KR20170051333A - 필터 연결 장치 및 이것을 구비한 기판 처리 장치 - Google Patents

필터 연결 장치 및 이것을 구비한 기판 처리 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR20170051333A
KR20170051333A KR1020160141991A KR20160141991A KR20170051333A KR 20170051333 A KR20170051333 A KR 20170051333A KR 1020160141991 A KR1020160141991 A KR 1020160141991A KR 20160141991 A KR20160141991 A KR 20160141991A KR 20170051333 A KR20170051333 A KR 20170051333A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
filter
arrangement
connecting device
connection ports
joint
Prior art date
Application number
KR1020160141991A
Other languages
English (en)
Other versions
KR101895682B1 (ko
Inventor
마사히토 가시야마
아키히코 모리타
Original Assignee
가부시키가이샤 스크린 홀딩스
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 가부시키가이샤 스크린 홀딩스 filed Critical 가부시키가이샤 스크린 홀딩스
Publication of KR20170051333A publication Critical patent/KR20170051333A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101895682B1 publication Critical patent/KR101895682B1/ko

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D35/00—Filtering devices having features not specifically covered by groups B01D24/00 - B01D33/00, or for applications not specifically covered by groups B01D24/00 - B01D33/00; Auxiliary devices for filtration; Filter housing constructions
    • B01D35/30—Filter housing constructions
    • B01D35/306—Filter mounting adapter
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D35/00—Filtering devices having features not specifically covered by groups B01D24/00 - B01D33/00, or for applications not specifically covered by groups B01D24/00 - B01D33/00; Auxiliary devices for filtration; Filter housing constructions
    • B01D35/30—Filter housing constructions
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2201/00—Details relating to filtering apparatus
    • B01D2201/30—Filter housing constructions
    • B01D2201/301—Details of removable closures, lids, caps, filter heads
    • B01D2201/302—Details of removable closures, lids, caps, filter heads having inlet or outlet ports
    • B01D2201/303—Details of removable closures, lids, caps, filter heads having inlet or outlet ports not arranged concentrically
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2201/00—Details relating to filtering apparatus
    • B01D2201/40—Special measures for connecting different parts of the filter
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2201/00—Details relating to filtering apparatus
    • B01D2201/40—Special measures for connecting different parts of the filter
    • B01D2201/4007—Use of cam or ramp systems
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2201/00—Details relating to filtering apparatus
    • B01D2201/40—Special measures for connecting different parts of the filter
    • B01D2201/4023—Means for connecting filter housings to supports

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Filtration Of Liquid (AREA)
  • Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)

Abstract

필터 연결 장치는, 필터와 연결한다. 필터 연결 장치는, 필터의 복수의 접속구와 접속하는 복수의 이음매 부재를 구비한다. 필터 연결 장치는, 복수의 이음매 부재의 배치를, 제1 배치와 제2 배치 사이에서 전환하는 배치 전환부를 구비하고 있다.

Description

필터 연결 장치 및 이것을 구비한 기판 처리 장치{FILTER COUPLING DEVICE AND A SUBSTRATE TREATING APPARATUS HAVING SAME}
본 발명은, 필터와 연결하는 필터 연결 장치에 관한 것이다. 본 발명은, 필터 연결 장치를 구비한 기판 처리 장치로서, 반도체 웨이퍼, 포토마스크용의 유리 기판, 액정 표시용의 유리 기판, 광디스크용의 기판 등(이하, 간단히 기판이라고 칭한다)을 처리하는 기판 처리 장치에 관한 것이다.
필터는, 기판에 처리액을 공급하기 위한 공급 라인에 설치되어, 처리액을 여과한다. 필터는, 필터 본체와 복수의 접속구를 가지고 있다. 1개의 접속구는, 예를 들면, 처리액이 필터 본체에 유입되기 위한 입구이다. 다른 1개의 접속구는, 예를 들면, 처리액이 필터 본체로부터 유출되기 위한 출구이다.
필터를 공급 라인에 간이하게 끼워넣기 위해, 필터 연결 장치가 사용된다(예를 들면, 일본국 특허공개 2003-251110호 공보, 일본국 특허공개 2015-85327호 공보, 및, 일본국 특허공개 2014-195807호 공보에 개시된다). 필터 연결 장치는, 복수의 접속구와 접속하는 복수의 접속 포트를 구비하고 있다. 접속 포트는, 접속구와 동일한 레이아웃으로 배치되어 있다. 필터를 필터 연결 장치에 연결하면, 복수의 접속구가 일괄적으로 접속 포트와 접속되어, 필터가 처리액의 공급 라인과 연통 접속한다.
일본국 특허공개 2003-251110호 공보 일본국 특허공개 2015-85327호 공보 일본국 특허공개 2014-195807호 공보
그러나, 이러한 구성을 가지는 종래예의 경우에는, 다음과 같은 문제가 있다.
종래의 필터 연결 장치는, 접속구가 특정의 레이아웃으로 배치되어 있는 필터와만 연결 가능하다. 필터의 접속구의 배치가 상이하면, 필터에 적합한 필터 연결 장치도 상이하다.
한편, 접속구의 배치는, 필터의 제조자나 필터의 종류에 따라 상이한 경우가 많다. 접속구의 배치가 필터의 성능에 영향을 주는 경우도 있기 때문이다.
접속구의 배치가 동일한 필터들 사이에서 필터를 교환하는 경우, 통상, 필터 연결 장치까지 교체하지 않아도 된다. 그러나, 접속구의 배치가 상이한 필터들 사이에서 필터를 교환하는 경우, 필터 연결 장치를 교체하지 않으면 안 된다. 이 때문에, 종래의 필터 연결 장치에서는, 접속구의 배치가 상이한 2종 이상의 필터 사이에서 필터를 간이하게 교환할 수 없다는 문제가 있다.
본 발명은, 이러한 사정을 감안하여 이루어진 것이며, 필터의 접속구의 배치가 상이한 2종 이상의 필터와 적절하게 연결할 수 있는 필터 연결 장치 및 이것을 구비한 기판 처리 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명은, 이러한 목적을 달성하기 위해, 다음과 같은 구성을 취한다.
즉, 본 발명은, 필터와 연결하는 필터 연결 장치로서, 상기 필터 연결 장치는 이하의 요소를 포함한다：
상기 필터의 복수의 접속구와 접속하는 복수의 접속 포트；
상기 복수의 접속 포트의 배치를, 제1 배치와 제2 배치 사이에서 전환하는 배치 전환부.
제1 배치와 제2 배치는 서로 상이하다. 제1 배치로 배치된 복수의 접속 포트는 각각, 특정의 배치로 설치된 복수의 접속구와 접속할 수 있다. 제2 배치로 배치된 복수의 접속 포트는, 특정의 다른 배치로 설치된 복수의 접속구와 접속할 수 있다. 이와 같이, 제1 배치와 제2 배치는, 미리 정해져 있다. 따라서, 배치 전환부가 복수의 접속 포트의 배치를 제1 배치로 전환했을 때에는, 필터 연결 장치는, 특정의 배치의 접속구를 가지는 필터와 적절하게 연결할 수 있다. 또, 배치 전환부가 복수의 접속 포트의 배치를 제2 배치로 전환했을 때에는, 필터 연결 장치는, 특정의 다른 배치의 접속구를 가지는 필터와 적절하게 연결할 수 있다. 이와 같이, 필터 연결 장치는 배치 전환부를 구비하고 있으므로, 필터의 접속구의 배치가 상이한 2종 이상의 필터와 적절하게 연결할 수 있다. 따라서, 필터의 접속구의 배치가 상이한 2종 이상의 필터 사이에서, 필터를 용이하게 교환할 수 있다.
상술한 발명에 있어서, 상기 배치 전환부는, 상기 접속 포트를 소정의 위치에서 유지하는 유지부를 구비하고 있는 것이 바람직하다. 더욱 구체적으로는, 상기 유지부는, 복수의 접속 포트를 각각, 제1 배치에서의 위치 및 제2 배치에서의 위치에서 유지하는 것이 바람직하다. 유지부는, 접속 포트의 배치가 제1 배치로부터 벗어나는 것을 적절하게 방지할 수 있으며, 한편, 접속 포트의 배치가 제2 배치로부터 벗어나는 것을 적절하게 방지할 수 있다. 또한, 유지부는, 각 접속 포트를 제1 배치에서의 올바른 위치에 위치 결정할 수 있고, 각 접속 포트를 제2 배치에서의 올바른 위치에 위치 결정할 수 있다. 그리고, 유지부는, 각 접속 포트가 올바른 위치로부터 벗어나는 것을 적절하게 방지할 수 있다.
상술한 발명에 있어서, 상기 배치 전환부는, 적어도 1개 이상의 상기 접속 포트를 이동시키는 이동부를 구비하는 것이 바람직하다. 더욱 구체적으로는, 이동부는, 제1 배치에서의 위치와 제2 배치에서의 위치 사이에 걸쳐 접속 포트를 이동시키는 것이 바람직하다. 배치 전환부는 이동부를 구비하고 있으므로, 접속 포트의 배치를 용이하게 전환할 수 있다.
상술한 발명에 있어서, 상기 이동부는, 회전 가능하게 설치되며, 상기 접속 포트와 접촉하는 캠 부재를 구비하고 있는 것이 바람직하다. 캠 부재가 회전함으로써, 접속 포트를 적절한 위치에 이동시킬 수 있다.
상술한 발명에 있어서, 단일의 상기 캠 부재가 2개 이상의 상기 접속 포트를 이동시키는 것이 바람직하다. 캠 부재의 개수를 저감할 수 있어, 이동부의 구조를 간소화할 수 있다.
상술한 발명에 있어서, 상기 배치 전환부는, 상기 이동부가 상기 접속 포트를 이동시키는 움직임을 금지하는 이동부용 락부를 구비하는 것이 바람직하다. 더욱 구체적으로는, 이동부용 락부는, 접속 포트를, 제1 배치에서의 위치 및 제2 배치에서의 위치에 위치 결정하는 것이 바람직하다. 이동부용 락부는, 각 접속 포트를 제1 배치에서의 올바른 위치에서 정지시킬 수 있고, 각 접속 포트를 제2 배치에서의 올바른 위치에서 정지시킬 수 있다. 또, 이동부용 락부는, 접속 포트가 올바른 위치로부터 벗어나는 것을 적절하게 방지할 수 있다.
상술한 발명에 있어서, 상기 필터 연결 장치는, 상기 이동부에 연동 연결되며, 상기 이동부를 움직이기 위한 조작부를 구비하고 있는 것이 바람직하다. 필터 연결 장치는 조작부를 구비하고 있으므로, 사용자는 이동부를 용이하게 움직일 수 있다.
상술한 발명에 있어서, 상기 배치 전환부는, 적어도 1개 이상의 상기 접속 포트를 안내하는 안내부를 구비하는 것이 바람직하다. 더욱 구체적으로는, 안내부는, 제1 배치에서의 위치와 제2 배치에서의 위치 사이에 걸쳐 접속 포트를 안내하는 것이 바람직하다. 배치 전환부는 안내부를 구비하고 있으므로, 접속 포트의 배치를 원활하게 전환할 수 있다.
상술한 발명에 있어서, 상기 안내부의 일단 가장자리에 접촉하는 상기 접속 포트의 위치는, 상기 제1 배치 및 상기 제2 배치 중 어느 한쪽에 있어서의 상기 접속 포트의 위치인 것이 바람직하다. 안내부의 일단 가장자리를 이용하여, 안내부에 의해 안내되는 1개의 접속 포트를 특정의 위치에 위치 결정한다. 안내 부재의 일단 가장자리는, 제1 배치에서의 접속 포트의 위치 및 제2 배치에서의 접속 포트의 위치 중 어느 한쪽을 규정하고 있다. 따라서, 안내부는, 제1 배치에서의 접속 포트의 위치 및 제2 배치에서의 접속 포트의 위치 중 적어도 어느 한쪽에, 접속 포트를 용이하게 안내할 수 있다.
상술한 발명에 있어서, 상기 안내부의 일단 가장자리에 접촉하는 상기 접속 포트의 위치는, 상기 제1 배치 및 상기 제2 배치 중 한쪽에 있어서의 상기 접속 포트의 위치이며, 상기 안내부의 타단 가장자리에 접촉하는 상기 접속 포트의 위치는, 상기 제1 배치 및 상기 제2 배치 중 다른쪽에 있어서의 상기 접속 포트의 위치인 것이 바람직하다. 안내부의 일단 가장자리 및 타단 가장자리를 이용하여, 안내 부재에 의해 안내되는 접속 포트를 특정의 위치에 위치 결정한다. 구체적으로는, 안내 부재의 일단 가장자리는, 제1 배치 및 제2 배치 중 한쪽에 있어서의 접속 포트의 위치를 규정하고 있다. 안내부의 타단 가장자리는, 제1 배치 및 제2 배치 중 다른쪽에 있어서의 접속 포트의 위치를 규정하고 있다. 이와 같이, 안내부의 양단 가장자리가, 제1 배치에서의 접속 포트의 위치 및 제2 배치에서의 접속 포트의 위치를 규정하고 있다. 따라서, 안내부는, 제1 배치 및 제2 배치에서의 각 위치에, 접속 포트를 용이하게 안내할 수 있다.
상술한 발명에 있어서, 상기 배치 전환부는, 상기 안내부에 부착되며, 상기 접속 포트를 소정 위치에 고정시키는 고정부를 구비하는 것이 바람직하다. 더욱 구체적으로는, 고정부는, 접속 포트를, 제1 배치에서의 위치 및 제2 배치에서의 위치에 고정시키는 것이 바람직하다. 배치 전환부는 고정부를 구비하고 있으므로, 접속 포트가 제1 배치에서의 올바른 위치로부터 벗어나는 것을 적절하게 방지할 수 있고, 접속 포트가 제2 배치에서의 올바른 위치로부터 벗어나는 것을 적절하게 방지할 수 있다. 그 결과, 접속 포트의 배치가 벗어나는 것을 적절하게 방지할 수 있다. 구체적으로는, 접속 포트의 배치를 제1 배치에 적절하게 유지할 수 있고, 접속 포트의 배치를 제2 배치에 적절하게 유지할 수 있다.
상술한 발명에 있어서, 상기 필터 연결 장치는, 상기 필터를 지지하는 필터 지지부와, 상기 필터 지지부를 승강시키는 승강부와, 상기 필터 지지부가 제1 높이 위치에 있을 때, 및, 상기 필터 지지부가 제2 높이 위치에 있을 때에 각각, 상기 필터 지지부가 승강하는 움직임을 금지하는 승강용 락부를 구비하고 있는 것이 바람직하다. 필터 연결 장치는 필터 지지부를 구비하고 있으므로, 필터를 적절하게 지지할 수 있다. 필터 연결 장치는 승강부를 구비하고 있으므로, 필터를 적절하게 승강시킬 수 있다. 필터 연결 장치는 승강용 락부를 구비하고 있으므로, 필터 지지부를 제1 높이 위치와, 제1 높이 위치와는 상이한 제2 높이 위치에 유지할 수 있다. 즉, 필터 지지부는, 상이한 2개의 높이 위치에서, 필터를 안정적으로 지지할 수 있다. 따라서, 필터 연결 장치는, 높이가 상이한 2종 이상의 필터와 적절하게 연결할 수 있다.
상술한 발명에 있어서, 상기 필터 연결 장치는, 상기 승강부를 통하여 상기 필터 지지부를 지지하는 베이스부를 구비하고, 상기 승강부는, 상기 베이스부 및 상기 필터 지지부 중 한쪽에 형성되며, 수직으로 연장되는 승강용 홈부와, 상기 베이스부 및 상기 필터 지지부 중 다른쪽에 고정되며, 상기 승강용 홈부를 따라 슬라이드 이동하는 핀 부재를 구비하고, 상기 승강용 락부는, 상기 베이스부 및 상기 필터 지지부 중 한쪽에 형성되며, 상기 승강용 홈부로부터 대략 수평으로 연장되며, 상기 핀 부재가 슬라이드 이동 가능한 제1 락용 홈부와, 상기 베이스부 및 상기 필터 지지부 중 한쪽에 형성되어, 상기 승강용 홈부로부터 대략 수평으로 연장되며, 상기 핀 부재가 슬라이드 이동 가능한 제2 락용 홈부를 구비하고, 상기 제1 락용 홈부와 제2 락용 홈부는 상이한 높이에 설치되어 있는 것이 바람직하다. 필터 연결 장치는 베이스부를 구비하고 있으므로, 승강부는 필터 지지부를 베이스부에 대해 승강할 수 있다. 승강부는, 승강용 홈부와, 승강용 홈부와 걸어맞춰지는 핀 부재를 구비하고 있다. 핀 부재가 승강용 홈부를 따라 슬라이드 이동함으로써, 필터 지지부를 적절하게 승강시킬 수 있다. 승강용 락부는, 제1 락용 홈부와 제2 락용 홈부를 구비하고 있다. 제1, 제2 락용 홈부는, 승강용 홈부와 연결되어 있다. 핀 부재가 승강용 홈부로부터 제1, 제2 락용 홈부에 들어가면, 핀 부재는 승강 불능이 되어, 승강부는 필터 지지부를 승강시킬 수 없다. 즉, 필터 지지부의 높이 위치는 일정하게 유지된다. 제1 락용 홈부와 제2 락용 홈부는 서로 상이한 높이 위치에 형성되어 있다. 따라서, 필터 지지부를 제1 높이 위치에 유지할 수 있으며, 또한, 필터 지지부를 제1 높이 위치와는 상이한 제2 높이 위치에 유지할 수 있다.
상술한 발명에 있어서, 상기 배치 전환부는, 사용자가 조작부에 가한 힘을 상기 이동부에 전달하는 전달부를 구비하는 것이 바람직하다. 이동부를 구동하기 위한 동력원을 생략할 수 있어, 배치 전환부의 구조를 한층 간소화할 수 있다.
또, 본 발명은, 기판 처리 장치로서,
상기 기판 처리 장치는,
필터와 연결하는 필터 연결 장치를 구비하고,
상기 필터 연결 장치는,
상기 필터의 복수의 접속구와 접속하는 복수의 접속 포트와,
상기 복수의 접속 포트의 배치를, 제1 배치와 제2 배치 사이에서 전환하는 배치 전환부를 구비한다.
필터 연결 장치는, 필터의 접속구의 배치가 상이한 2종 이상의 필터와 적절하게 연결할 수 있다. 이러한 필터 연결 장치를 기판 처리 장치가 구비하고 있으므로, 필터의 접속구의 배치가 상이한 2종 이상의 필터 사이에서, 필터를 용이하게 교환할 수 있다. 따라서, 기판의 종류, 처리액의 종류, 혹은 기판에 행하는 처리의 종류에 따라 필터를 용이하게 선택·변경할 수 있어, 처리액을 보다 적절히 여과할 수 있다. 따라서, 기판의 처리 품질을 한층 향상시킬 수 있다.
※ 발명을 설명하기 위해 현재 적합하다고 생각되는 몇 가지의 형태가 도시되어 있지만, 발명이 도시된 대로의 구성 및 방책에 한정되는 것은 아닌 것이 이해되길 바란다.
도 1은, 실시예 1에 관련된 기판 처리 장치의 개략 구성을 나타내는 도이다.
도 2a는 제1 필터의 사시도이며, 도 2b는 제2 필터의 사시도이다.
도 3은, 필터 연결 장치의 사시도이다.
도 4는, 필터 연결 장치의 측면도이다.
도 5는, 필터 연결 장치의 평면도이다.
도 6은, 베이스 플레이트와 슬롯과 관통 구멍의 평면도이다.
도 7a~7f는, 캠 부재의 움직임과 이음매 부재의 위치의 경시적인 변화를 설명하는 도이다.
도 8은, 필터 지지부의 높이 위치를 설명하는 도이다.
도 9a, 9b, 9c는, 제1 필터를 필터 연결 장치에 착탈하는 순서를 설명하는 도이다.
도 10a, 10b, 10c는, 제2 필터를 필터 연결 장치(31)에 착탈하는 순서를 설명하는 도이다.
도 11은, 실시예 2에 관련된 배치 전환부의 평면도이다.
도 12는, 실시예 3에 관련된 필터 연결 장치의 사시도이다.
도 13은, 실시예 4에 관련된 배치 전환부의 평면도이다.
도 14는, 실시예 5에 관련된 배치 전환부의 평면도이다.
도 15는, 실시예 6에 배치 전환부의 평면도이다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명한다.
도 1은, 실시예 1에 관련된 기판 처리 장치의 개략 구성을 나타내는 도이다. 실시예 1에 관련된 기판 처리 장치(1)는, 기판(예를 들면, 반도체 웨이퍼) W에 액처리를 행하는 장치이다.
＜기판 처리 장치(1)의 개요＞
기판 처리 장치(1)는, 기판 유지부(3)와 회전 모터(5)를 구비하고 있다. 기판 유지부(3)는, 기판 W를 대략 수평으로 유지한다. 기판 유지부(3)는, 예를 들면, 기판 W의 이면(하면)을 흡착 유지한다. 회전 모터(5)는, 기판 유지부(3)의 바닥부 중앙에 연결되어 있다. 회전 모터(5)는, 기판 유지부(3)를 대략 연직축 둘레로 회전시킨다. 이것에 의해, 기판 유지부(3)에 유지된 기판 W는, 그 중심부를 지나는 대략 연직축 둘레로 회전한다.
기판 처리 장치(1)는, 노즐(7)과 컵(9)을 구비하고 있다. 노즐(7)은, 기판 유지부(3)의 상방에 해당하는 토출 위치에 이동 가능하게 설치되어 있다. 노즐(7)은, 기판 유지부(3)에 유지된 기판 W에 처리액을 토출한다. 컵(9)은, 기판 유지부(3)의 측방을 둘러싸도록 배치되어 있다. 컵(9)은, 기판 W로부터 비산한 처리액을 받아들여 회수한다.
노즐(7)은, 처리액을 통과시키는 배관(11)과 접속되어 있다. 배관(11)의 타단은, 처리액 공급원(13)에 접속되어 있다. 처리액 공급원(13)은, 예를 들면, 처리액을 저류하는 처리액 탱크이다. 처리액은, 예를 들면, 레지스트막 재료나 각종의 도막 재료, 약액, 시너, 순수이다. 배관(11)의 도중에는, 펌프(15), 제어 밸브(17), 및 필터(21)가 끼워넣어져 있다. 펌프(15)는, 처리액 공급원(13)으로부터 노즐(11)을 향해 처리액을 압송한다. 제어 밸브(17)는, 처리액의 유로를 개폐한다. 필터(21)는, 처리액을 여과한다. 필터(21)는, 예를 들면, 처리액으로부터 처리액 중의 이물 등을 분리·제거한다.
필터(21)는, 필터 본체(22)와 복수(예를 들면 3개)의 접속구(23, 24, 25)를 구비하고 있다. 필터 본체(22)는, 여과재와, 여과재의 일차측을 처리액이 흐르는 일차측 유로와, 여과재의 이차측을 처리액이 흐르는 이차측 유로(모두 도시하지 않음)를 포함한다. 여과재는, 예를 들면 다공성의 막이다. 접속구(23)는, 일차측 유로의 입구이다. 접속구(24)는, 이차측 유로의 출구이다. 접속구(25)는, 필터 본체(22) 내의 기체를 내보내기 위한 출구이다.
필터(21)는, 필터 연결 장치(31)에 의해, 배관(11)과 접속되어 있다. 필터 연결 장치(31)는, 복수(예를 들면 접속구와 동수)의 이음매 부재(33, 34, 35)를 구비한다. 이음매 부재(33, 34, 35)의 일단은 각각, 접속구(23, 24, 25)와 접속한다. 이음매 부재(33, 34, 35)는, 본 발명에 있어서의 접속 포트의 예이다.
여기서, 편의상, 필터(21)의 일차측의 배관(11)을 특히 「일차측 배관(11a)」이라고 부르며, 필터(21)의 이차측의 배관(11)을 특히 「이차측 배관(11b)」이라고 부른다. 일차측 배관(11a)은, 이음매 부재(33)의 타단과 접속되어 있다. 이것에 의해, 일차측 배관(11a)은 이음매 부재(33)를 통하여 접속구(23)와 연통 접속되어 있다. 이차측 배관(11b)은, 이음매 부재(34)의 타단과 접속되어 있다. 이것에 의해, 이차측 배관(11b)은 이음매 부재(34)를 통하여 접속구(24)와 연통 접속되어 있다. 이음매 부재(35)의 타단은 벤트관(37)과 접속되어 있다. 이것에 의해, 벤트관(37)은 이음매 부재(35)를 통하여 접속구(23c)와 연통 접속되어 있다.
기판 처리 장치(1)는, 제어부(39)를 구비한다. 제어부(39)는, 회전 모터(5)의 회전과, 노즐(7)의 이동과, 펌프(15)의 구동과, 제어 밸브(17)의 개폐를 통괄적으로 제어한다. 제어부(39)에 의한 제어는, 미리 설정되어 있는 처리 레시피에 의거하여 실행된다.
기판 처리 장치(1)가 기판 W에 액처리를 행하는 동작을 간단하게 설명한다.
기판 W가 기판 유지부(3)에 올려 놓아지면, 회전 모터(5)가 기판 W를 회전시킨다. 노즐(7)이 토출 위치로 이동한다. 펌프(15)가 처리액을 압송하고, 제어 밸브(17)가 처리액의 유로를 개방한다. 이것에 의해, 처리액이 처리액 공급원(13)으로부터 일차측 배관(11a)을 통해서 필터(21)에 유입된다. 필터(21)는 처리액을 여과한다. 여과된 처리액은, 필터(21)에서 이차측 배관(11b)을 통해서 노즐(7)에 유입된다. 노즐(7)은, 처리액을 기판 W에 토출한다. 처리액은, 회전하고 있는 기판 W의 표면 중앙에 착액(着液)하여, 기판 W의 표면 전체에 걸쳐 퍼진다. 기판 W로부터 비산한 처리액은, 컵(9)에 의해 회수된다.
처리액을 토출하기 시작하고 나서 소정의 시간이 경과하면, 펌프(15)가 정지되고, 제어 밸브(17)가 폐지되어, 기판 W에 대한 처리액의 공급을 멈춘다. 회전 모터(5)가 기판 W를 보다 고속으로 회전시켜, 기판 W를 건조시킨다. 그 후, 회전 모터(5)가 정지되고, 기판 W를 정지시킨다. 이것에 의해, 기판 W에 대한 액처리가 종료된다.
＜필터(21)의 구조에 대해서＞
2종류의 필터(21)의 구조를 예시한다.
도 2a는 필터(21)의 제1 예의 사시도이며, 도 2b는 필터(21)의 제2 예의 사시도이다. 이하에서는, 필터(21)의 제1 예를 특별히 「제1 필터(21a)」라고 부르며, 필터(21)의 제2 예를 특별히 「제2 필터(21b)」라고 부른다. 또, 제1 필터(21a)의 각 요소의 부호에는 적당하게 「a」를 부가하고, 제2 필터(21b)의 각 요소의 부호에는 적당하게 「b」를 부가한다.
도 2a를 참조한다. 제1 필터(21a)는, 접속구(23a, 24a, 25a)와 하우징(26a)을 구비한다. 하우징(26a)은, 상술한 필터 본체(22)를 수용한다. 접속구(23a, 24a, 25a)는, 하우징(26a)의 상면에 설치되어 있다. 접속구(23a, 24a, 25a)는 1열로 늘어서도록 배치되어 있다. 접속구(23a, 24a, 25a)는 각각, 관형상을 가진다.
도 2b를 참조한다. 제2 필터(21b)는, 접속구(23b, 24b, 25b)와 하우징(26b)을 구비한다. 하우징(26b)은, 상술한 필터 본체(22)를 수용한다. 접속구(23b, 24b, 25b)는, 하우징(26b)의 상면에 설치되어 있다. 접속구(23b, 24b, 25b)는 1열로 늘어서 있지 않다. 접속구(23b, 24b, 25b)는 각각, 직각 삼각형의 3정점과 같은 위치에 배치되어 있다. 접속구(23b, 24b, 25b)는 각각, 관형상을 가진다.
이와 같이, 제1 필터(21a)와 제2 필터(21b) 사이에서, 접속구(23, 24, 25)의 배치가 상이하다.
또한, 제1 필터(21a)와 제2 필터(21b) 사이에서, 필터의 높이(H)가 상이하다. 본 실시예 1에서는, 제1 필터(21a)의 높이(Ha)는, 제2 필터(21b)의 높이(Hb)에 비해 길다. 여기서, 필터(21)의 높이(H)는, 하우징(26)의 바닥부로부터 접속구(23~25)의 상단까지의 연직 방향에 대한 길이이다.
＜필터 연결 장치(31)의 구조에 대해서＞
필터 연결 장치(31)는, 제1 필터(21a) 및 제2 필터(21b) 중 어느 것과도 연결할 수 있는 구조를 가진다. 이하, 상세하게 설명한다.
도 3은, 필터 연결 장치(31)의 사시도이다. 도 4는, 필터 연결 장치(31)의 측면도이다. 도 5는, 필터 연결 장치(31)의 평면도이다. 각 도면에 있어서, 「X」, 「Y」는 서로 직교하는 수평 방향을 나타내고, 「Z」는 연직 방향(「상하 방향」이라고도 한다)을 나타낸다.
이음매 부재(33, 34, 35)는 각각, 관형상을 가진다. 필터 연결 장치(31)는, 이음매 부재(33, 34, 35) 외에, 배치 전환부(40)를 구비하고 있다. 배치 전환부(40)는, 복수의 이음매 부재(33, 34, 35)의 배치를 전환한다.
배치 전환부(40)는, 베이스 플레이트(41)와 슬롯(42, 43)을 구비하고 있다(슬롯(43)에 대해서는, 도 6을 참조). 베이스 플레이트(41)는, 대략 수평인 판형상을 가진다. 슬롯(42, 43)은, 베이스 플레이트(41)에 형성되어 있다. 슬롯(42, 43)은, 베이스 플레이트(41)의 상면으로부터 하면에 걸쳐 관통한다.
베이스 플레이트(41)는, 이음매 부재(33, 34)가 탈락하지 않도록 지지한다. 이음매 부재(33)는 슬롯(42)에 배치된다. 이음매 부재(34)는 슬롯(43)에 배치된다. 구체적으로는, 이음매 부재(33, 34)는 각각, 슬롯(42, 43)에 삽입되어 있다. 이음매 부재(33, 34)는 각각, 그 외주면(33a, 34a)으로부터 바깥쪽으로 튀어나오는 플랜지부(33b, 34b)를 구비하고 있다. 플랜지부(33b, 34b)는 각각, 슬롯(42, 43)의 폭보다 크다. 플랜지부(33b, 34b)는 각각, 베이스 플레이트(41)의 상면과 접촉하고 있다. 이것에 의해, 이음매 부재(33, 34)가 베이스 플레이트(41)로부터 하방으로 탈락하지 않는다. 이음매 부재(33, 34)는 연직 자세로 베이스 플레이트(41)에 올려놓아진다.
슬롯(42, 43)은 긴 구멍이다. 슬롯(42)은 이음매 부재(33)를 안내한다. 슬롯(43)은 이음매 부재(34)를 안내한다. 이음매 부재(33, 34)는, 슬롯(42, 43)을 따라 수평 방향으로 이동 가능하다.
베이스 플레이트(41)는, 또한, 이음매 부재(35)를 소정 위치에 유지한다. 이음매 부재(35)는, 베이스 플레이트(41)에 형성된 관통 구멍(44)(후술하는 도 6 참조)에 배치된다. 보다 구체적으로는, 이음매 부재(35)는 관통 구멍(44)에 삽입되어 있다. 이음매 부재(35)는, 베이스 플레이트(41)에 대해 수평 방향으로 이동 불능이다. 이음매 부재(35)는 그 외주면(35a)으로부터 바깥쪽으로 튀어나오는 플랜지부(35b)를 구비하고 있다. 플랜지부(35b)는 관통 구멍(44)보다 크다. 플랜지부(35b)는 베이스 플레이트(41)의 상면과 접촉하고 있다. 이것에 의해, 이음매 부재(35)가 베이스 플레이트(41)로부터 하방으로 탈락하지 않는다. 이음매 부재(35)는 연직 자세로 베이스 플레이트(41)에 올려놓아진다.
도 4를 참조한다. 이음매 부재(33, 34, 35)의 하단부(33c, 34c, 35c)는, 베이스 플레이트(41)의 하방에 위치하고 있다. 이음매 부재(33, 34, 35)의 상단부(33d, 34d, 35d)는, 베이스 플레이트(41)의 상방에 위치하고 있다.
베이스 플레이트(41)는, 본 발명에 있어서의 베이스부의 예이다. 베이스 플레이트(41)는, 이음매 부재(35)를 유지하는 유지부로서 기능한다.
도 6은, 베이스 플레이트(41)의 평면도이다. 이음매 부재(33)가 슬롯(42)의 일단 가장자리(42a)에 접촉할 때의 이음매 부재(33)의 위치를 「위치(P1)」이라고 하고, 이음매 부재(33)가 슬롯(42)의 타단 가장자리(42b)에 접촉할 때의 이음매 부재(33)의 위치를 「위치(P2)」라고 한다. 또, 이음매 부재(34)가 슬롯(43)의 일단 가장자리(43a)에 접촉할 때의 이음매 부재(34)의 위치를 「위치(Q1)」이라고 하고, 이음매 부재(34)가 슬롯(43)의 타단 가장자리(43b)에 접촉할 때의 이음매 부재(34)의 위치를 「위치(Q2)」라고 한다. 이음매 부재(33)가 위치(P1)에 배치되고, 이음매 부재(34)가 위치(Q1)에 배치되어 있을 때, 이음매 부재(33~35)의 평면적인 배치는, 제1 필터(21a)의 접속구(23a~25a)의 평면적인 배치와 일치한다. 또, 이음매 부재(33)가 위치(P2)에 배치되고, 이음매 부재(34)가 위치(Q2)에 배치되어 있을 때, 평면에서 보았을 때에 있어서의 이음매 부재(33~35)의 배치는, 평면에서 보았을 때에 있어서의 제2 필터(21b)의 접속구(23b~25b)의 배치와 일치한다.
본 명세서에서는, 이음매 부재(33)가 위치(P1)에 있고, 이음매 부재(34)가 위치(Q1)에 있을 때의 이음매 부재(33~35)의 배치를, 「제1 배치」라고 부른다. 이음매 부재(33)가 위치(P2)에 있고, 이음매 부재(34)가 위치(Q2)에 있을 때의 이음매 부재(33~35)의 배치를, 「제2 배치」라고 부른다. 그렇게 하면, 위치(P1)는, 제1 배치에서의 이음매 부재(33)의 올바른 위치이다. 위치(P2)는, 제2 배치에서의 이음매 부재(33)의 올바른 위치이다. 위치(Q1)는, 제1 배치에서의 이음매 부재(34)의 정규의 위치이다. 위치(Q2)는, 제2 배치에서의 이음매 부재(34)의 정규의 위치이다.
또한, 베이스 플레이트(41)에 유지되는 이음매 부재(35)의 위치는, 제1 배치에서의 이음매 부재(35)의 정규의 위치이며, 또한, 제2 배치에서의 이음매 부재(35)의 정규의 위치이다.
슬롯(42, 43)은, 본 발명에 있어서의 안내부의 예이다.
상술한대로, 이음매 부재(33, 34)는, 제1 배치와 제2 배치 사이에서, 위치가 바뀐다. 한편, 이음매 부재(35)는, 제1 배치와 제2 배치 사이에서 위치는 변하지 않는다(동일하다). 따라서, 전자(본 실시예에서는 이음매 부재(33, 34))를 「가동 접속 포트」라고 부르며, 후자(본 실시예에서는 이음매 부재(35))를 「고정 접속 포트」라고 부르고 구별해도 된다.
배치 전환부(40)는, 가동 접속 포트인 이음매 부재(33, 34)를 이동시키는 이동부(45)를 구비한다. 더욱 구체적으로는, 이동부(45)는, 이음매 부재(33, 34)를 대략 수평 방향으로 이동시킨다.
이동부(45)는, 축부재(46)와 캠 부재(47)를 구비하고 있다. 축부재(46)는, 베이스 플레이트(41)에 부착되어 있다. 축부재(46)의 축심(A)은, 연직 방향(Z)으로 연장되어 있다. 캠 부재(47)는, 축부재(46)에 지지되어 있다. 캠 부재(47)는, 축심(A) 둘레로 정방향(F) 및 역방향(B)으로 회전 가능하다(도 5 참조). 캠 부재(47)는, 베이스 플레이트(41)의 상방에 배치된다.
캠 부재(47)는, 이음매 부재(33)와 접촉하는 접촉부(47a)와, 이음매 부재(34)와 접촉하는 접촉부(47b, 47c)를 가진다. 접촉부(47a)는, 대략 「U」자 형상을 가지고 있다. 접촉부(47a)는, 이음매 부재(33)의 외주면(33a)을 사이에 두도록 이음매 부재(33)와 항상 접촉하고 있다. 접촉부(47a)는, 이음매 부재(33)를 정방향(F) 및 역방향(B)으로 민다. 접촉부(47b)는, 이음매 부재(34)의 외주면(34a)의 한쪽측과 접촉 가능하다. 접촉부(47b)는, 이음매 부재(34)를 오로지 정방향(F)으로 민다. 접촉부(47c)는, 이음매 부재(34)의 외주면(34a)의 반대측과 접촉 가능하다. 접촉부(47b)는, 이음매 부재(34)를 오로지 역방향(B)으로 민다.
여기서, 이동부(45)가 이음매 부재(33, 34)를 이동시키는 동작을 설명한다.
도 7a~7f는, 배치 전환부(40)의 평면도이며, 캠 부재(47)의 움직임과 이음매 부재(33~35)의 위치의 경시적인 변화를 나타낸다.
도 7a를 참조한다. 캠 부재(47)가 도 7a에 나타내는 위치에 있을 때, 이음매 부재(33~35)는 제1 배치로 배치되어 있다. 이음매 부재(33)는 위치(P1)에 있고, 슬롯(42)의 일단 가장자리(42a)와 접촉하고 있다. 이음매 부재(34)는 위치(Q1)에 있고, 슬롯(43)의 일단 가장자리(43a)와 접촉하고 있다.
접촉부(47a)는, 이음매 부재(33)와 접촉하고 있다. 접촉부(47a)는, 이음매 부재(33)가 위치(P1)로부터 벗어나는 것(구체적으로는, 이음매 부재(33)가 슬롯(42)의 일단 가장자리(42a)로부터 떨어지는 것)를 규제하고 있다. 예를 들면, 접촉부(47a)는, 이음매 부재(33)가 슬롯(42)을 따라 수평 방향으로 움직이는 것을 방지하고 있다. 접촉부(47b)는, 이음매 부재(34)와 접촉하고 있다. 접촉부(47b)는, 이음매 부재(34)가 위치(Q1)로부터 벗어나는 것을 규제하고 있다. 접촉부(47c)는 이음매 부재(34)와 접촉하고 있지 않다. 또한, 캠 부재(47)는, 도 7a에 나타내는 위치로부터 정방향(F)으로 더 회전할 수 없다.
도 7b를 참조한다. 캠 부재(47)가 도 7a에 나타내는 위치로부터 역방향(B)으로 회전하면, 접촉부(47a)는 이음매 부재(33)를 역방향(B)으로 민다. 이음매 부재(33)는 슬롯(42)을 따라 이동한다. 접촉부(47b)는 이음매 부재(34)로부터 떨어진다. 접촉부(47c)는 이음매 부재(34)로부터 떨어진 채로 있다. 이음매 부재(34)는 움직이지 않는다.
도 7c를 참조한다. 캠 부재(47)가 역방향(B)으로 더 회전하면, 접촉부(47a)는 이음매 부재(33)를 역방향(B)으로 계속 민다. 접촉부(47c)는 이음매 부재(34)에 접촉하기 시작하며, 이음매 부재(34)를 역방향(B)으로 밀기 시작한다. 이음매 부재(34)는, 슬롯(43)을 따라 이동하기 시작한다. 접촉부(47b)는 이음매 부재(34)로부터 떨어진 채로 있다.
도 7d를 참조한다. 캠 부재(47)가 역방향(B)으로 더 회전하면, 이음매 부재(33, 34)가 각각 위치(P2, Q2)에 도달한다. 즉, 이음매 부재(33, 34)는, 슬롯(42, 43)의 타단 가장자리(42b, 43b)와 접촉한다. 이것에 의해, 이음매 부재(33, 34)의 움직임이 멈추고, 캠 부재(47)의 회전도 멈춘다. 캠 부재(47)는, 역방향(B)으로 더 이상 회전할 수 없다. 이음매 부재(33, 34)는 각각 위치(P2, Q2)에서 정지한다. 이음매 부재(33~35)의 배치는 제2 배치로 전환된다.
접촉부(47a)는, 이음매 부재(33)와 접촉하고 있다. 접촉부(47a)는, 이음매 부재(33)가 위치(P2)로부터 벗어나는 것을 규제하고 있다. 접촉부(47c)는, 이음매 부재(34)와 접촉하고 있다. 접촉부(47c)는, 이음매 부재(34)가 위치(Q2)로부터 벗어나는 것을 규제하고 있다. 접촉부(47b)는 이음매 부재(34)로부터 떨어진 채로 있다.
도 7e를 참조한다. 캠 부재(47)가 도 7d에 나타내는 위치로부터 정방향(F)으로 회전하면, 접촉부(47a)는 이음매 부재(33)를 정방향(F)으로 민다. 이음매 부재(33)는 슬롯(42)을 따라 이동한다. 접촉부(47c)는 이음매 부재(34)로부터 떨어진다. 접촉부(47b)는 이음매 부재(34)로부터 떨어진 채로 있다. 이음매 부재(34)는 움직이지 않는다.
도 7f를 참조한다. 캠 부재(47)가 정방향(F)으로 더 회전하면, 접촉부(47a)는 이음매 부재(33)를 정방향(F)으로 계속 민다. 접촉부(47b)는 이음매 부재(34)에 접촉하기 시작하며, 이음매 부재(34)를 정방향(F)으로 밀기 시작한다. 이음매 부재(34)는, 슬롯(43)을 따라 향하여 이동하기 시작한다. 접촉부(47c)는 이음매 부재(34)로부터 떨어진 채로 있다.
도 7a를 참조한다. 캠 부재(47)가 정방향(F)으로 더 회전하면, 이음매 부재(33, 34)가 각각 위치(P1, Q1)에 도달한다. 즉, 이음매 부재(33, 34)는, 슬롯(42, 43)의 일단 가장자리(42a, 43a)와 접촉한다. 이것에 의해, 이음매 부재(33, 34)의 움직임이 멈추고, 캠 부재(47)의 회전도 멈춘다. 캠 부재(47)는, 정방향(F)으로 더 이상 회전할 수 없다. 이음매 부재(33, 34)는 각각 위치(P1, Q1)에서 정지되고, 이음매 부재(33~35)의 배치는 제1 배치로 전환된다.
도 3, 4를 참조한다. 필터 연결 장치(31)는, 필터(21)를 지지하는 필터 지지부(50)를 구비하고 있다. 필터 지지부(50)는, 지지 플레이트(51)와, 한 쌍의 아암부(53)를 구비한다.
지지 플레이트(51)는, 대략 수평인 판형상을 가진다. 지지 플레이트(51)는, 그 상면에 필터(21)를 올려놓는다.
한쪽의 아암부(53)는, 지지 플레이트(51)의 우측부와 고정적으로 연결되어 있으며, 지지 플레이트(51)로부터 상방으로 연장되어 있다. 다른쪽의 아암부(53)는, 지지 플레이트(51)의 좌측부에 고정되어 있으며, 지지 플레이트(51)로부터 상방으로 연장되어 있다.
필터 연결 장치(31)는, 핀 부재(55)를 구비하고 있다. 핀 부재(55)는, 각 아암부(53)에 고정되어 있다. 핀 부재(55)는, 아암부(53)로부터 수평 방향(예를 들면, X방향)으로 돌출되어 있다.
필터 연결 장치(31)는, 한 쌍의 측벽부(57)를 구비하고 있다. 한쪽의 측벽부(57)는, 베이스 플레이트(41)의 우측부와 고정적으로 연결되어 있으며, 베이스 플레이트(41)로부터 하방으로 연장되어 있다. 다른쪽의 측벽부(57)는, 베이스 플레이트(41)의 좌측부에 고정되어 있으며, 베이스 플레이트(41)로부터 하방으로 연장되어 있다.
필터 연결 장치(31)는, 홈부(58)를 구비하고 있다. 홈부(58)는, 각 측벽부(57)에 형성되어 있다. 홈부(58)에는 핀 부재(55)가 걸어맞춰져 있다. 핀 부재(55)는 홈부(58)를 따라 슬라이드 이동 가능하다. 즉, 홈부(58)는, 핀 부재(55)를 안내한다.
홈부(58)는, 승강용 홈부(59)와 제1 락용 홈부(60a)와 제2 락용 홈부(60b)를 포함한다. 승강용 홈부(59)는, 연직 방향(Z)으로 연장되어 있다. 제1 락용 홈부(60a) 및 제2 락용 홈부(60b)는 각각, 대략 수평 방향(예를 들면 Y방향)으로 연장되어 있다. 제2 락용 홈부(60b)는, 제1 락용 홈부(60a)보다 높은 위치에 배치된다. 승강용 홈부(59)는, 제1 락용 홈부(60a) 및 제2 락용 홈부(60b) 양쪽과 연결되어 있다.
핀 부재(55)가 승강용 홈부(59)를 따라 슬라이드 이동함으로써, 필터 지지 플레이트(51)와 아암부(53)는 일체로 연직 방향(Z)으로 이동한다. 즉, 필터 지지부(50)는 베이스 플레이트(41) 및 측벽부(57)에 대해 승강한다.
핀 부재(55)가 제1, 제2 락용 홈부(60a, 60b)를 따라 슬라이드 이동함으로써, 필터 지지부(50)는 베이스 플레이트(41) 및 측벽부(57)에 대해 대략 수평 방향(예를 들면 Y방향)으로 이동한다.
단, 핀 부재(55)가 제1, 제2 락용 홈부(60a, 60b)에 있을 때, 핀 부재(55)는 승강할 수 없다. 필터 지지부(50)가 승강하는 움직임은 금지된다. 다시 말하면, 필터 지지부(50)의 높이 위치는, 일정하게 유지된다.
제1 락용 홈부(60a)와 제2 락용 홈부(60b)의 높이는 서로 상이하다. 이 때문에, 제1 락용 홈부(60a)와 제2 락용 홈부(60b)는, 필터 지지부(50)를 상이한 높이 위치에 유지할 수 있다.
도 8a, 8b를 참조한다. 도 8a, 8b는, 필터 지지부(50)의 높이 위치를 설명하는 도이다. 본 명세서에서는, 편의상, 지지 플레이트(51)의 높이 위치를, 필터 지지부(50)의 높이 위치로 취급한다.
제1 락용 홈부(60a)는, 필터 지지부(50)를 제1 높이 위치(ha)에 유지한다. 구체적으로는, 필터 지지부(50)가 제1 높이 위치(ha)에 있을 때, 제1 락용 홈부(60a)는, 필터 지지부(50)가 승강하는 움직임을 금지한다.
제2 락용 홈부(60b)는, 필터 지지부(50)를 제2 높이 위치(hb)(ha≠hb)에 유지한다. 구체적으로는, 필터 지지부(50)가 제2 높이 위치(hb)에 있을 때, 제2 락용 홈부(60b)는 필터 지지부(50)의 승강을 금지한다.
필터 지지부(50)가 제1 높이 위치(ha)에 있을 때, 필터 지지부(50)에 지지된 제1 필터(21a)의 접속구(23a~25a)는, 이음매 부재(33~35)와 접속된다. 즉, 제1 필터(21a)가 필터 연결 장치(31)에 연결된다. 필터 지지부(50)가 제2 높이 위치(hb)에 있을 때, 필터 지지부(50)에 지지된 제2 필터(21b)의 접속구(23a~25a)는, 이음매 부재(33~35)와 접속된다.
측벽부(57)는, 본 발명에 있어서의 베이스부의 예이다. 즉, 베이스 플레이트(41)와 측벽부(57)가, 베이스부를 구성한다. 핀 부재(55)와 승강용 홈부(59)는, 본 발명에 있어서의 승강부의 예이다. 락용 홈부(60a, 60b)는 각각, 본 발명에 있어서의 승강용 락부의 예이다.
도 3, 4를 참조한다. 필터 연결 장치(31)는, 필터(21)(특히 제1 필터(21a))를 위치 결정하기 위한 받이부(61)를 구비하고 있다. 구체적으로는, 받이부(61)는, 필터 지지부(50)에 대한 필터(21)의 위치를 결정한다. 받이부(61)는, 아암부(53)에 부착되어 있다. 제1 필터(21a)가 지지 플레이트(51)에 올려놓아질 때, 받이부(61)는, 하우징(26a)의 외주면과 맞닿아, 제1 필터(21a)를 적절한 위치에 위치 결정한다. 제1 필터(21a)가 적절한 위치에 있을 때, 제1 필터(21a)의 접속구(23a~25a)는 각각, 제1 배치에서의 이음매 부재(33~35)의 하방에 위치한다(즉, 제1 필터(21a)의 접속구(23a~25a)는 각각, 제1 배치에서의 이음매 부재(33~35)와 연직 방향(Z)으로 서로 마주본다).
도 3을 참조한다. 필터 연결 장치(31)는, 필터(21)(특히 제2 필터(21b))를 위치 결정하기 위한 절결부(63)를 구비하고 있다. 구체적으로는, 절결부(63)는, 필터 지지부(50)에 대한 필터(21)의 위치를 결정한다. 절결부(63)는, 지지 플레이트(51)에 형성되어 있다. 제2 필터(21b)가 지지 플레이트(51)에 올려놓아질 때, 절결부(63)는, 하우징(26b)의 바닥부와 맞닿아, 제2 필터(21b)를 적절한 위치에 위치 결정한다. 또한, 제2 필터(21b)는, 하우징(26b)의 바닥부로부터 하방으로 토출하는 돌기부(27b)를 구비한다(후술하는 도 10a 내지 10c 참조). 절결부(63)는 돌기부(27b)와 접촉한다. 제2 필터(21b)가 적절한 위치에 있을 때, 제2 필터(21b)의 접속구(23b~25b)가 제2 배치에서의 이음매 부재(33~35)와 연직 방향(Z)으로 서로 마주본다.
필터 연결 장치(31)는, 부착 브래킷(65)을 구비하고 있다. 부착 브래킷(65)은, 베이스 플레이트(41)의 후측부와 고정적으로 연결되어 있다. 부착 브래킷(65)은, 필터 연결 장치(31)의 설치 장소(예를 들면 벽면)에 고정된다.
＜필터(21)를 필터 연결 장치(31)에 착탈하는 동작＞
다음에, 필터(21)를 필터 연결 장치(31)에 착탈하는 동작을 설명한다. 구체적으로는, 제1 필터(21a)를 필터 연결 장치(31)에 연결하는 동작과, 제1 필터(21a)를 필터 연결 장치(31)로부터 떼어내는 동작을 설명한다. 계속해서, 제2 필터(21b)를 필터 연결 장치(31)에 연결하는 동작과, 제2 필터(21b)를 필터 연결 장치(31)로부터 떼어내는 동작을 설명한다. 또한, 필터 연결 장치(31)는, 사용자의 인력에 의해 동작한다. 사용자는, 예를 들면 이동부(45)나 필터 지지부(50) 등을 수동으로 움직인다.
＜제1 필터(21a)의 장착＞
도 9a, 9b, 9c는, 제1 필터(21a)를 필터 연결 장치(31)에 착탈하는 순서를 설명하는 도이다.
우선, 이동부(45)(캠 부재(47))를 조작하고, 이음매 부재(33~35)의 배치를 제1 배치로 전환한다. 핀 부재(55)를 승강용 홈부(59)를 따라 슬라이드 이동시켜, 필터 지지부(50)를 충분히 낮은 위치까지 낮춘다.
다음으로, 지지 플레이트(51) 상에 제1 필터(21a)를 둔다. 필터 지지부(50)는, 제1 필터(21a)를 지지한다(도 9a 참조). 제1 필터(21a)가 받이부(61)와 접촉하는 위치까지 제1 필터(21a)를 수평 방향 안쪽측으로 민다. 이것에 의해, 필터(21a)를 올바른 위치에 세트한다. 제1 필터(21a)의 접속구(23a, 24a, 25a)는, 이음매 부재(33, 34, 35)의 바로 아래에 배치된다. 접속구(23a~25a)는, 이음매 부재(33~35)와 서로 마주 본다.
계속해서, 필터 지지부(50)를 상승시킨다(즉, 핀 부재(55)를 승강용 홈부(59)를 따라 상승시킨다). 이것에 의해, 제1 필터(21a)는, 상승하여, 베이스 플레이트(41)에 가까워진다. 접속구(23a~25a)는, 이음매 부재(33~35)와 서로 마주본 채로, 이음매 부재(33~35)에 가까워진다.
필터 지지부(50)를 제1 높이 위치(ha)까지 상승시키면, 제1 필터(21a)의 접속구(23a~25a)가 각각, 이음매 부재(33~35)와 접속한다(도 9b 참조). 구체적으로는, 접속구(23a~25a)의 내부에 이음매 부재(33~35)의 하단부(33c~35c)가 끼워넣어진다. 이것에 의해, 필터 연결 장치(31)는 제1 필터(21a)와 연결한다.
계속해서, 필터 지지부(50)를 수평 방향 안쪽측으로 밀어, 핀 부재(55)를 제1 락용 홈부(60a)에 이동시킨다(도 9c 참조). 이 때, 제1 필터(21a)는 지지 플레이트(51)에 대해 미끄러지며, 수평 방향으로 움직이지 않는다. 핀 부재(55)가 제1 락용 홈부(60a)에 위치하면, 필터 지지부(50)의 승강이 금지되어, 필터 지지부(50)가 높이 위치(ha)로 유지된다. 이것에 의해, 제1 필터(21a)가 베이스 플레이트(41)(이음매 부재(33~35))로부터 멀어지는 것이나, 베이스 플레이트(41)(이음매 부재(33~35))로부터 하방으로 탈락하는 것이 방지된다.
도 9c에 나타내는 상태로, 제1 필터(21a)를 사용한다. 즉, 제1 필터(21a)에 의해 처리액을 여과한다.
＜제1 필터(21a)를 필터 연결 장치(31)로부터 떼어내는 동작＞
필터 지지부(50)를 수평 방향 앞쪽측으로 당긴다. 이것에 의해, 핀 부재(55)를 제1 락용 홈부(60a)로부터 승강용 홈부(59)로 이동시킨다(도 9b 참조).
필터 지지부(50)를 하강시킨다(즉, 핀 부재(55)를 승강용 홈부(59)를 따라 하강시킨다). 제1 필터(21a)가 베이스 플레이트(41)(이음매 부재(33~35))와 서로 마주본 채로, 제1 필터(21a)는, 베이스 플레이트(41)(이음매 부재(33~35))로부터 멀어진다. 제1 필터(21a)의 접속구(23a~25a)는 각각, 이음매 부재(33~35)로부터 벗어난다. 즉, 제1 필터(21a)는 필터 연결 장치(31)로부터 이탈한다.
도 9a에 나타내는 바와 같이, 필터 지지부(50)를 충분히 낮은 위치까지 낮춘 후, 필터 지지부(50)로부터 제1 필터(21a)를 꺼낸다.
＜제2 필터(21b)를 필터 연결 장치(31)에 연결하는 동작＞
도 10a, 10b, 10c는, 제2 필터(21b)를 필터 연결 장치(31)에 착탈하는 순서를 설명하는 도이다.
이음매 부재(33~35)의 배치를 제2 배치로 전환하여, 필터 지지부(50)를 충분히 낮은 위치까지 낮춘다.
지지 플레이트(51) 상에 제2 필터(21b)를 둔다. 필터 지지부(50)는, 제2 필터(21b)를 지지한다(도 10a 참조). 제2 필터(21b)를 수평 방향 안쪽측으로 밀어, 제2 필터(21b)의 돌기부(27b)를 절결부(63)에 끼워 넣는다. 돌기부(27b)가 절결부(63)(지지 플레이트(51))와 접촉할 때까지, 제2 필터(21b)를 수평 방향 안쪽측으로 이동시킨다. 이것에 의해, 제2 필터(21b)를 올바른 위치에 위치 결정한다. 제2 필터(21b)의 접속구(23b, 24b, 25b)는, 이음매 부재(33, 34, 35)의 바로 아래에 배치된다. 접속구(23b~25b)는, 이음매 부재(33~35)와 서로 마주 본다.
필터 지지부(50)를 높이 위치(hb)까지 상승시킨다(도 10b). 이것에 의해, 제2 필터(21b)를 필터 연결 장치(31)에 연결시킨다.
필터 지지부(50)를 수평 방향 안쪽측으로 밀어, 핀 부재(55)를 제2 락용 홈부(60b)에 이동시킨다(도 10c 참조). 이 때, 제2 필터(21b)는 지지 플레이트(51)에 대해 미끄러지며, 수평 방향으로 움직이지 않는다. 이것에 의해, 필터 지지부(50)의 승강이 금지되어, 필터 지지부(50)가 높이 위치(hb)로 유지된다. 도 10c에 나타내는 상태로, 제2 필터(21b)를 사용한다.
＜제2 필터(21b)를 필터 연결 장치(31)로부터 떼어내는 동작＞
필터 지지부(50)를 수평 방향 앞쪽측으로 당긴다. 이것에 의해, 핀 부재(55)를 제2 락용 홈부(60b)로부터 승강용 홈부(59)로 이동시킨다(도 10b 참조).
필터 지지부(50)를 하강시킨다. 이것에 의해, 제2 필터(21b)가 필터 연결 장치(31)로부터 벗어난다. 도 10a에 나타내는 바와 같이, 필터 지지부(50)를 충분히 낮은 위치까지 하강시킨 후, 필터 지지부(50)로부터 제1 필터(21a)를 꺼낸다.
＜효과＞
이와 같이 실시예 1에 관련된 필터 연결 장치(31)에 의하면, 배치 전환부(40)를 구비하고 있으므로, 복수의 이음매 부재(33~35)의 배치를 제1 배치와 제2 배치 사이에서 전환할 수 있다. 여기서, 제1 배치 및 제2 배치는, 미리 정해져 있다. 제1 배치는 제1 필터(21a)와 적합하도록 결정되어 있다. 구체적으로는, 이음매 부재(33~35)가 제1 배치에 있을 때, 각 이음매 부재(33~35)가 제1 필터(21a)의 접속구(23a~25a)와 접속할 수 있다. 제2 배치는 제2 필터(21b)와 적합하도록 결정되어 있다. 구체적으로는, 이음매 부재(33~35)가 제2 배치에 있을 때, 각 이음매 부재(33~35)가 제2 필터(21b)의 접속구(23b~25b)와 접속할 수 있다. 따라서, 배치 전환부(40)가 이음매 부재(33~35)의 배치를 제1 배치로 전환한 후, 필터 연결 장치(31)는 제1 필터(21a)와 적절하게 연결할 수 있다. 배치 전환부(40)가 이음매 부재(33~35)의 배치를 제2 배치로 전환한 후, 필터 연결 장치(31)는 제2 필터(21b)와 적절하게 연결할 수 있다. 이와 같이, 필터 연결 장치(31)는, 접속구(23~25)의 배치가 상이한 제1 필터(21a, 21b) 양쪽과 연결할 수 있다. 따라서, 필터 연결 장치(31)를 교체하지 않고, 접속구(23~25)의 배치가 상이한 필터(21a, 21b) 사이에서, 필터(21)를 용이하게 교환할 수 있다.
배치 전환부(40)는 슬롯(42)을 구비하고 있으므로, 제1 배치에서의 위치(P1)와 제2 배치에서의 위치(P2) 사이에 걸쳐 이음매 부재(33)를 안내할 수 있다. 마찬가지로, 배치 전환부(40)는 슬롯(43)을 구비하고 있으므로, 제1 배치에서의 위치(Q1)와 제2 배치에서의 위치(Q2) 사이에 걸쳐 이음매 부재(34)를 안내할 수 있다. 따라서, 이음매 부재(33~35)의 배치를 제1 배치와 제2 배치 사이에서 원활하게 전환할 수 있다.
슬롯(42)의 일단 가장자리(42a)가, 이음매 부재(33)의 제1 배치에서의 위치(P1)를 규정하고 있고, 슬롯(42)의 타단 가장자리(42b)가, 이음매 부재(33)의 제2 배치에서의 위치(P2)를 규정하고 있다. 따라서, 슬롯(42)은, 이음매 부재(33)를 위치(P1, P2)에 용이하게 안내할 수 있다. 마찬가지로, 슬롯(43)의 일단 가장자리(43a)가, 이음매 부재(34)의 제1 배치에서의 위치(Q1)를 규정하고 있고, 슬롯(43)의 타단 가장자리(43b)가, 이음매 부재(34)의 제2 배치에서의 위치(Q2)를 규정하고 있다. 따라서, 슬롯(43)은 이음매 부재(34)를 위치(Q1, Q2)에 용이하게 안내할 수 있다.
배치 전환부(40)는 이동부(45)를 구비하고 있으므로, 이음매 부재(33, 34)를 용이하게 이동시킬 수 있다. 구체적으로, 제1 배치에서의 위치(P1)와 제2 배치에서의 위치(P2) 사이에 걸쳐 이음매 부재(33)를 이동시킬 수 있다. 제1 배치에서의 위치(Q1)와 제2 배치에서의 위치(Q2) 사이에 걸쳐 이음매 부재(34)를 이동시킬 수 있다. 따라서, 이음매 부재(33~35)의 배치를 제1 배치와 제2 배치 사이에서 용이하게 전환할 수 있다.
이동부(45)는 캠 부재(47)를 구비하고 있으므로, 이음매 부재(33, 34)를 적절하게 이동시킬 수 있다. 구체적으로는, 캠 부재(47)는 접촉부(47a)를 가지고 있으므로, 이음매 부재(33)를 적절하게 이동시킬 수 있다. 또, 캠 부재(47)는 접촉부(47b, 47c)를 가지고 있으므로, 이음매 부재(34)를 적절하게 이동시킬 수 있다.
1개의 캠 부재(47)가 2개의 이음매 부재(33, 34)를 이동시키므로, 이동부(45)가 구비하는 캠 부재(47)의 개수를 저감할 수 있어, 이동부(45)의 구조를 간소화할 수 있다.
접촉부(47a)는, 이음매 부재(33)가 위치(P1)에 있을 때도 위치(P2)에 있을 때도, 이음매 부재(33)와 접촉하고 있다(도 7a, 7b 참조). 따라서, 접촉부(47a)는, 이음매 부재(33)를 위치(P1, P2)에 적절하게 고정시킬 수 있다. 다시 말하면, 접촉부(47a)는, 이음매 부재(33)를 위치(P1, P2)에 적절하게 유지할 수 있다.
접촉부(47b)는, 이음매 부재(34)가 위치(Q1)에 있을 때, 이음매 부재(34)와 접촉하고 있다. 따라서, 접촉부(47b)는, 이음매 부재(34)를 위치(Q1)에 적절하게 고정시킬 수 있다.
접촉부(47c)는, 이음매 부재(34)가 위치(Q2)에 있을 때, 이음매 부재(34)와 접촉하고 있다. 따라서, 접촉부(47c)는, 이음매 부재(34)를 위치(Q2)에 적절하게 고정시킬 수 있다.
필터 연결 장치(31)는, 필터 지지부(50)를 구비하고 있으므로, 필터(21)를 적절하게 지지할 수 있다.
필터 연결 장치(31)는, 핀 부재(55) 및 승강용 홈부(59)를 구비하고 있으므로, 필터 지지부(50)를 원활하게 승강시킬 수 있다.
필터 지지부(50)는, 핀 부재(55) 및 승강용 홈부(59)를 통하여, 측벽부(57) 및 베이스 플레이트(41)(베이스부)와 연결되어 있다. 따라서, 필터 지지부(50)는 베이스부에 대해 승강할 수 있다. 베이스부는, 이음매 부재(33~35)를 유지하고 있다. 따라서, 필터 지지부(50)는 이음매 부재(33~35)에 대해 승강할 수 있다.
필터 연결 장치(31)는, 제1 락용 홈부(60a)와 제2 락용 홈부(60b)를 구비하고 있으므로, 필터 지지부(50)의 승강을 적절하게 금지할 수 있다. 이것에 의해, 필터 지지부(50)의 높이 위치를 일정하게 유지할 수 있다. 따라서, 예를 들면 필터(21)의 사용 중에, 필터(21)가 필터 연결 장치(31)로부터 벗어나거나, 탈락할 우려가 없다.
특히, 제1 락용 홈부(60a)는 필터 지지부(50)를 제1 높이 위치)에 유지한다. 필터 지지부(50)가 제1 높이 위치(ha)에 있을 때, 필터 연결 장치(31)는 제1 필터(21a)와 연결할 수 있다. 따라서, 제1 락용 홈부(60a)는, 필터 연결 장치(31)가 제1 필터(21a)와 연결되어 있는 상태를 확실히 유지할 수 있다. 제2 락용 홈부(60b)는 필터 지지부(50)를 제2 높이 위치(hb)에 유지한다. 필터 지지부(50)가 제2 높이 위치(hb)에 있을 때, 필터 연결 장치(31)는 제2 필터(21b)와 연결할 수 있다. 따라서, 제2 락용 홈부(60b)는, 필터 연결 장치(31)가 제2 필터(21b)와 연결되어 있는 상태를 확실히 유지할 수 있다. 이와 같이, 필터 연결 장치(31)는, 높이(H)가 상이한 필터(21a, 21b) 중 어느 것과도, 연결한 상태를 적절히 유지할 수 있다.
또한, 필터 연결 장치(31)는, 제1 필터(21a) 및 제2 필터(21b) 중 어느 것과도 상이한 형상을 가지는 필터(21)와 연결할 수 있다. 예를 들면, 제1 필터(21a)의 접속구(23a~25a)와 동일하게 배치된 접속구를 구비하고, 제2 필터(21b)와 동일한 높이(Hb)를 가지는 필터(21)를, 「제3 필터(21)」라고 한다. 필터 연결 장치(31)는, 제3 필터(21)와도 적절하게 연결할 수 있다. 또, 예를 들면, 제2 필터(21b)의 접속구(23b~25b)와 동일하게 배치된 접속구를 구비하고, 제1 필터(21a)와 동일한 높이(Ha)를 가지는 필터(21)를, 「제4 필터(21)」라고 한다. 필터 연결 장치(31)는, 제4 필터와도 적절하게 연결할 수 있다.
본 실시예에 관련된 기판 처리 장치(1)에 의하면, 필터 연결 장치(31)를 구비하고 있으므로, 접속구(23~25)의 배치가 상이한 2종 이상의 필터(21a, 21b) 사이에서, 필터(21)를 용이하게 교환할 수 있다. 따라서, 기판 W의 종류, 처리액의 종류, 혹은 처리의 종류에 따라 필터(21)를 용이하게 선택·변경할 수 있어, 처리액을 보다 적절히 여과할 수 있다. 따라서, 기판 W의 처리 품질을 한층 향상시킬 수 있다.
[실시예 2]
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예 2를 설명한다.
실시예 2에 관련된 기판 처리 장치(1)는 실시예 1과 동일하므로, 기판 처리 장치(1)의 개요에 대해서는 설명을 생략한다. 실시예 2의 필터 연결 장치(31)는, 실시예 1의 배치 전환부(40)와 상이한 배치 전환부(70)를 구비하고 있다. 따라서, 이하에서는, 배치 전환부(70)의 구조에 대해서 설명한다. 또한, 실시예 1과 동일한 구성에 대해서는 동일 부호를 붙임으로써 상세한 설명을 생략한다.
도 11은, 배치 전환부(70)의 평면도이다. 배치 전환부(70)는, 베이스 플레이트(71)를 구비한다. 베이스 플레이트(71)는, 이음매 부재(35)를 유지한다. 베이스 플레이트(71)는, 이음매 부재(33, 34)에 비해 충분히 큰 개구 C를 가진다.
배치 전환부(70)는, 이음매 유지부(「튜브 홀더」라고도 불린다)(73, 74)를 구비한다. 이음매 유지부(73, 74)는, 베이스 플레이트(71)에 부착되어 있다.
이음매 유지부(73)는, 이음매 부재(33)를 유지한다. 이음매 유지부(73)는, 이음매 부재(33)를 위치(P1)에서 유지하는 이음매 유지부(73a)와, 이음매 부재(33)를 위치(P2)에서 유지하는 이음매 유지부(73b)를 구비한다. 이음매 유지부(73a, 73b)는 각각, 탄성 변형 가능한 개구부를 가진다. 이음매 부재(33)를 이음매 유지부(73a, 73b)의 개구부에 밀어넣음으로써, 이음매 유지부(73a, 73b)는 이음매 부재(33)를 파지한다. 이음매 유지부(73a, 73b)에 유지된 이음매 부재(33)를 잡아당기면, 이음매 부재(33)가 이음매 유지부(73a, 73b)로부터 벗어난다.
이음매 유지부(74)는, 이음매 부재(34)를 유지한다. 이음매 유지부(74)는, 이음매 부재(34)를 위치(Q1)에서 유지하는 이음매 유지부(74a)와, 이음매 부재(34)를 위치(Q2)에서 유지하는 이음매 유지부(74b)를 구비한다. 이음매 유지부(74a, 74b)의 구조는, 이음매 유지부(73a, 73b)와 동일하다. 따라서, 이음매 부재(34)를 이음매 유지부(74)에 간이하게 착탈할 수 있다.
이음매 유지부(73, 74)는, 본 발명에 있어서의 유지부의 예이다. 또, 베이스 플레이트(71)는, 이음매 부재(35)를 유지하는 유지부로서 기능한다.
이음매 부재(33)를 이음매 유지부(73a)에 부착하고, 이음매 부재(34)를 이음매 유지부(74a)에 부착하면, 이음매 부재(33~35)의 배치는 제1 배치가 된다.
이음매 부재(33~35)의 배치를 제1 배치로부터 제2 배치로 전환할 때에는, 이음매 부재(33)를 이음매 유지부(73a)로부터 떼어, 이음매 유지부(73b)에 부착하고, 이음매 부재(34)를 이음매 유지부(74a)로부터 떼어, 이음매 유지부(74b)에 부착한다. 이것에 의해, 이음매 부재(33~35)의 배치가 제2 배치로 전환된다.
이와 같이, 실시예 2에 관련된 필터 연결 장치(31)에 의해서도, 배치 전환부(70)를 구비하고 있으므로, 실시예 1과 동일한 효과를 나타낸다. 즉, 필터 연결 장치(31)는, 접속구(23~25)의 배치가 상이한 필터(21a, 21b)와 각각 적절하게 연결할 수 있다.
또, 배치 전환부(70)는, 이음매 유지부(73)를 구비하고 있으므로, 이음매 부재(33)를 소정의 위치(P1, P2)로 유지할 수 있다. 배치 전환부(70)는, 이음매 유지부(74)를 구비하고 있으므로, 이음매 부재(34)를 소정의 위치(Q1, Q2)로 유지할 수 있다. 이 때문에, 배치 전환부(70)는, 이음매 부재(33~35)의 배치를 제1 배치에 적절하게 유지할 수 있으며, 또한, 이음매 부재(33~35)의 배치를 제2 배치에 적절하게 유지할 수 있다.
또, 이음매 유지부(73a, 73b, 74a, 74b)는, 탄성 변형함으로써, 이음매 부재(33, 34)를 유지한다. 따라서, 이음매 유지부(73a, 73b, 74a, 74b)에 대해 이음매 부재(33, 34)를 간이하게 착탈할 수 있다.
[실시예 3]
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예 3을 설명한다.
실시예 3에 관련된 기판 처리 장치(1)는 실시예 1과 동일하므로, 기판 처리 장치(1)의 개요에 대해서는 설명을 생략한다. 실시예 3의 필터 연결 장치(31)는, 실시예 1의 배치 전환부(40)와 상이한 배치 전환부(80)를 구비하고 있다. 따라서, 이하에서는, 배치 전환부(80)의 구조에 대해서 설명한다. 또한, 실시예 1과 동일한 구성에 대해서는 동일 부호를 붙임으로써 상세한 설명을 생략한다.
도 12는, 필터 연결 장치(80)의 사시도이다. 배치 전환부(80)는, 배치 전환부(40)로부터 이동부(45)를 생략한 것에 상당한다. 즉, 배치 전환부(80)는, 베이스 플레이트(41)와 슬롯(42, 43)을 구비하고 있다.
사용자는, 이음매 부재(33, 34)를 수동으로 움직인다. 구체적으로는, 사용자가, 이음매 부재(33)를 슬롯(42)을 따라 위치(P1)에 이동시키고, 이음매 부재(34)를 슬롯(43)을 따라 위치(Q1)에 이동시키면, 이음매 부재(33~35)의 배치는 제1 배치가 된다.
이음매 부재(33~35)의 배치를 제1 배치로부터 제2 배치로 전환할 때에는, 사용자가, 이음매 부재(33)를 위치(P1)로부터 위치(P2)로 움직이고, 이음매 부재(34)를 위치(Q1)로부터 위치(Q2)로 움직인다. 이것에 의해, 이음매 부재(33~35)의 배치가 제2 배치로 전환된다.
이와 같이, 실시예 3에 관련된 필터 연결 장치(31)에 의해서도, 배치 전환부(80)를 구비하고 있으므로, 실시예 1과 동일한 효과를 나타낸다. 즉, 필터 연결 장치(31)는, 접속구(23~25)의 배치가 상이한 필터(21a, 21b)와 각각 적절하게 연결할 수 있다.
배치 전환부(80)는 슬롯(42, 43)을 구비하고 있으므로, 이음매 부재(33~35)의 배치를 제1 배치와 제2 배치 사이에서 원활하게 전환할 수 있다. 또, 슬롯(42)은 이음매 부재(33)를 위치(P1, P2)에 용이하게 안내할 수 있고, 슬롯(43)은 이음매 부재(34)를 위치(Q1, Q2)에 용이하게 안내할 수 있다.
[실시예 4]
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예 4를 설명한다. 실시예 4에 관련된 기판 처리 장치(1)는 실시예 1과 동일하므로, 기판 처리 장치(1)의 개요에 대해서는 설명을 생략한다. 실시예 4의 필터 연결 장치(31)는, 배치 전환부(40)와 상이한 배치 전환부(82)를 구비하고 있다. 따라서, 이하에서는, 배치 전환부(82)의 구조에 대해서 설명한다.
도 13은, 배치 전환부(82)의 평면도이다. 배치 전환부(82)는, 실시예 3의 배치 전환부(80)에, 제1 고정부(83)와, 제2 고정부(84)를 더한 것이다. 즉, 배치 전환부(82)는, 베이스 플레이트(41)와 슬롯(42, 43)과 제1 고정부(83)와 제2 고정부(84)를 구비하고 있다.
제1 고정부(83)는, 이음매 부재(33)를 소정 위치(예를 들면, 위치(P1, P2))에 간이하게 고정한다. 구체적으로는, 제1 고정부(83)는, 슬롯(42)의 내벽으로부터 출몰 가능하게 설치되어 있다. 제1 고정부(83)는, 탄성체(스프링) 등에 의해 구성되어 있다. 이음매 부재(33)에 작용하는 힘이 일정 미만일 때, 제1 고정부(83)는, 슬롯(42)의 내벽으로부터 슬롯(42)으로 돌출하여, 이음매 부재(33)가 제1 고정부(83)의 위치를 통과하는 것을 저지한다. 이음매 부재(33)에 작용하는 힘이 일정 이상일 때, 이음매 부재(33)는 제1 고정부(83)를 슬롯(42)의 내벽 내로 밀어넣어, 제1 고정부(83)의 위치를 통과한다. 이음매 부재(33)가 제1 고정부(83)의 위치를 통과한 후, 제1 고정부(83)는, 탄성체의 복원력에 의해, 슬롯(42)의 내벽으로부터 슬롯(42)으로 다시 돌출한다. 여기서, 이음매 부재(33)에 작용하는 힘은, 이음매 부재(33)를 슬롯(42)을 따라 이동시키는 힘이다. 이와 같이, 이음매 부재(33)가 일단, 위치(P1, P2)에 들어가면, 제1 고정부(83)가 다시 눌러 내려질 때까지, 제1 고정부(83)는 이음매 부재(33)를 위치(P1, P2)에 간이하게 고정할 수 있다.
제2 고정부(84)는, 이음매 부재(34)를 소정 위치(예를 들면, 위치(Q1, Q2))에 간이하게 고정한다. 구체적으로는, 제2 고정부(84)는, 슬롯(43)의 내벽으로부터 돌출하도록 설치되어 있다. 일단, 이음매 부재(34)가 제2 고정부(84)를 타고 넘어 위치(Q1, Q2)에 들어가면, 이음매 부재(34)가 제2 고정부(84)를 다시 타고 넘을 때까지, 이음매 부재(34)는 위치(Q1, Q2)에 고정된다.
제1 고정부(83) 및 제2 고정부(84)는, 본 발명에 있어서의 고정부의 예이다.
이와 같이, 실시예 4에 관련된 필터 연결 장치(31)에 의해서도, 배치 전환부(82)를 구비하고 있으므로, 실시예 1과 동일한 효과를 나타낸다. 즉, 필터 연결 장치(31)는, 접속구(23~25)의 배치가 상이한 필터(21a, 21b)와 각각 적절하게 연결할 수 있다.
배치 전환부(82)는 제1 고정부(83)를 구비하고 있으므로, 이음매 부재(33)를 위치(P1, P2)에 고정시킬 수 있다. 따라서, 이음매 부재(33)가 위치(P1, P2)로부터 벗어나는 것을 적절하게 방지할 수 있다. 마찬가지로, 배치 전환부(82)는 제2 고정부(84)를 구비하고 있으므로, 이음매 부재(34)를 위치(Q1, Q2)에 고정시킬 수 있다. 따라서, 이음매 부재(34)가 위치(Q1, Q2)로부터 벗어나는 것을 적절하게 방지할 수 있다. 그 결과, 이음매 부재(33~35)의 배치를, 제1 배치 및 제2 배치에 유지할 수 있다.
[실시예 5]
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예 5를 설명한다.
실시예 5에 관련된 기판 처리 장치(1)는 실시예 1과 동일하므로, 기판 처리 장치(1)의 개요에 대해서는 설명을 생략한다. 실시예 5의 필터 연결 장치(31)는, 실시예 1의 배치 전환부(40)와 상이한 배치 전환부(85)를 구비하고 있다. 따라서, 이하에서는, 배치 전환부(85)의 구조에 대해서 설명한다.
도 14는, 배치 전환부(85)의 평면도이다. 배치 전환부(85)는, 베이스 플레이트(87)와 이동부(89)를 구비하고 있다. 베이스 플레이트(87)는, 이음매 부재(35)를 소정 위치에 유지한다. 이동부(89)는, 이음매 부재(33, 34)를 지지하고, 또한, 이음매 부재(33, 34)를 이동시킨다.
이동부(89)는, 이음매 부재(33)를 이동시키는 제1 이동부(90)와, 이음매 부재(34)를 이동시키는 제2 이동부(95)를 가진다.
제1 이동부(90)는, 레일부(91)와 유지 아암부(92)와 스토퍼(93, 94)를 구비한다. 레일부(91)는, 베이스 플레이트(87)에 고정되어 있다. 레일부(91)는, 대략 수평 방향으로 연장되어 있다. 더욱 구체적으로는, 레일부(91)는, 위치(P1)와 위치(P2)를 잇는 방향과 평행한 수평 방향으로 연장되어 있다. 유지 아암부(92)는, 레일부(91)에 슬라이드 이동 가능하게 부착되어 있다. 유지 아암부(92)는, 이음매 부재(33)를 유지한다. 이음매 부재(33)가 위치(P1)에 있을 때, 스토퍼(93)는, 유지 아암부(92)와 접촉하여, 유지 아암부(92)의 슬라이드 이동을 멈추게 한다. 이음매 부재(33)가 위치(P2)에 있을 때, 스토퍼(94)는 유지 아암부(92)를 멈추게 한다. 이러한 제1 이동부(90)에 의해, 이음매 부재(33)는 직선적으로 이동한다.
제2 이동부(95)는, 회전축부(96)와 유지 아암부(97)와 스토퍼(98, 99)를 구비하고 있다. 회전축부(96)는, 베이스 플레이트(87)에 연결되어 있다. 유지 아암부(97)의 기단부는, 회전축부(96)에 선회 가능하게 연결되어 있다. 유지 아암부(97)의 선단부는, 이음매 부재(34)를 유지한다. 스토퍼(98)는, 이음매 부재(34)가 위치(Q1)에 있을 때에 유지 아암부(97)와 접촉하여, 유지 아암부(97)의 선회를 멈추게 한다. 스토퍼(99)는, 이음매 부재(34)가 위치(Q2)에 있을 때에 유지 아암부(97)를 멈추게 한다. 이러한 제2 이동부(95)에 의해, 이음매 부재(34)는 곡선적으로 이동한다(선회 이동한다).
이음매 부재(33~35)를 제1 배치로 전환할 때에는, 유지 아암부(92)를 스토퍼(93)에 닿을 때까지 슬라이드 이동시켜, 이음매 부재(33)를 위치(P1)에 이동시킨다. 또한, 유지 아암부(97)를 스토퍼(98)에 닿을 때까지 선회시켜, 이음매 부재(34)를 위치(Q1)에 이동시킨다. 이것에 의해, 필터 연결 장치(31)는 제1 필터(21a)와 적절하게 연결할 수 있다.
이음매 부재(33~35)를 제2 배치로 전환할 때에는, 유지 아암부(97)를 스토퍼(99)에 닿을 때까지 선회시켜, 이음매 부재(34)를 위치(Q2)에 이동시킨다. 또한, 유지 아암부(92)를 스토퍼(94)에 닿을 때까지 슬라이드 이동시켜, 이음매 부재(33)를 위치(P2)에 이동시킨다. 이것에 의해, 필터 연결 장치(31)는 제2 필터(21b)와 적절하게 연결할 수 있다.
이와 같이, 실시예 5에 관련된 필터 연결 장치(31)에 의해서도, 배치 전환부(85)를 구비하고 있으므로, 실시예 1과 동일한 효과를 나타낸다. 즉, 필터 연결 장치(31)는, 접속구(23~25)의 배치가 상이한 필터(21a, 21b)와 각각 적절하게 연결할 수 있다.
배치 전환부(85)는 이동부(89)를 구비하고 있으므로, 이음매 부재(33, 34)를 용이하게 이동시킬 수 있다. 따라서, 이음매 부재(33~35)의 배치를 제1 배치와 제2 배치 사이에서 용이하게 전환할 수 있다.
또, 이동부(89)는 이음매 부재(33, 34)를 지지하므로, 베이스 플레이트(87)는 이음매 부재(33, 34)를 지지할 필요가 없다. 또, 배치 전환부(85)는, 이음매 부재(33, 34)를 안내하는 구성(예를 들면, 실시예 1의 슬롯(42, 43))을 구비할 필요가 없다. 따라서, 베이스 플레이트(87)의 구조 등을 간소화할 수 있다.
[실시예 6]
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예 6을 설명한다.
실시예 6에 관련된 기판 처리 장치(1)는 실시예 1과 동일하므로, 기판 처리 장치(1)의 개요에 대해서는 설명을 생략한다. 실시예 6의 필터 연결 장치(31)는, 배치 전환부(40)와 상이한 배치 전환부(100)를 구비하고 있다. 따라서, 이하에서는, 배치 전환부(100)의 구조에 대해서 설명한다. 또한, 실시예 1과 동일한 구성에 대해서는 동일 부호를 붙임으로써 상세한 설명을 생략한다.
도 15는, 배치 전환부(100)의 평면도이다. 배치 전환부(100)는, 이동부(45)를 움직이기 위한 조작부(101)를 구비하고 있다. 조작부(101)는, 예를 들면, 조작 다이얼이다. 구체적으로는, 조작부(101)는, 대략 수평인 원반 형상을 가진다. 조작부(101)는, 대략 연직인 축심(E) 둘레로 회전 가능하게 베이스 플레이트(41)에 지지되어 있다. 조작부(101)는, 사용자에 의해 조작된다.
조작부(101)는, 전달부(103)를 통하여 이동부(45)와 연동 연결되어 있다. 전달부(103)는, 사용자가 조작부(101)에 가한 힘을 이동부(45)에 전달한다.
전달부(103)는, 기어(105, 107)와 벨트(109)를 구비한다. 기어(105)는, 캠 부재(47)에 고정되고, 축심(A) 둘레로 회전한다. 기어(107)는, 조작부(101)에 고정되고, 축심(E) 둘레로 회전한다. 벨트(109)는, 기어(105, 107)에 감겨져 있다.
배치 전환부(100)는, 이동부(45)가 이음매 부재(33, 34)를 이동시키는 움직임을 금지하는 이동부용 락부(111)를 구비하고 있다. 이동부용 락부(111)는, 조작부(101)에 접촉 분리 가능하게 설치되어 있다. 구체적으로는, 이동부용 락부(111)는, 연직인 축심(G) 둘레로 회전 가능하게 설치되어 있으며, 조작부(101)의 외주면과 걸어맞춤 가능하다. 이동부용 락부(111)는, 예를 들면, 조작부(101)와 걸어맞춤 가능하게 구성되어 있는 래치이다. 이동부용 락부(111)가 조작부(101)와 걸어맞춰져 있을 때, 이동부용 락부(111)는 조작부(101)의 움직임을 직접적으로 금지하고, 이동부(45)의 움직임을 간접적으로 금지한다. 이동부용 락부(111)가 조작부(101)로부터 떨어져 있을 때, 이동부용 락부(111)는 조작부(101)의 움직임을 허용한다.
이음매 부재(33~35)의 배치를 전환할 때에는, 사용자는, 이동부용 락부(111)를 조작부(101)로부터 뗀(떼어놓은) 상태로, 조작부(101)를 조작한다(회전시킨다). 조작부(101)의 조작에 따라, 이동부(45)가 이음매 부재(33, 34)를 이동시킨다. 이음매 부재(33~35)의 배치를 전환한 후는, 사용자는, 이동부용 락부(111)를 조작부(101)에 걸어맞춘다. 이것에 의해, 이동부(45)의 움직임을 금지하고, 이음매 부재(33~35)의 배치를 제1 배치 또는 제2 배치에 유지한다.
이와 같이, 실시예 5에 관련된 필터 연결 장치(31)에 의해서도, 배치 전환부(100)를 구비하고 있으므로, 실시예 1과 동일한 효과를 나타낸다. 즉, 필터 연결 장치(31)는, 접속구(23~25)의 배치가 상이한 필터(21a, 21b)와 각각 적절하게 연결할 수 있다.
배치 전환부(100)는 조작부(101)를 구비하고 있으므로, 사용자는 이동부(45)를 용이하게 조작할 수 있다.
배치 전환부(100)는, 전달부(103)를 구비하고 있으므로, 사용자 자신이 조작부(101)에 가한 힘을 이동부(45)에 작용시킬 수 있다. 다시 말하면, 조작부(101)에 가한 힘에 의해 이동부(45)를 움직일 수 있다. 따라서, 필터 연결 장치(31)는, 전동 기기나 유압 기기 등, 이동부(45)를 구동하기 위한 동력원을 별도로 구비하지 않아도 된다.
배치 전환부(100)는 이동부용 락부(111)를 구비하고 있으므로, 이음매 부재(33~35)를 정지시킬 수 있다. 예를 들면, 이음매 부재(33)가 위치(P1, P2)로부터 벗어나는 것을 적절하게 방지할 수 있고, 이음매 부재(34)가 위치(Q1, Q2)로부터 벗어나는 것을 적절하게 방지할 수 있다. 따라서, 이음매 부재(33~35)의 배치를, 제1 배치 및 제2 배치에 확실히 유지할 수 있다. 또, 사용자가 조작부(101)를 오조작하는 것을 미연에 방지할 수 있다.
본 발명은, 상기 실시 형태에 한정되지 않으며, 하기와 같이 변형 실시할 수 있다.
(1) 상술한 각 실시예에서는, 이음매 부재(33~35)가 필터(21)의 접속구(23~25)와 접속했지만, 이것에 한정되지 않는다. 예를 들면, 일차측 배관(11a) 및 이차측 배관(11b)의 일단이 직접적으로 접속구(23, 24)에 접속해도 된다. 구체적으로는, 필터 연결 장치(31)는, 일차측 배관(11a)의 일단 및 이차측 배관(11b)의 일단을 유지, 이동, 또는, 안내하는 배치 전환부를 구비해도 된다. 본 변형 실시예의 경우, 일차측 배관(11a) 및 이차측 배관(11b)의 일단이, 본 발명에 있어서의 접속 포트의 예이다.
(2) 상술한 각 실시예에서는, 이동부(45, 89, 90, 95)를 구동하는 동력원을 구비하지 않았지만, 이것에 한정되지 않는다. 즉, 배치 전환부는, 이동부(45)를 구동하는 동력원을 구비해도 된다.
(3) 상술한 각 실시예의 배치 전환부(40, 70, 80, 82, 85, 100)의 구성을, 더 조합해도 된다. 예를 들면, 상술한 각 실시예의 배치 전환부는, 또한, 실시예 2에서 설명한 이음매 유지부(73, 74)를 구비해도 된다. 마찬가지로, 각 실시예의 배치 전환부는, 실시예 4의 고정부(84, 85)를 구비해도 된다. 마찬가지로, 각 실시예의 배치 전환부는, 실시예 6의 조작부(101) 및 이동부용 락부(111) 중 적어도 어느 한쪽을 구비해도 된다.
(4) 상술한 실시예 6의 이동부용 락부(111)는, 조작부(101)와 걸어맞춤(접촉)하는 것이었지만, 이것에 한정되지 않는다. 예를 들면, 이동부용 락부(111)는, 이동부(45) 또는 전달부(103)와 걸어맞춤(접촉)되어, 이동부(45)의 움직임을 금지해도 된다.
(5) 상술한 각 실시예에서는, 배치 전환부(40, 70, 80, 82, 85, 100)가 전환 가능한 배치는, 2개(구체적으로는 제1 배치와 제2 배치)였지만, 이것에 한정되지 않는다. 예를 들면, 배치 전환부가 전환 가능한 배치를, 3개 이상으로 변경해도 된다. 즉, 배치 전환부는, 3개 이상의 배치 사이에서, 이음매 부재(33~35)의 배치를 전환해도 된다.
(6) 상술한 각 실시예에서는, 가동 접속 포트(즉, 제1 배치와 제2 배치 사이에서 위치가 바뀌는 이음매 부재)는, 2개(구체적으로는, 이음매 부재(33, 34))였지만, 이것에 한정되지 않는다. 예를 들면, 가동 접속 포트는, 1개여도 되고, 3개여도 된다. 가동 접속 포트는, 접속 포트(33, 34, 35)의 일부여도 된다. 혹은, 가동 접속 포트는, 접속 포트(33, 34, 35)의 전부여도 된다.
(7) 상술한 각 실시예에서는, 필터(21a, 21b)는 함께 3개의 접속구(23~25)를 구비했었지만, 이것에 한정되지 않는다. 필터(21)가, 2개, 또는, 4개 이상의 접속구를 가져도 된다. 이것에 수반하여, 필터 연결 장치가 가지는 이음매 부재(33~35)의 수를 변경해도 된다. 이것에 의해, 필터 연결 장치(31)는 그러한 필터(21)와 적절하게 연결할 수 있다.
(8) 상술한 각 실시예에서는, 핀 부재(55)가 필터 지지부(50)에 고정되고, 승강용 홈부(59)와 제1 락용 홈부(60a)와 제2 락용 홈부(60b)가 베이스부(구체적으로는, 예를 들면 측벽부(57))에 형성되어 있었지만, 이것에 한정되지 않는다. 승강용 홈부(59)와 제1 락용 홈부(60a)와 제2 락용 홈부(60b)를 필터 지지부(50)(예를 들면, 아암부(53))에 형성하고, 핀 부재(55)를 베이스부(예를 들면 측벽부(57))에 고정적으로 연결해도 된다.
(9) 상술한 각 실시예에서는, 락용 홈부는, 2개의 상이한 높이 위치에 형성되어 있었지만, 이것에 한정되지 않는다. 락용 홈부를, 3개의 상이한 높이 위치에 형성해도 된다. 예를 들면, 필터 연결 장치(31)는, 제1 락용 홈부(60a) 및 제2 락용 홈부(60b) 중 어느 것과도 상이한 높이 위치에 형성되는 제3 락용 홈부를 구비해도 된다.
(10) 상술한 각 실시예에서는, 필터 지지부(50)는 필터(21)를 올려놓음으로써 필터(21)를 지지했지만, 이것에 한정되지 않는다. 필터 지지부(50)는, 필터(21)를 파지함으로써, 필터(21)를 지지해도 된다.
(11) 상술한 각 실시예에서는, 슬롯(42)의 일단 가장자리(42a)가 이음매 부재(33)의 위치(P1)를 규정했지만, 이것에 한정되지 않는다. 즉, 슬롯(42)의 일단 가장자리(42a)는 이음매 부재(33)의 위치(P1)를 규정하지 않아도 되다. 마찬가지로, 슬롯(42)의 타단 가장자리(42b)가 이음매 부재(33)의 위치(P2)를 규정했지만, 이것에 한정되지 않는다. 즉, 슬롯(42)의 타단 가장자리(43a)는 이음매 부재(33)의 위치(P2)를 규정하지 않아도 되다. 예를 들면, 슬롯(42)의 일단 가장자리(42a) 및 타단 가장자리(42b) 중 한쪽만이, 이음매 부재(33)의 위치(P1, P2) 중 어느 한쪽을 규정해도 된다. 마찬가지로, 슬롯(43)에 대해서도 변경 가능하다.
(12) 상술한 실시예 1, 6에서는, 캠 부재(47)는, 베이스 플레이트(41)의 상방에 배치되었지만, 이것에 한정되지 않는다. 캠 부재(47)를, 베이스 플레이트(41)의 하방에 배치해도 된다.
(13) 상술한 실시예 6에서는, 조작부(101)로서 조작 다이얼을 예시했지만, 이것에 한정되지 않는다. 예를 들면, 조작부(101)는, 버튼, 레버, 핸들 등이어도 된다.
(14) 상술한 실시예 6에서는, 전달부(103)는 기어(105, 107)와 벨트(109)를 구비했었지만, 이것에 한정되지 않는다. 예를 들면, 벨트(109)를 생략하고, 기어 만으로 전달부를 구성해도 된다. 전달부(103)는, 2개의 기어(105, 107)를 구비했었지만, 이것에 한정되지 않는다. 전달부(103)는, 1개의 기어만을 구비해도 된다. 혹은, 전달부(103)는, 3개 이상의 기어를 구비해도 된다. 전달부(103)를, 기어 기구, 벨트 기구 및 링크 기구 등에 의해 구성해도 된다. 혹은, 전달부(103)는, 기어 기구, 벨트 기구 및 링크 기구 중 적어도 1개 이상을 포함해도 된다.
(15) 상술한 각 실시예 및 상기 (1) 내지 (14)에서 설명한 각 변형 실시예에 대해서는, 또한 각 구성을 다른 변형 실시예의 구성으로 치환 또는 조합하는 등 적당하게 변경해도 된다.
※ 본 발명은 그 사상 또는 핵심 특성에서 벗어나지 않고 다른 특정 형태로 구현할 수 있으며, 본 발명의 범위를 나타내는 것으로서 전술한 상세한 설명보다는 첨부한 청구범위를 참조해야 한다.

Claims (15)

  1. 필터와 연결하는 필터 연결 장치로서, 상기 필터 연결 장치는 이하의 요소：
    상기 필터의 복수의 접속구와 접속하는 복수의 접속 포트；
    상기 복수의 접속 포트의 배치를, 제1 배치와 제2 배치 사이에서 전환하는 배치 전환부를 포함하는, 필터 연결 장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 배치 전환부는, 적어도 1개 이상의 상기 접속 포트를 소정의 위치에서 유지하는 유지부를 구비하고 있는, 필터 연결 장치.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 배치 전환부는, 적어도 1개 이상의 상기 접속 포트를 이동시키는 이동부를 구비하는, 필터 연결 장치.
  4. 청구항 3에 있어서,
    상기 이동부는, 회전 가능하게 설치되며, 상기 접속 포트와 접촉하는 캠 부재를 구비하고 있는, 필터 연결 장치.
  5. 청구항 4에 있어서,
    단일의 상기 캠 부재가 2개 이상의 상기 접속 포트를 이동시키는, 필터 연결 장치.
  6. 청구항 3에 있어서,
    상기 배치 전환부는, 상기 이동부가 상기 접속 포트를 이동시키는 움직임을 금지하는 이동부용 락부를 구비하는, 필터 연결 장치.
  7. 청구항 3에 있어서,
    상기 필터 연결 장치는, 상기 이동부에 연동 연결되며, 상기 이동부를 움직이기 위한 조작부를 구비하고 있는, 필터 연결 장치.
  8. 청구항 1에 있어서,
    상기 배치 전환부는, 적어도 1개 이상의 상기 접속 포트를 안내하는 안내부를 구비하는, 필터 연결 장치.
  9. 청구항 8에 있어서,
    상기 안내부의 일단 가장자리에 접촉하는 상기 접속 포트의 위치는, 상기 제1 배치 및 상기 제2 배치 중 어느 하나에서의 상기 접속 포트의 위치인, 필터 연결 장치.
  10. 청구항 8에 있어서,
    상기 안내부의 일단 가장자리에 접촉하는 상기 접속 포트의 위치는, 상기 제1 배치 및 상기 제2 배치 중 한쪽에서의 상기 접속 포트의 위치이며,
    상기 안내부의 타단 가장자리에 접촉하는 상기 접속 포트의 위치는, 상기 제1 배치 및 상기 제2 배치 중 다른쪽에서의 상기 접속 포트의 위치인, 필터 연결 장치.
  11. 청구항 8에 있어서,
    상기 배치 전환부는, 상기 안내부에 부착되며, 상기 접속 포트를 소정 위치에 고정하는 고정부를 구비하는, 필터 연결 장치.
  12. 청구항 1에 있어서,
    상기 필터 연결 장치는,
    상기 필터를 지지하는 필터 지지부와,
    상기 필터 지지부를 승강시키는 승강부와,
    상기 필터 지지부가 제1 높이 위치에 있을 때, 및, 상기 필터 지지부가 제2 높이 위치에 있을 때에 각각, 상기 필터 지지부가 승강하는 움직임을 금지하는 승강용 락부를 구비하고 있는, 필터 연결 장치.
  13. 청구항 12에 있어서,
    상기 필터 연결 장치는, 상기 승강부를 통하여 상기 필터 지지부를 지지하는 베이스부를 구비하고,
    상기 승강부는,
    상기 베이스부 및 상기 필터 지지부 중 한쪽에 형성되며, 수직으로 연장되는 승강용 홈부와,
    상기 베이스부 및 상기 필터 지지부 중 다른쪽에 고정되며, 상기 승강용 홈부를 따라 슬라이드 이동하는 핀 부재를 구비하고,
    상기 승강용 락부는,
    상기 베이스부 및 상기 필터 지지부 중 한쪽에 형성되고, 상기 승강용 홈부로부터 대략 수평으로 연장되며, 상기 핀 부재가 슬라이드 이동 가능한 제1 락용 홈부와,
    상기 베이스부 및 상기 필터 지지부 중 한쪽에 형성되고, 상기 승강용 홈부로부터 대략 수평으로 연장되며, 상기 핀 부재가 슬라이드 이동 가능한 제2 락용 홈부를 구비하고,
    상기 제1 락용 홈부와 제2 락용 홈부는 상이한 높이에 설치되어 있는, 필터 연결 장치.
  14. 청구항 1에 있어서,
    상기 배치 전환부는, 사용자가 조작부에 가한 힘을 상기 이동부에 전달하는 전달부를 구비하는, 필터 연결 장치.
  15. 기판 처리 장치로서,
    상기 기판 처리 장치는,
    필터와 연결하는 필터 연결 장치를 구비하고,
    상기 필터 연결 장치는,
    상기 필터의 복수의 접속구와 접속하는 복수의 접속 포트와,
    상기 복수의 접속 포트의 배치를, 제1 배치와 제2 배치 사이에서 전환하는 배치 전환부를 구비하는, 기판 처리 장치.
KR1020160141991A 2015-10-29 2016-10-28 필터 연결 장치 및 이것을 구비한 기판 처리 장치 KR101895682B1 (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JPJP-P-2015-213130 2015-10-29
JP2015213130A JP6623032B2 (ja) 2015-10-29 2015-10-29 フィルタ連結装置およびこれを備えた基板処理装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20170051333A true KR20170051333A (ko) 2017-05-11
KR101895682B1 KR101895682B1 (ko) 2018-09-05

Family

ID=58638494

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020160141991A KR101895682B1 (ko) 2015-10-29 2016-10-28 필터 연결 장치 및 이것을 구비한 기판 처리 장치

Country Status (4)

Country Link
US (1) US10617983B2 (ko)
JP (1) JP6623032B2 (ko)
KR (1) KR101895682B1 (ko)
TW (1) TWI642469B (ko)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7098369B2 (ja) * 2018-03-22 2022-07-11 株式会社ロキテクノ フィルタ容器保持装置
US11338227B2 (en) * 2019-08-01 2022-05-24 Pall Corporation Manifold assembly and method of use
EP4178705A4 (en) * 2020-07-10 2024-05-22 Entegris Inc CONNECTION ARRANGEMENT AND FILTER ARRANGEMENT

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003251110A (ja) 2002-02-28 2003-09-09 Nippon Mykrolis Kk フィルターカートリッジ用コネクタ装置
KR20060115436A (ko) * 2005-05-06 2006-11-09 김근태 정수기용 필터카트리지 연결구조
JP2014195807A (ja) 2014-06-18 2014-10-16 株式会社ロキテクノ フィルターモジュール脱着装置および濾過ユニット
JP2015085327A (ja) 2013-10-31 2015-05-07 ポール・コーポレーションＰａｌｌＣｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ フィルタマニホールド
KR20150055866A (ko) * 2013-11-14 2015-05-22 도레이케미칼 주식회사 지지부를 갖는 필터 섬프 장착용 캐리지 및 이를 이용한 필터조립체

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6068770A (en) * 1996-07-12 2000-05-30 Millipore Corporation Disposable separation module with quick connect capability
US6585888B2 (en) * 2001-06-01 2003-07-01 T.F.H. Publications, Inc. Aquarium filter system with interchangeable filter cartridges
JP5086233B2 (ja) * 2008-12-17 2012-11-28 東洋濾紙株式会社 カプセルカートリッジ用接続構造体
US8888998B2 (en) * 2010-08-09 2014-11-18 Paragon Water Systems, Inc. Bypass valve for water filter system
US8945383B2 (en) * 2012-03-16 2015-02-03 Kx Technologies Llc Filtration system
US20140263095A1 (en) * 2013-03-15 2014-09-18 A&O Technologies LLC Chemical strainer
JP6295107B2 (ja) 2014-03-07 2018-03-14 株式会社荏原製作所 基板処理システムおよび基板処理方法

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003251110A (ja) 2002-02-28 2003-09-09 Nippon Mykrolis Kk フィルターカートリッジ用コネクタ装置
KR20060115436A (ko) * 2005-05-06 2006-11-09 김근태 정수기용 필터카트리지 연결구조
JP2015085327A (ja) 2013-10-31 2015-05-07 ポール・コーポレーションＰａｌｌＣｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ フィルタマニホールド
KR20150055866A (ko) * 2013-11-14 2015-05-22 도레이케미칼 주식회사 지지부를 갖는 필터 섬프 장착용 캐리지 및 이를 이용한 필터조립체
JP2014195807A (ja) 2014-06-18 2014-10-16 株式会社ロキテクノ フィルターモジュール脱着装置および濾過ユニット

Also Published As

Publication number Publication date
KR101895682B1 (ko) 2018-09-05
US10617983B2 (en) 2020-04-14
JP2017080694A (ja) 2017-05-18
TW201718070A (zh) 2017-06-01
US20170120173A1 (en) 2017-05-04
JP6623032B2 (ja) 2019-12-18
TWI642469B (zh) 2018-12-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101895682B1 (ko) 필터 연결 장치 및 이것을 구비한 기판 처리 장치
US8297955B2 (en) Roller pump
KR101584843B1 (ko) 액 처리 장치, 액 처리 방법 및 기억 매체
KR100370636B1 (ko) 회전 처리 장치 및 방법
EP1801861B1 (en) Method and device for treating outer periphery of a substrate
US8267102B2 (en) Washing tube and endoscope washing and disinfecting apparatus
EP2786695B1 (en) Endoscope cleaning/disinfecting apparatus connector and endoscope cleaning disinfecting apparatus
KR20150077351A (ko) 기판 액 처리 장치
KR102227409B1 (ko) 기판 처리 시스템, 기판 처리 시스템의 제어 방법, 및 기억 매체
JP2008142715A (ja) 交換容易機能を持つ使い捨て流体分離装置−マニホールドアッセンブリ設計
US20070289527A1 (en) Liquid processing apparatus
KR101205564B1 (ko) 필터 섬프 장착용 캐리지
WO2016009684A1 (ja) 内視鏡用洗浄チューブ
KR101972697B1 (ko) 필터 연결 장치 및 이것을 구비한 기판 처리 장치
WO2006041028A1 (ja) 処理液供給装置
JP2008218535A (ja) 基板処理装置
JP6316144B2 (ja) 現像液吐出ノズルおよび現像処理装置
JP3175726U (ja) 液処理装置
KR102279718B1 (ko) 기판 처리 장치
JP2000012448A (ja) 基板処理装置
WO2023030993A1 (en) Right/left symmetrical instrument and suction hose adapters
KR101336059B1 (ko) 공정액체 분기장치
JP2015073589A (ja) 医療装置の連結構造
KR102000025B1 (ko) 기판 처리 장치
JP2017226455A (ja) コネクタおよびソケット

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant