TWI667545B - 感光性樹脂組成物及碳黑 - Google Patents

Abstract

提供可形成對基板之密著性與絕緣性優、且 不易因加熱而絕緣性降低的黑色圖型的感光性樹脂組成物、使用該感光性樹脂組成物的經圖型化的硬化物的形成方法、使用該感光性樹脂組成物而形成的經圖型化的硬化物、具備使用該感光性樹脂組成物而形成的黑色矩陣或黑色柱狀間隔件的顯示裝置、以及與該感光性樹脂組成物搭配之碳黑。

於含有(A)鹼可溶性樹脂、(B)光聚合性單 體、(C)光聚合起始劑、及(D)遮光劑的感光性樹脂組成物，搭配作為(D)遮光劑的含有以特定的構造之矽烷耦合劑處理的碳黑之遮光劑。

Description

感光性樹脂組成物及碳黑

本發明係關於含有(A)鹼可溶性樹脂、(B)光聚合性單體、(C)光聚合起始劑、及(D)遮光劑的感光性樹脂組成物、使用該感光性樹脂組成物的經圖型化的硬化物的形成方法、使用該感光性樹脂組成物而形成的經圖型化的硬化物、具備使用該感光性樹脂組成物而形成的黑色矩陣或黑色柱狀間隔件的顯示裝置、該感光性樹脂組成物中適用作為(D)遮光劑成分的碳黑。

於形成液晶顯示裝置般顯示裝置用面板之場合，在面板用基板上形成具有種種機能的種種之圖型。如此之圖型之一例，可舉例如設置為像素間遮光用的黑色矩陣圖型或用以使2枚基板間間隔(液晶層間隙)維持一定而形成之黑色柱狀間隔件圖型等。

作為形成該黑色矩陣或黑色柱狀間隔件圖型之方法，由易形成尺寸精度或位置精度優異的圖型，提案作為遮光劑，使用含碳黑的感光性樹脂組成物，以光微影 法形成圖型之方法(專利文獻1及2作為參考)。

[先前技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]特開2000-199967號公報

[專利文獻2]特開2011-170075號公報

但是在專利文獻1及2記載之方法，因碳黑的種類而有難形成對基板密著性優異的微細的圖型、難形成絕緣性優異的圖型、形成的圖型的絕緣性因加熱而易降低的問題。

本發明為有鑑於上述課題而成者，以提供可形成對基板之密著性與絕緣性優、且不易因加熱而絕緣性降低的黑色圖型的感光性樹脂組成物、使用該感光性樹脂組成物的經圖型化的硬化物的形成方法、使用該感光性樹脂組成物而形成的經圖型化的硬化物、具備使用該感光性樹脂組成物而形成的黑色矩陣或黑色柱狀間隔件的顯示裝置、以及與該感光性樹脂組成物搭配之碳黑為目的。

本發明者們發現，藉由於含有(A)鹼可溶性樹脂、(B)光聚合性單體、(C)光聚合起始劑、及(D)遮光劑的 感光性樹脂組成物中，搭配作為(D)遮光劑的含以特定的構造之矽烷耦合劑處理的碳黑的遮光劑，解決上述課題，完成了本發明。

本發明之第一態樣為含有(A)鹼可溶性樹脂、(B)光聚合性單體、(C)光聚合起始劑、及(D)遮光劑，(D)遮光劑為含以下述式(1)所表示之矽烷耦合劑處理的碳黑的感光性樹脂組成物。

R¹ _pR² _(3--p)Si-R³-NH-C(O)-Y-R⁴-X‧‧‧(1)

(式(1)中，R¹為烷氧基，R²為烷基，p為1~3的整數，R³為伸烷基，Y為-NH-、-O-、或-S-，R⁴為單鍵、或伸烷基，X為可具有取代基且為單環或多環的含氮雜芳基，與X中之-Y-R⁴-鍵結的環為含氮6員芳香環，-Y-R⁴-與前述含氮6員芳香環中之碳原子鍵結)。

本發明之第二態樣為包含將第一態樣之感光性樹脂組成物塗佈於基板上，形成塗佈膜的步驟、將塗佈膜進行位置選擇性曝光之步驟、將經曝光的塗佈膜顯影的步驟之經圖型化的硬化物的形成方法。

本發明之第三態樣為使用第一態樣之感光性樹脂組成物而形成的經圖型化的硬化物。

本發明之第四態樣為具備使用第一態樣之感光性樹脂組成物而形成的黑色矩陣或黑色柱狀間隔件之顯 示裝置。

本發明之第五態樣為以下述式(1)所表示之矽烷耦合劑處理的碳黑。

R¹ _pR² _(3-p)Si-R³-NH-C(O)-Y-R⁴-X‧‧‧(1)

(式(1)中，R¹為烷氧基，R²為烷基，p為1~3的整數，R³為伸烷基，Y為-NH-、-O-、或-S-，R⁴為單鍵、或伸烷基，X為可具有取代基且為單環或多環的含氮雜芳基，與X中之-Y-R⁴-鍵結的環為含氮6員芳香環，-Y-R⁴-與前述含氮6員芳香環中之碳原子鍵結)。

根據本發明，可提供可形成對基板之密著性與絕緣性優、且不易因加熱而絕緣性降低的黑色圖型的感光性樹脂組成物、使用該感光性樹脂組成物的經圖型化的硬化物的形成方法、使用該感光性樹脂組成物而形成的經圖型化的硬化物、具備使用該感光性樹脂組成物而形成的黑色矩陣或黑色柱狀間隔件的顯示裝置、以及與該感光性樹脂組成物搭配之碳黑。

[實施發明之最佳形態] ≪感光性樹脂組成物≫

感光性樹脂組成物，含有(A)鹼可溶性樹脂、(B)光聚合性單體、(C)光聚合起始劑、及(D)遮光劑。(D)遮光劑為 含以後述指定的構造之矽烷耦合劑處理的碳黑。以下說明感光性樹脂組成物含有的必須或任意成分。

<(A)鹼可溶性樹脂>

鹼可溶性樹脂係指以樹脂濃度20質量%的樹脂溶液(溶劑：丙二醇單甲基醚乙酸酯)，在基板上形成膜厚1μm之樹脂膜，浸漬於濃度0.05質量%的KOH水溶液、1分鐘時，溶解膜厚0.01μm以上之樹脂。

(A)鹼可溶性樹脂為顯示上述鹼可溶性之樹脂則不特別限制，可由以往習知樹脂適宜選擇使用。宜作為(A)鹼可溶性樹脂之樹脂，可舉例如(A1)具有Cardo structure的樹脂。

(A1)具有Cardo structure的樹脂不特別限制，可使用以往習知樹脂。其中，以下述式(a-1)所表示之樹脂為佳。

上述式(a-1)中，X^a為下述式(a-2)所表示之基。

上述式(a-2)中，R^a1各自獨立，為氫原子、碳原子數1~6的烴基、或鹵素原子，R^a2各自獨立，為氫原子或甲基，W^a為單鍵或下述式(a-3)所表示之基。

又，上述式(a-1)中，Y^a為由二羧酸酐除去酸酐基(-CO-O-CO-)的殘基。二羧酸酐的例，可舉例如無水馬來酸、無水琥珀酸、無水伊康酸、無水苯二甲酸、無水四氫苯二甲酸、無水六氫苯二甲酸、無水甲基橋亞甲基四氫苯二甲酸、無水氯菌酸、甲基四氫無水苯二甲酸、無水戊二酸等。

又，上述式(a-1)中，Z^a為由四羧酸二酐除去2個酸酐基的殘基。四羧酸二酐之例，可舉例如均苯四甲酸二酐、二苯甲酮四羧酸二酐、聯苯基四羧酸二酐、聯苯基醚四羧酸二酐等。

又，上述式(a-1)中，m為0~20的整數。

(A1)具有Cardo structure的樹脂的質量平均分子量(Mw：膠體滲透層析法(GPC)之聚苯乙烯換算之測定值。在本說明書中為相同)。以1000~40000為佳、2000~30000更佳。藉由在上述範圍，得到良好的顯影性，同時可得到充分的耐熱性、膜強度。

又，由易形成破壞強度或對基板密著性優異的硬化物，(A2)至少聚合有不飽和羧酸(a1)的共聚合物亦可適用作為(A)鹼可溶性樹脂。

(a1)不飽和羧酸，可舉例如(甲基)丙烯酸、巴豆酸等之單羧酸；馬來酸、富馬酸、檸康酸、甲基延胡索酸、伊康酸等之二羧酸；此等二羧酸的無水物；等。此等中，由共聚合反應性、得到的樹脂的鹼溶解性、取得難易性等觀點來看，以(甲基)丙烯酸及無水馬來酸為佳。此等的(a1)不飽和羧酸可單獨或2種以上組合使用。

(A2)共聚合物亦可為(a1)不飽和羧酸與(a2)含脂環式環氧基不飽和化合物之共聚合物。(a2)含脂環式環氧基不飽和化合物，為具有脂環式環氧基的不飽和化合物則不特別限定。構成脂環式環氧基的脂環式基可為單環或多環。單環的脂環式基，可舉例如環戊基、環己基等。又，多環的脂環式基，可舉例如降冰片基、異冰片基、三環壬基、三環癸基、四環十二烷基等。此等的(a2)含脂環式環氧基不飽和化合物可單獨或2種以上組合使用。

具體上，(a2)含脂環式環氧基不飽和化合物，可舉例如下述式(a2-1)~(a2-16)所表示之化合物。此等中， 為了有適度顯影性，以下述式(a2-1)~(a2-6)所表示之化合物為佳、下述式(a2-1)~(a2-4)所表示之化合物更佳。

上述式中，R¹¹為氫原子或甲基，R¹²為碳原子數1~6的2價脂肪族飽和烴基，R¹³為碳原子數1~10之2價烴基，n為0~10的整數。R¹²為直鏈狀或分支鏈狀的伸烷基，例如以伸甲基、伸乙基、伸丙基、四伸甲基、乙基伸乙基、五伸甲基、六伸甲基為佳。R¹³，例如以伸甲基、伸乙基、伸丙基、四伸甲基、乙基伸乙基、五伸甲基、六伸甲基、伸苯基、環伸己基、-CH₂-Ph-CH₂-(Ph為伸苯基)為佳。

在(A2)共聚合物，上述(a1)不飽和羧酸及上述 (a2)含脂環式環氧基不飽和化合物可與不具有環氧基的(a3)含脂環式基不飽和化合物共聚合。

(a3)含脂環式基不飽和化合物，為具有脂環式基的不飽和化合物則不特別限定。脂環式基可為單環或多環。單環的脂環式基，可舉例如環戊基、環己基等。又，多環的脂環式基，可舉例如金剛烷基、降冰片基、異冰片基、三環壬基、三環癸基、四環十二烷基等。此等的(a3)含脂環式基不飽和化合物可單獨或2種以上組合使用。

具體上，(a3)含脂環式基不飽和化合物，可舉例如下述式(a3-1)~(a3-7)所表示之化合物。此等中，為了有適度顯影性，以下述式(a3-3)~(a3-8)所表示之化合物為佳、下述式(a3-3)，(a3-4)所表示之化合物更佳。

上述式中，R²¹為氫原子或甲基，R²²為單鍵或碳原子數1~6的2價脂肪族飽和烴基，R²³為氫原子或碳原子數1~5的烷基。R²²為單鍵、直鏈狀或分支鏈狀的伸烷基，例如以伸甲基、伸乙基、伸丙基、四伸甲基、乙基伸乙基、五伸甲基、六伸甲基為佳。R²³，例如以甲基、乙基為佳。

又，在(A2)共聚合物，上述(a1)不飽和羧酸及上述(a2)含脂環式環氧基不飽和化合物、進而上述(a3)含 脂環式基不飽和化合物，可與不具有脂環式基的(a4)含環氧基不飽和化合物共聚合。

(a4)含環氧基不飽和化合物，可舉例如縮水甘油基(甲基)丙烯酸酯、2-甲基縮水甘油基(甲基)丙烯酸酯、3,4-環氧基丁基(甲基)丙烯酸酯、6,7-環氧基庚基(甲基)丙烯酸酯等之(甲基)丙烯酸環氧基烷基酯類；α-乙基丙烯酸縮水甘油基酯、α-n-丙基丙烯酸縮水甘油基酯、α-n-丁基丙烯酸縮水甘油基酯、α-乙基丙烯酸6,7-環氧基庚基酯等之α-烷基丙烯酸環氧基烷基酯類；等。此等中，由共聚合反應性、硬化後的樹脂的強度等觀點來看，以縮水甘油基(甲基)丙烯酸酯、2-甲基縮水甘油基(甲基)丙烯酸酯、及6,7-環氧基庚基(甲基)丙烯酸酯為佳。此等的(a4)含環氧基不飽和化合物可單獨或2種以上組合使用。

又，在(A2)共聚合物，亦可與上述以外的其他化合物共聚合。如此之其他化合物，可舉例如(甲基)丙烯酸酯類、(甲基)丙烯醯胺類、烯丙基酯化合物、乙烯基醚類、乙烯基酯類、苯乙烯類等。此等的化合物可單獨或2種以上組合使用。

(甲基)丙烯酸酯類，可舉例如甲基(甲基)丙烯酸酯、乙基(甲基)丙烯酸酯、丙基(甲基)丙烯酸酯、戊基(甲基)丙烯酸酯、t-辛基(甲基)丙烯酸酯等之直鏈狀或分支鏈狀的烷基(甲基)丙烯酸酯；氯乙基(甲基)丙烯酸酯、2,2-二甲基羥基丙基(甲基)丙烯酸酯、2-羥基乙基(甲基)丙烯酸酯、三羥甲基丙烷單(甲基)丙烯酸酯、苄基(甲基)丙烯 酸酯、糠基(甲基)丙烯酸酯；等。

(甲基)丙烯醯胺類，可舉例如(甲基)丙烯醯胺、N-烷基(甲基)丙烯醯胺、N-芳基(甲基)丙烯醯胺、N,N-二烷基(甲基)丙烯醯胺、N,N-芳基(甲基)丙烯醯胺、N-甲基-N-苯基(甲基)丙烯醯胺、N-羥基乙基-N-甲基(甲基)丙烯醯胺等。

烯丙基酯化合物，可舉例如乙酸烯丙基酯、己酸烯丙基酯、辛酸烯丙基酯、月桂酸烯丙基酯、棕櫚酸烯丙基酯、硬酯酸烯丙基酯、安息香酸烯丙基酯、乙醯乙酸烯丙基酯、乳酸烯丙基酯等之烯丙基酯類；烯丙基氧基乙醇；等。

乙烯基醚類，可舉例如己基乙烯基醚、辛基乙烯基醚、癸基乙烯基醚、乙基己基乙烯基醚、甲氧基乙基乙烯基醚、乙氧基乙基乙烯基醚、氯乙基乙烯基醚、1-甲基-2,2-二甲基丙基乙烯基醚、2-乙基丁基乙烯基醚、羥基乙基乙烯基醚、二乙二醇乙烯基醚、二甲基胺基乙基乙烯基醚、二乙基胺基乙基乙烯基醚、丁基胺基乙基乙烯基醚、苄基乙烯基醚、四氫糠基乙烯基醚等之烷基乙烯基醚；乙烯基苯基醚、乙烯基甲苯基醚、乙烯基氯苯基醚、乙烯基-2,4-二氯苯基醚、乙烯基萘基醚、乙烯基蒽基醚等之乙烯基芳基醚；等。

乙烯基酯類，可舉例如乙烯基丁酯、乙烯基異丁酯、乙烯基三甲基乙酸酯、乙烯基二乙基乙酸酯、乙烯基戊酸酯、乙烯基己酸酯、乙烯基氯乙酸酯、乙烯基二 氯乙酸酯、乙烯基甲氧基乙酸酯、乙烯基丁氧基乙酸酯、乙烯基苯基乙酸酯、乙烯基乙醯乙酸酯、乙烯基乳酸酯、乙烯基-β-苯基丁酸酯、安息香酸乙烯基酯、水楊酸乙烯基酯、氯安息香酸乙烯基酯、四氯安息香酸乙烯基酯、萘甲酸乙烯基酯等。

苯乙烯類，可舉例如苯乙烯；甲基苯乙烯、二甲基苯乙烯、三甲基苯乙烯、乙基苯乙烯、二乙基苯乙烯、異丙基苯乙烯、丁基苯乙烯、己基苯乙烯、環己基苯乙烯、癸基苯乙烯、苄基苯乙烯、氯甲基苯乙烯、三氟甲基苯乙烯、乙氧基甲基苯乙烯、乙醯氧基甲基苯乙烯等之烷基苯乙烯；甲氧基苯乙烯、4-甲氧基-3-甲基苯乙烯、二甲氧基苯乙烯等之烷氧基苯乙烯；氯苯乙烯、二氯苯乙烯、三氯苯乙烯、四氯苯乙烯、五氯苯乙烯、溴苯乙烯、二溴苯乙烯、碘苯乙烯、氟苯乙烯、三氟苯乙烯、2-溴-4-三氟甲基苯乙烯、4-氟-3-三氟甲基苯乙烯等之鹵苯乙烯；等。

(A2)共聚合物所佔有的來自上述(a1)不飽和羧酸的構成單位之比例，以1~50質量%為佳、5~45質量%更佳。

又，(A2)共聚合物含有來自上述(a2)含脂環式環氧基不飽和化合物的構成單位與來自上述(a4)含環氧基不飽和化合物的構成單位時，(A2)共聚合物所佔有的來自(a2)含脂環式環氧基不飽和化合物的構成單位之比例與來自上述(a4)含環氧基不飽和化合物的構成單位之比例的合計，以 71質量%以上為佳、71~95質量%較佳、75~90質量%再更佳。尤其以(A2)共聚合物所佔有的來自上述(a2)含脂環式環氧基不飽和化合物的構成單位之比例，單獨在71質量%以上為佳、71~80質量%更佳。藉由來自上述(a2)含脂環式環氧基不飽和化合物的構成單位之比例在上述範圍，可使感光性樹脂組成物的經時安定性更提升。

又，(A2)共聚合物含來自(a3)含脂環式基不飽和化合物的構成單位時，(A2)共聚合物所佔有的來自上述(a3)含脂環式基不飽和化合物的構成單位之比例，以1~30質量%為佳、5~20質量%更佳。

(A2)共聚合物的質量平均分子量以2000~200000為佳、3000~30000更佳。藉由在上述範圍，有易取得感光性樹脂組成物的膜形成能力、曝光後的顯影性之平衡的傾向。

又，(A)鹼可溶性樹脂亦宜使用含有(A3)至少具有來自上述(a1)不飽和羧酸的構成單位、與具有可與後述(B)光聚合性單體聚合的部位之構成單位的共聚合物、或(A4)至少具有來自上述(a1)不飽和羧酸的構成單位、與來自上述(a2)含脂環式環氧基不飽和化合物及/或(a4)含環氧基不飽和化合物的構成單位、與具有可與後述光聚合性單體(B)聚合之部位的構成單位的共聚合物之樹脂。(A)鹼可溶性樹脂含(A3)共聚合物、或(A4)共聚合物之場合，可使感光性樹脂組成物的對基板密著性、感光性樹脂組成物的硬化後的破壞強度提高。

(A3)共聚合物、及(A4)共聚合物亦可為進而與(A2)共聚合物中記載為其他化合物的(甲基)丙烯酸酯類、(甲基)丙烯醯胺類、烯丙基酯化合物、乙烯基醚類、乙烯基酯類、苯乙烯類等共聚合者。

具有可與(B)光聚合性單體聚合之部位的構成單位方面，以具有乙烯性不飽和基作為可與(B)光聚合性單體聚合之部位之構成單位為佳。具有如此之構成單位之共聚合物，(A3)共聚合物可藉由使含有來自上述(a1)不飽和羧酸的構成單位的聚合物所含有的羧基的至少一部分、與上述(a2)含脂環式環氧基不飽和化合物及/或(a4)含環氧基不飽和化合物進行反應來調製。又，(A4)共聚合物，可藉由使具有來自上述(a1)不飽和羧酸的構成單位、與來自(a2)含脂環式環氧基不飽和化合物及/或(a4)含環氧基不飽和化合物的構成單位的共聚合物中之環氧基的至少一部分與(a1)不飽和羧酸反應來調製。

(A3)共聚合物中之來自(a1)不飽和羧酸的構成單位佔有的比例，以1~50質量%為佳、5~45質量%更佳。(A3)共聚合物中之具有可與(B)光聚合性單體聚合之部位的構成單位佔有的比例，以1~45質量%為佳、5~40質量%更佳。(A3)共聚合物以如此之比率含有各構成單位時，易得到可形成與基板之密著性優異的硬化物之感光性樹脂組成物。

(A4)共聚合物中來自(a1)不飽和羧酸的構成單位佔有的比例，以1~50質量%為佳、5~45質量%更佳。 (A4)共聚合物中之來自(a2)含脂環式環氧基不飽和化合物及/或(a4)含環氧基不飽和化合物的構成單位佔有的比例，以55質量%以上為佳、71質量%以上更佳、71~80質量%特別佳。

(A4)共聚合物中之具有可與(B)光聚合性單體聚合之部位的構成單位佔有的比例以1~45質量%為佳、5~40質量%更佳。(A4)共聚合物以如此之比率含有各構成單位時，易得到可形成與基板之密著性優異的黑色柱狀間隔件之感光性樹脂組成物。

(A3)共聚合物、及(A4)共聚合物的質量平均分子量以2000~50000為佳、5000~30000更佳。藉由在上述範圍，有易取得感光性樹脂組成物的膜形成能力、曝光後的顯影性之平衡的傾向。

(A)鹼可溶性樹脂的含量，相對感光性樹脂組成物的固形分而言，以10~60質量%為佳、15~50質量%更佳。在該範圍之量使用(A)鹼可溶性樹脂時，易得到顯影性優異的感光性樹脂組成物。

<(B)光聚合性單體>

光聚合性單體中有單官能單體與多官能單體。

單官能單體，可舉例如(甲基)丙烯醯胺、羥甲基(甲基)丙烯醯胺、甲氧基甲基(甲基)丙烯醯胺、乙氧基甲基(甲基)丙烯醯胺、丙氧基甲基(甲基)丙烯醯胺、丁氧基甲氧基甲基(甲基)丙烯醯胺、N-羥甲基(甲基)丙烯醯胺、N- 羥基甲基(甲基)丙烯醯胺、(甲基)丙烯酸、富馬酸、馬來酸、無水馬來酸、伊康酸、無水伊康酸、檸康酸、無水檸康酸、巴豆酸、2-丙烯醯胺-2-甲基丙烷磺酸、tert-丁基丙烯醯胺磺酸、甲基(甲基)丙烯酸酯、乙基(甲基)丙烯酸酯、丁基(甲基)丙烯酸酯、2-乙基己基(甲基)丙烯酸酯、環己基(甲基)丙烯酸酯、2-羥基乙基(甲基)丙烯酸酯、2-羥基丙基(甲基)丙烯酸酯、2-羥基丁基(甲基)丙烯酸酯、2-苯氧基-2-羥基丙基(甲基)丙烯酸酯、2-(甲基)丙烯醯基氧基-2-羥基丙基苯二甲酸酯、甘油單(甲基)丙烯酸酯、四氫糠基(甲基)丙烯酸酯、二甲基胺基(甲基)丙烯酸酯、縮水甘油基(甲基)丙烯酸酯、2,2,2-三氟乙基(甲基)丙烯酸酯、2,2,3,3-四氟丙基(甲基)丙烯酸酯、苯二甲酸衍生物的半(甲基)丙烯酸酯等。此等的單官能單體可單獨或2種以上組合使用。

另一方面，多官能單體，可舉例如乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、二乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、四乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、聚丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、丁二醇二(甲基)丙烯酸酯、新戊基二醇二(甲基)丙烯酸酯、1,6-己烷二醇二(甲基)丙烯酸酯、三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、甘油二(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、二季戊四醇五丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯、季戊四醇二(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇 六(甲基)丙烯酸酯、2,2-雙(4-(甲基)丙烯醯氧基二乙氧基苯基)丙烷、2,2-雙(4-(甲基)丙烯醯氧基聚乙氧基苯基)丙烷、2-羥基-3-(甲基)丙烯醯基氧基丙基(甲基)丙烯酸酯、乙二醇二縮水甘油基醚二(甲基)丙烯酸酯、二乙二醇二縮水甘油基醚二(甲基)丙烯酸酯、苯二甲酸二縮水甘油基酯二(甲基)丙烯酸酯、甘油三丙烯酸酯、甘油聚縮水甘油基醚聚(甲基)丙烯酸酯、胺基甲酸乙酯(甲基)丙烯酸酯(即甲苯二異氰酸酯)、三甲基六伸甲基二異氰酸酯與六伸甲基二異氰酸酯與2-羥基乙基(甲基)丙烯酸酯之反應物、伸甲基雙(甲基)丙烯醯胺、(甲基)丙烯醯胺伸甲基醚、多元醇與N-羥甲基(甲基)丙烯醯胺之縮合物等之多官能單體或三丙烯醯甲縮醛(triacrylformal)等。此等的多官能單體可單獨或2種以上組合使用。

(B)光聚合性單體的含量，相對感光性樹脂組成物的固形分而言，以3~30質量%為佳、5~20質量%更佳。藉由在上述範圍，有易取得感度、顯影性、解像性之平衡的傾向。

<(C)光聚合起始劑>

(C)光聚合起始劑不特別限制，可使用以往習知光聚合起始劑。

光聚合起始劑，具體上可舉例如1-羥基環己基苯基酮、2-羥基-2-甲基-1-苯基丙烷-1-酮、1-[4-(2-羥基乙氧基)苯基]-2-羥基-2-甲基-1-丙烷-1-酮、1-(4-異丙基苯 基)-2-羥基-2-甲基丙烷-1-酮、1-(4-十二烷基苯基)-2-羥基-2-甲基丙烷-1-酮、雙(4-二甲基胺基苯基)酮、2,4,6-三甲基苯甲醯基二苯基氧化膦、4-苯甲醯基-4’-甲基二甲基硫化物、4-二甲基胺基安息香酸、4-二甲基胺基安息香酸甲基酯、4-二甲基胺基安息香酸乙基酯、4-二甲基胺基安息香酸丁基酯、4-二甲基胺基-2-乙基己基安息香酸、4-二甲基胺基-2-異戊基安息香酸、苄基-β-甲氧基乙基縮醛、苄基二甲基縮酮、1-苯基-1,2-丙烷二酮-2-(o-乙氧基羰基)肟、o-苯甲醯基安息香酸甲基酯、2,4-二乙基噻噸酮、2-氯噻噸酮、2,4-二甲基噻噸酮、1-氯-4-丙氧基噻噸酮、硫雜蒽、2-氯硫雜蒽、2,4-二乙基硫雜蒽、2-甲基硫雜蒽、2-異丙基硫雜蒽、2-乙基蒽醌、八甲基蒽醌、1,2-苯並蒽醌、2,3-二苯基蒽醌、偶氮雙異丁腈、苯甲醯基過氧化物、異丙苯過氧化物、2-巰基苯並咪唑、2-巰基苯並噁唑、2-巰基苯並噻唑、2-(o-氯苯基)-4,5-二苯基咪唑二聚物、2-(o-氯苯基)-4,5-二(甲氧基苯基)咪唑二聚物、2-(o-氟苯基)-4,5-二苯基咪唑二聚物、2-(o-甲氧基苯基)-4,5-二苯基咪唑二聚物、2-(p-甲氧基苯基)-4,5-二苯基咪唑二聚物、2,4,5-三芳基咪唑二聚物、二苯甲酮、2-氯二苯甲酮、4,4’-雙-二甲基胺基二苯甲酮(即米氏酮)、4,4’-雙二乙基胺基二苯甲酮(即乙基米氏酮)、4,4’-二氯二苯甲酮、3,3-二甲基-4-甲氧基二苯甲酮、苄基酯、安息香、安息香甲基醚、安息香乙基醚、安息香異丙基醚、安息香-n-丁基醚、安息香異丁基醚、安息香丁基醚、苯乙酮、2,2-二 乙氧基苯乙酮、p-二甲基苯乙酮、p-二甲基胺基苯丙酮、二氯苯乙酮、三氯苯乙酮、p-tert-丁基苯乙酮、p-二甲基胺基苯乙酮、p-tert-丁基三氯苯乙酮、p-tert-丁基二氯苯乙酮、α,α-二氯-4-苯氧基苯乙酮、噻噸酮、2-甲基噻噸酮、2-異丙基噻噸酮、二苯並環庚酮、戊基-4-二甲基胺基苯甲酸酯、9-苯基吖啶、1,7-雙-(9-吖啶基)庚烷、1,5-雙-(9-吖啶基)戊烷、1,3-雙-(9-吖啶基)丙烷、p-甲氧基三嗪、2,4,6-參(三氯甲基)-s-三嗪、2-甲基-4,6-雙(三氯甲基)-s-三嗪、2-[2-(5-甲基呋喃-2-基)乙烯基]-4,6-雙(三氯甲基)-s-三嗪、2-[2-(呋喃-2-基)乙烯基]-4,6-雙(三氯甲基)-s-三嗪、2-[2-(4-二乙基胺基-2-甲基苯基)乙烯基]-4,6-雙(三氯甲基)-s-三嗪、2-[2-(3,4-二甲氧基苯基)乙烯基]-4,6-雙(三氯甲基)-s-三嗪、2-(4-甲氧基苯基)-4,6-雙(三氯甲基)-s-三嗪、2-(4-乙氧基苯乙烯基)-4,6-雙(三氯甲基)-s-三嗪、2-(4-n-丁氧基苯基)-4,6-雙(三氯甲基)-s-三嗪、2,4-雙-三氯甲基-6-(3-溴-4-甲氧基)苯基-s-三嗪、2,4-雙-三氯甲基-6-(2-溴-4-甲氧基)苯基-s-三嗪、2,4-雙-三氯甲基-6-(3-溴-4-甲氧基)苯乙烯基苯基-s-三嗪、2,4-雙-三氯甲基-6-(2-溴-4-甲氧基)苯乙烯基苯基-s-三嗪、「IRGACURE OXE02」、「IRGACURE OXE01」、「IRGACURE 369」、「IRGACURE 651」、「IRGACURE 907」(商品名：BASF製)、「NCI-831」(商品名：ADEKA製)等。此等的光聚合起始劑可單獨或2種以上組合使用。

感光性樹脂組成物，在以上說明化合物中， 以含有肟酯化合物作為(C)光聚合起始劑者為佳。肟酯化合物為2個有機基透過以=N-O-CO-所表示之肟酯鍵鍵結的化合物。感光性樹脂組成物中搭配作為(C)光聚合起始劑的肟酯化合物時，易得到曝光感度優異的感光性樹脂組成物。

作為(C)光聚合起始劑使用的肟酯化合物不特別限定。可使用以往習知肟酯化合物作為(C)光聚合起始劑。肟酯化合物中，以下述式(c1)所表示之化合物為佳。

上述式(c1)中，R^c1為可具有取代基的碳原子數1~10的烷基、可具有取代基的苯基、或可具有取代基的咔唑基。a為0或1。R^c2為可具有取代基的碳原子數1~10的烷基、可具有取代基的苯基、或可具有取代基的咔唑基。R^c3為氫原子、碳原子數1~6的烷基、或可具有取代基的苯基。

R^c1為可具有取代基的碳原子數1~10的烷基時，烷基所具有的取代基的種類在不阻礙本發明之目的範圍，不特別限定。

碳原子數1~10的烷基可具有的適宜之取代基 的例，可舉例如碳原子數1~20的烷氧基、碳原子數3~10之環烷基、碳原子數3~10之環烷氧基、碳原子數2~20之飽和脂肪族醯基、碳原子數2~20的烷氧基羰基、碳原子數2~20之飽和脂肪族醯基氧基、可具有取代基的苯基、可具有取代基的苯氧基、可具有取代基的苯基硫基、可具有取代基的苯甲醯基、可具有取代基的苯氧基羰基、可具有取代基的苯甲醯基氧基、可具有取代基的碳原子數7~20之苯基烷基、可具有取代基的萘基、可具有取代基的萘氧基、可具有取代基的萘甲醯基、可具有取代基的萘氧基羰基、可具有取代基的萘甲醯基氧基、可具有取代基的碳原子數11~20之萘基烷基、可具有取代基的雜環基、可具有取代基的雜環羰基、胺基、以1或2個有機基取代的胺基、嗎啉-1-基、及哌嗪-1-基、鹵素、硝基、及氰基等。

碳原子數1~10的烷基可為直鏈或分支鏈。此時，烷基的碳原子數以1~8為佳、1~5更佳。

R^c1為可具有取代基的苯基時，取代基的種類在不阻礙本發明之目的範圍，不特別限定。苯基可具有的取代基的適宜之例，可舉例如烷基、烷氧基、環烷基、環烷氧基、飽和脂肪族醯基、烷氧基羰基、飽和脂肪族醯基氧基、可具有取代基的苯基、可具有取代基的苯氧基、可具有取代基的苯甲醯基、可具有取代基的苯氧基羰基、可具有取代基的苯甲醯基氧基、可具有取代基的苯基烷基、可具有取代基的萘基、可具有取代基的萘氧基、可具有取 代基的萘甲醯基、可具有取代基的萘氧基羰基、可具有取代基的萘甲醯基氧基、可具有取代基的萘基烷基、可具有取代基的雜環基、胺基、以1或2個有機基取代的胺基、嗎啉-1-基、及哌嗪-1-基、鹵素、硝基、及氰基等。R^c1為可具有取代基的苯基，且苯基具有複數取代基的場合，複數取代基可為相同或相異。

苯基所具有的取代基為烷基時，其碳原子數以1~20為佳、1~10更佳、1~6更佳、1~3尤佳、1最佳。又，烷基可為直鏈或分支鏈。苯基所具有的取代基為烷基時之具體例，可舉例如甲基、乙基、n-丙基、異丙基、n-丁基、異丁基、sec-丁基、tert-丁基、n-戊基、異戊基、sec-戊基、tert-戊基、n-己基、n-庚基、n-辛基、異辛基、sec-辛基、tert-辛基、n-壬基、異壬基、n-癸基、及異癸基等。又，烷基在碳鏈中可含有醚鍵(-O-)。此時，苯基所具有的取代基，可舉例如烷氧基烷基、烷氧基烷氧基烷基。苯基所具有的取代基為烷氧基烷基時，以-R^c4-O-R^c5所表示之基為佳。R^c4可為碳原子數1~10之直鏈或分支鏈的伸烷基。R^c5可為碳原子數1~10之直鏈或分支鏈的烷基。R^c4的碳原子數以1~8為佳、1~5更佳、1~3特別佳。R^c5的碳原子數以1~8為佳、1~5更佳、1~3尤佳、1最佳。碳鏈中具有醚鍵的烷基的例，可舉例如甲氧基乙基、乙氧基乙基、甲氧基乙氧基乙基、乙氧基乙氧基乙基、丙基氧基乙氧基乙基、及甲氧基丙基等。

苯基所具有的取代基為烷氧基時，其碳原子 數以1~20為佳、1~6更佳。又，烷氧基可為直鏈或分支鏈。苯基所具有的取代基為烷氧基時之具體例，可舉例如甲氧基、乙氧基、n-丙基氧基、異丙基氧基、n-丁基氧基、異丁基氧基、sec-丁基氧基、tert-丁基氧基、n-戊基氧基、異戊基氧基、sec-戊基氧基、tert-戊基氧基、n-己基氧基、n-庚基氧基、n-辛基氧基、異辛基氧基、sec-辛基氧基、tert-辛基氧基、n-壬基氧基、異壬基氧基、n-癸基氧基、及異癸基氧基等。又，烷氧基在碳鏈中可含有醚鍵(-O-)。碳鏈中具有醚鍵的烷氧基的例，可舉例如甲氧基乙氧基、乙氧基乙氧基、2-甲氧基-1-甲基乙氧基、甲氧基乙氧基乙氧基、乙氧基乙氧基乙氧基、丙基氧基乙氧基乙氧基、及甲氧基丙基氧基等。

苯基所具有的取代基為環烷基、或環烷氧基時，其碳原子數以3~10為佳、3~6更佳。苯基所具有的取代基為環烷基時之具體例，可舉例如環丙基、環丁基、環戊基、環己基、環庚基、及環辛基等。苯基所具有的取代基為環烷氧基時之具體例，可舉例如環丙基氧基、環丁基氧基、環戊基氧基、環己基氧基、環庚基氧基、及環辛基氧基等。

苯基所具有的取代基為飽和脂肪族醯基、或飽和脂肪族醯基氧基時，其碳原子數以2~20為佳、2~7更佳。苯基所具有的取代基為飽和脂肪族醯基時之具體例，可舉例如乙醯基、丙醯基、n-丁醯基、2-甲基丙醯基、n-戊醯基、2,2-二甲基丙醯基、n-己醯基、n-庚醯 基、n-辛醯基、n-壬醯基、n-癸醯基、n-十一醯基、n-十二醯基、n-十三醯基、n-十四醯基、n-十五醯基、及n-十六醯基等。苯基所具有的取代基為飽和脂肪族醯基氧基時之具體例，可舉例如乙醯基氧基、丙醯基氧基、n-丁醯基氧基、2-甲基丙醯基氧基、n-戊醯基氧基、2,2-二甲基丙醯基氧基、n-己醯基氧基、n-庚醯基氧基、n-辛醯基氧基、n-壬醯基氧基、n-癸醯基氧基、n-十一醯基氧基、n-十二醯基氧基、n-十三醯基氧基、n-十四醯基氧基、n-十五醯基氧基、及n-十六醯基氧基等。

苯基所具有的取代基為烷氧基羰基時，其碳原子數以2~20為佳、2~7更佳。苯基所具有的取代基為烷氧基羰基時之具體例，可舉例如甲氧基羰基、乙氧基羰基、n-丙基氧基羰基、異丙基氧基羰基、n-丁基氧基羰基、異丁基氧基羰基、sec-丁基氧基羰基、tert-丁基氧基羰基、n-戊基氧基羰基、異戊基氧基羰基、sec-戊基氧基羰基、tert-戊基氧基羰基、n-己基氧基羰基、n-庚基氧基羰基、n-辛基氧基羰基、異辛基氧基羰基、sec-辛基氧基羰基、tert-辛基氧基羰基、n-壬基氧基羰基、異壬基氧基羰基、n-癸基氧基羰基、及異癸基氧基羰基等。

苯基所具有的取代基為苯基烷基時，其碳原子數以7~20為佳、7~10更佳。又苯基所具有的取代基為萘基烷基時，其碳原子數以11~20為佳、11~14更佳。苯基所具有的取代基為苯基烷基時之具體例，可舉例如苄基、2-苯基乙基、3-苯基丙基、及4-苯基丁基。苯基所具 有的取代基為萘基烷基時之具體例，可舉例如α-萘基甲基、β-萘基甲基、2-(α-萘基)乙基、及2-(β-萘基)乙基。苯基所具有的取代基為苯基烷基、或萘基烷基時，取代基，苯基或萘基上可再具有取代基。

苯基所具有的取代基為雜環基時，雜環基為含1個以上之N、S、O之5員或6員單環、或為該單環彼此、或該單環與苯環縮合之雜環基。雜環基為縮合環時，縮合環的數為3以下。構成該雜環基的雜環，可舉例如呋喃、噻吩、吡咯、噁唑、異噁唑、噻唑、噻二唑、異噻唑、咪唑、吡唑、三唑、吡啶、吡嗪、嘧啶、噠嗪、苯並呋喃、苯並噻吩、吲哚、異吲哚、吲哚嗪、苯並咪唑、苯並三唑、苯並噁唑、苯並噻唑、咔唑、嘌呤、喹啉、異喹啉、喹唑啉、酞嗪、噌啉、及喹喔啉等。苯基所具有的取代基為雜環基時，雜環基可再具有取代基。

苯基所具有的取代基為以1或2個有機基取代的胺基時，有機基的適宜之例，可舉例如碳原子數1~20的烷基、碳原子數3~10之環烷基、碳原子數2~20之飽和脂肪族醯基、碳原子數2~20之飽和脂肪族醯基氧基、可具有取代基的苯基、可具有取代基的苯甲醯基、可具有取代基的碳原子數7~20之苯基烷基、可具有取代基的萘基、可具有取代基的萘甲醯基、可具有取代基的碳原子數11~20之萘基烷基、及雜環基等。此等的適宜之有機基的具體例，可舉例如與苯基所具有的取代基中上述基相同的基。以1或2個有機基取代的胺基的具體例，可舉例 如甲基胺基、乙基胺基、二乙基胺基、n-丙基胺基、二-n-丙基胺基、異丙基胺基、n-丁基胺基、二-n-丁基胺基、n-戊基胺基、n-己基胺基、n-庚基胺基、n-辛基胺基、n-壬基胺基、n-癸基胺基、苯基胺基、萘基胺基、乙醯基胺基、丙醯胺基、n-丁醯基胺基、n-戊醯基胺基、n-己醯胺基、n-庚醯基胺基、n-辛醯基胺基、n-癸醯基胺基、苯甲醯基胺基、α-萘甲醯基胺基、β-萘甲醯基胺基、及N-乙醯基-N-乙醯基氧基胺基等。

苯基所具有的取代基所含有的苯基、萘基、及雜環基再具有取代基時的取代基，可舉例如碳原子數1~6的烷基、碳原子數1~6的烷氧基、碳原子數2~7的飽和脂肪族醯基、碳原子數2~7的烷氧基羰基、碳原子數2~7的飽和脂肪族醯基氧基、具有碳原子數1~6的烷基的單烷基胺基、具有碳原子數1~6的烷基的二烷基胺基、嗎啉-1-基、哌嗪-1-基、鹵素、硝基、及氰基等。苯基所具有的取代基所含有的苯基、萘基、及雜環基再具有取代基時，其取代基數在不阻礙本發明之目的範圍，不被限定，但以1~4為佳。苯基所具有的取代基所含有的苯基、萘基、及雜環基具有複數取代基時，複數取代基可為相同或相異。

以上說明的R^c1為可具有取代基的苯基時的取代基中，以烷基或烷氧基烷基為佳。

R^c1為可具有取代基的苯基時，取代基數與取代基的鍵結位置在不阻礙本發明之目的範圍不特別限定。 R^c1為可具有取代基的苯基時，由鹽基產生效率優異點，可具有取代基的苯基以可具有取代基的o-甲苯基者為佳。

R^c1為可具有取代基的咔唑基時，取代基的種類在不阻礙本發明之目的範圍，不特別限定。咔唑基在碳原子上可具有的適宜之取代基的例，可舉例如碳原子數1~20的烷基、碳原子數1~20的烷氧基、碳原子數3~10之環烷基、碳原子數3~10之環烷氧基、碳原子數2~20之飽和脂肪族醯基、碳原子數2~20的烷氧基羰基、碳原子數2~20之飽和脂肪族醯基氧基、可具有取代基的苯基、可具有取代基的苯氧基、可具有取代基的苯基硫基、可具有取代基的苯基羰基、可具有取代基的苯甲醯基、可具有取代基的苯氧基羰基、可具有取代基的苯甲醯基氧基、可具有取代基的碳原子數7~20之苯基烷基、可具有取代基的萘基、可具有取代基的萘氧基、可具有取代基的萘基羰基、可具有取代基的萘甲醯基、可具有取代基的萘氧基羰基、可具有取代基的萘甲醯基氧基、可具有取代基的碳原子數11~20之萘基烷基、可具有取代基的雜環基、可具有取代基的雜環羰基、胺基、以1或2個有機基取代的胺基、嗎啉-1-基、及哌嗪-1-基、鹵素、硝基、及氰基等。

R^c1為可具有取代基的咔唑基時，咔唑基在氮原子上可具有的適宜之取代基的例，可舉例如碳原子數1~20的烷基、碳原子數3~10之環烷基、碳原子數2~20之飽和脂肪族醯基、碳原子數2~20的烷氧基羰基、可具有取代基的苯基、可具有取代基的苯甲醯基、可具有取代 基的苯氧基羰基、可具有取代基的碳原子數7~20之苯基烷基、可具有取代基的萘基、可具有取代基的萘甲醯基、可具有取代基的萘氧基羰基、可具有取代基的碳原子數11~20之萘基烷基、可具有取代基的雜環基、及可具有取代基的雜環羰基等。此等的取代基中，以碳原子數1~20的烷基為佳、碳原子數1~6的烷基更佳、乙基特別佳。

咔唑基可具有的取代基的具體例，關於烷基、烷氧基、環烷基、環烷氧基、飽和脂肪族醯基、烷氧基羰基、飽和脂肪族醯基氧基、可具有取代基的苯基烷基、可具有取代基的萘基烷基、可具有取代基的雜環基、及以1或2個有機基取代的胺基，與R^c1為可具有取代基的苯基時的苯基所具有的取代基的例相同。

R^c1中，咔唑基所具有的取代基所含有的苯基、萘基、及雜環基再具有取代基時的取代基的例，可舉例如碳原子數1~6的烷基；碳原子數1~6的烷氧基；碳原子數2~7的飽和脂肪族醯基；碳原子數2~7的烷氧基羰基；碳原子數2~7的飽和脂肪族醯基氧基；苯基；萘基；苯甲醯基；萘甲醯基；碳原子數1~6的烷基、嗎啉-1-基、哌嗪-1-基、及苯基所構成的群選出的基所取代的苯甲醯基；具有碳原子數1~6的烷基的單烷基胺基；具有碳原子數1~6的烷基的二烷基胺基；嗎啉-1-基；哌嗪-1-基；鹵素；硝基；氰基。咔唑基所具有的取代基所含有的苯基、萘基、及雜環基再具有取代基時，其取代基數，在不阻礙本發明之目的範圍，不被限定。此時，取代基數以 1~4為佳。苯基、萘基、及雜環基具有複數取代基時，複數取代基可為相同或相異。

R^c2為可具有取代基的碳原子數1~10的烷基、或可具有取代基的苯基、或可具有取代基的咔唑基。

R^c2為可具有取代基的碳原子數1~10的烷基時，烷基可為直鏈或分支鏈。此時，烷基的碳原子數以1~8為佳、1~5更佳。

R^c2中，烷基或苯基所具有的取代基，在不阻礙本發明之目的範圍，不特別限定。

烷基在碳原子上可具有的適宜之取代基的例，可舉例如碳原子數1~20的烷氧基、碳原子數3~10之環烷基、碳原子數3~10之環烷氧基、碳原子數2~20之飽和脂肪族醯基、碳原子數2~20的烷氧基羰基、碳原子數2~20之飽和脂肪族醯基氧基、可具有取代基的苯基、可具有取代基的苯氧基、可具有取代基的苯基硫基、可具有取代基的苯甲醯基、可具有取代基的苯氧基羰基、可具有取代基的苯甲醯基氧基、可具有取代基的碳原子數7~20之苯基烷基、可具有取代基的萘基、可具有取代基的萘氧基、可具有取代基的萘甲醯基、可具有取代基的萘氧基羰基、可具有取代基的萘甲醯基氧基、可具有取代基的碳原子數11~20之萘基烷基、可具有取代基的雜環基、可具有取代基的雜環羰基、胺基、以1或2個有機基取代的胺基、嗎啉-1-基、及哌嗪-1-基、鹵素、硝基、及氰基等。

苯基在碳原子上可具有的適宜之取代基的例，除作為 烷基在碳原子上可具有的適宜之取代基而在上述例示的基外，可舉例如碳原子數1~20的烷基。

烷基或苯基可具有的取代基的具體例，關於烷基、烷氧基、環烷基、環烷氧基、飽和脂肪族醯基、烷氧基羰基、飽和脂肪族醯基氧基、可具有取代基的苯基烷基、可具有取代基的萘基烷基、可具有取代基的雜環基、及以1或2個有機基取代的胺基，與R^c1為可具有取代基的苯基時的苯基所具有的取代基的例相同。

R^c2中，烷基或苯基所具有的取代基所含有的苯基、萘基、及雜環基再具有取代基時的取代基的例，可舉例如碳原子數1~6的烷基；碳原子數1~6的烷氧基；碳原子數2~7的飽和脂肪族醯基；碳原子數2~7的烷氧基羰基；碳原子數2~7的飽和脂肪族醯基氧基；苯基；萘基；苯甲醯基；萘甲醯基；碳原子數1~6的烷基、嗎啉-1-基、哌嗪-1-基、及苯基所構成的群選出的基所取代的苯甲醯基；具有碳原子數1~6的烷基的單烷基胺基；具有碳原子數1~6的烷基的二烷基胺基；嗎啉-1-基；哌嗪-1-基；鹵素；硝基；氰基。烷基或苯基所具有的取代基所含有的苯基、萘基、及雜環基再具有取代基時，其取代基數在不阻礙本發明之目的範圍，不被限定，但以1~4為佳。苯基、萘基、及雜環基具有複數取代基時，複數取代基可為相同或相異。

R^c2為可具有取代基的咔唑基時，咔唑基所具有的取代基的種類在不阻礙本發明之目的範圍，不特別限 定。咔唑基可具有的取代基的適宜之例，與R^c1為可具有取代基的咔唑基時的取代基的例相同。

由式(c1)所表示之化合物的反應性觀點來看，作為R^c2以下述式(c2)：

或下述式(c3)：

所表示之基為佳。

式(c2)中，R^c6及R^c7，各自為1價有機基，b為0或1。式(c3)中，R^c8為1價有機基、胺基、鹵素、硝基、及氰基所構成的群選出的基，A為S或O，c為0~4的整數。

式(c2)中之R^c6在不阻礙本發明之目的範圍，可由種種之有機基選擇。R^c6的適宜例方面，可舉例如氫原子、碳原子數1~20的烷基、碳原子數3~10之環烷基、 碳原子數2~20之飽和脂肪族醯基、碳原子數2~20的烷氧基羰基、可具有取代基的苯基、可具有取代基的苯甲醯基、可具有取代基的苯氧基羰基、可具有取代基的碳原子數7~20之苯基烷基、可具有取代基的萘基、可具有取代基的萘甲醯基、可具有取代基的萘氧基羰基、可具有取代基的碳原子數11~20之萘基烷基、可具有取代基的雜環基、及可具有取代基的雜環羰基等。

R^c6中，以碳原子數1~20的烷基為佳、碳原子數1~6的烷基更佳、乙基特別佳。

式(c2)中之R^c7在不阻礙本發明之目的範圍不被特別限制，可由種種之有機基選擇。適合作為R^c7之基的具體例，可舉例如氫原子、碳原子數1~20的烷基、可具有取代基的苯基、可具有取代基的萘基、及可具有取代基的雜環基。作為R^c7，此等的基中，以可具有取代基的苯基、及可具有取代基的萘基更佳、2-甲基苯基及萘基特別佳。

R^c6或R^c7所含有的苯基、萘基、及雜環基再具有取代基時的取代基，可舉例如碳原子數1~6的烷基、碳原子數1~6的烷氧基、碳原子數2~7的飽和脂肪族醯基、碳原子數2~7的烷氧基羰基、碳原子數2~7的飽和脂肪族醯基氧基、具有碳原子數1~6的烷基的單烷基胺基、具有碳原子數1~6的烷基的二烷基胺基、嗎啉-1-基、哌嗪-1-基、鹵素、硝基、及氰基等。R^c6或R^c7所含有的苯基、萘基、及雜環基再具有取代基時，其取代基數在不阻 礙本發明之目的範圍，不被限定，但以1~4為佳。R^c6或R^c7所含有的苯基、萘基、及雜環基具有複數取代基時，複數取代基可為相同或相異。

式(c3)中之R^c8為有機基時，R^c8在不阻礙本發明之目的範圍，可由種種之有機基選擇。式(c3)中R^c8為有機基時的適宜之例，可舉例如碳原子數1~6的烷基；碳原子數1~6的烷氧基；碳原子數2~7的飽和脂肪族醯基；碳原子數2~7的烷氧基羰基；碳原子數2~7的飽和脂肪族醯基氧基；苯基；萘基；苯甲醯基；萘甲醯基；碳原子數1~6的烷基、嗎啉-1-基、哌嗪-1-基、及苯基所構成的群選出的基所取代的苯甲醯基；具有碳原子數1~6的烷基的單烷基胺基；具有碳原子數1~6的烷基的二烷基胺基；嗎啉-1-基；哌嗪-1-基；鹵素；硝基；氰基；2-甲基苯基羰基；4-(哌嗪-1-基)苯基羰基；4-(苯基)苯基羰基。

R^c8中，以苯甲醯基；萘甲醯基；碳原子數1~6的烷基、嗎啉-1-基、哌嗪-1-基、及苯基所構成的群選出的基所取代的苯甲醯基；硝基為佳、苯甲醯基；萘甲醯基；2-甲基苯基羰基；4-(哌嗪-1-基)苯基羰基；4-(苯基)苯基羰基更佳。

又，式(c3)中，c以0~3的整數為佳、0~2的整數更佳、0或1特別佳。c為1時，R^c8的鍵結位置，R^c8鍵結的苯基以相對與-A-鍵結的鍵結而言，為對位者為佳。

R^c3為氫原子、碳原子數1~6的烷基、或可具 有取代基的苯基。可具有取代基的苯基時，苯基可具有的取代基為與R^c1為可具有取代基的苯基時相同。R^c3以甲基、乙基、或苯基為佳、甲基或苯基更佳。

上述式(c1)所表示之肟酯化合物，在a為0時，例如可由以下說明方法合成。首先將R^c2-CO-R^c1所表示之酮化合物以羥基胺進行肟化，得到R^c2-(C=N-OH)-R^c1所表示之肟化合物。接著將得到的肟化合物以R^c3-CO-Hal(Hal為鹵素)所表示之酸鹵素化物或(R^c3CO)₂O所表示之酸酐進行醯化，可得到a為0之以上述式(c1)所表示之肟酯化合物。

又，上述式(c1)所表示之肟酯化合物，在a為1時，可藉由例如以下說明方法合成。首先使R^c2-CO-CH₂-R^c1所表示之酮化合物在鹽酸的存在下與亞硝酸酯反應，得到R^c2-CO-(C=N-OH)-R^c1所表示之肟化合物。接著使得到的肟化合物以R^c3-CO-Hal(Hal為鹵素)所表示之酸鹵素化物或(R^c3CO)₂O所表示之酸酐進行醯化，可得到a為1的以上述式(c1)所表示之肟酯化合物。

上述式(c1)所表示之化合物，可舉例如下述式(c4)所表示之化合物。

上述式(c4)中，a、R^c2、及R^c3同上述。R^c9為1價有機基、胺基、鹵素、硝基、及氰基所構成的群選出的基，d為0~4的整數。

上述式(c4)中，R^c9在不阻礙本發明之目的範圍不被特別限制，為有機基時，可由種種之有機基適宜選擇。R^c9的適宜例，可舉例如烷基、烷氧基、環烷基、環烷氧基、飽和脂肪族醯基、烷氧基羰基、飽和脂肪族醯基氧基、可具有取代基的苯基、可具有取代基的苯氧基、可具有取代基的苯甲醯基、可具有取代基的苯氧基羰基、可具有取代基的苯甲醯基氧基、可具有取代基的苯基烷基、可具有取代基的萘基、可具有取代基的萘氧基、可具有取代基的萘甲醯基、可具有取代基的萘氧基羰基、可具有取代基的萘甲醯基氧基、可具有取代基的萘基烷基、可具有取代基的雜環基、胺基、以1或2個有機基取代的胺基、嗎啉-1-基、哌嗪-1-基、鹵素、硝基、及氰基等。d為2~4的整數時，R^c9可為相同或相異。又，取代基的碳原子數不含取代基再具有的取代基的碳原子數。

R^c9為烷基時，以碳原子數1~20為佳、碳原子數1~6更佳。又，R^c9為烷基時，可為直鏈或分支鏈。R^c9為烷基時之具體例，可舉例如甲基、乙基、n-丙基、異丙基、n-丁基、異丁基、sec-丁基、tert-丁基、n-戊基、異戊基、sec-戊基、tert-戊基、n-己基、n-庚基、n-辛基、異辛基、sec-辛基、tert-辛基、n-壬基、異壬基、n-癸基、 及異癸基等。又，R^c9為烷基時，烷基在碳鏈中可含有醚鍵(-O-)。碳鏈中具有醚鍵的烷基的例，可舉例如甲氧基乙基、乙氧基乙基、甲氧基乙氧基乙基、乙氧基乙氧基乙基、丙基氧基乙氧基乙基、及甲氧基丙基等。

R^c9為烷氧基時，以碳原子數1~20為佳、碳原子數1~6更佳。又，R^c9為烷氧基時，可為直鏈或分支鏈。R^c9為烷氧基時之具體例，可舉例如甲氧基、乙氧基、n-丙基氧基、異丙基氧基、n-丁基氧基、異丁基氧基、sec-丁基氧基、tert-丁基氧基、n-戊基氧基、異戊基氧基、sec-戊基氧基、tert-戊基氧基、n-己基氧基、n-庚基氧基、n-辛基氧基、異辛基氧基、sec-辛基氧基、tert-辛基氧基、n-壬基氧基、異壬基氧基、n-癸基氧基、及異癸基氧基等。又，R^c9為烷氧基時，烷氧基在碳鏈中可含有醚鍵(-O-)。碳鏈中具有醚鍵的烷氧基的例，可舉例如甲氧基乙氧基、乙氧基乙氧基、甲氧基乙氧基乙氧基、乙氧基乙氧基乙氧基、丙基氧基乙氧基乙氧基、及甲氧基丙基氧基等。

R^c9為環烷基或環烷氧基時，以碳原子數3~10為佳、碳原子數3~6更佳。R^c9為環烷基時之具體例，可舉例如環丙基、環丁基、環戊基、環己基、環庚基、及環辛基等。R^c9為環烷氧基時之具體例，可舉例如環丙基氧基、環丁基氧基、環戊基氧基、環己基氧基、環庚基氧基、及環辛基氧基等。

R^c9為飽和脂肪族醯基或飽和脂肪族醯基氧基 時，以碳原子數2~20為佳、碳原子數2~7更佳。R^c9為飽和脂肪族醯基時之具體例，可舉例如乙醯基、丙醯基、n-丁醯基、2-甲基丙醯基、n-戊醯基、2,2-二甲基丙醯基、n-己醯基、n-庚醯基、n-辛醯基、n-壬醯基、n-癸醯基、n-十一醯基、n-十二醯基、n-十三醯基、n-十四醯基、n-十五醯基、及n-十六醯基等。R^c9為飽和脂肪族醯基氧基時之具體例，可舉例如乙醯基氧基、丙醯基氧基、n-丁醯基氧基、2-甲基丙醯基氧基、n-戊醯基氧基、2,2-二甲基丙醯基氧基、n-己醯基氧基、n-庚醯基氧基、n-辛醯基氧基、n-壬醯基氧基、n-癸醯基氧基、n-十一醯基氧基、n-十二醯基氧基、n-十三醯基氧基、n-十四醯基氧基、n-十五醯基氧基、及n-十六醯基氧基等。

R^c9為烷氧基羰基時，以碳原子數2~20為佳、碳原子數2~7更佳。R^c9為烷氧基羰基時之具體例，可舉例如甲氧基羰基、乙氧基羰基、n-丙基氧基羰基、異丙基氧基羰基、n-丁基氧基羰基、異丁基氧基羰基、sec-丁基氧基羰基、tert-丁基氧基羰基、n-戊基氧基羰基、異戊基氧基羰基、sec-戊基氧基羰基、tert-戊基氧基羰基、n-己基氧基羰基、n-庚基氧基羰基、n-辛基氧基羰基、異辛基氧基羰基、sec-辛基氧基羰基、tert-辛基氧基羰基、n-壬基氧基羰基、異壬基氧基羰基、n-癸基氧基羰基、及異癸基氧基羰基等。

R^c9為苯基烷基時，以碳原子數7~20為佳、碳原子數7~10更佳。又R^c9為萘基烷基時，以碳原子數 11~20為佳、碳原子數11~14更佳。R^c9為苯基烷基時之具體例，可舉例如苄基、2-苯基乙基、3-苯基丙基、及4-苯基丁基。R^c9為萘基烷基時之具體例，可舉例如α-萘基甲基、β-萘基甲基、2-(α-萘基)乙基、及2-(β-萘基)乙基。R^c9為苯基烷基、或萘基烷基時，R^c9可於苯基、或萘基上再具有取代基。

R^c9為雜環基時，雜環基為含有1個以上之N、S、O的5員或6員的單環，或為該單環彼此、或該單環與苯環縮合的雜環基。雜環基為縮合環時，縮合環的數為3以下。構成該雜環基的雜環，可舉例如呋喃、噻吩、吡咯、噁唑、異噁唑、噻唑、噻二唑、異噻唑、咪唑、吡唑、三唑、吡啶、吡嗪、嘧啶、噠嗪、苯並呋喃、苯並噻吩、吲哚、異吲哚、吲哚嗪、苯並咪唑、苯並三唑、苯並噁唑、苯並噻唑、咔唑、嘌呤、喹啉、異喹啉、喹唑啉、酞嗪、噌啉、及喹喔啉等。R^c9為雜環基時，雜環基可再具有取代基。

R^c9為以1或2個有機基取代的胺基時，有機基的適宜之例，可舉例如碳原子數1~20的烷基、碳原子數3~10之環烷基、碳原子數2~20之飽和脂肪族醯基、可具有取代基的苯基、可具有取代基的苯甲醯基、可具有取代基的碳原子數7~20之苯基烷基、可具有取代基的萘基、可具有取代基的萘甲醯基、可具有取代基的碳原子數11~20之萘基烷基、及雜環基等。此等的適宜之有機基的具體例與R^c9相同。以1或2個有機基取代的胺基的具體 例，可舉例如甲基胺基、乙基胺基、二乙基胺基、n-丙基胺基、二-n-丙基胺基、異丙基胺基、n-丁基胺基、二-n-丁基胺基、n-戊基胺基、n-己基胺基、n-庚基胺基、n-辛基胺基、n-壬基胺基、n-癸基胺基、苯基胺基、萘基胺基、乙醯基胺基、丙醯胺基、n-丁醯基胺基、n-戊醯基胺基、n-己醯胺基、n-庚醯基胺基、n-辛醯基胺基、n-癸醯基胺基、苯甲醯基胺基、α-萘甲醯基胺基、及β-萘甲醯基胺基等。

R^c9所含有的苯基、萘基、及雜環基再具有取代基時的取代基，可舉例如碳原子數1~6的烷基、碳原子數1~6的烷氧基、碳原子數2~7的飽和脂肪族醯基、碳原子數2~7的烷氧基羰基、碳原子數2~7的飽和脂肪族醯基氧基、具有碳原子數1~6的烷基的單烷基胺基、具有碳原子數1~6的烷基的二烷基胺基、嗎啉-1-基、哌嗪-1-基、鹵素、硝基、及氰基等。R^c9所含有的苯基、萘基、及雜環基再具有取代基時，其取代基數在不阻礙本發明之目的範圍，不被限定，但以1~4為佳。R^c9所含有的苯基、萘基、及雜環基具有複數取代基時，複數取代基可為相同或相異。

R^c9中，由化學安定、或立體阻礙少、肟酯化合物的合成容易等來看，以碳原子數1~6的烷基、碳原子數1~6的烷氧基、及碳原子數2~7的飽和脂肪族醯基所構成的群選出的基為佳、碳原子數1~6的烷基更佳、甲基特別佳。

R^c9鍵結於苯基的位置，關於R^c9鍵結的苯基，以苯基與肟酯化合物的主骨架之鍵結位置為1位、以甲基的位置為2位時，以4位、或5位為佳、5位更佳。又，d以0~3的整數為佳、0~2的整數更佳、0或1特別佳。

上述式(c4)中之R^c3為氫原子、碳原子數1~6的烷基、或可具有取代基的苯基。R^c3的具體例，關於式(c1)同前述。式(c4)中的R^c3以甲基、乙基、及苯基為佳、甲基、及苯基更佳。

肟酯化合物中，在式(c1)含有而式(c4)中不含的化合物的較佳例，如以下化合物。

又，作為肟酯化合物尤佳的式(c4)所表示之肟酯化合物中，特別佳之化合物，可舉例如下述式之化合物。

(C)光聚合起始劑含肟酯化合物時，(C)光聚合起始劑以僅含有肟酯化合物者為佳，但亦可含肟酯化合物以外的化合物。(C)光聚合起始劑中的肟酯化合物以外的化合物的含量，相對(C)光聚合起始劑之全質量，以10質量%以下為佳、5質量%以下更佳、3質量%以下特別佳。

(C)光聚合起始劑的含量，相對感光性樹脂組成物中的固形分之質量而言，以1~15質量%為佳。藉由在上述範圍，易調製兼具良好的塗佈性與硬化性的感光性 樹脂組成物。

<(D)遮光劑>

感光性樹脂組成物為含有含以下述式(1)所表示之矽烷耦合劑處理的碳黑的遮光劑。感光性樹脂組成物含以下述式(1)所表示之矽烷耦合劑處理的碳黑作為(D)遮光劑的場合，使用感光性樹脂組成物，易形成對基板密著性與絕緣性優異、且抑制因加熱所致之絕緣性降低的圖型。(D)遮光劑所含有的碳黑，可組合2種以上以式(1)所表示之矽烷耦合劑進行處理。

(D)遮光劑在不阻礙本發明之目的範圍，以色相調節等之目的，可含碳黑以外的著色劑。(D)遮光劑，尤其碳黑以使用分散劑分散者為佳。以下關於(D)遮光劑，依序說明矽烷耦合劑、碳黑、碳黑以外的著色劑、以矽烷耦合劑處理碳黑、及碳黑的分散方法。

(矽烷耦合劑)

(D)遮光劑為含以下述式(1)所表示之矽烷耦合劑處理的碳黑。

R¹ _pR² _(3-p)Si-R³-NH-C(O)-Y-R⁴-X‧‧‧(1)

(式(1)中，R¹為烷氧基，R²為烷基，p為1~3的整數，R³為伸烷基，Y為-NH-、-O-、或-S-，R⁴為單鍵、或伸烷基，X為可具有取代基且可為單環或多環的含氮雜芳 基，與X中之-Y-R⁴-鍵結的環為含氮6員芳香環，-Y-R⁴-與前述含氮6員芳香環中之碳原子鍵結)。

式(1)中，R¹為烷氧基。關於R¹，烷氧基的碳原子數以1~6為佳、1~4更佳、由矽烷耦合劑的反應性觀點以1或2特別佳。R¹之較佳具體例，可舉例如甲氧基、乙氧基、n-丙氧基、異丙氧基、n-丁氧基、異丁氧基、sec-丁氧基、tert-丁氧基、n-戊基氧基、及n-己基氧基。此等的烷氧基中，以甲氧基、及乙氧基為佳。

藉由烷氧基的R¹被水解而生成的矽烷醇基，與存在於碳黑表面的羥基、羧基等之含活性氫原子的官能基反應，矽烷耦合劑鍵結於碳黑表面。因此，由矽烷耦合劑易鍵結於碳黑表面點來看，以p為3者為佳。

式(1)中，R²為烷基。關於R²，烷基的碳原子數以1~12為佳、1~6更佳、由矽烷耦合劑的反應性觀點以1或2特別佳。R²之較佳具體例，可舉例如甲基、乙基、n-丙基、異丙基、n-丁基、異丁基、sec-丁基、tert-丁基、n-戊基、n-己基、n-庚基、n-辛基、n-壬基、n-癸基、n-十一基、及n-十二烷基。

式(1)中，R³為伸烷基。關於R³，伸烷基的碳原子數以1~12為佳、1~6更佳、2~4特別佳。R³之較佳具體例，可舉例如伸甲基、1,2-伸乙基、1,1-伸乙基、丙烷-1,3-二基、丙烷-1,2-二基、丙烷-1,1-二基、丙烷-2,2-二基、丁烷-1,4-二基、丁烷-1,3-二基、丁烷-1,2-二基、丁烷-1,1-二基、丁烷-2,2-二基、丁烷-2,3-二基、戊烷-1,5-二 基、戊烷-1,4-二基、及己烷-1,6-二基、庚烷-1,7-二基、辛烷-1,8-二基、壬烷-1,9-二基、癸烷-1,10-二基、十一烷-1,11-二基、及十二烷-1,12-二基。此等的伸烷基中，以1,2-伸乙基、丙烷-1,3-二基、及丁烷-1,4-二基為佳。

Y為-NH-、-O-、或-S-，以-NH-者為佳。此係因相較於-CO-O-、或-CO-S-所表示之鍵結，-CO-NH-所表示之鍵結較不易被水解。使用含以Y為-NH-之化合物作為矽烷耦合劑處理的碳黑的感光性樹脂組成物形成圖型之場合，因為即使經鹼顯影液等之處理，矽烷耦合劑的構造不改變，易得到矽烷耦合劑的使用之期望效果。

R⁴為單鍵、或伸烷基，以單鍵者為佳。R⁴為伸烷基場合之較佳例與R³相同。

X為可具有取代基且為單環或多環的含氮雜芳基，與X中之-Y-R⁴-鍵結的環為含氮6員芳香環，-Y-R⁴-與該含氮6員芳香環中的碳原子鍵結。理由雖然不明，但使用含如此之具有X的化合物作為矽烷耦合劑之感光性樹脂組成物，可形成對基材密著性、耐水性、及耐溶劑性優異的硬化物。

X為多環雜芳基時，雜芳基可為複數單環縮合的基、或複數單環透過單鍵鍵結的基。X為多環雜芳基時，多環雜芳基所含有的環數以1~3為佳。X為多環雜芳基時，X中的縮合或鍵結於含氮6員芳香環的環可含雜原子或不含雜原子、可為芳香環或不為芳香環。

含氮雜芳基之X可具有的取代基，可舉例如 碳原子數1~6的烷基、碳原子數1~6的烷氧基、碳原子數2~6的烯基、碳原子數2~6的烯基氧基、碳原子數2~6的脂肪族醯基、苯甲醯基、硝基、亞硝基、胺基、羥基、巰基、氰基、磺酸基、羧基、及鹵素原子等。X具有的取代基數，在不阻礙本發明之目的範圍，不被限定。X具有的取代基數以5以下為佳、3以下更佳。X具有複數取代基的場合，複數取代基可為相同或相異。

X之較佳例，可舉例如下述式之基。

上述基中，以下述式之基作為X更佳。

以上說明的式(1)所表示之化合物的適宜之具體例，可舉例如以下化合物1~8。

(碳黑)

碳黑在不阻礙本發明之目的範圍不被特別限制，可由習知碳黑適宜選擇使用。碳黑，可使用槽法碳黑、爐黑、熱裂碳黑、燈黑等之習知碳黑。

又，碳黑以使用經導入酸性基處理的碳黑者為佳。使用含有導入酸性基的碳黑作為(D)遮光劑的感光性樹脂組成物時，有易形成絕緣性優異的圖型之優點，但相反地有難形成對基板密著性優異的微細圖型的不期望情形。但是藉由將導入酸性基的碳黑以上述式(1)所表示之矽烷耦合劑進行處理，可消除關於該圖型的對基板之密著性的不期望情形。

導入碳黑的酸性基為具有布忍司特酸定義之酸性的官能基。酸性基的具體例，可舉例如羧基、磺酸基、磷酸基等。被導入碳黑的酸性基亦可形成鹽。與酸性基形成鹽之陽離子在不阻礙本發明之目的範圍，不被限定。陽離子之例，可舉例如種種之金屬離子、含氮化合物的陽離子、銨離子等，以鈉離子、鉀離子、鋰離子等之鹼金屬離子或銨離子為佳。

以上說明的經導入酸性基處理的碳黑中，以具有由羧酸基、羧酸鹽基、磺酸基、及磺酸鹽基所構成的群選出的1種以上之官能基的碳黑為佳。

於碳黑導入酸性基的方法不特別限定。導入 酸性基的方法，可舉例如以下方法。

1)藉由使用濃硫酸、發煙硫酸、氯磺酸等的直接取代法或使用亞硫酸鹽、亞硫酸氫鹽等之間接取代法，於碳黑導入磺酸基的方法。

2)使具有胺基與酸性基的有機化合物、與碳黑進行重氮偶合之方法。

3)將具有鹵素原子與酸性基的有機化合物與具有羥基的碳黑以威廉姆森之醚化法進行反應的方法。

4)使具有鹵羰基與以保護基保護的酸性基的有機化合物、與具有羥基的碳黑進行反應的方法。

5)使用具有鹵羰基與以保護基保護的酸性基的有機化合物，對碳黑進行弗里德爾-克拉夫茨反應後、脫保護的方法。

此等的方法中，由酸性基的導入處理容易且安全觀點，而以方法2)為佳。在方法2)所使用的具有胺基與酸性基的有機化合物，以芳香族基鍵結有胺基與酸性基的化合物為佳。如此之化合物的例，可舉例如對胺基苯磺酸般胺基苯磺酸或4-胺基安息香酸般胺基安息香酸。

導入碳黑的酸性基的莫耳數，在不阻礙本發明之目的範圍，不被限定。導入碳黑的酸性基的莫耳數相對碳黑100g而言，以1~200mmol為佳、5~100mmol更佳。

碳黑可施以樹脂之被覆處理。使用含以樹脂被覆的碳黑的感光性樹脂組成物之場合，遮光性及絕緣性 優異、易形成表面反射率低的圖型。碳黑的被覆可使用的樹脂之例，可舉例如酚樹脂、三聚氰胺樹脂、二甲苯樹脂、二烯丙基苯二甲酸酯樹脂、甘酞樹脂、環氧樹脂、烷基苯樹脂等之熱硬化性樹脂或聚苯乙烯、聚碳酸酯、聚對苯二甲酸乙二醇酯、聚對苯二甲酸丁二醇酯、改性聚伸苯基氧化物、聚碸、聚對苯二甲醯對苯二胺、聚醯胺醯亞胺、聚醯亞胺、聚胺基雙馬來醯亞胺、聚醚碸、聚伸苯基碸、聚芳酯、聚醚醚酮等之熱可塑性樹脂。相對於碳黑的樹脂的被覆量，以碳黑與樹脂的合計量為100質量份時，以1~30質量份為佳。

(碳黑以外的著色劑)

(D)遮光劑，以色調調整為目的等，可含碳黑以及碳黑以外的黑色顏料或紅、藍、綠、黃、紫等之有色彩的色素。碳黑以外的黑色顏料，可舉例如苝系顏料、銀錫合金、鈦黑、銅、鐵、錳、鈷、鉻、鎳、鋅、鈣、銀等之金屬氧化物、複合氧化物、金屬硫化物、金屬硫酸鹽或金屬碳酸鹽等。碳黑以外的著色劑的使用量，以(D)遮光劑的全質量為100質量份時，以15質量份以下為佳、10質量份以下更佳。

(以矽烷耦合劑處理碳黑)

碳黑的矽烷耦合劑之處理方法，在不阻礙本發明之目的範圍，不被限定。典型上，以在矽烷耦合劑可溶之有機 溶劑中、水存在下，使碳黑與矽烷耦合劑反應的方法為佳。

以矽烷耦合劑處理碳黑適合使用的有機溶劑，可舉例如甲醇、乙醇、n-丙醇、異丙醇、及n-丁醇等之1價烷醇類；乙二醇、二乙二醇、三乙二醇、四乙二醇、聚乙二醇、丙二醇、二丙二醇、三丙二醇、1,3-丙二醇、異丙二醇、聚丙二醇、五伸甲基二醇、三伸甲基二醇、丁二醇、異丁二醇、硫二甘醇、1,2-己二醇、1,6-己二醇、2-乙基-1,3-己二醇、1,2-戊烷二醇、1,5-戊烷二醇、2-甲基-2,4-戊烷二醇、1,3-丙烷二醇、1,4-丁二醇、1,7-庚烷二醇、1,8-辛烷二醇、及2-丁烯-1,4-二醇、及甘油等之多元醇類；乙二醇單甲基醚、乙二醇單乙基醚、乙二醇單丁基醚、乙二醇單-t-丁基醚、乙二醇單丙基醚、乙二醇單異丙基醚、乙二醇單苯基醚、乙二醇單甲基醚乙酸酯、二乙二醇單甲基醚、二乙二醇單乙基醚、二乙二醇單異丙基醚、二乙二醇單丁基醚、二乙二醇單-t-丁基醚、三乙二醇單乙基醚、三乙二醇單丁基醚、丙二醇單甲基醚、丙二醇單乙基醚、丙二醇單丁基醚、丙二醇單-t-丁基醚、丙二醇單丙基醚、丙二醇單異丙基醚、丙二醇單苯基醚、二丙二醇單甲基醚、二丙二醇單乙基醚、二丙二醇單丁基醚、二丙二醇單丙基醚、及二丙二醇單異丙基醚等之二醇醚類；乙二醇單乙基醚乙酸酯、乙二醇單丙基醚乙酸酯、乙二醇單丁基醚乙酸酯、乙二醇單苯基醚乙酸酯、二乙二醇單甲基醚乙酸酯、二乙二醇單丙基醚乙酸酯、二乙二醇 單乙基醚乙酸酯、二乙二醇單苯基醚乙酸酯、二乙二醇單丁基醚乙酸酯、二乙二醇單乙基醚乙酸酯、2-甲氧基丁基乙酸酯、3-甲氧基丁基乙酸酯、4-甲氧基丁基乙酸酯、3-甲基-3-甲氧基丁基乙酸酯、3-乙基-3-甲氧基丁基乙酸酯、丙二醇單甲基醚乙酸酯、丙二醇單乙基醚乙酸酯、丙二醇單丙基醚乙酸酯、2-乙氧基丁基乙酸酯、4-乙氧基丁基乙酸酯、4-丙氧基丁基乙酸酯、2-甲氧基戊基乙酸酯、3-甲氧基戊基乙酸酯、4-甲氧基戊基乙酸酯、2-甲基-3-甲氧基戊基乙酸酯、3-甲基-3-甲氧基戊基乙酸酯、3-甲基-4-甲氧基戊基乙酸酯、及4-甲基-4-甲氧基戊基乙酸酯等之二醇醚酯類；丙酮、環己酮、甲基乙基酮、甲基異丁基酮等之酮系溶劑。有機溶劑的使用量為可容易攪拌含有碳黑與矽烷耦合劑之處理液的量則不特別限定。有機溶劑的使用量，以含碳黑與矽烷耦合劑的處理液之固形分濃度成為5~60質量%之量為佳。

矽烷耦合劑的使用量，可得到期望效果則不特別限定。矽烷耦合劑的使用量，相對碳黑100質量份而言，以0.5~15質量份為佳、3~7質量份更佳。

以矽烷耦合劑處理碳黑在水存在下進行。水雖可添加於含碳黑與矽烷耦合劑的處理液，但不一定需要於處理液中添加水。矽烷耦合劑之處理在含充分水分的空氣環境下進行時，因空氣中的水分，而矽烷耦合劑具有之烷氧基被水解、生成矽烷醇基。

進行以矽烷耦合劑處理碳黑時的溫度，矽烷 耦合劑與碳黑之反應良好進行則不特別限定。以矽烷耦合劑處理碳黑，典型上，以在25~100℃進行者為佳、在40~60℃進行者更佳。

藉由上述方法，將碳黑以矽烷耦合劑處理後，處理後得到的碳黑的懸濁液可直接用於(D)遮光劑的分散液或感光性樹脂組成物的調製。又，使處理後得到的碳黑的懸濁液乾固後，得到的粉末狀的碳黑亦可用於(D)遮光劑的分散液或感光性樹脂組成物的調製。

又，(D)遮光劑含有碳黑以外的著色劑時，對碳黑以外的著色劑亦可與碳黑同樣地，進行以式(1)所表示之矽烷耦合劑之處理。又，對碳黑與碳黑以外的著色劑之混合物(D)遮光劑，亦可進行矽烷耦合劑之處理。

(碳黑的分散方法)

同前述，(D)遮光劑所含有的碳黑以使用分散劑分散者為佳。以分散劑分散的碳黑，通常以在分散媒中將碳黑以分散劑分散處理而得到的分散液形態使用。碳黑的分散液調製方法不被特別限制，可依據以往所知的種種之顏料分散液的調製方法來調製。

分散液的調製方法的適宜之例，可舉例如將含有分散媒、碳黑、與分散劑之懸濁液，使用習知分散裝置進行處理的方法。以下說明碳黑分散液的調製方法、分散劑、分散媒、碳黑分散液可含有的其他成分。

[碳黑分散液的調製方法]

碳黑的分散處理所使用的分散裝置，可使用以往顏料分散所使用的種種之分散裝置。適宜之分散裝置的具體例，可使用揉合機、salt milling kneader、滾輪研磨機、行星混合機、塗料振動器、球磨機、砂磨機、超微粉碎機、珠磨機、Coball Mill、高速攪拌機、均質機、濕式氣流粉碎機、高壓均質機、超音波均質機等。分散裝置使用介質時，該介質可使用玻璃珠、氧化鋯珠、氧化鋁珠、磁性珠、苯乙烯珠等。

以超音波均質機進行分散處理時，以使用預先以上述之揉合機、salt milling kneader、滾輪研磨機、行星混合機、高速攪拌機、均質機、濕式氣流粉碎機、高壓均質機、及珠磨機等，進行預備分散的碳黑者為佳。

[分散劑]

分散劑的種類為可使碳黑良好分散，則不特別限定。可使用以往顏料分散所使用的種種之分散劑作為分散劑。分散劑的適宜例，可舉例如聚乙烯亞胺系高分子分散劑、胺基甲酸乙酯樹脂系高分子分散劑、及丙烯酸樹脂系高分子分散劑等之高分子分散劑或顏料衍生物等。高分子分散劑或顏料衍生物，使用與以往顏料的分散處理時所使用的量相同量。

又，使用含聚醯胺酸的分散劑將碳黑分散者亦佳。使用含有含使用含聚醯胺酸的分散劑分散的碳黑的 (D)遮光劑之感光性樹脂組成物時，容易形成抑制因加熱所致之絕緣性降低的圖型。

聚醯胺酸的分子鏈，認為藉由氫鍵或與碳黑表面的分子間力般相互作用，而在碳黑一次粒子表面以點進行鍵結。因此，認為在碳黑的一次粒子表面，聚醯胺酸的分子鏈達到間隔件的作用，促進碳黑的分散，同時使分散安定化。因此，在含有含使用聚醯胺酸作為分散劑來分散的碳黑的(D)遮光劑的感光性樹脂組成物中，不易產生碳黑的凝集。

聚醯胺酸的分子量，以質量平均分子量計，以5,000~30,000者為佳、10,000~20,000者更佳。聚醯胺酸的分子量在該範圍內，則可使碳黑良好分散。

聚醯胺酸的使用量為使碳黑良好分散，則不特別限定。由碳黑的分散難易度觀點來看，聚醯胺酸相對碳黑100質量份而言，以使用20~80質量份者為佳、使用30~70質量份者更佳。

適宜之聚醯胺酸，可舉例如下式(D1)所表示之構成單位所構成的聚醯胺酸。

(式(D1)中，R^d1為4價有機基，R^d2為2價有機基，n為式(D1)所表示之構成單位之重複數)。

式(D1)中，R^d1及R^d2，各自為4價有機基，其碳數以2~50為佳、2~30更佳。R^d1及R^d2，各自可為脂肪族基或芳香族基，亦可為組合此等的構造之基。R^d1及R^d2除碳原子、及氫原子外，可含有鹵素原子、氧原子、及硫原子。R^d1及R^d2含有氧原子、氮原子、或硫原子時，氧原子、氮原子、或硫原子，可作為含氮雜環基、-CONH-、-NH-、-N=N-、-CH=N-、-COO-、-O-、-CO-、-SO-、-SO₂-、-S-、及-S-S-所選出的基而含於R^d1及R^d2，以作為-O-、-CO-、-SO-、-SO₂-、-S-、及-S-S-所選出的基而含於R^d1及R^d2者更佳。

聚醯胺酸，通常藉由使四羧酸二酐成分與二胺成分進行反應來調製。以下說明聚醯胺酸的調製使用的四羧酸二酐成分、二胺成分、及聚醯胺酸之製造方法。

‧四羧酸二酐成分

聚醯胺酸的合成原料之四羧酸二酐成分，為可藉由與二胺成分反應，形成聚醯胺酸的化合物則不特別限定。四羧酸二酐成分可由以往作為聚醯胺酸的合成原料使用的四羧酸二酐來適宜選擇。四羧酸二酐成分可為芳香族四羧酸二酐或脂肪族四羧酸二酐，但以芳香族四羧酸二酐為佳。四羧酸二酐成分亦可組合2種以上使用。

芳香族四羧酸二酐的適宜具體例，可舉例如 均苯四甲酸二酐、3,3’,4,4’-聯苯基四羧酸二酐、2,3,3’,4’-聯苯基四羧酸二酐、3,3’,4,4’-二苯甲酮四羧酸二酐、4,4’-氧基二苯二甲酸酐、及3,3’,4,4’-二苯基碸四羧酸二酐等。此等中，由價格、取得容易性等來看，以3,3’,4,4’-聯苯基四羧酸二酐、及均苯四甲酸二酐為佳。

‧二胺成分

聚醯胺酸的合成原料之二胺成分，為可藉由與四羧酸二酐成分進行反應，形成聚醯胺酸的化合物則不特別限定。二胺成分可由以往作為聚醯胺酸的合成原料使用的二胺來適宜選擇。二胺成分可為芳香族二胺或脂肪族二胺，但以芳香族二胺為佳。二胺成分亦可組合2種以上使用。

芳香族二胺的適宜之具體例，可舉例如p-苯二胺、m-苯二胺、2,4-二胺基甲苯、4,4’-二胺基聯苯、4,4’-二胺基-2,2’-雙(三氟甲基)聯苯、3,3’-二胺基二苯基碸、4,4’-二胺基二苯基碸、4,4’-二胺基二苯基硫化物、4,4’-二胺基二苯基甲烷、4,4’-二胺基二苯基醚、3,4’-二胺基二苯基醚、3,3’-二胺基二苯基醚、1,4-雙(4-胺基苯氧基)苯、1,3-雙(4-胺基苯氧基)苯、1,3-雙(3-胺基苯氧基)苯、4,4’-雙(4-胺基苯氧基)聯苯、雙[4-(4-胺基苯氧基)苯基]碸、雙[4-(3-胺基苯氧基)苯基]碸、2,2-雙[4-(4-胺基苯氧基)苯基]丙烷、及2,2-雙[4-(4-胺基苯氧基)苯基]六氟丙烷等。此等中，由價格、取得容易性等來看，以p-苯二胺、m-苯二胺、2,4-二胺基甲苯、及4,4’-二胺基二苯基醚 為佳。

‧聚醯胺酸之製造方法

藉由使以上說明的四羧酸二酐成分與二胺成分，在可溶解兩者之溶劑中進行反應，可得到聚醯胺酸。合成聚醯胺酸時的四羧酸二酐成分及二胺成分之使用量不特別限定。相對四羧酸二酐成分1莫耳，以使用二胺成分0.50~1.50莫耳者為佳、使用0.60~1.30莫耳者更佳、使用0.70~1.20莫耳者特別佳。

聚醯胺酸的合成可使用的溶劑，可舉例如N,N,N’,N’-四甲基脲、N-甲基-2-吡咯啶酮、N,N-二甲基甲醯胺、N,N-二甲基乙醯胺、六甲基磷醯胺、1,3-二甲基-2-咪唑啉酮、及γ-丁內酯等之非質子性極性有機溶劑或二乙二醇二烷基醚、乙二醇單烷基醚乙酸酯、二乙二醇單烷基醚乙酸酯、丙二醇單烷基醚乙酸酯、及丙二醇單烷基醚丙酸酯等之二醇醚類。此等的溶劑可組合2種以上使用。此等中，以使用N,N,N’,N’-四甲基脲者為佳。

合成聚醯胺酸時之溶劑使用量，可合成期望之分子量的聚醯胺酸，則不特別限定。典型上，溶劑的使用量，相對四羧酸二酐成分之量與二胺成分之量的合計100質量份，以100~4000質量份為佳、150~2000質量份更佳。

使四羧酸二酐成分與二胺成分進行反應時的溫度，可使反應良好進行則不特別限定。典型上，四羧酸 二酐成分與二胺成分之反應溫度以-5~150℃為佳、0~120℃更佳、0~70℃特別佳。又，使四羧酸二酐成分與二胺成分進行反應的時間雖因反應溫度而異，但典型上以1~50小時為佳、2~40小時更佳、5~30小時特別佳。

[分散媒]

分散碳黑時的分散媒可使碳黑良好分散，則不特別限定。分散媒為以往作為分散碳黑時的分散媒使用的液狀媒體，且可由分散劑可溶之媒體適宜選擇。典型上，以極性有機溶劑作為分散媒為佳。分散媒在分散劑可溶範圍內，可含有水。

分散媒的適宜具體例，可舉例如水；乙二醇、二乙二醇、三乙二醇、四乙二醇、聚乙二醇、丙二醇、二丙二醇、三丙二醇、1,3-丙二醇、異丙二醇、聚丙二醇、五伸甲基二醇、三伸甲基二醇、丁二醇、異丁二醇、硫二甘醇、1,2-己二醇、1,6-己二醇、2-乙基-1,3-己二醇、1,2-戊烷二醇、1,5-戊烷二醇、2-甲基-2,4-戊烷二醇、1,3-丙烷二醇、1,4-丁二醇、1,7-庚烷二醇、1,8-辛烷二醇、及2-丁烯-1,4-二醇、甘油等之多元醇類；乙二醇單甲基醚、乙二醇單乙基醚、乙二醇單丁基醚、乙二醇單-t-丁基醚、乙二醇單丙基醚、乙二醇單異丙基醚、乙二醇單苯基醚、乙二醇單甲基醚乙酸酯、二乙二醇單甲基醚、二乙二醇單乙基醚、二乙二醇單異丙基醚、二乙二醇單丁基醚、二乙二醇單-t-丁基醚、三乙二醇單乙基醚、三乙二醇 單丁基醚、丙二醇單甲基醚、丙二醇單乙基醚、丙二醇單丁基醚、丙二醇單-t-丁基醚、丙二醇單丙基醚、丙二醇單異丙基醚、丙二醇單苯基醚、二丙二醇單甲基醚、二丙二醇單乙基醚、二丙二醇單丁基醚、二丙二醇單丙基醚、及二丙二醇單異丙基醚等之多元醇醚類；丙酮基丙酮等之酮類；γ-丁內酯、甘油二乙酸酯、磷酸三乙基等之酯類；2-甲氧基乙醇、及2-乙氧基乙醇等之低級烷氧基醇類；乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、N-甲基二乙醇胺、N-乙基二乙醇胺、三伸乙基四胺、四伸乙基五胺、及五甲基二伸乙基三胺等之胺類；甲醯胺、N,N-二甲基甲醯胺、N-甲基甲醯胺、及N,N-二甲基乙醯胺等之醯胺類；N,N,N’,N’-四甲基脲、及N,N,N’,N’-四乙基脲等之脲類；2-吡咯啶酮、N-乙基-2-吡咯啶酮、N-甲基-2-吡咯啶酮、環己基吡咯啶酮、嗎啉、N-乙基嗎啉、2-噁唑烷酮、1,3-二甲基-2-咪唑啉酮、咪唑、甲基咪唑、羥基咪唑、二甲基胺基吡啶、1,3-丙磺酸內酯、羥基乙基哌嗪、及哌嗪等之雜環化合物類；二甲基亞碸等之亞碸類；環丁碸等之碸類。以上說明的N,N,N’,N’-四甲基脲以外的溶劑，可2種以上組合含於含有N,N,N’,N’-四甲基脲之溶劑中。

以上說明的分散媒中，以含有N,N,N’,N’-四甲基脲的有機溶劑為佳。含有N,N,N’,N’-四甲基脲的有機溶劑中，藉由以聚醯胺酸作為分散劑將碳黑分散，可使碳黑迅速且良好地被分散。

含有N,N,N’,N’-四甲基脲的有機溶劑中的 N,N,N’,N’-四甲基脲含量，在使碳黑的分散狀態維持良好範圍，不特別限定。典型上，含有N,N,N’,N’-四甲基脲的有機溶劑中的N,N,N’,N’-四甲基脲含量以50質量%以上者為佳、70質量%以上者更佳、90質量%以上者尤佳、100質量%者最佳。

碳黑分散液中的分散媒含量為使碳黑的分散狀態維持良好則不特別限定。碳黑分散液，通常以碳黑分散液之固形分濃度成為5~60質量%、較佳為20~40質量%的量含有分散媒。

[其他成分]

碳黑分散液，可含有以往碳黑分散液所摻混的種種之添加劑。如此之添加劑，可舉例如黏度調整劑、界面活性劑、抗氧化劑、紫外線吸收劑、pH調整劑、及消泡劑等。此等的添加劑在不對碳黑分散液的性質產生負面影響範圍，使用與以往碳黑分散液中所摻混的量相同的量。

感光性樹脂組成物中之(D)遮光劑的含量，在不阻礙本發明之目的範圍可適宜選擇，典型上，相對感光性樹脂組成物的全固形分而言，以25~70質量%為佳、30~65質量%更佳、35~60質量%特別佳。藉由使用該範圍量的遮光劑，令使用感光性樹脂組成物所形成的黑色矩陣或黑色柱狀間隔件的遮光性為良好，同時容易抑制感光性樹脂組成物曝光時的曝光不良或硬化不良。

<(E)光吸收劑>

感光性樹脂組成物可含有光吸收劑。光吸收劑不特別限制，雖可使用可吸收曝光光的化合物，尤以吸收200~450nm波長領域之光的化合物為佳。例如萘化合物、二萘化合物、蒽化合物、菲繞啉化合物、染料等。

具體上可舉例如桂皮酸2-乙基己基酯、對甲氧基桂皮酸2-乙基己基酯、甲氧基桂皮酸異丙基酯、甲氧基桂皮酸異戊基酯等之桂皮酸衍生物；α-萘酚、β-萘酚、α-萘酚甲基醚、α-萘酚乙基醚、1,2-二羥基萘、1,3-二羥基萘、1,4-二羥基萘、1,5-二羥基萘、1,6-二羥基萘、1,7-二羥基萘、1,8-二羥基萘、2,3-二羥基萘、2,6-二羥基萘、2,7-二羥基萘等之萘衍生物；蒽、9,10-二羥基蒽等之蒽及其衍生物；偶氮系染料、二苯甲酮系染料、胺基酮系染料、喹啉系染料、蒽醌系染料、二苯基氰基丙烯酸酯系染料、三嗪系染料、p-胺基安息香酸系染料等之染料；等。此等中，以使用桂皮酸衍生物、萘衍生物為佳、使用桂皮酸衍生物特別佳。此等的光吸收劑可單獨或2種以上組合使用。

(E)光吸收劑的含量，相對感光性樹脂組成物的固形分100質量份，以0.5~20質量份為佳。藉由在上述範圍，維持硬化後的破壞強度為良好，同時可增大改變曝光量時的膜厚變化比例。

<(S)有機溶劑>

感光性樹脂組成物，以含有稀釋用的有機溶劑為佳。有機溶劑，可舉例如乙二醇單甲基醚、乙二醇單乙基醚、乙二醇-n-丙基醚、乙二醇單-n-丁基醚、二乙二醇單甲基醚、二乙二醇單乙基醚、二乙二醇單-n-丙基醚、二乙二醇單-n-丁基醚、三乙二醇單甲基醚、三乙二醇單乙基醚、丙二醇單甲基醚、丙二醇單乙基醚、丙二醇單-n-丙基醚、丙二醇單-n-丁基醚、二丙二醇單甲基醚、二丙二醇單乙基醚、二丙二醇單-n-丙基醚、二丙二醇單-n-丁基醚、三丙二醇單甲基醚、三丙二醇單乙基醚等之(聚)烷二醇單烷基醚類；乙二醇單甲基醚乙酸酯、乙二醇單乙基醚乙酸酯、二乙二醇單甲基醚乙酸酯、二乙二醇單乙基醚乙酸酯、丙二醇單甲基醚乙酸酯、丙二醇單乙基醚乙酸酯等之(聚)烷二醇單烷基醚乙酸酯類；二乙二醇二甲基醚、二乙二醇甲基乙基醚、二乙二醇二乙基醚、四氫呋喃等之其他醚類；甲基乙基酮、環己酮、2-庚酮、3-庚酮等之酮類；2-羥基丙酸甲基酯、2-羥基丙酸乙基酯等之乳酸烷基酯類；2-羥基-2-甲基丙酸乙基酯、3-甲氧基丙酸甲基酯、3-甲氧基丙酸乙基酯、3-乙氧基丙酸甲基酯、3-乙氧基丙酸乙基酯、乙氧基乙酸乙基酯、羥基乙酸乙基酯、2-羥基-3-甲基部碳酸甲基酯、3-甲基-3-甲氧基丁基乙酸酯、3-甲基-3-甲氧基丁基丙酸酯、乙酸乙基酯、乙酸n-丙基酯、乙酸異丙基酯、乙酸n-丁基酯、乙酸異丁基酯、蟻酸n-戊基酯、乙酸異戊基酯、丙酸n-丁基酯、酪酸乙基酯、酪酸n-丙基酯、酪酸異丙基酯、酪酸n-丁基酯、丙酮酸 甲基酯、丙酮酸乙基酯、丙酮酸n-丙基酯、乙醯乙酸甲基酯、乙醯乙酸乙酯、2-側氧基丁烷酸乙基酯等之其他酯類；甲苯、二甲苯等之芳香族烴類；N-甲基吡咯啶酮、N,N-二甲基甲醯胺、N,N-二甲基乙醯胺等之醯胺類等。

此等中，以烷二醇單烷基醚類、烷二醇單烷基醚乙酸酯類、上述其他醚類、乳酸烷基酯類、上述其他酯類為佳、烷二醇單烷基醚乙酸酯類、上述其他醚類、上述其他酯類更佳。此等的溶劑可單獨或2種以上組合使用。

(S)有機溶劑的含量，以感光性樹脂組成物的固形分濃度成為1~50質量%之量為佳、成為5~30質量%之量更佳。

<其他成分>

本發明之感光性樹脂組成物，因應必要，可含有各種添加劑。添加劑，可舉例如增感劑、硬化促進劑、充填劑、密著促進劑、抗氧化劑、凝集防止劑、熱聚合禁止劑、消泡劑、界面活性劑等。

密著促進劑以矽烷耦合劑為佳。對感光性樹脂組成物，與碳黑的處理使用的式(1)所表示之矽烷耦合劑不同，藉由搭配矽烷耦合劑，可得到能形成對基板密著性極優的圖型之感光性樹脂組成物。

作為密著促進劑使用的矽烷耦合劑，可為前述式(1)所表示之矽烷耦合劑或式(1)所表示之矽烷耦合劑 以外的矽烷耦合劑。

式(1)所表示之矽烷耦合劑以外的矽烷耦合劑的適宜例，可舉例如N-2-(胺基乙基)-3-胺基丙基甲基二甲氧基矽烷、N-2-(胺基乙基)-3-胺基丙基三甲氧基矽烷、N-2-(胺基乙基)-3-胺基丙基三乙氧基矽烷、3-胺基丙基三甲氧基矽烷、3-胺基丙基三乙氧基矽烷、及3-三乙氧基矽烷基-N-(1,3-二甲基-亞丁基)丙基胺。

≪經圖型化的硬化物的形成方法≫

本發明之經圖型化的硬化物的形成方法，包含將前述感光性樹脂組成物塗佈於基板上，形成塗佈膜的步驟、使形成的塗佈膜配合圖型的形狀進行位置選擇性地曝光之步驟、與使經曝光的塗佈膜顯影的步驟。

首先在形成塗佈膜的步驟，於欲形成經圖型化的硬化物的基板上，使用輥塗佈機、逆轉塗佈機、棒塗佈機等之接觸轉印型塗佈裝置或旋塗器(旋轉式塗佈裝置)、淋幕式塗佈機等之非接觸型塗佈裝置，塗佈感光性樹脂組成物。塗佈後因應必要，以乾燥將溶劑除去，形成塗佈膜。

接著透過負型的遮罩，對塗佈膜照射紫外線、準分子雷射光等之活性能量線，使塗佈膜對應圖型的形狀進行部分曝光。曝光可使用高壓水銀燈、超高壓水銀燈、氙氣燈、碳弧燈等之發出紫外線的光源。曝光量因感光性樹脂組成物的組成而異，例如以10~600mJ/cm²程度 為佳。

又，在TFT基板等之其表面具備元件的基板上，形成黑色柱狀間隔件作為硬化物的場合，有需要在元件上或與和形成有元件的基板成對之基板的元件對向處，形成黑色柱狀間隔件之情形。該場合，有需考量元件之高度而在形成有元件處、與其他處，改變黑色柱狀間隔件的高度之必要。因此，在如此之場合，以透過半色調遮罩進行曝光者為佳。

接著藉由將經位置選擇性曝光的塗佈膜以顯影液進行顯影，形成硬化物。顯影方法不被特別限制，可使用浸漬法、噴霧法等。顯影液的具體例，可舉例如單乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺等之有機系的顯影液或氫氧化鈉、氫氧化鉀、碳酸鈉、氨、4級銨鹽等之水溶液。

之後，因應必要，對顯影後的塗佈膜之不溶部分施以曝光後烘烤，形成經圖型化的硬化物。曝光後烘烤以150~250℃進行15~60分鐘為佳。

如此形成的經圖型化的硬化物，因對基板的密著性與絕緣性優異、抑制熱所致之絕緣性降低，故適用於種種之顯示裝置的黑色矩陣或黑色柱狀間隔件。

[實施例]

以下以實施例將本發明更具體說明，但本發明之範圍不限於此等的實施例。

[實施例1~14、及比較例1~8]

將鹼可溶性樹脂(固形分濃度55質量%、溶劑：3-甲氧基丁基乙酸酯)114質量份、光聚合性單體25質量份、光聚合起始劑12質量份、與表1記載之量的碳黑分散液均勻混合後，以有機溶劑稀釋為固形分濃度15質量%，得到各實施例及比較例之感光性樹脂組成物。

作為稀釋用的有機溶劑，使用3-甲氧基丁基乙酸酯(MA)、與丙二醇單甲基醚乙酸酯(PM)、與環己酮(AN)之混合溶劑(混合比(質量比)：MA/PM/AN=60/20/20)。

作為碳黑分散液，使用將以表1記載之矽烷耦合劑處理的表1記載之種類的碳黑，用表1記載之分散劑進行分散處理而得的分散液。

又，實施例13及14與比較例5及6之感光性樹脂組成物進而添加表1記載之種類的密著促進劑3質量份。

感光性樹脂組成物的調製使用的材料詳細記載如後述。

以下說明感光性樹脂組成物的調製使用的碳黑分散液、鹼可溶性樹脂、光聚合性單體、與光聚合起始劑。

(碳黑分散液)

碳黑分散液的調製，使用以下的碳黑CB與CB-A。

CB：碳黑(Regal 250R、Cabot公司製)。

CB-A：依據下述方法調製的經導入酸性基處理的碳黑。

碳黑的處理使用的矽烷耦合劑，使用下述SC-A、SC-B、及SC-C。以下的矽烷耦合劑中，SC-A及SC-C亦可用作為密著促進劑。

碳黑經矽烷耦合劑處理時，矽烷耦合劑之處理依據以下方法進行。

[CB-A的調製例]

將碳黑CB(Regal 250R、Cabot公司製)550g、對胺基苯磺酸31.5g、及離子交換水1000g加入具備夾套溫度設定為60℃的夾套與攪拌裝置的反應容器。將亞硝酸鈉12.6g溶於去離子水100g的溶液加入於布朗攪拌機內後，攪拌機內的混合物以60℃、50轉/分之條件攪拌2小時，進行重氮偶合反應。攪拌後、將攪拌機的內容物冷卻至室溫。接著將攪拌機的內容物所含有的碳黑，使用去離子水以滲濾法進行精製。從洗淨水未檢測出來自對胺基苯磺酸的苯磺酸類，可知以重氮偶合反應對碳黑導入了苯磺酸 基。經精製的碳黑在75℃進行一晚乾燥後使粉碎，得到導入苯磺酸基的碳黑(CB-A)。

[矽烷耦合劑處理]

將表1記載之種類的碳黑50g、與含有濃度1質量%之表1記載之種類的矽烷耦合劑的矽烷耦合劑的異丙基醇溶液200g混合，在60℃、進行3小時攪拌。將攪拌後的含碳黑的懸濁液加熱至100℃，使異丙基醇與副生成物甲醇揮發，得到經矽烷耦合劑處理的碳黑的粉體。

分散劑使用下述DP-A及DP-B，並依據下述方法，調製碳黑分散液。

DP-A：胺基甲酸乙酯系高分子分散劑(BYK-167、BYK Japan股份公司製)

DP-B：聚醯胺酸(均苯四甲酸二酐(PMDA)與4,4’-二胺基二苯基醚(ODA)之1/1(莫耳比)反應物、質量平均分子量：14000)

[碳黑分散液調製例]

混合未處理、或經表1記載之種類的矽烷耦合劑處理的碳黑20g、表1記載之種類的分散劑3g、與3-甲氧基丁基乙酸酯50g。使得到的混合液進行攪拌，將碳黑分散。接著將含有分散的碳黑的懸濁液以3-甲氧基丁基乙酸酯稀釋為固形分濃度22質量%，得到碳黑分散液。

(鹼可溶性樹脂)

鹼可溶性樹脂使用下述A-1。

A-1：藉由下述方法所得到的樹脂(固形分55%、溶劑：3-甲氧基丁基乙酸酯)

[鹼可溶性樹脂合成例]

首先於500ml四口燒瓶中，加入雙酚茀型環氧樹脂(環氧基當量235)235g、四甲基銨氯化物110mg、2,6-二-tert-丁基-4-甲基酚100mg、及丙烯酸72.0g，於其中以25ml/分之速度吹入空氣邊在90~100℃進行加熱溶解。接著，溶液維持白濁狀態下緩緩昇溫，加熱至120℃使完全溶解。此時，溶液逐漸變得透明黏稠，但繼續攪拌。此時測定酸價，持續加熱攪拌至未達1.0mgKOH/g。酸價到達目標值前需要12小時。接著冷卻至室溫，得到無色透明且固體狀的下述式(a-4)所表示之雙酚茀型環氧基丙烯酸酯。

接著在如此而得到的上述雙酚茀型環氧基丙 烯酸酯307.0g中，加入3-甲氧基丁基乙酸酯600g進行溶解後，混合二苯甲酮四羧酸二酐80.5g及溴化四乙基銨1g，緩緩地昇溫，在110~115℃進行4小時反應。確認酸酐基的消失後，混合1,2,3,6-四氫無水苯二甲酸38.0g，在90℃進行6小時反應，得到樹脂(A-1)。酸酐基的消失以IR光譜確認。

又，該樹脂(A-1)相當上述式(a-1)所表示之樹脂。

(光聚合性單體)

DPHA：二季戊四醇六丙烯酸酯

(光聚合起始劑)

OXE02：乙酮，1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲醯基)-9H-咔唑-3-基]，1-(O-乙醯基肟)(BASF製「IRGACURE OXE02」)

對得到的使用各實施例及比較例之感光性樹脂組成物形成的經圖型化的硬化物，以下述方法，進行細線密著性、初期表面電阻、熱處理後的表面電阻之評估。此等的評估結果如表2。

[細線密著性評估]

將感光性樹脂組成物在玻璃基板(100mm×100mm)上使用旋轉塗佈機進行塗佈後，在90℃進行120秒鐘預烤，形成膜厚1.0μm的塗佈膜。接著使用鏡面投影光刻機(製 品名：TME-150RTO、股份公司拓普康製)，曝光間距為50μm，透過設計為形成具備在5μm~20μm的範圍使寬從5μm每次改變1μm的16種線的線/間距圖型的負遮罩，對塗佈膜以曝光量30mJ/cm²照射紫外線。將曝光後的塗佈膜在26℃之0.04質量%KOH水溶液進行50秒鐘顯影後，在230℃進行30分鐘曝光後烘烤，以形成線/間距圖型。

將形成的線/間距圖型以光學顯微鏡進行觀察，並用以下基準評估細線密著性。

◎：全部的寬線未見到剝離。

○：寬5μm及6μm的線見到剝離，但寬7μm以上之線未見到剝離。

△：寬5~8μm的線見到剝離，但寬9μm以上之線未見到剝離。

×：寬5~12μm的線見到剝離。

[初期表面電阻及熱處理後表面電阻之評估]

與細線密著性評估同樣地，於玻璃基板(100mm×100mm)上形成膜厚1.0μm的塗膜。接著使用鏡面投影光刻機(製品名：TME-150RTO、股份公司拓普康製)，以曝光間距為50μm，不透過光罩，對塗膜照射紫外線。曝光量為100mJ/cm²。將曝光後的塗膜在26℃的0.04質量% KOH水溶液進行50秒鐘顯影後，在230℃進行30分鐘曝光後烘烤，製作硬化膜。以該硬化膜之表面電阻值作為初期表面電阻進行測定。進一步將同硬化膜再於230℃進行 3小時曝光後烘烤，以進而施加熱處理的硬化膜的表面電阻值作為熱處理後表面電阻進行測定。

根據實施例1~14，可知使用含有(A)鹼可溶性樹脂、(B)光聚合性單體、(C)光聚合起始劑、含經式(1)所表示之指定的構造之矽烷耦合劑處理的碳黑的(D)遮光劑的感光性樹脂組成物，可形成對基板之密著性與絕緣性優、且不易因加熱而絕緣性降低的黑色的圖型。

根據實施例1~4與實施例5~8之比較，可知 (D)遮光劑含有施以導入酸性基的處理後的碳黑、含有以前述矽烷耦合劑處理得到的碳黑的場合，易形成絕緣性優異的黑色的圖型。

根據實施例2與實施例4之比較或實施例6與實施例8之比較，可知(D)遮光劑含使用聚醯胺酸作為分散劑來分散的碳黑的場合，特別容易抑制形成的黑色圖型中之加熱所致之絕緣性降低。

根據實施例2與實施例13及14之比較，可知感光性樹脂組成物與碳黑的處理使用之矽烷耦合劑不同，含有矽烷耦合劑作為密著促進劑時，可形成細線密著性特別優異的黑色圖型。

根據比較例1、2、5、及6，使用含有(A)鹼可溶性樹脂、(B)光聚合性單體、(C)光聚合起始劑、含未實施導入酸性基的處理與矽烷耦合劑之處理的碳黑的(D)遮光劑的感光性樹脂組成物，形成絕緣性差的黑色圖型。

根據比較例3及4，可知使用含有(A)鹼可溶性樹脂、(B)光聚合性單體、(C)光聚合起始劑、含有施以導入酸性基的處理但未實施矽烷耦合劑之處理的碳黑的(D)遮光劑之感光性樹脂組成物，形成絕緣性優異但密著性顯著劣質的黑色圖型。

根據比較例2與比較例7之比較，可知即使(D)遮光劑所含有的碳黑以式(1)以外的構造之矽烷耦合劑處理，無法改良所形成之黑色圖型的絕緣性。

根據比較例4與比較例8之比較，可知(D)遮 光劑含有施以導入酸性基的處理的碳黑的場合，碳黑即使以式(1)以外的構造之矽烷耦合劑處理，仍無法改良形成的黑色圖型的絕緣性。

Claims (11)

1. 一種感光性樹脂組成物，其係含有(A)鹼可溶性樹脂、(B)光聚合性單體、(C)光聚合起始劑、及(D)遮光劑，前述(D)遮光劑含有以下述式(1)所表示之矽烷耦合劑處理的碳黑，R¹ _pR² _(3-p)Si-R³-NH-C(O)-Y-R⁴-X．．．(1)(式(1)中，R¹為烷氧基，R²為烷基，p為1~3的整數，R³為伸烷基，Y為-NH-，R⁴為單鍵，X為可具有取代基且為單環或多環的含氮雜芳基，X中之與-Y-R⁴-鍵結的環為含氮6員芳香環，-Y-R⁴-與前述含氮6員芳香環中之碳原子鍵結。
2. 如請求項1記載之感光性樹脂組成物，其中前述碳黑經使用分散劑而被分散，且前述分散劑含有聚醯胺酸。
3. 如請求項1記載之感光性樹脂組成物，其中前述碳黑為將施以導入酸性基的處理後的碳黑以前述矽烷耦合劑處理者。
4. 如請求項3記載之感光性樹脂組成物，其中，前述施以導入酸性基的處理後的碳黑為具有由羧酸基、羧酸鹽基、磺酸基、及磺酸鹽基所構成的群選出的1種以上之官能基。
5. 如請求項3記載之感光性樹脂組成物，其中，前 述施以導入酸性基後以前述矽烷耦合劑處理的碳黑經使用分散劑而被分散，且前述分散劑含有聚醯胺酸。
6. 如請求項1記載之感光性樹脂組成物，其中，經前述矽烷耦合劑進行處理的碳黑的含量，相對感光性樹脂組成物中之固形分之質量而言為25~70質量%。
7. 一種經圖型化的硬化物的形成方法，其特徵係包含將請求項1~6中任一項記載之感光性樹脂組成物塗佈於基板上，形成塗佈膜的步驟、將前述塗佈膜位置選擇性地曝光的步驟、將經曝光的前述塗佈膜顯影的步驟。
8. 一種經圖型化的硬化物，其特徵係使用請求項1~6中任一項記載之感光性樹脂組成物而形成。
9. 如請求項8記載之經圖型化的硬化物，其為黑色矩陣或黑色柱狀間隔件。
10. 一種顯示裝置，其特徵係具備使用請求項1~6中任一項記載之感光性樹脂組成物而形成的黑色矩陣或黑色柱狀間隔件。
11. 一種經下述式(1)所表示之矽烷耦合劑處理的碳黑，R¹ _pR² _(3-p)Si-R³-NH-C(O)-Y-R⁴-X．．．(1)(式(1)中，R¹為烷氧基，R²為烷基，p為1~3的整數，R³為伸烷基，Y為-NH-，R⁴為單鍵，X為可具有取代基且為單環或多環的含氮雜芳基，X中之與-Y-R⁴-鍵結 的環為含氮6員芳香環，-Y-R⁴-與前述含氮6員芳香環中之碳原子鍵結)。