TWI784173B - 氣壓缸的流體迴路 - Google Patents

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TWI784173B
TWI784173B TW108120297A TW108120297A TWI784173B TW I784173 B TWI784173 B TW I784173B TW 108120297 A TW108120297 A TW 108120297A TW 108120297 A TW108120297 A TW 108120297A TW I784173 B TWI784173 B TW I784173B
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Abstract

作為氣壓缸的流體迴路之第一流體迴路(10A)係具有：氣壓缸(30)；係具有由活塞(38)區隔的第一氣室(42a)及第二氣室(42b)；切換閥(16)，係切換活塞(38)的驅動行程與返回行程；第一氣室(42a)與切換閥(16)間之第一流路(12a)；以及第二氣室(42b)與切換閥(16)間之第二流路(12b)，且第二流路(12b)中串聯設置有兩個速度控制閥(50a、50b)。

Description

氣壓缸的流體迴路
本發明係關於氣壓缸的流體迴路。
日本特開2018-54117號公報中記載的流體迴路之課題在於如何既能夠再利用排出壓力來使流體壓力缸返回以謀求節能化，同時能夠儘可能地縮短返回所需的時間。
為了解決該課題，特開2018-54117號公報記載的流體迴路係具備切換閥、流體供給源、排出口、以及供給用止回閥，前述切換閥在第一位置時，一方的缸室與前述流體供給源連通，且另一方的缸室至少連通前述排出口，前述切換閥在第二位置時，前述一方的缸室通過前述供給用止回閥與前述另一方的缸室連通，且前述一方的缸室至少連通前述排出口。
特開2018-54117號公報記載的流體迴路係在排氣口的路徑設有節流閥。因而有只可調整自氣壓缸之排氣流量而無法調整對氣壓缸之供給流量之問題。
本發明係有鑑於上述課題而完成者，目的在提供可分別獨立地調整對氣壓缸之供給流量及自氣壓缸之排氣流量，且可謀求構造簡單化之氣壓缸的流體迴路。
本發明之態樣係一種氣壓缸的流體迴路，具有：氣壓缸，係具有由活塞區隔的第一氣室及第二氣室；切換閥，係切換前述活塞的驅動行程與返回行程；第一流路係位於前述第一氣室與前述切換閥間；以及第二流路，係位於前述第二氣室與前述切換閥間，前述第二流路中串聯設置有兩個速度控制閥(可變節流閥+止回閥)。
根據本發明之氣壓缸的流體迴路，可分別獨立地調整對氣壓缸之供給流量及自氣壓缸之排氣流量，且可謀求構造簡單化。
由配合隨附的圖式之以下的較佳實施形態例的說明，應可更瞭解上述的目的、特徵及優點。
10A、10Aa、10B、10Ba‧‧‧流體迴路
12a‧‧‧第一空氣流路
12b‧‧‧第二空氣流路
12c‧‧‧第三空氣流路
16‧‧‧切換閥
30‧‧‧氣壓缸
32‧‧‧缸筒
34‧‧‧頭側蓋
36‧‧‧桿側蓋
38‧‧‧活塞
40‧‧‧活塞桿
42a‧‧‧第一氣室
42b‧‧‧第二氣室
50a‧‧‧第一速度控制閥
50b‧‧‧第二速度控制閥
52a~52e‧‧‧止回閥
54a‧‧‧第一節流閥
54b‧‧‧第二節流閥
56‧‧‧引導式止回閥
58‧‧‧引導流路
60a~60e‧‧‧埠口
62‧‧‧空氣供給源
63、63a、63b‧‧‧消音器
64、64a、64b‧‧‧排氣口
68‧‧‧儲槽部
80‧‧‧旁通流路
M1、M2‧‧‧點
第1A圖係第一實施形態之氣壓缸的流體迴路(第一流體迴路)的切換閥在第一狀態的情況之迴路圖，第1B圖係顯示第一流體迴路在驅動行程的狀態之說明圖。
第2A圖係第一流體迴路的切換閥在第二狀態的情況之迴路圖，第2B圖係顯示第一流體迴路在返回行程的狀態之說明圖。
第3圖係顯示氣壓缸的外觀的一例之立體圖。
第4圖係顯示第一流體迴路的變形例之迴路圖。
第5A圖係第二實施形態之氣壓缸的流體迴路(第二流體迴路)的切換閥在第一狀態的情況之迴路圖，第5B圖係顯示第二流體迴路在驅動行程的狀態之說明圖。
第6A圖係第二流體迴路的切換閥在第二狀態的情況之迴路圖，第6B圖係顯示第二流體迴路在返回行程的狀態之說明圖。
第7圖係顯示第二流體迴路的變形例之迴路圖。
以下，舉出較佳的實施形態，參照隨附的圖式來說明本發明之氣壓缸的流體迴路。
首先，參照第1A圖~第4圖來說明第一實施形態之氣壓缸的流體迴路(以下稱為第一流體迴路10A)。
第一流體迴路10A係如第1A圖所示，包含第一空氣流路12a、第二空氣流路12b、以及切換閥16。
氣壓缸30係由缸筒32(參照第3圖)、頭側蓋34(參照第3圖)、桿側蓋36(參照第3圖)、活塞38(參照第1A圖)、活塞桿40(參照第1A圖)等所構成。缸筒32的一端側由桿側蓋36封閉，缸筒32的另一端側由頭側蓋34封閉。活塞38(參照第1A圖)在缸筒32的內部配設成可自由往復移動。缸筒32的內部空間係如第1A圖所示，區隔成形成於活塞38與桿側蓋36之間之第一氣室42a，以及形成於活塞38與頭側蓋34之間之第二氣室42b。
連結至活塞38之活塞桿40係貫通第一氣室42a，且其端部穿過桿側蓋36而延伸到外部。氣壓缸30在活塞桿40推出時(伸出時)進行未圖示的工件的定位等之工作，在活塞桿40拉回時不工作。
第一空氣流路12a係設於氣壓缸30的第一氣室42a與切換閥16之間，第二空氣流路12b係設於氣壓缸30的第二氣室42b與切換閥16之間。
在第二空氣流路12b的路徑中，設有兩個速度控制閥(第一速度控制閥50a及第二速度控制閥50b)。第一速度控制閥50a係稱為排氣節流(meter-out)形式之可變節流閥，可手動調整從第二氣室42b排出之空氣的流量之控制閥。另一方面，第二速度控制閥50b係稱為進氣節流(meter-in)形式之可變節流閥，可手動調整供給至第二氣室42b之空氣的流量之控制閥。藉由操作第一速度控制閥50a，可調整將第二氣室42b中蓄積的空氣供給到第一氣室42a之量與排出到外部之量的比率。
第一速度控制閥50a係將第一止回閥52a與第一節流閥54a並聯連接而構成。第一止回閥52a係容許經由切換閥16往氣壓缸30的第二氣室42b之空氣的流動，並且阻止從氣壓缸30的第二氣室42b往切換閥16之空氣的流動。第一節流閥54a係調整從氣壓缸30的第二氣室42b往切換閥16之空氣的流量。
第二速度控制閥50b係將第二止回閥52b與第二節流閥54b並聯連接而構成。第二止回閥52b係容許從氣壓缸30的第二氣室42b往切換閥16之空氣的流動，並且阻止經由切換閥16往氣壓缸30的第二氣 室42b之空氣的流動。第二節流閥54b係調整經由切換閥16往氣壓缸30的第二氣室42b之空氣的流量。
另外，此第一流體迴路10A係在第二空氣流路12b之中，位於氣壓缸30與第一速度控制閥50a之間的任意的點，連接有第三止回閥52c。此第三止回閥52c係容許從第二空氣流路12b往切換閥16之空氣的流動，而阻止從切換閥16往第二空氣流路12b之空氣的流動。
另一方面，切換閥16係構成為具有第一埠口60a~第五埠口60e且可在第一位置與第二位置之間切換之五口二位電磁閥。第一埠口60a係與第一空氣流路12a連接，第二埠口60b係與第二空氣流路12b連接。第三埠口60c係與空氣供給源62連接。第四埠口60d係與附設有消音器63之排氣口64連接，第五埠口60e係與上述的第三止回閥52c連接。另外，第一埠口60a與第四埠口60d相通，且第二埠口60b與第三埠口60c相通。從第三止回閥52c到切換閥16的第五埠口60e之第三空氣流路12c係發揮作為一個儲氣部之機能。
並且，如第1A圖所示，切換閥16在第一位置時，第一埠口60a與第四埠口60d相通，且第二埠口60b與第三埠口60c相通。另一方面，如第2A圖所示，切換閥16在第二位置時，第一埠口60a與第五埠口60e相通，且第二埠口60b與第四埠口60d相通。
另外，切換閥16係在未通電時，在彈簧的彈力作用下保持在第二位置，而在通電時從第二位置切換到第一位置。對於切換閥16之通電或未通電，係按照未圖示的上位裝置之可程式邏輯控制器(Programmable Logic Controller；PLC)對切換閥16之通電指令的輸出(通電)或通電停止指令的輸出(未通電)而進行。
將活塞桿40推出之氣壓缸30的驅動行程中，切換閥16係設於第一位置，將活塞桿40拉回之氣壓缸30的返回行程中，切換閥16係設於第二位置。
在第一空氣流路12a上的任意的點係設有儲槽部68。儲槽部68係具有大容積以發揮蓄積空氣之儲氣槽的作用。
另外，第1A圖~第2B圖係以迴路圖概念地顯示第一流體迴路10A，為了方便起見，即使是建構在氣壓缸30的內部之流路，亦描繪成配設在氣壓缸30的外側。
實際上，第1A圖中的以一點鏈線框起來的部分，亦即，包含第三止回閥52c之第二空氣流路12b的一部分及包含儲槽部68之第一空氣流路12a的一部分係建構在氣壓缸30的內部。
另外，例如，第1A圖中以一點鏈線框起來的範圍的第一空氣流路12a，如第3圖所示，係橫亙設於桿側蓋36、缸筒32、及頭側蓋34，其中，設於缸筒32的部分成為儲槽部68。儲槽部68例如可將缸筒32形成為由內筒與外筒所構成的雙重構造，而利用形成於兩者之間的空間來構成。
第一流體迴路10A基本上為如以上所述的構成，以下，參照第1A圖~第2B圖來說明其作用。另外，如第1A圖所示，將切換閥16位於第一位置，且活塞桿40最收縮的狀態設為初始狀態。
首先，如第1A圖及第1B圖所示，驅動行程係在初始狀態下，將來自空氣供給源62之空氣經由第二空氣流路12b供給至第二氣室42b，且將第一氣室42a內之空氣經由第一空氣流路12a從排氣口64排出到外部。此時，空氣係在第二速度控制閥50b中藉由第二節流閥54b調整流量，而在第一速度控制閥50a中通過第一止回閥52a供給至第二氣室42b。另外，來自空氣供給源62之空氣係從第二空氣流路12b經由第三止回閥52c而供給至第三空氣流路12c。
藉此，第二氣室42b的壓力開始上升，且第一氣室42a的壓力開始下降。當第二氣室42b的壓力超過第一氣室42a的壓力達克服活塞38的靜摩擦力時，活塞桿40便開始往推出方向移動。然後，如第1B圖所示，活塞桿40係伸出到最大位置，且以大推力保持在其位置。
活塞桿40伸出而進行了工件的定位等之作業後，如第2A圖及第2B圖所示，將切換閥16從第一位置切換到第二位置。亦即，使活塞桿40的返回行程開始。
此返回行程中，第二氣室42b中蓄積的空氣的一部分通過第三止回閥52c而流往第一氣室42a，且與此同時，第二氣室42b中蓄積的空氣的其他部分通過第一速度控制閥50a、第二速度控制閥50b及切換閥16而從排氣口64排出。此時，空氣係在第一速度控制閥50a中藉由第一節流閥54a調整流量，而在第二速度控制閥50b中通過第二止回閥52b流往切換閥16。
另一方面，朝向第一氣室42a供給的空氣，主要係蓄積於儲槽部68。這是因為在活塞桿40的拉回開始之前，包含第一氣室42a與配 管通路之從第三止回閥52c到第一氣室42a之間空氣可存在的區域之中，儲槽部68佔有最大的空間之故。
之後，第二氣室42b的氣壓減小，第一氣室42a的氣壓上升，當第一氣室42a的氣壓高出第二氣室42b的氣壓達到預定的值以上時，活塞桿40便開始拉回。然後，活塞桿40係返回到最收縮之初始狀態。
第一流體迴路10A中例示了將儲槽部68設於第一空氣流路12a，但若第一空氣流路12a的內徑充分大而可發揮儲槽部68的作用時，亦可如第4圖之變形例的第一流體迴路10Aa所示，省略儲槽部68之設置。
接著，參照第5A圖~第7圖來說明第二實施形態之氣壓缸的流體迴路(以下稱為第二流體迴路10B)。
第二流體迴路10B係具有與上述的第一流體迴路10A大致同樣的構成，惟，相異點在於具有旁通流路80來替代第三空氣流路12c。
亦即，第二流體迴路10B中，旁通流路80從第一空氣流路12a的路徑中分歧，且該旁通流路80合流於第二空氣流路12b的路徑中。亦即，在第一空氣流路12a的任意的點M1與第二空氣流路12b的任意的點M2之間設有旁通流路80。
旁通流路80中，在靠近第二空氣流路12b的任意的點M2之側設有第四止回閥52d，在靠近第一空氣流路12a的任意的點M1之側設有引導式止回閥56。第四止回閥52d係容許從第二氣室42b往第一氣室42a之空氣的流動，而阻止從第一氣室42a往第二氣室42b之空氣的流動。
引導式止回閥56係容許從第一氣室42a往第二氣室42b之空氣的流動。而且，引導式止回閥56係在預定壓力以上的引導壓力未作用時，阻止從第二氣室42b往第一氣室42a之空氣的流動，而在預定壓力以上的引導壓力作用時，容許從第二氣室42b往第一氣室42a之空氣的流動。換言之，引導式止回閥56在引導壓力未作用時，發揮容許從第一氣室42a往第二氣室42b之空氣的流動而阻止從第二氣室42b往第一氣室42a之空氣的流動之逆止閥的機能，在引導壓力作用時，使空氣可雙向都流通而不發揮逆止閥之機能。
在第一空氣流路12a的任意的點M1與切換閥16之間的第一空氣流路12a設有第五止回閥52e。第五止回閥52e係容許從第一空氣流路12a的任意的點M1往切換閥16之空氣的流動而阻止從切換閥16往第一空氣流路12a的任意的點M1之空氣的流動。從第五止回閥52e與切換閥16之間的第一空氣流路12a設有分歧而通到引導式止回閥56的引導流路58。
第二流體迴路10B的切換閥16也構成為具有第一埠口60a~第五埠口60e且可在第一位置與第二位置之間切換之五口二位電磁閥。第一埠口60a係與第一空氣流路12a連接，第二埠口60b係與第二空氣流路12b連接。
第三埠口60c係與附設有第一消音器63a之第一排氣口64a連接。第四埠口60d係與空氣供給源62連接，第五埠口60e係與附設有第二消音器63b之第二排氣口64b連接。
另外，第5A圖中以一點鏈線框起來的部分，亦即，儲槽部68、包含第四止回閥52d及引導式止回閥56之旁通流路80、引導流路58、包含第五止回閥52e之第一空氣流路12a的一部分及第二空氣流路12b的一部分，係建構於氣壓缸30的內部。
第二流體迴路10B基本上為如以上所述的構成，以下，參照第5A圖~第6B圖來說明其作用。另外，如第5A圖所示，將切換閥16位於第一位置，且活塞桿40最收縮的狀態設為初始狀態。
首先，如第5A圖及第5B圖所示，驅動行程係在初始狀態下，將來自空氣供給源62之空氣經由第二空氣流路12b供給至第二氣室42b，且將第一氣室42a內之空氣經由第一空氣流路12a從第二排氣口64b排出到外部。此時，空氣係在第二速度控制閥50b中藉由第二節流閥54b調整流量，而在第一速度控制閥50a中通過第一止回閥52a供給至第二氣室42b
藉此，第二氣室42b的壓力開始上升，且第一氣室42a的壓力開始下降。當第二氣室42b的壓力超過第一氣室42a的壓力達克服活塞38的靜摩擦力時，活塞桿40便開始往推出方向移動。然後，如第5B圖所示，活塞桿40係伸出到最大位置，且以大推力保持在其位置。
活塞桿40伸出而進行了工件的定位等之作業後，如第6A圖所示，將切換閥16從第一位置切換到第二位置。亦即，使活塞桿40的返回行程開始。
返回行程中，來自空氣供給源62之空氣流入到第五止回閥52e與切換閥16之間的第一空氣流路12a內，流入的氣流由於第五止回閥 52e的阻擋使得該第一空氣流路12a內的空氣的壓力上升。然後，與第一空氣流路12a連接之引導流路58的壓力也升高到預定值以上，使得引導式止回閥56不再發揮作為逆止閥之機能。
引導式止回閥56不再發揮作為逆止閥之機能時，第二氣室42b中蓄積的空氣的一部分係經由第二空氣流路12b的任意的點M2通過包含第四止回閥52d及引導式止回閥56之旁通流路80，從第一空氣流路12a的任意的點M1朝向第一氣室42a供給。與此同時，第二氣室42b中蓄積的空氣的其他部分係經由第二空氣流路12b而從第一排氣口64a排出到外部。此時，空氣係在第一速度控制閥50a中藉由第一節流閥54a調整流量，而在第二速度控制閥50b中通過第二止回閥52b流往切換閥16。藉此，第二氣室42b的壓力開始下降，且第一氣室42a的壓力開始上升。此時，朝向第一氣室42a供給的空氣主要係蓄積於儲槽部68。
第二氣室42b的壓力減小，第一氣室42a的壓力上升，當第二氣室42b的壓力等於第一氣室42a的壓力時，由於第四止回閥52d的作用，使得第二氣室42b的空氣不再供給到第一氣室42a，第一氣室42a的壓力之上升即停止。另一方面，第二氣室42b的壓力係繼續下降。然後，當第一氣室42a的壓力超過第二氣室42b的壓力達克服活塞38的靜摩擦力時，活塞桿40便開始往拉回方向移動。
活塞桿40開始往拉回方向移動時，由於第一氣室42a的容積增大使得第一氣室42a的壓力降低，但因有儲槽部68的存在，所以第一氣室42a的容積實質上變得較大，壓力降低的比率小。並且，第二氣室42b的壓力則是以相對較大的比率降低，所以第一氣室42a的壓力超過第二氣 室42b的壓力之狀態會持續。而且，一旦開始移動之後，活塞38的滑動阻力會比靜止狀態的活塞38的摩擦阻力小，所以可無阻礙地進行活塞桿40之往拉回方向的移動。如此，活塞桿40係返回到最收縮之初始狀態。此狀態係維持到再度進行切換閥16的切換為止。
第二流體迴路10B中例示了將儲槽部68設於第一空氣流路12a，但若第五止回閥52e與第一氣室42a之間的第一空氣流路12a的內徑充分大而可發揮儲槽部68的作用時，亦可如第7圖之變形例的第二流體迴路10Ba所示，省略儲槽部68之設置。
[從實施形態得出的發明]
以下記載可從上述實施形態掌握的發明。
本實施形態係一種氣壓缸的流體迴路，具有：氣壓缸30，係具有由活塞38區隔的第一氣室42a及第二氣室42b；切換閥16係切換活塞38的驅動行程與返回行程；第一空氣流路12a，係位於第一氣室42a與切換閥16間；以及第二空氣流路12b，係位於第二氣室42b與切換閥16間，第二空氣流路12b中串聯設置有兩個速度控制閥(第一速度控制閥50a及第二速度控制閥50b)。
在活塞38的驅動行程中，可利用第二速度控制閥50b的第二節流閥54b來調整從切換閥16對第二氣室42b之供給流量，在活塞38的返回行程中，可利用第一速度控制閥50a的第一節流閥54a來調整從第二氣室42b向切換閥16之排氣流量。亦即，可分別獨立調整對氣壓缸30之供給流量及自氣壓缸30之排氣流量。以致於流體迴路的需求特性之驅動行程時之行程時間的短縮化以及返回行程後之流體壓力缸內的壓力的增大 化。而且，由於只要在第二空氣流路12b串聯設置兩個速度控制閥即可，因而可達成構造的簡單化。
本實施形態中，驅動行程中，由第一速度控制閥50a的第一止回閥52a與第二速度控制閥50b的第二節流閥54b構成第二空氣流路12b，返回行程中，由第一速度控制閥50a的第一節流閥54a與第二速度控制閥50b的第二止回閥52b構成第二空氣流路12b。
驅動行程中，供給至第二空氣流路12b之空氣通過第一速度控制閥50a的第一止回閥52a與第二速度控制閥50b的第二節流閥54b而供給至氣壓缸30的第二氣室42b。返回行程中，從氣壓缸30的第二氣室42b排出到第二空氣流路12b之空氣通過第一速度控制閥50a的第一節流閥54a與第二速度控制閥50b的第二止回閥52b，而經由切換閥16排氣。因此，在活塞38的驅動行程中，可利用第二速度控制閥50b的第二節流閥54b來調整從切換閥16供給到第二氣室42b之供給流量，在活塞38的返回行程中，可利用第一速度控制閥50a的第一節流閥54a來調整從第二氣室42b排放到切換閥16之排氣流量。
本實施形態中，具有：第三空氣流路12c，係從第二空氣流路12b分歧且通到切換閥16；以及第三止回閥52c(外側止回閥)，係設於第三空氣流路12c，且以第二空氣流路12b側作為輸入。第三空氣流路12c可在驅動行程中，蓄積從第二空氣流路12b供給的部分空氣，第三空氣流路12c可在返回行程中，經由切換閥16而連通第二空氣流路12b與第一空氣流路12a。
在驅動行程中，部分空氣從第二空氣流路12b供給到第三空氣流路12c，且該空氣係蓄積於第三空氣流路12c。蓄積於第三空氣流路12c之空氣係在之後的返回行程中，經由切換閥16及第一空氣流路12a而供給到氣壓缸30的第一氣室42a。亦即，可活用蓄積於第三空氣流路12c之空氣作為活塞38之返回用的壓力，而可抑制空氣之耗用。
本實施形態中，具備：旁通流路80，係設於第一空氣流路12a與第二空氣流路12b之間；以及設於旁通流路80之第四止回閥52d(內側止回閥)及引導式止回閥56(內側引導式止回閥)。第四止回閥52d可容許從第二氣室42b往第一氣室42a之空氣的流動，並且阻止從第一氣室42a往第二氣室42b之空氣的流動。引導式止回閥56可容許從第一氣室42a往第二氣室42b之空氣的流動，並且在引導壓力未作用時阻止從第二氣室42b往第一氣室42a之空氣的流動。
藉此，可使蓄積於第二氣室42b之空氣供給至第一氣室42a且可排出到外部。因此，在第一氣室42a的壓力增大的同時，可使第二氣室42b的壓力急速減小，可儘可能地縮短氣壓缸30返回所需的時間。而且，不需要複雜構造的回收閥，可將用以使氣壓缸30返回的流體迴路簡單化。
本實施形態中，可在第一空氣流路12a之中之靠近第一氣室42a處設置儲槽部68。藉此，可使從第二氣室42b排出的空氣蓄積於儲槽部68，可在氣壓缸30的返回行程時，在第一氣室42a的容積增大之際儘可能地抑制第一氣室42a的壓力降低。
本發明之氣壓缸的流體迴路不限於上述的實施形態，當可在未脫離本發明的主旨之範圍內採用各種構成。
10A‧‧‧流體迴路
12a‧‧‧第一空氣流路
12b‧‧‧第二空氣流路
12c‧‧‧第三空氣流路
16‧‧‧切換閥
30‧‧‧氣壓缸
38‧‧‧活塞
40‧‧‧活塞桿
42a‧‧‧第一氣室
42b‧‧‧第二氣室
50a‧‧‧第一速度控制閥
50b‧‧‧第二速度控制閥
52a、52c‧‧‧止回閥
54b‧‧‧第二節流閥
62‧‧‧空氣供給源
63‧‧‧消音器
64‧‧‧排氣口
68‧‧‧儲槽部

Claims (6)

  1. 一種氣壓缸的流體迴路，係具有：氣壓缸(30)，係具有由活塞(38)區隔的第一氣室(42a)及第二氣室(42b)；切換閥(16)，係切換前述活塞(38)的驅動行程與返回行程；第一流路(12a)，係位於前述第一氣室(42a)與前述切換閥(16)間；第二流路(12b)，係位於前述第二氣室(42b)與前述切換閥(16)間；旁通流路(80)，係設於前述第一流路(12a)與前述第二流路(12b)之間；內側止回閥(52d)與內側引導式止回閥(56)，係設於前述旁通流路(80)；以及止回閥(52e)，係於前述第一流路(12a)中，設於前述旁通流路(80)的分歧點與前述切換閥(16)之間；前述第二流路(12b)中串聯設置有兩個速度控制閥(50a、50b)；前述內側止回閥(52d)係容許從前述第二氣室(42b)往前述第一氣室(42a)之空氣的流動，並且阻止從前述第一氣室(42a)往前述第二氣室(42b)之空氣的流動，前述內側引導式止回閥(56)係容許從前述第一氣室(42a)往前述第二氣室(42b)之空氣的流動，並且，在由前述止回閥(52e)所致之引導壓力作用時容許從前述第二氣室(42b)往前述第一氣室(42a)之空氣的流動，而在前述引導壓力未作用時阻止從前述第二氣室(42b)往前述第一氣室(42a)之空氣的流動。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之氣壓缸的流體迴路，其中， 前述驅動行程中，由一方的前述速度控制閥(50a)的止回閥(52a)與另一方的前述速度控制閥(50b)的可變節流閥(54b)構成前述第二流路(12b)，前述返回行程中，由一方的前述速度控制閥(50a)的可變節流閥(54a)與另一方的前述速度控制閥(50b)的止回閥(52b)構成前述第二流路(12b)。
  3. 如申請專利範圍第1項所述之氣壓缸的流體迴路，係具有：第三流路(12c)，係從前述第二流路(12b)分歧且通到前述切換閥(16)；以及外側止回閥(52c)，係設於前述第三流路(12c)，且以前述第二流路(12b)側作為輸入，前述第三流路(12c)係在前述驅動行程中，蓄積從前述第二流路(12b)供給來的部分空氣，前述第三流路(12c)係在前述返回行程中，經由前述切換閥(16)而連通前述第二流路(12b)與前述第一流路(12a)。
  4. 如申請專利範圍第1項所述之氣壓缸的流體迴路，其中，在前述第一流路(12a)之中之靠近前述第一氣室(42a)處設有儲槽部(68)。
  5. 如申請專利範圍第2項所述之氣壓缸的流體迴路，係具有：第三流路(12c)，係從前述第二流路(12b)分歧且通到前述切換閥(16)；以及外側止回閥(52c)，係設於前述第三流路(12c)，且以前述第二流路(12b)側作為輸入， 前述第三流路(12c)係在前述驅動行程中，蓄積從前述第二流路(12b)供給來的部分空氣，前述第三流路(12c)係在前述返回行程中，經由前述切換閥(16)而連通前述第二流路(12b)與前述第一流路(12a)。
  6. 如申請專利範圍第2項所述之氣壓缸的流體迴路，其中，在前述第一流路(12a)之中之靠近前述第一氣室(42a)處設有儲槽部(68)。
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