KR20090121147A - 매엽식 기판처리장치의 스핀척 장치 - Google Patents

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Abstract

매엽식 세정장치의 스핀척 장치는 웨이퍼를 지지하기 위한 지지면을 제공하는 척, 척에 대해 상대적인 회전이 가능한 회전 부재, 척의 상기 지지면으로부터 부분적으로 노출되도록 장착되며 회전 부재와 물리적으로 분리된 복수개의 척핀, 회전 부재에 회전을 전달하는 구동축 부재, 및 상기 회전 부재의 회전을 분리된 척핀으로 전달하는 캠 부재를 포함하며, 상기 캠 부재는 척핀과 일체로 형성되어 동일 축을 중심으로 회전하는 캠 몸체 및 상기 캠 몸체에 대해 일단이 연결되고 타단은 척에 대해 연결된 적어도 하나의 스프링을 포함하며, 캠 몸체는 회전 부재와 부분적으로 구속되어 회전 부재의 회전에 대응하여 선회하고, 적어도 하나의 스프링은 기본적으로 캠 몸체의 최초 위치를 탄성적으로 유지한다.
Figure P1020080047294
매엽식 세정장치, 싱글 웨이퍼, single wafer, 캠, 양방향

Description

매엽식 기판처리장치의 스핀척 장치{SPIN CHUCK DEVICE FOR SINGLE WAFER TREATING MACHINE}
본 발명은 스핀척 장치에 관한 것으로서, 보다 자세하게는, 매엽식 기판처리장치에서 스핀척의 회전과 웨이퍼 척핀 작동을 원활하게 할 수 있는 스핀척 장치 및 척핀 작동 방법에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 소자는 기판, 예를 들어, 실리콘 기판을 이용하여 증착, 사진 및 식각 공정 등을 반복 수행함으로써 제조될 수 있다. 공정들을 거치는 동안 기판 상에는 각종 파티클, 금속 불순물, 유기 불순물 등과 같은 오염 물질이 잔존할 수 있다. 오염 물질은 반도체 소자의 수율 및 신뢰성에 악영향을 미치기 때문에, 반도체 제조시에는 기판에 잔존하는 오염 물질을 제거하는 공정이 수행된다.
상기 공정을 위한 기판 처리 방식은 크게 건식 처리 방식 및 습식 처리 방식으로 구분될 수 있으며, 이 중에서 습식 처리 방식은 여러 가지 약액을 이용한 방식으로서, 복수의 기판을 동시에 처리하는 배치식(batch type) 장치와 낱장 단위로 기판을 처리하는 매엽식(single wafer type) 장치로 구분된다.
배치식 처리장치는 세정액이 수용된 세정조에 복수의 기판을 한꺼번에 침지 시켜서 오염원을 제거한다. 그러나, 기존의 배치식 처리장치는 기판의 대형화 추세에 대한 대응이 용이하지 않고, 세정액의 사용이 많다는 단점이 있다. 또한 배치식 처리장치에서 공정 중에 기판이 파손되는 경우에는 세정조 내에 있는 기판 전체에 영향을 미치게 되므로 다량의 기판 불량이 발생할 수 있는 위험이 있었다.
상기와 같은 이유들로 인해 최근에는 매엽식 처리장치가 선호되고 있다.
매엽식 처리장치는 낱장의 기판 단위로 처리하는 방식으로서, 고속으로 회전시킨 기판 표면에 세정액 또는 건조가스를 분사함으로써, 기판의 회전에 의한 원심력과 세정액의 분사에 따른 압력을 이용하여 오염원을 제거하는 스핀 방식(spinning method)으로 세정이 진행된다.
통상적으로 매엽식 처리장치는 기판이 수용되어 세정 공정이 수행되는 챔버와 기판을 고정시킨 상태로 회전하는 스핀척 및 기판에 약액과 린스액 및 건조가스 등을 포함하는 세정액을 공급하기 위한 노즐 어셈블리를 포함한다.
도 1은 종래의 스핀척을 설명하기 위한 사시도이며, 도 2는 종래의 스핀척에서 척핀을 설명하기 위한 사시도이다.
도 1을 참조하면, 스핀척(10)은 상부 및 하부 몸체를 포함하여 구성된다. 하부 몸체는 하부의 모터 및 승강장치와 연결되어 회전 및 승강할 수 있으며, 상부 몸체는 하부 몸체와 일체로 연결되며 기판을 고정시킬 수 있는 지지면을 제공한다.
스핀척(10)은 상부 몸체와 하부 몸체 사이에 제공되는 링 기어(14) 및 상부 몸체를 통해서 지지면의 주변에 배치되는 척핀(20)을 포함한다. 링 기어(14)와 척핀(20)은 치합 또는 마찰에 의해서 상호 맞물려 있으며, 링 기어(14)의 회전이 척 핀(20)을 회전시켜 기판의 테두리를 선택적으로 고정시킬 수 있다. 도 2를 참조하면, 척핀(20)은 링 기어(14)와 치합되는 하부 기어부(22) 및 척 상판으로부터 노출되어 기판을 고정하는 상부 편심부(24)를 포함하며, 척핀(20)의 하부 기어부(22)는 링 기어(14)와 치합되어 상호 회전할 수 있다.
구체적으로, 스핀척(10)은 링 기어(14)를 움직이게 하기 위한 캠 장치를 포함하며, 캠 장치는 링 기어(14)의 바퀴살(spoke)과 접하는 캠(30)을 포함한다. 캠(30)이 링 기어(14)를 일 방향 회전시키면, 링 기어(14)의 테두리에 형성된 기어(18)와 치합된 척핀(20)이 회전하여 언척(unchuck) 상태로 전환될 수 있다.
이때 링 기어(14)를 원래 위치로 복귀시키기 위해서, 캠(30)이 다시 반대방향으로 회전하면, 스프링(16)의 복원력에 의해 척핀(20)이 반대 방향으로 회전하여 다시 원위치인 척(chuck) 상태로 전환될 수 있다.
이와 같이, 종래에는 척핀(20)을 작동시키기 위해서 캠(30)이 사용되고 있으며, 스핀척(10)을 회전시키기 위한 모터는 캠(30)과는 별도로 중심 샤프트를 통해 스핀척(10)의 하부 몸체와 연결되어 있다. 따라서 스핀척(10)은 캠(30)을 작동하기 위한 구동장치 외에 중심 샤프트와 연결되는 별도의 구동장치를 포함한다.
또한, 스프링(16)에 의해서 링 기어(14)가 캠(30)에 밀착된 상태로 있기 때문에 스핀척(10)은 반시계 방향으로만 회전하여야 한다. 왜냐하면, 스핀척(10)이 시계 방향으로 회전하게 되면, 관성 등에 의해서 링 기어(14)가 스핀척(10)에 대해 반시계 방향으로 이동할 수 있으며, 이 과정에서 척핀(20)이 회전하여 웨이퍼가 스핀척(10)으로부터 분리될 수 있기 때문이다.
본 발명은 회전 방향과 무관하게 스핀척의 웨이퍼를 처리할 수 있는 매엽식 세정장치의 스핀척 장치를 제공한다.
본 발명은 하나의 구동장치로 중심 샤프트 회전 및 척핀 작동을 제어할 수 있는 매엽식 세정장치의 스핀척 장치를 제공한다.
본 발명은 회전 부재와 척 간의 간단한 구조 개선을 통해서 중심 샤프트 회전 및 척핀의 선택적 작동을 제어할 수 있는 매엽식 세정장치의 스핀척 장치를 제공한다.
본 발명의 예시적인 일 실시예에 따르면, 스핀척 장치는 웨이퍼를 지지하기 위한 지지면을 제공하는 척, 척에 대해 상대적인 회전이 가능한 회전 부재, 척의 지지면으로부터 부분적으로 노출되도록 장착되며 회전 부재와 물리적으로 분리된 복수개의 척핀, 회전 부재에 회전을 전달하는 구동축 부재, 및 상기 회전 부재의 회전을 분리된 척핀으로 전달하는 캠 부재를 포함한다. 상기 캠 부재는 척핀과 일체로 형성되어 동일 축을 중심으로 회전하는 캠 몸체 및 상기 캠 몸체에 대해 일단이 연결되고 타단은 척에 대해 연결된 적어도 하나의 스프링을 포함하며, 캠 몸체는 회전 부재와 부분적으로 구속되어 회전 부재의 회전에 대응하여 선회하고, 적어도 하나의 스프링은 기본적으로 캠 몸체의 최초 위치를 탄성적으로 유지한다.
구동축 부재가 회전을 하면, 회전 부재가 먼저 회전하게 되고, 회전 부재와 기능적으로 연결된 캠 부재가 회전 부재의 이동을 척핀으로 전달한다. 그 결과 회전 부재와 연결된 복수개의 척핀이 동시에 언척(unchuck) 상태에서 척(chuck) 상태로 전환될 수 있다. 또한, 구동축 부재가 정지하게 되면 자동적으로 복수개의 척핀이 척 상태에서 언척 상태로 전환된다. 역시 반대로 회전한다고 해도, 웨이퍼를 고정하도록 척핀이 작동될 것이며, 구동축 부재가 회전하는 동안 척핀은 안전하게 척 상태를 유지할 수가 있다.
회전 부재에 의한 척핀의 회전 각도를 명확하게 한정하기 위해, 회전 부재는 스포크(spoke)를 포함할 수 있으며, 스포크에 대응하여 척은 스포크의 양측에 대응하는 걸림턱을 제공할 수 있다.
척핀의 작동 및 구동축 부재의 회전이 하나의 구동장치에 의해서 작동될 수 있으며, 척핀을 작동하기 위한 별도의 장치가 생략될 수 있어 스핀척의 내부 구성을 더욱 간단하게 형성할 수가 있다.
복수개의 척핀과 회전 부재를 기능적으로 연결하는 캠 부재는, 캠 몸체 및 적어도 하나의 스프링을 포함할 수 있다. 적어도 하나의 스프링은 구동축 부재가 회전하지 않는 경우, 캠 몸체가 최초 위치를 유지하도록 하며, 구동축 부재가 회전하게 됨으로써 비로소 캠 몸체를 선회하게 하고, 캠 몸체가 선회하면서 척핀이 웨이퍼를 고정시킬 수 있는 자세로 회전하게 할 수 있다.
본 발명의 스핀척 장치는 회전 방향에 구애를 받지 않으며, 양 방향으로 회전시켜도 웨이퍼를 안정적으로 고정할 수 있으며, 세정 과정을 정상적으로 수행할 수 있다.
또한, 본 발명의 스핀척 장치는 하나의 구동장치로 구동축 부재의 회전 및 척핀 작동을 제어할 수 있으며, 캠과 같은 별도의 장치를 사용하지 않고도 구동축 부재의 회전 방향으로 척 상태 및 언척 상태를 전환할 수 있다.
이하 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명하지만, 본 발명이 실시예에 의해 제한되거나 한정되는 것은 아니다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 스핀척 장치를 설명하기 위한 단면도이며, 도 4는 도 3의 스핀척 장치의 작동 메커니즘을 설명하기 위해 평면에서 도시한 도면이다.
도 3 및 도 4를 참조하면, 본 실시예에 따른 스핀척 장치(100)는 척(110), 회전 부재(120), 척핀(130), 구동축 부재(140), 외부 축 하우징(150), 내부 공급관(155) 및 브레이크(160)를 포함한다.
척(110)은 구동축 부재(140) 상에 장착되며, 척 상판(112) 및 척 하판(114)을 포함한다. 척 상판(112) 및 척 하판(114)는 상하 조립되어 일체로 연결되며, 척 하판(114)은 회전 부재(120)를 통해 구동축 부재(140)와 결속되어 구동축 부재(140)와 함께 회전할 수가 있다.
척 하판(114)에는 회전 부재(120)의 스포크(124) 주변으로 걸림턱(118, 119)이 형성되어 있다. 따라서 회전 부재(120)가 회전하여 스포크(124)가 걸림턱(118, 119)와 접한 상태가 되면, 스포크(124)의 지지를 받아 척(110)이 회전할 수 있다 (도 4의 (b)참조).
구동축 부재(140)는 하부의 모터(미도시)를 포함하며, 모터의 회전력은 구동축 부재(140)의 중심 샤프트(142)를 통해 척(110)으로 전달될 수 있다. 구체적으로 중심 샤프트(142)는 중공형으로 형성되며, 외부로는 축 하우징(150)에 의해서 수용되며, 내부로는 내부 공급관(155)이 제공된다.
축 하우징(150)과 중심 샤프트(142) 사이에는 베어링(144)이 제공될 수 있으며, 베어링(144)에 의해서 중심 샤프트(142)는 축 하우징(150)의 중심축을 중심으로 안정적으로 회전할 수 있다. 또한, 중심 샤프트(142)의 내부로 내부 공급관(155)이 제공될 수 있다. 내부 공급관(155)은 웨이퍼(W)의 저면으로 필요한 약액 또는 순수(DI-water)를 제공할 수 있으며, 외부의 약액 공급부 또는 순수 공급부와 연결될 수 있다.
척(100)의 척 상판(112) 및 척 하판(114) 사이로 회전 부재(120)가 제공될 수 있다. 회전 부재(120)는 도 1에 도시된 바와 같이 형성될 수도 있으며, 다양한 방식으로 형성될 수가 있다.
회전 부재(120)와 척핀(130)은 캠 부재(170)에 의해서 기능적으로 연결될 수 있다. 구체적으로, 캠 부재(170)는 캠 몸체(172), 제1 스프링(174) 및 제2 스프링(176)을 포함한다. 캠 몸체(172)는 척핀(130)에 대해 직간접적으로 일체로 형성되어 동일 축을 중심으로 회전할 수 있으며, 회전 부재(120)의 회전은 척핀(130)으로 전달되어 척핀(130)을 회전시킬 수 있다. 본 실시예에서는 캠 몸체(172)에 회전 부재(120)에서 구속되는 부위에 대응하여 형성되는 장공 또는 슬릿(173)이 형성되 며, 회전 부재(120)에는 슬릿(173)에 대응하는 구속돌기(122)를 포함한다.
스포크(124) 및 걸림턱(118, 119)에 의해서 회전 부재(120)는 소정의 각도 범위 내에서 회전할 수 있으며, 상기 각도 범위 내에서 구속돌기(122)와 슬릿(173)은 상호 결속된 관계를 유지할 수가 있다. 또한, 제1 스프링(174) 및 제2 스프링(176)은 상호 교차된 위치로 최초 위치의 척핀(130) 또는 캠 몸체(172)과 결속되어 있으며, 제1 및 제2 스프링(174, 176)에 의해서 최초 위치(도 4의 (a))에서 벗어난 캠 부재(170)는 원 위치로 복귀할 수 있다. 본 실시예에서는 2개의 스프링이 서로 대칭을 이루며 교차하도록 제공되지만, 다른 실시예에 따르면 하나의 스프링이 사용될 수도 있다. 또한, 2개의 스프링이 서로 교차하도록 배치되는 것 외에도, 스프링이 서로 반대측에서 마주하도록 연결될 수도 있으며, 양 스프링 간의 균형을 형성할 수가 있다.
척핀(130)은 상부 편심부(134) 및 하부 축심부(132)를 포함하며, 하부 축심부(132)는 상부 편심부(134)와 일체 또는 별개로 형성될 수가 있다. 하부 축심부(132)는 캠 부재(170)와 일체로 연결되어 함께 회전할 수 있으며, 상부 편심부(134)는 하부 축심부(132)와 일체로 회전하면서 상부 편심부(134)의 편심된 구조는 안쪽 또는 바깥쪽으로 이동할 수 있으며, 상부 편심부(134)는 웨이퍼(W)의 테두리를 선택적으로 고정할 수가 있다.
도 3을 보면, 좌측에 도시된 척핀(130)에서 상부 편심부가 안쪽으로 이동하여 웨이퍼를 고정할 수 있는 위치에 있으며, 우측에 도시된 척핀(130)에서 상부 편심부는 바깥쪽으로 이동하여 웨이퍼를 장착 또는 분리할 수 있는 위치에 있다. 물 론, 도시된 바와는 다르게, 복수개의 척핀은 동시에 안쪽으로 이동하거나 동시에 바깥쪽으로 이동하도록 설계되는 것이 일반적이다.
다시 도 3 및 도 4를 보면, 본 실시예에 따른 회전 부재(120)는 최초 위치(a)에서 양방향으로 회전할 수가 있으며, 양방향 중 어느 한 방향의 회전을 통해 웨이퍼 고정과 척의 회전을 동시에 수행할 수가 있다.
일 예로, 구동축 부재(140)가 평면을 기준으로 반시계 방향으로 회전할 수가 있다. 이때 회전 부재(120)는 구동축 부재(140)와 함께 반시계 방향으로 회전하게 되며, 회전 부재(120)의 구속돌기(122)와 결속된 캠 부재(170)는 척핀(130)을 중심으로 시계 방향으로 회전할 수 있다. 이 과정을 통해서 척핀(130)의 상부 편심부가 웨이퍼를 고정하게 되며, 걸림턱(118)에 지지된 회전 부재(120)와 척(110)은 함께 회전할 수 있다(도 4의 (b) 참조).
다른 예로, 구동축 부재(140)가 평면을 기준으로 시계 방향으로 회전할 수가 있다. 이때 회전 부재(120)는 구동축 부재(140)와 함께 시계 방향으로 회전하게 되며, 회전 부재(120)의 구속돌기(122)와 결속된 캠 부재(170)는 척핀(130)을 중심으로 반시계 방향으로 회전할 수 있다. 이 과정을 통해서 척핀(130)의 상부 편심부가 웨이퍼를 고정하게 되며, 걸림턱(119)에 지지된 회전 부재(120)와 척(110)은 함께 회전할 수 있다(도 4의 (c)참조).
구동축 부재(140)가 정지하게 되면, 상부 편심부에 의한 척핀(130)의 느슨하게 되면서, 척핀(130)으로부터 웨이퍼가 해제 가능한 상태로 된다. 즉, 척(110)의 회전 이전에 회전 부재(120)에 의해서 척핀(130)은 웨이퍼를 고정하게 되고, 척(110)의 회전이 정지된 후 척핀(130)의 캠 부재(170)의 스프링(174, 176)에 의해 원 위치로 복귀하면서 웨이퍼가 해제될 수 있다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 스핀척 장치 및 그 작동 메커니즘을 설명하기 위한 평면도이다.
도 5를 참조하면, 본 실시예에 따른 스핀척 장치는 척, 회전 부재(220), 척핀(230) 및 구동축 부재를 포함한다. 기본적으로 척, 회전 부재(220), 척핀(230) 및 구동축 부재에 관한 설명은 이전 실시예의 설명을 참조할 수 있다.
척 하판에는 회전 부재(220)의 스포크(224) 주변으로 걸림턱(218, 219)이 형성되어 있다. 따라서 회전 부재(220)가 회전하여 스포크(224)가 걸림턱(218, 219)와 접한 상태가 되면, 스포크(224)의 지지를 받아 척이 회전할 수 있다.
회전 부재(220)와 척핀(230)은 캠 부재(270)에 의해서 기능적으로 연결될 수 있다. 구체적으로, 캠 부재(270)는 캠 몸체(272), 제1 스프링(274) 및 제2 스프링(276)을 포함한다. 척핀(230)은 회전 부재(220)의 최외곽보다 안쪽에 위치할 수 있으며, 캠 몸체(272)는 안쪽의 척핀(230)과 바깥쪽의 회전 부재(220)를 기능적으로 연결할 수 있다.
회전 부재(220)의 회전은 척핀(230)으로 전달되어 척핀(230)을 회전시킬 수 있다. 본 실시예에서는 캠 몸체(272)에 회전 부재(220)에서 구속되는 부위에 대응하여 형성되는 장공(273)이 형성되며, 회전 부재(220)에는 장공(273)에 대응하는 구속돌기(222)가 형성된다.
제1 스프링(274) 및 제2 스프링(276)은 상호 교차된 위치로 최초 위치의 척 핀(230) 또는 캠 몸체(272)과 결속되어 있으며, 제1 및 제2 스프링(274, 276)에 의해서 캠 부재(270)는 최초 위치에서 벗어난 위치(도 5의 (b))로부터 원 위치(도 5의 (a))로 복귀할 수 있다.
도 5를 보면, 본 실시예에 따른 회전 부재(220)는 최초 위치(a)에서 양방향으로 회전할 수가 있으며, 양방향 중 어느 한 방향의 회전을 통해 웨이퍼 고정과 척의 회전을 동시에 수행할 수가 있다.
일 예로, 구동축 부재가 평면을 기준으로 반시계 방향으로 회전할 수가 있으며, 회전 부재(220)는 캠 부재(270) 및 척핀(230)이 반시계 방향으로 회전하도록 할 수 있고, 척핀(230)의 상부 편심부가 웨이퍼를 고정하게 된다.
구동축 부재가 정지하게 되면, 상부 편심부에 의한 척핀(230)이 느슨하게 되면서 척핀(230)으로부터 웨이퍼가 해제 가능한 상태로 된다. 즉, 척의 회전 이전에 회전 부재(220)에 의해서 척핀(230)은 웨이퍼를 고정하게 되고, 척(210)의 회전이 정지된 후 척핀(230)의 캠 부재(270)의 스프링(274, 276)에 의해 원 위치로 복귀하면서 웨이퍼가 해제될 수 있다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 스핀척 장치 및 그 작동 메커니즘을 설명하기 위한 평면도이다.
도 6을 참조하면, 본 실시예에 따른 스핀척 장치에서 척핀(330) 및 캠 부재(370)는 회전 부재(320)의 최외곽보다 바깥쪽에 위치한다. 구체적으로, 척 하판에는 회전 부재(320)의 스포크(324) 주변으로 걸림턱(318, 319)이 형성되어 있으며, 회전 부재(320)가 회전하여 스포크(324)가 걸림턱(318, 319)와 접한 상태가 되 면 스포크(324)의 지지를 받아 척이 회전할 수 있다.
회전 부재(320)와 척핀(330)은 캠 부재(370)에 의해서 기능적으로 연결되어 있으며, 회전 부재(320)의 회전은 캠 부재(370)를 통해 척핀(330)으로 전달되어 척핀(330)을 회전시킬 수 있다. 본 실시예에서는 캠 몸체(372)에 회전 부재(320)에서 구속되는 부위에 대응하여 형성되는 장공이 형성되며, 회전 부재(320)에는 장공에 대응하는 구속돌기(322)가 형성된다.
제1 스프링(374) 및 제2 스프링(376)은 상호 교차된 위치로 최초 위치의 척핀(330) 또는 캠 몸체(372)과 결속되어 있으며, 제1 및 제2 스프링(374, 376)에 의해서 캠 부재(370)는 최초 위치(a)에서 일정 각도 회전한 위치(b)로 벗어났다가, 다시 벗어난 위치(b)에서 원 위치(a)로 복귀할 수 있다.
본 실시예에 따른 회전 부재(320) 역시 최초 위치(a)에서 양방향으로 회전할 수가 있으며, 양방향 중 어느 한 방향의 회전을 통해 웨이퍼 고정과 척의 회전을 동시에 수행할 수가 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만 해당 기술분야의 숙련된 당업자라면 하기의 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
도 1은 종래의 스핀척을 설명하기 위한 사시도이다.
도 2는 종래의 스핀척에서 척핀을 설명하기 위한 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 스핀척 장치를 설명하기 위한 단면도이다.
도 4는 도 3의 스핀척 장치의 작동 메커니즘을 설명하기 위해 평면에서 도시한 도면이다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 스핀척 장치 및 그 작동 메커니즘을 설명하기 위한 평면도이다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 스핀척 장치 및 그 작동 메커니즘을 설명하기 위한 평면도이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
100：스핀척 장치 110：척
120：회전 부재 130：척핀
140：구동축 부재 150：축 하우징
155：내부 공급관

Claims (5)

  1. 웨이퍼를 지지하기 위한 지지면을 제공하는 척;
    상기 척에 대해 상대적인 회전이 가능한 회전 부재;
    상기 척의 상기 지지면으로부터 부분적으로 노출되도록 장착되며, 상기 회전 부재와 물리적으로 분리된 복수개의 척핀;
    상기 회전 부재에 회전을 전달하는 구동축 부재; 및
    상기 척핀과 일체로 형성되어 동일 축을 중심으로 회전하는 캠 몸체 및 상기 캠 몸체에 대해 일단이 연결되고 타단은 상기 척에 대해 연결된 적어도 하나의 스프링을 포함하며, 상기 캠 몸체는 상기 회전 부재와 부분적으로 구속되어 상기 회전 부재의 회전에 대응하여 선회하고, 상기 적어도 하나의 스프링은 기본적으로 상기 캠 몸체의 최초 위치를 탄성적으로 유지하는 캠 부재;
    를 구비하는 스핀척 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 캠 몸체는 상기 회전 부재에서 구속되는 부위에 대응하여 형성되는 장공 또는 슬릿을 포함하며, 상기 회전 부재는 상기 장공 또는 슬릿에 대응하는 구속돌기를 포함하는 것을 특징으로 하는 스핀척 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 회전 부재는 스포크를 포함하며, 상기 척은 상기 스포크의 양측에 대응하는 걸림턱을 제공하는 것을 특징으로 하는 스핀척 장치
  4. 제1항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 스프링은 제1 스프링 및 제2 스프링을 포함하여 구성되며, 상기 제1 및 제2 스프링은 상기 캠 몸체에 대해 상호 대칭을 이루도록 연결되어 상기 캠 몸체의 최초 위치를 탄성적으로 유지하는 캠 부재;
  5. 제4항에 있어서,
    상기 제1 및 제2 스프링은 연결된 상기 캠 몸체 또는 상기 척핀에 대해 교차한 상태 또는 마주한 상태로 연결되는 것을 특징으로 하는 스핀척 장치.
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