置
EP2775269A1 (en) * 2011-10-31 2014-09-10 NSK Ltd. Torque detection device and electric power steering device
TW201616108A (zh) * 2014-10-23 2016-05-01 Matatakitoyo Tool Co Ltd 扭矩測量機構
US20170205296A1 (en) * 2016-01-19 2017-07-20 Ati Industrial Automation, Inc. Force/torque sensor having instrumentation on fewer than four beam surfaces
JP2018091813A (ja) * 2016-12-07 2018-06-14 日本電産コパル電子株式会社 トルクセンサ

Family Cites Families (26)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4754652A (en) * 1986-11-04 1988-07-05 General Electric Company Apparatus for measuring torque
GB2238623A (en) * 1989-11-24 1991-06-05 Mecmesin Ltd Torque measuring apparatus
JPH1194662A (ja) * 1997-09-16 1999-04-09 Shin Nikkei Co Ltd ネジの締付力及び締付トルク測定装置
JP3861478B2 (ja) * 1998-11-02 2006-12-20 株式会社明電舎 鉄道車両用ブレーキ試験装置
JP2005069402A (ja) * 2003-08-26 2005-03-17 Harmonic Drive Syst Ind Co Ltd トルク検出機構付き波動歯車装置
JP5180483B2 (ja) * 2006-03-28 2013-04-10 本田技研工業株式会社 トルクセンサの製造方法
JP2009288198A (ja) * 2008-05-30 2009-12-10 Sony Corp トルク計測装置並びにアクチュエータ駆動制御システム
JP2010169586A (ja) 2009-01-23 2010-08-05 Minebea Co Ltd トルク量変換器
CN101865275B (zh) * 2010-05-28 2012-10-24 上海应用技术学院 与减速器组合在一起的扭矩传感器
JP4963134B2 (ja) * 2010-11-25 2012-06-27 株式会社トライフォース・マネジメント トルクセンサ
WO2012141170A1 (ja) * 2011-04-12 2012-10-18 国際計測器株式会社 回転ねじり試験機
DE102011085299A1 (de) * 2011-10-27 2013-05-02 Siemens Aktiengesellschaft Getriebe für industrielle Anwendungen oder Windkraftanlagen
JP5699904B2 (ja) 2011-10-28 2015-04-15 トヨタ自動車株式会社 起歪体及びトルクセンサ
US9293962B2 (en) * 2012-03-30 2016-03-22 Korea Institute Of Machinery & Materials Hollow driving module
WO2014110682A1 (en) * 2013-01-18 2014-07-24 Robotiq Inc. Force/torque sensor, apparatus and method for robot teaching and operation
JP5926858B2 (ja) * 2013-03-28 2016-05-25 株式会社フジキン 圧力検出器の取付け構造
JP6135408B2 (ja) 2013-09-04 2017-05-31 トヨタ自動車株式会社 トルクセンサ、駆動装置、及びロボット
CN105723198B (zh) * 2013-11-05 2019-11-05 日本精工株式会社 力觉传感器
DE202013105036U1 (de) * 2013-11-08 2015-02-10 Daimler Ag Erfassungseinrichtung
JP6500649B2 (ja) * 2014-11-19 2019-04-17 日本精工株式会社 トルク測定装置付回転伝達装置
CN204239655U (zh) * 2014-11-19 2015-04-01 中国科学院沈阳自动化研究所 能够测量输出扭矩的柔性传动装置
US9751220B2 (en) * 2015-03-31 2017-09-05 Google Inc. Flexure based torque sensor
CN204831658U (zh) * 2015-05-07 2015-12-02 晋西工业集团有限责任公司 一种抗高弯矩的扭矩测量装置
US10295419B2 (en) * 2016-02-24 2019-05-21 Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha Actuator
JP2017172983A (ja) 2016-03-18 2017-09-28 株式会社安川電機 ロボット及びトルクセンサ
CN106826906B (zh) * 2017-02-27 2019-03-05 哈尔滨工业大学深圳研究生院 一种无力矩传感器的机械臂模块化关节

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05223665A (ja) * 1992-02-18 1993-08-31 Fujitsu Ltd モータのトルク検出部
CN102235926A (zh) * 2010-03-30 2011-11-09 索尼公司 扭矩传感器和机器人装置
EP2775269A1 (en) * 2011-10-31 2014-09-10 NSK Ltd. Torque detection device and electric power steering device
TW201616108A (zh) * 2014-10-23 2016-05-01 Matatakitoyo Tool Co Ltd 扭矩測量機構
US20170205296A1 (en) * 2016-01-19 2017-07-20 Ati Industrial Automation, Inc. Force/torque sensor having instrumentation on fewer than four beam surfaces
JP2018091813A (ja) * 2016-12-07 2018-06-14 日本電産コパル電子株式会社 トルクセンサ

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Publication number Publication date
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JP6910991B2 (ja) 2021-07-28
TW202016522A (zh) 2020-05-01
WO2020008718A1 (ja) 2020-01-09

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