TWI642469B - 過濾器連結裝置及具備有過濾器連結裝置的基板處理裝置 - Google Patents

Abstract

過濾器連結裝置係與過濾器連結。過濾器連結裝置係具備有：複數個接頭構件，係與過濾器的複數個連接口連接。過濾器連結裝置係具備有：配置切換部，係在第一配置與第二配置之間切換複數個接頭構件的配置。

Description

過濾器連結裝置及具備有過濾器連結裝置的基板處理裝置

本發明係有關於一種與過濾器連結之過濾器連結裝置。本發明係有關於一種具備有過濾器連結裝置之基板處理裝置，且係有關於一種用以處理半導體晶圓、光罩用的玻璃基板、液晶顯示用的玻璃基板、光碟用的基板等(以下簡稱為基板)之基板處理裝置。

過濾器係設置於用以將處理液供給至基板之供給線路，用以過濾處理液。過濾器係具有過濾器本體以及複數個連接口。一個連接口係例如為用以使處理液流入至過濾器本體之入口。另一個連接口係例如為用以使處理液從過濾器本體流出之出口。

為了將過濾器輕易地插入至供給線路之間，係使用過濾器連結裝置(例如已揭示於日本特開2003-251110號公 報、日本特開2015-85327號公報以及日本特開2014-195807號公報)。過濾器連結裝置係具備有與複數個連接口連接之複數個連接埠。連接埠係以與連接口相同的佈局(layout)之方式配置。當將過濾器連結於過濾器連結裝置時，複數個連接口係總括地與連接埠連接，且過濾器係與處理液的供給線路連通連接。

然而，在具有此種構成之習知例的情形中，有如下的問題。

習知的過濾器連結裝置的連接口僅可與以特定的佈局之方式所配置的過濾器連結。只要過濾器的連接口的配置不同，則適合過濾器之過濾器連結裝置亦會不同。

另一方面，連接口的配置會因為過濾器的製造者或過濾器的種類而不同的情形亦很多。這是由於連接口的配置會影響到過濾器的性能之故。

在連接口的配置相同的過濾器彼此之間交換過濾器之情形中，通常無須連過濾器連結裝置一起更換即可完成。然而，在連接口的配置不同的過濾器彼此之間交換過濾器之情形中，則必須更換過濾器連結裝置。因此，在習知的過濾器連結裝置中，會有無法在連接口的配置不同之兩種以上的過濾器之間輕易地交換過濾器之問題。

本發明有鑑於此種問題而研創，其目的在於提供一種能適當地與過濾器的連接口的配置不同之兩種以上的過濾器連結之過濾器連結裝置及具備有過濾器連結裝置之基板處理裝置。

本發明為了成達此種目的，係作成如下構成。

亦即，本發明係一種過濾器連結裝置，用以與過濾器連結；前述過濾器連結裝置係包含有下述要素：複數個連接埠，係與前述過濾器的複數個連接口連接；以及配置切換部，係在第一配置與第二配置之間切換前述複數個連接埠的配置。

第一配置與第二配置彼此不同。以第一配置之方式所配置的複數個連接埠係能分別與以特定的配置之方式所設置的複數個連接口連接。以第二配置之方式所配置的複數個連接埠係能與以特定的另一種配置之方式所設置的複數個連接口連接。如此，第一配置與第二配置係預先決定。因此，在配置切換部將複數個連接埠的配置切換至第一配置時，過濾器連結裝置係能適當地與具有特定的配置的連接口之過濾器連結。此外，在配置切換部將複數個連接埠的配置切換至第二配置時，過濾器連結裝置係能適當地與具有特定的另一種配置的連接口之過濾器連結。如此，由於過濾器連結裝置具備有配置切換部，因此能適當地與過 濾器的連接口的配置不同之兩種以上的過濾器連結。因此，能在過濾器的連接口的配置不同之兩種以上的過濾器之間容易地交換過濾器。

在上述發明中，較佳為前述配置切換部係具備有用以在預定位置保持前述連接埠之保持部。更具體而言，較佳為前述保持部係分別在第一配置中的位置及第二配置中的位置保持複數個連接埠。保持部係能適當地防止連接埠的配置從第一配置偏離，且能適當地防止連接埠的配置從第二配置偏離。再者，保持部係能將各個連接埠定位於第一配置中的正確的位置，並能將各個連接埠定位於第二配置中的正確的位置。並且，保持部係能適當地防止各個連接埠從正確的位置偏離。

在上述發明中，較佳為前述配置切換部係具備有用以使至少一個以上的前述連接埠移動之移動部。更具體而言，較佳為移動部係在第一配置中的位置與第二配置中的位置之間移動連接埠。由於配置切換部具備有移動部，因此能容易地切換連接埠的配置。

在上述發明中，較佳為前述移動部係具備有：凸輪(cam)構件，係設置成可旋轉，用以與前述連接埠接觸。藉由凸輪構件旋轉，能使連接埠移動至適當的位置。

在本發明中，較佳為單一個前述凸輪構件係使兩個以上的前述連接埠移動。能降低凸輪構件的數量，而能簡化移動部的構造。

在上述發明中，較佳為前述配置切換部係具備有：移動部用鎖定部，係禁止前述移動部使前述連接埠移動之動作。更具體而言，較佳為移動部用鎖定部係將連接埠定位至第一配置中的位置及第二配置中的位置。移動部用鎖定部係能在第一配置中的正確的位置使各個連接埠靜止，並能在第二配置中的正確的位置使各個連接埠靜止。此外，移動部用鎖定部係能適當地防止連接埠從正確的位置偏離。

在上述發明中，較佳為前述過濾器連結裝置係具備有：操作部，係連動連結於前述移動部，用以使前述移動部動作。由於過濾器連結裝置具備有操作部，因此使用者能容易地使移動部動作。

在上述發明中，較佳為前述配置切換部係具備有：導引部，係導引至少一個以上的前述連接埠。更具體而言，較佳為導引部係在第一配置中的位置與第二配置中的位置之間導引連接埠。由於配置切換部具備有導引部，因此能順暢地切換連接埠的配置。

在上述發明中，較佳為接觸至前述導引部的一端緣之前述連接埠的位置為前述第一配置及前述第二配置的任一者中的前述連接埠的位置。使用導引部的一端緣，將被導引部導引的一個連接埠定位至特定的位置。導引構件的一端緣係規定第一配置中的連接埠的位置以及第二配置中的連接埠的位置中的任一個位置。因此，導引部係能在第一配置中的連接埠的位置以及第二配置中的連接埠的位置的至少任一個位置容易地導引連接埠。

在上述發明中，較佳為與前述導引部的一端緣接觸之前述連接埠的位置為前述第一配置及前述第二配置的一者中的前述連接埠的位置，與前述導引部的另一端緣接觸之前述連接埠的位置為前述第一配置及前述第二配置的另一者中的前述連接埠的位置。使用導引部的一端緣及另一端緣，將被導引構件導引的連接埠定位至特定的位置。具體而言，導引構件的一端緣係規定第一配置及第二配置的一者中的連接埠的位置。導引部的另一端緣係規定第一配置及第二配置的另一者中的連接埠的位置。如此，導引部的兩端緣係規定第一配置中的連接埠的位置及第二配置中的連接埠的位置。因此，導引部係能容易地將連接埠導引至第一配置及第二配置中的各個位置。

在上述發明中，較佳為前述配置切換部係具備有：止動部，係安裝於前述導引部，用以將前述連接埠停止於預 定位置。更具體而言，較佳為止動部係將連接埠停止於第一配置中的位置及第二配置中的位置。由於配置切換部具備有止動部，因此能適當地防止連接埠從第一配置中的正確的位置偏離，並能適當地防止連接埠從第二配置中的正確的位置偏離。結果，能適當地防止連接埠的配置偏離。具體而言，能將連接埠的配置適當地保持於第一配置，並能將連接埠的配置適當地保持於第二配置。

在上述發明中，較佳為前述過濾器連結裝置係具備有：過濾器支撐部，係支撐前述過濾器；升降部，係使前述過濾器支撐部升降；以及升降用鎖定部，係在前述過濾器支撐部位於第一高度位置時以及前述過濾器支撐部位於第二高度位置時分別禁止前述過濾器支撐部升降之動作。由於過濾器連結裝置具備有過濾器支撐部，因此能適當地支撐過濾器。由於過濾器連結裝置具備有升降部，因此能適當地將過濾器升降。由於過濾器連結裝置具備有升降用鎖定部，因此能將過濾器支撐部保持於第一高度位置以及與第一高度位置不同之第二高度位置。亦即，過濾器支撐部係能在不同的兩個高度位置穩定地支撐過濾器。因此，過濾器連結裝置係能適當地與高度不同的兩種以上的過濾器連結。

在上述發明中，較佳為前述過濾器連結裝置係具備有：基底(base)部，係經由前述升降部支撐前述過濾器支撐 部；前述升降部係具備有：升降用槽部，係形成於前述基底部及前述過濾器支撐部的一者，並垂直地延伸；以及銷構件，係固定於前述基底部及前述過濾器支撐部的另一者，並沿著前述升降用槽部滑動；前述升降用鎖定部係具備有：第一鎖定用槽部，係形成於前述基底部及前述過濾器支撐部的一者，並從前述升降用槽部略水平地延伸，且可使前述銷構件滑動；以及第二鎖定用槽部，係形成於前述基底部及前述過濾器支撐部的一者，並從前述升降用槽部略水平地延伸，且可使前述銷構件滑動；前述第一鎖定用槽部與第二鎖定用槽部係設置於不同的高度。由於過濾器連結裝置具備有基底部，因此升降部能使過濾器支撐部相對於基底部升降。升降部係具備有升降用槽部以及與升降用槽部卡合之銷構件。銷構件係沿著升降用槽部滑動，藉此能使過濾器支撐部適當地升降。升降用鎖定部係具備有第一鎖定用槽部與第二鎖定用槽部。第一鎖定用槽部與第二鎖定用槽部係與升降用槽部連繫。當銷構件從升降用槽部進入至第一鎖定用槽部與第二鎖定用槽部時，銷構件變成不能升降，且升降部無法使過濾器支撐部升降。亦即，過濾器支撐部的高度位置係保持於一定。第一鎖定用槽部與第二鎖定用槽部係形成於彼此不同的高度位置。因此，能將過濾器支撐部保持於第一高度位置，且能將過濾器支撐部保持於與第一高度位置不同的第二高度位置。

在上述發明中，較佳為前述配置切換部係具備有：傳 達部，係將使用者施加至操作部的力量傳達至前述移動部。能省略用以驅動移動部之動力源，而能進一步簡化配置切換部的構造。

此外，本發明為一種基板處理裝置，係具備有：過濾器連結裝置，係與過濾器連結；前述過濾器連結裝置係具備有：複數個連接埠，係與前述過濾器的複數個連接口連接；以及配置切換部，係在第一配置與第二配置之間切換前述複數個連接埠的配置。

過濾器連結裝置係能與過濾器的連接口的配置不同之兩種以上的過濾器適當地連結。由於基板處理裝置具備有此種過濾器連結裝置，因此能在過濾器的連接口的配置不同之兩種以上的過濾器之間容易地交換過濾器。因此，能根據基板的種類、處理液的種類或者對基板所進行之處理的種類而容易地選擇、變更過濾器，並能更適當地過濾處理液。因此，能更進一步提升基板的處理品質。

1‧‧‧基板處理裝置

3‧‧‧基板保持部

5‧‧‧旋轉馬達

7‧‧‧噴嘴

9‧‧‧罩

11‧‧‧配管

11a‧‧‧一次側配管

11b‧‧‧二次側配管

13‧‧‧處理液供給源

15‧‧‧泵

17‧‧‧控制閥

21‧‧‧過濾器(第三過濾器、第四過濾器)

21a‧‧‧第一過濾器

21b‧‧‧第二過濾器

22‧‧‧過濾器本體

23、23a、23b、24、24a、24b、25、25a、25b‧‧‧連接口

26a、26b‧‧‧殼體

27b‧‧‧突片部

31‧‧‧過濾器連結裝置

33、34、35‧‧‧接頭構件

33a、34a、35a‧‧‧外周面

33b、34b、35b‧‧‧凸緣部

33c、34c、35c‧‧‧下端部

33d、34d、35d‧‧‧上端部

37‧‧‧通氣孔管

39‧‧‧控制部

40、70、80、82、85、100‧‧‧配置切換部

41、71、87‧‧‧基底板

42、43‧‧‧插槽

42a、43a‧‧‧一端緣

42b、43b‧‧‧另一端緣

44‧‧‧貫通孔

45、89‧‧‧移動部

46‧‧‧軸構件

47‧‧‧凸輪構件

47a、47b、47c‧‧‧接觸部

50‧‧‧過濾器支撐部

51‧‧‧支撐板

53‧‧‧臂部

55‧‧‧銷構件

57‧‧‧側壁部

58‧‧‧槽部

59‧‧‧升降用槽部

60a‧‧‧第一鎖用定槽部

60b‧‧‧第二鎖定用槽部

61‧‧‧承受部

63‧‧‧切口部

65‧‧‧安裝托架

73、73a、73b、74、74a、74b‧‧‧接頭保持部

83‧‧‧第一止動部

84‧‧‧第二止動部

90‧‧‧第一移動部

91‧‧‧軌道部

92、97‧‧‧保持臂部

93、94、98、99‧‧‧止動件

95‧‧‧第二移動部

96‧‧‧旋轉軸部

101‧‧‧操作部

103‧‧‧傳達部

105、107‧‧‧齒輪

109‧‧‧帶部

111‧‧‧移動部用鎖定部

A、E、G‧‧‧軸芯

B‧‧‧逆方向

C‧‧‧開口

F‧‧‧正方向

H‧‧‧高度

Ha、ha‧‧‧第一高度位置

Hb、hb‧‧‧第二高度位置

P1、P2、Q1、Q2‧‧‧位置

W‧‧‧基板

X、Y‧‧‧水平方向

Z‧‧‧鉛直方向

為了說明本發明，圖式中顯示了目前被認為較佳的幾個形態，但本發明並未限定於圖式中的構成及方案。

圖1係顯示實施例1的基板處理裝置的構略構成之圖。

圖2A係第一過濾器的立體圖，圖2B係第二過濾器的立體圖。

圖3係過濾器連結裝置的立體圖。

圖4係過濾器連結裝置的側視圖。

圖5係過濾器連結裝置的俯視圖。

圖6係基底板(base plate)、插槽(slot)以及貫通孔的俯視圖。

圖7A至圖7F係用以說明凸輪構件的動作與接頭構件的位置之間的經時性的變化之圖。

圖8係用以說明過濾器支撐部的高度位置之圖。

圖9A、圖9B以及圖9C係用以說明於過濾器連結裝置裝卸第一過濾器的順序之圖。

圖10A、圖10B以及圖10C係用以說明於過濾器連結裝置31裝卸第二過濾器的順序之圖。

圖11係實施例2的配置切換部的俯視圖。

圖12係實施例3的過濾器連結裝置的立體圖。

圖13係實施例4的配置切換部的俯視圖。

圖14係實施例5的配置切換部的俯視圖。

圖15係實施例6的配置切換部的俯視圖。

以下參照圖式說明本發明的實施例。

圖1係顯示實施例1的基板處理裝置的構略構成之圖。

實施例1的基板處理裝置1係用以對基板(例如半導體晶圓)W進行液體處理之裝置。

<基板處理裝置1的概要>

基板處理裝置1係具備有基板保持部3以及旋轉馬達5。基板保持部3係略水平地保持基板W。基板保持部3係例如吸附保持基板W的背面(下表面)。旋轉馬達5係連結於基板保持部3的底部中央。旋轉馬達5係使基板保持部3繞著略鉛直軸旋轉。藉此，被基板保持部3保持的基板W係繞著通過基板保持部3的中心部之略鉛直軸旋轉。

基板處理裝置1係具備有噴嘴7以及罩(cup)9。噴嘴7係可移動地設置於基板保持部3的上方的噴出位置。噴嘴7係對被基板保持部3保持的基板W噴出處理液。罩9係以圍繞基板保持部3的側方之方式配置。罩9係將從基板W飛散的處理液接住並回收。

噴嘴7係與流通處理液之配管11連接。配管11的另一端係連接於處理液供給源13。處理液供給源13係例如為用以儲留處理液之處理液槽。處理液係例如為阻劑(resist)膜材料、各種塗膜材料、藥液、稀釋劑(thinner)或純水。於配管11的途中插設有泵(pump)15、控制閥17以及過濾器21。泵15係從處理液體供給源13朝噴嘴7壓送處理液。控制閥17係開閉處理液的流路。過濾器21係過濾處理液。過濾器21係例如從處理液分離、去除處理液中的異物等。

過濾器21係具備有過濾器本體22以及複數個(例如三 個)連接口23、24、25。過濾器本體22係包含有(皆未圖示)：過濾構材；一次側流路，係使處理液流通過濾構材的一次側；以及二次側流路，係使處理液流通過濾構材的二次側。過濾構材係例如為多孔性的膜。連接口23為一次側流路的入口。連接口24為二次側流路的出口。連接口25為用以逸散過濾器本體22內的氣體之出口。

過濾器21係藉由過濾器連結裝置31而與配管11連接。過濾器連結裝置31係具備有複數個(例如與連接口相同數量)接頭構件33、34、35。接頭構件33、34、35的一端分別與連接口23、24、25連接。接頭構件33、34、35為本發明中的連接埠的例子。

在此，為了方便說明，特別將過濾器21的一次側的配管11稱為「一次側配管11a」，並特別將過濾器21的二次側的配管11稱為「二次側配管11b」。一次側配管11a係與接頭構件33的另一端連接。藉此，一次側配管11a係經由接頭構件33而與連接口23連通連接。二次側配管11b係與接頭構件34的另一端連接。藉此，二次側配管11b係經由接頭構件34而與連接口24連通連接。接頭構件35的另一端係與通氣孔(vent)管37連接。藉此，通氣孔管37係經由接頭構件35而與連接口25連通連接。

基板處理裝置1係具備有控制部39。控制部39係總 括性地控制旋轉馬達5的旋轉、噴嘴7的移動、泵15的驅動以及控制閥17的開閉。控制部39所進行的控制係依據預先設定的處理配方(recipe)來執行。

簡單地說明基板處理裝置1對於基板W進行液體處理之動作。

當基板W載置於基板保持部3時，旋轉馬達5係使基板W旋轉。噴嘴7係移動至噴出位置。泵15係壓送處理液，控制閥17係開放處理液的流路。藉此，處理液係從處理液供給源13通過一次側配管11a流入至過濾器21。過濾器21係過濾處理液。經過過濾的處理液係從過濾器21通過二次側配管11b流入至噴嘴7。噴嘴7係將處理液噴出至基板W。處理液係著液至旋轉中的基板W的表面中央，並擴散遍及至基板W的表面整體。從基板W飛散的處理液係被罩9回收。

當開始噴出處理液後經過預定時間時，泵15停止，控制閥17閉止，停止對基板W供給處理液。旋轉馬達5係使基板W更高速地旋轉，使基板W乾燥。之後，旋轉馬達5停止，使基板W靜止。藉此，結束對於基板W的液體處理。

<過濾器21的構造>

例示兩種類的過濾器21的構造。

圖2A係過濾器21的第一例的立體圖，圖2B係過濾器21的第二例的立體圖。以下特別將過濾器21的第一例稱為「第一過濾器21a」，特別將過濾器21的第二例稱為「第二過濾器21b」。此外，於第一過濾器21a的各個要素的元件符號適當地附加「a」，並於第二過濾器21b的各個要素的元件符號適當地附加「b」。

參照圖2A。第一過濾器21a係具備有連接口23a、24a、25a以及殼體(housing)26a。殼體26a係收容上述過濾器本體22。連接口23a、24a、25a係設置於殼體26a的上表面。連接口23a、24a、25a係以排列成一行(column)之方式配置。連接口23a、24a、25a係分別具有管形狀。

參照圖2B。第二過濾器21b係具備有連接口23b、24b、25b以及殼體26b。殼體26b係收容上述過濾器本體22。連接口23b、24b、25b係設置於殼體26b的上表面。連接口23b、24b、25b並未排列成一行。連接口23b、24b、25b係分別配置於與直角三角形的三個頂點相同的位置。連接口23b、24b、25b係分別具有管形狀。

如此，在第一過濾器21a與第二過濾器21b之間，連接口23、24、25的配置不同。

再者，在第一過濾器21a與第二過濾器21b之間，過濾器21的高度H係不同。在本實施例1中，第一過濾器21a的高度Ha係比第二過濾器21b的高度Hb還長。在此，過濾器21的高度H為從殼體26的底部直至連接口23至25的上端為止之鉛直方向的長度。

<過濾器連結裝置31的構造>

過濾器連結裝置31係具有能與第一過濾器21a及第二過濾器21b雙方連結之構造。以下詳細說明。

圖3係過濾器連結裝置31的立體圖。圖4係過濾器連結裝置31的側視圖。圖5係過濾器連結裝置31的俯視圖。在各圖中，「X」、「Y」係表示彼此正交之水平方向，「Z」係表示鉛直方向(亦稱為「上下方向」)。

接頭構件33、34、35係分別具有管形狀。過濾器連結裝置31除了具備有接頭構件33、34、35之外，還具備有配置切換部40。配置切換部40係切換複數個接頭構件33、34、35的配置。

配置切換部40係具備有基底板41以及插槽42、43(關於插槽43，請參照圖6)。基底板41係具有略水平的板形狀。插槽42、43係形成於基底板41。插槽42、43係從基 底板41的上表面貫通至下表面。

基底板41係以接頭構件33、34不會脫落之方式支撐。接頭構件33係配置於插槽42。接頭構件34係配置於插槽43。具體而言，接頭構件33、34係分別插入至插槽42、43。接頭構件33、34係分別具備有從接頭構件33、34的外周面33a、34a朝外側伸出的凸緣(flange)部33b、34b。凸緣部33b、34b係分別比插槽42、43的寬度還大。凸緣部33b、34b係分別與基底板41的上表面接觸。藉此，接頭構件33、34不會從基底板41朝下方脫落。接頭構件33、34係以鉛直姿勢載置於基底板41。

插槽42、43為長孔。插槽42係導引接頭構件33。插槽43係導引接頭構件34。接頭構件33、34係可沿著插槽42、43於水平方向移動。

基底板41係進一步將接頭構件35保持於預定位置。接頭構件35係配置於形成在基底板41的貫通孔44(參照後述的圖6)。更具體而言，接頭構件35係插入至貫通孔44。接頭構件35係不能相對於基底板41於水平方向移動。接頭構件35係具備有從接頭構件35的外周面35a朝外側伸出的凸緣部35b。凸緣部35b係比貫通孔44還大。凸緣部35b係與基底板41的上表面接觸。藉此，接頭構件35不會從基底板41朝下方脫落。接頭構件35係以鉛直姿勢載 置於基底板41。

參照圖4。接頭構件33、34、35的下端部33c、34c、35c係位於基底板41的下方。接頭構件33、34、35的上端部33d、34d、35d係位於基底板41的上方。

基底板41為本發明中的基底部的例子。基底板41係作為用以保持接頭構件35之保持部而發揮作用。

圖6係基底板41的俯視圖。將接頭構件33接觸至插槽42的一端緣42a時之接頭構件33的位置作為「位置P1」，將接頭構件33接觸至插槽42的另一端緣42b時之接頭構件33的位置作為「位置P2」。此外，將接頭構件34接觸至插槽43的一端緣43a時之接頭構件34的位置稱為「位置Q1」，將接頭構件34接觸至插槽43的另一端緣43b時之接頭構件34的位置作為「位置Q2」。接頭構件33配置於位置P1且接頭構件34配置於位置Q1時，接頭構件33至35的平面性的配置係與第一過濾器21a的連接口23a至25a的平面性的配置一致。此外，在接頭構件33配置於位置P2且接頭構件34配置於位置Q2時，俯視中的接頭構件33至35的配置係與俯視中的第二過濾器21b的連接口23b至25b的配置一致。

在本說明書中，將接頭構件33位於位置P1且接頭構 件34位於位置Q1時之接頭構件33至35的配置稱為「第一配置」。將接頭構件33位於位置P2時且接頭構件34位於位置Q2時之接頭構件33至35的配置稱為「第二配置」。如此，位置P1為第一配置中的接頭構件33的正確的位置。位置P2為第二配置中的接頭構件33的正確的位置。位置Q1為第一配置中的接頭構件34的正規的位置。位置Q2為第二配置中的接頭構件34的正規的位置。

此外，保持於基底板41之接頭構件35的位置為第一配置中的接頭構件35的正規的位置，且為第二配置中的接頭構件35的正規的位置。

插槽42、43為本發明中的導引部的例子。

如上所述，接頭構件33、34係在第一配置與第二配置之間改變位置。另一方面，接頭構件35不會在第一配置與第二配置之間改變位置(亦即位置相同)。因此，亦可將前者(本實施例中為接頭構件33、34)稱為「可動連接埠」，將後者(在本實施形態中為接頭構件35)稱為「固定連接埠」以進行區別。

配置切換部40係具備有：移動部45，係使屬於可動連接埠之接頭構件33、34移動。更具體而言，移動部45係使接頭構件33、34於略水平方向移動。

移動部45係具備有軸構件46以及凸輪構件47。軸構件46係安裝於基底板41。軸構件46的軸芯A係於鉛直方向Z延伸。凸輪構件47係支撐於軸構件46。凸輪構件47係可繞著軸芯A朝正方向F及逆方向B旋轉(參照圖5)。凸輪構件47係配置於基底板41的上方。

凸輪構件47係具備有：接觸部47a，係與接頭構件33接觸；以及接觸部47b、47c，係與接頭構件34接觸。接觸部47a係具有略「U」字狀。接觸部47a係以夾著接頭構件33的外周面33a之方式恆常地與接頭構件33接觸。接觸部47a係將接頭構件33朝正方向F及逆方向B按壓。接觸部47b係可與接頭構件34的外周面34a的單側接觸。接觸部47b係專門將接頭構件34朝正方向F按壓。接觸部47c係可與接頭構件34的外周面34a的相反側接觸。接觸部47b係專門將接頭構件34朝逆方向B按壓。

在此，說明移動部45使接頭構件33、34移動之動作。

圖7A至圖7F為配置切換部40的俯視圖，並顯示凸輪構件47的動作與接頭構件33至35的位置之間的經時性的變化。

參照圖7A。在凸輪構件47位於圖7A所示的位置時， 接頭構件33至35係以第一配置之方式配置。接頭構件33係位於位置P1，並與插槽42的一端緣42a接觸。接頭構件34係位於位置Q1，並與插槽43的一端緣43a接觸。

接觸部47a係與接頭構件33接觸。接觸部47a係規制接頭構件33從位置P1偏離(具體而言為接頭構件33從插槽42的一端緣42a離開)。例如，接觸部47a係防止接頭構件33沿著插槽42於水平方向移動。接觸部47b係與接頭構件34接觸。接觸部47b係規制接頭構件34從位置Q1偏離。接觸部47c未與接頭構件34接觸。此外，凸輪構件47係無法從圖7A所示的位置進一步朝正方向F旋轉。

參照圖7B。當凸輪構件47從圖7A所示的位置朝逆方向B旋轉時，接觸部47a係將接頭構件33朝逆方向B按壓。接頭構件33係沿著插槽42移動。接觸部47b係從接頭構件34離開。接觸部47c係保持已從接頭構件34離開的狀態。接頭構件34不動作。

參照圖7C。當凸輪構件47進一步朝逆方向B旋轉時，接觸部47a係將接頭構件33朝逆方向B繼續按壓。接觸部47c係開始接觸至接頭構件34，並將接頭構件34朝逆方向B開始按壓。接頭構件34係沿著插槽43開始移動。接觸部47b係保持已從接頭構件34離開的狀態。

參照圖7D。當凸輪構件47進一步朝逆方向B旋轉時，接頭構件33、34分別到達位置P2、Q2。亦即，接頭構件33、34係與插槽42、43的另一端緣42b、43b接觸。藉此，接頭構件33、34的動作停止，凸輪構件47的旋轉亦停止。凸輪構件47無法朝逆方向B進一步旋轉。接頭構件33、34係分別在位置P2、Q2靜止。接頭構件33至35的配置係切換至第二配置。

接觸部47a係與接頭構件33接觸。接觸部47a係規制接頭構件33從位置P2偏離。接觸部47c係與接頭構件34接觸。接觸部47c係規制接頭構件34從位置Q2偏離。接觸部47b係保持已從接頭構件34分離的狀態。

參照圖7E。當凸輪構件47從圖7D所示的位置朝正方向F旋轉時，接觸部47a係將接頭構件33朝正方向F按壓。接頭構件33係沿著插槽42移動。接觸部47c係從接頭構件34離開。接觸部47b係保持已從接頭構件34離開的狀態。接頭構件34不動作。

參照圖7F。當凸輪構件47朝正方向F進一步旋轉時，接觸部47a係將接頭構件33朝正方向F繼續按壓。接觸部47b係開始接觸至接頭構件34，並將接頭構件34朝正方向F開始按壓。接頭構件34係沿著插槽43開始移動。接觸部47c係保持從接頭構件34離開的狀態。

參照圖7A。當凸輪構件47朝正方向F進一步旋轉時，接頭構件33、34分別到達位置P1、Q1。亦即，接頭構件33、34係與插槽42、43的一端緣42a、43a接觸。藉此，接頭構件33、34的動作停止，凸輪構件47的旋轉亦停止。凸輪構件47無法朝正方向F進一步旋轉。接頭構件33、34係分別在位置P1、Q1靜止，接頭構件33至35的配置係切換至第一配置。

參照圖3及圖4。過濾器連結裝置31係具備有用以支撐過濾器21之過濾器支撐部50。過濾器支撐部50係具備有支撐板51以及一對臂(arm)部53。

支撐板51係具有略水平的板形狀。支撐板51係於其上表面載置過濾器21。

一者的臂部53係與支撐板51的右側部固定性地連結，並從支撐板51朝上方延伸。另一者的臂部53係固定於支撐板51的左側部，並從支撐板51朝上方延伸。

過濾器連結裝置31係具備有銷構件55。銷構件55係固定於各個臂部53。銷構件55係從臂部53朝水平方向(例如X方向)突出。

過濾器連結裝置31係具備有一對側壁部57。一者的側壁部57係與基底板41的右側部固定性地連結，並從基底板41朝下方延伸。另一者的側壁部57係固定於基底板41的左側部，並從基底板41朝下方延伸。

過濾器連結裝置31係具備有槽部58。槽部58係形成於各個側壁部57。於槽部58卡合有銷構件55。銷構件55係可沿著槽部58滑動。亦即，槽部58係導引銷構件55。

槽部58係包含有升降用槽部59、第一鎖用定槽部60a以及第二鎖定用槽部60b。升降用槽部59係於鉛直方向Z延伸。第一鎖定用槽部60a以及第二鎖定用槽部60b係分別於略水平方向(例如Y方向)延伸。第二鎖定用槽部60b係配置於比第一鎖定用槽部60a還高的位置。升降用槽部59係連接於第一鎖定用槽部60a及第二鎖定用槽部60b雙方。

銷構件55係沿著升降用槽部59滑動，藉此支撐板51與臂部53係一體性地於鉛直方向Z移動。亦即，過濾器支撐部50係相對於基底板41及側壁部57升降。

銷構件55係沿著第一鎖定用槽部60a及第二鎖定用槽部60b滑動，藉此過濾器支撐部50係相對於基底板41及側壁部57於略水平方向(例如Y方向)移動。

然而，銷構件55位於第一鎖定用槽部60a及第二鎖定用槽部60b時，銷構件55無法升降。過濾器支撐部50升降之動作被禁止。換言之，過濾器支撐部50的高度位置保持一定。

第一鎖定用槽部60a與第二鎖定用槽部60b的高度彼此不同。因此，第一鎖定用槽部60a與第二鎖定用槽部60b係能將過濾器支撐部50保持於不同高度的位置。

參照圖8A及圖8B。圖8A及圖8B係用以說明過濾器支撐部50的高度位置之圖。在本說明書中，為了方便說明，將支撐板51的高度位置作為過濾器支撐部50的高度位置。

第一鎖定用槽部60a係將過濾器支撐部50保持於第一高度位置ha。具體而言，過濾器支撐部50位於第一高度位置ha時，第一鎖定用槽部60a係禁止過濾器支撐部50升降之動作。

第二鎖定用槽部60b係將過濾器支撐部50保持於第二高度位置hb(ha≠hb)。具體而言，過濾器支撐部50位於第二高度位置hb時，第二鎖定用槽部60b係禁止過濾器支撐部50的升降。

過濾器支撐部50位於第一高度位置ha時，被過濾器支撐部50支撐之第一過濾器21a的連接口23a至25a係與接頭構件33至35連接。亦即，第一過濾器21a係連結於過濾器連結裝置31。過濾器支撐部50位於第二高度位置hb時，被過濾器支撐部50支撐之第二過濾器21b的連接口23b至25b係與接頭構件33至35連接。

側壁部57為本發明中的基底部的例子。亦即，基底板41與側壁部57係構成基底部。銷構件55與升降用槽部59為本發明中的升降部的例子。第一鎖定用槽部60a及第二鎖定用槽部60b係分別為本發明中的升降用鎖定部的例子。

參照圖3及圖4。過濾器連結裝置31係具備有：承受部61，係用以定位過濾器21(尤其是第一過濾器21a)。具體而言，承受部61係決定過濾器21相對於過濾器支撐部50的位置。承受部61係安裝於臂部53。在第一過濾器21a載置於支撐板51時，承受部61係與殼體26a的外周面抵接，並將第一過濾器21a定位於適當的位置。在第一過濾器21a位於適當的位置時，第一過濾器21a的連接口23a至25a係分別位於第一配置中的接頭構件33至35的下方(亦即第一過濾器21a的連接口23a至25a係分別於鉛直方向Z與第一配置中的接頭構件33至35彼此相向)。

參照圖3。過濾器連結裝置31係具備有：切口部63，係用以定位過濾器21(尤其是第二過濾器21b)。具體而言，切口部63係決定過濾器21相對於過濾器支撐部50的位置。切口部63係形成於支撐板51。在第二過濾器21b載置於支撐板51時，切口部63係與殼體26b的底部抵接，並將第二過濾器21b定位於適當的位置。此外，第二過濾器21b係具備有：突片部27b，係從殼體26b的底部朝下方突出(參照後述的圖10A至圖10C)。切口部63係與突片部27b接觸。在第二過濾器21b位於適當的位置時，第二過濾器21b的連接口23b至25b係於鉛直方向Z與第二配置中的接頭構件33至35彼此相向。

過濾器連結裝置31係具備有安裝托架65。安裝托架65係與基底板41的後側部固定性地連結。安裝托架65係固定於過濾器連結裝置31的設置場所(例如壁面)。

<於過濾器連結裝置31將過濾器21裝卸之動作>

接著，說明於過濾器連結裝置31將過濾器21裝卸之動作。具體而言，說明將第一過濾器21a連結於過濾器連結裝置31之動作以及將第一過濾器21a從過濾器連結裝置31取下之動作。接著，說明將第二過濾器21b連結於過濾器連結裝置31之動作以及將第二過濾器21b從過濾器連結裝置31取下之動作。此外，過濾器連結裝置31係藉由使 用者的人為力量而動作。使用者係例如手動地使移動部45或過濾器支撐部50等動作。

<第一過濾器21a的安裝>

圖9A、圖9B以及圖9C係用以說明於過濾器連結裝置31將第一過濾器21a裝卸之順序的圖。

首先，操作移動部45(凸輪構件47)，將接頭構件33至35的配置切換成第一配置。使銷構件55沿著升降用槽部59滑動，並使過濾器支撐部50下降至非常低的位置。

接著，將第一過濾器21a放置於支撐板51上。過濾器支撐部50係支撐第一過濾器21a(參照圖9A)。將第一過濾器21a朝水平方向的內側按壓，直至達至第一過濾器21a與承受部61接觸的位置。藉此，將第一過濾器21a設定至正確的位置。第一過濾器21a的連接口23a、24a、25a係配置於接頭構件33、34、35的正下方。連接口23a至25a係與接頭構件33至35彼此相向。

接著，使過濾器支撐部50上升(亦即，使銷構件55沿著升降用槽部59上升)。藉此，第一過濾器21a上升並接近基底板41。連接口23a至25a係在與接頭構件33至35彼此相向之狀態下接近接頭構件33至35。

當使過濾器支撐部50上升達至第一高度位置ha時，第一過濾器21a的連接口23a至25a係分別與接頭構件33至35連接(參照圖9B)。具體而言，接頭構件33至35的下端部33c至35c係嵌入至連接口23a至25a的內部。藉此，過濾器連結裝置31係與第一過濾器21a連結。

接著，將過濾器支撐部50朝水平方向內側按壓，使銷構件55移動至第一鎖定用槽部60a(參照圖9C)。此時，第一過濾器21a係相對於支撐板51滑動，且不會於水平方向移動。在銷構件55位於第一鎖定用槽部60a時，禁止過濾器支撐部50的升降，過濾器支撐部50保持於第一高度位置ha。藉此，防止第一過濾器21a從基底板41(接頭構件33至35)遠離以及防止第一過濾器21a從基底板41(接頭構件33至35)朝下方脫落。

在圖9C所示的狀態下，使用第一過濾器21a。亦即，藉由第一過濾器21a過濾處理液。

<將第一過濾器21a從過濾器連結裝置31取下之動作>

將過濾器支撐部50朝水平方向前側拉出。藉此，使銷構件55從第一鎖定用槽部60a朝升降用槽部59移動(參照圖9B)。

使過濾器支撐部50下降(亦即使銷構件55沿著升降用槽部59下降)。在第一過濾器21a與基底板41(接頭構件33至35)彼此相向的狀態下，第一過濾器21a係從基底板41(接頭構件33至35)遠離。第一過濾器21a的連接口23a至25a係分別從接頭構件33至35卸下。亦即，第一過濾器21a係從過濾器連結裝置31脫離。

如圖9A所示，使過濾器支撐部50降低達至充分低的位置後，從過濾器支撐部50取出第一過濾器21a。

<將第二過濾器21b連結於過濾器連結裝置31之動作>

圖10A、圖10B、以及圖10C係用以說明於過濾器連結裝置31將第二過濾器21b裝卸的順序之圖。

將接頭構件33至35的配置切換至第二配置，將過濾器支撐部50降低達至充分低的位置。

將第二過濾器21b載置於支撐板51上。過濾器支撐部50係支撐第二過濾器21b(參照圖10A)。將第二過濾器21b朝水平方向內側按壓，將第二過濾器21b的突片部27b插入至切口部63。使第二過濾器21b移動至水平方向內側，直至突片部27b與切口部63(支撐板51)接觸為至。藉此，將第二過濾器21b定位至正確的位置。第二過濾器21b的 連接口23b、24b、25b係配置於接頭構件33、34、35的正下方。連接口23b至25b係與接頭構件33至35彼此相向。

使過濾器支撐部50上升至第二高度位置hb(參照圖10B)。藉此，使第二過濾器21b連結於過濾器連結裝置31。

將過濾器支撐部50朝水平方向內側按壓，使銷構件55相對於第二鎖定用槽部60b移動(參照圖10C)。此時，第二過濾器21b係相對於支撐板51滑動，且不會於水平方向移動。藉此，禁止過濾器支撐部50的升降，過濾器支撐部50係保持於第二高度位置hb。在圖10C所示的狀態下，使用第二過濾器21b。

<將第二過濾器21b從過濾器連結裝置31取下之動作>

將過濾器支撐部50朝水平方向前側拉出。藉此，使銷構件55從第二鎖定用槽部60b移動至升降用槽部59(參照圖10B)。

使過濾器支撐部50下降。藉此，第二過濾器21b從過濾器連結裝置31卸下。如圖10A所示，當使過濾器支撐部50下降達至充分低的位置時，從過濾器支撐部50取出第一過濾器21a。

<功效>

依據此種實施例1的過濾器連結裝置31，由於具備有配置切換部40，因此能在第一配置與第二配置之間切換複數個接頭構件33至35的配置。在此，第一配置及第二配置係預先決定。第一配置係以適合第一過濾器21a之方式決定。具體而言，在接頭構件33至35位於第一配置時，各個接頭構件33至35能與第一過濾器21a的連接口23a至25a連接。第二配置係以適合第二過濾器21b之方式決定。具體而言，在接頭構件33至35位於第二配置時，各個接頭構件33至35係能與第二過濾器21b的連接口23b至25b連接。因此，配置切換部40將接頭構件33至35的配置切換成第一配置後，過濾器連結裝置31係能與第一過濾器21a適當地連結。配置切換部40將接頭構件33至35的配置切換成第二配置後，過濾器連結裝置31係能與第二過濾器21b適當地連結。如此，過濾器連結裝置31係能與連接口23至25的配置不同之第一過濾器21a及第二過濾器21b兩者連結。因此，無須置換過濾器連結裝置31，能在連接口23至25的配置不同之第一過濾器21a及第二過濾器21b之間容易地交換過濾器21。

由於配置切換部40具備有插槽42，因此能在第一配置中的位置P1與第二配置中的位置P2之間導引接頭構件33。同樣地，由於配置切換部40具備有插槽43，因此能在第一配置中的位置Q1與第二配置中的位置Q2之間導引 接頭構件34。因此，能在第一配置與第二配置之間順暢地切換接頭構件33至35的配置。

插槽42的一端緣42a係規定接頭構件33的第一配置中的位置P1，插槽42的另一端緣42b係規定接頭構件33的第二配置中的位置P2。因此，插槽42係能容易地將接頭構件33導引至位置P1、P2。同樣地，插槽43的一端緣43a係規定接頭構件34的第一配置中的位置Q1，插槽43的另一端緣43b係規定接頭構件34的第二配置中的位置Q2。因此，插槽43係能容易地將接頭構件34導引至位置Q1、Q2。

由於配置切換部40具備有移動部45，因此能容易地使接頭構件33、34移動。具體而言，能使接頭構件33在第一配置中的位置P1與第二配置中的位置P2之間移動。能使接頭構件34在第一配置中的位置Q1與第二配置中的位置Q2之間移動。因此，能在第一配置與第二配置之間容易地切換接頭構件33至35的配置。

由於移動部45具備有凸輪構件47，因此能使接頭構件33、34適當地移動。具體而言，由於凸輪構件47具有接觸部47a，因此能使接頭構件33適當地移動。此外，由於凸輪構件47具有接觸部47b、47c，因此能使接頭構件34適當地移動。

由於一個凸輪構件47係使兩個接頭構件33、34移動，因此能減少移動部45所具有的凸輪構件47的個數，而能簡化移動部45的構造。

不論接頭構件33位於位置P1或位於位置P2，接觸部47a皆與接頭構件33接觸(參照圖7A及圖7B)。因此，接觸部47a係能將接頭構件33適當地停留在位置P1、P2。換言之，接觸部47a係能將接頭構件33適當地保持於位置P1、P2。

在接頭構件34位於位置Q1時，接觸部47b係與接頭構件34接觸。因此，接觸部47b係能將接頭構件34適當地停留在位置Q1。

在接頭構件34位於位置Q2時，接觸部47c係與接頭構件34接觸。因此，接觸部47c係能將接頭構件34適當地停留在位置Q2。

由於過濾器連結裝置31具備有過濾器支撐部50，因此能適當地支撐過濾器21。

由於過濾器連結裝置31具備有銷構件55以及升降用槽部59，因此能使過濾器支撐部50順暢地升降。

過濾器支撐部50係經由銷構件55及升降用槽部59而與側壁部57及基底板41(基底部)連結。因此，過濾器支撐部50係能相對於基底部升降。基底部係保持接頭構件33至35。因此，過濾器支撐部50係能相對於接頭構件33至35升降。

由於過濾器連結裝置31具備有第一鎖定用槽部60a與第二鎖定用槽部60b，因此能適當地禁止過濾器支撐部50的升降。藉此，能將過濾器支撐部50的高度位置保持於一定。因此，例如在過濾器21的使用中不會有過濾器21從過濾器連結裝置31離開與脫落之虞。

特別是，第一鎖定用槽部60a係將過濾器支撐部50保持於第一高度位置ha。過濾器支撐部50位於第一高度ha時，過濾器連結裝置31係能與第一過濾器21a連結。因此，第一鎖定用槽部60a係能確實地維持過濾器連結裝置31與第一過濾器21a連結的狀態。第二鎖定用槽部60b係將過濾器支撐部50保持於第二高度位置hb。過濾器支撐部50位於第二高度位置hb時，過濾器連結裝置31係能與第二過濾器21b連結。因此，第二鎖定用槽部60b係能確實地維持過濾器連結裝置31與第二過濾器21b連結的狀態。如此，過濾器連結裝置31皆能適當地保持高度H不同之第一過濾器21a及第二過濾器21b的連結狀態。

再者，過濾器連結裝置31係能與具有與第一過濾器21a及第二過濾器21b的形狀皆不同的形狀之過濾器21連結。例如，將具備有以與第一過濾器21a的連接口23a至25a相同之方式配置的連接口且具有與第二過濾器21b相同的高度Hb之過濾器21作為「第三過濾器21」。過濾器連結裝置31亦能與第三過濾器21適當地連結。此外，例如，將具備有以與第二過濾器21b的連接口23b至25b相同之方式配置的連接口且具有與第一過濾器21a相同的高度Ha之過濾器21作為「第四過濾器21」。過濾器連結裝置31亦能與第四過濾器適當地連結。

依據本實施例的基板處理裝置1，由於具備有過濾器連結裝置31，因此能在連接口23至25的配置不同之兩種以上的第一過濾器21a與第二過濾器21b之間容易地交換過濾器21。因此，能根據基板W的種類、處理液的種類或者處理的種類容易地選擇或變更過濾器21，而能更適當地過濾處理液。因此，能更進一步地提升基板W的處理品質。

[實施例2]

以下參照圖式說明本發明的實施例2。

由於實施例2的基板處理裝置1係與實施例1相同，因此省略基板處理裝置1的概要的說明。實施例2的過濾器連結裝置31係具備有與實施例1的配置切換部40不同 之配置切換部70。因此，在以下中，說明配置切換部70的構造。此外，針對與實施例1相同的構成附上相同的元件符號，並省略詳細的說明。

圖11係配置切換部70的俯視圖。配置切換部70係具備有基底板71。基底板71係保持接頭構件35。基底板71係具有比接頭構件33、34還充分大的開口C。

配置切換部70係具備有接頭保持部(亦稱為「管固持具」)73、74。接頭保持部73、74係安裝至基底板71。

接頭保持部73係保持接頭構件33。接頭保持部73係具備有：接頭保持部73a，係在位置P1保持接頭構件33；以及接頭保持部73b，係在位置P2保持接頭構件33。接頭保持部73a、73b係分別具有可彈性變形的開口部。將接頭構件33壓入至接頭保持部73a、73b的開口部，藉此接頭保持部73a、73b係把持接頭構件33。當拉扯被接頭保持部73a、73b保持的接頭構件33時，接頭構件33係從接頭保持部73a、73b卸下。

接頭保持部74係保持接頭構件34。接頭保持部74係具備有：接頭保持部74a，係在位置Q1保持接頭構件34；以及接頭保持部74b，係在位置Q2保持接頭構件34。接頭保持部74a、74b的構造係與接頭保持部73a、73b相同。 因此，能於接頭保持部74將接頭構件34輕易地裝卸。

接頭保持部73、74為本發明中的保持部的例子。此外，基底板71係作為用以保持接頭構件35之保持部而發揮作用。

當將接頭構件33安裝於接頭保持部73a並將接頭構件34安裝於接頭保持部74a時，接頭構件33至35的配置係成為第一配置。

將接頭構件33至35的配置從第一配置切換成第二配置時，將接頭構件33從接頭保持部73a卸下並安裝至接頭保持部73b，將接頭構件34從接頭保持部74a卸下並安裝至接頭保持部74b。藉此，接頭構件33至35的配置係切換至第二配置。

如此，由於實施例2的過濾器連結裝置31具備有配置切換部70，因此能達成與實施例1同樣的功效。亦即，過濾器連結裝置31係能分別與連接口23至25的配置不同之第一過濾器21a及第二過濾器21b適當地連結。

此外，由於配置切換部70具備有接頭保持部73，因此能將接頭構件33保持於預定的位置P1、P2。由於配置切換部70具備有接頭保持部74，因此能將接頭構件34保 持於預定的位置Q1、Q2。因此，配置切換部70能將接頭構件33至35的配置適當地保持於第一配置，且能將接頭構件33至35的配置適當地保持於第二配置。

此外，接頭保持部73a、73b、74a、74b係藉由彈性變形而保持接頭構件33、34。因此，能相對於接頭保持部73a、73b、74a、74b將接頭構件33、34輕易地裝卸。

[實施例3]

以下，參照圖式說明本發明的實施例3。

由於實施例3的基板處理裝置1與實施例1相同，因此省略基板處理裝置1的概要的說明。實施例3的過濾器連結裝置31係具備有與實施例1的配置切換部40不同之配置切換部80。因此，在以下中，針對配置切換部80的構造進行說明。此外，對與實施例1相同的構成附上相同的元件符號，並省略詳細的說明。

圖12係過濾器連結裝置80的立體圖。配置切換部80係相當於從配置切換部40省略移動部45。亦即，配置切換部80係具備有基底板41以及插槽42、43。

使用者係手動移動接頭構件33、34。具體而言，當使用者使接頭構件33沿著插槽42移動至位置P1並使接頭構件34沿著插槽43移動至位置Q1時，接頭構件33至35 的配置係成為第一配置。

將接頭構件33至35的配置從第一配置切換成第二配置時，使用者係將接頭構件33從位置P1移動至位置P2，並將接頭構件34從位置Q1移動至位置Q2。藉此，接頭構件33至35的配置係切換至第二配置。

如此，由於實施例3的過濾器連結裝置31具備有配置切換部80，因此能達成與實施例1同樣的功效。亦即，過濾器連結裝置31係能分別與連接口23至25的配置不同之第一過濾器21a及第二過濾器21b適當地連結。

由於配置切換部80具備有插槽42、43，因此能在第一配置與第二配置之間順暢地切換接頭構件33至35的配置。此外，插槽42係能將接頭構件33容易地導引至位置P1、P2，且插槽43係能將接頭構件34容易地導引至位置Q1、Q2。

[實施例4]

以下，參照圖式說明本發明的實施例4。由於實施例4的基板處理裝置1係與實施例1相同，因此省略基板處理裝置1的概要的說明。實施例4的過濾器連結裝置31係具備有與配置切換部40不同之配置切換部82。因此，在以下中，針對配置切換部82的構造進行說明。

圖13係配置切換部82的俯視圖。配置切換部82係於實施例3的配置切換部80加上第一止動部83以及第二止動部84。亦即，配置切換部82係具備有基底板41、插槽42、43、第一止動部83以及第二止動部84。

第一止動部83係將接頭構件33輕易地停止於預定位置(例如位置P1、P2)。具體而言，第一止動部83係設置成可從插槽42的內壁出沒。第一止動部83係由彈性體(彈簧)等所構成。當作用於接頭構件33的力量未滿一定力量時，第一止動部83係從插槽42的內壁突出至插槽42，阻止接頭構件33通過第一止動部83的位置。當作用於接頭構件33的力量為一定力量以上時，接頭構件33係將第一止動部83壓入至插槽42的內壁內，並通過第一止動部83的位置。接頭構件33通過第一止動部83的位置後，第一止動部83係藉由彈性體的復元力再次從插槽42的內壁突出至插槽42。在此，作用於接頭構件33的力量為使接頭構件33沿著插槽42移動之力量。如此，當接頭構件33暫時收容於位置P1、P2時，直至第一止動部83再次被壓下為止，第一止動部83係能將接頭構件33輕易地停止於位置P1、P2。

第二止動部84係將接頭構件34輕易地停止於預定位置(例如位置Q1、Q2)。具體而言，第二止動部84係以從 插槽43的內壁突出之方式設置。當接頭構件34暫時越過第二止動部84並收容於位置Q1、Q2時，直至接頭構件34再次越過第二止動部84為止，接頭構件34係被留置在位置Q1、Q2。

第一止動部83及第二止動部84為本發明中的止動部的例子。

如此，由於實施例4的過濾器連結裝置31具備有配置切換部82，因此亦能達成與實施例1同樣的功效。亦即，過濾器連結裝置31係能分別與連接口23至25的配置不同之第一過濾器21a及第二過濾器21b適當地連結。

由於配置切換部82具備有第一止動部83，因此能將接頭構件33停留於位置P1、P2。因此，能適當地防止接頭構件33從位置P1、P2偏離。同樣地，由於配置切換部82具備有第二止動部84，因此能將接頭構件34停留於位置Q1、Q2。因此，能適當地防止接頭構件34從位置Q1、Q2偏離。結果，能將接頭構件33至35的配置保持於第一配置及第二配置。

[實施例5]

以下，參照圖式說明本發明的實施例5。由於實施例5的基板處理裝置1係與實施例1相同，因此省略基板處理 裝置1的概要的說明。實施例5的過濾器連結裝置31係具備有與實施例1的配置切換部40不同之配置切換部85。因此，在以下中，針對配置切換部85的構造進行說明。

圖14係配置切換部85的俯視圖。配置切換部85係具備有基底板87以及移動部89。基底板87係將接頭構件35保持於預定位置。移動部89係支撐接頭構件33、34，且移動接頭構件33、34。

移動部89係具有：第一移動部90，用以移動接頭構件33；以及第二移動部95，用以移動接頭構件34。

第一移動部90係具備有軌道部91、保持臂部92以及止動件93、94。軌道部91係固定於基底板87。軌道部91係於略水平方向延伸。更具體而言，軌道部91係於與將位置P1與位置P2連結之方向平行的水平方向延伸。保持臂部92係可滑動地安裝於軌道部91。保持臂部92係保持接頭構件33。在接頭構件33位於位置P1時，止動件93係與保持臂部92接觸，並停止保持臂部92的滑動。在接頭構件33位於位置P2時，止動件94係停止保持臂部92。藉由此種第一移動部90，接頭構件33係直線性地移動。

第二移動部95係具備有旋轉軸部96、保持臂部97以及止動件98、99。旋轉軸部96係連結於基底板87。保持 臂部97的基端部係可迴旋地連結於旋轉軸部96。保持臂部97的前端部係保持接頭構件34。在接頭構件34位於位置Q1時，止動件98係與保持臂部97接觸，並停止保持臂部97的迴旋。在接頭構件34位於位置Q2時，止動件99係停止保持臂部97。藉由此種第二移動部95，接頭構件34係曲線性地移動(迴旋移動)。

將接頭構件33至35切換至第一配置時，使保持臂部92滑動直至抵接至止動件93，並使接頭構件33移動至位置P1。再者，使保持臂部97迴旋直至抵接至止動件98，並使接頭構件34移動至位置Q1。藉此，過濾器連結裝置31係能與第一過濾器21a適當地連結。

將接頭構件33至35切換至第二配置時，使保持臂部97迴旋直至抵接至止動件99，並使接頭構件34移動至位置Q2。再者，使保持臂部92滑動直至抵接至止動件94，並使接頭構件33移動至位置P2。藉此，過濾器連結裝置31係能與第二過濾器21b適當地連結。

如此，由於實施例5的過濾器連結裝置31具備有配置切換部85，因此能達成與實施例1同樣的功效。亦即，過濾器連結裝置31係能分別與連接頭23至25的配置不同之第一過濾器21a及第二過濾器21b適當地連結。

由於配置切換部85具備有移動部89，因此能容易地使接頭構件33、34移動。因此，能在第一配置與第二配置之間容易地切換接頭構件33至35的配置。

此外，由於移動部89支撐接頭構件33、34，因此基底板87無須支撐接頭構件33、34。此外，配置切換部85無須具備有用以導引接頭構件33、34之構成(例如實施例1的插槽42、43)。因此，能簡化基底板87的構造等。

[實施例6]

以下，參照圖式說明本發明的實施例6。由於實施例6的基板處理裝置1係與實施例1相同，因此省略基板處理裝置1的概要的說明。實施例6的過濾器連結裝置31係具備有與配置切換部40不同之配置切換部100。因此，在以下中，針對配置切換部100的構造進行說明。此外，對與實施例1相同的構成附上相同的元件符號，並省略詳細的說明。

圖15係配置切換部100的俯視圖。配置切換部100係具備有用以轉動移動部45之操作部101。操作部101例如為操作刻度盤。具體而言，操作部101係具有略水平的圓盤形狀。操作部101係以可繞著略鉛直的軸芯E旋轉之方式支撐於基底板41。操作部101係被使用者操作。

操作部101係經由傳達部103而與移動部45連動連結。傳達部103係將使用者施加至操作部101的力量傳達至移動部45。

傳達部103係具備有齒輪105、107以及帶部(belt)109。齒輪105係固定於凸輪構件47，並繞著軸芯A旋轉。齒輪107係固定於操作部101，並繞著軸芯E旋轉。帶部109係捲繞於齒輪105、107。

配置切換部100係具備有：移動部用鎖定部111，係禁止移動部45使接頭構件33、34移動之動作。移動部用鎖定部111係可接離地設置於操作部101。具體而言，移動部用鎖定部111係以可繞著鉛直的軸芯G轉動之方式設置，並可與操作部101的外周面卡合。移動部用鎖定部111係例如為以可與操作部101卡合之方式構成的閂鎖(latch)。在移動部用鎖定部111與操作部101卡合時，移動部用鎖定部111係直接性地禁止操作部101的動作，並間接性地禁止移動部45的動作。在移動部用鎖定部111從操作部101離開時，移動部用鎖定部111係允許操作部101的動作。

切換接頭構件33至35的配置時，使用者係在移動用鎖定部111已從操作部101離開(卸除)的狀態下操作(旋轉)操作部101。因應操作部101的操作，移動部45係使接頭 構件33、34移動。切換接頭構件33至35的配置後，使用者係使移動部用鎖定部111卡合至操作部101。藉此，禁止移動部45的動作，將接頭構件33至35的配置保持於第一配置或第二配置。

如此，由於實施例5的過濾器連結裝置31具備有配置切換部100，因此亦可達成與實施例1同樣的功效。亦即，過濾器連結裝置31係能分別與連接口23至25的配置不同之第一過濾器21a及第二過濾器21b適當地連結。

由於配置切換部100具備有操作部101，因此使用者能容易地操作移動部45。

由於配置切換部100具備有傳達部103，因此能使使用者本身施加至操作部101的力量作用於移動部45。換言之，能藉由施加至操作部101的力量轉動移動部45。因此，過濾器連結裝置31亦可不另外具備有電動機器或油壓機器等用以驅動移動部45之動力源。

由於配置切換部100具備有移動部用鎖定部111，因此能使接頭構件33至35靜止。例如，能適當地防止接頭構件33從位置P1、P2偏離，且能適當地防止接頭構件34從位置Q1、Q2偏離。因此，能將接頭構件33至35的配置確實地保持於第一配置及第二配置。此外，能防範使用 者誤操作操作部101。

本發明並未限定於上述實施形態，亦可如下述般變化實施。

(1)在上述各實施形態中，雖然接頭構件33至35係與過濾器21的連接口23至25連接，但並未限定於此。例如，一次側配管11a及二次側配管11b的一端亦可直接性地連接至連接口23、24。具體而言，過濾器連結裝置31亦可具備有用以保持、移動或者導引一次側配管11a的一端及二次側配管11b的一端之配置切換部。在本變化實施例的情形中，一次側配管11a及二次側配管11b的一端為本發明中的連接埠的例子。

(2)在上述各實施例中，雖然未具備有用以驅動移動部45、89、第一移動部90以及第二移動部95之動力源，但並未限定於此。亦即，配置切換部亦可具備有用以驅動移動部45之動力源。

(3)亦可進一步組合上述各實施例的配置切換部40、70、80、82、85、100的構成。例如，上述各實施例的配置切換部亦可進一步具備有在實施例2所說明的接頭保持部73、74。同樣地，各實施例的配置切換部亦可具備有實施例4的第一止動部83及第二止動部84。同樣地，各實施 例的配置切換部亦可具備有實施例6的操作部101及移動部用鎖定部111的至少一者。

(4)雖然上述實施例6的移動部用鎖定部111係與操作部101卡合(接觸)，但並未限定於此。例如，移動部用鎖定部111亦可與移動部45或傳達部103卡合(接觸)而禁止移動部45的動作。

(5)在上述各實施例中，雖然配置切換部40、70、80、82、85、100可切換的配置為兩個(具體而言為第一配置與第二配置)，但並未限定於此。例如，亦可將配置切換部可切換的配置變更成三個以上。亦即，配置切換部亦可在三個以上的配置之間切換接頭構件33至35的配置。

(6)在上述各實施例中，雖然可動連接埠(亦即在第一配置與第二配置之間改變位置之接頭構件)為兩個(具體而言為接頭構件33、34)，但並未限定於此。例如，可動連接埠亦可為一個，或亦可為三個。可動連接埠亦可為接頭構件33、34、35的一部分。或者，可動連接埠亦可為接頭構件33、34、35的全部。

(7)在上述各實施例中，雖然第一過濾器21a及第二過濾器21b皆具備有三個連接口23至25，但並未限定於此。過濾器21亦可具有兩個或四個以上的連接口。伴隨於此， 亦可變更過濾器連結裝置所具有的接頭構件33至35的數量。藉此，過濾器連結裝置31亦能與此種過濾器21適當地連結。

(8)在上述各實施例中，雖然銷構件55係固定於過濾器支撐部50，且升降用槽部59、第一鎖定用槽部60a以及第二鎖定用槽部60b係形成於基底部(具體而言為側壁部57)，但並未限定於此，亦可將升降用槽部59、第一鎖定用槽部60a以及第二鎖定用槽部60b形成於過濾器支撐部50(例如臂部53)，並將銷構件55固定性地連結於基底部(例如側壁部57)。

(9)在上述各實施例中，雖然鎖定用槽部形成於兩個不同高度的位置，但並未限定於此。亦可將鎖定用槽部形成於三個以上不同高度的位置。例如，過濾器連結裝置31亦可具備有形成於與第一鎖定用槽部60a及第二鎖定用槽部60b皆不同的高度位置之第三鎖定用槽部。

(10)在上述各實施例中，雖然過濾器支撐部50係藉由載置過濾器21而支撐過濾器21，但並未限定於此。過濾器支撐部50亦可藉由把持過濾器21而支撐過濾器21。

(11)在上述各實施例中，雖然插槽42的一端緣42a係規定接頭構件33的位置P1，但並未限定於此。亦即，插 槽42的一端緣42a亦可不規定接頭構件33的位置P1。同樣地，雖然插槽42的另一端緣42b係規定接頭構件33的位置P2，但並未限定於此。亦即，插槽42的另一端緣43a亦可不規定接頭構件33的位置P2。例如，亦可僅插槽42的一端緣42a及另一端緣42b的一者規定接頭構件33的位置P1、P2的任一者。同樣地，亦可變更插槽43。

(12)在上述實施例1、6中，雖然凸輪構件47配置於基底板41的上方，但並未限定於此。亦可將凸輪構件47配置於基底板41的下方。

(13)在上述實施例6中，雖然例示操作刻度盤作為操作部101，但並未限定於此。例如操作部101亦可為按鈕、桿(lever)、轉盤(handle)等。

(14)在上述實施例6中，雖然傳達部103具備有齒輪105、107以及帶部109，但並未限定於此。例如亦可省略帶部109，僅以齒輪構成傳達部。雖然傳達部103具備有兩個齒輪105、107，但並未限定於此。傳達部103亦可僅具備有一個齒輪。或者，傳達部103亦可具備三個以上的齒輪。亦可藉由齒輪機構、帶部機構以及連結機構等構成傳達部103。或者，傳達部103亦可至少包含有齒輪機構、帶部機構以及連結機構中的至少一者以上。

(15)亦可針對上述各實施例及上述(1)至(14)所說明的各變化實施例，進一步將各構成置換或組合於其他變化實施例的構成等而適當地變更。

Claims (15)

1. 一種過濾器連結裝置，用以與過濾器連結；前述過濾器連結裝置係包含有下述要素：複數個連接埠，係與前述過濾器的複數個連接口連接；以及配置切換部，係藉由變更前述複數個連接埠的相對位置而在第一配置與第二配置之間切換前述複數個連接埠的配置。
2. 如請求項1所記載之過濾器連結裝置，其中前述配置切換部係具備有：保持部，係在預定位置保持至少一個以上的前述連接埠。
3. 如請求項1所記載之過濾器連結裝置，其中前述配置切換部係具備有：移動部，係使至少一個以上的前述連接埠移動。
4. 如請求項3所記載之過濾器連結裝置，其中前述移動部係具備有：凸輪構件，係設置成可旋轉，用以與前述連接埠接觸。
5. 如請求項4所記載之過濾器連結裝置，其中單一個前述凸輪構件係使兩個以上的前述連接埠移動。
6. 如請求項3所記載之過濾器連結裝置，其中前述配置切換部係具備有：移動部用鎖定部，係禁止前述移動部使前述連接埠移動之動作。
7. 如請求項3所記載之過濾器連結裝置，其中前述過濾器連結裝置係具備有：操作部，係連動連結於前述移動部，用以使前述移動部動作。
8. 如請求項1所記載之過濾器連結裝置，其中前述配置切換部係具備有：導引部，係導引至少一個以上的前述連接埠。
9. 如請求項8所記載之過濾器連結裝置，其中接觸至前述導引部的一端緣之前述連接埠的位置為前述第一配置及前述第二配置的任一者中的前述連接埠的位置。
10. 如請求項8所記載之過濾器連結裝置，其中與前述導引部的一端緣接觸之前述連接埠的位置為前述第一配置及前述第二配置的一者中的前述連接埠的位置；與前述導引部的另一端緣接觸之前述連接埠的位置為前述第一配置及前述第二配置的另一者中的前述連接埠的位置。
11. 如請求項8所記載之過濾器連結裝置，其中前述配置切換部係具備有：止動部，係安裝於前述導引部，用以將前述連接埠停止於預定位置。
12. 如請求項1所記載之過濾器連結裝置，其中前述過濾器連結裝置係具備有：過濾器支撐部，係支撐前述過濾器；升降部，係使前述過濾器支撐部升降；以及升降用鎖定部，係在前述過濾器支撐部位於第一高度位置時以及前述過濾器支撐部位於第二高度位置時分別禁止前述過濾器支撐部升降之動作。
13. 如請求項12所記載之過濾器連結裝置，其中前述過濾器連結裝置係具備有：基底部，係經由前述升降部支撐前述過濾器支撐部；前述升降部係具備有：升降用槽部，係形成於前述基底部及前述過濾器支撐部的一者，並垂直地延伸；以及銷構件，係固定於前述基底部及前述過濾器支撐部的另一者，並沿著前述升降用槽部滑動；前述升降用鎖定部係具備有：第一鎖定用槽部，係形成於前述基底部及前述過濾器支撐部的一者，並從前述升降用槽部略水平地延伸，且可使前述銷構件滑動；以及第二鎖定用槽部，係形成於前述基底部及前述過濾器支撐部的一者，並從前述升降用槽部略水平地延伸，且可使前述銷構件滑動；前述第一鎖定用槽部與第二鎖定用槽部係設置於不同的高度。
14. 如請求項3所記載之過濾器連結裝置，其中前述配置切換部係具備有：傳達部，係將使用者施加至操作部的力量傳達至前述移動部。
15. 一種基板處理裝置，係具備有：過濾器連結裝置，係與過濾器連結；前述過濾器連結裝置係具備有：複數個連接埠，係與前述過濾器的複數個連接口連接；以及配置切換部，係藉由變更前述複數個連接埠的相對位置而在第一配置與第二配置之間切換前述複數個連接埠的配置。