JP6623032B2 - フィルタ連結装置およびこれを備えた基板処理装置 - Google Patents

Description

本発明は、フィルタと連結するフィルタ連結装置、および、フィルタ連結装置を備えた基板処理装置であって、半導体ウェハ、フォトマスク用のガラス基板、液晶表示用のガラス基板、光ディスク用の基板など（以下、単に基板と称する）を処理する基板処理装置に関する。

フィルタは、基板に処理液を供給するための供給ラインに設けられ、処理液を濾過する。フィルタは、フィルタ本体と複数の接続口を有している。例えば、１つの接続口は、処理液がフィルタ本体に流入するための入口であり、他の接続口は、処理液がフィルタ本体から流出するための出口である。

フィルタを供給ラインに簡易に介挿するために、フィルタ連結装置が使用される。フィルタ連結装置は、複数の接続口と接続する複数の接続ポートを備えている。接続ポートは、接続口と同じレイアウトで配置されている。フィルタをフィルタ連結装置に連結すると、複数の接続口が一括して接続ポートと接続され、フィルタが処理液の供給ラインと連通接続する。

特開２００３−２５１１１０号公報 特開２０１５−８５３２７号公報 特開２０１４−１９５８０７号公報

しかしながら、このような構成を有する従来例の場合には、次のような問題がある。
従来のフィルタ連結装置は、接続口が特定のレイアウトで配置されているフィルタとのみ連結可能である。フィルタの接続口の配置が異なれば、フィルタに適合するフィルタ連結装置も異なる。

他方、接続口の配置は、フィルタの製造者やフィルタの種類によって異なっている場合が多い。接続口の配置がフィルタの性能に影響することもあるからである。

接続口の配置が同じフィルタ同士の間でフィルタを交換する場合、通常、フィルタ連結装置まで取り替えなくて済む。しかし、接続口の配置が異なるフィルタ同士の間でフィルタを交換する場合、フィルタ連結装置を取り替えなければならない。このため、従来のフィルタ連結装置では、接続口の配置が異なる２種以上のフィルタの間でフィルタを簡易に交換できないという不都合がある。

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、フィルタの接続口の配置が異なる２種以上のフィルタと好適に連結できるフィルタ連結装置およびこれを備えた基板処理装置を提供することを目的とする。

本発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとる。
すなわち、本発明は、フィルタと連結するフィルタ連結装置であって、前記フィルタの複数の接続口と接続する複数の接続ポートと、前記複数の接続ポートの配置を、第１配置と第２配置との間で切り替える配置切替部を備えているフィルタ連結装置である。

［作用・効果］第１配置と第２配置は互いに異なる。第１配置で配置された複数の接続ポートはそれぞれ、特定の配置で設けられた複数の接続口と接続できる。第２配置で配置された複数の接続ポートは、特定の別の配置で設けられた複数の接続口と接続できる。このように、第１配置と第２配置は、予め決められている。したがって、配置切替部が複数の接続ポートの配置を第１配置に切り替えたときには、フィルタ連結装置は、特定の配置の接続口を有するフィルタと好適に連結できる。また、配置切替部が複数の接続ポートの配置を第２配置に切り替えたときには、フィルタ連結装置は、特定の別の配置の接続口を有するフィルタと好適に連結できる。このように、フィルタ連結装置は配置切替部を備えているので、フィルタの接続口の配置が異なる２種以上のフィルタと好適に連結できる。よって、フィルタの接続口の配置が異なる２種以上のフィルタの間で、フィルタを容易に交換できる。

上述した発明において、前記配置切替部は、前記接続ポートを所定の位置で保持する保持部を備えていることが好ましい。より具体的には、前記保持部は、複数の接続ポートをそれぞれ、第１配置における位置および第２配置における位置で保持することが好ましい。保持部は、各接続ポートを第１、第２配置における正しい位置に位置決めできる。また、保持部は、接続ポートが正しい位置からずれることを好適に防止できる。

上述した発明において、前記配置切替部は、少なくとも１つ以上の前記接続ポートを移動させることが好ましい。より具体的には、移動部は、第１配置における位置と第２配置における位置との間にわたって接続ポートを移動することが好ましい。配置切替部は移動部を備えているので、接続ポートの配置を容易に切り替えることができる。

上述した発明において、前記移動部は、回転可能に設けられ、前記接続ポートと接触するカム部材を備えていることが好ましい。カム部材が回転することによって、接続ポートを適切な位置に移動させることができる。

上述した発明において、単一の前記カム部材が２つ以上の前記接続ポートを移動させることが好ましい。カム部材の個数を低減でき、移動部の構造を簡素化できる。

上述した発明において、前記配置切替部は、前記移動部が前記接続ポートを移動させる動きを禁止する移動部用ロック部を備えることが好ましい。より具体的には、ロック部は、接続ポートを、第１配置における位置および第２配置における位置に位置決めすることが好ましい。移動部用ロック部は、各接続ポートを第１、第２配置における正しい位置で静止させることができる。また、移動部用ロック部は、接続ポートが正しい位置からずれることを好適に防止できる。

上述した発明において、前記移動部に連動連結され、前記移動部を動かすための操作部を備えていることが好ましい。操作部を備えているので、ユーザーは移動部を容易に動かすことができる。

上述した発明において、前記配置切替部は、少なくとも１つ以上の前記接続ポートを案内する案内部を備えることが好ましい。より具体的には、案内部は、第１配置における位置と第２配置における位置との間にわたって接続ポートを案内することが好ましい。配置切替部は案内部を備えているので、接続ポートの配置を円滑に切り替えることができる。

上述した発明において、前記案内部の一端縁に接触する前記接続ポートの位置は、前記第１配置および前記第２配置のいずれかにおける前記接続ポートの位置であることが好ましい。案内部の一端縁が、案内部が案内する接続ポートの、第１配置および前記第２配置のいずれかにおける位置を規定している。よって、案内部は、第１配置および第２配置の少なくともいずれかにおける位置に、接続ポートを容易に案内できる。

上述した発明において、前記配置切替部は、前記案内部に取り付けられ、前記接続ポートを所定位置に止める止め部を備えることが好ましい。より具体的には、止め部は、接続ポートを、第１配置における位置および第２配置における位置に止めることが好ましい。配置切替部は止め部を備え得ているので、接続ポートの配置がずれることを好適に防止できる。具体的には、接続ポートが第１、第２配置における正しい位置からずれることを好適に防止できる。

上述した発明において、前記フィルタを支持するフィルタ支持部と、前記フィルタ支持部を昇降させる昇降部と、前記フィルタ支持部が第１の高さ位置にあるとき、および、前記フィルタ支持部が第２の高さ位置にあるときにそれぞれ、前記フィルタ支持部が昇降する動きを禁止する昇降用ロック部と、を備えていることが好ましい。フィルタ連結装置はフィルタ支持部を備えているので、フィルタを好適に支持できる。フィルタ連結装置は昇降部を備えているので、フィルタを好適に昇降できる。これにより、フィルタ支持部を第１の高さ位置と、第１の高さ位置とは異なる第２の高さ位置に保つことができる。すなわち、フィルタ支持部は、異なる２つの高さ位置で、フィルタを安定的に支持できる。よって、フィルタ連結装置は、高さが異なる２種以上のフィルタと好適に連結できる。

また、本発明は、上述したフィルタ連結装置を備えている基板処理装置である。

［作用・効果］
フィルタ連結装置は、フィルタの接続口の配置が異なる２種以上のフィルタと好適に連結できる。このようなフィルタ連結装置を基板処理装置が備えているので、フィルタの接続口の配置が異なる２種以上のフィルタの間で、フィルタを容易に交換できる。よって、基板の種類、処理液の種類、あるいは処理の種類によってフィルタを容易に選択・変更でき、処理液をより適切に濾過できる。よって、基板の処理品質を一層向上させることができる。

なお、本明細書は、次のようなフィルタ連結装置に係る発明も開示している。

（１）上述したフィルタ連結装置において、前記案内部の一端縁に接触する前記接続ポートの位置は、前記第１配置および前記第２配置の一方における前記接続ポートの位置であり、前記案内部の他端縁に接触する前記接続ポートの位置は、前記第１配置および前記第２配置の他方における前記接続ポートの位置であるフィルタ連結装置。

前記（１）に記載のフィルタ連結装置によれば、案内部の両端縁が、案内部材が案内する接続ポートの、第１配置および前記第２配置における位置を規定している。よって、案内部は、第１配置および前記第２配置における各位置に、接続ポートを容易に案内できる。

（２）上述したフィルタ連結装置において、前記昇降部を介して前記フィルタ支持部を支持するベース部を備え、前記昇降部は、前記ベース部および前記フィルタ支持部の一方に形成され、垂直に延びる昇降用溝部と、前記ベース部および前記フィルタ支持部の他方に固定され、前記昇降用溝部に沿って摺動するピン部材と、を備え、前記昇降用ロック部は、前記ベース部および前記フィルタ支持部の一方に形成され、前記昇降用溝部から略水平に延び、前記ピン部材が摺動可能な第１ロック用溝部と、前記ベース部および前記フィルタ支持部の一方に形成され、前記昇降用溝部から略水平に延び、前記ピン部材が摺動可能な第２ロック用溝部と、を備え、前記第１ロック用溝部と第２ロック用溝部は異なる高さに設けられているフィルタ連結装置。

前記（２）に記載のフィルタ連結装置によれば、ベース部を備えているので、昇降部はフィルタ支持部をベース部に対して昇降させることができる。

昇降部は、昇降用溝部と、昇降用溝部と係合するピン部材とを備えている。ピン部材が昇降用溝部に沿って摺動することによって、フィルタ支持部を好適に昇降させることができる。

昇降用ロック部は、第１ロック用溝部と第２ロック用溝部を備えている。第１、第２ロック用溝部は、昇降用溝部とつながっている。ピン部材が昇降用溝部から第１、第２ロック用溝部に入ると、昇降部がフィルタ支持部を昇降させる動きが禁止される。第１ロック用溝部と第２ロック用溝部の高さ位置は異なるので、フィルタ支持部が第１の高さ位置にあるとき、および、フィルタ支持部が第２の高さ位置にあるときにそれぞれ、昇降部の動きを好適に禁止できる。

（３）上述したフィルタ連結装置において、前記配置切替部は、ユーザーが操作部に加えた力を前記移動部に伝達する伝達部を備えるフィルタ連結装置。

前記（３）に記載のフィルタ連結装置によれば、移動部を駆動するための動力源を省略することができ、配置切替部の構造を一層簡素化できる。

本発明に係るフィルタ連結装置およびこれを備えた基板処理装置によれば、フィルタの接続口の配置が異なる２種以上のフィルタと好適に連結できる。

実施例１に係る基板処理装置の概略構成を示す図である。 図２（ａ）は第１フィルタの斜視図であり、図２（ｂ）は第２フィルタの斜視図である。 フィルタ連結装置の斜視図である。 フィルタ連結装置の側面図である。 フィルタ連結装置の平面図である。 ベースプレートとスロットの平面図である。 図７（ａ）−７（ｆ）は、カム部材の動きと継ぎ手部材の位置との経時的な変化を説明する図である。 フィルタ支持部の高さ位置を説明する図である。 図９（ａ）、９（ｂ）、９（ｃ）は、第１フィルタをフィルタ連結装置に着脱するときの手順を説明する図である。 図１０（ａ）、１０（ｂ）、１０（ｃ）は、第２フィルタをフィルタ連結装置３１に着脱するときの手順を説明する図である。 実施例２に係る配置切替部の平面図である。 実施例３に係るフィルタ連結装置の斜視図である。 実施例４に係る配置切替部の平面図である。 実施例５に係る配置切替部の平面図である。 実施例６に配置切替部の平面図である。

以下、図面を参照して本発明の実施例を説明する。
図１は、実施例１に係る基板処理装置の概略構成を示す図である。
実施例１に係る基板処理装置１は、基板（例えば、半導体ウエハ）Ｗに液処理を行う装置である。

＜基板処理装置１の概要＞
基板処理装置１は、基板保持部３と回転モータ５を備えている。基板保持部３は、基板Ｗを略水平に保持する。基板保持部３は、例えば、基板Ｗの裏面（下面）を吸着保持する。回転モータ５は、基板保持部３の底部中央に連結している。回転モータ５は、基板保持部３を略鉛直軸回りに回転させる。これにより、基板保持部３に保持された基板Ｗは、その中心部を通る略鉛直軸回りに回転する。

基板処理装置１は、ノズル７とカップ９を備えている。ノズル７は、基板保持部３の上方にあたる吐出位置に移動可能に設けられている。ノズル７は、基板保持部３に保持された基板Ｗに処理液を吐出する。カップ９は、基板保持部３の側方を囲むように配置されている。カップ９は、基板Ｗから飛散した処理液を受けとめて回収する。

ノズル７は、処理液を通じる配管１１と接続されている。配管１１の他端は、処理液供給源１３に接続している。処理液供給源１３は、例えば、処理液を貯留する処理液タンクである。処理液は、例えば、レジスト膜材料や各種の塗膜材料、薬液、シンナー、純水である。配管１１の途中には、ポンプ１５、制御弁１７、およびフィルタ２１が介挿されている。ポンプ１５は、処理液供給源１３からノズル１１に向けて処理液を圧送する。制御弁１７は、処理液の流路を開閉する。フィルタ２１は、処理液を濾過する。フィルタ２１は、例えば、処理液から処理液中の異物などを分離・除去する。

フィルタ２１は、フィルタ本体２２と複数（例えば３つ）の接続口２３、２４、２５とを備えている。フィルタ本体２２は、濾過材と、濾過材の一次側を処理液が流れる一次側流路と、濾過材の二次側を処理液が流れる二次側流路（いずれも不図示）を含む。濾過材は、例えば多孔性の膜である。接続口２３は、一次側流路の入口である。接続口２４は、二次側流路の出口である。接続口２５は、フィルタ本体２２内の気体を逃がすための出口である。

フィルタ２１は、フィルタ連結装置３１によって、配管１１と接続されている。フィルタ連結装置３１は、複数（例えば接続口と同数）の継ぎ手部材３３、３４、３５を備える。継ぎ手部材３３、３４、３５の一端はそれぞれ、接続口２３、２４、２５と接続する。継ぎ手部材３３、３４、３５は、本発明における接続ポートの例である。

ここで、便宜上、フィルタ２１の一次側の配管１１を特に「一次側配管１１ａ」と呼び、フィルタ２１の二次側の配管１１を特に「二次側配管１１ｂ」と呼ぶ。一次側配管１１ａは、継ぎ手部材３３の他端と接続されている。二次側配管１１ｂは、継ぎ手部材３４の他端と接続されている。継ぎ手部材３５の他端はベント管３７と接続されている。これにより、一次側配管１１ａは継ぎ手部材３３を介して接続口２３と連通接続しており、二次側配管１１ｂは継ぎ手部材３４を介して接続口２４と連通接続しており、ベント管３７は継ぎ手部材３５を介して接続口２３ｃと連通接続している。

基板処理装置１は、制御部３９を備える。制御部３９は、回転モータ５の回転と、ノズル７の移動と、ポンプ１５の駆動と、制御弁１７の開閉とを統括的に制御する。制御部３９による制御は、予め設定されている処理レシピに基づいて実行される。

基板処理装置１が基板Ｗに液処理を行う動作を簡単に説明する。

基板Ｗが基板保持部３に載置されると、回転モータ５が基板Ｗを回転させる。ノズル７が吐出位置に移動する。ポンプ１５が処理液を圧送し、制御弁１７が処理液の流路を開放する。これにより、処理液が処理液供給源１３から一次側配管１１ａを通じてフィルタ２１に流入する。フィルタ２１は処理液を濾過する。濾過された処理液は、フィルタ２１から二次側配管１１ｂを通じてノズル７に流入する。ノズル７は、処理液を基板Ｗに吐出する。処理液は、回転している基板Ｗの表面中央に着液し、基板Ｗの表面全体にわたって広がる。基板Ｗから飛散した処理液は、カップ９によって回収される。

処理液を吐出し始めてから所定の時間が経過すると、ポンプ１５が停止し、制御弁１７が閉止して、基板Ｗに対する処理液の供給を止める。回転モータ５が基板Ｗをより高速で回転させて、基板Ｗを乾燥させる。その後、回転モータ５が停止し、基板Ｗを静止させる。これにより、基板Ｗに対する液処理が終了する。

＜フィルタ２１の構造について＞
２種類のフィルタ２１の構造を例示する。

図２（ａ）はフィルタ２１の第１例の斜視図であり、図２（ｂ）はフィルタ２１の第２例の斜視図である。以下では、フィルタ２１の第１例を特に「第１フィルタ２１ａ」と呼び、フィルタ２１の第２例を特に「第２フィルタ２１ｂ」と呼ぶ。また、第１フィルタ２１ａの各要素の符号には適宜に「ａ」を付加し、第２フィルタ２１ｂの各要素の符号には適宜に「ｂ」を付加する。

図２（ａ）を参照する。第１フィルタ２１ａは、接続口２３ａ、２４ａ、２５ａとハウジング２６ａとを備える。ハウジング２６ａは、上述したフィルタ本体２２を収容する。接続口２３ａ、２４ａ、２５ａは、ハウジング２６ａの上面に設けられている。接続口２３ａ、２４ａ、２５ａは１列に並ぶように配置されている。

図２（ｂ）を参照する。第２フィルタ２１ｂは、接続口２３ｂ、２４ｂ、２５ｂとハウジング２６ｂを備える。ハウジング２６ｂは、上述したフィルタ本体２２を収容する。接続口２３ｂ、２４ｂ、２５ｂは、ハウジング２６ｂの上面に設けられている。接続口２３ｂ、２４ｂ、２５ｂは１列に並んでいない。接続口２３ｂ、２４ｂ、２５ｂはそれぞれ、直角三角形の３頂点と同じような位置に配置されている。

このように、第１フィルタ２１ａと第２フィルタ２１ｂとの間で、接続口２３、２４、２５の配置が異なっている。

さらに、第１フィルタ２１ａと第２フィルタ２１ｂとの間で、フィルタＨの高さが異なっている。本実施例１では、第１フィルタ２１ａの高さＨａの方が、第２フィルタ２１ｂの高さＨｂに比べて長い。ここで、フィルタ２１の高さＨは、ハウジング２６の底部から接続口２３−２５の上端までの鉛直方向に対する長さである。

＜フィルタ連結装置３１の構造について＞
フィルタ連結装置３１は、第１フィルタ２１ａおよび第２フィルタ２１ｂのいずれとも連結できる構造を有する。以下、詳細に説明する。

図３は、フィルタ連結装置３１の斜視図である。図４は、フィルタ連結装置３１の側面図である。図５は、フィルタ連結装置３１の平面図である。各図において、「Ｘ」、「Ｙ」は互いに直交する水平方向を示し、「Ｚ」は鉛直方向（「上下方向」ともいう）を示す。

フィルタ連結装置３１は、継ぎ手部材３３、３４、３５の他に、複数の継ぎ手部材３３、３４、３５の配置を切り替える配置切替部４０を備えている。

配置切替部４０は、ベースプレート４１とスロット４２、４３を備えている（スロット４３については、図６を参照）。ベースプレート４１は、略水平な板形状を有する。スロット４２、４３は、ベースプレート４１の上面から下面にわたって貫通するようにベースプレート４１に形成されている。

ベースプレート４１は、継ぎ手部材３３、３４が脱落しないように支持する。具体的には、継ぎ手部材３３、３４はそれぞれ、スロット４２、４３に挿入されている。継ぎ手部材３３、３４はそれぞれ、その外周面３３ａ、３４ａから外方に張り出すフランジ部３３ｂ、３４ｂを備えている。フランジ部３３ｂ、３４ｂはそれぞれ、スロット４２、４３の幅よりも大きい。フランジ部３３ｂ、３４ｂはそれぞれ、ベースプレート４１の上面と接触している。これにより、継ぎ手部材３３、３４がベースプレート４１から下方に脱落しないように、継ぎ手部材３３、３４は鉛直姿勢でベースプレート４１に載置される。

スロット４２、４３は長穴であり、継ぎ手部材３３、３４を案内する。継ぎ手部材３３、３４は、スロット４２、４３に沿って水平方向に移動可能である。

ベースプレート４１は、さらに、継ぎ手部材３５を所定位置に保持する。継ぎ手部材３５は、ベースプレート４１に形成された貫通孔４４（後述する図６参照）に鉛直姿勢で挿入されており、水平方向に移動不能である。継ぎ手部材３５はその外周面３５ａから外方に張り出すフランジ部３５ｂを備えており、フランジ部３５ｂはベースプレート４１の上面に載置されている。これにより、継ぎ手部材３５がベースプレート４１から下方に脱落することが防止される。

図４を参照する。継ぎ手部材３３、３４、３５の下端部３３ｃ、３４ｃ、３５ｃは、ベースプレート４１の下方に位置している。継ぎ手部材３３、３４、３５の上端部３３ｄ、３４ｄ、３５ｄは、ベースプレート４１の上方に位置している。

ベースプレート４１は、本発明におけるベース部の例である。ベースプレート４１は、継ぎ手部材３５を保持する保持部として機能する。

図６は、ベースプレート４１とスロット４２、４３のみの平面図である。継ぎ手部材３３がスロット４２の一端縁４２ａに接触する位置を「位置Ｐ１」とし、スロット４２の他端縁４２ｂに接触する位置を「位置Ｐ２」とする。また、継ぎ手部材３４がスロット４３の一端縁４３ａに接触する位置を「位置Ｑ１」とし、スロット４３の他端縁４３ｂに接触する位置を「位置Ｑ２」とする。継ぎ手部材３３が位置Ｐ１に配置され、継ぎ手部材３４が位置Ｑ１に配置されているとき、継ぎ手部材３３−５５の平面的な配置は、第１フィルタ２１ａの接続口２３ａ−２５ａの平面的な配置と一致する。また、継ぎ手部材３３が位置Ｐ２に配置され、継ぎ手部材３４が位置Ｑ２に配置されているとき、平面視における継ぎ手部材３３−３５の配置は、平面視における第２フィルタ２１ｂの接続口２３ｂ−２５ｂの配置と一致する。

本明細書では、継ぎ手部材３３が位置Ｐ１にあり、継ぎ手部材３４が位置Ｑ１にあるときの継ぎ手部材３３−３５の配置を、「第１配置」と呼ぶ。継ぎ手部材３３が位置Ｐ２にあり、継ぎ手部材３４が位置Ｑ２にあるときの継ぎ手部材３３−３５の配置を、「第２配置」と呼ぶ。そうすると、継ぎ手部材３３がスロット４２の両端縁４２ａ、４２ｂに接触する位置Ｐ１、Ｐ２は、第１配置および第２配置における継ぎ手部材３３の正しい位置である。継ぎ手部材３４がスロット４３の両端縁４３ａ、４３ｂに接触する位置Ｑ１、Ｑ２は、第１配置および第２配置における継ぎ手部材３４の正規の位置である。

スロット４２、４３は、本発明における案内部の例である。

上述のとおり、継ぎ手部材３３、３４は、第１配置と第２配置との間で、位置が変わる。他方、継ぎ手部材３５は、第１配置と第２配置との間で位置は変わらない（同じである）。よって、前者（本実施例では継ぎ手部材３３、３４）を「可動接続ポート」と呼び、後者（本実施例では継ぎ手部材３５）を「固定接続ポート」と呼んで区別してもよい。

配置切替部４０は、可動接続ポートである継ぎ手部材３３、３４を移動させる移動部４５を備える。より具体的には、移動部４５は、継ぎ手部材３３、３４を略水平方向に移動させる。

移動部４５は、軸部材４６とカム部材４７を備えている。軸部材４６は、ベースプレート４１に取り付けられている。軸部材４６の軸芯Ａは、鉛直方向Ｚに延びている。カム部材４７は、軸部材４６に支持されている。カム部材４７は、軸芯Ａ回りに正方向Ｆおよび逆方向Ｂに回転可能である（図５参照）。

カム部材４７は、継ぎ手部材３３と接触する接触部４７ａと、継ぎ手部材３４と接触する４７ｂ、４７ｃを有する。接触部４７ａは、略「Ｕ」字形状を有している。接触部４７ａは、継ぎ手部材３３の外周面３３ａを挟むように継ぎ手部材３３と常に接触している。接触部４７ａは、継ぎ手部材３３を正方向Ｆおよび逆方向Ｂに押す。接触部４７ｂは、継ぎ手部材３４の外周面３４ａの片側と接触可能である。接触部４７ｂは、継ぎ手部材３４を専ら正方向Ｆに押す。接触部４７ｃは、継ぎ手部材３４の外周面３４ａの反対側と接触可能である。接触部４７ｂは、継ぎ手部材３４を専ら逆方向Ｂに押す。

ここで、移動部４５が継ぎ手部材３３、３４を移動させる動作を説明する。

図７（ａ）−７（ｆ）は、配置切替部４０の平面図であり、カム部材４７の動きと継ぎ手部材３３−３５の位置との経時的な変化を示す。

図７（ａ）を参照する。カム部材４７が図７（ａ）に示す位置にあるとき、継ぎ手部材３３−３５は第１配置で配置されている。すなわち、継ぎ手部材３３は位置Ｐ１にあり、継ぎ手部材３３は位置Ｑ１にある。

接触部４７ａは、継ぎ手部材３３と接触しており、継ぎ手部材３３が水平方向に移動することを規制している（具体的は、継ぎ手部材３３がスロット４２の他端縁４２ｂに向かって戻ることを接触部４７ａが防止している）。接触部４７ｂは、継ぎ手部材３４と接触しており、継ぎ手部材３４がスロット４３が水平方向に移動することを規制している。接触部４７ｃは継ぎ手部材３４と接触していない。なお、カム部材４７は、図７（ａ）に示す位置からさらに正方向Ｆに回転することはできない。

図７（ｂ）を参照する。カム部材４７が図７（ａ）に示す位置から逆方向Ｂに回転すると、接触部４７ａは継ぎ手部材３３を逆方向Ｂに押す。継ぎ手部材３３はスロット４２に沿って移動する。接触部４７ｂは継ぎ手部材３４から離れる。継ぎ手部材３４は動かない。接触部４７ｃは継ぎ手部材３４から離れたままである。

図７（ｃ）を参照する。カム部材４７が逆方向Ｂにさらに回転すると、接触部４７ａは継ぎ手部材３３を逆方向Ｂに押し続ける。接触部４７ｃは継ぎ手部材３４に接触し始め、継ぎ手部材３４を逆方向Ｂに押し始める。継ぎ手部材３４は、スロット４３に沿って移動し始める。接触部４７ｂは継ぎ手部材３４から離れたままである。

図７（ｄ）を参照する。カム部材４７が逆方向Ｂにさらに回転すると、継ぎ手部材３３、３４がそれぞれ位置Ｐ２、Ｑ２に到達する。すなわち、継ぎ手部材３３、３４は、スロット４２、４３の他端縁４２ｂ、４３ｂと接触する。これにより、継ぎ手部材３３、３４の動きが止まり、カム部材４７の回転も止まる。カム部材４７は、逆方向Ｂにこれ以上回転できない。継ぎ手部材３３、３４はそれぞれ位置Ｐ２、Ｑ２で静止し、継ぎ手部材３３−３５の配置は第２配置に切り替わる。

接触部４７ａは、継ぎ手部材３３と接触しており、継ぎ手部材３３が水平方向に移動することを規制している。接触部４７ｃは、継ぎ手部材３４と接触しており、継ぎ手部材３４が水平方向に移動することを規制している。接触部４７ｂは継ぎ手部材３４から離れたままである。

図７（ｅ）を参照する。カム部材４７が図７（ｄ）に示す位置から正方向Ｆに回転すると、接触部４７ａは継ぎ手部材３３を正方向Ｆに押す。継ぎ手部材３３はスロット４２に沿って移動する。接触部４７ｃは継ぎ手部材３４から離れる。継ぎ手部材３４は動かない。接触部４７ｂは継ぎ手部材３４から離れたままである。

図７（ｆ）を参照する。カム部材４７が正方向Ｆにさらに回転すると、接触部４７ａは継ぎ手部材３３を正方向Ｆに押し続ける。接触部４７ｂは継ぎ手部材３４に接触し始め、継ぎ手部材３４を正方向Ｆに押し始める。継ぎ手部材３４は、スロット４３に沿って向かって移動し始める。接触部４７ｃは継ぎ手部材３４から離れたままである。

図７（ａ）を参照する。カム部材４７が正方向Ｆにさらに回転すると、継ぎ手部材３３、３４がそれぞれ位置Ｐ１、Ｑ１に到達する。すなわち、継ぎ手部材３３、３４は、スロット４２、４３の一端縁４２ａ、４３ａと接触する。これにより、継ぎ手部材３３、３４の動きが止まり、カム部材４７の回転も止まる。カム部材４７は、正方向Ｆにこれ以上回転できない。継ぎ手部材３３、３４はそれぞれ位置Ｐ１、Ｑ１で静止し、継ぎ手部材３３−３５の配置は第１配置に切り替わる。

図３、４を参照する。フィルタ連結装置３１は、フィルタ２１を支持するフィルタ支持部５０を備えている。フィルタ支持部５０は、支持プレート５１と、一対のアーム部５３を備える。

支持プレート５１は、略水平な板形状を有する。支持プレート５１は、その上面にフィルタ２１を載置する。

一方のアーム部５３は、支持プレート５１の右側部と固定的に連結しており、支持プレート５１から上方に延びている。他方のアーム部５３は、支持プレート５１の左側部に固定されており、支持プレート５１から上方に延びている。

配置切替部４０は、ピン部材５５を備えている。ピン部材５５は、各アーム部５３に固定されている。ピン部材５５は、アーム部５３から水平方向（例えば、Ｘ方向）に突出している。

フィルタ連結装置３１は、一対の側壁部５７を備えている。一方の側壁部５７は、ベースプレート４１の右側部と固定的に連結しており、ベースプレート４１から下方に延びている。他方の側壁部５７は、ベースプレート４１の左側部に固定されており、ベースプレート４１から下方に延びている。

フィルタ連結装置３１は、溝部５８を備えている。溝部５８は、各側壁部５７に形成されている。溝部５８にはピン部材５５が係合している。ピン部材５５は溝部５８に沿って摺動可能である。すなわち、溝部５８は、ピン部材５５を案内する。

溝部５８は、昇降用溝部５９と第１ロック用溝部６０ａと第２ロック用溝部６０ｂとを含む。昇降用溝部５９は、鉛直方向Ｚに延びている。第１ロック用溝部６０ａおよび第２ロック用溝部６０ｂはそれぞれ、略水平方向（例えばＹ方向）に延びている。各昇降用溝部５９は、第１ロック用溝部６０ａおよび第２ロック用溝部６０ｂとそれぞれつながっている。

ピン部材５５が昇降用溝部５９に沿って摺動することによって、フィルタ支持プレート５１とアーム部５３は一体に鉛直方向Ｚに移動する。すなわち、フィルタ支持部５０は昇降する。ピン部材５５が第１、第２ロック用溝部６０ａ、６０ｂに沿って摺動することによって、フィルタ支持部５０は略水平方向（例えばＹ方向）に移動する。

ピン部材５５が第１、第２ロック用溝部６０ａ、６０ｂにあるとき、フィルタ支持部５０が昇降する動きが禁止される。その結果、フィルタ支持部５０の高さ位置が一定に保たれる。

第１ロック用溝部６０ａと第２ロック用溝部６０ｂの高さは互いに異なる。このため、第１ロック用溝部６０ａと第２ロック用溝部６０ｂは、フィルタ支持部５０を異なる高さ位置に保つことができる。

図８（ａ）、（ｂ）を参照する。図８（ａ）、８（ｂ）は、フィルタ支持部５０の高さ位置を説明する図である。本明細書では、便宜上、支持プレート５１の高さ位置を、フィルタ支持部５０の高さ位置と扱う。

第１ロック用溝部６０ａは、フィルタ支持部５０を第１の高さ位置ｈａに保つ。具体的には、フィルタ支持部５０が第１の高さ位置にあるとき、第１ロック用溝部６０ａは、フィルタ支持部５０が昇降する動きを禁止する。

第２ロック用溝部６０ｂは、フィルタ支持部５０を第２の高さ位置ｈｂ（ｈａ≠ｈｂ）に保つ。具体的には、フィルタ支持部５０が第２の高さ位置ｈｂにあるとき、第２ロック用溝部６０ｂはフィルタ支持部５０の昇降を禁止する。

フィルタ支持部５０が第１の高さ位置ｈａにあるとき、フィルタ支持部５０に支持された第１フィルタ２１ａの接続口２３ａ−２５ａは、継ぎ手部材３３−３５と接続される。すなわち、第１フィルタ２１ａがフィルタ連結装置３１に連結される。フィルタ支持部５０が第２の高さ位置ｈｂにあるとき、フィルタ支持部５０に支持された第２フィルタ２１ｂの接続口２３ａ−２５ａは、継ぎ手部材３３−３５と接続される。

側壁部５７は、本発明におけるベース部の例である。すなわち、ベースプレート４１と側壁部５７が、ベース部を構成する。ピン部材５５と昇降用溝部５９は、本発明における昇降部の例である。ロック用溝部６０ａ、６０ｂはそれぞれ、本発明における昇降用ロック部の例である。

図３、４を参照する。フィルタ連結装置３１は、フィルタ２１（特に第１フィルタ２１ａ）を位置決めするための受け部６１を備えている。受け部６１は、アーム部５３に取り付けられている。第１フィルタ２１ａが支持プレート５１に載置されるときに、受け部６１は、ハウジング２６ａの外周面と当接して、第１フィルタ２１ａを適切な位置に位置決めする。第１フィルタ２１ａが適切な位置にあるとき、第１フィルタ２１ａの接続口２３ａ−２５ａはそれぞれ、第１配置における継ぎ手部材３３−３５の下方に位置する（すなわち、第１フィルタ２１ａの接続口２３ａ−２５ａはそれぞれ、第１配置における継ぎ手部材３３−３５と鉛直方向Ｚに向かい合う）。

図３を参照する。フィルタ連結装置３１は、フィルタ（特に第２フィルタ２１ｂ）を位置決めするための切り欠き部６３を備えている。切り欠き部６３は、支持プレート５１に形成されている。第２フィルタ２１ｂが支持プレート５１に載置されるときに、切り欠き部６３は、ハウジング２６ｂの底部と当接して、第２フィルタ２１ｂを適切な位置に位置決めする。なお、第２フィルタ２１ｂは、ハウジング２６ｂの底部から下方に吐出する突片部２７ｂ（後述する図１０（ａ）乃至１０（ｃ）参照）が設けられている。第２フィルタ２１ｂが適切な位置にあるとき、第２フィルタ２１ｂの接続口２３ｂ−２５ｂが第２配置における継ぎ手部材３３−３５と鉛直方向Ｚに向かい合う。

フィルタ連結装置３１は、取り付けブラケット６５を備えている。取り付けブラケット６５は、ベースプレート４１の後側部と固定的に連結している。取り付けブラケット６５は、フィルタ連結装置３１の設置場所（例えば壁面）に固定される。

＜フィルタ２１をフィルタ連結装置３１に着脱する動作＞
次に、フィルタ２１をフィルタ連結装置３１に着脱する動作を説明する。以下では、フィルタ２１ａ、２１ｂごとに、フィルタ２１をフィルタ連結装置３１に連結する動作と、フィルタ２１をフィルタ連結装置３１から取り外す動作を説明する。なお、フィルタ連結装置３１は、ユーザーの人力によって動作する。

＜第１フィルタ２１ａの装着＞
図９（ａ）、９（ｂ）、９（ｃ）は、第１フィルタ２１ａをフィルタ連結装置３１に着脱するときの手順を説明する図である。

まず、移動部４５（カム部材４７）を操作して、継ぎ手部材３３−３５の配置を第１配置に切り替える。ピン部材５５を昇降用溝部５９に沿って摺動させて、フィルタ支持部５０を十分に低い位置まで下げる。

次に、支持プレート５１上に第１フィルタ２１ａを置く（図９（ａ））。このとき、第１フィルタ２１ａが受け部６１に当たる位置まで第１フィルタ２１ａを奥に押す。これにより、フィルタ２１ａを正しい位置にセットする。

続いて、フィルタ支持部５０を上昇させる（すなわち、ピン部材５５を昇降用溝部５９に沿って上昇させる）。これにより、第１フィルタ２１ａがベースプレート４１（継ぎ手部材３３−３５）と向かい合ったまま、第１フィルタ２１ａは、ベースプレート４１（継ぎ手部材３３−３５）に近づく。

フィルタ支持部５０を第１の高さ位置ｈａまで上昇させると、第１フィルタ２１ａの接続口２３ａ−２５ａがそれぞれ、継ぎ手部材３３−３５と接続する（図９（ｂ）参照）。具体的には、接続口２３ａ−２５ａの内側に継ぎ手部材３３−３５の下端部３３ｃ−３５ｃが嵌め込まれる。これにより、フィルタ連結装置３１は第１フィルタ２１ａと連結する。

続いて、フィルタ支持部５０を奥側に押し、ピン部材５５を第１ロック用溝部６０ａに移動させる（図９（ｃ）参照）。この際、第１フィルタ２１ａは支持プレート５１に対して滑り、水平方向に動かない。フィルタ支持部５０の昇降が禁止され、フィルタ支持部５０が高さ位置ｈａに保たれる。これにより、第１フィルタ２１ａがベースプレート４１（継ぎ手部材３３−３５）から遠ざかることや、ベースプレート４１（継ぎ手部材３３−３５）から下方に脱落することが防止される。

図９（ｃ）に示す状態で、第１フィルタ２１ａを使用する。すなわち、第１フィルタ２１ａによって処理液を濾過する。

＜第１フィルタ２１ａをフィルタ連結装置３１から取り外す動作＞
フィルタ支持部５０を手前側に引く。これにより、ピン部材５５を第１ロック用溝部６０ａから昇降用溝部５９に移動させる（図９（ｂ）参照）。

フィルタ支持部５０を下降させる（すなわち、ピン部材５５を昇降用溝部５９に沿って下降させる）。第１フィルタ２１ａがベースプレート４１（継ぎ手部材３３−３５）と向かい合ったまま、第１フィルタ２１ａは、ベースプレート４１（継ぎ手部材３３−３５）から遠ざかる。第１フィルタ２１ａの接続口２３ａ−２５ａはそれぞれ、継ぎ手部材３３−３５から外れる。すなわち、第１フィルタ２１ａはフィルタ連結装置３１から離脱する。

図９（ａ）に示すように、フィルタ支持部５０を十分に低い位置まで降ろした後、フィルタ支持部５０から第１フィルタ２１ａを取り出す。

＜第２フィルタ２１ｂをフィルタ連結装置３１に連結する動作＞
図１０（ａ）、１０（ｂ）、１０（ｃ）は、第２フィルタ２１ｂをフィルタ連結装置３１に着脱するときの手順を説明する図である。

継ぎ手部材３３−３５の配置を第２配置に切り替え、フィルタ支持部５０を十分に低い位置まで下げる。

フィルタ支持部５０に第２フィルタ２１ｂを支持させる（図１０（ａ）参照）。このとき、第２フィルタ２１ｂの突片部２７ｂを切り欠き部６３に差し込むことにより、第２フィルタ２１ｂを正しい位置に位置決めする。

フィルタ支持部５０を高さｈｂまで上昇させる（図１０（ｂ））。これにより、第２フィルタ２１ｂをフィルタ連結装置３１に連結させる。

フィルタ支持部５０を奥側に押し、ピン部材５５を第２ロック用溝部６０ｂに移動させる（図１０（ｃ）参照）。この際も、第２フィルタ２１ｂは支持プレート５１に対して滑り、水平方向に動かない。これにより、フィルタ支持部５０の昇降が禁止され、フィルタ支持部５０が高さ位置ｈｂに保たれる。図１０（ｃ）に示す状態で、第２フィルタ２１ｂを使用する。

＜第２フィルタ２１ｂをフィルタ連結装置３１から取り外す動作＞
フィルタ支持部５０を手前側に引く。これにより、ピン部材５５を第２ロック用溝部６０ｂから昇降用溝部５９に移動させる（図１０（ｂ）参照）。

フィルタ支持部５０を下降させる。これにより、第２フィルタ２１ｂがフィルタ連結装置３１から外れる。図１０（ａ）に示すように、フィルタ支持部５０を十分に低い位置まで下降させたあと、フィルタ支持部５０から第１フィルタ２１ａを取り出す。

＜効果＞
このように実施例１に係るフィルタ連結装置３１によれば、配置切替部４０を備えているので、複数の継ぎ手部材３３−３５の配置を第１配置と第２配置との間で切り替えることができる。ここで、第１配置は第１フィルタ２１ａと適合し、第２配置は第２フィルタ２１ｂと適合するように、予め決められている。具体的には、第１配置は、各継ぎ手部材３３−３５が第１フィルタ２１ａの接続口２３ａ−２５ａと接続できる。第２配置は、各継ぎ手部材３３−３５が第２フィルタ２１ｂの接続口２３ｂ−２５ｂと接続できる。よって、配置切替部４０が継ぎ手部材３３−３５の配置を第１配置に切り替えているときには、フィルタ連結装置３１は第１フィルタ２１ａと好適に連結できる。配置切替部４０が継ぎ手部材３３−３５の配置を第２配置に切り替えているときには、フィルタ連結装置３１は第２フィルタ２１ｂと好適に連結できる。このように、フィルタ連結装置３１は、接続口２３−２５の配置が異なる第１フィルタ２１ａ、２１ｂの両方と連結できる。よって、フィルタ連結装置３１を取り替えることなく、接続口２３−２５の配置が異なるフィルタ２１ａ、２１ｂの間で、フィルタ２１を容易に交換できる。

配置切替部４０はスロット４２を備えているので、第１配置における位置Ｐ１と第２配置における位置Ｐ２との間にわたって継ぎ手部材３３を案内できる。同様に、配置切替部４０はスロット４３を備えているので、第１配置における位置Ｑ１と第２配置における位置Ｑ２との間にわたって継ぎ手部材３４を案内できる。よって、継ぎ手部材３３−３５の配置を第１配置と第２配置との間で円滑に切り替えることができる。

スロット４２の一端縁４２ａが、継ぎ手部材３３の第１配置における位置Ｐ１を規定しており、スロット４２の他端縁４２ｂが、継ぎ手部材３３の第２配置における位置Ｐ２を規定している。よって、スロット４２は、継ぎ手部材３３を位置Ｐ１、Ｐ２に容易に案内できる。同様に、スロット４３の一端縁４３ａが、継ぎ手部材３４の第１配置における位置Ｑ１を規定しており、 スロット４３の他端縁４３ｂが、継ぎ手部材３４の第２配置における位置Ｑ２を規定している。よって、スロット４３は継ぎ手部材３４を位置Ｑ１、Ｑ２に容易に案内できる。

配置切替部４０は移動部４５を備えているので、第１配置における位置Ｐ１と第２配置における位置Ｐ２との間にわたって継ぎ手部材３３を移動させることができ、第１配置における位置Ｑ１と第２配置における位置Ｑ２との間にわたって継ぎ手部材３４を移動させることができる。よって、継ぎ手部材３３−３５の配置を第１配置と第２配置との間で容易に切り替えることができる。

移動部４５はカム部材４７を備えているので、継ぎ手部材３３、３４を好適に移動させることができる。具体的には、カム部材４７は接触部４７ａを有しているので、継ぎ手部材３３を好適に移動させることができる。また、カム部材４７は接触部４７ｂ、４７ｃを有しているので、継ぎ手部材３４を好適に移動させることができる。

上述のとおり、１つのカム部材４７が２つの継ぎ手部材３３、３４を移動させるので、移動部４５が備えるカム部材４７の個数を低減でき、移動部４５の構造を簡素化できる。

接触部４７ａは、継ぎ手部材３３が位置Ｐ１にあるときも位置Ｐ２にあるときも、継ぎ手部材３３と接触している（図７（ａ）、７（ｄ）参照）。よって、継ぎ手部材３３を位置Ｐ１、Ｐ２に好適に留めることができる。

接触部４７ｂは、継ぎ手部材３４が位置Ｑ１にあるときに、継ぎ手部材３４と接触している。よって、継ぎ手部材３４を位置Ｑ１に好適に留めることができる。

接触部４７ｃは、継ぎ手部材３４が位置Ｑ２にあるときに、継ぎ手部材３４と接触している。よって、継ぎ手部材３４を位置Ｑ２に好適に留めることができる。

フィルタ連結装置３１は、フィルタ支持部５０を備えているので、フィルタ２１を好適に支持できる。

フィルタ連結装置３１は、ピン部材５５および昇降用溝部５９を備えているので、フィルタ支持部５０を円滑に昇降させることができる。

フィルタ支持部５０は、ピン部材５５および昇降用溝部５９を介して、側壁部５７（ベース部）と連結されている。よって、フィルタ支持部５０はベース部（継ぎ手部材３３−３５）に対して昇降できる。

フィルタ連結装置３１は、第１ロック用溝部６０ａと第２ロック用溝部６０ｂを備えているので、フィルタ支持部５０の昇降を好適に禁止できる。これにより、フィルタ支持部５０の高さ位置を一定に保持できる。よって、例えばフィルタ２１の使用中に、フィルタ２１がフィルタ連結装置３１から外れたり、脱落する恐れがない。

特に、第１ロック用溝部６０ａはフィルタ支持部５０が第１の高さ位置ｈａにあるときに、フィルタ支持部５１の昇降を禁止する。フィルタ支持部５０が第１の高さ位置ｈａにあるとき、フィルタ連結装置３１は第１フィルタ２１ａと連結する。よって、第１ロック用溝部６０ａは、フィルタ連結装置３１が第１フィルタ２１ａと連結している状態を確実に維持できる。第２ロック用溝部６０ｂはフィルタ支持部５０が第２の高さ位置ｈｂにあるときに、フィルタ支持部５０の昇降を禁止する。フィルタ支持部５０が第２の高さ位置ｈｂにあるとき、フィルタ連結装置３１は第２フィルタ２１ｂと連結する。よって、第２ロック用溝部６０ｂは、フィルタ連結装置３１が第２フィルタ２１ｂと連結している状態を確実に維持できる。このように、フィルタ連結装置３１は、高さＨの異なるフィルタ２１ａ、２１ｂのいずれとも、連結した状態を適切に保つことができる。

さらに、フィルタ連結装置３１は、接続口２３−２５の配置が同じで高さＨが異なるフィルタとも好適に連結できる。例えば、接続口２３−２５の配置が第１フィルタ２１ａと同じで、高さＨが第２フィルタ２１ｂと同じである、第３のフィルタとも、フィルタ連結装置３１は好適に連結できる。また、例えば、接続口２３−２５の配置が第２フィルタ２１ｂと同じで、高さＨが第２フィルタ２１ａと同じである、第４のフィルタとも、フィルタ連結装置３１は好適に連結できる。

本実施例に係る基板処理装置１によれば、フィルタ連結装置３１を備えているので、接続口２３−２５の配置が異なる２種以上のフィルタ２１ａ、２１ｂの間で、フィルタ２１を容易に交換できる。よって、基板Ｗの種類、処理液の種類、あるいは処理の種類によってフィルタ２１を容易に選択・変更でき、処理液をより適切に濾過できる。よって、基板Ｗの処理品質を一層向上させることができる。

以下、図面を参照して本発明の実施例２を説明する。
実施例２に係る基板処理装置１は実施例１と同じであるので、基板処理装置１の概要については説明を省略する。実施例２のフィルタ連結装置３１は、実施例１の配置切替部４０と異なる配置切替部７０を備えている。よって、以下では、配置切替部７０の構造について説明する。なお、実施例１と同じ構成については同符号を付すことで詳細な説明を省略する。

図１１は、配置切替部７０の平面図である。配置切替部７０は、ベースプレート７１を備える。ベースプレート７１は、継ぎ手部材３５を保持する。ベースプレート７１は、継ぎ手部材３３、３４に比べて十分に大きな開口Ｃを有する。

配置切替部７０は、継ぎ手保持部（「チューブホルダー」とも呼ばれる）７３、７４を備える。継ぎ手保持部７３、７４は、ベースプレート７１に取り付けられている。

継ぎ手保持部７３は、継ぎ手部材３３を保持する。継ぎ手保持部７３は、継ぎ手部材３３を位置Ｐ１で保持する継ぎ手保持部７３ａと、継ぎ手部材３３を位置Ｐ２で保持する継ぎ手保持部７３ｂとを備える。継ぎ手保持部７３ａ、７３ｂはそれぞれ、弾性変形可能な開口部を有する。継ぎ手部材３３を継ぎ手保持部７３ａ、７３ｂの開口部に押し込むことにより、継ぎ手保持部７３ａ、７３ｂは継ぎ手部材３３を把持する。継ぎ手保持部７３ａ、７３ｂに保持された継ぎ手部材３３を引っ張ると、継ぎ手部材３３が継ぎ手保持部７３ａ、７３ｂから外れる。

継ぎ手保持部７４は、継ぎ手部材３４を保持する。継ぎ手保持部７４は、継ぎ手部材３４を位置Ｑ１で保持する継ぎ手保持部７４ａと、継ぎ手部材３４を位置Ｑ２で保持する継ぎ手保持部７４ｂとを備える。継ぎ手保持部７４ａ、７４ｂの構造は、継ぎ手保持部７３ａ、７３ｂと同じである。よって、継ぎ手部材３４を継ぎ手保持部７４に簡易に着脱できる。

継ぎ手保持部７３、７４は、本発明における保持部の例である。また、ベースプレート７１は、継ぎ手部材３５を保持する保持部として機能する。

継ぎ手部材３３を継ぎ手保持部７３ａに取り付け、継ぎ手部材３４を継ぎ手保持部７４ａに取り付けると、継ぎ手部材３３−３５の配置は第１配置となる。

継ぎ手部材３３−３５の配置を第１配置から第２配置に切り替えるときには、継ぎ手部材３３を継ぎ手保持部７３ａから外して、継ぎ手保持部７３ｂに取り付け、継ぎ手部材３４を継ぎ手保持部７４ａから外して、継ぎ手保持部７４ｂに取り付ける。これにより、継ぎ手部材３３−３５の配置が第２配置に切り替わる。

このように、実施例２に係るフィルタ連結装置３１によっても、配置切替部７０を備えているので、実施理例１と同様の効果を奏する。すなわち、フィルタ連結装置３１は、接続口２３−２５の配置が異なるフィルタ２１ａ、２１ｂとそれぞれ好適に連結できる。

また、配置切替部７０は、継ぎ手保持部７３、７４を備えているので、継ぎ手部材３３、３４を所定の位置Ｐ１、Ｐ２、Ｑ１、Ｑ２に保持できる。また、継ぎ手部材３３−３５の配置を、第１配置および第２配置で好適に保持できる。

また、継ぎ手保持部７３ａ、７３ｂ、７４ａ、７４ｂは、弾性変形することによって、継ぎ手部材３３、３４を保持する。よって、継ぎ手保持部７３ａ、７３ｂ、７４ａ、７４ｂに対して継ぎ手部材３３、３４を簡易に着脱できる。

以下、図面を参照して本発明の実施例３を説明する。
実施例３に係る基板処理装置１は実施例１と同じであるので、基板処理装置１の概要については説明を省略する。実施例３のフィルタ連結装置３１は、実施例１の配置切替部４０と異なる配置切替部８０を備えている。よって、以下では、配置切替部８０の構造について説明する。なお、実施例１と同じ構成については同符号を付すことで詳細な説明を省略する。

図１２は、フィルタ連結装置８０の斜視図である。配置切替部８０は、配置切替部４０から移動部４５を省略したものに相当する。すなわち、配置切替部８０は、ベースプレート４１とスロット４２、４３とを備えている。

ユーザーが、継ぎ手部材３３をスロット４２に沿って位置Ｐ１に移動させ、継ぎ手部材３４をスロット４３に沿って位置Ｑ１に移動させると、継ぎ手部材３３−３５の配置は第１配置となる。

継ぎ手部材３３−３５の配置を第１配置から第２配置に切り替えるときには、ユーザーが、継ぎ手部材３３を位置Ｐ１から位置Ｐ２に動かし、継ぎ手部材３４を位置Ｑ１から位置Ｑ２に動かす。これにより、継ぎ手部材３３−３５の配置が第２配置に切り替わる。

このように、実施例３に係るフィルタ連結装置３１によっても、配置切替部８０を備えているので、実施理例１と同様の効果を奏する。すなわち、フィルタ連結装置３１は、接続口２３−２５の配置が異なるフィルタ２１ａ、２１ｂとそれぞれ好適に連結できる。

配置切替部８０はスロット４２、４３を備えているので、継ぎ手部材３３−３５の配置を第１配置と第２配置との間で円滑に切り替えることができる。また、スロット４２は継ぎ手部材３３を位置Ｐ１、Ｐ２に容易に案内でき、スロット４３は継ぎ手部材３４を位置Ｑ１、Ｑ２に容易に案内できる。

以下、図面を参照して本発明の実施例４を説明する。実施例４に係る基板処理装置１は実施例１と同じであるので、基板処理装置１の概要については説明を省略する。実施例４のフィルタ連結装置３１は、配置切替部４０と異なる配置切替部８２を備えている。よって、以下では、配置切替部８２の構造について説明する。

図１３は、配置切替部８２の平面図である。配置切替部８２は、実施例３の配置切替部８０に、第１止め部８３と、第２止め部８４を加えたものである。すなわち、配置切替部８２は、ベースプレート４１とスロット４２、４３と第１止め部８３と第２止め部８４を備えている。

第１止め部８３は、継ぎ手部材３３を所定位置（例えば、位置Ｐ１、Ｐ２）で止める。具体的には、第１止め部８３は、スロット４２の内壁から出没可能に設けられている。第１止め部８３は、弾性体（バネ）等によって構成されている。継ぎ手部材３３は、第１止め部８３を押し下げることによって、第１止め部材８３を通過できる。継ぎ手部材３３が通過した後、第１止め部８３は、弾性体の復元力によって、溝部の内壁から再び突出する。よって、継ぎ手部材３３が一旦、位置Ｐ１、Ｐ２に収まると、第１止め部８３は、再び押し下げられるまで、継ぎ手部材３３を位置Ｐ１、Ｐ２に止めることができる。

第２止め部８４は、継ぎ手部材３４を所定位置（例えば、位置Ｑ１、Ｑ２）で止める。具体的には、第２止め部８４は、スロット４３の内壁から突出するように設けられている。出没可能に設けられている。一旦、継ぎ手部材３４が第２止め部８４を乗り越えて位置Ｑ１、Ｑ２に収まると、再び第２止め部８４を乗り越えるまで、継ぎ手部材３４は位置Ｑ１、Ｑ２に留め置かれる。

第１止め部８３および第２止め部８４は、本発明における止め部の例である。

このように、実施例４に係るフィルタ連結装置３１によっても、配置切替部８２を備えているので、実施理例１と同様の効果を奏する。すなわち、フィルタ連結装置３１は、接続口２３−２５の配置が異なるフィルタ２１ａ、２１ｂとそれぞれ好適に連結できる。

配置切替部８２は第１止め部８３を備えているので、継ぎ手部材３３を位置Ｐ１、Ｐ２に留めることができる。同様に、配置切替部８２は第２止め部８４を備えているので、継ぎ手部材３４を位置Ｑ１、Ｑ２に留めることができる。よって、継ぎ手部材３３が位置Ｐ１、Ｐ２からずれることを好適に防止でき、継ぎ手部材３４が位置Ｑ１、Ｑ２からずれることを好適に防止できる。その結果、継ぎ手部材３３−３５の配置を、第１配置および第２配置に保つことができる。

以下、図面を参照して本発明の実施例５を説明する。
実施例５に係る基板処理装置１は実施例１と同じであるので、基板処理装置１の概要については説明を省略する。実施例５のフィルタ連結装置３１は、実施例１の配置切替部４０と異なる配置切替部８５を備えている。よって、以下では、配置切替部８５の構造について説明する。

図１４は、配置切替部８５の平面図である。配置切替部８５は、ベースプレート８７と移動部８９を備えている。ベースプレート８７は、継ぎ手部材３５を所定位置に保持する。移動部８９は、継ぎ手部材３３、３４を支持し、かつ、継ぎ手部材３３、３４を移動する。

移動部８９は、継ぎ手部材３３を移動する第１移動部９０と、継ぎ手部材３４を移動する第２移動部９５とを有する。

第１移動部９０は、レール部９１と保持アーム部９２とストッパ９３、９４を備える。レール部９１は、ベースプレート８７に固定されている。レール部９１は、略水平方向に延びている。より具体的には、レール部９１は、位置Ｐ１と位置Ｐ２を結ぶ方向と平行な水平方向に延びている。保持アーム部９２は、レール部９１に摺動可能に取り付けられている。保持アーム部９２は、継ぎ手部材３３を保持する。継ぎ手部材３３が位置Ｐ１にあるとき、ストッパ９３は、保持アーム部９２と接触して、保持アーム部９２の摺動を止める。継ぎ手部材３３が位置Ｐ２にあるとき、ストッパ９４は保持アーム部９２を止める。このような第１移動部９０によって、継ぎ手部材３３は直線的に移動する。

第２移動部９５は、回転軸部９６と保持アーム部９７とストッパ９８、９９を備えている。回転軸部９６は、ベースプレート８７に連結されている。保持アーム部９７の基端部は、回転軸部９６に旋回可能に連結されている。保持アーム部９７の先端部は、継ぎ手部材３４を保持する。ストッパ９８は、継ぎ手部材３４が位置Ｑ１にあるときに保持アーム部９７と接触して、保持アーム部９７の旋回を止める。ストッパ９９は、継ぎ手部材３４が位置Ｑ２にあるときに保持アーム部９７を止める。このような第２移動部９５によって、継ぎ手部材３４は曲線的に移動する（旋回移動する）。

継ぎ手部材３３−３５を第１配置に切り替えるときには、保持アーム部９２をストッパ９３に当たるまで摺動させ、継ぎ手部材３３を位置Ｐ１に配置する。さらに、保持アーム部９７をストッパ９８に当たるまで旋回させ、継ぎ手部材３４を位置Ｑ１に配置する。これにより、フィルタ連結装置３１は第１フィルタ２１ａと好適に連結できる。

継ぎ手部材３３−３５を第２配置に切り替えるときには、保持アーム部９７をストッパ９９に当たるまで旋回させ、継ぎ手部材３４を位置Ｑ２に配置する。さらに、保持アーム部９２をストッパ９４に当たるまで摺動させ、継ぎ手部材３３を位置Ｐ２に配置する。これにより、フィルタ連結装置３１は第２フィルタ２１ｂと好適に連結できる。

このように、実施例５に係るフィルタ連結装置３１によっても、配置切替部８５を備えているので、実施理例１と同様の効果を奏する。すなわち、フィルタ連結装置３１は、接続口２３−２５の配置が異なるフィルタ２１ａ、２１ｂとそれぞれ好適に連結できる。

配置切替部８５は移動部８９を備えているので、継ぎ手部材３３、３４を容易に移動させることができる。よって、継ぎ手部材３３−３５の配置を第１配置と第２配置との間で容易に切り替えることができる。

また、移動部８９は継ぎ手部材３３、３４を支持するので、ベースプレート８７は継ぎ手部材３３、３４を支持する必要がない。また、配置切替部８５は、継ぎ手部材３３、３４を案内する構成（例えば、実施例１のスロット４２、４３）を備える必要がない。よって、ベースプレート８７の構造等を簡素化できる。

以下、図面を参照して本発明の実施例６を説明する。
実施例６に係る基板処理装置１は実施例１と同じであるので、基板処理装置１の概要については説明を省略する。実施例６のフィルタ連結装置３１は、配置切替部４０と異なる配置切替部１００を備えている。よって、以下では、配置切替部１００の構造について説明する。なお、実施例１と同じ構成については同符号を付すことで詳細な説明を省略する。

図１５は、配置切替部１００の平面図である。配置切替部１００は、移動部を動かすための操作部１０１を備えている。操作部１０１は、例えばダイヤル、ボタン、レバー等である。操作部１０１は、いわゆる操作ダイヤルである。具体的には、操作部１０１は、略水平な円盤形状を有する。操作部１０１は、略鉛直な軸芯Ｅ回りに回転可能にベースプレート４１に支持されている。操作部１０１は、ユーザーによって操作される。

操作部１０１は、伝達部１０３を介して移動部４５と連動連結されている。伝達部１０３は、ユーザーが操作部１０１に加えた力を移動部４５に伝達する。

伝達部１０３は、ギヤ機構、ベルト機構、リンク機構などの伝達機構によって構成される。本実施例６では、伝達部１０３は、ギヤ１０５、１０７とベルト１０９を備える。ギヤ１０５は、カム部材４７に固定され、軸芯Ａ回りに回転する。ギヤ１０７は、操作部１０１に固定され、軸芯Ｅ回りに回転する。ベルト１０９は、ギヤ１０５、１０７に巻かれている。

配置切替部１００は、移動部４５が継ぎ手部材３３、３４を移動させる動きを禁止する移動部用ロック部１１１を備えている。移動部用ロック部１１１は、操作部１０１に接離可能に設けられている。具体的には、移動部用ロック部１１１は、鉛直な軸芯Ｇ回りに回転可能に設けられており、操作部１０１の外周面と係合可能である。移動部用ロック部１１１は、例えば、操作部１０１と係合可能に構成されているラッチである。移動部用ロック部１１１が操作部１０１と係合しているとき、移動部用ロック部１１１は操作部１０１の動きを直接的に禁止し、移動部４５の動きを間接的に禁止する。移動部用ロック部１１１が操作部１０１から離れているとき、移動部用ロック部１１１は操作部１０１の動きを許容する。

継ぎ手部材３３−３５の配置を切り替えるときには、ユーザーは、移動部用ロック部１１１を操作部１０１から離した（外した）状態で、操作部１０１を操作する（回転する）。操作部１０１の操作に応じて、移動部４５が継ぎ手部材３３、３４を移動させる。継ぎ手部材３３−３５の配置を切り替えた後は、ユーザーは、移動部用ロック部１１１を操作部１０１に係合させる。これにより、移動部４５の動きを禁止し、継ぎ手部材３３−３５を配置を第１配置または第２配置に保つ。

このように、実施例５に係るフィルタ連結装置３１によっても、配置切替部１００を備えているので、実施理例１と同様の効果を奏する。すなわち、フィルタ連結装置３１は、接続口２３−２５の配置が異なるフィルタ２１ａ、２１ｂとそれぞれ好適に連結できる。

配置切替部１００は操作部１０１を備えているので、ユーザーは移動部４５を容易に操作できる。

配置切替部１００は、伝達部１０３を備えているので、ユーザー自身が操作部１０１に加えた力を移動部４５に作用させることができる。よって、フィルタ連結装置３１は、電動機器や油圧機器など、移動部４５を駆動するための動力源を別途に備えなくてもよい。

配置切替部１００は移動部用ロック部１１１を備えているので、継ぎ手部材３３ー３５を静止させることができる。例えば、継ぎ手部材３３が位置Ｐ１、Ｐ２からずれることを好適に防止でき、継ぎ手部材３４が位置Ｑ１、Ｑ２からずれることを好適に防止できる。よって、継ぎ手部材３３−３５の配置を、第１配置および第２配置に確実に保つことができる。また、ユーザーが操作部１０１を誤操作することを未然に防止できる。

本発明は、上記実施形態に限られることはなく、下記のように変形実施することができる。

（１）上述した各実施例では、継ぎ手部材３３−３５がフィルタ２１の接続口２３−２５と接続したが、これに限られない。例えば、一次側配管１１ａおよび二次側配管１１ｂの一端が直接的に接続口２３、２４に接続してもよい。具体的には、フィルタ連結装置３１は、一次側配管１１ａおよび二次側配管１１ｂの一端を保持、移動、または、案内する配置切替部を備えてもよい。本変形実施例の場合、一次側配管１１ａおよび二次側配管１１ｂの一端が、本発明における接続ポートの例である。

（２）上述した各実施例では、移動部４５、８９、９０、９５を駆動する動力源を備えていなかったが、これに限られない。すなわち、配置切替部は、移動部４５を駆動する動力源を備えてもよい。

（３）上述した各実施例の配置切替部４０、７０、８０、８２、８５、１００の構成を、さらに組み合わせてもよい。例えば、上述した各実施例の配置切替部は、さらに、実施例２で説明した継ぎ手保持部７３、７４を備えてもよい。同様に、各実施例の配置切替部は、実施例４の止め部８４、８５を備えてもよい。同様に、各実施例の配置切替部は、実施例６の操作部１０１および移動部用ロック部１１１の少なくともいずれかを備えてもよい。

（４）上述した実施例６の移動部用ロック部１１１は、操作部１０１と係合（接触）するものであったが、これに限られない。例えば、移動部用ロック部１１１は、移動部４５または伝達部１０３と係合（接触）して、移動部４５の動きを禁止してもよい。

（５）上述した各実施例では、配置切替部４０、７０、８０、８２、８５、１００が切り替え可能な配置は、２つ（具体的には第１配置と第２配置）であったが、これに限られない。例えば、３つ以上の配置の間で、継ぎ手部材３３−３５の配置を切り替えるように、配置切替部を変更してもよい。

（６）上述した各実施例では、第１配置と第２配置との間で位置が変わる継ぎ手部材は、２つ（具体的には、継ぎ手部材３３、３４）であったが、これに限られない。例えば、第１配置と第２配置との間で位置が変わる継ぎ手部材は、１つであってもよいし、３つ（すなわち、全ての継ぎ手部材）であってもよい。

（７）上述した各実施例では、フィルタ２１ａ、２１ｂはともに３つの接続口２３−２５を備えたが、これに限られない。フィルタ２１が、２つ、または、４つ以上の接続口を有してもよい。これに伴って、フィルタ連結装置が有する継ぎ手部材３３−３５の数を変更してもよい。これによって、フィルタ連結装置３１はそのようなフィルタ２１と好適に連結できる。

（８）上述した各実施例では、ピン部材５５がフィルタ支持部５０に固定され、昇降用溝部５９と第１ロック用溝部６０ａと第２ロック用溝部６０ｂがベース部に形成されていたが、これに限られない。昇降用溝部５９と第１ロック用溝部６０ａと第２ロック用溝部６０ｂをフィルタ支持部５０（例えば、アーム部５３）に形成し、ピン部材５５をベース部（例えば側壁部５７）に固定的に連結してもよい。

（９）上述した各実施例では、ロック用溝部は、２つの異なる高さに形成されていたが、これに限られない。ロック用溝部を、３つ以上の異なる高さに形成してもよい。

（１０）上述した各実施例では、フィルタ支持部５０はフィルタ２１を載置することによってフィルタ２１を支持したが、これに限られない。フィルタ支持部５０は、フィルタ２１を把持することによって、フィルタ２１を支持してもよい。

（１１）上述した各実施例では、スロット４２の両端縁４２ａ、４２ｂに接触する継ぎ手部材３３の位置が、第１配置および第２配置における位置Ｐ１、Ｐ２であったが、これに限られない。例えば、スロット４２の一端縁４２ａおよび他端縁４２ｂの一方のみが、第１配置および第２配置のいずれにおける継ぎ手部材３３の位置を規定してもよい。同様に、スロット４３についても変更可能である。

（１２）上述した各実施例および上記（１）から（１１）で説明した各変形実施例については、さらに各構成を他の変形実施例の構成に置換または組み合わせるなどして適宜に変更してもよい。

１ …基板処理装置
１１ …配管
２１、２１ａ、２１ｂ …フィルタ
２３ａ、２３ｂ、２４ａ、２４ｂ、２５ａ、２５ｂ …接続口
３１ …フィルタ連結装置
３３、３４、３５ …継ぎ手部材（接続ポート）
４０、７０、８０、８２、８５、１００ …配置切替部
４１ …ベースプレート（ベース部、保持部）
４２、４３ …スロット（案内部）
４２ａ、４２ｂ …スロット４２の一端縁、他端縁
４３ａ、４３ｂ …スロット４３の一端縁、他端縁
４５ …移動部
４６ …軸部材
４７ …カム部材
５０ …フィルタ支持部
５１ …フィルタ支持プレート
５３ …アーム部
５５ …ピン部材（昇降部）
５７ …側壁部（ベース部）
５８ …溝部
５９ …昇降用溝部（昇降部）
６０ａ …第１ロック用溝部（昇降用ロック部）
６０ｂ …第２ロック用溝部（昇降用ロック部）
７１ …ベースプレート（ベース部、保持部）
７３、７３ａ、７３ｂ、７４、７４ａ、７４ｂ …継ぎ手保持部（保持部）
８３ …第１止め部（止め部）
８４ …第２止め部（止め部）
８７ …ベースプレート（ベース部、保持部）
８９ …移動部
９０ …第１移動部
９５ …第２移動部
１０１ …操作部
１０３ …伝達部
１１１ …移動部用ロック部
Ｈ、Ｈａ、Ｈｂ…フィルタの高さ
ｈａ …フィルタ支持部５０の第１の高さ位置
ｈｂ …フィルタ支持部５０の第２の高さ位置
Ｐ１ …第１配置における継ぎ手部材３３の位置
Ｐ２ …第２配置における継ぎ手部材３３の位置
Ｑ１ …第１配置における継ぎ手部材３４の位置
Ｑ２ …第２配置における継ぎ手部材３４の位置
Ｗ …基板

Claims (12)

1. フィルタと連結するフィルタ連結装置であって、
   前記フィルタの複数の接続口と接続する複数の接続ポートと、
   前記複数の接続ポートの相対的な位置を変更することによって、前記複数の接続ポートの配置を、第１配置と第２配置との間で切り替える配置切替部を備え、
   前記複数の接続ポートが前記第１配置にあるとき、前記複数の接続ポートは第１フィルタの複数の接続口と接続可能であり、
   前記複数の接続ポートが前記第２配置にあるとき、前記複数の接続ポートは第２フィルタの複数の接続口と接続可能であり、
   前記第２フィルタの前記複数の接続口の配置は、前記第１フィルタの前記複数の接続口の配置と異なるフィルタ連結装置。
   
2. 請求項１に記載のフィルタ連結装置において、
   前記配置切替部は、少なくとも１つ以上の前記接続ポートを所定の位置で保持する保持部を備えているフィルタ連結装置。
3. 請求項１または２に記載のフィルタ連結装置において、
   前記配置切替部は、少なくとも１つ以上の前記接続ポートを移動させる移動部を備えるフィルタ連結装置。
4. 請求項３に記載のフィルタ連結装置において、
   前記移動部は、回転可能に設けられ、前記接続ポートと接触するカム部材を備えているフィルタ連結装置。
5. 請求項４に記載のフィルタ連結装置において、
   単一の前記カム部材が２つ以上の前記接続ポートを移動させるフィルタ連結装置。
6. 請求項３から５のいずれかに記載のフィルタ連結装置において、
   前記配置切替部は、前記移動部が前記接続ポートを移動させる動きを禁止する移動部用ロック部を備えるフィルタ連結装置。
7. 請求項３から６のいずれかに記載のフィルタ連結装置において、
   前記移動部に連動連結され、前記移動部を動かすための操作部を備えているフィルタ連結装置。
8. 請求項１から７のいずれかにフィルタ連結装置において、
   前記配置切替部は、少なくとも１つ以上の前記接続ポートを案内する案内部を備えるフィルタ連結装置。
9. 請求項８にフィルタ連結装置において、
   前記案内部の一端縁に接触する前記接続ポートの位置は、前記第１配置および前記第２配置のいずれかにおける前記接続ポートの位置であるフィルタ連結装置。
10. 請求項８または９に記載のフィルタ連結装置において、
    前記配置切替部は、前記案内部に取り付けられ、前記接続ポートを所定位置に止める止め部を備えるフィルタ連結装置。
11. 請求項１から１０のいずれかに記載のフィルタ連結装置において、
    前記フィルタを支持するフィルタ支持部と、
    前記フィルタ支持部を昇降させる昇降部と、
    前記フィルタ支持部が第１の高さ位置にあるとき、および、前記フィルタ支持部が第２の高さ位置にあるときにそれぞれ、前記フィルタ支持部が昇降する動きを禁止する昇降用ロック部と、
    を備えているフィルタ連結装置。
12. 請求項１から１１のいずれかに記載のフィルタ連結装置を備えている基板処理装置。
    
    

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