CN104511995A - 凹坑配液过程形成光学透镜的装置和方法 - Google Patents

Abstract

光学模具包括间隔件空腔部分、透镜空腔部分和流动停止控制部分，该光学模具用来允许光学透镜材料流动于间隔件空腔部分与透镜空腔部分之间，且用来形成光学透镜阵列。光学模具还包括位于间隔件空腔部分之内的基座，用来在凹坑配液过程中支撑模具。一种使用光学模具的方法，该光学模具包括间隔件空腔部分、透镜空腔部分和流动停止控制部分，及选择性的基座。

Description

凹坑配液过程形成光学透镜的装置和方法

技术领域

本发明涉及光学领域，尤其涉及一种凹坑配液过程形成光学透镜的装置和方法。

背景技术

利用凹坑配液过程的晶圆级光学透镜的设计，利用模具将凹坑的光学镜片材料压印，或者印记在基材上，从而在模具空腔中产生透镜。利用凹坑配液过程之习知技术，往往会造成气泡且无法脱离模具内的空腔。这种气泡是不想要的，其会极大地影响到透镜设计的质量。

另外，与最大透镜光圈有关的模具的边缘通常需要压在基板上，使得凹坑的光学透镜材料可以充分地分散在界定透镜的空腔内。然而，因为模具与基板的直接接触，许多光学透镜会在压印过程中损坏掉。

为了解决上述之问题，模具可以不以全部的方式被打印在基板上，使得在基板和模具的边缘之间形成底层。然而，底层通常具有不希望的厚度。另外，产生底层需要的额外的和不必要的光学透镜材料，因而增加了制造的成本。

发明内容

本发明示例性实施例描述如下。下面的描述旨在提供对本发明的某些方面的概述，且不是用来限制本发明的范围。例如，某些实施例可具有比下面描述的或多或少的组件。

本文所述的第一方面，是用来在晶圆级凹坑配液过程中形成光学透镜的装置，该装置包括一个模具，该模具含有具有第一顶部的间隔空腔部分，具有第二顶部的透镜空腔部分，与具有第三顶部的流动停止控制部分。流动停止控制部分系位于间隔空腔部分和透镜空腔部分之间的渠道，其中间隔空腔部分，透镜空腔部分，和流动停止控制部分均沿着第一水平面对齐，使得光学透镜材料可以流动于间隔空腔部分与透镜空腔部分之间而通过流动停止控制部分。该装置和/或模具可进一步包括在间隔空腔部分内的基座。基座可以是单一个或多个圆柱形的基座，多个圆柱形的基座，和/或杆形的基座。

本文所述的第二方面，是制造光学透镜阵列的方法，该方法包括：形成光学透镜阵列的间隔部分，形成光学透镜阵列的透镜部分，形成光学透镜阵列的流动停止控制部分，该流动停止控制部分界定透镜部分和间隔件部分之间的空腔，其中形成间隔件部分，形成透镜部分，和形成流动停止控制部分的步骤，在将光学透镜模具压印在具有光学透镜材料的基材上时，同时被完成。

本文所述的第三方面，是在凹坑配液过程中形成的示例性的光学透镜阵列，该光学透镜阵列包括多重光学透镜部分；间隔件部分；以及位于间隔件部分与多重光学透镜部分之间的流动停止控制部分。光学透镜阵列还可以包括基座空腔部分。

附图说明

图1显示在一个实施例中的示例性模具装置，其包括用来在凹坑配液过程中形成光学透镜的流动停止控制部分。

图2显示在一个实施例中的示例性模具装置，其包括至少一个用来在凹坑配液过程中形成光学透镜的基座。

图3显示在一个实施例中的示例性模具装置的图，该模具装置被压印在基板上。

图4显示图3中的示例性模具装置的图，该模具装置被压印在含有光学透镜材料之基板上。

图5显示在一个实施例中的二乘二的透镜阵列的顶视图，该透镜阵列系使用具有单一的圆柱基座的模具装置所形成。

图6显示在一个实施例中的三乘三的透镜阵列的顶视图，该透镜阵列系使用具有单一的圆柱基座的模具装置所形成。

图7显示沿着图6的透镜阵列的横截面线AA和BB的两个示例性的横截面图，其包括模具装置。

图8显示在一个实施例中的二乘二的透镜阵列的顶视图，该透镜阵列系使用具有多个圆柱基座的模具装置所形成。

图9显示在一个实施例中的三乘三的透镜阵列的顶视图，该透镜阵列系使用具有多个圆柱基座的模具装置所形成。

图10显示分别沿着图9的透镜阵列的横截面线AA和BB的两个示例性的横截面图，其包括模具装置。

图11显示在一个实施例中的二乘二的透镜阵列的顶视图，该透镜阵列系使用具有多个杆形基座的模具装置所形成。

图12显示在一个实施例中的三乘三的透镜阵列的顶视图，该透镜阵列系使用具有多个杆形基座的模具装置所形成。

图13显示分别沿着图12的透镜阵列的横截面线AA和BB的两个示例性的横截面图，其包括模具装置。

图14是一个流程图，显示在一个实施例中的示例性的方法，用来制造光学透镜阵列。

具体实施方式

现在请参考图标，其中相同的零件以相同的数字表示。一般参考图示，下面的讨论系描述一种方法，其在晶圆级凹坑配液过程中，使用包括基座的光学模具，以及使用该光学模具来制造光学组件阵列。

图1显示在一个实施例中的示例性模具101，用来在凹坑配液过程中形成光学透镜，其包括流动停止控制部分。模具101包括间隔件空腔部分104(1)-104(4)，透镜空腔部分106(1)-106(3)，和流动停止控制部分102(1)-102(6)。模具101被显示为具有“封闭”端108和110。端108和110被封闭，因为在压印过程中，该模具101的底部可能会接触到基板的顶部，基板的顶部由虚线112所表示。可以理解到，模具101可以包括更多或更少的间隔件部分，透镜空腔部分，及流动停止控制部分，而不脱离本发明的范围。可以进一步理解到，各别间隔件空腔可以有不同的尺寸和形状，而不脱离本发明的范围。同样地，各别透镜空腔部分和流动停止控制部分可以有不同的尺寸和形状，而不脱离本发明的范围。然而，为了清楚起见，间隔件空腔部分、透镜空腔部分及流动停止控制部分均被显示为具有相同的大小和形状。

间隔件空腔部分104提供了空间，其中光学透镜材料可在压印过程中积累其中。若无间隔件空腔部分，气泡可以更容易地形成在透镜空腔部分106内。间隔件空腔部分104由第一顶部114和第一厚度115所界定。第一厚度115是在凹坑配液时从第一顶部114到光学透镜材料的边缘的距离。限定在凹坑配液时分配光学透镜材料。例如，第一厚度115可以是从第一顶部114到基板112之间的距离。第一厚度115也可以是从第一顶部114到基板上光学材料底层的顶部的距离。光学透镜材料可以是例如丙烯酸类或环氧类材料。

透镜空腔部分106界定一个或多个利用模具101形成的光学透镜的物理形状。透镜空腔部分106可以具有第二顶部116和第二厚度117。第二顶部116可以被模具101各别的透镜空腔部分106的边界所定义。第二厚度117可以在每一个透镜的空腔部分106内改变，以界定形成于透镜空腔部分内的透镜的形状。透镜空腔部分106可以沿着第一水平面(如由基板112的顶部或位在其上的光学透镜的材料的底层来定义)与间隔件空腔部分对齐。

流动停止控制部分102可使光学透镜材料在压印过程中，流动于间隔件空腔部分106和透镜空腔部分104之间。流动停止控制部分102界定具有高度120和宽度122的渠道，以使光学透镜材料流动于每一个透镜和间隔件空腔部分之间。流动停止控制部分102可以具有第三顶部118和第三厚度119。第三顶部118可以被模具101各别的流动停止控制部分106的边界所定义。第三厚度119可以界定高度120。流动停止控制部分102可以沿着水平面(即由基板112，或在基板112顶部上底层的顶部所定义)与一个或多个间隔件空腔部分104和透镜空腔部分106对齐。

图2显示在一个实施例中的示例性的模具装置201，其包括至少一个基座250，用来在凹坑配液过程中形成光学透镜。模具201类似于模具101，其包括至少一个间隔件空腔部分204，至少一个透镜空腔部分206，以及至少一个流动停止控制部分202。为了清楚地说明，不是所有的间隔件空腔，透镜空腔，和流动停止控制部分都被标示在图2中。模具201还包括至少一个基座250，其位于各自的间隔件空腔部分204之内。

基座250，例如，从第一顶部214跨过整个第一厚度215。第一顶部214和第一厚度215类似于第一顶部114和第一厚度115，它们分别界定间隔件空腔部分的高度204和104。因此，在一个实施例中，间隔件空腔部分204和基座250有同样的高度。在一个实施例中，例如，基座250的高度大于透镜的中心厚度；透镜中心厚度可以被界定为，第二顶部216和光学透镜材料的边缘之间的最大距离(例如，使用模具201形成的光学透镜的最大厚度)。

图2中，显示基座250和模具201有不同的说明性的填充图案(即基座250有一个从左上到右下的对角线的填充而模具201有一个从左下到右上对角线的填充)。因此，在一个实施例中，基座250和模具201由不同的材料所制成。然而，在替代实施例中，基座250和模具201由相同的材料所制成。基座250和模具201可以由从一个连续的材料，或由被耦合在一起的单独的材料所制成。

经由凹坑配液工艺之方法，使用单一光学透镜材料，基座250能使间隔件和透镜同时被复制而没有气泡被捕获在透镜或间隔件空腔部分之内，即分别在间隔件空腔部分204和透镜空腔部分206。因此，间隔件空腔部分204内形成的每一个隔离件可以作为每一个透镜空腔部分206之间的光学材料的流动信道。

图3显示在一个示例性模具装置301的图300，该模具装置被压印在基板360上。为了清楚地说明，不是所有的元素都被标示在3图中。模具装置301可以是模具装置100和/或200，并且可以包括间隔件空腔部分104，204，透镜空腔体部分106，206，流动停止控制部分102，202，及基座250。将力施加到模具装置301的顶部，模具装置301可被压印在基板360上。为了清楚地说明，光学透镜材料未包含在图3中。因此，当不存在光学透镜材料时，基座350(类似于基座250)直接接触到基板360。然而，与透镜空腔部分306(类似于透镜空腔部分106，206)相关联的模具装置301的任何部分都不与基板360相接触。

如图3所示，当模具装置301接触到基板时，基座350提供模具的支撑，使得光学透镜材料在压印过程中，可以流入整个模具装置301的透镜和间隔件空腔内。基座350可以防止基板360接触到模具装置301的边缘，特别是，在透镜空腔部分306之定位时。因此，使用模具装置301形成的透镜，其透镜的通光孔径及透镜的最大光圈的损坏风险可以被最小化。另外，如上面所讨论的，流动控制部分302可以使间隔件空腔部分与透镜空腔部内所捕获的气泡最少化。

图4显示图3中的一个实施例的示例性模具装置301的图400，该模具装置被压印在含有光学透镜材料465之基板360上。如图4所示，光学透镜材料465经由流动停止控制部分302流动于间隔件空腔部分304和透镜空腔部分306之间，使得分别在间隔件和透镜空腔部分304和306内的气泡最少化。

如图所示，当光学透镜材料465在压印过程中存在时，光学透镜材料465的薄层402被形成于基座350之下。光学透镜材料465的薄层402是形成在基板360上的底层。这显著地减少了凹坑配液过程中使用的材料，因为在凹坑配液压印过程中不需要形成特定的底层。例如，薄层402可以小于10微米。由于薄层的厚度，在光学透镜材料465固化之后，薄层402可提供更小的应力。

图5显示在一个实施例中的二乘二的透镜阵列的顶视图，该透镜阵列系使用具有单一圆柱基座的模具装置所形成。透镜阵列500包括四个被间隔件504隔开的透镜502。在间隔504内是围绕着单一圆柱基座的空腔506。

图6显示在一个实施例中的三乘三的透镜阵列的顶视图，该透镜阵列系使用具有单一圆柱基座的模具装置所形成。透镜阵列600类似于透镜阵列500，但是，其模具装置被扩展，使得有多个透镜空腔部分、间隔件空腔部分、流动停止控制部分和基座。如图6所示，有九个透镜602被形成且彼此被间隔件604隔开。空腔606被形成于任何四个透镜602之间。空腔606位于间隔件604之内，且围绕着单一的圆柱基座。

图7显示沿着图6的透镜阵列600的横截面线AA和BB的两个示例性的横截面图700和770，其包括模具装置701。

如横截面图700所示，其对应于横截面线AA，间隔件604被形成于模具装置701的间隔件空腔部分704之内。另外，透镜602被形成于透镜空腔部分706之内。如横截面图700所示，光学透镜材料712可以经由流动停止控制部分714自由地流动于间隔件空腔部分704与透镜空腔部分706之间，因而减少了间隔件604和/或透镜602内所形成的气泡。另外，光学材料710的薄底层可以形成于基板760的整个顶面的顶部。在一个实施例中，薄底层的厚度小于10微米。

如横截面图770所示，其对应于横截面线BB，每一个基座750在间隔件604内形成空腔606。在压印过程中形成的整个透镜阵列600中，间隔件604，例如，是单一的，连续部分的光学透镜材料。

图8显示在一个实施例中的二乘二的透镜阵列800的顶视图，该透镜阵列系使用具有多个圆柱基座的模具装置所形成。透镜阵列800包括四个由间隔件804隔开的透镜802。空腔806被形成于模具装置之间隔件804内的多个圆柱基座的周围。图8显示在任何四个透镜802之间具有四个空腔806，但是，可以理解到，可以有更多或更少的空腔806，而不脱离本发明的范围。

图9显示在一个实施例中的三乘三的透镜阵列900的顶视图，该透镜阵列系使用具有多个圆柱基座的模具装置所形成。透镜阵列900类似于透镜阵列800，但是，其模具装置被扩展，使得有多个透镜空腔部分、间隔件空腔部分、流动停止控制部分和基座。如图9所示，有九个透镜902被形成，且各被间隔件904隔开。空腔906被形成于任意四个透镜902之间。空腔906位于间隔件904之内且形成在多个圆柱基座的周围。

图10显示分别沿着图9的透镜阵列900的横截面线AA和BB的两个示例性的横截面图1000和1070，其包括模具装置1001。

如横截面图1000所示，间隔件904被形成于模具装置1001的间隔件空腔部分1004之内。另外，透镜902被形成于透镜空腔部分1006之内。

如横截面图1000和1070所示，光学透镜材料1012可以经由流动停止控制部分1014自由地流动于间隔件空腔部分1004和透镜空腔部分1006之间，因而减少了间隔件904和/或透镜902内所形成的气泡。光学材料的薄底层1010被形成于基板1060的整个顶表面的顶部。

如横截面图1070所示，每一个基座1050在间隔件904内形成空腔906。在压印过程形成的整个透镜阵列900中，间隔件904，例如，是单一的，连续的部分的光学透镜材料。

图11显示在一个实施例中的二乘二的透镜阵列1100的顶视图，该透镜阵列系使用具有多个杆形基座的模具装置所形成。透镜阵列1100包括四个被间隔件1104隔开的透镜1102。空腔1106被形成于模具装置之间隔件1104内多个杆形基座的周围。图11显示在任何两个透镜1102之间具有单一杆形空腔1106，但是，可以理解到，可以有更多或更少的空腔1106，而不脱离本发明的范围。

图12显示在一个实施例中的三乘三的透镜阵列1200的顶视图，该透镜阵列系使用具有多个杆形基座的模具装置所形成。透镜阵列1200类似于透镜阵列1100，但是，其模具装置被扩展，使得有多个透镜空腔部分、间隔件空腔部分、流动停止控制部分和基座。如图12所示，有九个透镜1202被形成，且各被间隔件1204隔开。空腔1206被形成于任意两个相邻的透镜1202之间。空腔1206位于间隔件1204之内，且围绕着杆形基座。图13显示分别沿着图12的透镜阵列1200的横截面线AA和BB的两个示例性的横截面图1300和1370，其包括模具装置1301。

如横截面图1300所示，间隔件1204被形成于模具装置1001的间隔空腔部分1004之内。另外，透镜1202被形成于透镜空腔部分1306之内。

如横截面图1300和1370所示，光学透镜材料1312可以经由流动停止控制部分1314而自由地流动于间隔件空腔部分1304和透镜空腔部分1306之间，从而减少在间隔件1204和/或透镜内形成的气泡1202。另外，光学材料的薄底层1310可以被形成于基板1360的整个表面的顶部。基座1350形成间隔件1204内之空腔1306。在压印过程所形成的整个透镜阵列1200中，间隔件1204，例如，是单一的，连续的部分的光学透镜材料。

如横截面图1370所示，基座1230不存在于两个对角的透镜1202之间。可以理解到，在不脱离本发明的范围之下，可以使用任何其他形式之基座的形状，尺寸或特征。

以上所述的实施例讨论圆柱及杆形基座，但是，可以理解到，替代的形状可以被使用而不脱离本发明的范围。圆柱形基座(即，相对于图8-10所述的那些基座)不提供尖锐的角，因此，减少了累积于整个光学透镜阵列靠近基座的应力。因此，可以理解到，杆形基座(即，相对于图11-13所描述的基座)可以具有圆角，从而减少光学阵列固化后的应力。

图14是一个流程图，其显示在一个实施例中的示例性的方法1400，用来制造光学透镜阵列。方法1400，例如，被执行用来将如上所述的模具装置压印在基材上。

在步骤1402中，方法1400形成光学透镜阵列的间隔件部分。例如，间隔件(例如，一个或多个间隔件504，604，804，904，1104，和/或1204)系将具有间隔件空腔部分的光学模具(如上文所述)，压印在基板上的光学透镜材料所形成。

在步骤1404中，方法1400形成光学透镜阵列的透镜部分。例如，透镜(例如，一个或多个透镜502，602，802，902，1102，和/或1202)系将具有透镜空腔部分的光学模具(如上文所述)，压印在基板上的光学透镜材料所形成。

在步骤1406中，方法1400形成光学透镜阵列的流动停止控制部分。例如，流动停止控制部分(例如，一个或多个的流动停止控制部分714，1014和/或1314)系具有间隔件空腔部分、透镜空腔部分及流动停止控制部分的光学模具在压印时，光学透镜材料流动于间隔件空腔部分与透镜空腔部分之间所形成。

在步骤1408中，方法1400形成光学透镜阵列的基座。例如，基座空腔部分(例如，一个或多个基座空腔506，606，806，906，1106，和/或1206)系将具有基座空腔部分的光学模具(如上文所述)，压印在基板上的光学透镜材料所形成。

在步骤1410中，方法1400形成光学透镜阵列的光学材料的薄底层。例如，薄底层(例如，一个或多个底层710，1010，和1310)系以光学透镜材料形成于模具装置和基板之间(例如，从基板的顶部到基座空腔751，1051，和/或1351的顶部)。因此，在一个实施例中，薄底层的厚度等于基板和基座空腔之间的光学透镜材料的量。在一个实施例中，薄底层的厚度小于10微米。

如虚线1412所示，一个或多个的步骤1402-1410在压印过程中可以同时完成。例如，一个单一的模具装置可具有一个或多个间隔件空腔部分、透镜空腔部分、流动停止控制部分和基座，如上所讨论的。单一模具装置然后可被压印在基板上，使得间隔件，透镜，流动停止控制，基座空腔，及薄底层同时被形成于基板的顶部。

在步骤1414中，方法1400切割光学透镜阵列以形成多重光学透镜。例如，一个或多个透镜阵列600，900，和/或1200分别沿着虚线608，908，和1208可被切割，以形成多重光学透镜。利用薄底层，在切割过程中，透镜阵列可以显著地不易被损坏。

在不脱离本发明的范围的情况下，可以改变上述的方法和系统。因此，应注意到，包含在上述说明或显示于图标中的内容应当被解释为说明性的而不是限制性的意义。下面的申请专利范围旨在含盖本文中所描述的所有一般和特定的特征，以及本发明的方法和系统的范围的所有陈述，因为语言的关系，它们可以说均落入其间所述的范围。

Claims (26)

1.一种光学透镜模具，其被使用于晶圆级凹坑配液的过程中，包括：

间隔件空腔部分，其具有第一顶部；

透镜空腔部分，其具有第二顶部；以及

流动停止控制部分，其具有第三顶部、界定位于该间隔件空腔部分和该透镜空腔部分之间的渠道；

其中该间隔件空腔部分、该透镜空腔部分和该流动停止控制部分沿着第一水平面对齐，使得光学透镜材料可以藉由该流动停止控制部分流动于该透镜空腔部分和该间隔件空腔部分之间。

2.如权利要求1所述的光学透镜模具，其中该间隔件空腔部分、该透镜空腔部分和该流动停止控制部分是分别包括多个间隔件空腔部分、透镜空腔部分和流动停止控制部分，其共同地形成光学模具阵列而供同时形成多重光学透镜。

3.如权利要求1所述的光学透镜模具，还包括基座，该基座位于该间隔件空腔部分内，由该间隔件空腔部分的该第一顶部跨越该间隔件空腔部分的第一厚度。

4.如权利要求3所述的光学透镜模具，其中该基座包括单圆形基座。

5.如权利要求4所述的光学透镜模具，其中该间隔件空腔部分、该透镜空腔部分、该流动停止控制部分和该单圆形基座分别包括多个间隔件空腔部分、多个透镜空腔部分，多个流动停止控制部分以及多个单圆形基座而形成光学模具阵列，供同时形成多重光学透镜；其中该多个单圆形基座中的一者位于该等透镜空腔部分中的四者之间。

6.如权利要求3所述的光学透镜模具，其中该基座包括一组多重圆形基座。

7.如权利要求6所述的光学透镜模具，其中该间隔件空腔部分、该透镜空腔部分、该流动停止控制部分和该一组的多重圆形基座分别包括多个间隔件空腔部分、多个透镜空腔部分、多个流动停止控制部分以及多个成组的多重圆形基座而形成光学模具阵列，供同时形成多重光学透镜；

其中该多个成组的多重圆形基座中的一者位于该等透镜空腔部分中的四者之间。

8.如权利要求3所述的光学透镜模具，其中该基座包括矩形的杆形基座。

9.如权利要求8所述的光学透镜模具，其中该间隔件空腔部分、该透镜空腔部分、该流动停止控制部分和该矩形的杆形基座分别包括多个间隔件空腔部分、多个透镜空腔部分、多个流动停止控制部分以及多个矩形的杆形基座而形成光学模具阵列，供同时形成多重光学透镜；

其中多个该矩形的杆形基座中的一者位于该等透镜空腔部分中的两者之间。

10.一种用来制造光学透镜阵列的方法，其包括：

将光学透镜模具压印在具有光学材料的基板上，使该光学材料分配于该光学透镜模具上，以同时形成

光学透镜阵列的间隔件部分；

光学透镜阵列的透镜部分；

光学透镜阵列的流动停止控制部分，该流动停止控制部分是界定于该透镜部分和该间隔件部分之间的空腔。

11.如权利要求10项所述的方法，其中在压印该光学透镜模具的过程中，该光学透镜材料经由该流动停止控制部分而流动于该间隔件部分和该透镜部分之间。

12.如权利要求10所述的方法，其中该压印步骤还同时形成在该间隔件部分内的基座空腔部分。

13.如权利要求12所述的方法，其中该基座空腔部分具有位于任四个相邻的透镜部分之间的单圆柱基座空腔的形状。

14.如权利要求12所述的方法，其中该基座空腔部分是位于任四个相邻的透镜部分之间的多个圆柱基座空腔部分。

15.如权利要求12所述的方法，其中该基座空腔部分是位于任两个相邻的透镜部分之间的杆形基座空腔部分。

16.如权利要求12所述的方法，还包括在该基板和该基座空腔部分的顶部之间形成该光学透镜材料的底层。

17.如权利要求16所述的方法，其中该底层的厚度小于10微米。

18.一种光学透镜阵列，该光学透镜阵列包括：

多个光学透镜部分；

间隔件部分；以及

流动停止控制部分，其位于该间隔件部分和多个该光学透镜部分之间。

19.如权利要求18所述的光学透镜阵列，其中该间隔件部分具有第一高度，该第一高度大于该多个光学透镜部分的第二高度。

20.如权利要求18所述的光学透镜阵列，其中该光学透镜阵列还包括基座空腔部分。

21.如权利要求20所述的光学透镜阵列，其中该基座空腔部分是位于该多个光学透镜部分的四个相邻的光学透镜部分之间的单圆柱基座空腔。

22.如权利要求20所述的光学透镜阵列，其中该基座空腔部分是多个位于该多个光学透镜部分的四个相邻的光学透镜部分之间的圆柱形基座空腔。

23.如权利要求20所述的光学透镜阵列，其中该基座空腔部分是位于多个光学透镜部分的两个相邻的光学透镜部分之间的杆形基座空腔。

24.如权利要求20所述的光学透镜阵列，还包括基板，该基板的上面具有为光学透镜材料的底层。

25.如权利要求24所述的光学透镜阵列，其中该底层的厚度小于10微米。

26.如权利要求24所述的光学透镜阵列，其中该底层的厚度是配置成在该基板和该基座空腔部分之间光学透镜材料的量。