TWI595218B

TWI595218B - 質量流量計及速度計

Info

Publication number: TWI595218B
Application number: TW104116235A
Authority: TW
Inventors: Toshikazu Harada; Atusi Sakaida
Original assignee: Denso Corp
Priority date: 2014-06-03
Filing date: 2015-05-21
Publication date: 2017-08-11
Also published as: KR20160148645A; WO2015186464A1; JP6369379B2; EP3153826A4; JP2016011949A; EP3153826A1; US20170102255A1; TW201610396A; KR101901415B1; US10288464B2; CN106461438A

Description

質量流量計及速度計

本發明是關於質量流量計及速度計。

以往的質量流量計有使用流動感測器的熱式質量流量計。該流動感測器係於隔膜及隔膜正下方具有空間的感測器片中，在隔膜形成兩個感測器用電阻與加熱器用電阻。兩個感測器用電阻與加熱器用電阻是以流體的流動方向依加熱器用電阻、感測器用電阻的順序配置(例如，參閱專利文獻1)。

感測器用電阻是根據溫度變化使得電阻值變化。隔膜為降低感測器用電阻承受之隔膜的熱容量的影響，盡可能使其較薄。隔膜正下方的空間是用於降低來自感測器用電阻承受之感測器片的熱影響。

以往的質量流量計是使用感測器用電阻來檢測伴隨流體的質量流量變化之流體的溫度變化。

[先前技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本特開平8-136566號公報

如上述，流動感測器具有薄的隔膜及在其正下方形成有空間的隔膜構造，所以會有因衝擊使得隔膜容易破損的問題。

同樣地，在移動的物體設置感測器，藉其感測器測量移動的物體的移動速度的速度計，感測器一旦具有上述隔膜構造時，也會因衝擊而有隔膜容易破損的問題的產生。

本發明是有鑒於上述點，提供一種較具備有隔膜構造的感測器破損更為困難之感測器的質量流量計及速度計為第1目的。並且，本發明是提供一種與上述習知的質量流量計在流體的溫度變化的檢測方式不同之質量流量計及速度計為第2目的。

為達成上述第1目的，申請專利範圍第1項記載的發明的質量流量計，具備：感測器(10、20)，具有一面(10a)及其相反側的另一面(10b)，內部形成有熱電轉換元件，及熱源體(13、14、240)，對存在於一面側的流體釋出溫熱與冷熱之一方的熱，感測器具備：以熱塑性樹脂構成，複數層疊的絕緣層(100、110、120、210、220)，及相對於絕緣層形成，以不同的導電體構成，且彼此連接的第1、第2導電體(130、140、250、260)，以將複數絕緣層一邊加熱並加壓成一體化的多層基板構成，熱電轉換元件是以彼此連接的第1、第2導電體構成，並使得具有從熱源體釋出的熱的流體沿著一面移動時，會對應位於一面的第1區域，及感測器中與第1區域不同的位置的第2區域之間產生溫差的大小而產生電輸出，並且，具備根據熱電轉換元件產生的輸出及該輸出與流體的質量流量的關係，運算流體的質量流量的運算部(2)。

在此，在從熱源體朝感測器的一面側的流體釋出熱的狀態，流體的質量流量變化時，使感測器的一面側之流體的溫度變化。本發明在具有從熱源體釋出的熱的流體沿著感測器的一面移動時，熱電轉換元件會產生對應感測器的一面側之溫度的電輸出。因此，根據本發明，可以熱電轉換元件的輸出來檢測伴隨流體的質量流量變化之流體的溫度變化，因此可從該輸出算出流體的質量流量。

又，本發明使用的感測器是將複數絕緣層一邊加熱並加壓成一體化所製造的構造，不存在有如隔膜正下方空間之大空間的構造。因此，根據本發明，可提供較具備有隔膜構造的感測器破損更為困難之感測器的質量流量計。

為達成上述第1目的，申請專利範圍第9項記載的發明的速度計，具備：感測器(10、20)，設置在流體內移動的移動體，具有一面(10a)及其相反側的另一面(10b)，內部形成有熱電轉換元件，及熱源體(13、14、240)，對存在於一面側的流體釋出溫熱與冷熱之一方的熱，感測器具備：以熱塑性樹脂構成，複數層疊的絕緣層(100、210、22)，及相對於絕緣層形成，以不同的導電體構成，且彼此連接的第1、第2導電體(130、140、250、260)，以將複數絕緣層一邊加熱並加壓成一體化的多層基板構成，熱電轉換元件是以彼此連接的第1、第2導電體構成，並從感測器顯示，相對地使具有從熱源體釋出的熱的流體沿著一面移動時，會對應位於一面的第1區域，及感測器中與第1區域不同的位置的第2區域之間產生溫差的大小而產生電輸出，並且，具備根據熱電轉換元件產生的輸出及該輸出與移動體的移動速度的關係，運算移動體的移動速度的運算部(2)。

在此，在從熱源體朝感測器一面側的流體釋出熱的狀態，使移動體的移動速度變化時，從感測器顯示，存在於感測器一面側的流體的溫度會變化。本發明中，從感測器顯示，相對地使得具有從熱源體釋出的熱的流體沿著感測器的一面移動時，熱轉換元件會產生對應位感測器一面側之溫度的電輸出。因此，根據本發明，可以熱電轉換元件的輸出來檢測伴隨移動體的移動速度變化之流體的溫度變化，因此可從該輸出算出移動體的移動速度。

又，本發明使用的感測器是將複數絕緣層一邊加熱並加壓成一體化所製造的構造，不存在有如隔膜正下方空間之大空間的構造。因此，根據本發明，可提供較具備有隔膜構造的感測器破損更為困難之感測器的速度計。

為達成上述第1目的，申請專利範圍第10項記載的發明的質量流量計，具備：感測器(10、20)，具有一面(10a)及其相反側的另一面(10b)，內部形成有熱電轉換元件，及熱源體(13、14、240)，對存在於一面側的流體釋出溫熱與冷熱之一方的熱，感測器具備：以撓性材料構成的絕緣層(100、110、120、210、220)，及相對於絕緣層形成，以不同的導電體構成，且彼此連接的第1、第2導電體(130、140、250、260)，以將絕緣層與第1、第2導電體一邊加熱並加壓成一體化，熱電轉換元件是以彼此連接的第1、第2導電體構成，並使得具有從熱源體釋出的熱的流體沿著一面移動時，會對應位於一面的第1區域，及感測器中與第1區域不同的位置的第2區域之間產生溫差的大小而產生電輸出，並且，具備根據熱電轉換元件產生的輸出及該輸出與流體的質量流量的關係，運算流體的質量流量的運算部(2)。

根據本發明，與申請專利範圍第1項記載的發明同樣，可從熱電轉換元件的輸出來算出流體的質量流量。又，本發明使用的感測器是將絕緣層與第1、第2導電體一邊加熱並加壓成一體化所製造的構造，不存在有如隔膜正下方空間之大空間的構造。因此，根據本發明，可提供較具備有隔膜構造的感測器破損更為困難之感測器的質量流量計。

為達成上述第1目的，申請專利範圍第12項記載的發明的質量流量計，具備：感測器(10、20)，具有一面(10a)及其相反側的另一面(10b)，內部形成有熱電轉換元件，及熱源體(13、14、240)，對存在於一面側的流體釋出溫熱與冷熱之一方的熱，感測器具備以不同的導電體構成，且彼此連接的第1、第2導電體(130、140、250、260)之實心的構造體，熱電轉換元件是以彼此連接的第1、第2導電體構成，並使得具有從熱源體釋出的熱的流體沿著一面移動時，會對應位於一面的第1區域，及感測器中與第1區域不同的位置的第2區域之間產生溫差的大小而產生電輸出，並且，具備根據熱電轉換元件產生的輸出及該輸出與流體的質量流量的關係，運算流體的質量流量的運算部(2)。

根據本發明，與申請專利範圍第1項記載的發明同樣，可從熱電轉換元件的輸出來算出流體的質量流量。又，本發明使用的感測器為實心的構造體，在感測器的內部不存在有如隔膜正下方空間之大空間的構造。因此，根據本發明，可提供較具備有隔膜構造的感測器破損更為困難之感測器的質量流量計。

並且，在此所謂實心的構造體是意味著不存在有如習知流動感測器具有隔膜正下方的空間之大空間的中間填滿的構造體。但是，並非意味著排除形成於構成感測器的各構成構件間之具有小的間隙的構造體。

為達成上述第2目的，申請專利範圍第13項記載的發明的質量流量計，具備：感測器(10、20)，具有一面(10a)及其相反側的另一面(10b)，內部形成有熱電轉換元件，及熱源體(13、14、240)，對存在於一面側的流體釋出溫熱與冷熱之一方的熱，熱電轉換元件是以不同的導電體，彼此連接的第1、第2導電體構成，並使得具有從熱源體釋出的熱的流體沿著一面移動時，會對應位於一面的第1區域，及感測器中與第1區域不同的位置的第2區域之間產生溫差的大小而產生電輸出，並且，具備根據熱電轉換元件產生的輸出及該輸出與流體的質量流量的關係，運算流體的質量流量的運算部 (2)。

在此，在從熱源體朝感測器的一面側的流體釋出熱的狀態，流體的質量流量變化時，使感測器的一面側之流體的溫度變化。本發明在具有從熱源體釋出的熱的流體沿著感測器的一面移動時，熱電轉換元件會產生對應感測器的一面側之溫度的電輸出。因此，根據本發明，可以熱電轉換元件的輸出來檢測伴隨流體的質量流量變化之流體的溫度變化，因此可從該輸出算出流體的質量流量。藉此，根據本發明，可提供與上述習知的質量流量計在流體之溫度變化的檢測方式不同的質量流量計。

為達成上述第1目的，申請專利範圍第15項記載的發明的速度計，具備：感測器(10、20)，設置在流體內移動的移動體，具有一面(10a)及其相反側的另一面(10b)，內部形成有熱電轉換元件，及熱源體(13、14、240)，對存在於一面側的流體釋出溫熱與冷熱之一方的熱，感測器具備：以撓性材料構成的絕緣層(100、110、120、210、220)，及相對於絕緣層形成，以不同的導電體構成，且彼此連接的第1、第2導電體(130、140、250、260)，將絕緣層與第1、第2導電體一邊加熱並加壓成一體化，熱電轉換元件是以彼此連接的第1、第2導電體構成，並從感測器顯示，相對地使具有從熱源體釋出的熱的流體沿著一面移動時，會對應位於一面的第1區域，及感測器中與第1區域不同的位置的第2區域之間產生溫差的大小而產生電輸出，並且，具備根據熱電轉換元件產生的輸出及該輸出與移動體的移動速度的關係，運算移動體的移動速度的運算部(2)。

根據本發明，與申請專利範圍第9項記載的發明同樣，可從熱電轉換元件的輸出來算出移動體的移動速度。又，本發明使用的感測器是將絕緣層與第1、第2導電體一邊加熱並加壓成一體化所製造的構造，不存在有如隔膜正下方空間之大空間的構造。因此，根據本發明，可提供較具備有隔膜構造的感測器破損更為困難之感測器的速度計。

為達成上述第1目的，申請專利範圍第17項記載的發明的速度計，具備：感測器(10、20)，設置在流體內移動的移動體，具有一面(10a)及其相反側的另一面(10b)，內部形成有熱電轉換元件，及熱源體(13、14、240)，對存在於一面側的流體釋出溫熱與冷熱之一方的熱，感測器具備以不同的導電體構成，且彼此連接的第1、第2導電體(130、140、250、260)之實心的構造體，熱電轉換元件是以彼此連接的第1、第2導電體構成，並從感測器顯示，相對地使具有從熱源體釋出的熱的流體沿著一面移動時，會對應位於一面的第1區域，及感測器中與第1區域不同的位置的第2區域之間產生溫差的大小而產生電輸出，並且，具備根據熱電轉換元件產生的輸出及該輸出與移動體的移動速度的關係，運算移動體的移動速度的運算部(2)。

根據本發明，與申請專利範圍第9項記載的發明同樣，可從熱電轉換元件的輸出來算出移動體的移動速度。又，本發明使用的感測器為實心的構造體，在感測器的內部不存在有如隔膜正下方空間之大空間的構造。因此，根據本發明，可提供較具備有隔膜構造的感測器破損更為困難之感測器的速度計。

為達成上述第2目的，申請專利範圍第18項記載的發明的速度計，具備：感測器(10、20)，設置在流體內移動的移動體，具有一面(10a)及其相反側的另一面(10b)，內部形成有熱電轉換元件，及熱源體(13、14、240)，對存在於一面側的流體釋出溫熱與冷熱之一方的熱，熱電轉換元件是以不同的導電體，彼此連接的第1、第2導電體構成，並從感測器顯示，相對地使具有從熱源體釋出的熱的流體沿著一面移動時，會對應位於一面的第 1區域，及感測器中與第1區域不同的位置的第2區域之間產生溫差的大小而產生電輸出，並且，具備根據熱電轉換元件產生的輸出，及輸出與移動體的移動速度的關係，運算移動體的移動速度的運算部(2)。

在此，在從熱源體朝感測器的一面側的流體釋出熱的狀態，移動體的移動速度變化時，從感測器顯示時，使存在於感測器一面側的流體的溫度變化。本發明在從感測器顯示，相對地使具有從熱源體釋出的熱的流體沿著感測器的一面移動時，熱電轉換元件會產生對應感測器的一面側之溫度的電輸出。因此，根據本發明，可以熱電轉換元件的輸出來檢測伴隨移動體的移動速度變化之流體的溫度變化，因此可從該輸出算出移動體的移動速度。藉此，根據本發明，可提供與上述習知質量流量計在流體之溫度變化的檢測方式不同的速度計。

並且，在該欄及申請專利範圍記載的各元件之括弧內的符號是表示與後述實施形態記載的具體構件的對應關係之一例。

2‧‧‧控制裝置(運算部)

10‧‧‧流量感測器、速度感測器(感測器)

11‧‧‧第1感測部

12‧‧‧第2感測部

13‧‧‧加熱部(熱源體)

14‧‧‧熱電元件部(熱源體)

130‧‧‧第1層間連接構件(第1導電體)

140‧‧‧第2層間連接構件(第2導電體)

240‧‧‧加熱部

250‧‧‧P型元件(第1導電體)

260‧‧‧N型元件(第2導電體)

第1圖表示第1實施形態之質量流量計的整體構成的圖。

第2A圖為第1圖中的流量感測器的上視圖。

第2B圖是對應第2A圖的IIB-IIB線剖面的模式圖。

第3圖為第2A圖的III-III線剖視圖。

第4圖是用於說明流量感測器之製造步驟的剖視圖。

第5圖表示在第1實施形態中，無流體流動狀態時之流量感測器附近的溫度分佈的圖。

第6圖表示在第1實施形態中，有流體流動狀態時之流量感測器附近的溫度分佈的圖。

第7圖表示在比較例1中，無流體流動狀態時之流量感測器附近的溫度分佈的圖。

第8圖表示在比較例1中，有流體流動狀態時之流量感測器附近的溫度分佈的圖。

第9圖是用於說明第2實施形態中流量感測器朝測量場所之設置方法的透視圖。

第10圖是用於說明第3實施形態中流量感測器朝測量場所之設置方法的透視圖。

第11A圖是用於說明第4實施形態中流量感測器朝測量場所之設置方法的透視圖。

第11B圖是用於說明第4實施形態中流量感測器朝測量場所之設置方法的透視圖。

第11C圖是用於說明第4實施形態中流量感測器朝測量場所之設置方法的透視圖。

第11D圖是用於說明第4實施形態中流量感測器朝測量場所之設置方法的透視圖。

第12圖是用於說明第5實施形態中流量感測器朝測量場所之設置方法的透視圖。

第13圖為第6實施形態之流量感測器的剖視圖。

第14圖為第7實施形態之流量感測器的上視圖。

第15圖為第14圖的XV-XV線剖視圖。

第16圖表示在第7實施形態中，無流體流動狀態時之流量感測器附近的溫度分佈的圖，對應第14圖的XVI-XVI線剖面的模式圖。

第17圖表示在第7實施形態中，有流體流動狀態時之流量感測器附近的溫度分佈的圖，對應第14圖的XVII-XVII線剖面的模式圖。

第18圖為第8實施形態之流量感測器的上視圖。

第19圖為第8實施形態之流量感測器的底視圖。

第20A圖為第18圖的XXA-XXA線剖視圖。

第20B圖是用於說明第8實施形態之流量感測器的製造步驟的剖視圖，對應第20A圖的剖視圖。

第21A圖為第18圖的XXIA-XXIA線剖視圖。

第21B圖是用於說明第8實施形態之流量感測器的製造步驟的剖視圖，對應第21A圖的剖視圖。

第22圖表示在第8實施形態中，無流體流動狀態時之流量感測器附近的溫度分佈的圖。

第23圖表示在第8實施形態中，有流體流動狀態時之流量感測器附近的溫度分佈的圖。

第24圖為第9實施形態之流量感測器的上視圖。

第25圖為第9實施形態之流量感測器的底視圖。

第26A圖為第24圖的XXVIA-XXVIA線剖視圖。

第26B圖是用於說明第9實施形態之流量感測器的製造步驟的剖視圖，對應第26A圖的剖視圖。

第27A圖為第24圖的XXVIIA-XXVIIA線剖視圖。

第27B圖是用於說明第9實施形態之流量感測器的製造步驟的剖視圖，對應第27A圖的剖視圖。

第28圖為第10實施形態之流量感測器的上視圖。

第29圖為第10實施形態之流量感測器的底視圖。

第30A圖為第28圖的XXXA-XXXA線剖視圖。

第30B圖是用於說明第10實施形態之流量感測器的製造步驟的剖視圖，對應第30A圖的剖視圖。

第31A圖為第28圖的XXXIA-XXXIA線剖視圖。

第31B圖是用於說明第10實施形態之流量感測器的製造步驟的剖視圖，對應第31A圖的剖視圖。

第32圖表示在第10實施形態中，無流體流動狀態時之流量感測器附近的溫度分佈的圖。

第33圖表示在第10實施形態中，有流體流動狀態時之流量感測器附近的溫度分佈的圖。

第34圖表示第11實施形態的速度計之整體構成的圖。

第35圖表示在第11實施形態中，移動體在停止狀態時之速度感測器附近的溫度分佈的圖。

第36圖表示在第11實施形態中，移動體在移動狀態時之速度感測器附近的溫度分佈的圖。

第37圖為其他實施形態之流量感測器的上視圖。

第38圖為其他實施形態之流量感測器的上視圖。

第39圖為其他實施形態之流量感測器的上視圖。

第40圖為其他實施形態之流量感測器的上視圖。

第41圖為其他實施形態之流量感測器的上視圖。

第42圖為其他實施形態之流量感測器的上視圖。

第43圖為其他實施形態之流量感測器的上視圖。

以下，根據圖針對本發明的實施形態說明。並且，以下的各實施形態彼此之中，對彼此相同或均等的部份，賦予相同符號進行說明。

(第1實施形態)

本實施形態是針對測量在配管內流動的流體之質量流量的質量流量計說明。如第1圖表示，質量流量計1具備一個流量感測器10及一個控制裝置2。

流量感測器10是配置在流體的質量流量之測量場所的配管3內，將對應在配管3內流動的流體的質量流量的感測器訊號輸出至控制裝置2。流量感測器10為具有一面及與其相反側之另一面的矩形的平板狀。流量感測器10是以沿著圓筒狀的配管3的內面呈彎曲的狀態，透過未圖示的黏著層，黏著於配管3的內面。

配管3與在配管3內流動的流體比較，係以熱移動困難的材料的樹脂構成。

如第2A、2B圖表示，流量感測器10是以具有上面10a及其相反側的下面10b的多層基板構成。以下，也稱流量感測器10為多層基板10。上面10a與下面10b是分別對應流量感測器10的一面與另一面。

該流量感測器10是在一個多層基板10內形成有第1、第2感測部11、12及加熱部13。第1、第2感測部11、12及加熱部13是在與多層基板10的上面10a及下面10b平行的方向，依第1感測部11、加熱部13、第2感測部12的順序排列配置。流量感測器10是在與流體的流動方向D1、D2平行的方向，將第1感測部11與第2感測部12定位於加熱部13兩側地配置在流體的質量流量的測量處的配管3內。並且，本實施形態中，第1、第2感測部11、12及加熱部13雖是排列在與多層基板10的上面10a及下面10b的方向，但嚴格為不成平行，只要在沿著多層基板10的上面10a及下面10b的方向排列配置即可。

第1、第2感測部11、12是分別在與多層基板10的上面10a及下面10b垂直的方向形成有對應通過多層基板10內部之熱流的大小的電動勢，即產生電壓的熱電轉換元件。換言之，第1、第2感測部11、12分別形成有產生對應多層基板10的上面10a與下面10b的溫差之電動勢的熱電轉換元件。

再者，本實施形態中，形成於第1、第2感測部11、12的熱電轉換元件是分別對應專利申請範圍記載的第1、第2熱電轉換元件。又，本實施形態中，第1、第2感測部11、12是分別對應形成有專利申請範圍記載的第1、第2熱電轉換元件的區域。又，流量感測器10的上面10a之中第1感測部11的區域是對應位於專利申請範圍記載之感測器的一面的第1區域，流量感測器10的下面10b的第1感測部11的區域是對應感測器之中與第1區域不同位置的第2區域。同樣，流量感測器10的上面10a之中第2感測部12的區域是對應位於專利申請範圍記載之感測器的一面的第1區域，流量感測器10的下面10b的第2感測部12的區域是對應感測器之中與第1區域不同位置的第2區域。

又，第1、第2感測部11、12是構成藉相同方向之熱流產生的電動勢的極性成為相反的關係。本實施形態中，第1感測部11是如第2B圖中的箭頭表示，在通過內部的熱流的方向向上時，構成以第1感測部11產生的電動勢(電壓)成為正的值。另一方面，第2感測部12是如第2B圖中的箭頭表示，在通過內部的熱流的方向向下時，構成以第2感測部12產生的電動勢(電壓)成為正的值。

再者，本實施形態中，第1、第2感測部11、12，其形狀及大小相同，從加熱部13的距離相同。亦即，第1、第2感測部11、12是通過與流量感測器10的上面10a平行的方向的加熱部13的中心，具有以和上面10a垂直的加熱部13的中心線為基準的線對稱的關係。

並且，第1、第2感測部11、12是如第2A圖中的虛線表示，成串聯電連接，電連接於控制裝置2。再者，第2A圖中的虛線是表示配線。藉此，結合第1、第2感測部11、12的各電動勢的總電動勢是從流量感測器10朝向控制裝置2輸出。

加熱部13是產生溫熱的熱源體，本實施形態是藉鎳鉻電熱線等通電而發熱的電熱線所構成。加熱部13是與控制裝置2電連接。

控制裝置2是例如微電腦、作為記憶手段的記憶體，其周邊電路所構成的電子控制裝置。控制裝置2是根據從流量感測器10輸出的感測訊號(電動勢)，具有進行流體的質量流量之運算處理的運算部的功能。又，控制裝置2也具有作為控制加熱部13的動作與停止之控制部的功能。

接著，針對流量感測器10的具體的內部構造說明。

如第3圖表示，流量感測器10是由：絕緣基材100；配置在絕緣基材100的表面100a的表面保護構件110；及層疊有配置在絕緣基材100的裏面100b的裏面保護構件120成一體化的多層基板所構成。絕緣基材100、表面保護構件110及裏面保護構件120是以聚醚醚酮(PEEK)、聚醚醯亞胺(PEI)、液晶聚合物(LCP) 等為代表的平面矩形的熱塑性樹脂薄膜所構成。如上述，本實施形態的流量感測器10為複數層疊著以熱塑性樹脂所構成的絕緣層，具有撓性。因此，可在以對應圓筒狀的配管3的內面彎曲的狀態，將流量感測器10黏著於配管3的內面。

第1感測部11與第2感測部12是在絕緣基材100形成有貫穿其厚度方向之複數的第1、第2通孔101、102。複數第1、第2通孔101、102雖未圖示，但是在絕緣基板100的平面方向彼此不同地形成鋸齒狀。再者，第1感測部11的構造與第2感測部12的構造是以加熱部13為基準的線對稱的關係，基本的構造為相同。

並且，在第1通孔101配置有第1層間連接構件130，在第2通孔102配置有第2層間連接構件140。亦即，在絕緣基板100，配置使第1、第2層間連結構件130、140成為彼此不同。

第1、第2層間連接構件130、140是彼此以不同的導電體構成可發揮溫差電動勢效應。導電體為金屬或半導體的導電性材料。因此本實施形態中，第1、第2層間連接構件130、140是對應伸請專利範圍記載的第1、第2導電體。

例如，第1層間連接構件130是以固相燒結構成P型的Bi-Sb-Te合金的粉末來維持燒結前之複數金屬原子的結晶構造的金屬化合物所構成。又，第2層間連接構件140是以固相燒結構成N型的Bi-Te合金的粉末來維持燒結前之複數金屬原子的結晶構造的金屬化合物所構成。

表面保護構件110在與絕緣基材100相對的一面110a側形成有使圖案形成後的複數表面圖案111彼此分離的銅箔等。並且，各表面圖案111是分別與第1、第2層間連接構件130、140適當形成電連接。

具體是如第3圖表示，設鄰接的一個第1層間連接構件130與一個第2層間連接構件140為一個組150時，各組150的第1、第2層間連接構件130、140是與相同的表面圖案111連接。亦即，各組150的第1、第2層間連接構件130、140是透過表面圖案111形成電連接。

在裏面保護構件120與絕緣基材100相對的一面120a側形成有使圖案形成後的複數裏面圖案121彼此分離的銅箔等。並且，各裏面圖案121是分別與第1、第2層間連接構件130、140適當形成電連接。

具體是如第3圖表示，在相鄰的兩個組150中，將一方的組150的第1層間連接構件130與另一方的組的第2層間連接構件140與相同的裏面圖案121連接。亦即，跨各組150將第1、第2層間連接構件130、140透過相同的裏面圖案121形成電連接。

如上述，將各組150成串聯連接，並如第2A圖中的虛線表示，反復迴折，配置在多層基板內。再者，一組彼此連接的第1、第2層接連接構件130、140是構成一個熱電轉換元件。但是，第1、第2感測部11、12是分別具備串聯連接後的複數熱電轉換元件。又，形成於第1感測部11的熱電轉換元件為第1熱電轉換元件，形成於第2感測部12的熱電轉換元件為第2熱電轉換元件。

多層基板中的加熱部13是在絕緣基材100的內部埋設電熱線13a。並在多層基板的加熱部13之下，形成有跨加熱部13的裏面圖案121。藉此裏面圖案121，串聯連接第1感測部11的第1、第2層間連接構件130、140與第2感測部12的第1、第2層間連接構件130、140。

以上為本實施形態之流量感測器10的基本構成。該流量感測器10是在多層基板10的第1、第2感測部11、12的各領域中，將彼此連接的第1、第2層間連接構件130、140的上端側定位在多層基板10的上面10a側，將下端側定位在多層基板10的下面10b側。因此，在多層基板10的第1感測部11的區域中，一旦在多層基板10的兩面10a、10b產生溫差時，在第1感測部11的交替串聯連接的第1、第2層間連接構件130、140會產生對應其溫差的電動勢。同樣，在多層基板10的第2感測部12的區域中，一旦在多層基板10的兩面10a、10b產生溫差時，在第2感測部12的交替串聯連接的第1、第2層間連接構件130、140會產生對應其溫差的電動勢。

又，本實施形態是如上述，在第1、第2通孔101、102內配置第1、第2層間連接構件130、140，因此適當變更第1、第2通孔101、102的數量或直徑、間隔等，可使第1、第2層間連接構件130、140成為高密度化。藉此，可增大以交替串聯連接的第1、第2層間連接構件130、140產生的電動勢，以使得第1、第2感測部11、12高感度化。

又，如上述，形成第1、第2層間連接構件130、140的金屬是燒結複數金屬原子以維持該金屬原子的結晶構造的狀態的燒結合金。藉此，可增大以交替串聯連接之第1、第2層間連接構件130、140產生的電動勢，以使得第1、第2感測部11、12高感度化。

又，如上述，第1感測部11的構造與第2感測部12的構造是以加熱部13為基準的線對稱的關係。亦即，第1層間連接構件130與第2層間連接構件140的連接順序是成為相反的關係。因此，第1感測部11與第2感測部12中，產生的電動勢的極性成為相反。

接著，針對上述流量感測器10的製造方法一邊參閱第4圖一邊說明。

首先，準備第4(a)圖表示的絕緣基材100。這是形成如下。

準備埋入有電熱線13a的絕緣基材100，藉鑽孔機或雷射等形成複數第1通孔101。接著，對各第1通孔101填充第1導電性糊131。再者，朝第1通孔101填充第1導電性糊131的方法(裝置)可採用本申請人的日本特願2010-50356號記載的方法(裝置)。

簡單說明時，雖未圖示，但透過吸附紙在保持台上配置裏面100b與吸附紙相對的絕緣基材100。並且，一邊將第1導電性糊131熔融，並在第1通孔101內填充第1導電性糊131。藉以使第1導電性糊131的有機溶劑大部份吸附在吸附紙上，將合金的粉末密接並配置於第1通孔101。

再者，吸附紙只要是可吸附第1導電性糊131的有機溶劑的材質即可，使用一般的上等紙等。又，第1導電性糊131是使用將金屬原子維持著預定的結晶構造的Bi-Sb-Te合金的粉末添加於熔點為43℃的石蠟等的有機溶劑後糊化。因此，在填充第1導電性糊131時，以將絕緣基材100的表面100a加熱至約43℃的狀態進行。

接著，在絕緣基材100藉鑚孔機或雷射等形成複數第2通孔102。該第2通孔102是如上述，成為與第1通孔101彼此不同，形成與第1通孔101一起構成鋸齒狀圖案。

接著，在各第2通孔102填充第2導電性糊141。該步驟是與填充第1導電性糊131的步驟同樣地進行。亦即，雖未圖示，但透過吸附紙在保持台上配置絕緣基材100使得裏面100b與吸附紙相對之後，在第2通孔102內填充第2導電性糊141。藉此，使第2導電性糊141的有機溶劑的大部份被吸附於吸附紙，將合金的粉末密接配置在第2通孔102。

第2導電性糊141是使用將與構成第1導電性糊131的金屬原子不同的金屬原子維持著預定的結晶構造的Bi-Te合金的粉末添加於熔點為常溫的硫醇等有機溶劑後糊化。亦即，構成第2導電性糊141的有機溶劑是使用比構成第1導電性糊131的有機溶劑熔點低的溶劑。並且，在填充第2導電性糊141時，以將絕緣基材100的表面100a保持在常溫的狀態進行。換言之，以將包含在第1導電性糊131的有機溶劑固化的狀態，進行第2導電性糊141的填充。藉此，可抑制第2導電性糊141混入第1通孔101。

再者，包含於第1導電性糊131的有機溶劑固化的狀態是指在填充第1導電性糊131的步驟中，不吸附於吸附紙而殘留在第1通孔101的有機溶劑。

又，準備第4(b)、(c)圖表示的表面保護構件110及裏面保護構件120。該等是如以下形成。在表面保護構件110及裏面保護構件120之中與絕緣基材100相對的一面110a、120a形成銅箔等。並且，將此銅箔適當施以圖案，藉此對表面保護構件110及裏面保護構件120，形成彼此分離之複數表面圖案111及彼此分離之複數裏面圖案121。

之後，如第4(d)圖表示，依序層疊裏面保護構件120、絕緣基材100、表面保護構件110而形成層疊體170。將此層疊體170配置在未圖示的一對壓板之間，從層疊方向的上下兩面以真空狀態一邊加熱並加壓，藉以使層疊體一體化。具體是將第1、第2導電性糊131、141固相燒結形成第1、第2層間連接構件130、140，並連接第1、第2層間連接構件130、140與表面圖案111及裏面圖案121一邊加熱並加壓使層疊體170成一體化。

再者，尤其不加以限定，但是也可於層疊體170一體化時，在層疊體170與壓板之間配置岩綿紙等的緩衝材。如以上說明，製造上述流量感測器10。

接著，針對本實施形態的質量流量計1之流體的質量流量的測量方法，使用第5、6圖進行說明。並且，第5、6圖是對應第2B圖的圖。

在流體的質量流量的測量時，使加熱部13動作後加熱。以下是說明在配管3內無流體流動的狀態時，及在配管3內有流體流動的狀態時之流量感測器10的狀態。無流體流動的狀態是雖存在有流體，但流體的質量流量為0的狀態，為流體無流量變化的狀態。有流體流動的狀態是流體的質量流量的絕對值比0大的狀態，流體的質量流量與0的狀態比較為引起流體的流量變化的狀態。

如第5圖表示，在無流體流動的狀態時，傳遞來自加熱部13的熱，對存在於流量感測器10的上面10a側的流體形成有以第5圖中的等溫線表示的溫度分佈，並對流量感測器10的下面10b側的配管3形成有以第5圖中的等溫線表示的溫度分佈。流量感測器10的上面10a是成為對應流體的溫度分佈的溫度，流量感測器 10的下面10b是成為對應配管3的溫度分佈的溫度。

此時，從加熱部13對流體及配管3釋出的熱均等地傳遞至夾持加熱部13的兩側，因此流體及配管3的溫度分佈在夾持加熱部13的兩側相同。又，本實施形態是流體一方較配管3更容易傳遞熱，因此流體的溫度分佈與配管3的溫度分佈不同。具體比較流量感測器10的上面10a與下面10b之從加熱部13的距離相同的位置彼此的溫度時，流體測的上面10a一方較配管3側的下面10b溫度變得更高。

因此，第1、第2感測器11、12的任一方，上面10a皆成為高溫側，下面10b皆成為低溫側，上面10a與下面10b的溫差相同。因此，以相同方向且相同大小的熱流在第1、第2感測器11、12的內部流動。因此，第1感測部11產生的電動勢與第2感測部12產生的電動勢為相同大小但正負的極性不同，所以兩者結合時彼此抵銷，從流量感測器10輸出的總電動勢成為0。

如第6圖表示，有流體流動的狀態時與無流體流動的狀態時比較，流體感測器10的上面10a側的流體的溫度分佈會變化。亦即，流體沿著流量感測器10的上面10a流動時，如第6圖中的等溫線表示，藉著來自加熱部13的熱使得成為高溫的流體的高溫部朝著流體流動方向D1位移。第6圖中，流體的流動方向D1為右方向，因此流體之中80℃的高溫部較無流體流動的狀態時更向右側位移。並且，在流體不在流量感測器10的下面 10b側流動，所以位在流量感測器10的下面10b側的配管3的溫度分佈並無變化，或其變化小。

為此，如第6圖表示，在比加熱部13流體流動之下游側的第2感測部12是上面10a成為高溫側，下面10b成為低溫側，第6圖中以箭頭表示向下的熱流為通過第2感測部12。又，上面10a與下面10b的溫差變得比無流體流動的狀態時更大。因此，第2感測部12產生的電動勢成為正，電壓值比無流體流動狀態時變得更大。

另一方面，在比加熱部13流體流動的上游側的第1感測部11是上面10a成為低溫側，下面10b成為高溫側，第6圖中以箭頭表示向上的熱流為通過第1感測部11。因此，第1感測部11產生的電動勢與無流體流動狀態時的電動勢成為相反的正。

此結果，第1感測部11產生的電動勢與第2感測部12產生的電動勢結合後的正的總電動勢被從流量感測器10輸出。此時，多層基板10的上面10a之第1、第2感測部11、12的區域的溫度與流體的質量流量之間具有一定的關係。因此，從流量感測器10輸出的總電動勢與流體的質量流量之間具有一定的關係。因此，控制裝置2是根據從流量感測器10輸出的總電動勢的大小，及其總電動勢的大小與流體的質量流量的關係來運算流體的質量流量。如上述，可測量流體的質量流量。再者，從流量感測器10輸出的總電動勢與流體的質量流量的關係是預先藉實驗等求得，預先記憶於控制裝置2的記憶體。

如以上的說明，本實施形態的流量感測器10是一邊將裏面保護構件120、絕緣基材100、表面保護構件110加熱並加壓呈一體化所製造的構造，中間填滿的實心的構造體。因此，本實施形態的流量感測器10不存在有如習知流動感測器具有的隔膜正下方空間之大的空間，因此較具有隔膜構造的感測器破損更為困難。並且，在此所謂實心的構造體是意味著不存在有如習知流動感測器具有的隔膜正下方空間之大空間的中間填滿的構造體。但是，並非意味著排除形成於構成感測器的各構成構件間之具有小的間隙的構造體。

在此，比較本實施形態之流量感測器10的設置狀態與第7、8圖表示比較例1之流量感測器10的設置狀態。比較例1是將上述流量感測器10設置在配管3內的內部，使流量感測器10的上面10a與下面10b的兩面與在配管3的內部流動的流體接觸。

比較例1是在無第7圖表示之流體流動的狀態時，如第7圖中的等溫線，流量感測器10的上面10a側與下面10b側的流體的溫度分佈為相同。因此，第1、第2感測部11、12的任一方，上面10a與下面10b之從加熱部13的距離相同的位置彼此的溫度皆相同，內部不產生熱流，因此不產生電動勢。

又，比較例1在具有第8圖表示之流體流動的狀態時，流體也在流量感測器10的上面10a側與下面10b側流動，因此如第8圖中的等溫線，流量感測器10 的上面10a側與下面10b側的流體的溫度分佈為相同。因此，第1、第2感測部11、12的任一方，上面10a與下面10b之從加熱部13的距離相同的位置彼此的溫度皆相同，內部不產生熱流，因此不產生電動勢。如上述，流體在流量感測器10的兩面10a、10b側流動的場合，與無流體流動的狀態比較，在第1、第2感測部11、12分別之上面10a與下面10b的溫差不產生變化。因此，比較例1不能測量流體的質量流量。

相對於此，本實施形態中，與測量對象的流體比較在熱移動困難的配管3的內面黏著流量感測器10的下面10b。亦即，本實施形態是在流量感測器10的下面10b，與流體比較以在熱移動困難的配管3存在的狀態，將流量感測器10設置於配管3。

藉此，在有流體流動的狀態時，流量感測器10的上面10a側是相對於藉流體流動在流體流動的方向有來自加熱部13之熱的流動，流量感測器10的下面10b側與上面10a側比較，成為可抑制從加熱部13之熱的移動的狀態。其結果，有流體流動的狀態時與無流體流動的狀態時比較，可在第1、2感測部11、12的各上面10a與下面10b的溫差產生變化。其結果，根據本實施形態，可依據對應第1、2感測部11、12的各上面10a與下面10b的溫差之電動勢的總計，測量流體的質量流量。

又，本實施形態的流量感測器10是在加熱部13的兩側具有第1、第2感測部11、12，第1、第2感測部11、12是構成與相同方向之熱流產生的電動勢的極性不同，並在多層基板的內部成為電串聯連接的構成。

在此，流體感測器10，也可採用僅有第1、第2感測部11、12之一方的構成。即使此一場合，有流體流動的狀態時，第1、第2感測部11、12的任一方與無流體流動的狀態比較上面與下面的溫差有變化(參閱第5、6圖)，即使僅根據第1、第2感測部11、12之一方的電動勢，仍可測量流體的質量流量。

但是，由於以下的理由，以本實施形態的流量感測器10的一方為佳。亦即，本實施形態的流量感測器10是如上述，在有流體流動的狀態時，從第1、第2感測部11、12會產生相同極性的電動勢，將雙方的電動勢一起輸出。因此，根據本實施形態，和僅具有第1、第2感測部11、12之一方的構成的流量感測器比較，可增大流量感測器10輸出的電動勢，亦即可增加感度。

並且，也可構成與本實施形態的流量感測器10不同，藉第1、第2感測部11、12相同方向的熱流產生之電動勢的極性成為相同。此時，也可串聯連接第1、第2感測部11、12，或使兩者獨立與控制裝置2形成電連接。

但是，第1、第2感測部11、12是以相同方向的熱流產生之電動勢的極性成為相同的方式構成，兩者串聯連接的流量感測器是使流體的流動方向以順向與逆向，且從流量感測器所輸出的電壓值的極性相同。因此，在流體的流動方向順向與逆向交替的場合，即不能特定流體的流動方向。

相對於此，本實施形態的流量感測器10在使流體的流動方向順向與逆向交替的場合，從流量感測器10所輸出的電壓值的極性不同。因此，從所輸出電壓值的極性，可特定流體的流動方向為順向或逆向。

並且，與本實施形態的流量感測器10不同，流量感測器僅具有第1、第2感測部11、12之一方的場合，或第1、第2感測部11、12構成藉相同方向的熱流產生的電動勢的極性相同的場合，會有不能消除因周圍環境的溫度變化產生之熱流變化的問題產生。例如，因直射日光使得配管3內的溫度上升時，即使是無流體流動狀態，由於通過流量感測器的熱流變化，而會使得從流量感測器輸出的電動勢變化。因此，流體的質量流量的測量結果會產生誤差。

相對於此，本實施形態的流量感測器10中，即使因周圍環境的溫度變化對通過第1、第2感測部11、12的熱流產生變化，由於其變化相同，結合第1、第2感測部11、12產生的電動勢，即可消除熱流的變化量。藉此，可提升流體的質量流量之測量結果的精度。

並且，本實施形態的流量感測器10，針對較習知的流動感測器破損更為困難一點，說明如下。

習知的流動感測器是以感測用電阻來檢測伴隨流體流動的熱移動之隔膜表面的溫度變化。為此，由於感測用電阻受到隔膜的熱容量的影響小，因而使隔膜盡可能地較薄。換言之，伴隨流體流動的熱移動產生時，隔膜整體，即隔膜的一面與另一面的雙方成為相同溫度的一側，可高感度檢測出伴隨流體流動的熱移動之隔膜表面的溫度變化。

另一方面，本實施形態的流量感測器10是以第1、第2熱電轉換元件11、12來檢測流動於伴隨著流體流動的熱移動產生的基板厚度方向之熱流的變化。此時，基板的兩面即使成為相同的溫度時，不會有流動於基板厚度方向的熱流產生。因此，本實施形態的流量感測器10不需有如習知的流動感測器的隔膜，將基板的厚度變薄的必要。並且，在此所謂的基板是意味著具有一面與其相反側之另一面的板狀的流量感測器10本體。

因此，本實施形態的流量感測器10為不存在有如習知之流動感測器在薄隔膜及隔膜的正下方有大的空間的構造，較習知的流動感測器破損更為困難。

(第2實施形態)

本實施形態是針對第1實施形態，變更流量感測器10對配管3的設置方法。

如第9圖表示，流量感測器10是以載放於平板狀的剛體4的表面上的狀態，設置於配管3的內部。流量感測器10的下面與剛體4的上面是透過未圖示的黏著層來黏著。剛體4是藉未圖示的固定手段固定於配管3。

剛體4是比流體感測器10的剛性高，用於支撐流量感測器10的支撐構件。又，剛體4與流體比較為熱流動困難的構件。因此，剛體4是以剛性較流量感測器10高，且熱移動較流體困難的樹脂等構成。並且，剛體4在兩方向的大小較流量感測器10大。

本實施形態中，也是在流量感測器10的下面設置與測量對象的流體比較熱流動困難的剛體4，因此與第1實施形態同樣，有流量的狀態時與無流體流動時比較，在第1、第2感測部11、12分別的上面10a與下面10b產生溫差的變化，可測量流體的質量流量。

又，配管3是以金屬等的熱移動容易的材料構成的場合，將流量感測器10直接貼於配管3的內面時，會使得第1、第2感測部11、12分別的上面10a與下面10b的溫差變小。對此，根據本實施形態，可解決以上的問題。

(第3實施形態)

如第10圖表示，流量感測器10是在其下面黏著有平板5，並在其側面黏著有棒形的剛體6。流量感測器10是以支撐於剛體6的狀態，設置在配管3的內部。平板5及剛體6是透過未圖示的黏著層與流量感測器10黏著。剛體6是藉未圖示的固定手段固定於配管3。

平板5與流體比較為熱移動困難的構件，以樹脂等構成。剛體6是與第2實施形態的剛體4同樣，剛性比流量感測器10高，用於支撐流量感測器10的支撐構件。

本實施形態中，也是在流量感測器10的下面設置與測量對象的流體比較熱流動困難的平板5，因此與第1實施形態同樣，有流量的狀態時與無流體流動時比較，在第1、第2感測部11、12分別的上面10a與下面10b產生溫差的變化，可測量流體的質量流量。

(第4實施形態)

本實施形態是如第11A、11B圖表示，在具有開口部7a的薄片狀的彈性體7的表面上配置流量感測器10。此時，使流量感測器10的一部份與開口部7a相對。彈性體7為可彈性變形，例如，以PET等的樹脂構成。彈性體7具有良好的熱傳導，形成較薄。

並且，如第11C、11D圖表示，流量感測器10與薄片狀的彈性體7是以將流量感測器10的搭載面朝向配管3的內面側，並沿著配管3的內面彎曲的狀態，配置在配管3的內部。

在此，彈性體7在與配管3的內周圍方向對應之寬方向的長度是比配管3的直徑長。因此，藉著從彎曲的狀態回到平坦狀態的彈性體7的恢復力，將彈性體7固定在配管3的內面。藉此，將流量感測器10的下面(參閱第2B圖)與配管3的內面接觸，並藉著彈性體7將流量感測器10固定於配管3。因此，根據本實施形態，可牢固地將流量感測器10固定於配管3，可不需用於將配管3固定在流量感測器10之對配管3側的加工。

又，根據本實施形態，藉開口部7a使流量感測器10露出，因而可使流量感測器10與流體接觸。因此，可防止被彈性體7所包覆之流量感測器10感度降低。

(第5實施形態)

本實施形態是在第4實施形態說明的薄片狀的彈性體7的表面上，除流量感測器10並配置無線單元8與熱電轉換模組9，與無線單元8與熱電轉換模組9一起將流量感測器10設置於配管3。

無線單元8是將由流量感測器10輸出的感測訊號朝著控制裝置2無線送訊的無線送訊手段，具備無線送訊用的送訊部等。

熱電轉換模組9是將流動於配管3的內部的流體與配管3的溫差產生的電力，供應至流量感測器10之加熱部13的供電手段。熱電轉換模組9為串聯連接複數熱電轉換元件之用。可使用與流量感測器10之第1、第2感測部11、12相同的構造物作為熱電轉換模組9。

但是，以配線連接設置在配管3內部的流量感測器10與配管3的外部的控制裝置2的場合，為將配線從配管3的內部取出至外部，例如有在配管3開設配線設置用的孔的必要。

對此，根據本實施形態，藉無線送訊將流量感測器10的感測訊號輸出至控制裝置2，並從設置在配管3內部的熱電轉換模組9供電至加熱部13，因此沒有將配線從配管3的內部取出至外部的必要，可不需在配管3開設配線設置用的孔。

(第6實施形態)

本實施形態是在第1實施形態的流量感測器10中，變更加熱部13的位置。第1實施形態中，加熱部13雖是位在與多層基板10的上面10a及下面10b垂直方向的中央部，但本實施形態中，加熱部13是位在多層基板10的上面10a。

亦即，如第13圖表示，本實施形態中，加熱部13是藉通電而發熱的電阻13b所構成。該電阻13b是設置於表面保護構件110。電阻13b是從表面保護構件110露出。

(第7實施形態)

如第14圖表示，本實施形態是在第1實施形態的流量感測器10中，將加熱部13變更為熱電元件部14。熱電元件部14是產生溫熱與冷熱雙方的熱源體。熱電元件部14是和第1、第2感測部11、12一起形成於一個多層基板10。

如第15圖表示，熱電元件部14是與第1感測部11相同的構造。亦即，在熱電元件部14形成有彼此連接的第1、第2層間連接構造130、140。彼此連接的第1、第2層間連接構造130、140構成熱電元件。彼此連接的第1、第2層間連接構造130、140一旦供電時，如第16圖表示，多層基板10的上面10a側會發熱，多層基板10的下面10b側則會吸熱。

再者，本實施形態的流量感測器10是在第1實施形態說明的流量感測器10的製造方法中，在成為多層基板10的熱電元件部14的區域，係與第1感測部11相同的構造，以形成與第1感測部11電性獨立地加以變更製造。

又，本實施形態的流量感測器10是配置在配管3的內部，以使得流量感測器10的上面10a與下面10b的兩面和流動於配管3內部的流體接觸。例如，在第10圖表示的剛體6與流量感測器10的側面黏著的狀態下，設置於配管3的內部。再者，此時，不將第10圖表示的平板5黏著於流量感測器10的下面10b。

並且，如第16圖表示，在流體的質量流量的測量時，使熱電元件部14動作，將溫熱釋出於流量感測器10的上面10a側的流體，並將冷熱釋出於流量感測器 10的下面10b側的流體。

在無流體流動的狀態時，如以第16圖中的等溫線表示，流量感測器10的上面10a側的流體形成有越接近熱電元件部14溫度越高的溫度分佈，流量感測器10的上面10a側的流體形成有越接近熱電元件部14溫度越低的溫度分佈。

此時，從熱電元件部14對上面10a側、下面10b側的流體釋出的熱均等地傳遞至夾著加熱部13的兩側，上面10a側、下面10b側的流體的溫度分佈是與夾著熱電元件部14的兩側相同。

因此，第1、第2感測部11、12的任一方，上面10a側成為高溫側，下面10b成為低溫側，上面10a與下面10b的溫差相同，因此有相同方向相同大小的熱流在第1、第2感測部11、12的內部流動。因此，第1感測部11產生的電動勢與第2感測部12產生的電動勢為相同大小但正負的極性不同，兩者結合時會抵銷，從流量感測器10輸出的電動勢成為0。

如第17圖表示，有流體流動的狀態時和無流體流動的狀態時比較，流量感測器10的上面10a側及下面10b側的流體的溫度分佈有變化。亦即，如以第17圖中的等溫線表示，與無流體流動的狀態時比較，流量感測器10的上面10a側的流體中50℃的高溫部會朝著流體的流動方向D1位移，並且流量感測器10的下面10b側的流體中5℃的低溫部會朝著流體的流動方向D1位移。

因此，在較熱電元件部14位於流體流動之下游側的第2感測部12與無流體流動的狀態時比較，上面10a與下面10b的溫差會增大成為45℃的區域，使第2感測12整體的上面10a與下面10b的溫差的平均值增大。亦即，如第17圖中的箭頭表示，與在無流體流動的狀態時比較，會使得通過第2感測部12的熱流的大小增大。因此，第2感測部12產生的電動勢成為正，較無流體流動的狀態時電壓值變得更大。

另一方面，在較熱電元件部14位於流體流動的上游側的第1感測部11與無流體流動的狀態時比較，上面10a與下面10b的溫差會減少成為45℃的區域，使第2感測部12整體的上面10a與下面10b的溫差的平均值降低。因此，第2感測部12產生的電動勢為負，較無流體流動的狀態時電壓值的絕對值變得更小。

其結果，結合第1感測部11產生的電動勢與第2感測部12的電動勢的正的電動勢被從流量感測器10輸出。

如上述，根據本實施形態，使用熱電元件部14，在流體的流量變化產生時，在較熱電元件部14位於流體流動的上游側與下游側，可使流量感測器10的上面10a與下面10b的溫差變化。藉此，如第1~第4實施形態，即使熱移動困難的構件不與流量感測器10的下面10b接觸，仍可測量流體的質量流量。並且，本實施形態也可如第1~第4實施形態，將流量感測器10設置在測量處以使得熱移動困難的構件成為與流量感測器10的下面10b接觸的狀態。

又，根據本實施形態，在流體的流動開始隨後，如第17圖表示，流量感測器10的上面10a側的流體中50℃的高溫部會朝著流體的流動方向D1位移，並且流量感測器10的下面10b側的流體中5℃的低溫部會朝著流體的流動方向D1位移，因此可從流體的流動開始隨後測量流體的質量流量。

(第8實施形態)

本實施形態是對第1實施形態變更流量感測器的構造。本實施形態的流量感測器20是如第18、19、20A、21A圖表示，將形成於多層基板的熱電轉換元件的一端側部份與另一端側部份以和多層基板的表面平行的方向，分別配置在加熱部240的兩側。

具體而言，流量感測器20是如第20A、21A圖表示，層疊：第1絕緣層210；配置在第1絕緣層210的表面210a的第2絕緣層220；配置在第2絕緣層220的表面220a的表面保護膜層270；及配置在第1絕緣層210的裏面210b的裏面保護膜層280成一體化的多層基板所構成。第1絕緣層210、第2絕緣層220、表面保護膜層270、裏面保護膜層280是和第1實施形態的絕緣基材100、表面保護構件110及裏面保護構件120同樣，以熱塑性樹脂薄膜所構成。

在第2絕緣層220的表面220a配置有第1連接用圖案231、加熱部240及第2連接用圖案232。第1連接用圖案231與第2連接用圖案232是將銅箔等的膜狀導體圖案形成。加熱部240為釋出溫熱的熱源體，以電熱線或薄膜電阻構成。

如第18圖表示，加熱部240是朝一方向形成長延伸的形狀。第1連接用圖案231是配置在夾著加熱器240兩側的一方，即第18圖中的上側，並沿著加熱部24的長方向彼此分開地配置複數個。同樣地，第2連接用圖案232是配置在夾著加熱器240兩側的另一方，即第18圖中的下側，並沿著加熱部24的長方向彼此分開地配置複數個。再者，本實施形態中，從與加熱部240的長方向垂直的方向的加熱部240到第1連接用圖案231為止的距離與從加熱部240到第2連接用圖案232為止的距離相同。

又如第20A、21A圖表示，在第1絕緣層210的裏面210b形成有薄膜狀的P型元件250與薄膜狀的N型元件260。P型元件250與N型元件260是分別與第1施形態說明的第1、第2層間連接構件130、140對應。

如第18、19圖表示，一個P型元件250與一個N型元件260皆是由一端側延伸至另一端側，以使其一端側部份與另一端側部份位在夾著加熱部240的兩側的形狀。並且，第19圖為第18圖中的多層基板之裏側的上視圖，與第18圖成上下相反。並且，P型元件250與N型元件260是沿著加熱部240的長方向交替配置複數個。

又，相鄰的一個P型元件250與一個N型元件260，其一端側部份皆是與共同的第1連接用圖案231連接。藉此，連接一個P型元件250與一個N型元件260。又，相鄰的一個P型元件250與一個N型元件260，與共同的第1連接用圖案231不連接的是其他端側部份與共同的第2連接用圖案232連接。藉此，以彼此連接的P型元件250與N型元件260為一組，串聯連接複數組的P型元件250與N型元件260。本實施形態中，一組彼此連接的P型元件250與N型元件260是構成一個熱電轉換元件。因此，流量感測器20具備串聯連接的複數熱電轉換元件。

並且，如第20A圖表示，一個P型元件250與第1連接用圖案231的連接是透過第1、第2絕緣層210、220之中形成於第1連接用圖案231正下方的通孔211、221來進行。同樣地，一個P型元件250與第2連接用圖案232的連接是透過第1、第2絕緣層210、220之中形成於第2連接用圖案232正下方的通孔212、222來進行。

又如第21A圖表示，一個N型元件260與第1連接用圖案231的連接是透過第1、第2絕緣層210、220之中形成於第1連接用圖案231正下方的通孔211、221來進行。同樣地，一個N型元件260與第2連接用圖案232的連接是透過第1、第2絕緣層210、220之中形成於第2連接用圖案232正下方的通孔212、222來進行。

以上為本實施形態之流量感測器20的基本構成。該流量感測器20中，彼此連接的P型元件250與N型元件260的一端側部份是夾著加熱部240兩側的一方而離開加熱部240配置，連接的P型元件250與N型元件260的另一端側部份則是夾著加熱部240兩側的另一方而離開加熱部240配置。因此，在夾著流量感測器20的加熱部240兩側的部份產生溫差時，在彼此連接的P型元件250與N型元件260，會有對應其溫差之電動勢的產生。

接著，針對本實施形態的流量感測器20的製造方法說明。

如第20B、21B圖表示，準備：形成有P型元件材料251、N型元件材料261的圖案的第1絕緣層210；將P型元件材料251、N型元件材料261填充於通孔221、222的第2絕緣層220；表面保護膜層270；及裏面保護膜層280。P型元件材料251、N型元件材料261是分別對應第1實施形態說明的第1導電性糊131、第2導電性糊141。

並且，與第1實施形態同樣地，依序層疊裏面保護膜層280、第1絕緣層210、第2絕緣層220、表面保護膜層270而形成層疊體。將此層疊體一邊加熱並加壓，藉以使層疊體一體化。此時，藉層疊體一體化時的加熱，將P型元件材料251、N型元件材料261固相燒結形成P型元件250、N型元件260。如上述，製造上述流量感測器20。

接著，針對使用本實施形態的流量感測器20之流體的質量流量的測量方法，使用第22、23圖說明。並且，第22、23圖是對應第20A圖的圖，省略第20A圖中的表面保護膜層270、裏面保護膜層280。

流量感測器20是例如配置在配管3內的內部，以使得上面20a與下面20b的兩面與在配管3的內部的流體接觸。流量感測器20的設置方法可採用以第7實施形態說明的設置方法。在以上所設置的狀態中，第1連接用圖案231是大致形成與流量感測器20的上面20a及下面20b之中與對應第1連接用圖案231的區域接觸的流體大致相同的溫度。同樣，第2連接用圖案232是大致形成與流量感測器20的上面20a及下面20b之中與對應第2連接用圖案232的區域接觸的流體大致相同的溫度。

並且，如第22圖表示，在流體的質量流量的測量時，使加熱部240動作而發熱。

在無流體流動的狀態時，藉來自加熱部240的熱傳遞，在存在於流量感測器20的上面20a側與下面20b側的兩側的流體形成有以第22圖中的等溫線表示的溫度分佈。此時，從加熱部240對流體釋出的熱被均等傳達至夾著加熱部240的兩側，因此流體的溫度分佈在夾著加熱部240的兩側為相同。又，第1連接用圖案231與第2連接用圖案232從加熱部240的距離相同。因此，第1 連接用圖案231與第2連接用圖案232是成為相同的溫度，不產生溫差。因此，在流量感測器20的熱電轉換元件不會產生電動勢。

如第23圖表示，在有流體流動的狀態時與無流體流動的狀態時比較，流體感測器20的上面20a側與下面20b側的兩側的流體的溫度分佈有變化。亦即，如以第23圖中的等溫線表示，與無流體流動的狀態時比較，流量感測器20的兩面20a、20b側的流體的高溫部會朝著流體的流動方向D1位移。此時，從上面20a與下面20b的加熱部240的距離相同的位置彼此的溫度為相同，但是較加熱部240位於流體流動之下游側的第2連接用圖案232是比較加熱部240位於流體流動之上游側的第1連接用圖案231的溫度變得更高。因此，在流量感測器20的熱電轉換元件產生對應第1連接用圖案231與第2連接用圖案232的溫差的電動勢，將此電動勢從流量感測器20輸出。如上述，在流量感測器20的熱電轉換元件產生有電動勢，該電動勢是對應上面20a、下面20b之中與第1連接用圖案231對應的區域及上面20a、下面20b之中與第2連接用圖案232對應的區域之間產生的溫差。再者，上面20a之中與第1連接用圖案231對應的區域及與第2連接用圖案232對應的區域是分別對應位於申請專利範圍記載之感測器的一面的第1區域及感測器之中與第1區域不同位置的第2區域。

此時，流量感測器20的第1連接用圖案231 及第2連接用圖案232的溫差與流體的質量流量之間具有一定的關係。因此，在從流量感測器20輸出的電動勢與流體的質量流量之間會形成一定的關係。因此，控制裝置2可根據從流量感測器20所輸出電動勢的大小，及其電動勢的大小與流體的質量流量的關係，運算流體的質量流量。如此一來，可測量流體的質量流量。

如上述，本實施形態是使用將熱電轉換元件的一端側部份與另一端側部份分別配置在加熱部240的兩側的流量感測器20，所以即使在流量感測器20的兩面20a、20b不產生溫差，只要在加熱部240的上游側與下游側的流體產生溫差，即可產生電動勢。因此，根據本實施形態，如第1~第4實施形態，即使熱移動困難的構件不與流量感測器20的下面20b接觸，仍可測量流體的質量流量。

再者，本實施形態也如第1~第4實施形態，作為使熱移動困難的構件接觸於流量感測器20的下面20b的狀態，也可以將流量感測器20設置在測量處。此時，在流量感測器20的熱電轉換元件產生電動勢，該電動勢是對應具有在從加熱部240所釋出熱的流體沿著上面20a移動時，上面20a之中位在比加熱部240上游側的第1區域，及下面20b之中位在比加熱部240下游側的第2區域之間產生的溫差的大小。並且，流體的流動方向為第18圖的流動方向D1時，第1區域為對應第1連接用圖案231的區域，第2區域為對應第2連接用圖案232的區域。

又，本實施形態中，第1連接用圖案231與第2連接用圖案232，從加熱部240的距離雖然相同，但也可以不同。此時，即使無流體流動的狀態時，第1連接用圖案231與第2連接用圖案232仍會產生溫差，所以在熱電轉換元件會產生電動勢。有流體流動狀態時和無流體流動狀態時比較，會有電動勢的變化。因此，可根據流量感測器20產生的電動勢和無流體流動狀態時之電動勢的不同，算出流體的質量流量。

(第9實施形態)

本實施形態是如第24、25、26A、27A圖表示，針對第8實施形態的流量感測器20，變更各絕緣層之層疊方向的P型元件250、N型元件260的配置。其他的構成是與第8實施形態相同。

本實施形態的流量感測器20中，P型元件250與N型元件260是配置在第1絕緣層210與第2絕緣層220之間。

本實施形態的流量感測器20是如以下所製造。如第26B、27B圖表示，準備裏面保護膜層280、第1絕緣層210、第2絕緣層220及表面保護膜層270。此時，第2絕緣層220是在表面220a形成有第1連接用圖案231與第2連接用圖案232。並且，第2絕緣層220是在通孔221、222填充有P型元件材料251及N型元件材料261，並在裏面220b形成有P型元件材料251及N型元件材料261的圖案。並且，將依序層疊著裏面保護膜層280、第1絕緣層210、第2絕緣層220及表面保護膜層270的層疊體加熱並加壓成一體化。

本實施形態也和第8實施形態同樣，可測量流體的質量流量。並且，本實施形態雖是將P型元件250與N型元件260的雙方配置在第1絕緣層210與第2絕緣層220之間。但也可以將P型元件250與N型元件260的一方配置在第1絕緣層210與第2絕緣層220之間，將P型元件250與N型元件260的另一方配置在第1絕緣層210的裏面210b。

(第10實施形態)

本實施形態是如第28、29、30A、31A圖表示，針對第9實施形態的流量感測器20，變更各絕緣層之層疊方向的第1、第2連接用圖案231、232的配置。其他的構成是與第9實施形態相同。

本實施形態的流量感測器20中，除P型元件250與N型元件260，並將第1、第2連接用圖案231、232配置在第1絕緣層210與第2絕緣層220之間。

本實施形態的流量感測器20是如以下所製造。如第30B、31B圖表示，準備裏面保護膜層280、第1絕緣層210、第2絕緣層220及表面保護膜層270。此時，在第1絕緣層210的表面210a形成有P型元件材料 251及N型元件材料261的圖案。在第2絕緣層220的裏面220b形成有第1、第2連接用圖案231、232。並在第2絕緣層220的表面220a配置有加熱部240。並且，依序層疊裏面保護膜層280、第1絕緣層210、第2絕緣層220、表面保護膜層270而形成層疊體。將此層疊體一邊加熱並加壓成一體化。

本實施形態中，同樣如第32圖表示的無流體流動時，第1、第2連接用圖案231、232並無溫差，而如第33圖表示的有流體流動時，則第1、第2連接用圖案231、232會產生溫差。因此，本實施形態中，與第8、第9實施形態同樣可測量流體的質量流量。

(第11實施形態)

本實施形態是針對測量移動體的速度的速度計說明。如第34圖表示，速度計1A具備設置在移動體30的速度感測器10及控制裝置2。

移動體30是在流體內移動。本實施形態中，移動體30為棒球用的球棒。揮動球棒時，球棒在作為流體的空氣內移動。在球棒的表面黏貼一個速度感測器10。

本實施形態的速度感測器10是與第1實施形態的流量感測器10相同的構造。因此，本實施形態的速度感測器10是與第1實施形態的流量感測器10同樣，比具有隔膜構造的感測器破損更為困難的感測器。

速度感測器10在與移動體30的移動方向D3、D4平行的方向，將第1、第2感測部11、12定位於加熱部13兩側的方式固定在移動體30。再者，針對速度感測器10與控制裝置2之電連接的配線是捲繞於移動體30，或在移動體30開孔貫穿該孔配置在移動體30的內部，將其匯整後不致造成阻礙。

接著，針對本實施形態的速度計1A的移動體30之移動速度的測量方法，使用第35、36圖說明。並且，第35、36圖是對應第5、6圖的圖。

首先，在移動體30的移動速度測量時使加熱部13動作加熱。

如第35圖表示，移動體30在停止中時，存在於速度感測器10的上面10a側的流體，本實施形態是對空氣形成有以第35圖中的等溫線表示的溫度分佈，並在速度感測器10的下面10b側的移動體30形成有第35圖中的等溫線表示的溫度分佈。此時的流體和形成在移動體30的溫度分佈是與第1實施形態說明的流體的無流量的狀態時相同。

另一方面，如第36圖表示，移動體30在移動方向D3移動時，從速度感測器10顯示，相對地，朝向移動體30之移動方向D3的相反方向，與空氣(流體)沿著速度感測器10的上面10a流動的狀態相同。因此，如以第36圖中的等溫線表示，形成於流體和移動體30的溫度分佈是與第1實施形態說明之流體的有流量的狀態時相同。

由此，速度計1A之移動體30的移動速度，基本上可藉著與第1實施形態的質量流量計1的流體之質量流量的測量時相同的方法測量。

亦即，移動體30移動時，在多層基板10的上面10a之第1、第2感測部11、12的區域會產生溫差。因此，結合流量感測器10的第1、第2感測部11、12產生的電動勢的電動勢被從速度感測器10輸出。此時，多層基板10的上面10a之第1、第2感測部11、12的區域的溫度與移動體30的移動速度之間會形成一定的關係。因此，從速度感測器10輸出的電動勢與移動體30的移動速度之間形成一定的關係。為此，控制裝置2根據速度感測器10輸出之電動勢的大小及與其電動勢的大小與移動體30的移動速度的關係，運算移動體30的移動速度。如此一來，可測量移動體30的移動速度。

因此，根據本實施形態的速度計1A，可測量揮動球棒時之球棒的擺動速度。

再者，本實施形態雖是舉棒球用的球棒作為移動體30的例，但是移動體30除了棒球用的球棒之外，也可舉高爾夫球桿、網球拍、乒乓球拍等。又，其他作為移動體30，可舉例製造設備或手臂機器人的活動部或遊戲機用的控制器等。並且，現在是利用加速度感測器的遊戲機用的控制器。利用加速度感測器雖拍打控制器即可有大的反應，但是使用本實施形態的速度感測器20的場合，實際上如不使控制器快速動作則不會有大的反應。

又，本實施形態中，作為速度感測器10雖使用與第1實施形態的流量感測器10相同的構造，但也可以使用與第2~第7實施形態的流量感測器10或第8~第10實施形態的流量感測器20相同的構造。

(其他的實施形態)

本發明不限於上述的實施形態，如下述，可在申請專利範圍記載的範圍內適當加以變更。

(1)上述的各實施形態中，熱源體雖是與構成感測器的多層基板成為一體，但熱源體和多層基板也可為另體。並且第1、第8實施形態等是使用加熱部13、240作為熱源體，但也可使用釋出冷熱的熱源體。又，第8~第10實施形態雖是使用加熱部240作為熱源體，但也可使用以第7實施形態說明的熱電元件部14。

(2)上述的各實施形態雖是根據感測器產生的電壓值，算出流體的質量流量與移動體的移動速度，但也取代電壓值，根據電流值算出。亦即，可根據熱電轉換元件產生的電壓與電流的所謂電性輸出，算出流體的質量流量與移動體的移動速度。

(3)上述各實施形態中，形成第1、第2層間連接構件130、140的金屬雖分別為Bi-Sb-Te合金、Bi-Te合金，但也可以其他的合金。又，上述各實施形態中，形成第1、第2層間連接構件130、140的金屬的雙方雖是固相燒結的燒結合金，但只要至少其中一方為固相燒結的燒結合金即可。藉此，與形成第1、第2層間連接構件130、140的金屬雙方並非固相燒結之燒結金屬的場合比較，具有大的電動勢，可獲得流量感測器及速度感測器的高感度化。

(4)第1~第6實施形態的流量感測器10是如第2A圖表示，將一個流量感測器10的構成夾著加熱部13，配置有一個熱電轉換元件11與一個熱電轉換元件12的構成，但也可以其他的構成。例如第37圖表示，將一個流量感測器10的構成在夾著加熱部13的一方側(圖中的上側)與另一方側(圖中的下側)中，在一方側配置一個熱電轉換元件11，在另一方側配置兩個熱電轉換元件12A、12B的構成。並可如第38圖表示，在夾著加熱部13的一方側配置兩個熱電轉換元件11A、11B，在另一方側配置一個熱電轉換元件12。又，如第39圖表示，也可以在夾著加熱部13的一方側配置兩個熱電轉換元件11A、11B，在另一方側配置兩個熱電轉換元件12A、12B。如上述，分別配置在夾著加熱部13的一方側與另一方側的熱電轉換元件11、12的數量為可任意變更。同樣，第7實施形態中，分別配置在夾著熱電元件部14的一方側與另一方側的熱電轉換元件11、12的數量也可任意變更。並且，第37~39圖中的熱電轉換元件11、12分別為形成在第1感測部11、第2感測部12的熱電轉換元件。又，在此的一個熱電轉換元件是串聯連接第1層間連接構件130與第2層間連接構件140所構成。

(5)第1~第6實施形態的流量感測器10是如第2A圖表示，夾著加熱部13而配置的兩個熱電轉換元件11、12的平面形狀分別為長方形，但也可以是其他的形狀。例如，將兩個熱電轉換元件11、12的平面形狀分別設成第40圖表示的梯形，或第41圖表示的圓，或第42圖表示的三角形。又，使兩個熱電轉換元件11、12的形狀並非相同的形狀，而是如第43圖表示，不同的形狀。再者，熱電轉換元件的平面形狀為熱電轉換元件的形成區域的平面形狀。亦即，在形成有第1、第2層間連接構件130、140的區域，沿著位於最外圍的第1、第2層間連接構件130、140，拉線以包圍所有的第1、第2層間連接構件130、140時，藉此線所形成的平面形狀。第7實施形態的流量感測器10也相同。

(6)第1~第7實施形態中，複數絕緣層，即絕緣基材100、表面保護構件110、裏面保護構件120分別是以熱塑性樹脂構成，也可以熱固化性樹脂、橡膠等其他的撓性材料構成。同樣，在第8~第10實施形態中，複數的絕緣層210、220、270、280也可以熱固化性樹脂、橡膠等其他的撓性材料構成。撓性材料只要是在將複數絕緣層一邊加熱並加壓時，藉熱熔敷可使複數絕緣層一體化的材料即可。

(7)第1~第7實施形態中，流量感測器10雖是層疊複數的絕緣層100、110、120的多層構造，但也可相對於一層的絕緣層(例如，絕緣基材100)形成有第1、第2導電體(例如，第1、第2層間連接構件130、140)的構造。此一場合，也可以將一層的絕緣層100與第1、第2導電體130、140一邊加熱並加壓成一體化所製造的構造。同樣，在第8~第10實施形態的流量感測器20，也可對一層的絕緣層形成有第1、第2導電體(例如，P型元件250與N型元件260)的構造。

(8)上述各實施形態中，流量感測器10、20雖是將複數的絕緣層一邊加熱並加壓成一體化所製造，但也可以其他的製造方法製造。例如，以具有黏著性的材料構成第4(a)圖表示的構造的絕緣基材100，將此絕緣基材100與表面圖案及裏面圖案黏著，製造流量感測器10。並且，也可相對於第4(a)圖表示的構造的絕緣基材100的表面與裏面，依序層疊導體圖案與絕緣層來製造第3圖表示之多層構造的流量感測器10。

又，流量感測器10、20不限於上述各實施形態的構造，只要在流量感測器的內部形成有熱電轉換元件，則也可以是其他的構造。並且，上述的其他實施形態也可運用於第11實施形態的速度感測器。

(9)上述各實施形態並非彼此毫無關係，除組合為明顯不容許之外，可加以適當組合。又，上述各實施形態中，構成實施形態的要素，除了尤其明示為必須的場合及原理上明確為必須的場合等之外，當然並非為必須。

10‧‧‧流量感測器、速度感測器(感測器)

11‧‧‧第1感測部

12‧‧‧第2感測部

13‧‧‧加熱部(熱源體)

13a‧‧‧電熱線

100‧‧‧絕緣基材

100a‧‧‧表面

100b‧‧‧裏面

101‧‧‧第1通孔

102‧‧‧第2通孔

110‧‧‧表面保護構件(絕緣層)

110a‧‧‧一面

111‧‧‧表面圖案

120‧‧‧裏面保護構件(絕緣層)

120a‧‧‧一面

121‧‧‧裏面圖案

130‧‧‧第1層間連接構件(第1導電體)

140‧‧‧第2層間連接構件(第2導電體)

150‧‧‧組

Claims

一種質量流量計，具備：感測器(10、20)，具有一面(10a)及其相反側的另一面(10b)，內部形成有熱電轉換元件，及熱源體(13、14、240)，對存在於上述一面側的流體釋出溫熱與冷熱之一方的熱，上述感測器具備：以熱塑性樹脂構成，複數層疊的絕緣層(100、110、120、210、220)，及相對於上述絕緣層而形成，以不同的導電體構成，且彼此連接的第1、第2導電體(130、140、250、260)，以將複數的上述絕緣層一邊加熱並加壓成一體化的多層基板構成，上述熱電轉換元件是以彼此連接的上述第1、第2導電體構成，並使得具有從上述熱源體釋出的熱的上述流體沿著上述一面移動時，產生對應位於上述一面的第1區域，及上述感測器中與上述第1區域不同的位置的第2區域之間產生溫差的大小的電輸出，並且，具備根據上述熱電轉換元件產生的上述輸出，及上述輸出與上述流體的質量流量的關係，運算上述流體的質量流量的運算部(2)，上述感測器具有在與上述一面平行的方向位於夾著上述熱源體的分別兩側的第1熱電轉換元件與第2熱電轉換元件作為上述熱電轉換元件，具有從上述熱源體釋出的熱的上述流體沿著上述一面移動時，上述第1熱電轉換元件是產生對應上述感測器之中形成有上述第1熱電轉換元件的區域(11)的位在上述一面的上述第1區域與位在上述另一面的上述第2區域之間產生的溫差之大小的上述輸出，並且上述第2熱電轉換元件產生對應上述感測器之中形成有上述第2熱電轉換元件的區域(12)的位在上述一面的上述第1區域與位在上述另一面的上述第2區域之間產生的溫差之大小的上述輸出，上述第1熱電轉換元件與上述第2熱電轉換元件是構成上述一面與上述另一面的高溫側與低溫側的關係相同時之上述輸出的極性不同，上述運算部是根據結合上述第1、第2熱電轉換元件產生之上述輸出的總輸出，及上述總輸出與上述流體的質量流量的關係，運算上述流體的質量流量。
如申請專利範圍第1項記載的質量流量計，其中，上述熱電轉換元件是在上述絕緣層貫穿厚度方向形成的第1、第2通孔具備埋有上述第1、第2導電體的構造。
如申請專利範圍第1項記載的質量流量計，其中，上述熱電轉換元件(250、260)在具有從上述熱源體(240)釋出的熱的上述流體沿著上述一面移動時，產生對應上述一面之中位在比上述熱源體上游側的上述第1區域，及上述一面之中位在比上述熱源體下游側的上述第2區域之間產生的溫差大小的上述輸出。
如申請專利範圍第1項記載的質量流量計，其中，上述熱電轉換元件沿著上述絕緣層的表面形成有上述第 1、第2導電體(250、260)，上述第1、第2導電體的一端側部份與另一端側部份分別在與上述一面平行的方向，具有配置在夾著上述熱源體兩側的構造。
如申請專利範圍第1項記載的質量流量計，其中，上述感測器是在上述另一面存在有與上述流體比較熱移動困難的構件(3、4、5)的狀態下，設置於上述流體的質量流量的測量場所。
如申請專利範圍第5項記載的質量流量計，其中，上述感測器具備設置在上述另一面，與上述流體比較熱移動困難的構件(4、5)。
如申請專利範圍第1項記載的質量流量計，其中，上述熱源體(14)是形成在上述多層基板的熱電元件，從上述一面釋出溫熱，並從上述另一面釋出冷熱。
一種速度計，具備：感測器(10、20)，設置在流體內移動的移動體，具有一面(10a)及其相反側的另一面(10b)，內部形成有熱電轉換元件，及熱源體(13、14、240)，對存在於上述一面側的流體釋出溫熱與冷熱之一方的熱，上述感測器具備：以熱塑性樹脂構成，複數層疊的絕緣層(100、110、120、210、220)，及相對於上述絕緣層形成，以不同的導電體構成，且彼此連接的第1、第2導電體(130、140、250、260)，以將複數的上述絕緣層一邊加熱並加壓成一體化的多層基板構成，上述熱電轉換元件是以彼此連接的上述第1、第2導電體構成，並從上述感測器顯示，相對地，使得具有從上述熱源體釋出的熱的上述流體沿著上述一面移動時，產生對應在位於上述一面的第1區域，及上述感測器中與上述第1區域不同的位置的第2區域之間產生溫差的大小的電輸出，並且，具備根據上述熱電轉換元件產生的上述輸出，及上述輸出與上述移動體的移動速度的關係，運算上述移動體的移動速度的運算部(2)，上述感測器具有在沿著上述一面的方向位於夾著上述熱源體的分別兩側的第1熱電轉換元件與第2熱電轉換元件作為上述熱電轉換元件，具有從上述熱源體釋出的熱的上述流體沿著上述一面移動時，上述第1熱電轉換元件是產生對應上述感測器之中形成有上述第1熱電轉換元件的區域(11)的位在上述一面的上述第1區域與位在上述另一面的上述第2區域之間產生的溫差大小的上述輸出，並且上述第2熱電轉換元件產生對應上述感測器之中形成有上述第2熱電轉換元件的區域(12)的位在上述一面的上述第1區域與位在上述另一面的上述第2區域之間產生的溫差之大小的上述輸出，上述第1熱電轉換元件與上述第2熱電轉換元件是構成上述一面與上述另一面的高溫側與低溫側的關係相同時之上述輸出的極性不同，上述運算部是根據結合上述第1、第2熱電轉換元件產生之上述輸出的總輸出，及上述總輸出與上述流體的質量流量的關係，運算上述流體的質量流量。
一種質量流量計，具備：感測器(10、20)，具有一面(10a)及其相反側的另一面(10b)，內部形成有熱電轉換元件，及熱源體(13、14、240)，對存在於上述一面側的流體釋出溫熱與冷熱之一方的熱，上述感測器具備：以撓性材料構成的絕緣層(100、110、120、210、220)，及相對於上述絕緣層形成，以不同的導電體構成，且彼此連接的第1、第2導電體(130、140、250、260)，以將上述絕緣層與第1、第2導電體一邊加熱並加壓成一體化，上述熱電轉換元件是以彼此連接的上述第1、第2導電體構成，並使得具有從上述熱源體釋出的熱的上述流體沿著上述一面移動時，產生對應位於上述一面的第1區域，及上述感測器中與上述第1區域不同的位置的第2區域之間產生溫差的大小的電輸出，並且，具備根據上述熱電轉換元件產生的上述輸出，及上述輸出與上述流體的質量流量的關係，運算上述流體的質量流量的運算部(2)上述感測器具有在與上述一面平行的方向位於夾著上述熱源體的分別兩側的第1熱電轉換元件與第2熱電轉換元件作為上述熱電轉換元件，具有從上述熱源體釋出的熱的上述流體沿著上述一面移動時，上述第1熱電轉換元件是產生對應上述感測器之中形成有上述第1熱電轉換元件的區域(11)的位在上述一面的上述第1區域與位在上述另一面的上述第2區域之間產生的溫差之大小的上述輸出，並且上述第2熱電轉換元件產生對應上述感測器之中形成有上述第2熱電轉換元件的區域(12)的位在上述一面的上述第1區域與位在上述另一面的上述第2區域之間產生的溫差之大小的上述輸出，上述第1熱電轉換元件與上述第2熱電轉換元件是構成上述一面與上述另一面的高溫側與低溫側的關係相同時之上述輸出的極性不同，上述運算部是根據結合上述第1、第2熱電轉換元件產生之上述輸出的總輸出，及上述總輸出與上述流體的質量流量的關係，運算上述流體的質量流量。
如申請專利範圍第9項記載的質量流量計，其中，上述絕緣層是以樹脂構成。
一種質量流量計，具備：感測器(10、20)，具有一面(10a)及其相反側的另一面(10b)，內部形成有熱電轉換元件，及上述熱源體(13、14、240)，對存在於上述一面側的流體釋出溫熱與冷熱之一方的熱，上述感測器具備以不同的導電體構成，且彼此連接的第1、第2導電體(130、140、250、260)之實心的構造體，上述熱電轉換元件是以彼此連接的上述第1、第2導電體構成，並使得具有從上述熱源體釋出的熱的上述流體沿著上述一面移動時，產生對應位於上述一面的第1區域，及上述感測器中與上述第1區域不同的位置的第2區域之間產生溫差的大小的電輸出，並且，具備根據上述熱電轉換元件產生的上述輸出，及上述輸出與上述流體的質量流量的關係，運算上述流體的質量流量的運算部(2)，上述感測器具有在與上述一面平行的方向位於夾著上述熱源體的分別兩側的第1熱電轉換元件與第2熱電轉換元件作為上述熱電轉換元件，具有從上述熱源體釋出的熱的上述流體沿著上述一面移動時，上述第1熱電轉換元件是產生對應上述感測器之中形成有上述第1熱電轉換元件的區域(11)的位在上述一面的上述第1區域與位在上述另一面的上述第2區域之間產生的溫差之大小的上述輸出，並且上述第2熱電轉換元件產生對應上述感測器之中形成有上述第2熱電轉換元件的區域(12)的位在上述一面的上述第1區域與位在上述另一面的上述第2區域之間產生的溫差之大小的上述輸出，上述第1熱電轉換元件與上述第2熱電轉換元件是構成上述一面與上述另一面的高溫側與低溫側的關係相同時之上述輸出的極性不同，上述運算部是根據結合上述第1、第2熱電轉換元件產生之上述輸出的總輸出，及上述總輸出與上述流體的質量流量的關係，運算上述流體的質量流量。
一種質量流量計，具備：感測器(10、20)，具有一面(10a)及其相反側的另一面(10b)，內部形成有熱電轉換元件，及熱源體(13、14、240)，對存在於上述一面側的流體釋出溫熱與冷熱之一方的熱，上述熱電轉換元件是以不同的導電體，且彼此連接的第1、第2導電體構成，並使得具有從上述熱源體釋出的熱的上述流體沿著上述一面移動時，產生對應位於上述一面的第1區域，及上述感測器中與上述第1區域不同的位置的第2區域之間產生溫差的大小的電輸出，並且，具備根據上述熱電轉換元件產生的上述輸出，及上述輸出與上述流體的質量流量的關係，運算上述流體的質量流量的運算部(2)，上述感測器具有在沿著上述一面的方向位於夾著上述熱源體的分別兩側的第1熱電轉換元件與第2熱電轉換元件作為上述熱電轉換元件，具有從上述熱源體釋出的熱的上述流體沿著上述一面移動時，上述第1熱電轉換元件是產生對應上述感測器之中形成有上述第1熱電轉換元件的區域(11)的位在上述一面的上述第1區域與位在上述另一面的上述第2區域之間產生的溫差之大小的上述輸出，並且上述第2熱電轉換元件產生對應上述感測器之中形成有上述第2熱電轉換元件的區域(12)的位在上述一面的上述第1區域與位在上述另一面的上述第2區域之間產生的溫差之大小的上述輸出，上述第1熱電轉換元件與上述第2熱電轉換元件是構成上述一面與上述另一面的高溫側與低溫側的關係相同時之上述輸出的極性不同，上述運算部是根據結合上述第1、第2熱電轉換元件產生之上述輸出的總輸出，及上述總輸出與上述流體的質量流量的關係，運算上述流體的質量流量。
一種速度計，具備：感測器(10、20)，設置在流體內移動的移動體，具有一面(10a)及其相反側的另一面(10b)，內部形成有熱電轉換元件，及熱源體(13、14、240)，對存在於上述一面側的流體釋出溫熱與冷熱之一方的熱，上述感測器具備：以撓性材料構成的絕緣層(100、110、120、210、220)，及相對於上述絕緣層形成，以不同的導電體構成，且彼此連接的第1、第2導電體(130、140、250、260)，將上述絕緣層與上述第1、第2導電體一邊加熱並加壓成一體化，上述熱電轉換元件是以彼此連接的上述第1、第2導電體構成，並從上述感測器顯示，相對地使具有從上述熱源體釋出的熱的上述流體沿著上述一面移動時，產生對應位於上述一面的第1區域，及上述感測器中與上述第1區域不同的位置的第2區域之間產生溫差的大小的電輸出，並且，具備根據上述熱電轉換元件產生的上述輸出，及上述輸出與上述移動體的移動速度的關係，運算上述移動體的移動速度的運算部(2)，上述感測器具有在沿著上述一面的方向位於夾著上述熱源體的分別兩側的第1熱電轉換元件與第2熱電轉換元件作為上述熱電轉換元件，具有從上述熱源體釋出的熱的上述流體沿著上述一面移動時，上述第1熱電轉換元件是產生對應上述感測器之中形成有上述第1熱電轉換元件的區域(11)的位在上述一面的上述第1區域與位在上述另一面的上述第2區域之間產生的溫差大小的上述輸出，並且上述第2熱電轉換元件產生對應上述感測器之中形成有上述第2熱電轉換元件的區域(12)的位在上述一面的上述第1區域與位在上述另一面的上述第2區域之間產生的溫差之大小的上述輸出，上述第1熱電轉換元件與上述第2熱電轉換元件是構成上述一面與上述另一面的高溫側與低溫側的關係相同時之上述輸出的極性不同，上述運算部是根據結合上述第1、第2熱電轉換元件產生之上述輸出的總輸出，及上述總輸出與上述流體的質量流量的關係，運算上述流體的質量流量。
如申請專利範圍第13項記載的速度計，其中，上述絕緣層是以樹脂構成。
一種速度計，具備：感測器(10、20)，設置在流體內移動的移動體，具有一面(10a)及其相反側的另一面(10b)，內部形成有熱電轉換元件，及熱源體(13、14、240)，對存在於上述一面側的流體釋出溫熱與冷熱之一方的熱，上述感測器具備以不同的導電體構成，且彼此連接的第1、第2導電體(130、140、250、260)之實心的構造體，上述熱電轉換元件是以彼此連接的上述第1、第2導電體構成，並從上述感測器顯示，相對地，使得具有從上述熱源體釋出的熱的上述流體沿著上述一面移動時，產生對應位於上述一面的第1區域，及上述感測器中與上述第1區域不同的位置的第2區域之間產生溫差的大小的電輸出，並且，具備根據上述熱電轉換元件產生的上述輸出，及上述輸出與上述移動體的移動速度的關係，運算上述移動體的移動速度的運算部(2)，上述感測器具有在沿著上述一面的方向位於夾著上述熱源體的分別兩側的第1熱電轉換元件與第2熱電轉換元件作為上述熱電轉換元件，具有從上述熱源體釋出的熱的上述流體沿著上述一面移動時，上述第1熱電轉換元件是產生對應上述感測器之中形成有上述第1熱電轉換元件的區域(11)的位在上述一面的上述第1區域與位在上述另一面的上述第2區域之間產生的溫差大小的上述輸出，並且上述第2熱電轉換元件產生對應上述感測器之中形成有上述第2熱電轉換元件的區域(12)的位在上述一面的上述第1區域與位在上述另一面的上述第2區域之間產生的溫差之大小的上述輸出，上述第1熱電轉換元件與上述第2熱電轉換元件是構成上述一面與上述另一面的高溫側與低溫側的關係相同時之上述輸出的極性不同，上述運算部是根據結合上述第1、第2熱電轉換元件產生之上述輸出的總輸出，及上述總輸出與上述流體的質量流量的關係，運算上述流體的質量流量。
一種速度計，具備：感測器(10、20)，設置在流體內移動的移動體，具有一面(10a)及其相反側的另一面(10b)，內部形成有熱電轉換元件，及熱源體(13、14、240)，對存在於上述一面側的流體釋出溫熱與冷熱之一方的熱，上述熱電轉換元件是以不同的導電體，且彼此連接的第1、第2導電體構成，並從上述感測器顯示，相對地使具有從上述熱源體釋出的熱的上述流體沿著上述一面移動時，產生對應位於上述一面的第1區域，及上述感測器中與上述第1區域不同的位置的第2區域之間產生溫差的大小的電輸出，並且，具備根據上述熱電轉換元件產生的上述輸出，及上述輸出與上述移動體的移動速度的關係，運算上述移動體的移動速度的運算部(2)，上述感測器具有在沿著上述一面的方向位於夾著上述熱源體的分別兩側的第1熱電轉換元件與第2熱電轉換元件作為上述熱電轉換元件，具有從上述熱源體釋出的熱的上述流體沿著上述一面移動時，上述第1熱電轉換元件是產生對應上述感測器之中形成有上述第1熱電轉換元件的區域(11)的位在上述一面的上述第1區域與位在上述另一面的上述第2區域之間產生的溫差大小的上述輸出，並且上述第2熱電轉換元件產生對應上述感測器之中形成有上述第2熱電轉換元件的區域(12)的位在上述一面的上述第1區域與位在上述另一面的上述第2區域之間產生的溫差之大小的上述輸出，上述第1熱電轉換元件與上述第2熱電轉換元件是構成上述一面與上述另一面的高溫側與低溫側的關係相同時之上述輸出的極性不同，上述運算部是根據結合上述第1、第2熱電轉換元件產生之上述輸出的總輸出，及上述總輸出與上述流體的質量流量的關係，運算上述流體的質量流量。