TWI716673B - 過濾器連結裝置及具備其之基板處理裝置 - Google Patents

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Abstract

本發明之過濾器連結裝置具備接頭構件、座板、過濾器支持部、旋轉軸部及腳部。座板支持接頭構件。過濾器支持部可支持第1過濾器及第2過濾器。旋轉軸部連接於過濾器支持部。腳部支持旋轉軸部。過濾器支持部藉由繞旋轉軸部旋轉而採取第1姿勢及第2姿勢。過濾器支持部具有：第1過濾器支持部，其於第1姿勢支持第1過濾器；及第2過濾器支持部，其於第2姿勢支持第2過濾器。

Description

過濾器連結裝置及具備其之基板處理裝置
本發明係關於連結於過濾器之過濾器連結裝置，及具備過濾器連結裝置之基板處理裝置。基板處理裝置所處理之基板為半導體晶圓、光罩用玻璃基板、液晶顯示用基板、電漿顯示器用基板、有機EL(Electro luminescent：電致發光)用基板、FED(Field Emission Display：場發射顯示器)用基板、光顯示器用基板、磁碟用基板、光碟用基板、磁光碟用基板、太陽電池用基板等。
過濾器過濾處理液。過濾器設置於用以對基板供給處理液之供給線。過濾器具有過濾器本體與複數個連接口。一個連接口例如為用以使處理液流入至過濾器本體之入口。另一個連接口例如為用以使處理液自過濾器本體流出之出口。
為了將過濾器簡單地介插於供給線，而使用過濾器連結裝置。過濾器連結裝置具備連接於複數個連接口之複數個連接埠。連接埠係以與連接口相同之佈局配置。藉由將過濾器連結於過濾器連結裝置，而使複數個連接口一起連接於連接埠，將過濾器與供給線連通連接(揭示於例如日本特開2003-251110號公報與日本特開2015-85327號公報與日本特開2014-195807號公報)。
然而，於具有如此構成的先前例之情形時，具有如下問題。
於先前之過濾器連結裝置中，有形狀互不相同之2種以上過濾器之間無法簡單地更換過濾器之問題。
先前之過濾器連結裝置難以分別適當地支持形狀互不相同之2種過濾器。因此，需要根據過濾器之形狀，選擇適當之過濾器連結裝置，替換過濾器連結裝置。例如，將連結於過濾器連結裝置之第1過濾器更換成具有與第1過濾器之形狀不同形狀之第2過濾器之情形時，過濾器連結裝置亦被替換成其他過濾器連結裝置。如此，於先前之過濾器連結裝置中，形狀互不相同之2種以上過濾器之間無法簡單地更換過濾器。
於先前之過濾器連結裝置中，有連接口之配置互不相同之2種以上過濾器之間無法簡單地更換過濾器之問題。
先前之過濾器連結裝置僅可連結於連接口以特定之佈局配置之過濾器。若過濾器之連接口之配置不同，則適合於過濾器之過濾器連結裝置亦不同。因此，需要根據連接口之配置，選擇適當之過濾器連結裝置，替換過濾器連結裝置。
例如，第1過濾器具有複數個連接口。第2過濾器具有複數個連接口。第1過濾器之連接口之配置與第2過濾器之連接口之配置不同。將連結於過濾器連結裝置之第1過濾器更換成第2過濾器之情形時，過濾器連結裝置亦替換成其他過濾器連結裝置。如此，於先前之過濾器連結裝置中，連接口之配置互不相同之2種以上過濾器之間無法簡單地更換過濾器。
本發明係鑑於如此之情況而完成者，其第1目的係提供一種可較佳地連結於形狀互不相同之2種以上過濾器之過濾器連結裝置及具備其之基板處理裝置。再者，本發明之第2目的係提供一種可較佳地連結於連接口之 配置互不相同之2種以上過濾器之過濾器連結裝置及具備其之基板處理裝置。
本發明為達成如此之目的，而採取如下之構成。
即，本發明提供一種過濾器連結裝置，其可連結於形狀互不相同之第1過濾器及第2過濾器之任一者，且具備：連接埠，其可連接於上述第1過濾器之連接口及上述第2過濾器之連接口；基座部，其支持上述連接埠；過濾器支持部，其可支持上述第1過濾器及上述第2過濾器；旋轉軸部，其連接於上述過濾器支持部；及腳部，其支持上述旋轉軸部；上述過濾器支持部藉由繞上述旋轉軸部旋轉而採取第1姿勢及第2姿勢，上述過濾器支持部具有：第1過濾器支持部，其於上述第1姿勢支持上述第1過濾器；及第2過濾器支持部，其於上述第2姿勢支持上述第2過濾器。
過濾器連結裝置具備過濾器支持部、旋轉軸部及腳部。因此，過濾器支持部可較佳地旋轉。再者，過濾器支持部可成第1姿勢及第2姿勢。
過濾器支持部具備第1過濾器支持部與第2過濾器支持部。過濾器支持部為第1姿勢時，第1過濾器支持部支持第1過濾器。因此，過濾器支持部可適當地支持第1過濾器。過濾器支持部為第2姿勢時，第2過濾器支持部支持第2過濾器。因此，過濾器支持部可適當地支持第2過濾器。此處，第2過濾器具有之形狀與第1過濾器具有之形狀不同。
藉此，過濾器連結裝置可較佳地連結於形狀互不相同之2種以上過濾器。因此，可於形狀不同之2種以上過濾器之間簡單地更換過濾器。
於上述發明中，較佳為上述過濾器支持部為上述第1姿勢時，上述第1過濾器支持部與上述第1過濾器之殼體接觸，且上述第2過濾器支持部位 於與上述第1過濾器分離之位置，上述過濾器支持部為上述第2姿勢時，上述第2過濾器支持部與上述第2過濾器之殼體接觸，且上述第1過濾器支持部位於與上述第2過濾器分離之位置。
過濾器支持部為第1姿勢時，第1過濾器支持部與第1過濾器之殼體接觸。因此，第1過濾器支持部可較佳地支持第1過濾器。過濾器支持部為第1姿勢時，第2過濾器支持部不與第1過濾器接觸。因此，第1過濾器支持部可進而較佳地支持第1過濾器。
同樣地，過濾器支持部為第2姿勢時，第2過濾器支持部與第2過濾器之殼體接觸。因此，第2過濾器支持部可較佳地支持第2過濾器。過濾器支持部為第2姿勢時，第1過濾器支持部不與第2過濾器接觸。因此，第2過濾器支持部可進而較佳地支持第2過濾器。
於上述發明中，較佳為上述第1過濾器支持部具有具備載置面之底板部，上述第2過濾器支持部具有連接於上述底板部之保持臂部，上述過濾器支持部為上述第1姿勢時，上述載置面與上述第1過濾器之殼體之底部接觸，上述過濾器支持部為上述第2姿勢時，上述保持臂部與上述第2過濾器之殼體之側部接觸。第1過濾器支持部具有底板部。底板部具有載置面。因此，第1過濾器支持部可較佳地支持第1過濾器。第2過濾器支持部具有保持臂部。因此，第2過濾器支持部可較佳地支持第2過濾器。
於上述發明中，上述保持臂部較佳為於相對於上述載置面大致垂直之方向延伸。藉此，藉由過濾器支持部約90度旋轉，而可自第1姿勢轉移至第2姿勢。再者，藉由過濾器支持部約90度旋轉，而可自第2姿勢轉移至第1姿勢。如此，過濾器支持部可以比較小之旋轉量，成為第1姿勢及第2姿勢。
於上述發明中，較佳為上述過濾器支持部配置於上述連接埠之下方，上述旋轉軸部之軸心大致水平，上述過濾器支持部為上述第1姿勢時，上述載置面大致水平，且上述保持臂部自上述底板部向上方延伸，上述過濾器支持部為上述第2姿勢時，上述載置面大致垂直，且上述保持臂部自上述底板部向大致水平方向延伸。過濾器支持部配置於連接埠之下方。因此，過濾器支持部於連接埠之下方，可支持第1過濾器及第2過濾器。過濾器支持部為第1姿勢時，載置面大致水平。因此，第1過濾器支持部可較佳地支持第1過濾器。過濾器支持部為第1姿勢時，保持臂部向上方延伸。因此，第2過濾器支持部可較佳地退避至與第1過濾器分離之位置。過濾器支持部為第2姿勢時，載置面大致垂直。因此，第1過濾器支持部可較佳地退避至與第2過濾器分離之位置。過濾器支持部為第2姿勢時，保持臂部自底板部向大致水平方向延伸。因此，第2過濾器支持部可較佳地支持第2過濾器。
於上述發明中，較佳為上述過濾器連結裝置具備：鉤狀構件，其連接於上述保持臂部；及第1旋轉限制部，其連接於上述腳部，上述過濾器支持部為上述第1姿勢時，上述第1旋轉限制部配置於形成於上述保持臂部與上述鉤狀構件之間之間隙，且與上述鉤狀構件接觸。過濾器連結裝置具備鉤狀構件與第1旋轉限制部。過濾器支持部為第1姿勢時，第1旋轉限制部與鉤狀構件接觸。藉此，可較佳地限制過濾器支持部繞旋轉軸部旋轉。即，可將過濾器支持部較佳地維持於第1姿勢。
於上述發明中，較佳為上述過濾器連結裝置具備連接於上述腳部之第2旋轉限制部，上述過濾器支持部為上述第2姿勢時，上述第2旋轉限制部配置於上述間隙，且與上述鉤狀構件接觸。過濾器連結裝置具備第2旋 轉限制部。過濾器支持部為第2姿勢時，第2旋轉限制部與鉤狀構件接觸。藉此，可較佳地限制過濾器支持部繞旋轉軸部旋轉。即，可將過濾器支持部較佳地維持於第2姿勢。
於上述發明中，較佳為上述過濾器支持部為上述第2姿勢時，上述鉤狀構件與上述第2旋轉限制部之側部接觸。藉此，可限制過濾器支持部於大致水平方向移動。藉此，過濾器支持部為第2姿勢時，可將過濾器支持部之位置維持固定。
於上述發明中，較佳為上述保持臂部具有連接於上述底板部之基端部，上述旋轉軸部連接於上述保持臂部之上述基端部附近，上述鉤狀構件連接於上述保持臂部之前端部附近。鉤狀構件與旋轉軸部之距離比較長。因此，鉤狀構件可進而較佳地限制過濾器支持部繞旋轉軸部旋轉。
於上述發明中，較佳為上述腳部可相對於上述基座部移動地被支持於上述基座部。由於腳部可相對於基座部移動，故腳部可使過濾器支持部對於連接埠較佳地移動。再者，由於腳部支持於基座部，故腳部可使過濾器支持部對於連接埠進而較佳地移動。
本發明提供一種過濾器連結裝置，其係可連結於連接口之配置互不相同之第1過濾器及第2過濾器之任一者者，且具備：複數個連接埠，其等可連接於上述第1過濾器所具有之複數個連接口及上述第2過濾器所具有之複數個連接口；配置切換部，其支持上述複數個上述連接埠，且於相當於上述第1過濾器之上述連接口之配置的第1配置與相當於上述第2過濾器之上述連接口之配置的第2配置之間，切換上述連接埠之配置；過濾器支持部，其可支持上述第1過濾器及上述第2過濾器；腳部，其支持上述過濾器支持部，使上述過濾器支持部向上述連接埠移動；及腳部用限制構件，其 可移動至禁止位置與容許位置，且上述腳部用限制構件位於禁止位置時，上述腳部用限制構件禁止上述腳部使上述過濾器支持部向上述連接埠移動，上述腳部用限制構件位於容許位置時，上述腳部用限制構件容許上述腳部使上述過濾器支持構件向上述連接埠移動，上述連接埠之配置為上述第1配置及上述第2配置之任一者時，上述腳部用限制構件位於上述容許位置，上述連接埠之配置為上述第1配置及上述第2配置以外之配置時，上述腳部用限制構件位於上述禁止位置。
第1過濾器具有複數個連接口。第2過濾器具有複數個連接口。第1過濾器之連接口之配置與第2過濾器之連接口之配置不同。
過濾器連結裝置具備配置切換部。因此，可將複數個連接埠以第1配置及第2配置而配置。連接埠之配置為第1配置時，連接埠可較佳地連接於第1過濾器之連接口，且過濾器連結裝置可較佳地連結於第1過濾器。連接埠之配置為第2配置時，連接埠可較佳地連接於第2過濾器之連接口，且過濾器連結裝置可較佳地連結於第2過濾器。如此，過濾器連結裝置可較佳地連結於連接口之配置互不相同之2種以上過濾器。其結果，可於連接口之配置不同之2種以上過濾器之間容易更換過濾器。
過濾器連結裝置具備過濾器支持部及腳部。過濾器支持部支持第1過濾器及第2過濾器。腳部使過濾器支持部向連接埠移動。藉由該等過濾器支持部及腳部，可將支持於過濾器支持部之過濾器之連接口較佳地連接於連接埠。
過濾器連結裝置具備腳部用限制構件。連接埠之配置為第1配置及第2配置之任一者時，腳部用限制構件位於容許位置，腳部用限制構件容許連接口與連接埠之連接。藉此，腳部用限制構件可容許將連接口連接於以 第1配置及第2配置之任一者配置之連接埠，亦即可容許適當之連接。連接埠之配置為第1配置及第2配置以外之配置時，腳部用限制構件位於禁止位置，腳部用限制構件禁止連接口與連接埠之連接。藉此，可預先防止腳部用限制構件將連接口連接於以第1配置及第2配置以外之配置而配置之連接埠，即錯誤連接。此處，所謂連接埠之配置為第1配置及第2配置以外之配置，係連接埠之配置與第1配置及第2配置不同。
於上述發明中，較佳為上述過濾器連結裝置具備彈性構件，其與上述腳部用限制構件接觸，將自上述容許位置朝向上述禁止位置方向的之彈性力賦予至上述腳部用限制構件，上述連接埠之配置為上述第1配置及上述第2配置之任一者時，上述配置切換部與上述腳部用限制構件接觸，使上述腳部用限制構件位於上述容許位置，上述連接埠之配置為上述第1配置及上述第2配置以外之配置時，上述配置切換部位於與上述腳部用限制構件分離之位置。連接埠之配置為第1配置及第2配置之任一者時，配置切換部抵抗彈性構件之彈性力，使腳部用限制構件位於容許位置。連接埠之配置為第1配置及第2配置以外之配置時，配置切換部位於與腳部用限制構件分離之位置。因此，彈性構件使腳部用限制構件位於禁止位置。如此，彈性構件與配置切換部可使腳部用限制構件較佳地位於容許位置及禁止位置。
於上述發明中，較佳為上述配置切換部具備：基座部；埠移動部，其可相對於上述基座部移動地被支持於上述基座部，與上述連接埠之至少任一者接觸；第1接觸部，其連接於上述埠移動部，可與上述腳部用限制構件接觸；及第2接觸部，其連接於上述埠移動部，可與上述腳部用限制構件接觸，且上述埠移動部位於第1位置時，上述連接埠之配置為上述第1 配置，上述第1接觸部與上述腳部用限制構件接觸而使上述腳部用限制構件位於上述容許位置，且上述第2接觸部位於與上述腳部用限制構件分離之位置，上述埠移動部位於上述第2位置時，上述連接埠之配置為上述第2配置，上述第1接觸部位於與上述腳部用限制構件分離之位置，且上述第2接觸部與上述腳部用限制構件接觸，使上述腳部用限制構件位於上述容許位置，上述埠移動部位於上述第1位置及上述第2位置以外之位置時，上述連接埠之配置為上述第1配置及上述第2配置以外之配置，且上述第1接觸部及上述第2接觸部各自位於與上述腳部用限制構件分離之位置。
埠移動部可移動至第1位置及第2位置。埠移動部位於第1位置時，配置切換部可將連接埠以第1配置而配置。埠移動部位於第2位置時，配置切換部可將連接埠以第2配置而配置。如此，埠移動部可於第1配置與第2配置之間，較佳地切換連接埠之配置。
再者，配置切換部具備第1接觸部。埠移動部位於第1位置時，第1接觸部使腳部用限制構件位於容許位置。如此，連接埠之配置為第1配置時，配置切換部可使腳部用限制構件較佳地位於容許位置。
配置切換部具備第2接觸部。埠移動部位於第2位置時，第2接觸部使腳部用限制構件位於容許位置。如此，連接埠之配置為第2配置時，配置切換部可使腳部用限制構件較佳地位於容許位置。
埠移動部位於第1位置及第2位置以外之位置時，第1接觸部及第2接觸部位於與腳部用限制構件分離之位置。藉此，連接埠之配置為第1配置及第2配置以外之配置時，配置切換部可較佳地容許腳部用限制構件位於禁止位置。
於上述發明中，較佳為上述配置切換部具備連接於上述基座部之埠 軸部，上述埠移動部連接於上述埠軸部，可繞上述埠軸部旋轉，上述腳部用限制構件於上述禁止位置與上述容許位置之間移動之方向為上述埠軸部之徑向。由於埠移動部連接於埠軸部，故埠移動部可相對於基座部較佳地旋轉。藉此，埠移動部可於第1配置與第2配置之間，較佳地切換連接埠之配置。腳部用限制構件於禁止位置與容許位置之間移動之方向為埠軸部之徑向。藉此，第1接觸部與第2接觸部可使腳部用限制構件自禁止位置較佳地移動至容許位置。此處，埠軸部之徑向係與埠軸部之軸心正交之方向。
於上述發明中，上述腳部用限制構件較佳為配置於自上述埠軸部之軸心方向觀察，與上述埠移動部重合之位置。藉此，第1接觸部與第2接觸部可易與腳部用限制構件接觸。
於上述發明中，較佳為上述過濾器支持部配置於上述連接埠之下方，上述腳部可相對於上述基座部向上方移動，上述埠軸部之軸心大致垂直，上述腳部用限制構件藉由對於上述基座部於大致水平方向移動，而移動至上述禁止位置及上述容許位置。過濾器支持部配置於連接埠之下方，腳部可相對於基座部向上方移動。因此，腳部可使過濾器支持部較佳地接近連接埠。埠軸部之軸心大致垂直。藉此，埠移動部可易使連接埠於大致水平方向移動。腳部用限制構件藉由對於基座部於大致水平方向移動，而移動至禁止位置及容許位置。如此，腳部用限制構件於對於腳部移動之方向大致垂直之方向移動。藉此，腳部用限制構件可易禁止腳部對於基座部向上方移動，且可易容許腳部對於基座部向上方移動。
於上述發明中，較佳為上述腳部可相對於上述配置切換部移動地被支持於上述配置切換部。由於將腳部支持於配置切換部，故腳部可向連接埠較佳地移動過濾器支持部。
本發明提供一種基板處理裝置，其具備可連結於形狀互不相同之第1過濾器及第2過濾器之任一者之過濾器連結裝置，上述過濾器連結裝置具備：連接埠，其可連接於上述第1過濾器之連接口及上述第2過濾器之連接口；基座部，其支持上述連接埠；過濾器支持部，其可支持上述第1過濾器及上述第2過濾器；旋轉軸部，其連接於上述過濾器支持部；及腳部，其支持上述旋轉軸部，且上述過濾器支持部藉由繞上述旋轉軸部旋轉而採取第1姿勢及第2姿勢，上述過濾器支持部具有：第1過濾器支持部，其於上述第1姿勢支持上述第1過濾器；及第2過濾器支持部，其於上述第2姿勢支持上述第2過濾器。
基板處理裝置具備過濾器連結裝置。過濾器連結裝置可較佳地連結於形狀互不相同之2種以上過濾器。因此，可於形狀不同之2種以上過濾器之間簡單地更換過濾器。
本發明提供一種基板處理裝置，其具備可連結於連接口之配置互不相同之第1過濾器及第2過濾器之任一者之過濾器連結裝置，上述過濾器連結裝置具備：複數個連接埠，其等可連接於上述第1過濾器所具有之複數個連接口及上述第2過濾器所具有之複數個連接口；配置切換部，其支持上述複數個上述連接埠，且於相當於上述第1過濾器之上述連接口之配置的第1配置與相當於上述第2過濾器之上述連接口之配置的第2配置之間，切換上述連接埠之配置；過濾器支持部，其可支持上述第1過濾器及上述第2過濾器；腳部，其支持上述過濾器支持部，使上述過濾器支持部向上述連接埠移動；及腳部用限制構件，其可移動至禁止位置與容許位置，且上述腳部用限制構件位於禁止位置時，上述腳部用限制構件禁止上述腳部使上述過濾器支持部向上述連接埠移動，上述腳部用限制構件位於容許位 置時，上述腳部用限制構件容許上述腳部使上述過濾器支持構件向上述連接埠移動，上述連接埠之配置為上述第1配置及上述第2配置之任一者時，上述腳部用限制構件位於上述容許位置，上述連接埠之配置為上述第1配置及上述第2配置以外之配置時，上述腳部用限制構件位於上述禁止位置。
基板處理裝置具備過濾器連結裝置。過濾器連結裝置可較佳地連結於連接口之配置互不相同之2種以上過濾器。因此，可於連接口之配置不同之2種以上過濾器之間容易更換過濾器。
另，本說明書亦揭示如下之過濾器連結裝置之發明。
(1)於上述過濾器連結裝置中，上述過濾器連結裝置具備：過濾器用限制部，其連接於上述腳部，上述過濾器用限制部與支持於上述過濾器支持部之上述第1過濾器及上述第2過濾器之至少任一者接觸，限制上述第1過濾器及上述第2過濾器之至少任一者向上述連接埠對於上述腳部移位。
根據上述(1)之過濾器連結裝置，過濾器連結裝置具備過濾器用限制部。過濾器用限制部限制第1過濾器及第2過濾器之至少任一者朝向連接埠對於腳部相對移動。因此，腳部於自連接埠遠離之方向移動時，過濾器用限制部可使第1過濾器及第2過濾器之至少任一者於自連接埠遠離之方向移動。更具體而言，腳部於自連接埠遠離之方向移動時，過濾器用限制部可將第1過濾器及第2過濾器之至少任一者自連接埠較佳地分離。
(2)於上述過濾器連結裝置中，上述連接埠具有：開口，其形成於上述連接埠之第1端部； 平坦之平坦端面，其形成於上述開口之周圍；及傾斜周面，其形成於上述平坦端面之周圍，朝向上述連接埠之第2端部於徑向外方傾斜，上述平坦端面及上述傾斜周面之至少任一者與上述連接口接觸。
根據上述(2)之過濾器連結裝置，連接埠具有平坦端面與傾斜周面。因此，連接埠可較佳地連接於連接口之構造不同之2種以上連接口。
(3)於上述過濾器連結裝置中，上述過濾器連結裝置具備：銷構件，其連接於上述腳部；及撥桿，其與上述銷構件接觸，使上述銷構件於對於上述連接埠大致垂直方向移動，自上述銷構件之軸心方向觀察，通過上述銷構件之垂直假想線與支持於上述過濾器支持部之上述第1過濾器及上述第2過濾器之至少任一者之中央部交叉。
根據上述(3)之過濾器連結裝置，過濾器連結裝置具備銷構件與撥桿。藉由銷構件與撥桿，可使腳部易於大致垂直方向移動。自銷構件之軸心方向觀察，通過銷構件之垂直假想線與支持於過濾器支持部之第1過濾器及第2過濾器之至少任一者之中央部交叉。因此，藉由銷構件與撥桿，可使腳部及過濾器支持部全體平衡良好地於大致垂直方向移動。藉此，可平衡良好地移動第1過濾器及/或第2過濾器全體。其結果，第1過濾器及/或第2過濾器全體之連接口可適當地連接於連接埠。
(4)於上述過濾器連結裝置中，上述鉤狀構件具有：第1面；及與上述第1面不同之第2面， 上述過濾器支持部為上述第2姿勢時，上述第2旋轉限制部與上述鉤狀構件之上述第1面及上述第2面接觸。
根據上述(4)之過濾器連結裝置，過濾器支持部為第2姿勢時，可將過濾器支持部之位置維持固定。此處，所謂第2面與第1面不同，係第2面與第1面不在同一平面上。
1:基板處理裝置
3:基板保持部
5:旋轉馬達
7:噴嘴
9:杯體
11:配管
11a:一次側配管
11b:二次側配管
13:處理液供給源
15:泵
17:控制閥
19:排氣管
21、21a、21b:過濾器
23、24、25、23a、23b、24a、24b、25a、25b:連接口
26:殼體
26a、26b:殼體
26b1:筒狀部
26b2:凸緣部
26b3:槽部
28a1:平面部
28b1:傾斜面部
31:過濾器連結裝置
33、34、35:接頭構件(連接埠)
33a:第1端部
33b:第2端部
33c:外周面
33d:凸緣部
34a:第1端部
34b:第2端部
34c:外周面
34d:凸緣部
35a:第1端部
35b:第2端部
35c:外周面
35d:凸緣部
36:接頭構件之開口(連接埠之開口)
36e、38e:外周緣
38:平坦端面
39:傾斜周面
40:配置切換部
41:座板(基座部)
43、44、45:開口
51:移動部(埠移動部)
53、54:開口
56:齒
57:接頭軸部(埠軸部)
61:操作部
62:齒
63:操作軸部
71:腳部
72、73、75:開口
76:縱縫
77a:第1橫縫
77b:第2橫縫
77c:第3橫縫
78a:第1定位縫
78b:第2定位縫
81:銷構件
83:銷引導部
84、86、87:開口
85:撥桿
87a:第1端部
87b:第2端部
88:把手部
89:撥桿用旋轉軸部
91、92:銷構件
95:銷引導部
96:開口
97:銷構件
101:腳部用限制構件
103:背板
105:引導銷
107:彈性構件
108:第1接觸部
109:第2接觸部
111:過濾器支持部
113:第1過濾器支持部
114:底板部
114a:載置面
115:開口
116:突部
117:第2過濾器支持部
118:保持臂部
118a:基端部
118b:前端部
119:開口
121:旋轉軸部
123:鉤狀構件
123a:第1面
123b:第2面
123c:第3面
123d:第4面
124:間隙
125a、125b:第1旋轉限制部
127:第2旋轉限制部
C33:軸心
C57:軸心
H、Ha、Hb:高度
P1:移動部之第1位置
P2:移動部之第2位置
L:通過銷構件81之垂直之假想線
W:基板
雖然為了說明發明而圖示有當前認為較佳之若干形態，但應理解，發明並非限定於如圖示之構成及方案。
圖1係顯示實施形態之基板處理裝置之概略構成之圖。
圖2A係第1過濾器之立體圖。
圖2B係第2過濾器之立體圖。
圖3係過濾器連結裝置之立體圖。
圖4係過濾器連結裝置之側視圖。
圖5係座板之俯視圖。
圖6係座板與接頭構件之側視圖。
圖7係過濾器連結裝置之一部分之側視圖。
圖8係移動部與操作部之俯視圖。
圖9A係說明切換接頭構件配置之動作之圖。
圖9B係說明切換接頭構件配置之動作之圖。
圖9C係說明切換接頭構件配置之動作之圖。
圖10係座板、銷引導部及撥桿用旋轉軸部之側視圖。
圖11係撥桿之側視圖。
圖12A係說明腳部對座板移動之動作之圖。
圖12B係說明腳部對座板移動之動作之圖。
圖12C係說明腳部對座板移動之動作之圖。
圖13係過濾器連結裝置之一部分之放大側視圖。
圖14A係過濾器連結裝置之一部分之仰視圖。
圖14B係過濾器連結裝置之一部分之仰視圖。
圖15A係說明過濾器支持部旋轉之動作之圖。
圖15B係說明過濾器支持部旋轉之動作之圖。
圖15C係說明過濾器支持部旋轉之動作之圖。
圖16係過濾器支持部之立體圖。
圖17係過濾器支持部之側視圖。
圖18係過濾器支持部與第1過濾器之側視圖。
圖19係過濾器支持部與第2過濾器之側視圖。
圖20A係說明將過濾器支持部保持於第1姿勢之機構之圖。
圖20B係說明將過濾器支持部保持於第1姿勢之機構之圖。
圖20C係說明將過濾器支持部保持於第1姿勢之機構之圖。
圖21A係說明將過濾器支持部保持於第2姿勢之機構之圖。
圖21B係說明將過濾器支持部保持於第2姿勢之機構之圖。
圖21C係說明將過濾器支持部保持於第2姿勢之機構之圖。
圖22A係說明將第1過濾器裝卸於過濾器連結裝置時之順序之圖。
圖22B係說明將第1過濾器裝卸於過濾器連結裝置時之順序之圖。
圖22C係說明將第1過濾器裝卸於過濾器連結裝置時之順序之圖。
圖23A係說明將第1過濾器裝卸於過濾器連結裝置時之順序之圖。
圖23B係說明將第1過濾器裝卸於過濾器連結裝置時之順序之圖。
圖23C係說明將第1過濾器裝卸於過濾器連結裝置時之順序之圖。
圖24A係說明將第2過濾器裝卸於過濾器連結裝置時之順序之圖。
圖24B係說明將第2過濾器裝卸於過濾器連結裝置時之順序之圖。
圖24C係說明將第2過濾器裝卸於過濾器連結裝置時之順序之圖。
圖25A係接頭構件之第1端部之放大剖視圖。
圖25B係接頭構件之第1端部之放大俯視圖。
圖26係例示接頭構件與連接口之連接之剖視圖。
圖27係例示接頭構件與連接口之連接之剖視圖。
以下，參照圖式說明本發明之實施形態。
圖1係顯示實施形態之基板處理裝置之概略構成之圖。實施形態之基板處理裝置1係對基板(例如半導體晶圓)W進行液體處理之裝置。
1.基板處理裝置1之概要
基板處理裝置1具備基板保持部3與旋轉馬達5。基板保持部3將基板W保持大致水平。基板保持部3例如吸附保持基板W之背面(下表面)。旋轉馬達5連結於基板保持部3之底部中央。旋轉馬達5使基板保持部3繞大致垂直軸旋轉。藉此，保持於基板保持部3之基板W繞著通過其中心之大致垂直軸旋轉。
基板處理裝置1具備噴嘴7與杯體9。噴嘴7移動地設置於位於基板保持部3上方之噴出位置。噴嘴7對保持於基板保持部3之基板W噴出處理液。杯體9係以包圍基板保持部3之側方之方式配置。杯體9接住自基板W飛散之處理液並將其回收。
基板處理裝置1具備使處理液通過之配管11。配管11具有連接於噴嘴 7之第1端。配管11具有連接於處理液供給源13之第2端。處理液供給源13例如為貯存處理液之處理液槽。處理液例如為光阻膜材料或各種塗膜材料、藥液、稀釋劑、純水。於配管11上設有泵15、控制閥17及過濾器21。泵15自處理液供給源13向噴嘴7壓送處理液。控制閥17開閉處理液之流路。過濾器21過濾處理液。過濾器21例如自處理液分離、去除處理液中之異物等。
過濾器21具備過濾器本體22與複數個(例如3個)連接口23、24、25。過濾器本體22包含過濾材料、供處理液流動之一次側流路、及供處理液流動之二次側流路(皆未圖示)。一次側流路形成於過濾材料之一次側。二次側流路形成於過濾材料之二次側。過濾材料例如為多孔性膜。連接口23為一次側流路之入口。連接口24為二次側流路之出口。連接口25為用以放掉過濾器本體22內之氣體之出口。
將過濾器21藉由過濾器連結裝置31連接於配管11。過濾器連結裝置31具備複數個(例如與連接口相同數量)接頭構件33、34、35。接頭構件33、34、35分別連接於連接口23、24、25。接頭構件33、34、35為本發明之連接埠之例。
此處，為方便起見，將配置於過濾器21之一次側之配管11之部分特別稱為「一次側配管11a」，將配置於過濾器21之二次側之配管11之部分特別稱為「二次側配管11b」。一次側配管11a連接於接頭構件33。藉此，一次側配管11a經由接頭構件33連通連接於連接口23。二次側配管11b連接於接頭構件34。藉此，二次側配管11b經由接頭構件34連通連接於連接口24。接頭構件35連接於排氣管19。藉此，排氣管19經由接頭構件35連通連接於連接口23c。排氣管19係向大氣開放。
基板處理裝置1具備控制部39。控制部39總括地控制旋轉馬達5之旋轉、噴嘴7之移動、泵15之驅動、及控制閥17之開閉。控制部39之控制係基於預先設定之處理流程而執行。
簡單地說明基板處理裝置1對基板W進行液體處理之動作。
若將基板W載置於基板保持部3，則旋轉馬達5使基板W旋轉。噴嘴7移動至噴出位置。泵15壓送處理液，控制閥17將處理液之流路開啟。藉此，處理液自處理液供給源13通過一次側配管11a而流入過濾器21。過濾器21過濾處理液。經過濾之處理液自過濾器21通過二次側配管11b流入噴嘴7。噴嘴7將處理液向基板W噴出。處理液噴附於旋轉之基板W之表面中央，遍及基板W之表面全體而擴展。藉由杯體9回收自基板W飛散之處理液。
自噴出處理液起經過特定時間，泵15停止，控制閥17關閉，停止對基板W之處理液供給。旋轉馬達5使基板W以更高速旋轉，使基板W乾燥。其後，旋轉馬達5停止，使基板W靜止。藉此，結束對基板W之液體處理。
2.過濾器21之構造
例示2種過濾器21之構造。
圖2A係過濾器21之第1例之立體圖，圖2B係過濾器21之第2例之立體圖。以下，將過濾器21之第1例特別稱為「第1過濾器21a」，將過濾器21之第2例特別稱為「第2過濾器21b」。又，對第1過濾器21a之各要素符號適當地附加「a」，對第2過濾器21b之各要素符號適當地附加「b」。
參照圖2A。第1過濾器21a具備連接口23a、24a、25a。連接口23a、24a、25a各自具有管形狀。參照圖2B。第2過濾器21b具備連接口23b、 24b、25b。連接口23b、24b、25b各自具有管形狀。接頭構件33~35可連接於連接口23a、24a、25a。接頭構件33-35可連接於連接口23b、24b、25b。
第1過濾器21a與第2過濾器21b之連接口23、24、25之配置不同。參照圖2A。連接口23a、24a、25a以排列成1行之方式配置。參照圖2B。連接口23b、24b、25b未排列成1行。連接口23b、24b、25b係分別配置於如同直角三角形之3個頂點之位置。如此，第1過濾器21a之連接口23a、24a、25a之配置與第2過濾器21b之連接口23b、24b、25b之配置不同。
第1過濾器21a與第2過濾器21b之形狀不同。參照圖2A。第1過濾器21a具備殼體26a。殼體26a收納上述過濾器本體22。連接口23a、24a、25a設置於殼體26a之上表面。參照圖2B。第2過濾器21b具備殼體26b。殼體26b收納上述過濾器本體22。連接口23b、24b、25b設置於殼體26b之上表面。
第1過濾器21a與第2過濾器21b之過濾器21之高度H不同。於本實施形態中，第1過濾器21a之高度Ha較第2過濾器21b之高度Hb更長。此處，過濾器21之高度H為自殼體26之底部至連接口23-25之上端之相對於垂直方向之長度。
第1過濾器21a與第2過濾器21b之殼體26之形狀不同。第2過濾器21b之殼體26b具有筒狀部26b1、凸緣部26b2及槽部26b3。凸緣部26b2配置於筒狀部26b1之上部。槽部26b3形成於凸緣部26b2之兩側部。連接口23b、24b、25b配置於凸緣部26b2之上部。第1過濾器21a之殼體26a不具有相當於凸緣部26b2之構件。如此，第2過濾器21b之形狀與第1過濾器21a之形狀不同。
3.過濾器連結裝置31之構造
圖3係過濾器連結裝置31之立體圖。圖4係過濾器連結裝置31之側視圖。
圖3、圖4係顯示前後方向X、寬度方向Y及垂直方向Z。前後方向X、寬度方向Y及上下方向Z互相正交。前後方向X及寬度方向Y為水平。將前後方向X之一者稱為「前方」，將前後方向X之另一者稱為「後方」。不區別前後方向X及寬度方向Y之情形時，稱為「水平方向」或簡稱為「側方」。將垂直方向Z之一者稱為「上方」，將垂直方向Z之另一者稱為「下方」。
過濾器連結裝置31可連結於第1過濾器21a及第2過濾器21b之任一者。過濾器連結裝置31具備配置切換部40、腳部71及過濾器支持部111。配置切換部40切換接頭構件33-35之配置。過濾器支持部111支持過濾器21。腳部71支持過濾器支持部111。以下，進行詳細說明。
3.1.配置切換部40之構成
配置切換部40支持複數個接頭構件33-35。配置切換部40切換複數個接頭構件33-35之配置。具體而言，配置切換部40於第1配置與第2配置之間切換接頭33-35之配置。第1配置相當於第1過濾器21a之連接口23a-25c之配置。第2配置相當於第2過濾器21b之連接口23b-25b之配置。
配置切換部40具備座板41。座板41具有大致水平之板形狀。
圖5係座板41之俯視圖。座板41具有開口43、44、45。於開口43配置接頭構件33。於開口44配置接頭構件34。於開口45配置接頭構件35。
開口43、44為長孔。接頭構件33於開口43可於大致水平方向移動。接頭構件34於開口44可於大致水平方向移動。開口45略大於接頭構件35 之剖面形狀。接頭構件35無法於開口45於大致水平方向移動。如此，接頭構件33、34可相對於座板41於大致水平方向移動。接頭構件35無法相對於座板41於大致水平方向移動。
圖6係座板41與接頭構件33-35之側視圖。接頭構件33具有大致直線延伸之大致管形狀。接頭構件33以大致垂直姿勢插入於開口43。接頭構件33具有連接於連接口23之第1端部33a，及連接於一次側配管11a之第2端部33b。接頭構件33將第1端部33a設為下，將第2端部33b設為上而配置。第1端部33a位於較座板41更下方。第2端部33b位於較座板41更上方。
接頭構件33具備外周面33c，及自該外周面33c向外方伸出之凸緣部33d。凸緣部33d大於開口43之寬度。將凸緣部33d載置於座板41之上表面。接頭構件33不自開口43向下方脫落。如此，座板41與接頭構件33接觸。座板41支持接頭構件33。
接頭構件34、35具有與接頭構件33大致相同之構造。接頭構件34具有第1端部34a、第2端部34b、外周面34c及凸緣部34d。接頭構件35具有第1端部35a、第2端部35b、外周面35c及凸緣部35d。接頭構件34、35以與接頭構件33大致相同之方式設置於座板41。座板41與接頭構件34、35接觸。座板41支持接頭構件34、35。座板41為本發明之基座部之例。
參照圖3、圖4。配置切換部40具有移動部51及操作部61。移動部51使接頭構件33、34移動。操作部61連動連結於移動部51。藉由使用者操作操作部61。根據操作部61之操作，移動部51使接頭構件33、34移動。
圖7係配置切換部40之一部分之側視圖。圖8係移動部51與操作部61之俯視圖。配置切換部40具備接頭軸部57。將接頭軸部57連接於座板 41。接頭軸部57之軸心C57大致垂直。將移動部51連接於接頭軸部57。移動部51經由接頭軸部57支持於座板41。移動部51可繞接頭軸部57旋轉。移動部51可相對座板41移動。
參照圖8。移動部51於俯視時具有大致圓形狀。接頭軸部57於俯視時連接於移動部51之中央部。
移動部51具有開口53、54。於開口53配置接頭構件33。於開口54配置接頭構件34。
開口53略大於接頭構件33之剖面形狀。接頭構件33無法於開口53於大致水平方向移動。接頭構件33無法相對於移動部51於大致水平方向移動。接頭構件33與移動部51一體移動。移動部51旋轉時，接頭構件33相對於座板41移動。
開口54為長孔。接頭構件34可於開口54於大致水平方向移動。接頭構件34可相對於移動部51於大致水平方向移動。開口54之一端緣及另一端緣之任一者與接頭構件34接觸之狀態下，移動部51旋轉時，接頭構件34相對座板41移動。
如此，移動部51與接頭構件33、34接觸。移動部51使接頭構件33、34移動。
移動部51具有齒56。齒56形成於移動部51之外周緣。
參照圖7、圖8。配置切換部40具備操作軸部63。將操作軸部63連接於座板41。將操作部61連接於操作軸部63。操作部61經由操作軸部63支持於座板41。操作部61可繞操作軸部63旋轉。操作部61之前端位於較座板41更前方。
參照圖8。操作部61於俯視時具有大致圓形狀。操作部61具有齒62。 齒62形成於操作部61之外周緣。齒62與齒56嚙合。
使用者使操作部61繞著操作軸部63旋轉。與操作部61之旋轉連動，移動部51繞著接頭軸部57旋轉。移動部51相對於座板41之位置根據移動部51之旋轉而變化。具體而言，移動部51相對於座板41之角度根據移動部51之旋轉而變化。再者，接頭構件33、34根據移動部51之旋轉而相對於座板41移動。
圖9A、9B、9C係說明切換接頭構件33-35之配置之動作圖。圖9A-9C右側之圖為接頭構件33-35、座板41及移動部51之俯視圖。圖9A-9C左側之圖為僅移動部51之俯視圖。
如圖9A、9B、9C所示，接頭構件33、34根據移動部51之旋轉而相對於座板41移動。
參照圖9A。將接頭構件33-35以第1配置而配置。藉由移動部51定位接頭構件33。藉由開口44之一端緣與開口54之一端緣夾持接頭構件34。即，藉由座板41與移動部51定位接頭構件34。藉由座板41定位接頭構件35。
參照圖9C。將接頭構件33-35以第2配置而配置。藉由移動部51定位接頭構件33。藉由開口44之另一端緣與開口54之另一端緣夾持接頭構件34。即，藉由座板41與移動部51定位接頭構件34。藉由座板41定位接頭構件35。
於第1配置與第2配置之間，接頭構件33相對於座板41之位置不同。於第1配置與第2配置之間，接頭構件34相對於座板41之位置不同。於第1配置與第2配置之間，接頭構件35相對於座板41之位置不同。
以下，將圖9A所示之移動部51之位置稱為「第1位置P1」。以下， 將圖9C所示之移動部51之位置稱為「第2位置P2」。
參照圖9B。移動部51位於與第1位置P1及第2位置P2之任一者皆不同之位置。移動部51位於第1位置P1及第2位置P2以外之位置時，將接頭構件33-35以與第1配置及第2配置之任一者皆不同之配置而配置。
但，移動部51自第1位置P1變為第2位置P2之過程中，移動部51位於第1位置P1及第2位置P2以外之位置。移動部51自第2位置P2變為第1位置P1之過程中，移動部51亦位於第1位置P1及第2位置P2以外之位置。因此，接頭構件33-35之配置於第1配置與第2配置之間切換之過程中，接頭構件33-35之配置為第1配置及第2配置以外之配置。此處，所謂第1配置及第2配置以外之配置，係與第1配置及第2配置不同之配置。
如上述，移動部51位於第1位置P1時，接頭構件33-35之配置為第1配置(參照圖9A)。移動部51位於第2位置P2時，接頭構件33-35之配置為第2配置(參照圖9B)。移動部51位於第1位置P1及第2位置P2以外之位置時，接頭構件33-35之配置為第1配置及第2配置以外之配置(參照圖9C)。
移動部51為本發明之埠移動部之例。接頭軸部57為本發明之埠軸部之例。
3.2.腳部71之安裝構造
參照圖3、圖4。腳部71支持於座板41。腳部71配置於較座板41更於寬度方向Y之外方。具體而言，腳部71配置於較座板41更於寬度方向Y之一側，及更於寬度方向Y之另一側。腳部71於大致垂直方向Z延伸。腳部71可相對於座板41及接頭構件33-35移動。腳部71可相對於座板41及接頭構件33-35於垂直方向Z移動。
過濾器連結裝置31具備銷構件81。銷構件81係連接於腳部71。銷構 件81係固定於腳部71。銷構件81之軸心大致水平。具體而言，銷構件81之軸心與寬度方向Y大致平行。
過濾器連結裝置31具備銷引導部83、撥桿85及撥桿用旋轉軸部89。銷引導部83將銷構件81向垂直方向Z引導。撥桿85使銷構件81移動。撥桿用旋轉軸部89係連接於撥桿85。撥桿用旋轉軸部89支持撥桿85。操作部85可繞著撥桿用旋轉軸部85旋轉。
圖10係座板41、銷引導部83及撥桿用旋轉軸部89之側視圖。銷引導部83連接於座板41。銷引導部83固定於座板41。
銷引導部83具有開口84。於開口84配置銷構件81。開口84為長孔。開口84於大致垂直方向Z延伸。銷構件81可於開口84於大致垂直方向Z移動。
撥桿用旋轉軸部89係連接於銷引導部83。即，撥桿用旋轉軸部89支持於座板41。撥桿用旋轉軸部89配置於開口84之上方。撥桿用旋轉軸部89之軸心大致水平。具體而言，撥桿用旋轉軸部89之軸心與寬度方向Y大致平行。
圖11係撥桿85之側視圖。撥桿85具有開口86、87。於開口86配置撥桿用旋轉軸部89。於開口87配置銷構件81。撥桿85與銷構件81接觸。開口87為長孔。銷構件81可於開口87移動。開口87具有第1端部87a與第2端部87b。第1端部87a較第2端部87b更接近開口86(撥桿用旋轉軸部89)。
撥桿85具有把手部88。把手部88由使用者握持。藉由使用者操作把手部88，使撥桿85相對於座板41繞著撥桿用旋轉軸部89旋轉。
圖12A、12B、12C係說明腳部71相對於座板41移動之動作之圖。圖12A-12C係側視圖。
參照圖12A。腳部71位於下方位置。
參照圖12B。使用者按壓把手部88時，撥桿85繞著撥桿用旋轉軸部89旋轉。銷構件81自開口87之第2端部87b向第1端部87a移動，且自開口84之下部向上部移動。其結果，銷構件81移動至上方。腳部71與銷構件81一體移動至上方。
參照圖12C。使用者進而按壓把手部88時，撥桿85繞著撥桿用旋轉軸部89進而旋轉。銷構件81進而移動至上方。腳部71與銷構件81一體進而移動至上方。其結果，腳部71到達上方位置。
另一方面，使用者按壓把手88時，腳部71與銷構件81一體移動至下方。藉此，腳部71自上方位置移動至下方位置。
如此，撥桿85使銷構件81相對於座板41於大致垂直方向Z移動。藉此，腳部71相對於座板41於大致垂直方向Z移動。另，如後述，藉由使腳部71相對於座板41移動至上方，而使過濾器支持部111向接頭構件33-35移動。
參照圖3、圖4。過濾器連結裝置31具備將腳部71之移動方向保持固定之機構。具體而言，過濾器連結裝置31具有開口72、73及銷構件91、92。開口72、73形成於腳部71。開口72、73為長孔。開口72、73於大致垂直方向Z延伸。銷構件91、92間接地連接於座板41(參照圖10)。將銷構件91、92固定於座板41。將銷構件91、92配置於開口72、73。將開口72與銷構件91配置於較銷構件81更前方。將開口73與銷構件92配置於較銷構件81更後方。銷構件91、92可於開口72、73於大致垂直方向Z移動。腳部71相對於座板41移動時，銷構件91、92沿開口72、73於大致垂直方向Z移動。如此，銷構件91、92與開口72、73將腳部71移動之方向保持於大 致垂直方向Z。
過濾器連結裝置31具備銷引導部95與銷構件97。銷引導部95係連接於座板41(參照圖10)。銷引導部95係固定於座板41。銷引導部95具有開口96。開口96為長孔。開口96於大致垂直方向Z延伸。銷構件97係連接於腳部71。銷構件97係固定於腳部71。銷構件97係配置於開口96。開口96與銷構件97係配置於較銷構件81更後方。銷構件97可於開口96於大致垂直方向Z移動。腳部71相對於座板41移動時，銷構件97沿開口96於大致垂直方向Z移動。如此，銷引導部95與銷構件97將腳部71移動之方向保持於大致垂直方向Z。
3.3.限制腳部71移動之構成
參照圖3、圖4。過濾器連結裝置31具備腳部用限制構件101。腳部用限制構件101可禁止腳部71相對於座板41移動至上方。
圖13係過濾器連結裝置31之一部分之放大側視圖。圖14A、14B係過濾器連結裝置31之一部分之仰視圖。腳部用限制構件101具有大致直線之棒形狀。腳部用限制構件101之軸心大致水平。具體而言，腳部用限制構件101之軸心與寬度方向Y大致平行。於仰視時，腳部用限制構件101配置於與移動部51重合之位置。具體而言，自接頭軸部57之軸心C57之方向觀察，腳部用限制構件101之一部分與移動部51重合。
將腳部用限制構件101支持於座板41。具體而言，過濾器連結裝置31具備背板103與引導銷105。背板103係連接於座板41。背板103係固定於座板41。引導銷105係連接於背板103。引導銷105之軸心大致水平。具體而言，引導銷105之軸心與前後方向X大致平行。引導銷105自背板103向前方延伸。引導銷105連接於腳部用限制構件101。引導銷105貫通腳部用 限制構件101。引導銷105支持腳部用限制構件101。引導銷105將腳部用限制構件101向前後方向X引導。藉此，腳部用限制構件101可相對於引導銷105(座板41)於前後方向X移動。引導銷105將腳部用限制構件101移動之方向保持於大致前後方向X。
藉由腳部用限制構件101於大致水平方向(具體而言為前後方向X)移動，而腳部用限制構件101移動至禁止位置與容許位置。圖13係以實線表示位於容許位置之腳部用限制構件101。圖13係以一點鏈線表示位於禁止位置之腳部用限制構件101。圖14A係顯示位於禁止位置之腳部用限制構件101。圖14B係顯示位於容許位置之腳部用限制構件101。另，於圖14A中，移動部51位於第1位置P1及第2位置P2以外之位置。於圖14B中，移動部51位於第2位置。
禁止位置較容許位置更前方。禁止位置為與容許位置大致相同高度之位置。腳部用限制構件101於禁止位置與容許位置之間移動之方向為大致前後方向X。另，前後方向X相當於接頭軸部57之徑向。接頭軸部57之徑向係與接頭軸部57之軸心C57正交之方向。
參照圖13。腳部71具有缺口74。腳部用限制構件101位於禁止位置時，腳部用限制構件101位於缺口74內。因此，腳部用限制構件101位於禁止位置時，腳部用限制構件101禁止腳部71移動至上方。具體而言，藉由腳部用限制構件101與腳部71接觸，而腳部用限制構件101禁止腳部71相對於座板41移動至上方。藉此，腳部用限制構件101禁止腳部71使過濾器支持部111向接頭構件33-35移動。腳部用限制構件101位於容許位置時，腳部用限制構件101位於缺口74外。因此，腳部用限制構件101位於容許位置時，腳部用限制構件101容許腳部71移動至上方。具體而言，由 於腳部用限制構件101未與腳部71接觸，故腳部71可相對於座板41移動至上方。藉此，腳部用限制構件101容許腳部71使過濾器支持部111向接頭構件33-35移動。
參照圖13、14A、14B。過濾器連結裝置31具備彈性構件107。彈性構件107與腳部用限制構件101接觸。彈性構件107以使腳部用限制構件101自容許位置朝向禁止位置而按壓腳部用限制構件101。具體而言，彈性構件107將腳部用限制構件101向前方按壓。換言之，彈性構件107將自容許位置朝向禁止位置之方向的彈性力賦予至腳部用限制構件101。彈性力之方向為前方。
彈性構件107具有與背板103接觸之第1端部。彈性構件107之第1端部對於座板41保持於固定位置。彈性構件107具有與腳部用限制構件101接觸之第2端部。彈性構件107之第2端部對應於腳部用限制構件101之移動而移動。腳部用限制構件101移動時，保持使彈性構件107之第2端部與腳部用限制構件101接觸之狀態。彈性構件107將腳部用限制構件101相對於背板103(座板41)向前方按壓。彈性構件107例如為板簧。
參照圖14A、14B。配置切換部40具有第1接觸部108及第2接觸部109。第1接觸部108及第2接觸部109係連接於移動部51。第1接觸部108及第2接觸部109係固定於移動部51。第1接觸部108及第2接觸部109與移動部51一體移動。
移動部51位於第1位置P1時，第1接觸部108與腳部用限制構件101接觸，第1接觸部108抵抗彈性構件107之彈性力，使腳部用限制構件101位於容許位置。移動部51位於第1位置P1時，第2接觸部109位於與腳部用限制構件101分離之位置。
參照圖14B。移動部51位於第2位置P2時，第2接觸部109與腳部用限制構件101接觸，第2接觸部109抵抗彈性構件107之彈性力，使腳部用限制構件101位於容許位置。移動部51位於第2位置P2時，第1接觸部108位於與腳部用限制構件101分離之位置。
參照圖14A。移動部51位於第1位置P1及第2位置P2以外之位置時，第1接觸部108及第2接觸部109皆位於與腳部用限制構件101分離之位置。移動部51位於第1位置P1及第2位置P2以外之位置時，藉由彈性構件107之彈性力，腳部用限制構件101位於禁止位置。
如上述，移動部51位於第1位置P1及第2位置P2之任一者時，配置切換部40與腳部用限制構件101接觸，使腳部用限制構件101位於容許位置。因此，移動部51位於第1位置P1及第2位置P2之任一者時，腳部用限制構件101容許腳部71相對於座板41移動至上方。
移動部51位於第1位置P1及第2位置P2以外之位置時，配置切換部40位於與腳部用限制構件101分離之位置。移動部51位於第1位置P1及第2位置P2以外之位置時，彈性構件107使腳部用限制構件101位於禁止位置。因此，移動部51位於第1位置P1及第2位置P2以外之位置時，腳部用限制構件101禁止腳部71相對於座板41移動至上方。
3.4.過濾器支持部111之構成
參照圖3、圖4。過濾器支持部111支持過濾器21。過濾器支持部111可支持第1過濾器21a及第2過濾器21b。
過濾器連結裝置31具備旋轉軸部121。旋轉軸部121連接於過濾器支持部111。旋轉軸部121支持過濾器支持部111。旋轉軸部121之軸心大致水平。具體而言，旋轉軸部121之軸心與寬度方向Y大致平行。
腳部71具有開口75。於開口75配置旋轉軸部121。腳部71支持旋轉軸部121。腳部71經由旋轉軸部121支持過濾器支持部111。過濾器支持部111係配置於腳部71之內側。換言之，腳部71係配置於較過濾器支持部111更於寬度方向Y之外方。過濾器支持部111係配置於接頭構件33-35之下方。
開口75為長孔。旋轉軸部121可於開口75移動。過濾器支持部111可與旋轉軸部121一體移動。
參照圖4。開口75具有縱縫76、第1橫縫77a、第2橫縫77b、第3橫縫77c、第1定位縫78a及第2定位縫78b。縱縫76於大致垂直方向Z延伸。縱縫76係連接於第1橫縫77a、第2橫縫77b及第3橫縫77c。第1橫縫77a、第2橫縫77b、及第3橫縫77c分別自縱縫76向後方延伸。將第1橫縫77a配置於第2橫縫77b之下方。將第2橫縫77b配置於第3橫縫77c之下方。將第1定位縫78a連接於第1橫縫77a。將第1定位縫78a自第1橫縫77a向下方延伸。將第2定位縫78b連接於第2橫縫77b。第2定位縫78b自第2橫縫77b向下方延伸。
圖15A、15B、15C係說明過濾器支持部111旋轉之動作之圖。圖15A-15C係自腳部71之內側觀察之過濾器連結裝置31之圖。如圖示，過濾器支持部111可繞著旋轉軸部121旋轉。過濾器支持部111可相對於腳部71旋轉。藉由過濾器支持部111繞著旋轉軸部121旋轉，而使過濾器支持部111成第1姿勢與第2姿勢。圖15A係顯示第1姿勢之過濾器支持部111。圖15C係顯示第2姿勢之過濾器支持部111。
圖16係過濾器支持部111之立體圖。圖17係過濾器支持部111之側視圖。更嚴謹而言，圖17係自旋轉軸部121之軸心方向觀察之過濾器支持部 111之圖。過濾器支持部111具有第1過濾器支持部113。第1過濾器支持部113具有底板部114。底板部114具有載置面114a。載置面114a平坦。第1過濾器支持部113具有開口115與突部116。開口115形成於底板部114。突部116自底板部114突出。具體而言，突部116自底板部114向上方突出。
過濾器支持部111具有第2過濾器支持部117。第2過濾器支持部117具有一對保持臂部118。一對保持臂部118係於寬度方向Y空出間隔配置。保持臂部118具有細寬之板形狀。保持臂部118直線延伸。保持臂部118係連接於底板部114。保持臂部118具有連接於底板部114之基端部118a。保持臂部118於對於載置面114a大致垂直之方向延伸。
過濾器支持部111具有開口119。將開口119配置於保持臂部118之基端部118a附近。開口119係配置於底板部114與保持臂部118之接合部位附近。於開口119配置旋轉軸部121。旋轉軸部121係連接於保持臂部118之基端部118a附近。
圖18係過濾器支持部111與第1過濾器21a之側視圖。過濾器支持部111為第1姿勢。載置面114a大致水平。第1過濾器21a係載置於載置面114a上。載置面114a與第1過濾器21a之殼體26a之底部接觸。如此，底板部114支持第1過濾器21a。
殼體26a具有自底部向下方突出之突部26a1之情形時，突部26a1係配置於開口115。藉此，限制第1過濾器21a對於過濾器支持部111於水平方向移動。再者，限制第1過濾器21a對於過濾器支持部111旋轉。
突部116與殼體26a之側部接觸。藉此，限制第1過濾器21a對於過濾器支持部111於水平方向移動。再者，限制第1過濾器21a對於過濾器支持部111旋轉。
保持臂部118自底板部114向上方延伸。保持臂部118位於與第1過濾器21a分離之位置。具體而言，保持臂部118位於較第1過濾器21a更後方。
如此，過濾器支持部111為第1姿勢時，第1過濾器支持部113與第1過濾器21a接觸。過濾器支持部111為第1姿勢時，第1過濾器支持部113支持第1過濾器21a。過濾器支持部111為第1姿勢時，第2過濾器支持部117位於與第1過濾器21a分離之位置。
圖19係過濾器支持部與第2過濾器之側視圖。過濾器支持部111為第2姿勢。載置面114a大致垂直。底板部114位於與第2過濾器21b分離之位置。具體而言，底板部114位於較第2過濾器21b更後方。保持臂部118自底板部114沿大致水平方向延伸。具體而言，保持臂部118自底板部114向前方延伸。保持臂部118與第2過濾器21b之殼體26b之側部接觸。具體而言，保持臂部118與凸緣部26b2(槽部26b3)接觸。藉此，保持臂部118保持第2過濾器21b。保持臂部118限制第2過濾器21b對於過濾器支持部111移動。再者，保持臂部118限制第2過濾器21b對於過濾器支持部111旋轉。
如此，過濾器支持部111為第2姿勢時，第2過濾器支持部117與第2過濾器21b接觸。過濾器支持部111為第2姿勢時，第2過濾器支持部117支持第2過濾器21b。過濾器支持部111為第2姿勢時，第1過濾器支持部113位於與第2過濾器21b分離之位置。
3.5.用以保持過濾器支持部111之構成
參照圖16、圖17。過濾器連結裝置31具備鉤狀構件123。鉤狀構件123係連接於保持臂部118。鉤狀構件123係連接於保持臂部118之前端部 118b附近。鉤狀構件123自保持臂部118之前端部118b向基端部118a延伸。鉤狀構件123與保持臂部118於其間劃定間隙124。自旋轉軸部121之軸心方向觀察過濾器支持部111時，可見到間隙124(參照圖17)。間隙124係開放。
具體而言，鉤狀構件123具有第1面123a、第2面123b、第3面123c及第4面123d。第1面123a與第2面123b分別與保持臂部118對向。第1面123a與第2面123b於第1姿勢為大致垂直。第1面123a與第2面123b於第2姿勢為大致水平。第1面123a與保持臂部118之間隔小於第2面123b與保持臂部118之間隔。第3面123c與第4面123d各自連接於第2面123b。第3面123c與第4面123d相對於第2面123b大致垂直。第3面123c與第4面123d互相對向。第3面123c與第4面123d於第1姿勢為大致水平。第3面123c與第4面123d於第2姿勢為大致垂直。如此，第1面123a、第2面123b、第3面123c及第4面123d互相不同。換言之，第1面123a、第2面123b、第3面123c及第4面123d任一者不位在與第1面123a、第2面123b、第3面123c及第4面123d之其他一者同一平面上。
圖20A、20B、20C係說明將過濾器支持部111保持為第1姿勢之機構之圖。圖20A-20C係自腳部71之內側觀察之過濾器連結裝置31之圖。過濾器連結裝置31具備第1旋轉限制部125a、125b。第1旋轉限制部125a、125b係連接於腳部71。第1旋轉限制部125a、125b係固定於腳部71。第1旋轉限制部125a、125b具有大致垂直之板形狀。第1旋轉限制部125a係配置於第1旋轉限制部125b之下方。
參照圖20A、20B。過濾器支持部111為第1姿勢之狀態下，旋轉軸部121於第1橫縫77a內朝後方移動。藉此，鉤狀構件123位於第1旋轉限制部 125a之上方。
參照圖20B、20C。過濾器支持部111為第1姿勢之狀態下，旋轉軸部121於第1定位縫78a內朝下方移動。藉此，於間隙124配置第1旋轉限制部125a之上端部。第1旋轉限制部125a與鉤狀構件123接觸。更具體而言，第1旋轉限制部125a之背面與第1面123a接觸。藉此，可限制過濾器支持部111相對於腳部71繞著旋轉軸部121旋轉。即，過濾器支持部111保持為第1姿勢。
再者，第1旋轉限制部125a與保持臂部118接觸。第1旋轉限制部125a之前表面與保持臂部118接觸。藉此，過濾器支持部111更確實地保持為第1姿勢。
如此，旋轉軸部121位於第1定位縫78a時，鉤狀構件123與第1旋轉限制部125a將過濾器支持部111保持為第1姿勢。同樣地，旋轉軸部121位於第2定位縫78b時，鉤狀構件123與第1旋轉限制部125b將過濾器支持部111保持於第1姿勢。
再者，旋轉軸部121位於第1定位縫78a時，第1定位縫78a限制過濾器支持部111相對於腳部71於前後方向X移動。同樣地，旋轉軸部121位於第2定位縫78b時，第2定位縫78b限制過濾器支持部111對於腳部71於前後方向X移動。如此，第1定位縫78a及第2定位縫78b將前後方向X上之過濾器支持部111之位置保持固定。
圖21A、21B、21C係說明將過濾器支持部111保持於第2姿勢之機構之圖。圖21A-21C係自腳部71之內側觀察之過濾器連結裝置31之圖。
過濾器連結裝置31具備第2旋轉限制部127。第2旋轉限制部127係連接於腳部71。第2旋轉限制部127係固定於腳部71。第2旋轉限制部127有 突片形狀。第2旋轉限制部127於大致寬度方向Y突出。
參照圖21A。過濾器支持部111為第2姿勢之狀態下，旋轉軸部121將縱縫76移動至上方。藉此，鉤狀構件123到達第2旋轉限制部127之前方。
參照圖21A、21B。過濾器支持部111為第2姿勢之狀態下，旋轉軸部121於第3橫縫77a內移動至後方。藉此，第2旋轉限制部127配置於間隙124。
參照圖21B、21C。過濾器支持部111為第2姿勢之狀態下，旋轉軸部121於第3橫縫77c內移動至下方。藉此，旋轉軸部121與第3橫縫77c之下緣部接觸。第2旋轉限制部127與鉤狀構件123接觸。更具體而言，第2旋轉限制部127與第2面123b接觸。換言之，鉤狀構件123與第2旋轉限制部127之上部接觸。藉此，可限制過濾器支持部111對於腳部71繞著旋轉軸部121旋轉。即，過濾器支持部111保持於第2姿勢。
再者，第2旋轉限制部127與第3面123c及第4面123d接觸。換言之，鉤狀構件123與第2旋轉限制部127之側部(更具體而言，為前部及後部)接觸。藉此，限制過濾器支持部111於大致水平方向(更具體而言，為前後方向X)移動。
第2面123b、第3面123c及第4面123d之一者為本發明之第1面之例。第2面123b、第3面123c及第4面123d之另一者為本發明之第2面之例。
如此，旋轉軸部121位於第3橫縫77c時，鉤狀構件123與第2旋轉限制部127將過濾器支持部111保持於第2姿勢。再者，鉤狀構件123與第2旋轉限制部127將前後方向X之過濾器支持部111之位置保持固定。
3.6.過濾器用限制部之構成
參照圖21A、21B、21C。過濾器連結裝置31具備過濾器用限制部 131。過濾器用限制部131係連接於腳部71。過濾器用限制部131係固定於腳部71。過濾器用限制部131具有突片形狀。過濾器用限制部131於大致水平方向突出。過濾器用限制部131延伸至支持於過濾器支持部111之過濾器21上方之位置。
假設過濾器21對於腳部71移動至上方之情形時，過濾器用限制部131與過濾器21接觸。藉此，過濾器用限制部131限制過濾器21對於腳部71進一步移動至上方。
3.7.裝卸過濾器連結裝置31與過濾器21之動作
接著，說明將第1過濾器21a裝卸於過濾器連結裝置31之動作例，及將第2過濾器21b裝卸於過濾器連結裝置31之動作例。以下動作例基本係藉由使用者之手動作業而進行。
3.7.1.將第1過濾器21a連結於過濾器連結裝置31之動作
圖22A、22B、22C係說明將第1過濾器21a裝卸於過濾器連結裝置31時之順序之圖。
參照圖22A。使用者移動過濾器支持部111及旋轉軸部121。藉此，使過濾器支持部111位於第1姿勢，使旋轉軸部121位於第2定位縫78b，使鉤狀構件123與第1旋轉限制部125b接觸。接著，使用者將第1過濾器21a放置於底板部114。藉此，第1過濾器支持部113支持第1過濾器21a。
參照圖22B。藉由使用者操作操作部61(未圖示)，將接頭構件33-35以第1配置而配置。藉此，腳部用限制構件101自禁止位置移動至容許位置。
參照圖22C。藉由使用者操作撥桿85，使腳部71自下方位置移動至上方位置。藉此，過濾器支持部111及第1過濾器21a與腳部71一體移動至 上方。過濾器支持部111及第1過濾器21a接近接頭構件33-35。第1過濾器21a之連接口23a-25a連接於連接構件33-35。即，過濾器連結裝置31連結於第1過濾器21a。
圖22A-22C係顯示通過銷構件81之垂直假想線L。圖22A-22C相當於自銷構件81之軸心方向觀察之圖。自銷構件81之軸心方向觀察，假想線L與第1過濾器21a之中央部交叉。
3.7.2.將第1過濾器21a自過濾器連結裝置31卸下之動作
參照圖22C、22B。藉由使用者操作撥桿85，而腳部71自上方位置移動至下方。藉此，過濾器支持部111與腳部71一體移動至下方。第1過濾器21a之連接口23a-25a與接頭構件33-35分離。第1過濾器21a於支持於過濾器支持部111之狀態下移動至下方。換言之，過濾器支持部111及第1過濾器21a自接頭構件33-35遠離。
參照圖22B。腳部71到達下方位置。其後，使用者自過濾器支持部111取出第1過濾器21a。
此處，腳部71自上方位置移動至下方時，連接口23a-25a藉由第1過濾器21a之自重，與接頭構件33-35分離。但，有僅藉由第1過濾21a之自重，未使連接口23a-25a與連接構件33-35分離之情形。
圖23A、23B、23C係說明將第1過濾器21a裝卸於過濾器連結裝置31時之順序之圖。
參照圖23A。腳部71位於上方位置。將過濾器21a支持於過濾器支持部111。將連接口23a-25a連接於接頭構件33-35。
參照圖23B。腳部71自上方位置移動至下方。過濾器支持部111與腳部71一體移動至下方。但，連接口23a-25a未與接頭構件33-35分離。保持 連接口23a-25a連接於接頭構件33-35之狀態。過濾器21a未移動至下方。過濾器21a自過濾器支持部111向上方浮起。僅腳部71與過濾器支持部111自接頭構件33-35遠離。
當自腳部71觀察時，過濾器21a對於腳部71相對移位。過濾器21a對於腳部71移位至上方。過濾器21a對於腳部71朝向接頭構件33-35移位。
過濾器用限制部131與腳部71一體移動至下方。因此，過濾器用限制部131與第1過濾器21a之上部接觸。再者，過濾器用限制部131將第1過濾器21a朝下方按壓。
參照圖23C。過濾器用限制部131藉由使第1過濾器21a移動至下方，而過濾器用限制部131使連接口23a-25a與接頭構件33-35分離。即，過濾器用限制部131使第1過濾器21a自過濾器連結裝置31脫離。其結果，過濾器21a移動至下方，再次藉由過濾器支持部111予以支持。過濾器21a與腳部71及過濾器支持部111一體移動至下方。腳部71到達下方位置後，使用者自過濾器支持部111取出第1過濾器21a。
如此，僅藉由第1過濾器21a之自重，未使連接口23a-25a與接頭構件33-35分離之情形時，過濾器用限制部131亦可使連接口23a-25a與接頭構件33-35分離。即，過濾器用限制部131限制第1過濾器21a對於腳部71朝向接頭構件33-35移位。
3.7.3.將第2過濾器21b連結於過濾器連結裝置31之動作
圖24A、24B、24C係說明將第2過濾器21b裝卸於過濾器連結裝置31時之順序之圖。
參照圖24A。使用者移動過濾器支持部111及旋轉軸部121。藉此，過濾器支持部111成為第2姿勢，旋轉軸部121位於第3橫縫77c，使鉤狀構 件123與第2旋轉限制部127接觸。接著，使用者將第2過濾器21b安裝於保持臂部118。藉此，第2過濾器支持部117保持第2過濾器21b。
參照圖24B。藉由使用者操作操作部61(未圖示)，使接頭構件33-35以第2配置而配置。藉此，腳部用限制構件101自禁止位置移動至容許位置。
參照圖24C。藉由使用者操作撥桿85，使腳部71自下方位置移動至上方位置。藉此，過濾器支持部111及第2過濾器21b與腳部71一體移動至上方。過濾器支持部111及第2過濾器21b朝向接頭構件33-35移動。過濾器支持部111及第2過濾器21b接近接頭構件33-35。第2過濾器21b之連接口23b-25b連接於連接構件33-35。即，過濾器連結裝置31連結於第2過濾器21b。
圖24A-24C係顯示通過銷構件81之垂直假想線L。圖24A-24C相當於自銷構件81之軸心方向觀察之圖。自銷構件81之軸心方向觀察，假想線L與第2過濾器21b之中央部交叉。
3.7.4.將第2過濾器21b自過濾器連結裝置31卸下之動作
參照圖24C、24(b)。藉由使用者操作撥桿85，使腳部71自上方位置移動至下方。藉此，過濾器支持部111與腳部71一體移動至下方。第2過濾器21b之連接口23b-25b與接頭構件33-35分離。第2過濾器21b於支持於過濾器支持部111之狀態下移動至下方。換言之，過濾器支持部111及第2過濾器21b自接頭構件33-35遠離。
此處，第2過濾器支持部117保持第2過濾器21b，因此第2過濾器21b無法相對於過濾器支持部111移動至上方。因此，腳部71自上方位置移動至下方時，第2過濾器支持部117可確實使連接口23a-25a與接頭構件33-35 分離。
參照圖24B。腳部71到達下方位置。其後，使用者自過濾器支持部111卸下第2過濾器21b。
3.8.接頭構件33、34、35之第1端部之構造
接頭構件33之第1端33a之構造具有與接頭構件34、35之第1端部34a、35a大致相同之構造。以下，說明接頭構件33之第1端部33a之構造，省略接頭構件34、35之第1端部34a、35a之構造之說明。
圖25A係接頭構件33之第1端部33a之放大剖視圖。圖25B係接頭構件33之第1端部33a之放大俯視圖。圖25B係顯示自接頭構件33之軸心C33之方向觀察之接頭構件33之第1端部33a。接頭構件33具有開口36與流路37。開口36形成於第1端部33a。開口36為大致圓形。開口36與流路37連通。流路37形成於接頭構件33之內部。處理液通過開口36及流路37。
接頭構件33具有平坦端面38。平坦端面38形成於開口36之周圍。平坦端面38連接於開口36之外周緣36e。平坦端面38自開口36之外周緣36e向外方延伸。更具體而言，平坦端面38於接頭構件33之軸心C33之徑向外方延伸。平坦端面38為平坦之平面。平坦端面38與正交於接頭構件33之軸心C33之平面大致平行。平坦端面38自接頭構件33之軸心C33之方向觀察，具有環形狀。
接頭構件33具有傾斜周面39。傾斜周面39形成於平坦端面38之周圍。傾斜周面39連接於平坦端面38之外周緣38e。傾斜周面39自平坦端面38之外周緣38e向接頭構件33之第2端部33b延伸。傾斜周面39朝向接頭構件33之第2端部33b向徑向外方傾斜。換言之，傾斜周面39朝向平坦端面38變細。傾斜周面39自接頭構件33之軸心C33之方向觀察，具有環形狀。
圖26係例示接頭構件33與連接口23a之連接之剖視圖。第1過濾器21a之連接口23a具有流路27a與密封構件28a。將密封構件28a配置於流路27a之周圍。密封構件28a具有平坦之平面部28a1。
第1端部33a之平坦端面38與平面部28a1面接觸。藉由平坦端面38與平面部28a1之接觸，而將面密封。因此，接頭構件33可較佳地連接於連接口23a。
圖27係例示接頭構件33與連接口23b之連接之剖視圖。第2過濾器21b之連接口23b具有流路27b與密封構件28b。將密封構件28b配置於流路27b之周圍。密封構件28b具有傾斜之傾斜面部28b1。
第1端部33a之傾斜周面39與傾斜面部28b1面接觸。藉由傾斜周面39與傾斜面部28b1之接觸，而將面密封。因此，接頭構件33可較佳地連接於連接口23b。
4.本實施形態之效果
過濾器連結裝置31具備過濾器支持部111、旋轉軸部121及腳部71。因此，過濾器支持部111可較佳地旋轉。過濾器支持部111可成為第1姿勢及第2姿勢。
過濾器支持部111具備第1過濾器支持部113與第2過濾器支持部117。過濾器支持部111為第1姿勢時，第1過濾器支持部113支持第1過濾器21a。過濾器支持部111為第2姿勢時，第2過濾器支持部117支持第2過濾器21b。因此，過濾器支持部111可適當地支持第1過濾器21a，且可適當地支持第2過濾器21b。
如此，過濾器連結裝置31可較佳地連結於形狀互不相同之2種以上之過濾器21。因此，可於形狀互不相同之2種以上過濾器21之間簡單地更換 過濾器21。
過濾器支持部111為第1姿勢時，第1過濾器支持部113與第1過濾器21a之殼體26b接觸。因此，第1過濾器支持部113可較佳地支持第1過濾器21a。過濾器支持部111為第1姿勢時，第2過濾器支持部117不與第1過濾器21a接觸。因此，第1過濾器支持部113可進而較佳地支持第1過濾器21a。
同樣地，過濾器支持部111為第2姿勢時，第2過濾器支持部117與第2過濾器21b之殼體26b接觸。因此，第2過濾器支持部117可較佳地支持第2過濾器21b。過濾器支持部111為第2姿勢時，第1過濾器支持部113不與第2過濾器21b接觸。因此，第2過濾器支持部117可進而較佳地支持第2過濾器21b。
第1過濾器支持部113具有底板部114。底板部114具有載置面114a。因此，第1過濾器支持部113可較佳地支持第1過濾器21a。第2過濾器支持部117具有保持臂部118。因此，第2過濾器支持部117可較佳地支持第2過濾器21b。
保持臂部118於對於載置面114a大致垂直之方向延伸。因此，藉由過濾器支持部111約90旋轉，使過濾器支持部111於第1姿勢及第2姿勢之間改變姿勢。如此，過濾器支持部111可以比較小之旋轉量，成為第1姿勢及第2姿勢。
過濾器支持部111係配置於接頭構件33-35之下方。因此，過濾器支持部111於接頭構件33-35之下方，可支持第1過濾器21a及第2過濾器21b。
過濾器支持部111為第1姿勢時，載置面114a大致水平。因此，第1過 濾器支持部113可較佳地支持第1過濾器21a。
過濾器支持部111為第1姿勢時，保持臂部118於大致垂直方向Z延伸。因此，第2過濾器支持部117可易退避至與第1過濾器21a分離之位置。
過濾器支持部111為第2姿勢時，載置面114a大致垂直。因此，第1過濾器支持部113可易退避至與第2過濾器21b分離之位置。
過濾器支持部111為第2姿勢時，保持臂部118自底板部114向大致水平方向延伸。因此，第2過濾器支持部117可較佳地支持第2過濾器21b。
過濾器支持部111為第1姿勢時，藉由第1旋轉限制部125a、125b與鉤狀構件123接觸，而可較佳地限制過濾器支持部111之旋轉。藉此，可將過濾器支持部111較佳地維持於第1姿勢。
過濾器支持部111為第1姿勢時，藉由第1旋轉限制部125a、125b與保持臂部118接觸，而可進而較佳地限制過濾器支持部111之旋轉。藉此，可將過濾器支持部111進而較佳地維持於第1姿勢。
過濾器支持部111為第2姿勢時，藉由第2旋轉限制部127與鉤狀構件123接觸，而可較佳地限制過濾器支持部111之旋轉。藉此，可將過濾器支持部111較佳地維持於第2姿勢。
過濾器支持部111為第2姿勢時，藉由鉤狀構件123與第2旋轉限制部127之側部接觸，而可較佳地限制過濾器支持部111之水平移動。藉此，過濾器支持部111為第2姿勢時，可將過濾器支持部111之位置維持固定。
過濾器支持部111為第2姿勢時，第2旋轉限制部127與鉤狀構件123之第2面123b、第3面123c及第4面123d接觸。此處，第2面123b、第3面123c及第4面123d互不相同。具體而言，第2面123b與第3面123c不在同一 平面上。第2面123b與第4面123d不在同一平面上。第3面123c與第4面123d不在同一平面上。藉此，過濾器支持部111為第2姿勢時，可將過濾器支持部111之位置維持固定。
旋轉軸部121係連接於保持臂部118之基端部118a，鉤狀構件123係連接於保持臂部118之前端部118b。因此，可使旋轉軸部121與鉤狀構件123之距離比較長。藉此，鉤狀構件123可進而較佳地限制過濾器支持部111繞著旋轉軸部121旋轉。
腳部71可相對於座板41移動。因此，腳部71可易使過濾器支持部111接近接頭構件33-35。再者，腳部71可易使過濾器支持部111自接頭構件33-35遠離。
過濾器連結裝置31具備配置切換部40。因此，可將複數個接頭構件33-35以第1配置及第2配置而配置。
接頭構件33-35之配置為第1配置時，接頭構件33-35可較佳地連接於第1過濾器21a之連接口23-25，過濾器連結裝置31可較佳地連結於第1過濾器21a。
接頭構件33-35之配置為第2配置時，接頭構件33-35可較佳地連接於第2過濾器21b之連接口23-25，過濾器連結裝置31可較佳地連結於第2過濾器21b。
如此，過濾器連結裝置31可較佳地連結於連接口23-25之配置互不相同之第1過濾器21a及第2過濾器21b。其結果，可易自第1過濾器21a更換成第2過濾器21b，可易自第2過濾器21b更換成第1過濾器21a。
過濾器支持部111可支持第1過濾器21a及第2過濾器21b。腳部71以過濾器支持部111接近接頭構件33-35之方式，使過濾器支持部111移動。 藉由該等過濾器支持部111與腳部71，可將支持於過濾器支持部111之過濾器21之連接口23-25較佳地連接於接頭構件33-35。
接頭構件33-35之配置為第1配置及第2配置之任一者時，腳部用限制構件101位於容許位置，腳部用限制構件101容許連接口23-25與接頭構件33-35之連接。藉此，腳部用限制構件101容許適當之連接。所謂適當之連接，係將連接口23-25連接於以第1配置及第2配置之任一者配置之接頭構件33-35。
接頭構件33-35之配置為第1配置及第2配置以外之配置時，腳部用限制構件101位於禁止位置，腳部用限制構件101禁止連接口23-25與接頭構件33-35之連接。藉此，可預先防止腳部用限制構件101錯誤連接。所謂錯誤連接，係將連接口23-25連接於以第1配置及第2配置以外之配置而配置之接頭構件33-35。
接頭構件33-35之配置為第1配置及第2配置之任一者時，配置切換部40抵抗彈性構件107之彈性力，使腳部用限制構件101位於容許位置。接頭構件33-35之配置為第1配置及第2配置以外之配置時，配置切換部40位於與腳部用限制構件101分離之位置，且彈性構件107使腳部用限制構件101位於禁止位置。如此，藉由彈性構件107與配置切換部40，可使腳部用限制構件101較佳地位於容許位置及禁止位置。
移動部51使接頭構件33、34移動。移動部51位於第1位置P1時，移動部51將接頭構件33-35以第1配置而配置。移動部51位於第2位置P2時，移動部51將接頭構件33-35以第2配置而配置。如此，移動部51可於第1配置與第2配置之間，較佳地切換連接構件33-35之配置。
移動部51位於第1位置P1時，第1接觸部108使腳部用限制構件101位 於容許位置。藉此，接頭構件33-35之配置為第1配置時，第1接觸部108可使腳部用限制構件101較佳地位於容許位置。
移動部51位於第2位置P2時，第2接觸部109使腳部用限制構件101位於容許位置。藉此，接頭構件33-35之配置為第2配置時，第2接觸部109可使腳部用限制構件101較佳地位於容許位置。
移動部51位於第1位置P1及第2位置P2以外之位置時，第1接觸部108及第2接觸部109位於與腳部用限制構件101分離之位置。藉此，接頭構件33-35之配置為第1配置及第2配置以外之配置時，第1接觸部108與第2接觸部109可較佳地容許腳部用限制構件101位於禁止位置。
由於配置切換部40具備接頭軸部57，故移動部51可相對於座板41較佳地旋轉。藉此，移動部51可於第1配置與第2配置之間，較佳地切換接頭構件33-35之配置。
腳部用限制構件101於禁止位置與容許位置之間移動之方向為接頭軸部57之徑向。藉此，第1接觸部108與第2接觸部109可使腳部用限制構件101較佳地自禁止位置移動至容許位置。
腳部用限制構件101自接頭軸部57之軸心C57之方向觀察，配置於與移動部51重合之位置。因此，第1接觸部108與第2接觸部109可易與腳部用限制構件101接觸。
過濾器支持部111係配置於接頭構件33-35之下方，腳部71可相對於座板41向上方移動。因此，可使過濾器支持部111較佳地接近接頭構件33-35。
接頭軸部57之軸心C57大致垂直。藉此，移動部51可易使接頭構件33-35於大致水平方向移動。
腳部71於大致垂直方向Z移動，腳部用限制構件101於大致水平方向移動。如此，腳部用限制構件101於對於腳部71移動之方向大致垂直之方向移動。因此，可將容許位置及禁止位置配置於互相接近之位置。藉此，腳部用限制構件101可易移動至容許位置及禁止位置。
由於腳部71係支持於配置切換部40，故腳部71可使過濾器支持部111向接頭構件33-35較佳地移動。
過濾器用限制部131可與支持於過濾器支持部111之過濾器21接觸。過濾器用限制部131限制過濾器21對於腳部71朝向接頭構件33-35移位。換言之，過濾器用限制部131限制以過濾器21接近於接頭構件33-35之方式使過濾器21對於腳部71移動。因此，過濾器用限制部131可適當地將過濾器21之連接口23-25與接頭構件33-35分離。
接頭構件33-35具有平坦端面38與傾斜周面39。因此，接頭構件33-35可較佳地連接於構造互不相同之連接口23a-25a及連接口23b-25b。
由於過濾器連結裝置31具備銷構件81與撥桿85，故可容易使腳部71相對於座板41移動。
自銷構件81之軸心方向觀察，通過銷構件81之垂直假想線L與支持於過濾器支持部111之過濾器21之中央部交叉。因此，銷構件81與撥桿85可使腳部71及過濾器支持部111全體平衡良好地於大致垂直方向Z移動。藉此，可平衡良好地移動過濾器21全體。具體而言，可避免於過濾器21傾斜之狀態下，使過濾器21移動至上方。所謂過濾器21傾斜之狀態，是指過濾器21之前部低於過濾器21之後部之狀態等。其結果，所有連接口23-25可適當地連接於接頭構件33-35。
基板處理裝置1具備上述之過濾器連結裝置31。因此，藉此，可根據 基板W之種類、處理液之種類或處理之種類，容易選擇、更換過濾器21。因此，可更適當地過濾處理液。藉此，可進而提高基板之處理品質。
本發明並非限定於上述實施形態，可如下述般變化實施。
(1)於上述實施形態中，接頭構件33-35連接於過濾器21之連接口23-25，但不限於此。例如，亦可為一次側配管11a之一端及二次側配管11b之一端直接連接於連接口23、24。具體而言，過濾器連結裝置31亦可具備配置切換部40(座板41)，其支持一次側配管11a之一端及二次側配管11b之一端。於本變化實施形態之情形時，一次側配管11a及二次側配管11b之一端為本發明之連接埠之例。
(2)於上述實施形態中，不具備驅動移動部51之動力源，但不限於此。即，配置切換部40亦可具備驅動移動部51之動力源。
(3)於上述實施形態中，配置切換部40可切換之接頭構件33-35之配置為2個(具體而言為第1配置與第2配置)，但不限於此。例如，亦可將配置切換部可切換之配置變更為3個以上。即，配置切換部亦可於3個以上之配置間，切換接頭構件33-35之配置。
(4)於上述實施形態中，移動部51移動之接頭構件33-35之數量為2個，但不限於此。例如，移動部51移動之接頭構件33-35之數量可為1個，亦可為3個。
(5)於上述實施形態中，第1過濾器支持部113藉由載置過濾器21而支持過濾器21，但不限於此。第1過濾器支持部113亦可藉由固持過濾器21而支持過濾器21。
(6)於上述實施形態中，例示過濾器21之連接口23-25之配置，但不限於此。亦可適當變更過濾器21之連接口23-25之配置。對於過濾器21之 形狀及連接口23-25之構造亦可同樣地變更。
(7)於上述實施形態中，第1過濾器21a具有之連接口之數量為3個，但不限於此。第1過濾器21a具有之連接口之數量亦可為2個或4個以上。同樣地，亦可適當變更第2過濾器21b具有之連接口之數量。亦可根據連接口之數量變更，而變更過濾器連結裝置31具有之接頭構件33-35之數量。
(8)於上述實施形態中，自銷構件81之軸心方向觀察，假想線L與支持於過濾器支持部111之第1過濾器21a之中央部及第2過濾器21b之中央部交叉，但不限於此。自銷構件81之軸心方向觀察，假想線L亦可與支持於過濾器支持部111之第1過濾器21a之中央部及第2過濾器21b之中央部之任一者交叉。
(9)於上述實施形態中，過濾器支持部111為第2姿勢時，第2旋轉限制部127與鉤狀構件123之3個面(即，第2面123b、第3面123c及第4面123d)接觸，但不限於此。例如，過濾器支持部111為第2姿勢時，第2旋轉限制部127亦可與第2面123b、第3面123c及第4面123d之任意2個面接觸。例如，過濾器支持部111為第2姿勢時，第2旋轉限制部127亦可與鉤狀構件123之4個以上之面接觸。藉由該等變化實施例，過濾器支持部111為第2姿勢時，亦可將過濾器支持部111之位置維持固定。
(10)於上述實施形態中，平坦端面38與連接口23a接觸，但不限於此。例如，亦可平坦端面38及傾斜周面39之至少任一者與連接口23a接觸。於上述實施形態中，傾斜周面39與連接口23b接觸，但不限於此。例如，亦可平坦端面38及傾斜周面39之至少任一者與連接口23b接觸。
(11)對於上述實施形態及上述(1)至(10)說明之各變化實施形態，亦 可進而將各構成與其他變化實施形態之構成進行置換或組合等進行適當變更。
本發明係只要不脫離其思想或本質，可以其他具體形式實施，因此，作為表示發明之範圍者，並非以上之說明，而應參照所附加之申請專利範圍。
40‧‧‧配置切換部
41‧‧‧座板(基座部)
51‧‧‧移動部(埠移動部)
57‧‧‧接頭軸部(埠軸部)
61‧‧‧操作部
63‧‧‧操作軸部
C57‧‧‧軸心

Claims (19)

  1. 一種過濾器連結裝置，其可連結於形狀互不相同之第1過濾器及第2過濾器之任一者，且具備：連接埠，其可連接於上述第1過濾器之連接口及上述第2過濾器之連接口；基座部，其支持上述連接埠；過濾器支持部，其可支持上述第1過濾器及上述第2過濾器；旋轉軸部，其連接於上述過濾器支持部；及腳部，其支持上述旋轉軸部，上述過濾器支持部藉由繞上述旋轉軸部旋轉而採取第1姿勢及第2姿勢，上述過濾器支持部具有：第1過濾器支持部，其於上述第1姿勢支持上述第1過濾器；及第2過濾器支持部，其於上述第2姿勢支持上述第2過濾器。
  2. 如請求項1之過濾器連結裝置，其中上述過濾器支持部為上述第1姿勢時，上述第1過濾器支持部與上述第1過濾器之殼體接觸，且上述第2過濾器支持部位於與上述第1過濾器分離之位置，上述過濾器支持部為上述第2姿勢時，上述第2過濾器支持部與上述第2過濾器之殼體接觸，且上述第1過濾器支持部位於與上述第2過濾器分離之位置。
  3. 如請求項1之過濾器連結裝置，其中上述第1過濾器支持部具有：具有載置面之底板部，上述第2過濾器支持部具有：連接於上述底板部之保持臂部，上述過濾器支持部為上述第1姿勢時，上述載置面與上述第1過濾器之殼體之底部接觸，上述過濾器支持部為上述第2姿勢時，上述保持臂部與上述第2過濾器之殼體之側部接觸。
  4. 如請求項3之過濾器連結裝置，其中上述保持臂部於相對於上述載置面大致垂直之方向延伸。
  5. 如請求項3之過濾器連結裝置，其中上述過濾器支持部配置於上述連接埠之下方，上述旋轉軸部之軸心大致水平，上述過濾器支持部為上述第1姿勢時，上述載置面大致水平，且上述保持臂部自上述底板部向上方延伸，上述過濾器支持部為上述第2姿勢時，上述載置面大致垂直，且上述保持臂部自上述底板部向大致水平方向延伸。
  6. 如請求項3之過濾器連結裝置，其中 上述過濾器連結裝置具備：鉤狀構件，其連接於上述保持臂部；及第1旋轉限制部，其連接於上述腳部，上述過濾器支持部為上述第1姿勢時，上述第1旋轉限制部配置於形成於上述保持臂部與上述鉤狀構件之間之間隙，且與上述鉤狀構件接觸。
  7. 如請求項6之過濾器連結裝置，其中上述過濾器連結裝置具備：連接於上述腳部之第2旋轉限制部，上述過濾器支持部為上述第2姿勢時，上述第2旋轉限制部配置於上述間隙，且與上述鉤狀構件接觸。
  8. 如請求項7之過濾器連結裝置，其中上述過濾器支持部為上述第2姿勢時，上述鉤狀構件與上述第2旋轉限制部之側部接觸。
  9. 如請求項6之過濾器連結裝置，其中上述保持臂部具有連接於上述底板部之基端部，上述旋轉軸部連接於上述保持臂部之上述基端部附近，上述鉤狀構件連接於上述保持臂部之前端部附近。
  10. 如請求項1之過濾器連結裝置，其中 上述腳部可相對於上述基座部移動地被支持於上述基座部。
  11. 一種過濾器連結裝置，其係可連結於連接口之配置互不相同之第1過濾器及第2過濾器之任一者者，且具備：複數個連接埠，其等可連接於上述第1過濾器所具有之複數個連接口及上述第2過濾器所具有之複數個連接口；配置切換部，其支持上述複數個上述連接埠，且於相當於上述第1過濾器之上述連接口之配置的第1配置與相當於上述第2過濾器之上述連接口之配置的第2配置之間，切換上述連接埠之配置；過濾器支持部，其可支持上述第1過濾器及上述第2過濾器；腳部，其支持上述過濾器支持部，使上述過濾器支持部向上述連接埠移動；及腳部用限制構件，其可移動至禁止位置與容許位置，且上述腳部用限制構件位於禁止位置時，上述腳部用限制構件禁止上述腳部使上述過濾器支持部向上述連接埠移動，上述腳部用限制構件位於容許位置時，上述腳部用限制構件容許上述腳部使上述過濾器支持構件向上述連接埠移動，上述連接埠之配置為上述第1配置及上述第2配置之任一者時，上述腳部用限制構件位於上述容許位置，上述連接埠之配置為上述第1配置及上述第2配置以外之配置時，上述腳部用限制構件位於上述禁止位置。
  12. 如請求項11之過濾器連結裝置，其中 上述過濾器連結裝置具備：彈性構件，其與上述腳部用限制構件接觸，將自上述容許位置朝向上述禁止位置之方向的彈性力賦予至上述腳部用限制構件，上述連接埠之配置為上述第1配置及上述第2配置之任一者時，上述配置切換部與上述腳部用限制構件接觸，使上述腳部用限制構件位於上述容許位置，上述連接埠之配置為上述第1配置及上述第2配置以外之配置時，上述配置切換部位於與上述腳部用限制構件分離之位置。
  13. 如請求項11之過濾器連結裝置，其中上述配置切換部具備：基座部；埠移動部，其可相對於上述基座部移動地被支持於上述基座部，與上述連接埠之至少任一者接觸；第1接觸部，其連接於上述埠移動部，可與上述腳部用限制構件接觸；及第2接觸部，其連接於上述埠移動部，可與上述腳部用限制構件接觸，且上述埠移動部位於第1位置時，上述連接埠之配置為上述第1配置，上述第1接觸部與上述腳部用限制構件接觸而使上述腳部用限制構件位於上述容許位置，且上述第2接觸部位於與上述腳部用限制構件分離之位置，上述埠移動部位於上述第2位置時，上述連接埠之配置為上述第2配 置，上述第1接觸部位於與上述腳部用限制構件分離之位置，且上述第2接觸部與上述腳部用限制構件接觸，使上述腳部用限制構件位於上述容許位置，上述埠移動部位於上述第1位置及上述第2位置以外之位置時，上述連接埠之配置為上述第1配置及上述第2配置以外之配置，且上述第1接觸部及上述第2接觸部各自位於與上述腳部用限制構件分離之位置。
  14. 如請求項13之過濾器連結裝置，其中上述配置切換部具備：連接於上述基座部之埠軸部，上述埠移動部連接於上述埠軸部，可繞上述埠軸部旋轉，上述腳部用限制構件於上述禁止位置與上述容許位置之間移動之方向為上述埠軸部之徑向。
  15. 如請求項14之過濾器連結裝置，其中上述腳部用限制構件配置於自上述埠軸部之軸心方向觀察與上述埠移動部重合之位置。
  16. 如請求項14之過濾器連結裝置，其中上述過濾器支持部配置於上述連接埠之下方，上述腳部可相對於上述基座部向上方移動，上述埠軸部之軸心大致垂直，上述腳部用限制構件藉由相對於上述基座部於大致水平方向移動， 而移動至上述禁止位置及上述容許位置。
  17. 如請求項11之過濾器連結裝置，其中上述腳部可相對於上述配置切換部移動地被支持於上述配置切換部。
  18. 一種基板處理裝置，其具備可連結於形狀互不相同之第1過濾器及第2過濾器之任一者之過濾器連結裝置，上述過濾器連結裝置具備：連接埠，其可連接於上述第1過濾器之連接口及上述第2過濾器之連接口；基座部，其支持上述連接埠；過濾器支持部，其可支持上述第1過濾器及上述第2過濾器；旋轉軸部，其連接於上述過濾器支持部；及腳部，其支持上述旋轉軸部，且上述過濾器支持部藉由繞上述旋轉軸部旋轉而採取第1姿勢及第2姿勢，上述過濾器支持部具有：第1過濾器支持部，其於上述第1姿勢支持上述第1過濾器；及第2過濾器支持部，其於上述第2姿勢支持上述第2過濾器。
  19. 一種基板處理裝置，其具備可連結於連接口之配置互不相同之第1過濾器及第2過濾器之任一者之過濾器連結裝置， 上述過濾器連結裝置具備：複數個連接埠，其等可連接於上述第1過濾器所具有之複數個連接口及上述第2過濾器所具有之複數個連接口；配置切換部，其支持上述複數個上述連接埠，且於相當於上述第1過濾器之上述連接口之配置的第1配置與相當於上述第2過濾器之上述連接口之配置的第2配置之間，切換上述連接埠之配置；過濾器支持部，其可支持上述第1過濾器及上述第2過濾器；腳部，其支持上述過濾器支持部，使上述過濾器支持部向上述連接埠移動；及腳部用限制構件，其可移動至禁止位置與容許位置，且上述腳部用限制構件位於禁止位置時，上述腳部用限制構件禁止上述腳部使上述過濾器支持部向上述連接埠移動，上述腳部用限制構件位於容許位置時，上述腳部用限制構件容許上述腳部使上述過濾器支持構件向上述連接埠移動，上述連接埠之配置為上述第1配置及上述第2配置之任一者時，上述腳部用限制構件位於上述容許位置，上述連接埠之配置為上述第1配置及上述第2配置以外之配置時，上述腳部用限制構件位於上述禁止位置。
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