TWI698627B - 液體感測裝置及其感測方法 - Google Patents

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陳貞瑋
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Abstract

一種液體感測裝置，包括一感測器，被配置以當與液體接觸時，在一參數值中產生一變化，其中感測器係為線形且可撓曲的，並且被配置以通過一半導體製程系統內的一路徑；以及一控制器，被配置以基於在參數值內的變化產生一警報訊號。

Description

液體感測裝置及其感測方法
本揭露係有關於一種液體感測裝置，特別是用於半導體製程系統中具有線形可撓曲感測器(flexible linear sensor)的液體感測裝置。
損害性介質(damaging medium)(例如液體)可以損害半導體裝置，例如積體電路(IC)及/或半導體製程系統(例如：用於製造半導體裝置的半導體製程機台或設備)。舉例來說，這種損害可能是由半導體製程系統的金屬部分的腐蝕，或半導體製程系統的電極之間的短路所引起。半導體製程系統可能由於管路或攜帶有液體的其他結構的洩漏，或者在半導體製程系統的位置或其內部溫度下降至低於周圍空氣的露點而發生結露時而暴露在液體中。
半導體工業在追求具有更低成本的高裝置密度已經有顯著的進步。技術進步已經產生越來越小以及更複雜的電路。在半導體裝置製程的演進過程中，功能密度(例如：每一晶片區域的相連元件數量)通常都會增加，而幾何尺寸會下降。這種微縮過程藉由增加生產效率及降低相關成本提供了優勢。
然而，功能密度的增加也增加了半導體裝置以及半導體製程系統的複雜性，例如藉由減小半導體裝置的尺寸以 及增加半導體裝置的敏感度。這種複雜性以及敏感度的增加可能與暴露於損害性介質而對損害的感受性直接相關，例如來自液體的損害(即液體損害)。在使用半導體製程系統的半導體製程期間中，用於偵測液體的現行感測裝置被限制在局部區域，例如半導體製程系統的特定腔室，並且不提供跨過可能暴露於液體的較大區域或較小間隙的感測數據。因此，用於半導體裝置製程(例如：製造)的習知系統不能完全地滿足現況。
本揭露提供一種液體感測裝置，包括：一感測器，被配置以當與液體接觸時，產生一參數值之變化，其中上述感測器係線形且可撓曲的，並且被配置以通過一半導體製程系統內的一路徑；以及一控制器，被配置以基於在上述參數值內的上述變化產生一警報訊號。
本揭露提供一種液體感測方法，包括：在一感測器讀取一參數值，上述感測器被配置以當與液體接觸時，在上述參數值中產生一變化，其中上述感測器係為線形且可撓曲的，並且被配置以通過一半導體製程系統內的一路徑；判斷上述參數值是否超過一閥值；以及當判斷出上述參數值超過上述閥值時，產生一警報訊號。
本揭露提供一種液體感測裝置，包括：複數感測器，被配置以當與液體接觸時，產生一參數值之變化，其中上述感測器之每一者係為線形且可撓曲的且被配置以通過一半導體製程系統內個別且不同的路徑；以及一控制器，與上述感測器之每一者連接，並且被配置以基於上述參數值內的上述變 化產生一警報訊號。
100:示意圖
102:線形可撓曲感測器
104:控制器
106:感測器延伸部件
108A:輸入導線
108B:輸出導線
110:電阻模組
112A:輸入導線絕緣材料
112B:輸出導線絕緣材料
114:警報訊號
200:示意圖
202:線形可撓曲感測器
204A-204B:腔室
206A-206B:液體容納結構
208:控制器
210A-210D:感測器延伸部件
212A-212F:埠
220:示意圖
222:線形可撓曲感測器
224A-224C:腔室
226:控制器
228:感測器延伸部件
232:感測器延伸部件
234:液體容納結構
250:示意圖
252:線形可撓曲感測器
254A:輸入導線
254B:輸出導線
256:腔室
258:控制器
260:感測器延伸部件
262:電阻模組
264A:輸入導線絕緣材料
264B:輸出導線絕緣材料
300:警報程序
302-306:操作
本揭露之觀點從後續實施例以及附圖可以更佳理解。須知示意圖係為範例，並且不同特徵並無示意於此。不同特徵之尺寸可能任意增加或減少以清楚論述。
第1圖係為根據一些實施例之線形可撓曲感測器的部件的示意圖。
第2A圖為根據一些實施例以並聯跨越不同腔室以及不同液體容納結構之線形可撓曲感測器的示意圖。
第2B圖為根據一些實施例之跨越用串聯連接的多個腔室之線形可撓曲感測器的示意圖。
第2C圖為根據一些實施例之纏繞液體容納結構之線形可撓曲感測器的示意圖。
第2D圖為根據一些實施例之具有導線為分開並且沒有並排的線形可撓曲感測器的示意圖。
第3圖為根據一些實施例之警報程序的流程圖。
以下的揭露內容提供許多不同的實施例以實施本案的不同特徵。以下的揭露內容敘述各個構件及其排列方式的特定範例，以簡化說明。當然，這些特定的範例並非用以限定。 舉例來說，應了解當元件被稱為“連接到”或“耦接到”另一元件時，其可以是直接連接或耦接到其他元件，或者是可以存在一或多個中間元件。
另外，以下揭露書不同範例可能重複使用相同的 參考符號及/或標記。這些重複係為了簡化與清晰的目的，並非用以限定所討論的不同實施例及/或結構之間有特定的關係。
此外，其與空間相關用詞。例如“在…下方”、“下方”、“較低的”、“上方”、“較高的”及類似的用詞，係為了便於描述圖示中一個元件或特徵與另一個(些)元件或特徵之間的關係。除了在圖式中繪示的方位外，這些空間相關用詞意欲包含使用中或操作中的裝置之不同方位。除此之外，設備可能被轉向不同方位(旋轉90度或其他方位)，則在此使用的空間相關詞也可依此相同解釋。
本揭露提供線形可撓曲感測器的複數實施例，這些線形可撓曲感測器可以在使用半導體製程系統的半導體製程應用的期間中被用來偵測在損害性介質(例如液體)的非預期暴露。此偵測可以執行在較大的、細長及/或非線性(例如：彎曲的)區域，以及通過具有較小橫截面積區域的間隙，而傳統的液體感測器較難達成或是有較低的成本效益。雖然下面的討論集中在液體的偵測，但是當任意類型的損害性介質接觸到線形可撓曲感測器，而使得可以從感測器延伸部件(sensor extension)所測量的參數值變化時，這些任意類型的損害性介質均可以被偵測。
線形可撓曲感測器可包括一集中式控制器，其可以與至少一個感測器延伸部件連接。這些感測器延伸部件的每一者包括一電阻模組(resistor module)所連接之一輸出導線以及一輸入導線。電阻模組可以選擇具有一特定電阻，使得在輸 出導線的電壓、電流、阻抗及/或電阻之間的差異，或輸入導線和輸出導線間之電壓、電流、阻抗及/或電阻的差異可以(比沒有電阻模組)更容易地被判斷。為簡要說明，電阻及阻抗在這裡將互換地討論。輸出導線及輸入導線可以被絕緣材料覆蓋，可以使輸出導線及輸入導線彼此絕緣而不短路。在某些實施例中，絕緣材料可以是纖維材料，例如棉花，其可以透過毛細現象吸收水氣以使水氣與導線接觸，以使感測器延伸部件對液體有更大的敏感度(並且易於暴露於液體)。
控制器可被配置以對每個感測器延伸部件執行警報程序。感測器延伸部件警報程序可以對連接控制器的每個感測器之延長部分個別地執行。警報程序可包括從感測器延伸部件測量感測數據(例如：參數值)，以及基於測量的感測數據判斷警報事件是否發生。如果警報事件發生，控制器可產生警報訊號指出發生警報事件的感測器之延長部分。警報事件可以是在輸入導線及/或輸出導線上所測量之電阻、電壓或電流差異，或是在輸入導線與輸出導線之間的測量電阻、電壓或電流差異，其表示沿著感測器延伸部件感測到的液體(例如：損害性介質)量。基於警報訊號，可以採取適合的補救措施，例如清潔或乾燥感測器延伸部件感測到液體(例如：損害性介質)的區域。
線形可撓曲感測器可包括相對其長度具有小橫截面積的線形可撓曲感測元件。因此，線形可撓曲感測器可以繞過並感測半導體製程系統。半導體製程系統可以是便於多階段處理半導體的架構，例如熱氧化、熱流(thermal flow)製程、金 屬矽化製程、退火製程、凝固製程、快速熱製程等等。另外，與傳統液體感測器相比，線形可撓曲感測器有更堅固、更少及更簡單的部件。藉由比傳統液體感測器有更少及更簡單的部件，線形可撓曲感測器更有成本效益、更易於架構，並且部件更容易以模組化方式(modular fashion)替換(例如：模組地更換待換部件而不需要更換全部具有整合液體感測器的定製(bespoke)半導體製程系統)。舉例來說，單一控制器可具有多個埠以模組化地連接不同的感測器延伸部件，這些感測器延伸部件可移除地裝設至該單一控制器。因此，感測器延伸部件可以被加入、替換或移除，而不需要替換此控制器或已連接此控制器的其他感測器延伸部件。這些多個感測器延伸部件可被認為並聯地與控制器連接。
第1圖係為根據一些實施例中線形可撓曲感測器102之多個部件的示意圖100。線形可撓曲感測器102可包括一控制器104，控制器104與至少一感測器延伸部件106連接。感測器延伸部件106可包括透過一電阻模組110所連接的一輸入導線108A以及一輸出導線108B。輸入導線108A可以用輸入導線絕緣材料112A絕緣，並且輸出導線108B可以用輸出導線絕緣材料112B絕緣。在某些實施例中，輸入導線絕緣材料112A可以接觸(例如：鄰接)輸出導線絕緣材料112B。控制器104可被配置以響應偵測到一警報事件而產生一警報訊號114，此將於後續進一步討論。雖然控制器104僅繪示具有單一感測器延伸部件106，但是根據複數實施例，可以根據不同應用的需要，使用任意數目的感測器延伸部件106與控制器104結合。
控制器104可被配置以感測在輸出導線108B及/或輸入導線108A與輸出導線108B之間的參數的波動。舉例來說，參數可以是電壓、電流、電阻、阻抗或任何其他基於輸入導線108A及輸出導線108B可以測量的量。為簡要說明，電阻及阻抗在這裡將互換地討論。然而，在某些實施例中，相較於一般討論所相關之電子部件的電阻，此阻抗可以指導線的特定內部電阻(例如：與長度、直徑及材料影響有關)。
警報事件可以以輸入導線108A及/或輸出導線108B中可測量的參數被改變的方式，表示輸入導線108A或輸出導線108B接觸到損害性介質。這種類型的接觸可以反映出輸入導線108A及輸出導線108B之間的短路。舉例來說，控制器104可以偵測任何非標稱(non-nominal)參數波動以作為警報事件。此參數波動可以是在參數(例如電阻(以歐姆為單位)、電壓(以伏特為單位)及/或電流(以安培為單位))中增加及/或減少超過所設定的閥值(以歐姆、伏特及/或安培為單位)。術語“超過”可以指與參數關聯的一個值的變化為低於或高於閥值。這些非標稱參數波動可以表示基於導線108(輸入導線108A或輸出導線108B)接觸到將觸發警報事件的有害物質(例如：液體)而引起的參數變化。換句話說，感測器延伸部件106可具有通常開啟(normally open,NO)狀態或通常關閉(normally close,NC)狀態，並且可以響應通常開啟狀態(例如：如果電流或電阻增加)或通常關閉狀態(例如：如果電流或電阻減少)的改變而產生警報訊號。
在某些實施例中，警報訊號114可以被發送至在半 導體製程系統的中央處理器(未繪示)，使得半導體製程系統(配置有線形可撓曲感測器)的操作者可以採取措施以補救線形可撓曲感測器偵測到的液體。另外，線形可撓曲感測器102可以用模組化方式與中央處理器連接，使得線形可撓曲感測器可以被加入、替換或移除，而不需要更動中央處理器。
電阻模組110可被連接在輸入導線108A以及輸出導線108B之間。電阻模組110可被配置以設定為在輸入導線108A以及輸出導線108B之間的特定電阻值。在某些實施例中，輸入導線108A及/或輸出導線108B相對於電阻模組110可以有較低的電阻值。舉例來說，電阻模組110可被設定為一特定電阻值，例如約10兆歐姆(M歐姆)至約20兆歐姆，使得感測器延伸部件106的電阻值變化受到輸入導線108A以及輸出導線108B的影響小於受到電阻模組110的影響。這可能至少部分是由於跨越輸入導線108A及/或輸出導線108B的電阻比電阻模組110電阻值要低(例如：低一個數量級)。另外，在某些實施例中，設定電阻模組110的電阻值遠大於跨越輸入導線108A及/或輸出導線108B的電阻可以改善(例如：增加)控制器104偵測在參數(例如：電壓、電流及/或電阻)以及感測器延伸部件106的波動的敏感度。在某些實施例中，電阻模組110可以與輸入導線絕緣材料112A及/或輸出導線絕緣材料112B分離(例如：不接觸)。
輸入導線108A以及輸出導線108B可包括具有低電阻(相對於電阻模組110)的導電材料。導電材料可促使電流從輸入導線108A傳遞到輸出導線108B，並且電流可以藉由在輸出 導線上之控制器104被測量。另外，輸入導線108A、電阻模組110及輸出導線108B可以被串聯連接。因此，輸入導線108A、電阻模組110及輸出導線108B的個別或組合的任何變化可以表現為在輸入導線108A及/或輸出導線108B的末端的參數變化，並且可以在控制器104測量。此外，在不同實施例中，整個感測器延伸部件106可被設計以包括用於不同應用的不同長度的輸入導線108A以及輸出導線108B。結合不同長度的設計，電阻模組110的電阻值亦可基於輸入導線108A以及輸出導線108B的長度而變化，以在當控制器104測量參數值時獲得不同程度的敏感度。舉例來說，當輸入導線108A以及輸出導線108B比較長時，電阻模組110的電阻值被設定較小。另外，感測器延伸部件106的不同材料可為線性且柔軟的，而不限於特定的剛性(rigid)形狀。因此，感測器延伸部件106可被容易地配置以繞過半導體製程系統(例如：腔室或水冷卻管)以偵測半導體製程系統不希望存在的損害性介質(例如：液體)。
輸入導線108A可以用輸入導線絕緣材料112A絕緣，並且輸出導線108B可以用輸出導線絕緣材料112B絕緣。輸入導線絕緣材料112A以及輸出導線絕緣材料112B可以是任意類型的材料，其可以使輸入導線108A以及輸出導線108B在不存在損害性介質(例如：液體)時而不短路。舉例來說，絕緣材料可以是一種介電材料或非導電材料，例如玻璃纖維、棉花、聚酯纖維等等。在某些實施例中，絕緣材料可以是纖維絕緣材料，例如玻璃纖維、棉花或聚酯纖維，其可以吸收接觸(例如：觸碰)絕緣材料末端的液體，使得液體可以由纖維之間的毛細 作用力接觸到輸入導線108A以及輸出導線108B。
作為範例之實施例，輸入導線108A以及輸出導線108B的直徑可以為約0.1毫米(mm)至約0.4毫米。輸入導線108A基本上與輸出導線108B以一分隔距離並排，分隔距離藉由輸入導線108A以及輸出導線108B之間的相應絕緣材料實現並且約0.01毫米至約1毫米。輸入導線108A以及輸出導線108B可以約1米(m)長至約10米長。電阻模組110可以約10兆歐姆(M ohms)至約20兆歐姆。控制器104可被校準以在跨越輸入導線108A以及輸出導線108B的電阻減少而小於1兆歐姆時偵測出1立方釐米(cc)的水接觸了輸入導線108A以及輸出導線108B。因此，控制器104可以根據警報事件產生警報訊號，警報事件定義為當跨越輸入導線108A以及輸出導線108B的電阻小於1兆歐姆。
第2A圖係根據實施例之被配置以並聯跨越不同腔室204A-204B以及不同液體容納結構206A-206B(例如：管路)之線形可撓曲感測器202的示意圖200。線形可撓曲感測器202可包括具有多個感測器延伸部件210A-210D的單一控制器208。多個感測器延伸部件210A-210D的每一者以虛線表示，並且為簡要說明，省略先前第1圖已討論之感測器延伸部件的某些細節。
腔室204A和204B以及液體容納結構206A和206B可以是半導體製程系統的一部分。液體容納結構206A可以是用於腔室204A和204B之每一者的液體冷卻引入管(liquid cooling intake pipe)(例如：提供冷卻液體至腔室204A和204B的每一者)。另外，液體容納結構206B可以是用於腔室204A和204B之 每一者的液體冷卻引出管(liquid cooling outtake pipe)(例如：從腔室204A和204B之每一者移除已變暖的冷卻液體)。腔室204A和204B可以用於半導體製程期間的不同處理的位置，例如熱氧化、熱流製程、金屬矽化製程、退火製程、凝固製程等等。
控制器208可包括埠212A-212F，感測器延伸部件210A-210D可透過埠212A-212F連接控制器208。因此，控制器208可具有多個埠212A-212F以模組化地連接不同的感測器延伸部件210A-210D。舉例來說，埠212A-212D可以與感測器延伸部件210A-210D連接。然而，開放(open)的埠212E以及212F當前可不與任何感測器延伸部件連接，但是在將來可能藉由插入開放的埠212E以及212F而連接感測器延伸部件。另外，插入不同埠的感測器延伸部件可以被移動(例如：交換)，例如感測器延伸部件210C可以與感測器延伸部件210D交換，或者可以代替地插入埠212E而不是插入埠212C。因此，感測器延伸部件210A-210D可以被加入、替換或移除，而不需要替換控制器208或已連接控制器208的其他感測器延伸部件210A-210D。
多個感測器延伸部件210A-210D可被認為並聯地連接至控制器208。藉由並聯地連接，控制器208可被配置以個別地對感測器延伸部件210A-210D的每一者執行警報程序。舉例來說，控制器208可被配置以對感測器延伸部件210A執行警報程序以判斷是否在腔室204B內偵測到參數中的非標稱波動(non-nominal fluctuation)。另外，控制器208可被配置以對感測器延伸部件210B執行另一個警報程序以判斷是否在腔室 204A內偵測到參數中的非標稱波動。再者，控制器208可被配置以對感測器延伸部件210C執行另一個警報程序以判斷是否在液體容納結構206B的附近偵測到參數中的非標稱波動。再者，控制器208可被配置以對感測器延伸部件210D執行另一個警報程序以判斷是否在液體容納結構206A的附近偵測到參數中的非標稱波動。如上面所討論，在參數中的非標稱波動可以表示藉由感測器延伸部件210A-210D之任何一者所偵測到的液體(例如：一破壞性介質)。
另外，根據複數實施例，感測器延伸部件210A-210D可以因為不同應用的需要而有任意長度或幾何形狀。舉例來說，感測器延伸部件210C可以比感測器延伸部件210B更長。而且，感測器延伸部件210D具有與感測器延伸部件210A相似但不相同的長度。此外，感測器延伸部件210A-210D可以不同程度地覆蓋半導體製程系統的不同部分。舉例來說，比起感測器延伸部件210A覆蓋腔室204B的部分，感測器延伸部件210B可以覆蓋腔室204A基本上更大的部分。另外，比起感測器延伸部件210D覆蓋(例如：沿著一條路徑)液體容納結構206A的部分，感測器延伸部件210C可以覆蓋液體容納結構206B基本上更大的部分。
第2B圖係根據一些實施例之線形可撓曲感測器202的示意圖220，其中線形可撓曲感測器202被配置以跨越串聯連接的多個腔室204A-204C。線形可撓曲感測器202可包括控制器226以及感測器延伸部件228。感測器延伸部件228以虛線表示，並且為簡要說明，省略先前第1圖已討論之感測器延伸 部件的某些細節。腔室224A-224C可以用於半導體製程期間的不同處理(例如熱氧化、熱流製程、金屬矽化製程、退火製程、凝固製程等等)的位置。控制器226可以基於跨越串聯連接的多個腔室204A-204C的感測器延伸部件228執行警報程序。舉例來說，控制器226可以對感測器延伸部件228執行警報程序以判斷是否在任何腔室224A-224C內偵測到參數中的非標稱波動。如上面所討論，在參數中的非標稱波動可以表示藉由在任何腔室224A-224C中的感測器延伸部件228所偵測到的液體(例如：一破壞性介質)。
第2C圖係根據一些實施例之線形可撓曲感測器的感測器延伸部件232的示意圖，其中感測器延伸部件232被配置成繞著液體容納結構234的繞線。感測器延伸部件232可被連接至線形可撓曲感測器的控制器，如先前第1圖所討論的內容。藉由纏繞液體容納結構234，感測器延伸部件232可以與液體容納結構234纏繞及並排，並且可以偵測液體容納結構234的外側是否存在液體。
雖然第2C圖顯示了線形可撓曲感測器222被配置成繞著液體容納結構234的繞線，在某些實施例中之線形可撓曲感測器222亦可以按照液體容納結構的需求進行其他方式的配置。舉例來說，線形可撓曲感測器222可被配置成繞著作為液體容納結構之蓄水池的繞線，例如沿著蓄水池的上邊緣(約為水線)通過。
第2D圖係根據一些實施例之具有輸入導線254A及輸出導線254B的線形可撓曲感測器252的示意圖250，其中輸入 導線254A及輸出導線254B在腔室256內分開的並且沒有並排在一起。線形可撓曲感測器252可包括與感測器延伸部件260連接的控制器258。感測器延伸部件260可包括與電阻模組262連接的輸入導線254A及輸出導線254B。輸入導線254A可以用輸入導線絕緣材料264A絕緣。輸出導線254B可以用輸出導線絕緣材料264B絕緣。控制器258可被配置以對感測器延伸部件260執行警報程序以判斷是否在腔室256內偵測到參數中作為非標稱波動的警報事件。如上面所討論，在參數中的非標稱波動可以表示藉由在腔室256中的感測器延伸部件260所偵測到的液體。另外，在腔室256內，輸入導線254A與輸出導線254B分開並且沒有並排在一起。藉由將輸入導線254A與輸出導線254B分開，感測器延伸部件260可以使用輸入導線254A與輸出導線254B覆蓋(例如：被配置以收集感測數據或參數值)腔室256的一部分，其輸入導線254A與輸出導線254B的使用量比起如果輸入導線254A與輸出導線254B並排且兩者必須通過腔室256的相同部分要少。
第3圖係根據一些實施例之警報程序300的流程圖。在操作302中，控制器可以從線形可撓曲感測器的輸出導線及/或輸入導線讀取一參數值(例如：電壓、電流或電阻值)。在操作304中，控制器可以判斷參數值是否為非標稱波動。如果參數值不是非標稱波動，則警報程序300回到操作302。如果參數值是非標稱波動，警報程序300進行至操作306。在操作306中，控制器可以將非標稱波動分類為警報事件，並且產生警報訊號。如上面所討論，非標稱波動可以是在測量參數(例如： 電阻、電壓或電流)中的變化，其表示沿著感測器延伸部件所感測的液體(例如：損害性介質)量。警報訊號可以選擇性地被發送到中央處理器，如上面所討論。基於警報訊號，可以採取適當的補救措施，例如清潔或乾燥感測器延伸部件感測到液體(例如：損害性介質)的區域。
本揭露提供一種液體感測裝置，包括：一感測器，被配置以當與液體接觸時，產生一參數值之變化，其中感測器係線形且可撓曲的，並且被配置以通過一半導體製程系統內的一路徑；以及一控制器，被配置以基於在參數值內的變化產生一警報訊號。
在一實施例中，液體感測裝置其中的感測器包括一輸入導線以及一輸出導線，輸入導線以及輸出導線藉由一電阻模組被連接，並且耦接至控制器。
在一實施例中，液體感測裝置其中的電阻模組包括一電阻值，電阻模組的電阻值大於輸入導線或輸出導線的電阻值。
在一實施例中，液體感測裝置其中的輸入導線以及輸出導線至少部分地被包圍在一纖維絕緣材料中，纖維絕緣材料被配置以透過毛細作用力吸取接觸纖維絕緣材料的液體送至輸入導線和輸出導線的至少一者。
在一實施例中，液體感測裝置其中的輸入導線以及輸出導線被並排在一起，並且通過半導體製程系統的相同部分。
在一實施例中，液體感測裝置其中的輸入導線以 及輸出導線被分開，並且通過半導體製程系統的不同部分。
在一實施例中，液體感測裝置更包括耦接到控制器的多個感測器，多個感測器的每一者係線形且可撓曲的，並且被配置以通過半導體製程系統內個別且不同的路徑。
在一實施例中，液體感測裝置其中的控制器包括一開放埠，並且感測器係可移除地附加至控制器，使得感測器被配置以在開放埠的位置從控制器被移除，以及在開放埠的位置被重新附加到控制器。
在一實施例中，液體感測裝置其中的控制器被配置以當參數值超過一閥值時，產生警報訊號。
本揭露提供一種液體感測方法，包括：在一感測器讀取一參數值，感測器被配置以當與液體接觸時，在參數值中產生一變化，其中感測器係為線形且可撓曲的，並且被配置以通過一半導體製程系統內的一路徑；判斷參數值是否超過一閥值；以及當判斷出參數值超過閥值時，產生一警報訊號。
在一實施例中，液體感測方法其中的參數值從感測器的一輸入導線和一輸出導線中至少一者被讀取。
在一實施例中，液體感測方法其中的路徑係在半導體製程系統的一腔室內。
在一實施例中，液體感測方法其中的路徑捲繞半導體製程系統的一水管。
在一實施例中，液體感測方法其中的路徑通過半導體製程系統的多個腔室。
本揭露提供一種液體感測裝置，包括：複數感測 器，被配置以當與液體接觸時，產生一參數值之變化，其中感測器之每一者係為線形且可撓曲的且被配置以通過一半導體製程系統內個別且不同的路徑；以及一控制器，與感測器之每一者連接，並且被配置以基於參數值內的變化產生一警報訊號。
在一實施例中，液體感測裝置其中的感測器之每一者包括一輸入導線、一輸出導線、以及一電阻模組，其中輸入導線以及輸出導線藉由電阻模組被連接，並且耦接至控制器。
在一實施例中，液體感測裝置其中的輸入導線以及輸出導線至少部分地被包圍在一纖維絕緣材料中，纖維絕緣材料被配置以透過毛細作用力吸取接觸纖維絕緣材料的液體。
在一實施例中，液體感測裝置其中的感測器之至少一者包括一輸入導線以及一輸出導線，輸入導線以及輸出導線被並排在一起，並且通過半導體製程系統的相同部分。
在一實施例中，液體感測裝置其中的感測器之至少一者通過半導體製程系統的二個腔室。
在一實施例中，液體感測裝置其中的感測器之每一者通過半導體製程系統的不同腔室。
前述內文概述了許多實施例的特徵，使本技術領域中具有通常知識者可以從各個方面更佳地了解本揭露。本技術領域中具有通常知識者應可理解，且可輕易地以本揭露為基礎來設計或修飾其他製程及結構，並以此達到相同的目的及/或達到與在此介紹的實施例等相同之優點。本技術領域中具有 通常知識者也應了解這些相等的結構並未背離本揭露的發明精神與範圍。在不背離本揭露的發明精神與範圍之前提下，可對本揭露進行各種改變、置換或修改。
除此之外，除非有特別說明，否則諸如“能夠”、“可”、“可能”或“可以”的條件用語在通常用於表達某些實施例包括某些特徵、元素及/或步驟，而其他實施例不包括某些特徵、要素及/或步驟。因此，這種條件用語通常並不意味著特徵、要素及/或步驟在一或多個實施例中以任何方式被要求，或者一或多個實施例在具有或不具有使用者輸入或提示的情況下，必須包括理由以決定是否這些特徵、要素及/或步驟被包括或被執行在任何特定實施例中。
另外，在閱讀本揭露後，本技術領域中具有通常知識者將可以配置功能性實體(functional entities)以執行本文所述之操作。在這裡針對特定操作或功能所使用的術語“配置”係指系統、裝置、部件、電路、結構、機器等等物理地或虛擬地被架構、編程及/或佈置以執行特定操作或功能。
分離性用語除非有特別說明，否則在通常用於表達項目、術語等等，例如詞組“X、Y或Z中之至少一者”可以是X、Y或Z，或其任意組合(例如X、Y及/或Z)。因此，這種分離性用語通常並不意味著在某些實施例中要求至少一個X，、至少一個Y或至少一個Z的每一個存在。
應該強調的是，可以對上述實施例進行許多變化以及修改，其要素被理解為其他可接受的範例。所有這種修改以及變化被包括在本揭露的範圍內並且被以下的權利要求所 保護。
100:示意圖
102:線形可撓曲感測器
104:控制器
106:感測器延伸部件
108A:輸入導線
108B:輸出導線
110:電阻模組
112A:輸入導線絕緣材料
112B:輸出導線絕緣材料
114:警報訊號

Claims (10)

  1. 一種液體感測裝置，包括：一感測器，包括一封閉電路，上述感測器被配置以當與液體接觸時，產生上述封閉電路的一參數值之變化，其中上述感測器係線形且可撓曲的，並且被配置以通過一半導體製程系統內的一路徑，其中上述感測器具有一輸入導線以及一輸出導線，上述輸入導線之一端和上述輸出導線之一端藉由一電阻模組被連接，並且上述輸入導線之另一端和上述輸出導線之另一端耦接至上述控制器以形成上述封閉電路，上述電阻模組包括一電阻值，上述電阻模組的電阻值大於上述輸入導線或上述輸出導線的電阻值；以及一控制器，被配置以基於在上述參數值內的上述變化產生一警報訊號。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之液體感測裝置，其中：上述輸入導線以及上述輸出導線至少部分地被包圍在一纖維絕緣材料中，上述纖維絕緣材料被配置以透過毛細作用力吸取接觸上述纖維絕緣材料的液體送至上述輸入導線和上述輸出的至少一者。
  3. 如申請專利範圍第2項所述之液體感測裝置，其中上述輸入導線以及上述輸出導線被並排在一起且通過上述半導體製程系統的相同部分，或上述輸入導線以及上述輸出導線被分開且通過上述半導體製程系統的不同部分。
  4. 如申請專利範圍第1項所述之液體感測裝置，更包括耦接到上述控制器的多個感測器，上述多個感測器的每一者係線 形且可撓曲的，並且被配置以通過上述半導體製程系統內個別且不同的路徑。
  5. 如申請專利範圍第1項所述之液體感測裝置，其中上述控制器包括一開放埠，並且上述感測器係可移除地附加至上述控制器，使得上述感測器被配置以在上述開放埠的位置從上述控制器被移除，以及在上述開放埠的位置被重新附加到上述控制器。
  6. 一種液體感測方法，包括：在包括一封閉電路的一感測器讀取上述封閉電路的一參數值，上述感測器被配置以當與液體接觸時，在上述參數值中產生一變化，其中上述感測器係為線形且可撓曲的，並且被配置以通過一半導體製程系統內的一路徑，其中上述感測器具有一輸入導線以及一輸出導線，上述輸入導線之一端和上述輸出導線之一端藉由一電阻模組被連接，並且上述輸入導線之另一端和上述輸出導線之另一端耦接至上述控制器以形成上述封閉電路，上述電阻模組包括一電阻值，上述電阻模組的電阻值大於上述輸入導線或上述輸出導線的電阻值；判斷上述參數值是否超過一閥值；以及當判斷出上述參數值超過上述閥值時，產生一警報訊號。
  7. 如申請專利範圍第6項所述之液體感測方法，其中上述路徑係在上述半導體製程系統的一腔室內、捲繞上述半導體製程系統的一水管或通過上述半導體製程系統的多個腔室。
  8. 一種液體感測裝置，包括： 複數感測器，上述感測器之每一者包括一封閉電路，上述感測器之每一者被配置以當與液體接觸時，產生相應的上述封閉電路的一參數值之變化，其中上述感測器之每一者係為線形且可撓曲的且被配置以通過一半導體製程系統內個別且不同的路徑，其中上述感測器之每一者具有一輸入導線以及一輸出導線，上述輸入導線之一端和上述輸出導線之一端藉由一電阻模組被連接，並且上述輸入導線之另一端和上述輸出導線之另一端耦接至上述控制器以形成上述封閉電路，上述電阻模組包括一電阻值，上述電阻模組的電阻值大於上述輸入導線或上述輸出導線的電阻值；以及一控制器，與上述感測器之每一者連接，並且被配置以基於上述參數值內的上述變化產生一警報訊號。
  9. 如申請專利範圍第8項所述之液體感測裝置，其中：上述輸入導線以及上述輸出導線至少部分地被包圍在一纖維絕緣材料中，上述纖維絕緣材料被配置以透過毛細作用力吸取接觸上述纖維絕緣材料的液體。
  10. 如申請專利範圍第8項所述之液體感測裝置，其中上述感測器之至少一者之上述輸入導線以及上述輸出導線被並排在一起，並且通過上述半導體製程系統的相同部分，或者上述感測器之至少一者通過上述半導體製程系統的二個腔室。
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