CN109564335B - 层叠透镜结构、相机模块和层叠透镜结构的制造方法 - Google Patents

层叠透镜结构、相机模块和层叠透镜结构的制造方法 Download PDF

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Abstract

为了抑制树脂在透镜成型期间由于毛细管现象而渗出。根据本发明的层叠透镜结构设置有多个透镜结构，各所述透镜结构包括：基板，所述基板设置有开口部；透镜，所述透镜插入到所述开口部中并固定到所述基板；以及凹部，所述凹部设置在所述开口部的侧面和所述基板的表面相交的位置，并且所述凹部比所述基板的所述表面凹陷更多，其中接合基板，使得所述透镜沿光轴方向排列。这种构造使得可以抑制树脂在透镜成型期间由于毛细管现象而渗出。

Description

层叠透镜结构、相机模块和层叠透镜结构的制造方法
技术领域
本发明涉及层叠透镜结构、相机模块和层叠透镜结构的制造方法。
背景技术
在过去，例如，下面的专利文献1公开了一种在如下假设下的技术：诸如透镜阵列等的成形被摄体被成形为使得当光固化树脂和其中形成有转印几何形状部分的转印体相互接触时，光固化树脂根据转印体的转印几何形状而变形。
引用列表
专利文献
专利文献1：JP 2009-18578A
发明内容
技术问题
然而，在通过上述专利文献1中描述的方法模制透镜阵列等的情况下，存在的问题在于，当转印体与光固化树脂接触时，光固化树脂将会由于毛细管现象而浸出。
因此，需要防止树脂在透镜成型期间由于毛细管现象而渗出。
解决问题的技术方案
根据本发明，提供了一种层叠透镜结构，其包括多个透镜结构，所述透镜结构包括：基板，所述基板设置有开口部；透镜，所述透镜插入到所述开口部中，以固定到所述基板，以及凹部，所述凹部设置在所述开口部的侧面和所述基板的表面相交的区域，并且所述凹部比所述基板的所述表面凹陷更多。所述透镜通过接合各个所述基板而沿光轴方向排列。
此外，根据本发明，提供了一种相机模块，其包括层叠透镜结构和摄像元件，所述层叠透镜结构包括多个透镜结构，所述透镜结构包括：基板，所述基板设置有开口部；透镜，所述透镜插入到所述开口部中，以固定到所述基板；以及凹部，所述凹部设置在所述开口部的侧面和所述基板的表面相交的区域，并且所述凹部比所述基板的所述表面凹陷更多，其中，所述透镜通过接合各个所述基板而沿光轴方向排列，所述摄像元件具有成像表面，在所述成像表面上，通过所述层叠透镜结构的所述透镜形成被摄体图像。
此外，根据本发明，提供了一种层叠透镜结构的制造方法，所述制造方法包括：通过从没有设置凹部的一侧将第一模具插入到具有开口部的基板的所述开口部中来密封所述开口部的步骤，其中，所述基板设置有所述凹部，所述凹部在所述开口部的侧面和所述基板的表面相交的区域处比所述基板的所述表面凹陷更多；在所述开口部中填充树脂的步骤；通过从设置有所述凹部的一侧将第二模具插入到所述开口部中而将所述第二模具压向所述树脂的步骤；以及使所述树脂硬化的步骤。
本发明的有益效果
如上所述，根据本发明，可以防止树脂在透镜成型期间由于毛细管现象而渗出。
需要注意，上述效果不一定是限制性的。利用或代替上述效果，可以实现本说明书中描述的任何一种效果或可以从本说明书中理解的其他效果。
附图说明
图1是示出了通过半导体工艺制造的透镜模块的制造过程的一部分的示意图。
图2是示出了根据本发明的实施例的下复制基板、基板和上复制基板的构造的示意图。
图3是示出了在树脂R硬化后除去下复制基板和上复制基板的状态的示意性断面图。
图4是示出了在树脂R硬化后除去下复制基板和上复制基板的状态的示意性断面图。
图5是示出了根据本实施例的层叠透镜结构以及包括该层叠透镜结构的相机模块的示意图。
图6A是示出了凹部的形状变化的示意图。
图6B是示出了凹部的形状变化的示意图。
图6C是示出了凹部的形状变化的示意图。
图6D是示出了凹部的形状变化的示意图。
图6E是示出了凹部的形状变化的示意图。
图6F是示出了凹部的形状变化的示意图。
图6G是示出了凹部的形状变化的示意图。
图6H是示出了凹部的形状变化的示意图。
图7A是示出了在凹部附近设置对准标记的示例的示意性断面图。
图7B是示出了在凹部附近设置对准标记的示例的示意性断面图。
图7C是示出了在凹部附近设置对准标记的示例的示意性断面图。
图7D是示出了在凹部附近设置对准标记的示例的示意性断面图。
图7E是示出了在如图7F所示的构造中没有设置对准标记的示例的示意性断面图。
图7F是示出了设置有穿透基板的对准标记的示例的示意性断面图。
图8是示出了在通过层叠两个基板而形成的单个基板中的开口部内模制透镜的外观的示意性断面图。
图9A是示出了层叠三个基板的状态的示意性断面图。
图9B是示出了层叠三个基板的状态的示意性断面图。
图9C是示出了层叠三个基板的状态的示意性断面图。
图10是示出了由于热膨胀系数的差异而在基板中产生翘曲的方面的示意性断面图。
图11是示出了包括两对具有如图9C所示的构造的透镜的复眼的构造的示意性断面图。
图12是按照步骤顺序示出了基板200的制造方法的示意性断面图。
图13是按照步骤顺序示出了基板200的制造方法的示意性断面图。
图14是按照步骤顺序示出了基板200的制造方法的示意性断面图。
具体实施方式
在下文中，将参照附图详细描述本发明的优选实施例。需要注意，在本说明书和附图中，具有基本相同的功能和结构的结构元件用相同的附图标记表示，并且省略对这些结构元件的重复说明。
需要注意，将按以下顺序进行描述。
1.作为前提的技术
2.与本发明有关的透镜结构的构造示例
3.凹部形状的变化
4.基板的层叠
5.具有凹部的基板的制造方法
1.作为前提的技术
首先，将描述以本发明的实施例为前提的技术。图1是示出了通过半导体工艺制造的透镜模块的制造过程的一部分的示意图。在图1中，用于构成透镜模块的基板2000由例如硅(Si)等的材料制成，并且通过半导体工艺在基板2000中形成开口部2100。开口部2100的侧面根据晶体取向以约55度的角度形成为锥面。在开口部2100的侧面上形成用于抑制反射的防反射膜。
图1示出了以下过程：在设置有下模具1100的下复制基板1000从下侧粘附到形成有开口部2100的基板2000上，并且在开口部2100内填充树脂R之后，设置有上模具3100的上复制基板3000从上侧粘附到基板2000上。开口部2100内的树脂R由用作压印模具的上复制基板3000 和下复制基板1000模制而成。树脂R例如是光(诸如紫外线等)固化树脂，并且当向处于填充在下模具1100与上模具3100之间的状态下的树脂R照射紫外线时，在开口部2100内模制根据下模具1100和上模具3100 的几何形状的透镜。在模制透镜之后，从基板2000上去除下模具1100 和上模具3100。
然而，因为当通过图1所示的方法形成透镜时上复制基板3000的下表面3010更靠近基板2000的上表面2010，所以下表面3010与上表面 2010之间的间隔变窄，使得树脂R将由于毛细管现象而突出到基板2000 的上表面2010。因此，当紫外线照射到树脂上时，突出到基板2000的上表面2010的树脂将硬化，使得在上表面2010上产生不均匀性。当层叠多个基板2000以构成透镜阵列时，该上表面2010是抵接相邻基板2000 上的表面。因此，当层叠形成透镜的基板2000各者以形成透镜阵列时，如果由于突出的树脂R而在上表面2010上形成不均匀性，则会产生接合缺陷，并且将出现在层叠透镜的间隔之间发生误差的问题。
2.与本发明有关的透镜结构的构造示例
图2是示出了根据本发明的实施例的下复制基板100、基板200和上复制基板300的构造的示意图。与图1类似，在基板200中形成开口部 210，并且开口部210的侧面212形成为向上扩大的锥面。在基板200的上表面202与侧面212相交的位置处，设置有比上表面202凹陷更多的凹部220。
如图2所示，在设置有下模具110的下复制基板100从下侧粘附到形成有开口部210的基板200上，并且树脂R填充在开口部210内之后，设置有上模具310的上复制基板300从上侧粘附到基板200上。此时，当上复制基板300的下表面302越来越靠近基板200的上表面202时，下表面302与上表面202之间的间隔变窄；然而，因为凹部220设置在开口部210的边缘处，所以凹部220用作空气缓冲层，以便可以减少由于毛细管现象而导致的树脂R向上表面202的渗出。以这种方式，可以抑制树脂R向上表面202上的突出。
图3和图4分别是示出了在树脂R硬化之后去除下复制基板100和上复制基板300的状态的示意性断面图。以使树脂R硬化的方式模制透镜400。透镜400的侧面402通过模制而接合(固定)到开口部210的侧面212。透镜400具有分别根据下模具110和上模具310的几何形状的透镜表面404、406。图3示出了凹部220的上表面222位于比透镜表面406 的最上部分低的位置处的情况。图4还示出了凹部220的上表面222位于比透镜表面406的最上部分高的位置处的情况。如图3所示，在透镜 400位于开口部210内的相对较高位置的情况下，当上复制基板300从上侧粘附到基板200上时，树脂R容易流出到上表面222；然而，通过设置凹部220，可以可靠地抑制树脂R向上表面222的流出。
图5是示出了根据本实施例的层叠透镜结构800和包括层叠透镜结构800的相机模块900的示意图。层叠透镜结构800通过层叠如图3和图4所示的具有透镜400的基板200而构成。在图5中，上基板200接合到下基板200。此外，相机模块900包括层叠透镜结构800和摄像元件 700。层叠透镜结构800在摄像元件700的成像表面上形成被摄体图像，并且摄像元件700输出通过光电转换获得的与被摄体图像的光量对应的图像信号。
3.凹部的形状变化
图6A至图6H分别是示出了凹部220的形状变化的示意图。凹部220 的形状不受特别限制，只要凹部220用作用于抑制树脂R渗出到上表面 202的空气缓冲层即可。图6A示出了凹部220包括平坦上表面222和锥形侧面224的示例。侧面224的角度可以设定为与开口部210的侧面相同的约55度。图6B示出了凹部220包括平坦上表面222和垂直侧面226 的示例。可以以在制造过程中特别采用干法蚀刻的方式形成垂直侧面226。图6C示出了凹部220仅包括锥面228的示例。图6D的右侧示出了凹部220包括凹槽230的示例，而图6D的左侧的凹部220类似于图 6B的凹部。
图6E示出了凹部220包括不平坦的弯曲表面232的示例。图6F示出了凹部220包括锐角形切口234的示例。图6G和图6H分别示出了凹部220包括多个锐角形切口236的示例。
图7A至图7D分别是示出了与凹部220相邻地设置对准标记250的示例的示意性断面图。图7A示出了与如图6B所示的凹部220相邻地设置对准标记250的示例。此外，图7B示出了与如图6A所示的凹部220 相邻地设置对准标记250的示例。图7C示出了与如图6B所示的凹部220 相邻地设置对准标记250的示例和垂直形成开口部210的侧面212的示例。此外，图7D示出了与如图6A所示的凹部220相邻地设置对准标记 250的示例和垂直形成开口部210的侧面212的示例。
图7F是示出了设置有穿透基板200的对准标记250的示例的示意性断面图。图7E是示出在如图7F所示的构造中没有设置对准标记250的示例的示意性断面图。对准标记250可以随着形成凹部220或者形成开口部210而形成。
4.基板的层叠
在将硅基板用于基板200的情况下，举例来说，基板200采用的一个硅晶片的厚度是由标准定义的725μm或775μm。在透镜400的厚度大而使基板200的厚度不足的情况下，将多个基板200层叠在一起以形成单个透镜400。
图8是示出了在通过层叠两个基板200a、200b形成的单个基板200 的开口部210内模制透镜的过程的示意性断面图。首先，在步骤S20中，将基板200安装在下复制基板100上，并将下模具110插入到开口部210 中。在下一步骤S22中，将树脂R填充在开口部210内。在下一步骤S24 中，将上复制基板300从上方安装在基板200上，并将上模具310压在树脂R上。然后，通过紫外线照射使树脂R硬化，以模制透镜400。在模制之后，从基板200上去除上复制基板300和下复制基板100。凹部 220设置在与上复制基板300接触的基板200a中。以这种方式，在将多个基板200层叠在一起以便形成单个透镜400的情况下，也可以通过设置凹部220而抑制树脂R的渗出。
此外，如图8所示，上侧的基板200的开口部210形成为大于下侧的基板200的开口部210。以这种方式，在从上方照射紫外线的情况下，不会阻挡紫外线，因此可以确保树脂R硬化。
图9A至图9C分别是示出了三个基板200层叠的状态的示意性断面图。图9A示出了所有基板200的开口部210的锥面(侧面212)沿相同方向取向并且锥面朝下的示例。图9B示出了开口部210的锥面朝上以使最上面的基板200相对于图9A倒转的示例。图9C示出了开口部210的锥面朝上以使自上方起的第一和第二基板200相对于图9A倒转的示例。
基板200和树脂R具有不同的热膨胀系数；当树脂R的量更大时，由于两者之间的热膨胀系数的差异，易于在基板200中产生翘曲。图10 是示出了由于热膨胀系数的差异而在基板200中产生翘曲的方面的示意性断面图。在如图10所示的示例中，透镜400的直径朝向基板200的上方增加，使得树脂R的量增加。为此，取决于基板200与树脂R之间的热膨胀系数的差异，树脂R拉动基板200的力F会随着树脂沿着基板200 的向上方向而变大，由此会在基板200中产生翘曲，从而使基板200的上表面成为凹面。
在图9A中，基板200的开口部210的所有锥面朝下；透镜400的体积朝向各个基板200的下方变大，使得翘曲在箭头所示的方向上变大。特别地，最下面的基板200比其他基板200厚，并且透镜400的体积也更大，因此翘曲也变大。
另一方面，如图9B所示，在开口部210的锥面朝上以使最上面的基板200倒转的情况下，透镜400的体积朝着在最上面的基板200的上方而增加，因此在最上面的基板200中，在与第二和第三基板200的方向相反的方向上产生翘曲。为此，因为最上面的基板200倒转，并且开口部210的锥面朝上，所以可以减小层叠基板200的整体翘曲。在图9C中，因为开口部210的锥面朝上以使自上方起的第一和第二基板200相对于图9A 倒转，所以可以进一步减小层叠基板200的整体翘曲。
图11是示出了包括两对具有如图9C所示的构造的透镜400的复眼的构造的示意性断面图。同样在如图11所示的构造中，因为开口部210 的锥面朝上以使自上方起的第一和第二基板200倒转，所以可以减小层叠基板200的整体翘曲。
5.具有凹部的基板的制造方法
接下来，将描述制造在开口部210的边缘处设置有凹部220的基板 200的方法。这里，将描述如图12至图14所示的三种制造方法中的每一种方法。图12至图14分别是按照步骤顺序示出了基板200的制造方法的示意性断面图。
如图12所示的方法是在形成凹部220的同时穿透开口部210的方法。首先，在步骤S30中，在处理之前在基板200的表面上形成抗蚀剂500，并且执行光刻和后续蚀刻等，由此使抗蚀剂500图案化。然后，在步骤 S32中，将抗蚀剂500用作掩模，并且通过湿法蚀刻或干法蚀刻来蚀刻未被抗蚀剂500覆盖的基板200的区域。以这种方式，凹部600和对准标记250形成在基板200的表面上。
在下一步骤S34中，去除抗蚀剂500，并且在要被图案化的基板200 的表面上形成新的抗蚀剂510。此时，抗蚀剂510被图案化，使得比凹部 600宽的区域被开口。
在下一步骤S36中，通过湿法蚀刻或干法蚀刻，借助抗蚀剂510的掩模蚀刻基板200。以这种方式，进一步蚀刻凹部600的底部，形成穿透基板200的开口610，并且完成开口部210。此外，凹部220形成为使得凹部600在水平方向上扩大。在下一步骤S38中，去除抗蚀剂510。由此，可以制造在开口部210的边缘处设置有凹部220的基板200。
如图13所示的方法是如下的方法：形成与凹部220对应的凹部620，其后，通过穿透凹部620而形成开口部210。首先，在步骤S40中，在处理之前在基板200的表面上形成抗蚀剂530，并且执行光刻和后续蚀刻等，由此使抗蚀剂530图案化。然后，在步骤S42中，通过湿法蚀刻或干法蚀刻来蚀刻未被抗蚀剂530覆盖的基板200的区域。以这种方式，凹部620和对准标记250形成在基板200的表面上。
在下一步骤S44中，去除抗蚀剂530，并且在要被图案化的基板200 的表面上形成新的抗蚀剂540。此时，抗蚀剂540被图案化，使得比凹部 620的底部窄的区域被开口。
在下一步骤S46中，通过湿法蚀刻或干法蚀刻，利用抗蚀剂540的掩模蚀刻基板200。以这种方式，进一步蚀刻比凹部620的底部窄的区域，并且形成穿透基板200的开口部210。通过进一步蚀刻比凹部620的底部窄的区域而形成凹部220。在下一步骤S48中，去除抗蚀剂540。由此，可以制造在开口部210的边缘处设置有凹部220的基板200。
如图14所示的方法是如下的方法：首先形成开口部210，其后，在开口部210的边缘处形成凹部。首先，在步骤S50中，在处理之前在基板200的表面上形成抗蚀剂550，并且执行光刻和后续蚀刻等，由此使抗蚀剂550图案化。然后，在步骤S52中，将抗蚀剂550用作掩模，并且通过湿法蚀刻或干法蚀刻来进行蚀刻，使得穿透未被抗蚀剂550覆盖的基板200的区域。以这种方式，开口部210和对准标记250形成在基板 200的表面上。
在下一步骤S54中，去除抗蚀剂550。在下一步骤S56中，在开口部210的边缘处形成凹部220。此外，凹部220的形成方法可以是利用蚀刻的方法，或者是利用机械加工等的方法。
此外，尽管在本实施例中凹部220设置在基板200中，但是通过在上复制基板300中设置具有类似功能的凹部，也可以抑制由于毛细管现象引起的树脂R的渗出。
如上所述，根据本实施例，在基板200的开口部210中设置有透镜400的构造中，凹部220形成在开口部210的边缘处。因此，当用于模制的模具压靠填充在开口部210中的树脂R时，可以可靠地抑制树脂R突出到开口部210的外部。
以上已经参照附图描述了本发明的优选实施例，然而本发明不限于上述示例。本领域技术人员可以在所附权利要求的范围内找到各种改变和变型，并且应当理解，它们将自然地落入本发明的技术范围内。
另外，本说明书中描述的效果仅仅是说明性的或示例性的效果，并不是限制性的。即，利用或代替上述效果，基于本说明书的描述，根据本发明的技术可以实现对本领域技术人员显而易见的其他效果。
此外，本技术还可以如下地配置。
(1)层叠透镜结构，其包括多个透镜结构，所述透镜结构包括：
基板，所述基板设置有开口部，
透镜，所述透镜插入到所述开口部中，以固定到所述基板，以及
凹部，所述凹部设置在所述开口部的侧面和所述基板的表面相交的区域，并且所述凹部比所述基板的所述表面凹陷更多，
其中，所述透镜通过接合各个所述基板而沿光轴方向排列。
(2)根据(1)所述的层叠透镜结构，其中，所述凹部设置在所述开口部的边缘处。
(3)根据(1)或(2)所述的层叠透镜结构，其中，所述凹部包括第一表面和第二表面，所述第一表面平行于所述基板的所述表面并且低于所述基板的所述表面，所述第二表面将所述基板的所述表面连接到所述第一表面。
(4)根据(3)所述的层叠透镜结构，其中，所述第二表面是与所述基板的所述表面呈预定角度的斜面。
(5)根据(3)所述的层叠透镜结构，其中，所述第二表面是与所述基板的所述表面垂直的表面。
(6)根据(1)或(2)所述的层叠透镜结构，其中，所述凹部包括与所述基板的所述表面呈预定角度的斜面。
(7)根据(1)或(2)所述的层叠透镜结构，其中，所述凹部在所述基板的所述表面上形成为凹槽形状。
(8)根据(1)或(2)所述的层叠透镜结构，其中，所述凹部包括相对于所述基板的所述表面凹陷的弯曲表面。
(9)根据(1)或(2)所述的层叠透镜结构，其中，所述凹部包括形成在所述基板的所述表面上的锐角切口。
(10)根据(1)所述的层叠透镜结构，其中，在所述基板的所述表面上形成有在层叠所述基板时用于定位的对准标记。
(11)根据(1)至(9)中任一项所述的层叠透镜结构，
其中，对应于一个透镜的所述基板通过层叠多个单元基板而构成，并且
形成在位于所述基板的一个表面侧上的所述单元基板中的所述开口部大于位于所述基板的另一个表面侧上的所述单元基板的所述开口部。
(12)根据(1)至(10)中任一项所述的层叠透镜结构，
其中，所述基板的所述开口部的所述侧面形成为锥面，
多个所述基板中的一部分基板被布置成使得所述锥面面向所述基板的一侧，并且
多个所述基板中的其余基板被布置成使得所述锥面面向所述基板的另一侧。
(13)相机模块，其包括：
层叠透镜结构，所述层叠透镜结构包括多个透镜结构，所述透镜结构包括：
基板，所述基板设置有开口部，
透镜，所述透镜插入到所述开口部中，以固定到所述基板，以及
凹部，所述凹部设置在所述开口部的侧面和所述基板的表面相交的区域，并且所述凹部比所述基板的所述表面凹陷更多，
其中，所述透镜通过接合各个所述基板而沿光轴方向排列；和
摄像元件，所述摄像元件具有成像表面，在所述成像表面上，通过所述层叠透镜结构的所述透镜形成被摄体图像。
(14)层叠透镜结构的制造方法，所述制造方法包括：
通过从没有设置凹部的一侧将第一模具插入到具有开口部的基板的所述开口部中来密封所述开口部的步骤，其中，所述基板设置有所述凹部，所述凹部在所述开口部的侧面和所述基板的表面相交的区域处比所述基板的所述表面凹陷更多；
在所述开口部中填充树脂的步骤；
通过从设置有所述凹部的一侧将第二模具插入到所述开口部中而将所述第二模具压向所述树脂的步骤；以及
使所述树脂硬化的步骤。
附图标记列表
100 下复制基板
110 下模具
200 基板
210 开口部
212 侧面
220 凹部
222 上表面
224、226 侧面
228 锥面
230 凹槽
232 弯曲表面
234、236 切口
250 对准标记
300 上复制基板
310 上模具
400 透镜
700 摄像元件
800 层叠透镜结构
900 相机模块

Claims (12)

1.层叠透镜结构，其包括
多个透镜结构，所述透镜结构包括：
基板，所述基板设置有开口部，
透镜，所述透镜插入到所述开口部中，以固定到所述基板，以及
凹部，所述凹部设置在所述开口部的侧面和所述基板的表面相交的区域，并且所述凹部比所述基板的所述表面凹陷更多，
其中，多个所述透镜通过接合各个所述基板而沿光轴方向排列，其中，对应于一个透镜的所述基板通过层叠多个单元基板而构成，并且
形成在位于所述基板的一个表面侧上的所述单元基板中的所述开口部大于位于所述基板的另一个表面侧上的所述单元基板的所述开口部，其中，所述基板的所述开口部的所述侧面形成为锥面，
多个所述基板中的一部分基板被布置成使得所述锥面面向所述基板的一侧，并且
多个所述基板中的其余基板被布置成使得所述锥面面向所述基板的另一侧。
2.根据权利要求1所述的层叠透镜结构，其中，所述凹部设置在所述开口部的边缘处。
3.根据权利要求1所述的层叠透镜结构，其中，所述凹部包括第一表面和第二表面，所述第一表面平行于所述基板的所述表面并且低于所述基板的所述表面，所述第二表面将所述基板的所述表面连接到所述第一表面。
4.根据权利要求3所述的层叠透镜结构，其中，所述第二表面是与所述基板的所述表面呈预定角度的斜面。
5.根据权利要求3所述的层叠透镜结构，其中，所述第二表面是与所述基板的所述表面垂直的表面。
6.根据权利要求1所述的层叠透镜结构，其中，所述凹部包括与所述基板的所述表面呈预定角度的斜面。
7.根据权利要求1所述的层叠透镜结构，其中，所述凹部在所述基板的所述表面上形成为凹槽形状。
8.根据权利要求1所述的层叠透镜结构，其中，所述凹部包括相对于所述基板的所述表面凹陷的弯曲表面。
9.根据权利要求1所述的层叠透镜结构，其中，所述凹部包括形成在所述基板的所述表面上的锐角切口。
10.根据权利要求1所述的层叠透镜结构，其中，在所述基板的所述表面上形成有在层叠所述基板时用于定位的对准标记。
11.相机模块，其包括：
如权利要求1-10中任一项所述的层叠透镜结构；和
摄像元件，所述摄像元件具有成像表面，在所述成像表面上，通过所述层叠透镜结构的所述透镜形成被摄体图像。
12.层叠透镜结构的制造方法，所述制造方法包括：
通过从没有设置凹部的一侧将第一模具插入到具有开口部的基板的所述开口部中来密封所述开口部的步骤，其中，所述基板设置有所述凹部，所述凹部在所述开口部的侧面和所述基板的表面相交的区域处比所述基板的所述表面凹陷更多；
在所述开口部中填充树脂的步骤；
通过从设置有所述凹部的一侧将第二模具插入到所述开口部中而将所述第二模具压向所述树脂的步骤；以及
使所述树脂硬化的步骤，
其中，对应于一个透镜的所述基板通过层叠多个单元基板而构成，并且
形成在位于所述基板的一个表面侧上的所述单元基板中的所述开口部大于位于所述基板的另一个表面侧上的所述单元基板的所述开口部，
其中，所述基板的所述开口部的所述侧面形成为锥面，
多个所述基板中的一部分基板被布置成使得所述锥面面向所述基板的一侧，并且
多个所述基板中的其余基板被布置成使得所述锥面面向所述基板的另一侧。
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