TWI762699B - 阻氣性積層體 - Google Patents
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Abstract
提供一種耐酸性、透明性、阻氣性優異的阻氣薄膜。
一種積層體,其係在高分子基材的至少一面上積層無機薄膜層之積層體,其特徵係該無機薄膜層主要含有Al與Si,且在1mol/L的鹽酸水溶液中進行浸漬1小時的處理時,處理前後的Al含量之比滿足(處理後的Al含量)/(處理前的Al含量)×100≧75的式。
Description
本發明係關於酸耐性或阻氣性優異、適合使用於食品包裝、或電子零件等的包裝之阻氣性積層體。
近年來,食品、醫藥品、電子零件等所使用的包裝材料,為了抑制內容物的氧化、變質、腐蝕等,要求需要防止氧或水蒸氣等的氣體(gases)透過包裝材料,且具有隔絕此等氣體的阻氣性之包裝材料。
作為阻氣性優異的薄膜,已知有在塑膠薄膜上積層鋁(以下稱為Al)而成者、塗布偏二氯乙烯或乙烯乙烯醇共聚物者。又,作為利用無機薄膜者,已知有積層氧化矽、氧化鋁薄膜等者。
這樣的以往的阻氣性薄膜,具有如下的課題。Al積層品雖然為經濟性、阻氣性優異者,但由於為不透明,故看不見包裝時的內容物,又,由於無法穿透微波,故無法在微波爐中使用。又,若在包裝材料及構成包裝體的一部分含有Al,則亦會有無法回收再利用(recycling)塑膠薄膜的問題點。塗布偏二氯乙烯或乙烯乙烯醇共聚物而成者,水蒸氣、氧等的阻氣性不夠充分,尤其是在煮沸處理或蒸餾處理等的高溫處理中,其降低
為顯著的。又,關於偏二氯乙烯系,在焚燒時有氯氣的產生等,也擔心對地球環境的影響。
為了克服此等之問題點,最近提案有在由透明的高分子材料所構成之基材上,使用真空蒸鍍法等的方法形成陶瓷薄膜之透明蒸鍍薄膜。
作為該陶瓷薄膜的材料,經常使用一氧化矽等的矽氧化物或氧化鋁(以下稱為Al2O3)。然而,阻氣性良好的矽氧化物稍微帶有褐色,不足以作為透明阻氣薄膜者。又,Al2O3提高原材料的蒸發溫度,且使蒸鍍步驟中的蒸發速度變慢。因此,為了附著足以使阻氣性呈現之程度的膜厚,成膜時間會變長,生產效率會變差且高成本化。
為了解決該問題,在專利文獻1中,藉由混合Al2O3與矽氧化物製成複合氧化物的薄膜,以用比較短的成膜時間製作透明性優異的薄膜。
然而,本發明人等發現了經由將用該方法所製作的阻氣薄膜浸漬在酸性溶液中,會存在無機薄膜層溶解的問題。
[專利文獻1]日本特開平7-242760號公報
本發明的目的在於提供一種積層體,其係耐
酸性與阻氣性優異,可使用於針對酸性食品的包裝袋、或不耐酸的電子零件等的包裝。
本發明人等以該以往技術的課題為背景進行專心研究,結果發現藉由調整蒸鍍材料的加熱比率等的蒸鍍條件或蒸鍍方法,能形成高酸耐性與高阻氣性、具有透明性的積層體。
本發明人等專心研究的結果,發現藉由以下所示的手段,能解決上述課題,並且達成了本發明。亦即,本發明係包含以下的構成。
1.一種積層體,其係在高分子基材的至少一面上積層無機薄膜層之積層體,其特徵係該無機薄膜層主要含有Al與Si,且在1mol/L的鹽酸水溶液中進行浸漬1小時的處理時,處理前後的無機薄膜層中的Al含量之比滿足以下的式1。
(處理後的Al含量)/(處理前的Al含量)×100≧75...(式1)
2.如1.之積層體,其中該無機薄膜層係包含含有Al與Si的複合氧化化合物之蒸鍍膜層。
在本發明中,藉由調整Al與SiO2的加熱量比率等的蒸鍍條件或蒸鍍方法,能提供一種酸耐性優異,並且阻氣性、及透明性優異的積層體。
1‧‧‧真空室
2‧‧‧冷卻滾筒
3‧‧‧捲出部
4‧‧‧捲繞部
5‧‧‧導輥
6‧‧‧基材薄膜
7‧‧‧無機薄膜層積層體
8‧‧‧電子槍
9‧‧‧爐
10‧‧‧真空泵浦
11‧‧‧反應性氣體導入配管
12‧‧‧反應性氣體導入方向
13‧‧‧防護板
圖1係顯示本發明的實施例1、2之製造中所使用的真空蒸鍍裝置的圖。
以下係詳述本發明。
本發明的阻氣性積層體係在高分子基材的至少一面上積層無機薄膜層之積層體,其特徵係該無機薄膜層主要含有Al與Si,且在濃度為1mol/L的鹽酸水溶液中進行浸漬1小時的處理時,處理前後的無機薄膜層中的Al含量之比滿足以下的式1。
(處理後的Al含量)/(處理前的Al含量)×100≧75...(式1)
較佳為(處理後的Al含量)/(處理前的Al含量)×100≧80。
該無機薄膜層,較佳為包含含有Al與Si的複合氧化化合物之蒸鍍膜層。
茲認為藉由將無機薄膜層浸漬於鹽酸水溶液中,無機物會溶解在酸中。亦即,式1表示無機薄膜層對酸的耐性。眾所周知Al藉由在表面上形成氧化被膜,而產生對酸的耐性。然而,在形成矽氧化物的複合化合物膜的情形,Al與氧的反應受到矽氧化物的妨礙,會有不能成功地形成氧化被膜的情形。其結果,認為由於Al曝露而容易溶解於酸中,且對於酸的耐性差。如此,在對於酸的耐性差的情形,無法滿足式1。
本發明之積層體的阻氣性在溫度23℃、相對
濕度65%RH之環境下的透氧量,較佳為1.0ml/m2/24H/MPa以上100ml/m2/24H/MPa以下。若阻氣性超過100ml/m2/24H/MPa,則有在食品、醫藥品及工業製品等的使用變得困難之虞,而為不太佳。又,阻氣性越低越好,但在現狀的技術水準,本構成中的阻隔性之下限為1.0ml/m2/24H/MPa,即使為1.0ml/m2/24H/MPa在實用上亦可謂充分。作為更佳的範圍,係1.0ml/m2/24H/MPa以上70ml/m2/24H/MPa以下,特佳為1.0ml/m2/24H/MPa以上30ml/m2/24H/MPa以下的範圍。
以下,針對構成本發明之積層體的材料及製造方法進行說明。
本發明中的高分子基材係指將有機高分子熔融擠壓,且按照需要,朝長邊方向、及/或朝寬度方向施加拉伸、冷卻、熱固定之薄膜狀的基材,作為有機高分子,可列舉聚乙烯、聚丙烯、聚對苯二甲酸乙二酯、聚對苯二甲酸丁二酯、聚乙烯-2、6-萘二甲酸、耐綸6、耐綸4、耐綸66、耐綸12、聚氯乙烯、聚偏二氯乙烯、聚乙烯醇、全芳香族聚醯胺、聚醯胺醯亞胺、聚醯亞胺、聚醚醯亞胺、多硫化物、聚苯硫、聚苯醚等。此等之中,從熱收縮率、吸濕膨脹性低之觀點而言,較佳為聚對苯二甲酸乙二酯。又,此等有機高分子可共聚合或摻合少量的其他有機聚合物。
再者,該有機高分子中,可添加眾所周知的添加劑,例如,紫外線吸收劑、抗靜電劑、塑化劑、滑劑、著色劑等,雖然其透明度並未特別限定,在使用作
為透明阻氣性薄膜的情形,具有50%以上,較佳為70%以上,進一步較佳為85%以上的總透光率之積層體為較佳。
本發明的高分子基材,只要不損及本發明的目的,可在積層薄膜層之前,對該薄膜施加電暈放電處理、輝光放電處理、其他的表面粗面化處理,又,亦可施加錨塗處理、印刷、裝飾。
本發明的高分子基材,作為其厚度,較佳為5~200μm的範圍,進一步較佳為8~50μm,特佳為10~30μm的範圍。
又,本發明中的基材層,可為2層以上的積層薄膜。成為積層薄膜的情形之積層體的種類、積層數、積層方法等並未特別限定,可依照目的從眾所周知的方法中任意地選擇。
本發明中的無機薄膜層,含有Al、Si作為元素,此等之比率係因製作條件而不同。該成分中,在不損及特性之範圍內,可含有微量(相對於全部成分最多為3%)的其他成分。作為該無機薄膜的厚度,從阻氣性及可撓性之觀點來看,較佳為5~100nm,進一步較佳為7~40nm。
該無機薄膜層的製作係使用真空蒸鍍法。在本發明中,雖使用Al、SiO2作為蒸發材料源,但是可以另外混合一氧化矽(SiO)或氧化鋁(Al2O3)等。Al亦可藉由氧化成為AlO、Al2O3等的氧化物。SiO2係藉由還原成為SiO、Si等的矽或矽氧化物。
又,各粒子的大小需要設為適當的大小,以使得蒸鍍時的壓力不會變化。粒徑的較佳範圍,係較佳為直徑3mm以上20mm以下,進一步較佳為3mm以上10mm以下。若粒徑過大,則由於從加熱到蒸發要花費時間,所以壓力的變動變大,若過小,則會引起爆沸而使粒子附著於薄膜,成為外觀品質下降、或膜產生缺陷的原因。
各蒸鍍材料係藉由坩堝而在爐內被分隔。Al由於熱傳導度高,且Al粒子間的熱傳導比到達蒸發溫度還快,所以Al粒子全部在液體化後上升至蒸發溫度。因此,當材料間僅以間隔板分割時,恐會從間隙等流出液體的Al。藉由用坩堝分隔材料,不僅減低熱的分散且提升加熱效率,而且能抑制液體Al的流出。坩堝的種類並未特別限定,例如從耐熱性與絕熱性的觀點來看,較佳為主要由Al2O3所構成之坩堝,更佳為主要具有由Al2O3所構成之空孔的坩堝。
Al:Si原子的重量比較佳係在10:90~50:50的範圍內構成,進一步較佳為20:80~40:60的範圍內。在Al比率過低的情形,不會展現阻氣性,在Al比率過高的情形,容易著色,且作為透明阻氣薄膜的用途受到限制。
作為加熱方式,電子槍加熱方式由於具有掃描、透過變化電流值之加熱量變化的反應快速等的優點而為較佳,但不限定於該方法,可使用電阻加熱、高頻感應加熱、雷射加熱等。又,可在成膜機內導入反應性氣體。在該情形下,較佳係將導入的反應性氣體電漿化。
作為反應性氣體,可使用氧氣,除此之外,可使用導入氮、氫、水蒸氣等、或添加臭氧、離子輔助等的手段。
氧氣的導入量由於會根據蒸鍍材料的蒸發量而變化,所以並未特別限制,但較佳係調整為成膜時的真空室1內的壓力為5.0×10-1Pa以下,進一步較佳為1.0×10-1Pa以下。
電子槍的發射電流,較佳為0.3A以上1.5A以下,進一步較佳為0.3A以上1.0A以下,更佳為0.3A以上0.8A以下。若發射電流小於0.3A,則得不到充分的蒸發速度,且生產性降低。又,若發射電流變得過大,則矽氧化物的分解增多,且壓力的控制變難。
電子槍係以時間分隔方式加熱各材料。在時間分隔的加熱比中,將Al的加熱量時間比設為a、SiO2的加熱量時間比設為b時,較佳為a<b且2a>b。更較佳為a<b且1.5a≧b的範圍內。一般認為若在a>b的條件蒸鍍,則容易著色,但在2a<b時SiO2的蒸發量變得過多,會因為蒸鍍粒子而妨礙Al與氧氣的反應。
圖1係圖示了本發明中的真空蒸鍍裝置。捲出部3與捲繞部4係經由冷卻滾筒2及導輥5而配置在真空室1內。導輥雖圖示了2個,但不限制於此。
反應性氣體係使用配管11而導入至真空室1內。關於配管的形狀或氣體的導入位置並未特別限定,在如反應性氣體導入方向12所示之方向,配置成使氣體供給在配置有蒸鍍材料的坩堝9與基材行進的冷卻滾筒2之間,此係從反應性之觀點而言為較佳。又,較佳係配管
11被防護板13所覆蓋,以使得不附著有蒸鍍材料。
在本發明中,該薄膜的製作係可僅在塑膠薄膜的單面進行,亦可在兩面進行。又,只要對基板施加偏壓,或者不損及本發明的目的,亦可變更製作條件。
本發明的阻氣性積層體,可以直接這樣使用,也可以積層或塗布其他有機高分子的薄膜、或薄層而使用。
例如,在用本發明的阻氣性積層體使用於包裝的情形,可依照需要的特性使用各種薄膜、或紙而積層於包裝的內容物,作為代表的積層結構,可以考慮阻氣性薄膜(PET上)/PE、阻氣性薄膜(PET上)/CPP、NY/阻氣性薄膜(PET上)/PE、阻氣性薄膜(NY上)/PE等。作為積層方法,並未特別限制,較佳為乾式積層、擠壓積層法等。再者,可為了裝飾或說明內容物而施加印刷,或可與設計用薄膜或補強材等貼合。
以下係展示實施例來更具體地說明本發明,但本發明不限定於實施例。
以下,顯示實施例所進行的測量及操作方法。
1)膜厚、及Al、Si比的算出
使用螢光X射線分析裝置(理學電氣製系統3270)來測量。X射線的產生係使用銠管球,在50kV、50mA下進行,且使用由Al2O3/SiO2的複合膜中組成比不同的試樣所製作的標準曲線來定量化。
2)透氧率
使用透氧率測量裝置(Modern Controls公司製OX-TRAN100),在23℃、65%R.H.的條件下測量所製作出之阻氣薄膜的透氧率。
4)透光率
使用霧度計(日本電色製霧度計NDH5000)測量總透光率。
5)酸耐性
使剪裁成50mm×50mm見方的試樣浸漬在調製成1mol/L的鹽酸水溶液中,以使得無機薄膜層來到液面側,並靜置1小時。然後,浸漬於蒸餾水中30分鐘並水洗,在風乾後使用螢光X射線分析裝置測量Al的波峰強度,以算出浸漬前後的Al含有率的變化。計算式為(浸漬後的Al含量)/(浸漬前的Al含量)×100。
(實施例1)
使用7mm~9mm左右的粒子狀Al(純度99.9%)與4mm~7mm左右的SiO2(純度99.9%)作為蒸鍍源,在圖1所示之真空蒸鍍裝置中,於12μm厚的PET薄膜(東洋紡(股):E5100)上進行複合氧化薄膜的形成。在上述2種的蒸鍍材料不混合下,將Al投入爐內具有由Al2O3所構成之空孔的坩堝,並在周圍投入SiO2以分離材料。使用一台電子槍作為加熱源,以時間分隔方式分別加熱Al與SiO2。電子束的輸出設為0.7A,將Al與SiO2的加熱比(時間比)設為40:60,薄膜的進給速度為200m/min,
製成19.1nm厚的複合膜。氧氣的流量設為100sccm,蒸鍍時的壓力設為9.4×10-2Pa。又,將用於冷卻蒸鍍時的薄膜之塗布輥的溫度調整成-10℃,得到本發明的積層體。將此等成膜條件示於表1。
用螢光X射線分析裝置測量如此所得之積層體的膜厚及Al、Si比率,使用製作的積層體,測量透氧率作為阻氣性,並測量透光率作為光學特性。又,評價酸耐性。
(實施例2)
使用7mm~9mm左右的粒子狀Al(純度99.9%)與4mm~7mm左右的SiO2(純度99.9%)作為蒸鍍源,在圖1所示之真空蒸鍍裝置中,於12μm厚的PET薄膜(東洋紡(股):E5100)上進行複合氧化薄膜的形成。在上述2種的蒸鍍材料不混合下,將Al投入爐內具有由Al2O3所構成之空孔的坩堝,並在周圍投入SiO2以分離材料。使用一台電子槍作為加熱源,以時間分隔方式分別加熱Al與SiO2。電子束的輸出設為0.6A,將Al與SiO2的加熱比(時間比)設為49:51,薄膜的進給速度為100m/min,製成36.4nm厚的複合膜。氧氣的流量設為100sccm,蒸鍍時的壓力設為6.5×10-2Pa。又,將用於冷卻蒸鍍時的薄膜之塗布輥的溫度調整成-10℃,得到本發明的積層體。將此等成膜條件示於表1。
用螢光X射線分析裝置測量如此所得之積層體的膜厚及Al、Si比率,使用製作的積層體,測量透氧率作為阻氣性,並測量透光率作為光學特性。又,評價酸耐性。
(比較例1)
使用7mm~9mm左右的粒子狀Al(純度99.9%)與4mm~7mm左右的SiO2(純度99.9%)作為蒸鍍源,在圖1所示之真空蒸鍍裝置中,於12μm厚的PET薄膜(東洋紡(股):E5100)上進行複合氧化薄膜的形成。在上述2種的蒸鍍材料不混合下,將Al投入爐內具有由Al2O3所構成之空孔的坩堝,並在周圍投入SiO2以分離材料。使用一台電子槍作為加熱源,以時間分隔方式分別加熱Al與SiO2。電子束的輸出設為0.5A,將Al與SiO2的加熱比(時間比)設為53:47,薄膜的進給速度為50m/min,製成54.5nm厚的複合膜。氧氣的流量設為150sccm,蒸鍍時的壓力設為8.5×10-2Pa。又,將用於冷卻蒸鍍時的薄膜之塗布輥的溫度調整成-10℃,得到本發明的積層體。將此等成膜條件示於表1。
用螢光X射線分析裝置測量如此所得之積層體的膜厚及Al、Si比率,使用製作的積層體,測量透氧率作為阻氣性,並測量透光率作為光學特性。又,評價酸耐性。
(比較例2)
使用7mm~9mm左右的粒子狀Al(純度99.9%)與4mm~7mm左右的SiO2(純度99.9%)作為蒸鍍源,在圖1所示之真空蒸鍍裝置中,於12μm厚的PET薄膜(東洋紡(股):E5100)上進行複合氧化薄膜的形成。在上述2種的蒸鍍材料不混合下,將Al投入爐內具有由Al2O3所構成之空孔的坩堝,並在周圍投入SiO2以分離材料。使用一台電子槍作為加熱源,以時間分隔方式分別加熱Al
與SiO2。電子束的輸出設為0.4A,將Al與SiO2的加熱比(時間比)設為60:40,薄膜的進給速度為200m/min,製成18.9nm厚的複合膜。不導入氧氣。將用於冷卻蒸鍍時的薄膜之塗布輥的溫度調整為-10℃,得到本發明的積層體。將此等成膜條件示於表1。
用螢光X射線分析裝置測量如此所得之積層體的膜厚及Al、Si比率,使用製作的積層體,測量透氧率作為阻氣性,並測量透光率作為光學特性。又,評價酸耐性。
由表2,實施例1~2所得之積層體,酸浸漬後的Al含有率為75%以上,顯示酸耐性。又,關於透氧率與總透光率,作為透明阻氣性薄膜亦有充分的性能。另一方面,比較例1所得之積層體,由於Al與SiO2的加熱比(時間比)為a>b,所以用鹽酸水溶液處理後的Al含有率下降。比較例2所得之積層體,由於並未導入氧氣,所以在鹽酸水溶液的處理後不含有Al,且總透光率
亦顯示低值。
根據本發明,能以高速製造阻氣性、耐酸性、及透明性優異的阻氣薄膜,能適合使用作為食品、醫藥品、精密電子零件等的包裝領域所使用的包裝用薄膜、尤其是於不喜歡酸的用途之保護層。
Claims (2)
- 一種阻氣性積層體,其係在高分子基材的至少一面上積層無機薄膜層之積層體,其特徵係該無機薄膜層主要含有Al與Si,且在濃度為1mol/L的鹽酸水溶液中進行浸漬1小時的處理時,處理前後的無機薄膜層中的Al含量之比滿足以下的式1:(處理後的Al含量)/(處理前的Al含量)×100≧75...(式1)。
- 如請求項1之阻氣性積層體,其中該無機薄膜層係包含含有Al與Si的複合氧化化合物之蒸鍍膜層。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017155059 | 2017-08-10 | ||
JP2017-155059 | 2017-08-10 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
TW201922881A TW201922881A (zh) | 2019-06-16 |
TWI762699B true TWI762699B (zh) | 2022-05-01 |
Family
ID=65271980
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
TW107127566A TWI762699B (zh) | 2017-08-10 | 2018-08-08 | 阻氣性積層體 |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11959162B2 (zh) |
EP (1) | EP3666519A4 (zh) |
JP (1) | JP6610803B2 (zh) |
KR (1) | KR102652668B1 (zh) |
CN (1) | CN111032335B (zh) |
CA (1) | CA3072406C (zh) |
TW (1) | TWI762699B (zh) |
WO (1) | WO2019031263A1 (zh) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11745484B2 (en) * | 2020-10-08 | 2023-09-05 | Polymeric Film & Bags, Inc. | Pet sandwich layer |
WO2022118710A1 (ja) * | 2020-12-02 | 2022-06-09 | 東洋紡株式会社 | 透明ガスバリアフィルム |
CN117537187B (zh) * | 2024-01-09 | 2024-03-19 | 宝鸡天联汇通复合材料有限公司 | 一种高阻隔输氢柔性复合管材及其制备方法 |
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CN1846988A (zh) * | 2005-04-06 | 2006-10-18 | 富士胶片株式会社 | 阻气性薄膜和使用其的有机器件 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE69231344T2 (de) * | 1991-12-26 | 2001-03-29 | Toyo Boseki K.K., Osaka | Gassperrfilm |
JP2700019B2 (ja) * | 1991-12-26 | 1998-01-19 | 東洋紡績株式会社 | ガスバリアフィルムおよびそれを用いた包装用あるいはガス遮断用フィルム |
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JP3767002B2 (ja) * | 1996-03-08 | 2006-04-19 | 東洋紡績株式会社 | ガスバリアフィルムおよびその製造方法 |
JP4889195B2 (ja) * | 2003-09-26 | 2012-03-07 | 住友金属鉱山株式会社 | ガスバリア性透明樹脂基板、ガスバリア性透明樹脂基板を用いたフレキシブル表示素子、およびガスバリア性透明樹脂基板の製造方法 |
JP2005131860A (ja) * | 2003-10-29 | 2005-05-26 | Toyobo Co Ltd | 積層透明ガスバリア性フィルム |
JP2005138537A (ja) * | 2003-11-10 | 2005-06-02 | Toyobo Co Ltd | ガスバリア性積層フィルム |
JP4414748B2 (ja) * | 2003-12-18 | 2010-02-10 | 大日本印刷株式会社 | ガスバリアフィルムとこれを用いた積層材、画像表示媒体 |
JP6938112B2 (ja) * | 2016-01-29 | 2021-09-22 | 日東電工株式会社 | 光学積層体 |
CA3072149A1 (en) * | 2017-08-10 | 2019-02-14 | Toyobo Co., Ltd. | Gas barrier film production method |
-
2018
- 2018-07-26 JP JP2018541443A patent/JP6610803B2/ja active Active
- 2018-07-26 KR KR1020207006501A patent/KR102652668B1/ko active IP Right Grant
- 2018-07-26 WO PCT/JP2018/028077 patent/WO2019031263A1/ja unknown
- 2018-07-26 CN CN201880051005.3A patent/CN111032335B/zh active Active
- 2018-07-26 CA CA3072406A patent/CA3072406C/en active Active
- 2018-07-26 US US16/637,526 patent/US11959162B2/en active Active
- 2018-07-26 EP EP18844583.7A patent/EP3666519A4/en active Pending
- 2018-08-08 TW TW107127566A patent/TWI762699B/zh active
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005131861A (ja) * | 2003-10-29 | 2005-05-26 | Toyobo Co Ltd | 積層透明ガスバリア性フィルム |
CN1846988A (zh) * | 2005-04-06 | 2006-10-18 | 富士胶片株式会社 | 阻气性薄膜和使用其的有机器件 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CA3072406A1 (en) | 2019-02-14 |
TW201922881A (zh) | 2019-06-16 |
CN111032335B (zh) | 2022-05-27 |
EP3666519A1 (en) | 2020-06-17 |
JP6610803B2 (ja) | 2019-11-27 |
US20200224304A1 (en) | 2020-07-16 |
JPWO2019031263A1 (ja) | 2019-11-07 |
KR102652668B1 (ko) | 2024-04-01 |
CA3072406C (en) | 2023-08-29 |
KR20200040795A (ko) | 2020-04-20 |
BR112020002334A2 (pt) | 2020-09-01 |
US11959162B2 (en) | 2024-04-16 |
WO2019031263A1 (ja) | 2019-02-14 |
CN111032335A (zh) | 2020-04-17 |
EP3666519A4 (en) | 2021-05-26 |
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