TW201532775A - 以覆液噴灑製程形塑光學透鏡的裝置和方法 - Google Patents

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Abstract

光學模具包括間隔空腔部、透鏡空腔部和流動停止控制部，該光學模具使光學透鏡材料流動於間隔空腔部與透鏡空腔部之間，以形成光學透鏡陣列。光學模具更包含位於間隔空腔部內的基座，以於覆液噴灑製程中支撐模具。一種使用該光學模具的方法，該光學模具包括間隔空腔部、透鏡空腔部和流動停止控制部，及可再具有基座。

Description

以覆液噴灑製程形塑光學透鏡的裝置和方法
以覆液噴灑製程(Puddle Dispensing Process)設計晶圓級光學透鏡，係利用模具對基板上之光學透鏡材料下壓或進行壓印以在模具空腔中產生透鏡。習知技術利用覆液噴灑製程時，往往會產生無法脫離模具空腔的氣泡。這種氣泡不符生產需求，其會極度影響到透鏡設計的品質。
另外，與最大透鏡口關聯之模具邊緣，通常需要直接壓在基板上，使光學透鏡材料可以充分地分散在形塑透鏡的空腔內。然而，許多光學透鏡會在壓印過程中受損，係因該模具與基板的直接接觸。
為了解決上述問題，可使模具不直接地壓印在基板上，以使在基板和模具邊緣間形成一底層。然而，該底層通常具有不符需求的厚度。另外，為產生該底層，會需要額外和不必要的光學透鏡材料而增加製造成本。
以下說明本發明之一示例性實施例。下述說明僅提供對本發明特定方面的摘要，非限制本發明的範圍。例如，部份實施例可具有比下述說明更多或更少的元件。
第一，於此揭示者為一裝置，以於覆液噴灑製程中形成光學透鏡，該裝置包含一模具，其具有一間隔空腔部位於第一頂部，一透鏡空腔部位於第二頂部，以及一流動停止控制部位於第三頂部，其中該間隔空腔部、該透鏡空腔部及該流動停止控制部共對齊於第一水面上，以致光學透鏡材料可於該間隔空腔部及該透鏡空腔部間經該流動停止控制部流動。該裝置和(或)模具得更具有一基座位於該間隔空腔部。該基座可為一或多個圓柱基座、多圓柱集合的基座，和(或)桿形基座。
第二，於此揭示者為一製造光學透鏡陣列方法，該方法包括：形成光學透鏡陣列的間隔部，形成光學透鏡陣列的透鏡部，形成光學透鏡陣列的流動停止控制部，該流動停止控制部界定透鏡部和間隔部間的空腔，其中形成該間隔部之步驟、形成該透鏡部之步驟和形成該流動停止控制部之步驟，在一光學透鏡模具壓印於具有光學透鏡材料之一基材上時同時被完成。
第三，於此揭示者為一例示性光學透鏡陣列形成於覆液噴灑製程，該光學透鏡陣列包括：一光學透鏡部之集合；一間隔部；以及一流動停止控制部，其位於該間隔件部分與該光學透鏡部之集合間。該光學透鏡陣列得更具有一基座空腔部。
101,201,301,701,1001,1301‧‧‧模具
102(1)~(6)‧‧‧流動停止控制部
104(1)~(4)‧‧‧間隔空腔部
106(1)~(3)‧‧‧透鏡空腔部
108,110‧‧‧封閉”端
112‧‧‧基板頂部
114‧‧‧第一頂部
115‧‧‧第一厚度
116‧‧‧第二頂部
117‧‧‧第二厚度
118‧‧‧第三頂部
119‧‧‧第三厚度
120‧‧‧渠道高度
122‧‧‧渠道寬度
202,714,1014,1314‧‧‧流動停止控制部
204,704,1004,1304‧‧‧間隔空腔部
206,706,1006,1306‧‧‧透鏡空腔部
215‧‧‧第一厚度
250,350,750,1350‧‧‧基座
302‧‧‧流動控制部
306,1306‧‧‧透鏡空腔部
360,760,1060,1360‧‧‧基板
400‧‧‧圖
402‧‧‧薄層
465,712,1012,1312‧‧‧光學透鏡材料
500,600,800,900,1200,1100,1200‧‧‧透鏡陣列
502,602,802,902,1102,1202‧‧‧透鏡
504,604,804,904,1104,1204‧‧‧間隔件
506,606,806,906,1106,1206‧‧‧空腔
112,608,908,1208,1412‧‧‧虛線
710‧‧‧光學材料
751,1051,1351‧‧‧基座空腔
1010,1310‧‧‧薄底層
700,770,1000,1070,1300,1370‧‧‧橫截面圖
1400‧‧‧方法
1402,1404,1406,1408,1410,1412,1414‧‧‧步驟
圖1說明一示例性模具裝置之實施例，其包含一流動停止控制部，以於覆液噴灑製程中形塑光學透鏡。
圖2說明一示例性模具裝置之實施例，其包含至少一基座，以於覆液噴灑製程中形塑光學透鏡。
圖3說明一例示行施作過程之實施例，為一模具裝置被壓印在基板上。
圖4說明圖3中之模具裝置之例示性施作過程，該模具裝置被壓印在含有光學透鏡材料之基板上。
圖5以俯視圖說明一實施例中，以一具有單一圓柱基座之模具裝置形成一二乘二之透鏡陣列。
圖6以俯視圖說明一實施例中，以一具有單一圓柱基座之模具裝置形成一三乘三之透鏡陣列。
圖7說明沿著圖6(包含模具裝置)的透鏡陣列的橫截面線AA和BB的兩個示例性橫截面圖。
圖8以俯飾圖說明一實施例中，以一具有多圓柱集合基座之模具裝置形成一二乘二之透鏡陣列。
圖9以俯視圖說明一實施例中，以一具有多圓柱集合基座之模具裝置形成一三乘三之透鏡陣列。
圖10說明沿著圖9(包含模具裝置)的透鏡陣列的橫截面線A-A和B-B的兩個示例性橫截面圖。
圖11以俯視圖說明一實施例中，以一具有多個桿形基座之模具裝置形成一二乘二之透鏡陣列。
圖12以俯視圖說明一實施例中，以一具有多個桿形基座之模具裝置形成一三乘三之透鏡陣列。
圖13說明沿著圖12(包含模具裝置)的透鏡陣列的橫截面線AA和BB的兩個示例性橫截面圖。
圖14為一流程圖，說明一實施例中，製造一光學透鏡陣列的示例性方法。
圖示中，相類之元件將以相類之數字表示。參照本發明之圖示，以下內容說明一具有一基座之光學模具，其用於晶圓級覆液噴灑製程，以及依相同製程製造一光學陣列之方法。。
圖1說明一實施例中的示例性模具101，在覆液噴灑過程中形塑光學透鏡，其包含一流動停止控制部102。模具101包括間隔空腔部104(1)-104(4)，透鏡空腔部106(1)-106(3)，和流動停止控制部102(1)-102(6)。於圖中，模具101具有“封閉”端108和110。端108和110被封閉，因為在壓印過程中，該模具101的底部可能會接觸到基板的頂部(由虛線112所表示)。應理解的是，在不脫離本發明之範疇下，模具101可具有更多或更少的間隔部，透鏡空腔部及流動停止控制部。更須理解的是，在不脫離本發明之範疇下，，各間隔空腔可以有不同的尺寸和形狀。同樣地，在不脫離本發明之範疇下，各透鏡空腔部和流動停止控制部可有不同尺寸和形狀。然而，為說明方便，間隔空腔部、透鏡空腔部及流動停止控制部均以相同大小和形狀表示。
間隔空腔部104提供一空間，使光學透鏡材料在壓印過程中可積累於其內。若無間隔空腔部，氣泡可以更容易地形成在透鏡空腔部106內。間隔空腔部104由第一頂部114和第一厚度115所界定。第一厚度115是在覆液噴灑時從第一頂部114到光學透鏡材料邊緣的距離。例如，第一厚度115可以是從第一頂部114到基板112之間的距離。第一厚度115也可以是從第一頂部114到基板112上光學材料底層頂部的距離。光學透鏡材料為，例如丙烯酸類或環氧類材料。
透鏡空腔部分106界定一個或多個利用模具101形成的光學透鏡，其物理形狀。透鏡空腔部分106可以具有第二頂部116和第二厚度117。第二頂部116可以被在各透鏡空腔部106位置之模具101的邊緣所定義。第二厚度117 可以在各透鏡空腔部106內改變，以界定形成於該透鏡空腔部內，透鏡的形狀。透鏡空腔部106可以與間隔件空腔部沿著第一水平面(如由基板112的頂部或位在其上的光學透鏡材料底層來定義)對齊。
流動停止控制部102可使光學透鏡材料在壓印過程中，流動於間隔空腔部106和透鏡空腔部104之間。流動停止控制部102界定一渠道，其具有一高度120和一寬度122，使光學透鏡材料流動於每一個透鏡和間隔空腔部之間。流動停止控制部102可具有第三頂部118和第三厚度119。第三頂部118可以被在各流動停止控制部106位置之模具101的邊緣所定義。第三厚度119可以界定高度120。流動停止控制部102可以與一或多個間隔空腔部104和透鏡空腔部106沿著水平面(例如由基板112之頂部或在基板112頂部上的底層所定義)對齊。
圖2說明一實施例中，在覆液噴灑過程中形成光學透鏡的示例性模具裝置201，其包含至少一個基座250。模具201類似於模具101，其包含至少一間隔件空腔部204，至少一透鏡空腔部206，以及至少一流動停止控制部202。為方便說明，所有的間隔空腔，透鏡空腔，和流動停止控制部不會都被標示在圖2中。模具201還包括至少一基座250，其位於各間隔空腔部204之內。
基座250(例如)從第一頂部214以第一厚度215跨過。第一頂部214和第一厚度215類似於第一頂部114和第一厚度115，它們分別界定間隔空腔部的高度204和104。因此，在一實施例中，間隔空腔部204和基座250有相同高度。在一實施例中，基座250的高度可大於透鏡的中心厚度；透鏡中心厚度可以被界定為第二頂部216和光學透鏡材料邊緣之間的最大距離(例如，使用模具201形塑的光學透鏡最大厚度)。
圖2中，顯示基座250和模具201以有不同斜線填滿的圖案(即基座250的圖案被從左上到右下的對角線填滿，而模具201的圖案被從左下到右上對角線填滿)表示。因此，在一實施例中，基座250和模具201由不同的材料所製成。然而，在替代實施例中，基座250和模具201可由相同材料製成。基座250和模具201可由一個連續性材料或耦合在一起的分離材料所製成。
經由覆液噴灑製程之方法，在使用單一光學透鏡材料下，基座250能使間隔和透鏡同時被形塑而在透鏡或間隔空腔部內沒有氣泡存在，即分別在間隔空腔部204和透鏡空腔部206。因此，間隔空腔部204內形成的每一個間隔件可以作為每一個透鏡空腔部206間的光學材料流動通道。
圖3說明一個示例性模具裝置301被壓印在基板360上的流程圖。為了方便說明，圖3中並不標示所有元件。模具裝置301可以是模具裝置100和(或)200，並且可以包括間隔空腔部104，204，透鏡空腔部106,206，流動停止控制部102，202，及基座250。將力施加到模具裝置301的頂部時，模具裝置301可被壓印在基板360上。為了方便說明，光學透鏡材料未表示在圖3中。因此，當不存在光學透鏡材料時，基座350(類似於基座250)直接接觸到基板360。然而，與透鏡空腔部306(類似於透鏡空腔部106，206)關聯的模具裝置301，其任何部分都不與基板360相接觸。
如圖3所示，當模具裝置301接觸到基板時，基座350對模具提供支撐力，使得光學透鏡材料在壓印過程中，可以流入整個模具裝置301的透鏡和間隔空腔內。基座350可以防止基板360接觸到模具裝置301的邊緣，特別是在透鏡空腔部306之位置。因此，使用模具裝置301形成的透鏡，其透鏡通光孔徑及透鏡最大光圈的損壞風險可以被最小化。另外，如上面所討論的，流動控制部302可使間隔空腔部與透鏡空腔部內所捕獲的氣泡最少化。
圖4說明圖3中示例性模具裝置301的一實施流程圖400，該模具裝置被壓印在含有光學透鏡材料465之基板360上。如圖4所示，光學透鏡材料465經由流動停止控制部302流動於間隔空腔部304和透鏡空腔部306之間，使得分別在間隔和透鏡空腔部304和306內的氣泡最少化。
如圖所示，當光學透鏡材料465在壓印過程中存在時，光學透鏡材料465的薄層402會形成於基座350之下。光學透鏡材料465的薄層402是形成在基板360上的底層。這顯著地減少了覆液噴灑過程中使用的材料，因為在覆液噴灑壓印過程中不需要形成特定的底層。例如，薄層402可以小於10微米。由於薄層的厚度，在光學透鏡材料465固化之後，薄層402可提供更小的應力。
圖5以俯視圖說明一個實施例中二乘二的透鏡陣列，該透鏡陣列係使用具有單一圓柱基座的模具裝置所形成。透鏡陣列500包括四個被間隔504隔開的透鏡502。在間隔504內是圍繞著單一圓柱基座的空腔506。
圖6以俯視圖說明一實施例中三乘三的透鏡陣列，該透鏡陣列係使用具有單一圓柱基座的模具裝置所形成。透鏡陣列600類似於透鏡陣列500，然而其模具裝置被擴展成有多個透鏡空腔部、間隔空腔部、流動停止控制部和基座。如圖6所示，有九個透鏡602形成且彼此被間隔件604隔開。空腔606形成 於任何四個透鏡602之間。空腔606位於間隔件604之內，且圍繞著單一的圓柱基座。
圖7說明沿著圖6的透鏡陣列600的橫截面線A-A和B-B的兩個示例性的橫截面圖700和770，其包括模具裝置701。
如橫截面圖700所示，其對應於橫截面線A-A，間隔件604形成於模具裝置701的間隔空腔部704之內。另外，透鏡602形成於透鏡空腔部706之內。如橫截面圖700所示，光學透鏡材料712可以經由流動停止控制部714自由地流動於間隔空腔部704與透鏡空腔部706之間，因而減少了間隔件604和(或)透鏡602內所形成的氣泡。另外，光學材料710的薄底層可形成於基板760整個頂面的頂部。在一實施例中，薄底層的厚度小於10微米。
如橫截面圖770所示，其對應於橫截面線B-B，每一個基座750在間隔件604內形成空腔606。在壓印過程中形成的整個透鏡陣列600中，間隔件604(例如)是光學透鏡材料的單一且連續部分。
圖8以俯視圖說明一實施例中二乘二的透鏡陣列800，該透鏡陣列係使用具有多重圓柱基座的模具裝置所形成。透鏡陣列800包括由間隔件804隔開的四個透鏡802。空腔806形成於模具裝置之間隔件804內多個圓柱基座的周圍。圖8顯示在任何四個透鏡802之間具有四個空腔806，然應理解到，在不脫離本發明的範疇下，可以有更多或更少的空腔806。
圖9以俯視圖說明一實施例中三乘三的透鏡陣列900，該透鏡陣列係使用具有多重圓柱基座的模具裝置所形成。透鏡陣列900類似於透鏡陣列800，然而其模具裝置被擴展成有多個透鏡空腔部、間隔空腔部、流動停止控制部和基座。如圖9所示，有九個透鏡902形成且彼此被間隔件904隔開。空腔906形成於任意四個透鏡902之間。空腔906位於間隔件904之內且形成在多個圓柱基座的周圍。
圖10說明分別沿著圖9的透鏡陣列900的橫截面線A-A和B-B的兩個示例性橫截面圖1000和1070，其包括模具裝置1001。
如橫截面圖1000所示，間隔件904形成於模具裝置1001的間隔空腔部1004之內。另外，透鏡902形成於透鏡空腔部1006之內。
如橫截面圖1000和1070所示，光學透鏡材料1012可以經由流動停止控制部1014自由地流動於間隔空腔部1004和透鏡空腔部1006之間，因而減 少間隔件904和(或)透鏡902內形成的氣泡。光學材料的薄底層1010形成於基板1060的整個頂表面頂部。
如橫截面圖1070所示，每一個基座1050在間隔件904內形成空腔906。在壓印過程形成的整個透鏡陣列900中，間隔件904(例如)是光學透鏡材料的單一且連續的部分。
圖11以俯視圖說明一實施例中二乘二的透鏡陣列1100，該透鏡陣列係使用具有多個桿形基座的模具裝置所形成。透鏡陣列1100包括被間隔件1104隔開的四個透鏡1102。空腔1106形成於模具裝置之間隔件1104內多個桿形基座的周圍。圖11顯示在任何兩個透鏡1102之間具有單一桿形空腔1106，但應理解到，在不脫離本發明的範疇下，可以有更多或更少的空腔1106。
圖12以俯視圖說明一實施例中三乘三的透鏡陣列1200，該透鏡陣列係使用具有多個桿形基座的模具裝置所形成。透鏡陣列1200類似於透鏡陣列1100，然而其模具裝置被擴展成有多個透鏡空腔部、間隔件空腔部、流動停止控制部和基座。如圖12所示，有九個透鏡1202形成且彼此被間隔件1204隔開。空腔1206形成於任意兩個相鄰的透鏡1202之間。空腔1206位於間隔件1204之內，且圍繞著桿形基座。圖13說明分別沿著圖12的透鏡陣列1200的橫截面線A-A和B-B的兩個示例性橫截面圖1300和1370，其包括模具裝置1301。
如橫截面圖1300所示，間隔件1204形成於模具裝置1001的間隔空腔部1004之內。另外，透鏡1202形成於透鏡空腔部1306之內。
如橫截面圖1300和1370所示，光學透鏡材料1312可以經由流動停止控制部1314而自由地流動於間隔件空腔部1304和透鏡空腔部1306之間，從而減少在間隔件1204和(或)透鏡內形成的氣泡1202。另外，光學材料的薄底層1310可以形成於基板1360整個表面的頂部。基座1350形成間隔件1204內之空腔1306。在壓印過程所形成的整個透鏡陣列1200中，間隔件1204是光學透鏡材料的單一且連續的部分(例)。
如橫截面圖1370所示，基座1230不存在於兩個對角的透鏡1202之間。應理解到，在不脫離本發明的範圍之下，可以使用任何具有其他形式、尺寸或特徵之基座。
上述的實施例討論圓柱及桿形基座，然而應理解到，在不脫離本發明的範疇下，可使用其他形狀。圓柱形基座(即，相對於圖8-10所述之基座) 不具銳角，因此減少靠近基座之整個光學陣列所累積的應力。因此可以理解到，桿形基座(即，相對於圖11-13所描述的基座)可以具有圓角，從而減少光學陣列固化後的應力。
圖14是一個流程圖說明一實施例中的示例性方法1400，其用於製造光學透鏡陣列。方法1400可(例如)藉由將上述模具裝置壓印至基材上而實施。
在步驟1402中，方法1400形成光學透鏡陣列的一間隔部分。例如，間隔件(例如，一個或多個間隔件504，604，804，904，1104，和/或1204)可藉由將具有間隔空腔部的光學模具(如上文所述)壓印在基板上的光學透鏡材料所形成。
在步驟1404中，方法1400形成光學透鏡陣列的一透鏡部分。例如，透鏡(例如，一個或多個透鏡502，602，802，902，1102，和/或1202)可藉由將具有透鏡空腔部的光學模具(如上文所述)壓印在基板上的光學透鏡材料所形成。
在步驟1406中，方法1400形成光學透鏡陣列的一流動停止控制部。例如，流動停止控制部(例如，一個或多個的流動停止控制部分714，1014和/或1314)可藉由具有間隔空腔部、透鏡空腔部及流動停止控制部的光學模具在壓印時，光學透鏡材料流動於間隔空腔部與透鏡空腔部間所形成。
在步驟1408中，方法1400形成光學透鏡陣列的基座。例如，基座空腔部(例如，一個或多個基座空腔506，606，806，906，1106，和/或1206)可藉由將具有基座空腔部的光學模具(如上文所述)壓印在基板上的光學透鏡材料所形成。
在步驟1410中，方法1400形成光學透鏡陣列的光學材料的薄底層。例如，薄底層(例如，一個或多個底層710，1010，和1310)可以光學透鏡材料形成於模具裝置和基板之間(例如，從基板頂部到基座空腔751，1051，和(或)1351的頂部)。在一實施例中，薄底層的厚度取決於基板和基座空腔之間光學透鏡材料的量。在一實施例中，薄底層的厚度小於10微米。
如虛線1412所示，一或多個的步驟1402-1410在壓印過程中可以同時完成。例如，一個單一模具裝置可具有一或多個間隔空腔部、透鏡空腔部、流動停止控制部和基座，如上述討論。接著，該單一模具裝置可被壓印在基板 上，使得間隔件，透鏡，流動停止控制，基座空腔，及薄底層同時被形成於基板的頂部。
在步驟1414中，方法1400切割光學透鏡陣列以形成多重光學透鏡。例如一或多個透鏡陣列600，900，和(或)1200分別沿著虛線608，908，和1208被切割成多個光學透鏡。可利用薄底層，使透鏡陣列在切割過程中明顯地不易被損壞。
在不脫離本發明的範圍的情況下，可以改變上述的方法和系統。因此應注意到，包含在上述說明或顯示於圖示中的內容應當被解釋為說明性的而不是限制性的意義。以下申請專利範圍旨在含蓋本文中所描述的所有一般和特定的特徵，以及本發明方法和系統包含範圍的所有陳述。由於語言的關係，它們可以說均落入其間所述的範圍內。
101‧‧‧模具
102(1)-102(6)‧‧‧流動停止控制部
104(1)-104(4)‧‧‧間隔空腔部
106(1)-106(3)‧‧‧透鏡空腔部
108 110‧‧‧“封閉”端
112‧‧‧基板頂部
114‧‧‧第一頂部
115‧‧‧第一厚度
116‧‧‧第二頂部
117‧‧‧第二厚度
118‧‧‧第三頂部
119‧‧‧第三厚度
120‧‧‧渠道高度
122‧‧‧渠道寬度

Claims (26)

  1. 一種光學透鏡模具用於晶圓級覆液噴灑製程中，其包括：一間隔空腔部，其具有一第一頂部；一透鏡空腔部，其具有一第二頂部的；以及一流動停止控制部具有一第三頂部，界定一位於該間隔空腔部和該透鏡空腔部間的渠道；其中該間隔空腔部、該透鏡空腔部和該流動停止控制部沿一第一水平面對齊，使光學透鏡材料可經由該流動停止控制部流動於該透鏡空腔部和該間隔空腔部之間。
  2. 如申請專利範圍第1項所述的光學透鏡模具，其中該間隔空腔部、該透鏡空腔部和該流動停止控制部係分別包括數個間隔空腔部、透鏡空腔部和流動停止控制部，其共同地形成一光學模具陣列以同時形塑多個光學透鏡。
  3. 如申請專利範圍第1項所述的光學透鏡模具，更包含一基座，其位於該間隔空腔部內，跨越該間隔空腔部的該第一頂部及該間隔空腔部的第一厚度。
  4. 如申請專利範圍第3項所述的光學透鏡模具，其中該基座包括一單一圓形基座。
  5. 如申請專利範圍第4項所述的光學透鏡模具，其中該間隔空腔部、該透鏡空腔部、該流動停止控制部和該單一圓形基座分別包含數個間隔空腔部、數個透鏡空腔部，數個流動停止控制部以及數個單一圓形基座而形成一光學模具陣列以同時形塑多個光學透鏡；其中該數個單一圓形基座之其中一者位於該透鏡空腔部中之四者之間。
  6. 如申請專利範圍第3項所述的光學透鏡模具，其中該基座包括一多重圓形基座。
  7. 如申請專利範圍第6項所述的光學透鏡模具，其中該間隔空腔部、該透鏡空腔部、該流動停止控制部和該多重圓形基座分別包括數個間隔空腔部、數個透鏡空腔部、數個流動停止控制部以及數個多重圓形基座而形成一光學模具陣列以同時形塑多個光學透鏡；其中該數個多重圓形基座之其中一者位於該透鏡空腔部中之四者之間。
  8. 如申請專利範圍第3項所述的光學透鏡模具，其中該基座包含一矩形的桿形基座。
  9. 如申請專利範圍第8項所述的光學透鏡模具，其中該間隔空腔部、該透鏡空腔部、該流動停止控制部和該矩形的桿形基座分別包括數個間隔件空腔部、數個透鏡空腔部、數個流動停止控制部以及數個矩形的桿形基座而形成一光學模具陣列以同時形塑多個光學透鏡；其中數個該矩形的桿形基座之其中一者位於該等透鏡空腔部中之兩者之間。
  10. 一種製造光學透鏡陣列的方法，其包含：將一光學透鏡模具壓印在具有一光學材料的一基板上，使該光學材料分配於該光學透鏡模具上，以同時形成一該光學透鏡陣列的間隔件部分；一該光學透鏡陣列的透鏡部分；一該光學透鏡陣列的流動停止控制部，該流動停止控制部係界定於該透鏡和該間隔件之間的一空腔。
  11. 如申請專利範圍第10項所述的方法，其中在壓印該光學透鏡模具的過程中，該光學透鏡材料經由該流動停止控制部而流動於該間隔件和該透鏡之間。
  12. 如申請專利範圍第10項所述的方法，其中該壓印更同時形成在該間隔件內的一基座空腔。
  13. 如申請專利範圍第12項所述的方法，其中該基座空腔具有位於任四個相鄰透 鏡間單圓柱基座空腔的形狀。
  14. 如申請專利範圍第12項所述的方法，其中該基座空腔為位於任四個相鄰透鏡間的數個圓柱基座空腔。
  15. 如申請專利範圍第12項所述的方法，其中該基座空腔為位於任兩個相鄰透鏡間的桿形基座空腔部分。
  16. 如申請專利範圍第12項所述的方法，更包含在該基板和該基座空腔的頂部間形成一具有該光學透鏡材料的底層。
  17. 如申請專利範圍第16項所述的方法，其中該底層的厚度小於10微米。
  18. 一種光學透鏡陣列，該光學透鏡陣列包含：數個光學透鏡；一間隔件；以及一流動停止控制部，其位於該間隔件和數個該光學透鏡之間。
  19. 如申請專利範圍第18項所述的光學透鏡陣列，其中該間隔件具有一第一高度，該第一高度大於該數個光學透鏡的第二高度。
  20. 如申請專利範圍第18項所述的光學透鏡陣列，其中該光學透鏡陣列更包含一基座空腔。
  21. 如申請專利範圍第20項所述的光學透鏡陣列，其中該基座空腔為位於該數個光學透鏡部分的任四個相鄰光學透鏡間的單一圓柱基座空腔。
  22. 如申請專利範圍第20項所述的光學透鏡陣列，其中該基座空腔為位於該數個光學透鏡部分的任四個相鄰光學透鏡間的多重圓柱形基座空腔。
  23. 如申請專利範圍第20項所述的光學透鏡陣列，其中該基座空腔為位於該數個光學透鏡部分的任兩個相鄰光學透鏡間的桿形基座空腔。
  24. 如申請專利範圍第20項所述的光學透鏡陣列，更包括一基板，該基板頂部為一具光學透鏡材料的底層。
  25. 如申請專利範圍第24項所述的光學透鏡陣列，其中該底層的厚度小於10微米。
  26. 如申請專利範圍第24項所述的光學透鏡陣列，其中該底層的厚度取決於在該基板和該基座空腔間，該光學透鏡材料的量。
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