TWI640853B - 用於控制使用前饋調整的流量比率控制器之方法及系統 - Google Patents

Abstract

本發明揭示一種處理裝置，該處理裝置決定複數個初始的流量設定點命令，該等複數個設定點命令的每一設定點命令對應到複數個閥門中的一個閥門，及傳送該等複數個初始的設定點命令的每一初始的設定點命令至該等複數個閥門中的一相對應的閥門。處理裝置針對於需要進行調整的流量狀況來監控該等複數個閥門。在偵測到該流量狀況之後，該處理裝置基於先前的設定點來預測該調整，及基於該預測的調整決定複數個更新的流量設定點命令，該等複數個更新的流量設定點命令的每一更新的流量設定點命令對應到該等複數個閥門中的一個閥門。處理裝置然後傳送該等複數個更新的設定點命令的每一更新的設定點命令至該等複數個閥門的該相對應的閥門。

Description

用於控制使用前饋調整的流量比率控制器之方法及系統

本揭露的實施例係關於流量比率控制器，及更為特定而言，本揭露的實施例係關於質量流量控制器的管理。

用於半導體處理腔室的氣體輸送系統利用流量分流的方法以改善：在多個-注入點或共用的腔室架構中的混合比率的精確性、可重複性，及可再現性。流量分流可在許多應用中顯著地減少氣體輸送系統的成本。流量比率控制器(FRC)可為有效的流量分流的裝置，但該流量比率控制器大體非常複雜。

FRC被廣泛地使用於半導體工業中以將氣體或氣體混合物分散至在處理腔室中的不同的區域。然而，FRC經常利用造成非對稱的狀況的演算法，以為了利用可能的最快的方式來達到所欲的新的設定點(以對稱的瞬時的流量作為犧牲)。此外，FRC經常在通道的數目和流量範圍中受到限制，避免了可擴充性而不招致高昂的成本。再者，控制架構被包 含在裝置內，而將該裝置限制在使用控制點上。

本揭露提供一方法，該方法包含以下步驟：決定複數個初始的設定點命令，該等複數個初始的設定點命令的每一初始的設定點命令對應到複數個閥門中的一個閥門；傳送該等複數個初始的設定點命令的每一初始的設定點命令至該等複數個閥門中的一相對應的閥門；針對於需要進行一調整的一流量狀況來監控該等複數個閥門；在偵測到該流量狀況之後，基於先前的設定點來預測該調整；由一處理裝置基於該預測的調整決定複數個更新的設定點命令，該等複數個更新的設定點命令的每一更新的設定點命令對應到該等複數個閥門中的一個閥門；及傳送該等複數個更新的設定點命令的每一更新的設定點命令至該等複數個閥門中的該相對應的閥門。

本揭露亦提供：一種包含一控制器的系統，該控制器經程式化以執行指令，該等指令包含：決定複數個初始的設定點命令，該等複數個初始的設定點命令的每一初始的設定點命令對應到複數個閥門中的一個閥門；傳送該等複數個初始的設定點命令的每一初始的設定點命令至該等複數個閥門中的一相對應的閥門；針對於需要進行一調整的一流量狀況來監控該等複數個閥門；在偵測到該流量狀況之後，基於先前的設定點來預測該調整；由一處理裝置基於該預測的調整決定複數個更新的設定點命令，該等複數個更新的設定點命令的每一更新的設定點命令對應到該等複數個閥門中的一 個閥門；及傳送該等複數個更新的設定點命令的每一更新的設定點命令至該相對應的閥門。

本揭露進一步地提供：一種具有指令的電腦可讀取媒體，當該等指令由一處理裝置執行時，使得該處理裝置執行一方法，該方法包含以下步驟：決定複數個初始的設定點命令，該等複數個初始的設定點命令的每一初始的設定點命令對應到複數個閥門中的一個閥門；傳送該等複數個初始的設定點命令的每一初始的設定點命令至該等複數個閥門中的一相對應的閥門；針對於需要進行一調整的一流量狀況來監控該等複數個閥門；在偵測到該流量狀況之後，基於先前的設定點來預測該調整；由一處理裝置基於該預測的調整決定複數個更新的設定點命令，該等複數個更新的設定點命令的每一更新的設定點命令對應到該等複數個閥門中的一個閥門；及傳送該等複數個更新的設定點命令的每一更新的設定點命令至該相對應的閥門。

100‧‧‧流量控制系統

105‧‧‧使用者介面

110‧‧‧控制伺服器

115‧‧‧流量控制模組

120‧‧‧類比至數位介面

125‧‧‧流量比率控制系統

130‧‧‧流量讀取模組

135‧‧‧閥門位置模組

140‧‧‧MFC陣列

140-1-140-n‧‧‧MFC

145‧‧‧氣體供應器

146‧‧‧氣體

147‧‧‧氣體

150‧‧‧腔室

200‧‧‧流量控制模組

210‧‧‧目標設定點模組

215‧‧‧誤差模組

220‧‧‧總流量模組

225‧‧‧更新設定點模組

230‧‧‧流量讀取資料

235‧‧‧閥門位置資料

240‧‧‧更新的流量設定點命令

300‧‧‧方法

301‧‧‧方法/步驟

302‧‧‧方法/步驟

303‧‧‧方法/步驟

304‧‧‧方法/步驟

305‧‧‧方法/步驟

306‧‧‧方法/步驟

307‧‧‧方法/步驟

400‧‧‧方法

401‧‧‧方法/步驟

402‧‧‧方法/步驟

403‧‧‧方法/步驟

404‧‧‧方法/步驟

405‧‧‧方法/步驟

406‧‧‧方法/步驟

407‧‧‧方法/步驟

408‧‧‧方法/步驟

500‧‧‧流量控制系統

505‧‧‧使用者介面

510‧‧‧控制伺服器

515‧‧‧閥門控制模組

520‧‧‧設定點資料

525‧‧‧流量比率控制系統

530‧‧‧流量讀取模組

535‧‧‧閥門位置模組

540‧‧‧MFC陣列

540-1-540-n‧‧‧MFC

545‧‧‧氣體供應器

546‧‧‧氣體

547‧‧‧輸出流量

550‧‧‧腔室

600‧‧‧閥門控制模組

610‧‧‧目標設定點模組

615‧‧‧流量調整監視器

620‧‧‧預測模組

625‧‧‧更新設定點模組

630‧‧‧流量讀取資料

635‧‧‧閥門位置資料

640‧‧‧先前的設定點資料

645‧‧‧更新的閥門設定點命令

700‧‧‧方法

701‧‧‧方法/步驟

702‧‧‧方法/步驟

703‧‧‧方法/步驟

704‧‧‧方法/步驟

705‧‧‧方法/步驟

706‧‧‧方法/步驟

707‧‧‧方法/步驟

801、802、803、804‧‧‧MFC

900‧‧‧計算裝置

902‧‧‧處理系統(處理裝置)

904‧‧‧主記憶體

906‧‧‧靜態記憶體

908‧‧‧網路介面裝置

910‧‧‧視訊顯示單元

912‧‧‧文數字的輸入裝置

914‧‧‧游標控制裝置

916‧‧‧訊號產生裝置

918‧‧‧資料儲存裝置

920‧‧‧網路

922‧‧‧指令

928‧‧‧電腦可讀取儲存媒體

930‧‧‧匯流排

940‧‧‧控制模組

在隨附圖式的示圖中(其中類似的參照表示類似的元件)，本揭露係藉由示例的方式(而非藉由限制的方式)來示例說明。應注意到：在此揭露中針對於「一(an)」或「一個(one)」實施例的不同的參照並非必然地意指為相同的實施例，及此些參照意指為至少一者。

第1圖係根據一實施例的一方塊圖，該方塊圖示例說明：一流量控制系統，該流量控制系統利用一反饋驅動流量控制模組，該反饋驅動流量控制模組藉由類比連接耦接至 多-通道的質量流量控制裝置。

第2圖係流量控制模組的一實施例的一方塊圖。

第3圖係一流程圖，該流程圖示例說明：用於反饋驅動流量控制的方法的一實施例。

第4圖係一流程圖，該流程圖示例說明：用於決定流量控制設定點的方法的一實施例。

第5圖係根據本發明的一實施例的一方塊圖，該方塊圖示例說明：一流量控制系統，該流量控制系統利用一前饋驅動流量控制模組，該前饋驅動流量控制模組藉由高速的Ethercat連接耦接至一多-通道的質量流量控制裝置。

第6圖係閥門控制模組的一實施例的方塊圖。

第7圖係一流程圖，該流程圖示例說明：用於前饋驅動流量控制的方法的一實施例。

第8圖根據本發明的一實施例來示例說明：對於使用4個MFC裝置的4個-通道的流量比率控制器而言的瞬時的流量之圖形表示。

第9圖示例說明：可執行在此描述的操作中的一或多個的電腦系統之方塊圖。

本揭露的實施例係關於：一種用於調整使用二或多個質量流量控制器(MFC)裝置的陣列的多-通道的流量比率控制器(FRC)的方法和系統。MFC裝置彼此之間並行地進行操作和構成流量比率控制器的通道，其中每個通道具有一個MFC。MFC裝置的陣列從氣體供應器接收氣體和將該氣體導 引朝向氣體腔室或氣體腔室內的指定的區域。MFC裝置可為：任何的適當的工業標準質量流量控制器。MFC裝置的陣列係由流量比率控制系統來管理，該流量比率控制系統處理：被傳送至個別的MFC裝置的訊號和來自個別的MFC裝置的訊號。該等訊號可包含：表示總流量速率以及針對於每一個別的MFC的閥門位置的電壓測量。流量比率控制系統傳送此些測量至控制伺服器以用於進行處理。控制伺服器接收來自在陣列中的每一個別的MFC的測量和執行控制演算法以實施：對於經過該陣列的氣體的總流量之任何的改變。

與習知的FRC不同，實施例在從大約10(每分鐘標準立方公分(standard cubic centimeters per minute(sccm))至大約200(每分鐘標準公升(standard liters per minute(slm))的流量範圍中可輕易地擴充(scalable)到任何數目的通道，而允許氣體控制板設計的自由度。與當改變流量設定點時造成非對稱的流量狀況的FRC不同，實施例提供：橫越於通道而為固有地穩定的和對稱的且耗用較低的成本的控制。實施例於數個通道間分配總氣體流量，以使得在進行流量調整期間的壓力降被最小化，而保持閥門儘可能地打開。

當在此使用詞彙「大約(about)」和「近似於(approximately)」，此些者意欲為意指：所呈現的標稱值的精確度係在±10%以內。此外，當在此使用詞彙「配方(recipe)」時，所意欲者為意指：被分散於MFC陣列間以達到所欲的總流量的流量及/或閥門設定點之特定的組合。類似地，詞彙「配方控制演算法(recipe control algorithm)」意欲為意指：負責維 持預先決定的流量「配方(recipe)」的處理邏輯。

在一實施例中，MFC陣列可在流量設定點模式中被驅動，其中在該流量設定點模式中，系統在每一通訊週期中傳送流量設定點命令至每一MFC。流量設定點命令係：流量比率、測量的總流量，及MFC閥門電壓的函數。流量比率控制系統評估：來自每一MFC的流量和閥門電壓。此資訊可被傳送至控制伺服器，在此針對於在即時的閉合式反饋迴路中的每一MFC而計算出更新的流量設定點。在實施例中，流量比率控制系統藉由類比連接來傳送命令至每一MFC和接收來自每一MFC的訊號。在實施例中，流量比率控制系統藉由類比至數位介面的方式且透過數位連接與即時系統進行通訊。在一實施例中，數位連接可為：高速的Ethercat連接。

在另一實施例中，MFC陣列可在前饋控制模式中被驅動。在此實施例中，在陣列中的MFC可支援：直接的數位連接(例如高速的Ethercat連接)，而不需要對於類比至數位介面。數位連接的使用可提供：用以在流量比率控制系統與控制伺服器之間傳送和接收較大數量的資料和控制測量的能力。流量比率控制系統因而可用快速得多和精確得多的方式與控制伺服器進行通訊。在實施例中，在從流量比率控制系統接收流量和電壓資訊之後，控制伺服器可從閉合式反饋迴路中斷開，及直接地傳送命令至MFC的每一者。在一實施例中，控制伺服器可直接地傳送固定的MFC流量設定點至每一MFC，而繞過在控制伺服器中的反饋控制邏輯。在另一實施例中，控制伺服器可直接地傳送MFC閥門位置設定點至每一 MFC。

在前饋的實施例中，由流量比率控制系統所使用的先前的設定點可被儲存在資料儲存庫中。控制伺服器可使用資料儲存庫以：針對於在流量比率控制系統內所遭遇到的特定的流量狀況來預測正確的流量及/或閥門設定點。當偵測到在過去已經遭遇過的不穩定的流量狀況時，控制伺服器可選擇：曾被成功地實施以校正先前的狀況的一設定點。控制伺服器然後可直接地傳送更新的設定點命令至MFC陣列，而不存取反饋控制邏輯。舉例而言，若過程配方步驟造成：在MFC陣列內的瞬時的流量不穩定性，被使用於每一通道以校正該問題的流量設定點可被儲存至資料儲存庫和被使用以消除在未來所遭遇到的類似的不穩定性。若在往後的時間遭遇到相同的或類似的流量不穩定性，控制伺服器可存取資料儲存庫以預測：將導引至一流量校正的一序列的流量設定點。

第1圖係一方塊圖，該方塊圖示例說明：一流量控制系統100，該流量控制系統利用一反饋驅動流量控制模組，該反饋驅動流量控制模組藉由類比連接耦接至多-通道的質量流量控制裝置，其中在該流量控制系統100中於此描述的實施例可進行操作。流量控制系統100可包含：使用者介面105、控制伺服器110、流量比率控制系統125，及MFC陣列140。控制伺服器110可藉由類比至數位介面120耦接至流量比率控制系統125，該類比至數位介面120提供：類比至數位的通訊。流量比率控制系統125可接收來自質量流量控制器MFC 140-1至MFC 140-n(其中在任何的實施例中，n代表： 質量流量控制器的總數量)的陣列的類比訊號和傳送類比訊號至質量流量控制器MFC 140-1至MFC 140-n的陣列。舉例而言，在一實施例中，質量流量控制器的總數量可為2。在另一實施例中，質量流量控制器的總數量可為10。MFC 140-1至MFC 140-n的每一者從氣體供應器145接收氣體146的輸入流量和產生被導引至腔室150的氣體147的輸出流量。

使用者介面105、控制伺服器110，及流量比率控制系統125可個別地由任何類型的計算裝置來主控，該等任何類型的計算裝置包含：伺服器電腦、閘道電腦、桌上型電腦、膝上型電腦、平板電腦、筆記型電腦、PDA(個人數位助理)、行動通訊裝置、蜂巢式行動電話、智慧型手機、手持電腦，或類似的計算裝置。可替代性地，使用者介面105、控制伺服器110，及流量比率控制系統125的任何的組合可在單一的計算裝置上被主控，該單一的計算裝置包含：伺服器電腦、閘道電腦、桌上型電腦、膝上型電腦、行動通訊裝置、蜂巢式行動電話、智慧型手機、手持電腦，或類似的計算裝置。

使用者介面105可被以各種方式配置有不同的功能性以使得使用者能夠提供輸入至控制伺服器110。此外，使用者介面105可經配置以提供關於控制伺服器110的狀態的資訊給使用者。在一實施例中，使用者介面105可顯示：所欲的總流量配方、目前的總流量讀數、針對於任何的MFC的個別的誤差、針對於MFC陣列的總誤差，或其任何的組合。在另一實施例中，使用者介面105可被使用以終止：經過MFC陣列140的流量操作。

控制伺服器110可基於從流量比率控制系統125接收的關於MFC陣列140的任何者或所有者的狀態的反饋來執行：用於流量配方的實施和調整的資源密集演算法。在一實施例中，控制伺服器110可包含：流量控制模組115。

流量控制模組115可操控：涉及到流量配方的任何的或所有的元件的計算之處理。在一實施例中，流量控制模組115可傳送一流量設定點命令至由流量比率控制系統125所控制的每一MFC 140。在一實施例中，針對於每一MFC的流量設定點命令可基於：流量百分率、初始的總流量測量，及初始的閥門電壓測量。然後來自每一MFC的流量和閥門電壓讀數(或測量)可被傳回至流量控制模組115(在此對於流量配方進行評估)。然後可針對於在即時的閉合式反饋迴路中的每一MFC來計算出：更新的流量設定點。更新的流量設定點然後可被傳送至流量比率控制系統125以調整在MFC陣列140中的個別的MFC。

控制伺服器110可藉由耦接到類比至數位介面120的高速的數位連接與流量比率控制系統125進行通訊。一些MFC技術僅支援：類比訊號輸入和輸出，然而控制伺服器110可支援：透過高速的連接(例如Ethercat)的數位輸入和輸出。類比至數位介面120提供：在類比MFC陣列140與控制伺服器115之間的連接性。在一實施例中，類比至數位介面120可為：CIOC介面，該CIOC介面將類比輸入和輸出轉換為Ethercat輸入和輸出，其中利用高解析度的類比至數位的轉換和數位至類比的轉換。

流量比率控制系統125可操控：涉及到在MFC陣列140中的MFC的每一者的流量讀數和閥門位置的測量之處理。流量比率控制系統125可包含：流量讀取模組130和閥門位置模組135。在一實施例中，流量讀取模組130接收：來自在MFC陣列140中的每一個別的MFC的閥門電壓讀數，該閥門電壓讀數代表：此個別的MFC的總流量。流量讀取模組130然後傳送總流量讀數至控制伺服器110以被使用在配方控制演算法中。在一實施例中，閥門位置模組135接收：來自在MFC陣列140中的每一MFC的電壓讀數，該電壓讀數代表：此個別的MFC的閥門位置。閥門位置模組135然後傳送閥門位置讀數至控制伺服器110以被使用在配方控制演算法中。

此外，流量比率控制系統125可傳送更新的設定點命令至在MFC陣列140中的MFC的每一者。若流量控制模組115決定：需要進行流量的改變，控制伺服器110可藉由流量比率控制系統125傳送更新的流量設定點命令至MFC陣列140。類似地，若流量控制模組115決定：需要進行閥門位置的改變，控制伺服器110可藉由流量控制比率系統125傳送更新的閥門位置設定點命令至MFC陣列140。

第2圖係流量控制模組200的一實施例的方塊圖，該流量控制模組200可對應到第1圖的流量控制模組115。流量控制模組200可包含：目標設定點模組210、誤差模組215、總流量模組220，及更新設定點模組225中的一或多個。此外，流量控制模組200可接收：流量讀數資料230和閥門位 置資料235，以及傳送更新的流量設定點命令240。

目標設定點模組210經配置以：針對於MFC陣列140的每一MFC來決定用於閥門電壓的參考临限值。參考临限值代表：目標閥門電壓，其中每一MFC閥門可被驅動至該目標閥門電壓，以使得在出現瞬時的流量期間，壓力降被最小化。在一實施例中，目標設定點模組210利用一設定點，該設定點代表：閥門儘可能地打開所處於的該點，及減低此設定點直到達到目標參考临限值為止。在一實施例中，目標設定點模組210計算出目標電壓，及將此數值表示為Vmax。

誤差模組215經配置以決定：在來自設定點模組210的目標電壓Vmax與在MFC 140陣列140中的每一MFC的個別的閥門電壓之間的差值。在MFC陣列140中的每一MFC的個別的閥門電壓可作為來自流量比率控制系統125(來自於第1圖)的閥門位置資料235而被接收。

誤差模組215計算出一數值dVi=Vimax-Vi，其中i代表：在MFC陣列中的一特定的MFC，Vimax代表：針對於此MFC的Vmax，及Vi代表：針對於此MFC的實際的電壓。若dVi數值係正值(意即，若實際的閥門電壓小於最大临限值)，則dVi數值代表：針對於此MFC的誤差。若dVi數值係負值(意即，若實際的閥門電壓超過最大临限值)，誤差模組215則將該誤差計算為dVi的函數。利用該函數允許：增加額外的權重至誤差因子，以使得該誤差以指數方式變大，以為了利用較高的速率來驅使閥門返回。在各種實施例中，該函數可使用：比例因子、指數因子，或多項式因子。

誤差模組215然後將針對於在MFC陣列中的MFC的Vimax數值加總，以決定：針對於MFC陣列的總誤差。在一實施例中，該誤差可被表示為e。

總流量模組220經配置以決定：對於在MFC陣列中的MFC的所欲的總流量。總流量模組220首先計算出：橫越於在MFC陣列中的MFC的總增益。在一實施例中，總增益被表示為P。總增益被決定為：橫越於在MFC陣列中的MFC的總流量讀數的比率。總流量模組220可利用一增益表，其中總流量模組220根據在特定的時間點的實際的流量和實際的比率內插來自該增益表的實際的增益。在一實施例中，在MFC陣列中的MFC的總流量可作為來自流量比率控制系統125(來自於第1圖)的流量讀數資料230而被接收。在一實施例中，總流量被表示為：QRd。總流量模組220然後將所欲的總流量計算為：QRd與在誤差模組215中所計算出的該誤差的乘積。在一實施例中，所欲的總流量被表示為Q-tot。因此，Q-tot=QRd * e。在一實施例中，總流量不能超過：針對於被使用在MFC陣列中的MFC裝置的最大數值。

更新設定點模組225經配置以基於與所欲的總流量作比較的存在的流量狀況來決定：針對於在MFC 140陣列中的每一MFC的新的設定點。更新設定點模組225將來自總流量模組220的所欲的總流量Q-tot與針對於在MFC陣列中的每一MFC的預先界定的設定點比率相乘。舉例而言，若MFC陣列係由4個MFC所組成，該4個MFC分別地具有10%、20%、30%，及40%的流量比率，更新設定點模組225將會使 得在總流量模組220中導引出的Q-tot與針對於4個MFC中的每一者的比率相乘，以決定：針對於4個MFC中的每一者的新的設定點。在一實施例中，更新設定點模組225然後可傳送更新的設定點(如同更新的流量設定點命令240)至在MFC陣列中的MFC。

第3圖係一流程圖，該流程圖示例說明：用於反饋驅動流量控制的方法300的一實施例。方法300可藉由處理邏輯來執行，該處理邏輯可包含硬體(例如電路、專用邏輯、可程式化邏輯、微代碼等等)、軟體(例如在處理裝置上執行的指令)，或其組合。在一實施例中，方法300係藉由第1圖的流量控制模組115來執行。

在方法300的方塊301處，處理邏輯決定：對於MFC 140陣列的初始的設定點命令。在一實施例中，此者可藉由第2圖的目標設定點模組210來執行。在方塊302處，處理邏輯傳送初始的設定點命令至在系統內的閥門。在一實施例中，閥門係在第1圖的MFC 140陣列中的單一的MFC裝置。在方塊303處，一旦在MFC陣列中的每一MFC已經對設定點命令進行處理，處理邏輯接收：來自閥門的反饋。

在方塊304處，處理邏輯決定：是否已經達到對於每一MFC的目標設定點。若在方塊304處，處理邏輯決定：已經達到目標設定點，該方法返回至方塊303以再次地從MFC接收反饋。若為否定，該方法繼續進行至方塊305，及處理邏輯基於在方塊303中所接收到的反饋來決定：更新的設定點命令。在一實施例中，方塊305可藉由第2圖的誤差 模組215、總流量模組220，及更新設定點模組225的任何者或所有者之組合來執行。

在方塊306處，處理邏輯傳送更新的設定點命令至閥門。在一實施例中，方塊306可藉由第2圖的更新設定點模組225來執行，而傳送如同第2圖的更新的流量設定點命令240的命令。在方塊307處，處理邏輯決定：是否終止該流程。舉例而言，使用者可輸入一命令(例如透過第1圖的使用者介面105)以終止該流程。若在方塊307處，處理邏輯決定：該流程應被終止，該方法結束。若該流程不應被終止，該方法返回至方塊303以再次地從MFC接收反饋。

第4圖係一流程圖，該流程圖示例說明：用於決定流量控制設定點的方法400的一實施例。方法400可藉由處理邏輯來執行，該處理邏輯可包含：硬體(例如電路、專用邏輯、可程式化邏輯、微代碼等等)、軟體(例如在處理裝置上執行的指令)，或其組合。在一實施例中，方法400係藉由第1圖的流量控制模組115來執行。

在方法400的方塊401處，處理邏輯決定：針對於MFC陣列的每一閥門的目標設定點。在一實施例中，方塊401可藉由第2圖的目標設定點模組210來執行。舉例而言，目標設定點模組可利用一設定點，該設定點代表：閥門儘可能地打開所處於的該點，及減低此設定點直到達成目標參考临限值為止，其中目標設定點係：被表示為Vmax的電壓。

在方塊402處，處理邏輯計算出：在MFC陣列中的MFC的總誤差數值。在一實施例中，方塊402可藉由第2圖 的誤差模組215來執行。舉例而言，在目標電壓Vmax與每一MFC的個別的閥門電壓之間的差值可被計算為一數值dVi=Vimax-Vi，其中i代表：在MFC陣列中的一特定的MFC，Vimax代表：針對於此MFC的Vmax，及Vi代表：針對於此MFC的實際的電壓。可將針對於MFC的Vimax數值加總以決定：MFC陣列的總誤差，其中該MFC陣列的總誤差可被表示為e。

在方塊403處，處理邏輯計算出：在MFC陣列中的MFC的所欲的總流量。在一實施例中，方塊403可藉由第2圖的總流量模組220來執行。舉例而言，在MFC陣列中的MFC的總增益可被表示為：P，其中總增益被決定為：在MFC陣列中的MFC的總流量讀數的比率。在MFC陣列中的MFC的總流量可被表示為：QRd。所欲的總流量可為：QRd和誤差e的乘積，其中所欲的總流量可被表示為：Q-tot。

在方塊404處，處理邏輯針對於在MFC陣列中的MFC的每一者計算出一更新的設定點。在一實施例中，方塊404可藉由第2圖的更新設定點模組225來執行。舉例而言，可將來自總流量模組220的所欲的總流量Q-tot與針對於在MFC陣列中的每一MFC的預先界定的設定點比率相乘以決定：針對於每一MFC的更新的設定點。

在方塊405處，處理邏輯傳送更新的設定點命令至閥門。在一實施例中，方塊405可藉由第2圖的更新設定點模組225來執行，而傳送如同第2圖的更新的流量設定點命令240的命令。在方塊406處，處理邏輯接收：針對於在MFC 陣列中的每一MFC的流量讀數和閥門位置。在方塊407處，處理邏輯決定是否終止該流程。舉例而言，使用者可(例如經由第1圖的前端系統105)輸入一命令以終止該流程。若在方塊407處，處理邏輯決定：該流程應被終止，該方法結束。若該流程不應被終止，該方法繼續進行至方塊408和處理邏輯計算出：在MFC陣列中的MFC的實際的總流量。方法然後返回至方塊402以重覆該程序(只要流程尚未被終止)。

第5圖係一方塊圖，該方塊圖示例說明：一流量控制系統500，該流量控制系統利用一前饋驅動流量控制模組，該前饋驅動流量控制模組藉由高速的Ethercat連接耦接至多-通道的質量流量控制裝置，其中在該流量控制系統500中於此描述的實施例可進行操作。流量控制系統500可包含：使用者介面505、控制伺服器510，及流量比率控制系統525。控制伺服器510可藉由數位連接耦接至流量比率控制系統525，該數位連接提供：高速的資料傳輸。流量比率控制系統525可被耦接到質量流量控制器MFC 540-1至MFC 540-n(其中在任何的實施例中，n代表：質量流量控制器的總數量)的陣列。舉例而言，在一實施例中，質量流量控制器的總數量可為2。在另一實施例中，質量流量控制器的總數量可為10。在MFC陣列540中的質量流量控制器的每一者接收：來自氣體供應器545的氣體546的輸入流量，及產生：被導引至腔室550的輸出流量547。

使用者介面505、控制伺服器510，及流量比率控制系統525可個別地由任何類型的計算裝置來主控，該等任何 類型的計算裝置包含：伺服器電腦、閘道電腦、桌上型電腦、膝上型電腦、平板電腦、筆記型電腦、PDA(個人數位助理)、行動通訊裝置、蜂巢式行動電話、智慧型手機、手持電腦，或類似的計算裝置。可替代性地，使用者介面505、控制伺服器510、及流量比率控制系統525的任何的組合可在單一的計算裝置上被主控，該單一的計算裝置包含：伺服器電腦、閘道電腦、桌上型電腦、膝上型電腦、行動通訊裝置、蜂巢式行動電話、智慧型手機、手持電腦，或類似的計算裝置。

使用者介面505可被個別地配置有不同的功能性以使得使用者能夠提供輸入至控制伺服器510。此外，使用者介面505可經配置以提供關於控制伺服器510的狀態的資訊至使用者。在一實施例中，使用者介面505可顯示：所欲的總流量配方、目前的總流量讀數、針對於任何的MFC的個別的誤差、針對於MFC陣列540的總誤差，或其任何的組合。在另一實施例中，使用者介面505可被使用以終止：經過MFC陣列540的流量操作。

控制伺服器510可實施：用於監控從流量比率控制系統525中接收到的資訊以為了偵測存在於MFC陣列540中且需要進行調整的流量狀況的資源密集演算法。在一實施例中，控制伺服器510可包含：閥門控制模組515和設定點資料520。

閥門控制模組515可操控：涉及到對於MFC陣列540所進行的流量調整的處理。在一實施例中，閥門控制模組515可偵測和校正：在MFC陣列540中的流量不穩定性。在 另一實施例中，閥門控制模組515可基於被輸入至使用者介面505的命令來對於MFC陣列540進行流量調整。

在一實施例中，閥門控制模組515可藉由流量比率控制系統525傳送初始的設定點命令至每一MFC。來自每一MFC的流量和閥門電壓然後可被傳回至閥門控制模組515(此處評估該流量)。若偵測到在MFC陣列540中的流量不穩定性，閥門控制模組515可預測閥門或流量設定點以校正該不穩定性。閥門控制模組515可基於被使用在類似的流量不穩定性的情況且被儲存在資料儲存庫中的先前的設定點來進行預測。在一實施例中，資料儲存庫可為設定點資料520。然後可針對於在MFC陣列540中的每一MFC計算出更新的設定點。更新的流量設定點然後可藉由高速的數位連接而直接地被傳送至流量比率控制系統525以調整在MFC陣列540中的個別的MFC。

在一實施例中，閥門控制模組515可決定：可利用在針對於每一MFC的總流量設定點中的特定的改變來對流量不穩定性進行校正。在此情況中，閥門控制模組515可經由數位連接直接地傳送固定的MFC流量設定點至在MFC陣列540中的每一MFC，而直接地繞過任何的反饋控制。在另一實施例中，閥門控制模組515可決定：可利用在針對於在MFC陣列540中的特定的MFC的閥門位置中的改變來對流量不穩定性進行校正。在此情況中，閥門控制模組515可直接地傳送閥門位置設定點至在MFC陣列540中的可適用的MFC。閥門控制模組515可利用此些二個前饋控制模式中的一者或二 者，以僅有更新在MFC陣列540中的個別的MFC、或閥門控制模組515可於相同的時間更新在MFC陣列540中的MFC。

控制伺服器510可藉由高速的數位連接與流量比率控制系統525進行通訊。在一實施例中，此連接可為：Ethercat連接。數位連接的使用可提供：用以在控制伺服器510與流量比率控制系統525之間傳送和接收較大的數量的資料和控制測量之能力。控制伺服器510因而可以快速得多和精確地多的方式與流量比率控制系統525進行通訊。

流量比率控制系統525可操控：涉及到在MFC陣列540中的MFC的每一者的流量讀數和閥門位置的測量之處理。流量比率控制系統525可包含：流量讀取模組530和閥門位置模組535。在一實施例中，流量讀取模組530接收：來自在MFC陣列540中的每一個別的MFC的閥門電壓讀數，該閥門電壓讀取代表：此個別的MFC的總流量。流量讀取模組530然後傳送總流量讀數至即時系統510以被使用在閥門控制演算法中。詞彙「閥門控制演算法(valve control algorithm)」意欲為意指：負責維持預先決定的閥門電壓「配方(Recipe)」的處理邏輯。在一實施例中，閥門位置模組535接收：來自在MFC陣列540中的每一MFC的電壓讀數，該電壓讀取代表：此個別的MFC的閥門位置。閥門位置模組535然後傳送閥門位置讀數至即時系統510以被使用在閥門控制演算法中。

此外，流量比率控制系統525可傳送更新的設定點命令至在MFC陣列540中的MFC的每一者。若閥門控制模 組515決定：需要進行流量的改變，控制伺服器510可藉由流量比率控制系統525傳送更新的流量設定點命令至MFC陣列540。類似地，若閥門控制模組515決定：需要進行閥門位置的改變，控制伺服器510可藉由流量控制比率系統525傳送更新的閥門位置設定點命令至MFC陣列540。

第6圖係閥門控制模組600的一實施例的方塊圖，該閥門控制模組600可對應到第1圖的閥門控制模組515。閥門控制模組600可包含：目標設定點模組610、流量調整監視器615、預測模組620，及更新設定點模組625中的一或多個。此外，閥門控制模組600可接收：流量讀取資料630、閥門位置資料635，及先前的設定點資料640，以及傳送更新的流量設定點命令640。

目標設定點模組610經配置以針對於MFC陣列的每一MFC來決定：用於閥門電壓的參考临限值。參考临限值代表：目標閥門電壓，其中每一MFC閥門可被驅動至該目標閥門電壓，以使得在出現瞬時的流量期間，壓力降被最小化。在一實施例中，目標設定點模組610利用該設定點，該設定點代表：閥門儘可能地打開所處於的該點，及減低此設定點直到達到目標參考临限值為止。

流量調整監視器615經配置以監控MFC陣列上的流量和決定：是否需要進行任何的調整。在一實施例中，流量調整監視器615可接收：來自第5圖的使用者介面505的更新的設定點命令。在另一實施例中，流量調整監視器615可針對於在MFC的任何者或所有者中的瞬時的流量的不穩定性 來監控MFC陣列。在一實施例中，流量不穩定性模組615可基於計算出誤差(如同在前文中針對於第2圖的誤差模組215所描述者)來偵測不穩定性。在另一實施例中，流量調整監視器615可基於使用在MFC陣列中的MFC上的總流量讀數以計算出增益(如同在前文中針對於第2圖的總流量模組220所描述者)來偵測不穩定性。在實施例中，流量調整監視器615可使用流量讀取資料630及/或閥門位置資料635，以為了決定：流量不穩定性是否存在於MFC陣列中。

預測模組620經配置以基於由流量調整監視器615所偵測到的流量調整來產生：校正的閥門或流量設定點。在一實施例中，預測模組620可直接地藉由透過第5圖的使用者介面505的使用者輸入來接收：校正設定點。在另一實施例中，預測模組620可基於使用者輸入來預測：更新的設定點。舉例而言，若使用者輸入更新的設定點至使用者介面，預測模組620可基於先前輸入的設定點來產生：最為有效的流量或閥門設定點數值的預測，該預測下達成較為有效的流量。預測模組620可搜尋儲存的設定點的資料庫以決定：實質上類似的設定點的集合在過去是否曾經被輸入過和彼些設定點是否會導致流量不穩定性。預測模組620然後可產生：可能避免無效的流量狀況的一新的集合的設定點。

在另一實施例中，預測模組620可預測可能的閥門或流量設定點以對於由流量調整監視器615所偵測到的任何的不穩定性進行校正。若流量不穩定性被偵測到，預測模組620可接收：來自儲存的設定點(例如可在第5圖的設定點資 料520中被找到者)的資料庫的先前的設定點資料640。預測模組620可搜尋儲存的設定點以決定：目前所偵測到的流量不穩定性(或實質上類似的流量不穩定性)是否已經在系統中於先前的時間發生過。若為如此，預測模組620將接收由系統所利用的設定點以校正先前的流量不穩定性，以為了嘗試著校正目前偵測到的流量不穩定性。

可替代性地，若先前在系統中尚未遭遇過目前的流量不穩定性的狀況，預測模組620可搜尋：類似於目前的流量不穩定性的一不穩定性的狀況。在一實施例中，預測模組620可使用一可配置的临限值限制，其中藉由該可配置的临限值限制，任何的先前遭遇過的流量不穩定性的狀況可被認為是足夠地類似於目前的流量不穩定性而在預測可能的校正中係有用的。舉例而言，一實施例可將目前的不穩定性的狀況的總流量電壓與儲存的不穩定性資料的總流量電壓作比較。若二者並不相同，但二者落於彼此間的預先決定的電壓临限值之內，預測模組620可決定該二者係足夠地類似的，以使得：用於所儲存的資料的設定點在預測針對目前的問題的校正中可為有用的。

更新設定點模組625經配置以基於由預測模組620所產生的預測來決定：對於在MFC陣列中的每一MFC的新的設定點。在一實施例中，更新設定點模組625可直接地傳送更新的設定點(如同更新的流量設定點命令645)至在MFC陣列中的MFC。

第7圖係一流程圖，該流程圖示例說明：用於前饋 驅動流量控制的方法700的一實施例。方法700可藉由處理邏輯來執行，該處理邏輯可包含：硬體(例如電路、專用邏輯、可程式化邏輯、微代碼等等)、軟體(例如在處理裝置上執行的指令)，或其組合。在一實施例中，方法700係藉由第5圖的閥門控制模組515來執行。

在方法700的方塊701處，處理邏輯決定：對於MFC陣列的初始的設定點命令。在一實施例中，此者可藉由第6圖的目標設定點模組610來執行。在方塊702處，處理邏輯傳送初始的設定點命令至在系統內的閥門。在一實施例中，閥門係在第5圖的MFC 540陣列中的MFC裝置。在方塊703處，處理邏輯決定：是否需要進行流量調整。舉例而言，在一實施例中，決定：是否已經偵測到在系統中的流量不穩定性。在另一實施例中，可決定：新的設定點命令是否已經被輸入至使用者介面。若並不需要進行流量調整，處理邏輯繼續地針對於流量調整來監控該系統。若處理邏輯決定：需要進行流量調整，該方法繼續進行至方塊704，及處理邏輯預測一調整。舉例而言，若偵測到流量不穩定性，可預測：對於流量不穩定性的校正。類似地，若使用者輸入可導致流量不穩定性的更新的設定點命令至使用者介面，可決定：為了避免流量不穩定性而對使用者輸入的設定點所進行的校正。在一實施例中，方塊704可藉由第6圖的預測模組620來執行。

在方塊705處，處理邏輯基於在方塊704處所預測的調整來決定：更新的設定點命令。在一實施例中，方塊705可藉由第6圖的更新設定點模組625來執行。在方塊706處， 處理邏輯傳送更新的設定點命令至閥門。在一實施例中，方塊706可藉由第6圖的更新設定點模組625來執行，而傳送如同更新的閥門設定點命令645的命令。

在方塊707處，處理邏輯決定：是否終止該流程。舉例而言，使用者可(例如經由第5圖的前端系統505)輸入一命令以終止該流程。若在方塊707處，處理邏輯決定：該流程應被終止，該方法結束。若該流程不應被終止，該方法返回至方塊703以再次地檢查：在系統中的流量不穩定性。

第8圖根據本發明的一實施例來示例說明：對於使用4個MFC裝置的4個-通道的流量比率控制器而言為瞬時的流量的圖形表示。在一實施例中，MFC 801、MFC 802、MFC 803，及MFC 804可為：第1圖的MFC 140-1至MFC 140-n。

在時間標示10秒處，MFC 801和MFC 803中的每一者被設定為：26%的流量比率，及MFC 802和MFC 804中的每一者被設定為：24%的流量比率。MFC維持處在此些設定點直到大約在時間標示16處為止，其中新的設定點被輸入至系統。舉例而言，使用者可輸入新的目標設定點至第1圖的前端系統105。在時間16處，流量控制演算法開始疊代地計算出更新的設定點，及將該等計算出的更新的設定點傳送至在陣列中的4個MFC的每一MFC。在一實施例中，流量控制演算法可藉由第1圖的流量控制模組115來執行。4個MFC的每一MFC被對稱地調整，直到達到所欲的流量而不造成在總流量中的尖峰(spike)為止。在大約17秒的時間標示處，MFC 801已經被更新為：41%的流量，MFC 802已經被更新為：39% 的流量，MFC 803已經被更新為：11%的流量，及MFC 804已經被更新為：9%的流量。

在大約24秒的時間標示處，設定點再次地被更新，而驅使4個MFC以更新為一新的所欲的流量。在大約26秒的時間處，MFC 803已經被更新為：41%的流量，MFC 804已經被更新為：39%的流量，MFC 801已經被更新為：11%的流量，及MFC 802已經被更新為：9%的流量。

注意到第8圖描述：具有4個通道的實施例。然而，根據實施例，MFC陣列可包含：少於4個的通道或多於4個的通道。

第9圖係一方塊圖，該方塊圖示例說明：一示例計算裝置900。在一實施例中，計算裝置對應到主控一控制模組940的計算裝置。在一實施例中，控制模組940可為：第1圖的流量控制模組115。在另一實施例中，控制模組940可為：第5圖的閥門控制模組515。計算裝置900包含：一組指令，該組指令使得該機器執行：在此討論的方法中的任何的一或多個。在替代性的實施例中，該機器可被連接(例如網路連接)至在LAN、企業內部網路、企業外部網路，或網際網路中的其他的機器。該機器可以伺服器機器的身份(in the capacity of a server machine)在客戶端-伺服器網路環境中進行操作。該機器可為：個人電腦(PC)、機頂盒(STB)、伺服器、網路的路由器、交換器或橋接器，或能夠執行一集合的指令(循序的或另外的方式)的任何的機器，該集合的指令指定由此機器所採取的動作。再者，雖然僅有單一的機器被示例說明， 詞彙「機器(machine)」亦應被用以包含：個別地或聯合地執行一集合(或多個集合)的指令以執行在此討論的方法中的任何的一或多個的機器的任何的集合。

示例性的電腦裝置900包含：處理系統(處理裝置)902、主記憶體904(例如唯讀記憶體(ROM)、快閃記憶體、動態隨機存取記憶體(DRAM)(例如同步的DRAM(SDRAM))等等)、靜態記憶體1006(例如快閃記憶體、靜態隨機存取記憶體(SRAM)等等)，及資料儲存裝置918，其中前述者彼此之間藉由匯流排930來進行通訊。

處理裝置902代表：一或多個一般性-目的之處理裝置(例如微處理器、中央處理單元，或類似者)。更為特定地，處理裝置902可為：複雜指令集計算(CISC)微處理器、精簡指令集計算(RISC)微處理器、超長指令字(VLIW)微處理器，或實施其他的指令集合的處理器或實施指令集合的組合的處理器。處理裝置902亦可為：一或多個特殊用途之處理裝置(例如應用特定的積體電路(ASIC)、現場可程式化邏輯閘陣列(FPGA)、數位訊號處理器(DSP)、網路處理器，或類似者)。處理裝置902經配置以執行控制模組940，該控制模組用於執行在此討論的操作和步驟。

計算裝置900可進一步包含：網路介面裝置908。計算裝置900亦可包含：視訊顯示單元910(例如液晶顯示器(LCD)或陰極射線管(CRT))、文數字的輸入裝置912(例如鍵盤)、游標控制裝置914(例如滑鼠)，及訊號產生裝置916(例如揚聲器)。

資料儲存裝置918可包含：電腦可讀取儲存媒體928，其中一或多個集合的指令(控制模組940的指令)被儲存在該電腦可讀取儲存媒體上，該等指令體現：在此描述的方法或功能中的任何的一或多個。在由計算裝置900執行控制模組940期間，控制模組940亦可常駐於(完全地或至少部分地)主記憶體904之內及/或處理裝置902之內，其中主記憶體904和處理裝置902亦構成電腦可讀取媒體。控制模組940可進一步地藉由網路介面裝置908且透過網路920被傳送或接收。

雖然電腦可讀取儲存媒體928在一示例實施例中被顯示為：單一的媒體，詞彙「電腦可讀取儲存媒體(computer-readable storage medium)」應被用以包含：儲存一或多個集合的指令的單一的媒體或多個媒體(例如集中式或分散式的資料庫，及/或相關聯的快取記憶體和伺服器)。詞彙「電腦可讀取儲存媒體(computer-readable storage medium)」亦應被用以包含：能夠儲存、編碼或攜有由該機器執行且使得該機器執行本揭露的方法中的任何的一或多個的一集合的指令之任何的媒體。詞彙「電腦可讀取儲存媒體(computer-readable storage medium)」應從而被用以包含(但不限於)：固態記憶體、光學媒體，及磁性媒體。

在前文的描述中，闡述了許多的細節。然而，對於獲有此揭露的益處的一位普通的習知技藝者而言下列所述者將為明顯的：本揭露的實施例可被實施，而無需此些特定的細節。在一些情況中，熟知的結構和裝置係利用方塊圖的形 式來顯示(而非帶細節顯示)，以為了避免遮掩住該描述。

根據對電腦記憶體內的資料位元的操作的演算法和符號表示來呈現【實施方式】的一些部分。此些演算法的描述和表示係數個手段，該等手段係由在資料處理的技術領域中的彼些習知技藝者所使用以將該等習知技藝者的工作的本質最為有效地傳達給其他的習知技藝者。演算法在此(且一般性地)被視為：導致所欲的結果的自我一致的一序列的步驟。該等步驟係：需要進行物理量的物理操作的彼些步驟。通常地(雖然並非必要地)，此些量採用：能夠被儲存、被傳送、被組合、被比較，及利用另外的方式來進行操作的電氣訊號或磁性訊號的形式。對於此些訊號(作為位元、數值、元件、符號、字元、詞彙、號碼，或類似者)的參照已被證明為有時候是方便的(主要由於經常使用的原因)。

然而，應該牢記在心的是：此些和類似的詞彙的所有者係用以與適當的物理量相關聯和僅為被運用至此些量的方便的標記。除非特定地和另外地聲明(如同從前文的討論中顯而易見的)，理解到：在全文描述中，利用詞彙(例如「決定(determining)」、「增加(adding)」、「提供(providing)」、或類似者)的討論意指為：計算裝置或類似的電子計算裝置的動作和程序，該計算裝置或該類似的電子計算裝置操作被表示為在電腦系統的暫存器和記憶體內的物理(例如電子)量的資料、和轉換被表示為在電腦系統的暫存器和記憶體內的物理(例如電子)量的資料至類似地被表示為在電腦系統記憶體或暫存器或其他的此類的資訊儲存裝置內的物理量的其他的 資料。

本揭露的實施例亦關於：用於執行在此的操作的裝置。此裝置可被特別地建構以達到所要求的目標，或該裝置可包含：選擇性地由儲存在電腦中的電腦程式啟動或重新配置的通用電腦。此一電腦程式可被儲存在電腦可讀取儲存媒體中，例如(但不限於)包含光碟、CD-ROM，及磁性-光學的碟片、唯讀記憶體(ROMs)、隨機存取記憶體(RAMs)、EPROM、EEPROM、磁性卡或光學卡，或適合用於儲存電子指令的任何類型的媒體的任何類型的碟片。

理解到：前文的描述意欲為示例說明性的，而非限制性的。在讀取和理解前文的描述之後，許多其他的實施例對於彼些習知技藝者將為明顯的。本揭露的範疇因而應參照隨附的請求項和此些請求項被賦與權力的等效者之全部範疇來決定。

Claims (20)

1. 一種用於控制一流量比率控制器的方法，包含以下步驟：傳送第一複數個設定點命令至複數個閥門；接收使用者輸入以更新該第一複數個設定點命令；在偵測到一不穩定流量狀況之前，識別一先前設定點命令組，該先前設定點命令組實質上類似於該所更新的第一複數個設定點命令；判定實質上類似於該所更新的第一複數個設定點命令的該先前設定點命令組是否造成一先前的不穩定流量狀況；若該先前設定點命令組造成了該先前的不穩定流量狀況，則對於該複數個閥門中的每一個閥門，基於第二複數個設定點命令來預測一流量調整，該第二複數個設定點命令相關聯於所採取以校正該先前的不穩定流量狀況的一校正性動作；基於該所預測的流量調整，由一處理裝置來決定第三複數個設定點命令，該第三複數個設定點命令中的每一設定點命令對應到該複數個閥門中的一個閥門；及對稱地傳送該第三複數個設定點命令中的每一設定點命令至該複數個閥門的該相對應的閥門，以避免該不穩定的流量狀況，其中該第三複數個設定點命令被傳送以繞過反饋控制。
2. 如申請專利範圍第1項所述之方法，其中該第一複數個設定點命令、該第二複數個設定點命令、與該第三複數個設定點命令中的每一個設定點命令，包含：一流量設定點或一閥門位置設定點中的至少一者。
3. 如申請專利範圍第1項所述之方法，其中該不穩定的流量狀況包含一無效率的流量狀況。
4. 如申請專利範圍第1項所述之方法，其中該第一複數個設定點命令中的每一個設定點命令係基於：一相對應的流量百分率、一初始的總流量、及一相對應的初始的閥門電壓。
5. 如申請專利範圍第1項所述之方法，其中該複數個閥門中的每一個閥門包含：一各別的質量流量控制器。
6. 如申請專利範圍第1項所述之方法，其中該不穩定的流量狀況包含：在該等複數個閥門之間的一非對稱的流量的改變。
7. 如申請專利範圍第1項所述之方法，其中該第二複數個設定點命令包含：在先前的穩定的流量狀況期間所記錄的複數個儲存的設定點命令。
8. 一種用於控制一流量比率控制器的系統，該系統包含：一處理裝置，以：傳送第一複數個設定點命令至複數個閥門；接收使用者輸入以更新該第一複數個設定點命令；在偵測到一不穩定流量狀況之前，識別一先前設定點命令組，該先前設定點命令組實質上類似於該所更新的第一複數個設定點命令；判定實質上類似於該所更新的第一複數個設定點命令的該先前設定點命令組是否造成一先前的不穩定流量狀況；若該先前設定點命令組造成了該先前的不穩定流量狀況，則對於該複數個閥門中的每一個閥門，基於第二複數個設定點命令來預測一流量調整，該第二複數個設定點命令相關聯於所採取以校正該先前的不穩定流量狀況的一校正性動作；基於該所預測的流量調整，決定第三複數個設定點命令，該第三複數個設定點命令中的每一設定點命令對應到該複數個閥門中的一個閥門；及對稱地傳送該第三複數個設定點命令中的每一設定點命令至該複數個閥門中的該相對應的閥門，以避免該不穩定的流量狀況，其中該第三複數個設定點命令被傳送以繞過反饋控制。
9. 如申請專利範圍第8項所述之系統，其中該第一複數個設定點命令、該第二複數個設定點命令、與該第三複數個設定點命令中的每一個設定點命令，包含：一流量設定點或一閥門位置設定點中的至少一者。
10. 如申請專利範圍第8項所述之系統，其中該複數個閥門的每一調整包含：一流量設定點或一閥門位置設定點中的至少一者。
11. 如申請專利範圍第8項所述之系統，其中該第一複數個設定點命令中的每一設定點命令係基於：一相對應的流量百分率、一初始的總流量，及一相對應的初始的閥門電壓。
12. 如申請專利範圍第8項所述之系統，其中該複數個閥門中的每一個閥門包含：一各別的質量流量控制器。
13. 如申請專利範圍第8項所述之系統，其中該不穩定的流量狀況包含：在該等複數個閥門之間的一非對稱的流量的改變。
14. 如申請專利範圍第8項所述之系統，其中該第二複數個設定點命令包含：在先前的穩定的流量狀況期間所記錄的複數個儲存的設定點命令。
15. 一種具有指令的非暫態性電腦可讀取媒體，當該等指令由一處理裝置執行時，使得該處理裝置執行一方法，該方法包含以下步驟：傳送第一複數個設定點命令至複數個閥門；接收使用者輸入以更新該第一複數個設定點命令；在偵測到一不穩定流量狀況之前，識別一先前設定點命令組，該先前設定點命令組實質上類似於該所更新的第一複數個設定點命令；判定實質上類似於該所更新的第一複數個設定點命令的該先前設定點命令組是否造成一先前的不穩定流量狀況；若該先前設定點命令組造成了該先前的不穩定流量狀況，則對於該複數個閥門中的每一個閥門，基於第二複數個設定點命令來預測流量調整，該第二複數個設定點命令相關聯於所採取以校正該先前的不穩定流量狀況的一校正性動作；基於該預測的調整，由一處理裝置決定第三複數個設定點命令，該第三複數個設定點命令中的每一設定點命令對應到該複數個閥門中的一個閥門；及對稱地傳送該第三複數個設定點命令中的每一設定點命令至該相對應的閥門。
16. 如申請專利範圍第15項所述之非暫態性電腦可讀取媒體，其中該第一複數個設定點命令、該第二複數個設定點命令、與該第三複數個設定點命令中的每一個設定點命令，包含：一流量設定點或一閥門位置設定點中的至少一者。
17. 如申請專利範圍第15項所述之非暫態性電腦可讀取媒體，其中該不穩定的流量狀況包含一無效率的流量狀況。
18. 如申請專利範圍第15項所述之非暫態性電腦可讀取媒體，其中該第一複數個設定點命令中的每一設定點命令係基於：一相對應的流量百分率、一初始的總流量、及一相對應的初始的閥門電壓。
19. 如申請專利範圍第15項所述之非暫態性電腦可讀取媒體，其中該不穩定的流量狀況包含：在該等複數個閥門之間的一非對稱的流量的改變。
20. 如申請專利範圍第15項所述之非暫態性電腦可讀取媒體，其中該第二複數個設定點命令包含：在先前的穩定的流量狀況期間所記錄的複數個儲存的設定點命令。