JP2010010462A - エレクトレット製造方法及び有孔エレクトレット製造装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】孔のある高電圧のエレクトレットを容易に製造する。
【解決手段】ダイプレート200は、セラミックスであって複数の孔210が規則的に配置されており、パンチプレート100もセラミックスのプレートであって、ダイプレート200の孔に嵌め合わされる複数のパンチ110を有している。パンチプレート100とダイプレート200とで電極20とエレクトレット40とに孔を開ける際には、まず、一体化された電極20とエレクトレット40とがダイプレート200の上に載せられる。そして、パンチプレート100がエレクトレット40に押しつけられと、電極20およびエレクトレット40においてパンチ110が通過した部分が打ち抜かれ、パンチ110がエレクトレット40と電極20とを貫通してダイプレート200の孔210に嵌り、電極20とエレクトレット40とに孔2が設けられる。
【選択図】図3
【解決手段】ダイプレート200は、セラミックスであって複数の孔210が規則的に配置されており、パンチプレート100もセラミックスのプレートであって、ダイプレート200の孔に嵌め合わされる複数のパンチ110を有している。パンチプレート100とダイプレート200とで電極20とエレクトレット40とに孔を開ける際には、まず、一体化された電極20とエレクトレット40とがダイプレート200の上に載せられる。そして、パンチプレート100がエレクトレット40に押しつけられと、電極20およびエレクトレット40においてパンチ110が通過した部分が打ち抜かれ、パンチ110がエレクトレット40と電極20とを貫通してダイプレート200の孔210に嵌り、電極20とエレクトレット40とに孔2が設けられる。
【選択図】図3
Description
本発明は、エレクトレットを製造する技術に関する。
特許文献1に記載されているように、対向する2枚の固定電極の間に振動膜を配置し、固定電極において振動膜に対向する面にエレクトレットを配置してバイアス用の電源を必要としない静電型音響変換装置がある。この静電型音響変換装置においては、音響透過性を確保するため、一体化された固定電極とエレクトレットとを貫通する複数の音孔が設けられている。このような音孔を有するエレクトレットと固定電極を製造する際には、まず、固定電極に孔を開けた後で固定電極が洗浄され、洗浄された固定電極の一方の面にエレクトレットとなる高分子材料(誘電体)がコーティングされる。そして、コーティングされた高分子材料の層においては、固定電極の孔の位置に孔が開けられ、固定電極とエレクトレットとを貫通する孔が作られる。そして、コロナ放電によって高分子材料の層が帯電させられ、高分子材料の層の電位が変化してエレクトレットとなる。
また、孔を有する電極と一体化されたエレクトレットを作る方法としては、特許文献2に開示された方法がある。特許文献2に開示されている第1の方法は、孔を有する電極の上に孔を有するエレクトレットを積層するという方法であり、第2の方法は電極の上にエレクトレットを積層し、積層された電極とエレクトレットとに超音波加工またはレーザ加工で孔を開けるという方法である。
また、孔を有する電極と一体化されたエレクトレットを作る方法としては、特許文献2に開示された方法がある。特許文献2に開示されている第1の方法は、孔を有する電極の上に孔を有するエレクトレットを積層するという方法であり、第2の方法は電極の上にエレクトレットを積層し、積層された電極とエレクトレットとに超音波加工またはレーザ加工で孔を開けるという方法である。
さて、エレクトレットを製造する際には、コロナ放電で放出されたイオンは高分子材料の層に溜まっていくが、高分子材料の層に複数の音孔が設けられていると、コロナ放電で放出されたイオンが音孔から荷電装置のアース部に流れて行く。その結果、イオンは孔が設けられていない場合より高分子材料の層に溜まらず、高電圧のエレクトレットを得ることが難しくなっていた。
一方、上述した特許文献2の第1の方法では、電極の孔とエレクトレットの孔とを位置合わせして積層する必要があるため製造に非常に手間がかかるという問題があり、また、超音波加工により孔を開ける方法では超音波加工に用いられる砥粒を加工後に除去する手間がかかり、レーザ加工では熱による影響のためレーザー照射周辺部に変質、形状変化が起きるなどの問題がある。
一方、上述した特許文献2の第1の方法では、電極の孔とエレクトレットの孔とを位置合わせして積層する必要があるため製造に非常に手間がかかるという問題があり、また、超音波加工により孔を開ける方法では超音波加工に用いられる砥粒を加工後に除去する手間がかかり、レーザ加工では熱による影響のためレーザー照射周辺部に変質、形状変化が起きるなどの問題がある。
本発明は、上述した背景の下になされたものであり、孔のある高電圧のエレクトレットを容易に製造する技術を提供することを目的とする。
上述した課題を解決するために本発明は、導電性を有する導電薄膜層を備えた電極の当該導電薄膜層の表面に誘電体の誘電体層を形成する誘電体層形成工程と、前記誘電体層を帯電させて前記誘電体をエレクトレットとする帯電工程と、一体化された前記エレクトレット及び前記電極を、板状の絶縁体で複数の孔を有するダイプレートに載せ、絶縁体の複数のパンチを有するパンチプレートの当該パンチを前記ダイプレートの複数の孔に対向させ、前記ダイプレートに載せられている一体化された前記電極及び前記エレクトレットに前記パンチを貫通させて前記パンチを前記ダイプレートの孔に嵌めるプレス工程とを有するエレクトレット製造方法を提供する。
また、本発明は、板状の絶縁体で複数の孔を有し、表面にエレクトレットの層を有する導電薄膜層が載せられるダイプレートと、前記複数の孔に嵌め合わされる絶縁体の複数のパンチを有するパンチプレートと、前記パンチプレートを移動させて前記複数のパンチを前記ダイプレートの複数の孔に嵌め合わせるパンチプレート移動手段とを備えた有孔エレクトレット製造装置を提供する。
本発明によれば、孔のある高電圧のエレクトレットを容易に製造することができる。
[エレクトレットの製造方法]
図1は、本発明の実施形態に係る製造方法で製造されたエレクトレット40と、エレクトレット40と一体化された電極20の外観図、図2は、エレクトレット40および電極20の断面図である。なお、図中の各構成要素の寸法は、構成要素の形状を容易に理解できるように実際の寸法とは異ならせてある。
図1は、本発明の実施形態に係る製造方法で製造されたエレクトレット40と、エレクトレット40と一体化された電極20の外観図、図2は、エレクトレット40および電極20の断面図である。なお、図中の各構成要素の寸法は、構成要素の形状を容易に理解できるように実際の寸法とは異ならせてある。
電極20は、例えばPET(polyethylene terephthalate、ポリエチレンテレフタレート)で形成されたシート状の基材層21に、金属膜を蒸着あるいは導電性塗料を塗布して導電性を有する薄膜層22(以下、導電薄膜層22と称する)を形成したものである。なお、基材層21としては、PP(polypropylene、ポリプロピレン)またはポリイミドなど他の合成樹脂であってもよい。また、電極20は基材層21を有するものに限定されず、厚みが20[μm]ほどの導電性を有するアルミニウムの導電薄膜層22を電極20としてもよい。
エレクトレット40は、高分子材料(誘電体)で形成されており、後述する方法により帯電させられて所定の電位となっている。なお、本実施形態においては、エレクトレット40は負の電圧に帯電しており、形状は矩形の膜状となっている。
なお、電極20とエレクトレット40においては、両者を貫通する孔2が設けられている。
エレクトレット40は、高分子材料(誘電体)で形成されており、後述する方法により帯電させられて所定の電位となっている。なお、本実施形態においては、エレクトレット40は負の電圧に帯電しており、形状は矩形の膜状となっている。
なお、電極20とエレクトレット40においては、両者を貫通する孔2が設けられている。
エレクトレット40を製造する際には、まず、矩形で板状に形成されている電極20の導電薄膜層22の表面に図3(a)に示したように加熱溶融された高分子材料が所定の厚みとなるようにコーティングされる。そして、高分子材料の層が冷えて固まった後、高分子材料層がコロナ放電により帯電させられて図3(b)に示したようにエレクトレット40となる。
次に、パンチプレート100とダイプレート200を用いたプレス加工により電極20とエレクトレット40とに複数の孔2が開けられる。ここで、ダイプレート200は、絶縁体であるセラミックスであって複数の孔210が規則的に配置されている。また、パンチプレート100も絶縁体であるセラミックスのプレートであって、ダイプレート200の孔に嵌め合わされ先端が刃の形状となっている複数のパンチ110を有している。なお、本実施形態においてはパンチプレート100とパンチ110が絶縁体となっているが、パンチプレート100は金属でパンチ110のみが絶縁体であってもよい。
パンチプレート100とダイプレート200とで電極20とエレクトレット40とに孔を開ける際には、まず、一体化された電極20とエレクトレット40とがプレス加工機に設けられたダイプレート200の上に載せられる(図3(c))。そして、図3(d)に示したように、プレス加工機に設けられたパンチプレート100が移動させられてエレクトレット40に押しつけられと、パンチ110がエレクトレット40と電極20とを貫通してダイプレート200の孔210に嵌り、電極20およびエレクトレット40においてパンチ110が通過した部分が打ち抜かれ、電極20とエレクトレット40とに孔2が設けられる。
この後、パンチプレート100をダイプレート200と電極20及びエレクトレット40から外し、電極20及びエレクトレット40をダイプレート200から取り外すと、図1に示した孔2を複数備え、エレクトレット40が一体化された電極20を得ることができる。
この後、パンチプレート100をダイプレート200と電極20及びエレクトレット40から外し、電極20及びエレクトレット40をダイプレート200から取り外すと、図1に示した孔2を複数備え、エレクトレット40が一体化された電極20を得ることができる。
本実施形態においては、電極20はシート状の合成樹脂である基材層21と導電薄膜層22とで構成されており、上述したプレス加工により孔2を開けられるため、ドリルで金属の電極に孔を開ける場合と比較して、バリや削りかすなどが発生することがない。
また、超音波加工で孔を開ける場合と比較すると、砥粒を除去する必要もなく容易に孔を開けることが可能であり、レーザ加工で孔を開ける場合と比較すると、孔開けする時に熱が発生しないため、エレクトレット40や電極20に変質や形状変化が起きることがない。
また、本実施形態においては、エレクトレット40と電極20とに孔を開けるためのパンチプレート100、パンチ110およびダイプレート200は絶縁体であるため、パンチプレート100、パンチ110およびダイプレート200がエレクトレット40に接触してもエレクトレット40の電荷が抜けることがない。
また、本実施形態においては、荷電されてエレクトレット40となる高分子材料層は孔を開けられていない状態で荷電されるため、孔を開けてから荷電する場合と比較して電荷が溜まり高電圧のエレクトレットを得ることができる。
また、超音波加工で孔を開ける場合と比較すると、砥粒を除去する必要もなく容易に孔を開けることが可能であり、レーザ加工で孔を開ける場合と比較すると、孔開けする時に熱が発生しないため、エレクトレット40や電極20に変質や形状変化が起きることがない。
また、本実施形態においては、エレクトレット40と電極20とに孔を開けるためのパンチプレート100、パンチ110およびダイプレート200は絶縁体であるため、パンチプレート100、パンチ110およびダイプレート200がエレクトレット40に接触してもエレクトレット40の電荷が抜けることがない。
また、本実施形態においては、荷電されてエレクトレット40となる高分子材料層は孔を開けられていない状態で荷電されるため、孔を開けてから荷電する場合と比較して電荷が溜まり高電圧のエレクトレットを得ることができる。
[音孔を有するエレクトレットを使用した静電型スピーカ]
次に、上述した製造方法で製造されたエレクトレットを使用した静電型スピーカ1について説明する。図4は、上述した製造方法で製造されたエレクトレットを有する静電型スピーカ1の外観を模式的に示した図、図5は静電型スピーカ1の断面と電気的構成を模式的に示した図、図6は静電型スピーカ1の分解斜視図である。
図に示したように、この静電型スピーカ1は、振動体10、電極20U,20L、スペーサ30U,30L、電極20Uに一体化されたエレクトレット40U、電極20Lと一体化されたエレクトレット40Lとを有している。なお、図中の振動体、電極、エレクトレット等の各構成要素の寸法は、構成要素の形状を容易に理解できるように実際の寸法とは異ならせてある。また、図中、「○」の中に「・」が記載されたものは図面の裏から表に向かう矢印を意味するものとする。
次に、上述した製造方法で製造されたエレクトレットを使用した静電型スピーカ1について説明する。図4は、上述した製造方法で製造されたエレクトレットを有する静電型スピーカ1の外観を模式的に示した図、図5は静電型スピーカ1の断面と電気的構成を模式的に示した図、図6は静電型スピーカ1の分解斜視図である。
図に示したように、この静電型スピーカ1は、振動体10、電極20U,20L、スペーサ30U,30L、電極20Uに一体化されたエレクトレット40U、電極20Lと一体化されたエレクトレット40Lとを有している。なお、図中の振動体、電極、エレクトレット等の各構成要素の寸法は、構成要素の形状を容易に理解できるように実際の寸法とは異ならせてある。また、図中、「○」の中に「・」が記載されたものは図面の裏から表に向かう矢印を意味するものとする。
(静電型スピーカ1の各部の構成)
まず、静電型スピーカ1を構成する各部について説明する。振動体10は、PET(polyethylene terephthalate、ポリエチレンテレフタレート)のフィルムに導電性を有する金属を蒸着あるいは導電性塗料を塗布することにより、フィルム表面に導電性を有する薄膜層を形成したものであり、その厚さは、数μm〜数十μm程度の厚さとなっている。なお、本実施形態においては、振動体10は、PP(polypropylene、ポリプロピレン)などPET以外の高分子材料のフィルムに導電性を有する金属膜を蒸着あるいは導電性塗料を塗布したものであってもよい。
まず、静電型スピーカ1を構成する各部について説明する。振動体10は、PET(polyethylene terephthalate、ポリエチレンテレフタレート)のフィルムに導電性を有する金属を蒸着あるいは導電性塗料を塗布することにより、フィルム表面に導電性を有する薄膜層を形成したものであり、その厚さは、数μm〜数十μm程度の厚さとなっている。なお、本実施形態においては、振動体10は、PP(polypropylene、ポリプロピレン)などPET以外の高分子材料のフィルムに導電性を有する金属膜を蒸着あるいは導電性塗料を塗布したものであってもよい。
スペーサ30U,30Lは、絶縁体(例えば合成樹脂やセラミックス)で形成されており、その形状は図6に示したように矩形の枠形となっている。なお、本実施形態においては、スペーサ30U,30LのX方向およびY方向の長さと、電極20U,20LのX方向およびY方向の長さは同じとなっている。また、スペーサ30Uとスペーサ30LのZ方向の高さは、いずれも同じとなっている。
電極20U,20Lは上述した電極20と同じ構成で複数の孔2を有している。本実施形態においては、電極20U,20LのX方向およびY方向の長さと、振動体10のX方向およびY方向の長さは同じとなっている。
エレクトレット40U,40Lは上述したエレクトレット40と同じ構成であり、複数の孔2を有し、家電されて所定の電位となっている。なお、本実施形態においてエレクトレット40U,40Lは負の電圧に帯電している。
(静電型スピーカ1の構成)
静電型スピーカ1においては、振動体10の周縁部がスペーサ30Uとスペーサ30Lとの間に張力が掛からない状態で挟まれている。また、静電型スピーカ1においては、エレクトレット40Uとエレクトレット40Lが対向するようにして、電極20Uと電極20Lが振動体10を挟んで対向している。そして、エレクトレット40Uの周縁部がスペーサ30Uに固定され、エレクトレット40Lの周縁部がスペーサ30Lに固定されている。なお、スペーサ30Uとスペーサ30LのZ方向の高さは同じであるため、振動体10からエレクトレット40Uまでの距離と、振動体10からエレクトレット40Lまでの距離は同じとなっており、エレクトレット40Uからエレクトレット40Lまでの距離は、エレクトレットのいずれの位置においても同じとなっている。
静電型スピーカ1においては、振動体10の周縁部がスペーサ30Uとスペーサ30Lとの間に張力が掛からない状態で挟まれている。また、静電型スピーカ1においては、エレクトレット40Uとエレクトレット40Lが対向するようにして、電極20Uと電極20Lが振動体10を挟んで対向している。そして、エレクトレット40Uの周縁部がスペーサ30Uに固定され、エレクトレット40Lの周縁部がスペーサ30Lに固定されている。なお、スペーサ30Uとスペーサ30LのZ方向の高さは同じであるため、振動体10からエレクトレット40Uまでの距離と、振動体10からエレクトレット40Lまでの距離は同じとなっており、エレクトレット40Uからエレクトレット40Lまでの距離は、エレクトレットのいずれの位置においても同じとなっている。
(静電型スピーカ1の電気的構成)
次に、静電型スピーカ1の電気的構成について説明する。図5に示したように、静電型スピーカ1は変圧器50、外部から音響信号が入力される入力部60、直流バイアスを供給するバイアス電源70とを備えており、入力部60は変圧器50の一次側に接続されている。また、バイアス電源70のマイナス側は振動体10の導電性を有する薄膜層に接続され、バイアス電源70のプラス側は変圧器50の2次側の中点(センタータップ)と接続されており、電極20U,20Lの導電薄膜層22はそれぞれ変圧器50の2次側の一端および他端に接続されている。
次に、静電型スピーカ1の電気的構成について説明する。図5に示したように、静電型スピーカ1は変圧器50、外部から音響信号が入力される入力部60、直流バイアスを供給するバイアス電源70とを備えており、入力部60は変圧器50の一次側に接続されている。また、バイアス電源70のマイナス側は振動体10の導電性を有する薄膜層に接続され、バイアス電源70のプラス側は変圧器50の2次側の中点(センタータップ)と接続されており、電極20U,20Lの導電薄膜層22はそれぞれ変圧器50の2次側の一端および他端に接続されている。
この構成においては、図7に示したように振動体10の導電性を有する薄膜層はバイアス電源70のマイナス側に接続されているため、エレクトレット40U,40Lに対向する振動体10の表面はマイナスとなる。
そして、入力部60に音響信号が入力されていない状態においては、バイアス電源70の電圧がE1、エレクトレット40U,40Lの電圧がE2とすると、バイアス電源70の電圧E1とエレクトレットの電圧E2とを加算した電圧(E1+E2)が、振動体10と電極20U(振動体10と電極20L)との間の電圧差となる。ここで、振動体10と電極20U,20Lとの間の電圧差は、電圧E1と電圧E2を加算した電圧(E1+E2)であるため、エレクトレット単体またはバイアス電源単体の時より高い電圧差を得ることができている。
また、E1+E2の電圧差をバイアス電源のみで得ようとすると、バイアス電圧を供給する配線については高電圧に対応する必要があるが、本実施形態によれば、バイアス電源から供給の電圧はE1のみとなりE1+E2より低い電圧である。E1+E2の電圧差をバイアス電源のみで得る場合と比較すると、バイアス電圧を供給する配線についてはより高い電圧に対応させる必要がなく、コストを抑えることができる。
そして、入力部60に音響信号が入力されていない状態においては、バイアス電源70の電圧がE1、エレクトレット40U,40Lの電圧がE2とすると、バイアス電源70の電圧E1とエレクトレットの電圧E2とを加算した電圧(E1+E2)が、振動体10と電極20U(振動体10と電極20L)との間の電圧差となる。ここで、振動体10と電極20U,20Lとの間の電圧差は、電圧E1と電圧E2を加算した電圧(E1+E2)であるため、エレクトレット単体またはバイアス電源単体の時より高い電圧差を得ることができている。
また、E1+E2の電圧差をバイアス電源のみで得ようとすると、バイアス電圧を供給する配線については高電圧に対応する必要があるが、本実施形態によれば、バイアス電源から供給の電圧はE1のみとなりE1+E2より低い電圧である。E1+E2の電圧差をバイアス電源のみで得る場合と比較すると、バイアス電圧を供給する配線についてはより高い電圧に対応させる必要がなく、コストを抑えることができる。
また、入力部60に音響信号が入力されると、入力された音響信号に応じた電圧が電極20U,20Lにそれぞれ印加される。
具体的には、正負の振幅を持つ音響信号が入力部60に入力され、変圧器50の2次側において電極20Uに接続されている部分の電圧がセンタータップに対してプラスとなると、電極20Uと振動体10との間の電圧差は、バイアス電源70の電圧E1と、エレクトレット40Uの電圧E2、および音響信号が変圧器50で昇圧されて得られる電圧E3を加算したE1+E2+E3となる。
一方、電極20Lと振動体10との間の電位差は、バイアス電源70の電圧E1と、エレクトレット40Lの電圧E2とを加算したE1+E2であり、電極20Uと電極20Lとの間に電位差が生じ、振動体10が変位する。
なお、本実施形態においては、音響信号の振幅がピークとなった時に変圧器50から出力される電圧と、バイアス電源70の電圧E1とを加算した電圧値が、所定の電圧値を超えないように、バイアス電源70の電圧E1が調整されている。
具体的には、正負の振幅を持つ音響信号が入力部60に入力され、変圧器50の2次側において電極20Uに接続されている部分の電圧がセンタータップに対してプラスとなると、電極20Uと振動体10との間の電圧差は、バイアス電源70の電圧E1と、エレクトレット40Uの電圧E2、および音響信号が変圧器50で昇圧されて得られる電圧E3を加算したE1+E2+E3となる。
一方、電極20Lと振動体10との間の電位差は、バイアス電源70の電圧E1と、エレクトレット40Lの電圧E2とを加算したE1+E2であり、電極20Uと電極20Lとの間に電位差が生じ、振動体10が変位する。
なお、本実施形態においては、音響信号の振幅がピークとなった時に変圧器50から出力される電圧と、バイアス電源70の電圧E1とを加算した電圧値が、所定の電圧値を超えないように、バイアス電源70の電圧E1が調整されている。
また、正負の振幅を持つ音響信号が入力部60に入力され、変圧器50の2次側において電極20Lに接続されている部分の電圧がセンタータップに対してプラスとなると、電極20Lと振動体10との間の電圧差は、バイアス電源70の電圧E1と、エレクトレット40Lの電圧E2、および音響信号が変圧器50で昇圧されて得られる電圧E3を加算したE1+E2+E3となる。
一方、電極20Uと振動体10との間の電位差は、バイアス電源70の電圧E1と、エレクトレット40Uの電圧E2とを加算したE1+E2であり、電極20Uと電極20Lとの間に電位差が生じ、振動体10が変位する。
一方、電極20Uと振動体10との間の電位差は、バイアス電源70の電圧E1と、エレクトレット40Uの電圧E2とを加算したE1+E2であり、電極20Uと電極20Lとの間に電位差が生じ、振動体10が変位する。
このように、入力部60に音響信号が入力されると、振動体10は電極20Uまたは電極20Lのいずれかの側へ引き寄せられるような静電力が働く。すなわち、振動体10は音響信号に応じて同図のZ方向またはZ方向と反対方向に変位し(撓み)、その変位方向が逐次変わることによって振動となり、その振動状態(振動数、振幅、位相)に応じた音が振動体10から発生する。発生した音は、少なくとも電極20Uと電極20Lのいずれか一方の孔2を通り抜けて静電型スピーカ1の外部に放射される。
[変形例]
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上述した実施形態に限定されることなく、他の様々な形態で実施可能である。例えば、上述の実施形態を以下のように変形して本発明を実施してもよい。
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上述した実施形態に限定されることなく、他の様々な形態で実施可能である。例えば、上述の実施形態を以下のように変形して本発明を実施してもよい。
上述した実施形態において、電極20に塗布された後で荷電されてエレクトレット40となる高分子材料層は、ポリオレフィン、ポリエステル、ポリ乳酸、ポリカーボネート、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデンのいずれかであってもよい。
上述した実施形態では、孔2の形状は円形に限定されるものではなく、矩形、楕円形、多角形であってもよい。
また、上述した実施形態においては、電極20とエレクトレット40には円形の孔2が開けられているが、電極20とエレクトレット40を貫通する細長い隙間(スリット)を電極20とエレクトレット40とにプレス加工で設けるようにしてもよい。この細長い隙間を有するエレクトレットを静電型スピーカ1に用いれば、この隙間から音を放射することができる。
上述した実施形態においては、電極20とエレクトレット40を貫通する孔2がプレス加工により設けられているが、本発明においては、セラミック製のドリルなど、絶縁性を有するドリルで電極20とエレクトレット40とを貫通する孔2を設けるようにしてもよい。
上述した実施形態においては、孔あきのエレクトレット40を静電型スピーカ1に採用した例を説明したが、孔あきのエレクトレット40は静電型スピーカ1だけでなく、エレクトレットコンデンサマイクロホンの電極として使用してもよい。
1・・・静電型スピーカ、2・・・孔、10・・・振動体、20,20U,20L・・・電極、30U,30L・・・スペーサ、40,40U,40L・・・エレクトレット、50・・・変圧器、60・・・入力部、70・・・バイアス電源、100・・・パンチプレート、110・・・パンチ、200・・・ダイプレート、210・・・孔
Claims (2)
- 導電性を有する導電薄膜層を備えた電極の当該導電薄膜層の表面に誘電体の誘電体層を形成する誘電体層形成工程と、
前記誘電体層を帯電させて前記誘電体をエレクトレットとする帯電工程と、
一体化された前記エレクトレット及び前記電極を、板状の絶縁体で複数の孔を有するダイプレートに載せ、絶縁体の複数のパンチを有するパンチプレートの当該パンチを前記ダイプレートの複数の孔に対向させ、前記ダイプレートに載せられている一体化された前記電極及び前記エレクトレットに前記パンチを貫通させて前記パンチを前記ダイプレートの孔に嵌めるプレス工程と
を有するエレクトレット製造方法。 - 板状の絶縁体で複数の孔を有し、表面にエレクトレットの層を有する導電薄膜層が載せられるダイプレートと、
前記複数の孔に嵌め合わされる絶縁体の複数のパンチを有するパンチプレートと、
前記パンチプレートを移動させて前記複数のパンチを前記ダイプレートの複数の孔に嵌め合わせるパンチプレート移動手段と
を備えた有孔エレクトレット製造装置。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2008168877A JP2010010462A (ja) | 2008-06-27 | 2008-06-27 | エレクトレット製造方法及び有孔エレクトレット製造装置 |
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Cited By (1)
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CN114561709A (zh) * | 2021-11-19 | 2022-05-31 | 东华大学 | 一种制备陶瓷纤维气凝胶的静电驻极接收装置 |
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2008
- 2008-06-27 JP JP2008168877A patent/JP2010010462A/ja active Pending
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CN114561709A (zh) * | 2021-11-19 | 2022-05-31 | 东华大学 | 一种制备陶瓷纤维气凝胶的静电驻极接收装置 |
CN114561709B (zh) * | 2021-11-19 | 2023-02-07 | 东华大学 | 一种制备陶瓷纤维气凝胶的静电驻极接收装置 |
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