TWI599237B - 超音波轉換器元件晶片及探針及電子機器及超音波診斷裝置 - Google Patents

超音波轉換器元件晶片及探針及電子機器及超音波診斷裝置 Download PDF

Info

Publication number
TWI599237B
TWI599237B TW102105767A TW102105767A TWI599237B TW I599237 B TWI599237 B TW I599237B TW 102105767 A TW102105767 A TW 102105767A TW 102105767 A TW102105767 A TW 102105767A TW I599237 B TWI599237 B TW I599237B
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
ultrasonic transducer
transducer element
partition wall
substrate
element wafer
Prior art date
Application number
TW102105767A
Other languages
English (en)
Chinese (zh)
Other versions
TW201336325A (zh
Inventor
中村友亮
鶴野次郎
清瀨攝內
Original Assignee
精工愛普生股份有限公司
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 精工愛普生股份有限公司 filed Critical 精工愛普生股份有限公司
Publication of TW201336325A publication Critical patent/TW201336325A/zh
Application granted granted Critical
Publication of TWI599237B publication Critical patent/TWI599237B/zh

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B06—GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
    • B06B—METHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
    • B06B1/00—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
    • B06B1/02—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy
    • B06B1/06—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction
    • B06B1/0607—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using multiple elements
    • B06B1/0622—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using multiple elements on one surface
    • H—ELECTRICITY
    • H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; ELECTRIC HEARING AIDS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
    • H04R17/00—Piezoelectric transducers; Electrostrictive transducers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B06—GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
    • B06B—METHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
    • B06B1/00—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
    • B06B1/02—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy
    • B06B1/06—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction
    • B06B1/0607—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using multiple elements
    • B06B1/0622—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using multiple elements on one surface
    • B06B1/0629—Square array
    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61B—DIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
    • A61B8/00—Diagnosis using ultrasonic, sonic or infrasonic waves
    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61B—DIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
    • A61B8/00—Diagnosis using ultrasonic, sonic or infrasonic waves
    • A61B8/44—Constructional features of the ultrasonic, sonic or infrasonic diagnostic device
    • A61B8/4427—Device being portable or laptop-like
    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61B—DIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
    • A61B8/00—Diagnosis using ultrasonic, sonic or infrasonic waves
    • A61B8/44—Constructional features of the ultrasonic, sonic or infrasonic diagnostic device
    • A61B8/4444—Constructional features of the ultrasonic, sonic or infrasonic diagnostic device related to the probe
    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61B—DIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
    • A61B8/00—Diagnosis using ultrasonic, sonic or infrasonic waves
    • A61B8/44—Constructional features of the ultrasonic, sonic or infrasonic diagnostic device
    • A61B8/4483—Constructional features of the ultrasonic, sonic or infrasonic diagnostic device characterised by features of the ultrasound transducer
    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61B—DIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
    • A61B8/00—Diagnosis using ultrasonic, sonic or infrasonic waves
    • A61B8/44—Constructional features of the ultrasonic, sonic or infrasonic diagnostic device
    • A61B8/4483—Constructional features of the ultrasonic, sonic or infrasonic diagnostic device characterised by features of the ultrasound transducer
    • A61B8/4488—Constructional features of the ultrasonic, sonic or infrasonic diagnostic device characterised by features of the ultrasound transducer the transducer being a phased array
    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61B—DIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
    • A61B8/00—Diagnosis using ultrasonic, sonic or infrasonic waves
    • A61B8/44—Constructional features of the ultrasonic, sonic or infrasonic diagnostic device
    • A61B8/4483—Constructional features of the ultrasonic, sonic or infrasonic diagnostic device characterised by features of the ultrasound transducer
    • A61B8/4494—Constructional features of the ultrasonic, sonic or infrasonic diagnostic device characterised by features of the ultrasound transducer characterised by the arrangement of the transducer elements
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
    • G01N29/22—Details, e.g. general constructional or apparatus details
    • G01N29/24—Probes
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/80—Constructional details
    • H10N30/88—Mounts; Supports; Enclosures; Casings

Landscapes

  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Surgery (AREA)
  • Public Health (AREA)
  • Biophysics (AREA)
  • Radiology & Medical Imaging (AREA)
  • Biomedical Technology (AREA)
  • Heart & Thoracic Surgery (AREA)
  • Medical Informatics (AREA)
  • Molecular Biology (AREA)
  • Veterinary Medicine (AREA)
  • Animal Behavior & Ethology (AREA)
  • Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
  • Gynecology & Obstetrics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • Ultra Sonic Daignosis Equipment (AREA)
  • Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
TW102105767A 2012-02-24 2013-02-19 超音波轉換器元件晶片及探針及電子機器及超音波診斷裝置 TWI599237B (zh)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012038402A JP5990930B2 (ja) 2012-02-24 2012-02-24 超音波トランスデューサー素子チップおよびプローブ並びに電子機器および超音波診断装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TW201336325A TW201336325A (zh) 2013-09-01
TWI599237B true TWI599237B (zh) 2017-09-11

Family

ID=49002733

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW102105767A TWI599237B (zh) 2012-02-24 2013-02-19 超音波轉換器元件晶片及探針及電子機器及超音波診斷裝置

Country Status (5)

Country Link
US (3) US9099635B2 (https=)
JP (1) JP5990930B2 (https=)
KR (1) KR20130097655A (https=)
CN (2) CN103286056B (https=)
TW (1) TWI599237B (https=)

Families Citing this family (28)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5990930B2 (ja) * 2012-02-24 2016-09-14 セイコーエプソン株式会社 超音波トランスデューサー素子チップおよびプローブ並びに電子機器および超音波診断装置
JP5900107B2 (ja) * 2012-03-30 2016-04-06 セイコーエプソン株式会社 超音波トランスデューサー素子チップおよびプローブ並びに電子機器および超音波診断装置
JP6102075B2 (ja) * 2012-03-30 2017-03-29 セイコーエプソン株式会社 超音波トランスデューサー素子チップおよびプローブ並びに電子機器および超音波診断装置
JP6175780B2 (ja) 2013-01-28 2017-08-09 セイコーエプソン株式会社 超音波デバイス、超音波プローブ、電子機器および超音波画像装置
JP6206033B2 (ja) * 2013-09-24 2017-10-04 セイコーエプソン株式会社 超音波トランスデューサーデバイス及び超音波測定装置
JP6442821B2 (ja) * 2013-09-30 2018-12-26 セイコーエプソン株式会社 超音波デバイス及び電子機器
JP6229431B2 (ja) * 2013-10-28 2017-11-15 セイコーエプソン株式会社 超音波デバイス、超音波プローブヘッド、超音波プローブ、電子機器および超音波画像装置
JP2015097733A (ja) * 2013-11-20 2015-05-28 セイコーエプソン株式会社 超音波デバイスおよびその製造方法並びに電子機器および超音波画像装置
JP6281262B2 (ja) * 2013-11-29 2018-02-21 セイコーエプソン株式会社 超音波デバイスおよびプローブ並びに電子機器および超音波画像装置
JP6326833B2 (ja) * 2014-01-31 2018-05-23 セイコーエプソン株式会社 超音波デバイス、超音波デバイスの製造方法、プローブ、電子機器、超音波画像装置
CN106664494A (zh) * 2014-07-04 2017-05-10 精工爱普生株式会社 超声波传感器
JP2016033970A (ja) * 2014-07-31 2016-03-10 セイコーエプソン株式会社 超音波デバイスおよびその製造方法並びにプローブおよび電子機器
JP6299511B2 (ja) * 2014-07-31 2018-03-28 セイコーエプソン株式会社 超音波デバイス並びにプローブおよび電子機器
JP6402983B2 (ja) * 2014-08-29 2018-10-10 セイコーエプソン株式会社 超音波デバイス、超音波デバイスの製造方法、超音波プローブ、超音波測定装置、電子機器
JP6314777B2 (ja) * 2014-09-30 2018-04-25 セイコーエプソン株式会社 超音波センサー並びにプローブおよび電子機器
JP6536792B2 (ja) * 2015-03-25 2019-07-03 セイコーエプソン株式会社 超音波センサー及びその製造方法
JP6610058B2 (ja) * 2015-07-29 2019-11-27 セイコーエプソン株式会社 超音波デバイス、及び電子機器
JP2017046811A (ja) * 2015-08-31 2017-03-09 セイコーエプソン株式会社 超音波デバイス、超音波モジュール、及び超音波測定機
JP6610883B2 (ja) 2015-12-17 2019-11-27 セイコーエプソン株式会社 超音波センサー用の圧電デバイス
JP6693154B2 (ja) * 2016-02-04 2020-05-13 セイコーエプソン株式会社 超音波トランスデューサー、超音波プローブ、超音波装置、超音波トランスデューサーの製造方法、及び振動装置
US11039814B2 (en) * 2016-12-04 2021-06-22 Exo Imaging, Inc. Imaging devices having piezoelectric transducers
JP2018129402A (ja) 2017-02-08 2018-08-16 セイコーエプソン株式会社 圧電素子及びその製造方法
CN109087999A (zh) * 2018-08-22 2018-12-25 京东方科技集团股份有限公司 柔性基底及其制备方法、柔性有机发光二极管显示基板
CN113366526B (zh) * 2019-03-18 2024-01-30 株式会社村田制作所 压电器件
JP1650087S (https=) * 2019-05-23 2020-01-20
USD941168S1 (en) * 2019-10-22 2022-01-18 Kabushiki Kaisha Toshiba Vibration sensor
EP4424430A3 (en) * 2020-01-30 2024-11-13 Suncall Corporation Ultrasonic transducer and method for manufacturing the same
JP7645086B2 (ja) * 2021-01-29 2025-03-13 株式会社ディスコ 剥離装置

Family Cites Families (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2794720B2 (ja) * 1988-08-23 1998-09-10 松下電器産業株式会社 複合圧電振動子
JP2000233158A (ja) * 1999-02-12 2000-08-29 Omron Corp 噴霧装置
TW449486B (en) * 2000-07-24 2001-08-11 Ind Tech Res Inst Composite ultrasonic therapeutic energy converter and method for making the same
JP4228827B2 (ja) * 2003-07-31 2009-02-25 パナソニック電工株式会社 圧電型超音波センサ及びその共振周波数調節方法
CN1863485B (zh) * 2003-10-02 2010-09-08 株式会社日立医药 超声波探头、超声波成像设备以及超声波成像方法
JP4575108B2 (ja) * 2004-10-15 2010-11-04 株式会社東芝 超音波プローブ
US7449821B2 (en) * 2005-03-02 2008-11-11 Research Triangle Institute Piezoelectric micromachined ultrasonic transducer with air-backed cavities
EP1880677A4 (en) * 2005-05-09 2015-06-24 Hitachi Medical Corp ULTRASONOGRAPH
CN101237947B (zh) * 2005-08-05 2013-03-27 皇家飞利浦电子股份有限公司 弯曲的二维阵列换能器
CN102974524B (zh) * 2007-11-06 2016-06-22 艾奎昂系统有限责任公司 用声能处理物体的装置和方法
WO2010044312A1 (ja) * 2008-10-17 2010-04-22 コニカミノルタエムジー株式会社 アレイ型超音波振動子
FR2940579B1 (fr) * 2008-12-23 2012-09-28 Ixsea Transducteur d'ondes acoustiques et antenne sonar de directivite amelioree.
JP5434109B2 (ja) 2009-02-06 2014-03-05 セイコーエプソン株式会社 超音波センサーユニット
JP5310119B2 (ja) 2009-03-06 2013-10-09 セイコーエプソン株式会社 超音波センサーユニット
JP2010233609A (ja) * 2009-03-30 2010-10-21 Fujifilm Corp 超音波診断装置及び接触状態判断方法
KR101068918B1 (ko) * 2009-06-23 2011-09-30 삼성메디슨 주식회사 초음파 진단기의 트랜스듀서 및 그 트랜스듀서의 제조 방법
JP4947115B2 (ja) 2009-09-30 2012-06-06 株式会社村田製作所 超音波トランスデューサ
JP2011082624A (ja) 2009-10-02 2011-04-21 Asahi Kasei Electronics Co Ltd 近接超音波センサ
JP5671876B2 (ja) 2009-11-16 2015-02-18 セイコーエプソン株式会社 超音波トランスデューサー、超音波センサー、超音波トランスデューサーの製造方法、および超音波センサーの製造方法
WO2011094393A1 (en) * 2010-01-29 2011-08-04 Research Triangle Institute Methods for forming piezoelectric ultrasonic transducers, and associated apparatuses
JP2011250119A (ja) * 2010-05-26 2011-12-08 Toshiba Corp 超音波プローブ
CN202037116U (zh) * 2011-05-05 2011-11-16 重庆市伟岸测器制造股份有限公司 超声换能器
JP5990930B2 (ja) * 2012-02-24 2016-09-14 セイコーエプソン株式会社 超音波トランスデューサー素子チップおよびプローブ並びに電子機器および超音波診断装置
JP6102075B2 (ja) * 2012-03-30 2017-03-29 セイコーエプソン株式会社 超音波トランスデューサー素子チップおよびプローブ並びに電子機器および超音波診断装置
JP5900107B2 (ja) * 2012-03-30 2016-04-06 セイコーエプソン株式会社 超音波トランスデューサー素子チップおよびプローブ並びに電子機器および超音波診断装置

Also Published As

Publication number Publication date
CN103286056A (zh) 2013-09-11
US20150298172A1 (en) 2015-10-22
CN103286056B (zh) 2017-03-01
US9099635B2 (en) 2015-08-04
US9592534B2 (en) 2017-03-14
US20130223191A1 (en) 2013-08-29
CN106964531B (zh) 2019-07-09
JP2013175879A (ja) 2013-09-05
CN106964531A (zh) 2017-07-21
US20170136497A1 (en) 2017-05-18
TW201336325A (zh) 2013-09-01
JP5990930B2 (ja) 2016-09-14
KR20130097655A (ko) 2013-09-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI599237B (zh) 超音波轉換器元件晶片及探針及電子機器及超音波診斷裝置
CN104203109B (zh) 超声波换能器元件芯片、探测器、电子设备和超声波诊断装置
CN103491489B (zh) 超声波换能器元件单元、探测器、探头及电子/诊断设备
CN103654848B (zh) 超声波换能器装置、探测器、电子设备及超声波诊断装置
CN103284755B (zh) 超声波换能器装置、探测器、电子设备及超声波诊断装置
CN104205876B (zh) 超声波换能器元件芯片、探测器、电子设备和超声波诊断装置
JP6136464B2 (ja) 超音波トランスデューサー装置およびプローブ並びに電子機器および超音波画像装置
JP6252279B2 (ja) 超音波トランスデューサー装置およびプローブ並びに電子機器および超音波画像装置
JP2015070473A (ja) 超音波デバイスおよびプローブ並びに電子機器および超音波画像装置
CN104771190A (zh) 超声波装置、超声波换能器装置及超声波图像装置
JP6311815B2 (ja) 超音波トランスデューサー素子チップおよびプローブ並びに電子機器および超音波診断装置
JP6365726B2 (ja) 超音波トランスデューサー装置及び電子機器
JP2017000792A (ja) 超音波トランスデューサー素子チップおよびプローブ並びに電子機器および超音波診断装置