TWI641761B - 流體壓力缸 - Google Patents

流體壓力缸 Download PDF

Info

Publication number
TWI641761B
TWI641761B TW106131936A TW106131936A TWI641761B TW I641761 B TWI641761 B TW I641761B TW 106131936 A TW106131936 A TW 106131936A TW 106131936 A TW106131936 A TW 106131936A TW I641761 B TWI641761 B TW I641761B
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
cylinder chamber
storage tank
switching valve
fluid pressure
cylinder
Prior art date
Application number
TW106131936A
Other languages
English (en)
Other versions
TW201816287A (zh
Inventor
高桑洋二
朝原浩之
門田謙吾
岩本亜希
新庄直樹
染谷和孝
風間晶
Original Assignee
日商Ｓｍｃ股份有限公司
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 日商Ｓｍｃ股份有限公司 filed Critical 日商Ｓｍｃ股份有限公司
Publication of TW201816287A publication Critical patent/TW201816287A/zh
Application granted granted Critical
Publication of TWI641761B publication Critical patent/TWI641761B/zh

Links

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B11/00—Servomotor systems without provision for follow-up action; Circuits therefor
    • F15B11/06—Servomotor systems without provision for follow-up action; Circuits therefor involving features specific to the use of a compressible medium, e.g. air, steam
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B11/00—Servomotor systems without provision for follow-up action; Circuits therefor
    • F15B11/02—Systems essentially incorporating special features for controlling the speed or actuating force of an output member
    • F15B11/024—Systems essentially incorporating special features for controlling the speed or actuating force of an output member by means of differential connection of the servomotor lines, e.g. regenerative circuits
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B15/00—Fluid-actuated devices for displacing a member from one position to another; Gearing associated therewith
    • F15B15/20—Other details, e.g. assembly with regulating devices
    • F15B15/202—Externally-operated valves mounted in or on the actuator
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B11/00—Servomotor systems without provision for follow-up action; Circuits therefor
    • F15B11/06—Servomotor systems without provision for follow-up action; Circuits therefor involving features specific to the use of a compressible medium, e.g. air, steam
    • F15B11/064—Servomotor systems without provision for follow-up action; Circuits therefor involving features specific to the use of a compressible medium, e.g. air, steam with devices for saving the compressible medium
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B2211/00—Circuits for servomotor systems
    • F15B2211/20—Fluid pressure source, e.g. accumulator or variable axial piston pump
    • F15B2211/21—Systems with pressure sources other than pumps, e.g. with a pyrotechnical charge
    • F15B2211/212—Systems with pressure sources other than pumps, e.g. with a pyrotechnical charge the pressure sources being accumulators
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B2211/00—Circuits for servomotor systems
    • F15B2211/30—Directional control
    • F15B2211/305—Directional control characterised by the type of valves
    • F15B2211/3056—Assemblies of multiple valves
    • F15B2211/30565—Assemblies of multiple valves having multiple valves for a single output member, e.g. for creating higher valve function by use of multiple valves like two 2/2-valves replacing a 5/3-valve
    • F15B2211/3058—Assemblies of multiple valves having multiple valves for a single output member, e.g. for creating higher valve function by use of multiple valves like two 2/2-valves replacing a 5/3-valve having additional valves for interconnecting the fluid chambers of a double-acting actuator, e.g. for regeneration mode or for floating mode
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B2211/00—Circuits for servomotor systems
    • F15B2211/30—Directional control
    • F15B2211/31—Directional control characterised by the positions of the valve element
    • F15B2211/3122—Special positions other than the pump port being connected to working ports or the working ports being connected to the return line
    • F15B2211/3133—Regenerative position connecting the working ports or connecting the working ports to the pump, e.g. for high-speed approach stroke
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B2211/00—Circuits for servomotor systems
    • F15B2211/40—Flow control
    • F15B2211/415—Flow control characterised by the connections of the flow control means in the circuit
    • F15B2211/41527—Flow control characterised by the connections of the flow control means in the circuit being connected to an output member and a directional control valve
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B2211/00—Circuits for servomotor systems
    • F15B2211/70—Output members, e.g. hydraulic motors or cylinders or control therefor
    • F15B2211/705—Output members, e.g. hydraulic motors or cylinders or control therefor characterised by the type of output members or actuators
    • F15B2211/7051—Linear output members
    • F15B2211/7053—Double-acting output members
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B2211/00—Circuits for servomotor systems
    • F15B2211/80—Other types of control related to particular problems or conditions
    • F15B2211/885—Control specific to the type of fluid, e.g. specific to magnetorheological fluid
    • F15B2211/8855—Compressible fluids, e.g. specific to pneumatics

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Fluid-Pressure Circuits (AREA)
  • Actuator (AREA)
  • Supply Devices, Intensifiers, Converters, And Telemotors (AREA)
  • Valve-Gear Or Valve Arrangements (AREA)
  • Valve Device For Special Equipments (AREA)

Abstract

流體壓力缸(20,20A,120,120A)的缸本體(36,136)包含：切換閥(24,124)；止回閥(30,130)；流路(60,62,64,68,80)，當切換閥(24,124)在第一位置時使頭側缸室(42,142)與高壓空氣供給源(26,126)連通及使桿側缸室(44,144)與排氣口(28,128)連通；以及流路(60,62,64,72,74,80)，當切換閥(24,124)在第二位置時使頭側缸室(42,142)與桿側缸室(44,144)及排氣口(28,128)連通。

Description

流體壓力缸
本發明係關於流體壓力缸。詳言之，本發明係關於在流體壓力缸內往復移動之活塞的返回行程中無需很大的驅動力之雙動流體壓力缸(double acting fluid pressure cylinder)。
先前已知靠氣壓驅動之雙動致動器(actuator)的驅動裝置在前進(驅動)行程時需要較大的輸出而在返回行程時並不需要較大的輸出(參見日本實公平2-002965號公報)。
如第16圖所示，此種致動器驅動裝置在活塞2的回程期間將從雙動缸裝置1的驅動側壓力室3排出的排出空氣的一部分回收蓄積在蓄壓器(accumulator)12中，且將此一部分的排出空氣用作為雙動缸裝置1的回程動力。詳言之，當切換閥5切換到第16圖所示的狀態時，會使得驅動側壓力室3中的高壓排出空氣通過回收閥(recovery valve)10的回收口10b而蓄積在蓄壓器12中。當排出空氣的壓力降低使得排出空氣的壓力與蓄壓器中的壓力間的壓力差變小時，驅動側壓力室3中的剩餘空氣就 從回收閥10的排氣口10c排放到大氣，同時蓄壓器12中蓄積的壓力空氣流入回動側壓力室4。
上述的致動器驅動裝置具有下列問題：即使切換了切換閥5，也要等到排出氣體的壓力與蓄壓器中的壓力間的壓力差變小，驅動側壓力室3中的高壓空氣才會排放到大氣，因此要得到使雙動缸裝置1回動所需的推力要等較長的時間；以及，回收閥10必須採用複雜結構，才能使得當排出空氣的壓力與蓄壓器中的壓力間的壓力差大時將流入口10a與回收口10b連接，當排出空氣的壓力與蓄壓器中的壓力間的壓力差小時將流入口10a與排氣口10c連接。此外，還有以下問題：另外需要額外的管線將回收閥10等與雙動缸裝置1連接，這使得致動器驅動裝置整體會變大。
本發明係有鑑於上述問題而完成者。本發明的一個目的在藉由再利用排放壓力來使流體壓力缸的活塞返回而節省能量、以及儘可能地縮短使活塞返回所需的時間。本發明的另一個目的在藉由再利用排放壓力而簡化使流體壓力缸的活塞往復運動所需的回路、以及使包含該回路之流體壓力缸小型化。
根據本發明之流體壓力缸係包含缸本體之雙動流體壓力缸，該缸本體中有活塞往復運動，且該缸本體包含：包含有排放口之切換閥、供給止回閥(supply check valve)、當該切換閥在第一位置時使一缸室與流體供給源連 通及使另一缸室與至少該排放口連通之流路、以及當該切換閥在第二位置時使該一缸室通過該供給止回閥與該另一缸室連通及使該一缸室與至少該排放口連通之流路。
本流體壓力缸係將該一缸室中蓄積的流體供給至該另一缸室，同時將流體排出到外部。因此，該另一缸室內的流體壓力會增大而該一缸室內的流體壓力則會急速減小。因而，可儘可能縮短使流體壓力缸的活塞返回所需的時間。而且，不需要複雜結構的回收閥，只須採用例如供給止回閥之簡單的回路組構。因而，可簡化使流體壓力缸的活塞返回之回路。再者，缸本體設有：包含排放口之切換閥、供給止回閥、及藉由再利用排出壓力使流體壓力缸的活塞返回之流路。因此，可使缸本體與切換閥形成為一體而實質地使流體壓力缸小型化。
在上述流體壓力缸中，該切換閥最好配置在該一缸室的上部及在該一缸室與該另一缸室的側邊。如此，可縮短連接該切換閥與該一缸室之流路。因此，可使流體壓力缸更加小型化。
在上述流體壓力缸中，最好在該另一缸室與該切換閥之間配置有第一儲槽(first tank)。如此，可將從該一缸室排出的流體蓄積在與該另一缸室連接之第一儲槽中，而在返回行程中當該另一缸室的容積增大時儘可能地防止流體壓力降低。
在上述流體壓力缸中，該第一儲槽最好配置在該另一缸室的上部或在該切換閥的下部。如此，可縮短 連接該第一儲槽與該另一缸室之流路，而可使流體壓力缸更加小型化。
該第一儲槽的容積係大致為該一缸室的變動容積的最大值的一半。如此，可達成在將該一缸室中蓄積的流體供給至該另一缸室時使該另一缸室的流體壓力快速增大之功能與在該另一缸室的容積增大時防止流體壓力降低之功能之間的適當的平衡。
在上述流體壓力缸中，最好在該排放口配置有節流閥(throttle valve)。如此，可限制排出到外部之流體的量而充分地節省能量。
該節流閥最好為可變節流閥(variable throttle valve)。如此，可調整蓄積在該一缸室內而供給至該另一缸室之流體的量、與蓄積在該一缸室內而排放到外部之流體的量之比率。
在上述流體壓力缸中，最好再設置第二儲槽與該節流閥相並聯而連接至該切換閥。在此情況，當切換閥在第一位置時，該另一缸室會通過該切換閥而與該節流閥及該第二儲槽連通。當切換閥在第二位置時，該一缸室會通過該供給止回閥及該切換閥而與該另一缸室連通，以及會通過該切換閥與該節流閥及該第二儲槽連通。
因此，會使得從排放口排出到外部之流體的一部分蓄積至第二儲槽，所以可在流體的消耗量上減少蓄積至第二儲槽之流體的份量。因而，可更加節省流體壓力缸的能量。
在此情況，在該切換閥與該第二儲槽之間配置蓄壓止回閥(pressure accumulator check valve)，可防止已蓄積在該第二儲槽之流體通過該排放口而排出到外部。
最好再配置第一流體供給機構，該第一流體供給機構係組構成當該切換閥在第一位置且當蓄積在該一缸室之流體的一部分通過該供給止回閥及該切換閥而從該一缸室供給至該另一缸室時，使蓄積在該第二儲槽之流體供給至該另一缸室。
如此，當從該一缸室供給至該另一缸室之流體的壓力降低，流體就會從該第二儲槽經由該第一流體供給機構而供給至該另一缸室。因而，可可靠地且有效地使流體壓力缸回動。
最好再配置第二流體供給機構，該第二流體供給機構係組構成使得流體從流體供給源供給至該第二儲槽。如此，可在該第二儲槽中蓄積的流體已經使用時防止流體壓力降低。
最好，在上述的流體壓力缸中，將該第一儲槽及該第二儲槽平行配置於該缸本體內，且將該切換閥配置在該第一儲槽的上部，以及在該第二儲槽的上部配置有形成該第二流體供給機構之氣動閥(air-operated valve)，且該活塞、該一缸室、及該另一缸室係配置在該切換閥與該氣動閥之間。
該第一儲槽及該切換閥、與該第二儲槽及該氣動閥係配置成相對於該活塞、該一缸室、及該另一缸室 呈對稱，所以可容易地製造流體壓力缸。因而，可減低製造成本同時改善流體壓力缸的製造性。
在此情況，該活塞係具有沿著垂直方向之橢圓形狀，因而可防止該活塞在圓周方向轉動。
在該活塞的上部配置有磁鐵，且在該缸本體之靠近該一缸室及該另一缸室處分別配置有可檢測該磁鐵的磁性之磁性感測器(magnetic sensor)。因此，可容易地在對稱結構之流體壓力缸中配置活塞位置檢測機構。
該第一儲槽及該第二儲槽係具有大致相同的容積，因而可更加改善流體壓力缸的製造性、及更加減低流體壓力缸的製造成本。
從以下參照以圖例的方式顯示本發明的較佳實施形態之隨附的圖式所做的說明，可更瞭解本發明的上述的及其他的目的、特點及優點。
20,120,20A,120A‧‧‧流體壓力缸
24,124‧‧‧切換閥
26,126‧‧‧高壓空氣供給源(流體供給源)
28,128‧‧‧排氣口(排放口)
30,86,90,130,186,190‧‧‧止回閥(供給止回閥)
32,132‧‧‧節流閥
34,134,84,184‧‧‧空氣儲槽
36,136‧‧‧缸本體
38,138‧‧‧活塞
40,140‧‧‧活塞桿
42,142‧‧‧頭側缸室(一缸室)
44,144‧‧‧桿側缸室(另一缸室)
46,146‧‧‧第一口
48,148‧‧‧第二口
50,150‧‧‧第三口
52,152‧‧‧第四口
54,154‧‧‧第五口
55,56,58,77‧‧‧蓋構件
57,59‧‧‧扣環
60,62,64,68,72,74,80,210‧‧‧流路
66‧‧‧高壓空氣導入口
70‧‧‧小空間
71‧‧‧蓋構件
75‧‧‧套筒
76‧‧‧柱形閥
78‧‧‧卡擋
79‧‧‧墊圈
82,182‧‧‧消音器
88,188‧‧‧第一流體供給機構
92,192‧‧‧第二流體供給機構
94,194‧‧‧氣動閥
96,196‧‧‧永久磁鐵
98a,98b,198a,198b‧‧‧磁性感測器
200‧‧‧凹槽
第1圖係根據本發明的一個實施形態之流體壓力缸的回路圖。
第2圖係第1圖所示的切換閥在另一位置的情況之回路圖。
第3圖係顯示量測第1圖所示的流體壓力缸的各缸室的空氣壓力及動作期間的活塞行程所得到的結果之圖。
第4圖係根據本發明的另一個實施形態之流體壓力缸的回路圖。
第5圖係從頭側看根據本發明的實施形態之流體壓力缸所見之透視圖。
第6圖係沿著第5圖中的VI-VI線之斷面圖。
第7圖係第5圖所示之流體壓力缸的部分分解透視圖。
第8圖係沿著第5圖中的VIII-VIII線之斷面圖。
第9圖係切換閥在另一位置時之沿著第5圖中的VI-VI線之斷面圖。
第10圖係切換閥在另一位置時之沿著第5圖中的VIII-VIII線之斷面圖。
第11圖係根據一個變化形態之流體壓力缸的回路圖。
第12圖係從活塞桿側看根據變化形態之流體壓力缸所見之透視圖。
第13圖係從頭側看根據變化形態之流體壓力缸所見之透視圖。
第14圖係顯示第12圖所示之流體壓力缸在缸室為開放的情況之透視圖。
第15圖係顯示第13圖所示之流體壓力缸在缸室為開放的情況之透視圖。
第16圖係根據先前技術之致動器驅動裝置的回路圖。
以下，參照隨附的圖式來說明根據本發明之流體壓力缸的較佳實施形態。
[1.本實施形態的組構]
如第1圖所示，根據本發明的一個實施形態 之流體壓力缸20係應用於雙動氣缸(double acting air cylinder)。流體壓力缸20包含：切換閥24、高壓空氣供給源(流體供給源)26、排氣口(排放口)28、止回閥(供給止回閥)30、節流閥(第一節流閥)32、空氣儲槽(第一儲槽)34、以及將上述各部件連接成流體可流通形態之預定的管線(tubes)。
流體壓力缸20包含設於缸本體36內可往復滑動之活塞38。活塞38與活塞桿40的一端部連結，活塞桿40的另一端部從缸本體36延伸到外部。 此處圖示的流體壓力缸20係在活塞桿40推出(前進)時進行例如工件(未圖示)的定位之工作，在活塞桿40退回(返回)時不對工件做動作。缸本體36包含由活塞38加以區隔出的兩個缸室(cylinder chamber)，亦即位於與活塞桿40相反的一側之頭側缸室(一缸室)42、以及位於與活塞桿40相同側之桿側缸室(另一缸室)44。
切換閥24係組構為包含第一口46至第五口54且可在第2圖所示的第一位置與第1圖所示的第二位置間切換之電磁閥(solenoid valve)。以下，將活塞38在缸本體36內之如第1圖所示的狀態稱為第二位置，將活塞38在缸本體36內之如第2圖所示的狀態稱為第一位置。第一口46係透過管線而與頭側缸室42連接，且與止回閥30的上游側連接。第二口48係透過管線而經由空氣儲槽34與桿側缸室44連接。第三口50係透過管線而與高壓空氣供給源26連接。第四口52係透過管線而經由節流閥32與排 氣口28連接。第五口54係透過管線而與止回閥30的下游側連接。
如第1圖所示，當切換閥24在第二位置時，使第一口46與第四口52相連接，且使第二口48與第五口54相連接。如第2圖所示，當切換閥24在第一位置時，使第一口46與第三口50相連接，且使第二口48與第四口52相連接。切換閥24在沒有通電時係利用彈簧的彈壓力而保持在第二位置，在通電時則從第二位置切換到第一位置。當上位裝置(higher level device)之PLC(可程式邏輯控制器)(未圖示)輸出供電指令(供電)或供電停止指令(不供電)給切換閥24時，就對切換閥24通電或不通電。
當切換閥24在第二位置時，止回閥30允許空氣從頭側缸室42向桿側缸室44流，並且阻擋空氣從桿側缸室44向頭側缸室42流。
節流閥32係配置成限制從排氣口28排出的空氣的量且係組構成可改變流路面積(path area)以調整排放的空氣的量之可變節流閥(variable throttle valve)。
空氣儲槽34係配置成蓄積從頭側缸室42供給到桿側缸室44之空氣。具有空氣儲槽34相當於增大桿側缸室44的容積。空氣儲槽34的容積係設定成例如當活塞桿40伸出到最大位置時之頭側缸室42的容積的一半(大致為一半即可)(亦即頭側缸室42的變動容積的最大值的大致一半)。
[2.本實施形態之動作]
根據本實施形態之流體壓力缸20基本上係如上述般組構。接著，參照第1及2圖來說明流體壓力缸20的功能(動作)。如第1圖所示，活塞桿40最為縮回的狀態係設定為初始狀態。
在此初始狀態將電力供給至切換閥24，切換閥24就從第二位置(見第1圖)切換到第一位置(見第2圖)，而開始驅動行程。此驅動行程包含從高壓空氣供給源26供給高壓空氣至頭側缸室42及使桿側缸室44中的空氣經由節流閥32而排放到排氣口28。在此驅動行程中，活塞桿40如第2圖所示伸出到最大位置，且受到大推力的作用將其保持在最大位置。
當活塞桿40伸出且進行例如工件的定位之動作後，就停止對於切換閥24之電力供給，於是切換閥24從第一位置切換到第二位置，而開始返回行程。在返回行程中，頭側缸室42中蓄積的空氣的一部分通過止回閥30而供給至桿側缸室44。同時，頭側缸室42中蓄積的空氣的其他部分通過節流閥32後從排氣口28排出。在此情況，供給至桿側缸室44之空氣主要係蓄積於空氣儲槽34中。此係因為在活塞桿40開始縮回之前，空氣儲槽34在擴展於止回閥30與桿側缸室44之間之空氣可存在的空間(包含桿側缸室44及管線)當中佔有最大的容積的緣故。然後，當頭側缸室42的空氣壓力減小、桿側缸室44的空氣壓力增大，且當桿側缸室44的空氣壓力變到比頭側缸室42的空氣壓力大預定的值時，活塞桿40就開始縮回。最 後，活塞桿40回到活塞桿40最為縮回之初始狀態。
第3圖顯示量測一系列上述動作中的頭側缸室42的空氣壓力P1、桿側缸室44的空氣壓力P2、及活塞行程所得到的結果。以下參照第3圖來詳細說明流體壓力缸20的動作原理(驅動行程及返回行程)。第3圖中，空氣壓力的零點表示空氣壓力等於大氣壓力，活塞行程的零點表示活塞桿40位在活塞桿40最為縮回之位置。
首先，說明根據流體壓力缸20的動作原理之驅動行程。在將供電指令輸出至切換閥24之時間t1，頭側缸室42的空氣壓力P1等於大氣壓力，桿側缸室44的空氣壓力P2略微大於大氣壓力。
當供電指令輸出至切換閥24使切換閥24從第二位置(見第1圖)切換到第一位置(見第2圖)時，頭側缸室42的空氣壓力P1就開始升高。在時間t2，頭側缸室42的空氣壓力P1超過桿側缸室44的空氣壓力P2達到一個比活塞38的靜摩擦阻力大的量，活塞桿40就開始朝推出方向(第2圖中的左方)移動。然後，在時間t3，活塞桿40伸出到極限。頭側缸室42的空氣壓力P1更加升高然後固定在一個固定的壓力，桿側缸室44的空氣壓力P2則是降低到等於大氣壓力。在時間t2與時間t3之間之頭側缸室42的空氣壓力P1的暫時的減小及桿側缸室44的空氣壓力P2的暫時的升高係由於頭側缸室42的容積的增大及桿側缸室44的容積的減小所造成。
接著，說明根據流體壓力缸20的動作原理之 返回行程。在時間t4，將供電停止指令輸出至切換閥24，切換閥24從第一位置切換到第二位置，頭側缸室42的空氣壓力P1就開始降低，桿側缸室44的空氣壓力P2開始升高。當頭側缸室42的空氣壓力P1變成等於桿側缸室44的空氣壓力P2時，止回閥30發揮阻止空氣從頭側缸室42供給到桿側缸室44以中止桿側缸室44的空氣壓力P2升高之作用。同時，頭側缸室42的空氣壓力P1繼續降低，然後在時間t5，桿側缸室44的空氣壓力P2超過頭側缸室42的空氣壓力P1達到比活塞38的靜摩擦阻力大之量，活塞桿40就開始朝拉回方向(第1圖中的右方)移動。
當活塞桿40朝拉回方向移動時，桿側缸室44的容積會增大。因此，桿側缸室44的空氣壓力P2會降低。然而，頭側缸室42的空氣壓力P1以更大的速率降低。所以，桿側缸室44的空氣壓力P2仍然超過頭側缸室42的空氣壓力P1。活塞38開始移動後的滑動摩擦比活塞38的摩擦阻力小。因此，活塞桿40朝拉回方向滑順地移動。在活塞桿40縮回時，空氣儲槽34中的空氣壓力也自然地用作為對於活塞38之拉回力(推壓力)。
在時間t6，活塞桿40回到活塞桿40最為縮回之狀態。此時，頭側缸室42的空氣壓力P1係等於大氣壓力，桿側缸室44的空氣壓力P2係略大於大氣壓力。此狀態一直維持到下個供電指令輸出至切換閥24。
在流體壓力缸20中，節流閥32係配置成限制從排氣口28排出的空氣的量。但是，節流閥32並非必 要的元件。
空氣儲槽34係配置在流體壓力缸20內。但亦可如第4圖所示，將從止回閥30開始經過切換閥24而延伸到桿側缸室44之管線45的容積做得比流體壓力缸20中的其他管線的容積大。如此，可充分確保從止回閥30開始經過切換閥24而延伸到桿側缸室44之入口的管線的容積，省略掉空氣儲槽34，而輕易地得到與配置有空氣儲槽34之情況一樣之效果。
[3.本實施形態之具體構成]
根據本發明的實施形態之流體壓力缸20的基本組構及功能係如上述。除此之外，還可針對各種元件的特定配置而採用各種結構。
第5至10圖顯示此等結構的一個例子，其中顯示的流體壓力缸120中的缸本體及切換閥係形成為一體。
流體壓力缸120之與流體壓力缸20的各元件對應之各元件都標註有等於將流體壓力缸20的各元件的元件符號加上100後的元件符號，並將其詳細說明予以省略。
第5圖係顯示從頭側看根據本發明的此實施形態之流體壓力缸120所見之透視圖。如第5圖所示，流體壓力缸120包含：缸本體136、配置在缸本體136的上部之切換閥124、以及以突出的形態配置於切換閥124的側面上之節流閥(可變節流閥)132。
第6圖係沿著第5圖中的VI-VI線之斷面圖。如第6圖所示，缸本體136包含：活塞138，設於缸本體136內可往復滑動；以及活塞桿140，一端部連結至活塞138，另一端部從缸本體136延伸到外部。
缸本體136包含由活塞138加以區隔出的兩個缸室，亦即頭側缸室(一缸室)142及桿側缸室(另一缸室)144。頭側缸室142及桿側缸室144分別由蓋構件55,56加以封閉，且蓋構件55,56係以扣環57加以固定。頭側缸室142係通過流路60而與切換閥124(後面將說明)的第一口146連接。
缸本體136包含配置在桿側缸室144的上部之空氣儲槽134。空氣儲槽134係由蓋構件58加以封閉，蓋構件58係以扣環59加以固定。空氣儲槽134通過流路62與桿側缸室144連通，且通過流路64與切換閥124(後面將說明)的第二口148連接。
如第7圖所示，缸本體136包含形成於與有活塞桿140突伸出的側面相反的側面上之高壓空氣導入口66。高壓空氣導入口66接受來自未圖示的高壓空氣供給源(高壓流體源)126之高壓空氣(壓力流體)。高壓空氣導入口66通過流路68與後面將說明之切換閥124的第三口150連接。
第8圖係沿著第5圖中的VIII-VIII線之斷面圖。如第8圖所示，缸本體136包含形成於頭側缸室142的上部之小空間70，止回閥130收容於此小空間70中。 小空間70係由蓋構件71加以封閉。小空間70通過流路72與流路60連通，且通過流路74與後面將說明的切換閥124的第五口154連接。
止回閥130允許空氣從頭側缸室142向切換閥124的第五口154流，並阻擋空氣從切換閥124的第五口154向頭側缸室142流。
切換閥124係組構成包含第一口146至第五口154且將柱形閥(spool valve)76配置在圓柱套筒(cylindrical sleeve)75內的軸線方向而可在第一位置與第二位置間切換之電磁閥。詳言之，當柱形閥76在第8圖所示的狀態，稱此狀態為第一位置，當柱形閥76在第10圖所示的狀態，稱此狀態為第二位置。套筒75的兩端都由蓋構件77加以封閉，且蓋構件77係以卡擋(stop)78加以固定。
如第7圖所示，切換閥124係在有墊圈(gasket)79插置於其間的狀況下鎖在缸本體136的頂面。在切換閥124的頭側的側面開設有排氣口128，且將節流閥132配置於該排氣口128。如第6及8圖所示，排氣口128係通過配置於切換閥124內之流路80與切換閥124的第四口152連接。
切換閥124的第一口146係利用流路60而連接至頭側缸室142，且利用流路60及流路72而連接至止回閥130的上游側。第二口148係利用流路64而連接至空氣儲槽134，且通過流路62而連接至桿側缸室144。第三 口150係利用流路68及高壓空氣導入口66而連接至高壓空氣供給源126(未圖示)。第四口152係利用流路80而連接至排氣口128。第五口154係利用流路74而連接至止回閥30的下游側。
如第8圖所示，當切換閥124在第一位置時，使第一口146與第三口150相連接，且使第二口148與第四口152相連接。亦即，在切換閥124通電時，切換閥124從第二位置切換到第一位置，高壓空氣從高壓空氣供給源126供給至高壓空氣導入口66。然後，高壓空氣通過流路68、第三口150、第一口146、及流路60而供給至頭側缸室142。在此情況，桿側缸室144的空氣會通過流路62、空氣儲槽134、流路64、第二口148、流路80、及節流閥132而從排氣口128排出。
同時，如第10圖所示，當切換閥124在第二位置時，使第一口146與第四口152相連接，且使第二口148與第四口154相連接。亦即，在對於切換閥124之通電停止時，切換閥124從第一位置切換到第二位置，頭側缸室142中蓄積的空氣的一部分會通過流路60、流路72、止回閥130、第五口154、第二口148、流路64、空氣儲槽134、及流路62而供給至桿側缸室144。同時，頭側缸室142中蓄積的空氣的其他部分會通過流路60、第一口146、第四口152、流路80、及止回閥130而從排氣口128排出。
[4.本實施形態的效果]
如上所述，根據本實施形態之流體壓力缸20, 120將頭側缸室42,142中蓄積的流體供給至桿側缸室44,144，同時將流體排放到外部。因此，桿側缸室44,144內的流體壓力會增大，頭側缸室42,142內的流體壓力會急速減小。因而，可儘可能地縮短使流體壓力缸20,120的活塞38,138返回所需的時間。
此外，不需要複雜結構的回收閥，只需要例如止回閥30,130之簡單的回路組構。因而，可簡化使活塞38,138返回所需的回路。
缸本體36,136包含：包含排氣口28,128之切換閥24,124；止回閥30,130；以及藉由再利用排出壓力使活塞38,138返回之流路60,62,64,68,72,74,80。因而，可將缸本體36,136及切換閥24,124形成為一體而實質地使流體壓力缸20,120小型化。
將切換閥124配置於頭側缸室142的上部。因而，可縮短連接切換閥124與頭側缸室142之流路60的長度而使流體壓力缸120更加小型化。
將空氣儲槽34,134配置於桿側缸室44,144與切換閥24,124之間。因而，可將從頭側缸室42,142排出的流體蓄積在連接至桿側缸室44,144之空氣儲槽34,134中，而儘可能地防止當桿側缸室44,144的容積在返回行程中增大時之流體壓力的降低。
將空氣儲槽134配置在桿側缸室144的上部。因而，可縮短連接空氣儲槽134與桿側缸室144之流路62的長度而使流體壓力缸120更加小型化。
空氣儲槽34,134的容積大約為頭側缸室42,142的變動容積的最大值的一半。因而，在將頭側缸室42,142中蓄積的流體供給至桿側缸室44,144時，可達成使桿側缸室44,144的流體壓力快速增大之功能與在桿側缸室44,144的容積增大時防止流體壓力降低之功能之間的適當的平衡。
將節流閥32,132配置於排氣口28,128。因而，可限制排放到外部的流體的量而充分地節省能量。
在本例中，節流閥32,132為可變節流閥。因此，節流閥32,132可調整蓄積在頭側缸室42,142內而供給至桿側缸室44,144之流體的量、與蓄積在頭側缸室42,142內而排放到外部之流體的量之比率。
在流體壓力缸120中，將切換閥124配置在頭側缸室142的上部，將空氣儲槽134配置在桿側缸室144的上部。然而，切換閥124及空氣儲槽134並非一定要配置在桿側缸室144及頭側缸室142的上部。例如，可針對流體壓力缸120的安裝空間，而將切換閥124及空氣儲槽134配置在缸本體136的縱向的側面上或配置在頭側的側面上。
在流體壓力缸120中，將活塞桿140連結至沿著缸本體136的軸向往復運動之活塞138。然而，根據本發明之流體壓力缸並不一定要限定於此種組構。在驅動行程需要大輸出但在返回行程不需要大輸出之雙動致動器亦可應用於例如旋轉致動器及夾鉗(gripper)之各種流體壓 力裝置。
[5.本實施形態之變化形態]
接著，參照第11至15圖來說明根據本實施形態之流體壓力缸20,120的變化形態(流體壓力缸20A,120A)。在此變化形態中，與第1及2圖所示的流體壓力缸20及第5至10圖所示的流體壓力缸120的各元件相同之各元件都標註相同的元件符號並將其詳細的說明予以省略。
在根據本變化形態之流體壓力缸20A中，節流閥32、消音器(silencer)82、及排氣口28係利用管線而串聯連接至第四口52，如第11圖所示。
在本例中，流體壓力缸20A還包含空氣儲槽(第二儲槽)84。空氣儲槽84通過止回閥(蓄壓止回閥)86而利用管線與節流閥32、消音器82、及排氣口28並聯連接。因此，根據本變化形態，節流閥32及排氣口28係與空氣儲槽84並聯而連接至第四口52。
根據本變化形態，當切換閥124如第11圖所示在第二位置時，頭側缸室42通過止回閥30及切換閥24與桿側缸室44連通，且通過切換閥24與排氣口28及空氣儲槽84連通。當切換閥24在第一位置時，桿側缸室44通過切換閥24與排氣口28及空氣儲槽84連通。
在根據本變化形態之流體壓力缸20A中，不論切換閥24在第一位置還是第二位置，都可將經由排氣口28而從第四口52排放到外部之空氣的一部分經由止回閥 86而蓄積在空氣儲槽84中。因此，可在流體壓力缸20A的消耗空氣的量上減少蓄積至空氣儲槽84之空氣的份量。因而，可更加節省流體壓力缸20A的能量。
在流體壓力缸20A中，止回閥86係配置在切換閥24與空氣儲槽84之間。因此，可防止已蓄積至空氣儲槽84之空氣反向經由排氣口28而排放到外部。
節流閥32、消音器82、及排氣口28係相對於第四口52而與止回閥86及空氣儲槽84並聯連接。因此，可限制排放到外部之空氣的量而更加節省能量。而且，節流閥32係可變節流閥。因此，節流閥32可容易地調整從第四口52排出而供給至空氣儲槽84的空氣的量、與經由排氣口28而排放到外部的空氣的量之比率。
流體壓力缸20A除了將節流閥32、消音器82、空氣儲槽84、及止回閥86連接至第四口52之外，採用的是與第1及2圖所示之流體壓力缸20相同的組構。因此，流體壓力缸20A自然可輕易地得到與流體壓力缸20相同的效果。
在根據本變化形態之流體壓力缸20A中，還配置有第一流體供給機構88。當切換閥24在第二位置且當蓄積在頭側缸室42內之空氣的一部分通過止回閥30及切換閥24而從頭側缸室42供給至桿側缸室44時，第一流體供給機構88使蓄積在空氣儲槽84內之空氣供給至桿側缸室44。
第一流體供給機構88包含配置在連接空氣 儲槽84與桿側缸室44之管線上之止回閥90。在本例中，止回閥90係配置在連接空氣儲槽84與桿側缸室44使流體可從空氣儲槽84往第二口48流之管線上。亦即，當切換閥24在第二位置，止回閥90允許空氣從空氣儲槽84往桿側缸室44流，並阻擋空氣從桿側缸室44往空氣儲槽84流。
在此情況，當切換閥24在第二位置且當從頭側缸室42供給至桿側缸室44之空氣的空氣壓力變得比空氣儲槽84的空氣壓力低時，蓄積在空氣儲槽84內之空氣就通過止回閥90而從空氣儲槽84供給至桿側缸室44。
因此，即使在活塞桿40縮回的過程中從頭側缸室42供給至桿側缸室44之空氣的空氣壓力降低，空氣儲槽84中的空氣也會通過第一流體供給機構88而進行補充供給。因此，在管線上設置止回閥90之簡單組構就可使得活塞38在退回的過程中保持固定的移動速度，可可靠地且有效地使活塞38返回。
根據本變化形態之流體壓力缸20A還包含使空氣從高壓空氣供給源26供給至空氣儲槽84之第二流體供給機構92。
第二流體供給機構92包含配置在連接高壓空氣供給源26與空氣儲槽84之管線上之氣動閥94。當作為先導壓力(pilot pressure)之空氣儲槽84內的空氣壓力高於預定的閾值時，氣動閥94會維持在第11圖所示之第二位置而阻斷高壓空氣供給源26與空氣儲槽84之連接。若空氣儲槽84內的空氣壓力降到低於閾值，則會使氣動閥 94切換到第一位置而使得高壓空氣供給源26與空氣儲槽84相連接。如此一來，高壓空氣供給源26就會供給高壓空氣至空氣儲槽84。
因此，如上述，當空氣儲槽84中蓄積的空氣從空氣儲槽84通過止回閥90而供給至桿側缸室44且當空氣儲槽84內的空氣壓力降到低於閾值時，就會使得氣動閥94從第二位置切換到第一位置，高壓空氣供給源26就會供給高壓空氣至空氣儲槽84。因此，可防止空氣儲槽84內的空氣壓力降低而可供給高壓空氣到桿側缸室44。
如上述，流體壓力缸20A還包含使高壓空氣從高壓空氣供給源26供給至空氣儲槽84之第二流體供給機構92。因此，可在空氣儲槽84中蓄積的空氣用掉時補充空氣，防止空氣壓力降低。
在根據本變化形態之流體壓力缸20A中，在活塞38的外周面配置有永久磁鐵96，且在缸本體36之靠近頭側缸室42及靠近桿側缸室44之處分別配置有檢測永久磁鐵96的磁性之磁性感測器98a,98b。亦即，磁性感測器98a係配置成面向活塞桿40最為縮回時之活塞38的外周面，在活塞桿40最為縮回時檢測永久磁鐵96的磁性並將檢測訊號輸出至PLC。同時，磁性感測器98b則是配置成面向活塞桿40伸出到最大位置時之活塞38的外周面，在活塞桿40最為伸出時檢測永久磁鐵96的磁性並將檢測訊號輸出至PLC。
接著，參照第12至15圖來說明第11圖之回 路圖中顯示的流體壓力缸20A的各元件的具體配置的結構(流體壓力缸120A)。第12至15圖中，也將流體壓力缸120A之與流體壓力缸20A的各元件對應之各元件都標註將流體壓力缸20A的各元件的元件符號加上100後的元件符號，而將其詳細的說明予以省略。
流體壓力缸120A的缸本體136係具有從長方形塊的中央部向上隆起而形成之倒T形狀。在隆起部內，連結至活塞138之活塞桿140沿著隆起部的縱向延伸，且形成頭側缸室142及桿側缸室144。第14及15圖顯示活塞桿140係最為縮回因而頭側缸室142的容積變為最小。
活塞138係如第14及15圖中之虛線所示具有沿著垂直方向之橢圓形狀。如第14及15圖所示，在活塞138的上部的左右兩側配置有棒狀的永久磁鐵196。如第12及13圖所示，在隆起部的上部的左右兩側上沿著隆起部的縱向形成有凹槽200。在一個凹槽200的一端側(頭側缸室142側)安裝有磁性感測器198a，在另一個凹槽200的另一端側(桿側缸室144側)安裝有磁性感測器198b。亦即，磁性感測器198a係靠近頭側缸室142而配置，磁性感測器198b係靠近桿側缸室144而配置。
在長方形塊的上表面上，切換閥124及第二流體供給機構192的氣動閥194以將該隆起部夾在中間之形態與該隆起部平行配置。在缸本體134內，將空氣儲槽134形成於切換閥124下方，且氣動閥194的下方形成有空氣儲槽184。
亦即，空氣儲槽134,184係沿著隆起部的縱向而平行配置，且具有大致相同的容積。空氣儲槽134,184由蓋構件202,204加以封閉，且蓋構件202,204以扣環206,208加以固定。
如第12至15圖所示，止回閥130,186及第一流體供給機構188的止回閥190係內建於空氣儲槽134側的缸本體136內。節流閥132及消音器182係配置在缸本體136的靠近空氣儲槽134之側面上。缸本體136的這些元件係藉由第14及15圖中的虛線所示之各流路210而連接。各流路210對應於第11圖之回路圖中顯示的各管線，因此將各元件間之各流路210的連接關係的詳細說明予以省略。
如上所述，缸本體136包含：相對於在隆起部內之活塞138、活塞桿140、頭側缸室142、及桿側缸室144而配置成相對稱之切換閥124及空氣儲槽134、與氣動閥194及空氣儲槽184。
如此的配置關係使得流體壓力缸120A的組裝很容易。因而，可減低製造成本同時可改善流體壓力缸120A的製造性。
活塞138具有沿著垂直方向之橢圓形狀，所以可防止活塞138在圓周方向之轉動。
永久磁鐵196配置在活塞138的上部，磁性感測器198a,198b配置在形成於缸本體136的隆起部之凹槽200內且分別靠近頭側缸室142及靠近桿側缸室144。 磁性感測器198a,198b檢測永久磁鐵196的磁性。因此，可容易地在具有對稱結構之流體壓力缸120A中配置活塞138的位置檢測機構。
空氣儲槽134,184具有大致相同的容積。因此，可更加改善流體壓力缸120A的製造性，以及更加減低流體壓力缸120A的製造成本。
根據本發明之流體壓力缸並不限於上述的實施形態，還可在未脫離本發明的範圍內採用各種組構。

Claims (14)

  1. 一種流體壓力缸，包括：缸本體，有活塞在其中往復運動；其中，該缸本體包含：切換閥，包含有排放口；供給止回閥；流路，當該切換閥在第一位置時使一缸室與流體供給源連接以及使另一缸室與至少該排放口連接；流路，當該切換閥在第二位置時使該一缸室通過該供給止回閥與該另一缸室連接以及使該一缸室與至少該排放口連接；以及在該另一缸室與該切換閥之間配置有第一儲槽。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之流體壓力缸，其中，該切換閥係配置在該一缸室的上部、或配置在該一缸室及該另一缸室的側邊。
  3. 如申請專利範圍第1項所述之流體壓力缸，其中，該第一儲槽係配置在該另一缸室的上部或該切換閥的下部。
  4. 如申請專利範圍第1項所述之流體壓力缸，其中，該第一儲槽的容積係大致為該一缸室的變動容積的最大值的一半。
  5. 如申請專利範圍第1項所述之流體壓力缸，其中，在該排放口配置有節流閥。
  6. 如申請專利範圍第5項所述之流體壓力缸，其中，該節流閥係可變節流閥。
  7. 如申請專利範圍第5項所述之流體壓力缸，其中，還配置有第二儲槽與該節流閥相並聯而連接至該切換閥；當該切換閥在該第一位置時，該另一缸室通過該切換閥而與該節流閥及該第二儲槽連通；當該切換閥在該第二位置時，該一缸室通過該供給止回閥及該切換閥而與該另一缸室連通，以及通過該切換閥而與該節流閥及該第二儲槽連通。
  8. 如申請專利範圍第7項所述之流體壓力缸，其中，在該切換閥與該第二儲槽之間配置有蓄壓止回閥。
  9. 如申請專利範圍第7項所述之流體壓力缸，其中，還配置有第一流體供給機構，該第一流體供給機構係組構成當該切換閥在該第二位置且當蓄積在該一缸室之流體的一部分通過該供給止回閥及該切換閥而從該一缸室供給至該另一缸室時，使該第二儲槽中蓄積的流體供給至該另一缸室。
  10. 如申請專利範圍第9項所述之流體壓力缸，其中，還配置有第二流體供給機構，該第二流體供給機構係組構成使流體從該流體供給源供給至該第二儲槽。
  11. 如申請專利範圍第10項所述之流體壓力缸，其中，該第一儲槽與該第二儲槽係平行配置於該缸本體內；該切換閥係配置在該第一儲槽的上部，且在該第二儲槽的上部配置有構成該第二流體供給機構之氣動閥；該活塞、該一缸室、及該另一缸室係配置在該切換閥與該氣動閥之間。
  12. 如申請專利範圍第11項所述之流體壓力缸，其中，該活塞係具有沿著垂直方向之橢圓形狀。
  13. 如申請專利範圍第11項所述之流體壓力缸，其中，在該活塞的上部配置有磁鐵；且在該缸本體之靠近該一缸室及該另一缸室處分別配置有組構成檢測該磁鐵的磁性之磁性感測器。
  14. 如申請專利範圍第11項所述之流體壓力缸，其中，該第一儲槽及該第二儲槽係具有大致相同的容積。
TW106131936A 2016-09-21 2017-09-18 流體壓力缸 TWI641761B (zh)

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2016-184199 2016-09-21
JP2016184199 2016-09-21
JP2016-253082 2016-12-27
JP2016253082A JP6673551B2 (ja) 2016-09-21 2016-12-27 流体圧シリンダ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TW201816287A TW201816287A (zh) 2018-05-01
TWI641761B true TWI641761B (zh) 2018-11-21

Family

ID=61835575

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW106131936A TWI641761B (zh) 2016-09-21 2017-09-18 流體壓力缸

Country Status (9)

Country Link
US (1) US10883523B2 (zh)
JP (1) JP6673551B2 (zh)
KR (1) KR102175356B1 (zh)
CN (1) CN109790859B (zh)
BR (1) BR112019005497A2 (zh)
DE (1) DE112017004750T5 (zh)
MX (1) MX2019003203A (zh)
RU (1) RU2732972C9 (zh)
TW (1) TWI641761B (zh)

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6673550B2 (ja) 2016-09-21 2020-03-25 Smc株式会社 流体圧シリンダの駆動方法及び駆動装置
JP6467733B1 (ja) * 2018-05-21 2019-02-13 Smc株式会社 流体圧シリンダの駆動方法及び駆動装置
JP6914477B2 (ja) * 2018-09-12 2021-08-04 Smc株式会社 流体圧シリンダ
WO2020054323A1 (ja) * 2018-09-13 2020-03-19 Smc株式会社 流体圧シリンダの駆動装置
JP2020085183A (ja) * 2018-11-29 2020-06-04 Smc株式会社 流体圧シリンダの駆動装置
DE102019113640B3 (de) * 2019-05-22 2020-09-17 Heraeus Medical Gmbh Differenzdruckmotor und Verfahren zum Betreiben eines Differenzdruckmotors
DE102019121433B4 (de) * 2019-08-08 2022-12-29 SMC Deutschland GmbH Fluidrückführvorrichtung für einen doppeltwirkenden Zylinder und Verfahren zum Betreiben eines solchen Zylinders
US12055161B2 (en) * 2019-10-23 2024-08-06 Asco, L. P. Valve manifold, valve and actuator assembly

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2524580A1 (fr) * 1982-04-06 1983-10-07 Valdenaire Maurice Perfectionnements aux installations pneumatiques et dispositif economiseur d'air comprime destine a etre monte sur de telles installations
US20050146252A1 (en) * 2003-12-30 2005-07-07 Ksp Technologies Corp. Cylinder apparatus with a capability of detecting piston position in a cylinder
CN101253335B (zh) * 2005-08-19 2010-06-16 布奇尔液压公司 用于控制双作用液压驱动缸的油路
CN103225632A (zh) * 2012-01-27 2013-07-31 罗伯特·博世有限公司 用于移动式工作机械的阀装置
CN104364534B (zh) * 2012-08-13 2016-05-25 Ｋｙｂ株式会社 致动器

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3165981A (en) 1961-02-13 1965-01-19 Amour Alessandro Fluid actuated servo-control device
SE316379B (zh) * 1965-05-20 1969-10-20 Trima Ab
DE1601740A1 (de) * 1967-02-15 1971-01-14 Langen & Co Schaltung fuer doppeltwirkenden hydraulischen Spannzylinder
JPS51133674A (en) * 1975-05-16 1976-11-19 Hitachi Ltd Fluid driving device
SU823671A1 (ru) * 1976-09-14 1981-04-23 Предприятие П/Я В-8670 Гидравлический привод несимметричногогидРОцилиНдРА
JPS601281Y2 (ja) * 1979-05-24 1985-01-16 佐々木農機株式会社 差動回路用弁
JPH022965Y2 (zh) 1979-11-08 1990-01-24
JPS58118303A (ja) * 1981-12-29 1983-07-14 Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd 流体圧力回路に於ける再生回路
SU1312268A1 (ru) * 1984-12-26 1987-05-23 Филиал Московского Специального Конструкторского Бюро Автоматических Линий И Агрегатных Станков Гидропривод
JPH065024Y2 (ja) * 1988-11-07 1994-02-09 ダイハツ工業株式会社 スポット溶接用２段ストロークシリンダの制御装置
JPH03153902A (ja) * 1989-11-09 1991-07-01 Nakanishi Shika Kikai Seisakusho:Kk 流体駆動装置
JPH08296607A (ja) * 1995-04-25 1996-11-12 Smc Corp 流体圧アクチュエータの駆動回路
JP2005083512A (ja) 2003-09-10 2005-03-31 Koganei Corp 流体圧シリンダ
JP2009275770A (ja) * 2008-05-13 2009-11-26 Caterpillar Japan Ltd 流体圧シリンダ制御回路
JP5919820B2 (ja) 2011-12-28 2016-05-18 コベルコ建機株式会社 建設機械の油圧シリンダ回路
DE112012007092T5 (de) * 2012-12-20 2015-07-23 Smc Kabushiki Kaisha Fluiddruckzylinder
JP3207583U (ja) 2016-09-07 2016-11-17 Smc株式会社 流体圧シリンダ
JP6673550B2 (ja) 2016-09-21 2020-03-25 Smc株式会社 流体圧シリンダの駆動方法及び駆動装置

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2524580A1 (fr) * 1982-04-06 1983-10-07 Valdenaire Maurice Perfectionnements aux installations pneumatiques et dispositif economiseur d'air comprime destine a etre monte sur de telles installations
US20050146252A1 (en) * 2003-12-30 2005-07-07 Ksp Technologies Corp. Cylinder apparatus with a capability of detecting piston position in a cylinder
CN101253335B (zh) * 2005-08-19 2010-06-16 布奇尔液压公司 用于控制双作用液压驱动缸的油路
CN103225632A (zh) * 2012-01-27 2013-07-31 罗伯特·博世有限公司 用于移动式工作机械的阀装置
CN104364534B (zh) * 2012-08-13 2016-05-25 Ｋｙｂ株式会社 致动器

Also Published As

Publication number Publication date
TW201816287A (zh) 2018-05-01
CN109790859A (zh) 2019-05-21
BR112019005497A2 (pt) 2019-06-11
MX2019003203A (es) 2019-07-04
CN109790859B (zh) 2020-08-25
US10883523B2 (en) 2021-01-05
RU2732972C1 (ru) 2020-09-25
KR20190050844A (ko) 2019-05-13
JP2018054118A (ja) 2018-04-05
KR102175356B1 (ko) 2020-11-06
RU2732972C9 (ru) 2021-10-05
JP6673551B2 (ja) 2020-03-25
DE112017004750T5 (de) 2019-06-27
US20200025224A1 (en) 2020-01-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI641761B (zh) 流體壓力缸
TWI646265B (zh) 流體壓力缸的驅動方法及驅動裝置
TWI667418B (zh) 流體壓力缸的驅動方法及驅動裝置
CN110036210B (zh) 增压装置
TWI784173B (zh) 氣壓缸的流體迴路
WO2018056037A1 (en) Fluid pressure cylinder
KR20200007041A (ko) 실린더 구동용 매니폴드 장치 및 실린더 구동장치
CN111852972A (zh) 集成式砂浆泵控制阀
CN212250662U (zh) 集成式砂浆泵控制阀
CN108561344B (zh) 一种双作用往复式液压增压器
JP6345013B2 (ja) 空気圧シリンダ装置
TWI686544B (zh) 氣壓缸用流體回路
JP5706465B2 (ja) 結露防止弁
TWI699488B (zh) 氣壓缸的流體迴路
KR100486847B1 (ko) 증압 실린더
JP2002098108A (ja) 電動空気圧シリンダ
JP2007321663A (ja) 流体ポンプ、及びそれを用いた流体供給システム
JP2006200750A (ja) シリンダの取付構造及びシリンダ

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A Annulment or lapse of patent due to non-payment of fees