TWI609776B - 包含位置受控的孔徑的光學間隔件之製造方法 - Google Patents

包含位置受控的孔徑的光學間隔件之製造方法 Download PDF

Info

Publication number
TWI609776B
TWI609776B TW105122789A TW105122789A TWI609776B TW I609776 B TWI609776 B TW I609776B TW 105122789 A TW105122789 A TW 105122789A TW 105122789 A TW105122789 A TW 105122789A TW I609776 B TWI609776 B TW I609776B
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
mold
optical spacer
optical
substrate
lens
Prior art date
Application number
TW105122789A
Other languages
English (en)
Other versions
TW201706123A (zh
Inventor
高少凡
張家揚
利維亞 李
Original Assignee
豪威科技股份有限公司
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 豪威科技股份有限公司 filed Critical 豪威科技股份有限公司
Publication of TW201706123A publication Critical patent/TW201706123A/zh
Application granted granted Critical
Publication of TWI609776B publication Critical patent/TWI609776B/zh

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B3/00—Simple or compound lenses
    • G02B3/0006—Arrays
    • G02B3/0012—Arrays characterised by the manufacturing method
    • G02B3/0031—Replication or moulding, e.g. hot embossing, UV-casting, injection moulding
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29D—PRODUCING PARTICULAR ARTICLES FROM PLASTICS OR FROM SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE
    • B29D11/00—Producing optical elements, e.g. lenses or prisms
    • B29D11/00009—Production of simple or compound lenses
    • B29D11/00365—Production of microlenses
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C33/00—Moulds or cores; Details thereof or accessories therefor
    • B29C33/0033—Moulds or cores; Details thereof or accessories therefor constructed for making articles provided with holes
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C33/00—Moulds or cores; Details thereof or accessories therefor
    • B29C33/44—Moulds or cores; Details thereof or accessories therefor with means for, or specially constructed to facilitate, the removal of articles, e.g. of undercut articles
    • B29C33/48—Moulds or cores; Details thereof or accessories therefor with means for, or specially constructed to facilitate, the removal of articles, e.g. of undercut articles with means for collapsing or disassembling
    • B29C33/485—Moulds or cores; Details thereof or accessories therefor with means for, or specially constructed to facilitate, the removal of articles, e.g. of undercut articles with means for collapsing or disassembling cores or mandrels
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29D—PRODUCING PARTICULAR ARTICLES FROM PLASTICS OR FROM SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE
    • B29D11/00—Producing optical elements, e.g. lenses or prisms
    • B29D11/00009—Production of simple or compound lenses
    • B29D11/00278—Lenticular sheets
    • B29D11/00298—Producing lens arrays
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29K—INDEXING SCHEME ASSOCIATED WITH SUBCLASSES B29B, B29C OR B29D, RELATING TO MOULDING MATERIALS OR TO MATERIALS FOR MOULDS, REINFORCEMENTS, FILLERS OR PREFORMED PARTS, e.g. INSERTS
    • B29K2105/00—Condition, form or state of moulded material or of the material to be shaped
    • B29K2105/0058—Liquid or visquous
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29K—INDEXING SCHEME ASSOCIATED WITH SUBCLASSES B29B, B29C OR B29D, RELATING TO MOULDING MATERIALS OR TO MATERIALS FOR MOULDS, REINFORCEMENTS, FILLERS OR PREFORMED PARTS, e.g. INSERTS
    • B29K2105/00—Condition, form or state of moulded material or of the material to be shaped
    • B29K2105/0097—Glues or adhesives, e.g. hot melts or thermofusible adhesives

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Ophthalmology & Optometry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Lens Barrels (AREA)
  • Casting Or Compression Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)

Abstract

本發明提出一種製造光學間隔件的方法，包括：將導熱膠分配在模具中；利用光學間隔件基板按壓上述導熱膠以形成包含孔徑的光學間隔件；以及從上述光學間隔件釋放上述模具。在從上述光學間隔件釋放上述模具之前可以固化上述導熱膠。

Description

包含位置受控的孔徑的光學間隔件之製造方法
本發明涉及光學元件技術領域，尤其涉及一種包含有位置受控的孔徑之光學間隔件之製造方法。
傳統的透鏡孔徑是利用二進位偽隨機(BPR，binary pseudo random)和鉻(Cr)程序而製成的。然而，這樣的透鏡孔徑在位置和結構上有其限制。例如，圖1示出從先前技術的製造方法製成的包括一典型的透鏡孔徑106的透鏡晶圓陣列100。透鏡陣列100中包括在基板104上形成的透鏡102(1)-102(4)的陣列以及後續形成在陣列的各個透鏡102之間的透鏡孔徑106。透過這種製造方法製成的透鏡孔徑106在高度和尺寸上受限於透鏡的尺寸、形狀及結構。
一種製造光學間隔件的方法，包括：將導熱膠分配在模具中；利用光學間隔件基板按壓上述導熱膠以形成包含孔徑的光學間隔件；以及從上述光學間隔件釋放上述模具。在從上述光學間隔件釋放上述模具之前可以固化上述導熱膠。
100‧‧‧透鏡(晶圓)陣列
102、102(1)、102(2)、102(3)、102(4)‧‧‧透鏡
104‧‧‧基板
106‧‧‧透鏡孔徑
200‧‧‧方法
202、204、206、208、210、212、214‧‧‧步驟
300‧‧‧模具
302‧‧‧模具基板
304‧‧‧模具材料
306‧‧‧區域
310‧‧‧導熱膠
312‧‧‧光學間隔件基板
314‧‧‧光學間隔件
316‧‧‧透鏡板
318‧‧‧透鏡
320‧‧‧透鏡板基板
322‧‧‧光學孔徑
324‧‧‧高度
326‧‧‧寬度
328‧‧‧距離
330‧‧‧透鏡組件
本發明的上述和其他特徵和優點從如後附圖式所示的實施例的更詳細描述中將變得容易瞭解，其中在不同圖式中自始至終相似的元件符號表示相同的元件。圖式不一定是按比例的，重點是解釋本發明的原理，其中：圖1示出從先前技術的製造程序製成的包括典型的透鏡孔徑的透鏡晶圓陣列；圖2示出根據本發明之一實施例的製造包括位置受控的孔徑之光學間隔件的方法；圖3示出圖2的方法的結構示意圖。
本文所揭露的實施例係利用從導熱膠或黏合劑生成光學間隔件之製造程序。所生成的光學間隔件能夠透過改變導熱膠的結構從而控制孔徑的位置。
圖2示出製造包含有位置受控的孔徑之光學間隔件的方法200。圖3示出方法200的步驟的結構示意圖。應理解者為，示意圖不限制其中示出的結構元件的尺寸、形狀及結構。圖2和圖3結合下面的描述一起檢視為最佳。為清晰的說明，圖3中未對所有的元件進行標記。
在步驟202中，方法200生成對應於光學間隔件的期望配置之模具。在步驟202的一實例中，將模具材料304放在模具基板302上以形成由模具材料304的邊界所定義的區域306，從而生成模具300。模具材料304可以與模具基板302為一體的(亦即由單塊連續材料形成)，或者模具材料304可以附接至相同材料或不同材料的基板上。區域306可以與利用模具300製成的光學間隔件的期望配置相逆。
在步驟204中，將導熱膠分配在模具中。在步驟204的一實例中，將導熱膠310分配在區域306中。
在步驟206中，利用光學間隔件基板按壓導熱膠，以根據模具使導熱膠成形。在步驟206的一實例中，使光學間隔件基板312與模具基板302的相對側上的模具材料304相接觸。然後可以烘烤或以其他方式使導熱膠310變硬一段給定時間從而固化。
在步驟208中，從固化的光學間隔件釋放模具。在步驟208的一實例中，從固化的導熱膠310釋放模具300，因此剩下固化的光學間隔件314。
在步驟210中，將步驟208中製成的光學間隔件堆疊到透鏡板上。在步驟210的一實例中，光學間隔件314被堆疊到包括透鏡板基板320上的透鏡318之透鏡板316上。與光學間隔件基板相對的光學間隔件314的表面可以被黏附至或以其他方式附接至透鏡板316。
在步驟212中，移除光學間隔件基板，從而形成包括用於透鏡的受控光學孔徑之透鏡組件。在步驟212的一實例中，從導熱膠310移除光學間隔件基板312，從而形成包括用於透鏡318的光學孔徑322之透鏡組件330。高度324、寬度326及距透鏡318的距離328是基於模具300的配置分別可獨立控 制的。有利的是，孔徑的任何配置均為可能，因此透鏡的各種光學特性均為可能(亦即控制光學透鏡組件的MTF(Modulation Transfer Function，調變傳遞函數))。
在選擇性的步驟214中，將透過步驟202至步驟212形成的一或多個透鏡組件堆疊在一起以製造多透鏡的透鏡組件。若需要，每個透鏡組件330可以被單一化成各個多透鏡的透鏡組件。
在不脫離本發明之範圍下可以對上述方法和系統做出改變。因此，應注意者為，上述描述中包含的內容或後附圖式中示出的內容應被解釋為例示性的，而非限制性的。所附的請求項旨在涵蓋其中描述的所有一般和特定特徵，以及本方法和系統的範圍之所有描述，本方法和系統的範圍之所有描述在文義上可能被認為落入其間。
200‧‧‧方法
202、204、206、208、210、212、214‧‧‧步驟

Claims (8)

  1. 一種製造光學間隔件的方法，包括：將導熱膠分配在模具中；利用光學間隔件基板按壓該導熱膠以生成包含孔徑的光學間隔件；從該光學間隔件釋放該模具；至少部份藉由將與該光學間隔件基板相對的該光學間隔件的表面黏附至該透鏡板基板而將該光學間隔件堆疊至一包括透鏡和透鏡板基板的透鏡板上；以及在釋放的步驟之後，移除該光學間隔件基板以生成包含該透鏡板及經按壓的該導熱膠之光學透鏡組件。
  2. 如請求項1所述之方法，更包括：對應於該光學間隔件的期望配置，透過將模具材料附接至模具基板以便形成由該模具材料的邊界所定義的區域而生成該模具，該區域與該光學間隔件的該期望配置相逆。
  3. 如請求項2所述之方法，其中將模具材料附接至模具基板的步驟包括從單塊的一體材料形成該模具材料及該模具基板。
  4. 如請求項2所述之方法，其中按壓該導熱膠的步驟包括使該光學間隔件基板接觸與該模具基板相對的該模具材料之表面。
  5. 如請求項1所述之方法，更包括在從該光學間隔件釋放該模具之前，固化該光學間隔件的該導熱膠。
  6. 如請求項1所述之方法，其中該光學透鏡組件的配置是基於該模具的配置，該光學透鏡組件的配置包括高度、寬度及該孔徑距該光學透鏡的距離。
  7. 如請求項1所述之方法，更包括透過將該光學透鏡組件堆疊至至少一個其他光學透鏡組件而形成多透鏡光學組件。
  8. 如請求項1所述之方法，更包括藉由提供模具材料及模具基板作為單塊一體材料而對應於該光學間隔件的期望配置來生成該模具。
TW105122789A 2015-08-05 2016-07-19 包含位置受控的孔徑的光學間隔件之製造方法 TWI609776B (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US14/819,103 US10889078B2 (en) 2015-08-05 2015-08-05 Optical spacer including controlled located aperture and method of manufacturing the same
US14/819,103 2015-08-05

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TW201706123A TW201706123A (zh) 2017-02-16
TWI609776B true TWI609776B (zh) 2018-01-01

Family

ID=58053945

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW105122789A TWI609776B (zh) 2015-08-05 2016-07-19 包含位置受控的孔徑的光學間隔件之製造方法

Country Status (3)

Country Link
US (1) US10889078B2 (zh)
CN (1) CN106443844A (zh)
TW (1) TWI609776B (zh)

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2193911A2 (en) * 2008-12-04 2010-06-09 Samsung Electronics Co., Ltd. Micro lens, method and apparatus for manufacturing micro lens, and camera module including micro lens
US20150035180A1 (en) * 2013-08-02 2015-02-05 Forward Optics Co., Ltd. Method for fabricating an arrayed optical element
CN104511995A (zh) * 2013-09-16 2015-04-15 全视技术有限公司 凹坑配液过程形成光学透镜的装置和方法

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5444520A (en) * 1993-05-17 1995-08-22 Kyocera Corporation Image devices
KR20070089889A (ko) * 2002-09-17 2007-09-03 앤터온 비.브이. 카메라 디바이스, 카메라 디바이스 제조 방법, 웨이퍼스케일 패키지 및 광학 어셈블리
US20090159200A1 (en) 2007-12-19 2009-06-25 Heptagon Oy Spacer element and method for manufacturing a spacer element
US8828174B2 (en) * 2008-08-20 2014-09-09 Heptagon Micro Optics Pte. Ltd. Method of manufacturing a plurality of optical devices
TWI411024B (zh) 2009-09-02 2013-10-01 Himax Semiconductor Inc 晶圓級模組及其製造方法
CN102194835A (zh) * 2010-03-01 2011-09-21 奇景光电股份有限公司 晶圆级镜头模块及其制造方法、晶圆级摄影机
US20120154945A1 (en) * 2010-12-16 2012-06-21 William Mark Hiatt Optical apertures and applications thereof
EP2666048A4 (en) * 2011-01-20 2014-06-04 Fivefocal Llc PASSIV ATHERMALIZED INFRARED IMAGING SYSTEM AND MANUFACTURING METHOD THEREFOR

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2193911A2 (en) * 2008-12-04 2010-06-09 Samsung Electronics Co., Ltd. Micro lens, method and apparatus for manufacturing micro lens, and camera module including micro lens
US20150035180A1 (en) * 2013-08-02 2015-02-05 Forward Optics Co., Ltd. Method for fabricating an arrayed optical element
CN104511995A (zh) * 2013-09-16 2015-04-15 全视技术有限公司 凹坑配液过程形成光学透镜的装置和方法

Also Published As

Publication number Publication date
US20170036407A1 (en) 2017-02-09
CN106443844A (zh) 2017-02-22
US10889078B2 (en) 2021-01-12
TW201706123A (zh) 2017-02-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101714737B1 (ko) 범프형 스탬프를 이용한 선택적 전사방법 및 전사장치
TWI575303B (zh) 懸式透鏡系統及用於製造懸式透鏡系統之晶圓級方法
JPWO2013133225A1 (ja) マイクロレンズアレイおよび撮像素子パッケージ
JP6256612B2 (ja) 巻線型コイル部品の製造方法
US20090284837A1 (en) Method and apparatus providing uniform separation of lens wafer and structure bonded thereto
US20170309685A1 (en) Optical Element Stack Assemblies
JP6119712B2 (ja) 半導体装置の製造方法
CN103474345A (zh) 用于对层叠衬底进行成形的方法
CN109564335B (zh) 层叠透镜结构、相机模块和层叠透镜结构的制造方法
EP3374815A1 (en) Optical element stack assemblies
KR102046405B1 (ko) 소자 처리용 반도체-다이아몬드 웨이퍼의 부착 방법
US7736550B2 (en) Method of manufacturing an optical device by means of a replication method
TWI609776B (zh) 包含位置受控的孔徑的光學間隔件之製造方法
JP2009279774A (ja) 造形物の製造方法、スタンパの製造方法、マスタ製造装置、スタンパ製造システム、及びスタンパ製造装置
JP2017500738A (ja) 構造体を型押しする方法および装置
US7879249B2 (en) Methods of forming a lens master plate for wafer level lens replication
JP6582584B2 (ja) プラスチック光学素子の製造方法
EP3659186B1 (en) Wafer-level methods for manufacturing uniform layers of material on optoelectronic modules
WO2017006447A1 (ja) 段差付ウエハおよびその製造方法
JP2017007187A (ja) モールド成形品の製造方法及び製造装置及び光学素子
JP2021159887A5 (zh)
TWI637194B (zh) 堆疊透鏡組件及其製造方法
KR102505223B1 (ko) 렌즈 이형성이 향상된 웨이퍼 렌즈 제조 장치 및 그 방법
TWI577538B (zh) 用於生產一透鏡晶圓之方法及裝置
TW201625407A (zh) 光學元件的製造方法