JP2017062200A - 圧電センサ構造 - Google Patents

Abstract

【課題】 本発明は、圧電センサ又は処理回路基板を容易に交換することができる圧電センサ構造を提供する。【解決手段】 本発明の圧電センサ構造は、圧電シート、シグナル電極、グランド電極、シグナル電極接続部、及び、グランド電極接続部を有する圧電センサと、圧電シートにて発生した電圧信号を処理する処理回路、シグナル入力端子及びグランド入力端子を有し、且つ、シグナル入力端子及びグランド入力端子が、圧電シートのシグナル電極接続部及びグランド電極接続部の形成位置に対応させて形成されている処理回路基板とを有し、シグナル電極接続部及びグランド電極接続部と、シグナル入力端子及びグランド入力端子とが着脱自在に電気的に接続されていることを特徴とする。【選択図】 図１

Description

本発明は、圧電センサ構造に関する。

圧電シートをセンサとして用いた圧電センサが従来から様々な用途において利用されている。圧電センサは、圧電シートに圧力が加わると圧力に応じた大きさの電気信号が発生し、この電気信号に基づいて圧力を検出している。

圧電センサとして、特許文献１には、圧電シートの両面に電気絶縁シートが一体的に設けられていると共に、上記電気絶縁シートのうちの一方の電気絶縁シートにおける上記圧電シートの対向面にグランド電極が、上記電気絶縁シートのうちの他方の電気絶縁シートにおける上記圧電シートの対向面にシグナル電極が一体的に形成されてなる圧電素子と、上記電気絶縁シートのうちの何れか一方の電気絶縁シートにおける電極形成面とは反対側の面上に一体的に設けられた電気回路と、上記電気絶縁シートの電気回路形成面上に一体的に配設され且つ上記電気回路に電気的に接続されて上記圧電素子からの電気信号を処理するための演算手段と、上記シグナル電極と電気絶縁状態にて上記グランド電極と上記電気回路とを電気的に接続させているピアス端子と、上記グランド電極と電気絶縁状態にて上記シグナル電極と上記電気回路とを電気的に接続させているピアス端子とを備えている圧電センサが開示されている。

特開２０１４−７４６１８号公報

しかしながら、上記圧電センサは、圧電シート上に形成されたシグナル電極及びグランド電極と、電気回路とをピアス端子によって接続一体化しているため、圧電シート又は電気回路の交換はピアス端子を取り外して行う必要があり、交換を簡単に行うことができないという問題点を有している。

本発明は、圧電センサ又は処理回路基板を容易に交換することができる圧電センサ構造を提供する。

本発明の圧電センサ構造は、圧電シート、上記圧電シートの一面に積層一体化されたシグナル電極、上記圧電シートの他面に積層一体化されたグランド電極、上記シグナル電極を外部に電気的に接続させるためのシグナル電極接続部、及び、上記グランド電極を外部に電気的に接続させるためのグランド電極接続部を有する圧電センサと、
上記圧電シートにて発生した電圧信号を処理する処理回路、上記処理回路に電気的に接続されて上記シグナル電極接続部に電気的に接続されるシグナル入力端子、及び、上記処理回路に電気的に接続されて上記グランド電極接続部に電気的に接続されるグランド入力端子を有し、且つ、上記シグナル入力端子及び上記グランド入力端子が、上記圧電シートのシグナル電極接続部及びグランド電極接続部の形成位置に対応させて形成されている処理回路基板とを有し、
上記シグナル電極接続部及び上記グランド電極接続部と、上記シグナル入力端子及び上記グランド入力端子とが着脱自在に電気的に接続されていることを特徴とする。

本発明の圧電センサ構造は、上述の構成を有しているので、圧電センサ又は処理回路基板を容易に交換することができる。

圧電センサの分解斜視図である。 シグナル電極接続部における圧電センサの端面図である。 グランド電極接続部及びシールド電極接続部における圧電センサの端面図である。 グランド電極接続部を圧電センサ表面に引き出す方法の一工程を示した模式図である。 グランド電極接続部が圧電センサ表面に引き出された状態を示した端面図である。 シグナル電極接続部が圧電センサ表面に引き出された状態を示した端面図である。 処理回路、シグナル入力端子及びグランド入力端子が形成された処理回路基板の一例を示した平面図である。 圧電センサと処理回路基板とがコネクタを介して接続一体化された状態を示した端面図である。 圧電センサのシグナル電極接続部及びグランド電極接続部の他の一例を示した端面図である。 処理回路基板を示した端面図である。 圧電センサと処理回路基板とがボルト及びナットによって分離可能に接続一体化された状態を示した端面図である。 圧電センサと処理回路基板とが挟持部材によって分離可能に接続一体化された状態を示した端面図である。

本発明の圧電センサ構造体の一例を図面を参照しながら説明する。圧電センサ１は、図１及び図２に示したように、圧電シート11と、この圧電シート11の一面に積層一体化されたグランド電極12と、圧電シート11の他面に積層一体化されたシグナル電極13と、上記シグナル電極13上に積層一体化されたシールド電極14とを有している。なお、グランド電極12、シグナル電極13及びシールド電極14は、アルミニウム、銅などの導電性材料から形成されており、シート状又は薄膜状に形成されている。

圧電シート11としては、外力が加えられることによって電荷を発生させることができるシートであれば、特に限定されないが、微弱な圧力を精度良く検出でき、感度が高く、厚み方向の変形で電荷を発生しやすいことから、合成樹脂シート（合成樹脂発泡シート又は合成樹脂非発泡シート）に分極を付与した圧電シートが好ましく、合成樹脂発泡シートに分極を付与した圧電シートがより好ましい。

合成樹脂シートを構成する合成樹脂としては、特に限定されず、例えば、ポリエチレン系樹脂、ポリプロピレン系樹脂などのポリオレフィン系樹脂、ポリフッ化ビニリデン、ポリ乳酸、液晶樹脂などが挙げられる。

合成樹脂シートに分極を付与する方法としては、特に限定されず、例えば、（１）合成樹脂シートを一対の平板電極で挟持し、帯電させたい表面に接触させている平板電極を高圧直流電源に接続すると共に他方の平板電極をアースし、合成樹脂シートに直流又はパルス状の高電圧を印加して合成樹脂に電荷を注入して合成樹脂シートに分極を付与する方法、（２）電子線、Ｘ線などの電離性放射線や紫外線を合成樹脂シートの表面に照射して、合成樹脂シートの近傍部の空気分子をイオン化することによって合成樹脂シートに分極を付与する方法、（３）合成樹脂シートの一面に、アースされた平板電極を密着状態に重ね合わせ、合成樹脂シートの他面側に所定間隔を存して直流の高圧電源に電気的に接続された針状電極又はワイヤー電極を配設し、針状電極の先端又はワイヤー電極の表面近傍への電界集中によりコロナ放電を発生させ、空気分子をイオン化させて、針状電極又はワイヤー電極の極性により発生した空気イオンを反発させて合成樹脂に分極を付与する方法などが挙げられる。

圧電シート11の一面には、固定剤層（図示せず）を介して電気絶縁シート15が積層一体化されている。圧電シート11の他面には、固定剤層（図示せず）を介して電気絶縁シート16が積層一体化されている。電気絶縁シート16上には固定剤層（図示せず）を介して電気絶縁シート17が積層一体化されている。なお、電気絶縁シート15〜17は、電気絶縁性を有しておれば、特に限定されず、例えば、ポリエチレンテレフタレートシート、ポリエチレンナフタレートシート、ポリ塩化ビニルシートなどが挙げられる。

固定剤層を構成している固定剤は、反応系・溶剤系・水系・ホットメルト系の接着剤又は粘着剤から構成されており、圧電シート11の感度を維持する観点から、誘電率の低い固定剤が好ましい。

電気絶縁シート15における圧電シート11側の面15aの全面にはグランド電極12が一体的に形成されている。電気絶縁シート15とグランド電極12は、平面からみて同一形状、同一大きさに形成されている。

電気絶縁シート16における圧電シート11側の面16aの全面にはシグナル電極13が一体的に形成されている。電気絶縁シート16とシグナル電極13は、平面からみて同一形状、同一大きさに形成されている。

電気絶縁シート17における圧電シート11側の面17aの全面にはシールド電極14が一体的に形成されている。電気絶縁シート17とシールド電極14は、平面からみて同一形状、同一大きさに形成されている。よって、シグナル電極13とシールド電極14とは、電気絶縁シート16によって電気的に隔絶されている。

電気絶縁シート15、17、グランド電極12及びシールド電極14には、圧電シート11の厚み方向に見たときに同一位置に、平面長方形状の突出部12a、14a、15a、17aがそれぞれ形成されている。グランド電極12の突出部12aをグランド電極接続部としている。シールド電極14の突出部14aをシールド電極接続部としている。

電気絶縁シート16及びシグナル電極13には、圧電シート11の厚み方向に見たときに同一位置に、平面長方形状の突出部16a、13aがそれぞれ形成されている。そして、シグナル電極13の突出部13aをシグナル電極接続部としている。

グランド電極接続部12a及びシールド電極接続部14aは、シグナル電極13の外周縁から突出した状態に配設されていると共に、シグナル電極13のシグナル電極接続部13aは、グランド電極12及びシールド電極14の外周縁から突出した状態に配設されている。そして、圧電シート11の厚み方向に見たときに、グランド電極接続部12a及びシールド電極接続部14aが配設されている部分には、シグナル電極13は配設されていないと共に、シグナル電極接続部13aが配設されている部分には、グランド電極12及びシールド電極14は配設されていないように構成されている。

シグナル電極接続部13aは圧電シート11の表面に引き出されて圧電シート11の表面に一体化されていると共に、グランド電極接続部12aもシグナル電極接続部13aが引き出されている圧電シート11の同一面に引き出されて圧電シート11の表面に一体化されている。

シグナル電極接続部13a及びグランド電極接続部12aを圧電シート11の表面に引き出す方法としては、特に限定されず、例えば、シグナル電極接続部13a及びグランド電極接続部12aのそれぞれに導電線の一端部を汎用の要領で電気的に接続すると共に導電線の他端部を圧電シート11の表面に引き出して圧電シート11の表面に固定一体化させる方法、シグナル電極接続部13a及びグランド電極接続部12aのそれぞれに銅などの導電材料を超音波接合すると共に導電材料の一部を圧電シート11の表面に固定一体化させる方法などが挙げられる。

例えば、グランド電極接続部12aを超音波接合を用いて圧電センサ１の表面に引き出す方法を説明する。図４に示したように、圧電センサ１の両面に導電材料として導電性シートＧ、Ｇを配設する。汎用の超音波接合装置を用意し、この超音波接合装置のアンビルB1とホーンチップB2との間に圧電センサ１を配設し、圧電センサ１をアンビルB1とホーンチップB2とで上下方向から挟み込む。しかる後、ホーンチップB2を超音波振動させることによって圧電センサ１及び該圧電センサ１の両面に配設した導電性シートＧ、Ｇに超音波振動を加える。すると、圧電センサ１を構成している部材同士が相対的に超音波振動して摩擦熱が発生し、圧電センサ１及び電気絶縁シート15、17の一部は摩擦熱によって溶融して消失する。同時に、圧電センサ１の両面に配設した導電性シートＧ、Ｇが溶融して圧電センサ１内部に進入し、グランド電極接続部12aと溶融一体化してグランド電極接続部12aの一部となると共に、シールド電極接続部14aと溶融一体化する。グランド電極12とシールド電極14同士も溶融一体化される。導電性シートＧ、Ｇの一部は圧電シート11の表面に密着した状態となっている。グランド電極接続部12aは、シールド電極接続部14aを介して導電性シートＧと電気的に接続しており、導電性シートＧの一部がグランド電極接続部12aの外端部12cを形成している（図５参照）。グランド電極接続部12aの外端部12cは、グランド電極接続部12aを圧電センサ１の厚み方向に投影した部分に形成されている。

シグナル電極接続部13aを超音波接合を用いて圧電シート11の表面に引き出す方法は、上記と同様であるので説明を省略する。シグナル電極接続部13aには導電性シートＧが電気的に接続した状態となっており、この導電性シートＧの一部がシグナル電極接続部13aの外端部13cを形成している（図６参照）。シグナル電極接続部13aの外端部13cは、シグナル電極接続部13aを圧電センサ１の厚み方向に投影した部分に形成されている。

圧電センサ構造は、圧電シートにて発生した電圧信号を処理する処理回路51と、この処理回路51に電気的に接続されたシグナル入力端子52及びグランド入力端子53とが形成された処理回路基板５を有している（図７参照）。処理回路51としては、特に限定されず、例えば、圧電シート11で発生した電位信号を増幅する増幅回路などが挙げられる。処理回路基板５としては、汎用の基板が用いられ、例えば、ポリイミド、ガラスエポキシ樹脂などから形成されている基板が挙げられる。処理回路51、シグナル入力端子52及びグランド入力端子53は、キャスト法、メッキ法、熱可塑性ポリイミド法などの汎用の方法を用いて処理回路基板５上に薄膜状に形成されている。処理回路51、シグナル入力端子52及びグランド入力端子53は、銅などの導電材料から形成されている。

処理回路基板５のシグナル入力端子52及びグランド入力端子53は、圧電センサ１のシグナル電極接続部13aの外端部13c及びグランド電極接続部12aの外端部12cの形成位置に対応させて形成されている。

即ち、処理回路基板５のシグナル入力端子52を圧電センサ１のシグナル電極接続部13aの外端部13cの形成位置に合わせると、処理回路基板５のグランド入力端子53が圧電センサ１のグランド電極接続部12aの外端部12cの形成位置に合致した状態となるように構成されている。

そして、図８に示したように、圧電センサ１のシグナル電極接続部13a及びグランド電極接続部12aは、処理回路基板５のシグナル入力端子52及びグランド入力端子53のそれぞれに電気的に接続されることによって、処理回路基板５上の処理回路51と電気的に接続されている。

圧電センサ１のシグナル電極接続部13a及びグランド電極接続部12aと、処理回路基板５のシグナル入力端子52及びグランド入力端子53とはコネクタを介して電気的に接続されている。

コネクタは、汎用のものが用いられ、第一コネクタ部と第二コネクタ部とから構成されており、第一コネクタ部と第二コネクタ部とは互いに着脱自在に構成されている。

圧電センサ１のシグナル電極接続部13a及びグランド電極接続部12aにおける圧電シート11の表面に引き出された外端部13c、12cのそれぞれに、コネクタＣの第一コネクタ部C1が電気的に接続した状態で固定されている。

一方、処理回路基板５のシグナル入力端子52及びグランド入力端子53のそれぞれに、コネクタＣの第二コネクタ部C2が汎用の要領を用いて電気的に接続した状態で固定されている。

処理回路基板５のシグナル入力端子52に接続させた第二コネクタ部C2を圧電センサ１のシグナル電極接続部13aに接続させた第一コネクタ部C1に合わせると、処理回路基板５のグランド入力端子53に接続させた第二コネクタ部C2が、圧電センサ１のグランド電極接続部12aに接続させた第一コネクタ部C1に合致した状態となるように形成されている。

そして、圧電センサ１のシグナル電極接続部13a及びグランド電極接続部12aのそれぞれに接続された第一コネクタ部C1と、処理回路基板５のシグナル入力端子52及びグランド入力端子53のそれぞれに接続された第二コネクタ部C2とをそれぞれ着脱自在に接続させることによって、圧電センサ１のシグナル電極接続部13a及びグランド電極接続部12aと、処理回路基板５のシグナル入力端子52及びグランド入力端子53とが着脱自在に電気的に接続されている。

以上の如く、圧電センサ１のシグナル電極接続部13a及びグランド電極接続部12aの第一コネクタ部C1、C1の形成位置に対応させて、処理回路基板５のシグナル入力端子52及びグランド入力端子53の第二コネクタ部C2、C2が形成されていることから、圧電センサ１の何れか一方の第一コネクタ部C1を、これに対応する処理回路基板５の第二コネクタ部C2に位置合わせするだけで、圧電センサ１のシグナル電極接続部13a及びグランド電極接続部12aの第一コネクタ部C1、C1を、処理回路基板５のシグナル入力端子52及びグランド入力端子53の第二コネクタ部C2、C2に着脱自在に容易に接続することができる。よって、圧電センサ１又は処理回路基板５の取り替え作業を容易に且つ速やかに行うことができる。

上記では、圧電センサ１のシグナル電極接続部13a及びグランド電極接続部12aに導電材料を超音波接合によって接続することによってシグナル電極接続部13a及びグランド電極接続部12aを圧電センサ１の表面に引き出し、この引き出した外端部13c、12cにコネクタＣの第一コネクタ部C1を接続した場合を説明したが、これに限定されるものではなく、圧電センサ１のシグナル電極接続部13a及びグランド電極接続部12aと、コネクタの第一コネクタC1、C1とを導電線などの導電部材を用いて汎用の要領で電気的に接続してもよい。

上記では、圧電センサ１にシグナル電極接続部13a及びグランド電極接続部12aを一対形成した場合を説明したが、複数対のシグナル電極接続部13a及びグランド電極接続部12aを形成してもよい。

上記圧電センサ構造ではコネクタＣを用いた場合を説明したがこれに限定されるものではなく、他の一例を以下に説明する。

シグナル電極接続部13a及びグランド電極接続部12aに導電材料を超音波接合により接続することによって、シグナル電極接続部13a及びグランド電極接続部12aが表面に引き出された上記圧電センサ１において、圧電センサ１には、シグナル電極接続部13a及びグランド電極接続部12a部分において、圧電センサ１の厚み方向の全長に亘って貫通する接続孔部13b、12bが形成されている（図９参照）。その他の構成については、図１〜５に示した圧電センサ１の構成と同一であるので説明を省略する。

処理回路基板５においても、シグナル入力端子52及びグランド入力端子53部分において、処理回路基板５、シグナル入力端子52及びグランド入力端子53部分の厚み方向の全長に亘って貫通する接続孔部52a、53aが形成されている。その他の構成については、図７に示した処理回路基板５の構成と同一であるので説明を省略する。

圧電センサ１のシグナル電極接続部13a及びグランド電極接続部12a部分に形成された接続孔部13b、12bの形成位置に対応させて、処理回路基板５のシグナル入力端子52及びグランド入力端子53の接続孔部52a、53aが形成されている。

従って、圧電センサ１のシグナル電極接続部13aの接続孔部13bと処理回路基板５のシグナル入力端子52の接続孔部52aとを重ね合わせると、圧電センサ１のグランド電極接続部12aの接続孔部12bと処理回路基板５のグランド入力端子53の接続孔部53aとが自動的に合致するように構成されている。

そして、図１１に示したように、圧電センサ１上に処理回路基板５が、シグナル電極接続部13aの接続孔部13bとシグナル入力端子52の接続孔部52aとが重なり合い且つグランド電極接続部12aの接続孔部12bとグランド入力端子53の接続孔部53aとが重なり合うように積層されている。なお、圧電センサ１のシグナル電極接続部13a及びグランド電極接続部12aを圧電センサ１の表面に引き出した外端部13c、12cのそれぞれが、処理回路基板５のシグナル入力端子52及びグランド入力端子53に接触した状態で重ね合わせられて電気的に接続した状態となっている。

更に、圧電センサ１と処理回路基板５は、ボルト部D1とナット部D2とを含むシグナル接続保持部材Ｄと、ボルト部E1とナット部E2とを含むグランド接続保持部材Ｅとによって挟持一体化されている。

具体的には、シグナル電極接続部13aの接続孔部13bとシグナル入力端子52の接続孔部52aにシグナル接続保持部材Ｄのボルト部D1が挿通されており、このボルト部D1にナット部D2が進退自在に螺合されていると共に、グランド電極接続部12aの接続孔部12bとグランド入力端子53の接続孔部53aにグランド接続保持部材Ｅのボルト部E1が挿通されており、このボルト部E1にナット部E2が進退自在に螺合されることによって、圧電センサ１と処理回路基板５をその厚み方向から分離可能に挟持一体化している。

上記圧電センサ構造において、圧電センサ１又は処理回路基板５の何れかを交換する場合、ナット部D2、E2をボルト部D1、D2から螺退させて取り外した上で、圧電センサ１又は処理回路基板５の取り替え作業を容易に且つ速やかに行うことができる。

上記圧電センサ構造においては、ボルト部D1及びナット部D2を含むシグナル接続保持部材Ｄ及びボルト部E1及びナット部E2を含むグランド接続保持部材Ｅを用いて圧電センサ１と処理回路基板５とを一体化させた場合を説明したが、下記に説明する挟持部材Ｆを用いて圧電センサ１と処理回路基板５とを一体化させてもよい。

具体的には、図１２に示したように、互いに重ね合わせられた圧電センサ１及び処理回路基板５の合計厚みに合致し又は若干高い高さを有する矩形状の連結板F1と、この連結板F1の上下端縁から同一方向に突設された挟持板F2、F2とからなるクリップ状の挟持部材が挙げられる。

このクリップ状の挟持部材Ｆによれば、図１１と同様の要領で重ね合わせられた圧電センサ１と処理回路基板５とを一対の挟持板F2、F2によって圧電センサ１及び処理回路基板５の厚み方向に挟持することによって両者を分離可能に一体化することができる。図１２においては、シグナル電極接続部13aとシグナル入力端子52との接続状態、及び、グランド電極接続部12aとグランド入力端子53との接続状態を維持するための挟持部材Ｆを別々にした場合を説明したが、シグナル電極接続部13aとシグナル入力端子52との接続状態、及び、グランド電極接続部12aとグランド入力端子53との接続状態の維持を一つの挟持部材を用いて行ってもよい。なお、クリップ状の挟持部材Ｆを用いる場合は、圧電センサ１及び処理回路基板５に接続孔部を形成する必要はない。その他の構成は、図９〜１１に示した構造と同一であるから説明を省略する。

１ 圧電センサ
11 圧電シート
12 グランド電極
12a グランド電極接続部
12b 接続孔部
13 シグナル電極
13a シグナル電極接続部
13b 接続孔部
14 シールド電極
14a シールド電極接続部
５ 処理回路基板
51 処理回路
52 シグナル入力端子
52a 接続孔部
53 グランド入力端子
53a 接続孔部
Ｃ コネクタ
C1 第一コネクタ部
C2 第二コネクタ部
Ｄ シグナル接続保持部材
D1 ボルト部
D2 ナット部
Ｅ グランド接続保持部材
E1 ボルト部
E2 ナット部
Ｆ 挟持部材
F1 連結板
F2 挟持板

Claims (6)

1. 圧電シート、上記圧電シートの一面に積層一体化されたシグナル電極、上記圧電シートの他面に積層一体化されたグランド電極、上記シグナル電極を外部に電気的に接続させるためのシグナル電極接続部、及び、上記グランド電極を外部に電気的に接続させるためのグランド電極接続部を有する圧電センサと、
   上記圧電シートにて発生した電圧信号を処理する処理回路、上記処理回路に電気的に接続されて上記シグナル電極接続部に電気的に接続されるシグナル入力端子、及び、上記処理回路に電気的に接続されて上記グランド電極接続部に電気的に接続されるグランド入力端子を有し、且つ、上記シグナル入力端子及び上記グランド入力端子が、上記圧電シートのシグナル電極接続部及びグランド電極接続部の形成位置に対応させて形成されている処理回路基板とを有し、
   上記シグナル電極接続部及び上記グランド電極接続部と、上記シグナル入力端子及び上記グランド入力端子とが着脱自在に電気的に接続されていることを特徴とする圧電センサ構造。
2. シグナル電極接続部及びシグナル入力端子は互いに電気的に接続可能なコネクタ部を有していると共に、グランド電極接続部及びグランド入力端子は互いに電気的に接続可能なコネクタ部を有していることを特徴とする請求項１に記載の圧電センサ構造。
3. シグナル電極接続部及びシグナル入力端子の接続状態を維持するためのシグナル接続保持部材及び／又はグランド電極接続部及びグランド入力端子の接続状態を維持するためのグランド接続保持部材を有していることを特徴とする請求項１に記載の圧電センサ構造。
4. シグナル電極接続部及びシグナル入力端子に接続孔部が形成されていると共に、グランド電極接続部及びグランド入力端子に接続孔部が形成されており、
   シグナル接続保持部材は、シグナル電極接続部及びシグナル入力端子の接続孔部に挿脱自在に挿通されているボルト部と、このボルトに着脱自在に螺合されているナット部とを含有していると共に、
   グランド接続保持部材は、グランド電極接続部及びグランド入力端子の接続孔部に挿脱自在に挿通されているボルト部と、このボルトに着脱自在に螺合されているナット部とを含有していることを特徴とする請求項３に記載の圧電センサ構造。
5. シグナル電極接続部及びグランド電極接続部が接続孔部の開口端面を厚み方向に投影した圧電センサの表面に引き出されており、圧電センサの表面に引き出されたシグナル電極接続部及びグランド電極接続部の外端部のそれぞれが、処理回路基板のシグナル入力端子及びグランド入力端子に電気的に接続していることを特徴とする請求項４に記載の圧電センサ構造。
6. シグナル電極接続部及びグランド電極接続部が圧電センサの表面に引き出され、シグナル電極接続部及びグランド電極接続部の外端部上にシグナル入力端子及びグランド入力端子をそれぞれ重ね合わせた状態で挟持部材によって圧電シート及び処理回路基板が挟持されることにより、シグナル電極接続部及びグランド電極接続部と、シグナル入力端子及びグランド入力端子とが着脱自在に電気的に接続されていることを特徴とする請求項１に記載の圧電センサ構造。

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