TWI801929B - 定位台 - Google Patents

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TWI801929B
TWI801929B TW110125459A TW110125459A TWI801929B TW I801929 B TWI801929 B TW I801929B TW 110125459 A TW110125459 A TW 110125459A TW 110125459 A TW110125459 A TW 110125459A TW I801929 B TWI801929 B TW I801929B
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宮本英司
高木研太朗
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日商喜海斯特股份有限公司
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Abstract

提供一種定位單位及定位台，可進行一維方向或二維方向(平面方向)之高精度的定位。

定位單元及使用此定位單元的定位台，此定位單元，包括：固定於基板之上的第一軌道；可滑動地裝設於此第一軌道的側面具備相對於基板垂直之傾斜面的第一滑動構件；連結與此第一滑動構件，並設置於上述基板的驅動沿著第一滑動構件的軌道之前進後退運動的直線運動驅動裝置；在上述基板之上，固定成與第一軌道交叉的第二軌道；及可滑動地裝設於此第二軌道的側面具備相對於上述基板垂直之傾斜面的第二滑動構件，組合第一滑動構件與第二滑動構件，藉著沿該等的傾斜面彼此接觸的狀態之直線運動裝置的作動進行的第一滑動構件的軌道的前進後退運動進行第二滑動構件沿著軌道的後退前進運動。

Description

定位台
本發明是有關也稱為調整台的定位台，及尤其是可作為定位台的台移動機構有效地利用的定位單元。
自以往，在進行各種的材料的加工時以將其材料載放於平面板(稱台或者載台)之上的狀態在平面方向移動，在預定的位置停止之後，作為在其平面板之上進行材料的加工用的裝置，又稱為調整載台的定位台為一般所使用。
定位台的代表性的形式，包括：載放材料的台的朝一維方向的移動及利用於其後的加工的一維方向移動台；利用於二維方向(平面方向)的移動及其後之加工的稱為XY載台或XYθ載台的二維方向移動台；及利用於三維方向(平面方向+高度方向)的移動及其後的加工之一般稱為XYZ載台的三維方向移動台。
定位台，通常是由稱為台或載台的平面板，及裝設於其平面板的使平面板在預定的位置移動，具有在其位置停止假固定的功能的一個或複數個定位單元所構成。定位單元是通常由裝設於平面板的一個或複數個直線 滑移構件，及驅動各個直線滑移構件的一維方向的移動的驅動構件所構成，其驅動構件是固定在另外準備的基盤之上。並且，在載放的材料進行一維方向的移動及預定位置的戰時固定的一維移動台中，使用固定於基盤的一個定位單元或一個定位單元與滑動構件的組合為一般。
另一方面，進行加工材料在二維方向(平面方向)的移動及在預定位置的停止與假固定的定位台是通常使用固定於基盤的複數個(二至四個為一般)的定位單元，將台朝著期待的位置移動，進行假固定。
又，進行加工材料的三維方向的移動及預定位置之假固定的一般稱為XYZ載台的定位台中，一般，構成為使用固定於基盤的複數個(二至四個為一般)定位單元可進行平行方向的移動，進一步將平面方向朝著縱向(高度方向)移動，組合固定的定位單元，將加工材料移動至預定的位置之後，在其外置進行假固定。
並且又使得載放加工材料後的平面板僅朝著縱向(高度方向)移動，假固定的Z軸定位單元與台也已為人知。
作為進行到此說明的定位對象之材料的二維方向的移動與假固定的定位台有種種的構成已為人知。其例為可舉在以下記載的專利文獻揭示的構成。
二維定位台(XY載台)：專利文獻1、專利文獻2、專利文獻3、專利文獻4
XZ台：專利文獻5
三維定位台：專利文獻6、專利文獻7 [先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本特開平8-252733號公報 [專利文獻2]日本特開平10-519號公報 [專利文獻3]日本特開2008-34645號公報 [專利文獻4]日本特開2010-274429號公報 [專利文獻5]日本公開實用60-109833號公報 [專利文獻6]日本特許第5490650號公報 [專利文獻7]日本特許第5767473號公報
[發明所欲解決之問題]
無論任何形式的定位台，以簡實的構成與簡單的操作，可確實地實現高精度的定位為重要。但是，至此為人所知的定位台的多數並不具有可充份滿足如以上的點。
因此，本發明的目的為提供一種由簡實的構成所成，並藉著簡單的操作動作，可進行高精度的定位的定位台，及有利地使用如此定位台之台移動機構的定位單元。 [用於解決課題的手段]
本發明為以下記載的定位單元，及定位台。
[定位單元] 包括：基板；固定在此基板上的第一軌道；可滑動地裝設於此第一軌道的側面具備相對於基板垂直之傾斜面的第一滑動構件；連結於此第一滑動構件，並設置於上述基板的驅動沿著第一滑動構件的第一軌道之前進後退運動的直線運動驅動裝置；在上述基板之上，固定成與第一軌道交叉的第二軌道；及可滑動地裝設於此第二軌道的側面具備相對於上述基板垂直之傾斜面的第二滑動構件， 組合第一滑動構件與第二滑動構件，藉著沿該等的傾斜面彼此接觸的狀態之直線運動裝置的作動進行的第一滑動構件的第一軌道的前進後退運動進行第二滑動構件沿著第二軌道的後退前進運動。
[定位台] (1) 使用本發明的定位單元，在其第二滑動構件的頂面載放著台的一維方向定位台。
(2) 在另外準備有本發明之定位單元的基板的基盤之上，以使得沿著定位單元的第二軌道的方向擴展的形式配置固定，在此基盤之上設有朝著與定位單元的第二軌道相同的方向延伸的一對直線導件，並在第二滑動構件的頂面與上述基盤平行載放固定著台，藉著第二滑動構件的前進後退運動構成使上述台進行與第二滑動構件之前進後退運動相同方向的前進後退運動之後，在其位置進行假固定的一維方向定位台。
(3) 包括：設置在平面狀基盤之上的本發明的定位單元A；載放固定於定位單元A的第二滑動構件的頂面的台A；在與定位單元A交叉的方向設置於台A之上的本發明的定位單元B；及與台A平行載放於定位單元B之第二滑動構件的頂面的台B， 組合定位單元A的第一滑動構件的前進後退運動及定位單元B的第一滑動構件的前進後退運動，藉此可進行沿著台B的X軸及Y軸移動的XY軸定位台。
(4) 三個本發明的定位單元A、B、C是在平面狀基盤之上，使定位單元A與定位單元C彼此成平行，並且將定位單元B與定位單元A交叉地組合設置所形成的定位單元組；及跨各定位單元的第二滑動構件的頂面載放固定之一片的台所構成， 組合定位單元A、B、C，可藉著各個定位單元的直線運動驅動裝置的作動進行之各定位單元的第二滑動構件的後退前進運動，使上述台進行沿著X軸與Y軸的移動及沿著台平面的旋轉運動所成的XYθ定位台。
(5) 四個本發明的定位單元A、B、C、D是在平面狀基盤之上，使定位單元A與定位單元C彼此，及定位單元1B與定位單元1D彼此成平行且與定位單元A成直角交叉的方式組合形成的定位單元組；及跨各定位單元的第二滑動構件的頂面載放固定之一片的台所構成， 組合定位單元A、B、C、D，可藉著各個定位單元的直線運動驅動裝置的作動進行之各定位單元的第二滑動構件的後退前進運動，使上述台進行沿著X軸與Y軸的移動及沿著台平面的旋轉運動所成的XYθ定位台。 [用於解決課題的手段]
本發明的定位單元為簡實的構成，並可藉簡單的操作動作，有利於使用作為可進行高精度的確實定位之定位台的台移動機構。尤其是本發明的定位單元中，將與直線運動驅動裝置聯繫的滑動構件分割成第一滑動構件與第二滑動構件，並將此第一滑動構件直接連結於直線運動驅動裝置的另一方面，並非在此直線運動驅動裝置連結第二滑動構件，而是將從第一滑動構件朝第二滑動構件之驅動力(移動能源)的傳達，使得各個側面具備的斜面彼此接觸來實現，因此具有第一滑動構件將自身的移動能源傳達至第二滑動構件之後不易將靜止的第一滑動構件容易產生的不穩定靜止(擺動)傳達至第二滑動構件的優點。因此，可以使裝設置在第一滑動構件及第二滑動構件的台的靜止更為確實。
接著，一邊參閱添附圖示，一邊詳細說明根據本發明的定位單元與定位台。
將本發明的定位單元的代表性構成，表示於圖1至圖6。圖1與圖2是表示本發明的定位單元位在基本位置的狀態的透視圖，圖3與圖4，及圖5與圖6是表示圖1之定位單元的兩個滑動構件移動狀態的圖。
添附圖示的圖1至圖6中，定位單元1包括：基板2；固定於此基板2之上的第一軌道3；可滑動地裝設於此第一軌道3之側面具備相對於基板2垂直的傾斜面4a的第一滑動構件4；驅動與此第一滑動構件4連結設置在上述基板2並沿著第一滑動構件4的軌道3的前進後退運動的直線運動驅動裝置5；在上述基板2之上，固定成與第一軌道3交叉的第二軌道6；及在側面具備可滑動的裝設於此第二軌道6的相對於上述基板2垂直之傾斜面7a的第二滑動構件7，組合第一滑動構件4與第二滑動構件7，藉著沿該等的傾斜面4a、7a彼此接觸的狀態之上述直線運動裝置5的作動進行的第一滑動構件4的第一軌道3的前進後退運動進行第二滑動構件7沿著第二軌道6的後退前進運動所構成。
本發明的定位單元之較佳構成的例是可舉以下的構成。 (1) 第一滑動構件4的側面的傾斜面4a是在與直線運動驅動裝置5側的相反側形成如與第一軌道3的側面接近之角度的傾斜面。 (2) 在第二滑動構件7的頂面裝設有平面構件8。 (3) 直線運動驅動裝置5是由：表面形成有螺旋槽的轉軸9；連結於此轉軸9的一方端部的馬達10；及固定於基板2，可旋轉地收容支撐上述轉軸9的轉軸支撐件11所構成， 第一滑動構件4具有開口4b，此開口4b具有在其內部形成有與上述轉軸9的螺旋槽螺合的螺旋槽的內周圍面，藉著上述直線運動驅動裝置5之馬達10的旋轉，上述轉軸9在第一滑動構件4的開口4b的內部旋轉藉此使第一滑動構件4前進後退。 (4) 在上述第一滑動構件4的傾斜面4a與上述第二滑動構件7的傾斜面7a分別具有一對可彼此滑動的滑動件12，透過該等的滑動件12使第一滑動構件4的傾斜面4a與上述第二滑動構件7的傾斜面7a接觸。
接著，針對構成本發明的定位單元的基板與各種的構件詳細說明。
本發明的定位單元中，實現定位單元的各種的零組件是直接或間接地固定或設置在基板2之上。亦即，第一軌道3與第二軌道6是一起彼此交叉地設置固定於基板上。並且，第一滑動構件4與第二滑動構件7是分別裝設可在第一軌道3與第二軌道6上滑動。
第一滑動構件4是進行沿著第一軌道3的前進運動與後退運動(亦即，前進後退運動)。此第一滑動構件4的前進後退運動是在基板設置直線運動驅動裝置5，藉其動作實現為佳。直線運動驅動裝置5是以表面形成有螺旋槽的轉軸9；連結於此轉軸9的一方端部的馬達10；及固定於上述基板2，可旋轉地收容支撐上述轉軸9的轉軸支撐件11構成為佳。並且，第一滑動構件4具有開口4b，此開口4b具有在其內部形成有與上述轉軸9的螺旋槽螺合的螺旋槽的內周圍面，藉著上述直線運動驅動裝置5之馬達10的旋轉，上述轉軸9在第一滑動構件4的開口4b的內部旋轉藉此使第一滑動構件4前進後退。
組合第一滑動構件4與第二滑動構件7使該等的傾斜面4a、7a成為彼此接觸的狀態。並且，組合藉著沿直線運動裝置5作動進行的第一滑動構件4的第一軌道3的前進後退運動進行第二滑動構件7沿著第二軌道6的後退前進運動。亦即，在第一滑動構件4前進時第二滑動構件7後退，及第一滑動構件4後退時第二滑動構件7前進。
並且，以在第一滑動構件4的傾斜面4a與上述第二滑動構件7的傾斜面7a分別具有一對可彼此滑動的滑動件12，透過該等的滑動件12使第一滑動構件4的傾斜面4a與上述第二滑動構件7的傾斜面7a接觸為佳。
接著，參閱圖7至圖11說明本發明的定位台的代表性構成與其作動。本發明的定位台是如以往熟知，並使用的各種定位台中，具有將裝設於台(載台)的定位單元取代為本發明之定位單元的構成。根據所需，也可以僅置換以往熟知，裝設於所使用的各種的定位台之定位單元的一部分的構成。
圖7是表示根據本發明的一維方向定位台之一例的構成的上面圖(A)與前面圖(B)。
圖7是表示本發明的一維方向定位台具有在本發明的定位單元1的第二滑動構件的頂面，透過平面構件8載放有台(載台)13的構成。並且，平面構件8雖是用於提升在台(載台)13的第二滑動構件的頂面之固定的穩定性，但此平面構件8並非是必要的構件。
圖8是表示根據本發明的一維方向定位台之其他的構成例的上面圖。
圖8是表示根據本發明的一維方向定位台是將本發明的定位單元1的基板2，以沿著定位單元1的第二軌道6的方向擴展的形式配置固定在其他準備的基盤14之上，並且在基盤14之上設置有朝著與定位單元1的第二軌道6相同的方向延伸的一對直線導件15、16，並將台13透過平面構件8與基盤14平行地載放固定於第二滑動構件7的頂面，藉著第二滑動構件7的前進後退運動構成使得台13在朝著與第二滑動構件7的前進後退運動(圖中是以兩方向箭頭表示)相同的方向進行前進後退運動之後，以其位置進行假固定。
並且，圖8的一維方向定位台中，不需另外準備基盤14，也可以將定位單元1的基板2以沿著第二軌道6的方向擴展的形式取代基盤14。
圖9是表示根據本發明的二維方向(二軸)定位台(XY載台)的構成例的上面圖(A)與前面圖(B)。
圖9的二維方向定位台，包括：設置在平面狀基盤之上的本發明的定位單元1A；載放固定於定位單元1A之第二滑動構件的頂面的台A；在與定位單元1A交叉的方向設置於台A之上的本發明的定位單元1B；及與台A平行地載放固定於定位單元1B之第二滑動構件的頂面的台B， 組合定位單元1A的第一滑動構件的前進後退運動及定位單元1B(13)的第一滑動構件的前進後退運動，藉此成為可沿著台B的X軸及Y軸移動的XY軸定位台。
並且，圖9的XY軸定位台中，不需另外準備基盤14，也可以將定位單元1的基板2以沿著第二軌道6的方向擴展的形式取代基盤14。
圖10是表示根據本發明的XYθ定位台(XYθ載台)之構成例的上面圖及從四方的各側面圖。
圖10的定位台是使得三個本發明的定位台1A、1B、1C在平面狀基盤14之上，以定位單元1A與定位單元1C成為彼此平行的方式，且定位單元1B是與定位單元1A成直角交叉的方式組合設置所形成的定位單元，及跨各定位單元1A、1B、1C的第二滑動構件的頂面載放固定之一片的台13所構成， 以組合定位單元1A、1B、1C藉著各個定位單元的直線運動驅動裝置的作動進行各定位單元之第二滑動構件的後退前進動作使上述台進行沿著X軸與Y軸的移動及沿著台平面的旋轉運動所構成的XYθ定位台。
圖11是表示根據本發明的XYθ定位台(XYθ載台)之其他構成例的上面圖及從四方的各側面圖。
圖11的定位台是使得四個本發明的定位台1A、1B、1C、1D在平面狀基盤14之上，以定位單元1A與定位單元1C成為彼此平行的方式，並且以定位單元1B與定位台1D彼此平行且與定位單元1A成直角交叉的方式組合形成的定位單元組，及跨各定位單元的第二滑動構件的頂面載放固定之一片的台13所構成， 以組合定位單元1A、1B、1C、1D藉著各個定位單元的直線運動驅動裝置的作動進行各定位單元之第二滑動構件的後退前進動作使上述台進行沿著X軸與Y軸的移動及沿著台平面的旋轉運動所成的XYθ定位台。
1:定位單元 1A:定位單元 1B:定位單元 1C:定位單元 1D:定位單元 2:基板 3:第一軌道 4:第一滑動構件 4a:傾斜面 4b:開口 5:直線運動驅動裝置 6:第二軌道 7:第二滑動構件 7a:傾斜面 8:平面構件 9:轉軸 10:馬達 11:轉軸支撐件 12:滑動件 13:台(載台) 14:基盤
[圖1]是表示根據本發明的定位單元之一例的構成的透視圖。 [圖2]是表示從圖1表示之定位單元的第二滑動構件側看去的圖的透視圖。 [圖3]是表示藉圖1表示之定位單元的作動(第一滑動構件的前進)進行第一滑動構件的移動與第二滑動構件的移動(後退)的說明圖。 [圖4]是位於圖1的狀態之定位單元的上面圖、前面圖及左側側面圖。 [圖5]是表示藉圖1表示之定位單元的作動(第一滑動構件的後退)進行第一滑動構件的移動與第二滑動構件的移動(前進)的說明圖。 [圖6]是位於圖5的狀態之定位單元的上面圖、前面圖及左側側面圖。 [圖7]是表示根據本發明的一維方向定位台之一例的構成的上面圖與前面圖。 [圖8]是表示根據本發明的一維方向定位台之其他的構成例的上面圖。 [圖9]是表示根據本發明的二維方向定位台(XY載台)之一例的構成的上面圖與前面圖。 [圖10]是表示根據本發明的二維方向定位台(XYθ載台)之一例的構成的上面圖、前面圖、後面圖、左側面圖及右側面圖。 [圖11]是表示根據本發明的二維方向定位台(XYθ載台)之其他的構成例的上面圖、前面圖、後面圖、左側面圖及右側面圖。
1:定位單元
2:基板
3:第一軌道
4:第一滑動構件
4b:開口
5:直線運動驅動裝置
7:第二滑動構件
8:平面構件
9:轉軸
10:馬達
11:轉軸支撐件

Claims (4)

  1. 一種定位台，其係用以進行一維方向之定位，該定位台係如下述般構成：準備定位單元，該定位單元包括：基板；固定在此基板之上的第一軌道；可滑動地裝設於此第一軌道之在側面具備相對於基板垂直之傾斜面的第一滑動構件；連結於此第一滑動構件，並設置於上述基板的驅動沿著第一滑動構件的第一軌道之前進後退運動的直線運動驅動裝置；在上述基板之上，固定成與第一軌道交叉的第二軌道；及可滑動地裝設於此第二軌道之在側面具備相對於上述基板垂直之傾斜面的第二滑動構件，並係將第一滑動構件與第二滑動構件以能夠藉著該等的傾斜面彼此接觸的狀態下之上述直線運動驅動裝置的作動而產生的第一滑動構件的前進後退運動來進行第二滑動構件沿著第二軌道的後退前進運動的方式進行組合所成，以沿著該定位單元的第二軌道的方向擴展的形式將該定位單元的基板配置固定於另外準備的基盤之上，在該基盤之上設有朝著與定位單元的第二軌道相同的方向延伸的一對直線導件，並在第二滑動構件的頂面與上述基盤平行配置固定著台，在藉著第二滑動構件的前進後退運動使上述台進行與第二滑動構件之前進後退運動相同方向的前進後退運動之後，在其位置停止。
  2. 一種定位台，其係用以進行沿著XY軸之定位，該定位台係如下述般構成：準備定位單元A於另外 準備的平面狀基盤之上，該定位單元A包括：基板；固定在此基板之上的第一軌道；可滑動地裝設於此第一軌道之在側面具備相對於基板垂直之傾斜面的第一滑動構件；連結於此第一滑動構件，並設置於上述基板的驅動沿著第一滑動構件的第一軌道之前進後退運動的直線運動驅動裝置；在上述基板之上，固定成與第一軌道交叉的第二軌道；及可滑動地裝設於此第二軌道之在側面具備相對於上述基板垂直之傾斜面並在頂面配置固定有台A的第二滑動構件，並係將第一滑動構件與第二滑動構件以能夠藉著該等的傾斜面彼此接觸的狀態下之上述直線運動驅動裝置的作動而產生的第一滑動構件的前進後退運動來進行第二滑動構件沿著第二軌道的後退前進運動的方式進行組合所成，並且在與定位單元A交叉的方向上將定位單元B設置於上述平面狀基盤之上，該定位單元B包括：基板；固定在此基板之上的第一軌道；可滑動地裝設於此第一軌道之在側面具備相對於基板垂直之傾斜面的第一滑動構件；連結於此第一滑動構件，並設置於上述基板的驅動沿著第一滑動構件的第一軌道之前進後退運動的直線運動驅動裝置；在上述基板之上，固定成與第一軌道交叉的第二軌道；及可滑動地裝設於此第二軌道之在側面具備相對於上述基板垂直之傾斜面並在頂面配置固定有台B的第二滑動構件，並係將第一滑動構件與第二滑動構件以能夠藉著該等的傾斜面彼此接觸的狀態下之上述直線運動驅動裝置的 作動而產生的第一滑動構件的前進後退運動來進行第二滑動構件沿著第二軌道的後退前進運動的方式進行組合所成，將定位單元A的第一滑動構件的前進後退運動及定位單元B的第一滑動構件的前進後退運動進行組合，藉此使得台B可沿著X軸及Y軸移動。
  3. 一種定位台，其係用以進行沿著XYθ軸之定位，該定位台係如下述般構成：準備定位單元A、定位單元B、以及定位單元C，該定位單元A包括：基板；固定在此基板之上的第一軌道；可滑動地裝設於此第一軌道之在側面具備相對於基板垂直之傾斜面的第一滑動構件；連結於此第一滑動構件，並設置於上述基板的驅動沿著第一滑動構件的第一軌道之前進後退運動的直線運動驅動裝置；在上述基板之上，固定成與第一軌道交叉的第二軌道；及可滑動地裝設於此第二軌道之在側面具備相對於上述基板垂直之傾斜面的第二滑動構件，並係將第一滑動構件與第二滑動構件以能夠藉著該等的傾斜面彼此接觸的狀態下之上述直線運動驅動裝置的作動而產生的第一滑動構件的前進後退運動來進行第二滑動構件沿著第二軌道的後退前進運動的方式進行組合所成，該定位單元B包括：基板；固定在此基板之上的第一軌道；可滑動地裝設於此第一軌道之在側面具備相對於基板垂直之傾斜面的第一滑動構件；連結於此第一滑動構件，並設置於上述基板的驅動沿著第一滑動構件的第一軌 道之前進後退運動的直線運動驅動裝置；在上述基板之上，固定成與第一軌道交叉的第二軌道；及可滑動地裝設於此第二軌道之在側面具備相對於上述基板垂直之傾斜面的第二滑動構件，並係將第一滑動構件與第二滑動構件以能夠藉著該等的傾斜面彼此接觸的狀態下之上述直線運動驅動裝置的作動而產生的第一滑動構件的前進後退運動來進行第二滑動構件沿著第二軌道的後退前進運動的方式進行組合所成，該定位單元C包括：基板；固定在此基板之上的第一軌道；可滑動地裝設於此第一軌道之在側面具備相對於基板垂直之傾斜面的第一滑動構件；連結於此第一滑動構件，並設置於上述基板的驅動沿著第一滑動構件的第一軌道之前進後退運動的直線運動驅動裝置；在上述基板之上，固定成與第一軌道交叉的第二軌道；及可滑動地裝設於此第二軌道之在側面具備相對於上述基板垂直之傾斜面的第二滑動構件，並係將第一滑動構件與第二滑動構件以能夠藉著該等的傾斜面彼此接觸的狀態下之上述直線運動驅動裝置的作動而產生的第一滑動構件的前進後退運動來進行第二滑動構件沿著第二軌道的後退前進運動的方式進行組合所成，將以定位單元A的第一軌道與定位單元C的第一軌道彼此平行，且定位單元B的第一軌道與定位單元A的第一軌道交叉的方式組合設置所形成的定位組設置於另外準備的平面狀基盤之上，並且定位單元A、B、C係以跨各個定 位單元的第二滑動構件的頂面的方式配置固定有一片的台，並以能夠藉由各個定位單元的直線運動驅動裝置的作動所致之各定位單元的第二滑動構件的後退前進運動，來使上述台進行沿著X軸與Y軸的移動及/或沿著台平面的旋轉運動的方式進行組合。
  4. 一種定位台，其係用以進行沿著XYθ軸之定位，該定位台係如下述般構成：將以定位單元A的第一軌道與定位單元C的第一軌道彼此平行，且定位單元B的第一軌道與定位單元A的第一軌道交叉的方式組合設置定位單元A、定位單元B、定位單元C、以及定位單元D之各個所形成的定位組設置於另外準備的平面狀基盤之上，並且以跨各個定位單元的第二滑動構件的頂面的方式配置固定有一片的台，該定位單元A包括：基板；固定在此基板之上的第一軌道；可滑動地裝設於此第一軌道之在側面具備相對於基板垂直之傾斜面的第一滑動構件；連結於此第一滑動構件，並設置於上述基板的驅動沿著第一滑動構件的第一軌道之前進後退運動的直線運動驅動裝置；在上述基板之上，固定成與第一軌道交叉的第二軌道；及可滑動地裝設於此第二軌道之在側面具備相對於上述基板垂直之傾斜面的第二滑動構件，並係將第一滑動構件與第二滑動構件以能夠藉著該等的傾斜面彼此接觸的狀態下之上述直線運動驅動裝置的作動而產生的第一滑動構件的前進後退運動來進行第二滑動構件沿著第二軌道的後退前進運動的方式進 行組合所成，該定位單元B包括：基板；固定在此基板之上的第一軌道；可滑動地裝設於此第一軌道之在側面具備相對於基板垂直之傾斜面的第一滑動構件；連結於此第一滑動構件，並設置於上述基板的驅動沿著第一滑動構件的第一軌道之前進後退運動的直線運動驅動裝置；在上述基板之上，固定成與第一軌道交叉的第二軌道；及可滑動地裝設於此第二軌道之在側面具備相對於上述基板垂直之傾斜面的第二滑動構件，並係將第一滑動構件與第二滑動構件以能夠藉著該等的傾斜面彼此接觸的狀態下之上述直線運動驅動裝置的作動而產生的第一滑動構件的前進後退運動來進行第二滑動構件沿著第二軌道的後退前進運動的方式進行組合所成，該定位單元C包括：基板；固定在此基板之上的第一軌道；可滑動地裝設於此第一軌道之在側面具備相對於基板垂直之傾斜面的第一滑動構件；連結於此第一滑動構件，並設置於上述基板的驅動沿著第一滑動構件的第一軌道之前進後退運動的直線運動驅動裝置；在上述基板之上，固定成與第一軌道交叉的第二軌道；及可滑動地裝設於此第二軌道之在側面具備相對於上述基板垂直之傾斜面的第二滑動構件，並係將第一滑動構件與第二滑動構件以能夠藉著該等的傾斜面彼此接觸的狀態下之上述直線運動驅動裝置的作動而產生的第一滑動構件的前進後退運動來進行第二滑動構件沿著第二軌道的後退前進運動的方式進 行組合所成，該定位單元D包括：基板；固定在此基板之上的第一軌道；可滑動地裝設於此第一軌道之在側面具備相對於基板垂直之傾斜面的第一滑動構件；連結於此第一滑動構件，並設置於上述基板的驅動沿著第一滑動構件的第一軌道之前進後退運動的直線運動驅動裝置；在上述基板之上，固定成與第一軌道交叉的第二軌道；及可滑動地裝設於此第二軌道之在側面具備相對於上述基板垂直之傾斜面的第二滑動構件，並係將第一滑動構件與第二滑動構件以能夠藉著該等的傾斜面彼此接觸的狀態下之上述直線運動驅動裝置的作動而產生的第一滑動構件的前進後退運動來進行第二滑動構件沿著第二軌道的後退前進運動的方式進行組合所成，定位單元A、B、C、D係以能夠藉由各個定位單元的直線運動驅動裝置的作動所致之各定位單元的第二滑動構件的後退前進運動，來使上述台進行沿著X軸與Y軸的移動及/或沿著台平面的旋轉運動的方式進行組合。
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