TWI681156B - 空氣調和裝置 - Google Patents

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TWI681156B TW107105491A TW107105491A TWI681156B TW I681156 B TWI681156 B TW I681156B TW 107105491 A TW107105491 A TW 107105491A TW 107105491 A TW107105491 A TW 107105491A TW I681156 B TWI681156 B TW I681156B
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古本英明
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日商伸和控制工業股份有限公司
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Abstract

本發明之課題在於能以不要求大型化之簡易之構成，抑制於自設置於空氣調和裝置之複數個管道連接口流出之空氣間可能產生之溫度及濕度的差異。
本實施形態之空氣調和裝置1具備：空氣流通路徑2；溫度調節部3、4，其對空氣流通路徑2內之空氣進行溫度調節；加濕器5，其可向空氣流通路徑2內供給蒸氣；送風機6，其具有連接於空氣流通路徑2之下游側開口22A之吸入口6A，且具有噴出自吸入口6A吸入之空氣之噴出口6B；腔室7，其具有連接於噴出口6B之連通口7A，且具有構成為可連接管道且用以使來自噴出口6B之空氣經由管道向外部流出之複數個管道連接口7B；及擋板部8，其設置於腔室7內，且於沿著通過噴出口6B之空氣之流動方向觀察之情形時，與噴出口6B之至少一部分重合。

Description

空氣調和裝置
本發明係關於一種空氣調和裝置，尤其是關於一種用於抑制供給至複數個部位之空氣之溫度及濕度之差異的技術。
於半導體製造時之圖案形成步驟中，有利用光微影之情形。於光微影中，首先，於將感光性之抗蝕劑塗布於晶圓後，對抗蝕劑曝光對應於期望圖案之光。接著，例如於抗蝕劑為光硬化型之感光材料之情形時，藉由溶劑等去除抗蝕劑之未被光曝光之區域。藉此，可於抗蝕劑形成(顯影)期望之圖案。
於如上所述之光微影中，要求將抗蝕劑之溫度及濕度均一化且調節為期望之值。其係為了將晶圓上之抗蝕劑之厚度設為一定而要求之條件，於半導體製造設備中，由空氣調和裝置承擔對應於該要求之作用。此種空氣調和裝置藉由將溫度及濕度經調節之空氣供給至執行塗布抗蝕劑之裝置(以下，稱為抗蝕劑塗布裝置)，而進行抗蝕劑之調溫及調濕。於此種空氣調和裝置之領域中，先前以來提出多種用以提高溫度及濕度之控制精度之技術(例如JP2009-63242A)。
然而，於半導體製造設備中，為了增加晶圓之處理片數，有導入彙集了數個抗蝕劑塗布裝置之大型製造單元之情形。此時，有於一個空氣調和裝置設置複數個管道連接口，通過連接於該等管道連接口之管道，同時 將經調溫調濕之空氣供給至上述製造單元內之複數個抗蝕劑塗布裝置之情形。
然而，於自複數個管道連接口流出之空氣中產生溫度差或濕度差之情形時，即使於同一個製造單元內，亦會導致每個抗蝕劑塗布裝置之抗蝕劑之厚度產生變化。其結果，有可能會產生於完成之半導體零件之精加工產生差異之問題。
上述問題可藉由以不使經調溫調濕之空氣產生分佈之方式攪拌而予以緩和。因此，若採取如延長經調溫調濕後之空氣到達至管道連接口之路徑之長度、或連接於管道連接口之管道之長度之對策，則可抑制如上述所述之分佈之產生。然而，於要求小型化之情形、或管道之設置空間有限制之情形時難以利用該對策。尤其於半導體製造設備中，大多將空氣調和裝置設置於天花板較低之場所，於此種條件下，難以利用上述對策，即使假定利用亦有無法充分地消除分佈之問題之情形。
本發明係鑑於上述實情而完成者，目的在於提供一種可以無須大型化之簡易構成抑制於自複數個管道連接口流出之空氣間可能產生之溫度及濕度之差異。
本發明係一種空氣調和裝置，其特徵在於具備：空氣流通路徑，其使空氣流通；溫度調節部，其將上述空氣流通路徑內之空氣進行溫度調節；加濕器，其可向上述空氣流通路徑內供給蒸氣；送風機，其具有連接於上述空氣流通路徑之下游側開口之吸入口，且具有噴出自上述吸入口吸入之空氣之噴出口；腔室，其具有連接於上述噴出口之連通口，且具有構成為可連接管道且用以使來自上述噴出口之空氣經由管道向外部流出之複 數個管道連接口；及擋板部，其設置於上述腔室內，且於沿著通過上述噴出口之空氣之流動方向觀察之情形時，與上述噴出口之至少一部分重合。
根據本發明，可藉由使通過或將通過送風機之噴出口之空氣碰撞於擋板部，使得空氣之流動產生變化，又，於腔室內產生亂流。藉由此種空氣之轉向或亂流，可於腔室內攪拌空氣本身及空氣與其包含之蒸氣。藉此，可以無須大型化之簡易構成即可抑制於自複數個管道連接口流出之空氣間可能產生之溫度及濕度之差異。
於本發明之空氣調和裝置中，上述擋板部可沿著相對於通過上述噴出口之空氣之流動方向傾斜交叉之方向延伸。
於該情形時，可抑制因空氣碰撞於擋板部而產生之壓力損失，可一面確保攪拌作用一面效率良好地使空氣自管道連接口流出。
又，於本發明之空氣調和裝置中，上述擋板部可具有於厚度方向貫通之空氣通過口，且以其外周緣整體與上述腔室之內周面之間成氣密狀態之方式設置於上述腔室內。
於該情形時，擋板部之保持狀態穩定，且空氣通過空氣通過口並於擋板部之下游側膨脹，藉此可促進空氣本身及空氣與蒸氣之攪拌。
又，於本發明之空氣調和裝置中，上述空氣通過口亦可為於沿著通過上述噴出口之空氣之流動方向觀察之情形時，以一部分與上述噴出口重合而其他部分不與上述噴出口重合之方式設置。
於該情形時，藉由擋板部轉向，隨後碰撞於空氣通過口之邊緣部分而於下游側產生亂流之空氣、與未碰撞於擋板部而通過空氣通過口之空氣混合，藉此，可效果良好地促進空氣本身及空氣與蒸氣之攪拌。
又，於本發明之空氣調和裝置中，上述空氣通過口亦可設置於沿著 通過上述噴出口之空氣之流動方向觀察情形時，不與上述噴出口重合之位置。
於該情形時，由於可使來自噴出口之空氣之方向首先藉由擋板部轉向，隨後，碰撞於空氣通過口之邊緣部分而於下游側產生亂流，故可效果良好地促進空氣本身及空氣與蒸氣之攪拌。
又，於本發明之空氣調和裝置中，上述空氣通過口可設置於上述擋板部之比起靠近上述噴出口側之端部而較為靠近遠離噴出口側之端部之位置。
於該情形時，可藉由抑制發生空氣於擋板部之上游側停滯之狀態，使空氣自噴出口向空氣通過口順利流動，而抑制壓力損失，且可效率良好地使送風機運轉。
又，於本發明之空氣調和裝置中可為，上述送風機係離心送風機，且具備：葉片輪；蝸殼部，其收納上述葉片輪且使上述吸入口沿著上述葉片輪之軸向貫通；及管道部，其自上述蝸殼部延伸，且於其前端具有上述噴出口；上述管道部連接於上述蝸殼部之蝸旋狀之內周面之起繞部及止繞部，上述擋板部於沿著上述葉片輪之軸向觀察之情形時，以其上述起繞部側之端部較其相反側之端部更靠近上述噴出口之方式傾斜。
於該情形時，於空氣碰撞於擋板部時，由於可抑制空氣過度之方向轉換，故可抑制壓力損失之過度增大，而可較佳地確保攪拌作用與空氣之有效流通。
又，於本發明之空氣調和裝置中，上述空氣流通路徑、上述溫度調節部、上述加濕器、及上述送風機可收納於殼體之內部，上述腔室具有：上游側半體，其收納於上述殼體之內部且設置有上述連通口，及下游側半 體，其配置於上述殼體之外部；上述管道連接口設置於上述下游側半體。
於該情形時，藉由以上游側半體與下游側半體構成腔室，易於確保擴大腔室之內部空間，又，管道連接口之位置、開口方向及個數之自由度變高，因而亦可提高空氣供給之自由度。
又，於本發明之空氣調和裝置中，上述擋板部可固定於上述腔室之上述連通口之周緣部，且上述擋板中之至少與上述噴出口重合之部分沿著相對於通過上述噴出口之空氣之流動方向正交的方向延伸。
於該情形時，以極其簡單之構造，即可產生空氣之轉向或亂流，藉此，可於腔室內攪拌空氣本身及空氣與其所包含之蒸氣。
此時，可於上述腔室之上述連通口之周緣部隔開間隔地設置用以安裝上述擋板部之複數個安裝部。
於該情形時，藉由可以複數個安裝部設置各種朝向之擋板部，而可靈活地進行攪拌作用與空氣之有效流通之調節，而可提高方便性。
又，於本發明之空氣調和裝置中，上述擋板部可由以覆蓋上述連通口之周緣部之全周之方式固定之沖孔板構成。
於該情形時，可跨及大範圍地使欲通過噴出口之空氣之方向轉向，且可大範圍地產生亂流。
根據本發明，可以無須大型化之簡易構成而可抑制於自複數個管道連接口流出之空氣間可能產生之溫度及濕度之差異。
1‧‧‧空氣調和裝置
1A‧‧‧殼體
2‧‧‧空氣流通路徑
3‧‧‧冷卻器
4‧‧‧加熱器
5‧‧‧加濕器
6‧‧‧送風機
6A‧‧‧吸入口
6B‧‧‧噴出口
7‧‧‧腔室
7A‧‧‧連通口
7B‧‧‧管道連接口
8‧‧‧擋板部
8A‧‧‧端部
8B‧‧‧端部
21‧‧‧縱流道部
21A‧‧‧上游側開口
22‧‧‧水平流道部
22A‧‧‧下游側開口
23‧‧‧過濾裝置
61‧‧‧葉片輪
62‧‧‧蝸殼部
62A‧‧‧內周面
62S‧‧‧起繞部
62E‧‧‧止繞部
621‧‧‧周板部
63‧‧‧管道部
63A‧‧‧部分
64‧‧‧馬達
71‧‧‧上游側半體
72‧‧‧下游側半體
81‧‧‧空氣通過口
91‧‧‧安裝部
621‧‧‧周板部
622‧‧‧一對側板部
D1‧‧‧第1方向
D2‧‧‧第2方向
F1‧‧‧軸線
L1‧‧‧軸向
P1‧‧‧連接點
P2‧‧‧點
VI‧‧‧箭頭
VIII‧‧‧箭頭
圖1係本發明第1實施形態之空氣調和裝置之立體圖。
圖2係圖1所示之空氣調和裝置之側視圖。
圖3係圖1所示之空氣調和裝置之送風機及腔室之立體圖。
圖4係圖1所示之空氣調和裝置之送風機及腔室之概略圖。
圖5係圖1所示之空氣調和裝置之腔室之立體圖。
圖6係顯示沿著圖5之箭頭VI方向觀察時之腔室之圖。
圖7係本發明第1實施形態一變化例之空氣調和裝置之腔室的立體圖。
圖8係顯示沿著圖7之箭頭VIII方向觀察時之腔室之圖。
圖9係本發明第2實施形態之空氣調和裝置之立體圖。
圖10係圖9所示之空氣調和裝置之腔室之立體圖。
圖11係圖9所示之空氣調和裝置之送風機及腔室之概略圖。
圖12係顯示本發明第2實施形態一變化例之空氣調和裝置之腔室的圖。
圖13係顯示本發明第2實施形態之另一變化例之空氣調和裝置之腔室的圖。
圖14係本發明第3實施形態之空氣調和裝置之立體圖。
於以下參照隨附之圖式詳細地說明本發明之一實施形態。
(第1實施形態)
圖1係本發明第1實施形態之空氣調和裝置1之立體圖，圖2係空氣調和裝置1之側視圖。空氣調和裝置1具備於內部收納複數個構件之長方體狀之殼體1A，於圖2中，顯示拆除殼體1A之狀態之空氣調和裝置1之側視圖。
如圖2所示，本實施形態之空氣調和裝置1具備：空氣流通路徑2，其 供空氣流通；冷卻器3及加熱器4，其與設置於空氣流通路徑2之溫度調節部對應；加濕器5，其設置於空氣流通路徑2；送風機6，其賦予用以於空氣流通路徑2中使空氣流通之驅動力；及腔室7，其用以於接收到自送風機6噴出之空氣後使其向外部流出。其中，空氣流通路徑2、冷卻器3、加熱器4、加濕器5及送風機6收納於殼體1A內，腔室7設置於殼體1A之上部，其下部收納於殼體1A內，且使其上部露出於殼體1A之外部。
空氣流通路徑2具有：管狀之縱流道部21，其沿著上下方向延伸；及管狀之水平流道部22，其連通於縱流道部21之上部並自該上部沿著水平方向延伸。於以下之說明中，將沿著水平方向朝圖1之紙面左右方向延伸之方向稱為第1方向D1，將沿著水平方向與第1方向D1正交且水平流道部22沿著其軸向或其延伸方向延伸之方向稱為第2方向D2。
縱流道部21於其下部設置沿著水平方向開口之上游側開口21A，於本實施形態中，上游側開口21A自縱流道部21之內部向第2方向D2之一側(圖2之左方向)開口。上游側開口21A係用於將空氣引入縱流道部21之內部而設置，於本實施形態中，由設置於上游側開口21A之外側之過濾裝置23覆蓋上游側開口21A。藉此，將通過過濾裝置23而經去除微粒之空氣自上游側開口21A引入縱流道部21之內部。又，水平流道部22於與縱流道部21側相反側之端部，即，於第2方向D2之另一側端部設置有下游側開口22A，且經由下游側開口22A與送風機6連通。
於本實施形態中，將冷卻器3設置於縱流道部21之下部內，將加熱器4設置於縱流道部21之上部內。冷卻器3可為以使熱媒體循環之方式藉由配管依序連接有壓縮機、冷凝器、膨脹閥及蒸發器之冷卻迴路中之蒸發器。又，加熱器4可為電加熱器等，亦可為利用於上述之冷卻迴路中成為 高溫之熱媒體之一部分者。冷卻器3能以可變之冷凍能力將空氣流動路徑2內部之空氣冷卻，加熱器4能以可變之加熱能力將空氣流動路徑2內部之空氣加熱。藉由該等冷卻器3及加熱器4而將空氣流通路徑2內之空氣進行溫度調節。
又，加濕器5設置於水平流道部22，且可將蒸氣供給至空氣流通路徑2內。即，於本實施形態中，將加濕器5於水平方向上配置於加熱器4與送風機6之間。加濕器5例如具有：儲存槽，其朝向上方向水平流道部22之內部開放而儲存水；及加熱器，其將該儲存槽內之水加熱，且加濕器可藉由加熱器調節蒸氣之量而調節空氣流通路徑2內之空氣之濕度。
圖3係送風機6及腔室7之立體圖，圖4係沿著送風機6之旋轉軸觀察時之送風機6及腔室7之概略圖。如圖2至圖4所示，本實施形態之送風機6具有連接於空氣流通路徑2之下游側開口22A之吸入口6A(參照圖2)，且具有將自吸入口6A吸入之空氣噴出之噴出口6B。詳細而言，本實施形態之送風機6為離心送風機，且具備：葉片輪61；蝸殼部62，其收納葉片輪61且使上述吸入口6A沿著葉片輪61之軸向L1貫通；及管道部63，其自蝸殼部62延伸，且於其前端具有上述噴出口6B。如圖3所示，管道部63為管狀，作為一例於本實施形態中形成為方管狀，但此種形狀並非特別限定者。
如圖4所示，蝸殼部62具有劃分出自吸入口6A朝向噴出口6B之空氣流道之蝸旋狀之內周面62A，且具有周板部621，其構成為使內周面62A跨及起繞部62S至止繞部62E地包圍葉片輪61；及一對側板部622，其固定於周板部621之軸向L1之兩側，且於軸向L1上覆蓋葉片輪61；上述管道部63連接於起繞部62S、止繞部62E及位於其等之間之側板部622之邊緣部並自蝸殼部62延伸。另，上述吸入口6A形成於一對側板部622中之一者，於 一對側板部622中之另一者，設置有用以旋轉驅動葉片輪61之馬達64。又，於本實施形態中，藉由使管道部63朝向上方延伸，而使噴出口6B朝向上方開口。藉此，於本實施形態中，將噴出口6B於上下方向連接於腔室7。
此種送風機6藉由使葉片輪61旋轉而將空氣流通路徑2內部之空氣引入其內部，並自朝向上方開口之噴出口6B將空氣向腔室7內噴出。此處，藉由送風機6提取空氣流通路徑2內部之空氣，而將外部之空氣自上游側開口21A引入空氣流通路徑2之內部。藉此，於空氣流通路徑2中流通空氣。
腔室7如圖1至圖4所示，具有連接於送風機6之噴出口6B之連通口7A，且具有構成為可連接管道(省略圖示)且用以使來自噴出口6B之空氣經由管道向外部流出之複數個管道連接口7B。詳細而言，本實施形態之腔室7具有：上游側半體71，其收納於殼體1A之內部且設置有連通口7A；及下游側半體72，其以自殼體1A之上部外面突出之方式配置於殼體1A之外部，且管道連接口7B設置於其中之下游側半體72。於圖示之例中，以結合後之上游側半體71與下游側半體72構成為呈長方體狀，且該等可藉由螺栓等緊固機構可分開地結合。又，於本例中，將連通口7A設為與噴出口6B同樣之形狀，且連通口7A及噴出口6B以彼此整合之狀態連接。另，連通口7A可大於噴出口6B，亦可以包圍噴出口6B之方式連接於噴出口6B。
圖5係腔室7中之上游側半體71之立體圖，圖6係顯示沿著圖5之箭頭VI方向觀察時之腔室7之圖，於圖5及圖6，為了說明之方便起見，以虛線圖示噴出口6B。此處，如圖3至6所示，於本實施形態中，將擋板部8設置於腔室7中之上游側半體71內，該擋板部8為板狀之構件，且於沿著通過 噴出口6B之空氣之流動方向觀察之情形時，與噴出口6B之至少一部分(於本例中為一部分)重合。此處，「通過噴出口6B之空氣之流動方向」意指於通過噴出口6B之中心、及成為與噴出口6B相同或相似形狀之管道部63之連接之各剖面之中心的軸線F1上延伸之方向。
詳細而言，於本實施形態中，如圖4所示，管道部63中之包含連接點P1與點P2之部分至噴出口6B之部分63A具有成為與噴出口6B相同或相似形狀之連接之剖面，該連接點P1係管道部63與起繞部62S之連接點，該點P2係於平行於包含噴出口6B之整個周緣部之平面之方向上與該連接點P1對向之點。於本實施形態中，於通過此種連接之剖面之中心、及噴出口6B之中心之圖4及圖6等所示之軸線F1上延伸之方向對應於「通過噴出口6B之空氣之流動方向」。
若對擋板部8詳細敍述，則如圖4及圖5所示，本實施形態之擋板部8沿著對於通過噴出口6B之空氣之流動方向，即對於軸線F1傾斜交叉之方向延伸，尤其如圖4所示，於沿著葉片輪61之軸向L1觀察之情形時，以該上述起繞部62S側之端部8A較其相反側之端部8B更靠近噴出口6B之方式傾斜。又，擋板部8具有於厚度方向貫通之空氣通過口81，且以擋板部8之外周緣整體與腔室7、詳細而言係上游側半體71之內周面之間為氣密狀態之方式設置於上游側半體71內。於本實施形態中，藉由於上游側半體71之內周面設置向內側突出之階部，並將擋板部8載置於該階部，而以傾斜狀態支持擋板部8。此種擋板部8之支持態樣當然亦可為其他之態樣。
又，如圖6所示，空氣通過口81設置成於沿著通過噴出口6B之空氣之流動方向觀察之情形時，一部分與噴出口6B重合，其他部分不與噴出口6B重合。又，空氣通過口81如圖4所示，設置於擋板部8之較靠近噴出口 6B側之端部8A更遠離噴出口6B側之端部8B附近之位置。
藉由如上所述設置擋板部8，於本實施形態中，自送風機6之噴出口6B噴出至上游側半體71之空氣經由擋板部8之空氣通過口81流入至下游側半體72。接著，流入至下游側半體72之空氣自管道連接口7B流出。如圖1所示，於本例中，設置有8個管道連接口7B，於下游側半體72之上壁部、面向第1方向D1一側之壁部、及面向第2方向D2另一側之壁部之各者設置有複數個管道連接口7B。另，此種管道連接口7B之數量或開口方向並非特別限定者。各管道連接口7B可連接管道，且可藉由將各管道連接於複數個溫度控制對象區域，而自空氣調和裝置1對複數個溫度控制對象區域供給溫度及濕度經調節之空氣。
接著，對本實施形態之作用進行說明。
於本實施形態之空氣調和裝置1中，藉由送風機6使葉片輪61旋轉，而將外部之空氣自空氣流通路徑2之上游側開口21A引入空氣流通路徑2之內部。藉此，於空氣流通路徑2中流通空氣。引入空氣流通路徑2內之空氣首先藉由冷卻器3冷卻，接著，藉由加熱器4加熱，而調節至期望之溫度。隨後，空氣通過加濕器5之上方而調節其濕度。
隨後，空氣於送風機6內藉由葉片輪61旋轉而自噴出口6B噴出。接著，自送風機6之噴出口6B噴出至上游側半體71之空氣經由擋板部8之空氣通過口81流入至下游側半體72。接著，流入至下游側半體72之空氣自管道連接口7B流出。此處，如上所述，於將空氣自送風機6之噴出口6B噴出至上游側半體71時，於本實施形態中，如圖4之箭頭所示，空氣碰撞於擋板部8，藉此空氣之流動產生變化，而可使腔室7內產生亂流。可藉由此種空氣之轉向或亂流而於腔室7內攪拌空氣本身及空氣與其所含之蒸氣。 藉此，可藉由無須大型化之簡易構成抑制於自複數個管道連接口7B流出之空氣間可能產生之溫度及濕度之差異。
如以上說明般，本實施形態之空氣調和裝置1具備：空氣流通路徑2；冷卻器3及加熱器4，其對應於對空氣流通路徑2內之空氣進行溫度調節之溫度調節部；加濕器5，其可將蒸氣供給至空氣流通路徑2內；送風機6，其具有連接於空氣流通路徑2之下游側開口22A之吸入口6A，且具有噴出自吸入口6A吸入之空氣之噴出口6B；腔室7，其具有連接於噴出口6B之連通口7A，且具有構成為可連接管道且用以使來自噴出口6B之空氣經由管道向外部流出之複數個管道連接口7B；及擋板部8，其設置於腔室7內，且於沿著通過噴出口6B之空氣之流動方向觀察之情形時，與噴出口6B之至少一部分重合。藉此，可藉由無須大型化之簡易構成抑制於自複數個管道連接口7B流出之空氣間可能產生之溫度及濕度之差異。
又，於本實施形態中，擋板部8沿著相對於通過噴出口6B之空氣之流動方向傾斜交叉之方向延伸。藉此，可抑制因空氣碰撞於擋板部8而產生之壓力損失，可確保攪拌作用且效率良好地使空氣自管道連接口7B流出。
尤其，於本實施形態中，送風機6為離心送風機，擋板部8於沿著葉片輪61之軸向L1觀察之情形時，以該上述起繞部62S側之端部8A較其相反側之端部8B更靠近噴出口6B之方式傾斜，藉此，於空氣碰撞於擋板部8時，由於可抑制空氣過度之方向轉換，故可抑制壓力損失之過度增大，而較佳地確保攪拌作用與空氣之有效流通。即，自離心送風機噴出之空氣有包含向止繞部62E行進之成分之傾向，但於本實施形態之構成中，以此種傾向流動之空氣之方向接近擋板部8之傾斜方向，而可抑制空氣過度之方 向轉換，藉此可抑制壓力損失之過度增大。
又，本實施形態之擋板部8具有於厚度方向貫通之空氣通過口81，且以其外周緣之整體與腔室7(上游側半體71)之內周面之間成為氣密狀態之方式設置於腔室7內，藉此，擋板部8之保持狀態穩定，且空氣通過空氣通過口81於擋板部8之下游側膨脹。其結果，可促進空氣本身及空氣與蒸氣之攪拌。
又，空氣通過口81設置為於沿著通過噴出口6B之空氣之流動方向觀察之情形時，一部分與噴出口6B重合，其他部分不與噴出口6B重合。藉此，藉由擋板部8轉向且隨後碰撞於空氣通過口81之邊緣部分而於下游側產生亂流之空氣，與未碰撞於擋板部8而通過空氣通過口81之空氣混合。藉此，可效果良好地促進空氣本身及空氣與蒸氣之攪拌。
又，由於空氣通過口81設置於擋板部8之較靠近噴出口6B側之端部8A更遠離噴出口6B側之端部8B附近之位置，故可抑制空氣於擋板部8之上游側停滯之狀態發生，且空氣自噴出口6B向空氣通過口81順利流動，而可抑制壓力損失，且可效率良好地使送風機6運轉。
於以下，對第1實施形態之一變化例一面參照圖7及圖8一面進行說明。圖7係本變化例之空氣調和裝置之腔室7之立體圖，圖8係顯示沿著圖7之箭頭VIII方向觀察時之腔室7的圖。另，關於本變化例之與上述第1實施形態同樣之構成部分，標註同一符號而省略說明。
於圖示之變化例中，擋板部8之空氣通過口81設置於沿著通過噴出口6B之空氣流通方向觀察時不與噴出口6B重合之位置。其他之構成與上述第1實施形態同樣。根據此種構成，可使來自噴出口6B之空氣方向首先藉由擋板部8轉向，隨後碰撞於空氣通過口81之邊緣部分而於下游側產生亂 流。藉此，有能效果良好地促進空氣本身及空氣與蒸氣之攪拌之優點。
(第2實施形態)
接著，對本發明第2實施形態之空氣調和裝置一面參照圖9至圖11一面進行說明。圖9係第2實施形態之空氣調和裝置之立體圖，圖10係第2實施形態之腔室之立體圖，圖11係第2實施形態之送風機及腔室之概略圖。另，關於本實施形態之與上述第1實施形態同樣之構成部分，標註同一符號而省略說明。
如圖9至圖11所示，於第2實施形態中，以腔室7之上壁部與殼體1A之上部外面為同一平面之方式將腔室7配置於殼體1A之內部。又，於腔室7之上壁部設置有複數個管道連接口7B。又，設置於腔室7內之擋板部8固定於腔室7之連通口7A之周緣部，且於通過噴出口6B之空氣之流動方向上，擋板部8中之至少與噴出口6B重合之部分沿著相對於通過該噴出口6B之空氣之流動方向(軸線F1)正交的方向延伸。
又，於腔室7之連通口7A之周緣部隔開間隔地設置有用以供安裝擋板部8之複數個安裝部91。安裝部91可為例如螺栓孔。
根據如上說明之第2實施形態，如圖11所示，可藉由使將通過送風機6之噴出口6B之空氣碰撞於擋板部8，而使空氣之流動產生變化，可使腔室7內產生亂流。藉此，可以極其簡易之構造產生空氣之轉向或亂流，藉此，可於腔室7內攪拌空氣本身及空氣與其包含之蒸氣。
又，於腔室7之連接口7A之周緣部，設置有用以安裝擋板部8之複數個安裝部91。藉此，可藉由以複數個安裝部91設置各種朝向之擋板部8而靈活地進行攪拌作用與空氣之有效流通之調節，而可提高方便性。
於以下，對第2實施形態之變化例一面參照圖12及圖13一面進行說 明。圖12係顯示第2實施形態之一變化例之腔室7之圖。圖13係顯示第2實施形態之另一變化例之腔室7的圖。
於圖12之變化例中，於腔室7之連通口7A之周緣部設置有兩個擋板部8。如此之擋板部8之數量並非如此特別限定者。
於圖13所示之變化例中，擋板部8由以覆蓋連通口7A之周緣部全周之方式固定之沖孔板構成。即，擋板部8具有複數個沖孔。於該情形時，可跨及大範圍地使將通過噴出口6B之空氣之方向轉向，且可大範圍地產生亂流。
(第3實施形態)
接著，對本發明第3實施形態之空氣調和裝置一邊參照圖14一面進行說明。如圖14所示，於本實施形態中，以腔室7之設置有管道連接口7B之壁部與殼體1A之側部外面為同一平面之方式將腔室7配置於殼體1A之內部。如該實施形態所示，腔室7之位置並非特別限定者。
以上，說明了本發明之複數個實施形態，但本發明並非限定於上述實施形態者，可對各實施形態施加與上述之變化例不同之各種變更。
6‧‧‧送風機
6B‧‧‧噴出口
7‧‧‧腔室
7A‧‧‧連通口
8‧‧‧擋板部
8A‧‧‧端部
8B‧‧‧端部
61‧‧‧葉片輪
62‧‧‧蝸殼部
62A‧‧‧內周面
62S‧‧‧起繞部
62E‧‧‧止繞部
621‧‧‧周板部
63‧‧‧管道部
63A‧‧‧部分
71‧‧‧上游側半體
72‧‧‧下游側半體
81‧‧‧空氣通過口
F1‧‧‧軸線
L1‧‧‧軸向
P1‧‧‧連接點
P2‧‧‧點

Claims (11)

  1. 一種空氣調和裝置，其特徵在於具備：空氣流通路徑，其使空氣流通；溫度調節部，其對上述空氣流通路徑內之空氣進行溫度調節；加濕器，其對上述空氣流通路徑內之空氣進行加濕；送風機，其具有連接於上述空氣流通路徑之下游側開口之吸入口，且具有噴出自上述吸入口吸入之空氣之噴出口；腔室，其具有連接於上述噴出口之連通口，且具有構成為能夠連接管道且用以使來自上述噴出口之空氣經由管道向外部流出之複數個管道連接口；及擋板部，其設置於上述腔室內，且於沿著通過上述噴出口之空氣之流動方向觀察之情形時，與上述噴出口之至少一部分重合；且上述擋板部沿著相對於通過上述噴出口之空氣之流動方向傾斜交叉之方向延伸，且具有於厚度方向貫通之空氣通過口；上述空氣通過口於沿著通過上述噴出口之空氣之流動方向觀察之情形時，以一部分與上述噴出口重合而其他部分不與上述噴出口重合之方式設置。
  2. 如請求項1之空氣調和裝置，其中上述擋板部以其外周緣之整體與上述腔室之內周面之間成氣密狀態之方式設置於上述腔室內。
  3. 一種空氣調和裝置，其特徵在於具備： 空氣流通路徑，其使空氣流通；溫度調節部，其對上述空氣流通路徑內之空氣進行溫度調節；加濕器，其對上述空氣流通路徑內之空氣進行加濕；送風機，其具有連接於上述空氣流通路徑之下游側開口之吸入口，且具有噴出自上述吸入口吸入之空氣之噴出口；腔室，其具有連接於上述噴出口之連通口，且具有構成為能夠連接管道且用以使來自上述噴出口之空氣經由管道向外部流出之複數個管道連接口；及擋板部，其設置於上述腔室內，且於沿著通過上述噴出口之空氣之流動方向觀察之情形時，與上述噴出口之至少一部分重合；且上述擋板部沿著相對於通過上述噴出口之空氣之流動方向傾斜交叉之方向延伸，且具有於厚度方向貫通之空氣通過口；上述空氣通過口設置於沿著通過上述噴出口之空氣之流動方向觀察時不與上述噴出口重合之位置。
  4. 如請求項3之空氣調和裝置，其中上述擋板部以其外周緣之整體與上述腔室之內周面之間成氣密狀態之方式設置於上述腔室內。
  5. 一種空氣調和裝置，其特徵在於具備：空氣流通路徑，其使空氣流通；溫度調節部，其對上述空氣流通路徑內之空氣進行溫度調節；加濕器，其對上述空氣流通路徑內之空氣進行加濕；送風機，其具有連接於上述空氣流通路徑之下游側開口之吸入口， 且具有噴出自上述吸入口吸入之空氣之噴出口；腔室，其具有連接於上述噴出口之連通口，且具有構成為能夠連接管道且用以使來自上述噴出口之空氣經由管道向外部流出之複數個管道連接口；及擋板部，其設置於上述腔室內，且於沿著通過上述噴出口之空氣之流動方向觀察之情形時，與上述噴出口之至少一部分重合；且上述擋板部沿著相對於通過上述噴出口之空氣之流動方向傾斜交叉之方向延伸，且具有於厚度方向貫通之空氣通過口；上述空氣通過口設置於上述擋板部之比起靠近上述噴出口側之端部而較為靠近遠離噴出口側之端部之位置。
  6. 如請求項5之空氣調和裝置，其中上述擋板部以其外周緣之整體與上述腔室之內周面之間成氣密狀態之方式設置於上述腔室內。
  7. 一種空氣調和裝置，其特徵在於具備：空氣流通路徑，其使空氣流通；溫度調節部，其對上述空氣流通路徑內之空氣進行溫度調節；加濕器，其對上述空氣流通路徑內之空氣進行加濕；送風機，其具有連接於上述空氣流通路徑之下游側開口之吸入口，且具有噴出自上述吸入口吸入之空氣之噴出口；腔室，其具有連接於上述噴出口之連通口，且具有構成為能夠連接管道且用以使來自上述噴出口之空氣經由管道向外部流出之複數個管道連接口；及 擋板部，其設置於上述腔室內，且於沿著通過上述噴出口之空氣之流動方向觀察之情形時，與上述噴出口之至少一部分重合；且上述擋板部沿著相對於通過上述噴出口之空氣之流動方向傾斜交叉之方向延伸；上述送風機係離心送風機，且具備：葉片輪；蝸殼部，其收納上述葉片輪且使上述吸入口沿著上述葉片輪之軸向貫通；及管道部，其自上述蝸殼部延伸，且於其前端具有上述噴出口；且上述管道部連接於上述蝸殼部之蝸旋狀之內周面之起繞部及止繞部，上述擋板部於沿著上述葉片輪之軸向觀察之情形時，以其上述起繞部側之端部較其相反側之端部更靠近上述噴出口之方式傾斜。
  8. 一種空氣調和裝置，其特徵在於具備：空氣流通路徑，其使空氣流通；溫度調節部，其對上述空氣流通路徑內之空氣進行溫度調節；加濕器，其對上述空氣流通路徑內之空氣進行加濕；送風機，其具有連接於上述空氣流通路徑之下游側開口之吸入口，且具有噴出自上述吸入口吸入之空氣之噴出口；腔室，其具有連接於上述噴出口之連通口，且具有構成為能夠連接管道且用以使來自上述噴出口之空氣經由管道向外部流出之複數個管道連接口；及擋板部，其設置於上述腔室內，且於沿著通過上述噴出口之空氣之流動方向觀察之情形時，與上述噴出口之至少一部分重合；且 上述空氣流通路徑、上述溫度調節部、上述加濕器、及上述送風機收納於殼體之內部，上述腔室具有：上游側半體，其收納於上述殼體之內部且設置上述連通口；及下游側半體，其配置於上述殼體之外部；且上述管道連接口設置於上述下游側半體。
  9. 一種空氣調和裝置，其特徵在於具備：空氣流通路徑，其使空氣流通；溫度調節部，其對上述空氣流通路徑內之空氣進行溫度調節；加濕器，其對上述空氣流通路徑內之空氣進行加濕；送風機，其具有連接於上述空氣流通路徑之下游側開口之吸入口，且具有噴出自上述吸入口吸入之空氣之噴出口；腔室，其具有連接於上述噴出口之連通口，且具有構成為能夠連接管道且用以使來自上述噴出口之空氣經由管道向外部流出之複數個管道連接口；及擋板部，其設置於上述腔室內，且於沿著通過上述噴出口之空氣之流動方向觀察之情形時，與上述噴出口之至少一部分重合；且上述擋板部固定於上述腔室之上述連通口之周緣部，且上述擋板部中之至少與上述噴出口重合之部分沿著相對於通過上述噴出口之空氣之流動方向正交的方向延伸。
  10. 如請求項9之空氣調和裝置，其中於上述腔室之上述連通口之周緣部隔開間隔地設置有用以安裝上述擋板部之複數個安裝部。
  11. 如請求項9之空氣調和裝置，其中上述擋板部由以覆蓋上述連通口之周緣部之全周之方式固定之沖孔板構成。
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