TWI627698B - Adjustable length arm and MEMS position sensor rotation tester - Google Patents

Abstract

本發明係提供一種可調整長度臂與MEMS位感器設備旋轉測試儀器，其係藉由一旋轉裝置一端所設有之伸縮部及第一旋體及第二旋體以有效變換該第一送料元件之送料位置，進而使得該送料元件可進行矩陣送料、環形送料或是其它路徑之送料方式，再者，工作臺上係設有至少一旋轉部，該旋轉部之一面上係設有複數作業站，如此，係可透過該旋轉部環形轉換各該作業站之位置，以更有效達到快速燒錄或測試之功效，另外，各該作業站之周邊係設有一翻轉部，係透過該翻轉部可有效翻轉各該作業站，以有效測試各種不同之微電機系統(MEMS)之慣性元件。

Description

可調整長度臂與MEMS位感器設備旋轉測試儀器

本發明係為一種可調整長度臂與MEMS位感器設備旋轉測試儀器，尤指一種透過伸縮部、第一旋體及第二旋體或第三旋體及第四旋體可有效變換第一送料元件或第二送料元件之送料位置，又，透過旋轉部可任意變換各該作業站之位置，另外，亦可透過該翻轉部翻轉作業站，以利於測試各種不同之微電機系統(MEMS)之慣性元件的測試儀器。

一般進行IC燒錄之作動時，通常需先藉由送料部將未燒錄之IC送至置料部後，再透過一旋轉臂一端所設有之送料吸嘴以將其置料部內未燒錄之IC移動至作業站內進行燒錄，而當該IC已燒錄完成後，該旋轉臂之一端或另端設有之送料吸嘴則會移動至該作業站上，以將該作業站內已完成燒錄之IC取出移動至送料區，以此循環以完成IC燒錄之作業；

然而，該旋轉臂之作業路徑僅由沿著一環形之路線進行作動，如此，其作業站之設置位置亦僅能於該旋轉臂之環形路徑上，才可有效進行燒錄IC之動作；

再者，無論是已燒錄完成之IC或是未燒錄之IC皆僅能透過該旋轉臂所設有之送料吸嘴進行送動之作動，而若同時有一較近之IC與一較遠之IC燒錄完成時，該旋轉臂則必須旋轉至一較近之位置後再旋轉另一較遠之位至，才可能完成送料之作業，如此，此種較慢的作業效率亦是一種時間成本之浪費；因此，本發明人係有鑑於上述之缺點，以發明出一種可調整長度臂與MEMS位感器設備旋轉測試儀器，藉以達到增加作業效率、節省成本及可有效測試微電機系統(MEMS)之相關元件等功效，藉以摒除習用產品之缺點，增進其功效者。

為達上揭之目的，本發明係提供一種可調整長度臂與MEMS位感器設備旋轉測試儀器，其主要包括：一進料部，該進料部係設有一進料元件以將未燒錄之IC送至一置料區內；一旋轉裝置，該旋轉裝置一端連結一第一送料元件，該第一送料元件係可進行上下左右之作動，當該第一送料元件移動至該置料區上方後，該第一送料元件係會進行向下移動之作動以吸取該置料區內未燒錄之IC，而後再進行向上移動之作動以移動其未燒錄之IC；以及複數作業站，該作業站係設於該旋轉裝置之周邊相鄰處，該作業站之一面上係設有一作業部，當該第一送件元件吸取該置料區內之未燒錄IC後，該旋轉裝置則會將該第一送件元件移動至該作業站之相鄰處，而後再透過該第一旋體及該第二旋體調整該第一送件元件之位置以將其未燒錄之IC放置於該作業部內進行燒錄，當IC燒錄完成後再透過該第一送件元件將以完成燒錄之IC從該作業部內移動至一出料部，以此作動重覆地進行進料、燒錄或出料之工作。

如上所述之旋轉裝置，其中，該旋轉裝置一端更進一步設有一第一旋體，該第一旋體另端樞接一第二旋體，該第二旋體另端連結該第一送料元件，又該旋轉裝置係以中空馬達結合中空型減速機作為驅動源； 如上所述之旋轉裝置，其中，該旋轉裝置另端設有一第三旋體，該第三旋體另端樞接一第四旋體，該第四旋體另端係與一第二送料元件相連結，該第二送料元件係可進行上下左右之作動，當該第一送料元件進行進料或送料之作動時，該第二送料元件亦同時進行進料或出料之作動；如上所述之旋轉裝置，其中，該旋轉裝置之周邊相鄰處更進一步設有一廢料區以放置無法燒錄之IC或是已損壞之IC；如上所述之第一送料元件，其中，該第一送料元件與該第二送料元件係以真空吸取之方式吸取IC；如上所述之置料區，其中，該置料區進一步更設有一置料元件，該置料元件設一穴位，該穴位係對應容置待燒錄或待測試IC，以修正待燒錄或待測試IC的姿勢，且該置料元件可供旋轉用以對應不同的進料方向。

為達上揭之目的，本發明係提供另一種可調整長度臂與MEMS位感器設備旋轉測試儀器，其主要包括：一進料部，該進料部係設有一進料元件以將未燒錄之IC送至一置料區內；一旋轉裝置，該旋轉裝置內部係設有一第一伸縮部，該第一伸縮部係與一第一送料元件相連結以控制該第一送料元件之前後位置，該第一送料元件係可進行上下之作動，當該第一送料元件移動至該置料區上方後，該第一送料元件係會進行向下移動之作動以吸取該置料區內未燒錄之IC，而後再進行向上移動之作動以移動其未燒錄之IC；以及複數作業站，該作業站係設於該旋轉裝置之周邊相鄰處，該作業站之一面上係設有一作業部，當該第一送件元件吸取該置料區內之未燒錄IC 後，該旋轉裝置則會將該第一送件元件移動至該作業站之相鄰處，而後再判定是否需驅動該伸縮部以調整該第一送件元件之位置，進而將其未燒錄之IC放置於該作業部內進行燒錄，而當IC燒錄完成後再透過該第一送件元件將以完成燒錄之IC從該作業部內移動至一出料部，以此作動重覆地進行進料、燒錄或出料之工作。

如上所述之旋轉裝置，其中，該旋轉裝置內部設有一第二伸縮部，該第二伸縮部係與一第二送料元件相連結以控制該第二送料元件之前後位置，該第二送料元件係可進行上下之作動，當該第一送料元件進行進料或送料之作動時，該第二送料元件亦同時進行進料或出料之作動，又該旋轉裝置係以中空馬達結合中空型減速機作為驅動源；如上所述之第一送料元件，其中，該第一送料元件與該第二送料元件係以真空吸取之方式吸取IC；如上所述之第一伸縮部，其中，該第一伸縮部及該第二伸縮部係可由皮帶驅動、螺桿驅動或蛙臂驅動；如上所述之置料區，其中，該置料區進一步更設有一置料元件，該置料元件設一穴位，該穴位係對應容置待燒錄或待測試IC，以修正待燒錄或待測試IC的姿勢，且該置料元件可供旋轉用以對應不同的進料方向。

為達上揭之目的，本發明又提供另一種可調整長度臂與MEMS位感器設備旋轉測試儀器，其主要包括：一進料部，該進料部係設有一進料元件以將未燒錄之IC送至一置料區內；一旋轉裝置，該旋轉裝置一端連結一第一送料元件，該第一送料 元件係可進行上下之作動，當該第一送料元件移動至該置料區上方後，該第一送料元件係會進行向下移動之作動以吸取該置料區內未燒錄之IC，而後再進行向上移動之作動以移動其未燒錄之IC；以及複數作業站，該作業站係設於該旋轉裝置之周邊相鄰處，該作業站係設於一旋轉部上，該旋轉部係可進行順時針或是逆時針之旋轉，以帶動該作業站變換所設置之位置，該作業站之一面上係設有一作業部，當該第一送件元件吸取該置料區內之未燒錄IC後，該旋轉裝置則會將該第一送件元件移動至該作業站之相鄰處，而後再判定是否需驅動該伸縮部以調整該第一送件元件之位置，進而將其未燒錄之IC放置於該作業部內進行燒錄，而當IC燒錄完成後再透過該第一送件元件將以完成燒錄之IC從該作業部內移動至一出料部，以此作動重覆地進行進料、燒錄或出料之工作。

如上所述之旋轉裝置，其中，該旋轉裝置另端連結一第二送料元件，該第二送料元件係可進行上下之作動，當該第一送料元件進行進料或送料之作動時，該第二送料元件亦同時進行進料或出料之作動，又該旋轉裝置係以中空馬達結合中空型減速機作為驅動源；如上所述之第一送料元件，其中，該第一送料元件與該第二送料元件係以真空吸取之方式吸取IC；如上所述之旋轉裝置，其中，該旋轉部進一步可供測試MEMS慣性物件或非慣性物件；如上所述之置料區，其中，該置料區進一步更設有一置料元件，該置料元件設一穴位，該穴位係對應容置待燒錄或待測試IC，以修正待燒錄或待測試IC的姿勢，且該置料元件可供旋轉用以對應不同的進料方向。

為達上揭之目的，本發明再提供另一種可調整長度臂與MEMS位感器設備旋轉測試儀器，其主要包括：一進料部，該進料部係設有一進料元件以將未燒錄之IC送至一置料區內；一旋轉裝置，該旋轉裝置一端連結一第一送料元件，該第一送料元件係可進行上下之作動，當該第一送料元件移動至該置料區上方後，該第一送料元件係會進行向下移動之作動以吸取該置料區內未燒錄之IC，而後再進行向上移動之作動以移動其未燒錄之IC；以及複數作業站，該作業站係設於該旋轉裝置之周邊相鄰處，該作業部周邊設有一翻轉部，該翻轉部係可帶動該作業站進行翻轉之作動，該作業站之一面上係設有一作業部，當該第一送件元件吸取該置料區內之未燒錄IC後，該旋轉裝置則會將該第一送件元件移動至該作業站之相鄰處，而後再判定是否需驅動該伸縮部以調整該第一送件元件之位置，進而將其未燒錄之IC放置於該作業部內進行燒錄，而當IC燒錄完成後再透過該第一送件元件將以完成燒錄之IC從該作業部內移動至一出料部，以此作動重覆地進行進料、燒錄或出料之工作。

如上所述之旋轉裝置，其中，該旋轉裝置另端連結一第二送料元件，該第二送料元件係可進行上下之作動，當該第一送料元件進行進料或送料之作動時，該第二送料元件亦同時進行進料或出料之作動，又該旋轉裝置係以中空馬達結合中空型減速機作為驅動源；如上所述之第一送料元件，其中，該第一送料元件與該第二送料元件係以真空吸取之方式吸取IC；如上所述之旋轉裝置，其中，該旋轉裝置之中心位置更進一步設 有一測試元件放置裝置，該測試元件放置裝置所設置之位置係高於或低於該旋轉裝置，又該測試元件放置裝置之一端設有一放置元件，係透過該放置元件以連結一測試元件；如上所述之置料區，其中，該置料區進一步更設有一置料元件，該置料元件設一穴位，該穴位係對應容置待燒錄或待測試IC，以修正待燒錄或待測試IC的姿勢，且該置料元件可供旋轉用以對應不同的進料方向。

為使本發明之上述目的、特徵和優點能更明顯易懂，下文茲配合圖示列舉具體實施例。

為使 貴審查委員方便了解本發明之內容，以及所能達成之功效， 茲配合圖示列舉具體實施例，詳細說明如下：

請參閱第一圖及第五圖，係為本發明之結構示意圖及翻轉部動作狀態示意圖，如圖所示，本發明主要係包括於一進料部1，該進料部1係設有一進料元件11以將未燒錄之IC送至一置料區2內；一旋轉裝置3，該旋轉裝置3內部係設有一第一伸縮部31，該第一伸縮部31係與一第一送料元件32相連結以控制該第一送料元件32之前後位置，該第一送料元件32係可進行上下左右之作動，當該第一送料元件32移動至該置料區2上方後，該第一送料元件32係會進行向下移動之作動以吸取該置料區2內未燒錄之IC，而後再進行向上移動之作動以移動其未燒錄之IC；以及複數作業站4，該作業站4係設於該旋轉裝置3之周邊相鄰處，該作業站4係設於一旋轉部5上，該旋轉部5係可進行順時針或是逆時針之旋轉，以帶動該作業站4變換所設置之位置，又該旋轉部進一步可供測試MEMS慣性物件或非慣性物件，該作業部4周邊設有一翻轉部41，該翻轉部41係可帶動該作業站4進行翻轉之作動，該作業站4之一面上係設有一作業部42，當該第一送件元件32吸取該置料區2內之未燒錄IC後，該旋轉裝置3則會將該第一送件元件32移動至該作業站4之相鄰處，而後再判定是否需驅動該第一伸縮部31以調整該第一送件元件32之位置，進而將其未燒錄之IC放置於該作業部42內進行燒錄，而當IC燒錄完成後再透過該第一送件元件32將以完成燒錄之IC從該作業部42內移動至一出料部，以此作動重覆地進行進料、燒錄或出料之工作。

如上所述之旋轉裝置3，其中，該旋轉裝置3內部設有一第二伸 縮部33，該第二伸縮部33係與一第二送料元件34相連結以控制該第二送料元件34之前後位置，該第二送料元件34係可進行上下左右之作動，當該第一送料元件32進行進料或送料之作動時，該第二送料元件34亦同時進行進料或出料之作動；如上所述之第一伸縮部31，其中，該第一伸縮部31及該第二伸縮部33係可由皮帶驅動、螺桿驅動或蛙臂驅動。

如上所述之旋轉裝置3，其中，該旋轉裝置3之周邊相鄰處更進一步設有一廢料區以放置無法燒錄之IC或是已損壞之IC；如上所述之第一送料元件32，其中，該第一送料元件32與該第二送料元件34係以真空吸取之方式吸取IC；如上所述之置料區2，其中，該置料區2進一步更設有一置料元件(圖未揭示)，該置料元件設一穴位(圖未揭示)，該穴位係對應容置待燒錄或待測試IC，以修正待燒錄或待測試IC的姿勢，且該置料元件可供旋轉用以對應不同的進料方向。

請參閱第二圖至第四圖，係為本發明之旋轉裝置動作示意圖及伸縮結構動作狀態示意圖，如圖所示，該旋轉裝置3係可進行順時針或逆時針之旋轉作動，如此，當該第一送料元件32或該第二送料元件34從該置料區2吸取一未燒錄IC時，該旋轉裝置3則將該第一送料元件32或該第二送料元件34旋轉至未進行燒錄之該作業站4上，以使得該第一送料元件32或該第二送料元件34向下移動以將該未燒錄IC放置於該作業站4之內進行燒錄，然而，為擴增該作業站4之數量以更有效且快速達到燒錄之作用者，係將該作業站4以環型向外擴展之方式圍繞至該旋轉裝置3之周邊相鄰處，如此，無論是較靠近該旋轉裝置３之該作業站４，亦或是較遠離該旋轉裝置３之該作業站４皆可有效進行燒錄之作動，而為達到擴增該作業站之目的者，係於該旋轉裝置３內部設有該第一伸縮部３１及該第二伸縮部３３，而該第一伸縮部３１係與該第一送料元件３２相連結，該第二伸縮部３３則與該第二送料元件３４相互連結，故，該第一送料元件３２或該第二送料元件３４則可透過該第一伸縮部３１或該第二伸縮部３３進行伸縮之作動，因此，當該第一送料元件３２或該第二送料元件３４吸取從該置料區２內吸取一未燒錄IC後，該旋轉裝置３係會先將該第一送料元件３２或第二送料元件３４旋轉至未進行燒錄之該作業站４上的相對位置，而若其未進行燒錄之該作業站４之位置較遠，則透過該第一伸縮部３１或該第二伸縮部３３以推伸該第一送料元件３２或該第二送料元件３４至未進行燒錄之該作業站４的位置上，以利該第一送料元件３２或該第二送料元件３４將該未燒錄IC放置於未進行燒錄之該作業站４內進行燒錄；反之，若其未進行燒錄之該作業站４位置較近時，亦可透過該第一伸縮部３１或該第二伸縮部３３以拉縮該第一送料元件３２或該第二送料元件３４至未進行燒錄之該作業站４上，以利該第一送料元件３２或該第二送料元件３４將該未燒錄IC放置於未進行燒錄之該作業站４內進行燒錄；另外，當該作業站４已完成燒錄之作動時，該第一送料元件３２或該第二送料元件３４亦可透過如上所述之作動移動至該作業站４上方，再將該第一送料元件３２或該第二送件元件３４進行向下移動之作動以吸取已燒錄IC，進而將已燒錄IC送至出料區。

請參閱第四圖至第五圖，係為本發明之旋轉部動作狀態示意圖及翻轉部動作狀態示意圖，如圖所示，各該作業站４係設於該旋轉部５上，又，該旋轉部５係可進行順時針或逆時針旋轉之作動，且該旋轉部５進一步可供測試MEMS慣性物件或非慣性物件，如此，當該第一送料元件３２或該第二送料元件３４吸取未燒錄IC時，除了透過該旋轉裝置３機該第一送料元件３２或該第二送料元件３４旋轉至未進行燒錄之該作業站４上，亦可透過該旋轉部５將未進行燒錄之該作業站４旋轉至該第一送料元件３２或該第二送料元件３４之相鄰處，進而使得該第一送料元件３２或該第二送料元件３４可快速將未燒錄IC放置於未進行燒錄之該作業站４內，反之，若該作業站４已完成燒錄之作動後，亦可透過該旋轉部５將該作業站４旋轉至該第一送料元件３２或該第二送料元件３４之相鄰位置，以快速將已燒錄IC取出送至出料區內。

另外，本發明亦可用於測試微電機系統(MEMS)之慣性元件[例如：加速度儀(G-Sensor)及陀螺儀(Gyro) ]，係藉由該第一送料元件３２或該第二送料元件３４將該慣性元件送至該作業站４內後，係可透過該旋轉部５以移動各該作業站４，又該旋轉部５進一步可供測試MEMS慣性物件或非慣性物件，進而透過該旋轉部５之旋轉速度以測試該慣性元件；再者，該作業站４周邊係設有該翻轉部４１，係透過該翻轉部４１即可將該作業站４進行翻轉之作動，如此，當該慣性元件放置於該作業部４２之內後，亦可透過該翻轉部４１翻轉該作業站４，進以藉由不同角度之變換以測試該慣性元件，藉此有效達到測試微電機系統(MEMS)之慣性元件之功效。

請參閱第六圖及第七圖，係本發明之測試元件放置裝置實施例圖及微電機系統(MEMS)之非慣性元件測試示意圖，如圖所示，該旋轉裝置３之中心位置更進一步設有一測試元件放置裝置６，該測試元件放置裝置６所設置之位置係高於或低於該旋轉裝置３，又該測試元件放置裝置６之一端設有一放置元件６１，係透過該放置元件６１以連結一測試元件７，如此，當需測試微電機系統(MEMS)之非慣性元件(例如：微型麥克風或微型投影儀)時，亦須透過該第一送料元件３２或該第二送料元件３４將該非慣性元件送至該作業站４內後，而後再透過該測試元件放置裝置６將該測試元件７旋轉至該作業站４上方後，即可藉由該放置元件６１將該測試元件７蓋覆於該非慣性元件之上，以透過該測試元件７測試該非慣性元件之壓力、濕度、溫度或無線電頻率等，舉例來說，當該測試元件７係為可伸縮之該測試元件７時，係將該測試元件７蓋覆於該非慣性元件之上以封閉該作業部４２後，再藉由壓縮該測試元件７以產生不同之空氣壓力，進以有效進行該非慣性元件之壓力測試，另外，亦可設置一固定之該作業站４以專門測試該非慣性元件，藉以有效達到測試微電機系統(MEMS)之非慣性元件的功效。

請參閱第七圖至第十圖，係本發明之第一送料元件及第二送料元件左右移動示意圖、第一旋體及第二旋體結構示意圖及第一旋體及第二旋體動作狀態示意圖，如圖所示，該旋轉裝置３一端連結該第一送料元件３２，該旋轉裝置３另端則連結該第二送料元件３４，係透過該第一送料元件３２及該第二送料元件３４進行左右移動的動作，即可將其所吸取之未燒錄IC擺正以有效放置於該作業站４上，另外，該旋轉裝置３一端亦可設有該第一旋體３５，又該第一旋體３５另端樞接該第二旋體３６，而該第二旋體３６另端連結該第一送料元件３２，再者，該旋轉裝置３另端亦設有該第三旋體３７，該第三旋體３７另端樞接該第四旋體３８，該第四旋體３８另端則連結該第二送件元件３４，如此，當各該作業站４藉由矩形之排列方式或其他不規則形狀之排列方式排列於工作臺上時，若僅藉由該旋轉裝置３進行順時針或逆時針之旋轉，則無法有效將該第一送料元件３２或該第二送料元件３４移動至各該作業站４之上，如此，為將IC或微電機系統(MEMS)之相關元件放置於該作業站４上，亦須透過該第一旋體３５及該第二旋體３６以移動該第一送料元件３２，或透過該第三旋體３７及第四旋體３８移動該第二送料元件３４，亦如當該第一送料元件３２從該置料區２取得未燒錄IC或微電機系統(MEMS)之相關元件時，先透過該旋轉裝置３將該第一送料元件３２移動至未進行作業之該作業站４的相鄰處後，再藉由該第一旋體３５將該第一送料元件３２移動至該作業站４上方，最後再透過該第二旋體３６微調該第一送料元件３２之位置，以使得該第一送料元件３２能精準地將未燒錄IC或微電機系統(MEMS)之相關元件放置於該作業部４２內以進行相關之作業者，如此，無論該作業站４之排列方式為何，皆可藉由該第一旋體３５及該第二旋體３６或第三旋體３７及該第四旋體３８以有效將該第一送料元件３２或該第二送料元件３４移動至各該作業站４之上方，進以有效達到燒錄IC或測試微電機系統(MEMS)之相關元件之功效。

惟，以上所述者，僅為本發明之最佳實施例，當不能以此限定本發明實施之範圍；故，凡依本發明申請專利範圍及發明說明書內容所做之簡單的等效變化與修飾，皆應仍屬本發明專利涵蓋之範圍內。

１　　　進料區 １１　　進料元件 ２　　　置料區 ３　　　旋轉裝置 ３１　　第一伸縮部 ３２　　第一送料元件 ３３　　第二伸縮部 ３４　　第二送料元件 ３５　　第一旋體 ３６　　第二旋體 ３７　　第三旋體 ３８　　第四旋體 ４　　　作業站 ４１　　翻轉部 ４２　　作業部 ５　　　旋轉部 ６　　　測試元件放置裝置 ６１　　放置元件 ７　　　測試元件

第一圖係本發明之結構示意圖。

第二圖係本發明之旋轉裝置動作示意圖。

第三圖係本發明之伸縮結構動作狀態示意圖。

第四圖係本發明之旋轉部動作狀態示意圖。

第五圖係本發明之翻轉部動作狀態示意圖。

第六圖係本發明之測試元件放置裝置實施例圖。

第七圖係本發明之微電機系統之非慣性元件測試示意圖。

第八圖係本發明之第一送料元件及第二送料元件左右移動示意圖。

第九圖係本發明之第一旋體及第二旋體結構示意圖。

第十圖係本發明之第一旋體及第二旋體動作狀態示意圖。

Claims (16)

1. 一種可調整長度臂與MEMS位感器設備旋轉測試儀器，其包括：一進料部，該進料部係設有一進料元件以將未燒錄之IC送至一置料區內；一旋轉裝置，該旋轉裝置一端連結一第一送料元件，該第一送料元件係可進行上下左右之作動，該旋轉裝置一端更進一步設有一第一旋體，該第一旋體另端樞接一第二旋體，該第二旋體另端連結該第一送料元件，又該旋轉裝置係以中空馬達結合中空型減速機作為驅動源，當該第一送料元件移動至該置料區上方後，該第一送料元件係會進行向下移動之作動以吸取該置料區內未燒錄之IC，而後再進行向上移動之作動以移動其未燒錄之IC；以及複數作業站，該作業站係設於該旋轉裝置之周邊相鄰處，該作業站之一面上係設有一作業部，當該第一送件元件吸取該置料區內之未燒錄IC後，該旋轉裝置則會將該第一送件元件移動至該作業站之相鄰處，而後再透過該第一旋體及該第二旋體調整該第一送件元件之位置以將其未燒錄之IC放置於該作業部內進行燒錄，當IC燒錄完成後再透過該第一送件元件將以完成燒錄之IC從該作業部內移動至一出料部，以此作動重覆地進行進料、燒錄或出料之工作。
2. 如請求項1所述之可調整長度臂與MEMS位感器設備旋轉測試儀器，其中，該旋轉裝置另端設有一第三旋體，該第三旋體另端樞接一第四旋體，該第四旋體另端係與一第二送料元件相連結，該第二送料元件係可進行上下左右之作動，當該第一送料元件進行進料或送料之作動時，該第二送料元件亦同時進行進料或出料之作動。
3. 如請求項2所述之可調整長度臂與MEMS位感器設備旋轉測試儀器，其中，該旋轉裝置之周邊相鄰處更進一步設有一廢料區以放置無法燒錄之IC 或是已損壞之IC。
4. 如請求項2所述之可調整長度臂與MEMS位感器設備旋轉測試儀器，其中，該第一送料元件與該第二送料元件係以真空吸取之方式吸取IC。
5. 一種可調整長度臂與MEMS位感器設備旋轉測試儀器，其包括：一進料部，該進料部係設有一進料元件以將未燒錄之IC送至一置料區內，該置料區進一步更設有一置料元件，該置料元件設一穴位，該穴位係對應容置待燒錄或待測試IC，以修正待燒錄或待測試IC的姿勢，且該置料元件可供旋轉用以對應不同的進料方向；一旋轉裝置，該旋轉裝置一端連結一第一送料元件，該第一送料元件係可進行上下左右之作動，該旋轉裝置一端更進一步設有一第一旋體，該第一旋體另端樞接一第二旋體，該第二旋體另端連結該第一送料元件，又該旋轉裝置係以中空馬達結合中空型減速機作為驅動源，當該第一送料元件移動至該置料區上方後，該第一送料元件係會進行向下移動之作動以吸取該置料區內未燒錄之IC，而後再進行向上移動之作動以移動其未燒錄之IC；以及複數作業站，該作業站係設於該旋轉裝置之周邊相鄰處，該作業站之一面上係設有一作業部，當該第一送件元件吸取該置料區內之未燒錄IC後，該旋轉裝置則會將該第一送件元件移動至該作業站之相鄰處，而後再透過該第一旋體及該第二旋體調整該第一送件元件之位置以將其未燒錄之IC放置於該作業部內進行燒錄，當IC燒錄完成後再透過該第一送件元件將以完成燒錄之IC從該作業部內移動至一出料部，以此作動重覆地進行進料、燒錄或出料之工作。
6. 一種可調整長度臂與MEMS位感器設備旋轉測試儀器，其包括：一進料部，該進料部係設有一進料元件以將未燒錄之IC送至一置料區內； 一旋轉裝置，該旋轉裝置內部係設有一第一伸縮部，該第一伸縮部係與一第一送料元件相連結以控制該第一送料元件之前後位置，該第一送料元件係可進行上下之作動，當該第一送料元件移動至該置料區上方後，該第一送料元件係會進行向下移動之作動以吸取該置料區內未燒錄之IC，而後再進行向上移動之作動以移動其未燒錄之IC；以及複數作業站，該作業站係設於該旋轉裝置之周邊相鄰處，該作業站之一面上係設有一作業部，當該第一送件元件吸取該置料區內之未燒錄IC後，該旋轉裝置則會將該第一送件元件移動至該作業站之相鄰處，而後再判定是否需驅動該伸縮部以調整該第一送件元件之位置，進而將其未燒錄之IC放置於該作業部內進行燒錄，而當IC燒錄完成後再透過該第一送件元件將以完成燒錄之IC從該作業部內移動至一出料部，以此作動重覆地進行進料、燒錄或出料之工作。
7. 如請求項6所述之可調整長度臂與MEMS位感器設備旋轉測試儀器，其中，該旋轉裝置內部設有一第二伸縮部，該第二伸縮部係與一第二送料元件相連結以控制該第二送料元件之前後位置，該第二送料元件係可進行上下之作動，當該第一送料元件進行進料或送料之作動時，該第二送料元件亦同時進行進料或出料之作動，又該旋轉裝置係以中空馬達結合中空型減速機作為驅動源。
8. 如請求項7所述之可調整長度臂與MEMS位感器設備旋轉測試儀器，其中，該第一送料元件與該第二送料元件係以真空吸取之方式吸取IC，該第二伸縮部係可由皮帶驅動、螺桿驅動及蛙臂驅動。
9. 如請求項6所述之可調整長度臂與MEMS位感器設備旋轉測試儀器，其中，該第一伸縮部係可由皮帶驅動、螺桿驅動及蛙臂驅動。
10. 如請求項6所述之可調整長度臂與MEMS位感器設備旋轉測試儀器，其中，該置料區進一步更設有一置料元件，該置料元件設一穴位，該穴位係對應容置待燒錄或待測試IC，以修正待燒錄或待測試IC的姿勢，且該置料元件可供旋轉用以對應不同的進料方向。
11. 一種可調整長度臂與MEMS位感器設備旋轉測試儀器，其包括：一進料部，該進料部係設有一進料元件以將未燒錄之IC送至一置料區內；一旋轉裝置，該旋轉裝置一端連結一第一送料元件，該第一送料元件係可進行上下之作動，當該第一送料元件移動至該置料區上方後，該第一送料元件係會進行向下移動之作動以吸取該置料區內未燒錄之IC，而後再進行向上移動之作動以移動其未燒錄之IC；以及複數作業站，該作業站係設於該旋轉裝置之周邊相鄰處，該作業站係設於一旋轉部上，該旋轉部係可進行順時針或是逆時針之旋轉，以帶動該作業站變換所設置之位置，且該旋轉部進一步可供測試MEMS慣性物件或非慣性物件，該作業站之一面上係設有一作業部，當該第一送件元件吸取該置料區內之未燒錄IC後，該旋轉裝置則會將該第一送件元件移動至該作業站之相鄰處，進而將其未燒錄之IC放置於該作業部內進行燒錄，而當IC燒錄完成後再透過該第一送件元件將以完成燒錄之IC從該作業部內移動至一出料部，以此作動重覆地進行進料、燒錄或出料之工作。
12. 一種可調整長度臂與MEMS位感器設備旋轉測試儀器，其包括：一進料部，該進料部係設有一進料元件以將未燒錄之IC送至一置料區內；一旋轉裝置，該旋轉裝置一端連結一第一送料元件，該第一送料元件係可進行上下之作動，當該第一送料元件移動至該置料區上方後，該第一送料元件 係會進行向下移動之作動以吸取該置料區內未燒錄之IC，而後再進行向上移動之作動以移動其未燒錄之IC；以及複數作業站，該作業站係設於該旋轉裝置之周邊相鄰處，該作業部周邊設有一翻轉部，該翻轉部係可帶動該作業站進行翻轉之作動，該作業站之一面上係設有一作業部，當該第一送件元件吸取該置料區內之未燒錄IC後，該旋轉裝置則會將該第一送件元件移動至該作業站之相鄰處，進而將其未燒錄之IC放置於該作業部內進行燒錄，而當IC燒錄完成後再透過該第一送件元件將以完成燒錄之IC從該作業部內移動至一出料部，以此作動重覆地進行進料、燒錄或出料之工作。
13. 如請求項12所述之可調整長度臂與MEMS位感器設備旋轉測試儀器，其中，該旋轉裝置另端連結一第二送料元件，該第二送料元件係可進行上下之作動，當該第一送料元件進行進料或送料之作動時，該第二送料元件亦同時進行進料或出料之作動，又該旋轉裝置係以中空馬達結合中空型減速機作為驅動源。
14. 如請求項13所述之可調整長度臂與MEMS位感器設備旋轉測試儀器，其中，該第一送料元件與該第二送料元件係以真空吸取之方式吸取IC。
15. 如請求項13所述之可調整長度臂與MEMS位感器設備旋轉測試儀器，其中，該旋轉裝置之中心位置更進一步設有一測試元件放置裝置，該測試元件放置裝置所設置之位置係高於或低於該旋轉裝置，又該測試元件放置裝置之一端設有一放置元件，係透過該放置元件以連結一測試元件。
16. 如請求項12所述之可調整長度臂與MEMS位感器設備旋轉測試儀器，其中，該置料區進一步更設有一置料元件，該置料元件設一穴位，該 穴位係對應容置待燒錄或待測試IC，以修正待燒錄或待測試IC的姿勢，且該置料元件可供旋轉用以對應不同的進料方向。