JP2005283381A - 発熱抵抗式流量測定装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】温度検出抵抗体3、4、7、8自身が発熱することで風上風下の温度に変化が生じるが、温度変化は温度検出抵抗体3、4、7、8の発熱量に依存する。温度検出抵抗体3、4、7、8の発熱量は温度検出抵抗体3、4、7、8に印加するECU電源の電圧値に依存し、ECU電源の電圧値のばらつきに応じてセンサ出力に誤差が生じる。電源の出力電圧のばらつきによるセンサ出力誤差を防ぐためには、温度検出抵抗体3、4、7、8の発熱量を抑制すればよいことが明らかとされ、この温度検出抵抗体3、4、7、8の発熱量抑制手段を講じることとした。
【選択図】 図1
Description
発熱抵抗体と、この発熱抵抗体の流体が流れる上流側と下流側との両側に配置される温度検出抵抗体とを有する発熱抵抗式流量測定装置において、上記温度検出抵抗体の発熱を抑制する発熱抑制手段を備える。
温度検出抵抗が電源に直接接続されていると、電源の電圧値の変化によって温度検出抵抗体の発熱量が変化し、温度検出抵抗体自身の温度が変化させる。これによって、発熱抵抗式流量測定装置の出力電圧は、電源電圧値に比例しなくなる。
そこで、温度検出抵抗体の発熱を抑制する発熱抑制手段を備えれば、発熱抵抗式流量測定装置の出力電圧を、電源電圧値にほぼ比例させることができる。
図1、図2において、センサエレメント1の平板基板23は、シリコンやセラミック等の熱伝導率の良い材料で構成される。そして、平板基板23に絶縁膜22を形成し、平板基板23を裏面からエッチングすることで絶縁膜22の下部に空間を形成し、平板基板23に薄肉部(ダイアフラム)2を形成する。
図3において、本発明による駆動回路34は、ECU42からECU電源を供給される電源端子35と、センサエレメント1に配置された発熱抵抗体6と、測温抵抗体10と、発熱抵抗体6を駆動する駆動トランジスタ36と、発熱抵抗体6と測温抵抗体10により構成される直列接続回路に並列に接続される抵抗38、39と、発熱抵抗体6と測温抵抗体10と抵抗38、39により構成されるブリッジ回路の誤差電圧を増幅し駆動トランジスタ36を駆動する増幅器37とを備える。
図6は、温度検出抵抗体3、4、7、8の抵抗値とレシオ誤差との関係についての実験結果を示すグラフである。
このことから、発熱抵抗体6の発熱量はできる限り大きくすることが望ましくなる。
図11において、発熱抵抗体6は、少ない発熱量で高温度に加熱できるように、発熱抵抗体6の面積は微小化されている。具体的には、発熱抵抗体6の面積は、0.1平方ミリメートル以下が必要で、本発明の一実施形態では、500μm×200μmの面積で設計している。
図12は、発熱抵抗式流量測定装置を回路図表記した図であり、発熱抵抗体6と測温抵抗体10とが互いに直列接続され、これら抵抗体6及び10は、パッド15、16、17を介して配線が引き出されている。また、温度検出抵抗体3、4、7、8は、パッド11、12、13、14、18、19、20を介して配線が引き出されている。
回路接続は、抵抗体6の一端に接続されたパッド15と、抵抗体6の他端に接続されたパッド17との間に、直列接続された電圧源50と電流計49とを接続する。
回路接続は、抵抗体3の一方端に接続されたパッド11と抵抗体7の一方端に接続されたパッド18とを接続し、抵抗体3の他方端に接続されたパッド14と抵抗体8の一方端に接続されたパッド19とを接続し、抵抗体7の他方端に接続されたパッド21と抵抗体4の一方端に接続されたパッド12とを接続し、抵抗体8の他方端に接続されたパッド20と抵抗体4の他方端に接続されたパッド13とを接続する。そして、温度検出抵抗体3、4、7、8によりブリッジ回路を構成する。
上述した本発明の第1の実施形態は、温度検出抵抗体3、4、7、8の抵抗体を高抵抗(5kΩ以上)として、これら温度検抵抗出体の発熱量を抑制することとしたが、第3の実施形態における温度検出抵抗体70、71、72、73の抵抗値は、高抵抗ではなく、5kΩ未満の低抵抗値とし、これら抵抗体70〜73の温度上昇を抑制する手段として、ペルチェ素子74、75、76、77を各温度検出抵抗体70〜73の近辺に配置している。また、これらペルチェ素子74、75、76、77は、ペルチェ素子駆動回路78により、温度検出抵抗体70〜73が適切な温度を保持するように駆動される。
ペルチェ素子及びその駆動回路は、図17に示した保護回路25、レギュレータ28に比較して、安価であり、本発明の第3の実施形態においても、第1の実施形態と同様な効果を得ることができる。
この第4の実施形態においても、第3の実施形態と同様に、温度検出抵抗体70、71、72、73の抵抗値は、高抵抗ではなく、5kΩ未満の低抵抗値とし、これら抵抗体70〜73の温度上昇を抑制する手段として、通加電流値を制御する手段を用いている。つまり、温度検出抵抗体70〜73からなるブリッジ回路にトレンジスタ等のオンオフ制御される駆動回路79を配置し、この駆動回路79の駆動をパルス発生器80からのパルス信号で制御する。
駆動回路79、パルス発生器80、サンプルホールド回路81は、図17に示した保護回路25、レギュレータ28に比較して、安価であり、本発明の第4の実施形態においても、第1の実施形態と同様な効果を得ることができる。なお、駆動回路79、パルス発生器80、サンプルホールド回路81により、温度検出抵抗体への電流間欠供給手段が構成される。
2 薄肉部
3、4 温度検出抵抗体、
5、9 配線パターン
6 発熱抵抗体
7、8 温度検出抵抗体
10 測温抵抗体
11〜21 パッド
22 絶縁膜
23 平板基板
34 駆動回路
35 電源端子
36 駆動トランジスタ
37、40 増幅器、
38、39 抵抗
41 センサ出力端子
42 ECU
43〜48 スリット
49、51 電流計
50、52 電圧源
53、58 増幅器
54 PWM回路
55 駆動トランジスタ
56、57 抵抗
59 発熱抵抗式流量測定装置(ガス流量センサ)
60 圧力センサ
61 温度センサ
62 制御装置
63 レギュレータ
64 マルチプレクサ
65 AD変換器
70〜73 温度検出抵抗体
74〜77 ペルチェ素子
78 ペルチェ素子駆動回路
79 駆動回路
80 パルス発生器
81 サンプルホールド回路
Claims (13)
- 電流を流すことによって発熱する発熱抵抗体と、この発熱抵抗体の流体が流れる上流側と下流側との両側に配置される温度検出抵抗体とを有する発熱抵抗式流量測定装置において、
上記温度検出抵抗体の発熱を抑制する発熱抑制手段を備え、発熱抵抗式流量測定装置の出力電圧が、この発熱抵抗式流量測定装置の電源電圧値にほぼ比例することを特徴とする発熱抵抗式流量測定装置。 - 電流を流すことによって発熱する発熱抵抗体と、この発熱抵抗体の流体が流れる上流側と下流側との両側に配置される温度検出抵抗体とを有する発熱抵抗式流量測定装置であり、この発熱抵抗式流量測定装置の出力信号に基づいて、制御対象物を制御する制御手段から、電源供給を受ける発熱抵抗式流量測定装置において、
上記温度検出抵抗体の発熱を抑制する発熱抑制手段を備え、発熱抵抗式流量測定装置の出力電圧が、上記制御手段から供給される電源電圧値にほぼ比例することを特徴とする発熱抵抗式流量測定装置。 - 電流を流すことによって発熱する発熱抵抗体と、この発熱抵抗体の流体が流れる上流側と下流側との両側に配置される温度検出抵抗体とを有する発熱抵抗式流量測定装置であり、この発熱抵抗式流量測定装置へ供給される電源電圧と電流とが制限される発熱抵抗式流量測定装置において、
上記温度検出抵抗体の発熱を抑制する発熱抑制手段を備え、発熱抵抗式流量測定装置の出力電圧が、この発熱抵抗式流量測定装置の電源電圧値にほぼ比例することを特徴とする発熱抵抗式流量測定装置。 - 請求項1〜3のうちのいずれか一項記載の発熱抵抗式流量測定装置において、上記発熱抑制手段は上記温度検出抵抗体の抵抗値が5kΩ〜500kΩであることを特徴とする発熱抵抗式流量測定装置。
- 請求項4記載の発熱抵抗式流量測定装置において、上記発熱抵抗体の抵抗温度係数が2000ppm/℃〜1000ppm/℃であることを特徴とする発熱抵抗式流量測定装置。
- 請求項4、5のうちのいずれか一項記載の発熱抵抗式流量測定装置において、発熱抵抗式流量測定装置へ供給する電源の最低動作保証電圧を発熱抵抗式流量測定装置へ供給する電源の最大許容電流で割った値に対して±20%の範囲に上記発熱抵抗体の抵抗値と上記発熱抵抗体の配線抵抗の抵抗値の合計が設定されていることを特徴とする発熱抵抗式流量測定装置。
- 請求項4〜6のうちのいずれか一項記載の発熱抵抗式流量測定装置において、上記発熱抵抗体がポリシリコンで形成されていることを特徴とする発熱抵抗式流量測定装置。
- 請求項4〜7のうちのいずれか一項記載の発熱抵抗式流量測定装置において、上記温度検出抵抗体がポリシリコンで形成されていることを特徴とする発熱抵抗式流量測定装置。
- 請求項4〜8のうちのいずれか一項記載の発熱抵抗式流量測定装置において、上記発熱抵抗体の面積は約0.1平方ミリメートルであることを特徴とする発熱抵抗式流量測定装置。
- 請求項4〜9のうちのいずれか一項記載の発熱抵抗式流量測定装置において、上記発熱抵抗体は複数の帯状の抵抗体で構成されていることを特徴とする発熱抵抗式流量測定装置。
- 請求項4〜10のうちのいずれか一項記載の発熱抵抗式流量測定装置において、上記発熱抵抗体に直列に接続する抵抗があり、この抵抗の抵抗値が上記発熱抵抗体の抵抗値よりも大きいことを特徴とする発熱抵抗式流量測定装置。
- 請求項1〜3のうちのいずれか一項記載の発熱抵抗式流量測定装置において、上記発熱抑制手段は、上記温度検出抵抗体の近辺に配置され、温度冷却機能を有するペルチェ素子であることを特徴とする発熱抵抗式流量測定装置。
- 請求項1〜3のうちのいずれか一項記載の発熱抵抗式流量測定装置において、上記発熱抑制手段は、上記温度検出抵抗体に供給される電流を間欠的に供給する手段であることを特徴とする発熱抵抗式流量測定装置。
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