TWI784100B - 異常音檢查裝置、異常音檢查方法、程式及工件之製造方法 - Google Patents

Abstract

本技術之異常音檢查裝置具備機械手臂部、聲音檢測部及控制部。上述機械手臂部具有臂部及保持部，該保持部係設置於上述臂部，且可保持工件。上述聲音檢測部係設置於上述機械手臂部，且檢測上述工件之聲音。上述控制部係利用上述臂部，使保持有上述工件之狀態之保持部移動而搬送上述工件，且利用上述聲音檢測部，於上述工件被搬送時檢測工件之聲音，且基於所檢測出之聲音信號，檢查自上述工件產生之異常音。

Description

異常音檢查裝置、異常音檢查方法、程式及工件之製造方法

本技術係關於一種根據異常音來檢查工件之異常音檢查裝置等技術。

於先前之異常音檢查裝置之異常音檢查中，於在異常音檢查裝置之特定位置固定有工件之狀態下，進行異常音之檢查(例如參照下述專利文獻1)。又，於先前之工件之異常音檢查中，例如檢測因實際地使馬達、壓縮機、光碟機等驅動部驅動而產生之異常音。

再者，作為與本案相關聯之技術，列舉下述專利文獻2。 [先前技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本專利特開2014-142290號公報 [專利文獻2]日本專利特開2013-193158號公報

[發明所欲解決之問題]

於先前之異常音檢查裝置中，將工件固定於異常音檢查裝置之特定位置而進行異常音之檢查，故而有檢查效率低等問題。

鑒於如上所述之情況，本技術之目的在於提供一種可有效率地進行工件之異常音檢查之檢查裝置等技術。 [解決問題之技術手段]

本技術之異常音檢查裝置具備機械手臂部、聲音檢測部及控制部。 上述機械手臂部具有臂部及保持部，該保持部係設置於上述臂部，且可保持工件。 上述聲音檢測部係設置於上述機械手臂部，且檢測上述工件之聲音。 上述控制部係利用上述臂部，使保持有上述工件之狀態之保持部移動而搬送上述工件，且利用上述聲音檢測部，於上述工件被搬送時檢測工件之聲音，且基於所檢測出之聲音信號，檢查自上述工件產生之異常音。

該異常音檢查裝置兼具如下兩個功能：作為搬送工件之搬送裝置之功能、及作為檢查自工件1產生之異常音之異常音檢查裝置之功能。因此，就該異常音檢查裝置而言，於工件之搬送過程中，可檢查工件之異常音，可有效率地進行工件之異常音檢查。

於上述異常音檢查裝置中，上述控制部亦可利用上述臂部，使保持有上述工件之狀態之保持部朝第1方向及與上述第1方向相反之第2方向移動而搬送上述工件，利用上述聲音檢測部，檢測相應於上述工件之朝上述第1方向之移動而自上述工件產生之聲音、及相應於上述工件之朝上述第2方向之移動而自上述工件產生之聲音，且基於所檢測出之聲音信號，檢查自上述工件產生之異常音。

於上述異常音檢查裝置中，上述控制部亦可使上述保持部朝上述第1方向移動而向另一第1裝置搬送上述工件，且使上述保持部朝上述第2方向移動而自上述另一第1裝置向另一第2裝置搬送上述工件。

於上述異常音檢查裝置中，上述控制部亦可利用上述臂部使保持有上述工件之狀態之保持部之姿勢發生變化，利用上述聲音檢測部檢測相應於上述工件之姿勢之變化而自上述工件產生之聲音，且基於所檢測出之聲音信號，檢查自上述工件產生之異常音。

於上述聲音檢查裝置中，上述控制部亦可使上述保持部之姿勢發生變化，以便可於上述工件被保持於上述保持部之狀態下供另一第1裝置對上述工件進行處理。

於上述異常音檢查裝置中，上述聲音檢測部亦可設置於上述保持部。

於上述異常音檢查裝置中，上述聲音檢測部亦可與上述工件接觸而檢測上述聲音。

於上述異常音檢查裝置中，上述聲音檢測部亦可為AE(Acoustic Emission，聲頻發射)感測器。

於上述異常音檢查裝置中，上述聲音檢測部亦可與上述工件非接觸地檢測上述聲音。

於上述異常音檢查裝置中，上述聲音檢測部亦可為麥克風。

於上述異常音檢查裝置中，上述控制部亦可基於由聲音檢測部檢測出之上述聲音信號之特定頻帶之信號，檢查自上述工件產生之異常音。

於上述異常音檢查裝置中，上述控制部亦可將上述特定頻帶之信號進行積分，基於積分值而檢查自上述工件產生之異常音。

本技術之異常音檢查方法係利用機械手臂部之臂部，使保持有工件之狀態之機械手臂部之保持部移動而搬送上述工件， 利用設置於機械手臂部之聲音檢測部，於上述工件被搬送時檢測工件之聲音，且 基於所檢測出之聲音信號，檢查自上述工件產生之異常音。

本技術之程式係使電腦作為控制部發揮功能，該控制部係 利用機械手臂部之臂部，使保持有工件之狀態之機械手臂部之保持部移動而搬送上述工件， 利用設置於機械手臂部之聲音檢測部，於上述工件被搬送時檢測工件之聲音，且 基於所檢測出之聲音信號，檢查自上述工件產生之異常音。

本技術之工件之製造方法係利用機械手臂部之臂部，使保持有工件之狀態之機械手臂部之保持部移動而搬送上述工件， 利用設置於機械手臂部之聲音檢測部，於上述工件被搬送時檢測工件之聲音， 基於所檢測出之聲音信號，檢查自上述工件產生之異常音，且 基於檢查結果判定工件之好壞。 [發明之效果]

如上所述，根據本技術，能夠提供一種可有效率地進行工件之異常音檢查之檢查裝置等技術。

以下，一面參照圖式，一面對本技術之實施形態進行說明。

≪第1實施形態≫ ＜檢查系統100之整體構成及各部之構成＞ 圖1係表示本技術之第1實施形態之檢查系統100之俯視圖。如圖1所示，本技術之檢查系統100具備異常音檢查裝置10、密封件貼附裝置40、第1外觀檢查裝置50A、第1搬送裝置80、第2外觀檢查裝置50B及第2搬送裝置90。該檢查系統100例如於工件1之生產線上配置於最下游之附近，且進行工件1之最終檢查。

再者，於本說明書中之說明中，將2台外觀檢查裝置50A、50B之總稱簡稱為外觀檢查裝置50，於區分2台外觀檢查裝置50A、50B之情形時，稱為第1外觀檢查裝置50A、第2外觀檢查裝置50B。

於圖1中，工件1之搬送路線由虛線箭頭表示。於本實施形態中，作為被設為檢查之對象之工件1，假定有固定型遊戲機。該工件1具有於厚度方向上較薄且具有大致長方體形狀之殼體2。

圖6係工件1之殼體2之展開圖。該殼體2具有正面3、背面4及4個側面5之合計6個面。於殼體2之內部，內置有遊戲機所需之各種電子零件。

再者，於本說明書中之說明中，在簡稱為側面5之情形時係指4個側面中之任一側面，於未特別區分4個側面5之情形時，分別稱為第1側面5a、第2側面5b、第3側面5c、第4側面5d。

此處，為了容易理解檢查系統100，對利用檢查系統100如何檢查工件1之整體之流程簡單地進行說明(參照圖1之虛線箭頭)。

首先，工件1由異常音檢查裝置10自配置於上游側之其他裝置(未圖示)搬送至密封件貼附裝置40，且由密封件貼附裝置40貼附密封件。當密封件之貼附完成時，工件1由異常音檢查裝置10自第1密封件貼附裝置40向第1外觀檢查裝置50A搬送。

再者，如上所述，異常音檢查裝置10具備於工件1之搬送過程中檢查工件1之異常音之功能，工件1係於異常音檢查裝置10之搬送過程中被檢查異常音。

工件1由第1外觀檢查裝置50A檢查工件1之6個面中之3個面。當該檢查完成時，工件1由第1搬送裝置80自第1外觀檢查裝置50A向第2外觀檢查裝置50B搬送。

該工件1由第2外觀檢查裝置50B檢查工件1之6個面中之剩餘之3個面。當該檢查結束時，工件1由第2搬送裝置90自第2外觀檢查裝置50B向配置於下游側之其他裝置(例如包裝裝置、收納裝置等)搬送。

再者，於利用第2外觀檢查裝置50B檢查工件時，利用第1外觀檢查裝置50A進行下一個工件1之外觀檢查。又，此時，利用異常音檢查裝置10、密封件貼附裝置40進一步進行下一個工件1之異常音檢查、密封件貼附處理。

[異常音檢查裝置10] 圖2係表示異常音檢查裝置10及密封件貼附裝置40之立體圖。如圖2所示，異常音檢查裝置10具備基台11、及設置於基台11上之機械手臂部12。機械手臂部12具有多關節構造之臂部21、及設置於臂部21之前端之手部31(保持部)。

臂部21具有：基部22，其可繞Z軸迴轉地安裝於基台11上；以及上臂部23，其可彎曲地安裝於基部22。又，臂部21具有：前臂部24，其可彎曲地安裝於上臂部23；以及腕部25，其可彎曲地安裝於前臂部24。手部31可旋轉(以腕部25之長度方向為軸向而繞該軸旋轉)地安裝於腕部25。

臂部21可藉由基部22之迴轉動作、上臂部23之彎曲動作、前臂部24之彎曲動作、腕部25之彎曲動作及手部31之旋轉動作，使手部31(及保持於手部31之工件1)於三維空間上自由地移動。又，臂部21亦可藉由上述各動作，將手部31(及被保持於手部31之工件1)之姿勢變更為任意姿勢。

再者，臂部21只要為至少可自由地控制手部31之移動(即，被保持於手部31之工件1之搬送)之構造，則可為任意構造(例如亦可省略上臂部23)。

圖3係表示手部31之放大圖。參照圖2及圖3，手部31具有：手部本體32，其可旋轉地安裝於腕部25；以及第1夾頭機構33及第2夾頭機構34，其等設置於手部本體32。又，於手部31，設置有檢測工件1之聲音之聲音檢測部35。

第1夾頭機構33及第2夾頭機構34係以相互正交之方式設置於手部本體32。第1夾頭機構33可自兩側夾住工件1之4個側面5中之對向之2個側面5。另一方面，第2夾頭機構34可自兩側夾住工件1之4個側面5中之對向之其他2個側面5。

手部31可利用該第1夾頭機構33及第2夾頭機構34實現工件1之保持及脫離。

再者，手部31只要為可實現工件1之保持及脫離之構成，則並不限定於夾頭機構33、34，可為任意構成(例如亦可為藉由吸附而保持工件1之形態)。

臂部21及手部31分別具有馬達等各種驅動系統，該驅動系統由控制部13(參照圖4)進行控制，藉此控制臂部21及手部31之移動。

聲音檢測部35係根據工件1之移動(搬送)、姿勢之變化(包含旋轉)等，檢測自工件1產生之聲音。聲音檢測部35可將工件1中產生之聲音轉換(檢測)為電信號，並將該信號放大，而輸出至控制部13(參照圖4)。

此處，例如當於異物混入至工件1之內部之狀態下，將工件1移動(搬送)或使工件1之姿勢發生變化時，有異物於工件1內移動並產生異常音之情形。再者，所謂異物，例如為於工件1內自內部之電子零件脫落之螺絲、電子零件之一部分破損而產生之碎片、及自外部混入至工件1內之污物等。

又，例如當於在工件1內部，纜線前端之連接器脫落之狀態下，將工件1移動(搬送)或使工件1之姿勢發生變化時，有纜線或連接器於工件1內移動並產生異常音之情形。

於本實施形態之異常音檢查裝置10中，利用聲音檢測部35檢測於如上所述之各種狀況下產生之異常音。再者，於本實施形態中，所謂異常音意味著正常之工件1即便被機械手臂部12移動(搬送)且姿勢變化亦不會產生之聲音，但異常之工件1(異物混入、連接器脫落等)一旦被機械手臂部12移動(搬送)且姿勢變化便會產生之聲音。

於本實施形態中，聲音檢測部35包含AE(Acoustic Emission)感測器，且以於利用手部31保持工件1之狀態下與工件1接觸之方式配置。AE感測器具有壓電元件(例如PZT(Piezoelectric Transducer，壓電轉換器))，利用該壓電元件，將於工件1之殼體2中傳播之AE聲波轉換為電信號。

為了實現不論於工件1中哪一位置產生異常音均可適當地偵測該異常音，聲音檢測部35係配置於靠近由手部31保持之工件1之中央之位置。另一方面，於預先瞭解工件1中容易產生異常音之區域之情形時(例如根據螺絲、連接器等密集等之理由)，亦可於與該區域對應之位置配置聲音檢測部35。

圖4係表示異常音檢查裝置10之電性構成之方塊圖。如圖4所示，異常音檢查裝置10除具備上述機械手臂部12、聲音檢測部35以外，亦具備控制部13、記憶部14及通信部15。

控制部13包含CPU(Central Processing Unit，中央處理單元)等。控制部13係基於記憶部14中所記憶之各種程式而執行各種運算，且統括地控制異常音檢查裝置10之各部。

典型而言，該控制部13係利用臂部21使保持有工件1之狀態之手部31移動而搬送工件1，且利用聲音檢測部35於工件1被搬送時檢測工件1之聲音。繼而，控制部13基於所檢測出之聲音信號，檢查自工件1產生之異常音。再者，關於控制部13之處理之詳細情況將於下文進行敍述。

記憶部14包含記憶有控制部13之處理所需之各種程式或各種資料之非揮發性記憶體、及被用作控制部13之作業區域之揮發性記憶體。上述程式可自半導體記憶體、光碟等可攜性之記錄媒體讀取，亦可自網路上之伺服器裝置下載。

通信部15係藉由有線或無線而與生產線內之其他裝置之間進行通信。

[密封件貼附裝置40] 參照圖2，密封件貼附裝置40具備基台41、及設置於基台41上之機械手臂部42。機械手臂部42具有多關節構造之臂部43、及設置於臂部43之前端之作業用手部44。

再者，就密封件貼附裝置40之機械手臂部42及異常音檢查裝置10之機械手臂部12而言，臂部43、21之構成係基本上相同之構成，設置於臂部43、21之前端之手部44、31之構成不同。再者，關於該方面，對於第1外觀檢查裝置50A、第1搬送裝置80、第2外觀檢查裝置50B、第2搬送裝置90之機械手臂部亦相同。

臂部43具有：基部45，其可繞Z軸迴轉地安裝於基台41上；以及上臂部46，其可彎曲地安裝於基部45。又，臂部43具有：前臂部47，其可彎曲地安裝於上臂部46；以及腕部48，其可彎曲地安裝於前臂部47。作業用手部44可旋轉(以腕部25之長度方向為軸向而繞該軸旋轉)地安裝於腕部25。

作業用手部44可自密封件收納部(未圖示)取出密封件，且可於在異常音檢查裝置10之手部31保持有工件1之狀態下，自上側將密封件貼附於工件1之側面5。

再者，雖省略圖示，但密封件貼附裝置40具有如下構件等：控制部，其統括地控制密封件貼附裝置40之各部；記憶部，其記憶有控制部之處理所需之各種程式或資料；以及通信部，其與其他裝置之間進行通信。

[外觀檢查裝置50] 圖5係表示外觀檢查裝置50(第1外觀檢查裝置50A或第2外觀檢查裝置50B)之立體圖。第1外觀檢查裝置50A及第2外觀檢查裝置50B係以協同之方式分擔地檢查工件1之外觀。第1外觀檢查裝置50A及第2外觀檢查裝置50B係基本上相同之構成。

第1外觀檢查裝置50A負責工件1之殼體2之6個面中之正面3、第1側面5a及第2側面5b之合計3個面(該等3個面相互鄰接)之外觀檢查。另一方面，第2外觀檢查裝置50B負責剩餘之3個面、即背面4、第3側面5c及第4側面5d之合計3個面(該等面相互鄰接)之外觀檢查。

於第1外觀檢查裝置50A中，將正面3設為上側進行檢查，於第2外觀檢查裝置50B中，將背面4設為上側進行檢查。第1外觀檢查裝置50A、第2外觀檢查裝置50B係於工件1之各面，例如檢查是否無損傷(刮傷、凹痕)或帶痕等外觀上之異常。

再者，利用外觀檢查裝置50進行檢查之外觀上之異常並不限於損傷或帶痕。典型而言，外觀上之異常只要為正常之工件1不存在之外觀上之異常，則可為任何異常。

外觀檢查裝置50具備基台51、工件1之載置台52、第1機械手臂部60及第2機械手臂部70。

第1外觀檢查裝置50A之第1機械手臂部60負責正面3之掃描、及第2側面5b之掃描之一部分。另一方面，第1外觀檢查裝置50A之第2機械手臂部70負責第1側面5a之掃描、及第2側面5b之掃描之一部分。

又，第2外觀檢查裝置50B之第1機械手臂部60負責背面4之掃描、及第4側面5d之掃描之一部分。另一方面，第2外觀檢查裝置50B之第2機械手臂部70負責第3側面5c之掃描、及第4側面5d之掃描之一部分。

第1機械手臂部60與第2機械手臂部70係基本上相同之構成。

第1機械手臂部60具有多關節構造之第1臂部61、及設置於第1臂部61之前端之第1掃描部62。同樣地，第2機械手臂部70具有多關節構造之第2臂部71、及設置於第2臂部71之前端之第2掃描部72。

第1臂部61(第2臂部71)具有：基部63(基部73)，其可繞Z軸迴轉地安裝於基台51上；以及上臂部64(上臂部74)，其可彎曲地安裝於基部63(基部73)。

又，第1臂部61(第2臂部71)具有：前臂部65(前臂部75)，其可彎曲地安裝於上臂部64(上臂部74)；以及腕部66(腕部76)，其可彎曲地安裝於前臂部65(前臂部75)。第1掃描部(第2掃描部72)可旋轉(以腕部之長度方向為軸向而繞該軸旋轉)地安裝於腕部66(腕部76)。

第1臂部61(第2臂部71)可藉由基部63(基部73)之迴轉動作、上臂部64(上臂部74)之彎曲動作、前臂部65(前臂部75)之彎曲動作、腕部66(腕部76)之彎曲動作及第1掃描部62(第2掃描部72)之旋轉動作，使第1掃描部62(第2掃描部72)於三維空間上自由地移動。又，第1臂部61(第2臂部71)可藉由上述各動作，將第1掃描部62(第2掃描部72)之姿勢變更為任意姿勢。

再者，第1臂部61(第2臂部71)只要為至少可自由地控制第1掃描部62(第2掃描部72)之移動之構造，則可為任意構造(例如亦可省略上臂部)。

第1掃描部62具有：支持構件69，其可旋轉地安裝於腕部66；第1線性攝影機67，其固定於支持構件69；以及第1發光部68，其固定於支持構件69。同樣地，第2掃描部72具有：支持構件79，其可旋轉地安裝於腕部76；第2線性攝影機77，其固定於支持構件79；以及第2發光部78，其固定於支持構件79。

第1線性攝影機67(第2線性攝影機77)包含沿著一方向排列之複數個拍攝元件、及成像透鏡等各種光學透鏡。第1線性攝影機67(第2線性攝影機77)係藉由第1臂部61(第2臂部71)而於與上述一方向(排列有拍攝元件之方向)正交之方向上移動，且對工件1之殼體2之特定之面進行拍攝而獲取圖像，並將該圖像輸出至控制部53(參照圖9)。

第1發光部68(第2發光部78)具有於上述一方向(線性攝影機中排列有拍攝元件之方向)上較長之形狀。第1發光部68(第2發光部78)例如包含LED(Light Emitting Diode，發光二極體)、白色燈泡等各種發光體。該第1發光部68(第2發光部78)係利用第1臂部61(第2臂部71)與第1線性攝影機67(第2線性攝影機77)一起一體地移動，且對第1線性攝影機67(第2線性攝影機77)進行拍攝之部位照射光。

第1掃描部62(第2掃描部72)係於在工件1之特定之面上在掃描方向上移動時，以相對於該特定之面保持固定之距離之狀態，與該特定之面平行地移動。

第1掃描部62(第2掃描部72)係利用第1臂部61(第2臂部71)調整掃描方向。又，第1掃描部62(第2掃描部72)係利用第1臂部61(第2臂部71)，調整第1線性攝影機67(第2線性攝影機77)相對於工件1之殼體2之特定之面的拍攝角度、及利用第1發光部68(第2發光部78)之光照射角度。

圖7及圖8係表示線性攝影機之拍攝角度及發光部之光照射角度之圖。

於圖7所示之例中，表示將第1線性攝影機67(第2線性攝影機77)之拍攝角度設定為90°，且將第1發光部68(第2發光部78)之光照射角度設定為30°之情形時之一例。另一方面，於圖8所示之例中，表示將第1線性攝影機67(第2線性攝影機77)之拍攝角度設定為60°，且將第1發光部68(第2發光部78)之光照射角度設定為60°之情形時之一例。

於本實施形態中，最初，如圖7所示，將第1線性攝影機67(第2線性攝影機77)之拍攝角度設定為90°，且將第1發光部68(第2發光部78)之照射角度設定為30°，利用第1掃描部62(第2掃描部72)對特定之面進行掃描。其後，將第1線性攝影機67(第2線性攝影機77)之拍攝角度設定為60°，且將第1發光部68(第2發光部78)之照射角度設定為60°，利用第1掃描部62(第2掃描部72)對特定之面進行掃描。即，於本實施形態中，使第1線性攝影機67(第2線性攝影機77)之拍攝角度及第1發光部68(第2發光部78)之照射角度發生改變，而對工件1之相同區域進行掃描。

再者，如圖7及圖8所示，於本實施形態中，第1線性攝影機67(第2線性攝影機77)與第1發光部68(第2發光部78)相對於特定之面之角度一體地發生變化。另一方面，第1線性攝影機67(第2線性攝影機77)與第1發光部68(第2發光部78)相對於特定之面之角度亦可個別地進行調整。

於以下說明中，將進行第1次掃描時之第1線性攝影機67(第2線性攝影機77)之拍攝角度稱為第1拍攝角度(本實施形態中為90°)，將進行第2次掃描時之第1線性攝影機67(第2線性攝影機77)之拍攝角度稱為第2拍攝角度(本實施形態中為60°)。

同樣地，將進行第1次掃描時之第1發光部68(第2發光部78)之照射角度稱為第1照射角度(本實施形態中為30°)，將進行第2次掃描時之第1發光部68(第2發光部78)之照射角度稱為第2照射角度(本實施形態中為60°)。

再者，關於第1拍攝角度、第2拍攝角度、第1照射角度及第2照射角度之各值，可適當變更。典型而言，關於該等各值係根據工件1之殼體2之材質、外觀檢查中應檢測之異常之種類(例如損傷、帶痕等)等而適當設定。

圖9係表示外觀檢查裝置50(第1外觀檢查裝置50A或第2外觀檢查裝置50B)之電性構成之方塊圖。如圖9所示，外觀檢查裝置50除具備上述第1機械手臂部60、第2機械手臂部70以外，還具備控制部53、記憶部54及通信部55。

控制部53包含CPU(Central Processing Unit)等，且基於記憶部54中記憶之各種程式執行各種運算，統括地控制外觀檢查裝置50之各部。

該控制部13係於外觀檢查裝置50中，利用第1臂部61使第1掃描部62於工件1之特定之面上在掃描方向上移動，且利用第1線性攝影機67對工件1之特定之面進行拍攝，使第1掃描部62掃描工件1之特定之面。

又，控制部13係於利用第1掃描部62對工件1之特定之面進行掃描時，利用第2臂部71使第2掃描部72於工件1之其他特定之面上在掃描方向上移動，且利用第2線性攝影機77對工件1之其他特定之面進行拍攝，使第2掃描部72掃描其他特定之面。再者，關於控制部53之處理之詳細情況將於下文進行敍述。

於圖9所示之例中，表示第1機械手臂部60及第2機械手臂部70由1個控制部53進行控制之例，但第1機械手臂部60及第2機械手臂部70亦可分別由不同之控制部進行控制。

記憶部54包含記憶有控制部53之處理所需之各種程式或各種資料之非揮發性記憶體、及被用作控制部53之作業區域之揮發性記憶體。上述程式可自半導體記憶體、光碟等可攜性記錄媒體讀取，亦可自網路上之伺服器裝置下載。

通信部55係藉由有線或無線與生產線內之其他裝置之間進行通信。

[第1搬送裝置80] 如圖1所示，第1搬送裝置80具備基台81、及設置於基台81上之機械手臂部82。機械手臂部82具有多關節構造之臂部83、及設置於臂部83之前端之手部84。

關於臂部83之構成，與異常音檢查裝置10、外觀檢查裝置50中之機械手臂部之臂部21、61、71之構成相同。手部84具備可自兩側夾住工件1之4個側面5中之對向之2個側面5的夾頭機構。

第1搬送裝置80之機械手臂部82保持載置於第1外觀檢查裝置50A之載置台52之工件1，一面使工件1之上下方向顛倒一面搬送工件1，而將工件1載置於第2外觀檢查裝置50B之載置台52。

再者，雖然省略圖示，但第1搬送裝置80具備：控制部，其統括地控制第1搬送裝置80；記憶部，其記憶有控制部之處理所需之各種程式、資料等；以及通信部，其與生產線內之其他裝置進行通信。

[第2搬送裝置90] 如圖1所示，第2搬送裝置90具備基台91、及設置於基台91上之機械手臂部92。機械手臂部92具有多關節構造之臂部93、及設置於臂部93之前端之手部94。

關於第2搬送裝置90之機械構成及電性構成，除未設置有聲音檢測部35之方面以外，與異常音檢查裝置10相同。

第2搬送裝置90之機械手臂部92保持載置於第2外觀檢查裝置50B之載置台52之工件1，並搬送至設置於下游側之其他裝置(包裝裝置、收納裝置)，使工件1前進至下一工序。

再者，對第2搬送裝置90，自異常音檢查裝置10、第1外觀檢查裝置50A及第2外觀裝置通知應搬送之工件1之良或不良。

第2搬送裝置90之機械手臂部92使所有該等3個裝置10、50A、50B中被判定為良品之工件1前進至下一工序。另一方面，對在3個裝置10、50A、50B中之至少1個裝置中被判定為不良品之工件1，不使工件1前進至下一工序，而將工件1搬送至不良品收納用之收納架(未圖示)。

再者，被判定為不良品之工件1亦可針對每種不良之原因，而配置於上述收納架中不同之區域。

＜動作說明＞ 其次，對檢查系統100之處理進行說明。

[異常音檢查裝置10之處理] 於此處之說明中，首先，對異常音檢查裝置10之處理進行說明。圖10係表示異常音檢查裝置10之控制部13之處理之流程圖。

首先，異常音檢查裝置10之控制部13對機械手臂部12之臂部21進行控制，使手部31移動至工件1之保持位置為止(步驟101)。繼而，控制部13利用手部31保持工件1(步驟102)。當工件1由手部31保持時，如圖3所示，聲音檢測部35與工件1之中央附近接觸。

其次，控制部13開始自聲音檢測部35獲取聲音信號之處理(步驟103)。繼而，控制部13基於所檢測出之聲音信號開始工件1之異常音檢查(步驟104)。再者，關於該異常音檢查之詳細情況將於下文進行敍述。

其次，控制部13使臂部21朝順時針方向迴轉，並使保持有工件1之狀態之手部31朝順時針方向迴轉(朝第1方向移動)，將工件1朝密封件貼附裝置40之處理位置搬送(步驟105)。

再者，於使臂部21迴轉而搬送工件1時，控制部13係藉由臂部21之各部之彎曲動作及手部31之相對於臂部21之旋轉動作，而將工件1之姿勢變更為用以貼附密封件之任意姿勢。再者，此時之工件1之姿勢係設為工件1之特定之側面5朝向上方之工件1被豎起之姿勢(參照圖2)。

控制部13當將工件1搬送至密封件貼附裝置40之處理位置時，使機械手臂部12之移動停止，且於利用手部31保持工件1之狀態下待機(步驟106)。於該狀態下，利用密封件貼附裝置40對工件1之上側之側面5貼附密封件。

其次，控制部13判定密封件貼附裝置40之處理是否完成(步驟107)。再者，於密封件貼附裝置40之處理完成之情形時，自密封件貼附裝置40發送表示該完成之信號，該信號被異常音檢查裝置10接收。

於密封件貼附裝置40之處理完成之情形時(步驟107為是(YES))，控制部13前進至步驟108。於步驟108中，控制部13使臂部21朝逆時針方向迴轉，使保持有工件1之狀態之手部31朝逆時針方向迴轉(朝第2方向移動)，將工件1自密封件貼附裝置40搬送至第1外觀檢查裝置50A。繼而，控制部13使工件1自手部31脫離，將工件1載置於第1外觀檢查裝置50A之載置台52上。

再者，於使臂部21朝逆時針方向迴轉而搬送工件1時，控制部13係藉由臂部21之各部之彎曲動作及手部31之相對於臂部21之旋轉動作，而將工件1之姿勢變更為用以將工件1載置於載置台52上之任意姿勢。再者，此時之工件1之姿勢係設為工件1之正面3朝向上方之姿勢。

當將工件1載置於載置台52上並使工件1自手部31脫離時，聲音檢測部35自工件1離開，此時，控制部13結束自聲音檢測部35獲取聲音信號之處理(步驟109)。繼而，控制部13結束基於聲音信號之工件1之異常音檢查(步驟110)。

其次，控制部13於異常音檢查中，判定是否檢測出異常音(步驟111)。於未檢測出異常音之情形時(步驟111為否(NO))，控制部13將表示該工件1為良品之資訊與該工件1之識別資訊一起發送至第2搬送裝置90(步驟112)。另一方面，於檢測出異常音之情形時(步驟111為是)，控制部13將表示該工件1為不良品之資訊與該工件1之識別資訊一起發送至第2搬送裝置90(步驟113)。

於異常音檢查中被判定為不良品之工件1係於第1外觀檢查裝置50A及第2外觀檢查裝置50B之外觀檢查之後，由第2搬送裝置90收納至不良品收納用之收納架，藉此，將不良品與良品區分開。

再者，於本實施形態中，在異常音檢查中已進行良或不良之判定之工件1由第2搬送裝置90進行區分，但該區分亦可由異常音檢查裝置10之機械手臂部12本身進行。於此情形時，在異常音檢查裝置10之機械手臂部12之運轉區域內設置有不良品收納用之收納架。

(異常音檢查方法) 其次，對基於聲音信號之異常音檢查之方法進行具體說明。如上所述，當於異物混入至工件1內之狀態及在工件1內部連接器脫落之狀態等各種狀況下，將工件1移動(搬送)或使工件1之姿勢發生變化時，有產生異常音之情形。

另一方面，於正常之工件1之情形時，即便將工件1移動(搬送)或使工件1之姿勢發生變化，此種異常音亦不會產生。因此，典型而言，藉由將作為檢查對象之工件1之聲音信號之波形與正常之工件1之聲音信號之波形加以比較，而進行異常音之檢查。

此處，就異常之工件1之聲音信號之波形而言，與正常之工件1之聲音信號之波形相比，表示異常音之特定頻帶之聲音之大小變大。例如，於混入有螺絲之工件1之情形時，可獲得由聲音信號表示之值於1.5 kHz、3 kHz、6 kHz、12 kHz、24 kHz之頻率下變大等之實驗結果。

即，於混入有螺絲之工件1中，相應於工件1之移動(搬送)或姿勢變化，螺絲碰撞工件1之內壁或其他構件，此時，產生頻率為1.5 kHz、3 kHz、6 kHz、12 kHz、24 kHz之異常音。再者，作為異常音之特定頻帶之聲音係根據工件1之移動(搬送)速度、工件1之姿勢變化之速度、工件1之殼體2之材質、工件1內部之構造、及混入至工件1之異物之種類等而有所不同。

於預先瞭解異常音之頻帶之情形時，亦可自被聲音檢測部35檢測出之全部聲音信號，提取(例如FFT(Fast Fourier transform，快速傅立葉轉換))與異常音對應之特定頻帶之聲音信號。而且，亦可基於該特定頻帶之聲音信號，判定是否產生異常音。又，於此情形時，亦可將該特定頻帶之聲音信號進行積分，基於積分值判定是否產生異常音。

例如於產生頻率為1.5 kHz、3 kHz、6 kHz、12 kHz、24 kHz之異常音之情形時，自被聲音檢測部35檢測出之聲音信號，提取1 kHz～30 kHz之頻帶之聲音信號。而且，亦可基於該1 kHz～30 kHz之頻帶之聲音信號，判定是否產生異常音。又，於此情形時，例如亦可將1 kHz～30 kHz之頻帶之聲音信號進行積分，基於該積分值是否超過閾值而判定是否產生異常音。

(工件1之順時針方向、逆時針方向之搬送等) 如上所述，於向密封件貼附裝置40搬送工件1時，工件1朝順時針方向迴轉並被搬送。另一方面，於自密封件貼附裝置40向第1外觀檢查裝置50A搬送工件1時，工件1朝逆時針方向迴轉並被搬送。

此處，有如下情形：雖將工件1朝順時針方向搬送亦不會產生異常音，但當將工件1朝逆時針方向搬送時會產生異常音。反之，有如下情形：雖將工件1朝逆時針方向搬送亦不會產生異常音，但當將工件1朝順時針方向搬送時會產生異常音。

例如，於混入有異物之工件1之情形時，根據工件1內部之異物之位置，於順時針方向之搬送及逆時針方向之搬送中，存在僅一方有異物於工件1內移動之情形，且存在僅一方產生異常音之情形。

另一方面，於本實施形態中，將工件1朝順時針方向及逆時針方向之兩方向搬送，故而可適當地檢測異常音。

又，如上所述，於向密封件貼附裝置40搬送工件1時，以及於自密封件貼附裝置40向第1外觀檢查裝置50A搬送工件1時，工件1之姿勢發生變化。

此處，有如下情形：雖單純地搬送工件1亦不會產生異常音，但當工件1之姿勢發生變化時會產生異常音。例如，於混入有異物之工件1之情形時，根據工件1內部之異物之位置，有因工件1之姿勢發生變化而導致異物初次於殼體1內部移動且初次產生異常音之情形。

因此，藉由如本實施形態般，於工件1之搬送時使工件1之姿勢發生變化，可進一步適當地檢測異常音。

[外觀檢查裝置50之處理] 其次，對第1外觀檢查裝置50A及第2外觀檢查裝置50B之處理進行說明。再者，關於第1外觀檢查裝置50A之處理及第2外觀檢查裝置50B之處理，除進行檢查之面不同之方面以外，為基本上相同之處理。

因此，以下，除特別明示之情形以外，代表性地對第1外觀檢查裝置50A之處理進行說明。再者，關於第2外觀檢查裝置50B之處理，只要將正面3改稱為背面4，將第1側面5a改稱為第3側面5c，且將第2側面5b改稱為第4側面5d便可。

圖11係表示外觀檢查裝置50之控制部53之處理之流程圖。首先，第1外觀檢查裝置50A之控制部53判定工件1是否已載置於載置台52(步驟201)。

工件1是否已載置之判定係基於自異常音檢查裝置10發送來之信號而進行。例如，於異常音檢查裝置10已將工件1載置在載置台52時，表示已載置有工件1之信號自異常音檢查裝置10被發送至第1外觀檢查裝置50A。

再者，於第2外觀檢查裝置50B之情形時，於第1搬送裝置80已將工件1載置在載置台52時，表示已載置有工件1之信號自第1搬送裝置80被發送至第2外觀檢查裝置50B。

於工件1已載置於載置台52之情形時(步驟201為是)，控制部53控制第1機械手臂部60及第2機械手臂部70，對殼體2之正面3、第1側面5a及第2側面5b之合計3個面進行掃描(步驟202)。再者，關於該3個面之掃描，將參照圖12～圖19於下文進行敍述。

其次，控制部53基於藉由第1線性攝影機67及第2線性攝影機77所獲得之圖像，判定於工件1中是否檢測出外觀上之異常(工件1之好壞)(步驟203)。

例如，於在3個面中檢測出即便1個固定以上之大小(如使用者一看便知之大小)之損傷或帶痕之情形時，控制部53亦判定檢測出外觀上之異常(步驟203為是)。

又，於在3個面中檢測出特定數量以上之固定以下之大小(如使用者即便看見亦不會立即明確之大小)之損傷或帶痕之情形時，控制部53亦判定檢測出外觀上之異常(步驟203為是)。

於未檢測出外觀上之異常之情形時(步驟203為否)，控制部53將表示該工件1為良品之資訊與該工件1之識別資訊一起發送至第2搬送裝置90(步驟204)。

另一方面，於檢測出外觀上之異常之情形時(步驟203為是)，控制部53將表示該工件1為不良品之資訊與該工件1之識別資訊一起發送至第2搬送裝置90(步驟205)。

於第1外觀檢查裝置50中被判定為不良品之工件1係於第2外觀檢查裝置50B之外觀檢查之後，由第2搬送裝置90收納至不良品收納用之收納架，藉此，將不良品與良品區分開。

其次，對第1外觀檢查裝置50A之外觀檢查進行具體說明。圖12係表示利用第1外觀檢查裝置50A之第1掃描部62及第2掃描部72進行之掃描之軌跡的圖。

於圖12中，實線箭頭係表示利用第1掃描部62進行之掃描之軌跡，虛線箭頭係表示利用第2掃描部72進行之掃描之軌跡。

對實線箭頭附註1.～12.為止之編號，該編號表示第1掃描部62進行掃描之順序。又，對虛線箭頭附註「1」～「8」為止之編號，該編號表示第2掃描部72進行掃描之順序。

又，於1.～12.「1」～「8」之編號旁，附註(1)、(2)、(1')、(2')、(1")、(2")之任一記號。

()內之編號1意味著相對於工件1之特定之面，將線性攝影機67、77之拍攝角度設定為第1拍攝角度(90°)，且將發光部68、78之照射角度設定為第1照射角度(30°)(參照圖7)。又，()內之編號2意味著相對於工件1之特定之面，將線性攝影機67、77之拍攝角度設定為第2拍攝角度(60°)，且將發光部68、78之照射角度設定為第2照射角度(60°)(參照圖8)。

於()內之編號1或2之右上不附註任何記號，抑或附註「'」或附註「"」。於在()內之編號1或2之右上未附註任何記號之情形時，該編號1或2表示針對正面3之拍攝角度、照射角度。

又，於對()內之編號1或2之右上附註「'」之情形時，該編號1或2係表示針對第1側面5a之拍攝角度、照射角度。又，於對()內之編號1或2之右上附註「"」之情形時，該編號1或2係表示針對第2側面5b之拍攝角度、照射角度。

例如，作為一例，對在實線箭頭上附註記號11.(2")之情形進行說明。於此情形時，為實線箭頭，故而表示利用第1掃描部62進行之掃描之軌跡。又，編號11.表示利用第1掃描部62進行之掃描之軌跡中之第11次掃描。進而，(2")意味著將第1掃描部62之第1線性攝影機67之拍攝角度相對於第2側面5b設定為第2拍攝角度(60°)，將第1掃描部62之第1發光部68之照射角度相對於第2側面5b設定為第2照射角度(60°)。

於圖12中，關於正面3、第1側面5a、第2側面5b分別記載為「上」、「下」、「左」、「右」。於圖12之說明中，關於正面3、第1側面5a、第2側面5b，「上」、「下」、「左」、「右」之用語係設為表示圖12所示之方向進行說明(下述圖13～圖19中相同)。

再者，正面3之上下方向、左右方向係於地球座標系統中之水平面內正交之方向。另一方面，第1側面5a、第2側面5b之上下方向係地球座標系統中之上下方向，第1側面5a、第2側面5b之左右方向係地球座標系統中之水平面內之方向。

如圖12所示，對工件1之正面3之掃描由第1掃描部62負責(參照正面3中之實線箭頭)，對工件1之第1側面5a之掃描由第2掃描部72負責(參照第1側面5a中之虛線箭頭)。另一方面，對第2側面5b之掃描由第1掃描部62及第2掃描部72以協同之方式分擔地進行(參照第2側面5b中之實線箭頭及虛線箭頭)。

於本實施形態中，將工件1之相同區域以不同之拍攝角度(第1拍攝角度、第2拍攝角度)及不同之照射角度(第1照射角度、第2照射角度)掃描複數次。再者，於本實施形態中，使用2個圖案(參照圖7、圖8)作為拍攝角度及照射角度，但亦可使用3個以上之圖案作為拍攝角度及照射角度。

例如，作為一例，於1.(1)及4.(2)中，利用第1掃描部62將正面3之相同區域(正面3之左側)以不同之拍攝角度及不同之照射角度掃描2次。又，例如，作為一例，在「1」(1')及「4」(2')中，利用第2掃描部72將第1側面5a之相同區域(第1側面5a之左側)以不同之拍攝角度及不同之照射角度掃描2次。

又，於本實施形態中，將工件1之相同區域於不同之掃描方向(上下方向、左右方向)上掃描複數次。再者，於本實施形態中，使用上下方向、左右方向之2方向作為掃描方向，亦可使用3個以上之方向作為掃描方向。

再者，於本實施形態之說明中，若掃描方向為上下方向，則不論為上方向、下方向之何者均視作相同之掃描方向。同樣地，若掃描方向為左右方向，則不論為右方向、左方向之何者均視作相同之掃描方向。

例如，於1.(1)、2.(1)、3.(2)、4.(2)中，利用第1掃描部62將工件1之正面3於上下方向上進行掃描，與此相對，於5.(1)、8.(1)、9.(2)、12.(2)中，利用第1掃描部62將工件1之正面3於左右方向上進行掃描。又，例如，於「1」(1')、「2」(1')、「3」(2')、「4」(2')中，利用第2掃描部72將工件1之第1側面5a於上下方向上進行掃描，與此相對，於「5」(1')、「6」(2')中，利用第2掃描部72將工件1之第1側面5a於左右方向上進行掃描。

再者，於本實施形態中，對於第2側面5b，根據掃描方向分配針對第1掃描部62及第2掃描部72之分擔。即，第1掃描部62負責第2側面5b之上下方向之掃描(參照6.(1")、7.(1")、10.(2")、11.(2"))，第2掃描部72負責第2側面5b之左右方向之掃描(參照「7」(1")、「8」(2"))。

此處，正面3之左右方向之寬度、上下方向之寬度、第1側面5a之左右方向之寬度、及第2側面5b之左右方向之寬度超過掃描部62、72可1次進行掃描之寬度。因此，正面3之上下方向、左右方向之掃描、第1側面5a之上下方向之掃描、第2側面5b之上下方向之掃描係以相同之掃描方向，分2次進行(必須使拍攝角度、照射角度不同，故而以相同之掃描方向合計掃描4次)。

另一方面，第1側面5a之上下方向之寬度、第2側面5b之上下方向之寬度係設為掃描部62、72可1次進行掃描之寬度以下之寬度。因此，第1側面5a之左右方向之掃描、第2側面5b之左右方向之掃描無需以相同之掃描方向分2次進行(必須使拍攝角度、照射角度不同，故而以相同之掃描方向合計掃描2次)。

圖13～圖19係表示第1外觀檢查裝置50A之第1掃描部62及第2掃描部72之掃描時之移動的圖。再者，於圖13～圖19中，為了容易觀察圖式地表示，僅圖示第1掃描部62、第2掃描部72中之第1發光部68、第2發光部78，於第1線性攝影機67、第2線性攝影機77中省略圖示。又，於圖13～圖19中，(1)、(2)、(1')、(2')、(1")、(2")之記號係以與圖12相同之含義使用。

參照圖13(A)，首先，控制部53控制第1臂部61，使第1掃描部62移動至正面3之左上位置為止(再者，關於正面3之上、下、左、右之用語係參照圖12)。繼而，控制部53將第1線性攝影機67相對於正面3之拍攝角度設定為第1拍攝角度(90°)，將第1發光部68相對於正面3之照射角度設定為第1照射角度(30°)。

與此同時，控制部53控制第2臂部71，使第2掃描部72移動至第1側面5a之左上位置為止(再者，關於第1側面5a之上、下、左、右之用語係參照圖12)。繼而，控制部53將第2線性攝影機77相對於第1側面5a之拍攝角度設定為第1拍攝角度(90°)，將第2發光部78相對於第1側面5a之照射角度設定為第1照射角度(30°)。

其次，控制部53使第1掃描部62之第1發光部68點亮。繼而，控制部53利用第1臂部61，使第1掃描部62於工件1之正面3上朝下方向(於地球座標系統中為水平面內之方向)移動，且利用第1掃描部62之第1線性攝影機67拍攝工件1之正面3。藉此，利用第1掃描部62，以第1拍攝角度、第1照射角度朝下方向掃描工件1之正面3之左側(參照圖12中之1.(1))。

控制部53係與第1發光部68之點亮同時地，使第2掃描部72之第2發光部78點亮。繼而，控制部53利用第2臂部71，使第2掃描部72於工件1之第1側面5a上朝下方向(於地球座標系統中亦為下方向)移動，且利用第2掃描部72之第2線性攝影機77拍攝工件1之第1側面5a。藉此，利用第2掃描部72，以第1拍攝角度、第1照射角度朝下方向掃描工件1之第1側面5a之左側(參照圖12中之「1」(1'))。

參照圖13(B)，當第2掃描部72到達第1側面5a之左下位置時，控制部53使第2掃描部72之朝下方向之移動停止。繼而，控制部53使第2掃描部72中第2線性攝影機77之拍攝停止，且使第2發光部78熄滅。此時，第1掃描部62尚未掃描工件1之正面3。其次，控制部53控制第2臂部71，使第2掃描部72朝右方向移動。

參照圖13(C)，當第2掃描部72到達第1側面5a之右下位置時，控制部53使第2掃描部72之朝右方向之移動停止。其次，控制部53使第2掃描部72之第2發光部78點亮。

繼而，控制部53利用第2臂部71，使第2掃描部72於第1側面5a上朝上方向(於地球座標系統中亦為上方向)移動，且利用第2掃描部72之第2線性攝影機77拍攝工件1之第1側面5a。藉此，利用第2掃描部72，以第1拍攝角度、第1照射角度朝上方向掃描工件1之第1側面5a之右側(參照圖12中之「2」(1'))。

當第2掃描部72到達第1側面5a之右下位置時，第1掃描部62到達正面3之左下位置。當第1掃描部62到達正面3之左下位置時，控制部53使第1掃描部62之朝下方向之移動停止。繼而，控制部53使第1掃描部62中第1線性攝影機67之拍攝停止，且使第1發光部68熄滅。其次，控制部53控制第1臂部61，使第1掃描部62朝右方向移動。

參照圖13(D)，當第1掃描部62到達正面3之右下位置時，控制部53使第1掃描部62之朝右方向之移動停止。其次，控制部53使第1掃描部62之第1發光部68點亮。

繼而，控制部53利用第1臂部61，使第1掃描部62於正面3上朝上方向(地球座標系統中為水平面內之方向)移動，且利用第1掃描部62之第1線性攝影機67拍攝工件1之正面3。藉此，利用第1掃描部62以第1拍攝角度、第1照射角度朝上方向掃描工件1之正面3之右側(參照圖12中之2.(1))。

於第1掃描部62到達正面3之右下位置時，第2掃描部72到達第1側面5a之右上位置。當第2掃描部72到達第1側面5a之右上位置時，控制部53使第2掃描部72之朝上方向之移動停止。繼而，控制部53使第2掃描部72中第2線性攝影機77之拍攝停止，且使第2發光部78熄滅。繼而，控制部53使第2掃描部72於第1側面5a之右上位置待機。

參照圖13(E)，當第1掃描部62到達正面3之右上位置時，控制部53使第1掃描部62之朝上方向之移動停止。繼而，控制部53使第1掃描部62中第1線性攝影機67之拍攝停止，且使第1發光部68熄滅。此時，第2掃描部72仍於第1側面5a之右上位置待機。

參照圖13(F)，其次，控制部53將第1線性攝影機67之拍攝角度自相對於正面3之第1拍攝角度(90°)變更為相對於正面3之第2拍攝角度(60°)。又，控制部53將第1發光部68之照射角度自相對於正面3之第1照射角度(30°)變更為相對於正面3之第2照射角度(60°)。

與此同時，控制部53將第2線性攝影機77之拍攝角度自相對於第1側面5a之第1拍攝角度(90°)變更為相對於第1側面5a之第2拍攝角度(60°)。又，控制部53將第2發光部78之照射角度自相對於第1側面5a之第1照射角度(30°)變更為相對於第1側面5a之第2照射角度(60°)。

參照圖14(G)，其次，控制部53使第1掃描部62之第1發光部68點亮。繼而，控制部53利用第1臂部61，使第1掃描部62於工件1之正面3上朝下方向(地球座標系統中為水平面內之方向)移動，且利用第1掃描部62之第1線性攝影機67拍攝工件1之正面3。藉此，利用第1掃描部62，以第2拍攝角度、第2照射角度朝下方向掃描工件1之正面3之右側(參照圖12中之3.(2))。

控制部53係與第1發光部68之點亮同時地，使第2掃描部72之第2發光部78點亮。繼而，控制部53利用第2臂部71，使第2掃描部72於工件1之第1側面5a上朝下方向(於地球座標系統中亦為下方向)移動，且利用第2掃描部72之第2線性攝影機77拍攝工件1之第1側面5a。藉此，利用第2掃描部72，以第2拍攝角度、第2照射角度朝下方向掃描工件1之第1側面5a之右側(參照圖12中之「3」(2'))。

參照圖14(H)，當第2掃描部72到達第1側面5a之右下位置時，控制部53使第2掃描部72之朝下方向之移動停止。繼而，控制部53使第2掃描部72中第2線性攝影機77之拍攝停止，且使第2發光部78熄滅。此時，第1掃描部62仍掃描工件1之正面3。其次，控制部53控制第2臂部71，使第2掃描部72朝左方向移動。

參照圖14(I)，當第2掃描部72到達第1側面5a之左下位置時，控制部53使第2掃描部72之朝左方向之移動停止。其次，控制部53使第2掃描部72之第2發光部78點亮。

繼而，控制部53利用第2臂部71，使第2掃描部72於第1側面5a上朝上方向(於地球座標系統中亦為上方向)移動，且利用第2掃描部72之第2線性攝影機77拍攝工件1之第1側面5a。藉此，利用第2掃描部72，以第2拍攝角度、第2照射角度朝上方向掃描工件1之第1側面5a之左側(參照圖12中之「4」(2'))。

於第2掃描部72到達第1側面5a之左下位置時，第1掃描部62到達正面3之右下位置。當第1掃描部62到達正面3之右下位置時，控制部53使第1掃描部62之朝下方向之移動停止。繼而，控制部53使第1掃描部62中第1線性攝影機67之拍攝停止，且使第1發光部68熄滅。其次，控制部53控制第1臂部61，使第1掃描部62朝左方向移動。

參照圖14(J)，當第1掃描部62到達正面3之左下位置時，控制部53使第1掃描部62之朝左方向之移動停止。其次，控制部53使第1掃描部62之第1發光部68點亮。

繼而，控制部53利用第1臂部61，使第1掃描部62於正面3上朝上方向(地球座標系統中為水平面內之方向)移動，且利用第1掃描部62之第1線性攝影機67拍攝工件1之正面3。藉此，利用第1掃描部62，以第2拍攝角度、第2照射角度朝上方向掃描工件1之正面3之左側(參照圖12中之4.(2))。

於第1掃描部62到達正面3之左下位置時，第2掃描部72到達第1側面5a之左上位置。當第2掃描部72到達第1側面5a之左上位置時，控制部53使第2掃描部72之朝上方向之移動停止。繼而，控制部53使第2掃描部72中第2線性攝影機77之拍攝停止，且使第2發光部78熄滅。

參照圖14(K)，其次，控制部53利用第2臂部71使第2掃描部72旋轉，使第2掃描部72位於第1側面5a之左側。藉此，第2掃描部72之針對第2側面5b之掃描方向自上下方向變更為左右方向。

又，此時，控制部53將第2線性攝影機77之拍攝角度自相對於第1側面5a之第2拍攝角度(60°)變更為相對於第1側面5a之第1拍攝角度(90°)。又，控制部53將第2發光部78之照射角度自相對於第1側面5a之第2照射角度(60°)變更為相對於第1側面5a之第1照射角度(30°)。

於第2掃描部72之旋轉、以及拍攝角度及照射角度之變更完成時，第1掃描部62到達正面3之左上位置。當第1掃描部62到達正面3之左上位置時，控制部53使第1掃描部62之朝上方向之移動停止。繼而，控制部53使第1掃描部62中第1線性攝影機67之拍攝停止，且使第1發光部68熄滅。

參照圖14(L)，當第2掃描部72之旋轉、以及拍攝角度及照射角度之變更完成時，控制部53使第2掃描部72之第2發光部78點亮。繼而，控制部53利用第2臂部71，使第2掃描部72於工件1之第1側面5a上朝右方向移動，且利用第2掃描部72之第2線性攝影機77拍攝工件1之第1側面5a。藉此，利用第2掃描部72，以第1拍攝角度、第1照射角度朝右方向掃描工件1之第1側面5a(參照圖12中之「5」(1'))。

參照圖15(M)，於第2掃描部72朝右方向掃描第1側面5a時，控制部53利用第1臂部61使第1掃描部62旋轉，使第1掃描部62位於正面3之左上。藉此，第1掃描部62之針對正面3之掃描方向自上下方向變更為左右方向。

又，此時，控制部53將第1線性攝影機67之拍攝角度自相對於正面3之第2拍攝角度(60°)變更為相對於正面3之第1拍攝角度(90°)。又，控制部53將第1發光部68之照射角度自相對於正面3之第2照射角度(60°)變更為相對於正面3之第1照射角度(30°)。

於第1掃描部62之旋轉、以及拍攝角度及照射角度之變更完成時，第2掃描部72仍朝右方向掃描第1側面5a。

參照圖15(N)，當第1掃描部62之旋轉、以及拍攝角度及照射角度之變更完成時，控制部53使第1掃描部62之第1發光部68點亮。繼而，控制部53利用第1臂部61，使第1掃描部62於工件1之正面3上朝右方向移動，且利用第1掃描部62之第1線性攝影機67拍攝工件1之正面3。藉此，利用第1掃描部62，以第1拍攝角度、第1照射角度朝右方向掃描工件1之正面3之上側(參照圖12中之5.(1))。

參照圖15(O)，當第2掃描部72到達第1側面5a之右側位置時，控制部53使第2掃描部72之朝右方向之移動停止。繼而，控制部53使第2掃描部72中第2線性攝影機77之拍攝停止，且使第2發光部78熄滅。此時，第1掃描部62仍朝右方向掃描工件1之正面3。

參照圖15(P)，其次，控制部53將第2線性攝影機77之拍攝角度自相對於第1側面5a之第1拍攝角度(90°)變更為相對於第1側面5a之第2拍攝角度(60°)。又，控制部53將第2發光部78之照射角度自相對於第1側面5a之第1照射角度(30°)變更為相對於第1側面5a之第2照射角度(60°)。

於第2掃描部72之拍攝角度及照射角度之變更完成時，第1掃描部62到達正面3之右上位置。

參照圖15(Q)，當第1掃描部62到達正面3之右上位置時，控制部53使第1掃描部62之朝右方向之移動停止。繼而，控制部53使第1掃描部62中第1線性攝影機67之拍攝停止，且使第1發光部68熄滅。

此時，控制部53使第2掃描部72之第2發光部78點亮。繼而，控制部53利用第2臂部71，使第2掃描部72於工件1之第1側面5a上朝左方向移動，且利用第2掃描部72之第2線性攝影機77拍攝工件1之第1側面5a。藉此，利用第2掃描部72，以第2拍攝角度、第2照射角度朝左方向掃描工件1之第1側面5a(參照圖12中之「6」(2'))。

參照圖15(R)，於第2掃描部72朝左方向掃描第1側面5a時，控制部53將第1線性攝影機67之拍攝角度自相對於正面3之第1拍攝角度(90°)變更為相對於第2側面5b之第1拍攝角度(90°)。又，控制部53將第1發光部68之照射角度自相對於正面3之第1照射角度(30°)變更為相對於第2側面5b之第1照射角度(30°)。此時，第1掃描部62相對於第2側面5b位於右上位置(關於第2側面5b中之上、下、左、右之用語係參照圖12)。

於第1掃描部62之拍攝角度及照射角度之變更完成時，第2掃描部72仍朝左方向掃描第1側面5a。

參照圖16(S)，當第1掃描部62之拍攝角度及照射角度之變更完成時，控制部53使第1掃描部62之第1發光部68點亮。繼而，控制部53利用第1臂部61，使第1掃描部62於工件1之第2側面5b上朝下方向(於地球座標系統中亦為下方向)移動，且利用第1掃描部62之第1線性攝影機67拍攝工件1之第2側面5b。藉此，利用第1掃描部62，以第1拍攝角度、第1照射角度朝下方向掃描工件1之第2側面5b之右側(參照圖12中之6.(1"))。

參照圖16(T)，當第1掃描部62到達第2側面5b之右下位置時，控制部53使第1掃描部62之朝下方向之移動停止。繼而，控制部53使第1掃描部62中第1線性攝影機67之拍攝停止，且使第1發光部68熄滅。其次，控制部53控制第1臂部61，使第1掃描部62相對於第2側面5b朝左方向移動。

於第1掃描部62到達第2側面5b之右下位置時，第2掃描部72到達工件1之第1側面5a之左側位置。當第2掃描部72到達第1側面5a之左側位置時，控制部53使第2掃描部72之朝左方向之移動停止。繼而，控制部53使第2掃描部72中第2線性攝影機77之拍攝停止，且使第2發光部78熄滅。

參照圖16(U)，當第1掃描部62到達第2側面5b之左下位置時，控制部53使第1掃描部62之朝左方向之移動停止。其次，控制部53使第1掃描部62之第1發光部68點亮。

繼而，控制部53利用第1臂部61，使第1掃描部62於第2側面5b上朝上方向(於地球座標系統中亦為上方向)移動，且利用第1掃描部62之第1線性攝影機67拍攝工件1之第2側面5b。藉此，利用第1掃描部62，以第1拍攝角度、第1照射角度朝上方向掃描工件1之第2側面5b之左側(參照圖12中之7.(1"))。

再者，此時，控制部53利用第2臂部71，使第2掃描部72移動至待機位置，使第2掃描部72為待機狀態。

參照圖16(V)，當第1掃描部62到達第2側面5b之左上位置時，控制部53使第1掃描部62之朝上方向之移動停止。繼而，控制部53使第1掃描部62中第1線性攝影機67之拍攝停止，且使第1發光部68熄滅。

參照圖16(W)，其次，控制部53將第1線性攝影機67之拍攝角度自相對於第2側面5b之第1拍攝角度(90°)變更為相對於正面3之第1拍攝角度(90°)。又，控制部53將第1發光部68之照射角度自相對於第2側面5b之第1照射角度(60°)變更為相對於正面3之第1照射角度(60°)。此時，第1掃描部62相對於正面3位於右下位置(關於正面3之上、下、左、右之用語係參照圖12)。

參照圖16(X)，當第1掃描部62之拍攝角度及照射角度之變更完成時，控制部53使第1掃描部62之第1發光部68點亮。繼而，控制部53利用第1臂部61，使第1掃描部62於工件1之正面3上朝左方向移動，且利用第1掃描部62之第1線性攝影機67拍攝工件1之正面3。藉此，利用第1掃描部62，以第1拍攝角度、第1照射角度朝左方向掃描工件1之正面3之下側(參照圖12中之8.(1))。

參照圖17(Y)，當第1掃描部62到達正面3之左下位置時，控制部53使第1掃描部62之朝左方向之移動停止。繼而，控制部53使第1掃描部62中第1線性攝影機67之拍攝停止，且使第1發光部68熄滅。

參照圖17(Z)，其次，控制部53將第1線性攝影機67之拍攝角度自相對於正面3之第1拍攝角度(90°)變更為相對於正面3之第2拍攝角度(60°)。又，控制部53將第1發光部68之照射角度自相對於正面3之第1照射角度(30°)變更為相對於正面3之第2照射角度(60°)。

參照圖17(A')，其次，控制部53使第1掃描部62之第1發光部68點亮。繼而，控制部53利用第1臂部61，使第1掃描部62於工件1之正面3上朝右方向移動，且利用第1掃描部62之第1線性攝影機67拍攝工件1之正面3。藉此，利用第1掃描部62，以第2拍攝角度、第2照射角度朝右方向掃描工件1之正面3之下側(參照圖12中之9.(2))。

參照圖17(B')，當第1掃描部62到達正面3之右下位置時，控制部53使第1掃描部62之朝右方向之移動停止。繼而，控制部53使第1掃描部62中第1線性攝影機67之拍攝停止，且使第1發光部68熄滅。

參照圖17(C')，其次，控制部53將第1線性攝影機67之拍攝角度自相對於正面3之第2拍攝角度(60°)變更為相對於第2側面5b之第2拍攝角度(60°)。又，控制部53將第1發光部68之照射角度自相對於正面3之第2照射角度(60°)變更為相對於第2側面5b之第2照射角度(60°)。此時，第1掃描部62相對於第2側面5b位於左上位置(關於第2側面5b之上、下、左、右之用語係參照圖12)。

參照圖17(D')，其次，控制部53使第1掃描部62之第1發光部68點亮。繼而，控制部53利用第1臂部61，使第1掃描部62於工件1之第2側面5b上朝下方向(於地球座標系統中亦為下方向)移動，且利用第1掃描部62之第1線性攝影機67拍攝工件1之第2側面5b。藉此，利用第1掃描部62，以第2拍攝角度、第2照射角度朝下方向掃描工件1之第2側面5b之左側(參照圖12中之10.(2"))。

參照圖18(E')，當第1掃描部62到達第2側面5b之左下位置時，控制部53使第1掃描部62之朝下方向之移動停止。繼而，控制部53使第1掃描部62中第1線性攝影機67之拍攝停止，且使第1發光部68熄滅。其次，控制部53控制第1臂部61，使第1掃描部62相對於第2側面5b朝右方向移動。

參照圖18(F')，當第1掃描部62到達第2側面5b之右下位置時，控制部53使第1掃描部62之朝右方向之移動停止。其次，控制部53使第1掃描部62之第1發光部68點亮。

繼而，控制部53利用第1臂部61，使第1掃描部62於第2側面5b上朝上方向(於地球座標系統中亦為上方向)移動，且利用第1掃描部62之第1線性攝影機67拍攝工件1之第2側面5b。藉此，利用第1掃描部62，以第2拍攝角度、第2照射角度朝上方向掃描工件1之第1側面5a之右側(參照圖12中之11.(2"))。

參照圖18(G')，當第1掃描部62到達第2側面5b之右上位置時，控制部53使第1掃描部62之朝上方向之移動停止。繼而，控制部53使第1掃描部62中第1線性攝影機67之拍攝停止，且使第1發光部68熄滅。

參照圖18(H')，其次，控制部53將第1線性攝影機67之拍攝角度自相對於第2側面5b之第2拍攝角度(60°)變更為相對於正面3之第2拍攝角度(60°)。又，控制部53將第1發光部68之照射角度自相對於第2側面5b之第2照射角度(60°)變更為相對於正面3之第2照射角度(60°)。此時，第1掃描部62相對於正面3位於右上位置(關於正面3之上、下、左、右之用語係參照圖12)。

參照圖18(I')，其次，控制部53使第1掃描部62之第1發光部68點亮。繼而，控制部53利用第1臂部61，使第1掃描部62於工件1之正面3上朝左方向移動，且利用第1掃描部62之第1線性攝影機67拍攝工件1之正面3。藉此，利用第1掃描部62，以第2拍攝角度、第2照射角度朝左方向掃描工件1之正面3之上側(參照圖12中之12.(2))。

參照圖18(J')，當第1掃描部62到達正面3之左上位置時，控制部53使第1掃描部62之朝左方向之移動停止。繼而，控制部53使第1掃描部62中第1線性攝影機67之拍攝停止，且使第1發光部68熄滅。

此時，控制部53控制第2臂部71，使第2掃描部72位於第2側面5b之左側(關於第2側面5b之上、下、左、右之用語係參照圖12)。繼而，控制部53將第2線性攝影機77之拍攝角度設定為相對於第2側面5b之第1拍攝角度(90°)，且將第2發光部78之照射角度設定為相對於第2側面5b之第1照射角度(30°)。

其次，控制部53使第2掃描部72之第2發光部78點亮。繼而，控制部53利用第2臂部71，使第2掃描部72於工件1之第2側面5b上朝右方向移動，且利用第2掃描部72之第2線性攝影機77拍攝工件1之第2側面5b。藉此，利用第2掃描部72，以第1拍攝角度、第1照射角度朝右方向掃描工件1之第2側面5b(參照圖12中之「7」(1"))。

參照圖19(K')，當第2掃描部72到達第2側面5b之右側位置時，控制部53使第2掃描部72之朝右方向之移動停止。繼而，控制部53使第2掃描部72中第2線性攝影機77之拍攝停止，且使第2發光部78熄滅。

再者，此時，控制部53利用第1臂部61，使第1掃描部62移動至待機位置，且使第1掃描部62為待機狀態。

參照圖19(L')，其次，控制部53將第2線性攝影機77之拍攝角度自相對於第2側面5b之第1拍攝角度(90°)變更為相對於第2側面5b之第2拍攝角度(60°)。又，控制部53將第2發光部78之照射角度自相對於第2側面5b之第1照射角度(30°)變更為相對於第2側面5b之第2照射角度(60°)。

參照圖19(M')，其次，控制部53使第2掃描部72之第2發光部78點亮。繼而，控制部53利用第2臂部71，使第2掃描部72於工件1之第2側面5b上朝左方向移動，且利用第2掃描部72之第2線性攝影機77拍攝工件1之第2側面5b。藉此，利用第2掃描部72，以第2拍攝角度、第2照射角度朝左方向掃描工件1之第2側面5b(參照圖12中之「8」(2"))。

參照圖19(N')，當第2掃描部72到達第2側面5b之左側位置時，控制部53使第2掃描部72之朝左方向之移動停止。繼而，控制部53使第2掃描部72中第2線性攝影機77之拍攝停止，且使第2發光部78熄滅。

參照圖19(O')，其次，控制部53利用第2臂部71，使第2掃描部72移動至待機位置，且使第2掃描部72為待機狀態。

再者，此後，工件1係藉由第1搬送裝置80而上下顛倒，以使背面4朝向上側之方式載置於第2外觀檢查裝置50B之載置台52。繼而，利用與上述流程相同之流程，利用第2外觀檢查裝置50B檢查工件1之背面4、第3側面5c及第4側面5d。

(利用圖12～圖19所示之動作檢查工件1之理由) 此處，對利用圖12～圖19所示之動作檢查工件1之理由進行說明。於在第1掃描部62及第2掃描部72中檢查3個面之外觀之情形時，必須考慮以下1)～4)所示之方面。

1)藉由第1掃描部62及第2掃描部72，儘可能於短時間內完成3個面之掃描(縮短檢查時間)。 2)藉由第1掃描部62及第2掃描部72，儘可能準確地檢查工件1之外觀。 3)第1掃描部62及第2掃描部72不會相互碰撞。 4)使由第1掃描部62之第1發光部68發出之光不會產生對第2掃描部72之第2線性攝影機77之拍攝帶來不良影響之光干涉。同樣地，使由第2掃描部72之第2發光部78發出之光不會產生對第1掃描部62之第1線性攝影機67之拍攝帶來不良影響之光干涉。

首先，為了縮短檢查時間，控制部53係於利用第1掃描部62掃描工件1之正面3時，同時利用第2掃描部72掃描工件1之第1側面5a。又，為了縮短檢查時間，控制部53利用第1掃描部62及第2掃描部72以協同之方式分擔地掃描第2側面5b。

再者，當於第1掃描部62及第2掃描部72中同時進行第2側面5b之掃描時，2台掃描部62、67會相互碰撞。因此，利用第1掃描部62掃描第2側面5b之時刻(參照圖16(S)～16(V)、圖17(D')～圖18(G'))與利用第2掃描部72掃描第2側面5b之時刻(參照圖18(J')～圖19(N'))錯開。

又，為了準確地檢查工件1之外觀，控制部53係利用第1掃描部62，將工件1之正面3以不同之拍攝角度及不同之照射角度掃描複數次。同樣地，控制部53係利用第2掃描部72，將工件1之第1側面5a以不同之拍攝角度及不同之照射角度掃描複數次。

又，為了準確地檢查工件1之外觀，控制部53係利用第1掃描部62，將工件1之正面3於不同之掃描方向上(上下方向、左右方向)掃描複數次。同樣地，控制部53係利用第2掃描部72，將工件1之第1側面5a於不同之掃描方向上掃描複數次。

再者，對於第2側面5b，根據掃描方向分配針對第1掃描部62及第2掃描部72之分擔。具體而言，於本實施形態中，控制部53係利用第1掃描部62，於上下方向上掃描第2側面5b，且利用第2掃描部72於左右方向上掃描第2側面5d。

此處，於圖12中，著眼於5.(1)、6.(1")、7.(1")、8.(1)處之第1掃描部62之移動(對應於圖15(N)～圖17(Y))。首先，第1掃描部62朝右方向掃描正面3之上側，並到達正面3之右上位置(圖12之5.(1))。於正面3之右上位置之前方，存在第2側面5b，第1掃描部62係藉由原本之流程，朝下方向掃描第1側面5a之右側(圖12之6.(1"))。

其後，第1掃描部62朝上方向掃描第2側面5b之左側，並到達第2側面5b之左上位置(圖12之7.(1"))。於第2側面5b之左上位置之前端，存在正面3，第1掃描部62係藉由原本之流程，朝左方向掃描正面3之下側(圖12之8.(1))。

再者，於圖12中，在9.(2)、10.(2")、11.(2")、12.(2)處，拍攝角度、照射角度亦不同，除該方面以外，第1掃描部62執行與5.(1)、6.(1")、7.(1")、8.(1)基本上相同之動作。

即，於本實施形態中，控制部53係利用第1掃描部62進行工件1之正面3之左右方向上之掃描、及工件1之第1側面5a(於掃描方向上與正面3鄰接之面)之上下方向上之掃描作為一系列之流程，藉此縮短檢查時間。

其次，對光干涉進行說明。於本實施形態中，為了不產生光干涉，控制部53控制利用第1掃描部62及第2掃描部72進行之掃描之移動。

典型而言，控制部53控制第1掃描部62及第2掃描部72之移動，以使進行掃描之第1掃描部62及第2掃描部72之距離儘可能不靠近。

該內容例如示於圖13(A)、圖14(G)、圖15(N)、圖16(S)等中。於圖13(A)、圖14(G)中，於第1掃描部62在工件1之正面3朝下方向移動時，第2掃描部72於工件1之第1側面5a朝下方向移動。藉此，得以確保第1掃描部62及第2掃描部72之間之距離，而防止光干涉。

於圖15(N)中，於第2掃描部72在工件1之第1側面5a朝右方向移動且某種程度上前進時，第1掃描部62於工件1之正面3開始朝右方向之掃描。藉此，得以確保第1掃描部62及第2掃描部72之間之距離，而防止光干涉。

於圖16(S)中，於第2掃描部72在工件1之第1側面5a朝左方向移動，並於某種程度上前進時，第1掃描部62於工件1之第2側面5b開始朝下方向之掃描。藉此，第1掃描部62及第2掃描部72之間之距離變遠，得以防止光干涉。

又，控制部53於第1掃描部62及第2掃描部72之距離成為固定之距離以下之情形時，控制第1發光部68及第2發光部78之點亮、熄滅時刻、第1線性攝影機67及第2線性攝影機77之拍攝開始、拍攝結束時刻(掃描開始、結束時刻)。

該內容例如示於圖13(C)、圖13(D)、圖14(I)、圖14(J)、圖15(Q)等中。

於圖13(C)、圖14(I)中，第1掃描部62及第2掃描部72之距離成為固定之距離以下。另一方面，於第1掃描部62到達正面3之下側並使第1線性攝影機67之拍攝結束，且使第1發光部68熄滅之時刻，使第2發光部78發光而開始第2線性攝影機77之拍攝。藉此，得以防止光干涉。

同樣地，於圖13(D)、圖14(J)中，第1掃描部62及第2掃描部72之距離亦成為固定之距離以下。另一方面，於第2掃描部72到達第1側面5a之上側並使第2線性攝影機77之拍攝結束，且使第2發光部78熄滅之時刻，使第1發光部68發光而開始第1線性攝影機67之拍攝。藉此，防止光干涉。

同樣地，於圖15(Q)中，第1掃描部62及第2掃描部72之距離亦成為固定之距離以下。另一方面，於第1掃描部62到達正面3之右側並使第1線性攝影機67之拍攝結束，且使第1發光部68熄滅之時刻，使第2發光部78發光而開始第2線性攝影機77之拍攝。藉此，得以防止光干涉。

此處，參照圖14(L)～圖16(T)，第2掃描部72係於第2發光部78豎起之狀態(第1發光部68之長度方向成為地球座標系統之上下方向之狀態)下掃描第1側面5a。又，參照圖18(J')～圖19(N')，第2掃描部72於第2發光部78豎起之狀態下掃描第2側面5b。

另一方面，第1側面5a、第2側面5b之上下方向之寬度較第2發光部78之長度小。因此，當於第2發光部78豎起之狀態下對側面5照射光時，與於第2發光部78平放之狀態(第2發光部78之長度方向成為地球座標系統之水平方向之狀態)下對側面5照射光之情形相比，洩漏至正面3之光量較多。

即，於第2發光部78豎起之狀態下，與第2發光部78平放之狀態相比，第2掃描部72之第2發光部78容易產生對利用第1掃描部62之第1線性攝影機67之拍攝帶來不良影響之光干涉。

因此，基本而言，如圖18(J')～圖19(N')所示，於在第2發光部78豎起之狀態下利用第2掃描部72掃描側面5時，第1掃描部62不掃描正面3。或者，如圖14(L)～圖15(O)所示，於在第2發光部78豎起之狀態下利用第2掃描部72掃描側面5時，第1掃描部62亦可掃描正面3，於此情形時，至少將第1掃描部62與第2掃描部72之間之距離確保為固定之距離以上。

再者，第2發光部78亦可構成為可局部點亮。於此情形時，第2發光部78之於豎起之狀態下與側面5之上下方向之寬度對應之部位被局部點亮，除此以外之部位熄滅。藉此，得以防止光干涉。

又，第1發光部68與第2發光部78亦可構成為可出射不同波長區域之光。利用此種方法亦可防止光干涉。

＜作用等＞ [異常音檢查裝置10] 如上所述，於本實施形態之異常音檢查裝置10中，利用臂部21使保持有工件1之狀態之手部31移動而搬送工件1，且利用聲音檢測部35於工件1被搬送時檢測工件1之聲音。繼而，基於所檢測出之聲音信號，檢查自工件1產生之異常音。

即，本實施形態之異常音檢查裝置10兼具如下兩個功能：作為搬送工件1之搬送裝置之功能、及作為檢查自工件1產生之異常音之異常音檢查裝置之功能。因此，就該異常音檢查裝置10而言，可於搬送工件1之過程中檢查工件1之異常音，可有效率地進行工件1之異常音檢查。進而，就本實施形態之異常音檢查裝置10而言，與分別準備搬送裝置與異常音檢查裝置之情形相比，可削減成本。

又，於本實施形態之異常音檢查裝置10中，使保持有工件1之狀態之手部31朝順時針方向移動，而向密封件貼附裝置40搬送工件1。另一方面，使保持有工件1之狀態之手部31朝逆時針方向移動而自密封件貼附裝置40向第1外觀檢查裝置50A搬送工件1。

繼而，利用聲音檢測部35檢測相應於工件1之按順時針方向之移動而自工件1產生之聲音、及相應於工件1之按逆時針方向之移動而自工件1產生之聲音，基於所檢測出之聲音信號，檢查自工件1產生之異常音。

如此，將工件1朝順時針方向及逆時針方向搬送，並基於此時自工件1產生之聲音檢查自工件1產生之異常音，藉此可適當地檢查異常音。再者，使工件1移動之方向亦可為地球座標系統中之上方向及下方向等。

又，於本實施形態之異常音檢查裝置10中，在向密封件貼附裝置40搬送工件1時，使工件1之姿勢(手部31之姿勢)變化，以便可使密封件貼附裝置40對工件1進行處理。同樣地，於自密封件貼附裝置40向第1外觀檢查裝置50A搬送工件1時，使工件1之姿勢(手部31之姿勢)變化，以便將工件1載置於第1外觀檢查裝置50A之載置台52上。

繼而，利用聲音檢測部35檢測相應於工件1之姿勢變化而自工件1產生之聲音，基於所檢測出之聲音信號，檢查自工件1產生之異常音。

如此，於工件1之搬送過程中使工件1之姿勢發生變化，基於此時自工件1產生之聲音，檢查自工件1產生之異常音，藉此可適當地檢查異常音。

又，於本實施形態之異常音檢查裝置10中，於手部31設置有聲音檢測部35。藉此，可於工件1之搬送過程中適當地檢測自工件1產生之聲音。再者，聲音檢測部35亦可設置於機械手臂部12之其他部分(臂部21等)。

進而，於本實施形態之異常音檢查裝置10中，聲音檢測部35係以與工件1接觸並檢測聲音之方式構成，該聲音檢測部35包含AE感測器。藉此，可進一步適當地檢測自工件1產生之異常音。

再者，聲音檢測部35亦可以與工件1非接觸地檢測聲音之方式構成。於此情形時，聲音檢測部35亦可包含麥克風。即便聲音檢測部35如此構成，亦可適當地檢測自工件1產生之異常音。

再者，有理應檢測出之異常音之頻帶為與周圍之環境音之頻帶相同之頻帶的情形。於此情形時，就與工件1非接觸地檢測聲音之類型之聲音檢測部35而言，有因周圍之環境音而導致無法適當地檢測異常音之情形。因此，例如，於此種情形時，亦可使用與工件1接觸並檢測聲音之類型之聲音檢測部35。

又，於異常音檢查裝置10中，基於由聲音檢測部35檢測出之聲音信號之特定頻帶(對應於異常音之頻帶)之信號，檢測自工件1產生之異常音。藉此，可適當地檢查異常音。

又，於本實施形態之異常音檢查裝置10中，將異常音檢查裝置10中特定頻帶(對應於異常音之頻帶)之信號積分，基於積分值而檢查自工件1產生之異常音。藉此，可於對應於異常音之頻帶中，判斷異常音之平均大小，故而可進一步適當地檢查異常音。

[外觀檢查裝置50] 於本實施形態之外觀檢查裝置50中，在利用第1掃描部62掃描工件之正面3(背面4)時，同時利用第2掃描部72掃描第1側面5a(第3側面5c)。藉此，於本實施形態之外觀檢查裝置中，可有效率地迅速完成工件1之外觀檢查。

此處，於外觀檢查中，存在與生產線上之其他工序相比容易耗費時間等問題，且存在難以獲得與其他工序之產距時間平衡之問題。尤其是，於工件1為如固定型遊戲機般應檢查之區域相對較寬之物體之情形時，容易產生此種問題。另一方面，於本實施形態中，可縮短外觀檢查之檢查時間，故而亦容易獲得與其他工序之產距時間平衡。

又，於本實施形態中，1台外觀檢查裝置50具備2個機械手臂部60、70，故而例如與1台外觀檢查裝置50具有1個機械手臂部之情形相比，可減少外觀檢查裝置50之台數。藉此，可削減成本。又，可縮小檢查系統100之設置空間，生產區之空間管理之自由度提高。

又，於本實施形態之外觀檢查裝置50中，第1掃描部62具有第1發光部68，第2掃描部72具有第2發光部78。

藉此，可對第1線性攝影機67、第2線性攝影機77進行拍攝之部位適當地照射光。

又，於本實施形態之外觀檢查裝置50中，在第1掃描部62中，調整第1線性攝影機67拍攝工件1之正面3(背面4)之拍攝角度，且調整第1發光部68對工件1之正面3(背面4)照射光之照射角度。同樣地，於本實施形態之外觀檢查裝置50中，在第2掃描部72中，調整第2線性攝影機77拍攝工件1之第1側面5a(第3側面5c)之拍攝角度，且調整第2發光部78對工件1之第1側面5a(第3側面5c)照射光之照射角度。

藉此，可準確地檢查工件1之外觀。

又，於本實施形態之外觀檢查裝置50中，利用第1掃描部62以不同之拍攝角度及不同之照射角度將工件1之正面3(背面4)掃描複數次。藉此，可更準確地檢查工件1之外觀。

同樣地，於本實施形態之外觀檢查裝置50中，利用第2掃描部72以不同之拍攝角度及不同之照射角度將工件1之第1側面5a(第3側面5c)掃描複數次。藉此，可更準確地檢查工件1之外觀。

又，於本實施形態之外觀檢查裝置50中，利用第1掃描部62將工件1之正面3(背面4)於不同之掃描方向上掃描複數次。藉此，可更準確地檢查工件1之外觀。

又，於本實施形態之外觀檢查裝置50中，利用第2掃描部72將工件1之第1側面5a(第3側面5c)於不同之掃描方向上掃描複數次。藉此，可更準確地檢查工件1之外觀。

又，於本實施形態之外觀檢查裝置50中，利用第1掃描部62及第2掃描部72協同地掃描第2側面5b(第4側面5d)。藉此，可進一步縮短外觀檢查之檢查時間。

又，於本實施形態之外觀檢查裝置50中，利用第1掃描部62，於上下方向掃描第2側面5b(第4側面5d)，且利用第2掃描部72於左右方向掃描第2側面5b(第4側面5d)。藉此，可進一步縮短外觀檢查之檢查時間。再者，關於第2側面5b(第4側面5d)，亦可根據拍攝角度、照射角度分配針對第1掃描部62及第2掃描部72之分擔。

又，於本實施形態之外觀檢查裝置50中，為了不產生來自第1發光部68之光干涉到第2線性攝影機77之拍攝之光干涉、及來自第2發光部78之光干涉到第1線性攝影機67之拍攝之光干涉，而控制利用第1掃描部62及第2掃描部72進行之掃描之移動。藉此，可適當地防止光干涉。

又，於本實施形態之外觀檢查裝置50中，為了不產生光干涉，而控制利用第1發光部68及第2發光部78之點亮、熄滅時刻。藉此，可進一步適當地防止光干涉。

又，於本實施形態之外觀檢查裝置50中，為了不產生光干涉，而控制利用第1線性攝影機67及第2線性攝影機77之拍攝開始、拍攝結束時刻。藉此，可進一步適當地防止光干涉。

又，於本實施形態之外觀檢查裝置50中，將第1掃描部62負責掃描之正面3(背面4)、第2掃描部72負責掃描之第1側面5a(第3側面5c)、及第1掃描部62及第2掃描部72共同負責掃描之第2側面5b(第4側面5d)設為相互鄰接之面。藉此，可利用第1掃描部62及第2掃描部72有效率地檢查工件1之多面。

此處，於本實施形態中，將第1外觀檢查裝置50A、第2外觀檢查裝置50B分別單元化。藉由如此將外觀檢查裝置50單元化，可適當地應對生產線上之工件1之生產量之變動(生產量之增加、減少)。尤其是，藉由將外觀檢查裝置50單元化，可適當地應對如將工件1之生產量設為1.3倍或1.5倍之以小數倍計之生產量之變動。

於應對生產量之變動之情形時，例如亦可於第1外觀檢查裝置50A、第2外觀檢查裝置50B之後方，串聯地配置另一台外觀檢查裝置50。於此情形時，3台外觀檢查裝置50亦可分別進行工件1之6面中之2面之檢查。再者，所添加之另一外觀檢查裝置50亦可相對於第1外觀檢查裝置50A、第2外觀檢查裝置50B並聯地配置。又，關於所添加之外觀檢查裝置50之數量亦不限定於1台。又，亦可省略第1外觀檢查裝置50A、第2外觀檢查裝置50B中之一外觀檢查裝置50。於此情形時，1台外觀檢查裝置50檢查工件1之6面之全部。

≪各種變化例≫ 於以上說明中，對工件1為固定型遊戲機之情形進行了說明。另一方面，工件1亦可為除固定型遊戲機以外之各種電子機器、或各種汽車零件等。典型而言，工件1只要為具有多面之形狀，則可為任何檢查對象物(亦可為如基板般之較薄之物體)。

本技術亦可採用以下構成。 (1)一種異常音檢查裝置，其具備： 機械手臂部，其具有臂部及保持部，該保持部係設置於上述臂部，且可保持工件； 聲音檢測部，其設置於上述機械手臂部，且檢測上述工件之聲音；以及 控制部，其利用上述臂部使保持有上述工件之狀態之保持部移動而搬送上述工件，且利用上述聲音檢測部，於上述工件被搬送時檢測工件之聲音，且基於所檢測出之聲音信號，檢查自上述工件產生之異常音。 (2)如上述(1)之異常音檢查裝置，其中 上述控制部係利用上述臂部，使保持有上述工件之狀態之保持部朝第1方向及與上述第1方向相反之第2方向移動而搬送上述工件，利用上述聲音檢測部，檢測相應於上述工件之朝上述第1方向之移動而自上述工件產生之聲音、及相應於上述工件之朝上述第2方向之移動而自上述工件產生之聲音，且基於所檢測出之聲音信號，檢查自上述工件產生之異常音。 (3)如上述(2)之異常音檢查裝置，其中 上述控制部係使上述保持部朝上述第1方向移動而向另一第1裝置搬送上述工件，且使上述保持部朝上述第2方向移動而自上述另一第1裝置向另一第2裝置搬送上述工件。 (4)如上述(1)至(3)中任一項之異常音檢查裝置，其中 上述控制部係利用上述臂部使保持有上述工件之狀態之保持部之姿勢發生變化，利用上述聲音檢測部檢測相應於上述工件之姿勢之變化而自上述工件產生之聲音，且基於所檢測出之聲音信號，檢查自上述工件產生之異常音。 (5)如上述(4)之異常音檢查裝置，其中 上述控制部係使上述保持部之姿勢發生變化，以便可於上述工件被保持於上述保持部之狀態下供另一第1裝置對上述工件進行處理。 (6)如上述(1)至(5)中任一項之異常音檢查裝置，其中 上述聲音檢測部係設置於上述保持部。 (7)如上述(1)至(6)中任一項之異常音檢查裝置，其中 上述聲音檢測部係與上述工件接觸而檢測上述聲音。 (8)如上述(7)之異常音檢查裝置，其中 上述聲音檢測部係AE(Acoustic Emission)感測器。 (9)如上述(1)至(6)中任一項之異常音檢查裝置，其中 上述聲音檢測部係與上述工件非接觸地檢測上述聲音。 (10)如上述(9)之異常音檢查裝置，其中 上述聲音檢測部為麥克風。 (11)如上述(1)至(10)中任一項之異常音檢查裝置，其中 上述控制部係基於由聲音檢測部檢測出之上述聲音信號之特定頻帶之信號，檢查自上述工件產生之異常音。 (12)如上述(11)之異常音檢查裝置，其中 上述控制部係將上述特定頻帶之信號進行積分，基於積分值而檢查自上述工件產生之異常音。 (13)一種異常音檢查方法，其係 利用機械手臂部之臂部，使保持有工件之狀態之機械手臂部之保持部移動而搬送上述工件， 利用設置於機械手臂部之聲音檢測部，於上述工件被搬送時檢測工件之聲音，且 基於所檢測出之聲音信號，檢查自上述工件產生之異常音。 (14)一種程式，其使電腦作為控制部發揮功能，該控制部係 利用機械手臂部之臂部，使保持有工件之狀態之機械手臂部之保持部移動而搬送上述工件， 利用設置於機械手臂部之聲音檢測部，於上述工件被搬送時檢測工件之聲音，且 基於所檢測出之聲音信號，檢查自上述工件產生之異常音。 (15)一種工件之製造方法，其係 利用機械手臂部之臂部，使保持有工件之狀態之機械手臂部之保持部移動而搬送上述工件， 利用設置於機械手臂部之聲音檢測部，於上述工件被搬送時檢測工件之聲音， 基於所檢測出之聲音信號，檢查自上述工件產生之異常音，且 基於檢查結果判定工件之好壞。

1‧‧‧工件 2‧‧‧殼體 3‧‧‧正面 4‧‧‧背面 5‧‧‧側面 5a‧‧‧第1側面 5b‧‧‧第2側面 5c‧‧‧第3側面 5d‧‧‧第4側面 10‧‧‧異常音檢查裝置 11‧‧‧基台 12‧‧‧機械手臂部 13‧‧‧控制部 14‧‧‧記憶部 15‧‧‧通信部 21‧‧‧臂部 22‧‧‧基部 23‧‧‧上臂部 24‧‧‧前臂部 25‧‧‧腕部 31‧‧‧手部 32‧‧‧手部本體 33‧‧‧第1夾頭機構 34‧‧‧第2夾頭機構 35‧‧‧聲音檢測部 40‧‧‧密封件貼附裝置 41‧‧‧基台 42‧‧‧機械手臂部 43‧‧‧臂部 44‧‧‧作業用手部 45‧‧‧基部 46‧‧‧上臂部 47‧‧‧前臂部 48‧‧‧腕部 50‧‧‧外觀檢查裝置 50A‧‧‧第1外觀檢查裝置 50B‧‧‧第2外觀檢查裝置 51‧‧‧基台 52‧‧‧載置台 53‧‧‧控制部 54‧‧‧記憶部 55‧‧‧通信部 60‧‧‧第1機械手臂部 61‧‧‧第1臂部 62‧‧‧第1掃描部 63‧‧‧基部 64‧‧‧上臂部 65‧‧‧前臂部 66‧‧‧腕部 67‧‧‧第1線性攝影機 68‧‧‧第1發光部 69‧‧‧支持構件 70‧‧‧第2機械手臂部 71‧‧‧第2臂部 72‧‧‧第2掃描部 73‧‧‧基部 74‧‧‧上臂部 75‧‧‧前臂部 76‧‧‧腕部 77‧‧‧第2線性攝影機 78‧‧‧第2發光部 79‧‧‧支持構件 80‧‧‧第1搬送裝置 81‧‧‧基台 82‧‧‧機械手臂部 83‧‧‧臂部 84‧‧‧手部 90‧‧‧第2搬送裝置 91‧‧‧基台 92‧‧‧機械手臂部 93‧‧‧臂部 94‧‧‧手部 100‧‧‧檢查系統 ST101‧‧‧步驟 ST102‧‧‧步驟 ST103‧‧‧步驟 ST104‧‧‧步驟 ST105‧‧‧步驟 ST106‧‧‧步驟 ST107‧‧‧步驟 ST108‧‧‧步驟 ST109‧‧‧步驟 ST110‧‧‧步驟 ST111‧‧‧步驟 ST112‧‧‧步驟 ST113‧‧‧步驟 ST201‧‧‧步驟 ST202‧‧‧步驟 ST203‧‧‧步驟 ST204‧‧‧步驟 ST205‧‧‧步驟

圖1係表示本技術之第1實施形態之檢查系統之俯視圖。 圖2係表示異常音檢查裝置及密封件貼附裝置之立體圖。 圖3係表示異常音檢查裝置之手部之放大圖。 圖4係表示異常音檢查裝置之電性構成之方塊圖。 圖5係表示外觀檢查裝置之立體圖。 圖6係工件之殼體之展開圖。 圖7係表示線性攝影機之拍攝角度及發光部之光照射角度之圖。 圖8係表示線性攝影機之拍攝角度及發光部之光照射角度之圖。 圖9係表示外觀檢查裝置之電性構成之方塊圖。 圖10係表示異常音檢查裝置之控制部之處理之流程圖。 圖11係表示外觀檢查裝置之控制部之處理之流程圖。 圖12係表示利用第1外觀檢查裝置之第1掃描部及第2掃描部進行之掃描之軌跡的圖。 圖13(A)～(F)係表示第1外觀檢查裝置之第1掃描部及第2掃描部之掃描時之移動的圖。 圖14(G)～(L)係表示第1外觀檢查裝置之第1掃描部及第2掃描部之掃描時之移動的圖。 圖15(M)～(R)係表示第1外觀檢查裝置之第1掃描部及第2掃描部之掃描時之移動的圖。 圖16(S)～(X)係表示第1外觀檢查裝置之第1掃描部及第2掃描部之掃描時之移動的圖。 圖17(Y)、(Z)、(A')～(D')係表示第1外觀檢查裝置之第1掃描部及第2掃描部之掃描時之移動的圖。 圖18(E')～(J')係表示第1外觀檢查裝置之第1掃描部及第2掃描部之掃描時之移動的圖。 圖19(K')～(O')係表示第1外觀檢查裝置之第1掃描部及第2掃描部之掃描時之移動的圖。

1‧‧‧工件

3‧‧‧正面

4‧‧‧背面

5‧‧‧側面

25‧‧‧腕部

31‧‧‧手部

32‧‧‧手部本體

33‧‧‧第1夾頭機構

35‧‧‧聲音檢測部

Claims (14)

1. 一種異常音檢查裝置，其具備：機械手臂部，其具有臂部及保持部，該保持部係設置於上述臂部，且可保持工件；聲音檢測部，其設置於上述機械手臂部，且檢測上述工件之聲音；以及控制部，其利用上述臂部使保持有上述工件之狀態之保持部移動而搬送上述工件，且利用上述聲音檢測部於上述工件被搬送時檢測工件之聲音，基於所檢測出之聲音信號，檢查自上述工件產生之異常音；上述控制部係利用上述臂部，使保持有上述工件之狀態之保持部朝第1方向及與上述第1方向相反之第2方向移動而搬送上述工件，利用上述聲音檢測部，檢測相應於上述工件之朝上述第1方向之移動而自上述工件產生之聲音、及相應於上述工件之朝上述第2方向之移動而自上述工件產生之聲音，且基於所檢測出之聲音信號，檢查自上述工件產生之異常音。
2. 如請求項1之異常音檢查裝置，其中上述控制部係使上述保持部朝上述第1方向移動而向另一第1裝置搬送上述工件，且使上述保持部朝上述第2方向移動而自上述另一第1裝置向另一第2裝置搬送上述工件。
3. 如請求項1之異常音檢查裝置，其中上述控制部係利用上述臂部使保持有上述工件之狀態之保持部之姿 勢發生變化，利用上述聲音檢測部檢測相應於上述工件之姿勢之變化而自上述工件產生之聲音，且基於所檢測出之聲音信號，檢查自上述工件產生之異常音。
4. 如請求項3之異常音檢查裝置，其中上述控制部係使上述保持部之姿勢發生變化，以便可於上述工件被保持於上述保持部之狀態下供另一第1裝置對上述工件進行處理。
5. 如請求項1之異常音檢查裝置，其中上述聲音檢測部係設置於上述保持部。
6. 如請求項1之異常音檢查裝置，其中上述聲音檢測部係與上述工件接觸而檢測上述聲音。
7. 如請求項6之異常音檢查裝置，其中上述聲音檢測部係AE(Acoustic Emission)感測器。
8. 如請求項1之異常音檢查裝置，其中上述聲音檢測部係與上述工件非接觸地檢測上述聲音。
9. 如請求項8之異常音檢查裝置，其中上述聲音檢測部為麥克風。
10. 如請求項1之異常音檢查裝置，其中上述控制部係基於由聲音檢測部檢測出之上述聲音信號之特定頻帶之信號，檢查自上述工件產生之異常音。
11. 如請求項10之異常音檢查裝置，其中上述控制部係將上述特定頻帶之信號進行積分，基於積分值而檢查自上述工件產生之異常音。
12. 一種異常音檢查方法，其係利用機械手臂部之臂部，使保持有工件之狀態之機械手臂部之保持部移動而搬送上述工件；利用設置於機械手臂部之聲音檢測部，於上述工件被搬送時檢測工件之聲音；且基於所檢測出之聲音信號，檢查自上述工件產生之異常音；利用上述臂部，使保持有上述工件之狀態之保持部朝第1方向及與上述第1方向相反之第2方向移動而搬送上述工件，利用上述聲音檢測部，檢測相應於上述工件之朝上述第1方向之移動而自上述工件產生之聲音、及相應於上述工件之朝上述第2方向之移動而自上述工件產生之聲音，且基於所檢測出之聲音信號，檢查自上述工件產生之異常音。
13. 一種程式，其使電腦作為控制部發揮功能，該控制部係利用機械手臂部之臂部，使保持有工件之狀態之機械手臂部之保持部移動而搬送上述工件； 利用設置於機械手臂部之聲音檢測部，於上述工件被搬送時檢測工件之聲音；且基於所檢測出之聲音信號，檢查自上述工件產生之異常音；利用上述臂部，使保持有上述工件之狀態之保持部朝第1方向及與上述第1方向相反之第2方向移動而搬送上述工件，利用上述聲音檢測部，檢測相應於上述工件之朝上述第1方向之移動而自上述工件產生之聲音、及相應於上述工件之朝上述第2方向之移動而自上述工件產生之聲音，且基於所檢測出之聲音信號，檢查自上述工件產生之異常音。
14. 一種工件之製造方法，其係利用機械手臂部之臂部，使保持有工件之狀態之機械手臂部之保持部移動而搬送上述工件；利用設置於機械手臂部之聲音檢測部，於上述工件被搬送時檢測工件之聲音；基於所檢測出之聲音信號，檢查自上述工件產生之異常音；且基於檢查結果判定工件之好壞；利用上述臂部，使保持有上述工件之狀態之保持部朝第1方向及與上述第1方向相反之第2方向移動而搬送上述工件，利用上述聲音檢測部，檢測相應於上述工件之朝上述第1方向之移動而自上述工件產生之聲音、及相應於上述工件之朝上述第2方向之移動而自上述工件產生之聲音，且基於所檢測出之聲音信號，檢查自上述工件產生之異常音。

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