TWI738542B - 具隔離井區之記憶胞及其相關非揮發性記憶體 - Google Patents

具隔離井區之記憶胞及其相關非揮發性記憶體 Download PDF

Info

Publication number
TWI738542B
TWI738542B TW109136313A TW109136313A TWI738542B TW I738542 B TWI738542 B TW I738542B TW 109136313 A TW109136313 A TW 109136313A TW 109136313 A TW109136313 A TW 109136313A TW I738542 B TWI738542 B TW I738542B
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
type transistor
type
terminal
gate
transistor
Prior art date
Application number
TW109136313A
Other languages
English (en)
Other versions
TW202123431A (zh
Inventor
陳學威
陳緯仁
孫文堂
Original Assignee
力旺電子股份有限公司
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 力旺電子股份有限公司 filed Critical 力旺電子股份有限公司
Publication of TW202123431A publication Critical patent/TW202123431A/zh
Application granted granted Critical
Publication of TWI738542B publication Critical patent/TWI738542B/zh

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
    • H01L29/02—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor
    • H01L29/06—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape; characterised by the shapes, relative sizes, or dispositions of the semiconductor regions ; characterised by the concentration or distribution of impurities within semiconductor regions
    • H01L29/0603—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape; characterised by the shapes, relative sizes, or dispositions of the semiconductor regions ; characterised by the concentration or distribution of impurities within semiconductor regions characterised by particular constructional design considerations, e.g. for preventing surface leakage, for controlling electric field concentration or for internal isolations regions
    • H01L29/0642—Isolation within the component, i.e. internal isolation
    • H01L29/0649—Dielectric regions, e.g. SiO2 regions, air gaps
    • H01L29/0653—Dielectric regions, e.g. SiO2 regions, air gaps adjoining the input or output region of a field-effect device, e.g. the source or drain region
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11C—STATIC STORES
    • G11C16/00—Erasable programmable read-only memories
    • G11C16/02—Erasable programmable read-only memories electrically programmable
    • G11C16/04—Erasable programmable read-only memories electrically programmable using variable threshold transistors, e.g. FAMOS
    • G11C16/0408—Erasable programmable read-only memories electrically programmable using variable threshold transistors, e.g. FAMOS comprising cells containing floating gate transistors
    • G11C16/0433—Erasable programmable read-only memories electrically programmable using variable threshold transistors, e.g. FAMOS comprising cells containing floating gate transistors comprising cells containing a single floating gate transistor and one or more separate select transistors
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11C—STATIC STORES
    • G11C16/00—Erasable programmable read-only memories
    • G11C16/02—Erasable programmable read-only memories electrically programmable
    • G11C16/04—Erasable programmable read-only memories electrically programmable using variable threshold transistors, e.g. FAMOS
    • G11C16/0408—Erasable programmable read-only memories electrically programmable using variable threshold transistors, e.g. FAMOS comprising cells containing floating gate transistors
    • G11C16/0416—Erasable programmable read-only memories electrically programmable using variable threshold transistors, e.g. FAMOS comprising cells containing floating gate transistors comprising cells containing a single floating gate transistor and no select transistor, e.g. UV EPROM
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11C—STATIC STORES
    • G11C16/00—Erasable programmable read-only memories
    • G11C16/02—Erasable programmable read-only memories electrically programmable
    • G11C16/04—Erasable programmable read-only memories electrically programmable using variable threshold transistors, e.g. FAMOS
    • G11C16/0408—Erasable programmable read-only memories electrically programmable using variable threshold transistors, e.g. FAMOS comprising cells containing floating gate transistors
    • G11C16/0425—Erasable programmable read-only memories electrically programmable using variable threshold transistors, e.g. FAMOS comprising cells containing floating gate transistors comprising cells containing a merged floating gate and select transistor
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11C—STATIC STORES
    • G11C16/00—Erasable programmable read-only memories
    • G11C16/02—Erasable programmable read-only memories electrically programmable
    • G11C16/04—Erasable programmable read-only memories electrically programmable using variable threshold transistors, e.g. FAMOS
    • G11C16/0466—Erasable programmable read-only memories electrically programmable using variable threshold transistors, e.g. FAMOS comprising cells with charge storage in an insulating layer, e.g. metal-nitride-oxide-silicon [MNOS], silicon-oxide-nitride-oxide-silicon [SONOS]
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11C—STATIC STORES
    • G11C16/00—Erasable programmable read-only memories
    • G11C16/02—Erasable programmable read-only memories electrically programmable
    • G11C16/06—Auxiliary circuits, e.g. for writing into memory
    • G11C16/10—Programming or data input circuits
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11C—STATIC STORES
    • G11C16/00—Erasable programmable read-only memories
    • G11C16/02—Erasable programmable read-only memories electrically programmable
    • G11C16/06—Auxiliary circuits, e.g. for writing into memory
    • G11C16/10—Programming or data input circuits
    • G11C16/14—Circuits for erasing electrically, e.g. erase voltage switching circuits
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11C—STATIC STORES
    • G11C16/00—Erasable programmable read-only memories
    • G11C16/02—Erasable programmable read-only memories electrically programmable
    • G11C16/06—Auxiliary circuits, e.g. for writing into memory
    • G11C16/26—Sensing or reading circuits; Data output circuits
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11C—STATIC STORES
    • G11C16/00—Erasable programmable read-only memories
    • G11C16/02—Erasable programmable read-only memories electrically programmable
    • G11C16/06—Auxiliary circuits, e.g. for writing into memory
    • G11C16/34—Determination of programming status, e.g. threshold voltage, overprogramming or underprogramming, retention
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
    • H01L29/40—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor
    • H01L29/401—Multistep manufacturing processes
    • H01L29/4011—Multistep manufacturing processes for data storage electrodes
    • H01L29/40117—Multistep manufacturing processes for data storage electrodes the electrodes comprising a charge-trapping insulator
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
    • H01L29/40—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor
    • H01L29/41—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape, relative sizes or dispositions
    • H01L29/423—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape, relative sizes or dispositions not carrying the current to be rectified, amplified or switched
    • H01L29/42312—Gate electrodes for field effect devices
    • H01L29/42316—Gate electrodes for field effect devices for field-effect transistors
    • H01L29/4232—Gate electrodes for field effect devices for field-effect transistors with insulated gate
    • H01L29/4234—Gate electrodes for transistors with charge trapping gate insulator
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
    • H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
    • H01L29/68—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
    • H01L29/76—Unipolar devices, e.g. field effect transistors
    • H01L29/772—Field effect transistors
    • H01L29/78—Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate
    • H01L29/788—Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate with floating gate
    • H01L29/7881—Programmable transistors with only two possible levels of programmation
    • H01L29/7884—Programmable transistors with only two possible levels of programmation charging by hot carrier injection
    • H01L29/7885—Hot carrier injection from the channel
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
    • H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
    • H01L29/68—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
    • H01L29/76—Unipolar devices, e.g. field effect transistors
    • H01L29/772—Field effect transistors
    • H01L29/78—Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate
    • H01L29/792—Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate with charge trapping gate insulator, e.g. MNOS-memory transistors
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
    • H10B41/00—Electrically erasable-and-programmable ROM [EEPROM] devices comprising floating gates
    • H10B41/30—Electrically erasable-and-programmable ROM [EEPROM] devices comprising floating gates characterised by the memory core region
    • H10B41/35—Electrically erasable-and-programmable ROM [EEPROM] devices comprising floating gates characterised by the memory core region with a cell select transistor, e.g. NAND
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
    • H10B43/00—EEPROM devices comprising charge-trapping gate insulators
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
    • H10B43/00—EEPROM devices comprising charge-trapping gate insulators
    • H10B43/30—EEPROM devices comprising charge-trapping gate insulators characterised by the memory core region

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Non-Volatile Memory (AREA)
  • Semiconductor Memories (AREA)

Abstract

一種非揮發性記憶體的記憶胞，包括一基板區域、一障壁層、一N型井區、一隔離結構、一第一閘極結構、一第一側壁絕緣層、一第一P型摻雜區、一第二P型摻雜區與一N型摻雜區。隔離結構圍繞於N型井區且位於障壁層上方。隔離結構與障壁層包圍N型井區，使得該N型井區為隔離井區。第一閘極結構形成於N型井區的一表面上方且第一側壁絕緣層形成於第一閘極結構的周圍。第一P型摻雜區、第二P型摻雜區與N型摻雜區位於N型井區的表面下方。

Description

具隔離井區之記憶胞及其相關非揮發性記憶體
本發明是有關於一種非揮發性記憶體(non-volatile memory，簡稱NVM)，且特別是有關於一種具隔離井區之記憶胞及其相關非揮發性記憶體。
眾所周知，非揮發性記憶體在電源停止供應後仍可持續地記錄資料，因此非揮發性記憶體已經廣泛地運用在各式電子裝置中。一般來說，非揮發性記憶體內由多個記憶胞排列成一記憶胞陣列，而每個記憶胞內會包含一浮動閘電晶體(floating gate transistor)。浮動閘電晶體中的浮動閘極(floating gate)可用來儲存熱載子(hot carrier)。而控制浮動閘極的熱載子注入數量即可決定記憶胞的儲存狀態。其中，熱載子可為電子。
基本上，浮動閘極電晶體的浮動閘極為可導電的材料，例如多晶矽。而作為非揮發性記憶體時，浮動閘電晶體的浮動閘極並不會連接至電路的任何一個部分，而是讓浮動閘極保持在浮接(floating)狀態。
本發明係有關於一種非揮發性記憶體，包括一第一記憶胞。該第一記憶胞包括：一基板區域；一障壁層，位於該基板區域上方；一N型井區，位於該障壁層上方；一隔離結構，圍繞於該N型井區且位於該障壁層 上方，其中該隔離結構具有一第一深度，該N型井區具有一第二深度，且該第二深度小於該第一深度，該隔離結構與該障壁層包圍該N型井區，使得該N型井區為一隔離井區；一第一閘極結構，形成於該N型井區的一表面上方，該第一閘極結構包括一第一閘極氧化層與一第一閘極層；一第一側壁絕緣層，形成於該第一閘極結構的周圍；一第一P型摻雜區與一第二P型摻雜區位於該N型井區的該表面下方該第一側壁絕緣層的二側；一N型摻雜區位於該N型井區的該表面下方；其中，該N型井區、該第一P型摻雜區、該第二P型摻雜區、該N型摻雜區與該第一閘極層形成一第一P型電晶體，該第一P型電晶體的一第一閘極端連接至該第一閘極層，該第一P型電晶體的一第一源極端連接至該第一P型摻雜區，該第一P型電晶體的一第一汲極端連接至該第二P型摻雜區，該第一P型電晶體的一第一體極端連接至該N型摻雜區，該第一P型電晶體的該第一源極端與該第一體極端互相連接。
為了對本發明之上述及其他方面有更佳的瞭解，下文特舉較佳實施例，並配合所附圖式，作詳細說明如下：
本發明提出一種電荷陷阱式的非揮發性記憶體(charge-trapping NVM)，且非揮發性記憶體中的每一個記憶胞皆設計在隔離井區中。另外，本發明的記憶胞中皆未具備浮動閘電晶體。
請參照第1A圖至第1E圖，其所繪示為本發明第一實施例非揮發性記憶體的記憶胞之製作流程示意圖。第1F圖為本發明第一實施例非揮發性記憶體的記憶胞之等效電路。
如第1A圖所示，在p型基板(p_sub)101上形成深度d1的隔離結構(isolation structure)102用以定義不同記憶胞的區域。其中，隔離結構102可為淺溝渠隔離結構(shallow trench isolation，簡稱STI)。
如第1B圖所示，於在p型基板101上形成N型井區(NW)104與P型井區(PW)106。其中，N井區104的深度為d2，且d2小於d1。再者，P型井區(PW)106位於N型井區(NW)104下方，且P型井區(PW)106可視為一障壁層(Barrier layer)。因此，被隔離結構102與P型井區(PW)106所包圍的N型井區(NW)104即成為一隔離井區(isolated well region)。如第1C圖所示，於N型井區(NW)104表面上方形成閘極結構110。閘極結構110包括一閘極氧化層112與一閘極層114。
如第1D圖所示，在閘極結構110的周圍形成側壁絕緣層(sidewall insulator)116。舉例來說，側壁絕緣層116為間隙壁(spacer)，其為氮化矽間隙壁(silicon nitride spacer)，或者為氧化物­-氮化物-氧化物(oxide-nitride-oxide)的三層結構(tri-layer)的間隙壁。
接著，於N型井區(NW)104的表面下方，側壁絕緣層116二側分別形成P型摻雜區(p+)121與122。另外，於N型井區(NW)104之表面再形成一N型摻雜區(n+)125。舉例來說，N型摻雜區(n+)125形成於P型摻雜區121旁。
如第1E圖與第1F圖所示，非揮發性記憶體100包括二個記憶胞Cell1與Cell2 。每個記憶胞由單一個P型電晶體組成，可稱為一個電晶體記憶胞(1T cell)。P型電晶體由N型井區(NW)104、P型摻雜區121與122、N型摻雜區125、閘極層114與側壁絕緣層116所組成。其中，閘極層114為P型電晶體的閘極端G、P型摻雜區122為P型電晶體的汲極端D、P型摻雜區121為P型電晶體的源極端 S、N型摻雜區125為P型電晶體的體極端(body terminal)B，且體極端B與源極端S相互連接。
根據本發明的第一實施例，由於Ｎ型井區104的深度小於隔離結構102的深度，且Ｐ型井區106位於Ｎ型井區104的下方。因此，Ｎ型井區104即成為隔離井區(isolated well region)。換句話說，每個記憶胞皆設計於隔離井區中，且每個記憶胞的隔離井區之間不會互相接觸，使得每個記憶胞中的隔離井區可以接收不同的電壓。再者，經由適當的偏壓，可以將熱載子注入或者退出Ｐ型電晶體的側壁絕緣層116，使得記憶胞呈現不同的儲存狀態。其中，熱載子可為電子。
換句話說，本發明第一實施例的記憶胞利用側壁絕緣層116來作為陷阱層(trapping layer)用以儲存電子。亦即，本發明為一種電荷陷阱式的非揮發性記憶體(charge-trapping NVM)。
請參照第2A圖至第2E圖，其所繪示為本發明第一實施例記憶胞於各種動作時的偏壓示意圖。
如第2A圖所示，於編程動作時，P型電晶體源極端S接收編程電壓Vpp，汲極端D接收接地電壓(0V)，閘極端G接收第一控制電壓(Vpp-Vt)，P型井區(PW)106與P型基板(p_sub)接收接地電壓(0V)。其中，編程電壓Vpp約為9V，第一控制電壓約為(Vpp-Vt)且Vt為P型電晶體的臨限電壓(threshold voltage)，Vt大約為1.5V。
於編程動作時，P型電晶體開啟(turn on)，源極端S與汲極端D之間產生編程電流(program current)Ip流經P型電晶體的通道區域(channel region)。再者，由於通道熱電子效應(channel hot electron effect，簡稱CHE效應)，電子注入側壁絕緣層116的一側。例如，電子注入汲極端那一側(drain side)的側壁絕緣層116，使得記憶胞被編程為第一儲存狀態。
當然，於編程動作時，也可以提供其他偏壓至P型電晶體，用以控制編程電流無法產生，使得電子無法注入側壁絕緣層116，並將記憶胞編程為第二儲存狀態。舉例來說，將汲極端D浮接(floating)、提供接地電壓(0V)至源極端(S)或者提供編程電壓(Vpp)至閘極端，皆可以控制電子無法注入側壁絕緣層116。
再者，進行抹除動作時，可控制電子退出(eject)側壁絕緣層116或者可注入電洞(hole)來與電子中和。以下介紹可運用於第一實施例記憶胞的二種抹除動作。
如第2B圖所示，於抹除動作時，P型電晶體源極端S與汲極端D接收抹除電壓Vee，閘極端G接收第二控制電壓Vbb，P型井區(PW)106與P型基板(p_sub)接收接地電壓(0V)。其中，抹除電壓Vee約為12V，第二控制電壓Vbb為負電壓，約為-5V。
於抹除動作時，閘極端G與N型井區(NW)104之間產生Fowler-Nordheim穿隧效應(Fowler-Nordheim tunneling effect，簡稱FN效應)，電子由側壁絕緣層116退出至N型井區(NW)104並經由體極端B離開P型電晶體。
如第2C圖所示，於抹除動作時，P型電晶體源極端S接收抹除電壓Vee，汲極端D接收接地電壓(0V)，閘極端G接收第三控制電壓(0V~Vbb)，P型井區(PW)106與P型基板(p_sub)接收接地電壓(0V)。其中，第三控制電壓介於0V至第二控制電壓Vbb之間，第二控制電壓Vbb為負電壓(約為-5V)。
於抹除動作時，P型電晶體開啟(turn on)，源極端S與汲極端D之間產生抹除電流(erase current)Iers流經P型電晶體的通道區域。再者，由於通道熱電洞效應(channel hot hole effect，簡稱CHH效應)使得電洞注入側壁絕緣層116並與電子中和。因此，記憶胞被抹除為第二儲存狀態。
於讀取動作時，P型電晶體源極端S接收讀取電壓Vr，汲極端D接收接地電壓(0V)，閘極端G接受第四控制電壓，P型井區(PW)106與P型基板(p_sub)接收接地電壓(0V)。其中，讀取電壓Vr約為3V，第四控制電壓為接地電壓(0V)。
如第2D圖所示，於讀取動作時，P型電晶體開啟(turn on)。由於側壁絕緣層116中儲存電子，所以源極端S與汲極端D之間產生較大的讀取電流(read current)Ir流經P型電晶體的通道區域。
如第2E圖所示，於讀取動作時，P型電晶體開啟(turn on)。由於側壁絕緣層116中並未儲存電子，所以源極端S與汲極端D之間產生較小的讀取電流(read current)Ir流經P型電晶體的通道區域。
換言之，於讀取動作時，根據記憶胞所產生的讀取電流Ir大小即可判定記憶胞為第一儲存狀態或者第二儲存狀態。
另外，本發明並未限定上述編程電壓Vpp、抹除電壓Vee、讀取電壓Vr以及第二控制電壓Vbb的實際電壓值。在此領域的技術人員也可以根據實際需求來調整上述的電壓值。
再者，本發明第一實施例記憶胞除了第1E圖的結構外。也可以修改基板區域(substrate region)的構造或者P型井區(PW)106的構造。
請參照第3A圖為本發明第一實施例的其他構造。在第3A圖的非揮發性記憶體310中，基板區域 320以上的結構皆相同於第1E圖，此處不再贅述。另外，基板區域320中包括一P型基板324與一N型埋入層(N-type buried layer，簡稱NBL)322。N型埋入層(NBL)322位於P型井區(PW)106與P型基板(p_sub)324之間。
請參照第3B圖為本發明第一實施例的另一構造。在第3B圖的非揮發性記憶體350中，利用絕緣層上覆矽的基板(silicon on insulator substrate，簡稱SOI 基板)來製作非揮發性記憶體350。
由於，SOI基板上有包括一P型基板(p_sub)352與一層障壁氧化層(barrier oxide)354，因此可利用障壁氧化層354來取代第1E圖的P型井區(PW)106。換言之，障壁氧化層354 與隔離結構102包圍住N型井區(NW)104，使得N型井區(NW)104成為一隔離井區(isolated well region)。另外，在第3B圖中，障壁氧化層354 以上的結構皆相同於第1E圖，此處不再贅述。
再者，多個第一實施例記憶胞可以組成記憶胞陣列。請參照第4A圖，其所繪示為記憶胞陣列示意圖。記憶胞陣列400包括3×4個記憶胞c11~34，每個記憶胞c11~c34中包括一個P型電晶體。當然，記憶胞陣列400並不限定於上述3×4個記憶胞c11~34，在此領域的技術人員可以組成m×n個記憶胞的記憶胞陣列，m與n為正整數。
在記憶胞陣列400中，第一列4個記憶胞c11~c14的閘極端皆連接至字元線WL1，第一列4個記憶胞c11~c14的源極端連接至對應的源極線SL1~SL4，第一列4個記憶胞c11~c14的汲極端連接至對應的位元線BL1~BL4。第二列4個記憶胞c21~c24的閘極端皆連接至字元線WL2，第二列4個記憶胞c21~c24的源極端連接至對應的源極線SL1~SL4，第二列4個記憶胞c21~c24的汲極端連接至對應的位元線BL1~BL4。同理，其他列的記憶胞也有類似的連接關係，此處不再贅述。
記憶胞陣列400每次運作時，僅會有一條字元線會動作，亦即選定列(selected row)，其他字元線則為非選定列(unselected row)。
另外，根據第2A圖至第2E圖的偏壓方式，可以進一步推導出記憶胞陣列400的各種動作時的偏壓。以下介紹詳細介紹之。另外，以下僅以記憶胞c11、c12、c21、c22為例來說明，其他記憶胞的運作類似，不再贅述。
請參照第4B圖，其所繪示為記憶胞陣列進行編程動作示意圖。於編程動作時，字元線WL1接收第一控制電壓(Vpp-Vt)，字元線WL2接收編程電壓(Vpp)，源極線SL1接收接地電壓(0V)，源極線SL2接收編程電壓(Vpp)，位元線BL1為浮接(floating)，位元線BL2接收接地電壓(0V)。因此，記憶胞陣列400中，連接至字元線WL1的第一列為選定列，連接至字元線WL2的第二列為非選定列。
於選定列中，由於源極線SL1接收接地電壓(0V)且位元線BL1為浮接(floating)，所以記憶胞c11為非選定記憶胞(unselected cell)，電子不會注入記憶胞c11的側壁絕緣層，使得記憶胞c11呈現第二儲存狀態。另外，由於源極線SL2接收編程電壓(Vpp)且位元線BL2接收接地電壓(0V)，所以記憶胞c12為選定記憶胞(selected cell)，電子注入記憶胞c12的側壁絕緣層，使得記憶胞c12呈現第一儲存狀態。
再者，於非選定列中，由於字元線WL2接收編程電壓(Vpp)，所以記憶胞c21、c22中的P型電晶體皆無法開啟(turn on)，所以記憶胞c21、22為非選定記憶胞(unselected cell)，電子不會注入記憶胞c21、c22的側壁絕緣層，使得記憶胞c21、c22呈現第二儲存狀態。
請參照第4C圖，其所繪示為記憶胞陣列利用FN效應所進行的抹除動作示意圖。於抹除動作時，字元線WL1接收第二控制電壓(Vbb)，字元線WL2接收接地電壓(0V)，源極線SL1接收接地電壓(0V)，源極線SL2接收抹除電壓(Vee)，位元線BL1接收接地電壓(0V)，位元線BL2接收抹除電壓(Vee)。因此，記憶胞陣列400中，連接至字元線WL1的第一列為選定列，連接至字元線WL2的第二列為非選定列。
於選定列中，由於源極線SL1接收接地電壓(0V)且位元線BL1接收接地電壓(0V)，所以記憶胞c11為非選定記憶胞(unselected cell)，電子不會退出記憶胞c11的側壁絕緣層。另外，由於源極線SL2接收抹除電壓(Vee)且位元線BL2接收抹除電壓(Vee)，所以記憶胞c12為選定記憶胞(selected cell)，電子退出記憶胞c12的側壁絕緣層。
再者，於非選定列中，由於字元線WL2接收接地電壓(0V)，所以記憶胞c21、c22為非選定記憶胞(unselected cell)，電子不會退出記憶胞c21、c22的側壁絕緣層。
請參照第4D圖，其所繪示為記憶胞陣列利用CHH效應所進行的抹除動作示意圖。於抹除動作時，字元線WL1接收第三控制電壓(0V~Vbb)，字元線WL2接收抹除電壓(Vee)，源極線SL1接收接地電壓(0V)，源極線SL2接收抹除電壓(Vee)，位元線BL1為浮接(floating)，位元線BL2接收接地電壓(0V)。因此，記憶胞陣列400中，連接至字元線WL1的第一列為選定列，連接至字元線WL2的第二列為非選定列。
於選定列中，由於源極線SL1接收接地電壓(0V)且位元線BL1為浮接(floating)，所以記憶胞c11為非選定記憶胞(unselected cell)，電洞不會注入記憶胞c11的側壁絕緣層。另外，由於源極線SL2接收抹除電壓(Vee)且位元線BL2接收接地電壓(0V)，所以記憶胞c12為選定記憶胞(selected cell)，電洞注入出記憶胞c12的側壁絕緣層。
再者，於非選定列中，由於字元線WL2接收抹除電壓(Vee)，所以記憶胞c21、c22為非選定記憶胞(unselected cell)，電洞不會注入記憶胞c21、c22的側壁絕緣層。
由第4C圖與第4D圖的抹除動作可知。由於每個記憶胞皆具有隔離井區，因此於抹除動作時，在記憶胞陣列400的選定列上決定特定的記憶胞為選定記憶胞，並對選定記憶胞進行抹除動作。換句話說，本發明可控制選定列上的所有記憶胞或者單一個記憶胞來進行抹除動作。
請參照第4E圖，其所繪示為記憶胞陣列進行讀取動作示意圖。於讀取動作時，字元線WL1接收第四控制電壓(0V)，字元線WL2接收讀取(Vr)，源極線SL1接收接地電壓(0V)，源極線SL2接收讀取電壓(Vr)，位元線BL1為浮接(floating)，位元線BL2接收接地電壓(0V)。因此，記憶胞陣列400中，連接至字元線WL1的第一列為選定列，連接至字元線WL2的第二列為非選定列。
於選定列中，由於源極線SL1接收接地電壓(0V)且位元線BL1為浮接(floating)，所以記憶胞c11為非選定記憶胞(unselected cell)，記憶胞c11不會產讀取電流。另外，由於源極線SL2接收讀取電壓Vr且位元線BL2接收接地電壓(0V)，所以記憶胞c12為選定記憶胞(selected cell)，並產生讀取電流。
再者，於非選定列中，由於字元線WL2接收讀取電壓Vr，所以記憶胞c21、c22為非選定記憶胞(unselected cell)，且不會產生讀取電流。
請參照第5圖，其所繪示為多個第一實施例記憶胞所組成的另一記憶胞陣列。記憶胞陣列500包括3×4個記憶胞c11~34，每個記憶胞c11~c34中包括一個P型電晶體。當然，記憶胞陣列500並不限定於上述3×4個記憶胞c11~34，在此領域的技術人員可以組成m×n個記憶胞的記憶胞陣列，m與n為正整數。
在記憶胞陣列500中，第一列4個記憶胞c11~c14的閘極端皆連接至字元線WL1，第一列4個記憶胞c11~c14的源極端連接至對應的源極線SL1~SL4，第一列的第一對(first pair)記憶胞c11、c12的汲極端連接至位元線BL1，第一列的第二對記憶胞c13、c14的汲極端連接至位元線BL2。第二列4個記憶胞c21~c24的閘極端皆連接至字元線WL2，第二列4個記憶胞c21~c24的源極端連接至對應的源極線SL1~SL4，第二列的第一對記憶胞c21、c22的汲極端連接至位元線BL1，第二列的第二對記憶胞c23、c24的汲極端連接至位元線BL2。同理，其他列的記憶胞也有類似的連接關係，此處不再贅述。
相同地，記憶胞陣列500每次運作時，僅會有一條字元線會動作，亦即選定列(selected row)，其他字元線則為非選定列(unselected row)。另外，適當地控制字元線WL1~WL3、源極線SL1~SL4、位元線BL1~BL2可以對記憶胞陣列500中的特定記憶胞進行編程動作、抹除動作與讀取動作。另外，根據第2A圖至第2E圖的偏壓方式，也可以進一步推導出記憶胞陣列500的各種動作時的偏壓，此處不再贅述。
請參照第6A圖與第6B圖，其所繪示為本發明第二實施例非揮發性記憶體的記憶胞及其等效電路。基本上，第二實施例記憶胞的製造流程類似於第一實施例，此處不再贅述。
如第6A圖所示，非揮發性記憶體600包括二個記憶胞cell1、cell2，且二個記憶胞Cell1與Cell2 有相同結構。記憶胞cell1包括：一基板區域(p_sub)601、一P型井區(PW)606位於基板區域(p_sub)601上方、一N型井區(NW)604位於P型井區(PW)606上方、一隔離結構602圍繞於N型井區(NW)604且位於P型井區(PW)606上方。其中，隔離結構602的深度為d1且N型井區(NW)604的深度為d2，且d2小於d1。再者，P型井區(PW)606可視為一障壁層(Barrier layer)，使得隔離結構602與障壁層包圍 N型井區(NW)604，使得N型井區(NW)604成為一隔離井區(isolated well region)。
再者，記憶胞cell1更包括：二個閘極結構形成於N型井區(NW)604表面上方。第一閘極結構包括一閘極氧化層612與一閘極層614，第二閘極結構包括一閘極氧化層632與一閘極層634。另外，側壁絕緣層616形成於第一閘極結構的周圍，側壁絕緣層636形成於第二閘極結構的周圍形成。舉例來說，側壁絕緣層616、636為間隙壁(spacer)，其為氮化矽間隙壁(silicon nitride spacer)，或者為氧化物­-氮化物-氧化物(oxide-nitride-oxide)的三層結構(tri-layer)的間隙壁。
記憶胞cell1更包括：三個P型摻雜區(p+)621、622、623與一個N型摻雜區(n+)625，皆位於N型井區(NW)604表面下方。其中，P型摻雜區(p+)623、622位於側壁絕緣層636的二側。P型摻雜區(p+)622、621位於側壁絕緣層616的二側。另外，於N型井區(NW)604之表面下方再形成一N型摻雜區(n+)625。舉例來說，N型摻雜區(n+)625形成於P型摻雜區621。
如第6A圖與第6B圖所示，非揮發性記憶體600中，每個記憶胞由二個P型電晶體M1與M2組成，可稱為二個電晶體記憶胞(2T cell)。第一P型電晶體M1由N型井區(NW)604、P型摻雜區(p+)622與621、N型摻雜區(n+)625與閘極層614所組成。第二P型電晶體M2由N型井區(NW)604、P型摻雜區(p+)623與622、N型摻雜區(n+)625與閘極層634所組成。
其中，閘極層614為第一P型電晶體M1的閘極端G1、P型摻雜區(p+)622為第一P型電晶體M1的汲極端、P型摻雜區(p+)621為第一P型電晶體M1的源極端S1、N型摻雜區(n+)625為第一P型電晶體M1的體極端(body terminal)B。再者，閘極層634為第二P型電晶體M2的閘極端G2、P型摻雜區(n+)623為第二P型電晶體M2的汲極端D2、P型摻雜區(p+)622為第二P型電晶體M2的源極端、N型摻雜區(n+)625為第二P型電晶體M2的體極端B。第一電晶體M1與第二電晶體M2的體極端B皆連接至第一電晶體M1的源極端S1。
根據本發明的第二實施例，由於每個記憶胞皆設計於隔離井區中，使得每個記憶胞中的隔離井區可以接收不同的電壓。再者，經由適當的偏壓，可以將熱載子注入或者退出第二Ｐ型電晶體M2中的側壁絕緣層636，使得記憶胞呈現不同的儲存狀態。其中，熱載子可為電子。
換句話說，本發明第二實施例的記憶胞利用側壁絕緣層636來作為陷阱層(trapping layer)用以儲存電子。亦即，本發明為一種電荷陷阱式的非揮發性記憶體(charge-trapping NVM)。
請參照第7A圖至第7E圖，其所繪示為本發明第二實施例記憶胞於各種動作時的偏壓示意圖。
如第7A圖所示，於編程動作時，第一P型電晶體M1源極端S1接收編程電壓(Vpp)，第二P型電晶體M2汲極端D2接收接地電壓(0V)，第一閘極端G1接收開啟電壓  (Von)，第二閘極端G2接收第一控制電壓(Vpp-Vt)，P型井區(PW)606與P型基板(p_sub)601接收接地電壓(0V)。其中，編程電壓Vpp約為9V，開啟電壓(Von)為接地電壓(0V)，第一控制電壓約為(Vpp-Vt)且Vt為P型電晶體的臨限電壓(threshold voltage)，Vt大約為1.5V。
於編程動作時，第一P型電晶體M1與第二P型電晶體M2開啟(turn on)，第一P型電晶體M1的源極端S1與第二電晶體M2的汲極端D2之間產生編程電流(program current)Ip。再者，由於通道熱電子效應(channel hot electron effect，簡稱CHE效應)，電子注入第二P型電晶體M2之側壁絕緣層636的一側。例如，電子注入第二P型電晶體M2汲極端D2那一側(drain side)的側壁絕緣層636，使得記憶胞被編程為第一儲存狀態。
當然，於編程動作時，也可以提供另外的偏壓至第一P型電晶體M1與第二P型電晶體M2，用以控制編程電流無法產生，使得電子無法注入側壁絕緣層636，並將記憶胞編程為第二儲存狀態。舉例來說，將汲極端D浮接(floating)、提供接地電壓(0V)至源極端(S)或者提供編程電壓(Vpp)至閘極端，皆可以控制電子無法注入側壁絕緣層636。
再者，進行抹除動作時，可控制電子退出(eject)側壁絕緣層636  或者可注入電洞(hole)來與電子中和。以下介紹可運用於第二實施例記憶胞的二種抹除動作。
如第7B圖所示，於抹除動作時，第一P型電晶體M1源極端S1與第二P型電晶體M2汲極端D2接收抹除電壓Vee，第一閘極端G1與第二閘極端G2接收第二控制電壓Vbb，P型井區(PW)606與P型基板(p_sub)601接收接地電壓(0V)。其中，抹除電壓Vee約為12V，第二控制電壓Vbb為負電壓，約為-5V。
於抹除動作時，第二閘極端G2與N型井區(NW)604之間產生Fowler-Nordheim穿隧效應(Fowler-Nordheim tunneling effect，簡稱FN效應)，電子由側壁絕緣層636退出至N型井區(NW)604並經由體極端B離開第二P型電晶體M2。
如第7C圖所示，於抹除動作時，第一P型電晶體M1源極端S1接收抹除電壓Vee，第二P型電晶體M2汲極端D2接收接地電壓(0V)，第一閘極端G1接收開啟電壓(Von)，第二閘極端G2接收第三控制電壓(0V~Vbb)，P型井區(PW)606與P型基板(p_sub)601接收接地電壓(0V)。其中，開啟電壓(Von)為接地電壓(0V)，第三控制電壓介於0V至第二控制電壓Vbb之間，第二控制電壓Vbb為負電壓，約為-5V。
於抹除動作時，第一P型電晶體M1與第二P型電晶體M2開啟(turn on)，第一P型電晶體M1源極端S1與第二P型電晶體M2 汲極端D2之間產生抹除電流(erase current)Iers。再者，由於帶間熱電洞(band to band hot hole effect，簡稱BBHH效應)，使得熱載子退出側壁絕緣層636。
於讀取動作時，第一P型電晶體M1源極端S1接收讀取電壓Vr，第二P型電晶體M2汲極端D2接收接地電壓(0V)，第一閘極端G1接收開啟電壓(Von)，第二閘極端G2接受第四控制電壓，P型井區(PW)606與P型基板(p_sub)601接收接地電壓(0V)。其中，開啟電壓(Von)與第四控制電壓為接地電壓(0V)，讀取電壓Vr約為3V。
如第7D圖所示，於讀取動作時，第一P型電晶體M1與第二P型電晶體M2開啟(turn on)。由於側壁絕緣層636中儲存電子，所以第一P型電晶體M1源極端S1與第二P型電晶體M2汲極端D2之間產生較大的讀取電流(read current)Ir。
如第7E圖所示，第一P型電晶體M1與第二P型電晶體M2開啟(turn on)。由於側壁絕緣層636中未儲存電子，所以第一P型電晶體M1源極端S1與第二P型電晶體M2汲極端D2之間產生較小的讀取電流(read current)Ir。
換言之，於讀取動作時，根據記憶胞所產生的讀取電流Ir大小即可判定記憶胞為第一儲存狀態或者第二儲存狀態。
另外，本發明並未限定上述編程電壓(Vpp)、抹除電壓(Vee)、讀取電壓(Vr)以及第二控制電壓(Vbb)。在此領域的技術人員也可以根據實際需求來調整上述的電壓值。
相同於第一實施例，本發明第二實施例記憶胞除了第6A圖的結構外。也可以參考第3A圖與第3B圖來修改基板區域(substrate region)的構造或者P型井區(PW)606的構造，此處不再贅述。
多個第二實施例記憶胞可以組成記憶胞陣列。請參照第8圖，其所繪示為記憶胞陣列示意圖。記憶胞陣列800包括3×4個記憶胞c11~34，每個記憶胞c11~c34中包括第一P型電晶體與第二P型電晶體。當然，記憶胞陣列800並不限定於上述3×4個記憶胞c11~34，在此領域的技術人員可以組成m×n個記憶胞的記憶胞陣列，m與n為正整數。
在記憶胞陣列800中，第一列4個記憶胞c11~c14的中的第二閘極端皆連接至字元線WL1，第一列4個記憶胞c11~c14中第二P型電經體 的汲極端皆連接至位元線BL1，第一列4個記憶胞c11~c14的第一閘極端連接至對應的控制線CL1~CL4，第一列中第一對記憶胞c11與c12中第一P型電晶體的源極端連接至源極線 SL1 ，第一列中第二對記憶胞c13與c14中第一P型電晶體的源極端連接至源極線SL2 。第二列4個記憶胞c21~c24的中的第二閘極端皆連接至字元線WL2，第二列4個記憶胞c21~c24中第二P型記憶體的汲極端皆連接至位元線BL2，第二列4個記憶胞c21~c24的第一閘極端連接至對應的控制線CL1~CL4，第二列中第一對記憶胞c21與c22中第一P型電晶體的源極端連接至源極線SL1 ，第二列中第二對記憶胞c23與c24中第一P型電晶體的源極端連接至源極線SL2 。同理，其他列的記憶胞也有類似的連接關係，此處不再贅述。
記憶胞陣列800每次運作時，僅會有一條字元線會動作，亦即選定列(selected row)，其他字元線則為非選定列(unselected row)。另外，根據第7A圖至第7E圖的偏壓方式，可以進一步推導出記憶胞陣列800進行編程動作、抹除動作或者讀取動作時的偏壓控制，此處不再贅述。
請參照第9A圖與第9B圖，其所繪示為本發明第三實施例非揮發性記憶體的記憶胞及其等效電路。本發明第三實施例的記憶胞為差動記憶胞(differential cell)。基本上，第三實施例記憶胞的製造流程類似於第一實施例與第二實施例，此處不再贅述。
如第9A圖所示，非揮發性記憶體900包括二個記憶胞cell1、cell2，且二個記憶胞Cell1與Cell2 有相同結構。記憶胞cell1包括：一基板區域(p_sub)901、一P型井區(PW)906位於基板區域(p_sub)901上方、一N型井區(NW)904位於P型井區(PW)906上方、一隔離結構902圍繞於N型井區(NW)904且位於P型井區(PW)906上方。其中，隔離結構902的深度為d1且N型井區(NW)904的深度為d2，且d2小於d1。再者，P型井區(PW)906可視為一障壁層(Barrier layer)，使得隔離結構902與障壁層包圍N型井區(NW)904，使得N型井區(NW)904成為一隔離井區(isolated well region)。
再者，記憶胞cell1更包括：二個閘極結構形成於N型井區(NW)904表面上方。第一閘極結構包括一閘極氧化層912與一閘極層914，第二閘極結構包括一閘極氧化層932與一閘極層934。另外，側壁絕緣層916形成於第一閘極結構的周圍，側壁絕緣層936形成於第二閘極結構的周圍形成。舉例來說，側壁絕緣層916、936為間隙壁(spacer)，其為氮化矽間隙壁(silicon nitride spacer)，或者為氧化物­-氮化物-氧化物(oxide-nitride-oxide)的三層結構(tri-layer)的間隙壁。
記憶胞cell1更包括：四個P型摻雜區(p+)921、922、923、924與一個N型摻雜區(n+)925，皆位於N型井區(NW)904表面下方。其中，P型摻雜區(p+)921、922位於側壁絕緣層936的二側。P型摻雜區(p+)923、924位於側壁絕緣層916的二側。另外，於N型井區(NW)904之表面再形成一N型摻雜區(n+)925。舉例來說，N型摻雜區(n+)925形成於P型摻雜區921與923之間。
如第9A圖與第9B圖所示，非揮發性記憶體900中，每個記憶胞由二個P型電晶體M1與M2組成，可稱為二個電晶體記憶胞(2T cell)。第一P型電晶體M1由N型井區(NW)904、P型摻雜區(p+)923與924、N型摻雜區(n+)925與閘極層914所組成。第二P型電晶體M2由N型井區(NW)904、P型摻雜區(p+)921與922、N型摻雜區(n+)925與閘極層934所組成。
其中，閘極層914為第一P型電晶體M1的閘極端G1、P型摻雜區(p+)924為第一P型電晶體M1的汲極端D1、P型摻雜區(p+)923為第一P型電晶體M1的源極端S、N型摻雜區(n+)925為第一P型電晶體M1的體極端(body terminal)B。再者，閘極層934為第二P型電晶體M2的閘極端G2、P型摻雜區(n+)922為第二P型電晶體M2的汲極端D2、P型摻雜區(p+)921為第二P型電晶體M2的源極端S、N型摻雜區(n+)925為第二P型電晶體M2的體極端B。其中，第一電晶體M1與第二電晶體M2的源極端S、第一電晶體M1與第二電晶體M2的體極端B皆相互連接。
根據本發明的第三實施例，由於每個記憶胞皆設計於隔離井區中，使得每個記憶胞中的隔離井區可以接收不同的電壓。再者，經由適當的偏壓，可以將熱載子注入第一P型電晶體的側壁絕緣層916以及第二Ｐ型電晶體M2的側壁絕緣層936其中之一，使得差動記憶胞(differential cell)呈現不同的儲存狀態。其中，熱載子可為電子。
換句話說，本發明第三實施例的記憶胞利用側壁絕緣層916與936來作為陷阱層(trapping layer)用以儲存電子。亦即，本發明為一種電荷陷阱式的非揮發性記憶體(charge-trapping NVM)。
請參照第10A圖至第10F圖，其所繪示為本發明第三實施例記憶胞於各種動作時的偏壓示意圖。
如第10A圖所示，將記憶胞編成為第一儲存狀態時，第一P型電晶體M1與第二P型電晶體M2的源極端S接收編程電壓Vpp，第一P型電晶體M1的汲極端D1接收接地電壓(0V)，第二P型電晶體M2汲極端D2為浮接(floating)，第一閘極端G1接收第一控制電壓(Vpp-Vt)，第二閘極端G2接收接地電壓(0V)，P型井區(PW)906與P型基板(p_sub)901接收接地電壓(0V)。其中，編程電壓Vpp約為9V，第一控制電壓約為(Vpp-Vt)且Vt為P型電晶體的臨限電壓(threshold voltage)，Vt大約為1.5V。
如第10A圖所示，第一P型電晶體M1開啟(turn on)，第二P型電晶體M2關閉(turn off)，第一P型電晶體M1的源極端S與汲極端D1之間產生編程電流(program current)Ip，第二電晶體M2的源極端S與汲極端D2之間未產生編程電流。再者，由於通道熱電子效應(channel hot electron effect，簡稱CHE效應)，電子注入第一P型電晶體M1的側壁絕緣層916一側。例如，電子注入第一P型電晶體M1汲極端D1那一側(drain side)的側壁絕緣層916，使得記憶胞被編程為第一儲存狀態。
如第10B圖所示，將記憶胞編成為第二儲存狀態時，第一P型電晶體M1與第二P型電晶體M2的源極端S接收編程電壓Vpp，第一P型電晶體M1的汲極端D1為浮接(floating)，第二P型電晶體M2汲極端D2接收接地電壓(0V)，第一閘極端G1接收接地電壓(0V)，第二閘極端G2接收第一控制電壓(Vpp-Vt)，P型井區(PW)906與P型基板(p_sub)901接收接地電壓(0V)。
如第10B圖所示，第二P型電晶體M2開啟(turn on)，第一P型電晶體M1關閉(turn off)，第二P型電晶體M1的源極端S與汲極端D2之間產生編程電流Ip，第一電晶體M1的源極端S與汲極端D1之間未產生編程電流。再者，由於通道熱電子效應(channel hot electron effect，簡稱CHE效應)，電子注入第二P型電晶體M2汲極端D2那一側(drain side)的側壁絕緣層936，使得記憶胞被編程為第二儲存狀態。
再者，進行抹除動作時，可控制熱載子退出(eject)側壁絕緣層916與936或者可注入電洞(hole)來與電子中和。以下介紹可運用於第三實施例記憶胞的二種抹除動作。
如第10C圖所示，於抹除動作時，第一P型電晶體M1與第二P型電晶體M2源極端S接收抹除電壓Vee，第一P型電晶體M1與第二P型電晶體M2的汲極端D1、D2接收抹除電壓Vee，第一閘極端G1與第二閘極端G2接收第二控制電壓Vbb，P型井區(PW)906與P型基板(p_sub)901接收接地電壓(0V)。其中，抹除電壓Vee約為12V，第二控制電壓Vbb為負電壓，約為-5V。
如第10C圖所示，當記憶胞為第一儲存狀態時，第一閘極端G1與N型井區(NW)904之間產生Fowler-Nordheim穿隧效應(Fowler-Nordheim tunneling effect，簡稱FN效應)，電子由側壁絕緣層916退出至N型井區(NW)904並經由體極端離開第一P型電晶體M1。同理，當記憶胞為第二儲存狀態時，第二閘極端G2與N型井區(NW)904之間產生Fowler-Nordheim穿隧效應(Fowler-Nordheim tunneling effect，簡稱FN效應)，電子由側壁絕緣層936退出至N型井區(NW)904並經由體極端離開第二P型電晶體M2。
如第10D圖所示，於抹除動作時，第一P型電晶體M1與第二P型電晶體M2源極端S接收抹除電壓Vee，第一P型電晶體M1與第二P型電晶體M2汲極端D1、D2接收接地電壓(0V)，第一閘極端G1與第二閘極端G2接收第三控制電壓(0V~Vbb)，P型井區(PW)906與P型基板(p_sub)901接收接地電壓(0V)。其中，第三控制電壓介於0V至第二控制電壓Vbb之間，第二控制電壓Vbb為負電壓，約為-5V。
如第10D圖所示，當記憶胞為第二儲存狀態時，第一P型電晶體M1與第二P型電晶體M2開啟(turn on)，第二P型電晶體M2源極端S與第二P型電晶體M2 汲極端D2之間產生抹除電流(erase current)Iers。再者，由於通道熱電洞效應(channel hot hole effect，簡稱CHH效應)使得電洞注入側壁絕緣層936並與電子中和。同理，當記憶胞為第一儲存狀態時，第一P型電晶體M1源極端S與第一P型電晶體M1 汲極端D1之間產生抹除電流(erase current)Iers。再者，由於通道熱電洞效應(channel hot hole effect，簡稱CHH效應)使得電洞注入側壁絕緣層916並與電子中和。
於讀取動作時，第一P型電晶體M1與第二P型電晶體M2源極端S接收讀取電壓Vr，第一P型電晶體M1與第二P型電晶體M2汲極端D1、D2接收接地電壓(0V)，第一閘極端G1與第二閘極端G2接受第四控制電壓，P型井區(PW)906與P型基板(p_sub)901接收接地電壓(0V)。其中，第四控制電壓為接地電壓(0V)，讀取電壓Vr約為3V。
如第10E圖所示，於讀取動作時，第一P型電晶體M1與第二P型電晶體M2開啟(turn on)。
由於側壁絕緣層916中儲存電子且側壁絕緣層936中未儲存電子，所以第一P型電晶體M1源極端S與第一P型電晶體M1汲極端D1之間產生較大的第一讀取電流Ir1，第二P型電晶體M2源極端S與第二P型電晶體M2汲極端D2之間產生較小的第二讀取電流Ir2。因此，根據第一讀取電流Ir1大於第二讀取電流Ir2，可以判斷記憶胞為第一儲存狀態。
如第10F圖所示，由於側壁絕緣層916中未儲存電子且側壁絕緣層936中儲存電子，所以第二P型電晶體M2源極端S與第二P型電晶體M2汲極端D2之間產生較大的第二讀取電流Ir2，第一P型電晶體M1源極端S與第一P型電晶體M1汲極端D1之間產生較小的第一讀取電流Ir1。因此，根據第二讀取電流Ir2大於第一讀取電流Ir1，可以判斷記憶胞為第二儲存狀態。
另外，本發明並未限定上述編程電壓Vpp、抹除電壓Vee、讀取電壓Vr、第二控制電壓 Vbb以及第四控制電壓的實際電壓值。在此領域的技術人員也可以根據實際需求來調整上述的電壓值。
相同於第一實施例與第二實施例，本發明第三實施例記憶胞除了第9A圖的結構外。也可以參考第3A圖與第3B圖來修改基板區域(substrate region)的構造或者P型井區(PW)906的構造，此處不再贅述。
多個第三實施例記憶胞可以組成記憶胞陣列。請參照第11圖，其所繪示為記憶胞陣列示意圖。記憶胞陣列999包括3×3個記憶胞c11~33，每個記憶胞c11~c33中包括第一P型電晶體與第二P型電晶體。當然，記憶胞陣列999並不限定於上述3×3個記憶胞c11~33，在此領域的技術人員可以組成m×n個記憶胞的記憶胞陣列，m與n為正整數。
在記憶胞陣列999中，第一列3個記憶胞c11~c13的中的第一閘極端與第二閘極端皆連接至字元線WL1，第一列3個記憶胞c11~c13中第一P型電經體 與第二P型記憶體的源極端皆連接至源極線SL1，第一列3個記憶胞c11~c13中第一P型記憶體與第二P型記憶體的汲極端對應地連接至位元線BL1、BL2、BL3與反相位元線BLb1、BLb2、BLb3。第二列3個記憶胞c21~c23的中的第一閘極端與第二閘極端皆連接至字元線WL2，第二列3個記憶胞c21~c23中第一P型記憶體與第二P型記憶體的源極端皆連接至源極線SL2，第二列3個記憶胞c21~c23 中第一P型記憶體與第二P型記憶體的汲極端對應地連接至位元線BL1、BL2、BL3與反相位元線BLb1、BLb2、BLb3。同理，其他列的記憶胞也有類似的連接關係，此處不再贅述。
記憶胞陣列999每次運作時，僅會有一條字元線會動作，亦即選定列(selected row)，其他字元線則為非選定列(unselected row)。另外，根據第10A圖至第10F圖的偏壓方式，可以進一步推導出記憶胞陣列999進行編程動作、抹除動作或者讀取動作時的偏壓控制，此處不再贅述。
綜上所述，本發明提出一種電荷陷阱式的非揮發性記憶體(charge-trapping NVM)，且非揮發性記憶體中的每一個記憶胞皆設計在隔離井區中。可對非揮發性記憶體中的任一記憶胞進行編程動作、抹除動作與讀取動作。另外，本發明係利用記憶胞中的側壁絕緣層來困住(trapped)熱載子。也就是說，於編程動作時，電子將會被困在(trapped)側壁絕緣層的一側。
綜上所述，雖然本發明已以較佳實施例揭露如上，然其並非用以限定本發明。本發明所屬技術領域中具有通常知識者，在不脫離本發明之精神和範圍內，當可作各種之更動與潤飾。因此，本發明之保護範圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準。
100,310,350,600,900:非揮發性記憶體 101,324,352,601,901:p型基板 102,602,902:隔離結構 104,604,904: N型井區 106,606,906: P型井區 110:閘極結構 112,612,632,912,932:閘極氧化層 114,614,634,914,934:閘極層 116,616,636,916,936:側壁絕緣層 121,122,621,622,623,921,922,923,924:P型摻雜區 125,625,925:N型摻雜區 322:N型埋入層 354:障壁氧化層 400,500,800,999:記憶胞陣列
第1A圖至第1E圖為第一實施例非揮發性記憶體的記憶胞之製作流程示意圖； 第1F圖為第一實施例非揮發性記憶體的記憶胞之等效電路； 第2A圖至第2E圖為第一實施例記憶胞於各種動作時的偏壓示意圖； 第3A圖與第3B圖為第一實施例的各種構造； 第4A圖至4E圖為第一實施例記憶胞所組成的記憶胞陣列以及各種動作的偏壓示意圖； 第5圖為第一實施例記憶胞所組成的另一記憶胞陣列； 第6A圖與第6B圖為第二實施例非揮發性記憶體的記憶胞與等效電路； 第7A圖至第7E圖為第二實施例記憶胞於各種動作時的偏壓示意圖； 第8圖為第二實施例記憶胞所組成的記憶胞陣列； 第9A圖與第9B圖為第三實施例非揮發性記憶體的記憶胞與等效電路； 第10A圖至第10F圖為第三實施例記憶胞於各種動作時的偏壓示意圖；以及 第11圖為第三實施例記憶胞所組成的記憶胞陣列。
100:非揮發性記憶體
101:p型基板
102:隔離結構
104:N型井區
106:P型井區
114:閘極層
116:側壁絕緣層
121,122:P型摻雜區
125:N型摻雜區

Claims (16)

  1. 一種非揮發性記憶體，包括一第一記憶胞，該第一記憶胞包括： 一基板區域； 一障壁層，位於該基板區域上方； 一N型井區，位於該障壁層上方； 一隔離結構，圍繞於該N型井區且位於該障壁層 上方，其中該隔離結構具有一第一深度，該N型井區具有一第二深度，且該第二深度小於該第一深度，該隔離結構與該障壁層包圍該N型井區，使得該N型井區為一隔離井區； 一第一閘極結構，形成於該N型井區的一表面上方，該第一閘極結構包括一第一閘極氧化層與一第一閘極層； 一第一側壁絕緣層，形成於該第一閘極結構的周圍； 一第一P型摻雜區與一第二P型摻雜區位於該N型井區的該表面下方該第一側壁絕緣層的二側； 一N型摻雜區位於該N型井區的該表面下方； 其中，該N型井區、該第一P型摻雜區、該第二P型摻雜區、該N型摻雜區與該第一閘極層形成一第一P型電晶體，該第一P型電晶體的一第一閘極端連接至該第一閘極層，該第一P型電晶體的一第一源極端連接至該第一P型摻雜區，該第一P型電晶體的一第一汲極端連接至該第二P型摻雜區，該第一P型電晶體的一第一體極端連接至該N型摻雜區，該第一P型電晶體的該第一源極端與該第一體極端互相連接。
  2. 如請求項1所述之非揮發性記憶體，更包括一第二記憶胞，且該第二記憶胞包括一第二P型電晶體，其中該第一P型電晶體的該第一閘極端連接至一第一字元線，該第二P型電晶體的一第二閘極端連接至一第二字元線，該第一P型電晶體的該第一源極端與該第二P型電晶體的一第二源極端連接至一第一源極線，該第一P型電晶體的該第一汲極端與該第二P型電晶體的一第二汲極端連接至一第一位元線。
  3. 如請求項2所述之非揮發性記憶體，更包括一第三記憶胞，且該第三記憶胞包括一第三P型電晶體，其中該第三P型電晶體的一第三閘極端連接至該第一字元線，該第三P型電晶體的一第三源極端連接至一第二源極線，該第三P型電晶體的一第三汲極端連接至一第二位元線。
  4. 如請求項1所述之非揮發性記憶體，更包括一第二記憶胞，且該第二記憶胞包括一第二P型電晶體，其中該第一P型電晶體的該第一閘極端連接至一第一字元線，該第二P型電晶體的一第二閘極端連接至一第二字元線，該第一P型電晶體的該第一源極端與該第二P型電晶體的一第二源極端連接至一第一源極線，該第一P型電晶體的該第一汲極端連接至一第一位元線，該第二P型電晶體的一第二汲極端連接至一第二位元線。
  5. 如請求項4所述之非揮發性記憶體，更包括一第三記憶胞，且該第三記憶胞包括一第三P型電晶體，其中該第三P型電晶體的一第三閘極端連接至該第一字元線，該第三P型電晶體的一第三源極端連接至一第二源極線，該第三P型電晶體的一第三汲極端連接至該第一位元線。
  6. 如請求項1所述之非揮發性記憶體，其中該障壁層為一P型井區或者一層障壁氧化層。
  7. 如請求項1所述之非揮發性記憶體，其中該基板區域包括一P型基板與一N型埋入層，其中該N型埋入層位於該P型基板與該障壁層之間。
  8. 如請求項1所述之非揮發性記憶體，其中該第一側壁絕緣層為一間隙壁，且該間隙壁為一氮化矽間隙壁或者一氧化物­-氮化物-氧化物的三層結構間隙壁。
  9. 如請求項1所述之非揮發性記憶體，其中於一抹除動作時，提供一抹除電壓至該第一P型電晶體的該第一源極端，提供一接地電壓至該第一P型電晶體的該第一汲極端，提供一第三控制電壓至該第一P型電晶體的該第一閘極端，其中該第三控制電壓小於等於該接地電壓。
  10. 如請求項1所述之非揮發性記憶體，其中該第一記憶胞更包括： 一第二閘極結構，形成於該N型井區的該 表面上方，該第二閘極結構包括一第二閘極氧化層與一第二閘極層； 一第二側壁絕緣層，形成於該第二閘極結構的周圍； 一第三P型摻雜區與一第四P型摻雜區位於該N型井區的該表面下方該第二側壁絕緣層的二側； 其中，該N型井區、該第三P型摻雜區、該第四P型摻雜區、該N型摻雜區與該第二閘極層形成一第二P型電晶體，該第二P型電晶體的一第二閘極端連接至該第二閘極層，該第二P型電晶體的一第二源極端連接至該第三P型摻雜區，該第二P型電晶體的一第二汲極端連接至該第四P型摻雜區，該第二P型電晶體的一第二體極端連接至該N型摻雜區，該第二P型電晶體的該第二源極端與該第二體極端互相連接。
  11. 如請求項10所述之非揮發性記憶體，更包括一第二記憶胞，且該第二記憶胞包括一第三P型電晶體與一第四P型電晶體，其中該第一P型電晶體的該第一閘極端與該第二P型電晶體的該第二閘極端連接至一第一字元線，該第一P型電晶體的該第一源極端與該第二P型電晶體的該第二源極端連接至一第一源極線，該第三P型電晶體的一第三閘極端與該第四P型電晶體的一第四閘極端連接至一第二字元線，該第三P型電晶體的一第三源極端與該第四P型電晶體的一第四源極端連接至一第二源極線，該第一P型電晶體的該第一汲極端與該第三P型電晶體的一第三汲極端連接至一第一位元線，該第二P型電晶體的該第二汲極端與該第四P型電晶體的一第四汲極端連接至一第一反相位元線。
  12. 如請求項11所述之非揮發性記憶體，更包括一第三記憶胞，且該第三記憶胞包括一第五P型電晶體與一第六P型電晶體，其中該第五P型電晶體的一第五閘極端與該第六P型電晶體的一第六閘極端連接至該第一字元線，該第五P型電晶體的一第五源極端與該第六P型電晶體的一第六源極端連接至該第一源極線，該第五P型電晶體的一第五汲極端連接至一第二位元線，該第六P型電晶體的一第六汲極端連接至一第二反相位元線。
  13. 如請求項1所述之非揮發性記憶體，其中該第一記憶胞更包括： 一第二閘極結構，形成於該N型井區的該表面上方，該第二閘極結構包括一第二閘極氧化層與一第二閘極層； 一第二側壁絕緣層，形成於該第二閘極結構的周圍； 一第三P型摻雜區與該第二P型摻雜區位於該N型井區的該表面下方該第二側壁絕緣層的二側； 其中，該N型井區、該第二P型摻雜區、該第三P型摻雜區、該N型摻雜區與該第二閘極層形成一第二P型電晶體，該第二P型電晶體的一第二閘極端連接至該第二閘極層，該第二P型電晶體的一第二源極端連接至該第二P型摻雜區，該第二P型電晶體的一第二汲極端連接至該第三P型摻雜區，該第二P型電晶體的一第二體極端連接至該N型摻雜區。
  14. 如請求項13所述之非揮發性記憶體，更包括一第二記憶胞，且該第二記憶胞包括一第三P型電晶體與一第四P型電晶體，其中該第一P型電晶體的該第一閘極端連接至一第一控制線，該第一P型電晶體的該第一源極端連接至一第一源極線，該第一P型電晶體的該第一汲極端連接至該第二P型電晶體的該第二源極端，該第二P型電晶體的該第二汲極端連接至一第一位元線，該第二P型電晶體的該第二閘極端連接至一第一字元線，該第三P型電晶體的一第三閘極端連接至該第一控制線，該第三P型電晶體的一第三源極端連接至該第一源極線，該第三P型電晶體的一第三汲極端連接至該第四P型電晶體的一第四源極端，該第四P型電晶體的一第四汲極端連接至一第二位元線，該第四P型電晶體的一第四閘極端連接至一第二字元線。
  15. 如請求項14所述之非揮發性記憶體，更包括一第三記憶胞，且該第三記憶胞包括一第五P型電晶體與一第六P型電晶體，其中該第五P型電晶體的一第五閘極端連接至一第二控制線，該第五P型電晶體的一第五源極端連接至該第一源極線，該第五P型電晶體的一第五汲極端連接至該第六P型電晶體的一第六源極端，該第六P型電晶體的一第六汲極端連接至該第一位元線，該第六P型電晶體的一第六閘極端連接至該第一字元線。
  16. 如請求項13所述之非揮發性記憶體，其中於一抹除動作時，提供一抹除電壓至該第一P型電晶體的該第一源極端，提供一接地電壓至該第二P型電晶體的該第二汲極端，提供一開啟電壓至該第一P型電晶體的該第一閘極端，提供一第三控制電壓至該第二P型電晶體的該第二閘極端，其中該第三控制電壓小於等於該接地電壓。
TW109136313A 2019-12-11 2020-10-20 具隔離井區之記憶胞及其相關非揮發性記憶體 TWI738542B (zh)

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US201962946432P 2019-12-11 2019-12-11
US62/946,432 2019-12-11
US17/037,781 2020-09-30
US17/037,781 US11245004B2 (en) 2019-12-11 2020-09-30 Memory cell with isolated well region and associated non-volatile memory

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TW202123431A TW202123431A (zh) 2021-06-16
TWI738542B true TWI738542B (zh) 2021-09-01

Family

ID=76317058

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW109136313A TWI738542B (zh) 2019-12-11 2020-10-20 具隔離井區之記憶胞及其相關非揮發性記憶體
TW109139485A TWI747608B (zh) 2019-12-11 2020-11-12 可編程可抹除的非揮發性記憶體

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW109139485A TWI747608B (zh) 2019-12-11 2020-11-12 可編程可抹除的非揮發性記憶體

Country Status (2)

Country Link
US (2) US11245004B2 (zh)
TW (2) TWI738542B (zh)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10446681B2 (en) 2017-07-10 2019-10-15 Micron Technology, Inc. NAND memory arrays, and devices comprising semiconductor channel material and nitrogen
US11877456B2 (en) 2020-09-15 2024-01-16 Ememory Technology Inc. Memory cell of non-volatile memory
US11538919B2 (en) * 2021-02-23 2022-12-27 Micron Technology, Inc. Transistors and arrays of elevationally-extending strings of memory cells
EP4167235A1 (en) * 2021-10-14 2023-04-19 eMemory Technology Inc. Erasable programmable single-poly non-volatile memory cell and associated array structure
US12088294B2 (en) * 2022-04-11 2024-09-10 Ememory Technology Inc. Voltage level shifter and operation method thereof

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20090315115A1 (en) * 2008-06-23 2009-12-24 Chartered Semiconductor Manufacturing, Ltd. Implantation for shallow trench isolation (STI) formation and for stress for transistor performance enhancement
US7700993B2 (en) * 2007-11-05 2010-04-20 International Business Machines Corporation CMOS EPROM and EEPROM devices and programmable CMOS inverters
US7795681B2 (en) * 2007-03-28 2010-09-14 Advanced Analogic Technologies, Inc. Isolated lateral MOSFET in epi-less substrate
TW201124992A (en) * 2010-01-08 2011-07-16 Yield Microelectronics Corp Low-voltage quick erase method for non-volatile memory.
TW201943058A (zh) * 2018-02-23 2019-11-01 南韓商Ｓｋ海力士系統集成電路有限公司 具有橫向耦合結構和單層閘極的非揮發性記憶體裝置

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19946884A1 (de) 1999-09-30 2001-04-12 Micronas Gmbh Eprom-Struktur für Halbleiterspeicher
US7880217B2 (en) 2005-07-30 2011-02-01 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Programmable non-volatile memory (PNVM) device
US7547944B2 (en) * 2006-03-30 2009-06-16 Catalyst Semiconductor, Inc. Scalable electrically eraseable and programmable memory (EEPROM) cell array
US20120292682A1 (en) * 2011-05-19 2012-11-22 Texas Instruments Incorporated Electrically Erasable Programmable Non-Volatile Memory
US8765550B2 (en) * 2011-07-13 2014-07-01 Texas Instruments Incorporated N-channel erasable programmable non-volatile memory
US8941167B2 (en) 2012-03-08 2015-01-27 Ememory Technology Inc. Erasable programmable single-ploy nonvolatile memory
US9431111B2 (en) 2014-07-08 2016-08-30 Ememory Technology Inc. One time programming memory cell, array structure and operating method thereof

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7795681B2 (en) * 2007-03-28 2010-09-14 Advanced Analogic Technologies, Inc. Isolated lateral MOSFET in epi-less substrate
US7700993B2 (en) * 2007-11-05 2010-04-20 International Business Machines Corporation CMOS EPROM and EEPROM devices and programmable CMOS inverters
US20090315115A1 (en) * 2008-06-23 2009-12-24 Chartered Semiconductor Manufacturing, Ltd. Implantation for shallow trench isolation (STI) formation and for stress for transistor performance enhancement
TW201124992A (en) * 2010-01-08 2011-07-16 Yield Microelectronics Corp Low-voltage quick erase method for non-volatile memory.
TW201943058A (zh) * 2018-02-23 2019-11-01 南韓商Ｓｋ海力士系統集成電路有限公司 具有橫向耦合結構和單層閘極的非揮發性記憶體裝置

Also Published As

Publication number Publication date
US11316011B2 (en) 2022-04-26
US20210183998A1 (en) 2021-06-17
TWI747608B (zh) 2021-11-21
US11245004B2 (en) 2022-02-08
TW202123431A (zh) 2021-06-16
TW202123430A (zh) 2021-06-16
US20210183876A1 (en) 2021-06-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI738542B (zh) 具隔離井區之記憶胞及其相關非揮發性記憶體
US11063772B2 (en) Multi-cell per bit nonvolatile memory unit
TWI613655B (zh) 非揮發性記憶單元和相關操作方法
US7042044B2 (en) Nor-type channel-program channel-erase contactless flash memory on SOI
JP4114607B2 (ja) 不揮発性半導体メモリ装置及びその動作方法
KR101039244B1 (ko) 비휘발성 메모리 및 그 제조방법
JP4562602B2 (ja) メモリーセル及び関連操作方法
JP2002164446A (ja) 不揮発性半導体記憶装置、動作方法および製造方法
US8837216B2 (en) Non-volatile storage system with shared bit lines connected to a single selection device
US9047971B2 (en) Operation for non-volatile storage system with shared bit lines
JP2007299975A (ja) 半導体装置およびその製造方法
JP2001085547A (ja) 不揮発性半導体記憶装置及びその読み出し方法
JP2003046002A (ja) 不揮発性半導体メモリ装置およびその動作方法
US20020171101A1 (en) Flash memory structure having double celled elements and method for fabricating the same
KR100706071B1 (ko) 단일비트 비휘발성 메모리셀 및 그것의 프로그래밍 및삭제방법
US20040125655A1 (en) Non-volatile memory and operating method thereof
US9252150B1 (en) High endurance non-volatile memory cell
JP4670187B2 (ja) 不揮発性半導体メモリ装置
CN101118926A (zh) 多阶非挥发性存储器及其制造方法与操作方法
CN112951833B (zh) 具隔离阱区的存储单元及其相关非挥发性存储器
KR101188551B1 (ko) 플래시 메모리 소자 및 플래시 메모리 소자의 제조 방법
KR100241523B1 (ko) 플래쉬 메모리 소자 및 이를 이용한 프로그램, 소거 및 독출방법
JP3264365B2 (ja) 不揮発性記憶素子
US20080079055A1 (en) Non-volatile memory device
JP2004158614A (ja) 不揮発性半導体メモリ装置およびそのデータ書き込み方法