CN108630583B - 过滤器连接装置以及具有过滤器连接装置的基板处理装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种过滤器连接装置以及具有该过滤器连接装置的基板处理装置，过滤器连接装置具有接头构件、基座板、过滤器支撑部、旋转轴部以及脚部。基座板支撑接头构件。过滤器支撑部能够支撑第一过滤器以及第二过滤器。旋转轴部与过滤器支撑部连接。脚部支撑旋转轴部。过滤器支撑部通过以旋转轴部为中心旋转，形成第一姿势以及第二姿势。过滤器支撑部具有：第一过滤器支撑部，在过滤器支撑部为第一姿势，该第一过滤器支撑部支撑第一过滤器；第二过滤器支撑部，在过滤器支撑部为第二姿势，该第二过滤器支撑部支撑第二过滤器。

Description

过滤器连接装置以及具有过滤器连接装置的基板处理装置

技术领域

本发明涉及一种与过滤器连接的过滤器连接装置以及具有该过滤器连接装置的基板处理装置。基板处理装置所处理的基板为，半导体晶片、光掩模用的玻璃基板、液晶显示用基板、等离子显示器用基板、有机EL(Electro Luminescence：电致发光)用基板、FED(Field Emission Display：场致发射显示器)用基板、光显示器用基板、磁盘用基板、光盘用基板、光磁盘用基板、太阳能电池用基板等。

背景技术

过滤器对处理液进行过滤。过滤器设置于用于向基板供给处理液的供给管路。过滤器具有过滤器主体与多个连接口。一个连接口例如为用于使处理液流入过滤器主体的入口。另一个连接口例如为用于使处理液从过滤器主体流出的出口。

为了将过滤器简单地设置于供给管路，使用过滤器连接装置。过滤器连接装置具有多个连接端口，所述多个连接端口与多个连接口连接。连接端口以与连接口相同的布局配置。通过将过滤器连接到过滤器连接装置，使多个连接口统一与连接端口连接，从而使过滤器与供给管路连通连接(例如，在日本国特开2003-251110号公报、日本国特开2015-85327号公报以及日本国特开2014-195807号公报中公开)。

但是，在具有这样的结构的以往例子的情况下，存在如下问题。

在以往的过滤器连接装置中，存在如下不良情况，即，不能在形状彼此不同的两种以上的过滤器之间简单地交换过滤器。

以往的过滤器连接装置难以分别适当地支撑形状彼此不同的两种过滤器。因此，需要根据过滤器的形状选择适当的过滤器连接装置，来更换过滤器连接装置。例如，在将与过滤器连接装置连接的第一过滤器交换为第二过滤器的情况下，过滤器连接装置也要更换为其它过滤器连接装置，其中，所述第二过滤器具有与第一过滤器的形状不同的形状。这样，在以往的过滤器连接装置中，不能在形状彼此不同的两种以上的过滤器之间简单地交换过滤器。

在以往的过滤器连接装置中，存在如下不良情况，即，在连接口的配置彼此不同的两种以上的过滤器之间，不能简单地交换过滤器。

以往的过滤器连接装置仅能够与连接口以特定的布局配置的过滤器连接。若过滤器的连接口的配置不同，则适合于过滤器的过滤器连接装置也不同。因此，需要根据连接口的配置选择适当的过滤器连接装置，来更换过滤器连接装置。

例如，第一过滤器具有多个连接口。第二过滤器具有多个连接口。第一过滤器的连接口的配置与第二过滤器的连接口的配置不同。将与过滤器连接装置连接的第一过滤器交换为第二过滤器的情况下，过滤器连接装置也更换为其它过滤器连接装置。这样，在以往的过滤器连接装置中，不能在连接口的配置彼此不同的两种以上的过滤器之间，简单地交换过滤器。

发明内容

本发明是鉴于上述的问题而提出的，其第一目的在于，提供一种能够与形状彼此不同的两种以上的过滤器恰当地连接的过滤器连接装置以及具有该过滤器连接装置的基板处理装置。而且，本发明的第二目的在于，提供一种能够与连接口的配置彼此不同的两种以上的过滤器恰当地连接的过滤器连接装置以及具有该过滤器连接装置的基板处理装置。

本发明为了达到这样的目的，具有如下结构。

即，本发明的过滤器连接装置，能够与形状彼此不同的第一过滤器以及第二过滤器中的任一过滤器连接，所述过滤器连接装置具有：连接端口，能够与所述第一过滤器的连接口以及所述第二过滤器的连接口连接，基座部，支撑所述连接端口，过滤器支撑部，能够支撑所述第一过滤器以及所述第二过滤器，旋转轴部，与所述过滤器支撑部连接，以及脚部，支撑所述旋转轴部；所述过滤器支撑部通过以所述旋转轴部为中心旋转，形成第一姿势以及第二姿势，所述过滤器支撑部具有：第一过滤器支撑部，在所述过滤器支撑部为所述第一姿势时，所述第一过滤器支撑部支撑所述第一过滤器，以及第二过滤器支撑部，在所述过滤器支撑部为所述第二姿势时，所述第二过滤器支撑部支撑所述第二过滤器。

过滤器连接装置具有过滤器支撑部、旋转轴部以及脚部。因此，过滤器支撑部能够恰当地旋转。而且，过滤器支撑部能够形成第一姿势以及第二姿势。

过滤器支撑部具有第一过滤器支撑部与第二过滤器支撑部。当过滤器支撑部为第一姿势时，第一过滤器支撑部支撑第一过滤器。因此，过滤器支撑部能够适当地支撑第一过滤器。当过滤器支撑部为第二姿势时，第二过滤器支撑部支撑第二过滤器。因此，过滤器支撑部能够适当地支撑第二过滤器。在此，第二过滤器所具有的形状与第一过滤器所具有的形状不同。

因而，过滤器连接装置能够与形状彼此不同的两种以上的过滤器恰当地连接。因此，能够在形状不同的两种以上的过滤器之间，容易地交换过滤器。

在上述的发明中，优选当所述过滤器支撑部为所述第一姿势时，所述第一过滤器支撑部与所述第一过滤器的壳体接触，并且所述第二过滤器支撑部处于与所述第一过滤器分离的位置；当所述过滤器支撑部为所述第二姿势时，所述第二过滤器支撑部与所述第二过滤器的壳体接触，并且所述第一过滤器支撑部处于与所述第二过滤器分离的位置。

当过滤器支撑部为第一姿势时，第一过滤器支撑部与第一过滤器的壳体接触。因此，第一过滤器支撑部能够恰当地支撑第一过滤器。当过滤器支撑部为第一姿势时，第二过滤器支撑部不与第一过滤器接触。因此，第一过滤器支撑部能够更恰当地支撑第一过滤器。

同样地，当过滤器支撑部为第二姿势时，第二过滤器支撑部与第二过滤器的壳体接触。因此，第二过滤器支撑部能够恰当地支撑第二过滤器。当过滤器支撑部为第二姿势时，第一过滤器支撑部不与第二过滤器接触。因此，第二过滤器支撑部能够更恰当地支撑第二过滤器。

在上述的发明中，优选所述第一过滤器支撑部具有底板部，所述底板部具有载置面；所述第二过滤器支撑部具有保持臂部，所述保持臂部与所述底板部连接；当所述过滤器支撑部为所述第一姿势时，所述载置面与所述第一过滤器的壳体的底部接触；当所述过滤器支撑部为所述第二姿势时，所述保持臂部与所述第二过滤器的壳体的侧部接触。第一过滤器支撑部具有底板部。底板部具有载置面。因此，第一过滤器支撑部能够恰当地支撑第一过滤器。第二过滤器支撑部具有保持臂部。因此，第二过滤器支撑部能够恰当地支撑第二过滤器。

在上述的发明中，优选所述保持臂部沿着与所述载置面大致垂直的方向延伸。这样，过滤器支撑部能够通过旋转大约90度，来从第一姿势变为第二姿势。而且，过滤器支撑部能够通过旋转大约90度，来从第二姿势变为第一姿势。这样，过滤器支撑部能够以比较小的旋转量形成第一姿势以及第二姿势。

在上述的发明中，优选所述过滤器支撑部配置于所述连接端口的下方，所述旋转轴部的轴心为大致水平方向，当所述过滤器支撑部为所述第一姿势时，所述载置面为大致水平方向，并且所述保持臂部从所述底板部向上方延伸，当所述过滤器支撑部为所述第二姿势时，所述载置面为大致铅垂方向，并且所述保持臂部从所述底板部沿着大致水平方向延伸。过滤器支撑部配置于连接端口的下方。因此，过滤器支撑部能够在连接端口的下方支撑第一过滤器以及第二过滤器。当过滤器支撑部为第一姿势时，载置面为大致水平方向。因此，第一过滤器支撑部能够恰当地支撑第一过滤器。当过滤器支撑部为第一姿势时，保持臂部向上方延伸。因此，第二过滤器支撑部能够恰当地退避至与第一过滤器分离的位置。当过滤器支撑部为第二姿势时，载置面为大致铅垂方向。因此，第一过滤器支撑部能够恰当地退避至与第二过滤器分离的位置。当过滤器支撑部为第二姿势时，保持臂部从底板部沿着大致水平方向延伸。因此，第二过滤器支撑部能够恰当地支撑第二过滤器。

在上述的发明中，优选所述过滤器连接装置具有：钩挂构件，与所述保持臂部连接，以及第一旋转限制部，与所述脚部连接；当所述过滤器支撑部为所述第一姿势时，所述第一旋转限制部配置于在所述保持臂部与所述钩挂构件之间形成的间隙，并且与所述钩挂构件接触。过滤器连接装置具有钩挂构件与第一旋转限制部。当过滤器支撑部为第一姿势时，第一旋转限制部与钩挂构件接触。由此，能够恰当地限制过滤器支撑部以旋转轴部为中心旋转。即，能够将过滤器支撑部恰当地维持为第一姿势。

在上述的发明中，优选所述过滤器连接装置具有第二旋转限制部，所述第二旋转限制部与所述脚部连接；当所述过滤器支撑部为所述第二姿势时，所述第二旋转限制部配置于所述间隙，并且与所述钩挂构件接触。过滤器连接装置具有第二旋转限制部。当过滤器支撑部为第二姿势时，第二旋转限制部与钩挂构件接触。由此，能够恰当地限制过滤器支撑部以旋转轴部为中心旋转。即，能够将过滤器支撑部恰当地维持为第二姿势。

在上述的发明中，优选当所述过滤器支撑部为所述第二姿势时，所述钩挂构件与所述第二旋转限制部的侧部接触。这样，能够限制过滤器支撑部沿着大致水平方向移动。因而，当过滤器支撑部为第二姿势时，能够将过滤器支撑部的位置维持恒定。

在上述的发明中，优选所述保持臂部具有基端部，所述基端部与所述底板部连接，所述旋转轴部连接于所述保持臂部的所述基端部的附近，所述钩挂构件连接于所述保持臂部的顶端部的附近。钩挂构件与旋转轴部之间的距离比较长。因此，钩挂构件能够更恰当地限制过滤器支撑部以旋转轴部为中心旋转。

在上述的发明中，优选所述脚部被所述基座部支撑为能够相对于所述基座部移动。脚部能够相对于基座部移动，因此脚部能够恰当地使过滤器支撑部相对于连接端口移动。而且，脚部支撑于基座部，因此脚部能够更恰当地使过滤器支撑部相对于连接端口移动。

本发明的过滤器连接装置，能够与连接口的配置彼此不同的第一过滤器以及第二过滤器中的任一过滤器连接，其中，所述过滤器连接装置具有：多个连接端口，能够与所述第一过滤器所具有的多个连接口以及所述第二过滤器所具有的多个连接口连接，配置切换部，支撑多个所述连接端口，并且在第一配置与第二配置之间切换所述连接端口的配置，所述第一配置相当于所述第一过滤器的所述连接口的配置，所述第二配置相当于所述第二过滤器的所述连接口的配置，过滤器支撑部，能够支撑所述第一过滤器以及所述第二过滤器，脚部，支撑所述过滤器支撑部，使所述过滤器支撑部朝向所述连接端口移动，以及脚部用限制构件，能够移动至禁止位置和允许位置；当所述脚部用限制构件处于禁止位置时，所述脚部用限制构件禁止所述脚部使所述过滤器支撑部朝向所述连接端口移动，当所述脚部用限制构件处于允许位置时，所述脚部用限制构件允许所述脚部使所述过滤器支撑部朝向所述连接端口移动，当所述连接端口的配置为所述第一配置以及所述第二配置中的任一配置时，所述脚部用限制构件位于所述允许位置，当所述连接端口的配置为除了所述第一配置以及所述第二配置之外的配置时，所述脚部用限制构件位于所述禁止位置。

第一过滤器具有多个连接口。第二过滤器具有多个连接口。第一过滤器的连接口的配置与第二过滤器的连接口的配置不同。

过滤器连接装置具有配置切换部。因此，能够使多个连接端口以第一配置以及第二配置配置。在连接端口的配置为第一配置时，连接端口能够恰当地与第一过滤器的连接口连接，并且过滤器连接装置能够恰当地与第一过滤器连接。当连接端口的配置为第二配置时，连接端口能够恰当地与第二过滤器的连接口连接，并且过滤器连接装置能够恰当地与第二过滤器连接。这样，过滤器连接装置能够恰当地与连接口的配置彼此不同的两种以上的过滤器连接。结果，能够在连接口的配置不同的两种以上的过滤器之间，容易地交换过滤器。

过滤器连接装置具有过滤器支撑部与脚部。过滤器支撑部支撑第一过滤器以及第二过滤器。脚部使过滤器支撑部朝向连接端口移动。利用这样的过滤器支撑部与脚部，能够使支撑于过滤器支撑部的过滤器的连接口恰当地与连接端口连接。

过滤器连接装置具有脚部用限制构件。当连接端口的配置为第一配置以及第二配置中的任一配置时，脚部用限制构件位于允许位置，脚部用限制构件允许连接口与连接端口之间的连接。由此，脚部用限制构件能够允许在以第一配置以及第二配置中的任一个配置的连接端口上连接连接口，即，能够允许适合的连接。当连接端口的配置为除了第一配置以及第二配置之外的配置时，脚部用限制构件位于禁止位置，脚部用限制构件禁止连接口与连接端口之间的连接。由此，脚部用限制构件能够事先防止在以除了第一配置以及第二配置之外的配置配置的连接端口上连接连接口，即，能够事先防止误连接。在此，连接端口的配置为除了第一配置以及第二配置之外的配置指，连接端口的配置与第一配置以及第二配置不同。

在上述的发明中，优选所述过滤器连接装置具有弹性构件，所述弹性构件与所述脚部用限制构件接触，对所述脚部用限制构件施加从所述允许位置朝向所述禁止位置的方向的弹性力，当所述连接端口的配置为所述第一配置以及所述第二配置中的任一配置时，所述配置切换部与所述脚部用限制构件接触，从而使所述脚部用限制构件位于所述允许位置，当所述连接端口的配置为除了所述第一配置以及所述第二配置之外的配置时，所述配置切换部位于与所述脚部用限制构件分离的位置。当连接端口的配置为第一配置以及第二配置中的任一配置时，配置切换部克服弹性构件的弹性力，使脚部用限制构件位于允许位置。当连接端口的配置为除了第一配置以及第二配置之外的配置时，配置切换部处于与脚部用限制构件分离的位置。因此，弹性构件使脚部用限制构件位于禁止位置。这样，弹性构件与配置切换部能够恰当地使脚部用限制构件位于允许位置以及禁止位置。

在上述的发明中，优选所述配置切换部具有：基座部，端口移动部，被所述基座部支撑为能够相对于所述基座部移动，所述端口移动部与所述连接端口的至少一个接触，第一接触部，与所述端口移动部连接，能够与所述脚部用限制构件接触，以及第二接触部，与所述端口移动部连接，能够与所述脚部用限制构件接触；当所述端口移动部处于第一位置时，所述连接端口的配置为所述第一配置，所述第一接触部与所述脚部用限制构件接触，来使所述脚部用限制构件位于所述允许位置，并且所述第二接触部位于与所述脚部用限制构件分离的位置，当所述端口移动部处于第二位置时，所述连接端口的配置为所述第二配置，所述第一接触部位于与所述脚部用限制构件分离的位置，并且第二接触部与所述脚部用限制构件接触，来使所述脚部用限制构件位于所述允许位置，当所述端口移动部处于除了所述第一位置以及所述第二位置之外的位置时，所述连接端口的配置为除了所述第一配置以及所述第二配置之外的配置，并且所述第一接触部以及所述第二接触部分别位于与所述脚部用限制构件分离的位置。

端口移动部能够移动至第一位置与第二位置。当端口移动部处于第一位置时，配置切换部使连接端口以第一配置配置。当端口移动部处于第二位置时，配置切换部使连接端口以第二配置配置。这样，端口移动部能够在第一配置与第二配置之间，恰当地切换连接端口的配置。

而且，配置切换部具有第一接触部。当端口移动部处于第一位置时，第一接触部使脚部用限制构件位于允许位置。这样，当连接端口的配置为第一配置时，配置切换部能够恰当地使脚部用限制构件位于允许位置。

配置切换部具有第二接触部。当端口移动部处于第二位置时，第二接触部使脚部用限制构件位于允许位置。这样，当连接端口的配置为第二配置时，配置切换部能够恰当地使脚部用限制构件位于允许位置。

当端口移动部处于除了第一位置以及第二位置之外的位置时，第一接触部以及第二接触部处于与脚部用限制构件分离的位置。因而，当连接端口的配置为除了第一配置以及第二配置之外的配置时，配置切换部能够恰当地允许脚部用限制构件位于禁止位置。

在上述的发明中，优选所述配置切换部具有端口轴部，所述端口轴部与所述基座部连接；所述端口移动部与所述端口轴部连接，所述端口移动部能够以所述端口轴部为中心旋转；所述脚部用限制构件在所述禁止位置与所述允许位置之间移动的方向为，所述端口轴部的径向。端口移动部与端口轴部连接，因此端口移动部能够恰当地相对于基座部旋转。由此，端口移动部能够恰当地在第一配置与第二配置之间切换连接端口的配置。脚部用限制构件在禁止位置与允许位置之间移动的方向为，端口轴部的径向。因而，第一接触部与第二接触部能够恰当地使脚部用限制构件从禁止位置向允许位置移动。在此，端口轴部的径向指，与端口轴部的轴心垂直的方向。

在上述的发明中，优选在从所述端口轴部的轴心方向观察时，所述脚部用限制构件配置于与所述端口移动部重叠的位置。这样，第一接触部与第二接触部能够容易地与脚部用限制构件接触。

在上述的发明中，优选所述过滤器支撑部配置于所述连接端口的下方，所述脚部能够相对于所述基座部向上方移动，所述端口轴部的轴心为大致铅垂方向，所述脚部用限制构件通过相对于所述基座部沿着大致水平方向移动，来移动至所述禁止位置以及所述允许位置。过滤器支撑部配置于连接端口的下方，脚部能够相对于基座部向上方移动。因此，脚部能够恰当地使过滤器支撑部接近连接端口。端口轴部的轴心为大致铅垂方向。因而，端口移动部能够容易地使连接端口沿着大致水平方向移动。脚部用限制构件通过相对于基座部沿着大致水平方向移动，移动至禁止位置以及允许位置。这样，脚部用限制构件沿着与脚部移动的方向大致垂直的方向移动。因此，脚部用限制构件能够容易地禁止脚部相对于基座部向上方移动，并且能够容易地允许脚部相对于基座部向上方移动。

在上述的发明中，优选所述脚部被所述配置切换部支撑为能够相对于所述配置切换部移动。脚部被配置切换部支撑，因此脚部能够恰当地使过滤器支撑部朝向连接端口移动。

本发明的基板处理装置，具有过滤器连接装置，所述过滤器连接装置能够与形状彼此不同的第一过滤器以及第二过滤器中的任一过滤器连接，其中，所述过滤器连接装置具有：连接端口，能够与所述第一过滤器的连接口以及所述第二过滤器的连接口连接，基座部，支撑所述连接端口，过滤器支撑部，能够支撑所述第一过滤器以及所述第二过滤器，旋转轴部，与所述过滤器支撑部连接，以及脚部，支撑所述旋转轴部；所述过滤器支撑部通过以所述旋转轴部为中心旋转，形成第一姿势以及第二姿势，所述过滤器支撑部具有：第一过滤器支撑部，在所述过滤器支撑部为所述第一姿势，所述第一过滤器支撑部支撑所述第一过滤器，以及第二过滤器支撑部，在所述过滤器支撑部为所述第二姿势，所述第二过滤器支撑部支撑所述第二过滤器。

基板处理装置具有过滤器连接装置。过滤器连接装置能够与形状彼此不同的两种以上的过滤器恰当地连接。因此，能够在形状不同的两种以上的过滤器之间，容易地交换过滤器。

本发明的基板处理装置，具有过滤器连接装置，所述过滤器连接装置能够与连接口的配置彼此不同的第一过滤器以及第二过滤器中的任一过滤器连接，其中，所述过滤器连接装置具有：多个连接端口，能够与所述第一过滤器所具有的多个连接口以及所述第二过滤器所具有的多个连接口连接，配置切换部，支撑多个所述连接端口，并且在第一配置与第二配置之间切换所述连接端口的配置，所述第一配置相当于所述第一过滤器的所述连接口的配置，所述第二配置相当于所述第二过滤器的所述连接口的配置，过滤器支撑部，能够支撑所述第一过滤器以及所述第二过滤器，脚部，支撑所述过滤器支撑部，使所述过滤器支撑部朝向所述连接端口移动，以及脚部用限制构件，能够移动至禁止位置和允许位置；当所述脚部用限制构件处于禁止位置时，所述脚部用限制构件禁止所述脚部使所述过滤器支撑部朝向所述连接端口移动，当所述脚部用限制构件处于允许位置时，所述脚部用限制构件允许所述脚部使所述过滤器支撑部朝向所述连接端口移动，当所述连接端口的配置为所述第一配置以及所述第二配置中的任一配置时，所述脚部用限制构件位于所述允许位置，当所述连接端口的配置为除了所述第一配置以及所述第二配置之外的配置时，所述脚部用限制构件位于所述禁止位置。

基板处理装置具有过滤器连接装置。过滤器连接装置能够恰当地与连接口的配置彼此不同的两种以上的过滤器连接。因此，能够在连接口的配置不同的两种以上的过滤器之间，容易地交换过滤器。

此外，本说明书还公开了如下过滤器连接装置的发明。

(1)在上述的过滤器连接装置中，所述过滤器连接装置具有与所述脚部连接的过滤器用限制部，所述过滤器用限制部与被所述过滤器支撑部支撑的所述第一过滤器以及所述第二过滤器中的至少一个接触，限制所述第一过滤器以及所述第二过滤器中的至少一个朝向所述连接端口相对于所述脚部位移。

根据所述(1)所记载的过滤器连接装置，过滤器连接装置具有过滤器用限制部。过滤器用限制部限制：第一过滤器以及第二过滤器中的至少一个朝向连接端口相对于脚部移动。因此，在脚部向远离连接端口的方向移动时，过滤器用限制部能够使第一过滤器以及第二过滤器中的至少一个向远离连接端口的方向移动。更具体地说，在脚部向远离连接端口的方向移动时，过滤器用限制部能够恰当地使第一过滤器以及第二过滤器中的至少一个与连接端口分离。

(2)在上述的过滤器连接装置中，所述连接端口具有：开口，形成有所述连接端口的第一端部，平坦的平坦端面，形成于所述开口的周围，以及倾斜周面，形成于所述平坦端面的周围，朝向所述连接端口的第二端部向径向外方倾斜；所述平坦端面以及所述倾斜周面中的至少一个与所述连接口接触。

根据所述(2)所记载的过滤器连接装置，连接端口具有平坦端面与倾斜周面。因此，连接端口能够恰当地与连接口的结构不同的两种以上的连接口连接。

(3)在上述的过滤器连接装置中，所述过滤器连接装置具有：销构件，与所述脚部连接，以及杆，与所述销构件接触，使所述销构件相对于所述连接端口沿着大致铅垂方向移动；在从所述销构件的轴心的方向观察时，穿过所述销构件的铅垂的假想线，与被所述过滤器支撑部支撑的所述第一过滤器以及所述第二过滤器中的至少一个的中央部相交。

根据所述(3)所记载的过滤器连接装置，过滤器连接装置具有销构件与杆。利用销构件与杆，能够容易地使脚部沿着大致铅垂方向移动。在从销构件的轴心的方向观察时，穿过销构件的铅垂的假想线，与被过滤器支撑部支撑的第一过滤器以及第二过滤器中的至少一个的中央部相交。因此，利用销构件与杆，能够使脚部以及过滤器支撑部整体平衡良好地沿着大致铅垂方向移动。因而，能够使第一过滤器以及/或者第二过滤器的整体平衡良好地移动。结果，能够使第一过滤器以及/或者第二过滤器的全部连接口适当地与连接端口连接。

(4)在上述的过滤器连接装置中，所述钩挂构件具有：第一面，以及第二面，与第一面不同；当所述过滤器支撑部为所述第二姿势时，所述第二旋转限制部与所述钩挂构件的所述第一面以及所述第二面面接触。

根据所述(4)所记载的过滤器连接装置，当过滤器支撑部为第二姿势时，能够将过滤器支撑部的位置维持恒定。在此，第二面与第一面不同指，第二面与第一面不在同一平面上。

附图说明

为了说明发明而图示了当前认为恰当的几个方式，但是发明并不限定于图示的结构以及方案。

图1是表示实施方式的基板处理装置的概略结构的图。

图2A是第一过滤器的立体图。

图2B是第二过滤器的立体图。

图3是过滤器连接装置的立体图。

图4是过滤器连接装置的侧视图。

图5是基座板的俯视图。

图6是基座板与接头构件的侧视图。

图7是过滤器连接装置的局部侧视图。

图8是移动部与操作部的俯视图。

图9A是用于说明切换接头构件的配置的动作的图。

图9B是用于说明切换接头构件的配置的动作的图。

图9C是用于说明切换接头构件的配置的动作的图。

图10是基座板、销引导部以及杆用旋转轴部的侧视图。

图11是杆的侧视图。

图12A是用于说明脚部相对于基座板移动的动作的图。

图12B是用于说明脚部相对于基座板移动的动作的图。

图12C是用于说明脚部相对于基座板移动的动作的图。

图13是过滤器连接装置的局部放大侧视图。

图14A是过滤器连接装置的局部仰视图。

图14B是过滤器连接装置的局部仰视图。

图15A是用于说明过滤器支撑部旋转的动作的图。

图15B是用于说明过滤器支撑部旋转的动作的图。

图15C是用于说明过滤器支撑部旋转的动作的图。

图16是过滤器支撑部的立体图。

图17是过滤器支撑部的侧视图。

图18是过滤器支撑部与第一过滤器的侧视图。

图19是过滤器支撑部与第二过滤器的侧视图。

图20A是用于说明将过滤器支撑部保持为第一姿势的机构的图。

图20B是用于说明将过滤器支撑部保持为第一姿势的机构的图。

图20C是用于说明将过滤器支撑部保持为第一姿势的机构的图。

图21A是用于说明将过滤器支撑部保持为第二姿势的机构的图。

图21B是用于说明将过滤器支撑部保持为第二姿势的机构的图。

图21C是用于说明将过滤器支撑部保持为第二姿势的机构的图。

图22A是用于说明相对于过滤器连接装置装卸第一过滤器时的步骤的图。

图22B是用于说明相对于过滤器连接装置装卸第一过滤器时的步骤的图。

图22C是用于说明相对于过滤器连接装置装卸第一过滤器时的步骤的图。

图23A是用于说明相对于过滤器连接装置装卸第一过滤器时的步骤的图。

图23B是用于说明相对于过滤器连接装置装卸第一过滤器时的步骤的图。

图23C是用于说明相对于过滤器连接装置装卸第一过滤器时的步骤的图。

图24A是用于说明相对于过滤器连接装置装卸第二过滤器时的步骤的图。

图24B是用于说明相对于过滤器连接装置装卸第二过滤器时的步骤的图。

图24C是用于说明相对于过滤器连接装置装卸第二过滤器时的步骤的图。

图25A是接头构件的第一端部的放大剖视图。

图25B是接头构件的第一端部的放大俯视图。

图26是举例示出接头构件与连接口之间的连接的剖视图。

图27是举例示出接头构件与连接口之间的连接的剖视图。

其中，附图标记说明如下：

1…基板处理装置

11…配管

21、21a、21b…过滤器

23a、23b、24a、24b、25a、25b…连接口

31…过滤器连接装置

33、34、35…接头构件(连接端口)

36…接头构件的开口(连接端口的开口)

38…平坦端面

39…倾斜周面

40…配置切换部

41…基座板(基座部)

51…移动部(端口移动部)

57…接头轴部(端口轴部)

71…脚部

81…销构件

85…杆

101…脚部用限制构件

107…弹性构件

108…第一接触部

109…第二接触部

111…过滤器支撑部

113…第一过滤器支撑部

114…底板部

114a…载置面

117…第二过滤器支撑部

118…保持臂部

118a…基端部

118b…顶端部

121…旋转轴部

123…钩挂构件

124…间隙

125a、125b…第一旋转限制部

127…第二旋转限制部

P1…移动部的第一位置

P2…移动部的第二位置

L…穿过销构件81的铅垂的假想线

W…基板

具体实施方式

下面，参照附图，对于本发明的实施方式进行说明。

图1是表示实施方式的基板处理装置的概略结构的图。实施方式的基板处理装置1为对基板(例如，半导体晶片)W进行液处理的装置。

1.基板处理装置1的概要

基板处理装置1具有基板保持部3和旋转马达5。基板保持部3将基板W保持为大致水平。基板保持部3例如对基板W的背面(下表面)进行吸附保持。旋转马达5与基板保持部3的底部中央连接。旋转马达5使基板保持部3以大致铅垂轴为中心旋转。由此，保持于基板保持部3的基板W以穿过该基板W的中心部的大致铅垂轴为中心旋转。

基板处理装置1具有喷嘴7和罩部9。喷嘴7设置为，能够移动至处于基板保持部3的上方的喷出位置。喷嘴7向保持于基板保持部3的基板W喷出处理液。罩部9以包围基板保持部3的侧方的方式配置。罩部9挡住并回收从基板W飞散的处理液。

基板处理装置1具有用于使处理液经过的配管11。配管11具有与喷嘴7连接的第一端。配管11具有与处理液供给源13连接的第二端。处理液供给源13例如为用于贮存处理液的处理液罐。处理液例如为，抗蚀膜材料、各种涂膜材料、药液、稀释剂、纯水。在配管11上设置有泵15、控制阀17以及过滤器21。泵15从处理液供给源13朝向喷嘴7压送处理液。控制阀17对处理液的流路进行开闭。过滤器21对处理液进行过滤。过滤器21例如从处理液中分离并除去处理液中的异物等。

过滤器21具有过滤器主体22和多个(例如为3个)连接口23、24、25。过滤器主体22包括过滤材料、处理液流动的一次侧流路以及处理液流动的二次侧流路(均未图示)。一次侧流路形成于过滤材料的一次侧。二次侧流路形成于过滤材料的二次侧。过滤材料例如为多孔性的膜。连接口23为一次侧流路的入口。连接口24为二次侧流路的出口。连接口25为用于排出过滤器主体22内的气体的出口。

过滤器21利用过滤器连接装置31与配管11连接。过滤器连接装置31具有多个(例如，与连接口的数量相同)接头构件33、34、35。接头构件33、34、35分别与连接口23、24、25连接。接头构件33、34、35为本发明的连接端口的例子。

在此，为了便于说明，将配置于过滤器21的一次侧的配管11的部分特别地称为“一次侧配管11a”，将配置于过滤器21的二次侧的配管11的部分特别地称为“二次侧配管11b”。一次侧配管11a与接头构件33连接。由此，一次侧配管11a经由接头构件33与连接口23连通连接。二次侧配管11b与接头构件34连接。由此，二次侧配管11b经由接头构件34与连接口24连通连接。接头构件35与排气管19连接。由此，排气管19经由接头构件35与连接口25连通连接。排气管19向大气开放。

基板处理装置1具有控制部39。控制部39总括地控制旋转马达5的旋转、喷嘴7的移动、泵15的驱动以及控制阀17的开闭。控制部39进行的控制是基于预先设定的处理方案来执行的。

对于基板处理装置1对基板W进行液处理的动作，进行简单说明。

在基板W载置于基板保持部3时，旋转马达5使基板W旋转。喷嘴7移动至喷出位置。泵15压送处理液，控制阀17开放处理液的流路。由此，处理液从处理液供给源13经过一次侧配管11a流入过滤器21。过滤器21对处理液进行过滤。过滤后的处理液从过滤器21经过二次侧配管11b流入喷嘴7。喷嘴7向基板W喷出处理液。处理液着落至正在旋转的基板W的表面中央，在基板W的整个表面扩散。从基板W飞散的处理液被罩部9回收。

在从开始喷出处理液起经过规定的时间时，泵15停止，控制阀17关闭，从而停止向基板W供给处理液。旋转马达5使基板W以更高的速度旋转，来使基板W干燥。然后，旋转马达5停止，从而使基板W静止。由此，结束对基板W进行的液处理。

2.过滤器21的结构

举例示出两种过滤器21的结构。

图2A是过滤器21的第一例的立体图，图2B是过滤器21的第二例的立体图。下面，将过滤器21的第一例特别地称为“第一过滤器21a”，将过滤器21的第二例特别地称为“第二过滤器21b”。另外，对第一过滤器21a的各构件的附图标记适当地附加标注“a”，对第二过滤器21b的各构件的附图标记适当地附加标注“b”。

参照图2A。第一过滤器21a具有连接口23a、24a、25a。连接口23a、24a、25a分别形成为管状。参照图2B。第二过滤器21b具有连接口23b、24b、25b。连接口23b、24b、25b分别形成为管状。接头构件33-35能够与连接口23a、24a、25a连接。接头构件33-35能够与连接口23b、24b、25b连接。

第一过滤器21a与第二过滤器21b的连接口23、24、25的配置不同。参照图2A。连接口23a、24a、25a排列为一列。参照图2B。连接口23b、24b、25b并没有排列为一列。连接口23b、24b、25b分别配置于与直角三角形的3个顶点相同的位置。这样，使第一过滤器21a的连接口23a、24a、25a的配置与第二过滤器21b的连接口23b、24b、25b的配置不同。

第一过滤器21a与第二过滤器21b的形状不同。参照图2A。第一过滤器21a具有壳体26a。壳体26a容纳上述的过滤器主体22。连接口23a、24a、25a设置于壳体26a的上表面。参照图2B。第二过滤器21b具有壳体26b。壳体26b容纳上述的过滤器主体22。连接口23b、24b、25b设置于壳体26b的上表面。

第一过滤器21a与第二过滤器21b的过滤器21的高度H不同。在本实施方式中，第一过滤器21a的高度Ha大于第二过滤器21b的高度Hb。在此，过滤器21的高度H指，从壳体26的底部到连接口23-25的上端为止的铅垂方向上的长度。

第一过滤器21a与第二过滤器21b的壳体26的形状不同。第二过滤器21b的壳体26b具有筒状部26b1、凸缘部26b2以及槽部26b3。凸缘部26b2配置于筒状部26b1的上部。槽部26b3形成于凸缘部26b2的两侧部。连接口23b、24b、25b配置于凸缘部26b2的上部。第一过滤器21a的壳体26a并不具有相当于凸缘部26b2的构件。这样，第二过滤器21b的形状与第一过滤器21a的形状不同。

3.过滤器连接装置31的结构

图3是过滤器连接装置31的立体图。图4是过滤器连接装置31的侧视图。

在图3、图4中，示出了前后方向X、宽度方向Y以及铅垂方向Z。前后方向X、宽度方向Y以及上下方向Z彼此相互垂直。前后方向X以及宽度方向Y为水平。将前后方向X的一侧称为“前方”，将前后方向X的另一侧称为“后方”。在不区分前后方向X以及宽度方向Y的情况下，称为“水平方向”或者仅称为“侧方”。将铅垂方向Z的一侧称为“上方”，将铅垂方向Z的另一侧称为“下方”。

过滤器连接装置31能够与第一过滤器21a以及第二过滤器21b中的任一个连接。过滤器连接装置31具有配置切换部40、脚部71以及过滤器支撑部111。配置切换部40切换接头构件33-35的配置。过滤器支撑部111支撑过滤器21。脚部71支撑过滤器支撑部111。下面，进行详细说明。

3.1.配置切换部40的结构

配置切换部40支撑多个接头构件33-35。配置切换部40切换多个接头构件33-35的配置。具体地说，配置切换部40在第一配置与第二配置之间切换接头33-35的配置。第一配置相当于，第一过滤器21a的连接口23a-25c的配置。第二配置相当于，第二过滤器21b的连接口23b-25b的配置。

配置切换部40具有基座板41。基座板41形成为大致水平的板状。

图5是基座板41的俯视图。基座板41具有开口43、44、45。在开口43配置接头构件33。在开口44配置接头构件34。在开口45配置接头构件35。

开口43、44为长孔。接头构件33能够在开口43沿着大致水平方向移动。接头构件34能够在开口44沿着大致水平方向移动。开口45稍大于接头构件35的截面形状。接头构件35不能在开口45沿着大致水平方向移动。这样，接头构件33、34能够相对于基座板41沿着大致水平方向移动。接头构件35不能相对于基座板41沿着大致水平方向移动。

图6是基座板41与接头构件33-35的侧视图。接头构件33形成为沿着大致直线延伸的大致管状。接头构件33以大致铅垂姿势插入开口43。接头构件33具有：第一端部33a，与连接口23连接；以及第二端部33b，与一次侧配管11a连接。接头构件33以第一端部33a位于下方且第二端部33b位于上方的方式配置。第一端部33a位于比基座板41更靠下方的位置。第二端部33b位于比基座板41更靠上方的位置。

接头构件33具有：外周面33c；以及凸缘部33d，从所述外周面33c向外方伸出。凸缘部33d大于开口43的宽度。凸缘部33d载置于基座板41的上表面。接头构件33不会从开口43向下方脱落。这样，基座板41与接头构件33接触。基座板41支撑接头构件33。

接头构件34、35具有与接头构件33大致相同的结构。接头构件34具有第一端部34a、第二端部34b、外周面34c以及凸缘部34d。接头构件35具有第一端部35a、第二端部35b、外周面35c以及凸缘部35d。接头构件34、35与接头构件33大致相同地，设置于基座板41。基座板41与接头构件34、35接触。基座板41支撑接头构件34、35。基座板41为本发明的基座部的例子。

参照图3、图4。配置切换部40具有移动部51与操作部61。移动部51使接头构件33、34移动。操作部61与移动部51联动连接。操作部61由用户操作。根据操作部61的操作，移动部51使接头构件33、34移动。

图7是配置切换部40的局部侧视图。图8是移动部51与操作部61的俯视图。配置切换部40具有接头轴部57。接头轴部57与基座板41连接。接头轴部57的轴心C57为大致铅垂。移动部51与接头轴部57连接。移动部51经由接头轴部57支撑于基座板41。移动部51能够以接头轴部57为中心旋转。移动部51能够相对于基座板41移动。

参照图8。在俯视时，移动部51形成为大致圆形。在俯视时，接头轴部57与移动部51的中央部连接。

移动部51具有开口53、54。在开口53中配置接头构件33。在开口54中配置接头构件34。

开口53稍大于接头构件33的截面形状。接头构件33不能在开口53沿着大致水平方向移动。接头构件33不能相对于移动部51沿着大致水平方向移动。接头构件33与移动部51一体地移动。在移动部51旋转时，接头构件33相对于基座板41移动。

开口54为长孔。接头构件34能够在开口54沿着大致水平方向移动。接头构件34能够相对于移动部51沿着大致水平方向移动。在开口54的一端缘以及另一端缘中的任一个与接头构件34接触的状态下，移动部51旋转时，接头构件34相对于基座板41移动。

这样，移动部51与接头构件33、34接触。移动部51使接头构件33、34移动。

移动部51具有齿56。齿56形成于移动部51的外周缘。

参照图7、图8。配置切换部40具有操作轴部63。操作轴部63与基座板41连接。操作部61与操作轴部63连接。操作部61经由操作轴部63支撑于基座板41。操作部61能够以操作轴部63为中心旋转。操作部61的前端位于比基座板41更靠前方的位置。

参照图8。在俯视时，操作部61形成为大致圆形。操作部61具有齿62。齿62形成于操作部61的外周缘。齿62与齿56啮合。

用户使操作部61以操作轴部63为中心旋转。与操作部61的旋转联动地，移动部51以接头轴部57为中心旋转。根据移动部51的旋转，移动部51相对于基座板41的位置改变。具体地说，根据移动部51的旋转，移动部51相对于基座板41的角度改变。而且，根据移动部51的旋转，使接头构件33、34相对于基座板41移动

图9A、9B、9C是用于说明切换接头构件33-35的配置的动作的图。图9A-9C的右侧的图为接头构件33-35、基座板41以及移动部51的俯视图。图9A-9C的左侧的图为仅有移动部51的俯视图。

如图9A、9B、9C所示，根据移动部51的旋转，使接头构件33、34相对于基座板41移动。

参照图9A。接头构件33-35以第一配置配置。通过移动部51对接头构件33进行定位。接头构件34被开口44的一端缘与开口54的一端缘夹持。即，利用基座板41与移动部51，对接头构件34进行定位。利用基座板41，对接头构件35进行定位。

参照图9C。接头构件33-35以第二配置配置。利用移动部51对接头构件33进行定位。接头构件34被开口44的另一端缘与开口54的另一端缘夹持。即，利用基座板41与移动部51，对接头构件34进行定位。利用基座板41对接头构件35进行定位。

在第一配置与第二配置之间，接头构件33相对于基座板41的位置不同。在第一配置与第二配置之间，接头构件34相对于基座板41的位置不同。在第一配置与第二配置之间，接头构件35相对于基座板41的位置相同。

下面，将图9A所示的移动部51的位置称为“第一位置P1”。下面，将图9C所示的移动部51的位置称为“第二位置P2”。

参照图9B。移动部51位于与第一位置P1以及第二位置P2中的任一个都不同的位置。在移动部51处于除了第一位置P1以及第二位置P2之外的位置时，接头构件33-35以与第一配置以及第二配置中的任一个都不同的配置配置。

另外，在移动部51从第一位置P1向第二位置P2变化的过程中，移动部51位于除了第一位置P1以及第二位置P2之外的位置。在移动部51从第二位置P2向第一位置P1变化的过程中，移动部51也位于除了第一位置P1以及第二位置P2之外的位置。因此，在接头构件33-35的配置在第一配置与第二配置之间切换的过程中，接头构件33-35的配置为除了第一配置以及第二配置之外的配置。在此，除了第一配置以及第二配置之外的配置指，与第一配置以及第二配置不同的配置。

如上所述，在移动部51处于第一位置P1时，接头构件33-35的配置为第一配置(参照图9A)。在移动部51处于第二位置P2时，接头构件33-35的配置为第二配置(参照图9C)。在移动部51处于除了第一位置P1以及第二位置P2之外的位置时，接头构件33-35的配置为除了第一配置以及第二配置之外的配置(参照图9B)。

移动部51为本发明的端口移动部的例子。接头轴部57为本发明的端口轴部的例子。

3.2.脚部71的安装结构

参照图3、图4。脚部71支撑于基座板41。脚部71配置于比基座板41更靠宽度方向Y的外方的位置。具体地说，脚部71配置于比基座板41更靠宽度方向Y的一侧的位置以及更靠宽度方向Y的另一侧的位置。脚部7沿着大致铅垂方向Z延伸。脚部71能够相对于基座板41以及接头构件33-35移动。脚部71能够相对于基座板41以及接头构件33-35沿着铅垂方向Z移动。

过滤器连接装置31具有销构件81。销构件81与脚部71连接。销构件81固定于脚部71。销构件81的轴心为大致水平。具体地说，销构件81的轴心与宽度方向Y大致平行。

过滤器连接装置31具有销引导部83、杆85以及杆用旋转轴部89。销引导部83沿着铅垂方向Z引导销构件81。杆85使销构件81移动。杆用旋转轴部89与杆85连接。杆用旋转轴部89支撑杆85。杆85能够以杆用旋转轴部89为中心旋转。

图10是基座板41、销引导部83以及杆用旋转轴部89的侧视图。销引导部83与基座板41连接。销引导部83固定于基座板41。

销引导部83具有开口84。在开口84中配置销构件81。开口84为长孔。开口84沿着大致铅垂方向Z延伸。销构件81能够在开口84沿着大致铅垂方向Z移动。

杆用旋转轴部89与销引导部83连接。即，杆用旋转轴部89支撑于基座板41。杆用旋转轴部89配置于开口84的上方。杆用旋转轴部89的轴心为大致水平。具体地说，杆用旋转轴部89的轴心与宽度方向Y大致平行。

图11是杆85的侧视图。杆85具有开口86、87。在开口86中配置杆用旋转轴部89。在开口87中配置销构件81。杆85与销构件81接触。开口87为长孔。销构件81能够在开口87移动。开口87具有第一端部87a与第二端部87b。第一端部87a比第二端部87b更接近开口86(杆用旋转轴部89)。

杆85具有手柄部88。手柄部88由用户握持。通过由用户操作手柄部88，使杆85以杆用旋转轴部89为中心相对于基座板41旋转。

图12A、12B、12C是用于说明脚部71相对于基座板41移动的动作的图。图12A至图12C是侧视图。

参照图12A。脚部71位于下方位置。

参照图12B。当用户按下手柄部88时，杆85以杆用旋转轴部89为中心旋转。销构件81从开口87的第二端部87b朝向第一端部87a移动，且从开口84的下部朝向上部移动。结果，销构件81向上方移动。脚部71与销构件81一体地向上方移动。

参照图12C。当用户进一步按下手柄部88时，杆85以杆用旋转轴部89为中心进一步旋转。销构件81进一步向上方移动。脚部71与销构件81一体地进一步向上方移动。结果，脚部71到达上方位置。

另一方面，当用户推起手柄88时，脚部71与销构件81一体地向下方移动。由此，脚部71从上方位置向下方位置移动。

这样，杆85使销构件81相对于基座板41沿着大致铅垂方向Z移动。由此，使脚部71相对于基座板41沿着大致铅垂方向Z移动。此外，如后面说明，通过使脚部71相对于基座板41向上方移动，使过滤器支撑部111朝向接头构件33-35移动。

参照图3、图4。过滤器连接装置31具有用于将脚部71的移动方向保持为恒定的机构。具体地说，过滤器连接装置31具有开口72、73与销构件91、92。开口72、73形成于脚部71。开口72、73为长孔。开口72、73沿着大致铅垂方向Z延伸。销构件91、92间接地与基座板41连接(参照图10)。销构件91、92固定于基座板41。销构件91、92配置于开口72、73。开口72与销构件91配置于比销构件81更靠前方的位置。开口73与销构件92配置于比销构件81更靠后方的位置。销构件91、92能够在开口72、73沿着大致铅垂方向Z移动。在脚部71相对于基座板41移动时，销构件91、92沿着开口72、73在大致铅垂方向Z上移动。这样，销构件91、92与开口72、73将脚部71移动的方向保持为大致铅垂方向Z。

过滤器连接装置31具有销引导部95与销构件97。销引导部95与基座板41连接(参照图10)。销引导部95固定于基座板41。销引导部95具有开口96。开口96为长孔。开口96沿着大致铅垂方向Z延伸。销构件97与脚部71连接。销构件97固定于脚部71。销构件97配置于开口96。开口96与销构件97配置于比销构件81更靠后方的位置。销构件97能够在开口96沿着大致铅垂方向Z移动。在脚部71相对于基座板41移动时，销构件97沿着开口96在大致铅垂方向Z上移动。这样，销引导部95与销构件97将脚部71移动的方向保持为大致铅垂方向Z。

3.3.用于限制脚部71的移动的结构

参照图3、图4。过滤器连接装置31具有脚部用限制构件101。脚部用限制构件101能够禁止脚部71相对于基座板41向上方移动。

图13是过滤器连接装置31的局部放大侧视图。图14A、14B是过滤器连接装置31的局部仰视图。脚部用限制构件101形成为大致直线的棒状。脚部用限制构件101的轴心为大致水平。具体地说，脚部用限制构件101的轴心与宽度方向Y大致平行。在仰视时，脚部用限制构件101配置于与移动部51重叠的位置。具体地说，在从接头轴部57的轴心C57的方向观察时，脚部用限制构件101的一部分与移动部51重叠。

脚部用限制构件101支撑于基座板41。具体地说，过滤器连接装置31具有背板103与引导销105。背板103与基座板41连接。背板103固定于基座板41。引导销105与背板103连接。引导销105的轴心为大致水平。具体地说，引导销105的轴心与前后方向X大致平行。引导销105从背板103向前方延伸。引导销105与脚部用限制构件101连接。引导销105贯通脚部用限制构件101。引导销105支撑脚部用限制构件101。引导销105沿着前后方向X引导脚部用限制构件101。由此，脚部用限制构件101能够相对于引导销105(基座板41)沿着前后方向X移动。引导销105将脚部用限制构件101移动的方向保持为大致前后方向X。

通过使脚部用限制构件101沿着大致水平方向(具体地说，前后方向X)移动，使脚部用限制构件101移动至禁止位置与允许位置。在图13中，用实线表示处于允许位置的脚部用限制构件101。在图13中，用单点划线表示处于禁止位置的脚部用限制构件101。图14A表示处于禁止位置的脚部用限制构件101。图14B表示处于允许位置的脚部用限制构件101。此外，在图14A中，移动部51处于除了第一位置P1以及第二位置P2之外的位置。在图14B中，移动部51位于第二位置P2。

禁止位置比允许位置更靠前方。禁止位置的高度位置与允许位置的高度位置大致相同。脚部用限制构件101在禁止位置与允许位置之间移动的方向为，大致前后方向X。此外，前后方向X相当于接头轴部57的径向。接头轴部57的径向为，与接头轴部57的轴心C57垂直的方向。

参照图13。脚部71具有切口74。在脚部用限制构件101处于禁止位置时，脚部用限制构件101位于切口74内。因此，脚部用限制构件101处于禁止位置时，脚部用限制构件101禁止脚部71向上方移动。具体地说，通过使脚部用限制构件101与脚部71接触，脚部用限制构件101禁止脚部71相对于基座板41向上方移动。由此，脚部用限制构件101禁止：脚部71使过滤器支撑部111朝向接头构件33-35移动。在脚部用限制构件101处于允许位置时，脚部用限制构件101位于切口74的外部。因此，在脚部用限制构件101处于允许位置时，脚部用限制构件101允许脚部71向上方移动。具体地说，脚部用限制构件101不与脚部71接触，因此脚部71能够相对于基座板41向上方移动。由此，脚部用限制构件101允许：脚部71使过滤器支撑部111朝向接头构件33-35移动。

参照图13、图14A、图14B。过滤器连接装置31具有弹性构件107。弹性构件107与脚部用限制构件101接触。弹性构件107以使脚部用限制构件101从允许位置朝向禁止位置的方式按压脚部用限制构件101。具体地说，弹性构件107向前方按压脚部用限制构件101。换言之，弹性构件107将从允许位置朝向禁止位置的方向的弹性力提供给脚部用限制构件101。弹性力的方向为前方。

弹性构件107具有与背板103接触的第一端部。弹性构件107的第一端部相对于基座板41保持于规定的位置。弹性构件107具有与脚部用限制构件101接触的第二端部。弹性构件107的第二端部随着脚部用限制构件101的移动而移动。当脚部用限制构件101移动时，保持弹性构件107的第二端部与脚部用限制构件101接触的状态。弹性构件107相对于背板103(基座板41)向前方按压脚部用限制构件101。弹性构件107例如为板弹簧。

参照图14A、14B。配置切换部40具有第一接触部108与第二接触部109。第一接触部108以及第二接触部109与移动部51连接。第一接触部108以及第二接触部109固定于移动部51。第一接触部108以及第二接触部109与移动部51一体地移动。

当移动部51处于第一位置P1时，第一接触部108与脚部用限制构件101接触，第一接触部108克服弹性构件107的弹性力，使脚部用限制构件101位于允许位置。当移动部51处于第一位置P1时，第二接触部109处于与脚部用限制构件101分离的位置。

参照图14B。当移动部51处于第二位置P2时，第二接触部109与脚部用限制构件101接触，第二接触部109克服弹性构件107的弹性力，使脚部用限制构件101位于允许位置。当移动部51处于第二位置P2时，第一接触部108处于与脚部用限制构件101分离的位置。

参照图14A。当移动部51位于除了第一位置P1以及第二位置P2之外的位置时，第一接触部108以及第二接触部109均处于与脚部用限制构件101分离的位置。当移动部51处于除了第一位置P1以及第二位置P2之外的位置时，借助弹性构件107的弹性力，使脚部用限制构件101处于禁止位置。

如上所述，当移动部51位于第一位置P1以及第二位置P2中的任一个位置时，配置切换部40与脚部用限制构件101接触，使脚部用限制构件101位于允许位置。因此，当移动部51处于第一位置P1以及第二位置P2中的任一个位置时，脚部用限制构件101允许脚部71相对于基座板41向上方移动。

当移动部51处于除了第一位置P1以及第二位置P2之外的位置时，配置切换部40处于与脚部用限制构件101分离的位置。当移动部51处于除了第一位置P1以及第二位置P2之外的位置时，弹性构件107使脚部用限制构件101位于禁止位置。因此，当移动部51处于除了第一位置P1以及第二位置P2之外的位置时，脚部用限制构件101禁止脚部71相对于基座板41向上方移动。

3.4.过滤器支撑部111的结构

参照图3、图4。过滤器支撑部111支撑过滤器21。过滤器支撑部111能够支撑第一过滤器21a以及第二过滤器21b。

过滤器连接装置31具有旋转轴部121。旋转轴部121与过滤器支撑部111连接。旋转轴部121支撑过滤器支撑部111。旋转轴部121的轴心为大致水平。具体地说，旋转轴部121的轴心与宽度方向Y大致平行。

脚部71具有开口75。在开口75配置旋转轴部121。脚部71支撑旋转轴部121。脚部71经由旋转轴部121支撑过滤器支撑部111。过滤器支撑部111配置于脚部71的内侧。换言之，脚部71配置于比过滤器支撑部111更靠宽度方向Y的外方的位置。过滤器支撑部111配置于接头构件33-35的下方。

开口75为长孔。旋转轴部121能够在开口75移动。过滤器支撑部111能够与旋转轴部121一体地移动。

参照图4。开口75具有纵狭缝76、第一横狭缝77a、第二横狭缝77b、第三横狭缝77c、第一定位狭缝78a以及第二定位狭缝78b。纵狭缝76沿着大致铅垂方向Z延伸。纵狭缝76与第一横狭缝77a、第二横狭缝77b以及第三横狭缝77c连接。第一横狭缝77a、第二横狭缝77b以及第三横狭缝77c分别从纵狭缝76向后方延伸。第一横狭缝77a配置于第二横狭缝77b的下方。第二横狭缝77b配置于第三横狭缝77c的下方。第一定位狭缝78a与第一横狭缝77a连接。第一定位狭缝78a从第一横狭缝77a向下方延伸。第二定位狭缝78b与第二横狭缝77b连接。第二定位狭缝78b从第二横狭缝77b向下方延伸。

图15A、图15B、图15C是用于说明过滤器支撑部111旋转的动作的图。图15A至图15C是从脚部71的内侧观察的过滤器连接装置31的图。如图示那样，过滤器支撑部111能够以旋转轴部121为中心旋转。过滤器支撑部111能够相对于脚部71旋转。通过使过滤器支撑部111以旋转轴部121为中心旋转，过滤器支撑部111为第一姿势与第二姿势。图15A表示第一姿势的过滤器支撑部111。图15C是第二姿势的过滤器支撑部111。

图16是过滤器支撑部111的立体图。图17是过滤器支撑部111的侧视图。更严格地说，图17是从旋转轴部121的轴心方向观察的过滤器支撑部111的图。过滤器支撑部111具有第一过滤器支撑部113。第一过滤器支撑部113具有底板部114。底板部114具有载置面114a。载置面114a为平坦的。第一过滤器支撑部113具有开口115与突部116。开口115形成于底板部114。突部116从底板部114突出。具体地说，突部116从底板部114向上方突出。

过滤器支撑部111具有第二过滤器支撑部117。第二过滤器支撑部117具有一对保持臂部118。一对保持臂部118在宽度方向Y上隔开间隔配置。保持臂部118形成为宽度细的板状。保持臂部118呈直线地延伸。保持臂部118与底板部114连接。保持臂部118具有与底板部114连接的基端部118a。保持臂部118沿着与载置面114a大致垂直的方向延伸。

过滤器支撑部111具有开口119。开口119配置于保持臂部118的基端部118a的附近。开口119配置于底板部114与保持臂部118接合的接合部位的附近。在开口119中配置旋转轴部121。旋转轴部121与保持臂部118的基端部118a的附近连接。

图18是过滤器支撑部111与第一过滤器21a的侧视图。过滤器支撑部111为第一姿势。载置面114a大致水平。第一过滤器21a载置于载置面114a上。载置面114a与第一过滤器21a的壳体26a的底部接触。这样，底板部114支撑第一过滤器21a。

在壳体26a具有从底部向下方突出的突部26a1的情况下，突部26a1配置于开口115。由此，限制第一过滤器21a相对于过滤器支撑部111沿着水平方向移动。而且，限制第一过滤器21a相对于过滤器支撑部111旋转。

突部116与壳体26a的侧部接触。由此，限制第一过滤器21a相对于过滤器支撑部111沿着水平方向移动。而且，限制第一过滤器21a相对于过滤器支撑部111旋转。

保持臂部118从底板部114向上方延伸。保持臂部118处于与第一过滤器21a分离的位置。具体地说，保持臂部118位于比第一过滤器21a更靠后方的位置。

这样，当过滤器支撑部111为第一姿势时，第一过滤器支撑部113与第一过滤器21a接触。当过滤器支撑部111为第一姿势时，第一过滤器支撑部113支撑第一过滤器21a。当过滤器支撑部111为第一姿势时，第二过滤器支撑部117处于与第一过滤器21a分离的位置。

图19是过滤器支撑部与第二过滤器的侧视图。过滤器支撑部111为第二姿势。载置面114a大致铅垂。底板部114处于与第二过滤器21b分离的位置。具体地说，底板部114位于比第二过滤器21b更靠后方的位置。保持臂部118从底板部114沿着大致水平方向延伸。具体地说，保持臂部118从底板部114向前方延伸。保持臂部118与第二过滤器21b的壳体26b的侧部接触。具体地说，保持臂部118与凸缘部26b2(槽部26b3)接触。由此，保持臂部118保持第二过滤器21b。保持臂部118限制第二过滤器21b相对于过滤器支撑部111移动。而且，保持臂部118限制第二过滤器21b相对于过滤器支撑部111旋转。

这样，当过滤器支撑部111为第二姿势时，第二过滤器支撑部117与第二过滤器21b接触。当过滤器支撑部111为第二姿势时，第二过滤器支撑部117支撑第二过滤器21b。当过滤器支撑部111为第二姿势时，第一过滤器支撑部113处于与第二过滤器21b分离的位置。

3.5.用于保持过滤器支撑部111的结构

参照图16、图17。过滤器连接装置31具有钩挂构件123。钩挂构件123与保持臂部118连接。钩挂构件123与保持臂部118的顶端部118b的附近连接。钩挂构件123从保持臂部118的顶端部118b朝向基端部118a延伸。在钩挂构件123与保持臂部118之间划定形成间隙124。在从旋转轴部121的轴心的方向观察过滤器支撑部111时，能够视觉辨认间隙124(参照图17)。间隙124是开放的。

具体地说，钩挂构件123具有第一面123a、第二面123b、第三面123c以及第四面123d。第一面123a与第二面123b分别与保持臂部118相向。在第一姿势，第一面123a与第二面123b大致铅垂。在第二姿势，第一面123a与第二面123b大致水平。第一面123a与保持臂部118之间的间隔小于第二面123b与保持臂部118之间的间隔。第三面123c与第四面123d分别与第二面123b连接。第三面123c和第四面123d与第二面123b大致垂直。第三面123c与第四面123d彼此相向。在第一姿势，第三面123c与第四面123d大致水平。在第二姿势，第三面123c与第四面123d大致铅垂。这样，第一面123a、第二面123b、第三面123c以及第四面123d彼此不同。换言之，第一面123a、第二面123b、第三面123c以及第四面123d中的任一个面都不与第一面123a、第二面123b、第三面123c以及第四面123d中的另一个面位于同一平面上。

图20A、图20B、图20C是用于说明将过滤器支撑部111保持为第一姿势的机构的图。图20A至图20C是从脚部71的内侧观察的过滤器连接装置31的图。过滤器连接装置31具有第一旋转限制部125a、125b。第一旋转限制部125a、125b与脚部71连接。第一旋转限制部125a、125b固定于脚部71。第一旋转限制部125a、125b形成为大致铅垂的板状。第一旋转限制部125a配置于第一旋转限制部125b的下方。

参照图20A、图20B。在过滤器支撑部111为第一姿势的状态下，旋转轴部121在第一横狭缝77a内向后方移动。由此，使钩挂构件123位于第一旋转限制部125a的上方。

参照图20B、图20C。在过滤器支撑部111为第一姿势的状态下，旋转轴部121在第一定位狭缝78a内向下方移动。由此，第一旋转限制部125a的上端部配置于间隙124。第一旋转限制部125a与钩挂构件123接触。更具体地说，第一旋转限制部125a的背面与第一面123a接触。由此，限制过滤器支撑部111相对于脚部71以旋转轴部121为中心旋转。即，将过滤器支撑部111保持为第一姿势。

而且，第一旋转限制部125a与保持臂部118接触。第一旋转限制部125a的前表面与保持臂部118接触。由此，将过滤器支撑部111更可靠地保持为第一姿势。

这样，当旋转轴部121位于第一定位狭缝78a时，钩挂构件123与第一旋转限制部125a将过滤器支撑部111保持为第一姿势。同样地，当旋转轴部121位于第二定位狭缝78b时，钩挂构件123与第一旋转限制部125b将过滤器支撑部111保持为第一姿势。

而且，当旋转轴部121位于第一定位狭缝78a时，第一定位狭缝78a限制：过滤器支撑部111相对于脚部71沿着前后方向X移动。同样地，当旋转轴部121位于第二定位狭缝78b时，第二定位狭缝78b限制：过滤器支撑部111相对于脚部71沿着前后方向X移动。这样，第一定位狭缝78a以及第二定位狭缝78b将过滤器支撑部111的前后方向X上的位置保持为恒定。

图21A、图21B、图21C是用于说明将过滤器支撑部111保持为第二姿势的机构的图。图21A至图21C是从脚部71的内侧观察的过滤器连接装置31的图。

过滤器连接装置31具有第二旋转限制部127。第二旋转限制部127与脚部71连接。第二旋转限制部127固定于脚部71。第二旋转限制部127形成为突片形状。第二旋转限制部127沿着大致宽度方向Y突出。

参照图21A。在过滤器支撑部111为第二姿势的状态下，旋转轴部121在纵狭缝76向上方移动。由此，使钩挂构件123到达第二旋转限制部127的前方。

参照图21A、图21B。在过滤器支撑部111为第二姿势的状态下，旋转轴部121在第三横狭缝77c内向后方移动。由此，使第二旋转限制部127配置于间隙124。

参照图21B、21C。当过滤器支撑部111为第二姿势的状态下，旋转轴部121在第三横狭缝77c内向下方移动。由此，使旋转轴部121与第三横狭缝77c的下缘部接触。第二旋转限制部127与钩挂构件123接触。更具体地说，第二旋转限制部127与第二面123b接触。换言之，钩挂构件123与第二旋转限制部127的上部接触。由此，限制过滤器支撑部111相对于脚部71以旋转轴部121为中心旋转。即，将过滤器支撑部111保持为第二姿势。

而且，第二旋转限制部127与第三面123c以及第四面123d接触。换言之，钩挂构件123与第二旋转限制部127的侧部(更具体地说，前部以及后部)接触。由此，限制过滤器支撑部111沿着大致水平方向(更具体地说前后方向X)移动。

第二面123b、第三面123c以及第四面123d中的一个面为本发明的第一面的例子。第二面123b、第三面123c、第四面123d中的另一个面为本发明的第二面的例子。

这样，当旋转轴部121位于第三横狭缝77c时，钩挂构件123与第二旋转限制部127将过滤器支撑部111保持为第二姿势。而且，钩挂构件123与第二旋转限制部127将过滤器支撑部111的前后方向X上的位置保持为恒定。

3.6.过滤器用限制部的结构

参照图21A、图21B、图21C。过滤器连接装置31具有过滤器用限制部131。过滤器用限制部131与脚部71连接。过滤器用限制部131固定于脚部71。过滤器用限制部131形成为突片形状。过滤器用限制部131沿着大致水平方向突出。过滤器用限制部131延伸至被过滤器支撑部111支撑的过滤器21的上方的位置。

假设，在过滤器21相对于脚部71向上方移动的情况下，过滤器用限制部131与过滤器21接触。由此，过滤器用限制部131限制：过滤器21相对于脚部71进一步向上方移动。

3.7.装卸过滤器连接装置31与过滤器21的动作

接着，对于相对于过滤器连接装置31装卸第一过滤器21a的动作例与相对于过滤器连接装置31装卸第二过滤器21b的动作例进行说明。下面的动作例，基本上通过用户的手动操作执行。

3.7.1.向过滤器连接装置31连接第一过滤器21a的动作

图22A、22B、22C是用于说明相对于过滤器连接装置31装卸第一过滤器21a时的步骤的图。

参照图22A。用户使过滤器支撑部111以及旋转轴部121移动。由此，使过滤器支撑部111成为第一姿势，使旋转轴部121位于第二定位狭缝78b，使钩挂构件123与第一旋转限制部125b接触。接着，用户将第一过滤器21a配置于底板部114。由此，使第一过滤器支撑部113支撑第一过滤器21a。

参照图22B。通过由用户操作操作部61(未图示)，使接头构件33-35以第一配置配置。由此，使脚部用限制构件101从禁止位置向允许位置移动。

参照图22C。通过由用户操作杆85，使脚部71从下方位置向上方位置移动。由此，过滤器支撑部111以及第一过滤器21a与脚部71一体地向上方移动。过滤器支撑部111以及第一过滤器21a接近接头构件33-35。第一过滤器21a的连接口23a-25a与接头构件33-35连接。即，过滤器连接装置31与第一过滤器21a连接。

图22A至图22C示出了通过销构件81的铅垂的假想线L。图22A至图22C相当于从销构件81的轴心的方向观察的图。在从销构件81的轴心的方向观察时，假想线L与第一过滤器21a的中央部相交。

3.7.2.从过滤器连接装置31卸下第一过滤器21a的动作

参照图22C、图22B。通过由用户操作杆85，使脚部71从上方位置向下方移动。由此，使过滤器支撑部111与脚部71一体地向下方移动。第一过滤器21a的连接口23a-25a与接头构件33-35分离。第一过滤器21a以被过滤器支撑部111支撑的状态向下方移动。换言之，过滤器支撑部111以及第一过滤器21a远离接头构件33-35。

参照图22B。脚部71到达下方位置。然后，用户从过滤器支撑部111取出第一过滤器21a。

在此，当脚部71从上方位置向下方移动时，连接口23a-25a借助第一过滤器21a的自重与接头构件33-35分离。但是，若仅借助第一过滤器21a的自重，则有时连接口23a-25a不与接头构件33-35分离。

图23A、图23B、图23C是用于说明相对于过滤器连接装置31装卸第一过滤器21a时的步骤的图。

参照图23A。脚部71处于上方位置。过滤器21a支撑于过滤器支撑部111。连接口23a-25a与接头构件33-35连接。

参照图23B。脚部71从上方位置向下方移动。过滤器支撑部111与脚部71一体地向下方移动。但是，连接口23a-25a不与接头构件33-35分离。连接口23a-25a保持与接头构件33-35连接的状态。过滤器21a不向下方移动。过滤器21a从过滤器支撑部111向上方浮起。只有脚部71与过滤器支撑部111远离接头构件33-35。

若从脚部71来看，则过滤器21a相对于脚部71发生位移。过滤器21a相对于脚部71向上方发生位移。过滤器21a朝向接头构件33-35相对于脚部71发生位移。

过滤器用限制部131与脚部71一体地向下方移动。因此，过滤器用限制部131与第一过滤器21a的上部接触。而且，过滤器用限制部131向下方按压第一过滤器21a。

参照图23C。过滤器用限制部131使第一过滤器21a向下方移动，由此过滤器用限制部131使连接口23a-25a与接头构件33-35分离。即，过滤器用限制部131使第一过滤器21a脱离过滤器连接装置31。结果，过滤器21a向下方移动，再次支撑于过滤器支撑部111。过滤器21a与脚部71以及过滤器支撑部111一起向下方移动。当脚部71到达下方位置之后，用户从过滤器支撑部111取出第一过滤器21a。

这样，即使在仅借助第一过滤器21a的自重无法使连接口23a-25a与接头构件33-35分离的情况下，过滤器用限制部131也能够使连接口23a-25a与接头构件33-35分离。即，过滤器用限制部131限制：第一过滤器21相对于脚部71a朝向接头构件33-35发生位移。

3.7.3.将第二过滤器21b与过滤器连接装置31连接的动作

图24A、图24B、图24C是用于说明相对于过滤器连接装置31装卸第二过滤器21b时的步骤的图。

参照图24A。用户使过滤器支撑部111以及旋转轴部121移动。由此，使过滤器支撑部111为第二姿势，使旋转轴部121位于第三横狭缝77c，使钩挂构件123与第二旋转限制部127接触。接着，用户向保持臂部118安装第二过滤器21b。由此，使第二过滤器支撑部117保持第二过滤器21b。

参照图24B。通过由用户操作操作部61(未图示)，使接头构件33-35以第二配置配置。由此，使脚部用限制构件101从禁止位置向允许位置移动。

参照图24C。通过由用户操作杆85，使脚部71从下方位置向上方位置移动。由此，使过滤器支撑部111以及第二过滤器21b与脚部71一体地向上方移动。过滤器支撑部111以及第二过滤器21b朝向接头构件33-35移动。过滤器支撑部111以及第二过滤器21b接近接头构件33-35。第二过滤器21b的连接口23b-25b与接头构件33-35连接。即，过滤器连接装置31与第二过滤器21b连接。

图24A至图24C示出了通过销构件81的铅垂的假想线L。图24A至图24C相当于从销构件81的轴心的方向观察的图。在从销构件81的轴心的方向观察时，假想线L与第二过滤器21b的中央部相交。

3.7.4.从过滤器连接装置31卸下第二过滤器21b的动作

参照图24C、图24B。通过由用户操作杆85，使脚部71从上方位置向下方移动。由此，使过滤器支撑部111与脚部71一体地向下方移动。第二过滤器21b的连接口23b-25b与接头构件33-35分离。第二过滤器21b以被过滤器支撑部111支撑的状态向下方移动。换言之，过滤器支撑部111以及第二过滤器21b远离接头构件33-35。

在此，第二过滤器支撑部117保持第二过滤器21b，因此第二过滤器21b不能相对于过滤器支撑部111向上方移动。因此，当脚部71从上方位置向下方移动时，第二过滤器支撑部117能够可靠地使连接口23a-25a与接头构件33-35分离。

参照图24B。脚部71到达下方位置。然后，用户从过滤器支撑部111卸下第二过滤器21b。

3.8.接头构件33、34、35的第一端部的结构

接头构件33的第一端部33a的结构与接头构件34、35的第一端部34a、35a的结构大致相同。下面，对于接头构件33的第一端部33a的结构进行说明，省略说明接头构件34、35的第一端部34a、35a的结构。

图25A是接头构件33的第一端部33a的放大剖视图，图25B是接头构件33的第一端部33a的放大俯视图。图25B表示从接头构件33的轴心C33的方向观察的接头构件33的第一端部33a。接头构件33具有开口36与流路37。开口36形成于第一端部33a。开口36形成为大致圆形。开口36与流路37连通。流路37形成于接头构件33的内部。处理液经过开口36以及流路37。

接头构件33具有平坦端面38。平坦端面38形成于开口36的周围。平坦端面38与开口36的外周缘36e相接。平坦端面38从开口36的外周缘36e向外方延伸。更具体地说，平坦端面38向接头构件33的轴心C33的径向的外方延伸。平坦端面38为平坦的平面。平坦端面38与垂直于接头构件33的轴心C33的平面大致平行。在从接头构件33的轴心C33的方向观察时，平坦端面38形成为环状。

接头构件33具有倾斜周面39。倾斜周面39形成于平坦端面38的周围。倾斜周面39与平坦端面38的外周缘38e相接。倾斜周面39从平坦端面38的外周缘38e朝向接头构件33的第二端部33b延伸。倾斜周面39朝向接头构件33的第二端部33b向径向外方倾斜。换言之，倾斜周面39朝向平坦端面38而变细。在从接头构件33的轴心C33的方向观察时，倾斜周面39形成为环状。

图26是举例示出接头构件33连接口23a之间的连接的剖视图。第一过滤器21a的连接口23a具有流路27a与密封构件28a。密封构件28a配置于流路27a的周围。密封构件28a具有平坦的平面部28a1

第一端部33a的平坦端面38与平面部28a1面接触。通过使平坦端面38与平面部28a1接触，进行面密封。因此，接头构件33能够恰当地与连接口23a连接。

图27是举例示出接头构件33与连接口23b之间的连接的剖视图。第二过滤器21b的连接口23b具有流路27b与密封构件28b。密封构件28b配置于流路27b的周围。密封构件28b具有倾斜的倾斜面部28b1。

第一端部33a的倾斜周面39与倾斜面部28b1面接触。通过使倾斜周面39与倾斜面部28b1接触，进行面密封。因此，接头构件33能够恰当地与连接口23b连接。

4.本实施方式的效果

过滤器连接装置31具有过滤器支撑部111、旋转轴部121以及脚部71。因此，过滤器支撑部111能够恰当地旋转。过滤器支撑部111能够为第一姿势以及第二姿势。

过滤器支撑部111具有第一过滤器支撑部113与第二过滤器支撑部117。当过滤器支撑部111为第一姿势时，第一过滤器支撑部113支撑第一过滤器21a。当过滤器支撑部111为第二姿势时，第二过滤器支撑部117支撑第二过滤器21b。因此，过滤器支撑部111能够适当地支撑第一过滤器21a，并且能够适当地支撑第二过滤器21b。

这样，过滤器连接装置31能够与形状彼此不同的的两种以上的过滤器21恰当地连接。因此，能够在形状彼此不同的的两种以上的过滤器21之间，容易地交换过滤器21。

当过滤器支撑部111为第一姿势时，第一过滤器支撑部113与第一过滤器21a的壳体26b接触。因此，第一过滤器支撑部113能够恰当地支撑第一过滤器21。当过滤器支撑部111为第一姿势时，第二过滤器支撑部117不与第一过滤器21a接触。因此，第一过滤器支撑部113能够更恰当地支撑第一过滤器21a。

同样地，当过滤器支撑部111为第二姿势时，第二过滤器支撑部117与第二过滤器21b的壳体26b接触。因此，第二过滤器支撑部117能够恰当地支撑第二过滤器21b。当过滤器支撑部111为第二姿势时，第一过滤器支撑部113不与第二过滤器21b接触。因此，第二过滤器支撑部117能够更恰当地支撑第二过滤器21b。

第一过滤器支撑部113具有底板部114。底板部114具有载置面114a。因此，第一过滤器支撑部113能够恰当地支撑第一过滤器21a。第二过滤器支撑部117具有保持臂部118。因此，第二过滤器支撑部117能够恰当地支撑第二过滤器21b。

保持臂部118沿着与载置面114a大致垂直的方向延伸。因此，通过使过滤器支撑部111旋转大约90度，过滤器支撑部111能够在第一姿势与第二姿势之间改变姿势。这样，过滤器支撑部111能够以比较小的旋转量形成第一姿势以及第二姿势。

过滤器支撑部111配置于接头构件33-35的下方。因此，过滤器支撑部111能够在接头构件33-35的下方支撑第一过滤器21a以及第二过滤器21b。

当过滤器支撑部111为第一姿势时，载置面114a大致水平。因此，第一过滤器支撑部113能够恰当地支撑第一过滤器21a。

当过滤器支撑部111为第一姿势时，保持臂部118沿着大致铅垂方向Z延伸。因此，第二过滤器支撑部117能够容易地退避至与第一过滤器21a分离的位置。

当过滤器支撑部111为第二姿势时，载置面114a为大致铅垂。因此，第一过滤器支撑部113能够容易地退避至与第二过滤器21b分离的位置。

当过滤器支撑部111为第二姿势时，保持臂部118从底板部114沿着大致水平方向延伸延伸。因此，第二过滤器支撑部117能够恰当地支撑第二过滤器21b。

当过滤器支撑部111为第一姿势时，通过使第一旋转限制部125a、125b与钩挂构件123接触，能够恰当地限制过滤器支撑部111的旋转。由此，能够将过滤器支撑部111恰当地维持为第一姿势。

当过滤器支撑部111为第一姿势时，通过使第一旋转限制部125a、125b与保持臂部118接触，能够更恰当地限制过滤器支撑部111的旋转。由此，能够将过滤器支撑部111更恰当地维持第一姿势。

当过滤器支撑部111为第二姿势时，通过使第二旋转限制部127与钩挂构件123接触，能够恰当地限制过滤器支撑部111的旋转。由此，能够将过滤器支撑部111恰当地维持为第二姿势。

当过滤器支撑部111为第二姿势时，通过使钩挂构件123与第二旋转限制部127的侧部接触，能够恰当地限制过滤器支撑部111的水平移动。由此，当过滤器支撑部111为第二姿势时，能够将过滤器支撑部111的位置维持恒定。

当过滤器支撑部111为第二姿势时，第二旋转限制部127与钩挂构件123的第二面123b、第三面123c以及第四面123d接触。在此，第二面123b、第三面123c以及第四面123d彼此不同。具体地说，第二面123b与第三面123c不在同一平面上。第二面123b与第四面123d不在同一平面上。第三面123c与第四面123d不在同一平面上。因而，当过滤器支撑部111为第二姿势时，能够将过滤器支撑部111的位置维持恒定。

旋转轴部121与保持臂部118的基端部118a连接，钩挂构件123与保持臂部118的顶端部118b连接。因此，能够使旋转轴部121与钩挂构件123之间的距离变得比较长。因而，钩挂构件123能够更恰当地限制：过滤器支撑部111以旋转轴部121为中心旋转。

脚部71能够相对于基座板41移动。因此，脚部71能够容易地使过滤器支撑部111接近接头构件33-35。而且，脚部71能够容易地使过滤器支撑部111远离接头构件33-35。

过滤器连接装置31具有配置切换部40。因此，能够使多个接头构件33-35以第一配置以及第二配置配置。

当接头构件33-35的配置为第一配置时，接头构件33-35能够恰当地与第一过滤器21a的连接口23-25连接，过滤器连接装置31能够恰当地与第一过滤器21a连接。

当接头构件33-35的配置为第二配置时，接头构件33-35能够恰当地第二过滤器21b的连接口23-25连接，过滤器连接装置31能够恰当地与第二过滤器21b连接。

这样，过滤器连接装置31能够恰当地与连接口23-25的配置彼此不同的第一过滤器21a以及第二过滤器21b连接。结果，能够从第一过滤器21a容易地交换为第二过滤器21b，能够从第二过滤器21b容易地交换为第一过滤器21a。

过滤器支撑部111能够支撑第一过滤器21a以及第二过滤器21b。脚部71以使过滤器支撑部111接近接头构件33-35的方式，使过滤器支撑部111移动。利用这样的过滤器支撑部111与脚部71，能够将支撑于过滤器支撑部111的过滤器21的连接口23-25恰当地连接在接头构件33-35。

当接头构件33-35的配置为第一配置以及第二配置中的任一个配置时，脚部用限制构件101位于允许位置，脚部用限制构件101允许连接口23-25与接头构件33-35之间的连接。由此，脚部用限制构件101允许适合的连接。适合的连接指，在以第一配置以及第二配置中的任一个配置的接头构件33-35上连接连接口23-25。

当接头构件33-35的配置为除了第一配置以及第二配置之外的配置时，脚部用限制构件101位于禁止位置，脚部用限制构件101禁止连接口23-25与接头构件33-35之间的连接。由此，脚部用限制构件101能够事先防止误连接。误连接指，在以除了第一配置以及第二配置之外的配置配置的接头构件33-35上连接连接口23-25。

当接头构件33-35的配置为第一配置以及第二配置中的任一个时，配置切换部40克服弹性构件107的弹性力，使脚部用限制构件101位于允许位置。当接头构件33-35的配置为除了第一配置以及第二配置之外的配置时，配置切换部40处于与脚部用限制构件101分离的位置，并且弹性构件107使脚部用限制构件101位于禁止位置。这样，能够利用弹性构件107与配置切换部40，使脚部用限制构件101恰当地位于允许位置以及禁止位置。

移动部51使接头构件33、34移动。当移动部51处于第一位置P1时，移动部51使接头构件33-35以第一配置配置。当移动部51处于第二位置P2时，移动部51使接头构件33-35以第二配置配置。这样，移动部51能够恰当地在第一配置与第二配置之间切换接头构件33-35的配置。

当移动部51处于第一位置P1时，第一接触部108使脚部用限制构件101位于允许位置。因而，当接头构件33-35的配置为第一配置时，第一接触部108能够恰当地使脚部用限制构件101位于允许位置。

当移动部51处于第二位置P2时，第二接触部109使脚部用限制构件101位于允许位置。因此，当接头构件33-35的配置为第二配置时，第二接触部109能够恰当地使脚部用限制构件101位于允许位置。

当移动部51处于除了第一位置P1以及第二位置P2之外的位置时，第一接触部108以及第二接触部109处于与脚部用限制构件101分离的位置。因此，当接头构件33-35的配置为除了第一配置以及第二配置之外的配置时，第一接触部108与第二接触部109能够恰当地允许脚部用限制构件101位于禁止位置。

配置切换部40具有接头轴部57，因此移动部51能够恰当地相对于基座板41旋转。由此，移动部51能够恰当地在第一配置与第二配置之间切换接头构件33-35的配置。

脚部用限制构件101在禁止位置与允许位置之间移动的方向为接头轴部57的径向。因而，第一接触部108与第二接触部109能够恰当地使脚部用限制构件101从禁止位置向允许位置移动。

在从接头轴部57的轴心C57的方向观察时，脚部用限制构件101配置于与移动部51重叠的位置。因此，第一接触部108和第二接触部109能够容易地与脚部用限制构件101接触。

过滤器支撑部111配置于接头构件33-35的下方，脚部71能够相对于基座板41向上方移动。因此，能够恰当地使过滤器支撑部111接近接头构件33-35。

接头轴部57的轴心C57大致铅垂。因而，移动部51能够容易地使接头构件33-35沿着大致水平方向移动。

脚部71沿着大致铅垂方向Z移动，脚部用限制构件101沿着大致水平方向移动。这样，脚部用限制构件101沿着与脚部71移动的方向大致垂直的方向移动。因此，能够将允许位置以及禁止位置配置于彼此接近的位置。因而，脚部用限制构件101能够容易地移动至允许位置以及禁止位置。

脚部71支撑于配置切换部40，因此脚部71能够恰当地使过滤器支撑部111朝向接头构件33-35移动。

过滤器用限制部131能够与支撑于过滤器支撑部111的过滤器21接触。过滤器用限制部131限制：过滤器21朝向接头构件33-35相对于脚部71位移。换言之，过滤器用限制部131限制：过滤器21以使过滤器21接近接头构件33-35的方式，相对于脚部71移动。因此，过滤器用限制部131能够使过滤器21的连接口23-25适当地与接头构件33-35分离。

接头构件33-35具有平坦端面38与倾斜周面39。因此，接头构件33-35能够恰当地与结构彼此不同的连接口23a-25a以及连接口23b-25b连接。

过滤器连接装置31具有销构件81与杆85，因此能够容易地使脚部71相对于基座板41移动。

在从销构件81的轴心的方向观察时，穿过销构件81的铅垂的假想线L，与支撑于过滤器支撑部111的过滤器21的中央部相交。因此，销构件81与杆85能够使脚部71以及过滤器支撑部111的整体平衡良好地沿着大致铅垂方向Z移动。因而，能够使过滤器21的整体平衡良好地移动。具体地说，能够避免：在过滤器21倾斜的状态下过滤器21向上方移动。过滤器21倾斜的状态指，过滤器21的前部比过滤器21的后部低的状态等。结果，能够使连接口23-25的所有连接口适当地与接头构件33-35连接。

基板处理装置1具有上述的过滤器连接装置31。因此，能够根据基板W的种类、处理液的种类或者处理的种类，容易地选择交换过滤器21。因此，能够更适当地过滤处理液。因而，能够进一步提高基板的处理品质。

本发明并不限定于上述实施方式，能够如下面那样发生变形实施。

(1)在上述的实施方式中，接头构件33-35与过滤器21的连接口23-25连接，但是并不限定于此。例如，也可以使一次侧配管11a的一端以及二次侧配管11b的一端直接与连接口23、24连接。具体地说，过滤器连接装置31也可以具有用于支撑一次侧配管11a的一端以及二次侧配管11b的一端的配置切换部40(基座板41)。在本变形实施方式的情况下，一次侧配管11a以及二次侧配管11b的一端为本发明的连接端口的例子。

(2)在上述的实施方式中，不具有用于驱动移动部51的动力源，但是并不限定于此。即，配置切换部40也可以具有用于驱动移动部51的动力源。

(3)在上述的实施方式中，配置切换部40能够切换的接头构件33-35的配置为两个(具体地说，第一配置与第二配置)，但是并不限定于此。例如，也可以将配置切换部能够切换的配置变更为3个以上。即，配置切换部也可以在3个以上的配置之间，切换接头构件33-35的配置。

(4)在上述的实施方式中，移动部51移动的接头构件33-35的数量为两个，但是并不限定于此。例如，移动部51移动的接头构件33-35的数量可以是一个，也可以是3个。

(5)在上述的实施方式中，第一过滤器支撑部113通过载置过滤器21来支撑过滤器21，但是并不限定于此。第一过滤器支撑部113也可以通过握持过滤器21，来支撑过滤器21。

(6)在上述的实施方式中，举例示出了过滤器21的连接口23-25的配置，但是并不限定于此。也可以适当地变更过滤器21的连接口23-25的配置。对过滤器21的形状以及连接口23-25的结构也可以进行同样的变更。

(7)在上述的实施方式中，第一过滤器21a所具有的连接口的数量为3个，但是并不限定于此。第一过滤器21a具有的连接口的数量可以是两个或者4个以上。同样地，也可以适当地变更第二过滤器21b所具有的连接口的数量。也可以根据连接口的数量的变更，变更过滤器连接装置31所具有的接头构件33-35的数量。

(8)在上述的实施方式中，在从销构件81的轴心的方向观察时，假想线L与支撑于过滤器支撑部111的第一过滤器21a的中央部以及第二过滤器21b的中央部相交，但是并不限定于此。在从销构件81的轴心的方向观察时，假想线L也可以与支撑于过滤器支撑部111的第一过滤器21a的中央部以及第二过滤器21b的中央部中的一个相交。

(9)在上述的实施方式中，当过滤器支撑部111为第二姿势时，第二旋转限制部127与钩挂构件123的3个面(即，第二面123b、第三面123c以及第四面123d)接触，但是并不限定于此。例如，也可以在过滤器支撑部111为第二姿势时，使第二旋转限制部127与第二面123b、第三面123c以及第四面123d中的任意两个面接触。例如，也可以在过滤器支撑部111为第二姿势时，使第二旋转限制部127与钩挂构件123的4个以上的面接触。通过这样的变形实施例，也能够在过滤器支撑部111为第二姿势时，将过滤器支撑部111的位置维持恒定。

(10)在上述的实施方式中，平坦端面38与连接口23a接触，但是并不限定于此。例如，也可以使平坦端面38以及倾斜周面39中的至少一个与连接口23a接触。在上述的实施方式中，倾斜周面39与连接口23b接触，但是并不限定于此。例如，也可以使平坦端面38以及倾斜周面39中的至少一个与连接口23b接触。

(11)对于上述的实施方式以及上述(1)至(10)所说明的各变形实施方式，也可以进一步将各结构置换为其它变形实施方式的结构或组合其它变形实施方式的结构等，来适当地进行变更。

本发明能够在不脱离其思想或者本质的情况下，以其它具体的形式实施，因此，发明的范围仅由附加的权利要求书决定，而并不限定于以上的说明。

Claims (19)

1.一种过滤器连接装置，能够与形状彼此不同的第一过滤器以及第二过滤器中的任一过滤器连接，所述过滤器连接装置具有：

连接端口，能够与所述第一过滤器的连接口以及所述第二过滤器的连接口连接，

基座部，支撑所述连接端口，

过滤器支撑部，能够支撑所述第一过滤器以及所述第二过滤器，

旋转轴部，与所述过滤器支撑部连接，以及

脚部，支撑所述旋转轴部；

所述过滤器支撑部通过相对于所述脚部以所述旋转轴部为中心旋转，形成第一姿势以及第二姿势，

所述过滤器支撑部具有：

第一过滤器支撑部，在所述过滤器支撑部为所述第一姿势时，所述第一过滤器支撑部支撑所述第一过滤器，以及

第二过滤器支撑部，在所述过滤器支撑部为所述第二姿势时，所述第二过滤器支撑部支撑所述第二过滤器。

2.根据权利要求1所述的过滤器连接装置，其中，

当所述过滤器支撑部为所述第一姿势时，所述第一过滤器支撑部与所述第一过滤器的壳体接触，并且所述第二过滤器支撑部处于与所述第一过滤器分离的位置，

当所述过滤器支撑部为所述第二姿势时，所述第二过滤器支撑部与所述第二过滤器的壳体接触，并且所述第一过滤器支撑部处于与所述第二过滤器分离的位置。

3.根据权利要求1所述的过滤器连接装置，其中，

所述第一过滤器支撑部具有底板部，所述底板部具有载置面，

所述第二过滤器支撑部具有保持臂部，所述保持臂部与所述底板部连接，

当所述过滤器支撑部为所述第一姿势时，所述载置面与所述第一过滤器的壳体的底部接触，

当所述过滤器支撑部为所述第二姿势时，所述保持臂部与所述第二过滤器的壳体的侧部接触。

4.根据权利要求3所述的过滤器连接装置，其中，

所述保持臂部沿着与所述载置面大致垂直的方向延伸。

5.根据权利要求3所述的过滤器连接装置，其中，

所述过滤器支撑部配置于所述连接端口的下方，

所述旋转轴部的轴心为大致水平方向，

当所述过滤器支撑部为所述第一姿势时，所述载置面为大致水平方向，并且所述保持臂部从所述底板部向上方延伸，

当所述过滤器支撑部为所述第二姿势时，所述载置面为大致铅垂方向，并且所述保持臂部从所述底板部沿着大致水平方向延伸。

6.根据权利要求3所述的过滤器连接装置，其中，

所述过滤器连接装置具有：

钩挂构件，与所述保持臂部连接，以及

第一旋转限制部，与所述脚部连接；

当所述过滤器支撑部为所述第一姿势时，所述第一旋转限制部配置于在所述保持臂部与所述钩挂构件之间形成的间隙，并且所述第一旋转限制部与所述钩挂构件接触。

7.根据权利要求6所述的过滤器连接装置，其中，

所述过滤器连接装置具有第二旋转限制部，所述第二旋转限制部与所述脚部连接，

当所述过滤器支撑部为所述第二姿势时，所述第二旋转限制部配置于所述间隙，并且所述第二旋转限制部与所述钩挂构件接触。

8.根据权利要求7所述的过滤器连接装置，其中，

当所述过滤器支撑部为所述第二姿势时，所述钩挂构件与所述第二旋转限制部的侧部接触。

9.根据权利要求6所述的过滤器连接装置，其中，

所述保持臂部具有基端部，所述基端部与所述底板部连接，

所述旋转轴部连接于所述保持臂部的所述基端部的附近，

所述钩挂构件连接于所述保持臂部的顶端部的附近。

10.根据权利要求1所述的过滤器连接装置，其中，

所述脚部被所述基座部支撑为能够相对于所述基座部移动。

11.一种过滤器连接装置，能够与连接口的配置彼此不同的第一过滤器以及第二过滤器中的任一过滤器连接，其中，

所述过滤器连接装置具有：

多个连接端口，能够与所述第一过滤器所具有的多个连接口以及所述第二过滤器所具有的多个连接口连接，

配置切换部，支撑多个所述连接端口，并且在第一配置与第二配置之间切换所述连接端口的配置，所述第一配置相当于所述第一过滤器的所述连接口的配置，所述第二配置相当于所述第二过滤器的所述连接口的配置，

过滤器支撑部，能够支撑所述第一过滤器以及所述第二过滤器，

脚部，支撑所述过滤器支撑部，使所述过滤器支撑部朝向所述连接端口移动，以及

脚部用限制构件，能够移动至禁止位置和允许位置；

当所述脚部用限制构件处于禁止位置时，所述脚部用限制构件禁止所述脚部使所述过滤器支撑部朝向所述连接端口移动，

当所述脚部用限制构件处于允许位置时，所述脚部用限制构件允许所述脚部使所述过滤器支撑部朝向所述连接端口移动，

当所述连接端口的配置为所述第一配置以及所述第二配置中的任一配置时，所述脚部用限制构件位于所述允许位置，

当所述连接端口的配置为除了所述第一配置以及所述第二配置之外的配置时，所述脚部用限制构件位于所述禁止位置。

12.根据权利要求11所述的过滤器连接装置，其中，

所述过滤器连接装置具有弹性构件，所述弹性构件与所述脚部用限制构件接触，对所述脚部用限制构件施加从所述允许位置朝向所述禁止位置的方向的弹性力，

当所述连接端口的配置为所述第一配置以及所述第二配置中的任一配置时，所述配置切换部与所述脚部用限制构件接触，从而使所述脚部用限制构件位于所述允许位置，

当所述连接端口的配置为除了所述第一配置以及所述第二配置之外的配置时，所述配置切换部位于与所述脚部用限制构件分离的位置。

13.根据权利要求11所述的过滤器连接装置，其中，

所述配置切换部具有：

基座部，

端口移动部，被所述基座部支撑为能够相对于所述基座部移动，所述端口移动部与所述连接端口的至少一个接触，

第一接触部，与所述端口移动部连接，能够与所述脚部用限制构件接触，以及

第二接触部，与所述端口移动部连接，能够与所述脚部用限制构件接触；

当所述端口移动部处于第一位置时，所述连接端口的配置为所述第一配置，所述第一接触部与所述脚部用限制构件接触，来使所述脚部用限制构件位于所述允许位置，并且所述第二接触部位于与所述脚部用限制构件分离的位置，

当所述端口移动部处于第二位置时，所述连接端口的配置为所述第二配置，所述第一接触部位于与所述脚部用限制构件分离的位置，并且第二接触部与所述脚部用限制构件接触，来使所述脚部用限制构件位于所述允许位置，

当所述端口移动部处于除了所述第一位置以及所述第二位置之外的位置时，所述连接端口的配置为除了所述第一配置以及所述第二配置之外的配置，并且所述第一接触部以及所述第二接触部分别位于与所述脚部用限制构件分离的位置。

14.根据权利要求13所述的过滤器连接装置，其中，

所述配置切换部具有端口轴部，所述端口轴部与所述基座部连接，

所述端口移动部与所述端口轴部连接，所述端口移动部能够以所述端口轴部为中心旋转，

所述脚部用限制构件在所述禁止位置与所述允许位置之间移动的方向为，所述端口轴部的径向。

15.根据权利要求14所述的过滤器连接装置，其中，

在从所述端口轴部的轴心方向观察时，所述脚部用限制构件配置于与所述端口移动部重叠的位置。

16.根据权利要求14所述的过滤器连接装置，其中，

所述过滤器支撑部配置于所述连接端口的下方，

所述脚部能够相对于所述基座部向上方移动，

所述端口轴部的轴心为大致铅垂方向，

所述脚部用限制构件通过相对于所述基座部沿着大致水平方向移动，来移动至所述禁止位置以及所述允许位置。

17.根据权利要求11所述的过滤器连接装置，其中，

所述脚部被所述配置切换部支撑为能够相对于所述配置切换部移动。

18.一种基板处理装置，具有过滤器连接装置，所述过滤器连接装置能够与形状彼此不同的第一过滤器以及第二过滤器中的任一过滤器连接，其中，

所述过滤器连接装置具有：

连接端口，能够与所述第一过滤器的连接口以及所述第二过滤器的连接口连接，

基座部，支撑所述连接端口，

过滤器支撑部，能够支撑所述第一过滤器以及所述第二过滤器，

旋转轴部，与所述过滤器支撑部连接，以及

脚部，支撑所述旋转轴部；

所述过滤器支撑部通过相对于所述脚部以所述旋转轴部为中心旋转，形成第一姿势以及第二姿势，

所述过滤器支撑部具有：

第一过滤器支撑部，在所述过滤器支撑部为所述第一姿势，所述第一过滤器支撑部支撑所述第一过滤器，以及

第二过滤器支撑部，在所述过滤器支撑部为所述第二姿势，所述第二过滤器支撑部支撑所述第二过滤器。

19.一种基板处理装置，具有过滤器连接装置，所述过滤器连接装置能够与连接口的配置彼此不同的第一过滤器以及第二过滤器中的任一过滤器连接，其中，

所述过滤器连接装置具有：

多个连接端口，能够与所述第一过滤器所具有的多个连接口以及所述第二过滤器所具有的多个连接口连接，

配置切换部，支撑多个所述连接端口，并且在第一配置与第二配置之间切换所述连接端口的配置，所述第一配置相当于所述第一过滤器的所述连接口的配置，所述第二配置相当于所述第二过滤器的所述连接口的配置，

过滤器支撑部，能够支撑所述第一过滤器以及所述第二过滤器，

脚部，支撑所述过滤器支撑部，使所述过滤器支撑部朝向所述连接端口移动，以及

脚部用限制构件，能够移动至禁止位置和允许位置；

当所述脚部用限制构件处于禁止位置时，所述脚部用限制构件禁止所述脚部使所述过滤器支撑部朝向所述连接端口移动，

当所述脚部用限制构件处于允许位置时，所述脚部用限制构件允许所述脚部使所述过滤器支撑部朝向所述连接端口移动，

当所述连接端口的配置为所述第一配置以及所述第二配置中的任一配置时，所述脚部用限制构件位于所述允许位置，

当所述连接端口的配置为除了所述第一配置以及所述第二配置之外的配置时，所述脚部用限制构件位于所述禁止位置。

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