TWI657024B - 物品保管設備 - Google Patents

物品保管設備 Download PDF

Info

Publication number
TWI657024B
TWI657024B TW104144455A TW104144455A TWI657024B TW I657024 B TWI657024 B TW I657024B TW 104144455 A TW104144455 A TW 104144455A TW 104144455 A TW104144455 A TW 104144455A TW I657024 B TWI657024 B TW I657024B
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
article
opening
path
door
path portion
Prior art date
Application number
TW104144455A
Other languages
English (en)
Other versions
TW201634362A (zh
Inventor
上田俊人
大塚洋
安部健史
Original Assignee
日商大福股份有限公司
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 日商大福股份有限公司 filed Critical 日商大福股份有限公司
Publication of TW201634362A publication Critical patent/TW201634362A/zh
Application granted granted Critical
Publication of TWI657024B publication Critical patent/TWI657024B/zh

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02Storage devices
    • B65G1/04Storage devices mechanical
    • B65G1/137Storage devices mechanical with arrangements or automatic control means for selecting which articles are to be removed
    • B65G1/1373Storage devices mechanical with arrangements or automatic control means for selecting which articles are to be removed for fulfilling orders in warehouses
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02Storage devices
    • B65G1/04Storage devices mechanical
    • B65G1/137Storage devices mechanical with arrangements or automatic control means for selecting which articles are to be removed
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02Storage devices
    • B65G1/04Storage devices mechanical
    • B65G1/0407Storage devices mechanical using stacker cranes
    • B65G1/0435Storage devices mechanical using stacker cranes with pulling or pushing means on either stacking crane or stacking area
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6735Closed carriers
    • H01L21/67389Closed carriers characterised by atmosphere control
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67769Storage means
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2207/00Indexing codes relating to constructional details, configuration and additional features of a handling device, e.g. Conveyors
    • B65G2207/40Safety features of loads, equipment or persons

Abstract

本發明提供一種物品保管設備。在藉由搬送控制裝置選擇性實行的複數個搬送控制中,包含有第2搬送控制,將第1物品搬送裝置與第2物品搬送裝置中被選擇的一方作為對象物品搬送裝置,對象物品搬送裝置為第1物品搬送裝置時,使對象物品搬送裝置僅在第1路徑部分中移動並搬送物品,對象物品搬送裝置為第2物品搬送裝置時,使對象物品搬送裝置僅在第2路徑部分中移動並搬送物品。物品保管設備具備有隔離體,可切換自如成:設置在移動路徑的第1路徑部分及第2路徑部分之邊界處的路徑邊界處而截斷第1路徑部分與第2路徑部分的設置狀態、及從路徑邊界處退避而開放該路徑邊界處的退避狀態。

Description

物品保管設備 發明領域
本發明是有關於具備有具有複數個收納物品的收納部之物品收納棚、在物品收納棚的前方沿著棚水平寬度方向移動並搬送物品的物品搬送裝置、以及控制物品搬送裝置的動作之搬送控制裝置的物品保管設備。
發明背景
如同上述物品保管設備的一個例子記載在日本專利特開2009-7124號公報(專利文獻1)上。專利文獻1的物品保管設備構成為物品搬送裝置在物品收納棚的前方沿著棚水平寬度方向移動並用該物品搬送裝置搬送物品。
在這樣的物品保管設備中,作為物品搬送裝置而設置第1物品搬送裝置及第2物品搬送裝置的2台物品搬送裝置時,可考慮將第1物品搬送裝置移動的移動路徑(稱為第1路徑部分)與第2物品搬送裝置移動的移動路徑(稱為第2路徑部分)在棚水平寬度方向上鄰近或連續排列的狀態下配置。像這樣,由於將第1路徑部分及第2路徑部分在棚水平寬度方向上排列的状態下配置,這與將第1路徑部分及第2路徑部分在棚水平寬度方向或棚前後方向分離配置的情 況相比較,可容易用較小的地面面積設置物品保管設備。
又,物品保管設備若僅具備有單一的物品搬送裝置時,控制物品搬送裝置的搬送控制裝置希望構成為可以選擇性實行物品搬送裝置在移動路徑全體中移動的全路徑搬送控制,與物品搬送裝置在移動路徑的一部分中移動並搬送物品的部分路徑搬送控制。即,希望構成為平時實行全路徑搬送控制,使用物品搬送裝置搬送物品,而當由於對物品收納棚進行維修作業等而作業者需要進入移動路徑進行作業時,實行部分路徑搬送控制,作業者進入移動路徑進行維修作業,並且使物品搬送裝置在移動路徑中除了作業者進入的路徑部分(稱為維修用路徑部分)之外的部分(稱為搬送作業用路徑部分)中移動並繼續搬送物品。
發明概要 課題、用以解決課題之手段
在移動路徑中除了作業者進入的路徑部分之外的部分,使物品搬送裝置進行移動並繼續搬送物品時,作業者恐怕有接觸到移動的物品搬送裝置之虞。
具體來說,作為物品搬送裝置而設置第1物品搬送裝置及第2物品搬送裝置2台的物品搬送裝置時,例如,在第1路徑部分對第1物品搬送裝置或物品收納棚進行維修作業時,若作業者從第1路徑部分超出到第2路徑部分,則作業者恐怕會有接觸到在第2路徑部分中移動的第2物品搬送裝置之虞。
又,在控制物品搬送裝置的搬送控制裝置上選擇性實行全路徑搬送控制及部分路徑搬送控制時,例如,在維修用路徑部分中對物品收納棚進行維修作業時,若作業者從維修用路徑部分超出到搬送作業用路徑部分,則作業者恐怕會有接觸到在搬送作業用部分中移動的物品搬送裝置之虞。
於是,需要一種物品保管設備,即使作業者進入了移動路徑的一部分,也可以在移動路徑的剩餘部分中繼續藉由物品搬送裝置搬送物品,並且防範進入移動路徑的作業者接觸到物品搬送裝置於未然。
有鑑於上述,物品保管設備的第一特徵構成點是在具備有具有複數個收納物品的收納部之物品收納棚、在前述物品收納棚的前方沿著棚水平寬度方向移動並搬送物品的複數台物品搬送裝置,以及控制前述複數台物品搬送裝置的動作之搬送控制裝置的物品保管設備中,前述複數台物品搬送裝置移動的移動路徑具有排列在前述棚水平寬度方向上的第1路徑部分及第2路徑部分;前述複數台物品搬送裝置包含有第1物品搬送裝置及第2物品搬送裝置,藉由前述搬送控制裝置選擇性實行的複數個搬送控制包含有第1搬送控制及第2搬送控制;前述第1搬送控制是使前述第1物品搬送裝置僅在前述第1路徑部分中移動並搬送物品,並且使前述第2物品搬送裝置僅在前述第2路徑部分中移動並搬送物品之搬送控制;前述第2搬送控制是將前述第1物品搬送裝置及前述第2物品搬送裝置之中所選 擇的一方作為對象物品搬送裝置,若前述對象物品搬送裝置是前述第1物品搬送裝置時,使前述對象物品搬送裝置僅在前述第1路徑部分中移動並搬送物品,若前述對象物品搬送裝置是前述第2物品搬送裝置時,使前述對象物品搬送裝置僅在前述第2路徑部分中移動並搬送物品之搬送控制;具備有隔離體,可切換自如成:設置在前述移動路徑的前述第1路徑部分及前述第2路徑部分之邊界處的路徑邊界處而截斷前述第1路徑部分及前述第2路徑部分的設置狀態、及從前述路徑邊界處退避而開放該路徑邊界處的退避狀態。
依據此第一特徵構成,經由搬送控制裝置實行第1搬送控制,第1物品搬送裝置在第1路徑部分中移動並搬送物品,並且第2物品搬送裝置在第2路徑部分中移動並搬送物品。像這樣,可以雙方進行在第1路徑部分中使第1物品搬送裝置移動並搬送物品,以及在第2路徑部分中使第2物品搬送裝置移動並搬送物品。
又,在作業者進行第1物品搬送裝置及第2物品搬送裝置的其中一方之維修作業時,作為被選擇為非維修作業對象之物品搬送裝置的物品搬送裝置(對象物品搬送裝置),經由搬送控制裝置實行第2搬送控制,作業者在第1移動路徑或第2移動路徑中進行物品搬送裝置的維修作業,並且可以在剩餘的第2移動路徑或第1移動路徑中使對象物品搬送裝置移動並搬送物品。
然而,例如在第1路徑部分中對第1物品搬送裝置進行維修的作業者超出到第2路徑部分時,則作業者恐怕會 有接觸到在第2路徑部分中移動的第2物品搬送裝置之虞。
於是,具備有可切換自如成設置狀態及退避狀態的隔離體,藉由將此隔離體先設置成設置狀態,在作業者將進入第2路徑部分時,由於作業者會接觸到設置狀態的隔離體,而可以物理上防止作業者進入第2路徑部分。又,藉由作業者確認設置狀態的隔離體的存在而了解到自身的位置,可以防止作業者進入第2路徑部分於未然。其結果,作業者可以避免接觸到移動的物品搬送裝置。
像這樣,即使作業者進入了移動路徑的一部分,可以在移動路徑的剩餘部分中繼續藉由物品搬送裝置搬送物品,並且防範進入移動路徑的作業者接觸物品搬送裝置於未然。
有鑑於上述,物品保管設備的第二特徵構成點是在具備有具有複數個收納物品的收納部之物品收納棚、在前述物品收納棚的前方沿著棚水平寬度方向移動並搬送物品的物品搬送裝置、以及控制前述物品搬送裝置的動作之搬送控制裝置的物品保管設備中,前述物品搬送裝置移動的移動路徑具有排列在前述棚水平寬度方向上的第1路徑部分及第2路徑部分;藉由前述搬送控制裝置選擇性實行的複數個搬送控制包含有全路徑搬送控制及部分路徑搬送控制;前述全路徑搬送控制是使前述物品搬送裝置在前述第1路徑部分及前述第2路徑部分雙方移動並搬送物品的搬送控制;前述部分路徑搬送控制是使前述物品搬送裝置在前述第1路徑部分及前述第2路徑 部分中其中一方的路徑部分中移動並搬送物品的搬送控制;具備有隔離體,可切換自如成:設置在前述移動路徑的前述第1路徑部分及前述第2路徑部分之邊界處的路徑邊界處而截斷前述第1路徑部分及前述第2路徑部分的設置狀態、及從前述路徑邊界處退避而開放前述路徑邊界處的退避狀態。
藉由此構成,經由搬送控制裝置實行全路徑搬送控制,物品搬送裝置在第1路徑部分及第2路徑部分雙方中移動並搬送物品。
又,例如作業者在第1路徑部分中進行物品收納棚等的維修作業時,經由搬送控制裝置實行部分路徑搬送控制,可以使物品搬送裝置僅在作業者沒有進行維修作業的第2路徑部分中移動並搬送物品。像這樣,作業者在第1移動路徑或第2移動路徑中進行物品收納棚等的維修作業,並且可以在剩餘的第2移動路徑或第1移動路徑中使物品搬送裝置移動並搬送物品。
然而,例如在第1路徑部分中對物品收納棚等進行維修作業的作業者超出到第2路徑部分時,則作業者恐怕會有接觸到在第2路徑部分中移動的物品搬送裝置之虞。
於是,具備有可切換自如成設置狀態及退避狀態的隔離體,藉由將此隔離體先設置成設置狀態,在作業者將進入第2路徑部分時,由於作業者會接觸到設置狀態的隔離體,而可以物理上防止作業者進入第2路徑部分。又,藉由作業者確認設置狀態的隔離體的存在而了解到自身的位置,可 以防止作業者進入第2路徑部分於未然。其結果,作業者可以避免接觸到移動的物品搬送裝置。
像這樣,即使作業者進入了移動路徑的一部分,可以在移動路徑的剩餘部分中繼續藉由物品搬送裝置搬送物品,並且防範進入移動路徑的作業者接觸物品搬送裝置於未然。
1‧‧‧收納部
2‧‧‧物品收納棚
3‧‧‧堆高式起重機(物品搬送裝置)
3a‧‧‧第1堆高式起重機(第1物品搬送裝置)
3b‧‧‧第2堆高式起重機(第2物品搬送裝置)
4‧‧‧內部空間
4a‧‧‧第1內部空間
4b‧‧‧第2內部空間
5‧‧‧隔離體
6‧‧‧出入庫輸送機
6i‧‧‧內部移載處
6o‧‧‧外部移載處
7‧‧‧載置體
8‧‧‧行走路徑(移動路徑)
8a‧‧‧第1路徑部分
8b‧‧‧第2路徑部分
8c‧‧‧路徑邊界處
9‧‧‧行走軌道
10‧‧‧設置空間
11‧‧‧行走台車
12‧‧‧桿柱
13‧‧‧升降台
14‧‧‧移載裝置
22‧‧‧氣體排出部
23‧‧‧開口
23A‧‧‧第1出入口
23B‧‧‧第2出入口
23a‧‧‧第1開口部
23b‧‧‧第2開口部
23c‧‧‧第3開口部
24‧‧‧開閉門(第1門、第2門)
25‧‧‧門用支柱構件(連動機構)
27‧‧‧固定部
28‧‧‧滑動部
29‧‧‧搖動部
30‧‧‧隔離體用支柱構件(連動機構)
31‧‧‧保持用支柱構件
32‧‧‧隔離狀態檢測裝置
32a‧‧‧第1隔離感測器
32b‧‧‧第2隔離感測器
33‧‧‧門狀態檢測裝置
33a‧‧‧第1門感測器
33b‧‧‧第2門感測器
34‧‧‧供電裝置
B‧‧‧天花板搬送車
K‧‧‧壁體(包圍體)
K1‧‧‧側壁部
K2‧‧‧出入口部
K3‧‧‧遮蔽部
F‧‧‧地板部
F1‧‧‧上部地板
F2‧‧‧下部地板
H‧‧‧控制裝置(搬送控制裝置、 供給控制裝置)
N‧‧‧氮氣供給裝置(非活性氣 體供給裝置)
W‧‧‧容器(物品)
圖1是實施形態的物品保管設備之正面圖。
圖2是實施形態的物品保管設備之平面圖。
圖3是顯示實施形態的物品保管設備之隔離體的正面圖。
圖4是顯示開閉門的關閉狀態之物品保管設備的主要部位平面圖。
圖5是顯示開閉門的第2開啟狀態之物品保管設備的主要部位平面圖。
圖6是顯示開閉門的第1開啟狀態之物品保管設備的主要部位平面圖。
圖7是控制方塊圖。
圖8是顯示隔離體的設置狀態及退避狀態之物品保管設備的主要部位立體圖。
圖9是顯示開閉門的第1開啟狀態及第2開啟狀態之物品保管設備的主要部位立體圖。
圖10是物品保管設備的平面圖。
圖11是顯示感測器的檢測狀態與供電裝置的供電之關 係的圖。
用以實施發明之形態
以下,依據圖式說明物品保管設備的實施形態。
如圖1及圖2所示,在物品保管設備上具備有物品收納棚2、堆高式起重機3、壁體K、隔離體5,及出入庫輸送機6。物品收納棚2具備有複數個收納作為物品的容器W之收納部1。堆高式起重機3在物品收納棚2的前方沿著棚水平寬度方向行走並搬送容器W。壁體K設置成可以覆蓋內部空間4。在此,內部空間4是具有物品收納棚2被設置的設置空間10及堆高式起重機3行走的行走路徑8雙方的空間。隔離體5構成為可以切換自如成設置狀態及退避狀態,在設置狀態下,隔離成將內部空間4沿著棚水平寬度方向切斷成第1內部空間4a及第2內部空間4b的狀態。出入庫輸送機6配置成在貫穿壁體K的狀態下載置搬送容器W。
物品保管設備設置在清淨空氣從天花板側朝地板側向下流通的降流式之無塵室內。如圖1所示,無塵室的地板部F是由下部地板F2、及配置在下部地板F2的上側之上部地板F1所構成,下部地板F2與上部地板F1之間形成地板下空間,上部地板F1與天花板之間形成作業空間。上部地板F1是格子地板,形成有複數個貫穿上下方向的通氣孔。下部地板F2是沒有通氣孔的地板,在本實施形態中是由無孔狀的混凝土所構成。
如圖2所示,內部空間4具有排列在棚水平寬度方 向上的第1內部空間4a及第2內部空間4b,在第1內部空間4a及第2內部空間4b中,各自具備有成對向狀態的一對物品收納棚2。物品收納棚2各自具備有複數個在上下方向及棚水平寬度方向上成排列狀態的收納部1。並且,複數個收納部1各自具備有載置支撐已收納的容器W之載置體7。在一對的物品收納棚2的一方(位在圖1及圖2左側的物品收納棚2)上,具備有供給氮氣至收納部1所收納的容器W之氮氣供給裝置N。再者,此氮氣供給裝置N相當於供給非活性氣體至收納部1所收納的容器W之非活性氣體供給裝置。
出入庫輸送機6構成為可以在位於壁體K的外側(用壁體K覆蓋的內部空間4之外側)之外部移載處6o與位於壁體K的內側(內部空間4)之內部移載處6i之間載置搬送容器W。圖示雖然省略,但是出入庫輸送機6各自配備在第1內部空間4a及第2內部空間4b。配備成天花板搬送車B可以對設置於高位置的出入庫輸送機6之外部移載處6o進行容器W的載降,且作業者可以對設置於低位置的出入庫輸送機6(未圖示)之外部移載處6o進行容器W的載降。
如圖2所示,堆高式起重機3行走的行走路徑8具有排列在棚水平寬度方向上的第1路徑部分8a及第2路徑部分8b。堆高式起重機3具備有沿著棚水平寬度方向在第1內部空間4a中行走而在第1內部空間4a中搬送容器W的第1堆高式起重機3a,以及沿著棚水平寬度方向在第2內部空間4b中行走而在第2內部空間4b中搬送容器W的第2堆高式起重機3b。
再者,堆高式起重機3相當於沿著棚水平寬度方向移動的物品搬送裝置,行走路徑8相當於物品搬送裝置移動的移動路徑。又,第1堆高式起重機3a相當於在第1路徑部分8a中移動而搬送物品的第1物品搬送裝置,第2堆高式起重機3b相當於在第2路徑部分8b中移動而搬送物品的第2物品搬送裝置。
行走路徑8形成在對向的一對物品收納棚2之間。行走路徑8的第1路徑部分8a形成在第1內部空間4a上,行走路徑8的第2路徑部分8b形成在第2內部空間4b上。行走路徑8沿著棚水平寬度方向被區分為第1路徑部分8a及第2路徑部分8b,第1路徑部分8a與第2路徑部分8b沒有重複。
在行走路徑8上,沿著棚水平寬度方向(行走路徑8的長度方向)設置有行走軌道9,此行走軌道9是從第1路徑部分8a延伸到第2路徑部分8b連續地形成。
第1堆高式起重機3a與第2堆高式起重機3b各自具備有沿著棚水平寬度方向行走在行走軌道9上之行走台車11、沿著豎立設置在該行走台車11上的桿柱12而升降移動的升降台13、以及受升降台13支撐的移載裝置14。移載裝置14在收納部1或出入庫輸送機6的內部移載處6i與本身之間移載容器W。
在物品保管設備中,容器W載置在出入庫輸送機6的外部移載處6o後,即藉由出入庫輸送機6從外部移載處6o載置搬送該容器W至內部移載處6i。並且,在第1內部空間4a中,藉由第1堆高式起重機3a從內部移載處6i搬送容器 W至收納部1,在第2內部空間4b中,藉由第2堆高式起重機3b從內部移載處6i搬送容器W至收納部1。
又,在第1內部空間4a中,藉由第1堆高式起重機3a從收納部1搬送容器W至出入庫輸送機6的內部移載處6i,在第2內部空間4b中,藉由第2堆高式起重機3b從收納部1搬送容器W至出入庫輸送機6的內部移載處6i。並且,內部移載處6i的容器W藉由出入庫輸送機6從內部移載處6i被載置搬送到外部移載處6o後,藉由天花板搬送車B或作業者,從外部移載處6o卸下。
像這樣,第1堆高式起重機3a在第1內部空間4a中的內部移載處6i與收納部1之間搬送容器W。又,第2堆高式起重機3b在第2內部空間4b中的內部移載處6i與收納部1之間搬送容器W。
詳細的說明雖然予以省略,但是容器W的底面上具備有用來將從氮氣供給裝置N的吐出噴嘴所吐出的氮氣供氣至容器W內的供氣口,及用來排出容器W內的氣體之排氣口。並且,容器W構成為藉由蓋體關閉基板存取用的基板出入口,並藉由開閉閥各自關閉供氣口及排氣口,而可以具有氣密性。
容器W的供氣口連接著氮氣供給裝置N的吐出噴嘴,氮氣從此吐出噴嘴噴出後,藉由此噴出氮氣的壓力,供氣口的開閉閥被開啟操作,而使氮氣被供給至容器W內。又,構成為由於氮氣供給裝置N的氮氣供給而使得容器W內的壓力升高後,排氣口的開閉閥被開啟操作,而可以使容器 W內的氣體從容器W的排氣口排氣。
再者,在本實施形態中,將容納半導體基板的FOUP(Front Opening Unified Pod)作為容器W(物品)。
如圖1及圖2所示,壁體K設置成為覆蓋內部空間4的狀態。內部空間4是具有設置有物品收納棚2的設置空間10及堆高式起重機3的行走路徑8雙方的空間。
內部空間4的側周圍是由壁體K的無孔狀之側壁部K1所包圍。內部空間4的天花板構成為由多孔狀的天花板壁部蓋住,可以從天花板側流入清淨空氣至內部空間4中。又,位於壁體K的上部地板F1之下方的部分具備有將內部空間4的氣體排氣到內部空間4外的氣體排出部22。因此,清淨空氣從壁體K的天花板側流入內部空間4,此流入的清淨空氣從天花板側朝地板側向下流通過內部空間4。並且,該清淨空氣與從收納部1所收納的容器W所排出的氮氣一起從氣體排出部22排氣到內部空間4之外。
再者,壁體K藉由側壁部K1以平面視是包圍著內部空間4,此壁體K(側壁部K1)相當於包圍具有設置物品收納棚2的設置空間10及行走路徑8雙方的空間之包圍體。
如圖2、圖3,及圖8所示,在壁體K上具備有供作業者出入行走路徑8的開口23及關閉該開口23的開閉門24。
在壁體K上具備有形成為包圍開口23的形狀之無孔狀的出入口部K2。出入口部K2形成為以棚前後方向視是有稜角的O字狀。此出入口部K2的棚前後方向行走路徑8存在側 的端部上具備有開閉門24,出入口部K2的棚前後方向行走路徑8存在側之反對側的端部連接在側壁部K1上。並且,出入口部K2被配備成出入口部K2的棚前後方向行走路徑8存在側之端部不會突出於行走路徑8內。
又,壁體K具備有位在出入口部K2正上方的第1內部空間4a與第2內部空間4b的邊界處之無孔狀的遮蔽部K3。
如圖4至圖6所示,開閉門24構成為棚水平寬度方向的兩端部各自對門用支柱構件25搖動自如地連結在縱軸心(沿著上下方向的軸心)周圍,並且,棚水平寬度方向的中央部彎曲自如於縱軸心周圍上。開閉門24構成為藉著在棚前後方向上推拉操作中央部,而切換自如成彎折開閉門24的中央部而開閉門24的兩端部接近的短縮形態(圖5、圖6,及圖9所示形態),及伸展開閉門24的中央部而開閉門24的兩端部分開的伸長形態(圖4及圖8所示形態)。像這樣,開閉門24構成為藉由彎曲伸展可在棚水平寬度方向上伸縮自如成短縮形態及伸長形態。
並且,開閉門24如圖4及圖8所示,藉由切換為伸長形態(切換成關閉狀態),可以關閉開口23全體。又,開閉門24如圖6及圖9右側所示,藉由切換成短縮形態而在棚水平寬度方向上靠近第2內部空間4b側(切換成第1開啟狀態),可以開啟第1出入口23A。又,開閉門24如圖5及圖9左側所示,藉由切換成短縮形態而在棚水平寬度方向上靠近第1內部空間4a側(切換成第2開啟狀態),可以開啟第2出入口23B。像這樣,開閉門24構成為可以切換自如成關閉狀態、第1開 啟狀態、及第2開啟狀態。
接著,加上有關第1出入口23A或第2出入口23B的說明。
如圖4所示,開口23形成為在棚水平寬度方向上跨於路徑邊界處8c並伸展在第1內部空間4a及第2內部空間4b兩側的狀態。開口23是以第1開口部23a、第2開口部23b、及第3開口部23c所形成。再者,路徑邊界處8c是行走路徑8的第1路徑部分8a與第2路徑部分8b的邊界之處,配備成與第1路徑部分8a及第2路徑部分8b成連續排列的狀態。
第1開口部23a是形成為其全部開口區域從棚前後方向看是在對第1內部空間4a重疊的位置上。第2開口部23b是形成為其全部開口區域從棚前後方向看是在對第2內部空間4b重疊的位置上。第3開口部23c是在棚水平寬度方向上位在第1開口部23a與第2開口部23b之間。第3開口部23c形成為可以具有對第1內部空間4a以棚前後方向看是重疊的開口區域、及對第2內部空間4b以棚前後方向看是重疊的開口區域。
並且,如圖4及圖6所示,藉由第1開口部23a及第3開口部23c形成第1出入口23A,如圖4及圖5所示,藉由第2開口部23b及第3開口部23c形成第2出入口23B。第3開口部23c是由第1出入口23A與第2出入口23B所兼用。
開閉門24如圖6所示,在開閉門24短縮而切換成第1開啟狀態的狀態下,僅關閉開口23的第2開口部23b而開啟第1開口部23a及第3開口部23c(第1出入口23A)。又,如 圖5所示,在開閉門24短縮而切換成第2開啟狀態的狀態下,僅關閉開口23的第1開口部23a而開啟第2開口部23b及第3開口部23c(第2出入口23B)。順帶一提,如圖4所示,在開閉門24伸長而切換成關閉狀態的狀態下,開口23的第1開口部23a、第2開口部23b,及第3開口部23c全部關閉。
因此,開閉門24具備有作為開閉第1出入口23A的第1門之功能、及作為開閉第2出入口23B的第2門之功能;壁體K具備有第1出入口23A及第2出入口23B(開口23),以及第1門及第2門(開閉門24)。
隔離體5構成為可以切換自如成設置狀態與退避狀態。在此,設置狀態是如圖2、圖3、圖5,及圖6所示,隔離體5位於第1內部空間4a與第2內部空間4b的邊界處並將內部空間4切斷成第1內部空間4a與第2內部空間4b的狀態。又,退避狀態是如圖4及圖10所示,使隔離體5從第1內部空間4a與第2內部空間4b的邊界處中的至少路徑邊界處8c退避而使第1內部空間4a與第2內部空間4b連通的狀態。
順便一提,在設置狀態中,隔離體5設置在行走路徑8的路徑邊界處8c而截斷第1路徑部分8a與第2路徑部分8b,在退避狀態中,使隔離體5從路徑邊界處8c退避而開放該路徑邊界處8c。
若追加隔離體5的說明,則如圖4至6所示,隔離體5具備有固定在壁體K的板狀之固定部27、對固定部27在棚前後方向上滑動移動自如的板狀之滑動部28,以及對滑動部28在縱軸心周圍搖動自如的板狀之搖動部29。這些固 定部27、滑動部28,及搖動部29都是形成為無孔狀。
藉由使滑動部28對固定部27在棚前後方向上滑動移動,而在引退到設置空間10的引退位置(參照圖4)及突出到行走路徑8的突出位置(參照圖5及圖6)間滑動移動。
搖動部29的基端部在滑動部28的行走路徑8側的端部於縱軸心周圍搖動自如地連結著,藉著在縱軸心周圍搖動,而在對滑動部28在棚水平寬度方向上排列的折疊位置(參照圖4)、及對滑動部28在棚前後方向上排列的展開位置(參照圖5及圖6)間搖動移動。又,因為搖動部29連結在滑動部28,伴隨著滑動部28沿著棚前後方向滑動移動,搖動部29也沿著棚前後方向與此滑動部28一體地滑動移動。
如圖4所示,藉由將滑動部28滑動移動至引退位置且將搖動部29搖動移動至折疊位置,使隔離體5切換成退避狀態。又,如圖5及圖6所示,藉由將滑動部28滑動移動至突出位置且將搖動部29搖動移動至展開位置,使隔離體5切換成設置狀態。
並且,搖動部29的自由端部(基端部反對側的端部)上具備有用來將隔離體5連結在隔離體用支柱構件30的連結構件,在切換隔離體5成設置狀態的狀態下,藉由將搖動部29的自由端部連結在隔離體用支柱構件30而可以使隔離體5保持在設置狀態。
並且,如同上述,在將隔離體5連結於隔離體用支柱構件30的狀態下,如圖5、圖6,及圖9所示,藉由沿著棚水平寬度方向移動隔離體用支柱構件30,隔離體5會在維 持設置狀態的狀態下,移動至第1隔離位置或第2隔離位置。在此,第1隔離位置如圖6所示,是揺動部29的自由端部(棚前後方向上位於開口23側的隔離體端部)位於開口23的第2開口部23b與第3開口部23c的邊界處(開口邊界處)之位置。又,第2隔離位置是揺動部29的自由端部位於開口23的第1開口部23a與第3開口部23c的邊界處(開口邊界處)之位置。
像這樣,隔離體5構成為在設置狀態中可移動自如在第1隔離位置與第2隔離位置,而第1隔離位置與第2隔離位置的任一位置都位於路徑邊界處8c。
連結有隔離體5的隔離體用支柱構件30位於一對的門用支柱構件25之間。
因此,使開閉門24從關閉狀態短縮而切換成第1開啟狀態時,藉由一對的門用支柱構件25中位於第1路徑部分8a側的門用支柱構件25而將隔離體用支柱構件30推壓操作至第2路徑部分8b側,使隔離體5移動至第1隔離位置。又,使開閉門24從關閉狀態短縮而切換成第2開啟狀態時,藉由一對的門用支柱構件25中位於第2路徑部分8b側的門用支柱構件25而將隔離體用支柱構件30推壓操作至第1路徑部分8a側,使隔離體5移動至第2隔離位置。
像這樣,隔離體5與開閉門24構成為可以連動,隔離體5可隨著開閉門24切換成第1開啟狀態而移動至第1隔離位置,又,隔離體5可隨著開閉門24切換成第2開啟狀態而移動至第2隔離位置。藉由隔離體用支柱構件30及一對的門用支柱構件25,構成使隔離體5與開閉門24連動的連動機構。
並且,在開閉門24切換成第1開啟狀態且隔離體5移動至第1隔離位置的狀態,或開閉門24切換成第2開啟狀態且隔離體5移動至第2隔離位置的狀態中,藉由門用支柱構件25與固定設置的保持用支柱構件31夾持隔離體5的端部,而使隔離體5保持在第1隔離位置或第2隔離位置。
如圖4及圖7所示,在物品保管設備上具備有檢測隔離體5的設置狀態之隔離狀態檢測裝置32(第1隔離感測器32a及第2隔離感測器32b),及檢測開閉門24的開閉狀態之門狀態檢測裝置33(第1門感測器33a及第2門感測器33b)。再者,在圖5或圖6等,隔離狀態檢測裝置32及門狀態檢測裝置33的圖示省略。
隔離狀態檢測裝置32具備有檢測出隔離體5切換成設置位置(設置狀態)的第1隔離感測器32a,與檢測出隔離體5切換成退避位置(退避狀態)的第2隔離感測器32b。
即,隔離體5位於設置位置時,第1隔離感測器32a為檢出狀態且第2隔離感測器32b為非檢出狀態。又,隔離體5位於退避位置時,第1隔離感測器32a為非檢出狀態且第2隔離感測器32b為檢出狀態。又,隔離體5位於設置位置與退避位置之間而並非設置位置與退避位置中的任一位置時,第1隔離感測器32a與第2隔離感測器32b雙方都為非檢出狀態。
又,門狀態檢測裝置33具備有檢測出開閉門24位於開口23在棚水平寬度方向上第1路徑部分8a側之端部的第1門感測器33a、及檢測出開閉門24位於開口23在棚水 平寬度方向上第2路徑部分8b側之端部的第2門感測器33b。
即,開閉門24切換成伸長形態(切換成關閉狀態)時,第1門感測器33a與第2門感測器33b雙方都為檢出狀態。
開閉門24切換成短縮形態而靠近開口23的第2內部空間4b側的端部(切換成第1開啟狀態)時,第1門感測器33a為非檢出狀態且第2門感測器33b為檢出狀態。順帶一提,在此狀態下,第2出入口23B(第2開口部23b)被開閉門24所關閉。
開閉門24切換成短縮形態而靠近開口23的第1內部空間4a側的端部(切換成第2開啟狀態)時,第1門感測器33a為檢出狀態且第2門感測器33b為非檢出狀態。順帶一提,在此狀態下,第1出入口23A(第1開口部23a)被開閉門24所關閉。
又,開閉門24切換成非伸長形態的形態且並非靠近開口23的第1內部空間4a側的端部或第2內部空間4b側的端部時,第1門感測器33a與第2門感測器33b雙方為非檢出狀態。
在物品保管設備上具備有控制堆高式起重機3的動作及氮氣供給裝置N的動作之控制裝置H。即,此控制裝置H具備有作為控制堆高式起重機3的動作之搬送控制裝置的功能,及作為控制氮氣供給裝置N的動作之供給控制裝置的功能。
控制裝置H選擇性實行第1搬送控制、第2搬送控 制,及第3搬送控制。亦即,藉由控制装置H選擇性實行的複數個搬送控制包含有第1搬送控制、第2搬送控制,及第3搬送控制。
在第1搬送控制中,為了使第1堆高式起重機3a僅行走在第1路徑部分8a中並搬送容器W且使第2堆高式起重機3b僅行走在第2路徑部分8b中並搬送容器W,而藉由控制裝置H控制第1堆高式起重機3a及第2堆高式起重機3b的動作。亦即,第1搬送控制是使第1堆高式起重機3a僅移動在第1路徑部分8a中並搬送容器W且使第2堆高式起重機3b僅移動在第2路徑部分8b中並搬送容器W的搬送控制。
即,藉由實行第1搬送控制,經由第1堆高式起重機3a在第1內部空間4a的內部移載處6i與收納部1之間搬送容器W,經由第2堆高式起重機3b在第2內部空間4b的內部移載處6i與收納部1之間搬送容器W。
在第2搬送控制中,為了使第1堆高式起重機3a僅行走在第1路徑部分8a中並搬送容器W或使第2堆高式起重機3b僅行走在第2路徑部分8b中並搬送容器W,而藉由控制裝置H控制所選擇一方的堆高式起重機3的動作。亦即,第2搬送控制是將第1堆高式起重機3a與第2堆高式起重機3b中所選擇的一方作為對象堆高式起重機,若對象堆高式起重機是第1堆高式起重機3a時,則使對象堆高式起重機僅在第1路徑部分8a中移動並搬送物品,若對象堆高式起重機是第2堆高式起重機3b時,則使對象堆高式起重機僅在第2路徑部分8b中移動並搬送物品的搬送控制。在本實施形態 中,對象堆高式起重機相當於「對象物品搬送裝置」。
即,第1堆高式起重機3a被選擇時(對象堆高式起重機是第1堆高式起重機3a時),藉由實行第2搬送控制,經由第1堆高式起重機3a在第1內部空間4a的內部移載處6i與收納部1之間搬送容器W。又,第2堆高式起重機3b被選擇時(對象堆高式起重機是第2堆高式起重機3b時),藉由實行第2搬送控制,經由第2堆高式起重機3b在第2內部空間4b的內部移載處6i與收納部1之間搬送容器W。
在第3搬送控制中,像是使第1堆高式起重機3a行走在第1路徑部分8a與第2路徑部分8b雙方路徑中並搬送容器W或使第2堆高式起重機3b行走在第1路徑部分8a與第2路徑部分8b雙方路徑中並搬送容器W等,為了使所選擇一方的堆高式起重機3行走在第1路徑部分8a與第2路徑部分8b雙方路徑中並搬送容器W,而藉由控制裝置H控制所選擇的堆高式起重機3的動作。亦即,第3搬送控制是使對象堆高式起重機移動在第1路徑部分8a及第2路徑部分8b雙方路徑中並搬送物品的搬送控制。
即,第1堆高式起重機3a被選擇時(對象堆高式起重機是第1堆高式起重機3a時),藉由實行第3搬送控制,經由第1堆高式起重機3a在第1內部空間4a及第2內部空間4b的內部移載處6i與收納部1之間搬送容器W。又,第2堆高式起重機3b被選擇時(對象堆高式起重機是第2堆高式起重機3b時),藉由實行第3搬送控制,經由第2堆高式起重機3b在第1內部空間4a及第2內部空間4b的內部移載處6i與收納部1之間搬 送容器W。
再者,第3搬送控制是相當於為了使堆高式起重機3移動在第1路徑部分8a及第2路徑部分8b雙方路徑中並搬送容器W,而藉由控制裝置H控制堆高式起重機3的動作之全路徑搬送控制。亦即,全路徑搬送控制是使堆高式起重機3移動在第1路徑部分8a及第2路徑部分8b雙方路徑中並搬送容器W的搬送控制。又,第1搬送控制及第2搬送控制是相當於為了使堆高式起重機3移動在第1路徑部分8a與第2路徑部分8b中的其中一方路徑部分中並搬送容器W,而控制堆高式起重機3的動作之部分路徑搬送控制。亦即,部分路徑搬送控制是使堆高式起重機3移動在第1路徑部分8a與第2路徑部分8b中的其中一方路徑部分中並搬送容器W的搬送控制。因此,控制裝置H構成為可以選擇性實行全路徑搬送控制及部分路徑搬送控制。亦即,藉由控制装置H選擇性實行的複數個搬送控制包含有全路徑搬送控制及部分路徑搬送控制。
控制裝置H選擇性實行全供給控制及部分供給控制。亦即,藉由控制装置H選擇性實行的複數個供給控制包含有全供給控制及部分供給控制。
在全供給控制中,為了對第1內部空間4a及第2內部空間4b雙方的收納部1所收納的容器W供給氮氣,藉由控制裝置H控制氮氣供給裝置N的動作。亦即,全供給控制是對第1內部空間4a及第2內部空間4b雙方的收納部1所收納的容器W供給氮氣的供給控制。在部分供給控制中,為了對第1 內部空間4a與第2內部空間4b中其中一方的收納部1所收納的容器W供給氮氣,藉由控制裝置H控制氮氣供給裝置N的動作。亦即,部分供給控制是對第1內部空間4a與第2內部空間4b中其中一方的收納部1所收納的容器W供給氮氣的供給控制。
控制裝置H構成為依據隔離狀態檢測裝置32(第1隔離感測器32a、第2隔離感測器32b)及門狀態檢測裝置33(第1門感測器33a、第2門感測器33b)各自的檢測資訊而控制供電裝置34,可以進行對位於第1路徑部分8a的堆高式起重機3之供電狀態相關的供電狀態及截斷供電狀態之切換,及對位於第2路徑部分8b的堆高式起重機3之供電狀態相關的供電狀態及截斷供電狀態之切換。
又,控制裝置H構成為依據隔離狀態檢測裝置32(第1隔離感測器32a、第2隔離感測器32b)及門狀態檢測裝置33(第1門感測器33a、第2門感測器33b)各自的檢測資訊而控制供電裝置34,可以進行對位於第1空間用部分之供電狀態相關的供電狀態及截斷供電狀態的切換,及對位於第2空間用部分之供電狀態相關的供電狀態及截斷供電狀態的切換。在此,第1空間用部分是對氮氣供給裝置N的第1內部空間4a之收納部1所收納的容器W供給氮氣的部分,第2空間用部分是對氮氣供給裝置N的第2內部空間4b之收納部1所收納的容器W供給氮氣的部分。
藉由控制裝置H並依據第1隔離感測器32a、第2隔離感測器32b、第1門感測器33a、以及第2門感測器33b各 自的檢測資訊之供電裝置34的控制,是依據圖11所記載的條件進行。
即,在實行第1搬送控制時,第1隔離感測器32a為檢出狀態且第2隔離感測器32b為非檢出狀態之狀態(隔離體5為設置狀態),此外,第1門感測器33a及第2門感測器33b雙方為檢出狀態的狀態(開閉門24為關閉狀態)時,為了對第1內部空間4a及第2內部空間4b雙方供電,而藉由控制裝置H控制電源裝置43。
再者,對第1內部空間4a供電是指供電給位於第1路徑部分8a的第1堆高式起重機3a,且供電給氮氣供給裝置N的第1空間用部分。又,對第2內部空間4b供電是指供電給位於第2路徑部分8b的第2堆高式起重機3b,且供電給氮氣供給裝置N的第2空間用部分。
在實行第2搬送控制(選擇第1堆高式起重機3a)時,第1隔離感測器32a為檢出狀態且第2隔離感測器32b為非檢出狀態之狀態(隔離體5為設置狀態),此外,第1門感測器33a為檢出狀態且第2門感測器33b為非檢出狀態的狀態(開閉門24為第2開啟狀態)時,為了對第1內部空間4a供電且對第2內部空間4b截斷供電,而藉由控制裝置H控制電源裝置34。
在實行第2搬送控制(選擇第2堆高式起重機3b)時,第1隔離感測器32a為檢出狀態且第2隔離感測器32b為非檢出狀態之狀態(隔離體5為設置狀態),此外,第1門感測器33a為非檢出狀態且第2門感測器33b為檢出狀態的狀態 (開閉門24為第1開啟狀態)時,為了對第1內部空間4a截斷供電且對第2內部空間4b供電,而藉由控制裝置H控制電源裝置34。
在實行第3搬送控制時,第1隔離感測器32a為非檢出狀態且第2隔離感測器32b為檢出狀態之狀態(隔離體5為退避狀態),此外,第1門感測器33a及第2門感測器33b雙方為檢出狀態的狀態(開閉門24為關閉狀態)時,為了對第1內部空間4a及第2內部空間4b雙方供電,而藉由控制裝置H控制供電裝置34。
並且,在實行第1至第3搬送控制的任一控制時,第1隔離感測器32a、第2隔離感測器32b、第1門感測器33a、及第2門感測器33b的檢測狀態之組合為上述狀態以外時,為了對第1內部空間4a及第2內部空間4b各自截斷供電,而藉由控制裝置H控制供電裝置34。
即,在實行第1搬送控制時,隔離體5為設置狀態且開閉門24為關閉狀態時,對第1內部空間4a及第2內部空間4b雙方供電。
因此,隔離體5為設置狀態且開閉門24為關閉狀態時,容許第1路徑部分8a的第1堆高式起重機3a之行走及第2路徑部分8b的第2堆高式起重機3b之行走,藉由控制裝置H實行第1搬送控制,第1堆高式起重機3a在第1路徑部分8a上行走並搬送容器W,第2堆高式起重機3b在第2路徑部分8b上行走並搬送容器W。又,供電給氮氣供給裝置N的第1空間用部分及第2空間用部分雙方,藉由控制装置H實行全供給 控制。
並且,在實行第1搬送控制時,從隔離體5為設置狀態且開閉門24為關閉狀態之狀態下,藉由將隔離體5從設置狀態往退避狀態進行移動操作,或將開閉門24從關閉狀態進行開啟操作,可截斷各自對第1內部空間4a及第2內部空間4b的供電。
因此,在實行第1搬送控制時,隔離體5為設置狀態且開閉門24為關閉狀態時之外,禁止第1路徑部分8a的第1堆高式起重機3a之行走及第2路徑部分8b的第2堆高式起重機3b之行走,第1堆高式起重機3a及第2堆高式起重機3b停止。又,截斷對氮氣供給裝置N的第1空間部分及第2空間部分雙方之供電,停止對第1內部空間4a及第2內部空間4b雙方的收納部1所收納的容器W的氮氣供給。
接著,針對控制装置H實行第2搬送控制時進行說明,但僅說明第2搬送控制(選擇第1堆高式起重機3a),第2搬送控制(選擇第2堆高式起重機3b)的說明省略。
在第2搬送控制(選擇第1堆高式起重機3a),隔離體5為設置狀態且開閉門24為第2開啟狀態時,對第1內部空間4a供電且截斷對第2內部空間4b的供電。
因此,隔離體5為設置狀態且開閉門24為第2開啟狀態時,容許第1堆高式起重機3a之移動,藉由控制裝置H實行第2搬送控制(選擇第1堆高式起重機3a),第1堆高式起重機3a在第1路徑部分8a上行走並搬送容器W。又,供電給氮氣供給裝置N的第1空間用部分,並藉由控制裝置H,實行對 第1內部空間4a的收納部1所收納的容器W供給氮氣的部分供給控制。
並且,在實行第2搬送控制(選擇第1堆高式起重機3a)時,從隔離體5為設置狀態且開閉門24為第2開啟狀態之狀態,藉由隔離體5從設置狀態往退避狀態進行移動操作,或開閉門24從第2開啟狀態進行操作,可截斷對第1內部空間4a的供電。
因此,在實行第2搬送控制(選擇第1堆高式起重機3a)時,隔離體5為設置狀態且開閉門24為第2開啟狀態時之外,禁止第1路徑部分8a的第1堆高式起重機3a之行走及第2路徑部分8b的第2堆高式起重機3b之行走,第1堆高式起重機3a及第2堆高式起重機3b停止。又,截斷對氮氣供給裝置N的第1空間部分及第2空間部分雙方之供電,停止對第1內部空間4a及第2內部空間4b雙方的收納部1所收納的容器W的氮氣供給。
接著,針對實行第3搬送控制時進行說明,但僅針對選擇第2堆高式起重機3b時(將第1堆高式起重機3a從行走路徑8取出時)進行說明,針對選擇第1堆高式起重機3a時(將第2堆高式起重機3b從行走路徑8取出時)的說明省略。
在第3搬送控制中,隔離體5為退避狀態且開閉門24為關閉狀態時,對第1內部空間4a及第2內部空間4b雙方供電。
因此,隔離體5為設置狀態且開閉門24為關閉狀態時, 容許第1路徑部分8a及第2路徑部分8b的第2堆高式起重機3b之行走,藉由控制裝置H實行第3搬送控制,第2堆高式起重機3b在第1路徑部分8a及第2路徑部分8b雙方行走並搬送容器W。又,供電給氮氣供給裝置N的第1空間用部分及第2空間用部分雙方,藉由控制装置H實行全供給控制。
並且,在實行第3搬送控制時,從隔離體5為退避狀態且開閉門24為關閉狀態之狀態下,藉由將隔離體5從退避狀態往設置狀態進行移動操作,或將開閉門24從關閉狀態進行開啟操作,可截斷對第1內部空間4a及第2內部空間4b雙方的供電。
因此,在實行第3搬送控制時,隔離體5為退避狀態且開閉門24為關閉狀態時之外,禁止第1路徑部分8a及第2路徑部分8b雙方的第2堆高式起重機3b之行走,第2堆高式起重機3b停止。又,截斷對氮氣供給裝置N的第1空間部分及第2空間部分雙方之供電,停止對第1內部空間4a及第2內部空間4b雙方的收納部1所收納的容器W的氮氣供給。
像這樣,藉由控制裝置H實行第1搬送控制及全供給控制或實行第3搬送控制及全供給控制,可以使堆高式起重機3在第1路徑部分8a及第2路徑部分8b雙方中行走並搬送容器W,並可以對第1內部空間4a及第2內部空間4b雙方的收納部1所收納的容器W供給氮氣。並且,作業者打開開閉門24而進入行走路徑8時,會緊急停止堆高式起重機3並且停止供給氮氣。
又,藉由控制裝置H實行第2搬送控制及部分供 給控制,作業者可以在第1路徑部分8a及第2路徑部分8b中的一方進行維修作業,並且在另一方的路徑部分中使堆高式起重機3行走並搬送容器W,又,可以在藉由堆高式起重機3搬送容器W的第1內部空間4a或第2內部空間4b中對收納部1所收納的容器W供給氮氣。並且,因為第1內部空間4a與第2內部空間4b藉由隔離體5截斷,可以防止作業者從一方的路徑部分進入另一方的路徑部分,並且可以防止氮氣從另一方的路徑部分流動至一方的路徑部分。
[其他實施形態]
(1)在上述實施形態中,堆高式起重機3具備有第1堆高式起重機3a及第2堆高式起重機3b之2台的堆高式起重機3,但是僅設置1台堆高式起重機3亦可。此時,控制裝置H實行第1至第3搬送控制中的第2搬送控制(部分路徑搬送控制)及第3搬送控制(全路徑搬送控制)。順便一提,在第2搬送控制中,作為選擇出的1台已設置之堆高式起重機3的堆高式起重機3(對象堆高式起重機),僅在第1路徑部分8a中或僅在第2路徑部分8b中行走並搬送容器W,在第3搬送控制中,作為選擇出的1台已設置之堆高式起重機3的堆高式起重機3,在第1路徑部分8a及第2路徑部分8b雙方行走並搬送容器W。
又,在上述實施形態中,行走路徑8具備有第1路徑部分8a及第2路徑部分8b的2條路徑部分,但是行走路徑8具備有3條以上的路徑部分亦可。又,在上述實施形態中,1條路徑路部分僅具備有1台堆高式起重機3,但是1條路徑部分 具備有2台第1堆高式起重機3a等之1條路徑部分具備有複數台堆高式起重機3亦可。
(2)在上述實施形態中,控制裝置H實行第1搬送控制或全供給控制時,開閉門24從關閉狀態進行開啟操作時(第1門感測器33a及第2門感測器33b的任一個為非檢出狀態時),對第1內部空間4a及第2內部空間4b的雙方截斷供電,但是以如下的方式截斷供電亦可。
即,控制裝置H實行第1搬送控制與全供給控制時,開閉門24從關閉狀態朝第1開啟狀態進行開啟操作時(僅第1門感測器33a為非檢出狀態時),僅對第1內部空間4a截斷供電,開閉門24從關閉狀態朝第2開啟狀態進行開啟操作時(僅第2門感測器33b為非檢出狀態時),僅對第2內部空間4b截斷供電。並且,隔離體5從設置狀態移動時(第1隔離感測器32a為非檢出狀態時),對第1內部空間4a及第2內部空間4b的雙方截斷供電。
(3)在上述實施形態中,是構成為藉由開閉門24彎曲伸展而可在棚水平寬度方向上伸縮,但是構成為開閉門24具備有複數片門部,藉由門部沿著棚水平寬度方向滑動移動而使開閉門24在棚水平寬度方向上伸縮亦可。
具體來說,可以構成為開閉門24具備有關閉第1開口部23a的第1門部與關閉第2開口部23b的第2門部與關閉第3開口部23c的第3門部,藉由滑動操作第1門部及第3門部以開閉第1出入口23A,藉由滑動操作第2門部及第3門部以開閉第2出入口23B。
(4)在上述實施形態中,隔離體5是由固定部27、滑動部28,及揺動部29的3片構件所構成,但是隔離體5的構成也可以適當變更,例如,採用固定部27及複數片的滑動部28所構成的隔離體5,或採用構成為如同開閉門24一樣地彎曲伸展而在棚前後方向上伸縮的隔離體5等亦可。
(5)在上述實施形態中,由第1出入口23A與第2出入口23B兼用開口23的一部分,但是配備成不由第1出入口23A與第2出入口23B兼用開口23的一部分而使第1出入口23A及第2出入口23B排列在棚水平寬度方向上的狀態亦可。
(6)在上述實施形態中,使隔離體5與開閉門24連動的連動機構是由在棚水平寬度方向上移動自如的門用支柱構件25與隔離體用支柱構件30所構成,藉由門用支柱構件25在棚水平寬度方向上推壓操作隔離體用支柱構件30而切換隔離體5至第1隔離位置與第2隔離位置,但是例如,將開閉門24的兩端部與隔離體用支柱構件30用金屬線等繩體連結,藉由用金屬線在棚水平寬度方向上拉引操作隔離體用支柱構件30而切換隔離體5至第1隔離位置與第2隔離位置等,適當變更連動機構的構成亦可。
又,不具備有這樣的連動機構,構成為可以個別操作隔離體5與開閉門24亦可。
(7)在上述實施形態中,具備有供給非活性氣體至收納部1所收納的物品之非活性氣體供給裝置(氮氣供給裝置N),但是若是物品沒有供給非活性氣體的必要時,不 具備有非活性氣體供給裝置亦可。再者,非活性氣體除了氮氣外,氬氣等亦可。
並且,若沒有具備非活性氣體供給裝置時,取代壁體K,配備成用柵狀或網狀的包圍體,以平面視是包圍內部空間4亦可。又,若沒有具備非活性氣體供給裝置時,隔離體5不形成為無孔狀亦可,用柵、棒,或網形成亦可。
(8)在上述實施形態中,控制裝置H選擇性實行全供給控制與部分供給控制,但是控制裝置H僅實行全供給控制亦可。具體來說,在第1搬送控制或第3搬送控制中,當感測器類之檢測狀態的條件滿足時就進行全供給控制,在第2搬送控制中,對物品停止非活性氣體的供給亦可。
[上述實施形態的概要]
以下,針對上述說明的物品保管設備之概要進行說明。
在具備有具有複數個收納物品的收納部之物品收納棚、在前述物品收納棚的前方沿著棚水平寬度方向移動並搬送物品的複數台物品搬送裝置、以及控制前述複數台物品搬送裝置的動作之搬送控制裝置的物品保管設備中,前述複數台物品搬送裝置移動的移動路徑具有排列在前述棚水平寬度方向上的第1路徑部分及第2路徑部分;前述複數台物品搬送裝置包含有第1物品搬送裝置及第2物品搬送裝置,藉由前述搬送控制裝置選擇性實行的複數個搬送控制包含有第1搬送控制及第2搬送控制;前述第1搬送控 制是使前述第1物品搬送裝置僅在前述第1路徑部分中移動並搬送物品,並且使前述第2物品搬送裝置僅在前述第2路徑部分中移動並搬送物品之搬送控制;前述第2搬送控制是將前述第1物品搬送裝置及前述第2物品搬送裝置之中所選擇的一方作為對象物品搬送裝置,若前述對象物品搬送裝置是前述第1物品搬送裝置時,使前述對象物品搬送裝置僅在前述第1路徑部分中移動並搬送物品,若前述對象物品搬送裝置是前述第2物品搬送裝置時,使前述對象物品搬送裝置僅在前述第2路徑部分中移動並搬送物品之搬送控制;具備有隔離體,可切換自如成:設置在前述移動路徑的前述第1路徑部分及前述第2路徑部分之邊界處的路徑邊界處而截斷前述第1路徑部分及前述第2路徑部分的設置狀態、及從前述路徑邊界處退避而開放該路徑邊界處的退避狀態。
依據此構成,經由搬送控制裝置實行第1搬送控制,第1物品搬送裝置在第1路徑部分中移動並搬送物品,並且第2物品搬送裝置在第2路徑部分中移動並搬送物品。像這樣,可以雙方進行在第1路徑部分中使第1物品搬送裝置移動並搬送物品,以及在第2路徑部分中使第2物品搬送裝置移動並搬送物品。
又,在作業者進行第1物品搬送裝置及第2物品搬送裝置的其中一方之維修作業時,作為被選擇為非維修作業對象之物品搬送裝置的物品搬送裝置(對象物品搬送裝置),經由搬送控制裝置實行第2搬送控制,作業者在第1移動路徑或第2移動路徑中進行物品搬送裝置的維修作業,並且可以 在剩餘的第2移動路徑或第1移動路徑中使對象物品搬送裝置移動並搬送物品。
然而,例如在第1路徑部分中對第1物品搬送裝置進行維修的作業者超出到第2路徑部分時,則作業者恐怕會有接觸到在第2路徑部分中移動的第2物品搬送裝置之虞。
於是,具備有可切換自如成設置狀態及退避狀態的隔離體,藉由將此隔離體先設置成設置狀態,在作業者將進入第2路徑部分時,由於作業者會接觸到設置狀態的隔離體,而可以物理上防止作業者進入第2路徑部分。又,藉由作業者確認設置狀態的隔離體的存在而了解到自身的位置,可以防止作業者進入第2路徑部分於未然。其結果,作業者可以避免接觸到移動的物品搬送裝置。
像這樣,即使作業者進入了移動路徑的一部分,可以在移動路徑的剩餘部分中繼續藉由物品搬送裝置搬送物品,並且防範進入移動路徑的作業者接觸物品搬送裝置於未然。
在此,若前述複數個搬送控制包含有第3搬送控制,前述第3搬送控制是使前述對象物品搬送裝置在前述第1路徑部分及前述第2路徑部分的雙方中移動並搬送物品的搬送控制,則是適宜的。
藉由此構成,經由搬送控制裝置實行第3搬送控制,對象物品搬送裝置在第1路徑部分及第2路徑部分的雙方中移動並搬送物品。
即,例如,若是將物品搬送裝置放置在移動路徑上,進行該物品搬送裝置的維修作業,因為移動路徑狹窄,可能無法進行維修作業。這樣的狀況時,有時會將維修對象的物品搬送裝置從移動路徑搬出並在移動路徑的外部對物品搬送裝置進行維修作業。
在這樣的情形下,可以經由搬送控制裝置實行第3搬送控制,使對象物品搬送裝置在第1路徑部分及第2路徑部分的雙方中移動並搬送物品。
又,若具備有以平面視是包圍具有設置前述物品收納棚的設置空間及前述移動路徑雙方的空間之包圍體;前述包圍體具備有供作業者進出前述第1路徑部分的第1出入口、開閉該第1出入口的第1門、供作業者進出前述第2路徑部分的第2出入口、以及開閉該第2出入口的第2門;具備有檢測前述隔離體的設置之狀態的隔離狀態檢測裝置、檢測前述第1門及前述第2門的開閉狀態之門狀態檢測裝置;前述搬送控制裝置依據前述隔離狀態檢測裝置及前述門狀態檢測裝置各自的檢測資訊,在前述第3搬送控制中,若前述第1門及前述第2門雙方在關閉狀態下且前述隔離體在前述退避狀態下時,容許前述對象物品搬送裝置的移動,在前述第3搬送控制中,若前述第1門及前述第2門之中至少一方不是關閉狀態下時,或前述隔離體不是在前述退避狀態下時,禁止前述對象物品搬送裝置的移動,則是適宜的。
藉由此構成,第1門及第2門雙方為關閉狀態且隔離體為退避狀態時,在第3搬送控制上容許對象物品搬送裝 置的移動,因此藉由搬送控制裝置實行第3搬送控制,對象物品搬送裝置在第1路徑部分及第2路徑部分的雙方中移動並搬送物品。
並且,若作業者進入路徑部分時,開啟操作第1門而會進入第1路徑部分或開啟操作第2門而會進入第2路徑部分,但是若作業者開啟操作第1門或第2門而成為非關閉狀態,則禁止對象物品搬送裝置的移動。因此,若作業者開啟操作第1門或第2門,則對象物品搬送裝置的移動被禁止並停止,物品搬送裝置可以避免接觸到進入移動路徑的作業者。
又,隔離體在非退避狀態時(例如,在設置狀態時),雖然在第1路徑部分及第2路徑部分中移動的物品搬送裝置恐有接觸隔離體之虞,但是隔離體在非退避狀態時,禁止對象物品搬送裝置的移動。因此,隔離體在非退避狀態時,由於對象物品搬送裝置的移動被禁止並停止,可以避免物品搬送裝置接觸隔離體。
在具備有具有複數個收納物品的收納部之物品收納棚,及在前述物品收納棚的前方沿著棚水平寬度方向移動並搬送物品的物品搬送裝置、以及控制前述物品搬送裝置的動作之搬送控制裝置的物品保管設備中, 前述物品搬送裝置移動的移動路徑具有排列在前述棚水平寬度方向上的第1路徑部分及第2路徑部分;藉由前述搬送控制裝置選擇性實行的複數個搬送控制包含有全路徑搬送控制及部分路徑搬送控制;前述全路徑搬送控制是使 前述物品搬送裝置在前述第1路徑部分及前述第2路徑部分雙方移動並搬送物品的搬送控制;前述部分路徑搬送控制是使前述物品搬送裝置在前述第1路徑部分及前述第2路徑部分中其中一方的路徑部分中移動並搬送物品的搬送控制;具備有隔離體,可切換自如成:設置在前述移動路徑的前述第1路徑部分及前述第2路徑部分之邊界處的路徑邊界處而截斷前述第1路徑部分及前述第2路徑部分的設置狀態、及從前述路徑邊界處退避而開放前述路徑邊界處的退避狀態。
藉由此構成,經由搬送控制裝置實行全路徑搬送控制,物品搬送裝置在第1路徑部分及第2路徑部分雙方中移動並搬送物品。
又,例如作業者在第1路徑部分中進行物品收納棚等的維修作業時,經由搬送控制裝置實行部分路徑搬送控制,可以使物品搬送裝置僅在作業者沒有進行維修作業的第2路徑部分中移動並搬送物品。像這樣,作業者在第1移動路徑或第2移動路徑中進行物品收納棚等的維修作業,並且可以在剩餘的第2移動路徑或第1移動路徑中使物品搬送裝置移動並搬送物品。
然而,例如在第1路徑部分中對物品收納棚等進行維修作業的作業者超出到第2路徑部分時,則作業者恐怕會有接觸到在第2路徑部分中移動的物品搬送裝置之虞。
於是,具備有可切換自如成設置狀態及退避狀態的隔離體,藉由將此隔離體先設置成設置狀態,在作業者將進 入第2路徑部分時,由於作業者會接觸到設置狀態的隔離體,而可以物理上防止作業者進入第2路徑部分。又,藉由作業者確認設置狀態的隔離體的存在而了解到自身的位置,可以防止作業者進入第2路徑部分於未然。其結果,作業者可以避免接觸到移動的物品搬送裝置。
像這樣,即使作業者進入了移動路徑的一部分,可以在移動路徑的剩餘部分中繼續藉由物品搬送裝置搬送物品,並且防範進入移動路徑的作業者接觸物品搬送裝置於未然。
又,若具備有以平面視是包圍具有設置前述物品收納棚的設置空間及前述移動路徑雙方的空間之包圍體;前述包圍體具備有供作業者進出前述第1路徑部分的第1出入口、開閉該第1出入口的第1門、供作業者進出前述第2路徑部分的第2出入口、以及開閉該第2出入口的第2門;具備有檢測前述隔離體的設置之狀態的隔離狀態檢測裝置、檢測前述第1門及前述第2門的開閉狀態之門狀態檢測裝置;前述搬送控制裝置依據前述隔離狀態檢測裝置及前述門狀態檢測裝置各自的檢測資訊,在前述全路徑搬送控制中,若前述第1門及前述第2門雙方在關閉狀態下且前述隔離體在前述退避狀態下時,容許前述物品搬送裝置的移動,在前述全路徑搬送控制中,若前述第1門及前述第2門之中至少一方不是關閉狀態時,或前述隔離體不是在前述退避狀態時,禁止前述物品搬送裝置的移動,則是適宜的。
藉由此構成,第1門及第2門雙方為關閉狀態且隔 離體為退避狀態時,在全路徑搬送控制中容許物品搬送裝置的移動,因此藉由搬送控制裝置實行全路徑搬送控制,物品搬送裝置在第1路徑部分及第2路徑部分的雙方中移動並搬送物品。
並且,若作業者進入路徑部分時,開啟操作第1門而會進入第1路徑部分或開啟操作第2門而會進入第2路徑部分,但是若作業者開啟操作第1門或第2門而成為非關閉狀態,則禁止物品搬送裝置的移動。因此,若作業者開啟操作第1門或第2門,則物品搬送裝置的移動被禁止並停止,物品搬送裝置可以避免接觸到進入移動路徑的作業者。
又,隔離體在非退避狀態時(例如,在設置狀態時),雖然在第1路徑部分及第2路徑部分中移動的物品搬送裝置恐有接觸隔離體之虞,但是隔離體在非退避狀態時,禁止物品搬送裝置的移動。因此,隔離體在非退避狀態時,由於物品搬送裝置的移動被禁止並停止,可以避免物品搬送裝置接觸隔離體。
又,若是具備有覆蓋具有前述物品收納棚的設置空間及前述移動路徑雙方的內部空間之壁體、對前述收納部所收納的物品供給非活性氣體的非活性氣體供給裝置、以及控制前述非活性氣體供給裝置的動作的供給控制裝置;前述壁體具備有供作業者進出前述第1路徑部分的第1出入口、開閉該第1出入口的第1門、供作業者進出前述第2路徑部分的第2出入口、,以及開閉該第2出入口的第2門;前述內部空間具有排列在前述棚水平寬度方向的第1內部空間 及第2內部空間;前述隔離體被設置成在前述設置狀態中位於前述第1內部空間及前述第2內部空間的邊界處,將前述內部空間切斷成前述第1內部空間及前述第2內部空間的狀態;藉由前述供給控制裝置選擇性實行的複數個供給控制包含有全供給控制及部分供給控制,前述全供給控制是對前述第1內部空間及前述第2內部空間雙方的前述收納部所收納的物品供給非活性氣體之供給控制,前述部分供給控制是對前述第1內部空間及前述第2內部空間中的其中一方的前述收納部所收納的物品供給非活性氣體的供給控制,則是適宜的。
依據此構成,在收納物品於收納部時,藉由非活性氣體供給裝置供給非活性氣體,例如,若是以收納半導體基板的容器為物品時,由於供給非活性氣體至此容器內,可以防止半導體基板的氧化等,抑制物品產生不良。
然而,供給非活性氣體至物品時,會從物品排出多餘的非活性氣體,若將此非活性氣體排出至內部空間時,在內部空間的非活性氣體的濃度會增高。像這樣為了避免作業者在非活性氣體濃度高的內部空間中進行維修作業,供給控制裝置選擇性實行全供給控制與部分供給控制,藉由將隔離體設置成設置狀態,而可以將內部空間切斷成第1內部空間與第2內部空間。
即,作業者沒有進入第1內部空間與第2內部空間的任一方時,藉由實行全供給控制,非活性氣體供給裝置可以對第1內部空間與第2內部空間雙方的收納部中所收納的物 品供給非活性氣體。
並且,在將隔離體切換成設置狀態的狀態下,作業者進入第1內部空間的第1路徑部分時,對第2內部空間的收納部所收納的物品供給非活性氣體,又,作業者進入第2內部空間的第2路徑部分時,對第1內部空間的收納部所收納的物品供給非活性氣體,像這樣作業者在一方的內部空間中進行作業,而在另一方內部空間中,可以藉由非活性氣體供給裝置對收納部中所收納的物品供給非活性氣體。
又,若是具備有檢測前述第1門及前述第2門的開閉狀態的門狀態檢測裝置,前述供給控制裝置依據前述門狀態檢測裝置的檢測資訊,若前述第1門及前述第2門雙方是前述關閉狀態時,容許對前述第1內部空間及前述第2內部空間雙方的前述收納部所收納的物品供給非活性氣體,若前述第1門從關閉狀態被開啟操作時或前述第2門從關閉狀態被開啟操作時,停止對前述第1內部空間及前述第2內部空間雙方的前述收納部所收納的物品供給非活性氣體,則是適宜的。
藉由此構成,在第1門及第2門雙方為關閉狀態時,藉由透過供給控制裝置控制非活性氣體供給裝置的動作,可以對第1內部空間及第2內部空間雙方的收納部中所收納的物品供給非活性氣體。
並且,第1門從關閉狀態被開啟操作時或第2門從關閉狀態被開啟操作時,停止對第1內部空間及第2內部空間雙方的收納部所收納的物品供給非活性氣體。
即,在作業者開啟操作第1門或第2門而欲進入內部空間時,停止對內部空間的收納部所收納的物品供給非活性氣體,因此可以防止在作業者進入內部空間的狀態下,對內部空間的收納部所收納的物品供給非活性氣體。
又,若具備有覆蓋具有前述物品收納棚的設置空間及前述移動路徑雙方的內部空間之壁體,在前述壁體上具備有供作業者進出前述移動路徑的開口及開閉該開口的開閉門,前述內部空間具有排列在前述棚水平寬度方向的第1內部空間及第2內部空間,前述隔離體被設置成在前述設置狀態中位於前述第1內部空間及前述第2內部空間的邊界處,將前述內部空間切斷成前述第1內部空間及前述第2內部空間的狀態,前述開口在前述棚水平寬度方向上跨過前述路徑邊界處並擴展至前述第1內部空間及前述第2內部空間兩側的狀態下被形成並且由第1開口部、第2開口部、及第3開口部所形成,前述第1開口部是形成為其全部的開口區域從棚前後方向看是在對前述第1內部空間重疊的位置上,前述第2開口部是形成為其全部的開口區域從棚前後方向看是在對前述第2內部空間重疊的位置上,前述第3開口部是形成為在前述棚水平寬度方向上位在前述第1開口部與前述第2開口部之間,並且具有對前述第1內部空間以棚前後方向看是重疊的開口區域及對前述第2內部空間以棚前後方向看是重疊的開口區域,前述第1開口部與前述第3開口部形成供作業者進出前述第1路徑部分的第1出入口,前述第2開口部與前述第3開口部形成供作業者進出前述第 2路徑部分的第2出入口,前述開閉門構成為沿著前述棚水平寬度方向伸縮自如,且構成為可以切換自如成在前述棚水平寬度方向上伸長而關閉前述開口全體的關閉狀態、在前述棚水平寬度方向上短縮,僅關閉前述開口的前述第2開口部而開啟前述第1出入口的第1開啟狀態、及在前述棚水平寬度方向上短縮,僅關閉前述開口的前述第1開口部而開啟前述第2出入口的第2開啟狀態,則是適宜的。
藉由此構成,作業者在進入第1內部空間時,將開閉門切換成第1開啟狀態,從第1出入口進入第1內部空間。又,作業者在進入第2內部空間時,將開閉門切換成第2開啟狀態,從第2出入口進入第2內部空間。
由開閉門所開閉的開口是由排列在棚水平寬度方向上的第1開口部與第2開口部與第3開口部所形成,第1開口部及第3開口部形成第1出入口,第2開口部及第3開口部形成第2出入口。像這樣藉著由第1出入口與第2出入口兼用第3開口部,與第1出入口與第2出入口沒有兼用開口部的情況相比較,可以在沿著棚水平寬度方向上縮小開口。
因此,例如,以收納部相對於開口位在棚水平寬度方向的兩側之方式設置物品收納棚時,位在兩側的收納部的間隔在棚水平寬度方向上可以變窄,因此在物品保管設備中的物品收納効率可以提高。
又,若是在前述設置狀態中,前述隔離體構成為可以移動自如在前述隔離體的在棚前後方向上位於前述開口側的端部位在前述開口的前述第2開口部與前述第3開口 部的邊界處的第1隔離位置,與前述端部位在前述開口的前述第1開口部與前述第3開口部的邊界處的第2隔離位置;具備有使前述隔離體與前述開閉門連動的連動機構,可以隨著前述開閉門切換成前述第1開啟狀態,使前述隔離體移動至第1隔離位置,隨著前述開閉門切換成前述第2開啟狀態,使前述隔離體移動至第2隔離位置,則是適宜的。
藉由此構成,隨著開閉門切換成第1開啟狀態,隔離體移動至第1隔離位置,隨著開閉門切換成第2開啟狀態,隔離體移動至第2隔離位置。因此,與個別操作開閉門與隔離體的情況相比較,可以謀求作業的簡單化。

Claims (5)

  1. 一種物品保管設備,具備有以下部分:具備有複數個收納物品的收納部之物品收納棚;在前述物品收納棚的前方沿著棚水平寬度方向移動並搬送物品的複數台物品搬送裝置;控制前述複數台物品搬送裝置的動作之搬送控制裝置;該物品保管設備具有以下的特徵:前述複數台物品搬送裝置移動的移動路徑具有排列在前述棚水平寬度方向上的第1路徑部分及第2路徑部分,前述複數台物品搬送裝置包含有第1物品搬送裝置及第2物品搬送裝置,藉由前述搬送控制裝置選擇性實行的複數個搬送控制包含有第1搬送控制及第2搬送控制,前述第1搬送控制是使前述第1物品搬送裝置僅在前述第1路徑部分中移動並搬送物品,並且使前述第2物品搬送裝置僅在前述第2路徑部分中移動並搬送物品之搬送控制,前述第2搬送控制是將前述第1物品搬送裝置及前述第2物品搬送裝置之中所選擇的一方作為對象物品搬送裝置,若前述對象物品搬送裝置是前述第1物品搬送裝置時,使前述對象物品搬送裝置僅在前述第1路徑部 分中移動並搬送物品,若前述對象物品搬送裝置是前述第2物品搬送裝置時,使前述對象物品搬送裝置僅在前述第2路徑部分中移動並搬送物品之搬送控制,具備有隔離體,可切換自如成:設置在前述移動路徑的前述第1路徑部分及前述第2路徑部分之邊界處的路徑邊界處而截斷前述第1路徑部分及前述第2路徑部分的設置狀態、及從前述路徑邊界處退避而開放該路徑邊界處的退避狀態,前述複數個搬送控制包含有第3搬送控制,前述第3搬送控制是使前述對象物品搬送裝置在前述第1路徑部分及前述第2路徑部分之雙方移動並搬送物品的搬送控制,具備有在平面視中,包圍具有設置前述物品收納棚的設置空間及前述移動路徑雙方的空間之包圍體;前述包圍體具備有供作業者進出前述第1路徑部分的第1出入口、開閉該第1出入口的第1門、供作業者進出前述第2路徑部分的第2出入口、以及開閉該第2出入口的第2門;具備有檢測前述隔離體的設置之狀態的隔離狀態檢測裝置、及檢測前述第1門及前述第2門的開閉狀態之門狀態檢測裝置;前述搬送控制裝置依據前述隔離狀態檢測裝置及前述門狀態檢測裝置各自的檢測資訊,在前述第3搬送控制中,若前述第1門及前述第2門 雙方在關閉狀態下且前述隔離體在前述退避狀態下時,容許前述對象物品搬送裝置的移動,在前述第3搬送控制中,若前述第1門及前述第2門之中至少一方不是關閉狀態下時,或前述隔離體不是在前述退避狀態下時,禁止前述對象物品搬送裝置的移動。
  2. 一種物品保管設備,具備有以下部分:具備有複數個收納物品的收納部之物品收納棚;在前述物品收納棚的前方沿著棚水平寬度方向移動並搬送物品的複數台物品搬送裝置;控制前述複數台物品搬送裝置的動作之搬送控制裝置;該物品保管設備具有以下的特徵:前述複數台物品搬送裝置移動的移動路徑具有排列在前述棚水平寬度方向上的第1路徑部分及第2路徑部分,前述複數台物品搬送裝置包含有第1物品搬送裝置及第2物品搬送裝置,藉由前述搬送控制裝置選擇性實行的複數個搬送控制包含有第1搬送控制及第2搬送控制,前述第1搬送控制是使前述第1物品搬送裝置僅在前述第1路徑部分中移動並搬送物品,並且使前述第2物品搬送裝置僅在前述第2路徑部分中移動並搬送物品之搬送控制, 前述第2搬送控制是將前述第1物品搬送裝置及前述第2物品搬送裝置之中所選擇的一方作為對象物品搬送裝置,若前述對象物品搬送裝置是前述第1物品搬送裝置時,使前述對象物品搬送裝置僅在前述第1路徑部分中移動並搬送物品,若前述對象物品搬送裝置是前述第2物品搬送裝置時,使前述對象物品搬送裝置僅在前述第2路徑部分中移動並搬送物品之搬送控制,具備有隔離體,可切換自如成:設置在前述移動路徑的前述第1路徑部分及前述第2路徑部分之邊界處的路徑邊界處而截斷前述第1路徑部分及前述第2路徑部分的設置狀態、及從前述路徑邊界處退避而開放該路徑邊界處的退避狀態,具備有覆蓋具有前述物品收納棚的設置空間及前述移動路徑雙方的內部空間之壁體、對前述收納部所收納的物品供給非活性氣體的非活性氣體供給裝置、及控制前述非活性氣體供給裝置的動作的供給控制裝置;前述壁體具備有供作業者進出前述第1路徑部分的第1出入口、開閉該第1出入口的第1門、供作業者進出前述第2路徑部分的第2出入口、以及開閉該第2出入口的第2門;前述內部空間具有排列在前述棚水平寬度方向的第1內部空間及第2內部空間; 前述隔離體被設置成在前述設置狀態中位於前述第1內部空間及前述第2內部空間的邊界處,將前述內部空間切斷成前述第1內部空間及前述第2內部空間的狀態;藉由前述供給控制裝置選擇性實行的複數個供給控制包含有全供給控制及部分供給控制,前述全供給控制是對前述第1內部空間及前述第2內部空間雙方的前述收納部所收納的物品供給非活性氣體的供給控制,前述部分供給控制是對前述第1內部空間及前述第2內部空間中的其中一方的前述收納部所收納的物品供給非活性氣體的供給控制。
  3. 如請求項2的物品保管設備,其中,具備有檢測前述第1門及前述第2門的開閉狀態的門狀態檢測裝置,前述供給控制裝置依據前述門狀態檢測裝置的檢測資訊,若前述第1門及前述第2門雙方是關閉狀態時,容許對前述第1內部空間及前述第2內部空間雙方的前述收納部所收納的物品供給非活性氣體,若前述第1門從關閉狀態被開啟操作時或前述第2門從關閉狀態被開啟操作時,停止對前述第1內部空間及前述第2內部空間雙方的前述收納部所收納的物品供給非活性氣體。
  4. 一種物品保管設備,具備有以下部分:具備有複數個收納物品的收納部之物品收納棚; 在前述物品收納棚的前方沿著棚水平寬度方向移動並搬送物品的複數台物品搬送裝置;控制前述複數台物品搬送裝置的動作之搬送控制裝置;該物品保管設備具有以下的特徵:前述複數台物品搬送裝置移動的移動路徑具有排列在前述棚水平寬度方向上的第1路徑部分及第2路徑部分,前述複數台物品搬送裝置包含有第1物品搬送裝置及第2物品搬送裝置,藉由前述搬送控制裝置選擇性實行的複數個搬送控制包含有第1搬送控制及第2搬送控制,前述第1搬送控制是使前述第1物品搬送裝置僅在前述第1路徑部分中移動並搬送物品,並且使前述第2物品搬送裝置僅在前述第2路徑部分中移動並搬送物品之搬送控制,前述第2搬送控制是將前述第1物品搬送裝置及前述第2物品搬送裝置之中所選擇的一方作為對象物品搬送裝置,若前述對象物品搬送裝置是前述第1物品搬送裝置時,使前述對象物品搬送裝置僅在前述第1路徑部分中移動並搬送物品,若前述對象物品搬送裝置是前述第2物品搬送裝置時,使前述對象物品搬送裝置僅在前述第2路徑部分中移動並搬送物品之搬送控制,具備有隔離體,可切換自如成:設置在前述移動路 徑的前述第1路徑部分及前述第2路徑部分之邊界處的路徑邊界處而截斷前述第1路徑部分及前述第2路徑部分的設置狀態、及從前述路徑邊界處退避而開放該路徑邊界處的退避狀態,具備有覆蓋具有前述物品收納棚的設置空間及前述移動路徑雙方的內部空間之壁體,在前述壁體上具備有供作業者進出前述移動路徑的開口及開閉該開口的開閉門,前述內部空間具有排列在前述棚水平寬度方向的第1內部空間及第2內部空間,前述隔離體被設置成在前述設置狀態中位於前述第1內部空間及前述第2內部空間的邊界處,將前述內部空間切斷成前述第1內部空間及前述第2內部空間的狀態,前述開口在前述棚水平寬度方向上跨過前述路徑邊界處並擴展至前述第1內部空間及前述第2內部空間兩側的狀態下形成,並且由第1開口部、第2開口部、及第3開口部所形成,前述第1開口部是其全部的開口區域形成在對前述第1內部空間以棚前後方向看為重疊的位置上,前述第2開口部是其全部的開口區域形成在對前述第2內部空間以棚前後方向看為重疊的位置上,前述第3開口部是形成為在前述棚水平寬度方向上位在前述第1開口部與前述第2開口部之間,並且具有對 前述第1內部空間以棚前後方向看為重疊的開口區域及對前述第2內部空間以棚前後方向看為重疊的開口區域,前述第1開口部與前述第3開口部形成供作業者進出前述第1路徑部分的第1出入口,前述第2開口部與前述第3開口部形成供作業者進出前述第2路徑部分的第2出入口,前述開閉門是沿著前述棚水平寬度方向伸縮自如地構成,且構成為可以切換自如成在前述棚水平寬度方向上伸長而關閉前述開口全體的關閉狀態、在前述棚水平寬度方向上縮短,僅關閉前述開口的前述第2開口部而開啟前述第1出入口的第1開啟狀態、及在前述棚水平寬度方向上縮短,僅關閉前述開口的前述第1開口部而開啟前述第2出入口的第2開啟狀態。
  5. 如請求項4之物品保管設備,其中,前述隔離體於前述設置狀態中,構成為可以在第1隔離位置與第2隔離位置上移動自如,該第1隔離位置是前述隔離體之在棚前後方向上位於前述開口側的端部位在前述開口的前述第2開口部與前述第3開口部的邊界處,該第2隔離位置是前述端部位在前述開口的前述第1開口部與前述第3開口部的邊界處,具備有使前述隔離體與前述開閉門連動的連動機構,可以隨著前述開閉門切換成前述第1開啟狀態,使前述隔離體移動至第1隔離位置,隨著前述開閉門切換 成前述第2開啟狀態,使前述隔離體移動至第2隔離位置。
TW104144455A 2015-01-06 2015-12-30 物品保管設備 TWI657024B (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2015-001000 2015-01-06
JP2015001000A JP6304045B2 (ja) 2015-01-06 2015-01-06 物品保管設備

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TW201634362A TW201634362A (zh) 2016-10-01
TWI657024B true TWI657024B (zh) 2019-04-21

Family

ID=56342316

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW104144455A TWI657024B (zh) 2015-01-06 2015-12-30 物品保管設備

Country Status (5)

Country Link
US (1) US10160597B2 (zh)
JP (1) JP6304045B2 (zh)
KR (1) KR102424033B1 (zh)
CN (1) CN105752573B (zh)
TW (1) TWI657024B (zh)

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6217611B2 (ja) * 2014-12-02 2017-10-25 株式会社ダイフク 物品保管設備
JP6586935B2 (ja) * 2016-09-09 2019-10-09 株式会社ダイフク 物品搬送設備
CN110582454B (zh) * 2017-03-15 2021-08-03 伯克希尔格雷股份有限公司 用于存储、检索和处理包括可堆叠半圆形塔的对象的系统和方法
KR102633352B1 (ko) 2017-04-06 2024-02-06 다이후쿠 아메리카 코퍼레이션 수직 이송 장치를 포함한 보관 시스템
CN110831873B (zh) * 2017-06-30 2021-07-16 村田机械株式会社 搬运系统以及搬运方法
US10703563B2 (en) * 2017-11-10 2020-07-07 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Stocker
CN108820683A (zh) * 2018-07-27 2018-11-16 张家港建辰机械科技有限公司 应用于药仓阵列的药包分配输送系统
JP7201076B2 (ja) * 2019-05-14 2023-01-10 村田機械株式会社 ストッカシステム
JP7438156B2 (ja) 2020-03-31 2024-02-26 芝浦メカトロニクス株式会社 基板処理装置及び基板処理方法

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003267518A (ja) * 2002-03-14 2003-09-25 Daifuku Co Ltd 物流設備
JP2007001692A (ja) * 2005-06-22 2007-01-11 Murata Mach Ltd 搬送設備
TWM341097U (en) * 2008-05-06 2008-09-21 Cyuan Jin Technology Ltd Company Improved structure of electrically-operated folding door
JP2013140893A (ja) * 2012-01-05 2013-07-18 Daifuku Co Ltd 保管棚用の不活性ガス注入装置
TWM487954U (zh) * 2014-06-20 2014-10-11 chao-xing Zheng 多片式隱藏門結構

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008007223A (ja) * 2006-06-27 2008-01-17 Daifuku Co Ltd 物品収納設備
JP4378659B2 (ja) 2007-06-28 2009-12-09 株式会社ダイフク 物品保管庫及びクリーンルーム用の物品保管設備
TWI408092B (zh) * 2010-06-18 2013-09-11 Jgc Corp Processing equipment
US20150098775A1 (en) * 2013-10-09 2015-04-09 Sergey N. Razumov Automatic order picking system and method in retail facility

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003267518A (ja) * 2002-03-14 2003-09-25 Daifuku Co Ltd 物流設備
JP2007001692A (ja) * 2005-06-22 2007-01-11 Murata Mach Ltd 搬送設備
TWM341097U (en) * 2008-05-06 2008-09-21 Cyuan Jin Technology Ltd Company Improved structure of electrically-operated folding door
JP2013140893A (ja) * 2012-01-05 2013-07-18 Daifuku Co Ltd 保管棚用の不活性ガス注入装置
TWM487954U (zh) * 2014-06-20 2014-10-11 chao-xing Zheng 多片式隱藏門結構

Also Published As

Publication number Publication date
TW201634362A (zh) 2016-10-01
CN105752573B (zh) 2019-05-28
US20160332815A1 (en) 2016-11-17
JP2016124687A (ja) 2016-07-11
KR20160084809A (ko) 2016-07-14
CN105752573A (zh) 2016-07-13
KR102424033B1 (ko) 2022-07-21
JP6304045B2 (ja) 2018-04-04
US10160597B2 (en) 2018-12-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI657024B (zh) 物品保管設備
TWI693187B (zh) 物品搬送設備
US9815624B2 (en) Inter-floor transport facility
TWI731185B (zh) 物品搬送設備
US20140112741A1 (en) Article Storage Facility and Article Transport Facility
TW201735226A (zh) 容器搬送設備
TW201509754A (zh) 保管設備
JP6786976B2 (ja) 物品搬送設備
KR102500718B1 (ko) 물품 보관 설비
JP2011042438A (ja) 物品搬送設備
JP6863263B2 (ja) 物品収納設備
TW201811633A (zh) 物品收納設備
JP2017208437A (ja) 物品搬送設備
JP2015009952A (ja) 自動倉庫及びその運転方法
JP5454880B2 (ja) 物品搬送設備
JP2010265084A (ja) 工事用昇降装置
JP2012001344A (ja) 処理設備
JP4708472B2 (ja) 処理設備
JP2018039655A (ja) 物品搬送設備
JP2010035441A (ja) 栽培設備