TWI742263B - 切割裝置 - Google Patents

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宮田諭
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日商迪思科股份有限公司
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Abstract

[課題]提供一種切割裝置，其可將切割刀片安裝到主軸上，而使安裝到主軸上之切割刀片的類型不致錯誤。[解決手段]一種切割裝置，其具備：第1和第2切割單元20-1和20-2，係具備被固定在主軸外殼之刀片蓋；卡盤台10，係保持工件201；及控制單元100，係包含登錄切割刀片的類型之刀片資訊登錄部101。刀片蓋具備可選擇性定位在接近位置與分離位置之可動部。當控制單元100登錄第1切割刀片的類型時，則只將第1切割單元20-1之刀片蓋的可動部設定在分離位置，當控制單元100登錄第2切割刀片的類型時，則只將第2切割單元20-2之刀片蓋的可動部設定在分離位置。

Description

切割裝置
本發明係關於一種將工件切割加工之切割裝置。
用切割刀片將半導體晶圓或樹脂封裝基板等各種板狀的工件分割之切割裝置（dicer）已廣為人知。切割裝置採用具備2個由安裝切割刀片之主軸構成之切割單元，同時使用可切割2條分割預定線之雙刀型式的構造。該雙刀型式的切割裝置有效率地實施切割。
雙刀型式的切割裝置，在各別的主軸上分別安裝不同類型的切割刀片，安裝在其中一個主軸之切割刀片具有較厚的刀刃厚，而形成將工件表面的金屬或功能層除去之半切槽，安裝在另一個主軸之切割刀片具有較薄的刀刃厚，完全切斷半切槽的槽底，實施分割成一片一片晶片的分段切割（step cut）（例如，參考專利文獻1和專利文獻2）。 [習知技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本特許第2892459號公報 [專利文獻2]日本特開2006-181700號公報
[發明所欲解決的課題] 實施分段切割的時候，若雙刀型式的切割裝置在各主軸安裝錯誤類型的切割刀片進行加工，則恐有使崩裂變大，且預期的加工結果大幅惡化之虞。於是針對可在主軸安裝切割刀片而安裝到主軸上之切割刀片的類型不致錯誤的方法進行檢討。例如，考慮將與切割刀片或容納切割刀片的刀盒相同顏色之凸緣（flange）安裝在主軸。在此情況，若持續加工恐會有凸緣受切割碎屑污染而難以區分，當操作員的注意力散漫時就會忽略顏色的識別之虞。
本發明鑒於上述的問題點，其目的為提供一種切割裝置，其可將切割刀片安裝到主軸上而使安裝在主軸上之切割刀片的類型不致錯誤。
[解決課題的技術手段] 為了要解決上述課題並達成上述目的，本發明的切割裝置具備：第1切割單元，係在被固定於第1主軸的前端之凸緣夾持安裝第1切割刀片；第2切割單元，係在被固定於第2主軸的前端之凸緣夾持安裝第2切割刀片；卡盤台，係保持被該切割刀片加工之工件；及控制單元，係包含登錄所安裝之該切割刀片的類型之刀片資訊登錄部並控制各構成要件，其中該切割單元具備刀片蓋，其係被固定在可旋轉自如地支撐該主軸之主軸外殼，且覆蓋該切割刀片以供應加工液， 該刀片蓋具備：固定部，係被固定在該主軸外殼；及可動部，係將加工液噴嘴可開閉地安裝在該固定部，該加工液噴嘴可選擇性定位在接近該切割刀片之接近位置、與自該切割刀片分離並對該凸緣裝卸該切割刀片之分離位置，當該控制單元在安裝該第1切割刀片之際登錄該第1切割刀片的類型時，則該第2切割單元之該刀片蓋的可動部不被設定在分離位置，但該第1切割單元之該切割刀片的可動部被設定在分離位置，當該控制單元在安裝該第2切割刀片之際登錄該第2切割刀片的類型時，則該第1切割單元之該刀片蓋的可動部不被設定在分離位置，但該第2切割單元之該刀片蓋的可動部被設定在分離位置。
如前述切割裝置，其中具備讀取單元，係被設置在該切割刀片或容納該切割刀片的刀盒，並讀取包含該切割刀片的類型資訊之識別碼，在該刀片資訊部登錄部，登錄藉由該讀取單元讀取的該類型資訊亦可。
如前述切割裝置，其中，該控制單元具備加工條件登錄部，係登錄包含該切割刀片與該主軸的組合之加工條件，由已被登錄之該切割刀片的該類型與該主軸的組合，決定將該刀片蓋的可動部設定在分離位置之該切割單元亦可。
[發明功效] 本發明的切割裝置可達成以下功效：將切割刀片安裝到主軸上而使安裝在主軸上之切割刀片的類型不致錯誤。
參考圖式詳細說明用以實施發明的實施方式。並非藉由以下的實施方式所描述的內容限定本發明。另外，以下描述的構成要件包含本領域技術人員可輕易想到並且實質上相同的特徵。 此外，以下描述的構成可以適當地加以組合。 另外，在不脫離本發明主旨的範圍內的結構上可以進行各種省略、置換或變更。
（實施方式1） 根據圖式說明本發明的實施方式1之切割裝置。圖1係表示實施方式1的切割裝置的構成例子之立體圖。
實施方式1的切割裝置1為將工件201切割加工之裝置。實施方式1中，工件201係以矽、藍寶石、鎵等作為母材之圓板狀的半導體晶圓或光元件晶圓。工件201在藉由表面202以格子狀形成之多條分割預定線203劃分成格子狀的區域上形成元件204。本發明的工件201可為中央部薄化而外周部形成厚部之所謂TAIKO晶圓，亦可為具有多個由樹脂封合的元件之矩形的封裝基板、陶瓷板、玻璃板等。工件201在背面205黏貼保護構件即黏著膠帶206。黏著膠帶206在外周安裝環狀框架207。
圖1所示的切割裝置1為一種以卡盤台10保持工件201並以切割刀片21（圖2所示）沿著分割預定線203切割之裝置。如圖1所示，切割裝置1具備：卡盤台10，係具備吸引保持工件201之保持面11；切割單元20，係以已安裝在主軸22（圖2所示）之切割刀片21切割被保持在卡盤台10上之工件201；及控制單元100。
另外，切割裝置1具備：加工進給單元（未圖示），係使卡盤台10在與保持面11平行的加工進給方向上即X軸方向上移動；分度進給單元（未圖示），係使切割單元20在與保持面11平行且正交於X軸方向之分度方向上即Y軸方向上移動；及切入進給單元（未圖示），係使切割單元20在與X軸方向及Y軸方向的兩者正交之垂直方向所平行之Z軸方向上移動。另外，切割裝置1具備：卡匣升降機110，係裝載容納多片切割前後的工件201之卡匣111並使卡匣111在Z方向上移動；及搬送單元（未圖示），係對卡匣111送進送出工件201並且搬送工件201。
此外，如圖1所示，切割裝置1為具備2個切割單元20且被配置在切割刀片21彼此面對的位置，即2主軸的切割機之所謂的平面雙刀型式的切割裝置。
卡盤台10為圓盤狀，保持工件201之保持面11由多孔陶瓷等形成。另外，卡盤台10被設置成藉由加工進給單元移動自如且藉由旋轉驅動源（未圖示）圍繞與Z方向平行的軸心旋轉自如。卡盤台10與真空吸引源（無圖示）連接，藉由真空吸引源吸引，吸持藉由切割單元20的切割刀片21切割加工之工件201。另外，在卡盤台10的周圍，設置多個夾具部12，藉由空氣促動器驅動以夾持工件201周圍的環狀框架207。
其次，根據圖式說明切割單元20。圖2係表示圖1所示的切割裝置之切割單元的主軸單元之立體圖。圖3係表示圖2所示的主軸單元的主軸與凸緣之立體圖。圖4係表示圖2所示的主軸單元的主軸與切割刀片之立體圖。圖5係圖2所示的主軸單元的Y軸方向之剖面圖。圖6係表示圖5所示的主軸單元的主軸被鎖定的狀態之剖面圖。圖7係圖1所示的切割裝置的切割單元之前視圖。圖8係表示圖7所示的切割裝置的切割單元之刀片蓋的可動部被定位在分離位置的狀態之前視圖。
如圖2所示，切割單元20在被固定於主軸22的前端之凸緣29夾持安裝切割刀片21。切割單元20以切割刀片21切割被保持在卡盤台10之工件201。切割單元20分別相對於被保持在卡盤台10的工件201，被設成藉由分度進給單元在Y軸方向上移動自如，且被設成藉由切入進給單元在Z軸方向上移動自如。
切割單元20具備：圖2所示的主軸單元27、及圖7所示的刀片蓋30。如圖2、圖3和圖4所示，主軸單元27具備：主軸22、主軸外殼23、第1凸緣構件24（圖3和圖4所示）、切割刀片21及環狀的第2凸緣構件25（圖2和圖7所示）。
主軸22藉由圖5和圖6所示的主軸馬達223圍繞與Y軸方向平行的軸心旋轉。主軸馬達223具備：連結到主軸22之轉子224、及使轉子224旋轉之定子225。如圖3所示，在主軸22的前端部形成有隨著朝前端漸漸縮徑之錐形部221及被設置在比錐形部221還前端側之公螺紋222。主軸外殼23形成為被設成藉由分度進給單元在Y軸方向上移動自如且被設成藉由切入進給單元在Z軸方向上移動自如之略圓筒狀。主軸外殼23以使形成有公螺紋222的前端部露出的狀態容納主軸22。主軸外殼23圍繞軸心旋轉自如地支撐主軸22。
第1凸緣構件24具備：圓筒狀的圓筒部241，係被安裝在主軸22之前端部的外周；及凸緣部242，係從圓筒部241的外周面朝徑方向向外延伸。在比圓筒部241的凸緣部還前端側形成有公螺紋243。第1凸緣構件24在圓筒部241內嵌入主軸22的前端部，螺母28螺合於被設置在主軸22的前端部之公螺紋222的外周，如圖4所示，藉以固定在主軸22。
切割刀片21為所謂的輪轂型刀片（hub blade），具備被固定在圓盤狀的支撐基台211的外周以切割工件201之圓環狀的切割刀刃212。切割刀刃212由金剛石或CBN（Cubic Boron Nitride；立方氮化硼）等的磨粒、及金屬或樹脂粘合材（結合材）組成，形成為預定厚度。此外，亦可用只由切割刀刃212構成之墊圈形刀片作為切割刀片21。
切割刀片21係將第1凸緣構件24的圓筒部241穿過內側，重疊於凸緣部242的表面上，第2凸緣構件25螺合於被形成在圓筒部241之公螺紋243的外周，保持在第1凸緣構件24與第2凸緣構件25之間，被固定在主軸22。第1凸緣構件24及第2凸緣構件25係經由在彼此之間夾住把持切割刀片21，第1凸緣構件24固定在主軸22的一端部，第2凸緣構件25固定在第1凸緣構件24，而構成將切割刀片21固定在主軸22之凸緣29。切割單元20的主軸單元27以這方式使切割刀片21夾持安裝在已固定在主軸22的前端之凸緣29。
另外，如圖5和圖6所示，主軸單元27具備限制主軸22旋轉之鎖定機構271。該鎖定機構271與例如日本特開2004-235250號公報中所示的鎖定裝置相同構成即可，構成的詳細說明省略。鎖定機構271具備軸鎖銷273，其係以卡合拆卸自如地卡合於主軸22之預定位置的同一緣周上所形成之多個（例如3個）卡合孔272的方式在徑向上滑動自如地設置於主軸外殼23。
軸鎖銷273藉由螺旋彈簧274在從卡合孔272脫離的方向上賦與勢能。如圖6所示，若鎖定機構271透過藉由控制單元100控制的切換閥275，使由加壓氣體供應源276加壓過的氣體供應給軸鎖銷273，則軸鎖銷273抵制螺旋彈簧274的勢能力而滑動，卡合於卡合孔272內以限制主軸的旋轉（即鎖定主軸22）。如圖5所示，若鎖定機構271未透過切換閥275使由加壓氣體供應源276加壓過的氣體供應給軸鎖銷273，則軸鎖銷273藉由螺旋彈簧274的賦與勢能力從卡合孔272內脫離而容許主軸22旋轉。
刀片蓋30係被固定在主軸外殼23，覆蓋切割刀片21的上方和X軸方向的兩側，切割加工中將加工液也就是切割水供應給切割刀片21。如圖7和圖8所示，刀片蓋30具備固定部31及可動部32。
固定部31被固定在主軸外殼23。固定部31覆蓋切割刀片21的上方和X軸方向的其中一側。固定部31設有安裝刀片損壞檢測器50，並且設有在切割加工中對切割刀片21供應切割水之切割水噴射口311。刀片損壞檢測器50在切割刀片21旋轉中檢測切割刀片21的損壞或磨損。刀片損壞檢測器50將檢測結果輸出至控制單元100。
可動部32為將加工液噴嘴即切割水噴嘴321可開閉地安裝在固定部31之構件，且安裝在固定部31之X軸方向的另一側。可動部32在X軸方向上移動自如地支撐於固定部31。可動部32藉由被容納於固定部31之空氣汽缸312的桿體313（圖8所示）伸縮，相對於固定部31在X軸方向上移動。另外，可動部32在下端安裝切割水噴嘴321。切割水噴嘴321從可動部32的下端朝向切割水噴射口311延伸，並設有多個切割水供應孔（未圖示），其在切割加工中對切割刀片21和切割刀片21所切割之工件201的切割部位供應切割水。
可動部32藉由空氣汽缸312的桿體313伸縮，可選擇性定位在切割水噴嘴321接近切割刀片21之圖7所示的接近位置、及從切割刀片21分離並在主軸22可裝卸切割刀片21之圖8所示的分離位置。接近位置為切割水噴嘴321限制對主軸22裝卸切割刀片21的位置，分離位置為容許對主軸22裝卸切割刀片21的位置。
其次，根據圖式說明切割單元20更換切割刀片21的順序。圖9係表示圖1所示的切割裝置更換切割刀片之際使用的裝卸用治具之立體圖。圖10係表示用以旋轉圖9所示的裝卸用治具的鈕矩螺絲起子之俯視圖。圖11係表示圖1所示的切割裝置更換切割刀片的狀態之前視圖。圖12係圖1所示的切割裝置更換切割刀片的狀態以局部剖面表示之側面圖。
切割單元20更換切割刀片21之際，將刀片蓋30的可動部32定位於分離位置，在第1凸緣構件24之圓筒部241的外周裝卸第2凸緣構件25。圖9所示之裝卸用治具40和圖10所示的扭矩螺絲起子41為用於在第1凸緣構件24之圓筒部241的外周裝卸第2凸緣構件25。
如圖9所示，裝卸用治具40具有圓形凹部401，圓形凹部401的內周面在圓周方向上以等間隔分離，配設4個固定螺母把持爪402。圓形凹部401可覆蓋於定位於分離位置之切割單元20的第2凸緣構件25的外側。此外，圓形凹部401無法覆蓋於裝卸用治具40與切割水噴嘴321等接觸而定位於接近位置之切割單元20的第2凸緣構件25的外側。固定螺母把持爪402被配設成在半徑方向上可彈性變形，可在彼此之間從外側把持圓形凹部401所覆蓋之第2凸緣構件25。圓形凹部401的中央部形成有扭矩螺絲起子41的前端插入用的貫穿孔403。貫穿孔403的平面形狀為正六角形。
如圖10所示，扭矩螺絲起子41具有插入裝卸用治具40的貫穿孔403中之剖面六角形狀的卡合部411、及扭矩螺絲起子旋轉用的把手412。扭矩螺絲起子41使卡合部411插入覆蓋於第2凸緣構件25的外側之裝卸用治具40的貫穿孔403，旋轉把手412，藉以使第2凸緣構件25相對於第1凸緣構件24旋轉。
更換切割單元20的切割刀21之際，將刀片蓋30的可動部32定位在分離位置，如圖11和圖12所示，圓形凹部401覆蓋於第2凸緣構件25的外側，把手412的卡合部41插入貫穿孔403內。旋轉把手412使第2凸緣構件25相對於第1凸緣構件24旋轉，從第1凸緣構件24拆卸第2凸緣構件25。更換切割刀片21，之後將第2凸緣構件25容納於裝卸用治具40的圓形凹部401內，將第2凸緣構件25螺合於公螺紋243的外周，貫穿孔403內插入把手412的卡合部411。旋轉把手412使第2凸緣構件25相對於第1凸緣構件24旋轉，將第2凸緣構件25固定在第1凸緣構件24，在凸緣構件24、25間夾持更換後的切割刀片21。此外，裝卸用治具40和扭矩螺絲起子41無法覆蓋圓形凹部401定位於接近位置之切割單元20的第2凸緣構件25的外側，故無法使定位於接近位置之切割單元20的第2凸緣構件25相對於第1凸緣構件24旋轉。
另外，實施方式1中，更換用的切割刀片21容納於圖13和圖14所示的刀盒60。圖13係表示將圖1所示的切割裝置之更換用的切割刀片容納於刀盒內時之分解立體圖。圖14係容納圖1所示的切割裝置之更換用的切割刀片的刀盒之俯視圖。
刀盒60較佳為由合成樹脂構成且為透明。如圖13所示，刀盒60由盒本體61及藉由絞鏈部62可開閉地安裝於盒本體61之盒蓋63構成。絞鏈部62為厚度形成為比盒本體61和盒蓋63還薄而具有可撓性，即所謂的自動絞鏈。盒本體61具備被設置在切割刀片21的中央之孔所嵌合之圓形凸部64。
盒蓋63係由可卡扣於盒本體61的外側之扣勾65一體形成，扣勾65卡扣於被形成在盒本體61之卡合突起66，藉以保持如圖14所示盒蓋63相對於盒本體61閉合的狀態。
刀盒60的盒蓋63在外表面的預定部位黏貼（設置）指定切割刀片21的類型資訊也就是類型之裝卸貼條70。裝卸貼條70印刷有條碼71也就是包含用以指定切割刀片21的類型資訊之識別碼。另外，實施方式1中，裝卸貼條70還印刷有表示切割刀片21的類型之文字列72。條碼71表示切割刀片21的類型。
另外，切割裝置1具備讀取條碼71之圖15所示的讀取單元80。圖15係表示圖1所示的切割裝置的讀取單元之立體圖。實施方式1中，讀取單元80為光學讀取條碼之條碼讀取機。讀取單元80將讀取的條碼71所表示之切割刀片21的類型輸出至控制單元100。
前述切割裝置1為以下裝置：在2個切割單元20的主軸22安裝彼此不同類型的切割刀片21，以其中一個切割單元20的切割刀片21進行切割直到分割預定線203其厚度方向的中途為止後，以另一個切割單元20的切割刀片21將工件201分割成元件204，進行所謂的分段切割。
以下，將其中一個切割單元20標記為第1切割單元20-1，將第1切割單元20-1的主軸22標記為第1主軸22-1，將切割刀片21標記為第1切割刀片21-1。另外，將另一個切割單元20標記為第2切割單元20-2，將第2切割單元20-2的主軸22標記為第2主軸22-2，將切割刀片21標記為第2切割刀片21-2。另外，當第1切割單元20-1與第2切割單元20-2不必作區別時，只標記為切割單元20，當第1主軸22-1與第2主軸22-2不必作作區別時，只標記為主軸22，當第1切割刀片21-1與第2切割刀片21-2不必作作區別時，只標記為切割刀片21。切割裝置1為了要進行所謂的分段切割，預先決定第1切割單元20-1之安裝在第1主軸22-1的第1切割刀片21-1的類型，並預先決定第2切割單元20-2之安裝在第1主軸22-2的第2切割刀片21-2的類型，且第2切割刀片21-2與第1切割刀片21-1的類型不同。
控制單元100為分別控制切割裝置1之上述構成要件，使切割裝置1對工件201實施加工動作之構造。此外，控制單元100為電腦。控制單元100與由顯示加工動作的狀態或圖像等之液晶顯示裝置構成等之顯示單元200和操作員登錄加工內容資訊等之際使用的輸入裝置（未圖示）連接著。輸入裝置由被設置在顯示單元200之觸控面板及鍵盤等的外部輸入裝置當中的至少一者構成。圖16係圖1所示的切割裝置的控制單元之功能方塊圖。
此外，如圖1和圖16所示，控制單元100具備刀片資訊登錄部101、加工條件登錄部102及決定部103。刀片資訊登錄部101登錄類型也就是各切割單元20-1、20-2之安裝在主軸22-1、22-2的切割刀片21-1、21-2的類型。刀片資訊登錄部101登錄切割刀片21的類型（即藉由讀取單元80讀取的類型資訊）。
加工條件登錄部102登錄包含切割刀片21-1、21-2與主軸22-1、22-2的組合之加工條件104。如圖16所示，登錄在加工條件登錄部102之加工條件104具備：第1切割條件登錄部104-1，係登錄第1切割單元20-1的條件；第2切割條件登錄部104-2，係登錄第2切割單元20-2的條件；及工件條件登錄部104-3，係登錄工件201的加工條件。
第1切割條件登錄部104-1係從輸入裝置等登錄第1切割單元20-1之安裝在第1主軸22-1的第1切割刀片21-1的類型、可切割之分割預定線203的數量和可切割的長度。第2切割條件登錄部104-2係從輸入裝置等登錄第2切割單元20-2之安裝在第2主軸22-2的第2切割刀片21-2的類型、可切割之分割預定線203的數量和可切割的長度。
工件條件登錄部104-3係從輸入裝置等登錄工件201的外徑和厚度、黏著膠帶206的厚度、切割加工時第1切割刀片21-1距離保持面11的高度、第1主軸22-1的轉數、切割加工時第2切割刀片21-2距離保持面11的高度、第2主軸22-2的轉數以及加工進給速度。
決定部103從刀片資訊登錄部101所登錄之切割刀片21的類型與加工條件登錄部102所登錄之主軸22-1、22-2的組合中，對將刀片蓋30的可動部32設定在分離位置之切割單元20決定切割單元20-1、20-2當中的其中一者。若決定部103在刀片資訊登錄部101登錄讀取單元80所讀取之切割刀片21的類型，則參考第1切割條件登錄部104-1及第2切割條件登錄部104-2。
決定部103指定第1切割條件登錄部104-1及第2切割條件登錄部104-2當中已被登錄在刀片資訊登錄部101之切割刀片21的類型、及登錄有同一切割刀片21的類型之資訊，並指定已指定之切割條件登錄部104-1、104-2所對應的切割單元20-1、20-2。決定部103停止已指定之切割單元20-1、20-2的主軸馬達223，對鎖定機構271的軸鎖銷273供應被加壓過的氣體。鎖定機構271限制主軸22-1、22-2的旋轉，即鎖定主軸22-1、22-2。決定部103使已指定之切割單元20-1、20-2的刀片蓋30內之空氣汽缸312的桿體313伸長，將可動部32設定在分離位置，並在使未指定之切割單元20-1、20-2的刀片蓋30內之空氣汽缸312的桿體313縮短的狀態下，將可動部32維持在接近位置。
如此，決定部103在安裝第1切割刀片21-1之際，在刀片資訊登錄部101登錄第1切割刀片21-1的類型，則第2切割單元20-2之刀片蓋30的可動部32被維持在接近位置而未被設定在分離位置，不過鎖定第1切割單元20-1的第1主軸22-1，第1切割單元20-1之刀片蓋30的可動部32被設定在分離位置。另外，決定部103在安裝第2切割刀片21-2之際，若在刀片資訊登錄部101登錄第2切割刀片21-2的類型，則第1切割單元20-1之刀片蓋30的可動部32被維持在接近位置而不被設定在分離位置，不過將第2切割單元20-2的第2主軸22-2進行鎖定，且第2切割單元20-2之切割刀片30的可動部32被設定在分離位置。
其次，說明實施方式1中切割裝置1的加工動作。實施方式1中切割裝置1的加工動作係操作員將加工內容資訊登錄到控制單元100，操作員將容納切割加工前的工件201之卡匣111裝載到卡匣升降機110，依操作員指示開始加工動作，則藉由控制單元100開始。
加工動作中，控制單元100使工件201從搬送單元取出，透過黏著膠帶206將工件201吸引保持在保持面11。控制單元100執行用以對被安裝在第2切割單元20-2之攝像單元（未圖示）所攝像之圖像進行與切割單元20-1、20-2的切割刀片21-1、21-2的對位之圖案相匹配等的圖像處理，調整被保持在卡盤台10之工件201與切割刀片21-1、21-2的相對位置。
然後，控制單元100根據加工內容資訊，藉由加工進給單元、分度進給單元、切入進給單元及旋轉驅動源，使切割刀片21-1、21-2及工件201沿著分割預定線相對移動，切割工件201的分割預定線203。
控制單元100係切割所有的分割預定線203，將工件201分割成一片一片的元件204，則將工件201搬入卡匣111內，將卡匣111內容納的工件201依序切割加工，卡匣111內所有工件201的切割加工完畢則結束加工動作。
如以上所述，依據實施方式1的切割裝置1，在安裝第1切割刀片21-1之際，只第1切割單元20-1之刀片蓋30的可動部32設定在分離位置，在安裝第2切割刀片21-2之際，只有第2切割單元20-2之刀片蓋30的可動部32設定在分離位置。因而，切割裝置1可用裝卸用治具40將切割刀片21-1、21-2安裝在已被定位於分離位置之切割單元20-1、20-2的主軸22-1、22-2。另外，切割裝置1無法使裝卸用治具40等定位於接近位置之切割單元20的第2凸緣構件25旋轉，故即使欲在被定位於接近位置之切割單元20的主軸22安裝切割刀片21仍無法進行物理性安裝。其結果，切割裝置1即使操作員的注意力散漫， 仍能夠將切割刀片21安裝到主軸22上而安裝到主軸22上之切割刀片21的類型不致錯誤。
另外，切割裝置1具備讀取容納切割刀片21之刀盒60上設置的條碼71之讀取單元80，在刀片資訊登錄部101登錄讀取單元80所讀取之切割刀片21的類型。因而切割裝置1可經由讀取單元80讀取條碼71，將切割刀片21安裝到主軸22上而安裝到主軸22上之切割刀片21的類型不致錯誤。
另外，切割裝置1在控制單元100之加工條件登錄部102的切割條件登錄部104-1、104-2登錄安裝到各切割單元20-1、20-2的主軸22-1、22-2之切割刀片21-1、21-2的類型。因而切割裝置1可將已登錄在刀片資訊登錄部101之切割刀片21的類型與已登錄在切割條件登錄部104-1、104-2作比對。其結果，可只將安裝已登錄在刀片資訊登錄部101之切割刀片21的類型之切割單元20的刀片蓋30的可動部32準確地定位在分離位置。
（實施方式2） 根據圖式說明本發明的實施方式2之切割裝置。圖17係表示實施方式2中被安裝在切割裝置之切割單元的切割刀片及刀盒之立體圖。圖17中與實施方式1相同的的部位附註相同圖號，其說明省略。
實施方式2的切割裝置1除在切割刀片21之支撐基台211的預定部位黏貼（設置）指定切割刀片21的類型之裝卸貼條70之外，與實施方式1相同。實施方式2中切割裝置1的讀取單元80讀取被設置在切割刀片21之裝卸貼條70的條碼71。
實施方式2的切割裝置1，與實施方式1相同，可在已被定位於分離位置之切割單元20的主軸22安裝切割刀片21，藉以將切割刀片21安裝到主軸22上而安裝到主軸22上之切割刀片21的類型不致錯誤。
另外，實施方式2的切割裝置1，在切割刀片21之支撐基台211的預定部位黏貼（設置）指定切割刀片21的類型之裝卸貼條70，故即使從刀盒60卸取切割刀片，經過一段時間，已取出切割刀片21的刀盒60變不明， 經由讀取切割刀片21黏貼的條碼71，即可將切割刀片21安裝到主軸22而不致類型錯誤。
前述過的實施方式1和實施方式2中，切割裝置1的控制單元100具有：運算處理裝置，係具有如同CPU（central processing unit，中央處理單元）的微處理器；記憶裝置，係具有ROM（read only memory；唯獨記憶體）或RAM（random access memory；隨機存取記憶體）的記憶體、及輸入輸出界面裝置。控制單元100的運算處理裝置，依照記憶裝置中記憶的電腦程式實施運算處理，將用以控制切割裝置1的控制訊號，透過輸入輸出界面裝置輸出至切割裝置1之上述構成要件。另外，控制單元100之刀片資訊登錄部101的功能，藉由將讀取單元80所讀取之切割刀片21的類型經運算處理裝置寫入記憶裝置來實現。控制單元100之加工條件登錄部102的功能，藉由將加工條件經運算處理裝置寫入記憶裝置來實現。即控制單元100之刀片資訊登錄部101和加工條件登錄部102的功能，藉由記憶裝置來實現。控制單元100之決定部103的功能，藉由執行經運算處理裝置記憶在記憶裝置的電腦程式來實現。
此外，本發明並不侷限於上述實施方式。即在不脫離本發明的主旨下可以進行各種修改實施。實施方式1和實施方式2所示的切割裝置1為讀取單元80讀取條碼71，在刀片資訊登錄部101登錄讀取單元80所讀取之切割刀片21-1、21-2的類型，不過本發明亦可由操作員操作輸入裝置將切割刀片21-1、21-2的類型登錄到刀片資訊登錄部101。
1‧‧‧切割裝置10‧‧‧卡盤台20‧‧‧切割單元20-1‧‧‧第1切割單元20-2‧‧‧第2切割單元21‧‧‧切割刀片21-1‧‧‧第1切割刀片21-2‧‧‧第2切割刀片22‧‧‧主軸22-1‧‧‧第1主軸22-2‧‧‧第2主軸23‧‧‧主軸外殼29‧‧‧凸緣30‧‧‧刀片蓋31‧‧‧固定部32‧‧‧可動部60‧‧‧刀盒71‧‧‧條碼（識別碼）80‧‧‧讀取單元100‧‧‧控制單元101‧‧‧刀片資訊登錄部102‧‧‧加工條件登錄部201‧‧‧工件321‧‧‧切割水噴嘴（加工液噴嘴）
圖1係表示實施方式1的切割裝置的構成例子之立體圖。 圖2係表示圖1所示的切割裝置之切割單元的主軸單元之立體圖。 圖3係表示圖2所示的主軸單元的主軸與凸緣之立體圖。 圖4係表示圖2所示的主軸單元的主軸與切割刀片之立體圖。 圖5係圖2所示的主軸單元的Y軸方向之剖面圖。 圖6係表示圖5所示的主軸單元的主軸被鎖定的狀態之剖面圖。 圖7係圖1所示的切割裝置的切割單元之前視圖。 圖8係表示圖7所示的切割裝置的切割單元之刀片蓋的可動部被定位在分離位置的狀態之前視圖。 圖9係表示圖1所示的切割裝置更換切割刀片之際使用的裝卸用治具之立體圖。 圖10係表示用以旋轉圖9所示的裝卸用治具的扭矩螺絲起子之俯視圖。 圖11係表示圖1所示的切割裝置更換切割刀片的狀態之前視圖。 圖12係圖1所示的切割裝置更換切割刀片的狀態以局部剖面表示之側面圖。 圖13係表示將圖1所示的切割裝置之更換用的切割刀片容納於刀盒內時之分解立體圖。 圖14係容納圖1所示的切割裝置之更換用的切割刀片的刀盒之俯視圖。 圖15係表示圖1所示的切割裝置的讀取單元之立體圖。 圖16係圖1所示的切割裝置的控制單元之功能方塊圖。 圖17係表示實施方式2中被安裝在切割裝置之切割單元的切割刀片及刀盒之立體圖。
10‧‧‧卡盤台
11‧‧‧保持面
12‧‧‧夾持部
20-1‧‧‧第1切割單元
20-2‧‧‧第2切割單元
80‧‧‧讀取單元
100‧‧‧控制單元
101‧‧‧刀片資訊登錄部
102‧‧‧加工條件登錄部
103‧‧‧決定部
110‧‧‧卡匣升降機
111‧‧‧卡匣
200‧‧‧顯示單元
201‧‧‧工件
202‧‧‧工件的表面
203‧‧‧分割預定線
204‧‧‧元件
205‧‧‧工件的背面
206‧‧‧黏著膠帶
207‧‧‧環狀框架

Claims (3)

  1. 一種切割裝置，其具備：第1切割單元，係在被固定在第1主軸的前端之凸緣夾持並安裝第1切割刀片；第2切割單元，係在被固定在第2主軸的前端之凸緣夾持並安裝第2切割刀片；卡盤台，係保持被該第1切割刀片及該第2切割刀片加工之工件；及控制單元，係包含登錄所安裝之該第1切割刀片及該第2切割刀片的類型之刀片資訊登錄部，並控制各構成要件，其中該第1切割單元及該第2切割單元分別具備刀片蓋，其係被固定在可旋轉自如地支撐該第1主軸或該第2主軸之主軸外殼，且覆蓋該第1切割刀片或該第2切割刀片以供應加工液，該刀片蓋具備：固定部，係被固定在該主軸外殼；及可動部，係將加工液噴嘴可開閉地安裝在該固定部，該加工液噴嘴可選擇性定位在接近該第1切割刀片或該第2切割刀片之接近位置、與自該第1切割刀片或該第2切割刀片分離並對該第1主軸的前端的凸緣或該第2主軸的前端的凸緣裝卸該第1切割刀片或該第2切割刀片之分離位置，當該控制單元在安裝該第1切割刀片之際登錄該第1切割刀片的類型時，則該第2切割單元之該刀片蓋的可動部不被設定在分離位置，但該第1切割單元之該切割刀片的可動部被設定在分離位置， 當該控制單元在安裝該第2切割刀片之際登錄該第2切割刀片的類型時，則該第1切割單元之該刀片蓋的可動部不被設定在分離位置，但該第2切割單元之該刀片蓋的可動部被設定在分離位置。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之切割裝置，其中具備讀取單元，係被設置在該第1切割刀片、該第2切割刀片、容納該第1切割刀片的刀盒或容納該第2切割刀片的刀盒，並讀取包含該第1切割刀片或該第2切割刀片的類型資訊之識別碼，在該刀片資訊部登錄部，登錄藉由該讀取單元讀取的該類型資訊。
  3. 如申請專利範圍第1項所述之切割裝置，其中，該控制單元具備加工條件登錄部，係登錄包含該第1切割刀片或該第2切割刀片與該第1主軸或該第2主軸的組合之加工條件，由已被登錄之該第1切割刀片或該第2切割刀片的該類型與該第1主軸或該第2主軸的組合，決定將該第1切割單元及該第2切割單元之何者的該刀片蓋的可動部設定在分離位置。
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Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7157674B2 (ja) * 2019-01-30 2022-10-20 株式会社ディスコ ブレード交換ユニット
JP7282461B2 (ja) 2019-04-16 2023-05-29 株式会社ディスコ 検査装置、及び加工装置

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010029978A (ja) * 2008-07-29 2010-02-12 Disco Abrasive Syst Ltd 切削加工装置
CN102029657A (zh) * 2009-10-07 2011-04-27 株式会社迪思科 刀具更换装置
CN103962958A (zh) * 2013-01-24 2014-08-06 株式会社迪思科 加工装置
TW201532133A (zh) * 2014-02-04 2015-08-16 Disco Corp 刀片蓋裝置
JP2015226945A (ja) * 2014-05-30 2015-12-17 株式会社ディスコ 加工装置

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2892459B2 (ja) 1990-08-20 1999-05-17 株式会社ディスコ 精密切削装置におけるブレードの位置調整方法
JP3446770B2 (ja) * 1993-10-28 2003-09-16 関西日本電気株式会社 アウタリードボンダ
US5636745A (en) * 1994-10-27 1997-06-10 Illinois Tool Works Inc. Tray for a component and an apparatus for accurately placing a component within the tray
JP4192135B2 (ja) * 2004-09-29 2008-12-03 株式会社東芝 加工装置及び加工方法
JP4783568B2 (ja) 2004-12-28 2011-09-28 株式会社ディスコ 切削装置及び被加工物の切削方法
CN101489718A (zh) * 2006-07-18 2009-07-22 三菱电机株式会社 数控装置
CN201275755Y (zh) * 2008-07-14 2009-07-22 深圳创维－Rgb电子有限公司 一种工具存放装置及工具存放系统
JP6279431B2 (ja) * 2014-08-26 2018-02-14 Dmg森精機株式会社 工作機械

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010029978A (ja) * 2008-07-29 2010-02-12 Disco Abrasive Syst Ltd 切削加工装置
CN102029657A (zh) * 2009-10-07 2011-04-27 株式会社迪思科 刀具更换装置
CN103962958A (zh) * 2013-01-24 2014-08-06 株式会社迪思科 加工装置
TW201532133A (zh) * 2014-02-04 2015-08-16 Disco Corp 刀片蓋裝置
JP2015226945A (ja) * 2014-05-30 2015-12-17 株式会社ディスコ 加工装置

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