TWI614196B - 轉塔式測試設備及其轉塔式測試方法 - Google Patents

Abstract

一種轉塔式測試設備，適於對一電子元件進行測試，該電子元件包括一元件本體以及複數個引腳。該轉塔式測試設備包括一吸嘴、一作業基台、一測試座以及一抵接單元。吸嘴適於吸附該元件本體以移動該電子元件。測試座設於該作業基台，該吸嘴將該電子元件移動至該測試座以進行測試程序，包括一耦接單元以及一主動部。耦接單元包括一耦接部、一壓接腳部以及一彈性結構，該彈性結構連接該壓接腳部。主動部連接該彈性結構。在一取放狀態下，該抵接單元對該主動部施加一反作用力，在一測試狀態下，該主動部所受到之該反作用力被釋放。

Description

轉塔式測試設備及其轉塔式測試方法

本發明係有關於一種轉塔式測試設備，特別係有關於一種可保持電子元件良率之轉塔式測試設備。

轉塔式測試設備一般用於非引腳式晶片的測試，當引腳式晶片以轉塔式測試設備進行測試時，吸嘴的下壓力會經由引腳傳遞至測試座，由於引腳的剛性有限，因此容易因受力而變形，使得引腳的架高值(standoff)降低，造成測試後之晶片的良率下降。然而，由於轉塔式測試設備具有高效率，省空間等優勢，因此如何應用轉塔式測試設備檢測引腳式晶片，成為一重要課題。

本發明係為了欲解決習知技術之問題而提供之一種轉塔式測試設備，適於對一電子元件進行測試，該電子元件包括一元件本體以及複數個引腳。該轉塔式測試設備包括一吸嘴、一作業基台、一測試座以及一抵接單元。吸嘴適於吸附該元件本體以移動該電子元件。測試座設於該作業基台，該吸嘴將該電子元件移動至該測試座以進行測試程序，包括一耦接單元以及一主動部。耦接單元包括一耦接部、一壓接腳部以及一彈性結構，該彈性結構連接該壓接腳部。主動部連接該彈性結 構。在一取放狀態下，該抵接單元對該主動部施加一反作用力，在一測試狀態下，該抵接單元與該測試座分離，藉此該主動部所受到之該反作用力被釋放，其中，在一取放狀態下，該主動部受到該反作用力，該主動部推擠該彈性結構，使該壓接腳部維持於一第一方位而容許取放該電子元件，在一測試狀態下，該主動部所受到之該反作用力被釋放，該主動部釋放該彈性結構，使該壓接腳部移至一第二方位以壓接該等引腳與該耦接部，藉此該電子元件透過該耦接部進行測試。

本發明亦提供一種轉塔式測試方法，包括下述步驟。首先，提供前述之轉塔式測試設備，其中，該轉塔式測試設備更包括一元件輸入單元以及一元件輸出單元。接著，以該吸嘴從該元件輸入單元吸附提起該電子元件。再，將該吸嘴將該電子元件置入該測試座以進行測試。接著，在該吸嘴將該電子元件從該測試座提出後，將該電子元件移送置放於該元件輸出單元。其中，在該取放狀態以及該測試狀態之中，該吸嘴持續吸附該電子元件。

應用本發明實施例之轉塔式測試設備，電子元件包括元件本體及複數個引腳，而吸嘴僅吸附該元件本體，該吸嘴透過該電子元件的元件本體推頂該元件置放部時，推力不會完全經過引腳，而主要是直接經由電子元件之元件本體的底部傳遞至該元件置放部。因此，引腳不會因受力而變形，可以維持良好的架高值(standoff)，即，提高檢測後的電子元件良率。此外，在檢測過程中，由於該吸嘴持續吸附該電子元件，因此可節省取放時間，提高測試效率。

1‧‧‧吸嘴

2‧‧‧作業基台

3‧‧‧測試座

31‧‧‧耦接單元

311‧‧‧耦接部

312‧‧‧壓接腳部

313‧‧‧彈性結構

32‧‧‧主動部

33‧‧‧元件置放部

34‧‧‧基部

35‧‧‧彈力回復單元

4‧‧‧抵接單元

41‧‧‧取放開口

5‧‧‧彈性位移單元

E‧‧‧電子元件

E1‧‧‧引腳

T‧‧‧轉塔式測試設備

d1‧‧‧常態間距

S1、S2、S3、S4‧‧‧步驟

第1圖係顯示本發明實施例之轉塔式測試設備。

第2圖係顯示測試座的細部結構。

第3A圖係顯示測試座的局部剖面圖。

第3B圖係顯示引腳由壓接腳部壓觸定位的情形。

第4A~4C圖係顯示本發明實施例之轉塔式測試設備的測試過程。

第5圖係顯示本發明實施例之轉塔式測試方法。

參照第1圖，其係顯示本發明實施例之轉塔式測試設備T，適於對一電子元件E進行測試，該電子元件E包括複數個引腳E1以及元件本體E2。轉塔式測試設備T包括一吸嘴1、一作業基台2、一測試座3以及一抵接單元4。搭配參照第1、2、3A圖，吸嘴1僅吸附元件本體E2以移動該電子元件E。測試座3設於該作業基台2，包括一耦接單元31以及一主動部32。耦接單元31包括一耦接部311、一壓接腳部312以及一彈性結構313，該彈性結構313連接該壓接腳部312。主動部32連接該彈性結構31。

參照第3B圖，當該電子元件E被測試時，引腳E1被置於耦接部311之上，並可由壓接腳部312壓觸定位以進行檢測。

參照第4A~4C圖，其係顯示本發明實施例之轉塔式測試設備T的使用過程。在此實施例中，該抵接單元4與該作 業基台2之間的相對位置固定。在一實施例中，該抵接單元4為一罩體，該測試座3設於該抵接單元4之中，該抵接單元4固定連接於該作業基台2，一取放開口41形成於該抵接單元4之頂面，該吸嘴1以及該電子元件E通過該取放開口41進出該抵接單元4。

參照第4A~4C圖，該測試座3自由地於一第一位置(如第4A圖及第4C圖所示)以及一第二位置(如第4B圖所示)之間移動。在一實施例中，該轉塔式測試設備T更包括一彈性位移單元5，該彈性位移單元5設於該作業基台2與該測試座3之間，該彈性位移單元5適於將該測試座3從該第二位置推回該第一位置，並在該第一位置上持續對該測試座3提供推力。當該測試座3處於該第一位置時，基於該彈性位移單元5對該測試座3所施加的推力，該抵接單元4對該主動部32施加一反作用力；當該測試座3處於該第二位置時，該抵接單元4與該測試座3分離。

參照第4A、4B圖，在一實施例中，該測試座3包括一元件置放部33。如前所述，電子元件B包括元件本體E2及複數個引腳E1，而吸嘴1是透過元件本體E2而推壓該元件置放部33。當該吸嘴1及該元件本體E2推壓該元件置放部33時，該測試座3從該第一位置(第4A圖)被推至該二第位置(第4B圖)，此時該抵接單元4與該測試座分離3，該主動部32所受到之該反作用力被釋放，該主動部32釋放該彈性結構313，使該壓接腳部312旋轉至該第二方位以壓接該等引腳E1與該耦接部311。

參照第4C圖，當該吸嘴1及該電子元件E欲離開該 測試座3而上提時，該測試座3受該彈性位移單元5推移，而從該第二位置(第4B圖)推至該第一位置(第4C圖)，此時該抵接單元4對該主動部32施加該反作用力，該主動部32推擠該彈性結構313，使該壓接腳部312回復至一第一方位而與該等引腳E1分離。藉此可自由取出該電子元件E。

參照第4A圖，在一取放狀態下，該主動部32受到該反作用力，該主動部32推擠該彈性結構313，使該壓接腳部312處於該第一方位。在此狀態下，壓接腳部312與該耦接部311分離，因此吸嘴1可於壓接腳部312與耦接部311之間取放電子元件E。參照第4B圖，在一測試狀態下，該主動部32所受到之該反作用力被釋放，該主動部32釋放該彈性結構313，使該壓接腳部312被旋轉至一第二方位以壓接該等引腳E1與該耦接部311。藉此以定位並耦接電子元件E。參照第4A圖，在該取放狀態下，該抵接單元4對該主動部32施加該反作用力。參照第4B圖，在該測試狀態下，該抵接單元4與該測試座3分離，藉此該主動部32所受到之該反作用力被釋放。

在一實施例中，該耦接部311之上表面與該元件置放部33之上表面之間存在一常態間距d1，該常態間距d1等於該電子元件E之該等引腳E1的架高值(standoff)。應用本發明實施例之轉塔式測試設備，該吸嘴1透過該電子元件E的元件本體E2推頂該元件置放部33時，推力不會完全經過引腳E1，而主要是直接經由電子元件E之元件本體E2的底部傳遞至該元件置放部33。因此，引腳E1不會因受力而變形，可以維持良好的架高值(standoff)，即，提高檢測後的電子元件良率。

參照第4A、4B、4C圖，在一實施例中，該測試座3更包括一基部34以及一彈力回復單元35，該彈力回復單元35設於該基部34與該主動部32之間，該彈力回復單元35為該主動部32提供彈性回復力。該耦接部311以及該彈性結構313均連接該基部34。

參照第5圖，本發明亦提供一種轉塔式測試方法，包括下述步驟。首先，提供前述之轉塔式測試設備，其中，該轉塔式測試設備更包括一元件輸入單元(例如托盤(tray))以及一元件輸出單元(S1)。接著，以該吸嘴從該元件輸入單元以真空方式吸附提起該電子元件(S2)。再，以該吸嘴將該電子元件置入該測試座以進行測試(S3)。接著，在該吸嘴將該電子元件從該測試座提出後，將該電子元件移送置放於該元件輸出單元(S4)。其中，在該取放狀態以及該測試狀態之中，該吸嘴持續吸附該電子元件。特別是，在一實施例中，從該元件輸入單元吸附提起該電子元件之步驟至將該電子元件置放於該元件輸出單元之步驟之間，該吸嘴均保持真空而持續吸附該電子元件。應用本發明，在檢測過程中，由於該吸嘴持續吸附該電子元件，免除了破真空而再度進入真空狀態的過程，因此可節省取放時間，提高測試效率。

雖然本發明已以具體之較佳實施例揭露如上，然其並非用以限定本發明，任何熟習此項技術者，在不脫離本發明之精神和範圍內，仍可作些許的更動與潤飾，因此本發明之保護範圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準。

1‧‧‧吸嘴

2‧‧‧作業基台

3‧‧‧測試座

31‧‧‧耦接單元

311‧‧‧耦接部

312‧‧‧壓接腳部

313‧‧‧彈性結構

32‧‧‧主動部

33‧‧‧元件置放部

34‧‧‧基部

35‧‧‧彈力回復單元

4‧‧‧抵接單元

41‧‧‧取放開口

5‧‧‧彈性位移單元

E‧‧‧電子元件

E1‧‧‧引腳

Claims (10)

1. 一種轉塔式測試設備，適於對一電子元件進行測試，該電子元件包括一元件本體以及複數個引腳，包括：一吸嘴，適於吸附該元件本體以移動該電子元件；一作業基台；一測試座，設於該作業基台，該吸嘴將該電子元件移動至該測試座以進行測試程序，包括：一耦接單元，包括一耦接部、一壓接腳部以及一彈性結構，該彈性結構連接該壓接腳部；以及一主動部，連接該彈性結構；以及一抵接單元，在一取放狀態下，該抵接單元對該主動部施加一反作用力，該主動部受到該反作用力，該主動部推擠該彈性結構，使該壓接腳部維持於一第一方位而容許取放該電子元件，在一測試狀態下，該抵接單元與該測試座分離，該主動部所受到之該反作用力被釋放，該主動部釋放該彈性結構，使該壓接腳部移至一第二方位以壓接該等引腳與該耦接部，藉此該電子元件透過該耦接部進行測試。
2. 如申請專利範圍第1項所述之轉塔式測試設備，其中，該抵接單元與該作業基台之間的相對位置固定，該測試座於一第一位置以及一第二位置之間移動，當該測試座處於該第一位置時，該抵接單元對該主動部施加該反作用力，當該測試座處於該第二位置時，該抵接單元與該測試座分離。
3. 如申請專利範圍第2項所述之轉塔式測試設備，其更包括一彈性位移單元，該彈性位移單元設於該作業基台與該測試 座之間，該彈性位移單元適於將該測試座從該第二位置推回該第一位置。
4. 如申請專利範圍第3項所述之轉塔式測試設備，其中，該抵接單元為一罩體，該測試座設於該抵接單元之中，該抵接單元固定連接於該作業基台。
5. 如申請專利範圍第4項所述之轉塔式測試設備，其中，該抵接單元具有一取放開口，該吸嘴以及該電子元件通過該取放開口進出該抵接單元。
6. 如申請專利範圍第3項所述之轉塔式測試設備，其中，該測試座包括一元件置放部，當該吸嘴及該電子元件推壓該元件置放部時，該測試座從該第一位置被推至該第二位置，此時該抵接單元與該測試座分離，該主動部所受到之該反作用力被釋放，該主動部釋放該彈性結構，使該壓接腳部被旋轉至該第二方位以壓接該等引腳與該耦接部。
7. 如申請專利範圍第6項所述之轉塔式測試設備，其中，當該吸嘴及該電子元件欲離開該測試座而上提時，該測試座被該彈性位移單元從該第二位置推至該第一位置，此時該抵接單元對該主動部施加該反作用力，該主動部推擠該彈性結構，使該壓接腳部回復至該第一方位而與該等引腳分離。
8. 如申請專利範圍第6項所述之轉塔式測試設備，其中，該耦接部之上表面與該元件置放部之上表面之間存在一常態間距，該常態間距等於該電子元件之該等引腳的架高值(standoff)。
9. 一種轉塔式測試方法，包括： 提供如申請專利範圍第1項所述之轉塔式測試設備，其中，該轉塔式測試設備更包括一元件輸入單元以及一元件輸出單元；以該吸嘴從該元件輸入單元吸附提起該電子元件；以該吸嘴將該電子元件置入該測試座以進行測試；在該吸嘴將該電子元件從該測試座提出後，將該電子元件移送置放於該元件輸出單元，其中，在該取放狀態以及該測試狀態之中，該吸嘴持續吸附該電子元件。
10. 如申請專利範圍第9項所述之轉塔式測試方法，其中，從該元件輸入單元吸附提起該電子元件之步驟至將該電子元件置放於該元件輸出單元之步驟之間，該吸嘴持續吸附該電子元件。