TWI617881B - 感光性樹脂組成物 - Google Patents

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Hyang-Shik Kong
金炳郁
Byung Uk Kim
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Jin-Sun Kim
呂泰勳
Tae-Hoon Yeo
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Abstract

一種感光性樹脂組成物包含：包含含有選自不飽和羧酸及不飽和羧酸酐中的至少其一之第一單體及含有烯烴系不飽和化合物之第二單體之聚合產物之丙烯酸共聚物；包含選自由化學式1至4表示之化合物之至少一1,2-醌二疊氮基-5-磺酸酯化合物之感光性成分；偶合劑；及溶劑，其中當透過高效液相色譜法判定時，感光性成分中之不對稱化合物之總量大於或等於45面積百分比：
其中R1為羥基或甲基，且NQD為1,2-醌二疊氮-5-磺醯基。

Description

感光性樹脂組成物
本申請案關於一種感光性樹脂組成物及使用其之圖樣形成方法。
一般而言，當今廣泛使用之平板顯示器包含各種類型，例如，液晶顯示器(“LCD”)及有機發光二極體顯示器(“OLED”)。
在形成平板顯示器的過程中，光阻材料可被用來經由光學加工圖樣化薄膜。另外，光阻材料可透過曝光或顯影直接形成為薄膜。
絕緣層、柱狀間隔物、保護層及彩色濾光層也可藉由使用光阻材料形成。解析度、附著力及餘率可根據用以形成光阻材料之感光性樹脂組成物之成分而受影響。
本揭露提供具有良好的靈敏度、透光率及抗化學性之一種感光性樹脂組成物。
另外，本揭露提供當形成顯示裝置之有機層時，具有在 高溫及高濕度環境下良好附著力及製程範圍(process margin)而無偏紅缺陷之改良的圖樣形成方法。
感光性樹脂組成物的例示性實施例包含：包含含有選自不飽和羧酸及不飽和羧酸酐中的至少其一之第一單體及含有烯烴系不飽和化合物之第二單體之聚合產物之丙烯酸共聚物；包含選自由化學式1至4表示之化合物之至少一1,2-醌二疊氮基-5-磺酸酯化合物之感光性成分；偶合劑；及溶劑，其中當透過高效液相色譜法判定時，感光性成分中之不對稱化合物之總量大於或等於45面積百分比。
於此，化學式1至4為具有4,4’-[1-[4-[1-(4-羥基苯基)-1-甲基乙基]苯基]亞乙基]雙(苯酚)作為苯酚化合物之基質材料之不 對稱結構。化學式1至4中，R1為羥基或甲基，且NQD為1,2-醌二疊氮-5-磺醯基。
感光性成分可進一步包含選自由化學式5至7表示之化合物中的至少一化合物。
化學式5至7為使用4,4’-[1-[4-[1-(4-羥基苯基)-1-甲基乙基]苯基]亞乙基]雙(苯酚)作為苯酚化合物之基質材料之不對稱結構。化學式5至7中，R1為羥基或甲基，NQD為1,2-醌二疊氮-5-磺醯基。
偶合劑可包含矽烷偶合劑。
丙烯酸共聚物可以約100重量份的量呈現，以丙烯酸共聚物之100重量份為基礎，感光性成分可以約5至約50重量份的量呈現，而以丙烯酸共聚物之100重量份為基礎，矽烷偶合劑可以約0.1至約30重量份的量呈現。
丙烯酸共聚物包含各以第一單體及第二單體之總重量份為基礎，約5重量份至約40重量份之第一單體與約60重量份至約95重量份之第二單體之聚合產物。
溶劑可包含具有約110℃至約150℃之沸點與相對於 正常乙酸丁酯約0.3至約1.0之蒸發速度之第一溶劑。
第一溶劑可以溶劑之總重為基礎，以多於50重量百分比(%)的量呈現。
不飽和羧酸及不飽和羧酸酐可包含選自丙烯酸、甲基丙烯酸、馬來酸、富馬酸、檸康酸、中康酸(metaconic acid)、伊康酸及其酐類中的至少其一。
烯烴系不飽和化合物可包含選自甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸正丁酯、甲基丙烯酸仲丁酯、甲基丙烯酸叔丁酯、丙烯酸甲酯、丙烯酸異丙酯、甲基丙烯酸環己酯、2-甲基丙烯酸環己酯(2-methylcyclo hexylmethacrylate)、丙烯酸雙環戊烯基酯、二環戊基丙烯酸酯、二環戊烯甲基丙烯酸酯、甲基丙烯酸雙環戊酯、1-金剛烷基丙烯酸酯、1-金剛烷基甲基丙烯酸酯、二環戊基氧基甲基丙烯酸乙酯(dicyclopentanyloxyethylmethacrylate)、甲基丙烯酸異莰酯、丙烯酸環己酯、2-甲基丙烯酸環己酯、二環戊基氧基丙烯酸乙酯、丙烯酸異莰酯、甲基丙烯酸苯酯(penylmethacrylate)、丙烯酸苯酯(penylacrylate)、丙烯酸苄酯、2-羥基甲基丙烯酸乙酯、苯乙烯、σ-甲基苯乙烯、m-甲基苯乙烯、p-甲基苯乙烯、乙烯基甲苯、p-甲氧基苯乙烯、1,3-丁二烯、異戊二烯、2,3-二甲基1,3-丁二烯、丙烯酸縮水甘油酯、甲基丙烯酸縮水甘油酯、α-乙基丙烯酸縮水甘油酯、α-正丙基丙烯酸縮水甘油酯、α-正丁基丙烯酸縮水甘油酯、丙烯酸-β-甲基縮水甘油酯、甲基丙烯酸-β-甲基縮水甘油酯、丙烯酸-β-乙基縮水甘油酯、甲基丙烯酸-β-乙基縮水甘油酯、丙烯酸-3,4-環氧丁酯、甲基丙烯酸-3,4-環氧丁酯、丙烯酸-6,7-環氧庚 酯、甲基丙烯酸-6,7-環氧庚酯、α-乙基丙烯酸-6,7-環氧庚酯、o-乙烯基芐基縮水甘油醚、m-乙烯基芐基縮水甘油醚、p-乙烯基芐基縮水甘油醚、及甲基丙烯酸3,4-環氧環己酯中的至少其一。
丙烯酸共聚物可具有約3000道爾頓至約30,000道爾頓之聚苯乙烯交換重量平均分子量。
偶合劑可包含選自(3-縮水甘油氧基丙基)三甲氧基矽烷、(3-縮水甘油氧基丙基)三乙氧基矽烷、(3-縮水甘油氧基丙基)甲基二甲氧基矽烷、(3-縮水甘油氧基丙基)甲基二乙氧基矽烷、(3-縮水甘油氧基丙基)二甲基乙氧基矽烷、3,4-環氧丁基三甲氧基矽烷、3,4-環氧丁基三乙氧基矽烷、2-(3,4-環氧環己烷基)乙基三甲氧基矽烷、2-(3,4-環氧環己烷基)乙基三乙氧基矽烷、氨丙基三甲氧基矽烷、氨丙基三乙氧基矽烷、3-三乙氧基矽烷基-N-(1,3-二甲基-亞丁基)丙胺、N-2(氨乙基)3-氨丙基三甲氧基矽烷、N-2(氨乙基)3-氨丙基三乙氧基矽烷、N-2(氨乙基)3-氨丙基甲基二甲氧基矽烷、N-苯基-3-氨丙基三甲氧基矽烷、及(3-異氰酸丙基)三乙氧基矽烷中的至少其一。
根據本揭露例示性實施例之圖樣形成方法包含設置感光性樹脂組成物於基板上、曝光該感光性樹脂組成物、並顯影該感光性樹脂組成物，其中該感光性樹脂組成物包含：包含含有選自不飽和羧酸及不飽和羧酸酐中的至少其一之第一單體與含有烯烴系不飽和化合物之第二單體之聚合產物之丙烯酸共聚物；包含選自由化學式1至4表示之化合物之至少一1,2-醌二疊氮基-5-磺酸酯化合物之感光性成分；偶合劑；及溶劑，其中當透過高效液相色譜法判定時，感光性成分中之不對稱化合物之總量大於或等 於45面積百分比。
化學式1至4為使用4,4’-[1-[4-[1-(4-羥基苯基)-1-甲基乙基]苯基]亞乙基]雙(苯酚)作為苯酚化合物之基質材料之不對稱結構，R1為羥基或甲基，且NQD為1,2-醌二疊氮-5-磺醯基。
感光性化合物可進一步包含選自由化學式5至7表示之化合物中的至少一化合物。
化學式5 化學式6 化學式7
化學式5至7為使用4,4’-[1-[4-[1-(4-羥基苯基)-1-甲基乙基]苯基]亞乙基]雙(苯酚)作為苯酚化合物之基質材料之不對稱結構，R1為羥基或甲基，且NQD為1,2-醌二疊氮-5-磺醯基。
偶合劑可包含矽烷偶合劑。
丙烯酸共聚物可以約100重量份的量呈現，以丙烯酸共聚物之100重量份為基礎，感光性成分可以約5至約50重量份的量呈現，而以丙烯酸共聚物之100重量份為基礎，矽烷偶合劑可以約0.1至約30重量份的量呈現。
丙烯酸共聚物係由聚合以第一單體及第二單體之總重量份為基礎，約5重量份至約40重量份之第一單體與約60重量份至約95重量份之第二單體而獲得。
溶劑可包含具有約110℃至約150℃之沸點與相對於正常乙酸丁酯約0.3至約1.0之蒸發速度之第一溶劑。
偶合劑可包含選自(3-縮水甘油氧基丙基)三甲氧基矽烷、(3-縮水甘油氧基丙基)三乙氧基矽烷、(3-縮水甘油氧基丙基)甲基二甲氧基矽烷、(3-縮水甘油氧基丙基)甲基二乙氧基矽烷、(3-縮水甘油氧基丙基)二甲基乙氧基矽烷、3,4-環氧丁基三甲氧基矽烷、3,4-環氧丁基三乙氧基矽烷、2-(3,4-環氧環己烷基)乙基三甲氧基矽烷、2-(3,4-環氧環己烷基)乙基三乙氧基矽烷、氨丙基三甲氧基矽烷、氨丙基三乙氧基矽烷、3-三乙氧基矽烷基-N-(1,3-二甲基-亞丁基)丙胺、N-2(氨乙基)3-氨丙基三甲氧基矽烷、N-2(氨乙基)3-氨丙基三乙氧基矽烷、N-2(氨乙基)3-氨丙基甲基二甲氧基矽 烷、N-苯基-3-氨丙基三甲氧基矽烷、及(3-異氰酸丙基)三乙氧基矽烷中的至少其一。
圖樣形成方法可進一步包含在曝光及顯影前以約攝氏100度至約攝氏120度預焙感光性樹脂組成物。
顯影劑包含可用於顯影之鹼性溶液。
根據本揭露之例示性實施例，感光性樹脂組成物可形成具有良好靈敏度、透光率、和耐化學性，同時防止偏紅缺陷之有機層。
3‧‧‧液晶層
81、82‧‧‧接觸輔助器
100、200‧‧‧面板
110、210‧‧‧基板
121‧‧‧閘極線
124‧‧‧閘極電極
121p、124p‧‧‧下層
121r、124r‧‧‧上層
129‧‧‧寬端部分
140‧‧‧閘極絕緣層
151‧‧‧半導體層
154、163‧‧‧凸起
161‧‧‧歐姆接觸條
165‧‧‧歐姆接觸島
171‧‧‧數據線
173‧‧‧源極電極
175‧‧‧汲極電極
179‧‧‧末端部分
180‧‧‧鈍化層
180a‧‧‧第一鈍化層
180b‧‧‧第二鈍化層
181、182、185‧‧‧接觸孔
191‧‧‧像素電極
220‧‧‧光阻擋元件
230‧‧‧彩色濾光片
270‧‧‧共用電極
此些及/或其他態樣將由實施例之以下描述，結合附隨圖式而變得顯而易見且更加易於理解，其中： 第1圖係為顯示裝置之例示性實施例之俯視圖；以及 第2圖係為沿著線II-II截取之第1圖之顯示裝置之剖面圖。
本揭露之例示性實施例將參照附隨圖式詳細描述。然而本發明不限於本文描述之例示性實施例，而是可以其他形式實施。毋寧是，本文所述之例示性實施例係提供以透徹並充分解釋所揭露之內容並充分傳達本發明之理念給領域中之通常知識者。
圖式中，層及區域的厚度可為了清楚而誇大。注意當層 被表示為在另一層或基板「上(on)」時，其可直接形成於另一層或基板上或可以中間層插設於其間地設置在其他層或基板上。通篇說明書中相似的組成元件以相似的參考標號標示。
將理解的是，雖然用語第一、第二、第三等可用於本文中以描述各種元件、組件、區域、層及/或部分，該元件、組件、區域、層及/或部分不應被此些用語所限制。此些用語僅用於分辨一元件、組件、區域、層或部分與另一元件、組件、區域、層或部分。因此，於下討論之第一元件、組件、區域、層或部分可被稱為第二元件、組件、區域、層或部分而不脫離本實施例之教示。
用於本文中之用詞僅用於描述特定實施例之目的而不意圖為限制。如用於本文中，除非內文明確另外表示，否則單數形式「一(a)」「一(an)」及「該(the)」意圖也包含複數形式。用語「或(or)」意指「及/或(and/or)」。當用於本文中，用語「及/或(and/or)」包含一或多個相關表列項目之合及所有組合。表述詞像是「...中的至少其一」當置於一列元件後時，修飾整列元件而非修飾該列中之個別元件。
將進一步理解的是，用語「包含(comprises)」及/或「包含(comprising)」當使用於說明書中時，特指所述特徵、區域、整數、步驟、操作、元件及/或組件之存在，但不排除一或多個其他特徵、區域、整數、步驟、操作、元件、組件及/或其群組之存在或添加。
除非另外定義，本文中所使用之所有用語(包含技術及科學用語)具有與本總體發明概念所屬技術之通常知識者之通常理解相同的意義。將進一步理解的是，像是那些定義於常用字典 中的用語應被解釋為具有與其於本發明及相關領域之內文中之意義一致的意義，且除非明確如此定義於此，否則將不理想化或過度正式地解釋。
例示性實施例藉參照為理想化實施例的示意性繪示之附隨圖式而描述於本文中。因此，可預期例如製造技術及/或容許誤差導致之由繪示形狀變形。從而，本文所述之實施例不應解釋為受限於如本文中所描繪之區域之特定形狀，而是包含例如由製造導致之形狀上的偏差。舉例而言，描繪或描述為平坦之區域可通常具有粗糙及/或非線性之特徵。另外，描繪之銳角可為圓角。從而，描繪於圖式中之區域本質上為示意性的且其形狀不意圖描繪區域之精確形狀且不意圖限制本申請專利範圍之範疇。
根據本揭露之例示性實施例之感光性樹脂組成物包含：包含含有選自不飽和羧酸及不飽和羧酸酐中的至少其一之第一單體及含有烯烴系不飽和化合物之第二單體之聚合產物之丙烯酸共聚物；包含選自由化學式1至4表示之化合物之至少一1,2-醌二疊氮基-5-磺酸酯化合物之感光性成分；偶合劑；及溶劑，其中當透過高效液相色譜法判定時，感光性成分中之不對稱化合物之總量大於或等於45面積百分比。
於此，化學式1至4為包含4,4’-[1-[4-[1-(4-羥基苯基)-1-甲基乙基]苯基]亞乙基]雙(苯酚)作為苯酚化合物之基質材料之不對稱結構，且R1為羥基或甲基，同時NQD為1,2-醌二疊氮-5-磺醯基。本例示性實施例中，面積百分比表示個別峰面積占所有峰之總面積的百分比，其中峰面積由高效液相色譜法(“HPLC”)判定。於一實施例中，感光性成分包含至少45面積百分比之選自由化學式1至4表示之化合物之至少一1,2-醌二疊氮基-5-磺酸酯化合物。
本例示性實施例中，感光性成分可進一步包含選自由化學式5至7表示之化合物中的至少一化合物。
於此，化學式5至7為包含4,4’-[1-[4-[1-(4-羥基苯基)-1- 甲基乙基]苯基]亞乙基]雙(苯酚)作為苯酚化合物之基質材料之對稱結構，且R1為羥基或甲基，同時NQD為1,2-醌二疊氮-5-磺醯基。
本例示性實施例中，丙烯酸共聚物為藉由共聚含有選自不飽和羧酸及不飽和羧酸酐中的至少其一之第一單體及含有烯烴系不飽和化合物之第二單體形成之鹼溶性樹脂。另外，丙烯酸共聚物可藉由透過沉澱及過濾移除未反應之單體及在溶劑及聚合起始劑存在下，透過自由基反應，在第一單體及第二單體共聚後之真空乾燥製程而獲得。
本例示性實施例中，不飽和羧酸及不飽和羧酸酐可包含選自丙烯酸、甲基丙烯酸、馬來酸、富馬酸、檸康酸、中康酸、伊康酸、及其酐類中的至少其一。於此，丙烯酸、甲基丙烯酸、或馬來酸的酐類之使用對於共聚反應及鹼性水溶液中之溶解性可為進一步優選的。
第一單體可包含以第一單體及第二單體之總重量份為基礎，約5重量份至約40重量份之第一單體。當含量少於5重量份時，其難以於鹼性水溶液中溶解共聚物，且當含量大於40重量份時，於鹼性水溶液中共聚物的溶解度過度增加。
本例示性實施例中，烯烴系不飽和化合物可包含選自甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸正丁酯、甲基丙烯酸仲丁酯、甲基丙烯酸叔丁酯、丙烯酸甲酯、丙烯酸異丙酯、甲基丙烯酸環己酯、2-甲基丙烯酸環己酯、丙烯酸雙環戊烯基酯、二環戊基丙烯酸酯、二環戊烯甲基丙烯酸酯、甲基丙烯酸雙環戊酯、1-金剛烷基丙烯酸酯、1-金剛烷基甲基丙烯酸酯、二環戊基 氧基甲基丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸異莰酯、丙烯酸環己酯、2-甲基丙烯酸環己酯、二環戊基氧基丙烯酸乙酯、丙烯酸異莰酯、甲基丙烯酸戊酯、丙烯酸苯酯、丙烯酸苄酯、2-羥基甲基丙烯酸乙酯，苯乙烯、σ-甲基苯乙烯、m-甲基苯乙烯、p-甲基苯乙烯，乙烯基甲苯、p-甲氧基苯乙烯、1,3-丁二烯、異戊二烯、2,3-二甲基1,3-丁二烯、丙烯酸縮水甘油酯、甲基丙烯酸縮水甘油酯、α-乙基丙烯酸縮水甘油酯、α-正丙基丙烯酸縮水甘油酯、α-正丁基丙烯酸縮水甘油酯、丙烯酸-β-甲基縮水甘油酯、甲基丙烯酸β-甲基縮水甘油酯、丙烯酸-β-乙基縮水甘油酯、甲基丙烯酸-β-乙基縮水甘油酯、丙烯酸-3,4-環氧丁酯、甲基丙烯酸-3,4-環氧丁酯、丙烯酸-6,7-環氧庚酯、甲基丙烯酸-6,7-環氧庚酯、α-乙基丙烯酸-6,7-環氧庚酯、o-乙烯基芐基縮水甘油醚、m-乙烯基芐基縮水甘油醚、p-乙烯基芐基縮水甘油醚、及甲基丙烯酸3,4-環氧環己酯中的至少其一。
於此，較佳的是第二單體係以第一單體及第二單體之總重量份為基礎，包含約60重量份至約95重量份。當含量小於60重量份時，解析度及耐熱性變差且當含量大於95重量份時，丙烯酸共聚物難以溶於作為顯影劑之鹼性水溶液中。
可使用甲醇、四羥基呋喃、甲苯、二噁烷等作為上述單體溶液聚合用的溶劑。
用於上述單體之溶液聚合之聚合起始劑可為自由基聚合起始劑，且特別係2,2-偶氮二異丁腈、2,2-偶氮二(2,4-二甲基戊腈)、2,2-偶氮雙(4-甲氧基2,4-二甲基戊腈)、1,1-偶氮雙(環己烷-1-腈)、及二甲基2,2'-偶氮二異丁酸酯。
丙烯酸共聚物在溶劑及較佳地具有約3000道爾頓至約30,000道爾頓之聚苯乙烯交換重量平均分子量(“Mw”)之聚合起始劑的存在下，藉由透過沉澱及過濾移除未反應之單體並於上述單體之自由基反應後之真空乾燥製程而獲得。在具有少於3000道爾頓之重量平均分子量(Mw，以聚苯乙烯為基礎)之有機絕緣體的情形下，顯影能力及餘率可能會變差，且圖樣顯影及耐熱性可能會降低，同時在具有大於30,000道爾頓之聚苯乙烯交換重量平均分子量(Mw)之有機絕緣體之情形下，圖樣顯影可能很差。
本例示性實施例之感光性成分包含由HPLC(高效液相色譜法)判定，至少45面積百分比之結構不對稱之化合物。另外，感光性成分包含選自可藉由在弱鹼的存在下反應1,2-醌二疊氮基-5-磺酸鹵化合物和苯酚化合物製造之由化學式1至4表示之化合物中的至少一1,2-醌二疊氮基-5-磺酸酯化合物。
另外，可使用由化學式8至25表達之苯酚化合物取代由化學式1至4表示之苯酚化合物。
感光性成分可藉由混合選自由化學式1至4表示之化合物中之至少一苯酚化合物及選自由化學式8至25表示之化合物中之至少一苯酚化合物而使用。
感光性成分之含量係在以丙烯酸共聚物之100重量份為基礎，約5重量份至約50重量份之範圍內。當含量少於5重量份時，曝光部分與未曝光部分間之溶解度差小，使得圖樣化形成困難，且當含量超出50重量份時，當照射短時間之光時，殘留大量未反應之1,2-醌二疊氮基-5-磺酸酯化合物，使得作為顯影劑之鹼性水溶液之溶解度嚴重的減少進而顯影困難。
本例示性實施例中，偶合劑係用以改良與下基板或絕緣層之附著力，且為矽烷偶合劑。於此，矽烷偶合劑可包含選自(3-縮水甘油氧基丙基)三甲氧基矽烷((3-縮水甘油氧基丙基)三甲氧基矽烷)、(3-縮水甘油氧基丙基)三乙氧基矽烷((3-縮水甘油氧基丙基)三乙氧基矽烷)、(3-縮水甘油氧基丙基)甲基二甲氧基矽烷((3-縮水甘油氧基丙基)甲基二甲氧基矽烷)、(3-縮水甘油氧基丙基)甲基二乙氧基矽烷((3-縮水甘油氧基丙基)甲基二乙氧基矽烷)、(3-縮水甘油氧基丙基)二甲基乙氧基矽烷((3-縮水甘油氧基丙基)二甲基乙氧基矽烷)、3,4-環氧丁基三甲氧基(3,4-環氧丁基三甲氧基)、3,4-環氧丁基三乙氧基矽烷(3,4-環氧丁基三乙氧基矽烷)、2-(3,4-環氧環己烷基)乙基三甲氧基矽烷(2-(3,4-環氧環己基)乙基三甲氧基矽烷)、2-(3,4-環氧環己烷基)乙基三乙氧基矽烷(2-(3,4-環氧環己基)乙基三乙氧基矽烷)、氨丙基三甲氧基矽烷(氨丙基三甲氧基矽烷)、氨丙基三乙氧基矽烷(氨丙基三乙氧基矽烷)、3-三乙氧基矽烷基-N-(1,3-二甲基-亞丁基)丙胺(3-三乙氧矽基-N-(1,3-二甲基-亞丁基)丙胺)、N-2(氨乙基)3-氨丙基三甲氧基矽烷(N-2(氨基乙基1)3-氨丙基三甲氧基矽烷)、N-2(氨乙基)3-氨丙基三乙氧基矽烷(N-2(氨基乙基1)3-氨丙基三乙氧基矽烷)、N-2(氨乙基)3-氨 丙基甲基二甲氧基矽烷(N-2(氨基乙基1)3-氨丙基甲基二甲氧基矽烷)、N-苯基-3-氨丙基三甲氧基(N-苯基-3-氨丙基三甲氧基)、及(3-異氰酸丙基)三乙氧基矽烷((3-異氰酸丙基)三乙氧基矽烷)中的至少其一。
本例示性實施例中，矽烷偶合劑的含量較佳的為在每100重量份之丙烯酸聚合物之約0.1重量份至約30重量份之範圍內。當其含量少於0.1重量份時，與下基板之附著力變差，而當含量多於30重量份時，儲存穩定度及顯影能力受損且解析度降低。
本例示性實施例中，溶劑具有約攝氏110度至約攝氏150度之沸點，及相對於正常乙酸丁酯約0.3至約1.0之蒸發速度。 此溶劑用以減少VCD(真空乾燥)製程中之處理時間，且其含量對於整個溶劑含量大於約50重量份。當具有約0.3至約1.0之蒸發速度之溶劑的含量少於50重量份時，VCD處理時間增加。
於此，較佳的是包含具有0.3至約1.0之蒸發速度之溶劑，使感光性樹脂組成物之固體含量在約10wt%至約50wt%之範圍內。當固體含量少於10wt%時，塗層係薄的，且塗層之均勻度減少。當固體含量多於50wt%時，塗層係厚的，且塗層設備於塗層時過載。當整個感光性樹脂組成物的固體含量在約10wt%至約25wt%之範圍內，感光性樹脂組成物狹縫被簡單地用於狹縫式塗佈機，在約25wt%至約50wt%的情形下，感光性樹脂組成物可被簡單地用於旋轉塗佈機或狹縫及旋轉塗佈機。
包含上述成分之根據例示性實施例之感光性樹脂組成物可進一步包含表面活性劑。於此，較佳的是包含每100重量份之 丙烯酸聚合物約0.0001重量份至約2重量份之表面活性劑，且當含量於此範圍內時，可改良感光性樹脂組成物的塗層能力及顯影能力。
較佳的是，根據本例示性實施例之感光性樹脂組成物具有約10wt%至約50wt%之固體濃度且藉由約0.1至約0.2μm的微孔過濾器過濾。
接著，將描述根據本揭露之例示性實施例之感光性樹脂組成物之詳細例示性實施例及比較範例。
範例
合成範例1丙烯酸共聚物之製備
將包含400重量份之四氫呋喃、30重量份之甲基丙烯酸、30重量份之苯乙烯及40重量份甲基丙烯酸縮水甘油酯之混合溶液加入包含冷卻器及攪拌器之燒瓶中。在以600rpm充分混合燒瓶中之溶液後，加入15重量份之2,2'-偶氮二(2,4-二甲基戊腈)。將極化混合溶液之溫度緩慢加至55℃，此溫度維持24小時，接著冷卻至室溫，並加入作為聚合起始劑之500ppm之羥基二苯甲酮(hydrobenzophenone)以獲得30wt%之固體濃度聚合溶液。為移除聚合溶液之未反應單體，於100重量份之正己烷中沉澱100重量份之聚合溶液。沉澱後，其中溶解未反應單體之溶劑以使用網格之過濾製程移除。接著，為準備丙烯醯系共聚物，包含過濾製程後殘留之未反應單體之溶劑，透過真空乾燥，在少於攝氏30度的溫度下被徹底清除。
丙烯醯系共聚物之重量平均分子量為6000。重量平均分 子量為藉由使用膠體滲透層析儀(“GPC”)量測之聚苯乙烯交換平均分子量。
例示性實施例1製造正型感光性樹脂組成物
混合藉由合成範例1製造之100重量份之丙烯酸共聚物、包含結構不對稱之化合物中相對於HPLC分析為45面積百分比同時包含由化學式1至4表示之至少一1,2-醌二疊氮基-5-磺酸酯化合物之25重量份之感光性成分、及作為矽烷偶合劑之10重量份之3-(縮水甘油氧基丙基)三甲氧基矽烷，且混合50wt%：50wt%之丙二醇甲醚醋酸酯及二甘醇甲基乙醚並溶解作為混合於其中之溶劑以獲得20重量份之固體含量，接著感光性樹脂組成物經由透過0.1μm之微孔過濾器沉澱而製造。
化學式1至4為使用4,4’-[1-[4-[1-(4-羥基苯基)-1-甲基乙基]苯基]亞乙基]雙(苯酚)作為苯酚化合物之基質材料之不對稱結構，R1為羥基或甲基，且NQD為1,2-醌二疊氮-5-磺醯基。
例示性實施例2製造正型感光性樹脂組成物
正型感光性樹脂組成物係以與例示性實施例1相同之方法製造，除了使用包含55面積百分比之不對稱化合物而非45面積百分比之不對稱化合物之感光性成分外。
例示性實施例3製造正型感光性樹脂組成物
正型感光性樹脂組成物係以與例示性實施例1相同之方法製造，除了使用包含65面積百分比之不對稱化合物而非45面積百分比之不對稱化合物之感光性成分外。
例示性實施例4製造正型感光性樹脂組成物
正型感光性樹脂組成物係以與例示性實施例1相同之方法製造，除了使用包含75面積百分比之不對稱化合物而非45面積百分比之不對稱化合物之感光性成分外。
例示性實施例5製造正型感光性樹脂組成物
正型感光性樹脂組成物係以與例示性實施例1相同之方法製造，除了使用包含85面積百分比之不對稱化合物而非45面積百分比之不對稱化合物之感光性成分外。
例示性實施例6製造正型感光性樹脂組成物
正型感光性樹脂組成物係以與例示性實施例1相同之方法製造，除了使用包含至少50面積百分比之不對稱化合物而非 45面積百分比之不對稱化合物之25重量份之感光性成分外。
例示性實施例7製造正型感光性樹脂組成物
正型感光性樹脂組成物係以與例示性實施例1相同之方法製造，除了使用5重量份之感光性成分而非25重量份之感光性成分外。
例示性實施例8製造正型感光性樹脂組成物
正型感光性樹脂組成物係以與例示性實施例1相同之方法製造，除了使用N-2(氨乙基)3-氨丙基三甲氧基矽烷而非3-(縮水甘油氧基丙基)三甲氧基矽烷作為矽烷偶合劑外。
例示性實施例9製造正型感光性樹脂組成物
正型感光性樹脂組成物係以與例示性實施例1相同之方法製造，除了使用3,4-環氧丁基三乙氧基矽烷而非3-(縮水甘油氧基丙基)三甲氧基矽烷作為矽烷偶合劑外。
例示性實施例10製造正型感光性樹脂組成物
正型感光性樹脂組成物係以與例示性實施例1相同之方法製造，除了使用30重量份之3-(縮水甘油氧基丙基)三甲氧基矽烷而非10重量份之3-(縮水甘油氧基丙基)三甲氧基矽烷作為矽烷偶合劑外。
例示性實施例11製造正型感光性樹脂組成物
正型感光性樹脂組成物係以與例示性實施例1相同之方法製造，除了使用0.1重量份之3-(縮水甘油氧基丙基)三甲氧基矽烷而非10重量份之3-(縮水甘油氧基丙基)三甲氧基矽烷作為矽 烷偶合劑外。
例示性實施例12製造正型感光性樹脂組成物
正型感光性樹脂組成物係以與例示性實施例1相同之方法製造，除了使用50重量%：50重量%之3-甲氧基丙酸甲基與與二甘醇甲基乙醚作為溶劑而非50重量%：50重量%之丙二醇甲醚醋酸酯與二甘醇甲基乙醚外。
例示性實施例13製造正型感光性樹脂組成物
正型感光性樹脂組成物係以與例示性實施例1相同之方法製造，除了使用70重量%：30重量%之丙二醇甲醚醋酸酯與二甘醇甲基乙醚作為溶劑而非50重量%：50重量%之丙二醇甲醚醋酸酯與二甘醇甲基乙醚外。
比較範例1製造正型感光性樹脂組成物
正型感光性樹脂組成物係以與例示性實施例1相同之方法製造，除了使用包含35面積百分比之不對稱化合物而非45面積百分比之不對稱化合物之感光性成分外。
比較範例2製造正型感光性樹脂組成物
正型感光性樹脂組成物係以與例示性實施例1相同之方法製造，除了使用包含25面積百分比之不對稱化合物而非45面積百分比之不對稱化合物之感光性成分外。
比較範例3製造正型感光性樹脂組成物
正型感光性樹脂組成物係以與例示性實施例1相同之方法製造，除了不使用3-(縮水甘油氧基丙基)三甲氧基矽烷矽烷偶 合劑外。
比較範例4製造正型感光性樹脂組成物
正型感光性樹脂組成物係以與例示性實施例1相同之方法製造，除了使用35重量份之3-(縮水甘油氧基丙基)三甲氧基矽烷而非10重量份之3-(縮水甘油氧基丙基)三甲氧基矽烷作為矽烷偶合劑外。
比較範例5製造正型感光性樹脂組成物
正型感光性樹脂組成物係以與例示性實施例1相同之方法製造，除了使用40重量%：60重量%之丙二醇甲醚醋酸酯與二甘醇甲基乙醚而非50重量%：50重量%之丙二醇甲醚醋酸酯與二甘醇甲基乙醚。
例示性實施例1至13與比較範例1至5中製造之正型感光性樹脂組成物之塗層溶液之材料特性以以下所述之方法量測，且其結果表示於表1。
a)VCD特性-藉由使用狹縫塗佈機於沉積有SiNx之370cm X 470cm玻璃基板上塗佈例示性實施例1至13與比較範例1至5中製造之正型感光性樹脂組成物溶液後，於玻璃基板以0.5torr執行VCD後，以100℃於加熱板上預焙2分鐘，從而形成4.0μm薄膜。其中VCD處理時間小於70之情況以○表示，70-80秒之情況以△表示，而多於80秒的情況以×表示。
b)靈敏度-對於於a)獲得之薄膜，形成12μm X 14μm之接觸孔CD，且藉由使用具有75%之半色調透光率之遮罩，具有25mW/cm2之寬帶強度之紫外線透過光曝光機以1秒之間隔照 射1至10秒以形成焊盤部分。接著，藉由使用2.38重量%溶液之四甲基氫氧化銨，在23℃進行顯影70秒，然後使用去離子(DI)水執行清潔60秒。為最終硬化，以烤箱在230℃進行加熱30分鐘，從而可獲得圖樣薄膜。靈敏度係藉由使用SEM以9.5μm X 12.5μm接觸孔CD之曝光量為基礎量測。
c)解析度限制-解析度限制係以量測b)之靈敏度時形成之圖樣薄膜之接觸孔為基礎測量作為最小尺寸。其中CD(“臨界尺寸”)偏差相等的情形係由解析度限制表示。
d)接觸孔殘留-殘留(浮渣)係以當量測a)之靈敏度時形成之圖樣薄膜之接觸孔為基礎量測。其中無殘留的情形係以○表示，而其中偵測到殘留之情形係以×表示。
e)附著力-其中當量測b)之靈敏度時形成之焊盤之圖樣薄膜之最小殘留薄膜小於0.5μm之情形以○表示，0.5-1.5μm之情形以△表示，而多於1.5μm之情形以×表示。
f)透光率-透光率係通過使用分光光度計藉由整合量測於b)中之靈敏度時形成之400-800nm之圖樣薄膜之透光率而量測。於此時，其中透光率多於98%之情形以○表示，其中95-98%之情形以△表示，而少於95%之情形以×表示。當量測透光率時使用裸玻璃基板。
g)偏紅-判定當量測f)之透光率時之基板之色座標。其中以裸玻璃為基礎，色座標之變化率紅移少於5%之情形以○表示，5-10%之情形以△表示，而多於10%之情形以×表示。
h)對比度-當量測e)之透光率時，基板藉由使用對比 度測試儀(型號：CT-1)安裝於常白模式中之偏振器間，量測白色亮度及黑色亮度，且量測白色亮度對黑色亮度之比例作為對比度。於此，其中對比度多於22,000之情形以○表示，於20,000-22,000間之情形以△表示，而少於20,000之情形以×表示。
透過表1，相對於比較範例1及2，例示性實施例1至13之正型感光性樹脂組成物顯示具有良好之靈敏度、附著力、透光率、偏紅及對比度，相對於比較範例3具有良好之附著力、透光率、偏紅及對比度，並相對於比較範例4具有良好之靈敏度、接觸孔殘留、透光率、偏紅及對比度。另外，可被證實其相較於比較範例5具有良好之VCD特性。
據此，根據本發明例示性實施例之正型感光性樹脂組成物具有良好之性能，像是VCD特性、解析度、接觸孔殘留、透光率及對比度，且特別係非常小之紅移且在高溫-高濕度之環境 下，靈敏度及附著力被顯著提升，從而獲得適合用於形成顯示裝置之層間絕緣層之正型感光性樹脂組成物。
接著，包含有機層之顯示裝置及藉由使用根據本揭露之例示性實施例之感光性樹脂組成物形成有機圖樣之方法將參照第1圖及第2圖描述。
第1圖係為根據本發明之例示性實施例之顯示裝置之俯視圖。第2圖係為沿第1圖之線II-II截取之剖面圖。
參照第1圖及第2圖，根據本例示性實施之顯示裝置包含下面板100及上面板200，與插設於兩顯示面板100與200間之液晶層3。
首先，將描述下面板。
複數條閘極線121形成在以透明玻璃或塑膠製成之絕緣基板110上。
閘極線121傳輸閘極訊號並延伸於寬度方向。每條閘極線121包含自閘極線121凸出之複數個閘極電極124及用以與其他層或閘極驅動器(圖未示)連結之寬端部分129。閘極線之寬端部分129可以包含下層及上層之雙層結構形成。
閘極線121及閘極電極124具有由下層121p及124p與上層121r與124r構成之雙層結構。下層121p與124p可以鈦、鉭、鉬及其合金中的其一形成，且上層121r與124r可以銅(Cu)或銅合金形成。例示性實施例中，閘極線121與閘極電極124具有雙層結構，但可以單層結構形成。
以像是氮化矽之絕緣材料形成之閘極絕緣層140形成於閘極線121上。
以氫化非晶矽、多晶矽等形成之半導體層151形成於閘極絕緣層140上。半導體層151主要延伸於長度方向並包含朝閘極電極124延伸之複數個凸起154。
複數個歐姆接觸條161與歐姆接觸島165形成於半導體層151之凸起154上。歐姆接觸條161具有複數個凸起163，且凸起163與歐姆接觸島165成對設置於半導體層151之凸起154上。
複數條數據線171、連結至複數條數據線171之複數個源極電極173及面對源極電極173之複數個汲極電極175形成於歐姆接觸條161、歐姆接觸島165及閘極絕緣層140上。
數據線171傳輸數據訊號且主要延伸於垂直方向以交錯閘極線121。源極電極173可朝向閘極電極124延伸以具有“U”形，但此僅為例示性且其可具有各種修改過之形狀。
汲極電極175與數據線171分離並自源極電極173之“U”形之中心部分朝向上部分延伸。數據線171包含具有用以與另一層或數據驅動器(圖未示)連結之寬區域之末端部分179。
雖然未顯示，數據線171、源極電極173及汲極電極175可具有含有上層及下層之雙層結構。上層可以銅(Cu)或銅合金形成，而下層可以鈦(Ti)、鉭(Ta)、鉬(Mo)及其合金中的其一形成。
數據線171、源極電極173及汲極電極175可具有錐形側邊。
歐姆接觸條161、凸起163及歐姆接觸島165僅設置於設置於其下之半導體層151與154與設置於其上數據線171及汲極電極175之間，並降低其間之接觸電阻。另外，歐姆接觸條161、凸起163及歐姆接觸島165具有與數據線171、源極電極173及汲極電極175實質上相同之平面圖樣。
半導體層151之凸起154包含不被數據線171及汲極電極175覆蓋之暴露之部分於源極電極173及汲極電極175之間。 除了凸起154之暴露之部分外，半導體層151具有與歐姆接觸條161及歐姆接觸島165實質上相同之平面圖樣。
一個閘極電極124、一個源極電極173及一個汲極電極175與半導體層151之凸起154一起形成一個薄膜電晶體(TFT)，且薄膜電晶體之通道係形成於源極電極173及汲極電極175間之凸起。
包含第一鈍化層180a及第二鈍化層180b之鈍化層180形成於數據線171、汲極電極175及暴露之半導體層之凸起154上。第一鈍化層180a可以像是氮化矽或氧化矽之無機絕緣體形成，且第二鈍化層180b可以根據本揭露之上述例示性實施例之感光性樹脂組成物形成。第一鈍化層180a可被省略。
鈍化層180與閘極絕緣層140具有暴露閘極線121之末端部分129之接觸孔181。另外，鈍化層180具有暴露數據線171之末端部分179之接觸孔182與暴露汲極電極175之一端之接觸孔185。
以有機絕緣體形成之第二鈍化層可透過曝光及顯影製程 圖樣化。詳細來說，為形成第二鈍化層180b，將根據上述例示性實施例之感光性樹脂組成物藉由旋轉塗佈、狹縫及旋轉塗佈、狹縫塗佈或輥式塗佈，塗佈在基板110或第一鈍化層180a上，且溶劑透過預焙移除，從而形成塗佈層。於此時，較佳的為，預焙以約100度至約120度之溫度執行1至3分鐘。
接著，根據預定圖樣照射可見光射線、紫外線、圓形的紫外線、電子束或X-射線以形成塗佈層，且塗佈層藉由顯影劑顯影移除不需要的部分以形成預定之圖樣。
於此，較佳的是，顯影劑為鹼性水溶液，且詳細而言，可為氫氧化鈉；氫氧化鉀；如碳酸鈉之無機鹼；乙基胺；如正丙胺及二乙胺之一級胺；如正丙胺、三甲基胺、甲基二乙基胺、和二甲基乙基胺之二級胺；如三乙基胺、二甲基乙醇胺、和甲基二乙醇胺之三級胺；如三乙醇胺、四甲基氫氧化銨之醇胺；或如氫氧化四乙銨之四級銨。一級胺可為其中氨僅有一個氫原子被以烴基取代之有機化合物，而二級胺可為其中氨有兩個氫原子被以烴基取代之結構。
於此時，顯影劑係由溶解鹼性化合物至0.1至10重量%濃度形成，且可加入適當量之像是甲醇及丙醇之水溶性有機溶劑及表面活性劑。
另外，在使用以上顯影劑顯影後，使用超純水執行清潔30秒至90秒以移除不需要之部分並執行乾燥以形成圖樣，且於像是紫外線之光照射於所形成之圖樣後，圖樣以像是烤箱之加熱裝置，以150度至約400度之溫度熱處理30至90分鐘。
像素電極191與接觸輔助器81及82形成於鈍化層180上。其可以像是ITO或IZO之透明導電材料或像是鋁、銀、鉻或其合金之反射材料形成。
像素電極191透過接觸孔185與汲極電極175物理性或電性接觸，並自汲極電極175接收數據電壓。
接觸輔助器81及82分別透過接觸孔181及182與閘極線121之末端部分129與數據線171之末端部分179連接。接觸輔助器81與82補償閘極線121之末端部分129及數據線171之末端部分179與外部設備間之附著力，並保護閘極線121之末端部分129及數據線171之末端部分179。
接著，將描述上面板200。
光阻擋元件220形成於由透明玻璃或塑膠形成之絕緣基板210上。光阻擋元件220防止像素電極191間之漏光並定義面對像素電極191之開口區域。
複數個彩色濾光片230形成於基板210及光阻擋元件220上。多數的彩色濾光片230形成於由光阻擋元件220封閉之區域中，且可根據像素電極191之行延伸。各彩色濾光片230可顯示像是紅、綠及藍之三原色中的其一。
於本例示性實施例中，光阻擋元件220及彩色濾光片230形成於下面板200，然而，光阻擋元件220與彩色濾光片230中的至少其一可形成於上面板100。
保護膜(圖未示)形成於彩色濾光片230及光阻擋元件220上。保護膜可以(有機)絕緣體形成，避免彩色濾光片230暴 露，並提供平坦表面。保護膜可被省略。
共用電極270形成於保護層或彩色濾光片230及光阻擋元件220上。共用電極較佳地係以像是ITO及IZO之透明導電材料形成，並接收共用電壓Vcom。
下面板100與上面板200間之液晶層3具有負介電各向異性，且可被定向以使當不施加電場時，液晶層3之液晶分子之長軸幾乎垂直於兩顯示面板100與200之表面。
像素電極191與共用電極270連同於其間之液晶層3形成液晶電容以於薄膜電晶體關閉後維持施加之電壓。
像素電極191藉由與儲存電極線(圖未示)重疊可形成儲存電容，且據此改良液晶電容之電壓維持能力。
提供其中根據本揭露之例示性實施例之感光性薄膜樹脂組成物用作為液晶顯示器之有機絕緣體之例示性實施例，然而，根據本例示性實施例之感光性薄膜樹脂組成物可用於像是有機發光裝置之使用有機絕緣體之所有顯示裝置。
雖然此揭露已結合當前認為實際之例示性實施例描述，將理解的是，揭露不限於所揭露之實施例，而是相反地，意圖涵蓋包含於所附申請專利範圍之精神與範疇中之各種修改與等效設置。
3‧‧‧液晶層
100、200‧‧‧面板
110、210‧‧‧基板
124‧‧‧閘極電極
124p‧‧‧下層
124r‧‧‧上層
140‧‧‧閘極絕緣層
151‧‧‧半導體層
161‧‧‧歐姆接觸條
163‧‧‧凸起
165‧‧‧歐姆接觸島
171‧‧‧數據線
173‧‧‧源極電極
175‧‧‧汲極電極
180‧‧‧鈍化層
180a‧‧‧第一鈍化層
180b‧‧‧第二鈍化層
185‧‧‧接觸孔
191‧‧‧像素電極
220‧‧‧光阻擋元件
230‧‧‧彩色濾光片
270‧‧‧共用電極

Claims (10)

  1. 一種感光性樹脂組成物，包含：一丙烯酸共聚物，包含由以下單體聚合之一聚合產物：一第一單體，包含選自不飽和羧酸與不飽和羧酸酐中的至少其一，以及一第二單體，包含烯烴系不飽和化合物；一感光性成分，包含選自由化學式1至4表示之化合物中的至少其一之1,2-醌二疊氮基-5-磺酸酯化合物： 其中R1為羥基或甲基，且NQD為1,2-醌二疊氮-5-磺醯基；一偶合劑；以及一溶劑，其中當透過高效液相色譜法判定時，該感光性成分中不對稱化合物之總量大於或等於45面積百分比。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之感光性樹脂組成物，其中該感光性成分進一步包含選自由化學式5至7表示之化合物中的至少一化合物： 其中R1為羥基或甲基，而NQD為1,2-醌二疊氮-5-磺醯基。
  3. 如申請專利範圍第1項所述之感光性樹脂組成物，其中該偶合劑包含一矽烷偶合劑。
  4. 如申請專利範圍第3項所述之感光性樹脂組成物，其中：各以該丙烯酸共聚物之100重量份為基礎，該感光性成分係以約5至約50重量份的量呈現，而該矽烷偶合劑係以約0.1至約30重量份的量呈現。
  5. 如申請專利範圍第4項所述之感光性樹脂組成物，其中該丙烯酸共聚物為各以該第一單體及該第二單體之總重量份為100重量份為基礎，約5重量份至約40重量份之該第一單體與約60重量份至約95重量份之該第二單體之聚合產物。
  6. 如申請專利範圍第5項所述之感光性樹脂組成物，其中該溶劑包含具有約110℃至約150℃之沸點與相對於正常乙酸丁酯約0.3至約1.0之蒸發速度之一第一溶劑。
  7. 如申請專利範圍第6項所述之感光性樹脂組成物，其中該第一溶劑以該溶劑之總重量為基礎，以多於50重量百分比(percent)的量呈現。
  8. 如申請專利範圍第1項所述之感光性樹脂組成物，其中不飽和羧酸與不飽和羧酸酐包含選自丙烯酸、甲基 丙烯酸、馬來酸、富馬酸、檸康酸、中康酸、伊康酸、及其酐類中的至少其一。
  9. 如申請專利範圍第1項所述之感光性樹脂組成物，其中烯烴系不飽和化合物包含選自甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸正丁酯、甲基丙烯酸仲丁酯、甲基丙烯酸叔丁酯、丙烯酸甲酯、丙烯酸異丙酯、甲基丙烯酸環己酯、2-甲基丙烯酸環己酯、丙烯酸雙環戊烯基酯、二環戊基丙烯酸酯、二環戊烯甲基丙烯酸酯、甲基丙烯酸雙環戊酯、1-金剛烷基丙烯酸酯、1-金剛烷基甲基丙烯酸酯、二環戊基氧基甲基丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸異莰酯、丙烯酸環己酯、2-甲基丙烯酸環己酯、二環戊基氧基丙烯酸乙酯、丙烯酸異莰酯、甲基丙烯酸戊酯、丙烯酸苯酯、丙烯酸苄酯、2-羥基甲基丙烯酸乙酯、苯乙烯、σ-甲基苯乙烯、m-甲基苯乙烯、p-甲基苯乙烯、乙烯基甲苯、p-甲氧基苯乙烯、1,3-丁二烯、異戊二烯、2,3-二甲基1,3-丁二烯、丙烯酸縮水甘油酯、甲基丙烯酸縮水甘油酯、α-乙基丙烯酸縮水甘油酯、α-正丙基丙烯酸縮水甘油酯、α-正丁基丙烯酸縮水甘油酯、丙烯酸-β-甲基縮水甘油酯、甲基丙烯酸-β-甲基縮水甘油酯、丙烯酸-β-乙基縮水甘油酯、甲基丙烯酸-β-乙基縮水甘油酯、丙烯酸-3,4-環氧丁酯、甲基丙烯酸-3,4-環氧丁酯、丙烯酸-6,7-環氧庚酯、甲基丙烯酸-6,7-環氧庚酯、α-乙基丙烯酸-6,7-環氧庚酯、o-乙烯基芐基縮水甘油醚、m- 乙烯基芐基縮水甘油醚、p-乙烯基芐基縮水甘油醚、及甲基丙烯酸3,4-環氧環己酯中的至少其一。
  10. 如申請專利範圍第1項所述之感光性樹脂組成物，其中該丙烯酸共聚物具有約3000道爾頓至約30,000道爾頓之聚苯乙烯交換重量平均分子量。
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