KR102424033B1

KR102424033B1 - 물품 보관 설비

Info

Publication number: KR102424033B1
Application number: KR1020150191342A
Authority: KR
Inventors: 도시히토 우에다; 히로시 오쓰카; 다케시 아베
Original assignee: 가부시키가이샤 다이후쿠
Priority date: 2015-01-06
Filing date: 2015-12-31
Publication date: 2022-07-21
Also published as: CN105752573A; TWI657024B; CN105752573B; JP2016124687A; US10160597B2; KR20160084809A; JP6304045B2; TW201634362A; US20160332815A1

Abstract

반송 제어 장치에 의해 선택적으로 실행되는 복수의 반송 제어에, 제1 물품 반송 장치와 제2 물품 반송 장치 중 선택된 한쪽을 대상 물품 반송 장치로 하여, 대상 물품 반송 장치가 제1 물품 반송 장치일 경우에는 대상 물품 반송 장치를 제1 경로 부분만을 이동시켜 물품을 반송하고, 대상 물품 반송 장치가 제2 물품 반송 장치일 경우에는 대상 물품 반송 장치를 제2 경로 부분만을 이동시켜 물품을 반송하는 제2 반송 제어가 포함된다. 물품 보관 설비는, 이동 경로에서의 제1 경로 부분과 제2 경로 부분과의 경계 개소인 경로 경계 개소에 설치되어 제1 경로 부분과 제2 경로 부분을 차단하는 설치 상태와, 경로 경계 개소로부터 퇴피시켜 상기 경로 경계 개소를 개방하는 퇴피 상태로 전환 가능한 칸막이체를 구비한다.

Description

물품 보관 설비{ARTICLE STORAGE FACILITY}

본 발명은, 물품을 수납하는 수납부를 복수 구비한 물품 수납 선반과, 물품 수납 선반의 전방에 있어서 선반 가로 폭 방향을 따라 이동하여 물품을 반송(搬送)하는 물품 반송 장치와, 물품 반송 장치의 작동을 제어하는 반송 제어 장치를 구비하고 있는 물품 보관 설비에 관한 것이다

상기와 같은 물품 보관 설비의 일례가, 일본 공개특허 제2009―7124호 공보(특허 문헌 1)에 기재되어 있다. 특허 문헌 1의 물품 보관 설비에서는, 물품 수납 선반의 전방에 있어서 선반 가로 폭 방향을 따라 물품 반송 장치가 이동하여 상기 물품 반송 장치에 의해 물품을 반송하도록 구성되어 있다.

이와 같은 물품 보관 설비에 있어서, 물품 반송 장치(article transport device)로서 제1 물품 반송 장치와 제2 물품 반송 장치와의 2대의 물품 반송 장치를 설치하는 경우, 제1 물품 반송 장치가 이동하는 이동 경로[제1 경로 부분(path portion)이라고 함]와 제2 물품 반송 장치가 이동하는 이동 경로(제2 경로 부분이라고 함)를 선반 가로 폭 방향으로 근접 또는 연속하여 배열되는 상태로 구비하는 것을 생각할 수 있다. 이와 같이, 제1 경로 부분과 제2 경로 부분을 선반 가로 폭 방향으로 배열되는 상태로 구비함으로써, 이들 제1 경로 부분과 제2 경로 부분을 선반 가로 폭 방향이나 선반 전후 방향으로 이격시켜 구비하는 경우와 비교하여, 물품 보관 설비를 작은 바닥 면적에서 설치가 용이해진다.

또한, 물품 보관 설비에 있어서 단일의 물품 반송 장치를 구비하는 경우에는, 물품 반송 장치를 제어하는 반송 제어 장치에 의해, 물품 반송 장치가 이동 경로의 전체를 이동하는 전체 경로 반송 제어와, 물품 반송 장치가 이동 경로의 일부를 이동하여 물품을 반송하는 일부 경로 반송 제어를, 선택적으로 실행하도록 구성하는 것이 요구되고 있다. 즉, 통상 시에는 전체 경로 반송 제어를 실행하여 물품 반송 장치에 의해 물품을 반송하고, 물품 수납 선반에 대한 유지보수 작업 등에 의해 작업자가 이동 경로에 진입하여 작업을 행할 필요가 있는 경우에는, 일부 경로 반송 제어를 실행하여, 작업자가 이동 경로에 진입하여 유지보수 작업을 행하면서, 이동 경로에서의 작업자가 진입하고 있는 경로 부분(유지보수용 경로 부분이라고 함)을 제외한 부분(반송 작업용 경로 부분이라고 함)에서 물품 반송 장치를 이동시켜 물품의 반송을 계속하여 행할 수 있는 구성이 요구되고 있다.

일본 공개특허 제2009―7124호 공보

이동 경로에서의 작업자가 진입하고 있는 경로 부분을 제외한 부분에서 물품 반송 장치를 이동시켜 물품의 반송을 계속하여 행하는 경우에, 작업자가, 이동하는 물품 반송 장치에 접촉될 우려가 있다.

구체적으로는, 물품 반송 장치로서 제1 물품 반송 장치와 제2 물품 반송 장치와의 2대의 물품 반송 장치를 설치한 경우에는, 예를 들면, 제1 경로 부분에서 제1 물품 반송 장치나 물품 수납 선반에 대한 유지보수 작업을 행하고 있을 때, 작업자가 제1 경로 부분으로부터 제2 경로 부분으로 진입하면(stepped out), 제2 경로 부분에서 이동하고 있는 제2 물품 반송 장치에 작업자가 접촉될 우려가 있다.

또한, 물품 반송 장치를 제어하는 반송 제어 장치에 의해 전체 경로 반송 제어와 일부 경로 반송 제어를 선택적으로 실행하는 경우에는, 예를 들면, 유지보수용 경로 부분에서 물품 수납 선반에 대한 유지보수 작업을 행하고 있을 때, 작업자가 유지보수용 경로 부분으로부터 반송 작업용 경로 부분으로 진입하면, 반송 작업용 경로 부분에서 이동하고 있는 물품 반송 장치에 작업자가 접촉될 우려가 있다.

그래서, 작업자가 이동 경로의 일부에 진입한 경우라도 이동 경로의 남은 부분(remaining part)에서 물품 반송 장치에 의한 물품의 반송을 계속하면서, 이동 경로에 진입하고 있는 작업자가 물품 반송 장치에 접촉되는 것을 미연에 방지할 수 있는 물품 보관 설비가 요구된다.

상기 문제점을 해결하기 위하여, 물품 보관 설비의 제1 특징적 구성은, 물품을 수납하는 수납부를 복수 구비한 물품 수납 선반과, 상기 물품 수납 선반의 전방에 있어서 선반 가로 폭 방향을 따라 이동하여 물품을 반송하는 복수의 물품 반송 장치와, 상기 복수의 물품 반송 장치의 작동을 제어하는 반송 제어 장치를 구비하고 있는 물품 보관 설비에 있어서,

상기 복수의 물품 반송 장치가 이동하는 이동 경로가, 상기 선반 가로 폭 방향으로 배열되는 제1 경로 부분과 제2 경로 부분을 가지고, 상기 복수의 물품 반송 장치는, 제1 물품 반송 장치와 제2 물품 반송 장치를 포함하고, 상기 반송 제어 장치에 의해 선택적으로 실행되는 복수의 반송 제어는, 제1 반송 제어와 제2 반송 제어를 포함하고, 상기 제1 반송 제어는, 상기 제1 물품 반송 장치를 상기 제1 경로 부분만을 이동시켜 물품을 반송하고, 또한 상기 제2 물품 반송 장치를 상기 제2 경로 부분만을 이동시켜 물품을 반송하는 반송 제어이며, 상기 제2 반송 제어는, 상기 제1 물품 반송 장치와 상기 제2 물품 반송 장치 중 선택된 한쪽을 대상 물품 반송 장치로 하여, 상기 대상 물품 반송 장치가 상기 제1 물품 반송 장치일 경우에는 상기 대상 물품 반송 장치를 상기 제1 경로 부분만을 이동시켜 물품을 반송하고, 상기 대상 물품 반송 장치가 상기 제2 물품 반송 장치일 경우에는 상기 대상 물품 반송 장치를 상기 제2 경로 부분만을 이동시켜 물품을 반송하는 반송 제어이며, 상기 이동 경로에서의 상기 제1 경로 부분과 상기 제2 경로 부분과의 경계 개소인 경로 경계 개소(箇所)에 설치되어 상기 제1 경로 부분과 상기 제2 경로 부분을 차단하는 설치 상태(installed state)와, 상기 경로 경계 개소로부터 퇴피시켜 상기 경로 경계 개소를 개방하는 퇴피 상태(retracted state)로 전환 가능한 칸막이체(partition body)가 구비되어 있는 점에 있다.

이 제1 특징적 구성에 의하면, 반송 제어 장치가 제1 반송 제어를 실행함으로써, 제1 물품 반송 장치가 제1 경로 부분을 이동하여 물품을 반송하는 동시에, 제2 물품 반송 장치가 제2 경로 부분을 이동하여 물품을 반송한다. 이와 같이, 제1 경로 부분에서 제1 물품 반송 장치를 이동시켜 물품을 반송하는 것과, 제2 경로 부분에서 제2 물품 반송 장치를 이동시켜 물품을 반송하는 것과의 양쪽을 행할 수 있다.

또한, 작업자가 제1 물품 반송 장치와 제2 물품 반송 장치 중 어느 한쪽의 유지보수 작업을 행하는 경우에는, 유지보수 작업의 대상이 아닌 물품 반송 장치를 선택된 물품 반송 장치(대상 물품 반송 장치)로 하여, 반송 제어 장치가 제2 반송 제어를 실행함으로써, 제1 이동 경로 또는 제2 이동 경로에 있어서 작업자가 물품 반송 장치의 유지보수 작업을 행하면서, 남은 제2 이동 경로 또는 제1 이동 경로에 있어서 대상 물품 반송 장치를 이동시켜 물품을 반송할 수 있다.

그런데, 예를 들면, 제1 경로 부분에서 제1 물품 반송 장치에 대한 유지보수 작업을 행하고 있는 작업자가 제2 경로 부분으로 진입한 경우, 제2 경로 부분에서 이동하는 제2 물품 반송 장치에 작업자가 접촉될 우려가 있다.

그래서, 설치 상태와 퇴피 상태로 전환 가능한 칸막이체를 구비하고, 그 칸막이체를 설치 상태로 설치하여 둠으로써, 작업자가 제2 경로 부분에 진입했을 때는 작업자가 설치 상태의 칸막이체에 접촉됨으로써, 작업자가 제2 경로 부분에 진입하는 것을 물리적으로 방지할 수 있다. 또한, 작업자가 설치 상태의 칸막이체의 존재를 확인하여 자신의 위치를 인식함으로써, 작업자가 제2 경로 부분에 진입하는 것을 미연에 방지할 수 있다. 이 결과, 작업자가, 이동하는 물품 반송 장치에 접촉되는 것을 회피할 수 있다.

이와 같이, 작업자가 이동 경로의 일부에 진입한 경우라도 이동 경로의 남은 부분에서 물품 반송 장치에 의한 물품의 반송을 계속하면서, 이동 경로에 진입하고 있는 작업자가 물품 반송 장치에 접촉되는 것을 미연에 방지할 수 있다.

상기 문제점을 해결하기 위해, 물품 보관 설비의 제2 특징적 구성은, 물품을 수납하는 수납부를 복수 구비한 물품 수납 선반과, 상기 물품 수납 선반의 전방에 있어서 선반 가로 폭 방향을 따라 이동하여 물품을 반송하는 물품 반송 장치와, 상기 물품 반송 장치의 작동을 제어하는 반송 제어 장치를 구비하고 있는 물품 보관 설비에 있어서,

상기 물품 반송 장치가 이동하는 이동 경로가, 상기 선반 가로 폭 방향으로 배열되는 제1 경로 부분과 제2 경로 부분을 가지고, 상기 반송 제어 장치에 의해 선택적으로 실행되는 복수의 반송 제어는, 전체 경로 반송 제어와 일부 경로 반송 제어를 포함하고, 상기 전체 경로 반송 제어는, 상기 물품 반송 장치를 상기 제1 경로 부분 및 상기 제2 경로 부분의 양쪽을 이동시켜 물품을 반송하는 반송 제어이며, 상기 일부 경로 반송 제어는, 상기 물품 반송 장치를 상기 제1 경로 부분과 상기 제2 경로 부분 중 어느 한쪽의 경로 부분을 이동시켜 물품을 반송하는 반송 제어이며, 상기 이동 경로에서의 상기 제1 경로 부분과 상기 제2 경로 부분과의 경계 개소인 경로 경계 개소에 설치되어 상기 제1 경로 부분과 상기 제2 경로 부분을 차단하는 설치 상태와, 상기 경로 경계 개소로부터 퇴피시켜 상기 경로 경계 개소를 개방하는 퇴피 상태로 전환 가능한 칸막이체가 구비되어 있는 점에 있다.

이 구성에 의하면, 반송 제어 장치가 전체 경로 반송 제어를 실행함으로써, 제1 경로 부분 및 제2 경로 부분의 양쪽에서 물품 반송 장치가 이동하여 물품이 반송된다.

또한, 예를 들면, 작업자가 제1 경로 부분에서 물품 수납 선반 등의 유지보수 작업을 행하는 경우에는, 반송 제어 장치가 일부 경로 반송 제어를 실행함으로써, 작업자가 유지보수 작업을 행하지 않는 제2 경로 부분만에서 물품 반송 장치를 이동시켜 물품을 반송할 수 있다. 이와 같이, 제1 이동 경로 또는 제2 이동 경로에 있어서 작업자가 물품 수납 선반 등의 유지보수 작업을 행하면서, 남은 제2 이동 경로 또는 제1 이동 경로에 있어서 물품 반송 장치를 이동시켜 물품을 반송할 수 있다.

그런데, 예를 들면, 제1 경로 부분에서 물품 수납 선반 등에 대한 유지보수 작업을 행하고 있는 작업자가 제2 경로 부분으로 진입한 경우, 제2 경로 부분에서 이동하는 물품 반송 장치에 작업자가 접촉될 우려가 있다.

그래서, 설치 상태와 퇴피 상태로 전환 가능한 칸막이체를 구비하고, 그 칸막이체를 설치 상태로 설치하여 둠으로써, 작업자가 제2 경로 부분에 진입했을 때는 작업자가 설치 상태의 칸막이체에 접촉됨으로써 작업자가 제2 경로 부분에 진입하는 것을 물리적으로 방지할 수 있다. 또한, 작업자가 설치 상태의 칸막이체의 존재를 확인하여 자신의 위치를 인식함으로써, 작업자가 제2 경로 부분에 진입하는 것을 미연에 방지할 수 있다. 이 결과, 작업자가, 이동하는 물품 반송 장치에 접촉되는 것을 회피할 수 있다.

도 1은, 실시형태에 관한 물품 보관 설비의 정면도이며,
도 2는, 실시형태에 관한 물품 보관 설비의 평면도이며,
도 3은, 실시형태에 관한 물품 보관 설비의 칸막이체를 나타낸 정면도이며,
도 4는, 개폐 도어의 폐쇄 상태를 나타낸 물품 보관 설비의 주요부 평면도이며,
도 5는, 개폐 도어의 제2 개방 상태를 나타낸 물품 보관 설비의 주요부 평면도이며,
도 6은, 개폐 도어의 제1 개방 상태를 나타낸 물품 보관 설비의 주요부 평면도이며,
도 7은, 제어 블록도이며,
도 8은, 칸막이체의 설치 상태 및 퇴피 상태를 나타낸 물품 보관 설비의 주요부 사시도이며,
도 9는, 개폐 도어의 제1 개방 상태와 제2 개방 상태를 나타낸 물품 보관 설비의 주요부 사시도이며,
도 10은, 물품 보관 설비의 평면도이며,
도 11은, 센서의 검출 상태와 급전(給電) 장치에 의한 급전과의 관계를 나타낸 도면이다.

이하, 물품 보관 설비의 실시형태를 도면을 참조하여 설명한다.

도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이, 물품 보관 설비에는, 물품 수납 선반(2)과, 스태커 크레인(stacker crane)(3)과, 벽체(K)와, 칸막이체(5)와, 입출고(入出庫) 컨베이어(6)가 구비되어 있다. 물품 수납 선반(2)은, 물품으로서의 용기(W)를 수납하는 수납부(1)를 복수 구비하고 있다. 스태커 크레인(3)은, 물품 수납 선반(2)의 전방에 있어서 선반 가로 폭 방향을 따라 주행하여 용기(W)를 반송한다. 벽체(K)는, 내부 공간(4)을 덮도록 설치된다. 여기서, 내부 공간(4)은, 물품 수납 선반(2)이 설치되어 있는 설치 공간(10) 및 스태커 크레인(3)이 주행하는 주행 경로(8)의 양쪽을 가지는 공간이다. 칸막이체(5)는, 설치 상태와 퇴피 상태로 전환 가능하게 구성되며, 설치 상태에 있어서, 내부 공간(4)을 선반 가로 폭 방향을 따라 제1 내부 공간(4a)과 제2 내부 공간(4b)으로 분단하는 상태로 구획한다. 입출고 컨베이어(6)는, 벽체(K)를 관통하는 상태로 설치되어 용기(W)를 탑재 반송한다.

물품 보관 설비는, 청정 공기가 천정측으로부터 바닥측을 향해 하방향으로 통류하는 다운플로우식(downflow-type)의 청정실 내에 설치되어 있다. 도 1에 나타낸 바와 같이, 청정실의 바닥부(F)는, 하부 바닥(F2)과 하부 바닥(F2)보다 위쪽에 설치된 상부 바닥(F1)에 의해 구성되어 있고, 하부 바닥(F2)과 상부 바닥(F1)과의 사이에 바닥 아래 공간이 형성되고, 상부 바닥(F1)과 천정과의 사이에 작업 공간이 형성되어 있다. 상부 바닥(F1)은, 그레이팅 바닥(grating floor) 바닥이며, 상하 방향으로 관통하는 통기공이 복수 형성되어 있다. 하부 바닥(F2)은, 통기공을 가지지 않는 바닥이며, 본 실시형태에서는, 구멍이 없는 형상의 콘크리트에 의해 구성되어 있다.

도 2에 나타낸 바와 같이, 내부 공간(4)은, 선반 가로 폭 방향으로 배열되는 제1 내부 공간(4a)과 제2 내부 공간(4b)을 가지고 있고, 제1 내부 공간(4a) 및 제2 내부 공간(4b)의 각각에 있어서 한 쌍의 물품 수납 선반(2)이 대향하는 상태로 구비되어 있다. 물품 수납 선반(2)의 각각에는, 수납부(1)가 상하 방향 및 선반 가로 폭 방향으로 배열되는 상태로 복수 구비되어 있다. 그리고, 복수의 수납부(1)의 각각에는, 수납한 용기(W)를 탑재 지지하는 탑재체(7)가 구비되어 있다. 한 쌍의 물품 수납 선반(2)의 한쪽[도 1 및 도 2에 있어서 좌측에 위치하는 물품 수납 선반(2)]에는, 수납부(1)에 수납되어 있는 용기(W)에 질소 가스를 공급하는 질소 가스 공급 장치(N)가 구비되어 있다. 그리고, 이 질소 가스 공급 장치(N)가, 수납부(1)에 수납되어 있는 용기(W)에 불활성 기체(氣體)를 공급하는 불활성 기체 공급 장치에 상당한다.

입출고 컨베이어(6)는, 벽체(K)의 외측[벽체(K)에 의해 덮히는 내부 공간(4)의 외측]에 위치하는 외부 이송탑재 개소(external transfer area)(6o)와, 벽체(K)의 내측[내부 공간(4)]에 위치하는 내부 이송탑재 개소(6i)와의 사이에서, 용기(W)를 탑재 반송하도록 구성되어 있다. 도시는 생략하지만, 입출고 컨베이어(6)는, 제1 내부 공간(4a) 및 제2 내부 공간(4b)의 각각에 대하여 구비되어 있다. 높은 위치에 설치되어 있는 입출고 컨베이어(6)의 외부 이송탑재 개소(6o)에 대하여는, 천정 반송차(搬送車)(B)가 용기(W)의 탑재하강(loading and unloading)을 행하고, 낮은 위치에 설치되어 있는 입출고 컨베이어(6)(도시하지 않음)의 외부 이송탑재 개소(6o)에 대하여는, 작업자가 용기(W)의 탑재하강을 행하도록 구비되어 있다.

도 2에 나타낸 바와 같이, 스태커 크레인(3)이 주행하는 주행 경로(8)는, 선반 가로 폭 방향으로 배열되는 제1 경로 부분(8a)과 제2 경로 부분(8b)을 가진다. 스태커 크레인(3)으로서, 제1 내부 공간(4a)을 선반 가로 폭 방향을 따라 주행하여 제1 내부 공간(4a)에 있어서 용기(W)를 반송하는 제1 스태커 크레인(3a)과, 제2 내부 공간(4b)을 선반 가로 폭 방향을 따라 주행하여 제2 내부 공간(4b)에 있어서 용기(W)를 반송하는 제2 스태커 크레인(3b)이 구비되어 있다.

그리고, 스태커 크레인(3)이, 선반 가로 폭 방향을 따라 이동하는 물품 반송 장치에 상당하고, 주행 경로(8)가, 물품 반송 장치가 이동하는 이동 경로에 상당한다. 또한, 제1 스태커 크레인(3a)이, 제1 경로 부분(8a)을 이동하여 물품을 반송하는 제1 물품 반송 장치에 상당하며, 제2 스태커 크레인(3b)이, 제2 경로 부분(8b)을 이동하여 물품을 반송하는 제2 물품 반송 장치에 상당한다.

주행 경로(8)는, 대향하는 한 쌍의 물품 수납 선반(2)의 사이에 형성되어 있다. 주행 경로(8)의 제1 경로 부분(8a)은 제1 내부 공간(4a)에 형성되고, 주행 경로(8)의 제2 경로 부분(8b)은 제2 내부 공간(4b)에 형성되어 있다. 주행 경로(8)는, 선반 가로 폭 방향을 따라 제1 경로 부분(8a)과 제2 경로 부분(8b)으로 구분되어 있고, 제1 경로 부분(8a)과 제2 경로 부분(8b)은 중복되어 있지 않다.

주행 경로(8)에는, 선반 가로 폭 방향[주행 경로(8)의 길이 방향]을 따라 주행 레일(9)이 설치되어 있고, 이 주행 레일(9)은, 제1 경로 부분(8a)으로부터 제2 경로 부분(8b)에 걸쳐 일련으로 형성되어 있다.

제1 스태커 크레인(3a)과 제2 스태커 크레인(3b) 각각은, 주행 레일(9) 상을 선반 가로 폭 방향을 따라 주행하는 주행 대차(traveling vehicle)(11)와, 그 주행 대차(11)에 세워 설치된 마스트(mast)(12)를 따라 승강 이동하는 승강대(13)와, 승강대(13)에 지지된 이송탑재 장치(transfer device)(14)를 구비하고 있다. 이송탑재 장치(14)는, 수납부(1)나 입출고 컨베이어(6)의 내부 이송탑재 개소(6i)와 자기(自己)와의 사이에서, 용기(W)를 이송탑재한다.

물품 보관 설비에서는, 입출고 컨베이어(6)의 외부 이송탑재 개소(6o)에 용기(W)가 탑재되면, 상기 용기(W)는, 입출고 컨베이어(6)에 의해 외부 이송탑재 개소(6o)로부터 내부 이송탑재 개소(6i)로 탑재 반송된다. 그리고, 제1 내부 공간(4a)에서는, 제1 스태커 크레인(3a)에 의해 내부 이송탑재 개소(6i)로부터 수납부(1)에 용기(W)가 반송되고, 제2 내부 공간(4b)에서는, 제2 스태커 크레인(3b)에 의해 내부 이송탑재 개소(6i)로부터 수납부(1)에 용기(W)가 반송된다.

또한, 제1 내부 공간(4a)에서는, 제1 스태커 크레인(3a)에 의해 용기(W)가 수납부(1)로부터 입출고 컨베이어(6)의 내부 이송탑재 개소(6i)로 반송되고, 제2 내부 공간(4b)에서는, 제2 스태커 크레인(3b)에 의해 용기(W)가 수납부(1)로부터 입출고 컨베이어(6)의 내부 이송탑재 개소(6i)로 반송된다. 그리고, 내부 이송탑재 개소(6i)의 용기(W)는, 입출고 컨베이어(6)에 의해 내부 이송탑재 개소(6i)로부터 외부 이송탑재 개소(6o)로 탑재 반송된 후, 천정 반송차(B) 또는 작업자에 의해 외부 이송탑재 개소(6o)로부터 내려진다.

이와 같이, 제1 스태커 크레인(3a)은, 제1 내부 공간(4a)에 있어서 내부 이송탑재 개소(6i)와 수납부(1)와의 사이에서 용기(W)를 반송한다. 또한, 제2 스태커 크레인(3b)은, 제2 내부 공간(4b)에 있어서 내부 이송탑재 개소(6i)와 수납부(1)와의 사이에서 용기(W)를 반송한다.

상세한 설명은 생략하지만, 용기(W)의 바닥면에는, 질소 가스 공급 장치(N)의 토출(吐出) 노즐로부터 토출된 질소 가스를 용기(W) 내에 급기(給氣)하기 위해 급기구와, 용기(W) 내의 기체를 배출하기 위한 배기구가 구비되어 있다. 그리고, 용기(W)는, 기판 출입용의 기판 출입구를 커버체에 의해 닫고, 급기구 및 배기구의 각각을 개폐 밸브에 의해 폐쇄함으로써, 기밀성을 가지도록 구성되어 있다.

용기(W)의 급기구에 질소 가스 공급 장치(N)의 토출 노즐이 접속되어 그 토출 노즐로부터 질소 가스가 분출되면, 그 분출된 질소 가스의 압력에 의해 급기구의 개폐 밸브가 개방 조작되어, 질소 가스가 용기(W) 내에 공급된다. 또한, 질소 가스 공급 장치(N)에 의한 질소 가스의 공급에 의해 용기(W) 내의 압력이 높아지면 배기구의 개폐 밸브가 개방 조작되어, 용기(W) 내의 기체가 용기(W)의 배기구로부터 배기되도록 구성되어 있다.

그리고, 본 실시형태에서는, 반도체 기판을 수용하는 FOUP(Front Opening Unified Pod)를 용기(W)(물품)로 하고 있다.

도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이, 벽체(K)는, 물품 수납 선반(2)이 설치되어 있는 설치 공간(10)과 스태커 크레인(3)의 주행 경로(8)와의 양쪽을 가지는 내부 공간(4)을, 덮은 상태로 설치되어 있다.

내부 공간(4)의 측 주위는, 벽체(K)에서의 구멍이 없는 형상의 측벽부(K1)에 의해 에워싸져 있다. 내부 공간(4)의 천정은, 다공형의 천정벽부에 의해 폐쇄되어 있고, 천정측으로부터 내부 공간(4)에 청정 공기가 유입되도록 구성되어 있다. 또한, 벽체(K)에서의 상부 바닥(F1)보다 아래쪽에 위치하는 부분에는, 내부 공간(4)의 기체를 내부 공간(4)의 밖으로 배기하는 기체 배출부(22)가 구비되어 있다. 그러므로, 벽체(K)의 천정측으로부터 내부 공간(4)에 청정 공기가 유입되고, 그 유입된 청정 공기가 내부 공간(4)을 천정측으로부터 바닥측을 향해 하방향으로 통류한다. 그리고, 상기 청정 공기는, 수납부(1)에 수납되어 있는 용기(W)로부터 배출된 질소 가스와 함께, 기체 배출부(22)로부터 내부 공간(4)의 밖으로 배기된다.

그리고, 벽체(K)는, 측벽부(K1)에 의해 내부 공간(4)을 평면에서 볼 때 에워싸고 있고, 이 벽체(K)[측벽부(K1)]가, 물품 수납 선반(2)을 설치하는 설치 공간(10)과 주행 경로(8)와의 양쪽을 가지는 공간을 에워싸는 포위체(surrounding body)에 상당한다.

도 2, 도 3 및 도 8에 나타낸 바와 같이, 벽체(K)에, 주행 경로(8)에 작업자가 출입하는 개구(23)와 상기 개구(23)를 폐쇄하는 개폐 도어(24)가 구비되어 있다.

벽체(K)에는, 개구(23)를 에워싸는 형상으로 형성된 구멍이 없는 형상의 출입구부(K2)가 구비되어 있다. 출입구부(K2)는, 선반 전후 방향에서 볼 때 각이진 O 자형(angular O-shape)으로 형성되어 있다. 이 출입구부(K2)에서의 선반 전후 방향의 주행 경로(8)가 존재하는 측의 단부(端部)에 개폐 도어(24)가 구비되고, 출입구부(K2)에서의 선반 전후 방향의 주행 경로(8)가 존재하는 측과는 반대측의 단부가 측벽부(K1)에 접속되어 있다. 그리고, 출입구부(K2)는, 출입구부(K2)에서의 선반 전후 방향의 주행 경로(8)가 존재하는 측의 단부가 주행 경로(8) 내로 돌출되지 않도록 구비되어 있다.

또한, 벽체(K)에는, 출입구부(K2)의 바로 위에서의 제1 내부 공간(4a)과 제2 내부 공간(4b)과의 경계 개소에 위치하는 구멍이 없는 형상의 차폐부(non-porous shield portion)(K3)가 구비되어 있다.

도 4∼도 6에 나타낸 바와 같이, 개폐 도어(24)는, 선반 가로 폭 방향의 양 단부의 각각이 도어용 지주 부재(strut member)(25)에 대하여 세로 축심(상하 방향을 따르는 축심) 주위로 요동(搖動) 가능하게 연결되고, 또한 선반 가로 폭 방향의 중앙부가 세로 축심 주위에 굴곡 가능하게 구성되어 있다. 개폐 도어(24)는, 중앙부를 선반 전후 방향으로 압인(押引) 조작함으로써, 개폐 도어(24)의 중앙부를 절곡하여 개폐 도어(24)의 양 단부를 근접시킨 단축(短縮) 자세(도 5, 도 6 및 도 9에 나타낸 자세)와, 개폐 도어(24)의 중앙부를 신장(伸長)시켜 개폐 도어(24)의 양 단부를 이격시킨 신장 자세(도 4 및 도 8에 나타낸 자세)로 전환 가능하게 구성되어 있다. 이와 같이, 개폐 도어(24)는, 굴신(屈伸)시킴으로써 단축 자세와 신장 자세로 선반 가로 폭 방향으로 신축(伸縮) 가능하게 구성되어 있다.

그리고, 개폐 도어(24)는, 도 4 및 도 8에 나타낸 바와 같이, 신장 자세로 전환함으로써(폐쇄 상태로 전환함으로써), 개구(23)의 전체를 닫을 수 있다. 또한, 개폐 도어(24)는, 도 6 및 도 9의 우측에 나타낸 바와 같이, 단축 자세로 전환하여 선반 가로 폭 방향에서 제2 내부 공간(4b) 측으로 가까이 함으로써(제1 개방 상태로 전환함으로써), 제1 출입구(23A)를 개방하는 것이 가능하다. 또한, 개폐 도어(24)는, 도 5 및 도 9의 좌측에 나타낸 바와 같이, 단축 자세로 전환하여 선반 가로 폭 방향에서 제1 내부 공간(4a) 측으로 가까이 함으로써(제2 개방 상태로 전환함으로써), 제2 출입구(23B)를 개방하는 것이 가능하다. 이와 같이, 개폐 도어(24)는, 폐쇄 상태와 제1 개방 상태와 제2 개방 상태로 전환 가능하게 구성되어 있다.

다음에, 제1 출입구(23A)나 제2 출입구(23B)에 대하여 설명을 추가한다.

도 4에 나타낸 바와 같이, 개구(23)는, 선반 가로 폭 방향에서 경로 경계 개소(8c)를 가로질러 제1 내부 공간(4a)과 제2 내부 공간(4b)과의 양측으로 넓어지는 상태로 형성되어 있다. 개구(23)는, 제1 개구부(23a)와 제2 개구부(23b)와 제3 개구부(23c)로 형성되어 있다. 그리고, 경로 경계 개소(8c)란, 주행 경로(8)에서의 제1 경로 부분(8a)과 제2 경로 부분(8b)과의 경계로 되어 있는 개소이며, 제1 경로 부분(8a)과 제2 경로 부분(8b)은 연속하여 배열되는 상태로 구비되어 있다.

제1 개구부(23a)는, 그 모든 개구 영역이 제1 내부 공간(4a)에 대하여 선반 전후 방향에서 볼 때 중첩되는 위치에 형성되어 있다. 제2 개구부(23b)는, 그 모든 개구 영역이 제2 내부 공간(4b)에 대하여 선반 전후 방향에서 볼 때 중첩되는 위치에 형성되어 있다. 제3 개구부(23c)는, 선반 가로 폭 방향에서 제1 개구부(23a)와 제2 개구부(23b)와의 사이에 위치한다. 제3 개구부(23c)는, 제1 내부 공간(4a)에 대하여 선반 전후 방향에서 볼 때 중첩되는 개구 영역과, 제2 내부 공간(4b)에 대하여 선반 전후 방향에서 볼 때 중첩되는 개구 영역을 가지도록 형성되어 있다.

그리고, 도 4 및 도 6에 나타낸 바와 같이, 제1 개구부(23a)와 제3 개구부(23c)와 제1 출입구(23A)가 형성되고, 도 4 및 도 5에 나타낸 바와 같이, 제2 개구부(23b)와 제3 개구부(23c)와 제2 출입구(23B)가 형성된다. 제3 개구부(23c)가, 제1 출입구(23A)와 제2 출입구(23B)와 겸용되고 있다.

개폐 도어(24)에 대하여는, 도 6에 나타낸 바와 같이, 개폐 도어(24)를 단축시켜 제1 개방 상태로 전환하고 있는 상태에서는, 개구(23)에서의 제2 개구부(23b)만을 폐쇄하여 제1 개구부(23a) 및 제3 개구부(23c)[제1 출입구(23A)]가 개방된다. 또한, 도 5에 나타낸 바와 같이, 개폐 도어(24)를 단축시켜 제2 개방 상태로 전환하고 있는 상태에서는, 개구(23)에서의 제1 개구부(23a)만을 폐쇄하여 제2 개구부(23b) 및 제3 개구부(23c)[제2 출입구(23B)]가 개방된다. 또한, 도 4에 나타낸 바와 같이, 개폐 도어(24)를 신장시켜 폐쇄 상태로 전환하고 있는 상태에서는, 개구(23)에서의 제1 개구부(23a), 제2 개구부(23b) 및 제3 개구부(23c)의 모두가 폐쇄된다.

그러므로, 개폐 도어(24)에는, 제1 출입구(23A)를 개폐하는 제1 도어로서의 기능과, 제2 출입구(23B)를 개폐하는 제2 도어로서의 기능이 구비되어 있고, 벽체(K)에는, 제1 출입구(23A) 및 제2 출입구(23B)[개구(23)]와, 제1 도어 및 제2 도어[개폐 도어(24)]가 구비되어 있다.

칸막이체(5)는, 설치 상태와 퇴피 상태로 전환 가능하게 구성되어 있다. 여기서, 설치 상태는, 도 2, 도 3, 도 5 및 도 6에 나타낸 바와 같이, 칸막이체(5)가, 제1 내부 공간(4a)과 제2 내부 공간(4b)과의 경계 개소에 위치하여 내부 공간(4)을 제1 내부 공간(4a)과 제2 내부 공간(4b)으로 분단하는 상태이다. 또한, 퇴피 상태는, 도 4 및 도 10에 나타낸 바와 같이, 제1 내부 공간(4a)과 제2 내부 공간(4b)과의 경계 개소에서의 적어도 경로 경계 개소(8c)로부터 칸막이체(5)를 퇴피시켜 제1 내부 공간(4a)과 제2 내부 공간(4b)을 연통시키는 상태이다.

또한, 설치 상태에서는, 칸막이체(5)는 주행 경로(8)에서의 경로 경계 개소(8c)에 설치되어 제1 경로 부분(8a)과 제2 경로 부분(8b)을 차단하고, 퇴피 상태에서는, 칸막이체(5)를 경로 경계 개소(8c)로부터 퇴피시켜 상기 경로 경계 개소(8c)를 개방하고 있다.

칸막이체(5)에 대하여 설명을 추가하면, 도 4∼도 6에 나타낸 바와 같이, 칸막이체(5)는, 벽체(K)에 고정된 판형의 고정부(27)와, 고정부(27)에 대하여 선반 전후 방향으로 슬라이딩 이동 가능한 판형의 슬라이딩부(28)와, 슬라이딩부(28)에 대하여 세로 축심 주위로 요동 가능한 판형의 요동부(29)를 구비하고 있다. 이들 고정부(27), 슬라이딩부(28) 및 요동부(29)는, 어느 쪽도 구멍이 없는 형상으로 형성되어 있다.

슬라이딩부(28)는, 고정부(27)에 대하여 선반 전후 방향으로 슬라이딩 이동시킴으로써, 설치 공간(10)으로 퇴피시킨 퇴피 위치(도 4 참조)와, 주행 경로(8)로 돌출된 돌출 위치(도 5 및 도 6 참조)로 슬라이딩 이동한다.

요동부(29)는, 기단부(基端部)가 슬라이딩부(28)에서의 주행 경로(8) 측의 단부에 세로 축심 주위로 요동 가능하게 연결되어 있고, 세로 축심 주위로 요동시킴으로써, 슬라이딩부(28)에 대하여 선반 가로 폭 방향으로 배열되는 절첩 위치(도 4 참조)와, 슬라이딩부(28)에 대하여 선반 전후 방향으로 배열되는 전개(展開) 위치(도 5 및 도 6 참조)로 요동 이동한다. 또한, 요동부(29)는, 슬라이딩부(28)에 연결되어 있으므로, 슬라이딩부(28)가 선반 전후 방향을 따라 슬라이딩 이동하는 데 수반하여 이 슬라이딩부(28)와 일체로 요동부(29)도 선반 전후 방향을 따라 슬라이딩 이동한다.

도 4에 나타낸 바와 같이, 슬라이딩부(28)를 퇴피 위치로 슬라이딩 이동시키고 또한 요동부(29)를 절첩 위치로 요동 이동시킴으로써, 칸막이체(5)가 퇴피 상태로 전환된다. 또한, 도 5 및 도 6에 나타낸 바와 같이, 슬라이딩부(28)를 돌출 위치로 슬라이딩 이동시키고 또한 요동부(29)를 전개 위치로 요동 이동시킴으로써, 칸막이체(5)가 설치 상태로 전환된다.

그리고, 요동부(29)의 여유 단부(기단부와는 반대측의 단부)에는, 칸막이체(5)를 칸막이체용 지주 부재(30)에 연결하기 위한 연결 부재가 구비되어 있고, 칸막이체(5)를 설치 상태로 전환하고 있는 상태에서 요동부(29)의 여유 단부를 칸막이체용 지주 부재(30)에 연결함으로써, 칸막이체(5)를 설치 상태로 유지할 수 있도록 되어 있다.

그리고, 전술한 바와 같이, 칸막이체(5)를 칸막이체용 지주 부재(30)에 연결한 상태에서, 도 5, 도 6 및 도 9에 나타낸 바와 같이, 칸막이체용 지주 부재(30)를 선반 가로 폭 방향을 따라 이동시킴으로써, 칸막이체(5)는, 설치 상태를 유지하고 상태로, 제1 칸막이 위치나 제2 칸막이 위치로 이동한다. 여기서, 제1 칸막이 위치는, 도 6에 나타낸 바와 같이, 요동부(29)의 여유 단부[선반 전후 방향에서 개구(23) 측에 위치하는 칸막이체 단부]가, 개구(23)에서의 제2 개구부(23b)와 제3 개구부(23c)와의 경계 개소(개구 경계 개소)에 위치하는 위치이다. 또한, 제2 칸막이 위치는, 요동부(29)의 여유 단부가, 개구(23)에서의 제1 개구부(23a)와 제3 개구부(23c)와의 경계 개소(개구 경계 개소)에 위치하는 위치이다.

이와 같이, 칸막이체(5)는, 설치 상태에 있어서 제1 칸막이 위치와 제2 칸막이 위치로 이동 가능하게 구성되어 있고, 제1 칸막이 위치와 제2 칸막이 위치 중 어느 쪽의 위치에서도 경로 경계 개소(8c)에 위치하고 있다.

칸막이체(5)가 연결되는 칸막이체용 지주 부재(30)는, 한 쌍의 도어용 지주 부재(25)의 사이에 위치하고 있다.

그러므로, 개폐 도어(24)를 폐쇄 상태로부터 단축시켜 제1 개방 상태로 전환했을 때는, 한 쌍의 도어용 지주 부재(25) 중 제1 경로 부분(8a) 측에 위치하는 도어용 지주 부재(25)에 의해 칸막이체용 지주 부재(30)가 제2 경로 부분(8b) 측으로 가압 조작되어, 칸막이체(5)는 제1 칸막이 위치로 이동한다. 또한, 개폐 도어(24)를 폐쇄 상태로부터 단축시켜 제2 개방 상태로 전환했을 때는, 한 쌍의 도어용 지주 부재(25) 중 제2 경로 부분(8b) 측에 위치하는 도어용 지주 부재(25)에 의해 칸막이체용 지주 부재(30)가 제1 경로 부분(8a) 측으로 가압 조작되어, 칸막이체(5)는 제2 칸막이 위치로 이동한다.

이와 같이, 개폐 도어(24)가 제1 개방 상태로 전환됨에 따라 칸막이체(5)가 제1 칸막이 위치로 이동하고, 개폐 도어(24)가 제2 개방 상태로 전환됨에 따라 칸막이체(5)가 제2 칸막이 위치로 이동하도록, 칸막이체(5)와 개폐 도어(24)가 연동하도록 구성되어 있다. 칸막이체용 지주 부재(30)와 한 쌍의 도어용 지주 부재(25)에 의해, 칸막이체(5)와 개폐 도어(24)를 연동시키는 연동 기구가 구성되어 있다.

그리고, 개폐 도어(24)가 제1 개방 상태로 전환되고, 또한 칸막이체(5)가 제1 칸막이 위치로 이동하고 있는 상태나 개폐 도어(24)가 제2 개방 상태로 전환되고, 또한 칸막이체(5)가 제2 칸막이 위치로 이동하고 있는 상태에서는, 도어용 지주 부재(25)와 고정 설치된 유지용 지주 부재(31)에 의해 칸막이체(5)의 단부가 협지됨으로써, 칸막이체(5)는 제1 칸막이 위치나 제2 칸막이 위치에 유지된다.

도 4 및 도 7에 나타낸 바와 같이, 물품 보관 설비에는, 칸막이체(5)의 설치 상태를 검출하는 칸막이 상태 검출 장치(32)[제1 칸막이 센서(32a) 및 제2 칸막이 센서(32b)]와, 개폐 도어(24)의 개폐 상태를 검출하는 도어 상태 검출 장치(33)[제1 도어 센서(33a) 및 제2 도어 센서(33b)]가 구비되어 있다. 그리고, 도 5나 도 6 등에서는 칸막이 상태 검출 장치(32) 및 도어 상태 검출 장치(33)의 도시는 생략하고 있다.

칸막이 상태 검출 장치(32)는, 칸막이체(5)가 설치 위치(설치 상태)로 전환된 것을 검출하는 제1 칸막이 센서(32a)와, 칸막이체(5)가 퇴피 위치(퇴피 상태)로 전환된 것을 검출하는 제2 칸막이 센서(32b)를 구비하고 있다.

즉, 칸막이체(5)가 설치 위치에 위치할 때는, 제1 칸막이 센서(32a)는 검출 상태로 되고, 또한 제2 칸막이 센서(32b)는 비검출 상태로 된다. 또한, 칸막이체(5)가 퇴피 위치에 위치할 때는, 제1 칸막이 센서(32a)는 비검출 상태로 되고, 또한 제2 칸막이 센서(32b)는 검출 상태로 된다. 또한, 칸막이체(5)가 설치 위치와 퇴피 위치와의 사이에 위치하고 있고 설치 위치와 퇴피 위치 중 어느 쪽의 위치에서도 없을 때는, 제1 칸막이 센서(32a)와 제2 칸막이 센서(32b)와의 양쪽이 비검출 상태로 된다.

또한, 도어 상태 검출 장치(33)는, 개구(23)의 선반 가로 폭 방향에서 제1 경로 부분(8a) 측의 단부에 개폐 도어(24)가 위치하는 것을 검출하는 제1 도어 센서(33a)와, 개구(23)의 선반 가로 폭 방향에서 제2 경로 부분(8b) 측의 단부에 개폐 도어(24)가 위치하는 것을 검출하는 제2 도어 센서(33b)를 구비하고 있다.

즉, 개폐 도어(24)가 신장 자세로 전환되어 있을 때(폐쇄 상태로 전환되어 있을 때) 때는, 제1 도어 센서(33a)와 제2 도어 센서(33b)와의 양쪽이 검출 상태로 된다.

개폐 도어(24)가 단축 자세로 전환되어 개구(23)의 제2 내부 공간(4b) 측의 단부에 가까이에 있을(제1 개방 상태로 전환되어 있을) 때는, 제1 도어 센서(33a)는 비검출 상태로 되고, 또한 제2 도어 센서(33b)는 검출 상태로 된다. 또한, 이 상태에서는 제2 출입구(23B)[제2 개구부(23b)]는 개폐 도어(24)에 의해 닫혀 있다.

개폐 도어(24)가 단축 자세로 전환되어 개구(23)의 제1 내부 공간(4a) 측의 단부에 가까이에 있을(제2 개방 상태로 전환되어 있을) 때는, 제1 도어 센서(33a)는 검출 상태로 되고, 또한 제2 도어 센서(33b)는 비검출 상태로 된다. 또한, 이 상태에서는 제1 출입구(23A)[제1 개구부(23a)]는 개폐 도어(24)에 의해 닫혀 있다.

또한, 개폐 도어(24)가 신장 자세가 아닌 자세로 전환되어 있고 또한 개구(23)의 제1 내부 공간(4a) 측의 단부나 제2 내부 공간(4b) 측의 단부에 가까이에 있지 않을 때는, 제1 도어 센서(33a)와 제2 도어 센서(33b)와의 양쪽이 비검출 상태로 된다.

물품 보관 설비에는, 스태커 크레인(3)의 작동 및 질소 가스 공급 장치(N)의 작동을 제어하는 제어 장치(H)가 구비되어 있다. 즉, 이 제어 장치(H)는, 스태커 크레인(3)의 작동을 제어하는 반송 제어 장치로서의 기능과, 질소 가스 공급 장치(N)의 작동을 제어하는 공급 제어 장치로서의 기능을 구비하고 있다.

제어 장치(H)는, 제1 반송 제어와 제2 반송 제어와 제3 반송 제어를 선택적으로 실행한다. 즉, 제어 장치(H)에 의해 선택적으로 실행되는 복수의 반송 제어는, 제1 반송 제어, 제2 반송 제어, 및 제3 반송 제어를 포함하고 있다.

제1 반송 제어에서는, 제1 스태커 크레인(3a)을 제1 경로 부분(8a)만을 주행시켜 용기(W)를 반송하고 또한 제2 스태커 크레인(3b)을 제2 경로 부분(8b)만을 주행시켜 용기(W)를 반송하기 위해, 제1 스태커 크레인(3a) 및 제2 스태커 크레인(3b)의 작동이 제어 장치(H)에 의해 제어된다. 즉, 제1 반송 제어는, 제1 스태커 크레인(3a)을 제1 경로 부분(8a)만을 이동시켜 용기(W)를 반송하고 또한 제2 스태커 크레인(3b)을 제2 경로 부분(8b)만을 이동시켜 용기(W)를 반송하는 반송 제어이다.

즉, 제1 반송 제어를 실행함으로써, 제1 스태커 크레인(3a)에 의해, 제1 내부 공간(4a)에 있어서 내부 이송탑재 개소(6i)와 수납부(1)와의 사이에서 용기(W)가 반송되고, 제2 스태커 크레인(3b)에 의해, 제2 내부 공간(4b)에 있어서 내부 이송탑재 개소(6i)와 수납부(1)와의 사이에서 용기(W)가 반송된다.

제2 반송 제어에서는, 제1 스태커 크레인(3a)을 제1 경로 부분(8a)만을 주행시켜 용기(W)를 반송하거나 또는 제2 스태커 크레인(3b)을 제2 경로 부분(8b)만을 주행시켜 용기(W)를 반송하기 위해, 선택된 한쪽의 스태커 크레인(3)의 작동이 제어 장치(H)에 의해 제어된다. 즉, 제2 반송 제어는, 제1 스태커 크레인(3a)과 제2 스태커 크레인(3b) 중 선택된 한쪽을 대상 스태커 크레인으로 하여, 대상 스태커 크레인이 제1 스태커 크레인(3a)인 경우에는 대상 스태커 크레인을 제1 경로 부분(8a)만을 이동시켜 물품을 반송하고, 대상 스태커 크레인이 제2 스태커 크레인(3b)인 경우에는 대상 스태커 크레인을 제2 경로 부분(8b)만을 이동시켜 물품을 반송하는 반송 제어이다. 본 실시형태에서는, 대상 스태커 크레인이 「대상 물품 반송 장치」에 상당한다.

즉, 제1 스태커 크레인(3a)이 선택되어 있는 경우[대상 스태커 크레인이 제1 스태커 크레인(3a)인 경우]에는, 제2 반송 제어를 실행함으로써, 제1 스태커 크레인(3a)에 의해, 제1 내부 공간(4a)에 있어서 내부 이송탑재 개소(6i)와 수납부(1)와의 사이에서 용기(W)가 반송된다. 또한, 제2 스태커 크레인(3b)이 선택되어 있는 경우[대상 스태커 크레인이 제2 스태커 크레인(3b)인 경우]는, 제2 반송 제어를 실행함으로써, 제2 스태커 크레인(3b)에 의해, 제2 내부 공간(4b)에 있어서 내부 이송탑재 개소(6i)와 수납부(1)와의 사이에서 용기(W)가 반송된다.

제3 반송 제어에서는, 제1 스태커 크레인(3a)을 제1 경로 부분(8a)과 제2 경로 부분(8b)과의 양쪽을 주행시켜 용기(W)를 반송하거나, 또는 제2 스태커 크레인(3b)을 제1 경로 부분(8a)과 제2 경로 부분(8b)과의 양쪽을 주행시켜 용기(W)를 반송하도록, 선택된 한쪽의 스태커 크레인(3)을 제1 경로 부분(8a)과 제2 경로 부분(8b)과의 양쪽을 주행시켜 용기(W)를 반송하기 위해, 선택된 스태커 크레인(3)의 작동이 제어 장치(H)에 의해 제어된다. 즉, 제3 반송 제어는, 대상 스태커 크레인을 제1 경로 부분(8a)과 제2 경로 부분(8b)과의 양쪽을 이동시켜 물품을 반송하는 반송 제어이다.

즉, 제1 스태커 크레인(3a)이 선택되어 있는 경우[대상 스태커 크레인이 제1 스태커 크레인(3a)인 경우]에는, 제3 반송 제어를 실행함으로써, 제1 스태커 크레인(3a)에 의해, 제1 내부 공간(4a) 및 제2 내부 공간(4b)에 있어서 내부 이송탑재 개소(6i)와 수납부(1)와의 사이에서 용기(W)가 반송된다. 또한, 제2 스태커 크레인(3b)이 선택되어 있는 경우[대상 스태커 크레인이 제2 스태커 크레인(3b)인 경우]에는, 제3 반송 제어를 실행함으로써, 제2 스태커 크레인(3b)에 의해, 제1 내부 공간(4a) 및 제2 내부 공간(4b)에 있어서 내부 이송탑재 개소(6i)와 수납부(1)와의 사이에서 용기(W)가 반송된다.

그리고, 제3 반송 제어가, 스태커 크레인(3)을 제1 경로 부분(8a) 및 제2 경로 부분(8b)의 양쪽을 이동시켜 용기(W)를 반송하기 위해, 제어 장치(H)에 의해 스태커 크레인(3)의 작동을 제어하는 전체 경로 반송 제어에 상당한다. 즉, 전체 경로 반송 제어는, 스태커 크레인(3)을 제1 경로 부분(8a) 및 제2 경로 부분(8b)의 양쪽을 이동시켜 용기(W)를 반송하는 반송 제어이다. 또한, 제1 반송 제어 및 제2 반송 제어가, 스태커 크레인(3)을 제1 경로 부분(8a)과 제2 경로 부분(8b) 중의 어느 한쪽의 경로 부분을 이동시켜 용기(W)를 반송하기 위해, 스태커 크레인(3)의 작동을 제어하는 일부 경로 반송 제어에 상당한다. 즉, 일부 경로 반송 제어는, 스태커 크레인(3)을 제1 경로 부분(8a)과 제2 경로 부분(8b) 중의 어느 한쪽의 경로 부분을 이동시켜 용기(W)를 반송하는 반송 제어이다. 그러므로, 제어 장치(H)는, 전체 경로 반송 제어와 일부 경로 반송 제어를 선택적으로 실행하도록 구성되어 있다. 즉, 제어 장치(H)에 의해 선택적으로 실행되는 복수의 반송 제어는, 전체 경로 반송 제어와 일부 경로 반송 제어를 포함하고 있다.

제어 장치(H)는, 전체 공급 제어와 부분 공급 제어를 선택적으로 실행한다. 즉, 제어 장치(H)에 의해 선택적으로 실행되는 복수의 공급 제어는, 전체 공급 제어와 부분 공급 제어를 포함하고 있다.

전체 공급 제어에서는, 제1 내부 공간(4a)과 제2 내부 공간(4b)과의 양쪽에서의 수납부(1)에 수납되어 있는 용기(W)에 대하여 질소 가스를 공급하기 위해, 제어 장치(H)에 의해 질소 가스 공급 장치(N)의 작동이 제어된다. 즉, 전체 공급 제어는, 제1 내부 공간(4a)과 제2 내부 공간(4b)과의 양쪽에서의 수납부(1)에 수납되어 있는 용기(W)에 대하여 질소 가스를 공급하는 공급 제어이다. 부분 공급 제어에서는, 제1 내부 공간(4a)과 제2 내부 공간(4b) 중의 어느 한쪽에서의 수납부(1)에 수납되어 있는 용기(W)에 대하여 질소 가스를 공급하기 위해, 제어 장치(H)에 의해 질소 가스 공급 장치(N)의 작동이 제어된다. 즉, 부분 공급 제어는, 제1 내부 공간(4a)과 제2 내부 공간(4b) 중의 어느 한쪽에서의 수납부(1)에 수납되어 있는 용기(W)에 대하여 질소 가스를 공급하는 공급 제어이다.

제어 장치(H)는, 칸막이 상태 검출 장치(32)[제1 칸막이 센서(32a), 제2 칸막이 센서(32b)] 및 도어 상태 검출 장치(33)[제1 도어 센서(33a), 제2 도어 센서(33b)]의 각각의 검출 정보에 기초하여 급전 장치(34)를 제어하여, 제1 경로 부분(8a)에 위치하는 스태커 크레인(3)에 대한 급전의 상태에 대한, 급전하는 상태와 급전을 차단하는 상태와의 전환과 제2 경로 부분(8b)에 위치하는 스태커 크레인(3)에 대한 급전의 상태에 대한, 급전하는 상태와 급전을 차단하는 상태와의 전환을 행하도록 구성되어 있다.

또한, 제어 장치(H)는, 칸막이 상태 검출 장치(32)[제1 칸막이 센서(32a),제2 칸막이 센서(32b)] 및 도어 상태 검출 장치(33)[제1 도어 센서(33a), 제2 도어 센서(33b)]의 각각의 검출 정보에 기초하여 급전 장치(34)를 제어하여, 제1 공간용 부분에 대한 급전의 상태에 대한, 급전하는 상태와 급전을 차단하는 상태와의 전환과, 제2 공간용 부분에 대한 급전의 상태에 대한, 급전하는 상태와 급전을 차단하는 상태와의 전환을 행하도록 구성되어 있다. 여기서, 제1 공간용 부분은, 질소 가스 공급 장치(N)에서의 제1 내부 공간(4a)의 수납부(1)에 수납되어 있는 용기(W)에 대하여 질소 가스를 공급하는 부분이며, 제2 공간용 부분은, 질소 가스 공급 장치(N)에서의 제2 내부 공간(4b)의 수납부(1)에 수납되어 있는 용기(W)에 대하여 질소 가스를 공급하는 부분이다.

제어 장치(H)에 의한, 제1 칸막이 센서(32a), 제2 칸막이 센서(32b), 제1 도어 센서(33a) 및 제2 도어 센서(33b)의 각각의 검출 정보에 따른 급전 장치(34)의 제어는, 도 11에 기재된 조건에 기초하여 행해진다.

즉, 제1 반송 제어를 실행하는 경우에 있어서, 제1 칸막이 센서(32a)가 검출 상태로 되고, 또한 제2 칸막이 센서(32b)가 비검출 상태로 되어 있는 상태[칸막이체(5)가 설치 상태]이며, 또한 제1 도어 센서(33a) 및 제2 도어 센서(33b)의 양쪽이 검출 상태로 되어 있는 상태[개폐 도어(24)가 폐쇄 상태]인 경우에는, 제1 내부 공간(4a) 및 제2 내부 공간(4b)의 양쪽에 대하여 급전하도록, 제어 장치(H)에 의해 전원 장치(43)가 제어된다.

그리고, 제1 내부 공간(4a)에 대하여 급전한다는 것은, 제1 경로 부분(8a)에 위치하는 제1 스태커 크레인(3a)에 급전하고, 또한 질소 가스 공급 장치(N)의 제1 공간용 부분에 급전하는 것이다. 또한, 제2 내부 공간(4b)에 대하여 급전한다는 것은, 제2 경로 부분(8b)에 위치하는 제2 스태커 크레인(3b)에 급전하고, 또한 질소 가스 공급 장치(N)의 제2 공간용 부분에 급전하는 것이다.

제2 반송 제어[제1 스태커 크레인(3a)을 선택]를 실행하는 경우에 있어서, 제1 칸막이 센서(32a)가 검출 상태로 되고, 또한 제2 칸막이 센서(32b)가 비검출 상태로 되어 있는 상태[칸막이체(5)가 설치 상태]이며, 또한 제1 도어 센서(33a)가 검출 상태로 되고, 또한 제2 도어 센서(33b)가 비검출 상태로 되어 있는 상태[개폐 도어(24)가 제2 개방 상태]인 경우에는, 제1 내부 공간(4a)에 대하여 급전하고 또한 제2 내부 공간(4b)에 대한 급전을 차단하기 위해, 제어 장치(H)에 의해 급전 장치(34)가 제어된다.

제2 반송 제어[제2 스태커 크레인(3b)을 선택]를 실행하는 경우에 있어서, 제1 칸막이 센서(32a)가 검출 상태로 되고, 또한 제2 칸막이 센서(32b)가 비검출 상태로 되어 있는 상태[칸막이체(5)가 설치 상태]이며, 또한 제1 도어 센서(33a)가 비검출 상태로 되고, 또한 제2 도어 센서(33b)가 검출 상태로 되어 있는 상태[개폐 도어(24)가 제1 개방 상태]인 경우에는, 제1 내부 공간(4a)에 대한 급전을 차단하고 또한 제2 내부 공간(4b)에 대하여 급전하기 위해, 제어 장치(H)에 의해 급전 장치(34)가 제어된다.

제3 반송 제어를 실행하는 경우에 있어서, 제1 칸막이 센서(32a)가 비검출 상태로 되고, 또한 제2 칸막이 센서(32b)가 검출 상태로 되어 있는 상태[칸막이체(5)가 퇴피 상태]이며, 또한 제1 도어 센서(33a) 및 제2 도어 센서(33b)의 양쪽이 검출 상태로 되어 있는 상태[개폐 도어(24)가 폐쇄 상태]인 경우에는, 제1 내부 공간(4a) 및 제2 내부 공간(4b)의 양쪽에 대하여 급전하기 위해, 제어 장치(H)에 의해 급전 장치(34)가 제어된다.

그리고, 제1∼제3 반송 제어 중 어느 하나를 실행하고 있는 경우에 있어서, 제1 칸막이 센서(32a), 제2 칸막이 센서(32b), 제1 도어 센서(33a) 및 제2 도어 센서(33b)의 검출 상태의 조합이 전술한 상태 이외로 된 경우에는, 제1 내부 공간(4a) 및 제2 내부 공간(4b)의 각각에 대한 급전을 차단하기 위해, 제어 장치(H)에 의해 급전 장치(34)가 제어된다.

즉, 제1 반송 제어를 실행하는 경우에 있어서, 칸막이체(5)가 설치 상태이면서 또한 개폐 도어(24)가 폐쇄 상태인 경우에는, 제1 내부 공간(4a) 및 제2 내부 공간(4b)의 양쪽에 대하여 급전된다.

그러므로, 칸막이체(5)가 설치 상태이면서 또한 개폐 도어(24)가 폐쇄 상태인 경우에는, 제1 경로 부분(8a)에서의 제1 스태커 크레인(3a)의 주행 및 제2 경로 부분(8b)에서의 제2 스태커 크레인(3b)의 주행이 허용되고 있고, 제어 장치(H)가 제1 반송 제어를 실행함으로써, 제1 스태커 크레인(3a)이 제1 경로 부분(8a)을 주행하여 용기(W)가 반송되고, 제2 스태커 크레인(3b)이 제2 경로 부분(8b)을 주행하여 용기(W)가 반송된다. 또한, 질소 가스 공급 장치(N)의 제1 공간용 부분과 제2 공간용 부분과의 양쪽에 급전되어, 제어 장치(H)에 의해 전체 공급 제어가 실행된다.

그리고, 제1 반송 제어를 실행하는 경우에 있어서, 칸막이체(5)가 설치 상태이면서 또한 개폐 도어(24)가 폐쇄 상태인 상태로부터, 칸막이체(5)가 설치 상태로부터 퇴피 상태를 향해 이동 조작됨으로써, 또는 개폐 도어(24)가 폐쇄 상태로부터 개방 조작됨으로써, 제1 내부 공간(4a) 및 제2 내부 공간(4b)의 각각에 대한 급전이 차단된다.

그러므로, 제1 반송 제어를 실행하는 경우에 있어서, 칸막이체(5)가 설치 상태이면서 또한 개폐 도어(24)가 폐쇄 상태인 경우 이외에는, 제1 경로 부분(8a)에서의 제1 스태커 크레인(3a)의 주행 및 제2 경로 부분(8b)에서의 제2 스태커 크레인(3b)의 주행이 금지되어 있고, 제1 스태커 크레인(3a) 및 제2 스태커 크레인(3b)은 정지한다. 또한, 질소 가스 공급 장치(N)의 제1 공간용 부분과 제2 공간용 부분과의 양쪽으로의 급전이 차단되어, 제1 내부 공간(4a)과 제2 내부 공간(4b)과의 양쪽에서의 수납부(1)에 수납되어 있는 용기(W)에 대한 질소 가스의 공급이 정지된다.

다음에, 제어 장치(H)가 제2 반송 제어를 실행하는 경우에 대하여 설명하지만, 제2 반송 제어[제1 스태커 크레인(3a)을 선택]에 대하여 설명하고, 제2 반송 제어[제2 스태커 크레인(3b)을 선택]에 대하여는 설명을 생략한다.

제2 반송 제어[제1 스태커 크레인(3a)을 선택]에 있어서, 칸막이체(5)가 설치 상태이면서 또한 개폐 도어(24)가 제2 개방 상태인 경우에는, 제1 내부 공간(4a)에 대하여 급전되고, 또한 제2 내부 공간(4b)에 대한 급전은 차단된다.

그러므로, 칸막이체(5)가 설치 상태이면서 또한 개폐 도어(24)가 제2 개방 상태인 경우에는, 제1 스태커 크레인(3a)의 이동이 허용되어 있고, 제어 장치(H)가 제2 반송 제어[제1 스태커 크레인(3a)을 선택]를 실행함으로써, 제1 스태커 크레인(3a)이 제1 경로 부분(8a)을 주행하여 용기(W)가 반송된다. 또한, 질소 가스 공급 장치(N)의 제1 공간용 부분에 급전되어, 제어 장치(H)에 의해, 제1 내부 공간(4a)에서의 수납부(1)에 수납되어 있는 용기(W)에 대하여 질소 가스를 공급하는 부분 공급 제어가 실행된다.

그리고, 제2 반송 제어[제1 스태커 크레인(3a)을 선택]를 실행하는 경우에 있어서, 칸막이체(5)가 설치 상태이면서 또한 개폐 도어(24)가 제2 개방 상태인 상태로부터, 칸막이체(5)가 설치 상태로부터 퇴피 상태를 향해 이동 조작됨으로써, 또는 개폐 도어(24)가 제2 개방 상태로부터 조작됨으로써, 제1 내부 공간(4a)에 대한 급전이 차단된다.

그러므로, 제2 반송 제어[제1 스태커 크레인(3a)을 선택]를 실행하는 경우에 있어서, 칸막이체(5)가 설치 상태이면서 또한 개폐 도어(24)가 제2 개방 상태인 경우 이외에는, 제1 경로 부분(8a)에서의 제1 스태커 크레인(3a)의 주행 및 제2 경로 부분(8b)에서의 제2 스태커 크레인(3b)의 주행이 금지되어 있고, 제1 스태커 크레인(3a) 및 제2 스태커 크레인(3b)은 정지한다. 또한, 질소 가스 공급 장치(N)의 제1 공간용 부분과 제2 공간용 부분과의 양쪽으로의 급전이 차단되어, 제1 내부 공간(4a)과 제2 내부 공간(4b)과의 양쪽에서의 수납부(1)에 수납되어 있는 용기(W)에 대한 질소 가스의 공급이 정지된다.

다음에, 제3 반송 제어를 실행하는 경우에 대하여 설명하지만, 제2 스태커 크레인(3b)을 선택한 경우[제1 스태커 크레인(3a)을 주행 경로(8)로부터 인출한 경우]에 대하여 설명하고, 제1 스태커 크레인(3a)을 선택한 경우[제2 스태커 크레인(3b)을 주행 경로(8)로부터 인출한 경우]에 대하여는 설명을 생략한다.

제3 반송 제어에 있어서, 칸막이체(5)가 퇴피 상태이면서 또한 개폐 도어(24)가 폐쇄 상태인 경우에는, 제1 내부 공간(4a) 및 제2 내부 공간(4b)의 양쪽에 대하여 급전된다.

그러므로, 칸막이체(5)가 퇴피 상태이면서 또한 개폐 도어(24)가 폐쇄 상태인 경우에는, 제1 경로 부분(8a) 및 제2 경로 부분(8b)에서의 제2 스태커 크레인(3b)의 주행이 허용되고 있고, 제어 장치(H)가 제3 반송 제어를 실행함으로써, 제2 스태커 크레인(3b)이 제1 경로 부분(8a) 및 제2 경로 부분(8b)의 양쪽을 주행하여 용기(W)가 반송된다. 또한, 질소 가스 공급 장치(N)의 제1 공간용 부분과 제2 공간용 부분과의 양쪽에 급전되어, 제어 장치(H)에 의해 전체 공급 제어가 실행된다.

그리고, 제3 반송 제어를 실행하는 경우에 있어서, 칸막이체(5)가 퇴피 상태이면서 또한 개폐 도어(24)가 폐쇄 상태인 상태로부터, 칸막이체(5)가 퇴피 상태로부터 설치 상태를 향해 이동 조작됨으로써, 또는 개폐 도어(24)가 폐쇄 상태로부터 개방 조작됨으로써, 제1 내부 공간(4a) 및 제2 내부 공간(4b)의 양쪽에 대한 급전이 차단된다.

그러므로, 제3 반송 제어를 실행하는 경우에 있어서, 칸막이체(5)가 퇴피 상태이면서 또한 개폐 도어(24)가 폐쇄 상태인 경우 이외에는, 제1 경로 부분(8a) 및 제2 경로 부분(8b)의 양쪽에서의 제2 스태커 크레인(3b)의 주행이 금지되어 있고, 제2 스태커 크레인(3b)은 정지한다. 또한, 질소 가스 공급 장치(N)의 제1 공간용 부분과 제2 공간용 부분과의 양쪽으로의 급전이 차단되어, 제1 내부 공간(4a)과 제2 내부 공간(4b)과의 양쪽에서의 수납부(1)에 수납되어 있는 용기(W)에 대한 질소 가스의 공급이 정지된다.

이와 같이, 제어 장치(H)가, 제1 반송 제어와 전체 공급 제어를 실행하거나, 또는 제3 반송 제어와 전체 공급 제어를 실행함으로써, 제1 경로 부분(8a) 및 제2 경로 부분(8b)의 양쪽에서 스태커 크레인(3)을 주행시켜 용기(W)를 반송할 수 있고, 제1 내부 공간(4a) 및 제2 내부 공간(4b)의 양쪽에서의 수납부(1)에 수납되어 있는 용기(W)에 대하여 질소 가스를 공급할 수 있다. 그리고, 작업자가 개폐 도어(24)를 개방하여 주행 경로(8)에 진입한 경우에는, 스태커 크레인(3)이 비상 정지되고, 또한 질소 가스의 공급이 정지된다.

또한, 제어 장치(H)가, 제2 반송 제어와 부분 공급 제어를 실행함으로써, 제1 경로 부분(8a) 및 제2 경로 부분(8b)의 한편 작업자가 유지보수 작업을 행하면서, 다른 쪽의 경로 부분에서 스태커 크레인(3)을 주행시켜 용기(W)를 반송할 수 있고, 또한 스태커 크레인(3)에 의해 용기(W)를 반송하는 제1 내부 공간(4a) 또는 제2 내부 공간(4b)에 있어서 수납부(1)에 수납되어 있는 용기(W)에 대하여 질소 가스를 공급할 수 있다. 그리고, 제1 내부 공간(4a)과 제2 내부 공간(4b)이 칸막이체(5)에 의해 차단되어 있으므로, 작업자가 한쪽의 경로 부분으로부터 다른 쪽의 경로 부분에 진입하는 것을 방지할 수 있으면서, 질소 가스가 다른 쪽의 경로 부분으로부터 한쪽의 경로 부분에 유동(流動)하는 것을 방지할 수 있다.

[다른 실시형태]

(1) 상기 실시형태에서는, 스태커 크레인(3)으로서, 제1 스태커 크레인(3a)과 제2 스태커 크레인(3b)과의 2대의 스태커 크레인(3)을 구비하였지만, 스태커 크레인(3)을 1대만 설치해도 된다. 이 경우, 제어 장치(H)는, 제1∼제3 반송 제어 중 제2 반송 제어(일부 경로 반송 제어) 및 제3 반송 제어(전체 경로 반송 제어)를 실행한다. 또한, 제2 반송 제어에서는, 설치된 1대의 스태커 크레인(3)을 선택한 스태커 크레인(3)(대상 스태커 크레인)으로서, 제1 경로 부분(8a)만 또는 제2 경로 부분(8b)만을 주행시켜 용기(W)를 반송시키고, 제3 반송 제어에서는, 설치된 1대의 스태커 크레인(3)을 선택된 스태커 크레인(3)으로 하여, 제1 경로 부분(8a) 및 제2 경로 부분(8b)의 양쪽을 주행시켜 용기(W)를 반송시킨다.

또한, 상기 실시형태에서는, 주행 경로(8)에 제1 경로 부분(8a)과 제2 경로 부분(8b)과의 2개의 경로 부분을 구비하였지만, 주행 경로(8)에 3개 이상의 경로 부분을 구비해도 된다. 또한, 상기 실시형태에서는, 1개의 경로 부분에 스태커 크레인(3)을 1대만 구비하였지만, 1개의 경로 부분에 제1 스태커 크레인(3a)을 2대 구비하는 등, 1개의 경로 부분에 스태커 크레인(3)을 복수 대 구비해도 된다.

를 실행하는 경우에 있어서, 개폐 도어(24)가 폐쇄 상태로부터 개방 조작된 를, 선반 가로 폭 방향으로 이동 가능한 도어용 지주 부재(25)와 칸막이체용 지주 부재(30)로 구성하여, 도어용 지주 부재(25)에 의해 칸막이체용 지주 부재(30)를 선반 가로 폭 방향으로 가압하여 조작함으로써 칸막이체(5)를 제1 칸막이 위치와 제2 칸막이 위치로 전환하였지만, 예를 들면, 개폐 도어(24)의 양 단부와 칸막이체용 지주 부재(30)를 와이어 등의 케이블체에 의해 연결하여, 와이어에 의해 칸막이체용 지주 부재(30)를 선반 가로 폭 방향으로 당겨 조작함으로써 칸막이체(5)를 제1 칸막이 위치와 제2 칸막이 위치로 전환하는 등, 연동 기구의 구성은 적절히 변경해도 된다.

또한, 이와 같은 연동 기구를 구비하지 않고, 칸막이체(5)와 개폐 도어(24)를 별개로 조작하도록 구성해도 된다.

(7) 상기 실시형태에서는, 수납부(1)에 수납되어 있는 물품에 불활성 기체를 공급하는 불활성 기체 공급 장치[질소 가스 공급 장치(N)]를 구비하였지만, 물품이 불활성 기체를 공급할 필요가 없는 것인 경우 등에서는, 불활성 기체 공급 장치를 구비하지 않아도 된다. 그리고, 불활성 기체로서는, 질소 가스 외에 아르곤 가스 등이라도 된다.

그리고, 불활성 기체 공급 장치를 구비하지 않을 경우에는, 벽체(K) 대신에, 울타리형(fence type)이나 망형(net type)의 포위체에 의해 내부 공간(4)을 평면에서 볼 때 에워싸도록 구비해도 된다. 또한, 불활성 기체 공급 장치를 구비하지 않을 경우에는, 칸막이체(5)를 구멍이 없는 형상으로 형성하지 않아도 되고, 펜스(fence), 봉(棒; bar) 또는 망(網)에 의해 형성해도 된다.

(8) 상기 실시형태에서는, 제어 장치(H)가, 전체 공급 제어와 부분 공급 제어를 선택적으로 실행하였지만, 제어 장치(H)가, 전체 공급 제어만을 실행하도록 해도 된다. 구체적으로는, 제1 반송 제어나 제3 반송 제어에 있어서 센서류의 검출 상태의 조건이 만족되는 경우에는 전체 공급 제어를 행하고, 제2 반송 제어에 있어서는 물품에 대한 불활성 기체의 공급을 정지하도록 해도 된다.

[상기 실시형태의 개요]

이하, 상기에 있어서 설명한 물품 보관 설비의 개요에 대하여 설명한다.

물품을 수납하는 수납부를 복수 구비한 물품 수납 선반과, 상기 물품 수납 선반의 전방에 있어서 선반 가로 폭 방향을 따라 이동하여 물품을 반송하는 복수의 물품 반송 장치와, 상기 복수의 물품 반송 장치의 작동을 제어하는 반송 제어 장치를 구비하고 있는 물품 보관 설비에 있어서,

상기 복수의 물품 반송 장치가 이동하는 이동 경로가, 상기 선반 가로 폭 방향으로 배열되는 제1 경로 부분과 제2 경로 부분을 가지고, 상기 복수의 물품 반송 장치는, 제1 물품 반송 장치와 제2 물품 반송 장치를 포함하고, 상기 반송 제어 장치에 의해 선택적으로 실행되는 복수의 반송 제어는, 제1 반송 제어와 제2 반송 제어를 포함하고, 상기 제1 반송 제어는, 상기 제1 물품 반송 장치를 상기 제1 경로 부분만을 이동시켜 물품을 반송하고, 또한 상기 제2 물품 반송 장치를 상기 제2 경로 부분만을 이동시켜 물품을 반송하는 반송 제어이며, 상기 제2 반송 제어는, 상기 제1 물품 반송 장치와 상기 제2 물품 반송 장치 중 선택된 한쪽을 대상 물품 반송 장치로 하여, 상기 대상 물품 반송 장치가 상기 제1 물품 반송 장치일 경우에는 상기 대상 물품 반송 장치를 상기 제1 경로 부분만을 이동시켜 물품을 반송하고, 상기 대상 물품 반송 장치가 상기 제2 물품 반송 장치일 경우에는 상기 대상 물품 반송 장치를 상기 제2 경로 부분만을 이동시켜 물품을 반송하는 반송 제어이며, 상기 이동 경로에서의 상기 제1 경로 부분과 상기 제2 경로 부분과의 경계 개소인 경로 경계 개소에 설치되어 상기 제1 경로 부분과 상기 제2 경로 부분을 차단하는 설치 상태와, 상기 경로 경계 개소로부터 퇴피시켜 상기 경로 경계 개소를 개방하는 퇴피 상태로 전환 가능한 칸막이체가 구비되어 있다.

이 구성에 의하면, 반송 제어 장치가 제1 반송 제어를 실행함으로써, 제1 물품 반송 장치가 제1 경로 부분을 이동하여 물품을 반송하는 동시에, 제2 물품 반송 장치가 제2 경로 부분을 이동하여 물품을 반송한다. 이와 같이, 제1 경로 부분에서 제1 물품 반송 장치를 이동시켜 물품을 반송하는 것과, 제2 경로 부분에서 제2 물품 반송 장치를 이동시켜 물품을 반송하는 것과의 양쪽을 행할 수 있다.

여기서, 상기 복수의 반송 제어는, 제3 반송 제어를 포함하고, 상기 제3 반송 제어는, 상기 대상 물품 반송 장치를 상기 제1 경로 부분과 상기 제2 경로 부분과의 양쪽을 이동시켜 물품을 반송하는 반송 제어인 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 반송 제어 장치가 제3 반송 제어를 실행함으로써, 대상 물품 반송 장치가 제1 경로 부분과 제2 경로 부분과의 양쪽을 이동하여 물품을 반송한다.

즉, 예를 들면, 물품 반송 장치를 이동 경로에 위치시킨 채 상기 물품 반송 장치의 유지보수 작업을 행하려고 하면, 이동 경로가 좁으므로, 유지보수 작업을 행할 수 없는 경우가 있다. 그와 같은 경우에는, 유지보수 대상의 물품 반송 장치를 이동 경로로부터 반출하여 이동 경로의 외부로 물품 반송 장치에 대하여 유지보수 작업을 행하는 경우가 있다.

이와 같은 경우에는, 반송 제어 장치가 제3 반송 제어를 실행함으로써, 대상 물품 반송 장치를 제1 경로 부분과 제2 경로 부분과의 양쪽을 이동시켜 물품을 반송할 수 있다.

또한, 상기 물품 수납 선반을 설치하는 설치 공간과 상기 이동 경로와의 양쪽을 가지는 공간을, 평면에서 볼 때 에워싸는 포위체를 구비하고, 상기 포위체에, 상기 제1 경로 부분에 작업자가 출입하는 제1 출입구와, 상기 제1 출입구를 개폐하는 제1 도어와, 상기 제2 경로 부분에 작업자가 출입하는 제2 출입구와, 상기 제2 출입구를 개폐하는 제2 도어가 구비되고, 상기 칸막이체의 설치 상태를 검출하는 칸막이 상태 검출 장치와, 상기 제1 도어 및 상기 제2 도어의 개폐 상태를 검출하는 도어 상태 검출 장치가 구비되고, 상기 반송 제어 장치가, 상기 칸막이 상태 검출 장치 및 상기 도어 상태 검출 장치의 각각의 검출 정보에 기초하여, 상기 제3 반송 제어에 있어서, 상기 제1 도어 및 상기 제2 도어의 양쪽이 폐쇄 상태이면서 또한 상기 칸막이체가 상기 퇴피 상태인 경우에는, 상기 대상 물품 반송 장치의 이동을 허용하고, 상기 제3 반송 제어에 있어서, 상기 제1 도어 및 상기 제2 도어 중 적어도 한쪽이 폐쇄 상태가 아닐 경우, 또는 상기 칸막이체가 상기 퇴피 상태가 아닐 경우에는, 상기 대상 물품 반송 장치의 이동을 금지하는 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 제1 도어 및 제2 도어의 양쪽이 폐쇄 상태이면서 또한 칸막이체가 퇴피 상태인 경우에는, 제3 반송 제어에 있어서 대상 물품 반송 장치의 이동이 허용되고 있으므로, 반송 제어 장치가 제3 반송 제어를 실행함으로써, 대상 물품 반송 장치가 제1 경로 부분 및 제2 경로 부분의 양쪽을 이동하여 물품이 반송된다.

그리고, 작업자가 경로 부분에 진입하는 경우에는, 제1 도어를 개방 조작하여 제1 경로 부분에 진입하거나 또는 제2 도어를 개방 조작하여 제2 경로 부분에 진입하게 되지만, 작업자에 의해 제1 도어나 제2 도어가 개방 조작되어 폐쇄 상태로 되지 않으면, 대상 물품 반송 장치의 이동이 금지된다. 그러므로, 작업자에 의해 제1 도어나 제2 도어가 개방 조작되면, 대상 물품 반송 장치의 이동이 금지되어 정지함으로써, 물품 반송 장치가, 이동 경로에 진입한 작업자에게 접촉되는 것을 회피할 수 있다.

또한, 칸막이체가 퇴피 상태가 아닐 경우(예를 들면, 설치 상태인 경우 등)는, 제1 경로 부분과 제2 경로 부분에 걸쳐 이동하는 물품 반송 장치가 칸막이체에 접촉될 우려가 있지만, 칸막이체가 퇴피 상태가 아닐 경우에는, 대상 물품 반송 장치의 이동이 금지된다. 그러므로, 칸막이체가 퇴피 상태가 아닐 경우에는, 대상 물품 반송 장치의 이동이 금지되어 정지함으로써, 물품 반송 장치가 칸막이체에 접촉되는 것을 회피할 수 있다.

물품을 수납하는 수납부를 복수 구비한 물품 수납 선반과, 상기 물품 수납 선반의 전방에 있어서 선반 가로 폭 방향을 따라 이동하여 물품을 반송하는 물품 반송 장치와, 상기 물품 반송 장치의 작동을 제어하는 반송 제어 장치를 구비하고 있는 물품 보관 설비에 있어서,

상기 물품 반송 장치가 이동하는 이동 경로가, 상기 선반 가로 폭 방향으로 배열되는 제1 경로 부분과 제2 경로 부분을 가지고, 상기 반송 제어 장치에 의해 선택적으로 실행되는 복수의 반송 제어는, 전체 경로 반송 제어와 일부 경로 반송 제어를 포함하고, 상기 전체 경로 반송 제어는, 상기 물품 반송 장치를 상기 제1 경로 부분 및 상기 제2 경로 부분의 양쪽을 이동시켜 물품을 반송하는 반송 제어이며, 상기 일부 경로 반송 제어는, 상기 물품 반송 장치를 상기 제1 경로 부분과 상기 제2 경로 부분 중 어느 한쪽의 경로 부분을 이동시켜 물품을 반송하는 반송 제어이며, 상기 이동 경로에서의 상기 제1 경로 부분과 상기 제2 경로 부분과의 경계 개소인 경로 경계 개소에 설치되어 상기 제1 경로 부분과 상기 제2 경로 부분을 차단하는 설치 상태와, 상기 경로 경계 개소로부터 퇴피시켜 상기 경로 경계 개소를 개방하는 퇴피 상태로 전환 가능한 칸막이체가 구비되어 있다.

또한, 상기 물품 수납 선반을 설치하는 설치 공간과 상기 이동 경로와의 양쪽을 가지는 공간을, 평면에서 볼 때 에워싸는 포위체를 구비하고, 상기 포위체에, 상기 제1 경로 부분에 작업자가 출입하는 제1 출입구와, 상기 제1 출입구를 개폐하는 제1 도어와, 상기 제2 경로 부분에 작업자가 출입하는 제2 출입구와, 상기 제2 출입구를 개폐하는 제2 도어가 구비되고, 상기 칸막이체의 설치 상태를 검출하는 칸막이 상태 검출 장치와, 상기 제1 도어 및 상기 제2 도어의 개폐 상태를 검출하는 도어 상태 검출 장치가 구비되고, 상기 반송 제어 장치가, 상기 칸막이 상태 검출 장치 및 상기 도어 상태 검출 장치의 각각의 검출 정보에 기초하여, 상기 전체 경로 반송 제어에 있어서, 상기 제1 도어 및 상기 제2 도어의 양쪽이 폐쇄 상태이면서 또한 상기 칸막이체가 상기 퇴피 상태인 경우에는, 상기 물품 반송 장치의 이동을 허용하고, 상기 전체 경로 반송 제어에 있어서, 상기 제1 도어 및 상기 제2 도어 중 적어도 한쪽이 폐쇄 상태가 아닐 경우, 또는 상기 칸막이체가 상기 퇴피 상태가 아닐 경우에는, 상기 물품 반송 장치의 이동을 금지하는 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 제1 도어 및 제2 도어의 양쪽이 폐쇄 상태이면서 또한 칸막이체가 퇴피 상태인 경우에는, 전체 경로 반송 제어에 있어서 물품 반송 장치의 이동이 허용되므로, 반송 제어 장치가 전체 경로 반송 제어를 실행함으로써, 물품 반송 장치가 제1 경로 부분 및 제2 경로 부분의 양쪽을 이동하여 물품이 반송된다.

그리고, 작업자가 경로 부분에 진입하는 경우에는, 제1 도어를 개방 조작하여 제1 경로 부분에 진입하거나 또는 제2 도어를 개방 조작하여 제2 경로 부분에 진입하게 되지만, 작업자에 의해 제1 도어나 제2 도어가 개방 조작되어 폐쇄 상태로 되지 않으면, 물품 반송 장치의 이동이 금지된다. 그러므로, 작업자에 의해 제1 도어나 제2 도어가 개방 조작되면, 물품 반송 장치의 이동이 금지되어 정지함으로써, 물품 반송 장치가, 이동 경로에 진입한 작업자에게 접촉되는 것을 회피할 수 있다.

또한, 칸막이체가 퇴피 상태가 아닐 경우(예를 들면, 설치 상태인 경우 등)는, 제1 경로 부분과 제2 경로 부분에 걸쳐 이동하는 물품 반송 장치가 칸막이체에 접촉될 우려가 있지만, 칸막이체가 퇴피 상태가 아닐 경우에는, 물품 반송 장치의 이동이 금지된다. 그러므로, 칸막이체가 퇴피 상태가 아닐 경우에는, 물품 반송 장치의 이동이 금지되어 정지함으로써, 물품 반송 장치가 칸막이체에 접촉되는 것을 회피할 수 있다.

또한, 상기 물품 수납 선반의 설치 공간과 상기 이동 경로와의 양쪽을 가지는 내부 공간을 덮는 벽체와, 상기 수납부에 수납되어 있는 물품에 대하여 불활성 기체를 공급하는 불활성 기체 공급 장치와, 상기 불활성 기체 공급 장치의 작동을 제어하는 공급 제어 장치를 구비하고, 상기 벽체에, 상기 제1 경로 부분에 작업자가 출입하는 제1 출입구와, 상기 제1 출입구를 개폐하는 제1 도어와, 상기 제2 경로 부분에 작업자가 출입하는 제2 출입구와, 상기 제2 출입구를 개폐하는 제2 도어가 구비되고, 상기 내부 공간이, 상기 선반 가로 폭 방향으로 배열되는 제1 내부 공간과 제2 내부 공간을 가지고, 상기 칸막이체가, 상기 설치 상태에서는, 상기 제1 내부 공간과 상기 제2 내부 공간과의 경계 개소에 위치하여 상기 내부 공간을 상기 제1 내부 공간과 상기 제2 내부 공간으로 분단하는 상태로 설치되고, 상기 공급 제어 장치에 의해 선택적으로 실행되는 복수의 공급 제어는, 전체 공급 제어와 부분 공급 제어를 포함하고, 상기 전체 공급 제어는, 상기 제1 내부 공간과 상기 제2 내부 공간과의 양쪽에서의 상기 수납부에 수납되어 있는 물품에 대하여 불활성 기체를 공급하는 공급 제어이며, 상기 부분 공급 제어는, 상기 제1 내부 공간과 상기 제2 내부 공간 중 어느 한쪽에서의 상기 수납부에 수납되어 있는 물품에 대하여 불활성 기체를 공급하는 공급 제어인 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 물품을 수납부에 수납했을 때 불활성 기체 공급 장치에 의해 불활성 기체를 물품에 공급함으로써, 예를 들면, 반도체 기판을 수용한 용기를 물품으로 한 경우에는, 그 용기 내에 불활성 기체를 공급함으로써 반도체 기판의 산화를 방지하는 등, 물품에 문제점이 생기는 것을 억제할 수 있다.

그런데, 물품에 불활성 기체를 공급했을 때 물품으로부터 잉여의 불활성 기체가 배출되지만, 그 불활성 기체를 내부 공간에 배출한 경우에는, 내부 공간에서의 불활성 기체의 농도가 높아진다. 이와 같이, 불활성 기체의 농도가 높은 내부 공간에서 작업자가 유지보수 작업을 행하는 것을 피하기 위해, 공급 제어 장치가 전체 공급 제어와 부분 공급 제어를 선택적으로 실행하고, 칸막이체를 설치 상태로 설치함으로써, 내부 공간을 제1 내부 공간과 제2 내부 공간으로 분단(分斷) 가능하게 되어 있다.

즉, 제1 내부 공간과 제2 내부 공간과의 양쪽 모두에 작업자가 진입하지 않을 경우에는, 전체 공급 제어를 실행함으로써, 불활성 기체 공급 장치는, 제1 내부 공간과 제2 내부 공간과의 양쪽의 수납부에 수납되어 있는 물품에 대하여 불활성 기체를 공급할 수 있다.

그리고, 칸막이체를 설치 상태로 전환한 상태에서, 제1 내부 공간의 제1 경로 부분에 작업자가 진입하는 경우에는 제2 내부 공간의 수납부에 수납되어 있는 물품에 대하여 불활성 기체를 공급하고, 또한 제2 내부 공간의 제2 경로 부분에 작업자가 진입하는 경우에는 제1 내부 공간의 수납부에 수납되어 있는 물품에 대하여 불활성 기체를 공급하도록, 한쪽의 내부 공간에 있어서 작업자가 작업을 행하면서, 다른 쪽의 내부 공간에서는 불활성 기체 공급 장치에 의해 수납부에 수납되어 있는 물품에 대하여 불활성 기체를 공급할 수 있다.

또한, 상기 제1 도어 및 상기 제2 도어의 개폐 상태를 검출하는 도어 상태 검출 장치가 구비되고, 상기 공급 제어 장치가, 상기 도어 상태 검출 장치의 검출 정보에 기초하여, 상기 제1 도어 및 상기 제2 도어의 양쪽이 상기 폐쇄 상태일 경우에는, 상기 제1 내부 공간과 상기 제2 내부 공간과의 양쪽에서의 상기 수납부에 수납되어 있는 물품에 대한 불활성 기체의 공급을 허용하고, 상기 제1 도어가 폐쇄 상태로부터 개방 조작된 경우 또는 상기 제2 도어가 폐쇄 상태로부터 개방 조작된 경우에는, 상기 제1 내부 공간과 상기 제2 내부 공간과의 양쪽에서의 상기 수납부에 수납되어 있는 물품에 대한 불활성 기체의 공급을 정지하는 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 제1 도어 및 제2 도어의 양쪽이 폐쇄 상태일 경우에는, 공급 제어 장치에 의해 불활성 기체 공급 장치의 작동을 제어함으로써, 제1 내부 공간과 제2 내부 공간과의 양쪽에서의 수납부에 수납되어 있는 물품에 대하여 불활성 기체를 공급할 수 있다.

그리고, 제1 도어가 폐쇄 상태로부터 개방 조작된 경우 또는 제2 도어가 폐쇄 상태로부터 개방 조작된 경우에는, 제1 내부 공간 및 제2 내부 공간의 양쪽에서의 수납부에 수납되어 있는 물품에 대한 불활성 기체의 공급이 정지된다.

즉, 작업자가 제1 도어나 제2 도어를 개방 조작하여 내부 공간에 진입하려고했을 때는, 내부 공간에서의 수납부에 수납되어 있는 물품에 대한 불활성 기체의 공급이 정지되므로, 작업자가 내부 공간에 진입한 상태에서 내부 공간에서의 수납부에 수납되어 있는 물품에 대하여 불활성 기체가 공급되는 것을 방지할 수 있다.

또한, 상기 물품 수납 선반의 설치 공간과 상기 이동 경로와의 양쪽을 가지는 내부 공간을 덮는 벽체를 구비하고, 상기 벽체에, 상기 이동 경로에 작업자가 출입하는 개구와 상기 개구를 개폐하는 개폐 도어가 구비되고, 상기 내부 공간이, 상기 선반 가로 폭 방향으로 배열되는 제1 내부 공간과 제2 내부 공간을 가지고, 상기 칸막이체가, 상기 설치 상태에서는, 상기 제1 내부 공간과 상기 제2 내부 공간과의 경계 개소에 위치하여 상기 내부 공간을 상기 제1 내부 공간과 상기 제2 내부 공간으로 분단하는 상태로 설치되고, 상기 개구가, 상기 선반 가로 폭 방향에서 상기 경로 경계 개소를 가로질러 상기 제1 내부 공간과 상기 제2 내부 공간과의 양측으로 넓어지는 상태로 형성되고, 또한 제1 개구부와 제2 개구부와 제3 개구부에 의해 형성되고, 상기 제1 개구부는, 그 모든 개구 영역이 상기 제1 내부 공간에 대하여 선반 전후 방향에서 볼 때 중첩되는 위치에 형성되고, 상기 제2 개구부는, 그 모든 개구 영역이 상기 제2 내부 공간에 대하여 선반 전후 방향에서 볼 때 중첩되는 위치에 형성되고, 상기 제3 개구부는, 상기 선반 가로 폭 방향에서 상기 제1 개구부와 상기 제2 개구부와의 사이에 위치하고, 또한 상기 제1 내부 공간에 대하여 선반 전후 방향에서 볼 때 중첩되는 개구 영역과 상기 제2 내부 공간에 대하여 선반 전후 방향에서 볼 때 중첩되는 개구 영역을 가지도록 형성되고, 상기 제1 개구부와 상기 제3 개구부에 의해, 상기 제1 경로 부분에 작업자가 출입하는 제1 출입구가 형성되고, 상기 제2 개구부와 상기 제3 개구부에 의해, 상기 제2 경로 부분에 작업자가 출입하는 제2 출입구가 형성되고, 상기 개폐 도어가, 상기 선반 가로 폭 방향을 따라 신축 가능하게 구성되어, 상기 선반 가로 폭 방향으로 신장시켜 상기 개구의 전체를 폐쇄한 폐쇄 상태와, 상기 선반 가로 폭 방향으로 단축시켜 상기 개구에서의 상기 제2 개구부만을 폐쇄하여 상기 제1 출입구를 개방한 제1 개방 상태와, 상기 선반 가로 폭 방향으로 단축시켜 상기 개구에서의 상기 제1 개구부만을 폐쇄하여 상기 제2 출입구를 개방한 제2 개방 상태로 전환 가능하게 구성되어 있는 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 작업자는, 제1 내부 공간에 진입하는 경우에는, 개폐 도어를 제1 개방 상태로 전환하여 제1 출입구로부터 제1 내부 공간에 진입한다. 또한, 작업자는, 제2 내부 공간에 진입하는 경우에는, 개폐 도어를 제2 개방 상태로 전환하여 제2 출입구로부터 제2 내부 공간에 진입한다.

개폐 도어에 의해 개폐되는 개구는, 선반 가로 폭 방향으로 배열되는 제1 개구부와 제2 개구부와 제3 개구부에 의해 형성되고, 제1 개구부와 제3 개구부에 의해 제1 출입구가 형성되고, 제2 개구부와 제3 개구부에 의해 제2 출입구가 형성되어 있다. 이와 같이, 제1 출입구와 제2 출입구로 제3 개구부를 겸용함으로써, 제1 출입구와 제2 출입구에 의해 개구부를 겸용하지 않을 경우와 비교하여, 개구를 선반 가로 폭 방향을 따라 작게 할 수 있다.

그러므로, 예를 들면, 개구에 대하여 선반 가로 폭 방향의 양측에 수납부가 위치하도록 물품 수납 선반을 설치한 경우에, 양측에 위치하는 수납부의 간격을 선반 가로 폭 방향으로 좁게 할 수 있으므로, 물품 보관 설비에서의 물품의 수납 효율을 높일 수 있다.

또한, 상기 칸막이체가, 상기 설치 상태에 있어서, 상기 칸막이체에서의 선반 전후 방향에서 상기 개구의 측에 위치하는 단부가 상기 개구에서의 상기 제2 개구부와 상기 제3 개구부와의 경계 개소에 위치하는 제1 칸막이 위치와, 상기 단부가 상기 개구에서의 상기 제1 개구부와 상기 제3 개구부와의 경계 개소에 위치하는 제2 칸막이 위치로 이동 가능하게 구성되며, 상기 개폐 도어가 상기 제1 개방 상태로 전환됨에 따라 상기 칸막이체가 제1 칸막이 위치로 이동하고, 상기 개폐 도어가 제2 개방 상태로 전환됨에 따라 상기 칸막이체가 상기 제2 칸막이 위치로 이동하도록, 상기 칸막이체과 상기 개폐 도어를 연동시키는 연동 기구가 구비되어 있으므로, 바람직하다.

이 구성에 의하면, 개폐 도어가 제1 개방 상태로 전환됨에 따라 칸막이체가 제1 칸막이 위치로 이동하고, 개폐 도어가 제2 개방 상태로 전환됨에 따라 칸막이체가 제2 칸막이 위치로 이동한다. 그러므로, 개폐 도어와 칸막이체를 별개로 조작하는 경우와 비교하여 작업의 간소화를 도모할 수 있다.

1; 수납부
2; 물품 수납 선반
3; 스태커 크레인(물품 반송 장치)
3a; 제1 스태커 크레인(제1 물품 반송 장치)
3b; 제2 스태커 크레인(제2 물품 반송 장치)
4; 내부 공간
4a; 제1 내부 공간
4b; 제2 내부 공간
5; 칸막이체
8; 주행 경로(이동 경로)
8a; 제1 경로 부분
8b; 제2 경로 부분
8c; 경로 경계 개소
23; 개구
23A; 제1 출입구
23B; 제2 출입구
23a; 제1 개구부
23b; 제2 개구부
23c; 제3 개구부
24; 개폐 도어(제1 도어, 제2 도어)
25; 도어용 지주 부재(연동 기구)
30; 칸막이체용 지주 부재(연동 기구)
32; 칸막이 상태 검출 장치
33; 도어 상태 검출 장치
K; 벽체(포위체)
H; 제어 장치(반송 제어 장치, 공급 제어 장치)
N; 질소 가스 공급 장치(불활성 기체 공급 장치)
W; 용기(물품)

Claims

물품을 수납하는 수납부를 복수 구비한 물품 수납 선반(article storage rack);
상기 물품 수납 선반의 전방에 있어서 선반 가로 폭 방향을 따라 이동하여 물품을 반송(搬送)하는 복수의 물품 반송 장치(article transport device); 및
상기 복수의 물품 반송 장치의 작동을 제어하는 반송 제어 장치(transport control device);
를 포함하고,
상기 복수의 물품 반송 장치가 이동하는 이동 경로가, 상기 선반 가로 폭 방향으로 배열되는 제1 경로 부분(path portion)과 제2 경로 부분을 구비하고,
상기 복수의 물품 반송 장치는, 제1 물품 반송 장치와 제2 물품 반송 장치를 포함하고,
상기 반송 제어 장치에 의해 선택적으로 실행되는 복수의 반송 제어는, 제1 반송 제어와 제2 반송 제어를 포함하고,
상기 제1 반송 제어는, 상기 제1 물품 반송 장치를 상기 제1 경로 부분만을 이동시켜 물품을 반송하고, 또한 상기 제2 물품 반송 장치를 상기 제2 경로 부분만을 이동시켜 물품을 반송하는 반송 제어이며,
상기 제2 반송 제어는, 상기 제1 물품 반송 장치와 상기 제2 물품 반송 장치 중 선택된 한쪽을 대상 물품 반송 장치로 하여, 상기 대상 물품 반송 장치가 상기 제1 물품 반송 장치일 경우에는 상기 대상 물품 반송 장치를 상기 제1 경로 부분만을 이동시켜 물품을 반송하고, 상기 대상 물품 반송 장치가 상기 제2 물품 반송 장치일 경우에는 상기 대상 물품 반송 장치를 상기 제2 경로 부분만을 이동시켜 물품을 반송하는 반송 제어이며,
상기 이동 경로에서의 상기 제1 경로 부분과 상기 제2 경로 부분과의 경계 개소인 경로 경계 개소(箇所)에 설치되어 상기 제1 경로 부분과 상기 제2 경로 부분을 차단하는 설치 상태(installed state)와, 상기 경로 경계 개소로부터 퇴피시켜 상기 경로 경계 개소를 개방하는 퇴피 상태(retracted state)로 전환 가능한 칸막이체(partition body)가 구비되고,
상기 복수의 반송 제어는, 제3 반송 제어를 더 포함하고,
상기 제3 반송 제어는, 상기 대상 물품 반송 장치를 상기 제1 경로 부분과 상기 제2 경로 부분과의 양쪽을 이동시켜 물품을 반송하는 반송 제어이며,
상기 물품 수납 선반을 설치하는 설치 공간과 상기 이동 경로와의 양쪽을 가지는 공간을, 평면에서 볼 때 에워싸는 포위체를 구비하고,
상기 포위체에, 상기 제1 경로 부분에 작업자가 출입하는 제1 출입구와, 상기 제1 출입구를 개폐하는 제1 도어와, 상기 제2 경로 부분에 작업자가 출입하는 제2 출입구와, 상기 제2 출입구를 개폐하는 제2 도어가 구비되고,
상기 칸막이체의 설치 상태를 검출하는 칸막이 상태 검출 장치와, 상기 제1 도어 및 상기 제2 도어의 개폐 상태를 검출하는 도어 상태 검출 장치가 구비되고,
상기 반송 제어 장치가, 상기 칸막이 상태 검출 장치 및 상기 도어 상태 검출 장치의 각각의 검출 정보에 기초하여,
상기 제3 반송 제어에 있어서, 상기 제1 도어 및 상기 제2 도어의 양쪽이 폐쇄 상태이면서 또한 상기 칸막이체가 상기 퇴피 상태인 경우에는, 상기 대상 물품 반송 장치의 이동을 허용하고,
상기 제3 반송 제어에 있어서, 상기 제1 도어 및 상기 제2 도어 중 적어도 한쪽이 폐쇄 상태가 아닐 경우, 또는 상기 칸막이체가 상기 퇴피 상태가 아닐 경우에는, 상기 대상 물품 반송 장치의 이동을 금지하는,
물품 보관 설비.
물품을 수납하는 수납부를 복수 구비한 물품 수납 선반(article storage rack);
상기 물품 수납 선반의 전방에 있어서 선반 가로 폭 방향을 따라 이동하여 물품을 반송(搬送)하는 복수의 물품 반송 장치(article transport device); 및
상기 복수의 물품 반송 장치의 작동을 제어하는 반송 제어 장치(transport control device);
를 포함하고,
상기 복수의 물품 반송 장치가 이동하는 이동 경로가, 상기 선반 가로 폭 방향으로 배열되는 제1 경로 부분(path portion)과 제2 경로 부분을 구비하고,
상기 복수의 물품 반송 장치는, 제1 물품 반송 장치와 제2 물품 반송 장치를 포함하고,
상기 반송 제어 장치에 의해 선택적으로 실행되는 복수의 반송 제어는, 제1 반송 제어와 제2 반송 제어를 포함하고,
상기 제1 반송 제어는, 상기 제1 물품 반송 장치를 상기 제1 경로 부분만을 이동시켜 물품을 반송하고, 또한 상기 제2 물품 반송 장치를 상기 제2 경로 부분만을 이동시켜 물품을 반송하는 반송 제어이며,
상기 제2 반송 제어는, 상기 제1 물품 반송 장치와 상기 제2 물품 반송 장치 중 선택된 한쪽을 대상 물품 반송 장치로 하여, 상기 대상 물품 반송 장치가 상기 제1 물품 반송 장치일 경우에는 상기 대상 물품 반송 장치를 상기 제1 경로 부분만을 이동시켜 물품을 반송하고, 상기 대상 물품 반송 장치가 상기 제2 물품 반송 장치일 경우에는 상기 대상 물품 반송 장치를 상기 제2 경로 부분만을 이동시켜 물품을 반송하는 반송 제어이며,
상기 이동 경로에서의 상기 제1 경로 부분과 상기 제2 경로 부분과의 경계 개소인 경로 경계 개소(箇所)에 설치되어 상기 제1 경로 부분과 상기 제2 경로 부분을 차단하는 설치 상태(installed state)와, 상기 경로 경계 개소로부터 퇴피시켜 상기 경로 경계 개소를 개방하는 퇴피 상태(retracted state)로 전환 가능한 칸막이체(partition body)가 구비되고,
상기 물품 수납 선반의 설치 공간과 상기 이동 경로와의 양쪽을 가지는 내부 공간을 덮는 벽체;
상기 수납부에 수납되어 있는 물품에 대하여 불활성 기체(氣體)를 공급하는 불활성 기체 공급 장치; 및
상기 불활성 기체 공급 장치의 작동을 제어하는 공급 제어 장치;
더 포함하고,
상기 벽체에, 상기 제1 경로 부분에 작업자가 출입하는 제1 출입구와, 상기 제1 출입구를 개폐하는 제1 도어와, 상기 제2 경로 부분에 작업자가 출입하는 제2 출입구와, 상기 제2 출입구를 개폐하는 제2 도어가 구비되고,
상기 내부 공간이, 상기 선반 가로 폭 방향으로 배열되는 제1 내부 공간과 제2 내부 공간을 가지고,
상기 칸막이체가, 상기 설치 상태에서는, 상기 제1 내부 공간과 상기 제2 내부 공간과의 경계 개소에 위치하여 상기 내부 공간을 상기 제1 내부 공간과 상기 제2 내부 공간으로 분단하는 상태로 설치되고,
상기 공급 제어 장치에 의해 선택적으로 실행되는 복수의 공급 제어는, 전체 공급 제어와 부분 공급 제어를 포함하고,
상기 전체 공급 제어는, 상기 제1 내부 공간과 상기 제2 내부 공간과의 양쪽에서의 상기 수납부에 수납되어 있는 물품에 대하여 불활성 기체를 공급하는 공급 제어이며,
상기 부분 공급 제어는, 상기 제1 내부 공간과 상기 제2 내부 공간 중 어느 한쪽에서의 상기 수납부에 수납되어 있는 물품에 대하여 불활성 기체를 공급하는 공급 제어인,
물품 보관 설비.
제2항에 있어서,
상기 제1 도어 및 상기 제2 도어의 개폐 상태를 검출하는 도어 상태 검출 장치가 구비되고,
상기 공급 제어 장치가, 상기 도어 상태 검출 장치의 검출 정보에 기초하여, 상기 제1 도어 및 상기 제2 도어의 양쪽이 상기 폐쇄 상태일 경우에는, 상기 제1 내부 공간과 상기 제2 내부 공간과의 양쪽에서의 상기 수납부에 수납되어 있는 물품에 대한 불활성 기체의 공급을 허용하고, 상기 제1 도어가 폐쇄 상태로부터 개방 조작된 경우 또는 상기 제2 도어가 폐쇄 상태로부터 개방 조작된 경우에는, 상기 제1 내부 공간과 상기 제2 내부 공간과의 양쪽에서의 상기 수납부에 수납되어 있는 물품에 대한 불활성 기체의 공급을 정지하는, 물품 보관 설비.
제2항 또는 제3항에 있어서,
상기 복수의 반송 제어는, 제3 반송 제어를 더 포함하고,
상기 제3 반송 제어는, 상기 대상 물품 반송 장치를 상기 제1 경로 부분과 상기 제2 경로 부분과의 양쪽을 이동시켜 물품을 반송하는 반송 제어인, 물품 보관 설비.
제4항에 있어서,
상기 물품 수납 선반을 설치하는 설치 공간과 상기 이동 경로와의 양쪽을 가지는 공간을, 평면에서 볼 때 에워싸는 포위체를 구비하고,
상기 포위체에, 상기 제1 경로 부분에 작업자가 출입하는 제1 출입구와, 상기 제1 출입구를 개폐하는 제1 도어와, 상기 제2 경로 부분에 작업자가 출입하는 제2 출입구와, 상기 제2 출입구를 개폐하는 제2 도어가 구비되고,
상기 칸막이체의 설치 상태를 검출하는 칸막이 상태 검출 장치와, 상기 제1 도어 및 상기 제2 도어의 개폐 상태를 검출하는 도어 상태 검출 장치가 구비되고,
상기 반송 제어 장치가, 상기 칸막이 상태 검출 장치 및 상기 도어 상태 검출 장치의 각각의 검출 정보에 기초하여,
상기 제3 반송 제어에 있어서, 상기 제1 도어 및 상기 제2 도어의 양쪽이 폐쇄 상태이면서 또한 상기 칸막이체가 상기 퇴피 상태인 경우에는, 상기 대상 물품 반송 장치의 이동을 허용하고,
상기 제3 반송 제어에 있어서, 상기 제1 도어 및 상기 제2 도어 중 적어도 한쪽이 폐쇄 상태가 아닐 경우, 또는 상기 칸막이체가 상기 퇴피 상태가 아닐 경우에는, 상기 대상 물품 반송 장치의 이동을 금지하는, 물품 보관 설비.
물품을 수납하는 수납부를 복수 구비한 물품 수납 선반(article storage rack);
상기 물품 수납 선반의 전방에 있어서 선반 가로 폭 방향을 따라 이동하여 물품을 반송(搬送)하는 복수의 물품 반송 장치(article transport device); 및
상기 복수의 물품 반송 장치의 작동을 제어하는 반송 제어 장치(transport control device);
를 포함하고,
상기 복수의 물품 반송 장치가 이동하는 이동 경로가, 상기 선반 가로 폭 방향으로 배열되는 제1 경로 부분(path portion)과 제2 경로 부분을 구비하고,
상기 복수의 물품 반송 장치는, 제1 물품 반송 장치와 제2 물품 반송 장치를 포함하고,
상기 반송 제어 장치에 의해 선택적으로 실행되는 복수의 반송 제어는, 제1 반송 제어와 제2 반송 제어를 포함하고,
상기 제1 반송 제어는, 상기 제1 물품 반송 장치를 상기 제1 경로 부분만을 이동시켜 물품을 반송하고, 또한 상기 제2 물품 반송 장치를 상기 제2 경로 부분만을 이동시켜 물품을 반송하는 반송 제어이며,
상기 제2 반송 제어는, 상기 제1 물품 반송 장치와 상기 제2 물품 반송 장치 중 선택된 한쪽을 대상 물품 반송 장치로 하여, 상기 대상 물품 반송 장치가 상기 제1 물품 반송 장치일 경우에는 상기 대상 물품 반송 장치를 상기 제1 경로 부분만을 이동시켜 물품을 반송하고, 상기 대상 물품 반송 장치가 상기 제2 물품 반송 장치일 경우에는 상기 대상 물품 반송 장치를 상기 제2 경로 부분만을 이동시켜 물품을 반송하는 반송 제어이며,
상기 이동 경로에서의 상기 제1 경로 부분과 상기 제2 경로 부분과의 경계 개소인 경로 경계 개소(箇所)에 설치되어 상기 제1 경로 부분과 상기 제2 경로 부분을 차단하는 설치 상태(installed state)와, 상기 경로 경계 개소로부터 퇴피시켜 상기 경로 경계 개소를 개방하는 퇴피 상태(retracted state)로 전환 가능한 칸막이체(partition body)가 구비되고,
상기 물품 수납 선반의 설치 공간과 상기 이동 경로와의 양쪽을 가지는 내부 공간을 덮는 벽체를 구비하고,
상기 벽체에, 상기 이동 경로에 작업자가 출입하는 개구와 상기 개구를 개폐하는 개폐 도어가 구비되고,
상기 내부 공간이, 상기 선반 가로 폭 방향으로 배열되는 제1 내부 공간과 제2 내부 공간을 가지고,
상기 칸막이체가, 상기 설치 상태에서는, 상기 제1 내부 공간과 상기 제2 내부 공간과의 경계 개소에 위치하여 상기 내부 공간을 상기 제1 내부 공간과 상기 제2 내부 공간으로 분단하는 상태로 설치되고,
상기 개구가, 상기 선반 가로 폭 방향에서 상기 경로 경계 개소를 가로질러 상기 제1 내부 공간과 상기 제2 내부 공간과의 양측으로 넓어지는 상태로 형성되고, 또한 제1 개구부와 제2 개구부와 제3 개구부에 의해 형성되고,
상기 제1 개구부는, 그 모든 개구 영역이 상기 제1 내부 공간에 대하여 선반 전후 방향에서 볼 때 중첩되는 위치에 형성되고,
상기 제2 개구부는, 그 모든 개구 영역이 상기 제2 내부 공간에 대하여 선반 전후 방향에서 볼 때 중첩되는 위치에 형성되고,
상기 제3 개구부는, 상기 선반 가로 폭 방향에서 상기 제1 개구부와 상기 제2 개구부 사이에 위치하고, 또한 상기 제1 내부 공간에 대하여 선반 전후 방향에서 볼 때 중첩되는 개구 영역과 상기 제2 내부 공간에 대하여 선반 전후 방향에서 볼 때 중첩되는 개구 영역을 가지도록 형성되고,
상기 제1 개구부와 상기 제3 개구부에 의해, 상기 제1 경로 부분에 작업자가 출입하는 제1 출입구가 형성되고,
상기 제2 개구부와 상기 제3 개구부에 의해, 상기 제2 경로 부분에 작업자가 출입하는 제2 출입구가 형성되고,
상기 개폐 도어가, 상기 선반 가로 폭 방향을 따라 신축(伸縮) 가능하게 구성되어, 상기 선반 가로 폭 방향으로 신장(伸長)시켜 상기 개구의 전체를 폐쇄한 폐쇄 상태와, 상기 선반 가로 폭 방향으로 단축시켜 상기 개구에서의 상기 제2 개구부만을 폐쇄하여 상기 제1 출입구를 개방한 제1 개방 상태와, 상기 선반 가로 폭 방향으로 단축시켜 상기 개구에서의 상기 제1 개구부만을 폐쇄하여 상기 제2 출입구를 개방한 제2 개방 상태로 전환 가능하게 구성되어 있는,
물품 보관 설비.
제6항에 있어서,
상기 칸막이체가, 상기 설치 상태에 있어서, 상기 칸막이체에서의 선반 전후 방향에서 상기 개구의 측에 위치하는 단부(端部)가 상기 개구에서의 상기 제2 개구부와 상기 제3 개구부와의 경계 개소에 위치하는 제1 칸막이 위치와, 상기 단부가 상기 개구에서의 상기 제1 개구부와 상기 제3 개구부와의 경계 개소에 위치하는 제2 칸막이 위치로 이동 가능하게 구성되며,
상기 개폐 도어가 상기 제1 개방 상태로 전환됨에 따라 상기 칸막이체가 제1 칸막이 위치로 이동하고, 상기 개폐 도어가 제2 개방 상태로 전환됨에 따라 상기 칸막이체가 상기 제2 칸막이 위치로 이동하도록, 상기 칸막이체과 상기 개폐 도어를 연동시키는 연동 기구가 구비되어 있는, 물품 보관 설비.
제6항 또는 제7항에 있어서,
상기 물품 수납 선반의 설치 공간과 상기 이동 경로와의 양쪽을 가지는 내부 공간을 덮는 벽체;
상기 수납부에 수납되어 있는 물품에 대하여 불활성 기체(氣體)를 공급하는 불활성 기체 공급 장치; 및
상기 불활성 기체 공급 장치의 작동을 제어하는 공급 제어 장치;
더 포함하고,
상기 벽체에, 상기 제1 경로 부분에 작업자가 출입하는 제1 출입구와, 상기 제1 출입구를 개폐하는 제1 도어와, 상기 제2 경로 부분에 작업자가 출입하는 제2 출입구와, 상기 제2 출입구를 개폐하는 제2 도어가 구비되고,
상기 내부 공간이, 상기 선반 가로 폭 방향으로 배열되는 제1 내부 공간과 제2 내부 공간을 가지고,
상기 칸막이체가, 상기 설치 상태에서는, 상기 제1 내부 공간과 상기 제2 내부 공간과의 경계 개소에 위치하여 상기 내부 공간을 상기 제1 내부 공간과 상기 제2 내부 공간으로 분단하는 상태로 설치되고,
상기 공급 제어 장치에 의해 선택적으로 실행되는 복수의 공급 제어는, 전체 공급 제어와 부분 공급 제어를 포함하고,
상기 전체 공급 제어는, 상기 제1 내부 공간과 상기 제2 내부 공간과의 양쪽에서의 상기 수납부에 수납되어 있는 물품에 대하여 불활성 기체를 공급하는 공급 제어이며,
상기 부분 공급 제어는, 상기 제1 내부 공간과 상기 제2 내부 공간 중 어느 한쪽에서의 상기 수납부에 수납되어 있는 물품에 대하여 불활성 기체를 공급하는 공급 제어인, 물품 보관 설비.
제8항에 있어서,
상기 제1 도어 및 상기 제2 도어의 개폐 상태를 검출하는 도어 상태 검출 장치가 구비되고,
상기 공급 제어 장치가, 상기 도어 상태 검출 장치의 검출 정보에 기초하여, 상기 제1 도어 및 상기 제2 도어의 양쪽이 상기 폐쇄 상태일 경우에는, 상기 제1 내부 공간과 상기 제2 내부 공간과의 양쪽에서의 상기 수납부에 수납되어 있는 물품에 대한 불활성 기체의 공급을 허용하고, 상기 제1 도어가 폐쇄 상태로부터 개방 조작된 경우 또는 상기 제2 도어가 폐쇄 상태로부터 개방 조작된 경우에는, 상기 제1 내부 공간과 상기 제2 내부 공간과의 양쪽에서의 상기 수납부에 수납되어 있는 물품에 대한 불활성 기체의 공급을 정지하는, 물품 보관 설비.
제6항 또는 제7항에 있어서,
상기 복수의 반송 제어는, 제3 반송 제어를 더 포함하고,
상기 제3 반송 제어는, 상기 대상 물품 반송 장치를 상기 제1 경로 부분과 상기 제2 경로 부분과의 양쪽을 이동시켜 물품을 반송하는 반송 제어인, 물품 보관 설비.
제10항에 있어서,
상기 물품 수납 선반을 설치하는 설치 공간과 상기 이동 경로와의 양쪽을 가지는 공간을, 평면에서 볼 때 에워싸는 포위체를 구비하고,
상기 포위체에, 상기 제1 경로 부분에 작업자가 출입하는 제1 출입구와, 상기 제1 출입구를 개폐하는 제1 도어와, 상기 제2 경로 부분에 작업자가 출입하는 제2 출입구와, 상기 제2 출입구를 개폐하는 제2 도어가 구비되고,
상기 칸막이체의 설치 상태를 검출하는 칸막이 상태 검출 장치와, 상기 제1 도어 및 상기 제2 도어의 개폐 상태를 검출하는 도어 상태 검출 장치가 구비되고,
상기 반송 제어 장치가, 상기 칸막이 상태 검출 장치 및 상기 도어 상태 검출 장치의 각각의 검출 정보에 기초하여,
상기 제3 반송 제어에 있어서, 상기 제1 도어 및 상기 제2 도어의 양쪽이 폐쇄 상태이면서 또한 상기 칸막이체가 상기 퇴피 상태인 경우에는, 상기 대상 물품 반송 장치의 이동을 허용하고,
상기 제3 반송 제어에 있어서, 상기 제1 도어 및 상기 제2 도어 중 적어도 한쪽이 폐쇄 상태가 아닐 경우, 또는 상기 칸막이체가 상기 퇴피 상태가 아닐 경우에는, 상기 대상 물품 반송 장치의 이동을 금지하는, 물품 보관 설비.
물품을 수납하는 수납부를 복수 구비한 물품 수납 선반;
상기 물품 수납 선반의 전방에 있어서 선반 가로 폭 방향을 따라 이동하여 물품을 반송하는 물품 반송 장치; 및
상기 물품 반송 장치의 작동을 제어하는 반송 제어 장치;
를 포함하고,
상기 물품 반송 장치가 이동하는 이동 경로가, 상기 선반 가로 폭 방향으로 배열되는 제1 경로 부분과 제2 경로 부분을 가지고,
상기 반송 제어 장치에 의해 선택적으로 실행되는 복수의 반송 제어는, 전체 경로 반송 제어와 일부 경로 반송 제어를 포함하고,
상기 전체 경로 반송 제어는, 상기 물품 반송 장치를 상기 제1 경로 부분 및 상기 제2 경로 부분의 양쪽을 이동시켜 물품을 반송하는 반송 제어이며,
상기 일부 경로 반송 제어는, 상기 물품 반송 장치를 상기 제1 경로 부분과 상기 제2 경로 부분 중 어느 한쪽의 경로 부분을 이동시켜 물품을 반송하는 반송 제어이며,
상기 이동 경로에서의 상기 제1 경로 부분과 상기 제2 경로 부분과의 경계 개소인 경로 경계 개소에 설치되어 상기 제1 경로 부분과 상기 제2 경로 부분을 차단하는 설치 상태와, 상기 경로 경계 개소로부터 퇴피시켜 상기 경로 경계 개소를 개방하는 퇴피 상태로 전환 가능한 칸막이체가 구비되고,
상기 물품 수납 선반을 설치하는 설치 공간과 상기 이동 경로와의 양쪽을 가지는 공간을, 평면에서 볼 때 에워싸는 포위체를 구비하고,
상기 포위체에, 상기 제1 경로 부분에 작업자가 출입하는 제1 출입구와, 상기 제1 출입구를 개폐하는 제1 도어와, 상기 제2 경로 부분에 작업자가 출입하는 제2 출입구와, 상기 제2 출입구를 개폐하는 제2 도어가 구비되고,
상기 칸막이체의 설치 상태를 검출하는 칸막이 상태 검출 장치와, 상기 제1 도어 및 상기 제2 도어의 개폐 상태를 검출하는 도어 상태 검출 장치가 구비되고,
상기 반송 제어 장치가, 상기 칸막이 상태 검출 장치 및 상기 도어 상태 검출 장치의 각각의 검출 정보에 기초하여,
상기 전체 경로 반송 제어에 있어서, 상기 제1 도어 및 상기 제2 도어의 양쪽이 폐쇄 상태이면서 또한 상기 칸막이체가 상기 퇴피 상태인 경우에는, 상기 물품 반송 장치의 이동을 허용하고,
상기 전체 경로 반송 제어에 있어서, 상기 제1 도어 및 상기 제2 도어 중 적어도 한쪽이 폐쇄 상태가 아닐 경우, 또는 상기 칸막이체가 상기 퇴피 상태가 아닐 경우에는, 상기 물품 반송 장치의 이동을 금지하는,
물품 보관 설비.