TWI596015B - 液體射出裝置，製造液體射出裝置的方法及印表機 - Google Patents

液體射出裝置，製造液體射出裝置的方法及印表機 Download PDF

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Description

液體射出裝置，製造液體射出裝置的方法及印表機
本發明係有關於一種液體射出裝置、一種製造液體射出裝置方法、及一種印表機。
液體射出裝置(液體射出頭)被建構來改變在一充滿液體的區域(壓力室)內的液體壓力，用以從一排放埠射出液體。一種隨需求而射出液滴(drop-on-demand)的液體射出裝置被廣為散佈。此外，對於施加壓力至液體的系統被廣義地分為兩種系統。這兩種系統中的一種是其內的壓力室的容量可藉由施加一驅動訊號至一壓電元件將該壓電元件移位藉以施加壓力至液體來予以改變的系統。這兩種系統中的另一種系統是其內的一電阻被施加至該電阻的驅動訊號產生熱，用以在該壓力室內生成一氣泡，藉以對液體施加壓力。
使用壓電元件的液體射出裝置可藉由機械性地處理一大塊的壓電材料而被相對容易地製造。此外，使 用壓電元件的液體射出裝置在對於液體種類的限制較少這方面、及在包含各種材料的液體可被射出這方面亦具有優點。由此觀之，在最近幾年，將使用壓電元件的液體射出裝置運用在工業用途上(譬如，彩色濾光片或配線的形成上)的嘗試已有增加。
此外，一種包含藉由將一隔板(其由在剪力模式中的壓電材料形成)移位來改變壓力室(液體通道)的容量以射出液體的技術可精確地控制該壓力室的容量改變，並因而吸引極大的注意(參見PTL1)。
此外，在最近幾年，對於射出微型液滴存在著需求。例如，要求微微升(picoliter)等級的液體射出。此外，甚至要求次微微升或更小等級的液體射出。
[專利文獻]
PTL1：日本審查專利公開案第H06-6375號。
PTL2：日本專利公開案第2003-165220號。
PTL3：日本專利公開案第2007-38654號。
然而，穩定地射出微型液滴並不容易。
本發明的目的是要提供一種能夠穩定地射出微型液滴的液體射出裝置。
依據本發明的一個實施例，一種液體射出裝 置包含：一基底，其包括：一第一壓電件；及一第二壓電件，其被固定至該第一壓電件且被偏極化於一和該第一壓電件的偏極方向相反的方向上；一壓力室，其被形成至該基底上且被至少兩個由該第一壓電件及該第二壓電件所形成的隔板及被一安裝在該至少兩個隔板的端面上的板子隔開；及一電極，其形成在該至少兩個隔板的兩側面上，其中：該壓力室在正面側是窄的，一被建構來射出液體的排放埠被形成在該正面側上；該至少兩個隔板的一面向該壓力室的面包括：一只由該第一壓電件形成的第一隔板部分；及一由該第一壓電件及該第二壓電件形成的第二隔板部分；該壓力室在該正面側係被該第一隔板部分隔開；該壓力室在一背面側係被該第二隔板部分隔開，一被建構來將該液體供應至該壓力室的液體室係被形成在該背面側上；該第一隔板部分的該端面被一第一黏劑層固定至該板子；該第二隔板部分的該端面被一第二黏劑層固定至該板子；該第一黏劑層的彈性係數小於該第二黏劑層的彈性係數。
依據本發明的另一實施例，一種液體射出裝置包含：一基底，其包括：一第一壓電件；及一第二壓電件，其被固定至該第一壓電件且被偏極化於一和該第一壓電件的偏極方向相反的方向上；一壓力室，其被形成至該基底上且被至少兩個由該第一壓電件及該第二壓電件所形成的隔板及被一安裝在該至少兩個隔板的端面上的板子隔開；及一電極，其形成在該至少兩個隔板的兩側面上，其 中：該壓力室在正面側是窄的，一被建構來射出液體的排放埠被形成在該正面側上；該至少兩個隔板的一面向該壓力室的面包括：一只由該第一壓電件形成的第一隔板部分；及一由該第一壓電件及該第二壓電件形成的第二隔板部分；該壓力室在該正面側係被該第一隔板部分隔開；該壓力室在一背面側係被該第二隔板部分隔開，一被建構來將該液體供應至該壓力室的液體室係被形成在該背面側上；該第一隔板部分的該端面被一第一黏劑層固定至該板子；該第二隔板部分的該端面被一第二黏劑層固定至該板子；該第一黏劑層的厚度大於該第二黏劑層的厚度。
依據本發明的另一態樣，一種製造液體射出裝置的方法，其包含：形成一溝槽於一第一壓電件及一第二壓電件內藉以形成一被一隔板隔開的壓力室，該第二壓電件被固定至該第一壓電件且被偏極化於一和該第一壓電件的偏極方向相反的方向上，該隔板包括一第一隔板部分及一第二隔板部分，該第一隔板部分係藉由切割至該第一壓電件來獲得，及該第二隔板部分係藉由切割至該第二壓電件來獲得；形成一電極於該隔板上；及將一板子黏合至該隔板，其中該板子的黏合包括：用一第一黏劑層將該板子黏合至該第一隔板部分；及用一第二黏劑層將該板子黏合至該第二隔板部分。
依據本發明的又另一態樣，一種印表機包括上面提到的液體射出裝置。
本發明的其它特徵從下面參考附圖的示範性 實施例的描述中將變得明顯。
1‧‧‧溝槽(壓力室)
1a‧‧‧部分壓力室
1b‧‧‧部分壓力室
2‧‧‧溝槽(啞室)
3‧‧‧隔板
4‧‧‧提取電極
4a1‧‧‧提取電極
4a2‧‧‧提取電極
4a3‧‧‧提取電極
7‧‧‧溝槽
10‧‧‧壓電換能器
11‧‧‧蓋板
12‧‧‧壓電板
12a‧‧‧壓電件
12b‧‧‧壓電件
14‧‧‧底面
15‧‧‧以環氧樹脂為主的黏劑層
16‧‧‧黏劑層
18‧‧‧區域
19‧‧‧區域
20‧‧‧隔離溝槽
21a‧‧‧電極
21b‧‧‧電極
23a‧‧‧提取電極
24b‧‧‧提取圖案(提取電極)
25‧‧‧側壁
26‧‧‧側壁
28‧‧‧隔離溝槽
40‧‧‧歧管
41‧‧‧供墨埠
42‧‧‧排墨埠
43‧‧‧共用的液體室
50‧‧‧撓性基板
51‧‧‧訊號線
56‧‧‧主表面
60‧‧‧孔口板(噴嘴板)
60a‧‧‧噴嘴
61‧‧‧平的部分
62‧‧‧部分斜的部分
63‧‧‧部分斜的部分
64‧‧‧平的部分
65‧‧‧斜的部分
67‧‧‧邊界
100‧‧‧液體射出裝置(噴墨頭)
A‧‧‧縱長方向
A1‧‧‧射出方向
A2‧‧‧和射出方向相反的方向
H1‧‧‧高度
H5‧‧‧高度
I‧‧‧液體(墨水)
L‧‧‧壓力室1的長度
L1‧‧‧平的部分61的長度
L2‧‧‧部分斜的部分62的長度
L3‧‧‧部分斜的部分63的長度
L4‧‧‧平的部分64的長度
圖1是一分解立體圖，用來示意地例示依據本發明的一實施例的液體射出裝置。
圖2是一剖面圖，用來例示依據本發明的該實施例的液體射出裝置的壓電換能器的一部分。
圖3是一立體圖，用來例示依據本發明的該實施例的液體射出裝置的壓電換能器的一部分。
圖4是一立體圖，用來例示依據本發明的該實施例的液體射出裝置的壓電換能器的一部分。
圖5A是一剖面圖，用來例示依據本發明的該實施例的液體射出裝置的壓電換能器的一部分。
圖5B是一剖面圖，用來例示依據本發明的該實施例的液體射出裝置的壓電換能器的一部分。
圖6A是一立體圖，用來例示依據本發明的該實施例的液體射出裝置的壓電換能器的一部分。
圖6B是一立體圖，用來例示依據本發明的該實施例的液體射出裝置的壓電換能器的一部分。
圖7A是一剖面圖，用來例示依據本發明的該實施例的液體射出裝置的壓電換能器的一隔板的位移。
圖7B是一剖面圖，用來例示依據本發明的該實施例的液體射出裝置的壓電換能器的一隔板的位移。
圖8A是一剖面圖，用來例示依據本發明的該實施例的液體射出裝置的壓電換能器的一隔板的位移。
圖8B是一剖面圖，用來例示依據本發明的該實施例的液體射出裝置的壓電換能器的一隔板的位移。
圖9A是一剖面圖，用來例示依據本發明的該實施例的液體射出裝置的壓電換能器的一隔板的位移。
圖9B是一剖面圖，用來例示依據本發明的該實施例的液體射出裝置的壓電換能器的一隔板的位移。
圖10A是一剖面圖，用來例示依據本發明的該實施例的液體射出裝置的壓電換能器的操作。
圖10B是一剖面圖，用來例示依據本發明的該實施例的液體射出裝置的壓電換能器的操作。
圖10C是一剖面圖，用來例示依據本發明的該實施例的液體射出裝置的壓電換能器的操作。
圖10D是一剖面圖，用來例示依據本發明的該實施例的液體射出裝置的壓電換能器的操作。
圖10E是一剖面圖，用來例示依據本發明的該實施例的液體射出裝置的壓電換能器的操作。
圖11是一處理圖，用來例示一種製造依據本發明的該實施例的液體射出裝置的方法。
圖12是一處理圖，用來例示一種製造依據本發明的該實施例的液體射出裝置的方法。
圖13是一處理圖，用來例示一種製造依據本發明的該實施例的液體射出裝置的方法。
圖14是一處理圖，用來例示一種製造依據本發明的該實施例的液體射出裝置的方法。
圖15是一處理圖，用來例示一種製造依據本發明的該實施例的液體射出裝置的方法。
圖16是一處理圖，用來例示一種製造依據本發明的該實施例的液體射出裝置的方法。
圖17A是一剖面圖，用來例示依據本發明的該實施例的修改例的液體射出裝置的壓電換能器的一部分。
圖17B是一剖面圖，用來例示依據本發明的該實施例的修改例的液體射出裝置的壓電換能器的一部分。
圖18是一處理圖，用來例示依據本發明的實施例的修改例的液體射出裝置的製造方法。
圖19是一立體圖，用來例示一種依據本發明的範例1的液體射出裝置的壓電換能器的一部分。
圖20A是一剖面圖，用來例示一種依據本發明的範例1的液體射出裝置的壓電換能器的一部分。
圖20B是一剖面圖，用來例示一種依據本發明的範例2及3的液體射出裝置的壓電換能器的一部分。
當一將被射出的液滴的速度變成等於或高於一給定的速度時，從一主液滴(主要液滴)撒出來的一微型液滴(minute liquid droplet)在該主液滴之前被非有意地產生。從該主液滴被分離地產生的此一微型液滴被稱為“衛 星液滴(satellite droplet)”。
大致上，在液體射出時，該液體係在一液體射出裝置相對於一其上將落下該液滴的目標物運動時被射出的。因此，在一衛星液滴被產生之後，該衛星液滴係落在一和該主要液滴降落位置不一樣的位置。該衛星液滴的產生會造成圖案缺陷及類此者。
本發明的較佳實施例現將依據附圖詳細地加以描述。
[實施例]
一種依據本發明的一實施例的液體射出裝置係參考圖示來描述。圖1是一分解立體圖，用來示意地例示依據本發明的此實施例的液體射出裝置。圖2是一剖面圖，用來例示依據本發明的此實施例的液體射出裝置的壓電換能器的一部分。圖3是一立體圖，用來例示依據本發明的此實施例的液體射出裝置的壓電換能器的一部分。圖4是一立體圖，用來例示依據本發明的此實施例的液體射出裝置的壓電換能器的一部分。圖5A及圖5B是剖面圖，用來例示依據本發明的該實施例的液體射出裝置的壓電換能器的一些部分。圖5A對應於圖3的X-X’剖面。圖5B對應於圖3的Y-Y’剖面。
應指出的是，一壓電板12被設置在上側及一蓋板11被設置在下側的例子被例示在圖1、圖3、及圖5A及圖5B中，但該壓電板12和該蓋板11之間的垂直關 係並不侷限於此。該壓電板12可被設置在下側且該蓋板11可被設置在上側。在此說明書中，係以位在圖1、圖3、圖5A及圖5B的圖紙上側的該壓電板12的表面是該壓電板12的下表面，及位在圖1、圖3、圖5A及圖5B的圖紙下側的是該壓電板12的上表面的假設前提下來進行描述的。圖1、圖3、圖5A及圖5B的箭頭C的方向和該壓電板12的從該下表面側朝向該上表面側的方向一致。圖4和此說明書中的垂直關係的描述一致。
如圖1所示，一依據本發明的此實施例的液體射出裝置(噴墨頭)100包括一壓電換能器(射出單元或致動器)10。該壓電換能器10包括該壓電板(基底或基板主體)12及該蓋板(頂部)11，其被安裝至該壓電板12的一主表面(在圖1的下側的表面)側上。此外，依據此實施例的該液體射出裝置100包括一孔口板(噴嘴板)60，其被安裝在該壓電換能器10的正面側上、及一歧管40，其被配置在該壓電換能器10的背側上。此外，依據此實施例的該液體射出裝置100包括一用來提供電力的撓性基板50，其被安裝至該壓電換能器10的一主表面(在圖1的圖紙的上側的表面)。
該壓電板12具有一實質扁平的板子的形狀。該壓電板12包括一壓電件12a及一固定在該壓電件12a上的壓電件12b。更具體地，如圖3所示，該壓電板12係藉由使用一黏劑層16將兩個具有相反的偏極方向的壓電體(壓電板或壓電材料)12a及12b彼此黏合在一起來形 成。在和圖3的箭頭C所示的方向相反的方向上的偏極處理被實施在該壓電件(基底端側(base-end-side)壓電材料)12a上。圖3的箭頭C所示的方向上的偏極處理被實施在該壓電件(遠端側(distal-end-side)壓電材料)12b上。該壓電板12具有一例如約1mm的厚度。
例如，壓電陶瓷被用作為該壓電體12a及12b的材料。例如，以鋯酸鈦酸鉛(PZT：PbZrxTi1-xO3)為主的陶瓷材料(其為一鐵電陶瓷材料)被用作為該壓電陶瓷。應指出的是，例如，鈦酸鋇(BaTiO3)或鑭取代式鋯酸鈦酸鉛(PLZT：(Pb,La)(Zr,Ti)O3)可被用作為形成壓電體12a及12b的壓電陶瓷。
多個溝槽(開口)1及2被形成在該壓電板12上用以彼此平行。溝槽1及2的縱長方向和圖1中的箭頭A所示的方向一致。溝槽1及溝槽2沿著圖1的箭頭B的方向被交替地配置。應指出的是，圖1的箭頭A和圖1的箭頭B所示的方向正交。溝槽1係用來形成一壓力室(液體通道)。溝槽2則是用來形成一啞壓力室，即一啞室(dummy chamber)。溝槽1及2從該壓電換能器10的正面側(即，安裝了該孔口板60的那一側)延伸至該壓電換能器10的背面側(即，安裝了歧管40的那一側)。
該壓電板12包括被界定在溝槽1及溝槽2之間的隔板(壓電隔板)3。隔板3的每一者將形成為溝槽形狀的壓力室1及2彼此隔開。隔板3的縱長方向和圖1的箭頭A一致。多個隔板3沿著圖1的箭頭B所示的方向 以彼此相隔一間距的方式被配置。隔板3從該壓電換能器10的正面側延伸至該壓電換能器10的背面側。
一用來形成提取圖案(extracting pattern)23a(參見圖6A)(其由形成在溝槽2中的電極21a被提取)的溝槽7被形成在該壓電板12的正面側的一端面上，亦即，在該壓電板12的安裝了該孔口板60的那一側的一端面上。該溝槽7的縱長方向是該壓電板12的主平面(principal surface)的法線方向。溝槽7被連接至形成該啞室2的溝槽2。在該壓電板12的正面側上的隔板3的一端面相對於該溝槽7的一底面14突伸出(參見圖3)。
該蓋板(有時被簡單地稱為“板子”)11沿著一和該隔板3的正面側上的端面相交的方向被安裝至該壓電板12的一端面(在此被稱為“主表面”(在圖1的圖紙的下側的表面))。詳言之，蓋板11被安裝至該基底上。例如，一熱膨脹係數等於該壓電板12的熱膨脹係數的材料被用作為該蓋板11的材料是較佳的。在此處，該蓋板11的材料係使用和該壓電板12相同的材料。該壓電板12的一個主平面(一沿著和該隔板3的正面側上的端面相交的方向的端面)(在圖1的圖紙的下側的表面)和該蓋板11的一主平面(在圖1的圖紙的上側的表面)被稍後描述的黏劑層57及58黏合在一起。溝槽1及2被蓋板11覆蓋，因此，壓力室被界定為形成有溝槽1及2的部件。應指出的是，壓力室1被界定為形成有溝槽1的部件，因此，溝槽1和壓力室1在此說明書中共用元件編號“1”。此 外，壓力室(啞室)2被界定為形成有該溝槽2的部件，因此在此說明書中溝槽2和壓力室(啞室)2共用元件編號“2”。
壓力室1及和該壓力室1相鄰的壓力室2彼此被隔板3隔開。因此，要獨立地控制壓力室1的容量以及和壓力室1相鄰的壓力室2的容量並不一定容易。因此，壓力室1被用作為液體通道，和壓力室1相鄰的壓力室2則被用作為啞室。
壓力室1及2各自的容量可被控制，使得壓力室2亦可被用作為液體通道。例如，在該壓力室1的一側上被形成至該隔板3的一電極21b(參見圖5A及圖5B)及在該壓力室1的另一側上被形成至該隔板3的一電極21b可彼此被隔開，且不同的訊號電壓可被提供至這兩個電極21b。因此，不只可以使用壓力室1還可以使用壓力室2來作為液體通道。
在此處，壓力室2沒有被用作為液體通道的情形將被當作例子來描述。
如圖4所示，在該壓電換能器10的正面側上的一個區域18內，該壓力室1的深度被設定為相對較小(壓力室1被設定為容量較小)。詳言之，在位於壓力室1在一縱長方向A上的一側上的區域18內，該壓力室1的底部被設置在一個比該壓電件12a及壓電件12b之間的邊界還淺的位置。因此，在該壓電換能器10的正面側上的該區域18內，只由作為一第一壓電件的該壓電件12b形 成該隔板3。在此實施例中，一只由作為一第一壓電件的該壓電件12b形成的隔板的一部分被稱為“第一隔板部分”。應指出的是，在此說明書中，為了方便描述起見，同一元件編號“18”被用於一在該壓電換能器10的正面側上的區域、該壓電板12的正面側的一個區域、及該蓋板11的正面側的一個區域。
另一方面，在該壓電換能器10的背面側上的一個區域19內，該壓力室1的深度被設定為相對較大(較寬)。詳言之，在位於壓力室1在一縱長方向A上的另一側上的區域19內，該壓力室1的底部被設置在一個比該壓電件12a及壓電件12b之間的邊界還深的位置。因此，在該壓電板12的背面側上的該區域19內，隔板3是由該壓電件12a及該壓電件12b所形成。詳言之，在該壓電板12的背面側上的該區域19內，該隔板3具有一V型臂章(chevron)結構。在此實施例中，一由作為第一壓電件的該壓電件12b及作為第二壓電件的壓電件12a形成的隔板的一部分被稱為“第二隔板部分”。應指出的是，在此說明書中，為了方便描述起見，同一元件編號“19”被用於一在該壓電換能器10的背面側上的區域、該壓電板12的背面側的一個區域、及該蓋板11的背面側的一個區域。
如圖5A及圖5B中所示，每一隔板3包括一側壁(有時亦被稱為“側面”)25及一位在該側壁25的背面側上的側壁(有時亦被稱為“側面”)26。側壁25面向壓力室1，且側壁26面向該啞室2。隔板3的側壁25及 和該隔板3相鄰的另一隔板3的側壁25彼此對立。此外，一隔板3的側壁26及和該隔板3相鄰的另一隔板3的側壁26彼此對立。
電極(驅動電極)21b被形成在壓力室1內。形成在壓力室1內的電極21b和稍後將被描述之形成在啞室2內的電極21a一起被用來將一在和該偏極化方向垂直的方向上的電場施加至該隔板(壓電件)3，用以在剪力模式下將該隔板3移位。電極21b被形成在隔板3的側壁25上及該溝槽1的底面上。電極21b的上端和隔板3的上端相匹配。應指出的是，如上文所述，為了便於描述起見，描述是在假設圖5A及圖5B的圖紙的上側是下側且圖5A及圖5B的圖紙的下側是上側的前提下進行的。
電極21a被形成在啞室2內。電極21a被形成在隔板3的側壁26上及溝槽2的底面上。電極21a的上端和隔板3的上端相匹配。
如圖5A所示，在該壓電換能器10的正面側上的區域18內的該第一隔板部分中，該隔板3的上表面(端面)被該第一黏劑層57固定至該蓋板11。一具有相對低的彈性係數的黏劑層被用作為該黏劑層57。該黏劑層57的彈性係數被設定為第一彈性係數。
如圖5B所示，在該壓電換能器10的背面側上的區域19內的該第二隔板部分中，該隔板3的上表面(端面)被該第二黏劑層58固定至該蓋板11。一具有相對高的彈性係數的黏劑層被用作為該黏劑層58。該黏劑層 58的彈性係數被設定為第二彈性係數，其高於該第一彈性係數(黏劑層57的彈性係數)。
該第一黏劑層57的彈性係數較佳地為10MPa或更大及500MPa或更小。
該第二黏劑層58的彈性係數較佳地為500MPa或更大及2000MPa或更小。
位在該啞室2的一側上的電極21a及位在啞室2的另一側上的電極21a彼此係被一形成在該啞室2的底面上的分隔溝槽20隔開。該分隔槽20係沿著該啞室2的縱長方向(箭頭A所指的方向)被形成，用以從該溝槽2的一端延伸並到達溝槽2的另一端。此外，在形成在該壓電板12的正面側上的溝槽7內，該分隔槽20被連接至一形成在該壓電板12的一主表面(在圖1的圖紙的上側的表面)上的分隔溝槽28(參見圖1)。例如，一訊號電壓(控制電壓或控制訊號)被施加至該電極21a，該訊號電壓係用來將一具有所想要的大小的電場施加至隔板3。位在該啞室2的一側上的電極21a及位在啞室2的另一側上的電極21a彼此被電性地分隔開，因此可施加不同的訊號電壓至這些電極21a。
該壓力室1被形成為可到達在該壓電板12背面側上的端面，亦即，該壓電板12之其上安裝有歧管40的那一側上的端面(參見圖6A及6B)。藉此，液體從歧管40被供應至該啞室2內。
另一方面，啞室2被形成為不達到在該壓電 板12背面側上的端面，亦即，該壓電板12之其上安裝有歧管40的那一側上的端面。藉此，可防止液體從歧管40被供應至該啞室2內。
歧管40被安裝至壓電換能器10的背面側。一用來供應液體(墨水)至壓電換能器10的壓力室1的共用的液體室43(參見圖2)被形成在該歧管40內。歧管40被建構成使得存在一液體瓶(未示出)內的液體經由一形成在該歧管40的背面側上的供墨埠41而被供應至該歧管40內。此外，一排墨埠(集墨埠)42亦被形成在該歧管40的背面側上。該供墨埠41和該排墨埠42被形成在該歧管40中，這可允許墨水在該歧管40內被循環。
孔口板60被安裝在該壓電換能器10的正面側(在液體射出側的表面)。孔口板60是例如用塑膠製成。噴嘴(排放埠)60a被形成在孔口板60a上和壓力室(液體通道)1相對應的位置處。噴嘴60a在圖1的箭頭B所示的方向上排成陣列。孔口板60例如藉由一以環氧樹脂為主的黏劑(未示出)而被黏合至該壓電換能器10的正面側的端面。
如圖2所示，從一墨水儲槽(未示出)被供應的液體(墨水)I係經由供墨埠41及該共用的液體室43而被供應至每一壓力室1，用以經由每一噴嘴60a被適當地射出。
如圖3所示，多個提取電極4被形成在該壓電板12的一主表面(在圖3的圖紙的上側的表面)56上。 這些提取電極4被形成來和個別的壓力室1相對應。提取電極4經由提取圖案23a(參見圖6A)或類此者而被電連接至電極21a或類此者。如圖1所示，撓性基板50被安裝在該壓電板12的一表面(在圖1的圖紙的上側的表面)上。多條訊號線(訊號配線或訊號電極)51被形成在撓性基板50上。例示於圖1中的撓性基板50的訊號線51及例示於圖3中的提取電極4被對準，用以彼此連接。
接下來，一種施加一電壓至依據此實施例的液體射出裝置的每一電極的方法將參考附圖來描述。圖6A及6B是立體圖，用來例示依據此實施例的液體射出裝置的壓電換能器的一部分。為了描述的簡要起見，圖6A及圖6B的例示只包括一個壓力室1。圖6A是壓電換能器10從該正面側觀看的立體圖，及圖6B是壓電換能器10從背面側觀看的立體圖。
如圖6A所示，多個提取電極4a1，4a2，及4a3和一共用的電極27被形成在該壓電板12的一主表面(在圖6A及圖6B的圖紙的上側的表面)上。
如圖6A所示，提取圖案(提取電極)23a被形成在溝槽7內，溝槽7係形成在該壓電板12的正面側上。形成在溝槽7內的該提取圖案23a被連接至形成在該啞室2內的電極21a。此外，形成在溝槽7內的該提取圖案23a被連接至形成在該壓電板12的一主表面(在圖6A及圖6B的圖紙的上側的表面)上的提取電極4a2。因此，形成在該壓電板12的一主表面上的該提取電極4a2和形 成在該啞室2內的電極21a經由該提取圖案23a而彼此電連接。
如圖6B所示，一提取圖案(提取電極或背電極)24b被形成在該壓電板12的背面側上。形成在該壓電板12的背面側上的該提取圖案24b被連接至形成在壓力室1內的電極21b。此外，形成在該壓電板12的背面側上的該提取圖案24b被連接至形成在該壓電板12的一主表面(在圖6A及圖6B的圖紙的上側的表面)上的共用電極27。提取電極4a1及4a3被連接至共用電極27。因此，形成在該壓電板12的一主表面上的提取電極4a1及4a3經由共用電極27及提取圖案24b被電連接至形成在壓力室1內的電極21b。
提取電極4a1、4a2及4a3被電連接至形成在該撓性基板50上的各別的訊號線51(圖1)。因此，形成在該撓性基板50上的各別的訊號線51被電連接至形成在該啞室2內的電極21a及形成在該壓力室1內的電極21b。
因此，當一電壓Va被施加至形成在該撓性基板50(圖1)上多條訊號線51的任何一條訊號線時，該電壓Va經由提取電極4a2及提取圖案23a被施加至形成在啞室2內的電極21a。
此外，以相同的方式，當一電壓Vb被施加至形成在該撓性基板50(圖1)上多條訊號線51的任何一條訊號線時，該電壓Vb經由提取電極4a1及4a3及提取圖案 24b被施加至形成在壓力室1內的電極21b。
接下來，依據此實施例的液體射出裝置的壓電換能器的隔板的位移將參考圖7A至圖9B來描述。圖7A至圖9B是剖面圖，用來例示依據此實施例的液體射出裝置的壓電換能器的隔板的位移。應指出的是，在此處的描述是在該啞室2內的電極21a有一電位Va及該壓力室1內的電極21b有一電位Vb的假設前提下提出的描述。圖7A、圖8A、及圖9A係各對應於圖3的X-X’線所取的剖面。詳言之，圖7A、圖8A、及圖9A係用來各例示在該壓電換能器10的正面側上的區域18的剖面的圖式。圖7B、圖8B、及圖9B係各對應於圖3的Y-Y’線所取的剖面。詳言之，圖7B、圖8B、及圖9B係用來各例示在該壓電換能器10的背面側上的區域19的剖面的圖式。
該啞室2內的電極21a的電位Va等於該壓力室1內的電極21b的電位Vb的情形(亦即，Va=Vb的情形)被例示於圖7A及圖7B中。如可從圖7A中看出來的，在該壓電換能器10的正面側上的區域18內，該隔板3沒有被位移。此外，如可從圖7B中看出來的，在該壓電板12的背面側上的區域19內，該隔板3也沒有被位移。
該啞室2內的電極21a的電位Va大於該壓力室1內的電極21b的電位Vb的情形(亦即，Va>Vb的情形)被例示於圖8A及圖8B中。因為，該啞室2內的電極21a的電位Va大於該壓力室1內的電極21b的電位，所以一電場被施加在和該壓電方向正交的方向上。
如圖8A所示，在該壓電換能器10的正面側上的區域18內，該隔板3被具有相對低的彈性係數的黏劑層57固定至蓋板11。黏劑層57的彈性係數相對低，因此黏劑層57會變形以跟隨著隔板3的位移。因此，在該壓電換能器10的正面側上的區域18內，即使電極21a及21b覆蓋隔板3的所有側壁25及26，隔板3仍可被充分地位移。在該壓電換能器10的正面側上的區域18內，該隔板3被位移，使得該壓力室1的截面積減小。
如圖8B所示，在該壓電換能器10的背面側上的區域19內，該隔板3被具有相對高的彈性係數的黏劑層58固定至蓋板11。黏劑層58的彈性係數相對高，因此隔板3被可靠地固定至蓋板11。應指出的是，在該壓電換能器10的背面側上的區域19內，該隔板3藉由使用而被具有相對高的彈性係數的黏劑層58可靠地固定至蓋板11，用以充分地確保對壓力室1的容量的控制特性。在該壓電換能器10的背面側上的區域19內，該隔板3被位移，使得該壓力室1的截面積增加。
該啞室2內的電極21a的電位Va低於該壓力室1內的電極21b的電位Vb的情形(亦即，Va<Vb的情形)被例示於圖9A及圖9B中。該啞室2內的電極21a的電位Va低於該壓力室1內的電極21b的電位，因此，在圖9A及圖9B的情形中，一電場被施加在和圖8A及圖8B的情形中的電場方向相反的方向上。
如圖9A所示，在該壓電換能器10的正面側 上的區域18內，該隔板3被位移，使得該壓力室1的截面積增加。
如圖9B所示，在該壓電換能器10的背面側上的區域19內，該隔板3被位移，使得該壓力室1的截面積減少。
接下來，依據此實施例的液體射出裝置的操作將參考圖10A至圖10E來描述。圖10A至圖10E是剖面圖，用來例示依據此實施例的液體射出裝置之壓電換能器的操作。在此處的說明係假設，位在該壓電換能器10的正面側上的區域18內的壓力室1的一部分是部分壓力室1b。此外，在此處，描述係基於位在該壓電換能器10的背面側上的區域19內的壓力室1的一部分是部分壓力室1a的假設而被提出的。
該啞室2內的電極21a的電位Va等於該壓力室1內的電極21b的電位Vb的情形(亦即，Va=Vb的情形)被例示於圖10A中。詳言之，圖10A所示的狀態對應於參考圖7A及圖7B所描述的狀態。在圖10A所示的狀態中，該壓力室1內的墨水I沒有流動。
圖10B是緊接在該電壓被施加之後該啞室2內的電極21a的電位Va變成高於該壓力室1內的電極21b的電位Vb的狀態的圖式，亦即，緊接在該電壓被施加之後，滿足Va>Vb的狀態。圖10B所示的狀態相當於上文中參考圖8A至8B所描述的狀態。在該壓電換能器10的正面側上的區域18內，該隔板3被位移於一將該壓 力室1收縮的方向上(圖8A)。詳言之，隔板3被位移於將該部分壓力室1b收縮的方向上。另一方面，在該壓電換能器10的背面側上的區域19內，該隔板3被位移於一將該壓力室1擴張的方向上(圖8B)。詳言之，隔板3被位移於將該部分壓力室1a擴張的方向上。當隔板3被如此地位移時，墨水I流入到位在該壓電換能器10的背面側上的區域19內的部分壓力室1a中。另一方面，在位於該壓電換能器10的正面側上的區域18內的部分壓力室1b中，在噴嘴60a附近的墨水I流動於一射出方向A1上。
圖10C是該電壓被施加以滿足Va>Vb之後經過一段固定的時間後的狀態的圖式。在此情形中，在位於該壓電換能器10的正面側上的區域18內的部分壓力室1b中，在噴嘴60a附近的墨水I的流動方向被反轉。詳言之，在圖10B中，在噴嘴60a附近的墨水I係流動於射出方向A1上，而在圖10C中在噴嘴60a附近的墨水I則是朝向和射出方向A1相反的方向A2流動。亦可料想到的是，在噴嘴60a附近的墨水I的流動因為下面的原因而以此方式被反轉。具體而言，在該壓電換能器10的背面側上的區域19內的該隔板3的位移量大於在該壓電換能器10的正面側上的區域18內的該隔板3的位移量。因此，位在該壓電換能器10的背面側上的區域19內的該部分壓力室1a容量的裝料量(charge amount)變成大於位在位於該壓電換能器10的正面側上的區域18內的部分壓力室1b容量的裝料量。可料想到的是，被吸引至該部分壓力 室1b內的墨水I流變成是主導的(dominant)，因此，在噴嘴60a附近的墨水I的流動被反轉。
圖10D是緊接在該電壓被施加之後該啞室2內的電極21a的電位Va變成低於該壓力室1內的電極21b的電位Vb的狀態的圖式，亦即，緊接在該電壓被施加之後，滿足Va<Vb的狀態。圖10D所示的狀態相當於上文中參考圖9A及9B所描述的狀態。在該壓電換能器10的正面側上的區域18內，該隔板3被位移於一將該壓力室1擴張的方向上(圖9A)。詳言之，隔板3被位移於將該部分壓力室1b擴張的方向上。另一方面，在該壓電換能器10的背面側上的區域19內，該隔板3被位移於一將該壓力室1收縮的方向上(圖9B)。詳言之，隔板3被位移於將該部分壓力室1a收縮的方向上。當隔板3被如此地位移時，墨水I流出位在該壓電換能器10的背面側上的區域19內的部分壓力室1a。另一方面，在位於該壓電換能器10的正面側上的區域18內的部分壓力室1b中，在噴嘴60a附近的墨水I流動於和該射出方向A1相反的A2方向上。
圖10E是該電壓被施加以滿足Va<Vb之後經過一段固定的時間後的狀態的圖式。在此情形中，在位於該壓電換能器10的正面側上的區域18內的部分壓力室1b中，在噴嘴60a附近的墨水I的流動方向被反轉。詳言之，在圖10D中，在噴嘴60a附近的墨水I係流動於和該射出方向A1相反的A2方向上，而在圖10E中，在噴嘴 60a附近的墨水I則是朝向射出方向A1流動。
在此實施例中，在圖10D的情形中，在噴嘴60a附近的墨水I係流動於和該射出方向A1相反的A2方向上。墨水I在和該相反的A2方向上的流動扮演了緩和圖10E的情形中墨水I流動於射出方向A1上的角色。因此，依據此實施例，墨水突然地集中至噴嘴60a中的情況可被緩和，且可抑制在主液滴被形成之前有一液滴(衛星液滴)從墨水的主液滴(主要液滴)分離出來的情況。因此，依據此實施例，一種可以穩定地射出液體的液體射出裝置被提供。
此外，可藉由適當地設定在該壓電換能器10的正面側上的區域18內的該隔板3的位移量及在該壓電換能器10的背面側上的區域19內的隔板3的位移量來用所想要的射出速度穩定地射出液體。
以此方式，依據此實施例，在該壓電換能器10的背面側上的區域19內，壓力室1的底面被設置在比該壓電件12a和壓電件12b之間的邊界還深的位置。另一方面，在該壓電換能器10的正面側上的區域18內，壓力室1的底面被設置在比該壓電件12a和壓電件12b之間的邊界還淺的位置。此外，在該壓電換能器10的正面側上，隔板3的上表面被具有較低的彈性係數的黏劑層57固定至蓋板11。因此，依據此實施例，隔板3可在該壓電換能器10的正面側上的區域18內被穩定地位移。因此，當壓力室1在該壓電換能器10的背面側上的區域19 內被收縮時，該壓力室可在該壓電換能器10的正面側上的區域內被擴張。因此，依據此實施例，當液滴因為位在該壓電換能器10的背面側上的區域19的收縮而被射出時，可緩和壓力突然地集中至噴嘴內，這可抑制衛星液滴被產生。因此，依據此實施例，可提供一種能穩定地射出微型液滴的液體射出裝置。
接下來，一種製造依據此實施例的液體射出裝置的方法將參考圖11至圖16來描述。圖11至圖16是處理圖，用來例示製造依據此實施例的液體射出裝置的方法。
首先，兩個具有相反的偏極方向的壓電基板(壓電體)12a及12b藉由使用黏劑層16(參見圖3)而被黏合在一起。對壓電件(基底端側壓電材料)12a實施和圖11的箭頭C所示的方向相反方向上的偏極處理。對壓電件(遠端側壓電材料)12b實施在圖11的箭頭C所示的方向上的偏極處理。例如，PZT、鈦酸鋇、或PLZT被用作為壓電體12a及12b的材料。例如，在此處，PZT被用作為壓電體12a及12b的材料。
接下來，壓電件12b的表面接受切割(研磨)，使得壓電件12b的厚度變成所想要的厚度。以此方式，可獲得壓電板12，其中具有所想要的厚度的壓電件12b被設置在壓電件12a上(參見圖11)。應指出的是，圖11的虛線顯示出壓電件12b接受研磨之前的狀態。
接下來，如圖12所示，用來形成壓力室的溝 槽1藉由例如使用鑽石刀片(未示出)而被形成在壓電板12上。亦即，溝槽被形成來形成被隔板隔開的壓力室，其中隔板具有藉由切割至該第一壓電件而獲得的第一隔板部分和藉由從該第一壓電件切割至該第二壓電件的第二隔板部分。
詳言之，該等多個溝槽1被形成為彼此平行。在形成溝槽1時，只有位在壓電板12的該正面側(圖12的圖紙的前側)上的端面上的區域18內(更具體地，在正面側上的壓電板12的端面的附近的區域內)的壓電件12b被處理。另一方面，在壓電板12的背面側上的區域19內，壓電件12a及壓電件12b這兩者都被處理。該處理在壓電板12的該正面側上的端面附近的區域18內被實施，使得溝槽1變成為淺的溝槽。另一方面，在壓電板12的背面側上的區域19內，該處理被實施，使得溝槽1變成為深的溝槽。使用一可至少被雙向地控制的切割設備作為切割設備是較佳的。例如，在此例子中，一由DISCO Corporation製造的切割鋸(商品名：Fully Automatic Dicing Saw，型號：DAD6240，心軸類型：1.2kW)被用作為切割設備。最好不要將支撐該壓電板12的桌台的進給速度設定得過快以防止壓電板12在使用鑽石刀片進行處理時受到過大的應力。應指出的是，許多將被形成的溝槽1中的一些溝槽被摘錄在圖12中。
然後，用來形成啞室的溝槽2藉由使用鑽石刀片(未示出)而被形成在壓電板12上。例如，一類似於 形成溝槽1時所用的切割設備可被用作為切割設備。溝槽2被形成為沿著溝槽1的縱長方向。該等多個溝槽2被形成為彼此平行。其內將被形成溝槽2的區域被設定為讓該等多個溝槽2係分別位在被彼此平行地形成的該等多個溝槽1之間的中心處。溝槽2被形成為不會到達壓電板12在背面側的端面。這是為了防止液體從歧管40被供應到啞室2內。在壓電板12的背面側上的區域19內，溝槽2的深度例如是和溝槽1的深度相同。應指出的是，溝槽2的深度並不一定要和溝槽1的深度相同。例如，溝槽2的深度可被大致設定為溝槽1的深度的1倍至1.15倍的範圍內。溝槽1和溝槽2之間的部分係作為隔板3。隔板3被設置在由溝槽1所形成的壓力室的兩側。
然後，藉由使用鑽石刀片(未示出)，溝槽7被形成在該壓電板12在正面側的端面。溝槽7被形成來延伸在該壓電板12的主表面的法線方向上。溝槽7是為了形成從電極21a提取的提取圖案23a的目的而被形成的。形成溝槽7的處理條件例如是類似於形成溝槽2時的處理條件。溝槽7被形成在壓電板12的正面側上(亦即，在圖12的圖紙的正面側上)，用以連通至溝槽2。
應指出的是，使用鑽石刀片的處理例子在此處係作為一個範例被描述，但本發明並不侷限於此。能夠將該壓電板12保持在居理溫度之下實施該處理的處理工具可被適當地使用。例如，該壓電板12可使用端面銑刀(end mill)或類此者來進行處理。
然後，如圖13所示，一導電膜55被形成，其係作為覆蓋該壓電板12的整個表面的電極。該導電膜55可被如下所述地形成。
首先，藉由蝕刻壓電板12的表面，使得微小的凹陷(不均勻性)被形成在該壓電板12的該表面上。然後，實施去鉛處理(de-leading treatment)，用以將包含在該壓電板12的材料內的鉛(Pb)從該壓電板12的該表面上去除掉。
接下來，如下文所描述地，一電鍍觸媒被沉積到該壓電板12的表面上。例如，錫(Sn)及鈀(Pd)被用作為電鍍觸媒。在此例子中，該沉積係用鈀的電鍍觸媒被產生為例子來加以描述。首先，該壓電板12被浸泡在約0.1%的氯化亞錫濃度水溶液中，藉以將氯化亞錫沉積到該壓電板12的表面上。接下來，該壓電板12被浸泡在約0.1%的氯化鈀的水溶液中，藉以讓事先沉積在該壓電板12的該表面上的氯化亞錫和氯化鈀之間產生氧化還原反應，用以產生金屬靶於該壓電板12的表面上。因此，金屬靶的被電鍍的觸媒沈積在壓電板12的表面上。
接下來，其表面上生成了金屬靶的該壓電板12被浸泡在例如一鎳電度浴中，藉以形成一包含鎳(Ni)的無電式電鍍膜於該壓電板12的表面上。例如，下列薄膜被形成為無電式電鍍膜：鎳-磷(Ni-P)的無電式電鍍膜及鎳-硼(Ni-B)的無電式電鍍膜。為了充分地覆蓋該壓電板12的表面及充分地降低電阻值的目的，無電式電鍍膜的厚度 被設定為約0.5微米至1.0微米是較佳的。以此方式，無電式電鍍膜被形成在該壓電板12的整個表面上。
之後，例如透過取代電鍍(replacement plating)，例如金(Au)電鍍膜被形成在無電式電鍍膜上。以此方式，包括該電鍍膜的該導電膜55被形成在該壓電板12的整個表面上。
然後，形成在該壓電板12的整個表面上該導電膜55的非必要部分被去除掉(參見圖14)。該導電膜55的非必要部分可被如下文所描述地去除掉。
該導電膜55在該壓電板12的一主表面(在圖14的圖紙的上側的表面)上及在另一主表面(在圖14的圖紙的下側的表面)上的一些部分被去除掉。該導電膜55在該壓電板12的一主表面上及在另一主表面上的那些部分可例如藉由研磨而被去除掉。
此外，分隔溝槽20被形成在該溝槽2的底部，用來作為該啞室，及分隔溝槽28被形成在用於提取電極的該溝槽7的底部。這些分隔溝槽20及28係用來將位在溝槽2及7的一側上的電極21a和位在溝槽2及7的另一側上的電極21a彼此分隔開。例如，可使用鑽石刀片來形成分隔溝槽20及28。分隔溝槽20及28每一者都具有一寬度，其例如是溝槽2及7的寬度的約1/2至1/3。應指出的是，分隔溝槽20及28的寬度並不侷限於此，且可被適當地設定。分隔溝槽20係沿著溝槽2的縱長方向被形成，用以從溝槽2的前端延伸到達其後端。此外，分 隔溝槽28係沿著溝槽7的縱長方向被形成，用以從溝槽7的上端延伸到達其下端。位在溝槽2或7的一側上的電極21a和位在溝槽2或7的另一側上的電極21a彼此被分隔開，因此不同的訊號電壓可被施加至這些電極21a。因此，壓力室1的隔板3可被個別地位移。
然後，如圖15所示，蓋板(頂板)11被安裝在該壓電板12上。例如，使用一熱膨脹係數等於該壓電板12的熱膨脹係數的材料作為該蓋板11的材料是較佳的。在此例子中，該蓋板11的材料係使用和壓電板12的材料一樣的材料。在此例子中，該蓋板11的材料例如是PZT。應指出的是，蓋板11的材料並不侷限於和壓電板12的材料一樣的材料。陶瓷材料(譬如，氧化鋁)亦可被用作為蓋板11的材料。在該壓電板12的正面側上的區域18內(第一隔板部分)，該壓電板12的端面(一主平面(在圖15的圖紙的上側上的表面))和該蓋板11的一主平面(在圖15的圖紙的上側上的表面)例如是被具有相對低的彈性係數的黏劑層57黏合在一起。例如，一具有10MPa或更大及500MPa或更小的固化時間(solidification-time)彈性係數的第一黏劑被施加在該壓電板12側上作為該黏劑層57。更具體地，該黏劑層57被施加至隔板3的上表面上。在該壓電板12的背面側上的區域19內(第二隔板部分)，該壓電板12的端面(一主平面(在圖15的圖紙的上側上的表面))和該蓋板11的一主平面(在圖15的圖紙的上側上的表面)例如是被具有相對高的彈性係數的黏劑層58黏 合在一起。例如，一具有500MPa或更大及2000MPa或更小的固化時間彈性係數的第二黏劑被施加在該蓋板11側上作為該黏劑層58。然後，該壓電板12和該蓋板11被對齊，用以將彼此結合。溝槽1及2被蓋板11密封，因此，壓力室1及2沿著溝槽1及2的縱長方向被形成。換言之，第一隔板部分和蓋板係被第一黏劑黏合在一起，且第二隔板部分和蓋板是被第二黏劑黏合在一起。
應指出的是，黏劑層57被施加在壓電板12側上及黏劑層58被施加在蓋板11側上的情形在此處被當作一例子來描述，但本發明並不侷限於此。黏劑層57被施加在蓋板11側上及黏劑層58被施加在壓電板12側上。
黏劑層57及58例如係藉由網板印刷方法、棍棒塗覆(bar coating)方法、或膠版印刷(offset printing)方法而被直接施加在壓電板12和蓋板11上。此外，在黏劑層57及58藉由使用這些施加方法中的至少一種方法被施加到不同的基板(譬如，玻璃基板)上之後，被施加到不同基板上的黏劑層57及58可被轉印到該壓電板12和該蓋板11上。
接下來，該壓電板12的正面側、背面側及類此者接受研磨、拋光、及類此者的處理，用以藉此將導電膜55從該壓電板12去除掉並調整外部形狀及尺寸。
接下來，分隔溝槽(未示出)28被適當地形成在該壓電板12的一主平面(在圖16的圖紙的下側的表面) 上。該分隔溝槽28係為了將提取電極4彼此隔開的目的而被形成的。分隔溝槽28可例如藉由掃描一雷射束來形成。例如，一準分子雷射或KrF雷射可被用作為該雷射束。應指出的是，分隔溝槽28可藉由使鑽石刀片或類此者的處理來形成。
之後，該歧管40被安裝在該壓電換能器10的背面側上(參見圖1)。該歧管40由一共用的液體室43形成於其內(參見圖2)，用來供應液體至該壓電換能器10內的壓力室1。儲存在一液體瓶(未示出)內的液體經由形成在該歧管40的背面側上的供墨埠41而被供應至該歧管40中。此外，該排墨埠42亦被形成在該歧管40內。該供墨埠41和該排墨埠42被形成在該歧管40內，這可允許墨水被循環於該歧管40內。
此外，該孔口板60被安裝至該壓電板12的正面側上(參見圖1)。孔口板60可被如下所述地形成。首先，準備一用來形成該孔口板60的板形基板。例如，塑膠可被用作為此一板形基板的材料。在此例子中，例如聚亞醯胺可被用作為該板形基板的材料。然後，一斥墨(ink-repellent)薄膜(未示出)被形成在第一主表面(其為該板形基板的一個主表面)上。該板形基板的該第一主表面是和一主表面(第二主表面)相反的主表面，其中該主表面(第二主表面)在孔口板60被安裝至該壓電板12時係和該壓電板12相對立。例如，一由ASAHI GLASS有限公司所製造的非晶體氟樹脂(商標名：CYTOP)可被用作為該斥墨薄膜 的材料。然後，一雷射束被照射至該板形基板，用以在板形基板上形成孔用以形成噴嘴6a。當孔被形成在該板形基板上時，該雷射束係照射在從該板形基板的該第二主表面側朝向該第一主表面的方向上。例如，一準分子雷射可被用作為該雷射束。形成在該板形基板上的孔的大小從該板形基板的該第二主表面側朝向該第一主表面愈來愈小。噴嘴60a分別被形成在和壓力室(液體通道)1相對應的位置。以此方式可獲得其內形成有噴嘴60a的孔口板60。該孔口板60例如使用一以環氧樹脂為主的黏劑(未示出)而被黏合至該壓電板12在該前端面側的端面(黏合表面)。
此外，該撓性基板50被安裝至壓電板12的一主表面(在圖1的圖紙的上側的表面)。該等多條訊號線51被形成在該撓性基板50上。該撓性基板50和該壓電板12被對準且該撓性基板50和該壓電板12例如藉由熱壓接合而被黏合在一起。
以此方式，可製造出依據此實施例的液體射出裝置。
(修改例)
接下來，一依據此實施例的修改例的液體射出裝置將參考圖17A及圖17B來描述。圖17A及圖17B是剖面圖，用來例示依據此修改例的液體射出裝置的壓電換能器的部件。圖17A相當於圖3的X-X’剖面。詳言之，圖 17A是一用來例示在該壓電換能器10的正面側上的區域18的剖面的圖式。圖17B相當於圖3的Y-Y’剖面。詳言之，圖17B是一用來例示在該壓電換能器10的背面側上的區域19的剖面的圖式。
如圖17A及17B所示，依據此修改例的液體射出裝置具有一在該壓電換能器10的正面側上的區域18內被形成為相對厚的黏劑層15、及具有在該壓電換能器10的背面側上的區域19內相對薄的黏劑層15。
在此修改例中，在該壓電換能器10的正面側上的區域18內，該黏劑層15被形成為相對厚，因此該黏劑層15容易變形，用以跟隨該隔板3的位移。因此，在該壓電換能器10的正面側上的區域18內，即使電極21a及21b覆蓋了隔板3的所有側壁25及26，隔板3仍可充分地位移。
以此方式，在該壓電換能器10的正面側上的區域18內，該黏劑層15亦可被形成為相對厚。
接下來，將描述依據此修改例的液體射出裝置的操作。
在該啞室2內的電極21a的電位Va等於該壓力室1內的電極21b的電位Vb的情形(亦即，Va=Vb的情形)中，依據此修改例的液體射出裝置亦實施和上文中參考圖7A及圖7B的實施例所描述的操作相同的操作。詳言之，隔板3在該壓電換能器10的正面側上的區域18內沒有變形。此外，隔板3在該壓電板12的背面側上的區 域19內也沒有變形。
在該啞室2內的電極21a的電位Va高於該壓力室1內的電極21b的電位Vb的情形(亦即，Va>Vb的情形)中，依據此修改例的液體射出裝置亦實施和上文中參考圖8A及圖8B的實施例所描述的操作相同的操作。詳言之，隔板3在該壓電換能器10的正面側上的區域18內被位移，使得壓力室1的截面積減小。另一方面，隔板3在該壓電換能器10的背面側上的區域19內被位移，使得壓力室1的截面積增加。
在該啞室2內的電極21a的電位Va低於該壓力室1內的電極21b的電位Vb的情形(亦即，Va<Vb的情形)中，依據此修改例的液體射出裝置亦實施和上文中參考圖9A及圖9B的實施例所描述的操作相同的操作。詳言之，隔板3在該壓電換能器10的正面側上的區域18內被位移，使得壓力室1的截面積增加。另一方面，隔板3在該壓電換能器10的背面側上的區域19內被位移，使得壓力室1的截面積減小。
接下來，一種製造依據此修改例的液體射出裝置的方法將參考圖18來描述。圖18是一處理圖，用來例示製造依據此修改例的液體射出裝置的方法。
從形成該壓電板12的步驟到形成分隔溝槽20及28的步驟係和上文中參考圖11至圖14所描述的製造一種液體射出裝置的方法的相應步驟是相同的，因此，它們的描述將被省略。
接下來，如圖18所示，在該蓋板11的正面側(其上安裝了孔口板60的那一側)上的區域18(和第一隔板部分相反的部分)內，該蓋板11被部分地去除掉。這造成一凹陷(溝槽或級階)70被形成在該蓋板11的正面側上的該區域18內，用以形成一從該蓋板11的背面側(其上安裝了歧管40的那一側)上的區域19(和第二隔板部分相反的部分)內縮的凹陷。在圖18中，凹陷70的深度D顯示出該級階的高度。該凹陷70可例如藉由使用該鑽石刀片或類此者來形成。
換言之，一板子被準備，一凹陷被形成在該板子上，使和該第一隔板部分相反的部分從和該第二隔板部分相反的部分被內縮。
接下來，黏劑層15被施加至該蓋板11形成有該凹陷70的地方。在此情形中，該黏劑層15被形成為讓該黏劑層15在該蓋板11的正面側上的區域18內的上表面的高度和該黏劑層15在該蓋板11的背面側(安裝有該歧管40的那一側)上的區域19內的上表面的高度一樣高。如上文所述，凹陷70被形成在該蓋板11的正面側上的該區域內。因此，該黏劑層15在該蓋板11的正面側上的區域內的厚度比該黏劑層15在該蓋板11的背面側上的區域內的厚度大了該凹陷70的深度D。
應指出的是，形成黏劑層15的方法並不侷限於此。
例如，黏劑層15可用下面的方式來形成。詳 言之，首先該黏劑層15被施加至蓋板11的整個表面上，用以填滿蓋板11的凹陷70的內部。之後，該黏劑層15被硬化。之後，該黏劑層15被研磨，直到該蓋板11在該蓋板11的背面側上的區域19內的表面被露出來為止。這造成該蓋板11的凹陷70被黏劑層15填滿。之後，該黏劑層15被進一步施加至該蓋板11上。即使是在黏劑層15被如此形成時，黏劑層15在該壓電換能器10的正面側上的區域內的厚度仍變成大於黏劑層15在該壓電換能器10的背面側上的區域內的厚度。
此外，黏劑層15可用下面的方式形成。詳言之，首先該黏劑層15被施加至蓋板11的整個表面上，用以填滿蓋板11的凹陷70的內部。之後，該黏劑層15被硬化。之後，該黏劑層15被研磨，直到該蓋板11在該蓋板11的背面側上的區域19內的表面被露出來為止。這造成該蓋板11的凹陷70被黏劑層15填滿。另一方面，黏劑層15亦被施加至該壓電板12側上。詳言之，黏劑層15被施加至該壓電板12的該隔板3的上表面上。之後，蓋板11和壓電板12被對齊，用以彼此結合。即使是在黏劑層15被如此形成時，黏劑層15在該壓電換能器10的正面側上的區域18內的厚度仍變成大於黏劑層15在該壓電換能器10的背面側上的區域19內的厚度。
用和上文中參考圖15所描述的製造依據該實施例的液體射出裝置的方法相同的方式，黏劑層15可例如藉由網板印刷方法、棍棒塗覆(bar coating)方法、或膠 版印刷(offset printing)方法而被直接施加。此外，在黏劑層15藉由使用這些施加方法中的至少一種方法被施加到不同的基板(譬如，玻璃基板)上之後，被施加到不同基板上的黏劑層15可被轉印到該壓電板12和該蓋板11上。
製造一液體射出裝置的方法的後續步驟和上文中參考圖16及圖1所描述的製造液體射出裝置的方法的步驟相同，因此這些步驟的描述被省略。
應指出的是，本發明並不侷限於上述的實施例。在此技術領域中具有通常知識者可在不偏離本發明的技術教導的範圍內對該實施例進行改變。
此外，在上述的實施例中，將被用於一印表機或類此者的噴墨頭被描述為該液體射出裝置的例子，但本發明並不侷限於此。例如，該液體射出裝置可以是一種被建構來射出包含金屬微粒的液體的液體射出裝置。當包含金屬微粒的液體被射出時，可形成金屬配線(金屬圖案)或類此者。此外，該液體射出裝置可以是一種被建構來射出光阻液體(光阻墨水)的液體射出裝置。當該光阻液體被射出時，可形成光阻圖案。
[範例]
接下來，更多本發明的範例將被描述。
(範例1)
首先，範例1係參考圖19及圖20A來描述。圖19是 一用來例示依據範例1的液體射出裝置的壓電換能器的一部分的立體圖。範例1對應於上文中參考圖1至圖16所描述之依據該實施例的液體射出裝置。
在範例1中，溝槽1係藉由使用鑽石刀片的處理來形成的。因此，在範例1中，壓力室1被設定為部分具有斜面的形狀。在範例1中，一平的部分61(其為具有該壓力室1的一平的底面的部分)被形成在該壓電換能器10的正面側上的該區域18內(圖18的圖紙的左側)。此外，在範例1中，一平的部分64(其為具有該壓力室1的一平的底面的部分)被形成在該壓電換能器10的正面側上的該區域18之外的區域19內，亦即，在該壓電換能器10的背面側上的該區域19內(圖18的圖紙的右側)。此外，在範例1中，一斜的部分65(其為具有該壓力室1的斜的底面的部分)被形成在該平的部分61和該平的部分64之間。在範例1中，一部分斜的部分62(其為該斜的部分65的一部分)係位在該壓電換能器10的正面側上的該區域18內。另一方面，在範例1中，一部分斜的部分63(其為該斜的部分65的一部分)係位在該壓電換能器10的背面側上的該區域19內。
在範例1中，該壓力室1在縱長方向上的尺寸L，亦即，該壓力室1的長度L被設定為8mm。此外，在範例1中，在該壓電換能器10的正面側上的該區域18內的該平的部分61的長度L1被設定為0.5mm。此外，在範例1中，在該壓電換能器10的正面側上的該區域18內 的該部分斜的部分62的長度L2被設定為1.1mm。此外，在範例1中，在該壓電換能器10的背面側上的該區域19內的該部分斜的部分63的長度L3被設定為2.8mm。此外，在範例1中，在該壓電換能器10的背面側上的該區域19內的該平的部分64的長度L4被設定為3.6mm。
圖19的箭頭C所標示的方向對應於高度方向。在範例1中，在該壓電換能器10的正面側上的該區域18內的該平的部分61中，從該壓力室1的底面到隔板3的上表面的高度H1被設定為100微米。此外，在範例1中，在該壓電換能器10的背面側上的該區域19內的該平的部分64中，從該壓力室1的底面到隔板3的上表面的高度H2被設定為300微米。此外，在範例1中，在該壓電換能器10的背面側上的該區域19內的該平的部分64中，從該壓力室1的底面到壓電件12a的頂面的高度H4被設定為150微米。此外，在範例1中，在該壓電換能器10的背面側上的該區域19內的該平的部分64中，該壓電件12b的高度H3被設定為150微米。
此外，在範例1中，隔板3在圖19的箭頭B所標示的方向上的尺寸W1，亦即，隔板3的寬度(厚度)W1被設定為60微米。此外，在範例1中，壓力室1在在圖19的箭頭B所標示的方向上的尺寸W2，亦即，壓力室1的寬度W2被設定為60微米。
圖20A是一用來例示依據範例1的液體射出裝置的壓電換能器的一部分的剖面圖。
如圖20A所示，在該壓電換能器10的正面側上的區域18內，蓋板11和壓電板12彼此係被黏劑層57結合在一起。由Sanyu Rec Co.Ltd.所製造的單包式環氧樹脂(產品號：EF-328)被用作為該黏劑層57。該黏劑層57的彈性係數為200MPa。
另一方面，在該壓電換能器10的背面側上的區域19內，蓋板11和壓電板12彼此係被黏劑層58結合在一起。由TESK Co.Ltd.所製造的單包式環氧樹脂(產品號：B-1077B)被用作為該黏劑層58。該黏劑層58的彈性係數為1000MPa。
黏劑層57及58的每一者的厚度t1被設定為2微米。
之後，歧管40、孔口板60、該撓性基板50、及類此者被安裝以形成依據範例1的液體射出裝置。
依據範例1的液體射出裝置藉由將液體射出來進行評估。一用水稀釋的乙二醇溶液被用作為評估時被射出的液體。在該液體中的乙二醇的濃度被設定為80%。當該液體從依據範例1的液體射出裝置被射出時，將被施加至電極21a及21b的電壓係如下所述地予以設定。亦即，電極21b被設定為具有0V的電位。另一方面，一具有正電壓的脈衝式訊號被施加至電極21a。該將被施加至電極21a的訊號被設定為具有8微米的脈衝寬度。一其上安裝了顯微鏡的影像拍攝設備被用來拍攝在飛翔狀態中的小液滴。一被建構來發出奈米脈衝雷射光的光源被用作為 拍攝該小液滴在飛翔狀態中的影像時的光源。
隨著將被施加至電極21a的脈衝式訊號的電壓被提高，該小液滴的速度亦被增加。當該小液滴(主液滴)的速度變成等於或大於一給定的速度時，一從該主液滴分離出來的微型液滴(衛星液滴)會在該主液滴之前被產生。當該衛星液滴開始被產生時，主液滴的速度會依據噴嘴60a的直徑而有所不同。主液滴在該衛星液滴開始被產生時表現出來的速度被顯示於表1中。
在對照例1中，在該壓電換能器10的背面側上的區域19內以及在該壓電換能器10的正面側上的區域18內係使用相同的黏劑層58來將壓電板12和該蓋板11結合在一起。在對照例1中，由TESK Co.Ltd.所製造的單包式環氧樹脂(產品號：B-1077B)被用作為該黏劑層58。在對照例1中，該黏劑層58的彈性係數為1000MPa。在對照例1中，黏劑層58的厚度被設定為2微米。
從表1中可看出來的是，在對照例1中，當噴嘴60a的直徑被設定成相對小時，即使是用一相對低的液滴的速度，衛星液滴仍會被產生。
相反地，在範例1中，即使是在噴嘴60a的 直徑相對小且液滴的速度相對高時，衛星液滴幾乎不會被產生。
在對照例1中，可料想到的是，當噴嘴60a的直徑被設定成相對小時，即使液滴的速度相對低，但因為下面的原因，衛星液滴仍會被產生。詳言之，在對照例1中，在該壓電換能器10的正面側上的該區域18內，隔板3亦是被具有相對高的彈性係數的黏劑層58固定至蓋板11。因此，在對照例1中，在該壓電換能器10的正面側上的該區域18內，隔板3幾乎沒有被位移。因此，在對照例1中，當在該壓電轉能器10的背面側上的區域19內的部分壓力室1a(參見圖10A至10E)被收縮時，在該壓電換能器10的正面側上的區域18內的部分壓力室1b沒有被擴張。因此，在對照例1中，當在該壓電換能器10的背面側上的區域19內的部分壓力室1a被收縮時，液體突然地集中至噴嘴60a中。因此，在對照例1中，可料想到的是，當噴嘴60a的直徑變得相對小時，即使是液滴的速度相對小，衛星液滴仍會被產生。
在範例1中，在該壓電換能器10的正面側上的區域18內，隔板3係藉由使用具有相對低的彈性係數的黏劑層57而被固定至蓋板11，因此，隔板3可在該壓電換能器10的正面側上的區域18內被位移。因此，在範例1中，當在該壓電換能器10的背面側上的區域19內的部分壓力室1a被收縮時，在該壓電換能器10的正面側上的區域18內的部分壓力室1b被擴張。因此，依據範例 1，當在該壓電換能器10的背面側上的區域19內的部分壓力室1a被收縮時，可緩和液體的壓力突然地集中至噴嘴60a中。因此，在範例1中，即使噴嘴60a的直徑被設定得相對小時及液滴的速度被設定得相對小時，仍可防止衛星液滴被輕易地產生。
(範例2)
接下來，範例2將參考圖20B來描述。圖20B是一用來例示依據範例2的液體射出裝置的壓電換能器的一部分的剖面圖。
範例2對應於上文中參考圖17A至圖18所描述之依據該實施例的修改例的液體射出裝置。除了在該壓電換能器10的正面側上的區域18內的黏劑層15的厚度被設定得相對大之外，範例2的其它部分和範例1相同。
在圖20B中，黏劑層15a代表被使用在該壓電換能器10的背面側上的區域19內的黏劑層。在圖20B中，黏劑層15b代表被使用在該壓電換能器10的正面側上的區域18內的黏劑層。在範例2中，使用在該壓電換能器10的背面側上的區域19內的黏劑層15a和使用在該壓電換能器10的正面側上的區域18內的黏劑層15b是具有相同材料的黏劑層。在範例2中，黏劑層15a和黏劑層15b係被一體地形成。
在該壓電換能器10的背面側上的區域19內的黏劑層15的厚度t2，亦即，黏劑層15a的厚度t2被設 定為2微米。
在該壓電換能器10的正面側上的區域18內的黏劑層15的厚度t3，亦即，黏劑層15b的厚度t3被設定為12微米。
在該蓋板11上的凹陷70的深度D被設定為10微米。
由TESK Co.Ltd.所製造的單包式環氧樹脂(產品號：B-1077B)被用作為該黏劑層15，亦即，被用作為黏劑層15a及15b。該黏劑層15的彈性係數為1000MPa。
依據範例2被獲得的液體射出裝置係用和範例1相同的方式來評估。主液滴在該衛星液滴開始在依據範例2的液體射出裝置中被產生時表現出來的速度被顯示於表2中。
從表1和表2的比較中可看出來得是，在範例2中可獲得和範例1實質相同的效能。
範例2的評估結果和範例1的評估結果實質相同是可以料想得到的，因為在範例2中隔板3亦可用和範例1中相同的方式在該壓電換能器10的正面側上的區域18內被移位。
(範例3)
接下來，範例3將參考圖20B來描述。
範例3對應於上文中參考圖17A至圖18所描述之依據該實施例的修改例的液體射出裝置。除了在該壓電換能器10的正面側上的區域18內的黏劑層15b的材料和厚度之外，範例3的其它部分和範例2相同。
使用在該壓電換能器10的正面側上的區域18內的黏劑層15b係從具有不同的彈性模數E1的三種黏劑中選取。由TESK Co.Ltd.所製造的單包式環氧樹脂(產品號：B-1077B)被用作為具有1000MPa的彈性模數E1的該黏劑層15b。由Sanyu Rec Co.Ltd.所製造的單包式環氧樹脂(產品號：EF-328)被用作為具有200MPa的彈性模數E1的該黏劑層15b。由Sanyu Rec Co.Ltd.所製造的單包式環氧樹脂(產品號：EF-288)被用作為具有20MPa的彈性模數E1的該黏劑層15b。
具有1000MPa的彈性模數E2的黏劑被用作為在該壓電換能器10的背面側上的區域19內的黏劑層15a。由TESK Co.Ltd.所製造的單包式環氧樹脂(產品號：B-1077B)被用作為該黏劑層15a。
噴嘴60a的直徑被設定為Φ10μm。
在該壓電換能器10的正面側上的區域18內的黏劑層15b的彈性模數E1與厚度t3的比率被設定為r1。比率r1係用下面的式子來表示：r1=E1/t3。
在該壓電換能器10的背面側上的區域19內 的黏劑層15a的彈性模數E2與厚度t2的比率被設定為r2。比率r2係用下面的式子來表示：r2=E2/t2。
比率r1表示黏劑層15b的剛性度，及比率r2表示黏劑層15a的剛性度。黏劑層15b的剛性度隨著r1的數值變小而變小，黏劑層15a的剛性度隨著r2的數值變小而變小。
主液滴在該衛星液滴開始在依據範例3的液體射出裝置中被產生時的速度被顯示於表3中。
可從表3看出來的是，隨著r2對r1的比率(r2/r1)變大，主液滴在該衛星液滴開始被產生時的速度亦變大。
然而，當r2對r1的比率(r2/r1)超過500時，液滴被不穩定地射出。這是因為當在該壓電換能器10的正面側上的區域18內的黏劑層15b的剛性太小時，隔板3在該壓電換能器10的正面側上的區域18內的殘留應力的影響無法被忽視。
有鑑於上述的觀察，r2對r1的比率(r2/r1)最佳地為5或以上及500或以下。
依據本發明，在該壓電換能器的背面側上的 區域內，該壓力室的底面被設置在比該第一壓電件及該第二壓電件之間的邊界還深的位置。另一方面，在該壓電換能器的正面側上的區域內，該壓力室的底面被設置在比該第一壓電件及該第二壓電件之間的邊界還淺的位置。此外，在該壓電換能器的正面側上，該隔板的上表面被該具有一相對低的彈性係數的黏劑層或該相對厚的黏劑層固定至該蓋板。因此，依據本發明，在該壓電換能器的正面側上的該區域內，該隔板能夠被可靠地位移。因此，當該壓力室在該壓電換能器的背面側上的該區域內被收縮時，該壓力室可在該壓電換能器的正面側上的該區域內被擴張。因此，依據本發明，當液滴因在該壓電換能器的背面側上的該區域收縮而被射出時，可緩和壓力突然集中至該噴嘴內，這可抑制衛星液滴被產生。因此，依據本發明，一種可穩定地射出微型液滴的液體射出裝置可被提供。
雖然本發明已參考示範性實施例加以描述，但應被瞭解的是，本發明並不侷限於這些被揭露的示範性實施例。下面申請專利範圍的範圍應符合最廣義的解讀，用以涵蓋所有這些修改及等效結構及功能。
1‧‧‧溝槽(壓力室)
2‧‧‧溝槽(啞室)
3‧‧‧隔板
11‧‧‧蓋板
12‧‧‧壓電板
16‧‧‧黏劑層
20‧‧‧隔離溝槽
21a‧‧‧電極
21b‧‧‧電極
25‧‧‧側壁
26‧‧‧側壁
57‧‧‧黏劑層

Claims (10)

  1. 一種液體射出裝置，其包含：一基底，其包括：一第一壓電件；及一第二壓電件，其被固定至該第一壓電件且被偏極化於一和該第一壓電件的偏極方向相反的方向上；一壓力室，其被形成至該基底上且被至少兩個由該第一壓電件及該第二壓電件所形成的隔板及被一安裝在該至少兩個隔板的端面上的板子隔開；及一電極，其形成在該至少兩個隔板的兩側面上，其中：該壓力室在正面側是窄的，一被建構來射出液體的排放埠被形成在該正面側上；該至少兩個隔板的一面向該壓力室的面包括：一只由該第一壓電件形成的第一隔板部分；及一由該第一壓電件及該第二壓電件形成的第二隔板部分；該壓力室在該正面側係被該第一隔板部分隔開；該壓力室在一背面側係被該第二隔板部分隔開，一被建構來將該液體供應至該壓力室的液體室係被形成在該背面側上；該第一隔板部分的該端面被一第一黏劑層固定至該板子；該第二隔板部分的該端面被一第二黏劑層固定至該板子； 該第一黏劑層的彈性係數小於該第二黏劑層的彈性係數。
  2. 如申請專利範圍第1項之液體射出裝置，其中該第一黏劑層的彈性係數為10MPa或更大及500MPa或更小。
  3. 如申請專利範圍第1或2項之液體射出裝置，其中該第二黏劑層的彈性係數為500MPa或更大及2000MPa或更小。
  4. 一種液體射出裝置，其包含：一基底，其包括：一第一壓電件；及一第二壓電件，其被固定至該第一壓電件且被偏極化於一和該第一壓電件的偏極方向相反的方向上；一壓力室，其被形成至該基底上且被至少兩個由該第一壓電件及該第二壓電件所形成的隔板及被一安裝在該至少兩個隔板的端面上的板子隔開；及一電極，其形成在該至少兩個隔板的兩側面上，其中：該壓力室在正面側是窄的，一被建構來射出液體的排放埠被形成在該正面側上；該至少兩個隔板的一面向該壓力室的面包括：一只由該第一壓電件形成的第一隔板部分；及一由該第一壓電件及該第二壓電件形成的第二隔板部分；該壓力室在該正面側係被該第一隔板部分隔開；該壓力室在一背面側係被該第二隔板部分隔開，一被 建構來將該液體供應至該壓力室的液體室係被形成在該背面側上；該第一隔板部分的該端面被一第一黏劑層固定至該板子；該第二隔板部分的該端面被一第二黏劑層固定至該板子；該第一黏劑層的厚度大於該第二黏劑層的厚度。
  5. 如申請專利範圍第4項之液體射出裝置，其中當該第一黏劑層的彈性係數相比於該第一黏劑層的厚度的比率被定為r1且該第二黏劑層的彈性係數相比於該第二黏劑層的厚度的比率被定為r2時，r2對r1的比率是5或更大及500或更小。
  6. 一種製造液體射出裝置的方法，其包含：形成一溝槽於一第一壓電件及一第二壓電件內藉以形成一被一隔板隔開的壓力室，該第二壓電件被固定至該第一壓電件且被偏極化於一和該第一壓電件的偏極方向相反的方向上，該隔板包括一第一隔板部分及一第二隔板部分，該第一隔板部分係藉由切割至該第一壓電件來獲得，及該第二隔板部分係藉由從該第一壓電件切割至該第二壓電件來獲得；形成一電極於該隔板上；及將一板子黏合至該隔板，其中該板子的黏合包括：用一第一黏劑層將該板子黏合至該第一隔板部分；及 用一第二黏劑層將該板子黏合至該第二隔板部分。
  7. 如申請專利範圍第6項之製造液體射出裝置的方法，其中該第一黏劑層的一固化時間彈性係數為10MPa或更大及500MPa或更小。
  8. 如申請專利範圍第6或7項之製造液體射出裝置的方法，其中該第二黏劑層的一固化時間彈性係數為500MPa或更大及2000MPa或更小。
  9. 一種製造液體射出裝置的方法，其包含：形成一溝槽於一第一壓電件及一第二壓電件內藉以形成一被一隔板隔開的壓力室，該第二壓電件被固定至該第一壓電件且被偏極化於一和該第一壓電件的偏極方向相反的方向上，該隔板包括一第一隔板部分及一第二隔板部分，該第一隔板部分係藉由切割至該第一壓電件來獲得，及該第二隔板部分係藉由從該第一壓電件切割至該第二壓電件來獲得；形成一電極於該隔板上；準備一具有一凹陷的板子，該凹陷被形成使得該凹陷的一和該第一隔板部分相反的部分從該凹陷的一和該第二隔板部分相反的部分內縮；及將該板子黏合至該隔板。
  10. 一種印表機，包含如申請專利範圍第1-5項中任一項之液體射出裝置。
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