JPH10270490A - 非結合ｘｙｚステージ - Google Patents
非結合ｘｙｚステージInfo
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 物体の３次元の位置決めを効率良く行う。
【解決手段】 本発明は、物体１４０をＸＹＺ方向に位
置決めするためのＸＹＺステージ１００を含む。ステー
ジ１００は、概して水平に移動可能なステージ１０４、
前記ステージをＸ方向に移動させるため前記移動可能な
ステージ１０４に接続される据え付けＸモーター、ステ
ージ１０２をＸ方向とは独立してＹ方向に移動させるた
め前記移動可能なステージ１０４に移動可能に接続され
る据え付けＹモーターを含み、ステージ１００は、ベル
・クランク１３２がＸ方向の軸の廻りをステージを通っ
て垂直な面で回転できるように、ステージ１０４上に回
転可能に取付けられる外部コーナー、及び一端をＹ方向
へ移動させるためベル・クランクのその一端に接続され
る据え付けＺ軸モーターとを有するＬ型ベル・クランク
１３２を有する。従って、ベル・クランクの他端はＺ方
向へ移動する。
置決めするためのＸＹＺステージ１００を含む。ステー
ジ１００は、概して水平に移動可能なステージ１０４、
前記ステージをＸ方向に移動させるため前記移動可能な
ステージ１０４に接続される据え付けＸモーター、ステ
ージ１０２をＸ方向とは独立してＹ方向に移動させるた
め前記移動可能なステージ１０４に移動可能に接続され
る据え付けＹモーターを含み、ステージ１００は、ベル
・クランク１３２がＸ方向の軸の廻りをステージを通っ
て垂直な面で回転できるように、ステージ１０４上に回
転可能に取付けられる外部コーナー、及び一端をＹ方向
へ移動させるためベル・クランクのその一端に接続され
る据え付けＺ軸モーターとを有するＬ型ベル・クランク
１３２を有する。従って、ベル・クランクの他端はＺ方
向へ移動する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は全般的に自動メカニ
カル位置決め装置に関し、更に詳細には３次元の位置決
め装置に関連する。
カル位置決め装置に関し、更に詳細には３次元の位置決
め装置に関連する。
【０００２】
【従来の技術及びその課題】従来の３次元位置決め装置
は典型的に、固定基部表面上に移動可能に取付けられる
Ｘ軸ステージを有し、基部表面に留められ、ねじ及び同
様にＸ軸ステージに固定されるねじ上のナットを駆動す
る、そのサーボモーターを備える。ねじが回転するとナ
ットはＸ方向に移動し、それでＸ軸ステージを移動させ
る。Ｙ軸ステージ・モーターも基部表面上に固定されて
取付けられ、即ち、Ｘステージから非結合であり得る。
この場合、ＹステージはＸ軸ステージの直ぐ上であって
もよく、Ｘ軸に沿って並ぶ延長されたバー或いは「Ｙ方
向バー」のいずれかの上の２本のローラー上に取付けら
れてもよい。Ｙ軸モーターは基部上に取付けられ、
「Ｙ」方向バーに接続されるナットを備えるねじを駆動
する。Ｚ軸サーボ・モーターは典型的にＹステージ上に
取付けられ、プローブなど、Ｚ軸に沿って上及び下へ位
置決めされる部品を移動させるベル・クランクを作動さ
せる。
は典型的に、固定基部表面上に移動可能に取付けられる
Ｘ軸ステージを有し、基部表面に留められ、ねじ及び同
様にＸ軸ステージに固定されるねじ上のナットを駆動す
る、そのサーボモーターを備える。ねじが回転するとナ
ットはＸ方向に移動し、それでＸ軸ステージを移動させ
る。Ｙ軸ステージ・モーターも基部表面上に固定されて
取付けられ、即ち、Ｘステージから非結合であり得る。
この場合、ＹステージはＸ軸ステージの直ぐ上であって
もよく、Ｘ軸に沿って並ぶ延長されたバー或いは「Ｙ方
向バー」のいずれかの上の２本のローラー上に取付けら
れてもよい。Ｙ軸モーターは基部上に取付けられ、
「Ｙ」方向バーに接続されるナットを備えるねじを駆動
する。Ｚ軸サーボ・モーターは典型的にＹステージ上に
取付けられ、プローブなど、Ｚ軸に沿って上及び下へ位
置決めされる部品を移動させるベル・クランクを作動さ
せる。
【０００３】代替例として、図１に示すように、ボンド
・ツール１２を３次元に位置決めするためのＸＹＺステ
ージ１０は、基部１６に固定されるＸ軸モーター１４を
有する。基部１６上にスライド可能に取付けられるのは
Ｘステージ１８であり、ねじ（図示せず）上のナットを
介してＸ軸モーター１４によって基部１６上でＸ方向１
９に前後に移動させられる。Ｙ軸モーター２０はＸステ
ージ１８に留められ、Ｙ軸ステージをＸステージ上でＹ
方向２４に沿って前後に駆動する。Ｚ軸駆動モーター２
６はＹステージ２２上に取付けられ、ボンダ１２をＺ方
向３０に上げ下ろしするようにリンケージ２８を介して
作動し、従って、基部１６に関連してボンダ１２のＸＹ
Ｚ位置決めが提供される。
・ツール１２を３次元に位置決めするためのＸＹＺステ
ージ１０は、基部１６に固定されるＸ軸モーター１４を
有する。基部１６上にスライド可能に取付けられるのは
Ｘステージ１８であり、ねじ（図示せず）上のナットを
介してＸ軸モーター１４によって基部１６上でＸ方向１
９に前後に移動させられる。Ｙ軸モーター２０はＸステ
ージ１８に留められ、Ｙ軸ステージをＸステージ上でＹ
方向２４に沿って前後に駆動する。Ｚ軸駆動モーター２
６はＹステージ２２上に取付けられ、ボンダ１２をＺ方
向３０に上げ下ろしするようにリンケージ２８を介して
作動し、従って、基部１６に関連してボンダ１２のＸＹ
Ｚ位置決めが提供される。
【０００４】上述の設計の主な問題点は、Ｘ及びＹステ
ージ・モーターの両方は、移動の間克服すべき非常に大
きな慣性質量を有することである。Ｘ軸モーター１４
は、Ｙ及びＺモーター、及びＸ、Ｙ、及びＺステージ部
品を含む全アッセンブリを移動させなければならない。
Ｙモーターは、Ｙステージに加えＺモーターを移動させ
ねばならない。このことは多くの用途において問題とは
ならない。しかし、インデックス（index ）が速く頻繁
に成されなければならないとき、トランジット時間は重
大な問題となる。上述のもののようなコンピュータ制御
されたステージの応答時間は、この慣性質量の問題に大
きく制限される。今日の半導体製造においてボンダの位
置決めは、急速に、全処理時間に大きく貢献するものと
なってきている。処理時間を減らすことは、より高いス
ループット及び生産性の増加を意味し、コストが一層低
下する。結果として、慣性質量依存の移動を最小限にす
るＸＹＺステージ設計、及び位置決めされるボンダ又は
他の部品が従来の機械で現在得られるよりも速く位置決
めされ得る設計の必要性がある。
ージ・モーターの両方は、移動の間克服すべき非常に大
きな慣性質量を有することである。Ｘ軸モーター１４
は、Ｙ及びＺモーター、及びＸ、Ｙ、及びＺステージ部
品を含む全アッセンブリを移動させなければならない。
Ｙモーターは、Ｙステージに加えＺモーターを移動させ
ねばならない。このことは多くの用途において問題とは
ならない。しかし、インデックス（index ）が速く頻繁
に成されなければならないとき、トランジット時間は重
大な問題となる。上述のもののようなコンピュータ制御
されたステージの応答時間は、この慣性質量の問題に大
きく制限される。今日の半導体製造においてボンダの位
置決めは、急速に、全処理時間に大きく貢献するものと
なってきている。処理時間を減らすことは、より高いス
ループット及び生産性の増加を意味し、コストが一層低
下する。結果として、慣性質量依存の移動を最小限にす
るＸＹＺステージ設計、及び位置決めされるボンダ又は
他の部品が従来の機械で現在得られるよりも速く位置決
めされ得る設計の必要性がある。
【０００５】
【課題を達成するための手段及び作用】従って、本発明
の一つの目的は、上述で認識された必要性を扱うＸＹＺ
ステージを提供することである。本発明の他の目的は、
任意の方向に移動される慣性質量を減らすＸＹＺステー
ジを提供することである。本発明の別の目的は、Ｙ及び
Ｘ軸ステージからＺモーターを非結合にするため、Ｚモ
ーターがＹ軸モーター上に取付けられているＸＹＺ位置
決め装置を提供することである。
の一つの目的は、上述で認識された必要性を扱うＸＹＺ
ステージを提供することである。本発明の他の目的は、
任意の方向に移動される慣性質量を減らすＸＹＺステー
ジを提供することである。本発明の別の目的は、Ｙ及び
Ｘ軸ステージからＺモーターを非結合にするため、Ｚモ
ーターがＹ軸モーター上に取付けられているＸＹＺ位置
決め装置を提供することである。
【０００６】本発明のこれら及び他の目的、特徴及び利
点は、添付の図面に関連させて以下の詳細な説明を読む
ことによって一層明らかになるであろう。本発明は、本
体物を３次元に位置決めするためのメカニカル・ステー
ジであって、表面上に取付けられ、表面上に位置決めさ
れるべき本体物に結合され、表面上で第１の又はＸ方向
へ本体物を移動させるよう適合された第１の位置決めメ
カニズムを有する。第２の位置決めメカニズムは、表面
上で第２の又はＹ方向へ、即ち、第１の又はＸ方向に直
交して本体物を移動させるため、本体物に取外し可能に
結合される。第３の移動メカニズムは、表面、或いは第
１の又は第２のメカニズムの一つの上に取付けられる。
この第３のメカニズムは、第１及び第２の方向の間に形
成される平面に実質的に垂直な、即ち、Ｘ−Ｙ平面に垂
直な第３の又はＺ方向への本体物の移動のため、本体物
に取外し可能に結合される。
点は、添付の図面に関連させて以下の詳細な説明を読む
ことによって一層明らかになるであろう。本発明は、本
体物を３次元に位置決めするためのメカニカル・ステー
ジであって、表面上に取付けられ、表面上に位置決めさ
れるべき本体物に結合され、表面上で第１の又はＸ方向
へ本体物を移動させるよう適合された第１の位置決めメ
カニズムを有する。第２の位置決めメカニズムは、表面
上で第２の又はＹ方向へ、即ち、第１の又はＸ方向に直
交して本体物を移動させるため、本体物に取外し可能に
結合される。第３の移動メカニズムは、表面、或いは第
１の又は第２のメカニズムの一つの上に取付けられる。
この第３のメカニズムは、第１及び第２の方向の間に形
成される平面に実質的に垂直な、即ち、Ｘ−Ｙ平面に垂
直な第３の又はＺ方向への本体物の移動のため、本体物
に取外し可能に結合される。
【０００７】更に詳細には、本発明は、物体をＸ方向、
前記Ｘ方向に直交するＹ方向、及び前記Ｘ及びＹ方向の
両方に直交するＺ方向に位置決めするためのＸＹＺステ
ージを有する。ステージは、概して水平に移動可能なス
テージと、前記移動可能なステージに接続され前記ステ
ージをＸ方向へ移動させるための据え付けＸモーター
と、前記移動可能なステージに移動可能に接続されステ
ージをＸ方向とは独立してＹ方向へ移動させるための据
え付けＹモーターであって、ステージが、ベル・クラン
クがＸ方向の軸の廻りをステージを通って垂直な面で回
転できるように、ステージ上に軸回転可能（pivotally
）に取付けられる外部コーナーを有するＬ型のベル・
クランクを有し、更に、ベル・クランクの一端に接続さ
れてこの一端をＹ方向へ移動させるための据え付けＺ軸
モーターとを有する。ベル・クランクの他端は、従って
Ｚ方向へ移動する。
前記Ｘ方向に直交するＹ方向、及び前記Ｘ及びＹ方向の
両方に直交するＺ方向に位置決めするためのＸＹＺステ
ージを有する。ステージは、概して水平に移動可能なス
テージと、前記移動可能なステージに接続され前記ステ
ージをＸ方向へ移動させるための据え付けＸモーター
と、前記移動可能なステージに移動可能に接続されステ
ージをＸ方向とは独立してＹ方向へ移動させるための据
え付けＹモーターであって、ステージが、ベル・クラン
クがＸ方向の軸の廻りをステージを通って垂直な面で回
転できるように、ステージ上に軸回転可能（pivotally
）に取付けられる外部コーナーを有するＬ型のベル・
クランクを有し、更に、ベル・クランクの一端に接続さ
れてこの一端をＹ方向へ移動させるための据え付けＺ軸
モーターとを有する。ベル・クランクの他端は、従って
Ｚ方向へ移動する。
【０００８】
【実施例】次に図２を参照すると、本発明に従ったＸＹ
Ｚステージ１００の側部立面略図がワイヤ・ボンダに用
いられて示されている。ＸＹＺステージ１００は、基部
に固定されるＸ軸モーターを有する。軸モーターは、図
２の紙の内及び外へＸ方向に沿ってＸ軸ナット１０２を
移動させる。Ｘ軸ナット１０２はＹ軸スライド１０４に
留められ、従ってこれも図２の紙の内及び外へ移動す
る。
Ｚステージ１００の側部立面略図がワイヤ・ボンダに用
いられて示されている。ＸＹＺステージ１００は、基部
に固定されるＸ軸モーターを有する。軸モーターは、図
２の紙の内及び外へＸ方向に沿ってＸ軸ナット１０２を
移動させる。Ｘ軸ナット１０２はＹ軸スライド１０４に
留められ、従ってこれも図２の紙の内及び外へ移動す
る。
【０００９】Ｙ軸モーター１０６は基部１０１に固定し
て取付けられ、Ｘ軸ナット１０２の移動に垂直な方向へ
向けられたねじ１０８を駆動し、Ｙモーターがねじ１０
８を回転させると、図２の左及び右から及び並びに逆
に、ねじ１０８上のＹ軸ナット１１０を前後に動かす。
ナット１１０の上に取付けられるのはスライド・プレー
ト１１２であり、その上側表面に固定される、延長され
たグラウンドＹバー１１４を有する。Ｙバー１１４は、
Ｘ方向に並べられたその長手方向をもって、即ち、図２
の紙の内及び外へ延びる長さをもって向けられる。Ｙモ
ーターは図２に見られる様に左右にナット及びスライド
１１２を移動させるため、Ｙバーも左右に移動する。
て取付けられ、Ｘ軸ナット１０２の移動に垂直な方向へ
向けられたねじ１０８を駆動し、Ｙモーターがねじ１０
８を回転させると、図２の左及び右から及び並びに逆
に、ねじ１０８上のＹ軸ナット１１０を前後に動かす。
ナット１１０の上に取付けられるのはスライド・プレー
ト１１２であり、その上側表面に固定される、延長され
たグラウンドＹバー１１４を有する。Ｙバー１１４は、
Ｘ方向に並べられたその長手方向をもって、即ち、図２
の紙の内及び外へ延びる長さをもって向けられる。Ｙモ
ーターは図２に見られる様に左右にナット及びスライド
１１２を移動させるため、Ｙバーも左右に移動する。
【００１０】固定されたガイド・アーム部材１１６はＹ
軸スライド１０４からＹ軸モーター１０６へ向かって延
び、間隔を空けて下に延びそれぞれがローラー１２０を
備える一対のシャフト１１８を備える。これらのローラ
ー１２０は、Ｙバー１１４の側面に沿って動く。Ｙモー
ターが回転すると、ナット１１０、スライド１１２、及
び同様に、Ｙバー１１４は左右に移動し、ローラー１２
０を介してＹステージを左右に押す。Ｘ軸モーターが回
転すると、Ｙステージは図２の紙の内及び外へ移動し、
ローラー１２０はＹバー１１４に沿って転がる。このよ
うにＹステージはＸ及びＹ方向へ移動する。
軸スライド１０４からＹ軸モーター１０６へ向かって延
び、間隔を空けて下に延びそれぞれがローラー１２０を
備える一対のシャフト１１８を備える。これらのローラ
ー１２０は、Ｙバー１１４の側面に沿って動く。Ｙモー
ターが回転すると、ナット１１０、スライド１１２、及
び同様に、Ｙバー１１４は左右に移動し、ローラー１２
０を介してＹステージを左右に押す。Ｘ軸モーターが回
転すると、Ｙステージは図２の紙の内及び外へ移動し、
ローラー１２０はＹバー１１４に沿って転がる。このよ
うにＹステージはＸ及びＹ方向へ移動する。
【００１１】Ｚ軸モーター１２２は、基部１０１に、好
ましくはＹ軸モーター１０６の直ぐ上に取付けられる。
代わりに、Ｚ軸モーターはＹ軸モーター１０６に直接取
付けられてもよい。Ｚ軸モーター１２２はＹ軸モーター
と同じ方向に向けられる。それは、Ｙモーター親ねじ
（lead screw）１０８に平行に及び好ましくは直ぐ上に
並べられる親ねじ１２４を有する。ナット１２６は、こ
の親ねじ１２４上に載り、スライド１１２と同様のスラ
イド１２８を備える。スライド１２８は、同様にその上
側表面に固定される延長されたＺバー１３０を有し、そ
れはＹバー１１４に平行に並べられる。Ｌ型のベル・ク
ランク１３２は、ガイド・アーム部材１１６の上側表面
にヒンジで取付けられる外部コーナー１３４を有する。
従ってベル・クランク１３２は、Ｙステージ１０４と共
にＸ方向へ移動する。ベル・クランク１３２の短い端の
上側端１３６は、Ｚバー上でＺ軸モーター１２２へ向か
って延びるガイド・アーム部材１１６にヒンジで取付け
られる。ヒンジで取付けられたガイド・アーム部材１３
８は、空間を空けて下に延び各々がローラー１２０を備
える一対のシャフト１１８を備える。これらのローラー
１２０は、Ｚバー１３０の側面に沿って動く。
ましくはＹ軸モーター１０６の直ぐ上に取付けられる。
代わりに、Ｚ軸モーターはＹ軸モーター１０６に直接取
付けられてもよい。Ｚ軸モーター１２２はＹ軸モーター
と同じ方向に向けられる。それは、Ｙモーター親ねじ
（lead screw）１０８に平行に及び好ましくは直ぐ上に
並べられる親ねじ１２４を有する。ナット１２６は、こ
の親ねじ１２４上に載り、スライド１１２と同様のスラ
イド１２８を備える。スライド１２８は、同様にその上
側表面に固定される延長されたＺバー１３０を有し、そ
れはＹバー１１４に平行に並べられる。Ｌ型のベル・ク
ランク１３２は、ガイド・アーム部材１１６の上側表面
にヒンジで取付けられる外部コーナー１３４を有する。
従ってベル・クランク１３２は、Ｙステージ１０４と共
にＸ方向へ移動する。ベル・クランク１３２の短い端の
上側端１３６は、Ｚバー上でＺ軸モーター１２２へ向か
って延びるガイド・アーム部材１１６にヒンジで取付け
られる。ヒンジで取付けられたガイド・アーム部材１３
８は、空間を空けて下に延び各々がローラー１２０を備
える一対のシャフト１１８を備える。これらのローラー
１２０は、Ｚバー１３０の側面に沿って動く。
【００１２】Ｙ軸移動の間同じＺ高を維持するため、Ｙ
モーターが回転すると、Ｚモーターは、ナット１２６が
スライド１２８をＹ軸スライド１１２と同じ距離移動さ
せるよう回転し、ベル・クランク１３２で同じ角度が維
持されるようにしなくてはならない。Ｘ及びＹ軸位置が
固定されるとき、Ｚ軸位置は、Ｚ軸モーターのみの移動
によって独立して変化し得るが、非常に短い距離の間だ
けである。Ｚ軸方向のより大きな移動のため、Ｚ軸モー
ター及びＹ軸モーター１０６は互いに協調して移動しな
くてはならない。最大のＺ軸移動は、ガイド・アーム１
３８の許容差（tolerance ）によって制限される。なぜ
ならば、このアームはワイヤ・ボンダ・ツール素子１４
０などの先端部品が取付けられるベル・クランクの長い
支柱の長さに依って、約１−３センチメートルの間で、
概して水平位置に保持される。
モーターが回転すると、Ｚモーターは、ナット１２６が
スライド１２８をＹ軸スライド１１２と同じ距離移動さ
せるよう回転し、ベル・クランク１３２で同じ角度が維
持されるようにしなくてはならない。Ｘ及びＹ軸位置が
固定されるとき、Ｚ軸位置は、Ｚ軸モーターのみの移動
によって独立して変化し得るが、非常に短い距離の間だ
けである。Ｚ軸方向のより大きな移動のため、Ｚ軸モー
ター及びＹ軸モーター１０６は互いに協調して移動しな
くてはならない。最大のＺ軸移動は、ガイド・アーム１
３８の許容差（tolerance ）によって制限される。なぜ
ならば、このアームはワイヤ・ボンダ・ツール素子１４
０などの先端部品が取付けられるベル・クランクの長い
支柱の長さに依って、約１−３センチメートルの間で、
概して水平位置に保持される。
【００１３】この設計において、Ｙ軸移動を達成するた
め、Ｚモーター及びＹモーターは一緒に作動しなくては
ならない。Ｚ軸移動を達成するため、Ｚモーター及びＹ
モーターは、その移動に比例して作動しなくてはならな
い。例えば、Ｚ移動がわずか１ミリメータである場合、
Ｙ軸モーターの移動は必要ないかもしれない。しかし、
Ｚ軸移動が１から３センチメートルになる場合、Ｚ位置
が変化するにつれて許容差内にＹ位置を維持するため
に、実質的なＹモーター動作が必要とされ得る。Ｘ軸移
動のためには、Ｘ軸モーターの動作のみが必要とされ
る。
め、Ｚモーター及びＹモーターは一緒に作動しなくては
ならない。Ｚ軸移動を達成するため、Ｚモーター及びＹ
モーターは、その移動に比例して作動しなくてはならな
い。例えば、Ｚ移動がわずか１ミリメータである場合、
Ｙ軸モーターの移動は必要ないかもしれない。しかし、
Ｚ軸移動が１から３センチメートルになる場合、Ｚ位置
が変化するにつれて許容差内にＹ位置を維持するため
に、実質的なＹモーター動作が必要とされ得る。Ｘ軸移
動のためには、Ｘ軸モーターの動作のみが必要とされ
る。
【００１４】上述の移動のいずれも、小さな質量のみ移
動する。モーターは据え付けのままであり、Ｙステージ
及びベル・クランクのみが移動される。この配置は、移
動されなければならない質量を減少させ、移動の際の慣
性安定化回数を減少させ、従って加速及び減速回数が減
少され、それにより、ワイヤ・ボンダ１４０にあるよう
な多数の独立した移動を必要とするシステムにおける一
層早い位置変更、及び改良されたスループットとなる。
動する。モーターは据え付けのままであり、Ｙステージ
及びベル・クランクのみが移動される。この配置は、移
動されなければならない質量を減少させ、移動の際の慣
性安定化回数を減少させ、従って加速及び減速回数が減
少され、それにより、ワイヤ・ボンダ１４０にあるよう
な多数の独立した移動を必要とするシステムにおける一
層早い位置変更、及び改良されたスループットとなる。
【００１５】本発明は、ある程度の特異性と共に説明さ
れ示されたが、本開示は例示のためだけに成されてお
り、当業者であれば以下に開示される発明の範囲から逸
脱することなく、部品の組合せ及び配置における多数の
変更が成され得ることは理解される。
れ示されたが、本開示は例示のためだけに成されてお
り、当業者であれば以下に開示される発明の範囲から逸
脱することなく、部品の組合せ及び配置における多数の
変更が成され得ることは理解される。
【図１】先行技術に従ったワイヤ・ボンダを位置決めす
るための従来のＸＹＺステージの透視図。
るための従来のＸＹＺステージの透視図。
【図２】本発明に従ったＸＹＺステージの立面側面略
図。
図。
【符号の説明】 １００ ＸＹＺステージ １０１ 基部 １０２ Ｘ軸ナット １０４ 移動可能なステージ １０６ Ｙ軸モーター １０８，１２４ ねじ １１０，１２６ ナット １１２，１２８ スライド １１４，１３０ バー １１６，１３８ ガイド・アーム部材 １１８ シャフト １２０ ローラー １２２ Ｚ軸モーター １３２ ベル・クランク １３４ 外側コーナー １３６ 上側端 １４０ 物体
Claims (20)
- 【請求項１】 本体物を３次元に位置決めするためのメ
カニカル・ステージであって、 表面上に取付けられ、前記表面上に位置決めされるべき
本体物に結合される第１の位置決めメカニズムであっ
て、前記第１のメカニズムは前記表面上で第１の方向に
前記本体物を移動させるよう適合され、 前記第１の方向に垂直な前記表面上で第２の方向に前記
本体物を移動させるため前記本体物に取外し可能に結合
される第２の位置決めメカニズム、及び前記第１の又は
第２のメカニズムの一つの上に取付けられ、前記第１の
方向及び第２の方向の間に形成される平面に実質的に垂
直な第３の方向に前記本体物を移動させるため前記本体
物に取外し可能に結合される第３の移動メカニズムを含
むメカニカル・ステージ。 - 【請求項２】 請求項１に従ったステージであって、前
記第３の移動メカニズムが、前記本体物に接続される長
い支柱とＺモーターに接続される短い支柱を有するＬ型
のベル・クランクを含むステージ。 - 【請求項３】 請求項２に従ったステージであって、前
記ベル・クランクが、前記第１及び第２の両方の移動メ
カニズムに結合されるステージ・プラットフォームに軸
回転可能（pivotally ）に接続されるステージ。 - 【請求項４】 請求項３に従ったステージであって、前
記第１及び第２の移動メカニズムのそれぞれが、前記プ
ラットフォームに接続される据え付けモーターを含むス
テージ。 - 【請求項５】 請求項４に従ったステージであって、前
記Ｚモーターが前記据え付けモーターの一つの上に取付
けられるステージ。 - 【請求項６】 Ｘ方向、前記Ｘ方向に直交するＹ方向、
及び前記Ｘ及びＹ方向の両方に直交するＺ方向に物体を
位置決めするためのＸＹＺステージであって、前記ステ
ージは、 概して水平に移動可能なステージと、 前記移動可能なステージに接続され、前記ステージをＸ
方向に移動させる据え付けＸモーターと、 前記移動可能なステージに接続され、前記ステージを前
記Ｘ方向とは独立してＹ方向に移動させる据え付けＹモ
ーターを含み、 ベル・クランクが前記Ｘ方向の軸の廻りを前記ステージ
を通って垂直平面で回転可能であるように、前記ステー
ジ上に軸回転可能に取付けられる外側コーナーを有する
Ｌ型ベル・クランク、及びＹ方向の一端と、Ｚ方向の前
記ベル・クランクの他端の移動のため、前記ベル・クラ
ンクの一端に接続される据え付けＺ軸モーターを含むス
テージ。 - 【請求項７】 請求項６に従ったステージであって、前
記ベル・クランクの前記一端が前記ベル・クランクの短
い支柱上にあるステージ。 - 【請求項８】 請求項７に従ったステージであって、前
記ベル・クランクの前記他端が長い支柱上にあるステー
ジ。 - 【請求項９】 請求項８に従ったステージであって、前
記長い支柱の前記他端がワイヤ・ボンダ・ツール素子に
接続されるステージ。 - 【請求項１０】 請求項９に従ったステージであって、
前記短い支柱の前記一端が前記Ｚ軸モーターに軸回転可
能に接続されるステージ。 - 【請求項１１】 請求項１０に従ったステージであっ
て、前記Ｚ軸モーターと前記ベル・クランクの前記一端
との間に接続されるガイド・アームを更に含むステー
ジ。 - 【請求項１２】 請求項６に従ったステージであって、
前記Ｚ軸モーターが前記Ｙ軸モーターの直ぐ上に取付け
られるステージ。 - 【請求項１３】 請求項１１に従ったステージであっ
て、前記Ｚ軸モーターが前記Ｙ軸モーターの直ぐ上に取
付けられるステージ。 - 【請求項１４】 請求項１３に従ったステージであっ
て、前記Ｚ軸モーターが前記Ｙ軸モーターに直接取付け
られるステージ。 - 【請求項１５】 請求項１２に従ったステージであっ
て、前記Ｚ軸モーターが前記Ｙ軸モーターに直接取付け
られるステージ。 - 【請求項１６】 請求項１５に従ったステージであっ
て、前記ベル・クランクの前記一端が、前記Ｚ軸モータ
ーに接続されるガイド・アームにヒンジで取付けられる
ステージ。 - 【請求項１７】 ワイヤ・ボンダ素子を３次元に位置決
めする方法であって、 表面上に取付けられ、前記表面上に位置決めされるべき
ワイヤ・ボンダ素子に結合される第１の位置決めメカニ
ズムを提供し、前記第１のメカニズムは、 前記表面上で第１の方向に前記素子を移動させ、 前記素子に取外し可能に結合される第２の位置決めメカ
ニズムを提供し、 前記第１の方向に垂直な前記表面上で前記第２の方向に
前記素子を移動させ、 前記第１の又は第２のメカニズムの一つの上に取付けら
れ、前記素子に取外し可能に結合される第３の移動メカ
ニズムを提供し、更に 前記第１及び第２の方向の間に形成される平面に実質的
に垂直な第３の方向に前記素子を移動させる工程を含む
方法。 - 【請求項１８】 請求項１７に従った方法であって、前
記第３の方向に前記素子を移動させる前記工程は更に、
ベル・クランク部材を前記平面の軸の廻りを軸回転させ
る工程を含む方法。 - 【請求項１９】 請求項１８に従った方法であって、前
記第２の方向に前記素子を移動させる前記工程は、前記
ベル・クランク部材を前記第２の方向に移動させる工程
を含む方法。 - 【請求項２０】 Ｘ方向、前記Ｘ方向に直交するＹ方
向、及び前記Ｘ方向及びＹ方向の両方に直交するＺ方向
にボンダ素子を位置決めするためのＸＹＺステージを有
するワイヤ・ボンディング装置であって、前記ステージ
が、 概して水平に移動可能なステージと、 Ｘ方向に前記ステージを移動させるため、前記移動可能
なステージに接続される据え付けＸモーターと、 前記Ｘ方向とは独立してＹ方向に前記ステージを移動さ
せるため、前記移動可能なステージに移動可能に接続さ
れる据え付けＹモーターと、 ベル・クランクが前記Ｘ方向の軸の廻りを前記ステージ
を通って垂直な面で回転可能であるように、前記ステー
ジ上に軸回転可能に取付けられる外側コーナーを有する
Ｌ型ベル・クランク、及び前記ベル・クランクの一端に
接続され、前記一端をＹ方向に、前記ベル・クランクの
他端をＺ方向に移動させるための据え付けＺ軸モーター
であって、前記素子を３次元に移動させるため、前記ベ
ル・クランクの前記他端がワイヤ・ボンダ装置を支持す
る据え付けＺ軸モーターを含むワイヤ・ボンディング装
置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US3573297P | 1997-01-02 | 1997-01-02 | |
| US035732 | 1997-01-02 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10270490A true JPH10270490A (ja) | 1998-10-09 |
Family
ID=21884471
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10031911A Pending JPH10270490A (ja) | 1997-01-02 | 1998-01-05 | 非結合ｘｙｚステージ |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5971254A (ja) |
| JP (1) | JPH10270490A (ja) |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5813590A (en) * | 1995-12-18 | 1998-09-29 | Micron Technology, Inc. | Extended travel wire bonding machine |
| US6220813B1 (en) * | 1997-10-21 | 2001-04-24 | Timothy R. Launiere | Workpiece transfer apparatus and method for transfer die systems and the like |
| US6474538B1 (en) * | 1999-10-22 | 2002-11-05 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Bonding apparatus and bonding method |
| SG92747A1 (en) * | 1999-11-02 | 2002-11-19 | Esec Trading Sa | Bonhead for a wire bonder |
| IT1320478B1 (it) * | 2000-06-30 | 2003-11-26 | Franco Sartorio | Macchina operatrice e dispositivo manipolatore installabile su talemacchina. |
| US7159751B2 (en) * | 2003-06-06 | 2007-01-09 | Esec Trading Sa | Wire bonder |
| EP3074172B1 (en) | 2013-11-27 | 2019-01-02 | Diebotics IP, LLC | Multiple axis work-piece transfer apparatus |
| CN107101601A (zh) * | 2017-04-28 | 2017-08-29 | 昆明理工大学 | 一种实验与检测使用的三维变化步长电动载物台 |
| US11474127B2 (en) * | 2020-05-08 | 2022-10-18 | Rutgers, The State University Of New Jersey | Modular scanning probe microscope head |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5854500B2 (ja) * | 1979-04-17 | 1983-12-05 | 株式会社新川 | ワイヤボンデイング装置 |
| JP2727368B2 (ja) * | 1990-01-04 | 1998-03-11 | 株式会社新川 | Ｘｙテーブル |
| DE69405209T2 (de) * | 1994-03-31 | 1998-03-19 | Sgs Thomson Microelectronics | Verbindungsvorrichtung für elektronische Halbleiter-Einheiter |
| US5653375A (en) * | 1994-10-29 | 1997-08-05 | Samsung Aerospace Industries, Ltd. | Wire bonding apparatus |
-
1997
- 1997-12-30 US US09/000,683 patent/US5971254A/en not_active Expired - Lifetime
-
1998
- 1998-01-05 JP JP10031911A patent/JPH10270490A/ja active Pending
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5971254A (en) | 1999-10-26 |
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