TWI669370B - Pressure sensor - Google Patents
Pressure sensor Download PDFInfo
- Publication number
- TWI669370B TWI669370B TW103123556A TW103123556A TWI669370B TW I669370 B TWI669370 B TW I669370B TW 103123556 A TW103123556 A TW 103123556A TW 103123556 A TW103123556 A TW 103123556A TW I669370 B TWI669370 B TW I669370B
- Authority
- TW
- Taiwan
- Prior art keywords
- sheet
- electrode
- piezoelectric
- ground electrode
- signal electrode
- Prior art date
Links
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 69
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 claims description 59
- 210000000078 claw Anatomy 0.000 claims description 14
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims description 14
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 13
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 claims description 9
- 238000010030 laminating Methods 0.000 claims description 5
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 22
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 22
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 13
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 13
- 238000000034 method Methods 0.000 description 11
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 10
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 8
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 8
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 8
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 8
- 239000000463 material Substances 0.000 description 7
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 7
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 6
- -1 polypropylene Polymers 0.000 description 5
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 4
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 4
- 239000003522 acrylic cement Substances 0.000 description 3
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 3
- 239000000834 fixative Substances 0.000 description 3
- 239000006260 foam Substances 0.000 description 3
- 150000002894 organic compounds Chemical class 0.000 description 3
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 3
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PSHMSSXLYVAENJ-UHFFFAOYSA-N dilithium;[oxido(oxoboranyloxy)boranyl]oxy-oxoboranyloxyborinate Chemical compound [Li+].[Li+].O=BOB([O-])OB([O-])OB=O PSHMSSXLYVAENJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 2
- 238000010292 electrical insulation Methods 0.000 description 2
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 2
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 2
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 2
- GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N lithium niobate Chemical compound [Li+].[O-][Nb](=O)=O GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000037081 physical activity Effects 0.000 description 2
- 229920003207 poly(ethylene-2,6-naphthalate) Polymers 0.000 description 2
- 239000011112 polyethylene naphthalate Substances 0.000 description 2
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 2
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 2
- 230000029058 respiratory gaseous exchange Effects 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002033 PVDF binder Substances 0.000 description 1
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 239000011889 copper foil Substances 0.000 description 1
- NKZSPGSOXYXWQA-UHFFFAOYSA-N dioxido(oxo)titanium;lead(2+) Chemical compound [Pb+2].[O-][Ti]([O-])=O NKZSPGSOXYXWQA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 1
- 239000012943 hotmelt Substances 0.000 description 1
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 1
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 1
- 239000012466 permeate Substances 0.000 description 1
- 229920000747 poly(lactic acid) Polymers 0.000 description 1
- 229920013716 polyethylene resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004626 polylactic acid Substances 0.000 description 1
- 239000002861 polymer material Substances 0.000 description 1
- 229920005672 polyolefin resin Polymers 0.000 description 1
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 1
- 239000004800 polyvinyl chloride Substances 0.000 description 1
- 229920000915 polyvinyl chloride Polymers 0.000 description 1
- 229920002981 polyvinylidene fluoride Polymers 0.000 description 1
- 229960002635 potassium citrate Drugs 0.000 description 1
- 239000001508 potassium citrate Substances 0.000 description 1
- QEEAPRPFLLJWCF-UHFFFAOYSA-K potassium citrate (anhydrous) Chemical compound [K+].[K+].[K+].[O-]C(=O)CC(O)(CC([O-])=O)C([O-])=O QEEAPRPFLLJWCF-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- 235000011082 potassium citrates Nutrition 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- XMVONEAAOPAGAO-UHFFFAOYSA-N sodium tungstate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-][W]([O-])(=O)=O XMVONEAAOPAGAO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000007779 soft material Substances 0.000 description 1
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 1
- 230000002194 synthesizing effect Effects 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
- 125000000391 vinyl group Chemical group [H]C([*])=C([H])[H] 0.000 description 1
- 229920002554 vinyl polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
- G01P15/09—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by piezoelectric pick-up
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/08—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of piezoelectric devices, i.e. electric circuits therefor
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/30—Piezoelectric or electrostrictive devices with mechanical input and electrical output, e.g. functioning as generators or sensors
- H10N30/302—Sensors
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/87—Electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/87—Electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
- H10N30/875—Further connection or lead arrangements, e.g. flexible wiring boards, terminal pins
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Piezo-Electric Transducers For Audible Bands (AREA)
- Force Measurement Appropriate To Specific Purposes (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
本發明之壓電感測器之特徵在於具有：壓電片；第一接地電極，其積層一體化於上述壓電片之第一面，且具有第一切口部；訊號電極，其積層一體化於上述壓電片之第二面，且具有第三切口部；及第二接地電極，其以與上述訊號電極電性絕緣之狀態積層一體化於上述訊號電極上，且具有第二切口部；上述訊號電極、上述第一接地電極及第二接地電極之上述切口部彼此於至少一部分於上述壓電片之厚度方向相互重合，將自上述訊號電極、上述第一接地電極及第二接地電極之上述切口部彼此於上述壓電片之厚度方向相互重合之部分露出之上述壓電片之部分設為露出部。
Description
本發明係關於一種可長期維持優異之壓電性之壓電感測器。
已知有使用壓電片作為感測器之生物訊號感測器。若因脈波、呼吸、身體活動而產生之壓力施加於壓電片，則會自壓電片產生與壓力對應之大小之電訊號，可利用該電訊號檢測生物訊號。
專利文獻1中揭示有一種壓電感測器，其具備：壓電體，其由高分子材料構成；第1電極載持部，其配置於上述壓電體之一側，將訊號電極載持於第1絕緣體；及第2電極載持部，其配置於上述壓電體之另一側，將接地電極載持於第2絕緣體；且以如下方式配置：於上述壓電體、上述第1電極載持部、及上述第2電極載持部之重疊方向觀察時，上述訊號電極收納於上述壓電體之區域內，且上述壓電體整體收納於上述接地電極之區域內或者與上述接地電極之區域重合。
[專利文獻1]日本特許第5044196號公報
然而，構成上述壓電感測器之壓電體例如如專利文獻1之圖
1所示，成為由固定劑密封之狀態。固定劑通常由黏著劑構成，於製造壓電感測器時，將含有溶劑之黏著劑塗佈於構成構件，然後使黏著劑中所含之溶劑蒸發、去除，藉此，使壓電片與訊號電極及接地電極積層一體化。
另一方面，壓電片通常由合成樹脂構成，由於合成樹脂可使
水蒸氣或氣體(gas)狀之有機化合物透過，故有於壓電感測器之製造過程中水蒸氣或氣體狀之有機化合物滲透至壓電片中之虞，若如此般水蒸氣或氣體狀之有機化合物滲透至壓電片，則會產生壓電片之壓電性降低之問題。
於使用包含溶劑之黏著劑之情形時，有如下情況：於壓電感
測器之製造過程中，黏著劑中之溶劑滲透至壓電片，或者黏著劑中所含之殘留單體滲透至壓電片。一旦溶劑或殘留單體等滲透至壓電片，則由於構成專利文獻1之壓電感測器之壓電片如上所述由固定劑密封，故會產生如下問題：無法使滲透至壓電片中之溶劑或殘留單體擴散、去除至壓電片外，其結果，壓電片之壓電性降低。
又，作為構成固定劑之黏著劑，較多地使用丙烯酸系黏著
劑，由於丙烯酸系黏著劑具有極性，故丙烯酸系黏著劑具有容易含有水蒸氣之性質，而有水蒸氣經由固定劑滲透至壓電片之虞，於此情形時，亦會產生如下問題點：無法使滲透至壓電片中之水蒸氣擴散、去除至壓電片外，而壓電片之壓電性降低。
本發明提供一種幾乎不會因水蒸氣、溶劑或殘留單體等之滲
透導致壓電性降低而長期維持優異之壓電性的壓電感測器。
本發明之第一壓電感測器之特徵在於具有：壓電片；第一接地電極，其積層一體化於上述壓電片之第一面，且具有第一切
口部；訊號電極，其積層一體化於上述壓電片之第二面，且具有第三切口部；及第二接地電極，其以與上述訊號電極電性絕緣之狀態積層一體化於上述訊號電極上，且具有第二切口部；上述訊號電極、上述第一接地電極及第二接地電極之上述切口部彼此於至少一部分於上述壓電片之厚度方向上相互重合，將自上述訊號電極、上述第一接地電極及第二接地電極之上述切口部彼此於上述壓電片之厚度方向上相互重合之部分露出之上述壓電片之部分設為露出部。
本發明之第二壓電感測器之特徵在於：第二接地電極係藉由將上述第二接地電極及第二固定劑層依次積層一體化於第二電性絕緣片上而成之第二接地電極片利用上述第二固定劑層貼合一體化於訊號電極上而積層一體化於上述訊號電極上，訊號電極係藉由將上述訊號電極及第三固定劑層依次積層一體化於第三電性絕緣片上而成之訊號電極片利用上述第三固定劑層貼合一體化於上述壓電片之第二面上而積層一體化於上述壓電片之第二面上；於上述訊號電極片之端面與上述第二接地電極片之端面交叉之部分，於上述訊號電極片與上述第二接地電極片之間介置有第四電性絕緣片。
本發明之第三壓電感測器之特徵在於：第一接地電極之第一切口部、第二接地電極之第二切口部、及訊號電極之一部分於壓電片之厚度方向上於至少一部分相互重合，將上述重合之部分設為訊號電極用連接部；上述訊號電極之第三切口部、上述第一接地電極之一部分、及上述第二接地電極之一部分於壓電片之厚度方向上於至少一部分相互重合，將上
述重合之部分設為接地電極用連接部；進而，該第三壓電感測器具有：訊號電極用刺穿端子(Piercing Terminal)，其具有刺透上述訊號電極用連接部而電性連接於上述訊號電極之爪部、及自上述壓電片之外周緣向外側突出之突出連接部；及接地電極用刺穿端子，其具有刺透上述接地電極用連接部而電性連接於上述第一接地電極及第二接地電極之爪部、及自上述壓電片之外周緣向外側突出之突出連接部。
第一壓電感測器由於具有如上所述之構成，故即便於壓電感測器之製造過程中水蒸氣、溶劑、殘留單體等滲透至構成壓電感測器之壓電片中，亦於壓電感測器形成有未由接地電極及訊號電極被覆且兩面露出於外部氣體之露出部。可使滲透至壓電片之水蒸氣、溶劑及殘留單體等雜質化合物自露出部之兩面順利地擴散至壓電片外。因此，本發明之壓電感測器幾乎不會因氣體滲透至其壓電片而導致壓電性降低，壓電感測器長期維持優異之壓電性。
第二壓電感測器由於具有如上所述之構成，故藉由將訊號電極片及第一、第二接地電極片貼合一體化於壓電片這樣的簡單步驟便可高效率地製造。
進而，第二壓電感測器由於在訊號電極片之端面與第二接地電極片之端面交叉之部分，使第四電性絕緣片介置於訊號電極片與第二接地電極片之間，故不存在訊號電極與第二接地電極意外產生短路之類的情況，可通過訊號電極穩定地提取壓電片所產生之電位。
第三壓電感測器由於具有如上所述之構成，故不會損壞壓電片且可容易地將導線電性連接於壓電片。
於上述壓電片中，將訊號電極用刺穿端子及接地電極用刺穿
端子(以下，有時合併兩者而簡稱為「刺穿端子」)之突出連接部中之壓電片側之面設為用以連接導線之導線連接面的情形時，可一面於刺穿端子之突出連接部之導線連接面使用焊料而使壓電感測器之厚度儘可能地薄，一面容易地將導線連接至電極用刺穿端子，可謀求壓電感測器之小型化。
於上述壓電感測器中，於訊號電極用刺穿端子及接地電極用刺穿端子之突出連接部形成有用以夾持連接於導線連接面之導線之夾持片的情形時，可藉由利用夾持片夾持導線而將導線確實地固定於導線連接面，可獲得可靠性更高之壓電感測器。
3‧‧‧電極片
3a‧‧‧第一接地電極片
3b‧‧‧訊號電極片
3c‧‧‧第二接地電極片
5a‧‧‧訊號電極用刺穿端子
5b‧‧‧接地電極用刺穿端子
7‧‧‧電性絕緣片
11‧‧‧壓電片
11a‧‧‧露出部
11b‧‧‧露出突部
12‧‧‧第一接地電極
12a‧‧‧切口部
12b‧‧‧邊緣
13‧‧‧訊號電極
13a‧‧‧切口部
13b‧‧‧突出部
14‧‧‧第二接地電極
14a‧‧‧切口部
14b‧‧‧邊緣
15、17、19‧‧‧固定劑層
16、18、20‧‧‧電性絕緣片
A‧‧‧壓電感測器
A1‧‧‧訊號電極用連接部
A2‧‧‧接地電極用連接部
圖1係表示本發明之壓電感測器之俯視圖。
圖2係圖1之II-II線剖面圖。
圖3係圖1之III-III線剖面圖。
圖4係圖1之壓電感測器之分解立體圖。
圖5係表示圖1之壓電感測器之立體圖。
圖6係表示本發明之壓電感測器之另一例之俯視圖。
圖7係圖6之VII-VII線剖面圖。
圖8係圖6之VIII-VIII線剖面圖。
圖9係圖6之壓電感測器之分解立體圖。
圖10係表示本發明之壓電感測器之另一例之俯視圖。
圖11係圖10之壓電感測器之分解立體圖。
圖12係表示電極片之製造過程之立體圖。
圖13係表示電極片之製造過程之剖面圖。
圖14係表示刺穿端子之立體圖。
圖15係表示壓電感測器之另一例之立體圖。
圖16係表示圖15之壓電感測器之俯視圖。
圖17係圖15之壓電感測器之訊號電極用連接部之縱剖面圖。
圖18係圖15之壓電感測器之接地電極用連接部之縱剖面圖。
圖19係表示壓電感測器之另一例之俯視圖。
圖20係圖19之XX-XX線剖面圖。
圖21係圖19之XXI-XXI線剖面圖
圖22係表示圖19之壓電感測器之分解立體圖。
圖23係表示圖19之壓電感測器之立體圖。
一面參照圖式，一面說明本發明之壓電感測器之一例。如圖1~5所示，壓電感測器A具有：壓電片11；第一接地電極12，其積層一體化於該壓電片11之第一面；訊號電極13，其積層一體化於壓電片11之第二面；及第二接地電極14，其積層一體化於上述訊號電極13上。
作為壓電片11，只要為可藉由被施加外力而於表面產生電荷之片材(具有壓電現象之片材)，則無特別限定。作為壓電片11，例如可列舉：對合成樹脂片材(合成樹脂發泡片材或合成樹脂非發泡片材)賦予極化而成之壓電片、對使無機系壓電材料分散於樹脂中而成之無機系片材賦予極化而成之壓電片、對包含無機系壓電材料之無機系片材賦予極化而成之壓電片，就可精度良好地檢測脈波等微弱之生物訊號，感度較高，且容易因厚度方向之變形而產生電荷的方面而言，較佳為對合成樹脂片材(合成樹脂發泡片材或合成樹脂非發泡片材)賦予極化而成之壓電片，更佳為對合成樹脂發泡片材賦予極化而成之壓電片。
作為構成合成樹脂片材之合成樹脂，並無特別限定，例如可
列舉聚乙烯系樹脂、聚丙烯系樹脂等聚烯烴系樹脂、聚偏二氟乙烯、聚乳酸、液晶樹脂等。作為構成無機系片材之無機材料，例如可列舉鋯鈦酸鉛(lead zirconate titanate)、鈦酸鉛、鈮酸鉀、鈮酸鋰、鉭酸鋰、鎢酸鈉、氧化鋅、四硼酸鋰(lithium tetraborate)、Ba2NaNb5O5、Pb2KNb5O15等。
作為對合成樹脂片材或無機系片材賦予極化之方法，並無特
別限定，例如可列舉如下等方法：(1)利用一對平板電極夾持合成樹脂片材或無機系片材，將與欲使其帶電之表面接觸之平板電極與高壓直流電源連接，並且將另一平板電極接地，對合成樹脂片材或無機系片材施加直流或脈衝狀之高電壓而對合成樹脂或無機材料注入電荷，從而對合成樹脂片材或無機系片材賦予極化；(2)對合成樹脂片材或無機系片材之表面照射電子束、X射線等游離輻射或紫外線，將合成樹脂片材或無機系片材之附近部之空氣分子離子化，藉此，對合成樹脂或無機系片材賦予極化；(3)將經接地之平板電極以密接狀態重合於合成樹脂片材或無機系片材之第一面，於合成樹脂片材或無機系片材之第二面側隔開特定間隔配設電性連接於直流之高壓電源之針狀電極或絲狀電極，藉由電場向針狀電極之前端或絲狀電極之表面附近集中而產生電暈放電，使空氣分子離子化，使藉由針狀電極或絲狀電極之極性而產生之空氣離子反彈而對合成樹脂或無機系片材賦予極化。
於壓電片11之第一面11A，於除其外周部以外之部分，經
由第一固定劑層15積層一體化有第一電性絕緣片16。於壓電片11之第二面11B，於除其外周部以外之部分，經由第三固定劑層17積層一體化有第三電性絕緣片18。於第三電性絕緣片18上經由第二固定劑層19積層一體化有第二電性絕緣片20。此外，電性絕緣片16、18、20只要具有電性絕緣性，則並無特別限定，例如可列舉聚對苯二甲酸乙二酯片材、聚萘二甲酸乙二酯片材、聚氯乙烯片材等。
構成固定劑層之固定劑係由反應系、溶劑系、水系、熱熔系
之接著劑或黏著劑構成，就維持壓電片11之感度之觀點而言，較佳為介電常數較低之固定劑。
於第一電性絕緣片16中之壓電片11側之面16a之整面，一
體地形成有第一接地電極12，於該第一接地電極12上，遍及整面一體地形成有上述第一固定劑層15。
於第三電性絕緣片18中之壓電片11側之面18a之整面，一
體地形成有訊號電極13，於該訊號電極13上，遍及整面一體地形成有上述第三固定劑層17。
於第二電性絕緣片20中之壓電片11側之面20a之整面，一
體地形成有第二接地電極14，於該第二接地電極14上，遍及整面一體地形成有上述第二固定劑層19。
於壓電片11之第一面11A上，經由第一固定劑層15積層一
體化有第一接地電極12，於第一接地電極12上積層一體化有第一電性絕緣片16。
如圖3所示，於壓電片11之第二面11B上，經由第三固定
劑層17積層一體化有訊號電極13，於訊號電極13上積層一體化第三電性絕緣片18。進而，於第三電性絕緣片18上，經由第二固定劑層19積層一體化有第二接地電極14，於第二接地電極14上積層一體化有第二電性絕緣片20。訊號電極13與第二接地電極14藉由第三電性絕緣片18而成為相互電性絕緣之狀態。
於沿壓電片11之厚度方向觀察時，第一電性絕緣片16、第
一接地電極12、及第一固定劑層15形成為相同形狀、相同大小，第三電性絕緣片18、訊號電極13、及第三固定劑層17形成為相同形狀、相同大小，第二電性絕緣片20、第二接地電極14、及第二固定劑層19形成為相同形狀、
相同大小。
作為於電性絕緣片上形成電極之方法，例如可列舉如下等方
法：(1)於電性絕緣片上塗佈使黏合劑中含有導電性微粒子而成之導電膏，並使其乾燥；(2)藉由蒸鍍於電性絕緣片上形成電極；(3)於電性絕緣片上積層一體化銅箔、鋁箔等金屬片作為電極。
如圖1所示，積層一體化於平面長方形狀之壓電片11之第
一面11A之第一、第二接地電極12、14形成為於沿壓電片11之厚度方向觀察時小於壓電片11之大小。於沿壓電片11之厚度方向觀察時，壓電片11之外周緣部自第一、第二接地電極12、14及訊號電極13所占之區域向外側突出。
第一接地電極12形成為平面大致長方形狀體，於長方形狀
體之除四周之角部以外之部分，具有於長方形狀體之外周緣開口之平面長方形狀之第一切口部12a。於第一電性絕緣片16及第一固定劑層15，於將第一接地電極12之第一切口部12a於厚度方向投影所得之部分形成有切口部。第一電性絕緣片16及第一固定劑層15具有與第一接地電極12相同形狀、相同大小之平面形狀。又，第二接地電極14形成為平面大致長方形狀體，於長方形狀體之除四周之角部以外之部分，具有於長方形狀體之外周緣開口之平面長方形狀之第二切口部14a。於第二電性絕緣片20及第二固定劑層19，於將第二接地電極14之第二切口部14a於厚度方向投影所得之部分形成有切口部。第二電性絕緣片20及第二固定劑層19具有與第二接地電極14相同形狀、相同大小之平面形狀。圖1~5中，示出將第一接地電極12與第二接地電極14形成為相同大小、相同形狀之情形，但第一接地電極12與第二接地電極14只要於沿壓電片11之厚度方向觀察該等時第一接地電極12之第一切口部12a與第二接地電極14之第二切口部14a整面地或局部地重合，則亦可為不同之大小或不同之形狀。長方形狀中亦包含正方形
狀。
訊號電極13之形狀於沿壓電片11之厚度方向觀察時較第一
接地電極12、第二接地電極14、第一切口部12a及第二切口部14a所占之區域小。訊號電極13形成為平面大致長方形狀體，長方形狀體中之相互鄰接之一對角部被切去而形成有第三切口部13a、13a。於訊號電極13之第三切口部13a、13a間形成有平面長方形狀之突出部13b。於第三電性絕緣片18及第三固定劑層17，於將訊號電極13之第三切口部13a、13a於壓電片11之厚度方向投影所得之部分形成有切口部。第三電性絕緣片18及第三固定劑層17具有與訊號電極13相同形狀、相同大小之平面形狀。
第一接地電極12及第二接地電極14係以於壓電片11之厚
度方向相互重合之狀態積層一體化於壓電片11之兩面中之除外周緣部以外之部分。第一接地電極12之第一切口部12a與第二接地電極14之第二切口部14a於壓電片11之厚度方向相互重合。第一接地電極12之第一切口部12a與第二接地電極14之第二切口部14a只要局部地重合即可，但較佳為完全重合。
而且，訊號電極13積層一體化於壓電片11之第二面11B。
於沿壓電片11之厚度方向觀察時，於第一接地電極12之第一切口部12a與第二接地電極14之第二切口部14a重合之部分內收納有訊號電極13之突出部13b。此外，於沿壓電片11之厚度方向觀察時，訊號電極13整體配設於第一、第二接地電極12、14及該等之切口部12a、14a所占之區域內。成為如下狀態：於沿壓電片11之厚度方向觀察時，訊號電極13之切口部13a、13a配設於與第一接地電極12及第二接地電極14之鄰接於切口部12a、14a之角部12c、14c對應之位置。
於沿壓電片11之厚度方向觀察時，第一接地電極12之第一
切口部12a及第二接地電極14之第二切口部14a與訊號電極13之切口部
13a、13a互相重合一部分。亦即，於第一、第二接地電極12、14之切口部12a、14a之邊緣12b、14b與訊號電極13之突出部13b之外周緣13c之間形成有間隙。於沿壓電片11之厚度方向觀察時，於第一電性絕緣片16及第一固定劑層15亦形成有與第一接地電極12之第一切口部12a相同形狀、相同大小之切口部。於沿壓電片11之厚度方向觀察時，於第二電性絕緣片20及第二固定劑層19亦形成有與第二接地電極14之第一切口部14a相同形狀、相同大小之切口部。於沿壓電片11之厚度方向觀察時，於第三電性絕緣片18及第三固定劑層17亦形成有與訊號電極13之第三切口部13a相同形狀、相同大小之切口部。因此，壓電片11之一部分以未由電性絕緣片16、18、20、第一、第二接地電極12、14、訊號電極13及固定劑層15、17、19被覆而與外部氣體接觸的狀態自上述間隙露出，將該露出之部分設為露出部11a。壓電片11之露出部11a係以其兩面未由第一、第二接地電極12、14、訊號電極13、電性絕緣片16、18、20及固定劑層15、17、19被覆而與外部氣體接觸的狀態露出。
可使於壓電感測器A之製造過程中進入至壓電片11之水蒸
氣、黏著劑中之有機溶劑及殘留單體等雜質化合物通過壓電片11之露出部11a自壓電片11之兩面順利地擴散至大氣中，而於短時間內降低壓電片11中所含之氣體量。因此，可使壓電片之壓電性優異，並且可長期維持該優異之壓電性。如此，壓電片11之露出部11a可使壓電片11中之雜質化合物自其兩面順利地擴散至大氣中，因此，與使壓電片中之雜質化合物僅自壓電片之單面擴散之情形不同，不管壓電片中之雜質化合物存在於壓電片之厚度方向之哪一部分，均可於短時間內順利地將雜質化合物自壓電片中擴散、去除。
進而，於上述壓電感測器A中，於沿壓電片11之厚度方向
觀察時，其壓電片11之外周部較第一、第二接地電極12、14及切口部12a、
14a所占之區域向外側突出，將該突出之部分設為壓電片11之露出突部11b。該露出突部11b亦成為未由電性絕緣片16、18、20、第一、第二接地電極12、14、訊號電極13及固定劑層15、17、19被覆而與外部氣體接觸的狀態，亦可使進入至壓電片11之雜質化合物自壓電片11之露出突部11b擴散至大氣中，而降低壓電片11中所含之雜質化合物量。
又，於沿壓電片11之厚度方向觀察時，訊號電極13之第三
切口部13a位於與第一接地電極12及第二接地電極14之鄰接於切口部12a、14a之角部12c、14c對應之部分，於該部分未配設訊號電極13。將該部分設為用以將導線連接於第一接地電極12及第二接地電極14之接地電極用連接部A2、A2。
於沿壓電片11之厚度方向觀察時，第一接地電極12及第二
接地電極14之切口部12a、14a位於與訊號電極13之突出部13b對應之部分，於該部分未配設第一接地電極12及第二接地電極14。將該部分設為用以將導線連接於訊號電極13之訊號電極用連接部A1。
於使用上述壓電感測器A時，於接地電極用連接部A2中，
將導線電性連接於第一接地電極12。作為將導線電性連接於第一接地電極12之方法，例如可列舉如下等方法：於接地電極用連接部A2，於第一接地電極12及第二接地電極14打入刺穿端子，使第一、第二接地電極12、14不與訊號電極13電性連接地相互電性連接，經由該刺穿端子將導線電性連接於第一、第二接地電極12、14。經由連接於第一接地電極12之導線使第一接地電極12接地，藉此，將第一接地電極12設為參考電極。
另一方面，於訊號電極用連接部A1，將導線電性連接於訊
號電極13之突出部13b。作為將導線電性連接於訊號電極13之突出部13b之方法，例如可列舉如下方法：於訊號電極用連接部A1，於訊號電極13之突出部13b打入刺穿端子，於不使第一、第二接地電極12、14與訊號電
極13電性連接之狀態下經由刺穿端子將導線電性連接於訊號電極13。
然後，能夠以第一接地電極12為參考電極，通過訊號電極13提取壓電片11所產生之電位。
上述說明中，對使用通用之刺穿端子將導線電性連接於壓電感測器A之要領進行了說明。較佳為使用下述之訊號電極用刺穿端子5a及接地電極用刺穿端子5b作為刺穿端子。
如圖14所示，訊號電極用刺穿端子5a及接地電極用刺穿端子5b具有：基板51a、51b，其等為平面長方形狀之板狀；複數個爪部53a、53b，其等沿同一方向突出設置於該基板51a、51b之一半部52a、52b之寬度方向之兩端緣；及複數個夾持片55a、55b，其等沿同一方向突出設置於上述基板51a、51b之另一半部54a、54b之寬度方向之兩端緣。訊號電極用刺穿端子5a及接地電極用刺穿端子5b之爪部53a、53b及夾持片55a、55b係沿同一方向突出設置。訊號電極用刺穿端子5a及接地電極用刺穿端子5b之基板51a、51b、爪部53a、53b及夾持片55a、55b具有導電性。圖14中，刺穿端子5a、5b之爪部53a、53b突出設置有6個，夾持片55a、55b突出設置有4個，但爪部53a、53b及夾持片55a、55b之數量不限定於此。
如圖15~17所示，使訊號電極用刺穿端子5a之爪部53a於厚度方向刺透而貫穿壓電感測器A之訊號電極用連接部A1，並將爪部53a之前端部向壓電感測器A側彎折，藉此，將訊號電極用刺穿端子5a於訊號電極用連接部A1固定於壓電感測器A。訊號電極用刺穿端子5a與訊號電極13成為電性連接之狀態。此外，於圖15~17中，示出將訊號電極用刺穿端子5a之爪部53a自壓電感測器A之訊號電極13側(壓電片11之第二面11B側)刺透之情形，但亦可為自壓電片11之第一面11A側刺透之情形。
於將訊號電極用刺穿端子5a固定於壓電感測器A之狀態下，訊號電極用刺穿端子5a之基板51a之一部分自壓電片11之外周緣向外
側突出而形成突出連接部56a。訊號電極用刺穿端子5a之突出連接部56a中之夾持片55a之突設方向之面形成為用以連接導線L之導線連接面57a。
又，如圖18所示，使接地電極用刺穿端子5b之爪部53b於
厚度方向刺透而貫穿壓電感測器A之任一個接地電極用連接部A2，並將爪部53b之前端部向壓電感測器A側彎折，藉此，將接地電極用刺穿端子5b於接地電極用連接部A2固定於壓電感測器A。接地電極用刺穿端子5b、第一接地電極12及第二接地電極14成為相互電性連接之狀態。
於將接地電極用刺穿端子5b固定於壓電感測器A之狀態
下，接地電極用刺穿端子5b之基板51b之一部分自壓電片11之外周緣向外側突出而形成突出部56b。接地電極用刺穿端子5b之突出部56b中之夾持片55b之突設方向之面形成為用以連接導線L之導線連接面57b。
而且，於訊號電極用刺穿端子5a之導線連接面57a及接地
電極用刺穿端子5b之導線連接面57b，分別電性連接有導線L、L。導線L、L相對於訊號電極用刺穿端子5a之導線連接面57a及接地電極用刺穿端子5b之導線連接面57b之連接只要以通用之要領進行即可，但較佳為利用焊料4進行。
進而，將訊號電極用刺穿端子5a及接地電極用刺穿端子5b之夾持片55a、55b彎折至導線連接面57a、57b上而夾持、固定導線L、L。
如上所述，利用焊料4等將導線L、L電性連接於訊號電極用刺穿端子5a之導線連接面57a及接地電極用刺穿端子5b之導線連接面57b上。如圖17及圖18所示，訊號電極用刺穿端子5a之導線連接面57a及接地電極用刺穿端子5b之導線連接面57b設置於壓電片11側。因此，即便於利用焊料等將導線L、L連接於導線連接面57a、57b上之情形時，壓電感測器A之厚度亦不會成為壓電片11與焊料4之合計厚度。焊料4之厚度中，僅超過壓電片11之厚度之部分成為壓電感測器A之厚度之增加量，
可使壓電感測器A之厚度較薄。
進而，如上所述，導線L、L係利用焊料等連接於形成於訊
號電極用刺穿端子5a及接地電極用刺穿端子5b之突出部56a、56b之導線連接面57a、57b。於使用例如焊料連接導線L、L之情形時，為了使焊料熔融而對訊號電極用刺穿端子5a及接地電極用刺穿端子5b之突出部56a、56b加熱，但由於訊號電極用刺穿端子5a及接地電極用刺穿端子5b之突出部56a、56b自壓電片11之外周緣向外側突出，故而可減少傳遞至壓電片11之熱量，從而可抑制壓電片11因熱而受損。
又，於利用焊料將導線L、L連接、固定於訊號電極用刺穿
端子5a及接地電極用刺穿端子5b之導線連接面57a、57b之情形時，只要將訊號電極用刺穿端子5a及接地電極用刺穿端子5b之突出部56a、56b載置於金屬板等傳熱性較高之板上，即可將施加於訊號電極用刺穿端子5a及接地電極用刺穿端子5b之突出部56a、56b之熱散至傳熱性較高之板而減少傳遞至壓電片11之熱量，從而可更確實地抑制壓電片11因熱而受損。
於使用壓電感測器A時，藉由經由導線L使第一接地電極
12接地而將第一接地電極12設為參考電極，上述導線L經由接地電極用刺穿端子5b連接於第一接地電極12。能夠以第一接地電極12為參考電極，通過訊號電極13及訊號電極用刺穿端子5a提取壓電片11所產生之電位。
上述壓電感測器A中，於沿壓電片11之厚度方向觀察時，壓電片11之外周緣部自第一接地電極12、第二接地電極14及切口部12a、14a所占之區域向外側突出。亦可如圖6~9所示，於沿壓電片11之厚度方向觀察時，第一接地電極12、第二接地電極14及切口部12a、14a所占之區域與壓電片11形成為相同形狀、相同大小，壓電片11之外周緣亦可不自第一接地電極12、第二接地電極14及切口部12a、14a所占之區域向外側突出。此外，對與圖1之壓電感測器相同之構造標註相同之符號並省略說明。
第一接地電極12、第一電性絕緣片16、第一固定劑層15、第二接地電極14、第二電性絕緣片20、第二固定劑層19、訊號電極13、第三電性絕緣片20、第三固定劑層19之形狀並不限定於上述所說明之形狀。如圖10及圖11所示，第一接地電極12及第二接地電極14形成為平面大致長方形狀，並將長方形狀體之任意一個角部切去而形成切口部12a、14a。以如下方式構成：於將第一接地電極12積層一體化於壓電片11之第一面11A，且將第二接地電極14積層一體化於壓電片11之第二面11B上的狀態下，形成於第一接地電極12之第一切口部12a與形成於第二接地電極14之第二切口部14a相互局部地或整體地重合。
進而，訊號電極13具有於沿壓電片11之厚度方向觀察時較第一接地電極12、第二接地電極14、第一切口部12a及第二切口部14a所占之區域小之大小。訊號電極13形成為平面大致長方形狀。訊號電極13係將長方形狀體之任意之角部切去而具有第三切口部13a，將鄰接於第三切口部13a之角部設為突出部13b。於將訊號電極13積層一體化於壓電片11之第二面11B上之狀態下，於沿壓電片11之厚度方向觀察時，第一接地電極12之第一切口部12a、第二接地電極14之第二切口部14a及訊號電極13之切口部13a局部重合。成為如下狀態：於沿壓電片11之厚度方向觀察時，訊號電極13之突出部13b收納於第一接地電極12之切口部12a及第二接地電極14之切口部14a內。而且，於第一、第二接地電極12、14之切口部12a、14a之邊緣12b、14b與訊號電極13之突出部13b之外周緣13c之間形成有間隙。壓電片11之一部分以未由第一、第二接地電極12、14、訊號電極13、電性絕緣片16、18、20及固定劑層15、17、19被覆而與外部氣體接觸的狀態自上述間隙露出，將該露出之部分設為露出部11a。此外，訊號電極13之整體成為如下狀態：於沿壓電片11之厚度方向觀察時，配設於第一、第二接地電極12、14及該等之切口部12a、14a所占之區域內。於沿壓電片
11之厚度方向觀察時，第一電性絕緣片16、第一接地電極12、及第一固定劑層15形成為相同形狀、相同大小，第三電性絕緣片18、訊號電極13、及第三固定劑層17形成為相同形狀、相同大小，第二電性絕緣片20、第二接地電極14、及第二固定劑層19形成為相同形狀、相同大小。對與圖1~9所示之壓電感測器相同之構成部分省略其說明。
對上述壓電感測器A中將第一、第二接地電極12、14及訊號電極13之平面形狀設為大致長方形狀之情形進行了說明，但第一、第二接地電極12、14及訊號電極13之平面形狀並非必須為長方形狀，例如亦可為長方形以外之三角形、五邊形、六邊形等多邊形狀、橢圓形、正圓形等圓形狀。
其次，對上述壓電感測器A之製造方法進行說明。作為本發明之壓電感測器A之製造方法，例如可藉由將電極片3貼合一體化於壓電片11之兩面而製造。
關於電極片3，如圖12及圖13所示，製造積層片B，該積層片B係使成為固定劑層之黏著劑層32、成為電極之電極層33、及電性絕緣片34以依次相互積層一體化之狀態積層於第一面經實施脫模處理之由合成樹脂片材等形成之基材片31之脫模處理面30而成。此外，基材片31之脫模處理面30與黏著劑層32係可剝離地積層。電極層33與電性絕緣片34亦可經由黏著劑層(未圖示)而積層一體化。
其後，利用切斷刀自電性絕緣片34側朝基材片31切斷為所需形狀。此時，基材片31既可被切斷亦可不被切斷。如此，針對接地電極及訊號電極分別製造積層一體化有固定劑層、電極、及電性絕緣片且具有所需形狀的電極片3。此外，電極片3係將基材片自其固定劑層之表面剝離、去除而加以使用。圖12中，示出形成有接地電極片之情形。
第一接地電極片3a係依次積層一體化有第一電性絕緣片
16、第一接地電極12、及第一固定劑層15，第一電性絕緣片16、第一接地電極12及第一固定劑層15全部形成為相同形狀、相同大小。而且，藉由利用上述第一固定劑層15將第一接地電極片3a貼合一體化於壓電片11之第一面11A，而使第一接地電極12積層一體化於壓電片11之第一面11A(參照圖4、圖5及圖19~23)。第一接地電極片3a形成為平面大致長方形狀，於長方形狀體之除四周之角部以外之部分，具有於長方形狀體之外周緣開口之平面長方形狀之第四切口部31a。
訊號電極片3b係依次積層一體化有第三電性絕緣片18、訊號電極13、及第三固定劑層17，第三電性絕緣片18、訊號電極13及第三固定劑層17全部形成為相同形狀、相同大小。而且，藉由利用上述第三固定劑層17將訊號電極片3b貼合一體化於壓電片11之第二面11B，而使訊號電極13積層一體化於壓電片11之第二面11B(參照圖4、圖5及圖19~23)。訊號電極片3b形成為平面大致長方形狀，並將長方形狀體中之相互鄰接之一對角部切去而形成有第五切口部31b、31b。
第二接地電極片3c係依次積層一體化有第二電性絕緣片20、第二接地電極14、及第二固定劑層19，第二電性絕緣片20、第二接地電極14及第二固定劑層19全部形成為相同形狀、相同大小。而且，藉由利用上述第二固定劑層19將第二接地電極片3c貼合一體化於訊號電極片3b上，而使第二接地電極14積層一體化於訊號電極片3b上，從而形成壓電感測器A(參照圖4、圖5及圖19~23)。第二接地電極片3c形成為平面大致長方形狀，於長方形狀體之除四周之角部之部分，具有於方形狀體之外周緣開口之平面長方形狀之第六切口部31c。
另一方面，訊號電極片3b及第二接地電極片3c係藉由如下方法而製造：如上述般，準備使成為固定劑層之黏著劑層32、成為電極之電極層33、及電性絕緣片34依次相互積層一體化於基材片之脫模處理面而
成之積層片B，並利用切斷刀自電性絕緣片34側朝基材片31將該積層片B之黏著劑層32、電極層33及電性絕緣片34切斷為所需形狀。
然而，於利用切斷刀將積層片B切斷而製造電極片時，電極層係於其厚度方向受到因切斷刀而產生之剪切應力。積層片之電極層多數情況下由相對柔軟之材料形成。因此，有成為如下狀態之情況：經切斷之電極層、亦即電極之一部分因由切斷刀引起之剪切應力而延長附著於積層片之切斷面、亦即所獲得之電極片之切斷端面。
若成為電極之一部分附著於電極片之切斷端面之狀態，則有如下擔憂：於相互鄰接地配設之訊號電極片與第二接地電極片之間，於訊號電極片之切斷端面與第二接地電極片之切斷端面交叉之部分，於附著於訊號電極片之切斷端面之訊號電極與附著於第二接地電極片之切斷端面之第二接地電極之間產生短路。若附著於訊號電極片之切斷端面之訊號電極與附著於第二接地電極片之切斷端面之第二接地電極產生短路，則無法通過訊號電極提取壓電片11所產生之電位。
因此，於訊號電極片3b之第五切口部31b之切斷端面311b與第二接地電極片3c之第六切口部31c之切斷端面311c交叉之部分6，使電性絕緣片7介置於訊號電極片3b與第二接地電極片3c之間，而防止於附著於訊號電極片3b之切斷端面之訊號電極13與附著於第二接地電極片3c之切斷端面之第二接地電極14之間產生短路。只要至少於訊號電極片3b之切斷端面與第二接地電極片3c之切斷端面交叉之部分6介置有電性絕緣片7即可，亦可使電性絕緣片7介置於包含訊號電極片3b之切斷端面與第二接地電極片3c之切斷端面交叉之部分6及該交叉之部分6之附近部的部分。
上述電性絕緣片7只要具有電性絕緣性，則無特別限定，例如可列舉聚對苯二甲酸乙二酯片材、聚萘二甲酸乙二酯片材、聚氯乙烯片
材等。
又，亦可使黏著劑71積層一體化於電性絕緣片7之單面而使訊號電極片3b或第二接地電極片3c中之任一者貼合一體化。此外，作為黏著劑，就維持壓電片11之感度之觀點而言，較佳為介電常數較低之固定劑。
亦可藉由公知之電磁波遮罩覆蓋上述圖1~23所示之壓電感測器A、訊號電極用刺穿端子5a、接地電極用刺穿端子5b及導線L中之一部分或全部。接地電極用刺穿端子5b及/或連接於接地電極用刺穿端子5b之導線L與電磁波遮罩電性連接。藉由電磁波遮罩，可進一步抑制壓電感測器A受到來自外部之電磁波之影響。作為電磁波遮罩，並無特別限定，例如可列舉金屬製之殼體、金屬箔等。於利用電磁波遮罩覆蓋壓電感測器A之情形時，必須維持為壓電感測器A之露出部11a與外部氣體接觸之狀態。
(相關申請案之相互參照)
本申請案主張基於2013年7月10日申請之日本專利申請案第2013-144211號、2013年7月10日申請之日本專利申請案第2013-144215號及2013年9月30日申請之日本專利申請案第2013-203029號之優先權，該等申請案之揭示藉由參照其全部內容而併入本說明書中。
[產業上之可利用性]
本發明之壓電感測器可長期維持優異之壓電性，而可用作用以偵測脈波、呼吸及身體活動等生物訊號之生物感測器、用以偵測汽車、自行車及人等之通行之感測器。
Claims (11)
- 一種壓電感測器，其特徵在於具有：壓電片；第一接地電極，其積層一體化於上述壓電片之第一面，且具有第一切口部；訊號電極，其積層一體化於上述壓電片之第二面，且具有第三切口部；及第二接地電極，其以與上述訊號電極電性絕緣之狀態積層一體化於上述訊號電極上，且具有第二切口部；上述訊號電極、上述第一接地電極及第二接地電極之上述切口部彼此於至少一部分於上述壓電片之厚度方向相互重合；將自上述訊號電極、上述第一接地電極及第二接地電極之上述切口部彼此於上述壓電片之厚度方向相互重合之部分露出之上述壓電片之部分設為露出部。
- 如申請專利範圍第1項之壓電感測器，其中第一接地電極具有於其端緣開口之第一切口部，第二接地電極具有於其端緣開口之第二切口部，訊號電極具有於其端緣開口之第三切口部。
- 如申請專利範圍第1或2項之壓電感測器，其中第一接地電極及第二接地電極分別具有於平面長方形狀體之除角部以外之端緣開口之第一切口部及第二切口部，並且訊號電極具有將平面長方形狀體中之相互鄰接之一對角部切去而形成之第三切口部，且於第三切口部間形成有突出部。
- 如申請專利範圍第1或2項之壓電感測器，其中壓電片之外周端部於沿上述壓電片之厚度方向觀察時自訊號電極、第一接地電極及第二接地電極所占之區域向外側突出，將該突出之部分設為上述壓電片之露 出突部。
- 如申請專利範圍第1或2項之壓電感測器，其中第二接地電極係藉由將上述第二接地電極及第二固定劑層依序積層一體化於第二電性絕緣片上而成之第二接地電極片利用上述第二固定劑層貼合一體化於訊號電極上而積層一體化於上述訊號電極上，訊號電極係藉由將上述訊號電極及第三固定劑層依序積層一體化於第三電性絕緣片上而成之訊號電極片利用上述第三固定劑層貼合一體化於上述壓電片之第二面上而積層一體化於上述壓電片之第二面上；於上述訊號電極片之端面與上述第二接地電極片之端面交叉之部分，於上述訊號電極片與上述第二接地電極片之間介置有第四電性絕緣片。
- 如申請專利範圍第5項之壓電感測器，其中訊號電極片係藉由利用切斷刀將黏著劑層、訊號電極層及電性絕緣片依序積層一體化而成之積層片自上述電性絕緣片側朝黏著劑層切斷而形成，並且，第二接地電極片係藉由利用切斷刀將黏著劑層、第二接地電極層及電性絕緣片依序積層一體化而成之積層片自上述電性絕緣片側朝黏著劑層切斷而形成。
- 如申請專利範圍第5項之壓電感測器，其中訊號電極片具有第四切口部，並且第二接地電極片具有第五切口部，第四切口部之端面與第五切口部之端面交叉，於該交叉之部分，於上述訊號電極片與上述第二接地電極片之間介置有第四電性絕緣片。
- 如申請專利範圍第6項之壓電感測器，其中訊號電極片具有第四切口部，並且第二接地電極片具有第五切口部，第四切口部之端面與第五切口部之端面交叉，於該交叉之部分，於上述訊號電極片與上述第二 接地電極片之間介置有第四電性絕緣片。
- 如申請專利範圍第1或2項之壓電感測器，其中第一接地電極之第一切口部、第二接地電極之第二切口部、及訊號電極之一部分於壓電片之厚度方向於至少一部分相互重合，將上述重合之部分設為訊號電極用連接部，上述訊號電極之第三切口部、上述第一接地電極之一部分、及上述第二接地電極之一部分於壓電片之厚度方向上於至少一部分相互重合，將上述重合之部分設為接地電極用連接部，進而，該壓電感測器具有：訊號電極用刺穿端子，其具有刺透上述訊號電極用連接部而電性連接於上述訊號電極之爪部、及自上述壓電片之外周緣向外側突出之突出連接部；及接地電極用刺穿端子，其具有刺透上述接地電極用連接部而電性連接於上述第一接地電極及第二接地電極之爪部、及自上述壓電片之外周緣向外側突出之突出連接部。
- 如申請專利範圍第9項之壓電感測器，其中將訊號電極用刺穿端子及接地電極用刺穿端子之突出連接部中之壓電片側之面設為用以連接導線之導線連接面。
- 如申請專利範圍第9項之壓電感測器，其中於訊號電極用刺穿端子及接地電極用刺穿端子之突出連接部，形成有用以夾持連接於導線連接面之導線之夾持片。
Applications Claiming Priority (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JPJP2013-144211 | 2013-07-10 | ||
| JPJP2013-144215 | 2013-07-10 | ||
| JP2013144211 | 2013-07-10 | ||
| JP2013144215A JP6074331B2 (ja) | 2013-07-10 | 2013-07-10 | 圧電センサ |
| JP2013203029A JP6110267B2 (ja) | 2013-09-30 | 2013-09-30 | 圧電センサ構造体 |
| JPJP2013-203029 | 2013-09-30 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| TW201510161A TW201510161A (zh) | 2015-03-16 |
| TWI669370B true TWI669370B (zh) | 2019-08-21 |
Family
ID=52279922
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| TW103123556A TWI669370B (zh) | 2013-07-10 | 2014-07-09 | Pressure sensor |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US10768066B2 (zh) |
| EP (1) | EP3021099B1 (zh) |
| KR (1) | KR102303584B1 (zh) |
| CN (1) | CN105358950B (zh) |
| NO (1) | NO3021099T3 (zh) |
| TW (1) | TWI669370B (zh) |
| WO (1) | WO2015005238A1 (zh) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6983490B2 (ja) * | 2016-03-29 | 2021-12-17 | ローム株式会社 | 電子部品 |
| WO2018062057A1 (ja) * | 2016-09-27 | 2018-04-05 | 三井化学株式会社 | 圧電基材の取付構造、センサモジュール、移動体及び保護体 |
| JP6862820B2 (ja) * | 2016-12-26 | 2021-04-21 | セイコーエプソン株式会社 | 超音波デバイス及び超音波装置 |
| JP2019174234A (ja) * | 2018-03-28 | 2019-10-10 | セイコーエプソン株式会社 | センサー素子、センサーデバイス、力検出装置、およびロボット |
| TWI679784B (zh) * | 2018-04-09 | 2019-12-11 | 中原大學 | 壓電感測模組、壓電感測模組偵測之方法及其壓電感應偵測系統 |
| US20210038092A1 (en) * | 2019-08-09 | 2021-02-11 | Apple Inc. | Layered Sensor Having Multiple Laterally Adjacent Substrates in a Single Layer |
| CN115553755B (zh) * | 2022-10-29 | 2023-07-25 | 宁波韧和科技有限公司 | 双电容应变式传感器及其制备方法，以及呼吸监测带 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1777669A1 (en) * | 2004-08-04 | 2007-04-25 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Invasion detection device |
| CN101784874A (zh) * | 2007-08-28 | 2010-07-21 | 爱信精机株式会社 | 压电薄膜传感器 |
| TW201223141A (en) * | 2010-11-30 | 2012-06-01 | Seiko Epson Corp | Piezoelectric vibrator element, piezoelectric module, and electronic device |
| TW201304402A (zh) * | 2011-03-07 | 2013-01-16 | Seiko Instr Inc | 壓電振動片之製造方法、壓電振動片之製造裝置、壓電振動片、壓電振動子、振盪器、電子機器及電波時鐘 |
Family Cites Families (22)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5044196Y1 (zh) | 1970-10-08 | 1975-12-17 | ||
| JPS5825450B2 (ja) * | 1978-11-15 | 1983-05-27 | 三菱油化株式会社 | 生体用トランスジユ−サ |
| JPS58180063A (ja) | 1982-04-15 | 1983-10-21 | Seiko Epson Corp | 薄膜トランジスタ |
| US4499394A (en) * | 1983-10-21 | 1985-02-12 | Koal Jan G | Polymer piezoelectric sensor of animal foot pressure |
| DE3709533A1 (de) * | 1986-03-27 | 1987-10-15 | Nettelhorst Frhr Von Herwig Dr | Sensor fuer von tierischen oder menschlichen koerpern ausgehenden mechanischen kraeften |
| EP0355289A1 (en) * | 1988-07-01 | 1990-02-28 | ATOCHEM NORTH AMERICA, INC. (a Pennsylvania corp.) | Accelerometer |
| JPH0555656A (ja) * | 1991-08-29 | 1993-03-05 | Toyota Motor Corp | 圧電素子の電極構造 |
| JP3548280B2 (ja) * | 1995-06-29 | 2004-07-28 | シルバー株式会社 | 流体の移送異常検出装置 |
| JPH10332509A (ja) | 1997-05-27 | 1998-12-18 | Amp Japan Ltd | 圧電式圧力センサ |
| JP2000316858A (ja) * | 1999-03-11 | 2000-11-21 | Seiko Instruments Inc | 脈波検出装置、その製造方法、および腕携帯機器 |
| JP2002016301A (ja) * | 2000-06-28 | 2002-01-18 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 可撓性圧電素子とこれを用いた異常監視装置 |
| JP2002340700A (ja) * | 2001-05-14 | 2002-11-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 圧電センサ |
| WO2004031711A1 (ja) * | 2002-10-01 | 2004-04-15 | National Institute Of Advanced Industrial Science And Technology | 圧電センサおよびそれを備えた入力装置 |
| JP2005156531A (ja) * | 2003-11-05 | 2005-06-16 | Sony Corp | 圧力センサおよび生体情報処理装置 |
| JP2007017420A (ja) * | 2004-10-28 | 2007-01-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 圧電素子とその製造方法 |
| EP1858306A4 (en) | 2005-01-25 | 2009-03-11 | Furukawa Electric Co Ltd | THREE-DIMENSIONAL WELDING BODY FOR ATTACHING AN ELECTRONIC COMPONENT AND ATTACHMENT STRUCTURE FOR ELECTRONIC COMPONENTS |
| JP5044196B2 (ja) * | 2006-11-13 | 2012-10-10 | アイシン精機株式会社 | 圧電センサ及びその製造方法 |
| JP5066551B2 (ja) * | 2008-05-20 | 2012-11-07 | 日本電波工業株式会社 | 圧電センサ及び感知装置 |
| US8264129B2 (en) * | 2010-07-21 | 2012-09-11 | General Electric Company | Device and system for measuring material thickness |
| JP5811588B2 (ja) * | 2011-05-18 | 2015-11-11 | 国立大学法人佐賀大学 | 複合センサ |
| CN105264350B (zh) * | 2013-06-04 | 2017-07-18 | 日本写真印刷株式会社 | 压电传感器和压力检测装置 |
| US9427967B2 (en) * | 2014-07-28 | 2016-08-30 | Rohm Co., Ltd. | Piezoelectric membrane, piezoelectric device, and inkjet head |
-
2014
- 2014-07-04 WO PCT/JP2014/067902 patent/WO2015005238A1/ja active Application Filing
- 2014-07-04 CN CN201480037748.7A patent/CN105358950B/zh active Active
- 2014-07-04 NO NO14822553A patent/NO3021099T3/no unknown
- 2014-07-04 US US14/902,964 patent/US10768066B2/en active Active
- 2014-07-04 KR KR1020157036705A patent/KR102303584B1/ko active IP Right Grant
- 2014-07-04 EP EP14822553.5A patent/EP3021099B1/en active Active
- 2014-07-09 TW TW103123556A patent/TWI669370B/zh active
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1777669A1 (en) * | 2004-08-04 | 2007-04-25 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Invasion detection device |
| CN101784874A (zh) * | 2007-08-28 | 2010-07-21 | 爱信精机株式会社 | 压电薄膜传感器 |
| TW201223141A (en) * | 2010-11-30 | 2012-06-01 | Seiko Epson Corp | Piezoelectric vibrator element, piezoelectric module, and electronic device |
| TW201304402A (zh) * | 2011-03-07 | 2013-01-16 | Seiko Instr Inc | 壓電振動片之製造方法、壓電振動片之製造裝置、壓電振動片、壓電振動子、振盪器、電子機器及電波時鐘 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| WO2015005238A1 (ja) | 2015-01-15 |
| TW201510161A (zh) | 2015-03-16 |
| NO3021099T3 (zh) | 2018-07-28 |
| EP3021099A4 (en) | 2017-03-08 |
| EP3021099A1 (en) | 2016-05-18 |
| CN105358950A (zh) | 2016-02-24 |
| KR20160030486A (ko) | 2016-03-18 |
| US20160153860A1 (en) | 2016-06-02 |
| KR102303584B1 (ko) | 2021-09-17 |
| CN105358950B (zh) | 2018-04-20 |
| US10768066B2 (en) | 2020-09-08 |
| EP3021099B1 (en) | 2018-02-28 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| TWI669370B (zh) | Pressure sensor | |
| JP6574889B2 (ja) | 圧電センサ | |
| JP6960586B2 (ja) | 電極体の製造方法、及び非水電解質二次電池の製造方法 | |
| JP6395208B2 (ja) | 電気化学セル、電気化学セルモジュール、携帯機器、および電気化学セルモジュールの製造方法 | |
| JP6234858B2 (ja) | 圧電センサ | |
| JP2017058344A (ja) | 圧電センサ構造 | |
| JP6294177B2 (ja) | 圧電センサ | |
| JP2003257409A (ja) | ポリマー二次電池の端子接続構造及びその端子接続方法 | |
| CN110098315B (zh) | 层叠压电陶瓷部件和压电器件 | |
| JP2019046624A (ja) | 電極組立体のテープ貼り付け方法 | |
| JP6066773B2 (ja) | 圧電センサの製造方法 | |
| JP6074331B2 (ja) | 圧電センサ | |
| JP2015014550A (ja) | 圧電センサシート原反及び圧電素子 | |
| KR20160058707A (ko) | 리드 부재 및 전지 | |
| JP6817143B2 (ja) | ラミネート形電池 | |
| JP6110267B2 (ja) | 圧電センサ構造体 | |
| US20180175453A1 (en) | Electrode plate of laminated power storage element, laminated power storage element, and method for manufacturing electrode plate for laminated power storage element | |
| JP2017062200A (ja) | 圧電センサ構造 | |
| JP6209348B2 (ja) | 電気化学デバイスの製造方法 | |
| JP2014135308A (ja) | 圧電センサの製造方法 | |
| JP2000082641A (ja) | 電気二重層キャパシタ | |
| JP2014169945A (ja) | 圧電センサ | |
| JPS62153765A (ja) | 積層型圧電セラミツク素子 | |
| JP2014197460A (ja) | 電気化学デバイスの製造方法 | |
| JPS61267257A (ja) | 扁平形電池の製造方法 |