TWI739361B - 清潔裝置及捲帶自動接合封裝結構的製造設備 - Google Patents
清潔裝置及捲帶自動接合封裝結構的製造設備 Download PDFInfo
- Publication number
- TWI739361B TWI739361B TW109110262A TW109110262A TWI739361B TW I739361 B TWI739361 B TW I739361B TW 109110262 A TW109110262 A TW 109110262A TW 109110262 A TW109110262 A TW 109110262A TW I739361 B TWI739361 B TW I739361B
- Authority
- TW
- Taiwan
- Prior art keywords
- cleaning
- cleaning device
- rolling bearing
- belt
- roller set
- Prior art date
Links
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 title claims abstract description 108
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 11
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 claims abstract description 44
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 claims abstract description 43
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 claims description 15
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 9
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 9
- 230000006835 compression Effects 0.000 claims description 3
- 238000007906 compression Methods 0.000 claims description 3
- 238000005304 joining Methods 0.000 claims description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 3
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 claims description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 4
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 3
- 230000007488 abnormal function Effects 0.000 description 2
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 2
- 238000012876 topography Methods 0.000 description 2
- 208000034809 Product contamination Diseases 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B1/00—Cleaning by methods involving the use of tools
- B08B1/20—Cleaning of moving articles, e.g. of moving webs or of objects on a conveyor
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B13/00—Accessories or details of general applicability for machines or apparatus for cleaning
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67121—Apparatus for making assemblies not otherwise provided for, e.g. package constructions
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Cleaning In General (AREA)
Abstract
一種清潔裝置,適於清潔用於保護一捲帶自動接合封裝結構的一間隔帶。清潔裝置包括至少一清潔滾輪組。清潔滾輪組包括一軸心件以及多個清潔滾輪。每一清潔滾輪包括一滾動軸承、一黏墊以及多個彈性件。滾動軸承具有彼此相對的一外表面與一內表面,而軸心件穿過滾動軸承。黏墊包覆滾動軸承的外表面。彈性件連接滾動軸承的內表面與軸心件,以提供彈力帶動滾動軸承移位及復位。
Description
本發明是有關於一種清潔裝置,且特別是有關於一種適於清潔用於保護捲帶自動接合封裝結構的間隔帶的清潔裝置及採用此清潔裝置的捲帶自動接合封裝結構的製造設備。
薄膜覆晶(Chip on Film, COF)封裝結構為常見的液晶顯示器的驅動晶片的封裝型態。目前,薄膜覆晶所用的間隔帶(Spacer)並未作清潔即捲出接合至內引腳接合(Inner Lead Bonding, ILB)後的薄膜覆晶捲帶。若上述的間隔帶上有異物,則可能附著於薄膜覆晶捲帶上,而造成產品汙染進而可能發生電性短路或功能異常的問題。
本發明提供一種清潔裝置,適於清潔用於保護捲帶自動接合封裝結構的間隔帶,其具有較佳的清潔效果。
本發明還提供一種捲帶自動接合封裝結構的製造設備,其包括上述的清潔裝置,可具有較佳的清潔效果,可避免習知間隔帶汙染產品導致產品發生電性短路或功能異常的問題。
本發明的清潔裝置,適於清潔用於保護一捲帶自動接合封裝結構的一間隔帶。清潔裝置包括至少一清潔滾輪組。清潔滾輪組包括一軸心件以及多個清潔滾輪。每一清潔滾輪包括一滾動軸承、一黏墊以及多個彈性件。滾動軸承具有彼此相對的一外表面與一內表面,而軸心件穿過滾動軸承。黏墊包覆滾動軸承的外表面。彈性件連接滾動軸承的內表面與軸心件,以提供彈力帶動滾動軸承移位及復位。
在本發明的一實施例中,上述的至少一清潔滾輪組更包括二固定件,設置於軸心件上且分別抵住位於相對兩外側的兩清潔滾輪。
在本發明的一實施例中,上述的連接滾動軸承的內表面與軸心件的彈性件的個數至少為三個。
在本發明的一實施例中,上述的彈性件為壓縮彈簧。
在本發明的一實施例中,上述的滾動軸承包括一外圈環、一內圈環以及多個滾動元件。外圈環具有外表面。內圈環設置於外圈環的內側且具有內表面。滾動元件設置於外圈環與內圈環之間。
在本發明的一實施例中,上述的滾動元件包括滾珠、滾柱或滾針。
在本發明的一實施例中,上述的黏墊的材質為矽膠或橡膠。
在本發明的一實施例中,上述的間隔帶具有多個凸點,這些凸點沿著間隔帶的相對兩邊緣接續間隔排列,位於相對兩外側的兩清潔滾輪分別對應該相對兩邊緣。
在本發明的一實施例中,上述的至少一清潔滾輪組的數量為兩組,兩組清潔滾輪組分別貼附間隔帶的相對二個表面。
本發明的捲帶自動接合封裝結構的製造設備,包括上述的清潔裝置以及一捲輪。捲輪用以承載間隔帶,而間隔帶經過一出料區向外傳輸,其中至少一清潔滾輪組的軸心件固定於出料區內。
基於上述,在本發明的清潔裝置中,清潔滾輪組包括多個清潔滾輪且每一清潔滾輪包括可以提供彈力帶動滾動軸承移位及復位的彈性件,藉此,清潔滾輪可個別移動且具有一定的移動幅度。因此,當傳送間隔帶時,各個清潔滾輪可以順應間隔帶的表面地形結構作不同幅度的移位,因此可更貼合間隔帶的表面而達到較佳的清潔效果。此外,採用本發明的清潔裝置的捲帶自動接合封裝結構的製造設備,由於清潔滾輪組的軸心件固定於出料區,因此可對需經過出料區向外傳輸的間隔帶進行清潔作業,以使清潔過後的間隔帶捲出與產品捲帶結合時,不會有汙染產品而導致產品發生電性短路或功能異常的問題,可提升產品的可靠度。
為讓本發明的上述特徵和優點能更明顯易懂,下文特舉實施例,並配合所附圖式作詳細說明如下。
圖1是依照本發明的一實施例的一種清潔裝置的示意圖。圖2是圖1的清潔裝置於另一視角的示意圖。圖3是圖1的清潔裝置的一個清潔滾輪的示意圖。
請同時參考圖1、圖2及圖3,在本實施例中,清潔裝置100適於清潔用於保護一捲帶自動接合封裝結構的一間隔帶10。清潔裝置100包括至少一清潔滾輪組110。此處,示意地繪示兩組清潔滾輪組110,且此兩組清潔滾輪組110分別貼附間隔帶10的相對二個表面T1、T2。如圖1與圖2所示,間隔帶10具有多個凸點12,這些凸點12沿著間隔帶10的相對兩邊緣13、15接續間隔排列。意即,間隔帶10呈現中間與兩側具有高低差的非平整表面。
詳細來說,清潔滾輪組110包括一軸心件112以及多個清潔滾輪114(示意地繪示五個清潔滾輪114),其中位於相對兩外側P1、P2的兩清潔滾輪114分別對應該間隔帶10的相對兩邊緣13、15。每一清潔滾輪114包括一滾動軸承114a、一黏墊114b以及多個彈性件114c。滾動軸承114a具有彼此相對的一外表面S1與一內表面S2,而軸心件112穿過滾動軸承114a。黏墊114b包覆滾動軸承114a的外表面S1。彈性件114c連接滾動軸承114a的內表面S2與軸心件112,以提供彈力帶動滾動軸承114a移位及復位。
更具體來說,本實施例的滾動軸承114a包括一外圈環115、一內圈環117以及多個滾動元件119。外圈環115具有外表面S1,而內圈環117設置於外圈環115的內側且具有內表面S2。滾動元件119設置於外圈環115與內圈環117之間,其中滾動元件119例如是滾珠、滾柱或滾針,但並不以此為限。此處,滾動軸承114a例如是培林,但並不以此為限。黏墊114b可用來黏貼間隔帶10上的雜質及異物,其中黏墊114b的材質為矽膠或橡膠。連接滾動軸承114a的內表面S2與軸心件112的彈性件114c的個數至少為三個,其中彈性件114c可例如為壓縮彈簧。此處,示意地繪示四個彈性件114c,但並不以此為限。
此外,本實施例的每一清潔滾輪組110還包括二固定件116,其中固定件116設置於軸心件112上,且分別抵住位於相對兩外側P1、P2的兩清潔滾輪114。於一實施例中,固定件116可透過卡扣、黏貼或鎖固的方式來抵住位於相對兩外側P1、P2的兩清潔滾輪114,於此並不加以限制。此外,本發明也不限制固定件116的結構型態,只要能具有可抵住位於相對兩外側P1、P2的兩清潔滾輪114的結構設計,皆屬於本發明所欲保護的範圍。
本實施例的兩組清潔滾輪組110可裝設在內引腳接合(Inner Lead Bonding, ILB)後的收料端,且分別貼附間隔帶10的相對二個表面T1、T2,使間隔帶10夾持在兩組清潔滾輪組110之間。由於各個清潔滾輪組110包括多個清潔滾輪114且每一清潔滾輪114的彈性件114c可提供彈力帶動滾動軸承114a移位及復位,也就是說清潔滾輪114可個別移動且具有一定的移動幅度,因此當傳送間隔帶10時,各個清潔滾輪114可順應間隔帶10的表面地形變化作不同幅度的移位,因此可更貼合間隔帶10的非平整表面,透過黏墊114b來黏附間隔帶10上的雜質及異物,進而達到較佳的清潔效果。
圖4是捲帶自動接合封裝結構的製造設備的示意圖。請參考圖4,本實施例的捲帶自動接合封裝結構的製造設備E,包括上述的清潔裝置100以及一捲輪20。捲輪20用以承載間隔帶10,而間隔帶10經過一出料區A向外傳輸,其中至少一清潔滾輪組110(示意地繪示二個清潔滾輪組110)的軸心件112固定於出料區A內。
由於清潔滾輪組110的軸心件112固定於出料區A,因此可對需經過出料區A向外傳輸的間隔帶10進行清潔作業,以使清潔過後的間隔帶10捲出與產品捲帶結合時,不會有汙染產品而導致產品發生電性短路或功能異常的問題,可提升產品的可靠度。
綜上所述,在本發明的清潔裝置中,清潔滾輪組包括多個清潔滾輪且每一清潔滾輪包括可以提供彈力帶動滾動軸承移位及復位的彈性件,藉此,清潔滾輪可個別移動且具有一定的移動幅度。因此,當傳送間隔帶時,各個清潔滾輪可以順應間隔帶的表面地形結構作不同幅度的移位,因此可更貼合間隔帶的表面而達到較佳的清潔效果。此外,採用本發明的清潔裝置的捲帶自動接合封裝結構的製造設備,由於清潔滾輪組的軸心件固定於出料區,因此可對需經過出料區向外傳輸的間隔帶進行清潔作業,以使清潔過後的間隔帶捲出與產品捲帶結合時,不會有汙染產品而導致產品發生電性短路或功能異常的問題,可提升產品的可靠度。
雖然本發明已以實施例揭露如上,然其並非用以限定本發明,任何所屬技術領域中具有通常知識者,在不脫離本發明的精神和範圍內,當可作些許的更動與潤飾,故本發明的保護範圍當視後附的申請專利範圍所界定者為準。
10:間隔帶
12:凸點
13、15:邊緣
20:捲輪
100:清潔裝置
110:清潔滾輪組
112:軸心件
114:清潔滾輪
114a:滾動軸承
114b:黏墊
114c:彈性件
115:外圈環
116:固定件
117:內圈環
119:滾動元件
A:出料區
E:捲帶自動接合封裝結構的製造設備
P1、P2:外側
S1:外表面
S2:內表面
T1、T2:表面
圖1是依照本發明的一實施例的一種清潔裝置的示意圖。
圖2是圖1的清潔裝置於另一視角的示意圖。
圖3是圖1的清潔裝置的一個清潔滾輪的示意圖。
圖4是捲帶自動接合封裝結構的製造設備的示意圖。
10:間隔帶
12:凸點
13、15:邊緣
100:清潔裝置
110:清潔滾輪組
112:軸心件
114:清潔滾輪
116:固定件
P1、P2:外側
T1:表面
Claims (10)
- 一種清潔裝置,適於清潔用於保護一捲帶自動接合封裝結構的一間隔帶,該清潔裝置包括至少一清潔滾輪組,該至少一清潔滾輪組包括: 一軸心件;以及 多個清潔滾輪,各該清潔滾輪包括: 一滾動軸承,具有彼此相對的一外表面與一內表面,該軸心件穿過該滾動軸承; 一黏墊,對應包覆該滾動軸承的該外表面;以及 多個彈性件,連接該滾動軸承的該內表面與該軸心件,以提供彈力帶動該滾動軸承移位及復位。
- 如請求項1所述的清潔裝置,其中該至少一清潔滾輪組更包括二固定件,設置於該軸心件上且分別抵住位於相對兩外側的兩該些清潔滾輪。
- 如請求項1所述的清潔裝置,其中該連接該滾動軸承的該內表面與該軸心件的該些彈性件的個數至少為三個。
- 如請求項1所述的清潔裝置,其中該些彈性件為壓縮彈簧。
- 如請求項1所述的清潔裝置,其中該滾動軸承包括: 一外圈環,具有該外表面; 一內圈環,設置於該外圈環的內側且具有該內表面;以及 多個滾動元件,設置於該外圈環與該內圈環之間。
- 如請求項5所述的清潔裝置,其中該些滾動元件包括滾珠、滾柱或滾針。
- 如請求項1所述的清潔裝置,其中該黏墊的材質為矽膠或橡膠。
- 如請求項1所述的清潔裝置,其中該間隔帶具有多個凸點,該些凸點沿著該間隔帶的相對兩邊緣接續間隔排列,位於相對兩外側的兩該些清潔滾輪分別對應該相對兩邊緣。
- 如請求項1所述的清潔裝置,其中該至少一清潔滾輪組的數量為兩組,該兩組清潔滾輪組分別貼附該間隔帶的相對二個表面。
- 一種捲帶自動接合封裝結構的製造設備,包括: 如申請專利範圍第1項至第9項中任一項的該清潔裝置;以及 一捲輪,用以承載該間隔帶,該間隔帶經過一出料區向外傳輸,其中該至少一清潔滾輪組的該軸心件固定於該出料區內。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
TW109110262A TWI739361B (zh) | 2020-03-26 | 2020-03-26 | 清潔裝置及捲帶自動接合封裝結構的製造設備 |
CN202010532969.9A CN113441434B (zh) | 2020-03-26 | 2020-06-12 | 清洁装置及卷带自动接合封装结构的制造设备 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
TW109110262A TWI739361B (zh) | 2020-03-26 | 2020-03-26 | 清潔裝置及捲帶自動接合封裝結構的製造設備 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
TWI739361B true TWI739361B (zh) | 2021-09-11 |
TW202137339A TW202137339A (zh) | 2021-10-01 |
Family
ID=77808334
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
TW109110262A TWI739361B (zh) | 2020-03-26 | 2020-03-26 | 清潔裝置及捲帶自動接合封裝結構的製造設備 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN113441434B (zh) |
TW (1) | TWI739361B (zh) |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6571530B1 (en) * | 1997-01-17 | 2003-06-03 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd | Component taping method and apparatus |
TW200416861A (en) * | 2002-11-15 | 2004-09-01 | Ebara Corp | Apparatus and method for substrate processing |
US20040265151A1 (en) * | 2003-05-09 | 2004-12-30 | George Bertram | Dispensing system with in line chemical pump system |
TW201002472A (en) * | 2008-04-21 | 2010-01-16 | Applied Materials Inc | Apparatus and methods for using a polishing tape cassette |
US7678211B2 (en) * | 2004-03-26 | 2010-03-16 | Fujifilm Corporation | Device and method for joining substrates |
US20100112909A1 (en) * | 2008-02-22 | 2010-05-06 | Nihon Micro Coating Co., Ltd. | Method of and apparatus for abrading outer peripheral parts of a semiconductor wafer |
TW201221231A (en) * | 2010-05-19 | 2012-06-01 | Thomas West Inc | Apparatuses and methods for scrubbing substrates |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6381798B1 (en) * | 1999-12-23 | 2002-05-07 | Emerson Electric Co. | Spring clutch for drain cleaning machines |
CN2587130Y (zh) * | 2002-11-19 | 2003-11-19 | 义仓精机股份有限公司 | 电路板清洁机上的清洁滚轮机构 |
JP2009066542A (ja) * | 2007-09-14 | 2009-04-02 | Okatsune Haguruma Seisakusho:Kk | マット清掃装置 |
CN101338552B (zh) * | 2008-08-11 | 2010-06-09 | 蒋建孝 | 卫生清洁车 |
CN202366905U (zh) * | 2011-12-06 | 2012-08-08 | 谢增明 | 粘尘机 |
JP6044432B2 (ja) * | 2013-04-12 | 2016-12-14 | 富士ゼロックス株式会社 | 駆動切替機構及びこれを用いた回転駆動装置、駆動処理装置 |
KR101424647B1 (ko) * | 2013-04-17 | 2014-08-01 | 주식회사 포스코 | 롤링형 브러시부재를 포함하는 변형 스트립 대응형 가변 클리닝장치 |
CN206604821U (zh) * | 2017-03-24 | 2017-11-03 | 重庆市森浩管业有限公司 | 一种生产钢带增强螺旋波纹管用的钢带导向清洗装置 |
CN107262461B (zh) * | 2017-08-05 | 2022-11-15 | 广州明森科技股份有限公司 | 一种改进型的智能卡表面清洁装置 |
CN108421782A (zh) * | 2018-03-23 | 2018-08-21 | 潘建平 | 一种工业生产用管道清洁装置 |
CN208307787U (zh) * | 2018-06-08 | 2019-01-01 | 周德胜 | 输送带冻结物料清除装置 |
CN209565285U (zh) * | 2019-03-18 | 2019-11-01 | 金银萍 | 一种铝带表面清理收卷装置 |
CN210146500U (zh) * | 2019-06-27 | 2020-03-17 | 临清市鸿基集团有限公司 | 一种带钢表面锌皮清扫装置 |
-
2020
- 2020-03-26 TW TW109110262A patent/TWI739361B/zh active
- 2020-06-12 CN CN202010532969.9A patent/CN113441434B/zh active Active
Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6571530B1 (en) * | 1997-01-17 | 2003-06-03 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd | Component taping method and apparatus |
TW200416861A (en) * | 2002-11-15 | 2004-09-01 | Ebara Corp | Apparatus and method for substrate processing |
TW201407678A (zh) * | 2002-11-15 | 2014-02-16 | Ebara Corp | 基板處理裝置 |
TW201635367A (zh) * | 2002-11-15 | 2016-10-01 | 荏原製作所股份有限公司 | 基板處理裝置及基板處理方法 |
TW201635368A (zh) * | 2002-11-15 | 2016-10-01 | 荏原製作所股份有限公司 | 基板處理裝置及基板處理方法 |
US20040265151A1 (en) * | 2003-05-09 | 2004-12-30 | George Bertram | Dispensing system with in line chemical pump system |
US7678211B2 (en) * | 2004-03-26 | 2010-03-16 | Fujifilm Corporation | Device and method for joining substrates |
US20100112909A1 (en) * | 2008-02-22 | 2010-05-06 | Nihon Micro Coating Co., Ltd. | Method of and apparatus for abrading outer peripheral parts of a semiconductor wafer |
TW201002472A (en) * | 2008-04-21 | 2010-01-16 | Applied Materials Inc | Apparatus and methods for using a polishing tape cassette |
TW201221231A (en) * | 2010-05-19 | 2012-06-01 | Thomas West Inc | Apparatuses and methods for scrubbing substrates |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN113441434A (zh) | 2021-09-28 |
CN113441434B (zh) | 2023-02-28 |
TW202137339A (zh) | 2021-10-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR102585978B1 (ko) | 롤러블 디스플레이 장치 및 롤러블 장치 | |
TWI739361B (zh) | 清潔裝置及捲帶自動接合封裝結構的製造設備 | |
JP4751997B1 (ja) | 偏光フィルムの貼合装置およびこれを備える液晶表示装置の製造システム | |
JP2008168188A (ja) | クリーニング装置 | |
WO2011122001A1 (ja) | 偏光フィルムの貼合装置およびこれを備える液晶表示装置の製造システム | |
US10930677B2 (en) | Alternative designs for addressing contacts that enhance bend ability of TFT backplanes | |
KR101742596B1 (ko) | 와셔 아이들러 롤러 및 이를 이용한 웨이퍼 클리너 | |
JP6319107B2 (ja) | ガラス基板搬送装置 | |
US6713136B2 (en) | Pellicle | |
TWI596388B (zh) | 光學部件貼合體之製造方法 | |
CN213591336U (zh) | 基板传送装置及基板清洗装置 | |
CN210847470U (zh) | 一种偏光片除尘装置 | |
WO2017159475A1 (ja) | 搬送ローラーおよび搬送装置 | |
TWI695207B (zh) | 一種顯示裝置 | |
JP5512340B2 (ja) | 大型ペリクル | |
TWM445757U (zh) | 用以夾持基板之治具 | |
JP4286196B2 (ja) | 搬送用トレイ | |
US20130277180A1 (en) | Belt conveyer | |
US20180017860A1 (en) | Support frame for pellicles | |
JP2012173706A (ja) | 表示装置 | |
TWI557056B (zh) | 具撓性基材保護功能的卷對卷輸送設備 | |
CN219285925U (zh) | 一种显示模组及电子设备 | |
TWI790004B (zh) | 段差填補的保護膠帶以及研磨方法 | |
KR102357457B1 (ko) | 기판과 이를 이송하기 위한 기판 이송 장치 및 이를 이용한 기판 이송 방법 | |
KR100924943B1 (ko) | 브러시 세정 유닛과, 이를 구비한 기판 세정 장치 |