KR101972697B1 - 필터 연결 장치 및 이것을 구비한 기판 처리 장치 - Google Patents

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Abstract

필터 연결 장치는, 조인트 부재와 베이스 플레이트와 필터 지지부와 회전축부와 다리부를 구비한다. 베이스 플레이트는 조인트 부재를 지지한다. 필터 지지부는 제1 필터 및 제2 필터를 지지 가능하다. 회전축부는 필터 지지부에 접속된다. 다리부는 회전축부를 지지한다. 필터 지지부는, 회전축부 둘레로 회전함으로써 제1 자세 및 제2 자세를 취한다. 필터 지지부는, 제1 자세에서 제1 필터를 지지하는 제1 필터 지지부와, 제2 자세에서 제2 필터를 지지하는 제2 필터 지지부를 갖는다.

Description

필터 연결 장치 및 이것을 구비한 기판 처리 장치{FILTER COUPLING DEVICE AND SUBSTRATE TREATING APPARATUS PROVIDED THEREWITH}
본 발명은, 필터와 연결하는 필터 연결 장치, 및 필터 연결 장치를 구비한 기판 처리 장치에 관한 것이다. 기판 처리 장치가 처리하는 기판은, 반도체 웨이퍼, 포토마스크용 유리 기판, 액정 표시용 기판, 플라즈마 디스플레이용 기판, 유기 EL용 기판, FED(Field Emission Display)용 기판, 광디스플레이용 기판, 자기 디스크용 기판, 광디스크용 기판, 광자기 디스크용 기판, 태양전지용 기판 등이다.
필터는 처리액을 여과한다. 필터는 기판에 처리액을 공급하기 위한 공급 라인에 설치된다. 필터는, 필터 본체와 복수의 접속구를 갖고 있다. 1개의 접속구는, 예를 들면, 처리액이 필터 본체에 유입되기 위한 입구이다. 다른 1개의 접속구는, 예를 들면, 처리액이 필터 본체로부터 유출되기 위한 출구이다.
필터를 공급 라인에 간이하게 끼워 삽입하기 위해, 필터 연결 장치가 사용된다. 필터 연결 장치는, 복수의 접속구와 접속하는 복수의 접속 포트를 구비하고 있다. 접속 포트는, 접속구와 동일한 레이아웃으로 배치되어 있다. 필터를 필터 연결 장치에 연결함으로써, 복수의 접속구가 일괄적으로 접속 포트와 접속되고, 필터가 공급 라인과 연통 접속된다(예를 들면, 일본국 특허공개 2003-251110호 공보와 일본국 특허공개 2015-85327호 공보와 일본국 특허공개 2014-195807호 공보에 개시된다).
그러나, 이러한 구성을 갖는 종래예의 경우에는, 다음과 같은 문제가 있다.
종래의 필터 연결 장치에서는, 형상이 서로 다른 2종 이상의 필터의 사이에서 필터를 간이하게 교환할 수 없다는 문제점이 있다.
종래의 필터 연결 장치는, 형상이 서로 다른 2종의 필터를 각각 적절히 지지하는 것은 곤란하다. 이 때문에, 필터의 형상에 따라, 적절한 필터 연결 장치를 선택하여, 필터 연결 장치를 교체할 필요가 있다. 예를 들면, 필터 연결 장치에 연결된 제1 필터를, 제1 필터의 형상과 다른 형상을 갖는 제2 필터로 교환하는 경우, 필터 연결 장치도 다른 필터 연결 장치로 교체한다. 이와 같이, 종래의 필터 연결 장치에서는, 형상이 서로 다른 2종 이상의 필터의 사이에서 필터를 간이하게 교환할 수 없다.
종래의 필터 연결 장치에서는, 접속구의 배치가 서로 다른 2종 이상의 필터의 사이에서 필터를 간이하게 교환할 수 없다는 문제점이 있다.
종래의 필터 연결 장치는, 접속구가 특정한 레이아웃으로 배치되어 있는 필터하고만 연결 가능하다. 필터의 접속구의 배치가 다르면, 필터에 적합한 필터 연결 장치도 다르다. 이 때문에, 접속구의 배치에 따라, 적절한 필터 연결 장치를 선택하여, 필터 연결 장치를 교체할 필요가 있다.
예를 들면, 제1 필터는 복수의 접속구를 갖는다. 제2 필터는 복수의 접속구를 갖는다. 제1 필터의 접속구의 배치는, 제2 필터의 접속구의 배치와 다르다. 필터 연결 장치에 연결된 제1 필터를 제2 필터로 교환하는 경우, 필터 연결 장치도 다른 필터 연결 장치로 교체한다. 이와 같이, 종래의 필터 연결 장치에서는, 접속구의 배치가 서로 다른 2종 이상의 필터의 사이에서 필터를 간이하게 교환할 수 없다.
본 발명은, 이러한 사정을 감안하여 이루어진 것으로서, 형상이 서로 다른 2종 이상의 필터와 알맞게 연결할 수 있는 필터 연결 장치 및 이것을 구비한 기판 처리 장치를 제공하는 것을 제1 목적으로 한다. 또한 본 발명은, 접속구의 배치가 서로 다른 2종 이상의 필터와 알맞게 연결할 수 있는 필터 연결 장치 및 이것을 구비한 기판 처리 장치를 제공하는 것을 제2 목적으로 한다.
본 발명은, 이러한 목적을 달성하기 위해, 다음과 같은 구성을 취한다.
즉, 본 발명은, 형상이 서로 다른 제1 필터 및 제2 필터 중 어느 것과도 연결 가능한 필터 연결 장치로서, 상기 제1 필터의 접속구 및 상기 제2 필터의 접속구와 접속 가능한 접속 포트와, 상기 접속 포트를 지지하는 베이스부와, 상기 제1 필터 및 상기 제2 필터를 지지 가능한 필터 지지부와, 상기 필터 지지부에 접속되는 회전축부와, 상기 회전축부를 지지하는 다리부를 구비하며, 상기 필터 지지부는, 상기 회전축부 둘레로 회전함으로써 제1 자세 및 제2 자세를 취하고, 상기 필터 지지부는, 상기 제1 자세에서 상기 제1 필터를 지지하는 제1 필터 지지부와, 상기 제2 자세에서 상기 제2 필터를 지지하는 제2 필터 지지부를 갖는 필터 연결 장치이다.
필터 연결 장치는, 필터 지지부와 회전축부와 다리부를 구비한다. 이 때문에, 필터 지지부는 알맞게 회전할 수 있다. 또한 필터 지지부는, 제1 자세 및 제2 자세를 취할 수 있다.
필터 지지부는 제1 필터 지지부와 제2 필터 지지부를 구비한다. 필터 지지부가 제1 자세일 때, 제1 필터 지지부는 제1 필터를 지지한다. 이 때문에, 필터 지지부는 제1 필터를 적절히 지지할 수 있다. 필터 지지부가 제2 자세일 때, 제2 필터 지지부는 제2 필터를 지지한다. 이 때문에, 필터 지지부는 제2 필터를 적절히 지지할 수 있다. 여기서, 제2 필터가 갖는 형상은, 제1 필터가 갖는 형상과 다르다.
따라서, 필터 연결 장치는, 형상이 서로 다른 2종 이상의 필터와 알맞게 연결할 수 있다. 이 때문에, 형상이 다른 2종 이상의 필터의 사이에서 필터를 용이하게 교환할 수 있다.
상술한 발명에서, 상기 필터 지지부가 상기 제1 자세일 때, 상기 제1 필터 지지부는 상기 제1 필터의 하우징과 접촉하고, 또한, 상기 제2 필터 지지부는 상기 제1 필터로부터 떨어진 위치에 있으며, 상기 필터 지지부가 상기 제2 자세일 때, 상기 제2 필터 지지부는 상기 제2 필터의 하우징과 접촉하고, 또한, 상기 제1 필터 지지부는 상기 제2 필터로부터 떨어진 위치에 있는 것이 바람직하다.
필터 지지부가 제1 자세일 때, 제1 필터 지지부는 제1 필터의 하우징과 접촉한다. 이 때문에, 제1 필터 지지부는 알맞게 제1 필터를 지지할 수 있다. 필터 지지부가 제1 자세일 때, 제2 필터 지지부는 제1 필터와 접촉하지 않는다. 이 때문에, 제1 필터 지지부는 제1 필터를 한층 알맞게 지지할 수 있다.
동일하게 필터 지지부가 제2 자세일 때, 제2 필터 지지부는 제2 필터의 하우징과 접촉한다. 이 때문에, 제2 필터 지지부는 알맞게 제2 필터를 지지할 수 있다. 필터 지지부가 제2 자세일 때, 제1 필터 지지부는 제2 필터와 접촉하지 않는다. 이 때문에, 제2 필터 지지부는 제2 필터를 한층 알맞게 지지할 수 있다.
상술한 발명에서, 상기 제1 필터 지지부는, 재치(載置)면을 갖는 마루부를 갖고, 상기 제2 필터 지지부는, 상기 마루부에 접속되는 유지 아암부를 가지며, 상기 필터 지지부가 상기 제1 자세일 때, 상기 재치면은 상기 제1 필터의 하우징의 바닥부와 접촉하고, 상기 필터 지지부가 상기 제2 자세일 때, 상기 유지 아암부는 상기 제2 필터의 하우징의 측부와 접촉하는 것이 바람직하다. 제1 필터 지지부는 마루부를 갖는다. 마루부는 재치면을 갖는다. 이 때문에, 제1 필터 지지부는 제1 필터를 알맞게 지지할 수 있다. 제2 필터 지지부는 유지 아암부를 갖는다. 이 때문에, 제2 필터 지지부는 제2 필터를 알맞게 지지할 수 있다.
상술한 발명에서, 상기 유지 아암부는 상기 재치면에 대해 대략 수직인 방향으로 연장되는 것이 바람직하다. 이에 따르면, 필터 지지부는 약 90도 회전함으로써, 제1 자세로부터 제2 자세로 이행할 수 있다. 또한, 필터 지지부는 약 90도 회전함으로써, 제2 자세로부터 제1 자세로 이행할 수 있다. 이와 같이, 필터 지지부는, 비교적 작은 회전량으로, 제1 자세 및 제2 자세를 취할 수 있다.
상술한 발명에서, 상기 필터 지지부는, 상기 접속 포트의 하방에 배치되고, 상기 회전축부의 축심은 대략 수평이며, 상기 필터 지지부가 상기 제1 자세일 때, 상기 재치면은 대략 수평이고, 또한, 상기 유지 아암부는 상기 마루부로부터 상방으로 연장되며, 상기 필터 지지부가 상기 제2 자세일 때, 상기 재치면은 대략 연직이고, 또한, 상기 유지 아암부는 상기 마루부로부터 대략 수평방향으로 연장되는 것이 바람직하다. 필터 지지부는 접속 포트의 하방에 배치된다. 이 때문에, 필터 지지부는, 접속 포트의 하방에서, 제1 필터 및 제2 필터를 지지할 수 있다. 필터 지지부가 제1 자세일 때, 재치면은 대략 수평이다. 이 때문에, 제1 필터 지지부는 제1 필터를 알맞게 지지할 수 있다. 필터 지지부가 제1 자세일 때, 유지 아암부는 상방으로 연장되어 있다. 이 때문에, 제2 필터 지지부는 제1 필터로부터 떨어진 위치에 알맞게 퇴피할 수 있다. 필터 지지부가 제2 자세일 때, 재치면은 대략 연직이다. 이 때문에, 제1 필터 지지부는 제2 필터로부터 떨어진 위치에 알맞게 퇴피할 수 있다. 필터 지지부가 제2 자세일 때, 유지 아암부는 마루부로부터 대략 수평방향으로 연장되어 있다. 이 때문에, 제2 필터 지지부는 제2 필터를 알맞게 지지할 수 있다.
상술한 발명에서, 상기 필터 연결 장치는, 상기 유지 아암부에 접속되는 훅 부재와, 상기 다리부에 접속되는 제1 회전 규제부를 구비하며, 상기 필터 지지부가 상기 제1 자세일 때, 상기 제1 회전 규제부는, 상기 유지 아암부와 상기 훅 부재의 사이에 형성되는 간극에 배치되고, 또한, 상기 훅 부재와 접촉하는 것이 바람직하다. 필터 연결 장치는 훅 부재와 제1 회전 규제부를 구비한다. 필터 지지부가 제1 자세일 때, 제1 회전 규제부가 훅 부재와 접촉한다. 이에 따라, 필터 지지부가 회전축부 둘레로 회전하는 것을 알맞게 규제할 수 있다. 즉, 필터 지지부를 제1 자세로 알맞게 유지할 수 있다.
상술한 발명에서, 상기 필터 연결 장치는, 상기 다리부에 접속되는 제2 회전 규제부를 구비하며, 상기 필터 지지부가 상기 제2 자세일 때, 상기 제2 회전 규제부는, 상기 간극에 배치되고, 또한, 상기 훅 부재와 접촉하는 것이 바람직하다. 필터 연결 장치는 제2 회전 규제부를 구비한다. 필터 지지부가 제2 자세일 때, 제2 회전 규제부가 훅 부재와 접촉한다. 이에 따라, 필터 지지부가 회전축부 둘레로 회전하는 것을 알맞게 규제할 수 있다. 즉, 필터 지지부를 제2 자세로 알맞게 유지할 수 있다.
상술한 발명에서, 상기 필터 지지부가 상기 제2 자세일 때, 상기 훅 부재는 상기 제2 회전 규제부의 측부와 접촉하는 것이 바람직하다. 이에 따르면, 필터 지지부가 대략 수평방향으로 이동하는 것을 규제할 수 있다. 따라서, 필터 지지부가 제2 자세일 때, 필터 지지부의 위치를 일정하게 유지할 수 있다.
상술한 발명에서, 상기 유지 아암부는, 상기 마루부에 접속되는 기단부를 가지며, 상기 회전축부는, 상기 유지 아암부의 상기 기단부의 근방에 접속되고, 상기 훅 부재는, 상기 유지 아암부의 선단부의 근방에 접속되는 것이 바람직하다. 훅 부재와 회전축부의 거리는 비교적 길다. 이 때문에, 훅 부재는, 필터 지지부가 회전축부 둘레로 회전하는 것을 한층 알맞게 규제할 수 있다.
상술한 발명에서, 상기 다리부는, 상기 베이스부에 대해 이동 가능하게 상기 베이스부에 지지되는 것이 바람직하다. 다리부는 베이스부에 대해 이동 가능하므로, 다리부는 필터 지지부를 접속 포트에 대해 알맞게 이동시킬 수 있다. 또한, 다리부는 베이스부에 지지되므로, 다리부는 필터 지지부를 접속 포트에 대해 한층 알맞게 이동시킬 수 있다.
본 발명은, 접속구의 배치가 서로 다른 제1 필터 및 제2 필터 중 어느 것과도 연결 가능한 필터 연결 장치로서, 상기 제1 필터가 갖는 복수의 접속구 및 상기 제2 필터가 갖는 복수의 접속구와 접속 가능한 복수의 접속 포트와, 상기 복수의 상기 접속 포트를 지지하고, 또한, 상기 제1 필터의 상기 접속구의 배치에 상당하는 제1 배치와 상기 제2 필터의 상기 접속구의 배치에 상당하는 제2 배치의 사이에서, 상기 접속 포트의 배치를 전환하는 배치 전환부와, 상기 제1 필터 및 상기 제2 필터를 지지 가능한 필터 지지부와, 상기 필터 지지부를 지지하고, 상기 필터 지지부를 상기 접속 포트를 향해 이동시키는 다리부와, 금지 위치와 허용 위치로 이동 가능한 다리부용 규제 부재를 구비하며, 상기 다리부용 규제 부재가 금지 위치에 있을 때, 상기 다리부가 상기 필터 지지부를 상기 접속 포트를 향해 이동시키는 것을 상기 다리부용 규제 부재는 금지하고, 상기 다리부용 규제 부재가 허용 위치에 있을 때, 상기 다리부가 상기 필터 지지부를 상기 접속 포트를 향해 이동시키는 것을 상기 다리부용 규제 부재는 허용하며, 상기 접속 포트의 배치가 상기 제1 배치 및 상기 제2 배치 중 어느 하나일 때, 상기 다리부용 규제 부재는 상기 허용 위치에 위치하고, 상기 접속 포트의 배치가 상기 제1 배치 및 상기 제2 배치 이외의 배치일 때, 상기 다리부용 규제 부재는 상기 금지 위치에 위치하는 필터 연결 장치이다.
제1 필터는 복수의 접속구를 갖는다. 제2 필터는 복수의 접속구를 갖는다. 제1 필터의 접속구의 배치는, 제2 필터의 접속구의 배치와 다르다.
필터 연결 장치는 배치 전환부를 구비한다. 이 때문에, 복수의 접속 포트를 제1 배치 및 제2 배치로 배치할 수 있다. 접속 포트의 배치가 제1 배치일 때, 접속 포트는 제1 필터의 접속구와 알맞게 접속할 수 있으며, 또한, 필터 연결 장치는 제1 필터와 알맞게 연결할 수 있다. 접속 포트의 배치가 제2 배치일 때, 접속 포트는 제2 필터의 접속구와 알맞게 접속할 수 있으며, 또한, 필터 연결 장치는 제2 필터와 알맞게 연결할 수 있다. 이와 같이, 필터 연결 장치는, 접속구의 배치가 서로 다른 2종 이상의 필터와 알맞게 연결할 수 있다. 그 결과, 접속구의 배치가 다른 2종 이상의 필터의 사이에서 필터를 용이하게 교환할 수 있다.
필터 연결 장치는 필터 지지부와 다리부를 구비한다. 필터 지지부는, 제1 필터 및 제2 필터를 지지한다. 다리부는, 필터 지지부를 접속 포트를 향해 이동시킨다. 이들 필터 지지부와 다리부에 의해, 필터 지지부에 지지되는 필터의 접속구를 접속 포트에 알맞게 접속할 수 있다.
필터 연결 장치는, 다리부용 규제 부재를 구비한다. 접속 포트의 배치가 제1 배치 및 제2 배치 중 어느 하나일 때, 다리부용 규제 부재는 허용 위치에 위치하고, 다리부용 규제 부재는 접속구와 접속 포트의 접속을 허용한다. 이에 따라, 다리부용 규제 부재는, 제1 배치 및 제2 배치 중 어느 하나로 배치되는 접속 포트에 접속구를 접속하는 것, 즉, 적정한 접속을 허용할 수 있다. 접속 포트의 배치가 제1 배치 및 제2 배치 이외의 배치일 때, 다리부용 규제 부재는 금지 위치에 위치하고, 다리부용 규제 부재는 접속구와 접속 포트의 접속을 금지한다. 이에 따라, 다리부용 규제 부재는, 제1 배치 및 제2 배치 이외의 배치로 배치되는 접속 포트에 접속구를 접속하는 것, 즉, 오접속을 미연에 방지할 수 있다. 여기서, 접속 포트의 배치가 제1 배치 및 제2 배치 이외의 배치라는 것은, 접속 포트의 배치가 제1 배치 및 제2 배치와 다른 것을 말한다.
상술한 발명에서, 상기 필터 연결 장치는, 상기 다리부용 규제 부재에 접촉하고, 상기 허용 위치로부터 상기 금지 위치로 향하는 방향의 탄성력을 상기 다리부용 규제 부재에 부여하는 탄성 부재를 구비하며, 상기 접속 포트의 배치가 상기 제1 배치 및 상기 제2 배치 중 어느 하나일 때, 상기 배치 전환부는, 상기 다리부용 규제 부재와 접촉하여, 상기 다리부용 규제 부재를 상기 허용 위치에 위치시키고, 상기 접속 포트의 배치가 상기 제1 배치 및 상기 제2 배치 이외의 배치일 때, 상기 배치 전환부는, 상기 다리부용 규제 부재로부터 떨어진 위치에 있는 것이 바람직하다. 접속 포트의 배치가 제1 배치 및 제2 배치 중 어느 하나일 때, 배치 전환부는, 탄성 부재의 탄성력에 저항하여, 다리부용 규제 부재를 허용 위치에 위치시킨다. 접속 포트의 배치가 제1 배치 및 제2 배치 이외의 배치일 때, 배치 전환부는 다리부용 규제 부재로부터 떨어진 위치에 있다. 이 때문에, 탄성 부재가 다리부용 규제 부재를 금지 위치에 위치시킨다. 이와 같이, 탄성 부재와 배치 전환부는, 다리부용 규제 부재를 허용 위치 및 금지 위치에 알맞게 위치시킬 수 있다.
상술한 발명에서, 상기 배치 전환부는, 베이스부와, 상기 베이스부에 대해 이동 가능하게 상기 베이스부에 지지되고, 상기 접속 포트 중 적어도 어느 하나와 접촉하는 포트 이동부와, 상기 포트 이동부에 접속되고, 상기 다리부용 규제 부재와 접촉 가능한 제1 접촉부와, 상기 포트 이동부에 접속되고, 상기 다리부용 규제 부재와 접촉 가능한 제2 접촉부를 구비하며, 상기 포트 이동부가 제1 위치에 있을 때, 상기 접속 포트의 배치는 상기 제1 배치이며, 상기 제1 접촉부는 상기 다리부용 규제 부재와 접촉하여 상기 다리부용 규제 부재를 상기 허용 위치에 위치시키고, 또한, 상기 제2 접촉부는 상기 다리부용 규제 부재로부터 떨어진 위치에 있으며, 상기 포트 이동부가 제2 위치에 있을 때, 상기 접속 포트의 배치는 상기 제2 배치이며, 상기 제1 접촉부는 상기 다리부용 규제 부재로부터 떨어진 위치에 있고, 또한, 제2 접촉부는 상기 다리부용 규제 부재와 접촉하여 상기 다리부용 규제 부재를 상기 허용 위치에 위치시키며, 상기 포트 이동부가 상기 제1 위치 및 상기 제2 위치 이외의 위치에 있을 때, 상기 접속 포트의 배치는 상기 제1 배치 및 상기 제2 배치 이외의 배치이고, 또한, 상기 제1 접촉부 및 상기 제2 접촉부는 각각 상기 다리부용 규제 부재로부터 떨어진 위치에 있는 것이 바람직하다.
포트 이동부는 제1 위치와 제2 위치로 이동 가능하다. 포트 이동부가 제1 위치에 있을 때, 배치 전환부는 접속 포트를 제1 배치로 배치한다. 포트 이동부가 제2 위치에 있을 때, 배치 전환부는 접속 포트를 제2 배치로 배치한다. 이와 같이, 포트 이동부는, 제1 배치와 제2 배치의 사이에서 접속 포트의 배치를 알맞게 전환할 수 있다.
또한, 배치 전환부는 제1 접촉부를 구비한다. 포트 이동부가 제1 위치에 있을 때, 제1 접촉부는 다리부용 규제 부재를 허용 위치에 위치시킨다. 이와 같이, 접속 포트의 배치가 제1 배치일 때, 배치 전환부는 다리부용 규제 부재를 허용 위치에 알맞게 위치시킬 수 있다.
배치 전환부는 제2 접촉부를 구비한다. 포트 이동부가 제2 위치에 있을 때, 제2 접촉부는 다리부용 규제 부재를 허용 위치에 위치시킨다. 이와 같이, 접속 포트의 배치가 제2 배치일 때, 배치 전환부는 다리부용 규제 부재를 허용 위치에 알맞게 위치시킬 수 있다.
포트 이동부가 제1 위치 및 제2 위치 이외의 위치에 있을 때, 제1 접촉부 및 제2 접촉부는 다리부용 규제 부재로부터 떨어진 위치에 있다. 따라서, 접속 포트의 배치가 제1 배치 및 제2 배치 이외의 배치일 때, 배치 전환부는, 다리부용 규제 부재가 금지 위치에 위치하는 것을 알맞게 허용할 수 있다.
상술한 발명에서, 상기 배치 전환부는, 상기 베이스부에 접속되는 포트축부를 구비하고, 상기 포트 이동부는, 상기 포트축부에 접속되어, 상기 포트축부 둘레로 회전 가능하며, 상기 다리부용 규제 부재가 상기 금지 위치와 상기 허용 위치의 사이에서 이동하는 방향은, 상기 포트축부의 경방향인 것이 바람직하다. 포트 이동부는 포트축부에 접속되므로, 포트 이동부는 베이스부에 대해 알맞게 회전할 수 있다. 이에 따라, 포트 이동부는, 제1 배치와 제2 배치의 사이에서 접속 포트의 배치를 알맞게 전환할 수 있다. 다리부용 규제 부재가 금지 위치와 허용 위치의 사이에서 이동하는 방향은, 포트축부의 경방향이다. 따라서, 제1 접촉부와 제2 접촉부는, 다리부용 규제 부재를 금지 위치로부터 허용 위치로 알맞게 이동시킬 수 있다. 여기서, 포트축부의 경방향이란, 포트축부의 축심과 직교하는 방향이다.
상술한 발명에서, 상기 다리부용 규제 부재는, 상기 포트축부의 축심 방향에서 볼 때 상기 포트 이동부와 겹치는 위치에 배치되는 것이 바람직하다. 이에 따르면, 제1 접촉부와 제2 접촉부는, 다리부용 규제 부재와 용이하게 접촉할 수 있다.
상술한 발명에서, 상기 필터 지지부는, 상기 접속 포트의 하방에 배치되고, 상기 다리부는, 상기 베이스부에 대해 상방으로 이동 가능하며, 상기 포트축부의 축심은 대략 연직이고, 상기 다리부용 규제 부재는, 상기 베이스부에 대해 대략 수평방향으로 이동함으로써, 상기 금지 위치 및 상기 허용 위치로 이동하는 것이 바람직하다. 필터 지지부는 접속 포트의 하방에 배치되며, 다리부는 베이스부에 대해 상방으로 이동 가능하다. 이 때문에, 다리부는 필터 지지부를 접속 포트에 알맞게 접근시킬 수 있다. 포트축부의 축심은 대략 연직이다. 따라서, 포트 이동부는, 접속 포트를 대략 수평방향으로 용이하게 이동할 수 있다. 다리부용 규제 부재는, 베이스부에 대해 대략 수평방향으로 이동함으로써, 금지 위치 및 허용 위치로 이동한다. 이와 같이, 다리부용 규제 부재는, 다리부가 이동하는 방향에 대해 대략 수직인 방향으로 이동한다. 따라서, 다리부용 규제 부재는, 다리부가 베이스부에 대해 상방으로 이동하는 것을 용이하게 금지할 수 있으며, 또한, 다리부가 베이스부에 대해 상방으로 이동하는 것을 용이하게 허용할 수 있다.
상술한 발명에서, 상기 다리부는, 상기 배치 전환부에 대해 이동 가능하게 상기 배치 전환부에 지지되는 것이 바람직하다. 다리부는 배치 전환부에 지지되므로, 다리부는, 접속 포트를 향해 필터 지지부를 알맞게 이동할 수 있다.
본 발명은, 기판 처리 장치로서, 형상이 서로 다른 제1 필터 및 제2 필터 중 어느 것과도 연결 가능한 필터 연결 장치를 구비하고, 상기 필터 연결 장치는, 상기 제1 필터의 접속구 및 상기 제2 필터의 접속구와 접속 가능한 접속 포트와, 상기 접속 포트를 지지하는 베이스부와, 상기 제1 필터 및 상기 제2 필터를 지지 가능한 필터 지지부와, 상기 필터 지지부에 접속되는 회전축부와, 상기 회전축부를 지지하는 다리부를 구비하며, 상기 필터 지지부는, 상기 회전축부 둘레로 회전함으로써 제1 자세 및 제2 자세를 취하고, 상기 필터 지지부는, 상기 제1 자세에서 상기 제1 필터를 지지하는 제1 필터 지지부와, 상기 제2 자세에서 상기 제2 필터를 지지하는 제2 필터 지지부를 갖는 기판 처리 장치이다.
기판 처리 장치는 필터 연결 장치를 구비하고 있다. 필터 연결 장치는, 형상이 서로 다른 2종 이상의 필터와 알맞게 연결할 수 있다. 이 때문에, 형상이 다른 2종 이상의 필터의 사이에서 필터를 용이하게 교환할 수 있다.
본 발명은, 기판 처리 장치로서, 접속구의 배치가 서로 다른 제1 필터 및 제2 필터 중 어느 것과도 연결 가능한 필터 연결 장치를 구비하고, 상기 필터 연결 장치는, 상기 제1 필터가 갖는 복수의 접속구 및 상기 제2 필터가 갖는 복수의 접속구와 접속 가능한 복수의 접속 포트와, 상기 복수의 상기 접속 포트를 지지하고, 또한, 상기 제1 필터의 상기 접속구의 배치에 상당하는 제1 배치와 상기 제2 필터의 상기 접속구의 배치에 상당하는 제2 배치의 사이에서, 상기 접속 포트의 배치를 전환하는 배치 전환부와, 상기 제1 필터 및 상기 제2 필터를 지지 가능한 필터 지지부와, 상기 필터 지지부를 지지하고, 상기 필터 지지부를 상기 접속 포트를 향해 이동시키는 다리부와, 금지 위치와 허용 위치로 이동 가능한 다리부용 규제 부재를 구비하며, 상기 다리부용 규제 부재가 금지 위치에 있을 때, 상기 다리부가 상기 필터 지지부를 상기 접속 포트를 향해 이동시키는 것을 상기 다리부용 규제 부재는 금지하고, 상기 다리부용 규제 부재가 허용 위치에 있을 때, 상기 다리부가 상기 필터 지지부를 상기 접속 포트를 향해 이동시키는 것을 상기 다리부용 규제 부재는 허용하며, 상기 접속 포트의 배치가 상기 제1 배치 및 상기 제2 배치 중 어느 하나일 때, 상기 다리부용 규제 부재는 상기 허용 위치에 위치하고, 상기 접속 포트의 배치가 상기 제1 배치 및 상기 제2 배치 이외의 배치일 때, 상기 다리부용 규제 부재는 상기 금지 위치에 위치하는 기판 처리 장치이다.
기판 처리 장치는 필터 연결 장치를 구비하고 있다. 필터 연결 장치는, 접속구의 배치가 서로 다른 2종 이상의 필터와 알맞게 연결할 수 있다. 이 때문에, 접속구의 배치가 다른 2종 이상의 필터의 사이에서 필터를 용이하게 교환할 수 있다.
또한 본 명세서는, 다음과 같은 필터 연결 장치에 따른 발명도 개시한다.
(1) 상술한 필터 연결 장치에 있어서,
상기 필터 연결 장치는,
상기 다리부에 접속되는 필터용 규제부를 구비하고,
상기 필터용 규제부는, 상기 필터 지지부에 지지되는 상기 제1 필터 및 상기 제2 필터 중 적어도 어느 하나와 접촉하고, 상기 제1 필터 및 상기 제2 필터 중 적어도 어느 하나가 상기 접속 포트를 향해 상기 다리부에 대해 변위하는 것을 규제하는 필터 연결 장치.
상기 (1)에 기재된 필터 연결 장치에 의하면, 필터 연결 장치는 필터용 규제부를 구비한다. 제1 필터 및 제2 필터 중 적어도 어느 하나가 접속 포트를 향해 다리부에 대해 상대적으로 이동하는 것을 필터용 규제부는 규제한다. 이 때문에, 다리부가 접속 포트로부터 멀어지는 방향으로 이동할 때, 필터용 규제부는, 제1 필터 및 제2 필터 중 적어도 어느 하나를 접속 포트로부터 멀어지는 방향으로 이동시킬 수 있다. 보다 구체적으로는, 다리부가 접속 포트로부터 멀어지는 방향으로 이동할 때, 필터용 규제부는 제1 필터 및 제2 필터 중 적어도 어느 하나를 접속 포트로부터 알맞게 분리할 수 있다.
(2) 상술한 필터 연결 장치에 있어서,
상기 접속 포트는,
상기 접속 포트의 제1 단부에 형성되는 개구와,
상기 개구의 주위에 형성되는 평탄한 평탄 단면과,
상기 평탄 단면의 주위에 형성되고, 상기 접속 포트의 제2 단부를 향해 경방향 바깥쪽으로 경사지는 경사 둘레면을 가지며,
상기 평탄 단면 및 상기 경사 둘레면 중 적어도 어느 하나가, 상기 접속구와 접촉하는 필터 연결 장치.
상기 (2)에 기재된 필터 연결 장치에 의하면, 접속 포트는 평탄 단면과 경사 둘레면을 갖는다. 이 때문에, 접속 포트는, 접속구의 구조가 다른 2종 이상의 접속구와 알맞게 접속할 수 있다.
(3) 상술한 필터 연결 장치에 있어서,
상기 필터 연결 장치는,
상기 다리부에 접속되는 핀 부재와,
상기 핀 부재와 접촉하여, 상기 핀 부재를 상기 접속 포트에 대해 대략 연직방향으로 이동시키는 레버를 구비하고,
상기 핀 부재의 축심의 방향에서 볼 때, 상기 핀 부재를 지나는 연직인 가상선은, 상기 필터 지지부에 지지되는 상기 제1 필터 및 상기 제2 필터 중 적어도 어느 하나의 중앙부와 교차하는 필터 연결 장치.
상기 (3)에 기재된 필터 연결 장치에 의하면, 필터 연결 장치는 핀 부재와 레버를 구비한다. 핀 부재와 레버에 의해, 다리부를 대략 연직방향으로 용이하게 이동할 수 있다. 핀 부재의 축심의 방향에서 볼 때, 핀 부재를 지나는 연직인 가상선은, 필터 지지부에 지지되는 제1 필터 및 제2 필터 중 적어도 어느 하나의 중앙부와 교차한다. 이 때문에, 핀 부재와 레버에 의해, 다리부 및 필터 지지부의 전체를 밸런스 좋게 대략 연직방향으로 이동할 수 있다. 따라서, 제1 필터 및/또는 제2 필터의 전체를 밸런스 좋게 이동할 수 있다. 그 결과, 제1 필터 및/또는 제2 필터의 모든 접속구가 접속 포트와 알맞게 접속할 수 있다.
(4) 상술한 필터 연결 장치에 있어서,
상기 훅 부재는,
제1면과,
제1면과 다른 제2면을 가지며,
상기 필터 지지부가 상기 제2 자세일 때, 상기 제2 회전 규제부는, 상기 훅 부재의 상기 제1면 및 상기 제2면과 접촉하는 필터 연결 장치.
상기 (4)에 기재된 필터 연결 장치에 의하면, 필터 지지부가 제2 자세일 때, 필터 지지부의 위치를 일정하게 유지할 수 있다. 여기서, 제2면이 제1면과 다르다는 것은, 제2면이 제1면과 동일 평면상에 없는 것을 말한다.
발명을 설명하기 위해 현재 바람직하다고 생각되는 몇 가지의 형태가 도시되어 있지만, 발명이 도시된 바와 같은 구성 및 방책에 한정되는 것은 아님을 이해하길 바란다.
도 1은, 실시형태에 따른 기판 처리 장치의 개략 구성을 도시하는 도면이다.
도 2a는, 제1 필터의 사시도이다.
도 2b는, 제2 필터의 사시도이다.
도 3은, 필터 연결 장치의 사시도이다.
도 4는, 필터 연결 장치의 측면도이다.
도 5는, 베이스 플레이트의 평면도이다.
도 6은, 베이스 플레이트와 조인트 부재의 측면도이다.
도 7은, 필터 연결 장치의 일부의 측면도이다.
도 8은, 이동부와 조작부의 평면도이다.
도 9a는, 조인트 부재의 배치를 전환하는 동작을 설명하는 도면이다.
도 9b는, 조인트 부재의 배치를 전환하는 동작을 설명하는 도면이다.
도 9c는, 조인트 부재의 배치를 전환하는 동작을 설명하는 도면이다.
도 10은, 베이스 플레이트와 핀 안내부와 레버용 회전축부의 측면도이다.
도 11은, 레버의 측면도이다.
도 12a는, 다리부가 베이스 플레이트에 대해 이동하는 동작을 설명하는 도면이다.
도 12b는, 다리부가 베이스 플레이트에 대해 이동하는 동작을 설명하는 도면이다.
도 12c는, 다리부가 베이스 플레이트에 대해 이동하는 동작을 설명하는 도면이다.
도 13은, 필터 연결 장치의 일부의 확대 측면도이다.
도 14a는, 필터 연결 장치의 일부의 저면도이다.
도 14b는, 필터 연결 장치의 일부의 저면도이다.
도 15a는, 필터 지지부가 회전하는 동작을 설명하는 도면이다.
도 15b는, 필터 지지부가 회전하는 동작을 설명하는 도면이다.
도 15c는, 필터 지지부가 회전하는 동작을 설명하는 도면이다.
도 16은, 필터 지지부의 사시도이다.
도 17은, 필터 지지부의 측면도이다.
도 18은, 필터 지지부와 제1 필터의 측면도이다.
도 19는, 필터 지지부와 제2 필터의 측면도이다.
도 20a는, 필터 지지부를 제1 자세로 유지하는 기구를 설명하는 도면이다.
도 20b는, 필터 지지부를 제1 자세로 유지하는 기구를 설명하는 도면이다.
도 20c는, 필터 지지부를 제1 자세로 유지하는 기구를 설명하는 도면이다.
도 21a는, 필터 지지부를 제2 자세로 유지하는 기구를 설명하는 도면이다.
도 21b는, 필터 지지부를 제2 자세로 유지하는 기구를 설명하는 도면이다.
도 21c는, 필터 지지부를 제2 자세로 유지하는 기구를 설명하는 도면이다.
도 22a는, 제1 필터를 필터 연결 장치에 착탈할 때의 순서를 설명하는 도면이다.
도 22b는, 제1 필터를 필터 연결 장치에 착탈할 때의 순서를 설명하는 도면이다.
도 22c는, 제1 필터를 필터 연결 장치에 착탈할 때의 순서를 설명하는 도면이다.
도 23a는, 제1 필터를 필터 연결 장치에 착탈할 때의 순서를 설명하는 도면이다.
도 23b는, 제1 필터를 필터 연결 장치에 착탈할 때의 순서를 설명하는 도면이다.
도 23c는, 제1 필터를 필터 연결 장치에 착탈할 때의 순서를 설명하는 도면이다.
도 24a는, 제2 필터를 필터 연결 장치에 착탈할 때의 순서를 설명하는 도면이다.
도 24b는, 제2 필터를 필터 연결 장치에 착탈할 때의 순서를 설명하는 도면이다.
도 24c는, 제2 필터를 필터 연결 장치에 착탈할 때의 순서를 설명하는 도면이다.
도 25a는, 조인트 부재의 제1 단부의 확대 단면도이다.
도 25b는, 조인트 부재의 제1 단부의 확대 평면도이다.
도 26은, 조인트 부재와 접속구의 접속을 예시하는 단면도이다.
도 27은, 조인트 부재와 접속구의 접속을 예시하는 단면도이다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시형태를 설명한다.
도 1은, 실시형태에 따른 기판 처리 장치의 개략 구성을 도시하는 도면이다. 실시형태에 따른 기판 처리 장치(1)는, 기판(예를 들면, 반도체 웨이퍼)(W)에 액처리를 행하는 장치이다.
1. 기판 처리 장치(1)의 개요
기판 처리 장치(1)는, 기판 유지부(3)와 회전 모터(5)를 구비하고 있다. 기판 유지부(3)는 기판(W)을 대략 수평으로 유지한다. 기판 유지부(3)는, 예를 들면, 기판(W)의 이면(하면)을 흡착 유지한다. 회전 모터(5)는, 기판 유지부(3)의 바닥부 중앙에 연결되어 있다. 회전 모터(5)는, 기판 유지부(3)를 대략 연직축 둘레로 회전시킨다. 이에 따라, 기판 유지부(3)에 유지된 기판(W)은, 그 중심부를 지나는 대략 연직축 둘레로 회전한다.
기판 처리 장치(1)는, 노즐(7)과 컵(9)을 구비하고 있다. 노즐(7)은, 기판 유지부(3)의 상방에 해당하는 토출 위치로 이동 가능하게 설치되어 있다. 노즐(7)은, 기판 유지부(3)에 유지된 기판(W)에 처리액을 토출한다. 컵(9)은, 기판 유지부(3)의 측방을 둘러싸도록 배치되어 있다. 컵(9)은, 기판(W)에서 비산된 처리액을 받아내어 회수한다.
기판 처리 장치(1)는 처리액을 통하는 배관(11)을 구비한다. 배관(11)은, 노즐(7)과 접속하는 제1단을 갖는다. 배관(11)은, 처리액 공급원(13)과 접속하는 제2단을 갖는다. 처리액 공급원(13)은, 예를 들면, 처리액을 저류하는 처리액 탱크이다. 처리액은, 예를 들면, 레지스트막 재료나 각종 도막 재료, 약액, 시너, 순수이다. 배관(11) 상에는, 펌프(15), 제어밸브(17) 및 필터(21)가 설치되어 있다. 펌프(15)는 처리액 공급원(13)으로부터 노즐(7)을 향해 처리액을 압송한다. 제어밸브(17)는 처리액의 유로를 개폐한다. 필터(21)는 처리액을 여과한다. 필터(21)는, 예를 들면, 처리액으로부터 처리액 중의 이물 등을 분리·제거한다.
필터(21)는, 필터 본체(22)와 복수(예를 들면 3개)의 접속구(23, 24, 25)를 구비하고 있다. 필터 본체(22)는, 여과재와, 처리액이 흐르는 1차측 유로와, 처리액이 흐르는 2차측 유로(모두 도시 생략)를 포함한다. 1차측 유로는, 여과재의 1차측에 형성된다. 2차측 유로는, 여과재의 2차측에 형성된다. 여과재는, 예를 들면 다공성의 막이다. 접속구(23)는, 1차측 유로의 입구이다. 접속구(24)는, 2차측 유로의 출구이다. 접속구(25)는, 필터 본체(22) 내의 기체를 배출하기 위한 출구이다.
필터(21)는, 필터 연결 장치(31)에 의해 배관(11)과 접속되어 있다. 필터 연결 장치(31)는, 복수(예를 들면 접속구와 동수)의 조인트 부재(33, 34, 35)를 구비한다. 조인트 부재(33, 34, 35)는 각각 접속구(23, 24, 25)와 접속된다. 조인트 부재(33, 34, 35)는, 본 발명에서의 접속 포트의 예이다.
여기서 편의상, 필터(21)의 1차측에 배치되는 배관(11)의 부분을 특히 「1차측 배관(11a)」이라고 부르고, 필터(21)의 2차측에 배치되는 배관(11)의 부분을 특히 「2차측 배관(11b)」이라고 부른다. 1차측 배관(11a)은 조인트 부재(33)와 접속된다. 이에 따라, 1차측 배관(11a)은 조인트 부재(33)를 통해 접속구(23)와 연통 접속되어 있다. 2차측 배관(11b)은 조인트 부재(34)와 접속된다. 이에 따라, 2차측 배관(11b)은 조인트 부재(34)를 통해 접속구(24)와 연통 접속되어 있다. 조인트 부재(35)는 벤트관(19)과 접속된다. 이에 따라, 벤트관(19)은 조인트 부재(35)를 통해 접속구(23c)와 연통 접속되어 있다. 벤트관(19)은 대기에 개방된다.
기판 처리 장치(1)는 제어부(39)를 구비한다. 제어부(39)는, 회전 모터(5)의 회전과, 노즐(7)의 이동과, 펌프(15)의 구동과, 제어밸브(17)의 개폐를 통괄적으로 제어한다. 제어부(39)에 의한 제어는, 미리 설정되어 있는 처리 레시피에 의거하여 실행된다.
기판 처리 장치(1)가 기판(W)에 액처리를 행하는 동작을 간단히 설명한다.
기판(W)이 기판 유지부(3)에 재치되면, 회전 모터(5)가 기판(W)을 회전시킨다. 노즐(7)이 토출 위치로 이동한다. 펌프(15)가 처리액을 압송하고, 제어밸브(17)가 처리액의 유로를 개방한다. 이에 따라, 처리액이 처리액 공급원(13)으로부터 1차측 배관(11a)을 통해 필터(21)로 유입된다. 필터(21)는 처리액을 여과한다. 여과된 처리액은, 필터(21)로부터 2차측 배관(11b)을 통해 노즐(7)로 유입된다. 노즐(7)은 처리액을 기판(W)에 토출한다. 처리액은, 회전하고 있는 기판(W)의 표면 중앙에 착액하여, 기판(W)의 표면 전체에 걸쳐 확산된다. 기판(W)으로부터 비산된 처리액은 컵(9)에 의해 회수된다.
처리액을 토출하기 시작하고 나서 소정의 시간이 경과하면, 펌프(15)가 정지하고, 제어밸브(17)가 닫혀, 기판(W)에 대한 처리액의 공급을 멈춘다. 회전 모터(5)가 기판(W)을 보다 고속으로 회전시켜, 기판(W)을 건조시킨다. 그 후, 회전 모터(5)가 정지하여, 기판(W)을 정지(靜止)시킨다. 이에 따라, 기판(W)에 대한 액처리가 종료한다.
2. 필터(21)의 구조
2종류의 필터(21)의 구조를 예시한다.
도 2a는 필터(21)의 제1예의 사시도이며, 도 2b는 필터(21)의 제2예의 사시도이다. 이하에서는, 필터(21)의 제1예를 특히 「제1 필터(21a)」라고 부르고, 필터(21)의 제2예를 특히 「제2 필터(21b)」라고 부른다. 또, 제1 필터(21a)의 각 요소의 부호에는 적절히 「a」를 부가하고, 제2 필터(21b)의 각 요소의 부호에는 적절히 「b」를 부가한다.
도 2a를 참조한다. 제1 필터(21a)는, 접속구(23a, 24a, 25a)를 구비한다. 접속구(23a, 24a, 25a)는 각각 관형상을 갖는다. 도 2b를 참조한다. 제2 필터(21b)는 접속구(23b, 24b, 25b)를 구비한다. 접속구(23b, 24b, 25b)는 각각 관형상을 갖는다. 조인트 부재(33~35)는 접속구(23a, 24a, 25a)와 접속 가능하다. 조인트 부재(33~35)는 접속구(23b, 24b, 25b)와 접속 가능하다.
제1 필터(21a)와 제2 필터(21b)는, 접속구(23, 24, 25)의 배치에 관해 상이하다. 도 2a를 참조한다. 접속구(23a, 24a, 25a)는 1열로 늘어서도록 배치되어 있다. 도 2b를 참조한다. 접속구(23b, 24b, 25b)는 1열로 늘어서 있지 않다. 접속구(23b, 24b, 25b)는 각각, 직각 삼각형의 세 정점과 동일한 위치에 배치되어 있다. 이와 같이, 제1 필터(21a)의 접속구(23a, 24a, 25a)의 배치는, 제2 필터(21b)의 접속구(23b, 24b, 25b)의 배치와 다르다.
제1 필터(21a)와 제2 필터(21b)는, 형상에 관해 상이하다. 도 2a를 참조한다. 제1 필터(21a)는 하우징(26a)을 구비한다. 하우징(26a)은, 상술한 필터 본체(22)를 수용한다. 접속구(23a, 24a, 25a)는 하우징(26a)의 상면에 설치되어 있다. 도 2b를 참조한다. 제2 필터(21b)는 하우징(26b)을 구비한다. 하우징(26b)은, 상술한 필터 본체(22)를 수용한다. 접속구(23b, 24b, 25b)는, 하우징(26b)의 상면에 설치되어 있다.
제1 필터(21a)와 제2 필터(21b)는, 필터(21)의 높이(H)에 관해 상이하다. 본 실시형태에서는, 제1 필터(21a)의 높이(Ha)는, 제2 필터(21b)의 높이(Hb)에 비해 길다. 여기서, 필터(21)의 높이(H)는, 하우징(26)의 바닥부로부터 접속구(23~25)의 상단까지의 연직방향에 대한 길이이다.
제1 필터(21a)와 제2 필터(21b)는, 하우징(26)의 형상에 관해 상이하다. 제2 필터(21b)의 하우징(26b)은, 통형부(26b1)와 플랜지부(26b2)와 홈부(26b3)를 갖는다. 플랜지부(26b2)는 통형부(26b1)의 상부에 배치된다. 홈부(26b3)는, 플랜지부(26b2)의 양측부에 형성된다. 접속구(23b, 24b, 25b)는, 플랜지부(26b2)의 상부에 배치된다. 제1 필터(21a)의 하우징(26a)은, 플랜지부(26b2)에 상당하는 부재를 갖지 않는다. 이와 같이, 제2 필터(21b)의 형상은, 제1 필터(21a)의 형상과 다르다.
3. 필터 연결 장치(31)의 구조
도 3은, 필터 연결 장치(31)의 사시도이다. 도 4는, 필터 연결 장치(31)의 측면도이다.
도 3, 도 4에서는, 전후방향(X), 폭방향(Y) 및 연직방향(Z)를 나타낸다. 전후방향(X)과 폭방향(Y)와 상하방향(Z)은 서로 직교한다. 전후방향(X) 및 폭방향(Y)는 수평이다. 전후방향(X)의 한쪽을 「전방」이라고 부르고, 전후방향(X)의 다른 쪽을 「후방」이라고 부른다. 전후방향(X) 및 폭방향(Y)을 구별하지 않는 경우에는, 「수평방향」 또는, 간단히 「측방」이라고 부른다. 연직방향(Z)의 한쪽을 「상방」이라고 부르고, 연직방향(Z)의 다른 쪽을 「하방」이라고 부른다.
필터 연결 장치(31)는, 제1 필터(21a) 및 제2 필터(21b) 중 어느 것과도 연결 가능하다. 필터 연결 장치(31)는, 배치 전환부(40)와 다리부(71)와 필터 지지부(111)를 구비한다. 배치 전환부(40)는 조인트 부재(33~35)의 배치를 전환한다. 필터 지지부(111)는 필터(21)를 지지한다. 다리부(71)는 필터 지지부(111)를 지지한다. 이하, 상세하게 설명한다.
3.1. 배치 전환부(40)의 구성
배치 전환부(40)는, 복수의 조인트 부재(33~35)를 지지한다. 배치 전환부(40)는, 복수의 조인트 부재(33~35)의 배치를 전환한다. 구체적으로는 배치 전환부(40)는, 조인트(33~35)의 배치를, 제1 배치와 제2 배치의 사이에서 전환한다. 제1 배치는, 제1 필터(21a)의 접속구(23a~25c)의 배치에 상당한다. 제2 배치는, 제2 필터(21b)의 접속구(23b~25b)의 배치에 상당한다.
배치 전환부(40)는 베이스 플레이트(41)를 구비한다. 베이스 플레이트(41)는 대략 수평인 판형상을 갖는다.
도 5는 베이스 플레이트(41)의 평면도이다. 베이스 플레이트(41)는 개구(43, 44, 45)를 갖는다. 개구(43)에는 조인트 부재(33)가 배치된다. 개구(44)에는 조인트 부재(34)가 배치된다. 개구(45)에는 조인트 부재(35)가 배치된다.
개구(43, 44)는 장공(長穴)이다. 조인트 부재(33)는 개구(43)에서 대략 수평방향으로 이동 가능하다. 조인트 부재(34)는 개구(44)에서 대략 수평방향으로 이동 가능하다. 개구(45)는 조인트 부재(35)의 단면 형상보다 약간 크다. 조인트 부재(35)는 개구(45)에서 대략 수평방향으로 이동 불가능하다. 이와 같이, 조인트 부재(33, 34)는 베이스 플레이트(41)에 대해 대략 수평방향으로 이동 가능하다. 조인트 부재(35)는 베이스 플레이트(41)에 대해 대략 수평방향으로 이동 불가능하다.
도 6은, 베이스 플레이트(41)와 조인트 부재(33~35)의 측면도이다. 조인트 부재(33)는 대략 직선적으로 연장되는 대략 관형상을 갖는다. 조인트 부재(33)는 대략 연직 자세로 개구(43)에 삽입된다. 조인트 부재(33)는, 접속구(23)와 접속하는 제1 단부(33a)와, 1차측 배관(11a)과 접속하는 제2 단부(33b)를 갖는다. 조인트 부재(33)는, 제1 단부(33a)를 아래로, 제2 단부(33b)를 위로 하여 배치된다. 제1 단부(33a)는 베이스 플레이트(41)보다 하방에 위치한다. 제2 단부(33b)는 베이스 플레이트(41)보다 상방에 위치한다.
조인트 부재(33)는, 외주면(33c)과, 그 외주면(33c)으로부터 바깥쪽으로 돌출되는 플랜지부(33d)를 구비하고 있다. 플랜지부(33d)는, 개구(43)의 폭보다 크다. 플랜지부(33d)는, 베이스 플레이트(41)의 상면에 재치된다. 조인트 부재(33)는 개구(43)로부터 하방으로 탈락하지 않는다. 이와 같이, 베이스 플레이트(41)는 조인트 부재(33)와 접촉한다. 베이스 플레이트(41)는 조인트 부재(33)를 지지한다.
조인트 부재(34, 35)는, 조인트 부재(33)와 대략 동일한 구조를 갖는다. 조인트 부재(34)는, 제1 단부(34a)와 제2 단부(34b)와 외주면(34c)과 플랜지부(34d)를 갖는다. 조인트 부재(35)는, 제1 단부(35a)와 제2 단부(35b)와 외주면(35c)과 플랜지부(35d)를 갖는다. 조인트 부재(34, 35)는, 조인트 부재(33)와 대략 동일하게 베이스 플레이트(41)에 설치된다. 베이스 플레이트(41)는 조인트 부재(34, 35)와 접촉한다. 베이스 플레이트(41)는 조인트 부재(34, 35)를 지지한다. 베이스 플레이트(41)는, 본 발명에서의 베이스부의 예이다.
도 3, 도 4를 참조한다. 배치 전환부(40)는 이동부(51)와 조작부(61)를 구비하고 있다. 이동부(51)는 조인트 부재(33, 34)를 이동한다. 조작부(61)는 이동부(51)에 연동 연결된다. 조작부(61)는 유저에 의해 조작된다. 조작부(61)의 조작에 따라, 이동부(51)가 조인트 부재(33, 34)를 이동한다
도 7은, 배치 전환부(40)의 일부의 측면도이다. 도 8은, 이동부(51)와 조작부(61)의 평면도이다. 배치 전환부(40)는 조인트축부(57)를 구비한다. 조인트축부(57)는 베이스 플레이트(41)에 접속된다. 조인트축부(57)의 축심(C57)은 대략 연직이다. 이동부(51)는 조인트축부(57)에 접속된다. 이동부(51)는 조인트축부(57)를 통해 베이스 플레이트(41)에 지지된다. 이동부(51)는 조인트축부(57) 둘레로 회전 가능하다. 이동부(51)는 베이스 플레이트(41)에 대해 이동 가능하다.
도 8을 참조한다. 이동부(51)는 평면에서 볼 때 대략 원형상을 갖는다. 조인트축부(57)는 평면에서 볼 때 이동부(51)의 중앙부와 접속한다.
이동부(51)는 개구(53, 54)를 갖는다. 개구(53)에는 조인트 부재(33)가 배치된다. 개구(54)에는 조인트 부재(34)가 배치된다.
개구(53)는 조인트 부재(33)의 단면 형상보다 약간 크다. 조인트 부재(33)는 개구(53)에서 대략 수평방향으로 이동 불가능하다. 조인트 부재(33)는 이동부(51)에 대해 대략 수평방향으로 이동 불가능하다. 조인트 부재(33)는 이동부(51)와 일체로 이동한다. 이동부(51)가 회전할 때, 조인트 부재(33)는 베이스 플레이트(41)에 대해 이동한다.
개구(54)는 장공이다. 조인트 부재(34)는 개구(54)에서 대략 수평방향으로 이동 가능하다. 조인트 부재(34)는 이동부(51)에 대해 대략 수평방향으로 이동 가능하다. 개구(54)의 일단 가장자리 및 타단 가장자리 중 어느 한쪽이 조인트 부재(34)와 접촉한 상태로 이동부(51)가 회전할 때, 조인트 부재(34)는 베이스 플레이트(41)에 대해 이동한다.
이와 같이, 이동부(51)는 조인트 부재(33, 34)와 접촉한다. 이동부(51)는 조인트 부재(33, 34)를 이동한다.
이동부(51)는 톱니(56)를 갖는다. 톱니(56)는, 이동부(51)의 외주연에 형성된다.
도 7, 8을 참조한다. 배치 전환부(40)는 조작축부(63)를 구비한다. 조작축부(63)는 베이스 플레이트(41)에 접속된다. 조작부(61)는 조작축부(63)에 접속된다. 조작부(61)는 조작축부(63)를 통해 베이스 플레이트(41)에 지지된다. 조작부(61)는 조작축부(63) 둘레로 회전 가능하다. 조작부(61)의 앞쪽 끝은 베이스 플레이트(41)보다 전방에 위치한다.
도 8을 참조한다. 조작부(61)는 평면에서 볼 때 대략 원형상을 갖는다. 조작부(61)는 톱니(62)를 갖는다. 톱니(62)는 조작부(61)의 외주연에 형성된다. 톱니(62)는 톱니(56)와 맞물린다.
유저는 조작부(61)를 조작축부(63) 둘레로 회전한다. 조작부(61)의 회전에 연동하여, 이동부(51)가 조인트축부(57) 둘레로 회전한다. 이동부(51)의 회전에 따라, 베이스 플레이트(41)에 대한 이동부(51)의 위치가 바뀐다. 구체적으로는, 이동부(51)의 회전에 따라, 베이스 플레이트(41)에 대한 이동부(51)의 각도가 바뀐다. 또한, 이동부(51)의 회전에 따라, 조인트 부재(33, 34)가 베이스 플레이트(41)에 대해 이동한다.
도 9a, 9b, 9c는, 조인트 부재(33~35)의 배치를 전환하는 동작을 설명하는 도면이다. 도 9a~9c의 우측의 도면은, 조인트 부재(33~35), 베이스 플레이트(41) 및 이동부(51)의 평면도이다. 도 9a~9c의 좌측의 도면은, 이동부(51)만의 평면도이다.
도 9a, 9b, 9c에 나타내는 바와 같이, 이동부(51)의 회전에 따라, 조인트 부재(33, 34)가 베이스 플레이트(41)에 대해 이동한다.
도 9a를 참조한다. 조인트 부재(33~35)는 제1 배치로 배치된다. 조인트 부재(33)는 이동부(51)에 의해 위치 결정된다. 조인트 부재(34)는 개구(44)의 일단 가장자리와 개구(54)의 일단 가장자리 사이에 끼워 유지된다. 즉, 조인트 부재(34)는 베이스 플레이트(41)와 이동부(51)에 의해 위치 결정된다. 조인트 부재(35)는 베이스 플레이트(41)에 의해 위치 결정된다.
도 9c를 참조한다. 조인트 부재(33~35)는 제2 배치로 배치된다. 조인트 부재(33)는 이동부(51)에 의해 위치 결정된다. 조인트 부재(34)는 개구(44)의 타단 가장자리와 개구(54)의 타단 가장자리 사이에 끼워 유지된다. 즉, 조인트 부재(34)는 베이스 플레이트(41)와 이동부(51)에 의해 위치 결정된다. 조인트 부재(35)는 베이스 플레이트(41)에 의해 위치 결정된다.
제1 배치와 제2 배치의 사이에서, 베이스 플레이트(41)에 대한 조인트 부재(33)의 위치는 다르다. 제1 배치와 제2 배치의 사이에서, 베이스 플레이트(41)에 대한 조인트 부재(34)의 위치는 다르다. 제1 배치와 제2 배치의 사이에서, 베이스 플레이트(41)에 대한 조인트 부재(35)의 위치는 동일하다.
이하에서는, 도 9a에 나타내는 이동부(51)의 위치를 「제1 위치(P1)」라고 부른다. 이하에서는, 도 9c에 나타내는 이동부(51)의 위치를 「제2 위치(P2)」라고 부른다.
도 9b를 참조한다. 이동부(51)는, 제1 위치(P1) 및 제2 위치(P2) 모두와 다른 위치에 위치한다. 이동부(51)가 제1 위치(P1) 및 제2 위치(P2) 이외의 위치에 있을 때, 조인트 부재(33~35)는 제1 배치 및 제2 배치 모두와 다른 배치로 배치된다.
그런데, 이동부(51)가 제1 위치(P1)로부터 제2 위치(P2)로 바뀌는 과정에서는, 이동부(51)는 제1 위치(P1) 및 제2 위치(P2) 이외의 위치에 위치한다. 이동부(51)가 제2 위치(P2)로부터 제1 위치(P1)로 바뀌는 과정에서도, 이동부(51)는 제1 위치(P1) 및 제2 위치(P2) 이외의 위치에 위치한다. 따라서, 조인트 부재(33~35)의 배치가 제1 배치와 제2 배치의 사이에서 바뀌는 과정에서는, 조인트 부재(33~35)의 배치는 제1 배치 및 제2 배치 이외의 배치이다. 여기서, 제1 배치 및 제2 배치 이외의 배치란, 제1 배치 및 제2 배치와 다른 배치를 말한다.
상술한 바와 같이, 이동부(51)가 제1 위치(P1)에 있을 때, 조인트 부재(33~35)의 배치는 제1 배치이다(도 9a 참조). 이동부(51)가 제2 위치(P2)에 있을 때, 조인트 부재(33~35)의 배치는 제2 배치이다(도 9b 참조). 이동부(51)가 제1 위치(P1) 및 제2 위치(P2) 이외의 위치에 있을 때, 조인트 부재(33~35)의 배치는 제1 배치 및 제2 배치 이외의 배치이다(도 9c 참조).
이동부(51)는, 본 발명에서의 포트 이동부의 예이다. 조인트축부(57)는, 본 발명에서의 포트축부의 예이다.
3.2. 다리부(71)의 부착 구조
도 3, 도 4를 참조한다. 다리부(71)는, 베이스 플레이트(41)에 지지된다. 다리부(71)는, 베이스 플레이트(41)보다 폭방향(Y)의 바깥쪽에 배치된다. 구체적으로는 다리부(71)는, 베이스 플레이트(41)보다 폭방향(Y)의 한쪽, 및 폭방향(Y)의 다른 쪽에 배치된다. 다리부(71)는 대략 연직방향(Z)으로 연장된다. 다리부(71)는, 베이스 플레이트(41) 및 조인트 부재(33~35)에 대해 이동 가능하다. 다리부(71)는, 베이스 플레이트(41) 및 조인트 부재(33~35)에 대해 연직방향(Z)으로 이동 가능하다.
필터 연결 장치(31)는 핀 부재(81)를 구비한다. 핀 부재(81)는 다리부(71)에 접속된다. 핀 부재(81)는 다리부(71)에 고정된다. 핀 부재(81)의 축심은 대략 수평이다. 구체적으로는, 핀 부재(81)의 축심은 폭방향(Y)과 대략 평행하다.
필터 연결 장치(31)는, 핀 안내부(83)와 레버(85)와 레버용 회전축부(89)를 구비한다. 핀 안내부(83)는, 핀 부재(81)를 연직방향(Z)으로 안내한다. 레버(85)는 핀 부재(81)를 이동시킨다. 레버용 회전축부(89)는 레버(85)에 접속된다. 레버용 회전축부(89)는 레버(85)를 지지한다. 레버(85)는 레버용 회전축부(85) 둘레로 회전 가능하다.
도 10은, 베이스 플레이트(41)와 핀 안내부(83)와 레버용 회전축부(89)의 측면도이다. 핀 안내부(83)는 베이스 플레이트(41)에 접속된다. 핀 안내부(83)는 베이스 플레이트(41)에 고정된다.
핀 안내부(83)는 개구(84)를 갖는다. 개구(84)에는 핀 부재(81)가 배치된다. 개구(84)는 장공이다. 개구(84)는 대략 연직방향(Z)으로 연장된다. 핀 부재(81)는 개구(84)에서 대략 연직방향(Z)으로 이동 가능하다.
레버용 회전축부(89)는 핀 안내부(83)에 접속된다. 즉, 레버용 회전축부(89)는 베이스 플레이트(41)에 지지된다. 레버용 회전축부(89)는 개구(84)의 상방에 배치된다. 레버용 회전축부(89)의 축심은 대략 수평이다. 구체적으로는, 레버용 회전축부(89)의 축심은 폭방향(Y)과 대략 평행하다.
도 11은, 레버(85)의 측면도이다. 레버(85)는 개구(86, 87)를 갖는다. 개구(86)에는 레버용 회전축부(89)가 배치된다. 개구(87)에는 핀 부재(81)가 배치된다. 레버(85)는 핀 부재(81)와 접촉한다. 개구(87)는 장공이다. 핀 부재(81)는 개구(87)에서 이동 가능하다. 개구(87)는, 제1 단부(87a)와 제2 단부(87b)를 갖는다. 제1 단부(87a)는, 제2 단부(87b)보다 개구(86)(레버용 회전축부(89))에 가깝다.
레버(85)는 핸들부(88)를 갖는다. 핸들부(88)는 유저가 잡게 된다. 유저가 핸들부(88)를 조작함으로써, 레버(85)가 베이스 플레이트(41)에 대해 레버용 회전축부(89) 둘레로 회전한다.
도 12a, 12b, 12c는, 다리부(71)가 베이스 플레이트(41)에 대해 이동하는 동작을 설명하는 도면이다. 도 12a~12c는 측면도이다.
도 12a를 참조한다. 다리부(71)는 하방 위치에 있다.
도 12b를 참조한다. 유저가 핸들부(88)를 누르면, 레버(85)는 레버용 회전축부(89) 둘레로 회전한다. 핀 부재(81)는, 개구(87)의 제2 단부(87b)로부터 제1 단부(87a)를 향해 이동하고, 또한, 개구(84)의 하부로부터 상부를 향해 이동한다. 그 결과, 핀 부재(81)는 상방으로 이동한다. 다리부(71)는 핀 부재(81)와 일체로 상방으로 이동한다.
도 12c를 참조한다. 유저가 핸들부(88)를 더 누르면, 레버(85)가 레버용 회전축부(89) 둘레로 더욱 회전한다. 핀 부재(81)는, 더욱 상방으로 이동한다. 다리부(71)는 핀 부재(81)와 일체로, 더욱 상방으로 이동한다. 그 결과, 다리부(71)는 상방 위치에 도달한다.
한편, 유저가 핸들(88)을 밀어 올리면, 다리부(71)는, 핀 부재(81)와 일체로 하방으로 이동한다. 이에 따라, 다리부(71)는 상방 위치로부터 하방 위치로 이동한다.
이와 같이, 레버(85)는, 핀 부재(81)를 베이스 플레이트(41)에 대해 대략 연직방향(Z)으로 이동시킨다. 이에 따라, 다리부(71)는, 베이스 플레이트(41)에 대해 대략 연직방향(Z)으로 이동한다. 또한, 후술하는 바와 같이, 다리부(71)가 베이스 플레이트(41)에 대해 상방으로 이동함으로써, 필터 지지부(111)는 조인트 부재(33~35)를 향해 이동한다.
도 3, 도 4를 참조한다. 필터 연결 장치(31)는, 다리부(71)의 이동 방향을 일정하게 유지하는 기구를 구비한다. 구체적으로는 필터 연결 장치(31)는, 개구(72, 73)와 핀 부재(91, 92)를 갖는다. 개구(72, 73)는 다리부(71)에 형성된다. 개구(72, 73)는 장공이다. 개구(72, 73)는 대략 연직방향(Z)으로 연장된다. 핀 부재(91, 92)는 베이스 플레이트(41)에 간접적으로 접속된다(도 10 참조). 핀 부재(91, 92)는 베이스 플레이트(41)에 고정된다. 핀 부재(91, 92)는 개구(72, 73)에 배치된다. 개구(72)와 핀 부재(91)는 핀 부재(81)보다 전방에 배치된다. 개구(73)와 핀 부재(92)는 핀 부재(81)보다 후방에 배치된다. 핀 부재(91, 92)는 개구(72, 73)에서 대략 연직방향(Z)으로 이동 가능하다. 다리부(71)가 베이스 플레이트(41)에 대해 이동할 때, 핀 부재(91, 92)는 개구(72, 73)를 따라 대략 연직방향(Z)으로 이동한다. 이와 같이, 핀 부재(91, 92)와 개구(72, 73)는, 다리부(71)가 이동하는 방향을 대략 연직방향(Z)으로 유지한다.
필터 연결 장치(31)는, 핀 안내부(95)와 핀 부재(97)를 갖는다. 핀 안내부(95)는 베이스 플레이트(41)에 접속된다(도 10 참조). 핀 안내부(95)는 베이스 플레이트(41)에 고정된다. 핀 안내부(95)는 개구(96)를 갖는다. 개구(96)는 장공이다. 개구(96)는 대략 연직방향(Z)으로 연장된다. 핀 부재(97)는 다리부(71)에 접속된다. 핀 부재(97)는 다리부(71)에 고정된다. 핀 부재(97)는 개구(96)에 배치된다. 개구(96)와 핀 부재(97)는 핀 부재(81)보다 후방에 배치된다. 핀 부재(97)는 개구(96)에서 대략 연직방향(Z)으로 이동 가능하다. 다리부(71)가 베이스 플레이트(41)에 대해 이동할 때, 핀 부재(97)는 개구(96)를 따라 대략 연직방향(Z)으로 이동한다. 이와 같이, 핀 안내부(95)와 핀 부재(97)는, 다리부(71)가 이동하는 방향을 대략 연직방향(Z)으로 유지한다.
3.3. 다리부(71)의 이동을 규제하는 구성
도 3, 도 4를 참조한다. 필터 연결 장치(31)는, 다리부용 규제 부재(101)를 구비한다. 다리부용 규제 부재(101)는, 다리부(71)가 베이스 플레이트(41)에 대해 상방으로 이동하는 것을 금지 가능하다.
도 13은 필터 연결 장치(31)의 일부의 확대 측면도이다. 도 14a, 14b는, 필터 연결 장치(31)의 일부의 저면도이다. 다리부용 규제 부재(101)는 대략 직선적인 봉형상을 갖는다. 다리부용 규제 부재(101)의 축심은 대략 수평이다. 구체적으로는, 다리부용 규제 부재(101)의 축심은 폭방향(Y)과 대략 평행하다. 바닥면에서 볼 때, 다리부용 규제 부재(101)는 이동부(51)와 겹치는 위치에 배치된다. 구체적으로는, 조인트축부(57)의 축심(C57)의 방향에서 볼 때, 다리부용 규제 부재(101)의 일부가 이동부(51)와 겹친다.
다리부용 규제 부재(101)는 베이스 플레이트(41)에 지지된다. 구체적으로는, 필터 연결 장치(31)는 배면판(103)과 가이드 핀(105)을 구비한다. 배면판(103)은 베이스 플레이트(41)에 접속된다. 배면판(103)은 베이스 플레이트(41)에 고정된다. 가이드 핀(105)은 배면판(103)에 접속된다. 가이드 핀(105)의 축심은 대략 수평이다. 구체적으로는, 가이드 핀(105)의 축심은 전후방향(X)과 대략 평행하다. 가이드 핀(105)은 배면판(103)으로부터 전방으로 연장된다. 가이드 핀(105)은 다리부용 규제 부재(101)와 접속한다. 가이드 핀(105)은 다리부용 규제 부재(101)를 관통한다. 가이드 핀(105)은 다리부용 규제 부재(101)를 지지한다. 가이드 핀(105)은 다리부용 규제 부재(101)를 전후방향(X)으로 안내한다. 이에 따라, 다리부용 규제 부재(101)는 가이드 핀(105)(베이스 플레이트(41))에 대해 전후방향(X)으로 이동 가능하다. 가이드 핀(105)은, 다리부용 규제 부재(101)가 이동하는 방향을 대략 전후방향(X)으로 유지한다.
다리부용 규제 부재(101)가 대략 수평방향(구체적으로는, 전후방향(X))으로 이동함으로써, 다리부용 규제 부재(101)는 금지 위치와 허용 위치로 이동한다. 도 13은, 허용 위치에 있는 다리부용 규제 부재(101)를 실선으로 나타낸다. 도 13은, 금지 위치에 있는 다리부용 규제 부재(101)를 일점 쇄선으로 나타낸다. 도 14a는, 금지 위치에 있는 다리부용 규제 부재(101)를 나타낸다. 도 14b는, 허용 위치에 있는 다리부용 규제 부재(101)를 나타낸다. 또한 도 14a에서는, 이동부(51)는 제1 위치(P1) 및 제2 위치(P2) 이외의 위치에 있다. 도 14b에서는, 이동부(51)는 제2 위치(P2)에 있다.
금지 위치는 허용 위치보다 전방이다. 금지 위치는 허용 위치와 대략 동일한 높이 위치이다. 다리부용 규제 부재(101)가 금지 위치와 허용 위치의 사이에서 이동하는 방향은 대략 전후방향(X)이다. 또한 전후방향(X)은, 조인트축부(57)의 경방향에 상당한다. 조인트축부(57)의 경방향이란, 조인트축부(57)의 축심(C57)과 직교하는 방향이다.
도 13을 참조한다. 다리부(71)는 절결(74)을 갖는다. 다리부용 규제 부재(101)가 금지 위치에 있을 때, 다리부용 규제 부재(101)는 절결(74) 내에 위치한다. 이 때문에, 다리부용 규제 부재(101)가 금지 위치에 있을 때, 다리부(71)가 상방으로 이동하는 것을 다리부용 규제 부재(101)는 금지한다. 구체적으로는, 다리부용 규제 부재(101)가 다리부(71)와 접촉함으로써, 다리부(71)가 베이스 플레이트(41)에 대해 상방으로 이동하는 것을 다리부용 규제 부재(101)는 금지한다. 이에 따라, 다리부(71)가 필터 지지부(111)를 조인트 부재(33~35)를 향해 이동시키는 것을 다리부용 규제 부재(101)는 금지한다. 다리부용 규제 부재(101)가 허용 위치에 있을 때, 다리부용 규제 부재(101)는 절결(74) 바깥에 위치한다. 이 때문에, 다리부용 규제 부재(101)가 허용 위치에 있을 때, 다리부(71)가 상방으로 이동하는 것을 다리부용 규제 부재(101)는 허용한다. 구체적으로는, 다리부용 규제 부재(101)가 다리부(71)와 접촉하지 않으므로, 다리부(71)는 베이스 플레이트(41)에 대해 상방으로 이동 가능하다. 이에 따라, 다리부(71)가 필터 지지부(111)를 조인트 부재(33~35)를 향해 이동시키는 것을 다리부용 규제 부재(101)는 허용한다.
도 13, 14a, 14b를 참조한다. 필터 연결 장치(31)는 탄성 부재(107)를 구비한다. 탄성 부재(107)는 다리부용 규제 부재(101)와 접촉한다. 탄성 부재(107)는, 다리부용 규제 부재(101)를 허용 위치로부터 금지 위치를 향해 다리부용 규제 부재(101)를 가압한다. 구체적으로는 탄성 부재(107)는, 다리부용 규제 부재(101)를 전방으로 가압한다. 환언하면, 탄성 부재(107)는 허용 위치로부터 금지 위치로 향하는 방향의 탄성력을 다리부용 규제 부재(101)에 부여한다. 탄성력의 방향은 전방이다.
탄성 부재(107)는 배면판(103)에 접촉하는 제1 단부를 갖는다. 탄성 부재(107)의 제1 단부는, 베이스 플레이트(41)에 대해 일정한 위치에 유지된다. 탄성 부재(107)는, 다리부용 규제 부재(101)에 접촉하는 제2 단부를 갖는다. 탄성 부재(107)의 제2 단부는, 다리부용 규제 부재(101)의 이동에 따라 이동한다. 다리부용 규제 부재(101)가 이동할 때, 탄성 부재(107)의 제2 단부가 다리부용 규제 부재(101)와 접촉한 상태는 유지된다. 탄성 부재(107)는, 배면판(103)(베이스 플레이트(41))에 대해 다리부용 규제 부재(101)를 전방으로 가압한다. 탄성 부재(107)는 예를 들면 판스프링이다.
도 14a, 14b를 참조한다. 배치 전환부(40)는 제1 접촉부(108)와 제2 접촉부(109)를 갖는다. 제1 접촉부(108) 및 제2 접촉부(109)는 이동부(51)에 접속된다. 제1 접촉부(108) 및 제2 접촉부(109)는 이동부(51)에 고정된다. 제1 접촉부(108) 및 제2 접촉부(109)는 이동부(51)와 일체로 이동한다.
이동부(51)가 제1 위치(P1)에 있을 때, 제1 접촉부(108)는 다리부용 규제 부재(101)와 접촉하고, 제1 접촉부(108)는, 탄성 부재(107)의 탄성력에 저항하여, 다리부용 규제 부재(101)를 허용 위치에 위치시킨다. 이동부(51)가 제1 위치(P1)에 있을 때, 제2 접촉부(109)는 다리부용 규제 부재(101)로부터 떨어진 위치에 있다.
도 14b를 참조한다. 이동부(51)가 제2 위치(P2)에 있을 때, 제2 접촉부(109)는 다리부용 규제 부재(101)와 접촉하고, 제2 접촉부(109)는, 탄성 부재(107)의 탄성력에 저항하여, 다리부용 규제 부재(101)를 허용 위치에 위치시킨다. 이동부(51)가 제2 위치(P2)에 있을 때, 제1 접촉부(108)는 다리부용 규제 부재(101)로부터 떨어진 위치에 있다.
도 14a를 참조한다. 이동부(51)가 제1 위치(P1) 및 제2 위치(P2) 이외의 위치에 있을 때, 제1 접촉부(108) 및 제2 접촉부(109)는 모두, 다리부용 규제 부재(101)로부터 떨어진 위치에 있다. 이동부(51)가 제1 위치(P1) 및 제2 위치(P2) 이외의 위치에 있을 때, 탄성 부재(107)의 탄성력에 의해, 다리부용 규제 부재(101)는 금지 위치에 있다.
상술한 바와 같이, 이동부(51)가 제1 위치(P1) 및 제2 위치(P2) 중 어느 한쪽에 있을 때, 배치 전환부(40)는 다리부용 규제 부재(101)와 접촉하고, 다리부용 규제 부재(101)를 허용 위치에 위치시킨다. 따라서, 이동부(51)가 제1 위치(P1) 및 제2 위치(P2) 중 어느 한쪽에 있을 때, 다리부(71)가 베이스 플레이트(41)에 대해 상방으로 이동하는 것을 다리부용 규제 부재(101)는 허용한다.
이동부(51)가 제1 위치(P1) 및 제2 위치(P2) 이외의 위치에 있을 때, 배치 전환부(40)는 다리부용 규제 부재(101)로부터 떨어진 위치에 있다. 이동부(51)가 제1 위치(P1) 및 제2 위치(P2) 이외의 위치에 있을 때, 탄성 부재(107)가 다리부용 규제 부재(101)를 금지 위치에 위치시킨다. 따라서, 이동부(51)가 제1 위치(P1) 및 제2 위치(P2) 이외의 위치에 있을 때, 다리부(71)가 베이스 플레이트(41)에 대해 상방으로 이동하는 것을 다리부용 규제 부재(101)는 금지한다.
3.4. 필터 지지부(111)의 구성
도 3, 도 4를 참조한다. 필터 지지부(111)는 필터(21)를 지지한다. 필터 지지부(111)는, 제1 필터(21a) 및 제2 필터(21b)를 지지 가능하다.
필터 연결 장치(31)는 회전축부(121)를 구비한다. 회전축부(121)는 필터 지지부(111)와 접속한다. 회전축부(121)는 필터 지지부(111)를 지지한다. 회전축부(121)의 축심은 대략 수평이다. 구체적으로는, 회전축부(121)의 축심은, 폭방향(Y)과 대략 평행하다.
다리부(71)는 개구(75)를 갖는다. 개구(75)에는 회전축부(121)가 배치된다. 다리부(71)는 회전축부(121)를 지지한다. 다리부(71)는 회전축부(121)를 통해 필터 지지부(111)를 지지한다. 필터 지지부(111)는 다리부(71)의 내측에 배치된다. 환언하면, 다리부(71)는 필터 지지부(111)보다 폭방향(Y)의 바깥쪽에 배치된다. 필터 지지부(111)는 조인트 부재(33~35)의 하방에 배치된다.
개구(75)는 장공이다. 회전축부(121)는 개구(75)에서 이동 가능하다. 필터 지지부(111)는, 회전축부(121)와 일체로 이동 가능하다.
도 4를 참조한다. 개구(75)는, 세로 슬롯(76)과 제1 가로 슬롯(77a)과 제2 가로 슬롯(77b)과 제3 가로 슬롯(77c)과 제1 위치 결정 슬롯(78a)과 제2 위치 결정 슬롯(78b)을 갖는다. 세로 슬롯(76)은 대략 연직방향(Z)으로 연장된다. 세로 슬롯(76)은, 제1 가로 슬롯(77a)과 제2 가로 슬롯(77b)과 제3 가로 슬롯(77c)에 접속된다. 제1 가로 슬롯(77a)과 제2 가로 슬롯(77b)과 제3 가로 슬롯(77c)은 각각, 세로 슬롯(76)으로부터 후방으로 연장된다. 제1 가로 슬롯(77a)은 제2 가로 슬롯(77b)의 하방에 배치된다. 제2 가로 슬롯(77b)은 제3 가로 슬롯(77c)의 하방에 배치된다. 제1 위치 결정 슬롯(78a)은 제1 가로 슬롯(77a)에 접속된다. 제1 위치 결정 슬롯(78a)은 제1 가로 슬롯(77a)으로부터 하방으로 연장된다. 제2 위치 결정 슬롯(78b)은 제2 가로 슬롯(77b)에 접속된다. 제2 위치 결정 슬롯(78b)은 제2 가로 슬롯(77b)으로부터 하방으로 연장된다.
도 15a, 15b, 15c는, 필터 지지부(111)가 회전하는 동작을 설명하는 도면이다. 도 15a~15c는, 다리부(71)의 내측에서 본 필터 연결 장치(31)의 도면이다. 도시하는 바와 같이, 필터 지지부(111)는 회전축부(121) 둘레로 회전 가능하다. 필터 지지부(111)는 다리부(71)에 대해 회전 가능하다. 필터 지지부(111)가 회전축부(121) 둘레로 회전함으로써, 필터 지지부(111)는 제1 자세와 제2 자세를 취한다. 도 15a는, 제1 자세의 필터 지지부(111)를 나타낸다. 도 15c는, 제2 자세의 필터 지지부(111)를 나타낸다.
도 16은, 필터 지지부(111)의 사시도이다. 도 17은, 필터 지지부(111)의 측면도이다. 보다 엄밀하게는 도 17은, 회전축부(121)의 축심의 방향에서 본 필터 지지부(111)의 도면이다. 필터 지지부(111)는, 제1 필터 지지부(113)를 갖는다. 제1 필터 지지부(113)는 마루부(114)를 갖는다. 마루부(114)는 재치면(114a)을 갖는다. 재치면(114a)은 평탄하다. 제1 필터 지지부(113)는, 개구(115)와 돌기부(116)를 갖는다. 개구(115)는 마루부(114)에 형성된다. 돌기부(116)는 마루부(114)로부터 돌출된다. 구체적으로는, 돌기부(116)는 마루부(114)로부터 상방으로 돌출된다.
필터 지지부(111)는 제2 필터 지지부(117)를 갖는다. 제2 필터 지지부(117)는, 한 쌍의 유지 아암부(118)를 갖는다. 한 쌍의 유지 아암부(118)는, 폭방향(Y)으로 간격을 두고 배치된다. 유지 아암부(118)는 폭이 좁은 판형상을 갖는다. 유지 아암부(118)는 직선적으로 연장된다. 유지 아암부(118)는 마루부(114)에 접속된다. 유지 아암부(118)는 마루부(114)에 접속되는 기단부(118a)를 갖는다. 유지 아암부(118)는 재치면(114a)에 대해 대략 수직인 방향으로 연장된다.
필터 지지부(111)는 개구(119)를 갖는다. 개구(119)는 유지 아암부(118)의 기단부(118a)의 근방에 배치된다. 개구(119)는 마루부(114)와 유지 아암부(118)의 접합 부위의 근방에 배치된다. 개구(119)에는 회전축부(121)가 배치된다. 회전축부(121)는 유지 아암부(118)의 기단부(118a)의 근방에 접속된다.
도 18은, 필터 지지부(111)와 제1 필터(21a)의 측면도이다. 필터 지지부(111)는 제1 자세이다. 재치면(114a)은 대략 수평이다. 제1 필터(21a)는 재치면(114a) 상에 재치된다. 재치면(114a)은 제1 필터(21a)의 하우징(26a)의 바닥부와 접촉한다. 이와 같이, 마루부(114)는 제1 필터(21a)를 지지한다.
하우징(26a)이 바닥부로부터 하방으로 돌출되는 돌기부(26a1)를 갖는 경우, 돌기부(26a1)는 개구(115)에 배치된다. 이에 따라, 제1 필터(21a)가 필터 지지부(111)에 대해 수평방향으로 이동하는 것이 규제된다. 또한, 제1 필터(21a)가 필터 지지부(111)에 대해 회전하는 것이 규제된다.
돌기부(116)는 하우징(26a)의 측부와 접촉한다. 이에 따라, 제1 필터(21a)가 필터 지지부(111)에 대해 수평방향으로 이동하는 것이 규제된다. 또한, 제1 필터(21a)가 필터 지지부(111)에 대해 회전하는 것이 규제된다.
유지 아암부(118)는 마루부(114)로부터 상방으로 연장된다. 유지 아암부(118)는 제1 필터(21a)로부터 떨어진 위치에 있다. 구체적으로는, 유지 아암부(118)는 제1 필터(21a)보다 후방에 위치한다.
이와 같이, 필터 지지부(111)가 제1 자세일 때, 제1 필터 지지부(113)는 제1 필터(21a)와 접촉한다. 필터 지지부(111)가 제1 자세일 때, 제1 필터 지지부(113)는 제1 필터(21a)를 지지한다. 필터 지지부(111)가 제1 자세일 때, 제2 필터 지지부(117)는 제1 필터(21a)로부터 떨어진 위치에 있다.
도 19는, 필터 지지부와 제2 필터의 측면도이다. 필터 지지부(111)는 제2 자세이다. 재치면(114a)은 대략 연직이다. 마루부(114)는 제2 필터(21b)로부터 떨어진 위치에 있다. 구체적으로는, 마루부(114)는 제2 필터(21b)보다 후방에 위치한다. 유지 아암부(118)는 마루부(114)로부터 대략 수평방향으로 연장된다. 구체적으로는, 유지 아암부(118)는 마루부(114)로부터 전방으로 연장된다. 유지 아암부(118)는 제2 필터(21b)의 하우징(26b)의 측부와 접촉한다. 구체적으로는, 유지 아암부(118)는 플랜지부(26b2)(홈부(26b3))와 접촉한다. 이에 따라, 유지 아암부(118)는 제2 필터(21b)를 유지한다. 제2 필터(21b)가 필터 지지부(111)에 대해 이동하는 것을 유지 아암부(118)는 규제한다. 또한, 제2 필터(21b)가 필터 지지부(111)에 대해 회전하는 것을 유지 아암부(118)는 규제한다.
이와 같이, 필터 지지부(111)가 제2 자세일 때, 제2 필터 지지부(117)는 제2 필터(21b)와 접촉한다. 필터 지지부(111)가 제2 자세일 때, 제2 필터 지지부(117)는 제2 필터(21b)를 지지한다. 필터 지지부(111)가 제2 자세일 때, 제1 필터 지지부(113)는 제2 필터(21b)로부터 떨어진 위치에 있다.
3.5. 필터 지지부(111)를 유지하기 위한 구성
도 16, 도 17을 참조한다. 필터 연결 장치(31)는 훅 부재(123)를 구비한다. 훅 부재(123)는 유지 아암부(118)에 접속된다. 훅 부재(123)는 유지 아암부(118)의 선단부(118b)의 근방에 접속된다. 훅 부재(123)는 유지 아암부(118)의 선단부(118b)로부터 기단부(118a)를 향해 연장되어 있다. 훅 부재(123)와 유지 아암부(118)는, 그 사이에 간극(124)을 획정한다. 회전축부(121)의 축심의 방향에서 필터 지지부(111)를 보았을 때, 간극(124)은 시인(視認) 가능하다(도 17 참조). 간극(124)은 개방되어 있다.
구체적으로는 훅 부재(123)는, 제1면(123a)과 제2면(123b)과 제3면(123c)과 제4면(123d)을 갖는다. 제1면(123a)과 제2면(123b)은 각각, 유지 아암부(118)와 마주 본다. 제1면(123a)과 제2면(123b)은 제1 자세에서 대략 연직이다. 제1면(123a)과 제2면(123b)은 제2 자세에서 대략 수평이다. 제1면(123a)과 유지 아암부(118)의 간격은, 제2면(123b)과 유지 아암부(118)의 간격보다 작다. 제3면(123c)과 제4면(123d)은 각각 제2면(123b)에 접속된다. 제3면(123c)과 제4면(123d)은 제2면(123b)에 대해 대략 수직이다. 제3면(123c)과 제4면(123d)은 서로 마주 본다. 제3면(123c)과 제4면(123d)은 제1 자세에서 대략 수평이다. 제3면(123c)과 제4면(123d)은 제2 자세에서 대략 연직이다. 이와 같이, 제1면(123a)과 제2면(123b)과 제3면(123c)과 제4면(123d)은 서로 다르다. 환언하면, 제1면(123a)과 제2면(123b)과 제3면(123c)과 제4면(123d) 모두, 제1면(123a)과 제2면(123b)과 제3면(123c)과 제4면(123d) 중 다른 하나와 동일 평면상에 위치하지 않는다.
도 20a, 20b, 20c는, 필터 지지부(111)를 제1 자세로 유지하는 기구를 설명하는 도면이다. 도 20a~20c는, 다리부(71)의 내측에서 본 필터 연결 장치(31)의 도면이다. 필터 연결 장치(31)는 제1 회전 규제부(125a, 125b)를 구비한다. 제1 회전 규제부(125a, 125b)는 다리부(71)에 접속된다. 제1 회전 규제부(125a, 125b)는 다리부(71)에 고정된다. 제1 회전 규제부(125a, 125b)는 대략 연직인 판형상을 갖는다. 제1 회전 규제부(125a)는 제1 회전 규제부(125b)의 하방에 배치된다.
도 20a, 20b를 참조한다. 필터 지지부(111)가 제1 자세인 상태로, 회전축부(121)가 제1 가로 슬롯(77a) 내에서 후방으로 이동한다. 이에 따라, 훅 부재(123)는 제1 회전 규제부(125a)의 상방에 위치한다.
도 20b, 20c를 참조한다. 필터 지지부(111)가 제1 자세인 상태로, 회전축부(121)가 제1 위치 결정 슬롯(78a) 내에서 하방으로 이동한다. 이에 따라, 간극(124)에 제1 회전 규제부(125a)의 상단부가 배치된다. 제1 회전 규제부(125a)는 훅 부재(123)와 접촉한다. 보다 구체적으로는, 제1 회전 규제부(125a)의 배면이 제1면(123a)과 접촉한다. 이에 따라, 필터 지지부(111)가 다리부(71)에 대해 회전축부(121) 둘레로 회전하는 것이 규제된다. 즉, 필터 지지부(111)는 제1 자세로 유지된다.
또한 제1 회전 규제부(125a)는 유지 아암부(118)와 접촉한다. 제1 회전 규제부(125a)의 전면이 유지 아암부(118)와 접촉한다. 이에 따라, 필터 지지부(111)는 제1 자세로 한층 확실하게 유지된다.
이와 같이, 회전축부(121)가 제1 위치 결정 슬롯(78a)에 위치할 때, 훅 부재(123)와 제1 회전 규제부(125a)는 필터 지지부(111)를 제1 자세로 유지한다. 동일하게, 회전축부(121)가 제2 위치 결정 슬롯(78b)에 위치할 때, 훅 부재(123)와 제1 회전 규제부(125b)는 필터 지지부(111)를 제1 자세로 유지한다.
또한 회전축부(121)가 제1 위치 결정 슬롯(78a)에 위치할 때, 필터 지지부(111)가 다리부(71)에 대해 전후방향(X)으로 이동하는 것을 제1 위치 결정 슬롯(78a)은 규제한다. 동일하게, 회전축부(121)가 제2 위치 결정 슬롯(78b)에 위치할 때, 필터 지지부(111)가 다리부(71)에 대해 전후방향(X)으로 이동하는 것을 제2 위치 결정 슬롯(78b)은 규제한다. 이와 같이, 제1 위치 결정 슬롯(78a) 및 제2 위치 결정 슬롯(78b)은, 전후방향(X)에서의 필터 지지부(111)의 위치를 일정하게 유지한다.
도 21a, 21b, 21c는, 필터 지지부(111)를 제2 자세로 유지하는 기구를 설명하는 도면이다. 도 21a~21c는, 다리부(71)의 내측에서 본 필터 연결 장치(31)의 도면이다.
필터 연결 장치(31)는 제2 회전 규제부(127)를 구비한다. 제2 회전 규제부(127)는 다리부(71)에 접속된다. 제2 회전 규제부(127)는 다리부(71)에 고정된다. 제2 회전 규제부(127)는 돌출편 형상을 갖는다. 제2 회전 규제부(127)는 대략 폭방향(Y)으로 돌출된다.
도 21a를 참조한다. 필터 지지부(111)가 제2 자세인 상태로 회전축부(121)가 세로 슬롯(76)을 상방으로 이동시킨다. 이에 따라, 훅 부재(123)는 제2 회전 규제부(127)의 전방에 도달한다.
도 21a, 21b를 참조한다. 필터 지지부(111)가 제2 자세인 상태로 회전축부(121)가 제3 가로 슬롯(77c) 내에서 후방으로 이동한다. 이에 따라, 제2 회전 규제부(127)가 간극(124)에 배치된다.
도 21b, 21c를 참조한다. 필터 지지부(111)가 제2 자세인 상태로 회전축부(121)가 제3 가로 슬롯(77c) 내에서 하방으로 이동한다. 이에 따라, 회전축부(121)는 제3 가로 슬롯(77c)의 하측 가장자리부와 접촉한다. 제2 회전 규제부(127)는 훅 부재(123)와 접촉한다. 보다 구체적으로는, 제2 회전 규제부(127)가 제2면(123b)과 접촉한다. 환언하면, 훅 부재(123)는 제2 회전 규제부(127)의 상부와 접촉한다. 이에 따라, 필터 지지부(111)가 다리부(71)에 대해 회전축부(121) 둘레로 회전하는 것이 규제된다. 즉, 필터 지지부(111)는 제2 자세로 유지된다.
또한, 제2 회전 규제부(127)는 제3면(123c) 및 제4면(123d)과 접촉한다. 환언하면, 훅 부재(123)는 제2 회전 규제부(127)의 측부(보다 구체적으로는, 전부 및 후부)와 접촉한다. 이에 따라, 필터 지지부(111)가 대략 수평방향(보다 구체적으로는 전후방향(X))으로 이동하는 것이 규제된다.
제2면(123b)과 제3면(123c)과 제4면(123d) 중 하나는, 본 발명에서의 제1면의 예이다. 제2면(123b)과 제3면(123c)과 제4면(123d) 중 다른 하나는, 본 발명에서의 제2면의 예이다.
이와 같이, 회전축부(121)가 제3 가로 슬롯(77c)에 위치할 때, 훅 부재(123)와 제2 회전 규제부(127)는 필터 지지부(111)를 제2 자세로 유지한다. 또한, 훅 부재(123)와 제2 회전 규제부(127)는 전후방향(X)에서의 필터 지지부(111)의 위치를 일정하게 유지한다.
3.6. 필터용 규제부의 구성
도 21a, 21b, 21c를 참조한다. 필터 연결 장치(31)는 필터용 규제부(131)를 구비한다. 필터용 규제부(131)는 다리부(71)에 접속된다. 필터용 규제부(131)는 다리부(71)에 고정된다. 필터용 규제부(131)는 돌출편 형상을 갖는다. 필터용 규제부(131)는 대략 수평방향으로 돌출된다. 필터용 규제부(131)는, 필터 지지부(111)에 지지되는 필터(21)의 상방의 위치까지 연장된다.
가령, 필터(21)가 다리부(71)에 대해 상방으로 이동한 경우에는, 필터용 규제부(131)는 필터(21)와 접촉한다. 이에 따라, 필터용 규제부(131)는, 필터(21)가 다리부(71)에 대해 더욱 상방으로 이동하는 것을 규제한다.
3.7. 필터 연결 장치(31)와 필터(21)를 착탈하는 동작
다음으로, 제1 필터(21a)를 필터 연결 장치(31)에 착탈하는 동작예와, 제2 필터(21b)를 필터 연결 장치(31)에 착탈하는 동작예를 설명한다. 이하의 동작예는, 기본적으로 유저의 수작업에 의해 행해진다.
3.7.1. 필터 연결 장치(31)에 제1 필터(21a)를 연결하는 동작
도 22a, 22b, 22c는 제1 필터(21a)를 필터 연결 장치(31)에 착탈할 때의 순서를 설명하는 도면이다.
도 22a를 참조한다. 유저는, 필터 지지부(111) 및 회전축부(121)를 움직인다. 이에 따라, 필터 지지부(111)를 제1 자세로 만들고, 회전축부(121)를 제2 위치 결정 슬롯(78b)에 위치시키고, 훅 부재(123)를 제1 회전 규제부(125b)에 접촉시킨다. 이어서 유저는, 마루부(114)에 제1 필터(21a)를 놓는다. 이에 따라, 제1 필터 지지부(113)는 제1 필터(21a)를 지지한다.
도 22b를 참조한다. 유저가 조작부(61)(도시 생략)를 조작함으로써, 조인트 부재(33~35)는 제1 배치로 배치된다. 이에 따라, 다리부용 규제 부재(101)는 금지 위치로부터 허용 위치로 이동한다.
도 22c를 참조한다. 유저가 레버(85)를 조작함으로써, 다리부(71)는 하방 위치로부터 상방 위치로 이동한다. 이에 따라, 필터 지지부(111) 및 제1 필터(21a)는 다리부(71)와 일체로 상방으로 이동한다. 필터 지지부(111) 및 제1 필터(21a)는 조인트 부재(33~35)에 접근한다. 제1 필터(21a)의 접속구(23a~25a)가 조인트 부재(33~35)와 접속한다. 즉, 필터 연결 장치(31)는 제1 필터(21a)와 연결된다.
도 22a~22c는, 핀 부재(81)를 지나는 연직인 가상선(L)을 나타낸다. 도 22a~22c는, 핀 부재(81)의 축심의 방향에서 본 도면에 상당한다. 핀 부재(81)의 축심의 방향에서 볼 때, 가상선(L)은 제1 필터(21a)의 중앙부와 교차한다.
3.7.2. 필터 연결 장치(31)로부터 제1 필터(21a)를 떼어내는 동작
도 22c, 22b를 참조한다. 유저가 레버(85)를 조작함으로써, 다리부(71)는 상방 위치로부터 하방으로 이동한다. 이에 따라, 필터 지지부(111)는 다리부(71)와 일체로 하방으로 이동한다. 제1 필터(21a)의 접속구(23a~25a)는 조인트 부재(33~35)로부터 떨어진다. 제1 필터(21a)는 필터 지지부(111)에 지지된 상태로 하방으로 이동한다. 환언하면, 필터 지지부(111) 및 제1 필터(21a)는 조인트 부재(33~35)로부터 멀어진다.
도 22b를 참조한다. 다리부(71)가 하방 위치에 도달한다. 그 후, 유저는 필터 지지부(111)로부터 제1 필터(21a)를 빼낸다.
여기서, 다리부(71)가 상방 위치로부터 하방으로 이동할 때, 접속구(23a~25a)는, 제1 필터(21a) 자체의 무게에 의해 조인트 부재(33~35)로부터 떨어진다. 단, 제1 필터(21a) 자체의 무게만으로는, 접속구(23a~25a)가 조인트 부재(33~35)로부터 떨어지지 않는 경우가 있다.
도 23a, 23b, 23c는, 제1 필터(21a)를 필터 연결 장치(31)에 착탈할 때의 순서를 설명하는 도면이다.
도 23a를 참조한다. 다리부(71)는 상방 위치에 있다. 필터(21a)는 필터 지지부(111)에 지지된다. 접속구(23a~25a)는 조인트 부재(33~35)에 접속되어 있다.
도 23b를 참조한다. 다리부(71)는 상방 위치로부터 하방으로 이동한다. 필터 지지부(111)는 다리부(71)와 일체로 하방으로 이동한다. 단, 접속구(23a~25a)는 조인트 부재(33~35)로부터 떨어지지 않는다. 접속구(23a~25a)는 조인트 부재(33~35)와 접속된 상태이다. 필터(21a)는 하방으로 이동하지 않는다. 필터(21a)는 필터 지지부(111)로부터 상방에 떠 있다. 다리부(71)와 필터 지지부(111)만이 조인트 부재(33~35)로부터 멀어진다.
다리부(71)에서 보면, 필터(21a)는 다리부(71)에 대해 상대적으로 변위한다. 필터(21a)는 다리부(71)에 대해 상방으로 변위한다. 필터(21a)는 조인트 부재(33~35)를 향해 다리부(71)에 대해 변위한다.
필터용 규제부(131)는 다리부(71)와 일체로 하방으로 이동한다. 이 때문에, 필터용 규제부(131)는 제1 필터(21a)의 상부와 접촉한다. 또한, 필터용 규제부(131)는 제1 필터(21a)를 하방으로 누른다.
도 23c를 참조한다. 필터용 규제부(131)가 제1 필터(21a)를 하방으로 이동시킴으로써, 필터용 규제부(131)는 접속구(23a~25a)를 조인트 부재(33~35)로부터 떨어지게 한다. 즉, 필터용 규제부(131)는, 제1 필터(21a)를 필터 연결 장치(31)로부터 이탈시킨다. 그 결과, 필터(21a)는 하방으로 이동하여, 필터 지지부(111)에 의해 다시 지지된다. 필터(21a)는, 다리부(71) 및 필터 지지부(111)와 함께 하방으로 이동한다. 다리부(71)가 하방 위치에 도달한 후, 유저는 필터 지지부(111)로부터 제1 필터(21a)를 꺼낸다.
이와 같이, 제1 필터(21a) 자체의 무게만으로는 접속구(23a~25a)가 조인트 부재(33~35)로부터 떨어지지 않는 경우여도, 필터용 규제부(131)는 접속구(23a~25a)를 조인트 부재(33~35)로부터 떨어지게 할 수 있다. 즉, 제1 필터(21a)가 조인트 부재(33~35)를 향해 다리부(71)에 대해 변위하는 것을 필터용 규제부(131)는 규제한다.
3.7.3. 필터 연결 장치(31)에 제2 필터(21b)를 연결하는 동작
도 24a, 24b, 24c는 제2 필터(21b)를 필터 연결 장치(31)에 착탈할 때의 순서를 설명하는 도면이다.
도 24a를 참조한다. 유저가 필터 지지부(111) 및 회전축부(121)를 움직인다. 이에 따라, 필터 지지부(111)를 제2 자세로 만들고, 회전축부(121)를 제3 가로 슬롯(77c)에 위치시키고, 훅 부재(123)를 제2 회전 규제부(127)에 접촉시킨다. 이어서 유저는, 유지 아암부(118)에 제2 필터(21b)를 부착한다. 이에 따라, 제2 필터 지지부(117)는 제2 필터(21b)를 유지한다.
도 24b를 참조한다. 유저가 조작부(61)(도시 생략)를 조작함으로써, 조인트 부재(33~35)는 제2 배치로 배치된다. 이에 따라, 다리부용 규제 부재(101)는 금지 위치로부터 허용 위치로 이동한다.
도 24c를 참조한다. 유저가 레버(85)를 조작함으로써, 다리부(71)는 하방 위치로부터 상방 위치로 이동한다. 이에 따라, 필터 지지부(111) 및 제2 필터(21b)는 다리부(71)와 일체로 상방으로 이동한다. 필터 지지부(111) 및 제2 필터(21b)는 조인트 부재(33~35)를 향해 이동한다. 필터 지지부(111) 및 제2 필터(21b)는 조인트 부재(33~35)에 접근한다. 제2 필터(21b)의 접속구(23b~25b)가 조인트 부재(33~35)와 접속한다. 즉, 필터 연결 장치(31)는 제2 필터(21b)와 연결된다.
도 24a~24c는, 핀 부재(81)를 지나는 연직인 가상선(L)을 나타낸다. 도 24a~24c는, 핀 부재(81)의 축심의 방향에서 본 도면에 상당한다. 핀 부재(81)의 축심의 방향에서 볼 때, 가상선(L)은 제2 필터(21b)의 중앙부와 교차한다.
3.7.4. 필터 연결 장치(31)로부터 제2 필터(21b)를 떼어내는 동작
도 24c, 24b를 참조한다. 유저가 레버(85)를 조작함으로써, 다리부(71)는 상방 위치로부터 하방으로 이동한다. 이에 따라, 필터 지지부(111)는 다리부(71)와 일체로 하방으로 이동한다. 제2 필터(21b)의 접속구(23b~25b)는 조인트 부재(33~35)로부터 떨어진다. 제2 필터(21b)는 필터 지지부(111)에 지지된 상태로 하방으로 이동한다. 환언하면, 필터 지지부(111) 및 제2 필터(21b)는 조인트 부재(33~35)로부터 멀어진다.
여기서, 제2 필터 지지부(117)는 제2 필터(21b)를 유지하므로, 제2 필터(21b)는 필터 지지부(111)에 대해 상방으로 이동 불가능하다. 이 때문에, 다리부(71)가 상방 위치로부터 하방으로 이동할 때, 제2 필터 지지부(117)는, 접속구(23a~25a)를 조인트 부재(33~35)로부터 확실하게 떨어지게 할 수 있다.
도 24b를 참조한다. 다리부(71)가 하방 위치에 도달한다. 그 후, 유저는 필터 지지부(111)로부터 제2 필터(21b)를 떼어낸다.
3.8. 조인트 부재(33, 34, 35)의 제1 단부의 구조
조인트 부재(33)의 제1 단부(33a)의 구조는, 조인트 부재(34, 35)의 제1 단부(34a, 35a)와 대략 동일한 구조를 갖는다. 이하에서는, 조인트 부재(33)의 제1 단부(33a)의 구조를 설명하고, 조인트 부재(34, 35)의 제1 단부(34a, 35a)의 구조의 설명을 생략한다.
도 25a는, 조인트 부재(33)의 제1 단부(33a)의 확대 단면도이다. 도 25b는, 조인트 부재(33)의 제1 단부(33a)의 확대 평면도이다. 도 25b는, 조인트 부재(33)의 축심(C33)의 방향에서 본 조인트 부재(33)의 제1 단부(33a)를 나타낸다. 조인트 부재(33)는, 개구(36)와 유로(37)를 갖는다. 개구(36)는 제1 단부(33a)에 형성된다. 개구(36)는 대략 원형이다. 개구(36)는 유로(37)에 연통한다. 유로(37)는 조인트 부재(33)의 내부에 형성된다. 처리액은 개구(36) 및 유로(37)를 통과한다.
조인트 부재(33)는 평탄 단면(38)을 갖는다. 평탄 단면(38)은 개구(36)의 주위에 형성된다. 평탄 단면(38)은 개구(36)의 외주연(36e)에 접한다. 평탄 단면(38)은 개구(36)의 외주연(36e)으로부터 바깥쪽으로 연장된다. 보다 구체적으로는, 평탄 단면(38)은 조인트 부재(33)의 축심(C33)의 경방향의 바깥쪽으로 연장된다. 평탄 단면(38)은 평탄한 평면이다. 평탄 단면(38)은 조인트 부재(33)의 축심(C33)과 직교하는 평면과 대략 평행하다. 평탄 단면(38)은 조인트 부재(33)의 축심(C33)의 방향에서 볼 때, 환형상을 갖는다.
조인트 부재(33)는 경사 둘레면(39)을 갖는다. 경사 둘레면(39)은 평탄 단면(38)의 주위에 형성된다. 경사 둘레면(39)은 평탄 단면(38)의 외주면(38e)에 접한다. 경사 둘레면(39)은, 평탄 단면(38)의 외주연(38e)으로부터 조인트 부재(33)의 제2 단부(33b)를 향해 연장된다. 경사 둘레면(39)은, 조인트 부재(33)의 제2 단부(33b)를 향해 경방향 바깥쪽으로 경사진다. 환언하면, 경사 둘레면(39)은 평탄 단면(38)을 향해 가늘어진다. 경사 둘레면(39)은, 조인트 부재(33)의 축심(C33)의 방향에서 볼 때, 환형상을 갖는다.
도 26은, 조인트 부재(33)와 접속구(23a)의 접속을 예시하는 단면도이다. 제1 필터(21a)의 접속구(23a)는, 유로(27a)와 시일 부재(28a)를 갖는다. 시일 부재(28a)는 유로(27a)의 주위에 배치된다. 시일 부재(28a)는 평탄한 평면부(28a1)를 갖는다.
제1 단부(33a)의 평탄 단면(38)은 평면부(28a1)과 면접촉한다. 평탄 단면(38)과 평면부(28a1)의 접촉에 의해 면 시일링된다. 이 때문에, 조인트 부재(33)는 접속구(23a)와 알맞게 접속할 수 있다.
도 27은, 조인트 부재(33)와 접속구(23b)의 접속을 예시하는 단면도이다. 제2 필터(21b)의 접속구(23b)는 유로(27b)와 시일 부재(28b)를 갖는다. 시일 부재(28b)는 유로(27b)의 주위에 배치된다. 시일 부재(28b)는 경사진 경사면부(28b1)를 갖는다.
제1 단부(33a)의 경사 둘레면(39)은 경사면부(28b1)와 면접촉한다. 경사 둘레면(39)과 경사면부(28b1)의 접촉에 의해 면 시일링된다. 이 때문에, 조인트 부재(33)는 접속구(23b)와 알맞게 접속할 수 있다.
4. 본 실시형태의 효과
필터 연결 장치(31)는 필터 지지부(111)와 회전축부(121)와 다리부(71)를 구비한다. 이 때문에, 필터 지지부(111)는 알맞게 회전할 수 있다. 필터 지지부(111)는 제1 자세 및 제2 자세를 취할 수 있다.
필터 지지부(111)는 제1 필터 지지부(113)와 제2 필터 지지부(117)를 구비한다. 필터 지지부(111)가 제1 자세일 때, 제1 필터 지지부(113)는 제1 필터(21a)를 지지한다. 필터 지지부(111)가 제2 자세일 때, 제2 필터 지지부(117)는 제2 필터(21b)를 지지한다. 이 때문에, 필터 지지부(111)는 제1 필터(21a)를 적절히 지지할 수 있으며, 또한, 제2 필터(21b)를 적절히 지지할 수 있다.
이와 같이, 필터 연결 장치(31)는, 형상이 서로 다른 2종 이상의 필터(21)와 알맞게 연결할 수 있다. 이 때문에, 형상이 서로 다른 2종 이상의 필터(21)의 사이에서 필터(21)를 용이하게 교환할 수 있다.
필터 지지부(111)가 제1 자세일 때, 제1 필터 지지부(113)는 제1 필터(21a)의 하우징(26b)과 접촉한다. 이 때문에, 제1 필터 지지부(113)는 알맞게 제1 필터(21a)를 지지할 수 있다. 필터 지지부(111)가 제1 자세일 때, 제2 필터 지지부(117)는 제1 필터(21a)와 접촉하지 않는다. 이 때문에, 제1 필터 지지부(113)는 제1 필터(21a)를 한층 알맞게 지지할 수 있다.
동일하게 필터 지지부(111)가 제2 자세일 때, 제2 필터 지지부(117)는 제2 필터(21b)의 하우징(26b)과 접촉한다. 이 때문에, 제2 필터 지지부(117)는 알맞게 제2 필터(21b)를 지지할 수 있다. 필터 지지부(111)가 제2 자세일 때, 제1 필터 지지부(113)는 제2 필터(21b)와 접촉하지 않는다. 이 때문에, 제2 필터 지지부(117)는 제2 필터(21b)를 한층 알맞게 지지할 수 있다.
제1 필터 지지부(113)는 마루부(114)를 갖는다. 마루부(114)는 재치면(114a)을 갖는다. 이 때문에, 제1 필터 지지부(113)는 제1 필터(21a)를 알맞게 지지할 수 있다. 제2 필터 지지부(117)는 유지 아암부(118)를 갖는다. 이 때문에, 제2 필터 지지부(117)는 제2 필터(21b)를 알맞게 지지할 수 있다.
유지 아암부(118)는 재치면(114a)에 대해 대략 수직인 방향으로 연장된다. 이 때문에, 필터 지지부(111)가 약 90도 회전함으로써, 필터 지지부(111)는, 제1 자세와 제2 자세의 사이에서 자세를 바꿀 수 있다. 이와 같이, 필터 지지부(111)는, 비교적 작은 회전량으로, 제1 자세 및 제2 자세를 취할 수 있다.
필터 지지부(111)는 조인트 부재(33~35)의 하방에 배치된다. 이 때문에, 필터 지지부(111)는, 조인트 부재(33~35)의 하방에서, 제1 필터(21a) 및 제2 필터(21b)를 지지할 수 있다.
필터 지지부(111)가 제1 자세일 때, 재치면(114a)은 대략 수평이다. 이 때문에, 제1 필터 지지부(113)는 제1 필터(21a)를 알맞게 지지할 수 있다.
필터 지지부(111)가 제1 자세일 때, 유지 아암부(118)는 대략 연직방향(Z)으로 연장되어 있다. 이 때문에, 제2 필터 지지부(117)는 제1 필터(21a)로부터 떨어진 위치로 용이하게 퇴피할 수 있다.
필터 지지부(111)가 제2 자세일 때, 재치면(114a)은 대략 연직이다. 이 때문에, 제1 필터 지지부(113)는 제2 필터(21b)로부터 떨어진 위치로 용이하게 퇴피할 수 있다.
필터 지지부(111)가 제2 자세일 때, 유지 아암부(118)는 마루부(114)로부터 대략 수평방향으로 연장되어 있다. 이 때문에, 제2 필터 지지부(117)는 제2 필터(21b)를 알맞게 지지할 수 있다.
필터 지지부(111)가 제1 자세일 때, 제1 회전 규제부(125a, 125b)가 훅 부재(123)와 접촉함으로써, 필터 지지부(111)의 회전을 알맞게 규제할 수 있다. 이에 따라, 필터 지지부(111)를 제1 자세로 알맞게 유지할 수 있다.
필터 지지부(111)가 제1 자세일 때, 제1 회전 규제부(125a, 125b)가 유지 아암부(118)와 접촉함으로써, 필터 지지부(111)의 회전을 한층 알맞게 규제할 수 있다. 이에 따라, 필터 지지부(111)를 제1 자세로 한층 알맞게 유지할 수 있다.
필터 지지부(111)가 제2 자세일 때, 제2 회전 규제부(127)가 훅 부재(123)와 접촉함으로써, 필터 지지부(111)의 회전을 알맞게 규제할 수 있다. 이에 따라, 필터 지지부(111)를 제2 자세로 알맞게 유지할 수 있다.
필터 지지부(111)가 제2 자세일 때, 훅 부재(123)가 제2 회전 규제부(127)의 측부와 접촉함으로써, 필터 지지부(111)의 수평 이동을 알맞게 규제할 수 있다. 이에 따라, 필터 지지부(111)가 제2 자세일 때, 필터 지지부(111)의 위치를 일정하게 유지할 수 있다.
필터 지지부(111)가 제2 자세일 때, 제2 회전 규제부(127)는 훅 부재(123)의 제2면(123b)과 제3면(123c)과 제4면(123d)에 접촉한다. 여기서, 제2면(123b)과 제3면(123c)과 제4면(123d)은 서로 다르다. 구체적으로는, 제2면(123b)은 제3면(123c)과 동일 평면상에 없다. 제2면(123b)은 제4면(123d)과 동일 평면상에 없다. 제3면(123c)은 제4면(123d)과 동일 평면상에 없다. 따라서, 필터 지지부(111)가 제2 자세일 때, 필터 지지부(111)의 위치를 일정하게 유지할 수 있다.
회전축부(121)는 유지 아암부(118)의 기단부(118a)에 접속되고, 훅 부재(123)는 유지 아암부(118)의 선단부(118b)에 접속된다. 이 때문에, 회전축부(121)와 훅 부재(123)의 거리를 비교적 길게 할 수 있다. 따라서, 훅 부재(123)는, 필터 지지부(111)가 회전축부(121) 둘레로 회전하는 것을 한층 알맞게 규제할 수 있다.
다리부(71)는 베이스 플레이트(41)에 대해 이동 가능하다. 이 때문에, 다리부(71)는, 필터 지지부(111)를 조인트 부재(33~35)에 용이하게 접근시킬 수 있다. 또한 다리부(71)는, 필터 지지부(111)를 조인트 부재(33~35)로부터 용이하게 멀어지게 할 수 있다.
필터 연결 장치(31)는 배치 전환부(40)를 구비한다. 이 때문에, 복수의 조인트 부재(33~35)를 제1 배치 및 제2 배치로 배치할 수 있다.
조인트 부재(33~35)의 배치가 제1 배치일 때, 조인트 부재(33~35)는 제1 필터(21a)의 접속구(23~25)와 알맞게 접속할 수 있으며, 필터 연결 장치(31)는 제1 필터(21a)와 알맞게 연결할 수 있다.
조인트 부재(33~35)의 배치가 제2 배치일 때, 조인트 부재(33~35)는 제2 필터(21b)의 접속구(23~25)와 알맞게 접속할 수 있으며, 필터 연결 장치(31)는 제2 필터(21b)와 알맞게 연결할 수 있다.
이와 같이, 필터 연결 장치(31)는, 접속구(23~25)의 배치가 서로 다른 제1 필터(21a) 및 제2 필터(21b)와 알맞게 연결할 수 있다. 그 결과, 제1 필터(21a)로부터 제2 필터(21b)로 용이하게 교환할 수 있으며, 제2 필터(21b)로부터 제1 필터(21a)로 용이하게 교환할 수 있다.
필터 지지부(111)는, 제1 필터(21a) 및 제2 필터(21b)를 지지 가능하다. 다리부(71)는, 필터 지지부(111)가 조인트 부재(33~35)에 접근하도록 필터 지지부(111)를 이동시킨다. 이들 필터 지지부(111)와 다리부(71)에 의해, 필터 지지부(111)에 지지되는 필터(21)의 접속구(23~25)를 조인트 부재(33~35)에 알맞게 접속할 수 있다.
조인트 부재(33~35)의 배치가 제1 배치 및 제2 배치 중 어느 하나일 때, 다리부용 규제 부재(101)는 허용 위치에 위치하고, 다리부용 규제 부재(101)는 접속구(23~25)와 조인트 부재(33~35)의 접속을 허용한다. 이에 따라, 다리부용 규제 부재(101)는 적정한 접속을 허용한다. 적정한 접속이란, 제1 배치 및 제2 배치 중 어느 하나로 배치되는 조인트 부재(33~35)에 접속구(23~25)를 접속하는 것이다.
조인트 부재(33~35)의 배치가 제1 배치 및 제2 배치 이외의 배치일 때, 다리부용 규제 부재(101)는 금지 위치에 위치하고, 다리부용 규제 부재(101)는 접속구(23~25)와 조인트 부재(33~35)의 접속을 금지한다. 이에 따라, 다리부용 규제 부재(101)는 오접속을 미연에 방지할 수 있다. 오접속이란, 제1 배치 및 제2 배치 이외의 배치로 배치되는 조인트 부재(33~35)에 접속구(23~25)를 접속하는 것이다.
조인트 부재(33~35)의 배치가 제1 배치 및 제2 배치 중 어느 하나일 때, 배치 전환부(40)는, 탄성 부재(107)의 탄성력에 저항하여 다리부용 규제 부재(101)를 허용 위치에 위치시킨다. 조인트 부재(33~35)의 배치가 제1 배치 및 제2 배치 이외의 배치일 때, 배치 전환부(40)는 다리부용 규제 부재(101)로부터 떨어진 위치에 있으며, 또한, 탄성 부재(107)가 다리부용 규제 부재(101)를 금지 위치에 위치시킨다. 이와 같이, 탄성 부재(107)와 배치 전환부(40)에 의해, 다리부용 규제 부재(101)를 허용 위치 및 금지 위치에 알맞게 위치시킬 수 있다.
이동부(51)는 조인트 부재(33, 34)를 이동시킨다. 이동부(51)가 제1 위치(P1)에 있을 때, 이동부(51)는 조인트 부재(33~35)를 제1 배치로 배치한다. 이동부(51)가 제2 위치(P2)에 있을 때, 이동부(51)는 조인트 부재(33~35)를 제2 배치로 배치한다. 이와 같이, 이동부(51)는, 제1 배치와 제2 배치의 사이에서 조인트 부재(33~35)의 배치를 알맞게 전환할 수 있다.
이동부(51)가 제1 위치(P1)에 있을 때, 제1 접촉부(108)는 다리부용 규제 부재(101)를 허용 위치에 위치시킨다. 따라서, 조인트 부재(33~35)의 배치가 제1 배치일 때, 제1 접촉부(108)는 다리부용 규제 부재(101)를 허용 위치에 알맞게 위치시킬 수 있다.
이동부(51)가 제2 위치(P2)에 있을 때, 제2 접촉부(109)는 다리부용 규제 부재(101)를 허용 위치에 위치시킨다. 따라서, 조인트 부재(33~35)의 배치가 제2 배치일 때, 제2 접촉부(109)는 다리부용 규제 부재(101)를 허용 위치에 알맞게 위치시킬 수 있다.
이동부(51)가 제1 위치(P1) 및 제2 위치(P2) 이외의 위치에 있을 때, 제1 접촉부(108) 및 제2 접촉부(109)는 다리부용 규제 부재(101)로부터 떨어진 위치에 있다. 따라서, 조인트 부재(33~35)의 배치가 제1 배치 및 제2 배치 이외의 배치일 때, 다리부용 규제 부재(101)가 금지 위치에 위치하는 것을 제1 접촉부(108)와 제2 접촉부(109)는 알맞게 허용할 수 있다.
배치 전환부(40)는 조인트축부(57)를 구비하므로, 이동부(51)는 베이스 플레이트(41)에 대해 알맞게 회전할 수 있다. 이에 따라, 이동부(51)는, 제1 배치와 제2 배치의 사이에서 조인트 부재(33~35)의 배치를 알맞게 전환할 수 있다.
다리부용 규제 부재(101)가 금지 위치와 허용 위치의 사이에서 이동하는 방향은, 조인트축부(57)의 경방향이다. 따라서, 제1 접촉부(108)와 제2 접촉부(109)는, 다리부용 규제 부재(101)를 금지 위치로부터 허용 위치로 알맞게 이동할 수 있다.
다리부용 규제 부재(101)는, 조인트축부(57)의 축심(C57)의 방향에서 볼 때, 이동부(51)와 겹치는 위치에 배치된다. 이 때문에, 제1 접촉부(108)와 제2 접촉부(109)는, 다리부용 규제 부재(101)와 용이하게 접촉할 수 있다.
필터 지지부(111)는 조인트 부재(33~35)의 하방에 배치되고, 다리부(71)는 베이스 플레이트(41)에 대해 상방으로 이동 가능하다. 이 때문에, 필터 지지부(111)를 조인트 부재(33~35)에 알맞게 접근시킬 수 있다.
조인트축부(57)의 축심(C57)은 대략 연직이다. 따라서, 이동부(51)는, 조인트 부재(33~35)를 대략 수평방향으로 용이하게 이동할 수 있다.
다리부(71)는 대략 연직방향(Z)으로 이동하고, 다리부용 규제 부재(101)는 대략 수평방향으로 이동한다. 이와 같이, 다리부용 규제 부재(101)는, 다리부(71)가 이동하는 방향에 대해 대략 수직인 방향으로 이동한다. 이 때문에, 허용 위치 및 금지 위치를 서로 가까운 위치에 배치할 수 있다. 따라서, 다리부용 규제 부재(101)는 허용 위치 및 금지 위치로 용이하게 이동할 수 있다.
다리부(71)는 배치 전환부(40)에 지지되므로, 다리부(71)는, 조인트 부재(33~35)를 향해 필터 지지부(111)를 알맞게 이동시킬 수 있다.
필터용 규제부(131)는, 필터 지지부(111)에 지지되는 필터(21)와 접촉 가능하다. 필터(21)가 조인트 부재(33~35)를 향해 다리부(71)에 대해 변위하는 것을 필터용 규제부(131)은 규제한다. 환언하면, 필터(21)가 조인트 부재(33~35)에 접근하도록 필터(21)가 다리부(71)에 대해 이동하는 것을 필터용 규제부(131)는 규제한다. 이 때문에, 필터용 규제부(131)는, 필터(21)의 접속구(23~25)를 조인트 부재(33~35)로부터 적절히 분리할 수 있다.
조인트 부재(33~35)는 평탄 단면(38)과 경사 둘레면(39)을 갖는다. 이 때문에, 조인트 부재(33~35)는, 구조가 서로 다른 접속구(23a~25a) 및 접속구(23b~25b)와 알맞게 접속할 수 있다.
필터 연결 장치(31)는 핀 부재(81)와 레버(85)를 구비하므로, 다리부(71)를 베이스 플레이트(41)에 대해 용이하게 이동할 수 있다.
핀 부재(81)의 축심의 방향에서 볼 때, 핀 부재(81)를 지나는 연직인 가상선(L)은, 필터 지지부(111)에 지지되는 필터(21)의 중앙부와 교차한다. 이 때문에, 핀 부재(81)와 레버(85)는, 다리부(71) 및 필터 지지부(111)의 전체를 밸런스 좋게 대략 연직방향(Z)으로 이동할 수 있다. 따라서, 필터(21)의 전체를 밸런스 좋게 이동할 수 있다. 구체적으로는, 필터(21)가 기울어진 상태로 필터(21)가 상방으로 이동하는 것을 회피할 수 있다. 필터(21)가 기울어진 상태란, 필터(21)의 전부가 필터(21)의 후부에 비해 낮은 상태 등을 말한다. 그 결과, 접속구(23~25)의 모두가 조인트 부재(33~35)와 적절히 접속할 수 있다.
기판 처리 장치(1)는, 상술한 필터 연결 장치(31)를 구비한다. 이 때문에, 따라서, 기판(W)의 종류, 처리액의 종류 또는 처리의 종류에 따라, 필터(21)를 용이하게 선택·교환할 수 있다. 이 때문에, 처리액을 보다 적절히 여과할 수 있다. 따라서, 기판의 처리 품질을 한층 향상시킬 수 있다.
본 발명은, 상기 실시형태에 한정되는 것은 아니며, 하기와 같이 변형 실시할 수 있다.
(1) 상술한 실시형태에서는, 조인트 부재(33~35)가 필터(21)의 접속구(23~25)와 접속하였지만, 이것에 한정되지 않는다. 예를 들면, 1차측 배관(11a)의 일단 및 2차측 배관(11b)의 일단이 직접적으로 접속구(23, 24)에 접속해도 된다. 구체적으로는, 필터 연결 장치(31)는, 1차측 배관(11a)의 일단 및 2차측 배관(11b)의 일단을 지지하는 배치 전환부(40)(베이스 플레이트(41))를 구비해도 된다. 본 변형 실시형태의 경우, 1차측 배관(11a) 및 2차측 배관(11b)의 일단이, 본 발명에서의 접속 포트의 예이다.
(2) 상술한 실시형태에서는, 이동부(51)를 구동하는 동력원을 구비하고 있지 않았지만, 이것에 한정되지 않는다. 즉, 배치 전환부(40)는 이동부(51)를 구동하는 동력원을 구비해도 된다.
(3) 상술한 실시형태에서는, 배치 전환부(40)가 전환 가능한 조인트 부재(33~35)의 배치는, 2개(구체적으로는 제1 배치와 제2 배치)였지만, 이것에 한정되지 않는다. 예를 들면, 배치 전환부가 전환 가능한 배치를 3개 이상으로 변경해도 된다. 즉, 배치 전환부는 3개 이상의 배치의 사이에서, 조인트 부재(33~35)의 배치를 전환해도 된다.
(4) 상술한 실시형태에서는, 이동부(51)가 이동하는 조인트 부재(33~35)의 수는 2개였지만, 이것에 한정되지 않는다. 예를 들면, 이동부(51)가 이동하는 조인트 부재(33~35)의 수는 1개여도 되고, 3개여도 된다.
(5) 상술한 실시형태에서는, 제1 필터 지지부(113)는 필터(21)를 재치함으로써 필터(21)를 지지하였지만, 이것에 한정되지 않는다. 제1 필터 지지부(113)는, 필터(21)를 쥠으로써, 필터(21)를 지지해도 된다.
(6) 상술한 실시형태에서는, 필터(21)의 접속구(23~25)의 배치를 예시하였지만, 이것에 한정되지 않는다. 필터(21)의 접속구(23~25)의 배치를 적절히 변경해도 된다. 필터(21)의 형상, 및 접속구(23~25)의 구조에 대해서도 동일하게 변경해도 된다.
(7) 상술한 실시형태에서는, 제1 필터(21a)가 갖는 접속구의 수는 3개였지만, 이것에 한정되지 않는다. 제1 필터(21a)가 갖는 접속구의 수는 2개 또는 4개 이상이어도 된다. 동일하게, 제2 필터(21b)가 갖는 접속구의 수를 적절히 변경해도 된다. 접속구의 수의 변경에 따라, 필터 연결 장치(31)가 갖는 조인트 부재(33~35)의 수를 변경해도 된다.
(8) 상술한 실시형태에서는, 핀 부재(81)의 축심의 방향에서 볼 때, 가상선(L)은, 필터 지지부(111)에 지지되는 제1 필터(21a)의 중앙부 및 제2 필터(21b)의 중앙부와 교차하였지만, 이것에 한정되지 않는다. 핀 부재(81)의 축심의 방향에서 볼 때, 가상선(L)은, 필터 지지부(111)에 지지되는 제1 필터(21a)의 중앙부 및 제2 필터(21b)의 중앙부 중 어느 하나와 교차해도 된다.
(9) 상술한 실시형태에서는, 필터 지지부(111)가 제2 자세일 때, 제2 회전 규제부(127)는, 훅 부재(123)의 3개의 면(즉, 제2면(123b)과 제3면(123c)과 제4면(123d))에 접촉하였지만, 이것에 한정되지 않는다. 예를 들면, 필터 지지부(111)가 제2 자세일 때, 제2 회전 규제부(127)는, 제2면(123b)과 제3면(123c)과 제4면(123d) 중 어느 2개의 면에 접촉해도 된다. 예를 들면, 필터 지지부(111)가 제2 자세일 때, 제2 회전 규제부(127)는, 훅 부재(123)의 4개 이상의 면에 접촉해도 된다. 이들 변형 실시예에 의해서도, 필터 지지부(111)가 제2 자세일 때, 필터 지지부(111)의 위치를 일정하게 유지할 수 있다.
(10) 상술한 실시형태에서는, 평탄 단면(38)이 접속구(23a)와 접촉하였지만, 이것에 한정되지 않는다. 예를 들면, 평탄 단면(38) 및 경사 둘레면(39) 중 적어도 어느 한쪽이 접속구(23a)와 접촉해도 된다. 상술한 실시형태에서는, 경사 둘레면(39)이 접속구(23b)와 접촉하였지만, 이것에 한정되지 않는다. 예를 들면, 평탄 단면(38) 및 경사 둘레면(39) 중 적어도 어느 한쪽이 접속구(23b)와 접촉해도 된다.
(11) 상술한 실시형태 및 상기 (1) 내지 (10)에서 설명한 각 변형 실시형태에 대해서는, 추가로 각 구성을 다른 변형 실시형태의 구성으로 치환 또는 조합하거나 하여 적절히 변경해도 된다.
본 발명은, 그 사상 또는 본질로부터 벗어나지 않고 다른 구체적인 형태로 실시할 수 있으며 따라서, 발명의 범위를 나타내는 것으로서, 이상의 설명이 아니라, 부가된 클레임을 참조해야 한다.
1 : 기판 처리 장치
11 : 배관
21, 21a, 21b : 필터
23a, 23b, 24a, 24b, 25a, 25b : 접속구
31 : 필터 연결 장치
33, 34, 35 : 조인트 부재(접속 포트)
36 : 조인트 부재의 개구(접속 포트의 개구)
38 : 평탄 단면
39 : 경사 둘레면
40 : 배치 전환부
41 : 베이스 플레이트(베이스부)
51 : 이동부(포트 이동부)
57 : 조인트축부(포트축부)
71 : 다리부
81 : 핀 부재
85 : 레버
101 : 다리부용 규제 부재
107 : 탄성 부재
108 : 제1 접촉부
109 : 제2 접촉부
111 : 필터 지지부
113 : 제1 필터 지지부
114 : 마루부
114a : 재치면
117 : 제2 필터 지지부
118 : 유지 아암부
118a : 기단부
118b : 선단부
121 : 회전축부
123 : 훅 부재
124 : 간극
125a, 125b : 제1 회전 규제부
127 : 제2 회전 규제부
P1 : 이동부의 제1 위치
P2 : 이동부의 제2 위치
L : 핀 부재(81)를 지나는 연직인 가상선
W : 기판

Claims (19)

  1. 형상이 서로 다른 제1 필터 및 제2 필터 중 어느 것과도 연결 가능한 필터 연결 장치로서,
    상기 제1 필터의 접속구 및 상기 제2 필터의 접속구와 접속 가능한 접속 포트와,
    상기 접속 포트를 지지하는 베이스부와,
    상기 제1 필터 및 상기 제2 필터를 지지 가능한 필터 지지부와,
    상기 필터 지지부에 접속되는 회전축부와,
    상기 회전축부를 지지하는 다리부를 구비하며,
    상기 필터 지지부는, 상기 회전축부 둘레로 회전함으로써 제1 자세 및 제2 자세를 취하고,
    상기 필터 지지부는,
    상기 제1 자세에서 상기 제1 필터를 지지하는 제1 필터 지지부와,
    상기 제2 자세에서 상기 제2 필터를 지지하는 제2 필터 지지부를 갖는, 필터 연결 장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 필터 지지부가 상기 제1 자세일 때, 상기 제1 필터 지지부는 상기 제1 필터의 하우징과 접촉하고, 또한, 상기 제2 필터 지지부는 상기 제1 필터로부터 떨어진 위치에 있으며,
    상기 필터 지지부가 상기 제2 자세일 때, 상기 제2 필터 지지부는 상기 제2 필터의 하우징과 접촉하고, 또한, 상기 제1 필터 지지부는 상기 제2 필터로부터 떨어진 위치에 있는, 필터 연결 장치.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 제1 필터 지지부는,
    재치(載置)면을 갖는 마루부를 갖고,
    상기 제2 필터 지지부는,
    상기 마루부에 접속되는 유지 아암부를 가지며,
    상기 필터 지지부가 상기 제1 자세일 때, 상기 재치면은 상기 제1 필터의 하우징의 바닥부와 접촉하고,
    상기 필터 지지부가 상기 제2 자세일 때, 상기 유지 아암부는 상기 제2 필터의 하우징의 측부와 접촉하는, 필터 연결 장치.
  4. 청구항 3에 있어서,
    상기 유지 아암부는 상기 재치면에 대해 대략 수직인 방향으로 연장되는, 필터 연결 장치.
  5. 청구항 3에 있어서,
    상기 필터 지지부는, 상기 접속 포트의 하방에 배치되고,
    상기 회전축부의 축심은 대략 수평이며,
    상기 필터 지지부가 상기 제1 자세일 때, 상기 재치면은 대략 수평이고, 또한, 상기 유지 아암부는 상기 마루부로부터 상방으로 연장되며,
    상기 필터 지지부가 상기 제2 자세일 때, 상기 재치면은 대략 연직이고, 또한, 상기 유지 아암부는 상기 마루부로부터 대략 수평방향으로 연장되는, 필터 연결 장치.
  6. 청구항 3에 있어서,
    상기 필터 연결 장치는,
    상기 유지 아암부에 접속되는 훅 부재와,
    상기 다리부에 접속되는 제1 회전 규제부를 구비하며,
    상기 필터 지지부가 상기 제1 자세일 때, 상기 제1 회전 규제부는, 상기 유지 아암부와 상기 훅 부재의 사이에 형성되는 간극에 배치되고, 또한, 상기 훅 부재와 접촉하는, 필터 연결 장치.
  7. 청구항 6에 있어서,
    상기 필터 연결 장치는,
    상기 다리부에 접속되는 제2 회전 규제부를 구비하며,
    상기 필터 지지부가 상기 제2 자세일 때, 상기 제2 회전 규제부는, 상기 간극에 배치되고, 또한, 상기 훅 부재와 접촉하는, 필터 연결 장치.
  8. 청구항 7에 있어서,
    상기 필터 지지부가 상기 제2 자세일 때, 상기 훅 부재는 상기 제2 회전 규제부의 측부와 접촉하는, 필터 연결 장치.
  9. 청구항 6에 있어서,
    상기 유지 아암부는,
    상기 마루부에 접속되는 기단부를 가지며,
    상기 회전축부는, 상기 유지 아암부의 상기 기단부의 근방에 접속되고,
    상기 훅 부재는, 상기 유지 아암부의 선단부의 근방에 접속되는, 필터 연결 장치.
  10. 청구항 1에 있어서,
    상기 다리부는, 상기 베이스부에 대해 이동 가능하게 상기 베이스부에 지지되는, 필터 연결 장치.
  11. 접속구의 배치가 서로 다른 제1 필터 및 제2 필터 중 어느 것과도 연결 가능한 필터 연결 장치로서,
    상기 제1 필터가 갖는 복수의 접속구 및 상기 제2 필터가 갖는 복수의 접속구와 접속 가능한 복수의 접속 포트와,
    상기 복수의 상기 접속 포트를 지지하고, 또한, 상기 제1 필터의 상기 접속구의 배치에 상당하는 제1 배치와 상기 제2 필터의 상기 접속구의 배치에 상당하는 제2 배치의 사이에서, 상기 접속 포트의 배치를 전환하는 배치 전환부와,
    상기 제1 필터 및 상기 제2 필터를 지지 가능한 필터 지지부와,
    상기 필터 지지부를 지지하고, 상기 필터 지지부를 상기 접속 포트를 향해 이동시키는 다리부와,
    금지 위치와 허용 위치로 이동 가능한 다리부용 규제 부재를 구비하며,
    상기 다리부용 규제 부재가 금지 위치에 있을 때, 상기 다리부가 상기 필터 지지부를 상기 접속 포트를 향해 이동시키는 것을 상기 다리부용 규제 부재는 금지하고,
    상기 다리부용 규제 부재가 허용 위치에 있을 때, 상기 다리부가 상기 필터 지지부를 상기 접속 포트를 향해 이동시키는 것을 상기 다리부용 규제 부재는 허용하며,
    상기 접속 포트의 배치가 상기 제1 배치 및 상기 제2 배치 중 어느 하나일 때, 상기 다리부용 규제 부재는 상기 허용 위치에 위치하고,
    상기 접속 포트의 배치가 상기 제1 배치 및 상기 제2 배치 이외의 배치일 때, 상기 다리부용 규제 부재는 상기 금지 위치에 위치하는, 필터 연결 장치.
  12. 청구항 11에 있어서,
    상기 필터 연결 장치는,
    상기 다리부용 규제 부재에 접촉하고, 상기 허용 위치로부터 상기 금지 위치로 향하는 방향의 탄성력을 상기 다리부용 규제 부재에 부여하는 탄성 부재를 구비하며,
    상기 접속 포트의 배치가 상기 제1 배치 및 상기 제2 배치 중 어느 하나일 때, 상기 배치 전환부는, 상기 다리부용 규제 부재와 접촉하여, 상기 다리부용 규제 부재를 상기 허용 위치에 위치시키고,
    상기 접속 포트의 배치가 상기 제1 배치 및 상기 제2 배치 이외의 배치일 때, 상기 배치 전환부는, 상기 다리부용 규제 부재로부터 떨어진 위치에 있는, 필터 연결 장치.
  13. 청구항 11에 있어서,
    상기 배치 전환부는,
    베이스부와,
    상기 베이스부에 대해 이동 가능하게 상기 베이스부에 지지되고, 상기 접속 포트 중 적어도 어느 하나와 접촉하는 포트 이동부와,
    상기 포트 이동부에 접속되고, 상기 다리부용 규제 부재와 접촉 가능한 제1 접촉부와,
    상기 포트 이동부에 접속되고, 상기 다리부용 규제 부재와 접촉 가능한 제2 접촉부를 구비하며,
    상기 포트 이동부가 제1 위치에 있을 때, 상기 접속 포트의 배치는 상기 제1 배치이며, 상기 제1 접촉부는 상기 다리부용 규제 부재와 접촉하여 상기 다리부용 규제 부재를 상기 허용 위치에 위치시키고, 또한, 상기 제2 접촉부는 상기 다리부용 규제 부재로부터 떨어진 위치에 있으며,
    상기 포트 이동부가 제2 위치에 있을 때, 상기 접속 포트의 배치는 상기 제2 배치이며, 상기 제1 접촉부는 상기 다리부용 규제 부재로부터 떨어진 위치에 있고, 또한, 제2 접촉부는 상기 다리부용 규제 부재와 접촉하여 상기 다리부용 규제 부재를 상기 허용 위치에 위치시키고,
    상기 포트 이동부가 상기 제1 위치 및 상기 제2 위치 이외의 위치에 있을 때, 상기 접속 포트의 배치는 상기 제1 배치 및 상기 제2 배치 이외의 배치이고, 또한, 상기 제1 접촉부 및 상기 제2 접촉부는 각각 상기 다리부용 규제 부재로부터 떨어진 위치에 있는, 필터 연결 장치.
  14. 청구항 13에 있어서,
    상기 배치 전환부는,
    상기 베이스부에 접속되는 포트축부를 구비하고,
    상기 포트 이동부는, 상기 포트축부에 접속되어, 상기 포트축부 둘레로 회전 가능하며,
    상기 다리부용 규제 부재가 상기 금지 위치와 상기 허용 위치의 사이에서 이동하는 방향은, 상기 포트축부의 경방향인, 필터 연결 장치.
  15. 청구항 14에 있어서,
    상기 다리부용 규제 부재는, 상기 포트축부의 축심 방향에서 볼 때 상기 포트 이동부와 겹치는 위치에 배치되는, 필터 연결 장치.
  16. 청구항 14에 있어서,
    상기 필터 지지부는, 상기 접속 포트의 하방에 배치되고,
    상기 다리부는, 상기 베이스부에 대해 상방으로 이동 가능하며,
    상기 포트축부의 축심은 대략 연직이고,
    상기 다리부용 규제 부재는, 상기 베이스부에 대해 대략 수평방향으로 이동함으로써, 상기 금지 위치 및 상기 허용 위치로 이동하는, 필터 연결 장치.
  17. 청구항 11에 있어서,
    상기 다리부는, 상기 배치 전환부에 대해 이동 가능하게 상기 배치 전환부에 지지되는, 필터 연결 장치.
  18. 기판 처리 장치로서,
    형상이 서로 다른 제1 필터 및 제2 필터 중 어느 것과도 연결 가능한 필터 연결 장치를 구비하고,
    상기 필터 연결 장치는,
    상기 제1 필터의 접속구 및 상기 제2 필터의 접속구와 접속 가능한 접속 포트와,
    상기 접속 포트를 지지하는 베이스부와,
    상기 제1 필터 및 상기 제2 필터를 지지 가능한 필터 지지부와,
    상기 필터 지지부에 접속되는 회전축부와,
    상기 회전축부를 지지하는 다리부를 구비하며,
    상기 필터 지지부는, 상기 회전축부 둘레로 회전함으로써 제1 자세 및 제2 자세를 취하고,
    상기 필터 지지부는,
    상기 제1 자세에서 상기 제1 필터를 지지하는 제1 필터 지지부와,
    상기 제2 자세에서 상기 제2 필터를 지지하는 제2 필터 지지부를 갖는, 기판 처리 장치.
  19. 기판 처리 장치로서,
    접속구의 배치가 서로 다른 제1 필터 및 제2 필터 중 어느 것과도 연결 가능한 필터 연결 장치를 구비하고,
    상기 필터 연결 장치는,
    상기 제1 필터가 갖는 복수의 접속구 및 상기 제2 필터가 갖는 복수의 접속구와 접속 가능한 복수의 접속 포트와,
    상기 복수의 상기 접속 포트를 지지하고, 또한, 상기 제1 필터의 상기 접속구의 배치에 상당하는 제1 배치와 상기 제2 필터의 상기 접속구의 배치에 상당하는 제2 배치의 사이에서, 상기 접속 포트의 배치를 전환하는 배치 전환부와,
    상기 제1 필터 및 상기 제2 필터를 지지 가능한 필터 지지부와,
    상기 필터 지지부를 지지하고, 상기 필터 지지부를 상기 접속 포트를 향해 이동시키는 다리부와,
    금지 위치와 허용 위치로 이동 가능한 다리부용 규제 부재를 구비하며,
    상기 다리부용 규제 부재가 금지 위치에 있을 때, 상기 다리부가 상기 필터 지지부를 상기 접속 포트를 향해 이동시키는 것을 상기 다리부용 규제 부재는 금지하고,
    상기 다리부용 규제 부재가 허용 위치에 있을 때, 상기 다리부가 상기 필터 지지부를 상기 접속 포트를 향해 이동시키는 것을 상기 다리부용 규제 부재는 허용하며,
    상기 접속 포트의 배치가 상기 제1 배치 및 상기 제2 배치 중 어느 하나일 때, 상기 다리부용 규제 부재는 상기 허용 위치에 위치하고,
    상기 접속 포트의 배치가 상기 제1 배치 및 상기 제2 배치 이외의 배치일 때, 상기 다리부용 규제 부재는 상기 금지 위치에 위치하는, 기판 처리 장치.
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